Agilent Technologies 4UHV User Manual
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
A
gilent 4UHV Ion Pump
Controller
Models
929-9010, 929-9011, 929-9020, 929-9021,
929-9022, 929-9101, 929-9200, 929-9201,
929-9210, 929-9211, 929-9212, 929-9213,
929-9400, 929-9401, 929-9402
Manuale di Istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de Mode D’Emploi
User Manual
87-900-137-01 (A)
03/2011
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2011
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and retrieval or translation into a
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Manual Part Number
Publication Number: 87-900-137-01 (A)
Edition
Edition 03/2011
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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notice, in future editions. Further, to
the maximum extent permitted by
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with regard to this manual and any
information contained herein,
including but not limited to the
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covering the material in this
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Technology Licenses
The hardware and/or software
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If software is for use in the
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Software is delivered and licensed as
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1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and nonDOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
CAUTION
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
WARNING
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
indicated conditions are
until the
fully understood and met.
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
4UHV Ion Pump Controller
4UHV Ion Pump Controller
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 3/104
4UHV Ion Pump Controller
4/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
Contents
Contents
1 Istruzioni per l’uso 7
Informazioni Generali 8
Immagazzinamento 9
Preparazione per l’installazione 10
Installazione 11
Uso 13
Manutenzione 18
2 Gebrauchsanleitung 19
Allgemeines 20
Lagerung 21
Vor der Installation 22
Installation 23
Gebrauch 25
Wartung 30
3 Mode d’emploi 31
Indications Generales 32
Emmagasinage 33
Preparation pour l’Installation 34
Installation 35
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 5/104
Contents
Utilisation 37
Entretien 42
4 Instructions for Use 43
General Information 44
Storage 45
Prior to Installation 46
Installation 47
Usage 49
Maintenance 54
5 Technical Information 55
4UHV Controller Description 57
Specifications 59
Operating Mode 65
Start-Up 67
Serial 73
Display and Menus 91
Orderable Parts 98
6/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
1 Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali 8
Immagazzinamento 9
Preparazione per l’installazione 10
Installazione 11
Uso 13
Accensione del controller dal
pannello frontale (modalità LOCAL) 15
Manutenzione 18
Smaltimento 18
Traduzio
ne delle istruzioni originali
7/104
Istruzioni per l’uso
A
1
Informazioni Generali
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L’utente
deve leggere attentamente il presente Manuale di istruzioni ed ogni
altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima
dell’utilizzo dell’apparecchiatura. La Agilent declina ogni
responsabilità dovuta alla mancata osservanza totale o anche
parziale delle istruzioni fornite in questo documento, all’uso
improprio dell’apparecchiatura da parte di personale non addestrato,
all’esecuzione di interventi non autorizzati o alla mancata osservanza
delle specifiche normative nazionali.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell’operatore durante l’utilizzo
dell’apparecchiatura. Nel appendice “Technical Information” vengono
fornite delle informazioni dettagliate.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
ATTENZIONE!
VVERTENZA!
NOTA
8/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
Immagazzinamento
Per trasportare e immagazzinare il controller occorre osservare le
seguenti condizioni ambientali:
Temperatura: da -20 °C a +70 °C
Umidità relativa: da 0 a 95% (senza condensa)
Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 9/104
Istruzioni per l’uso
1
Preparazione per l’installazione
Preparazione per l’installazione
Il controller viene fornito in un imballo protettivo speciale; nel caso
in cui si presentassero segni di danni che potrebbero essere stati
causati durante il trasporto, contattare l’ufficio vendite locale.
Durante l’operazione di disimballo, prestare particolare attenzione a
non lasciar cadere il controller e a non sottoporlo ad urti.
Il materiale dell’imballo è completamente riciclabile e risponde alla
direttiva CEE 85/399 per la tutela dell’ambiente.
Figura 1 Imballo del controller
10/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
A
Installazione
Istruzioni per l’uso
Installazione
1
VVERTENZA!
ATTENZIONE!
Per la sicurezza dell’operatore il controller 4UHV deve essere alimentato con
un cavo di alimentazione a 3 fili dotato di una spina approvata a livello
internazionale. Utilizzare questo cavo e spina insieme ad una presa
adeguatamente connessa a terra per evitare scosse elettriche e soddisfare i
requisiti delle norme CE. Le alte tensione che si sviluppano nel controller
possono provocare gravi lesioni o la morte.
Dopo lo spegnimento dell’unità rimane dell’energia residua all’interno del
controller per un po’ di tempo.
Attendere circa 1 minuto per essere sicuri che l’energia residua sia stata
dissipata.
Il controller può essere utilizzato sia come unità da tavolo che come modulo
installato in un rack. In ogni caso deve essere posizionato in modo tale che l’aria
possa circolare liberamente attraverso i fori di areazione presenti sulla copertura.
Nel caso in cui il controller viene utilizzato come modulo rack, DEVE essere
installato in un’adattatore alto quattro unità rack per evitare che cada all’interno
del rack stesso (vedere la tabella delle parti ordinabili). Il pannello frontale del
controller 4UHV non è previsto per reggere il peso dell’unità.
Non installare o utilizzare il controller in ambienti esposti ad agenti atmosferici
(pioggia, neve, ghiaccio), nella presenza di polvere, gas corrosivi o in ambienti
esplosivi o ad alto rischio di infiammabilità.
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 11/104
Istruzioni per l’uso
1
Installazione
ATTENZIONE!
NOTA
ATTENZIONE!
Il controller 4UHV appartiene alla seconda categoria di installazione (o
sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il
dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria.
Il controller 4UHV ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione
seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte
sotto tensione sia accessibile. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo
connesso al controller 4UHV abbia un isolamento adeguato anche in condizione di
guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1.
Nel caso in cui il controller viene installato in un rack, rimuovere i quattro piedini in
modo che venga posizionato con almeno 30 mm di spazio sotto e sopra.
In casi rari di guasto il controller potrebbe emettere fumo. Se il cliente usa il
controller in camere pulite è necessario prevedere adeguate protezioni per evitare
di contaminare l’ambiente con l’eventuale fumo.
Durante il funzionamento, occorre che siano rispettate le seguenti
condizioni ambientali:
Temperatura: da 0 °C a +40 °C
Umidità relativa: 0 - 90% (senza condensa)
12/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
A
Uso
Istruzioni per l’uso
Uso
In questo paragrafo vengono riportate le principali procedure
operative. Per ulteriori informazioni e per le procedure riguardanti
collegamenti o particolari opzioni fare riferimento al paragrafi
“UTILIZZO” nell’appendice “Technical Information”.
Prima di utilizzare il controller effettuare tutti i collegamenti elettrici
e fare riferimento al manuale della pompa collegata.
1
VVERTENZA!
Accendere i canali di alta tensione solo se connessi alle pompe ioniche
tramite gli appositi cavi di alta tensione dotati del cavo di interlock.
L’uso del controller è inteso con cavo di alta tensione provvisto di interlock.
4UHV
Figura 2 Collegamenti delle masse
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 13/104
Istruzioni per l’uso
1
Uso
NOTA
Se si vuole utilizzare un cavo HV senza interlock nel sacchetto accessori è
fornito un apposito kit di cavetti per interlock preassemblati. Con questo utilizzo
si perde la funzionalità di sicurezza offerta dall’utilizzo dell’interlock.
Fare riferimento alla seguente figura per montare correttamente il
cavo di interlock fornito nel sacchetto accessori, qualora si voglia
rinunciare al cavo di alta tensione dotato di interlock.
Figura 3
NOTA
14/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
L’interlock del cavo viene chiuso sulla massa della pompa. Se il collegamento è
interrotto l’alta tensione viene disabilitata.
L’interlock del cavo viene chiuso sulla massa della pompa. Se il
collegamento è interrotto l’alta tensione viene disabilitata. Per
collegare il controller alla pompa, utilizzare un cavo HV dotato di
interlock (vedere nelle parti ordinabili).
Istruzioni per l’uso
Uso
Nella figura “Collegamenti delle masse” sono riportati i corretti
legamenti delle masse, del cavo HV tra il controller e la pompa e
col
del cavo di interlock.
1
ATTENZIONE!
Accensione del controller dal pannello frontale (modalità LOCAL)
NOTA
Se si monta il cavo di interlock fornito nel sacchetto accessori fare molta
attenzione affinchè nessuna parte cada accidentalmente all’interno del
controller.
Per accendere l’alta tensione (HV) occorre che l’interlock del cavo HV (cable
interlock) sia chiuso (connettore inserito).
Procedere come segue per alimentare il controller e abilitare la
tensione sui connettori di alta tensione (H.V.):
Spegnere il controller.
Collegare il cavo HV e l’interlock del cavo H.V. nei relativi
connettori sul pannello posteriore.
Selezionare la modalità LOCAL premendo per breve tempo il
tasto “MODE” fino a quando appare sul display la scritta LOCAL.
Tenere premuto il pulsante HV ON/OFF (2) mentre si preme il
pulsante HV-x (3,4,5,6) dove x è il numero del canale che si vuole
accendere o spegnere.
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 15/104
Istruzioni per l’uso
1
Uso
(2)
(1) (3) (4)
(5) (6)
Figura 4 Front Panel 4UHV Ion Pump Controller
Figura 5 Rear Panel 4UHV Ion Pump Controller
Per spegnere i canali HV:
Tenere premuto il pulsante HV ON/OFF (2) mentre si preme il
pulsante HV-x (3,4,5,6) dove x è il numero del canale che si vuole
accendere o spegnere.
Per ulteriori dettagli sull’uso del controller e sulla descrizione delle
informazioni del display fare riferimento alla sezione “Technical
Information”.
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Istruzioni per l’uso
A
Uso
1
VVERTENZA!
In condizioni di emergenza per spegnere l’unità e tutti i canali alta tensione
disattivare l’interruttore generale (1) posto sul pannello anteriore.
Mettendo in off l’interruttore generale si spegnerà l’unita HV.
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 17/104
Istruzioni per l’uso
1
Manutenzione
Manutenzione
Il controller 4UHV non richiede alcun intervento di manutenzione.
Qualsiasi tipo di intervento sull’unità deve essere eseguito da
personale tecnico autorizzato. In caso di guasto è possibile usufruire
del servizio di riparazione Agilent o del "Agilent advanced exchange
service", che permette di ottenere un controller rigenerato in
sostituzione di quello guasto.
Qualora un controller dovesse essere rottamato, procedere nel
rispetto delle normative nazionali specifiche.
Smaltimento
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui
sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE
denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della
Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON
deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali,
ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata. Si
invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo,
sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di
raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e
condizioni contrattuali di vendita.
18/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
2 Gebrauchsanleitung
Allgemeines 20
Lagerung 21
Vor der Installation 22
Installation 23
Gebrauch 25
Einschalten des Controllers vo
Schalttafel (LOKAL-Modus) 28
Wartung 30
Entsorgung 30
etzung der Originalanleitungen
Übers
n der vorderen
19/104
Gebrauchsanleitung
2
Allgemeines
Allgemeines
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte
der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten
Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung - auch
teilweise - der enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch
durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und
Missachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden
Bestimmungen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen
für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts
aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "
Technical Information " enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
VORSICHT!
WARNUNG!
HINWEIS
20/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
Die Vorsichtshinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf
aufmerksam, dass bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen
können.
Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf bestimmte
Vorgänge oder Praktiken, die bei unkorrekter Ausführung schwere
Verletzungen hervorrufen können.
Die HINWEISE enthalten wichtige Informationen, die im Text hervorgehoben
werden.
Lagerung
Gebrauchsanleitung
Lagerung
Bei Transport und Lagerung der Controller müssen folgende
Umgebungsbedingungen eingehalten werden:
Temperatur: -20 °C bis +70 °C
Rel. Luftfeuchtigkeit: 0-95 % (nicht kondensierend)
2
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 21/104
Gebrauchsanleitung
2
Vor der Installation
Vor der Installation
Der Controller wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert.
Eventuelle Transportschäden müssen sofort der zuständigen
örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Das Verpackungsmaterial muss korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für
Umweltschutz.
Abbildung 1 Verpackung des Controllers
22/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
Installation
Gebrauchsanleitung
Installation
2
WARNUNG!
VORSICHT!
Zur Sicherheit des Controller-Bedieners muss der 4UHV an ein 3-DrahtSpeisekabel mit einem international anerkannten Stecker angeschlossen
sein. Dieses Kabel und dieser Stecker müssen an eine angemessen geerdete
Steckdose angeschlossen sein, um Stromschläge zu vermeiden und den
Anforderungen der CE-Normen gerecht zu werden. Die Hochspannungen, die
im Controller entstehen, können schwere Verletzungen oder den Tod
verursachen.
Nach Ausschalten des Geräts bleibt noch einige Zeit lang Reststrom im
Controller.
Warten Sie etwa 1 Minute, um sicher zu sein, dass der restliche Strom
dissipiert ist.
Der Controller kann auf einen Tisch oder ein Gestell montiert werden. In beiden
Fällen muß eine ungehinderte Zirkulation der Kühlluft durch die im Gehäuse
vorne und unten eingelassen Luftöffnungen gewährleistet sein.
Wenn der Controller in einem Gestell montiert wird, MUSS er in einer vier
Rackeinheiten hohen Adapter-Einheit installiert werden, um zu vermeiden, daß
der Controller nicht in das Gestell fällt (siehe dazu Tabelle der bestellbaren
Zubehörteile). Die vordere Schalttafel des 4 HV-Controllers ist nicht geeignet, das
gesamte Gewicht der Einheit zu tragen.
Der Controller darf nicht in Umgebungen installiert u/o benutzt werden, die
Witterungseinflüssen (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen
ausgesetzt sind und in denen Explosions- und erhöhte Brandgefahr besteht.
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 23/104
Gebrauchsanleitung
2
Installation
VORSICHT!
HINWEIS
VORSICHT!
Der Controller 4UHV gehört zu der zweiten Einbaukategorie (oder auch
Überspannung), die von der Norm EN 61010-1 geregelt ist. Schließen Sie daher
das Gerät an eine Stromleitung an, die dieser Kategorie gerecht wird.
Der Controller 4UHV hat Anschlüsse für die Ein-/Ausgänge und die
Serienkommunikation, die an externe Kreisläufe angeschlossen sein müssen, so
dass man zu keinem unter Strom stehenden Teil Zugriff hat. Vergewissern Sie
sich, dass die Isolierung des Gerätes, das an den Controller 4UHV angeschlossen
ist, auch bei Einzelstörungen, wie sie von der Vorschrift EN 61010-1 vorgesehen
sind, angemessen isoliert ist.
Wenn der Controller in einem Gestell installiert werden soll, müssen alle vier
Füße abmontiert und über- und unterhalb wenigstens 30 mm (1,2 Zoll) Platz
gelassen werden.
In seltenen Fällen könnte der Controller bei Störungen Rauch ausstoßen. Wenn
der Controller in sauberen Räumlichkeiten verwendet wird, muss er mit
angebrachten Schutzvorrichtungen versehen werden, um zu verhindern, dass die
Räumlichkeiten durch den Rauch verschmutzt werden.
Während des Betriebs müssen folgende Umgebungsbedingungen
eingehalten werden:
Temperatur: 0 °C to +40 °C
Rel. Luftfeuchtigkeit: 0 - 90 % (nicht kondensierend)
24/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
Gebrauch
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
In diesem Kapitel sind die wichtigsten Betriebsvorgänge aufgeführt.
Für weitere Hinweise bezüglich Anschluß und Montage des
bestellbaren Zubehörs verweisen wir auf das Kapitel "Gebrauch" im
Anhang zu "Technical Information". Vor Benutzung des Controllers
müssen sämtliche elektrischen Anschlüsse ausgeführt und die
Betriebsanleitung der angeschlossenen Pumpe durchlesen werden.
2
WARNUNG!
Schalten Sie die Hochspannungsleitungen erst ein, wenn diese mit Hilfe der
dafür bestimmten Hochspannungskabel des Interlock-Kabels an die
Ionenpumpen angeschlossen sind.
Der Gebrauch des Controllers muss unter Verwendung eines
Hochspannungskabels mit Interlock erfolgen.
4UHV KABEL PUMPE
LEITUNG
PUMPEN-ERDE
Abbildung 2 Erdung
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 25/104
Gebrauchsanleitung
2
Gebrauch
WARNUNG!
Soll ein HV-Kabel ohne Interlock zum Einsatz kommen, befindet sich in dem
Zubehörbeutel ein dafür bestimmtes Kabelset für vormontierte Interlock-Teile.
Bei diesem Gebrauch geht die Sicherheitsfunktion verloren, die man bei der
Interlock-Verwendung hat.
Sehen Sie sich folgende Abbildung genau an, um das im
Zubehörbeutel mitgelieferte Interlock-Kabel richtig zu montieren,
wenn auf das Hochspannungskabel mit Interlock verzichtet werden
soll.
ZAHNSCHEIBE
UNTERLEGSCHEIBE
FEDERRRING
SCHRAUBE
INTERLOCK-KABEL
1 oder 2 Stk.
RÜCKSEITE
Abbildung 3
HINWEIS
Die Verriegelung des Kabels wird auf der Masse der Pumpe geschlossen. Wenn
die Verbindung unterbrochen wird, wird die Hochspannung deaktiviert.
Die Verriegelung des Kabels wird auf der Masse der Pumpe
geschlossen. Wenn die Verbindung unterbrochen wird, wird die
Hochspannung deaktiviert. Beim Anschluss des Controller an die
Pumpe ist ein HV-Kabel mit Interlock (siehe Bestellteile) zu
verwenden.
26/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
Auf der Abbildung “Anschlüsse” sind die richtigen Anschlüsse der
Erdungen, des HV-Kabels des Controller an die Pumpe und des
Interlock-Kabels ersichtlich.
2
VORSICHT!
Beim Montieren des im Zubehörbeutel mitgelieferten Interlock-Kabels gehen Sie
sehr vorsichtig vor, damit dabei kein Teil in den Controller fällt.
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 27/104
Gebrauchsanleitung
(2) (1) (3) (4) (5) (6)
2
Gebrauch
Einschalten des Controllers von der vorderen Schalttafel (LOKAL-Modus)
HINWEIS
Um die Hochspannung (HV) einzuschalten, muss der Interlock des HV-Kabels
(Kabel-Iinterlock) geschlossen sein (Verbinder eingesteckt).
Gehen Sie wie folgt vor, um den Controller mit Strom zu versorgen
und die Spannung an den Hochspannungsverbindern (H.V.)
freizugeben:
Schalten Sie den Controller aus.
Schließen Sie das HV-Kabel und den Interlock des H.V-Kabels an
die jeweiligen Verbinder am Rückenteil.
Wählen Sie die Modalität LOCAL, indem Sie kurz die Taste
“MODE” drücken bis auf dem Display die Aufschrift LOCAL
erscheint.
Halten Sie die Taste HV ON/OFF (2) ) gedrückt und drücken Sie
gleichzeitig die Taste HV-x (3,4,5,6) ), wobei x die Nummer der
Leitung ist, die ein- oder ausgeschaltet werden soll.
Abbildung 4
28/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
Vorderteil 4UHV Ionenpumpen-Controller
Gebrauchsanleitung
2
Gebrauch
WARNUNG!
Abbildung 5
Rückenteil 4UHV Ionenpumpen-Controller
Um die HV-Leitungen auszuschalten:
Halten Sie die Taste HV ON/OFF (2) gedrückt und drücken Sie
gleichzeitig die Taste HV-x (3,4,5,6), wobei x die Nummer der
Leitung ist, die ein- oder ausgeschaltet werden soll.
Weitere Einzelheiten zum Gebrauch des Controllers und zur
Beschreibung der Display-Angaben entnehmen Sie bitte dem
Abschnitt “ Technical Information ”.
Bei Not-Aus schalten Sie den Hauptschalter (1) auf dem vorderen Bedienfeld
aus, um das Gerät und sämtliche Hochspannungsleitungen auszuschalten.
Wenn Sie den Hauptschalter auf Off stellen, wird das HV-Gerät ausgeschaltet.
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 29/104
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