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O P E R A T I N G M A N U A L
IC6
Thin Film Deposition Controller
PN 074-505-P1F
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IC6
Thin Film Deposition Controller
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IC6 Operating Manual
Table Of Contents
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Chapter 1
Introduction and Specifications
1.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
1.1.1 Related Manuals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
1.2 IC6 Safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.2.1 Definition of Notes, Cautions and Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.2.2 General Safety Information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1.2.3 Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4
1.2.4 Main Power Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
1.3 How To Contact INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.3.1 Returning Your IC6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.4 IC6 Specifications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.4.1 Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.4.2 Screens and Hierarchy . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.4.3 IC6 Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.3.1 Recipe Storage & Datalogging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.3.2 Sensor Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.3.3 Source Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.3.4 Material Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
1.4.3.5 Process Layer Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.4.3.6 General Global Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.4.4 Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-13
1.4.5 DAC Outputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-14
1.4.6 Logic Processing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-15
1.4.7 Relays / Inputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-15
1.4.8 Remote Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.4.9 Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.4.10 Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
TOC - 1
IC6 Operating Manual
1.4.11 Operating Environment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16 1.4.12 Storage Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16 1.4.13 Warm Up Period. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16 1.4.14 Size . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17 1.4.15 Installation Clearance Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.4.15.1 Connector Clearance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17 1.4.15.2 Cooling Clearance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17 1.4.16 Weight . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17 1.4.17 Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17 1.5 Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18 1.6 Parts and Options Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18 1.6.1 Base Configurations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18 1.6.2 Pre-installed Options or Spares . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18 1.6.3 Optional Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19 1.6.4 Oscillator Packages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19 1.6.5 Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19 1.6.6 Replacement Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19 1.7 Initial Power-On Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-20
Chapter 2
Installation and Interfaces
2.1 Location Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1 2.1.1 Sensor Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1 2.1.2 Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1 2.1.3 IC6 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4 2.2 Avoiding Electrical Interference . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4 2.2.1 Verifying/Establishing Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4 2.2.2 Connections to Earth Ground. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5 2.2.3 Minimizing Noise Pickup From External Cabling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6 2.3 Connecting the Controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7 2.3.1 Routing XIU Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7 2.3.2 Interface Cable Fabrication and Pin-Out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7 2.3.2.1 Source Control Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7 2.3.2.2 Crucible Indexer Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8 2.3.2.3 DAC Option Kit 781-504-G1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8 2.3.2.4 I/O Expansion Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9 2.3.2.5 RS-232C Communications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11 2.3.2.6 Isolated +24 V (dc) Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
TOC - 2
PN 074-505-P1F
PN 074-505-P1F
IC6 Operating Manual
Chapter 3
Operation
3.1 Front Panel Controls. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Rear Panel Interfaces. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
3.3 Displays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
3.3.1 Main Menu Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
3.3.2 Operate. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6
3.3.3 Sensor Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
3.3.3.1 Sensor Information Rate/Xtal Display Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
3.3.3.2 Crystal Life and Starting Frequency . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
3.3.3.3 Percent Life Auto-Zero . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
3.3.3.3.1Function Key Selection Choices for the
Sensor Information Rate/Xtal Display. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12 3.3.3.4 Sensor Information Type/Freq Display Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13 3.3.3.4.1 TEST XIU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14 3.3.4 Sensor Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14 3.3.5 Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-16 3.3.6 Material. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17 3.3.6.1 Overview Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17 3.3.6.2 Source Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17 3.3.6.3 Sensor Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17 3.3.6.4 Pre/Post Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-18 3.3.6.5 Deposit Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-18 3.3.6.6 Lib A-Hf, Lib Hf-Sc, Lib Sc-Z Sub-Displays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19 3.3.7 Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19 3.3.7.1 Overview Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19 3.3.7.2 Current Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-20 3.3.7.3 1 - 10, 11 - 20 etc. Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-20 3.3.8 General. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-20 3.3.8.1 Process Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-20 3.3.8.2 DACs Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22 3.3.8.3 Comm Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22 3.3.8.4 Message Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22 3.3.8.5 Date/Time Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22 3.3.8.6 Test Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22 3.3.8.7 Lock Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22 3.3.8.8 Audio/Visual Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23 3.3.9 Digital I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23 3.3.10 Logic . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24 3.3.11 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
TOC - 3
IC6 Operating Manual
3.3.12 Counter / Timer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24 3.3.13 USB Storage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24 3.4 Process Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25 3.4.1 Defining a Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25 3.4.2 Executing a Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27 3.4.3 Pre-conditioning a Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29 3.4.4 Co-deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29 3.4.5 Multiple Layer Starts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30 3.4.6 Automating a Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30 3.5 State Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32 3.6 Special Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34 3.6.1 Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34 3.6.1.1 XtalTwo (CrystalTwo) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35 3.6.1.2 XtalSix (CrystalSix). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-36 3.6.1.3 Xtal12 (Crystal12). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-36 3.6.1.4 Generic Sensor Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-37 3.6.2 Source/Crucible Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-37 3.6.2.1 Example: Programming Turret Source Crucible Selection. . . . . . . . . . . . . 3-38 3.6.3 Auto-Z. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-39 3.6.4 Auto Tune — Optimizing the Control Loop. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40 3.6.5 Rate Watcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40 3.6.6 Handheld Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-41 3.6.6.1 Determining Soak Power with the Handheld Controller . . . . . . . . . . . . . . . 3-41 3.6.7 Test Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42 3.6.7.1 Standard or Time Compressed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42 3.6.7.2 Advanced Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42 3.6.8 USB Storage Device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42 3.6.9 Lock and Access Codes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-43 3.6.10 Datalog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-43 3.6.11 DAC Monitoring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-46
Chapter 4
Sensor & Source Setup
4.1 Sensor Setup Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.1 Sensor Display Navigation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.2 Sensor Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.2 Source Setup Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.2.1 Source Navigation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.2.2 Source Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.3 DAC Output Selection Rules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
TOC - 4
PN 074-505-P1F
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IC6 Operating Manual
Chapter 5
Material Setup
5.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1.1 Material Screen Overview Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1.2 Material Definition. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.1.3 Material Screen Source Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.1.4 Material Screen Sensor Parameters Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.1.5 Pre/Post Screen Deposit Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
5.1.6 Post Deposit Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15
5.1.7 Deposit Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-16
Chapter 6
Process Setup
6.1 Process Setup Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1 6.2 Overview Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1 6.3 Curr(ent) Proc(ess) Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2 6.4 Process Layers 1 - 10 etc. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3 6.4.1 Layer Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3 6.4.1.1 Layer Parameter Editing. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3 6.4.1.2 Layer Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4 6.5 Special Layer Parameter Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5 6.5.1 Skip Deposit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
Chapter 7
General Parameters
7.1 General Setup Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2 General Screen Process Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.3 DACs Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.4 COMM Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
7.5 MESSAGE Page Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
7.6 DATE / TIME Set Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-7
7.7 TEST Page Set Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-8
7.8 LOCK Page Code Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-9
7.9 AUDIO / VISUAL Page Set Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
Chapter 8
Digital I/O
8.1 Digital I/O Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.2 All Input Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.3 All Output Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
8.4 I/O Board Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-3
8.4.1 Output Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-3
TOC - 5
IC6 Operating Manual
Chapter 9
Logic Statement Setup
9.1 Logic Statement Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-1
9.2 Editing the Logic Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
9.2.1 Logic Statement Groups. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-3
9.2.2 Logic Statement Editing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-4
9.2.3 AND/OR and ON Logic Connectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-6
9.2.3.1 ON Operator. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-6
9.3 IF Event Definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-7
9.4 THEN Action Definitions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-16
9.5 Logic Statement Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-20
Chapter 10 Remote Communications
10.1 Remote Communication Configuration Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1 10.2 Physical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1 10.2.1 RS-232C Serial Port. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2 10.2.2 TCP/IP Ethernet Port . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2 10.2.2.1 Network Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2 10.2.2.2 How to Set Up the Network Protocol on the PC. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3 10.3 Message Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6 10.3.1 Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6 10.3.1.1 Command Packet (Host to IC6 Message) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6 10.3.1.2 Response Packet (IC6 to Host Message) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8 10.3.1.3 Timeouts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9 10.3.2 Data Type Codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9 10.3.2.1 REAL_xXx and REAL_xFx. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10 10.3.2.2 TIME. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10 10.3.2.3 ENCODE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10 10.3.2.4 INTEGER . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10 10.3.2.5 LOCKCODE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10 10.4 Communication Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-11 10.4.1 Query and Update Commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-11 10.4.2 Status Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12 10.4.3 HELLO Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12 10.4.4 Query Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12 10.4.5 Update Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-13 10.4.6 Query General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-14 10.4.7 Update General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-14 10.4.8 Query Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18 10.4.9 Update Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18
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IC6 Operating Manual
10.4.10 Query Process Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18 10.4.11 Update Process Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18 10.4.12 Query Logic Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-19 10.4.13 Update Logic Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-21 10.4.14 IC6 Event List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-21 10.4.15 IC6 Action List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-24 10.4.16 Query Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-26 10.4.17 Update Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-26 10.4.18 Query Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-35 10.4.19 Update Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-35 10.4.20 Query Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-35 10.4.21 Update Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-35 10.4.22 Query Process Layer Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-36 10.4.23 Update Process Layer Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-36 10.4.24 Query Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-37 10.4.25 Update Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-37 10.4.26 Query Output Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-39 10.4.27 Update Output Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-39 10.4.28 Query User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-39 10.4.29 Update User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-39 10.4.30 Status General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-40 10.4.31 Status Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-43 10.4.32 Status Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-45 10.4.33 Remote General Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-47 10.4.34 Remote Layer Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-50 10.4.35 IC6 Communications Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-52
10.4.35.1 General Command Packet Format. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-52 10.4.35.2 General Response Packet Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-52 10.4.35.3 HELLO Command, ASCII name and version . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-52 10.4.35.4 Query General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-53 10.4.35.5 Update General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-53 10.4.35.6 Query Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-53 10.4.35.7 Update Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-53 10.4.35.8 Query Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-53 10.4.35.9 Update Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-54
10.4.35.10 Query Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-54 10.4.35.11 Update Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-54 10.4.35.12 Query Process Layer Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-54 10.4.35.13 Update Process Layer Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-55 10.4.35.14 Query Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56
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IC6 Operating Manual
10.4.35.15 Update Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56 10.4.35.16 Query Process Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56 10.4.35.17 Update Process Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56 10.4.35.18 Query Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56 10.4.35.19 Update Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-57 10.4.35.20 Query Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-57 10.4.35.21 Update Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-57 10.4.35.22 Query Output Type. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-57 10.4.35.23 Update Output Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-57 10.4.35.24 Query User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58 10.4.35.25 Update User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58 10.4.35.26 Query Logic Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58 10.4.35.27 Update Logic Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-59 10.4.35.28 Status General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-59 10.4.35.29 Status Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-60 10.4.35.30 Status Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-60 10.4.35.31 Remote General Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-60 10.4.35.32 Remote Layer Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-60 10.4.35.33 Example for Interpreting Float Responses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-61
Chapter 11
Applications
11.1 Multiple Sensor Deposition Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
11.1.1IC6 Parameters and Corrections for
Multiple Sensor Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3 11.2 Trend Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-5 11.2.1 IC6 Parameters Associated with the Trend Analysis Feature . . . . . . . . . . 11-5 11.3 IC6 Cygnus Emulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-6 11.4 IC6 Four & Six Layer (Cygnus Emulation) Configuration . . . . . . . . . . . . . . 11-7 11.4.1 Configure Sensors 1 to 6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8 11.4.2 Configure Sources 1 to 6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8 11.4.3 Configure six Materials. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8 11.4.4 Configure the Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9 11.4.5 General Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9 11.4.6 Logic Functions Table . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9 11.4.7 State Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10 11.4.7.1 NonDepCntl State . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10 11.4.7.2 Suspend . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10 11.4.7.3 Idle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
TOC - 8
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IC6 Operating Manual
Chapter 12
Maintenance and Calibration Procedures
12.1 Importance of Density, Tooling and Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
12.2 Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
12.3 Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-2
12.4 Laboratory Determination of Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-3
12.5 AutoTuning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-5
12.5.1 AutoTune Preparation Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-5
12.5.2 AutoTune Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-8
12.5.3 AutoTune Manual Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-9
12.5.4 AutoTune Tuning Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-10
12.5.5 AutoTune Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-10
12.6Determining Cross Talk Calibration
For Co-Deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-13
12.6.1 Procedure Set-Up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-14
12.6.1.1 Cross Talk Calibration Procedural Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-14
12.6.1.2 Cross Talk Calibrate Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-16
12.6.2 Cross Talk Calibration MANUAL display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17
12.6.2.1 Function Key Selection Choices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17
12.6.3 Cross Talk Calibration CALIBRATE display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-18
12.6.4 Cross Talk Calibration SELECT display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-19
12.6.4.1Function Key Selection Choices for
Cross Talk Calibration Select . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-19
12.7 Source Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-20
12.7.1 Source Maintenance Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
12.7.1.1 Crucible Rotation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
12.7.1.2 Toggle Sensor and Source Shutter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
12.7.1.3 Start/Stop Manual Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
12.8 System Status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-22
Chapter 13
Counters & Timers
13.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-1
Chapter 14
USB Storage
14.1 File Handling (USB) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-1
14.1.1 USB Storage Devices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-1
14.2 Directory Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-1
14.3 Configuration Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-2
14.4 Data Logs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-3
14.5 Screen Captures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-4
TOC - 9
IC6 Operating Manual
Chapter 15
Troubleshooting, Status and Error Messages
15.1 Status Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-1 15.2 User Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-5 15.3 AutoTune and Calibration Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-6 15.4 STOP messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-7 15.5 Transient Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-9 15.6 Input Error Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-14 15.7 Troubleshooting Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-16
15.7.1 Troubleshooting the IC6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-17 15.7.2 Troubleshooting Transducers/Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-19 15.7.3 Troubleshooting Computer Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-23 15.8 Replacing the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-25 15.8.1 Front Load . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-26 15.8.2 Cool Drawer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-27 15.8.3 Shuttered and Dual Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-28 15.8.4 Bakeable Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-28 15.8.5 Sputtering Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-29 15.8.6 Crystal Snatcher. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-30 15.8.7 CrystalSix (XtalSix). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-30
15.9Crystal Sensor Emulator
IPN 760-601-G1 or 760-601-G2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-31 15.9.1 Diagnostic Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-32 15.9.1.1 Measurement System Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-32
15.9.1.2Feedthrough Or In-Vacuum Cable
Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-33
15.9.1.3Sensor Head Or Monitor Crystal
Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-34
15.9.1.4System Diagnostics Pass But
Crystal Fail Message Remains. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-35
15.9.2 % XTAL Life . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-35
15.9.3 Sensor Cover Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-36
15.9.3.1 Compatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-36
15.9.3.2 Incompatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-36
15.9.4 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-37
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IC6 Operating Manual
Chapter 16
Measurement and Control Theory
16.1 Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-1
16.1.1 Monitor Crystals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-2
16.1.2 Period Measurement Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-4
16.1.3 Z-match Technique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-5
16.1.4 Active Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-6
16.1.5 ModeLock Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-7
16.1.6 Auto-Z Theory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-9
16.1.7 Control Loop Theory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-11
Appendix A
Material Table
A.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .A-1
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IC6 Operating Manual
Chapter 1
Introduction and Specifications
1.1 Introduction
The IC6 is a closed loop process controller designed for use primarily in physical vapor deposition. The IC6 monitors and/or controls the rate and thickness of the deposition of thin films. Deposition rate and thickness are inferred from the frequency change induced by mass added to a quartz crystal. This technique positions sensors in the path between or to the side of the source of the vaporized material and the target substrate. The sensor incorporates an exposed oscillating quartz crystal whose frequency decreases as material accumulates. The change in frequency provPN 074-505-P1Fides information to determine rate and thickness and to continually control the evaporation power source. With user programmed time, thickness and power limits and with desired rates and material characteristics, the IC6 is capable of automatically controlling the process in a precise and repeatable manner. User interaction is accomplished via the IC6 front panel or remote communication and consists of selection or entry of parameters to define the process.
A complete system consists of a main electronics unit also called the IC6, sensor heads and a crystal interface unit (XIU) for each attached sensor. These items are generally bundled at the factory and are also sold separately.
This IC6 Operating Manual provides user information for installing, programming and operating the main electronics unit.
When reading the IC6 Operating Manual, please pay particular attention to the Notes, Cautions, and Warnings found throughout the text. The Notes, Cautions, and Warnings are defined in section 1.2.1 on page 1-2.
You are invited to comment on the usefulness and accuracy of this manual by visiting our website at www.inficon.com.
1.1.1 Related Manuals
Sensors are covered in separate manuals.
074-154 - Front Load Bakeable
074-155 - CrystalSix (XtalSix)
074-398 - Crystal12 (Xtal12)
074-156 - Front Load Single/Dual
074-157 - Sputtering
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IC6 Operating Manual
1.2 IC6 Safety
1.2.1 Definition of Notes, Cautions and Warnings
When using this manual, please pay attention to the Notes, Cautions, and Warnings found throughout. For the purposes of this manual they are defined as follows:
NOTE: Pertinent information that is useful in achieving maximum IC6 efficiency when followed.
CAUTION
Failure to heed these messages could result in damage to the IC6.
WARNING
Failure to heed these messages could result in personal injury.
WARNING - Risk Of Electric Shock
Dangerous voltages are present which could result in personal injury.
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IC6 Operating Manual
1.2.2 General Safety Information
WARNING - Risk Of Electric Shock
Do not open the IC6 case! There are no user-serviceable components within the IC6 case.
Dangerous voltages may be present whenever the power cord or external input/relay connectors are present.
Refer all maintenance to qualified personnel.
CAUTION
This IC6 contains delicate circuitry which is susceptible to transient power line voltages. Disconnect the line cord whenever making any interface connections. Refer all maintenance to qualified personnel.
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IC6 Operating Manual
1.2.3 Earth Ground
The IC6 is connected to earth ground through a sealed three-core (three-conductor) power cable, which must be plugged into a socket outlet with a protective earth terminal. Extension cables must always have three conductors including a protective earth terminal.
WARNING - Risk Of Electric Shock
Never interrupt the protective earth circuit.
Any interruption of the protective earth circuit inside or outside the IC6, or disconnection of the protective earth terminal is likely to make the IC6 dangerous.
This symbol indicates where the protective earth ground is connected inside the IC6. Never unscrew or loosen this connection.
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IC6 Operating Manual
1.2.4 Main Power Connection
WARNING - Risk Of Electric Shock
This IC6 has line voltage present on the primary circuits whenever it is plugged into a main power source.
Never remove the covers from the IC6 during normal operation.
There are no operator-serviceable items within this IC6.
Removal of the top or bottom covers must be done only by a technically qualified person.
In order to comply with accepted safety standards, the IC6 must be installed into a rack system which contains a mains switch. This switch must break both sides of the line when it is open and it must not disconnect the safety ground.
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IC6 Operating Manual
1.3 How To Contact INFICON
Worldwide customer support information is available under Support at www.inficon.com where you can contact:
a Technical Support Engineer with questions regarding applications for and programming the IC6.
a Service Engineer with questions regarding troubleshooting, diagnosing or repairing a defective IC6.
Sales and Customer Service, to find the INFICON Sales office nearest to you.
Repair Service, to find the INFICON Service Center nearest to you.
If you are experiencing a problem with your IC6, please have the following information readily available:
the serial number and firmware version for your IC6,
a description of your problem,
an explanation of any corrective action that you may have already attempted,
and the exact wording of any error messages that you may have received.
1.3.1Returning Your IC6
Do not return any component of your IC6 to INFICON without first speaking with a Customer Support Representative. You must obtain a Return Material Authorization (RMA) number from the Customer Support Representative.
If you deliver a package to INFICON without an RMA number, your package will be held and you will be contacted. This will result in delays in servicing your IC6.
Prior to being given an RMA number, you may be required to complete a Declaration Of Contamination (DOC) form if your sensor has been exposed to process materials. DOC forms must be approved by INFICON before an RMA number is issued. INFICON may require that the sensor be sent to a designated decontamination facility, not to the factory.
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IC6 Operating Manual
1.4 IC6 Specifications
1.4.1 Measurement
Measurement Frequency Range . . . 6.0 to 4.5 MHz (fixed) Frequency Resolution . . . . . . . . . . . ± 0.0035 Hz @ 6 MHz
Thickness and Rate
Resolution/Measurement . . . . . . . . . ± 0.00433 Å @ tooling/density = 100/1 Fundamental frequency = 6 MHz
Measurement Interval. . . . . . . . . . . . 0.10 s
Thickness Accuracy . . . . . . . . . . . . . 0.5% typical, (dependent on process conditions, especially sensor location, material stress, temperature and density)
Frequency Accuracy. . . . . . . . . . . . . ± 2 ppm 0 to 50°C Measurement Frequency . . . . . . . . . 10 Hz
Measurement Technique . . . . . . . . . ModeLock with Auto-Z
User Interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . LCD and limited membrane keypad. All parameters accessible through computer communications. Multiple message areas for indication of states and detailed indication of abnormal and stop conditions.
1.4.2 Screens and Hierarchy
a) Navigation . . . . . . . . . . . . . . . . . . Menu driven, four soft keys
b) Structure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Separate screens dedicated to 1) Operate
2) Sensor Information
3) Sensor Parameters
4) Source Parameters
5) Material Parameters
6) Process Parameters
7) General Parameters
8) Digital I/O Display
9) Logic
10) Maintenance
11) Counter/Timer
12) USB Storage
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IC6 Operating Manual
1.4.3 IC6 Features
1.4.3.1 Recipe Storage & Datalogging
USB Memory Device
1.4.3.2 Sensor Parameters
Up to 8 sensors can be averaged together (Sensor) Shutter Output . . . . . . . . . . 0 to 38
Sensor Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Single, XtalTwo, XtalSix, Xtal12, Generic (Sensor) Switch Output . . . . . . . . . . 0 to 38
Auto-Z . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Yes/No
# of Positions (for Generic Sensor type) . . . . . . . . . 1 to 12
# of Pulses (for Generic Sensor type) . . . . . . . . . . . 1 to 10 Pulse On (Time for Generic Sensor type) . . . . . . . . 0.1 to 9.9 s Pulse Off (Time for Generic Sensor type) . . . . . . . . 0.1 to 9.9 s Recorder Output. . . . . . . . . . . . . . . . 0 to 12
Recorder Function . . . . . . . . . . . . . . Rate, Thickness, RateDeviation Recorder Range. . . . . . . . . . . . . . . . 0 to 99999
1.4.3.3 Source Parameters
Up to 6 sources may be controlled at the same time DAC Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0 to 12 (Source) Shutter Output . . . . . . . . . . 0 to 38
Crucible Selection . . . . . . . . . . . . . . Turret is indexed to selected position on a Start. Turret feedback is checked whenever a source is started. Range is from 1 to number of crucibles.
Number of Crucibles. . . . . . . . . . 1, 4, 8, 16, 32 or 64 Crucible Output . . . . . . . . . . . . . 0 to 38
Turret Feedback . . . . . . . . . . . . . Yes / No Turret Input. . . . . . . . . . . . . . . . . 0 to 28
Turret Delay . . . . . . . . . . . . . . . . 2 to 180 s (Time-out period with feedback, delay time without feedback)
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IC6 Operating Manual
1.4.3.4 Material Parameters
32 materials can be specified and given unique names (15 character max.).
Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . |
0.100 to 99.999 g/cm3 |
Z-ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . |
0.100 to 15.000 |
Master Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . |
1.0 to 999.9% |
Control Loop types . . . . . . . . . . . . . . |
Non-PID, PI, PID |
Process Gain . . . . . . . . . . . . . . . . . . |
0.01 to 999.99 Å/s/%Power |
Time Constant . . . . . . . . . . . . . . . . . |
0.010 to 9999.99 s |
Dead Time . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . |
0.010 to 9999.99 s |
Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . |
1 to 6 |
Maximum Source Power . . . . . . . . . |
0.01 to 99.99% |
Minimum Source Power . . . . . . . . . . |
0.00 to 99.98% |
Maximum Power Option . . . . . . . . . . |
Continue, Post-Dep(osition), Stop Proc(ess), |
|
Suspend Mat(erial) — can be selected for |
|
each Material individually |
Power Ramps. . . . . . . . . . . . . . . . . . |
3 per Material |
Power Level . . . . . . . . . . . . . . . . |
0.00 to 99.99% |
Rise Time . . . . . . . . . . . . . . . . . . |
00:00 to 99:59 min:s |
Soak Time. . . . . . . . . . . . . . . . . . |
00:00 to 99:59 min:s |
Auto Soak 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . |
Yes / No |
Deposit After Pre-Deposit. . . . . . . . . |
Yes / No |
|
Yes = go to Deposit |
|
No = go to Non-Deposit Rate Control |
(Control) Delay Option . . . . . . . . . . . |
None, Shutter, Control, Both |
Control Delay Time. . . . . . . . . . . . . . |
00:00 to 99:59 min:s |
Shutter Delay Accur(acy) . . . . . . . . . |
1 to 99% |
Transfer Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . |
0 to 8 |
Transfer Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . |
1 to 999.9% |
Feed Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . |
0.00 to 99.99% |
Feed Ramp Time . . . . . . . . . . . . . . . |
00:00 to 99:59 min:s |
Feed Time . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . |
00:00 to 99:59 min:s |
1 - 9
IC6 Operating Manual
Idle Ramp. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . |
1 per Source |
Idle Power . . . . . . . . . . . . . . . . . |
0.00 to 99.99% |
Idle Ramp Time . . . . . . . . . . . . . |
00:00 to 99:59 min:s |
Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . |
0.000 to 999.9 Å/s |
Time Limit (in Deposit) . . . . . . . . . . . |
00:00 to 99:59 min:s |
Rate Filter Time . . . . . . . . . . . . . . . . |
0.1, 0.4, 1.0, 4.0, or 10.0, 20.0, 30.0 s |
Time Power Averaging Time . . . . . . |
0 to 30 minutes |
Ion Assist Deposit . . . . . . . . . . . . . . |
Yes/No |
On Final Thickness . . . . . . . . . . . . . |
Continue, Post-Dep(osit), |
|
NonDep(osit)Cont(rol) |
New Rate while in Deposit . . . . . . . . |
2 Rate Ramps per Material |
New Rate 1 or 2 . . . . . . . . . . . . . |
0.000 to 999.9 Å/s |
Start Ramp 1 or 2 . . . . . . . . . . . . |
0.000 to 999.9 kÅ |
Ramp Time 1 or 2. . . . . . . . . . . . |
00:00 to 99:59 min:s |
RateWatcher® . . . . . . . . . . . . . . . . |
Sample and Hold Feature |
(RateWatcher) Option. . . . . . . . . |
Yes/No |
(RateWatcher) Time . . . . . . . . . . |
00:00 to 99:59 min:s |
(RateWatcher) Accuracy . . . . . . |
1 to 99% |
Multipoint . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . |
Yes/No (average up to 8 sensors) |
Aggregate Multiply . . . . . . . . . . . . . . |
Yes/No |
(Sensor) Failure Action . . . . . . . . . . |
Unused, PostD(e)p(osit), Stop, Susp(e)nd, |
|
TimeP(o)w(er) |
(Sensor) Failure Trigger . . . . . . . . . . |
OnFail (when this sensor fails) or Last (when |
|
the last sensor fails) |
(Sensor) Weight . . . . . . . . . . . . . . . . |
1 to 400.0% |
(Sensor) Tooling (Factor) . . . . . . . . . |
1.0 to 999.9% |
CrystalTwo Tooling . . . . . . . . . . . . . . |
1.0 to 999.9% |
Cal(ibration) Thickness . . . . . . . . . . |
0.000 to 999.9 kÅ (for Crosstalk correction) |
CrystalSix (XtalSix) and Crystal12 (Xtal12) sensor selections to specify a subset of available crystal positions:
Xtal Position First . . . . . . . . . . . . |
0 to 6 (XtalSix) or 12 (Xtal12) |
Xtal Position Last . . . . . . . . . . . . |
0 to 6 (XtalSix) or 12 (Xtal12) |
1 - 10
PN 074-505-P1F
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