/ Counter Unit / Anzeigeeinheit /
LH71A / LH72
Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them. Keep the manual for future references.
Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim Betrieb des Geräts den Anweisungen. Bewahren Sie diese Bedienungsanleitung zum späteren Nachlesen griffbereit auf.
参考。
/ Instruction Manual / Bedienungsanleitung /
[For U.S.A. and Canada]
THIS CLASS A DIGITAL DEVICE COMPLIES WITH PART15 OF THE FCC RULES AND THE CANADIAN ICES-003. OPERATION IS SUBJECT TO THE FOLLOWING TWO CONDITIONS.
(1)THIS DEVICE MAY NOT CAUSE HARMFUL INTERFERENCE, AND
(2) T H I S D E V I C E M U S T A C C E P T A N Y INTERFERENCE RECEIVED, INCLUDING I N T E R F E R E N C E T H A T M A Y C A U S E UNDERSIGNED OPERATION.
CET APPAREIL NUMÉRIQUE DE LA CLASSE A EST CONFORME À LA NORME NMB-003 DU CANADA.
[For the customers in Australia]
Australian EMC Notice
This product complies with the following Australian EMC standard.
AS/NZS CISPR11/2002 Emission Standard for ISM Equipment
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LH71A / LH72 |
(J) (1) |
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AC |
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(2) (J) |
LH71A / LH72 |
1. |
............................................................ |
1-1 |
||
1-1. |
...................................................................................... |
1-1 |
||
2. |
.................................................................................. |
|
|
2-1 |
3. |
............................................................ |
3-1 |
||
3-1. |
.......................................................................................... |
3-1 |
||
|
3-1-1. LH71A......................................................................................... |
3-1 |
||
|
3-1-2. LH72 ........................................................................................... |
3-2 |
||
3-2. |
.................................................................................................. |
3-3 |
||
4. |
....................................................................... |
4-1 |
||
4-1. |
.......................................................................................................... |
|
|
4-1 |
4-2. |
.............................................................................................................. |
|
|
4-1 |
4-3. |
.............................................................................................................. |
|
|
4-2 |
|
4-3-1. ............................................................. |
4-2 |
||
|
4-3-2. ............................................................................................. |
4-2 |
||
5. |
.................................................................................. |
|
|
5-1 |
5-1. |
.............................................................................. |
5-1 |
||
|
5-1-1. ................................................. |
5-1 |
||
|
5-1-2. |
|
....................................................................... |
5-1 |
|
5-1-3. |
|
....................................................................... |
5-2 |
|
5-1-4. ................................................................. |
5-3 |
||
|
5-1-5. ..................................................................................... |
5-3 |
||
5-2. |
......................................................... |
5-4 |
||
|
5-2-1. ON |
|
||
|
|
(LH71A ) ..................................... |
5-4 |
|
|
5-2-2. |
|
||
|
|
(LH71A ) ..................................... |
5-5 |
|
|
5-2-3. |
|
||
|
|
(LH71A ) ..................................... |
5-6 |
|
5-3. |
.......................................................................................... |
5-7 |
||
|
5-3-1. ON |
|
||
|
|
(LH71A LH72) ........................................................ |
5-7 |
|
|
5-3-2. |
|
||
|
|
(LH71A LH72) ........................................................ |
5-8 |
|
|
5-3-3. |
(LH71A LH72)....... |
5-9 |
|
5-4. |
................................................... |
5-10 |
||
5-5. |
............................................................................................ |
5-11 |
||
|
5-5-1. ............................................................................... |
5-11 |
||
|
5-5-2. ........................................................................... |
5-15 |
||
5-6. |
............................................................................ |
5-18 |
LH71A / LH72 |
(J) i |
|
6. |
............................................................ |
6-1 |
|
6-1. ON |
........................................................................................................ |
6-1 |
|
6-2. |
.................................................................................................. |
6-1 |
|
6-3. |
.................................................................................................. |
6-2 |
|
|
6-3-1. ......................................................................... |
|
6-2 |
|
6-3-2. ................................................................................. |
|
6-2 |
6-4. |
.............................................................................( OFF) |
6-2 |
7. |
........................................................................... |
7-1 |
|
7-1. |
.......................................................................................... |
7-1 |
|
7-2. |
...................................................................................... |
7-2 |
|
|
7-2-1. ............................................................................. |
7-2 |
|
|
7-2-2. ........................................................................ |
ABS/INC |
7-2 |
|
7-2-3. .......................................................................................1/2 |
7-2 |
|
|
7-2-4. .......(LH71A LH72 ) |
7-2 |
|
|
7-2-5. ..................................................................... |
|
7-3 |
|
7-2-6. ............................................................................ |
|
7-5 |
|
7-2-7. ( No. 1) |
||
|
..................... |
( No. 2 ) (LH71A LH72) |
7-10 |
|
7-2-8. ...................... |
( ) |
7-15 |
|
7-2-9. .................( ) (LH71A ) |
7-18 |
8. |
........................................................................... |
8-1 |
|
8-1. |
(LH71A ) ............................................................. |
8-1 |
|
|
8-1-1. ..................................................... |
8-2 |
|
|
8-1-2. ..................................................................... |
8-4 |
|
|
8-1-3. .......................................................................... |
R |
8-5 |
8-2. ........................................................................................... |
8-7 |
||
|
8-2-1. ................................................. |
|
8-7 |
|
8-2-2. ............................................................. |
|
8-9 |
|
8-2-3. ............................................... |
|
8-10 |
8-3. |
............................................................................................ |
8-11 |
9. |
............................................................ |
9-1 |
9-1. |
..................................................... |
9-1 |
9-2. |
..................................................... |
9-1 |
9-3. |
.............................................................................. |
9-2 |
10. |
.................................................................. |
10-1 |
11. |
................................................ |
11-1 |
12. |
................................................................................ |
12-1 |
13. |
..................................................................... |
13-1 |
ii (J) |
LH71A / LH72 |
1.
1-1.
LH71A / LH72 |
(J) 1-1 |
1-2 (J) |
LH71A / LH72 |
2.
直線: 0.1 um 10 um
: 1 10 ( ) ( 5-2 )
より高度な加工や工作機械の精度復旧ができます。( )
3
( )
•:
ABS (150 )
LH71A / LH72 |
(J) 2-1 |
2.
/
LH71A ( ) 5. LH72
(LH71A-2 LH71A-3 )
• 直径/
•R/ /
• 開始角度/ /
(LH71A-3 LH72 )
No. (99 )
2-2 (J) |
LH71A / LH72 |
3. |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
3-1. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3-1-1. LH71A |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
q; |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
qa |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
qs |
|
|
|
|
|
|
|
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|
qd |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
qf |
|
|
|
|
|
|
|
|
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qg |
|
|
|
|
qh |
qj |
|
qk |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
: |
|
|
|
||
2 |
|
|
ABS |
: (ABS ) |
|
|||||
|
|
|
|
|
: (INC ) |
|
||||
|
|
|
Φ |
|
: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
: |
|
|
|
|
|
3 |
|
|
1 (X, Z) 2 (Y, Z) 3 (Z) |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
(10 ) |
|
4 |
RESET |
|
|
|
|
|
ABS INC |
5 |
P |
( ) |
|
|
|
|
( ) |
6 |
( ) |
( ) |
|
|
|
|
|
7 |
REF |
( ) |
|
|
|
|
|
8 |
ABS/INC |
ABS / INC |
|
9 |
SET UP |
|
|
|
|
|
|
0 |
PROG |
( ) |
|
|
|
|
|
qa |
( ) |
|
|
qs |
|
|
|
|
|
|
|
qd |
RUN/NEXT |
|
|
|
|
|
|
qf |
EDIT |
|
|
qg |
( ) |
ON / OFF |
|
|
|
|
: OFF : |
|
|
|
: ON |
qh |
n( ) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
qj |
|
|
|
|
|
|
|
qk |
|
|
|
|
|
1/2 |
1/2 |
|
|
J |
|
|
|
|
|
|
|
CE |
|
|
|
|
|
|
|
ENT |
|
LH71A / LH72 |
(J) 3-1 |
3. |
|
|
|
|
|
|
|
|
3-1-2. LH72 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 2 |
3 4 5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
q; |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
qa |
|
|
|
|
|
|
|
|
qs |
|
|
|
|
|
|
|
|
qd |
|
|
|
|
|
|
|
|
qf |
|
ql |
qg |
qh |
qj |
|
qk |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
: |
|
|
|
|
|
|
|
|
: |
|
|
|
||
2 |
|
ABS |
: (ABS ) |
|
||||
|
|
|
: (INC ) |
|
||||
|
|
Φ |
: |
|
|
|
|
|
|
|
|
: |
|
|
|
|
|
3 |
|
1 (X) 2 (Z) |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|||||
|
|
(10 ) |
|
4 |
RESET |
|
|
|
|
|
ABS INC |
5 |
P |
( ) |
|
|
|
|
( ) |
6 |
( ) |
( ) |
|
7 |
REF |
( ) |
|
8 |
ABS/INC |
ABS / INC |
|
9 |
SET UP |
|
|
|
|
|
|
0 |
PROG |
( ) |
|
|
|
|
|
qa |
|
|
|
|
|
|
|
qs |
RUN/NEXT |
|
|
|
|
|
|
qd |
EDIT |
|
|
|
|
|
|
qf |
( ) |
ON / OFF |
|
|
|
|
: OFF : |
|
|
|
: ON |
|
|
|
|
qg |
TOOL MASTER |
|
|
|
|
|
|
qh |
n( ) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
qj |
|
|
|
qk |
|
|
|
|
|
1/2 |
1/2 |
|
|
J |
|
|
|
|
|
|
|
CE |
|
|
|
|
|
|
|
ENT |
|
|
|
|
|
ql |
( No.) |
( No.) |
|
|
|
|
|
3-2 (J) |
LH71A / LH72 |
3.
3-2. |
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
2 3 |
4 |
5 |
6 |
|
|
|
|
|
|
|
1 |
1 2 3 |
1 2 3 |
|||
2 |
DC |
DC |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
AC |
|||
|
|
|
|||
3 |
AC |
AC |
|
||
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|||
5 |
|
RESET |
6(LH71A )
LH71A / LH72 |
(J) 3-3 |
3-4 (J) |
LH71A / LH72 |
4. |
|
|
|
4-1. |
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
M4 x 16 |
2 |
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
4-2. |
|
|
|
• : 0 40 dC
•( )
•50 cm
• 合、アラームを発生する場合と、誤動作を起こす場合があります。このような場合は、一旦AC
|
|
|
|
|
|
||
|
|
||
|
|
|
|
|
→ |
→ |
→ |
|
|||
|
|
|
|
→ |
|
|
|
|
|
|
|
(50 cm ) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
LH71A / LH72 |
(J) 4-1 |
4.
4-3.
4-3-1.
|
|
|
|
|
|
GB-ER |
0.5 um |
|
|
|
|
PL20C |
10 um |
|
|
|
|
DG-B |
0.5 um |
( )+DZ51 |
( ): SZ70-1
4-3-2.
AC
•AC AC DC
1 ( ) : M4 x 16 (2 )
2
3
LH71A LH72
(P4-4)
4AC
5
6
7
DC DC
DC 5
8
9AC
1 2 (LH71A-3 ) (LH71A-1/- 2 LH72 )
(1 3)
4-2 (J) |
LH71A / LH72 |
4.
4-4 |
||
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
3 |
|
|
DC |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
M4 x 16 2 |
|
|
( ) |
|
AC ( ) PSC-21, 22, 23 |
||
100 240 VAC±10 % 50/60 Hz |
||
|
||
|
||
1 |
|
|
2 |
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
LH71A / LH72 |
(J) 4-3 |
4. |
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
DC |
|
|
|
|
|
|
|
*1 2 |
|
|
|
|
|
|
|
||
3 |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
||
|
|
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|
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|
|
*1 2 3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
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|
|
Z2 |
|
|
|
|
|
Z1 |
|
|
|
X |
|
|||
|
|
|
|
M4 x 16 2 |
|
|
|
|
( ) |
|
|
AC ( ) PSC-21, 22, 23 |
||
|
|
100 240 VAC±10 % 50/60 Hz |
||
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
X |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
Z |
|
||
|
|
|
|
|
*1 (Z1 Z2 ) 2 |
||||
|
|
|
||
) Z1 ( 0.5 um) Z2 ( 1 um) |
||||
Z1 ( 0.5 um) 2 |
||||
Z2 ( 1 um) |
3 |
|||
4-4 (J) |
|
|
|
LH71A / LH72 |
5.
5-1.
5-1-1.
1 |
ON |
: ON k |
|
k |
|
k |
|
|
|
|
|||||
2 |
|
: ON k |
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k |
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k |
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3 |
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: ON |
k |
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k |
5-1-2.
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* /
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(LH71A ) |
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: 2 |
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: 3 |
2 |
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( |
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: 2 +3 |
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) |
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: 2 _3 |
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: _2 +3 |
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: _2 _3 |
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No. |
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* 5-4. |
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: |
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: |
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|
: |
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: 0.1 um |
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: 0.5 um |
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: 1 um |
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: 5 um |
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: 10 um |
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A |
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: 1 |
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: 10 |
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B |
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: 1 |
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: 10 |
1 2 3 |
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: 0.05 um |
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( ) |
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: 2 um |
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: 20 um |
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: 25 um |
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|
: 50 um |
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||||||||||||||
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: 100 um |
|||||||||||||||
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: 1 |
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|
* |
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(ADD ) |
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( |
||||||||||||
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4-4 ) |
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(J) 5-1 |
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LH71A / LH72 |
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5.
5-1-3.
工場出荷後、最初の電源ON
/
* /
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( ) |
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(+/_) |
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2 |
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(X ) |
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φ |
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* |
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: 1 |
1/2/ |
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: 2 |
3 |
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1 |
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1 |
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: 3 |
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||||||||||||
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(LH71A-2 |
2 |
|
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|
2 |
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|
: |
( 1/2 |
||||||||||||
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LH71A-3 |
3 |
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|
|
|
3 |
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|
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|
/3) |
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/ |
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|
) |
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|
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|
1...X/Z |
|
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|
|
1/2/3 |
||||||||||||
|
1 |
|
|
|
|
|
|
X |
2...Y/Z |
|
|
|
|
|
|
|
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|
|
||||||
|
|
|
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|
|
|
|
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|
||||||||||||
|
2 |
|
|
|
|
|
|
Y |
3...Z |
|
|
|
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|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
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|
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|
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|||||||||||
(LH71A-1 |
3 |
|
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|
|
|
Z |
1 |
2 |
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
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||||||||||||||||||||
LH71A-2 |
|
|
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||||||||||||||||
/ |
|
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|
|
X |
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|
|
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|
|
) |
|
|
|
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|
|
|
Y |
|
|
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|
Z |
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|
X Z X X Z |
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|
Y Z Y |
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0.100000 9.999999 |
* 5-6. |
|||||||||||||||
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|
( ) |
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|||||||||||||||
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: |
|
* 5-5. |
||||||||||||||
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|
: ( ) |
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: ( ) |
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|
: |
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|
: |
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: |
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OFF |
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|
: |
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||||||||||||
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|
: 1 |
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|||
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: 5 |
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|||
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: 10 |
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|||
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: 30 |
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|
|||
|
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|
: 60 |
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|
|
|||
|
|
|
|
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|
1.0000 20.0000 |
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|||||||||||||||
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|
( ) |
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|||||||||||||||
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(LH71A ) |
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1 |
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5-2 (J) |
LH71A / LH72 |
5.
5-1-4.
LH71A-3
5-1-5.
1 |
ON |
|
|
LH71A |
t 5-2-1 |
|
LH71A LH72 |
t 5-3-1 |
2 |
|
|
|
LH71A |
t 5-2-2 |
|
LH71A LH72 |
t 5-3-2 |
3 |
|
|
|
LH71A |
t 5-2-3 |
|
LH71A LH72 |
t 5-3-3 |
LH71A / LH72 |
(J) 5-3 |
5.
5-2.
5-2-1. ON (LH71A )
ON
( )
2
1 /2
(STD)
分解能
(1)
3 |
1 JPN |
|
|
|
|
|
|
2 0.1/0.5/1/5/10/ |
|
|
|
|
00.00.01/ |
1 |
|
|
|
00.00.10/ |
|
|
|
00.01.00/ |
|
|
|
|
|
00.10.00 |
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
0.05/2/20/25/ |
|
|
50/100/ |
||
|
|
|
01.00.00 |
|
|
|
1 |
1: |
|
|
( )
2 3
(1-1, 2-2, 3-3)
1 2
切替え
(1-X, 2-Y, 3-Z)
(1.000000)
(OFF)
(OFF)
(OFF)
(5.0000)
3 |
|
3 2 / |
|
|
|||
|
|
|
2 ( |
|
|
)/ |
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
4 |
IN-1/IN-2/IN-3/ |
|
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IN - |
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5 |
X/Y/Z |
|
|
|
|||
|
|
|
||
5 |
|
6 |
0.100000 |
|
|
|
9.999999 |
||
|
|
|
||
|
|
7 |
OFF/LIN Err/ |
|
|
|
|||
|
|
SEG Err |
||
|
|
|
||
|
|
|
5-5. |
|
6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
8 |
OFF/1/2 |
|
7 |
|
9 |
OFF/1/5/10/30/ |
|
( ) |
||||
|
60 |
|||
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
q; |
1.0000 |
|
|
|
|
20.0000 |
|
|
|
|||
8 |
|
|
|
|
|
|
|
|
9
q; |
|
|
|
|
|
( 0.001 mm ) |
5-4 (J) |
LH71A / LH72 |
|
|
|
|
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|
5. |
5-2-2. (LH71A ) |
|
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||||||
(FINISH) |
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|||||||
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|
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|
* |
ON |
|
|
( 3 ) |
( |
) |
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||
|
( t ) |
|
||||||
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|
|
|
/ |
||
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
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||
|
|
3 |
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
1 GENERAL |
|||||
|
|
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|
|
|
|
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|
|
1 /2 |
|
|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
2 JPN |
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
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|
|
3 0.1/0.5/1/5/10/ |
|
|
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|
|
|
|
3 |
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|
|
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|
00.00.01/ |
|
|
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|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
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00.00.10/ |
||
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|
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00.01.00/ |
||||
|
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|||||
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|
00.10.00 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
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|
|
|||
|
|
|
|
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0.05/2/20/25/ |
|
|
|
1 |
|
1: |
|
50/100/ |
||
|
|
|
01.00.00 |
|||||
|
|
|
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|
||||
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
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|
|
4 |
|
|
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4 3 / |
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|
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|
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|
||
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
3 ( |
|||
|
|
|
|
|
|
|||
( |
|
|
|
)/ |
||||
) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
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5 IN-1/IN-2/IN-3/ |
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|
5 |
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|
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|
IN - |
|
2 3 |
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|||
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|
|
|
||
|
|
|
|
|
6 X/Y/Z |
|||
(1-1, 2-2, 3-3) |
|
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|
|
|
|
|
|
|
6 |
|
|
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|
7 0.100000 |
1 2 |
|
|
|
|
|
9.999999 |
||
|
|
|
|
|
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||
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8 OFF/LIN Err/ |
|||
|
|
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|
SEG Err |
||
(1-X, 2-Y, 3-Z) |
|
|
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|
5-5. |
|
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7 |
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||
(1.000000) |
|
|
|
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9 OFF/1/2 |
|
|
8 |
|
|
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|
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|
|
|
( ) |
|
0 OFF/1/5/10/30/ |
||||
(OFF) |
|
|
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|
|
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|
60 |
|
|
|
|
|
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|
|
|
|
|
|
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|
|
qa 1.0000 |
||
|
|
|
|
|
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|
20.0000 |
|
|
|
9 |
|
|
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|
|
|
|
|
|
|
|
|||
(OFF) |
|
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0 |
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|
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|
|
|
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|
||||
(OFF) |
|
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|
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|
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qa |
|
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|
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|
|
|
|
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|
||||
|
|
|
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|
|
|
|
(5.0000) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
( 0.001 mm ) |
|
|
|||
|
|
|
|
LH71A / LH72 |
(J) 5-5 |
5.
5-2-3. (LH71A )
ON
1
切替え
2 |
|
|
3 |
上/( ) /
2IN-1/IN-2/IN-3/ IN -
3 X/Y/Z
40.100000
9.999999
|
4 |
5 |
OFF/LIN Err/ |
|
|
||
|
|
SEG Err |
|
|
|
|
|
|
|
|
5-5. |
5 |
|
|
|
|
( ) |
|
|
|
|
6 |
OFF/1/2 |
|
|
7 OFF/1/5/10/30/ |
|
|
|
|
|
60 |
6
7 |
81.0000
20.0000
|
8 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
( 0.001 mm ) |
|
5-6 (J) |
LH71A / LH72 |
5.
5-3.
5-3-1. ON (LH71A LH72)
ON
( )
2
(GENERAL)
|
1 LATHE |
|
(LH71A ) |
|
LH72 |
1 |
|
|
|
|
2 |
|
2 2/3/2ADD3/ |
|
|
|
2ADD 3/ |
||
2 |
||||
2ADD3/ |
||||
(2) |
|
|
||
|
|
2ADD 3 |
||
|
3 |
|
||
|
|
5-4. |
||
|
|
|
||
(STD) |
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 JPN |
|||||
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
||||||||||
(1) |
|
|
|
|
|
|
4 0.1/0.5/1/5/10/ |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
00.00.01/ |
||||
|
|
|
1 |
|
|
|
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|
|
1: |
|
|
00.00.10/ |
||
|
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|
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|
|
00.01.00/ |
|||||
|
|
|
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|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
00.10.00 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
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|
|
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|
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|
|
|
|
|
|
|
|
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|
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|
|
0.05/2/20/25/ |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
50/100/ |
|||
|
|
|
|
5 |
|
|
|
|
|
|
|
01.00.00 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
( |
|
|
|
|
|
|
|
|
5 4 / |
||||||
|
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|
|
|
|
|
|
|
|||||||
) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
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|
|
4 ( |
|||||||
|
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|
|
)/ |
|||
|
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|
|
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|||||
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|
|
||||
|
|
|
|
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|
|
|
|
|
|
|
|
( ) |
|
|
|
6 |
|
|
X
(1.000000) |
6 0.100000 |
|
|
7 |
9.999999 |
|
( ) |
(OFF) |
|
7 OFF/LIN Err/ |
|
|
SEG Err |
|
|
|
|
5-5. |
|
|
|
|
|
|
|
(OFF)
(OFF)
8
9 |
|
|
8 OFF/1/2
9OFF/1/5/10/30/
60
|
|
( 0.001 mm ) |
||
|
|
|
||
|
|
|
LH71A / LH72 |
(J) 5-7 |
5.
5-3-2. (LH71A LH72)
ON |
* |
|
/ |
||
|
||
|
|
( 3 ) ( ) ( t )
|
|
|
|
1 LATHE |
|
2 |
|
|
|
(LH71A ) |
|
|
|
|
|
LH72 |
|
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1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
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|
2 |
|
|
2 2/3/2ADD3/ |
|
|
|
|
2ADD 3/ |
||
2 |
|
||||
|
2ADD3/ |
||||
|
|
|
|
||
|
3 |
|
|
2ADD 3 |
|
|
|
|
5-4. |
||
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
3 JPN |
|||
|
|||||
|
|
||||
|
|
|
|
||
|
|
|
4 0.1/0.5/1/5/10/ |
||
|
|
|
|
00.00.01/ |
|
|
1 |
1: |
|
00.00.10/ |
|
|
00.01.00/ |
||||
|
|
||||
|
|
00.10.00 |
|||
|
|
|
|
||
|
|
|
|
||
|
|
|
|
||
|
|
|
|
0.05/2/20/25/ |
|
5 |
|
|
50/100/ |
||
|
|
|
01.00.00 |
||
|
|
|
|
||
|
|
|
|
||
( |
|
|
5 4 / |
||
) |
|
|
4 ( |
||
|
|
||||
|
|
|
)/ |
||
|
|
|
|
||
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|
|
||
|
( ) |
|
|
X |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|||
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|||
|
|
||||
(1.000000) |
|
|
|
6 0.100000 |
|
|
7 |
|
|
||
|
|
|
9.999999 |
||
( ) |
|
|
(OFF) |
|
7 OFF/LIN Err/ |
|
|
|
SEG Err |
|
|
|
||
|
5-5. |
||
|
|
||
|
(OFF)
(OFF)
8
9 |
|
|
8 OFF/1/2
9OFF/1/5/10/30/
60
|
|
|
|
|
|
|
|
|
( 0.001 mm ) |
||||
|
||||||
|
|
|
|
|
||
|
|
5-8 (J) |
LH71A / LH72 |
5.
5-3-3. (LH71A LH72)
ON
|
|
|
|
|
|
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|||
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||||
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1 |
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1 |
|||||||
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|||||||||||
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( |
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|||||
) |
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/ |
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||||||||||
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( ) / |
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( ) |
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X |
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2 |
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|||||||
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||||||||
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(1.000000) |
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3 |
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|||
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|
( ) |
2 0.100000 |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
||||||||||
(OFF) |
|
|
|
|
|
|
|
|
9.999999 |
||||||
|
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|||||||||
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|
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3 |
OFF/LIN Err/ |
|
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||
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SEG Err |
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5-5. |
|
4 |
|
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4 |
OFF/1/2 |
(OFF) |
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5 |
|
5 |
OFF/1/5/10/30/ |
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|
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||
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|
60 |
|
(OFF) |
|
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|
|
|
|
|
|
|
( 0.001 mm ) |
LH71A / LH72 |
(J) 5-9 |
5.
5-4.
( ) 2
1
2
2
2 “”
3 “”t“”t“”
2
3
2 3 2+3
2 3 2_3
2 3 _2+3
2 3 _2_3
•2 3 2
5-10 (J) |
LH71A / LH72 |
5.
5-5.
::
OFF
5-5-1.
( ) t ( )
±600 um/m ( ) * ±1000 um/m
1 m 1 m
( ) ( )
1AB B
( ) L=250 mm
B
A
B
L
LH71A / LH72 |
(J) 5-11 |
5.
2A A“0”
0.001 mm
2 “0”
B
A
1 h
A
3AB C“0” A
|
MEMO |
|
_0.004 mm |
|
|
|
0.004 mm |
0
B
2
1
3 “0”
h |
C |
|
|
) h
5-12 (J) |
LH71A / LH72 |