Agilent Technologies MS40 Instruction Manual
MS
Rotary Vane Pumps
Model
949
Manuale di Istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de Mode D’Emploi
User Manual
40+ Single Stage
s:
9225, 9499240, 9499241
87-901-008-01 (H.00)
02/2021
Notices
WARNING
CAUTION
© Agilent Technologies, Inc. 2021
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and retrieval or translation into a
foreign language) without prior
agreement and written consent from
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Manual Part Number
Publication Number: 87-901-008-01 (H.00)
Edition
Edition 02/2021
Printed in ITALY
A
gilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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the maximum extent permitted by
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information contained herein,
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Technology Licenses
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Restricted Rights Legend
If software is for use in the
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prime contract or subcontract,
Software is delivered and licensed as
“Commercial computer software” as
defined in DFAR 252.227-7014 (June
1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and nonDOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
indicated conditions are
until the
fully understood and met.
2/104 MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00)
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00)
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MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00)
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Contents
Contents
1 Istruzioni per l’uso 9
Informazioni Generali 10
Immagazzinamento 12
Preparazione per l’installazione 12
Installazione 14
Uso 17
Manutenzione 17
Smaltimento 20
2 Gebrauchsanleitung 21
Allgemeine Hinweise 22
Lagerung 24
Vor der Installation 24
Installation 26
Gebrauch 29
Wartung 29
Entsorgung 32
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00)
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3 Mode d’emploi 34
Indications générales 35
Emmagasinage 37
Préparation pour l‘installation 37
Installation 39
Utilisation 42
Maintenance 42
Mise au rebut 45
4 Instructions for Use 47
General Information 48
Storage 50
Preparation for Installation 50
Contents
Installation 52
Use 55
Maintenance 55
Disposal 58
5 Technical Information 60
Section I 62
Technical Description 62
Vacuum Seals 63
Anti-Suckback Device 63
Technical Data 64
MS40+ Single Stage Rotary Vane
Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 6/104
Safety Precautions 66
Transport and Installation 66
Section II 69
Connection to the Electric Supply 69
Inlet and exhaust connections 69
Starting and Running the Pump 71
Stopping the Pump 72
Safety Rules 72
Warning Notes 73
Caution Notes 75
Maintenance Actions 76
Oil and Filter Cartridge Replacement Procedures 78
Contents
Lubricants 80
Pump Electronic Controller 83
RS 232/RS 485 Communication Description 87
Troubleshooting 94
Accessories 98
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00)
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Contents
MS40+ Single Stage Rotary Vane
Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 8/104
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual
1
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali 10
Simboli usati 11
Immagazzinamento 12
Preparazione per l’installazione 12
Installazione 14
Uso 17
Manutenzione 17
Smaltimento 20
Traduzione delle istruzioni originali
9/104
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
Informazioni Generali
AVVERTENZA!
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Le MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps sono delle pompe rotative
monostadio a palette, a tenuta in bagno d'olio, controllate da un'unità
elettronica.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 10/104
NOTA
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
Simboli usati
Simboli
Descrizione
I seguenti simboli sono utilizzati in modo coerente in tutte le
illustrazioni:
S
uperficie calda “Pericolo di scottature se
vengono toccate le parti calde”
P
ericolo “Vedere istruzioni di installazione/Modi
d’uso”
Conduttore di protezione (PE)
- Accensione (Alimentazione)
ON
OFF - Spegnimento (Alimentazione)
Pericolo, rischio di scossa elettrica
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 11/104
Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
Immagazzinamento
Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non devono
essere superate le seguenti condizioni ambientali:
temperatura: da -20 °C a 70 °C
umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante)
Preparazione per l’installazione
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Il peso dell’imballo, comprensivo della pompa, è, al massimo, di circa
35 kg.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o
vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente
riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela
dell'ambiente.
NOTA
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 12/104
La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta
all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento
dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
1
NOTA
La pompa è fornita con alcuni accessori standard:
1 connettore "sub-D" a 9 contatti per I/O (femmina)
(escluso il modello 9499241)
onnettore "sub-D" a 9 contatti per RS232 (maschio)
1 c
escluso il modello 9499241)
(
Figura 1
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 13/104
Istruzioni per l’uso
Installazione
1
Installazione
AVVERTENZA!
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti
atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti
esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
temperatura: da +12 °C a +40 °C
umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante)
ATTENZIONE!
NOTA
ATTENZIONE!
Prima di avviare la pompa, occorre procedere al rifornimento di olio lubrificante,
poichè la pompa viene fornita scarica.
È importante che il livello dell’olio rimanga tra i valori MIN e MAX visualizzati
dall’indicatore di livello posto sul lato della pompa.
È obbligatorio lasciare ampio spazio libero tutto intorno alla pompa al fine di
consentire una corretta circolazione d’aria; inserire la pompa in un volume
chiuso senza ricircolo d’aria non è consentito. Per un sistema di sicurezza
interno, la pompa superata la temperatura ambiente di 40 °C, potrebbe
manifestare un errore.
Mantenere i tappi posti sulle flange di aspirazione e scarico e non accendere
la pompa finchè gli stessi non vengono appropiatamente collegati
rispettivamente allo strumento ed alla linea di exhaust.
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Istruzioni per l’uso
Installazione
1
AVVERTENZA!
D
urante l'installazione, prestare la massima attenzione che la flangia di
aspirazione sia collegata alla camera da evacuare e che la flangia di scarico
non sia tappata (vedere la figura seguente). La pompa non deve essere usata
come compressore. L'inosservanza di queste precauzioni può causare danni
alla macchina ed all'operatore.
Flangia di aspirazione
Figura 2
ATTENZIONE!
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 15/104
Controllare che la tensione di alimentazione corrisponda al campo di valori
indicati sui dati di targa.
Collegare la pompa all’alimentazione.
Flangia di scarico
Istruzioni per l’uso
Installazione
1
AVVERTENZA!
La pompa deve essere installata in modo tale da permettere una facile
interruzione della linea d’alimentazione elettrica.
La pompa dev'essere utilizzata con il cavo di alimentazione fornito
insieme alla pompa (disponibile anche come accessorio).
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Istruzioni per l’uso
Uso
1
Uso
AVVERTENZA!
AVVERTENZA!
Attivando l'interruttore di alimentazione, dopo una breve fase di
autotest, la pompa si avvia automaticamente. Per arrestarla è
necessario spegnere l'interruttore. In alternativa è possibile gestire
l'avviamento e l'arresto della pompa da remoto mediante
comunicazione seriale.
La pompa è progettata per operare con gas inerti o non corrosivi. È
assolutamente vietato l'impiego con sostanze potenzialmente esplosive o
infiammabili.
Manutenzione
Il personale addetto alla condotta ed alla manutenzione della pompa
deve essere ben addestrato e deve avere un'approfondita conoscenza
delle norme antinfortunistiche.
Le alte tensioni possono causare morte al contatto. Operare sempre con la
massima cautela e secondo le norme antinfortunistiche in vigore.
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 17/104
Istruzioni per l’uso
Manutenzione
1
AVVERTENZA!
Quando la macchina è alimentata prestare attenzione per la presenza di parti
AVVERTENZA!
AVVERTENZA!
AVVERTENZA!
in movimento e di alta tensione.
Nel caso si debba procedere ad operazioni di manutenzione della pompa al
termine di un periodo di esercizio, è necessario lasciarla raffreddare, poichè
la temperatura esterna può superare i 60 °C.
E
scludere sempre l'alimentazione della pompa prima di compiere operazioni
di manutenzione. Apporre specifici cartelli di avvertenza: APPARECCHIATURA
IN MANUTENZIONE - NON INSERIRE L'ALIMENTAZIONE, in corrispondenza
dell'interruttore di alimentazione. Al termine ripristinare i dispositivi di
sicurezza.
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Non effettuare la sostituzione dell’olio subito dopo l’arresto della macchina,
in quanto la temperatura dello stesso può essere elevata.
Istruzioni per l’uso
Manutenzione
1
NOTA
Certification" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve
Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni è indispensabile
compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Health and Safety
essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua
eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 19/104
Istruzioni per l’uso
Smaltimento
1
Smaltimento
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette.
Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla
direttiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea)
indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito
insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere
avviato ad un sistema di raccolta differenziata. Si invita pertanto
l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia esso la casa
madre o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e
smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e condizioni
contrattuali di vendita.
er maggiori informazioni riferirsi a:
P
http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 20/104
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual
2
Gebrauchsanleitung
Übersetzung der Originalanleitungen
Allgemeine Hinweise 22
Verwendete Symbole 23
Lagerung 24
Vor der Installation 24
Installation 26
Gebrauch 29
Wartung 29
Entsorgung 32
21/104
Gebrauchsanleitung
Allgemeine Hinweise
2
Allgemeine Hinweise
Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch bestimmt. Vor dem
Gebrauch soll der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren von
Agilent mitgelieferten Zusatzinformationen genau lesen. Bei
vollständiger bzw. teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen
Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Benutzung unter Missachtung der
nationalen Bestimmungen übernimmt Firma Agilent keinerlei
Haftung.
Die MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps sind ölbadgeschmierte,
dichte, einstufige Flügelzellenpumpen, die von einer elektronischen
Steuereinheit betätigt werden
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen
für die Sicherheit des Bedieners bei der Verwendung des Geräts
aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
WARNUNG!
VORSICHT!
HINWEIS
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 22/104
Diese Warnung weist auf gefährliche Arbeitsschritte hin, die bei
unsachgemäßer Durchfüh-rung das Risiko von Personenschäden bergen.
Diese Warnung weist auf Arbeitsschritte hin, die das Risiko von Schäden am
Gerät bergen.
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text
hervorgehoben werden.
Gebrauchsanleitung
Allgemeine Hinweise
2
Verwendete Symbole
Symbole
Beschreibung
Folgende Symbole wurden durchgängig in allen Illustrationen
verwendet:
eiße Oberfläche –Verbrennungsgefahr bei
H
Berührung
efahr – siehe Installations- und
G
Gebrauchsanleitung
Schutzleiter (PE)
ON - Einschalten (Versorgung)
FF - Ausschalten (Versorgung)
O
Gefahr von Stromschlägen
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 23/104
Gebrauchsanleitung
Lagerung
2
Lagerung
Während des Transports und der Lagerung der Pumpen sollen die
folgenden Umgebungsbedingungen gegeben sein:
Temperatur: -20 °C bis +70 °C
Relative Feuchtigkeit: 0 – 95 % (niederschlagsfrei)
Vor der Installation
Die Pumpe wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert.
Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen
Verkaufsstelle zu melden.
Das Verpackungsgewicht beträgt, einschließlich der Pumpe, maximal
36 kg.
Beim Auspacken ist darauf zu achten, dass die Pumpe nicht
fallengelassen oder Stößen oder Vibrationen ausgesetzt wird. Das
Verpackungsmaterial ist ordnungsgemäß zu entsorgen. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für
den Umweltschutz.
HINWEIS
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 24/104
Die Pumpe kann, wenn sie einfach der Atmosphäre ausgesetzt ist, nicht
beschädigt werden. Sie sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage
geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
Gebrauchsanleitung
Vor der Installation
2
HINWEIS
Die Pumpe wird mit einigen Standardzubehörteilen geliefert:
1 9-Stift-Stecker "sub-D" für I/O (Steckbuchse
(a
ußer Modell 9499241)
1 9-Stift-Stecker "sub-D" für RS232 (Stecker)
(außer Modell 9499241)
Abbildung 1
)
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 25/104
Gebrauchsanleitung
Installation
2
Installation
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen installiert und/oder benutzt
werden, die ungeschützt vor Witterungsbedingungen (Regen, Frost,
Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind und in denen Explosionsoder erhöhte Brandgefahr besteht.
Während des Betriebs sollen die folgenden Umgebungsbedingungen
gegeben sein:
Temperatur: +12 °C bis +40 °C
Relative Feuchtigkeit: 0 – 95 % (niederschlagsfrei)
VORSICHT!
HINWEIS
VORSICHT!
WARNUNG!
Die Pumpe ist vor ihrer Inbetriebnahme mit Schmieröl zu füllen, da sie leer
geliefert wird.
Es ist wichtig, dass der Ölstand zwischen der MIN- und MAX-Werte auf der
Füllstandsanzeige auf der Seite der Pumpe angezeigt bleibt.
Um eine korrekte Luftzirkulation zu gewährleisten, sorgen Sie dafür, dass der
Raum um die Pumpe herum frei ist. Die Pumpe darf nicht in einem
geschlossenen Raum ohne Luftzirkulation aufgestellt werden. Wegen eines
internen Sicherheitssystems könnte die Pumpe bei Überschreiten von 40 °C
Umgebungstemperatur eine Fehlermeldung anzeigen.
Lassen Sie die Stopfen auf den Saug- und Auslassflanschen und schalten Sie
die Pumpe erst ein, wenn diese ordnungsgemäß an das Gerät bzw. an die
Auslassleitung angeschlossen wurden.
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 26/104
Gebrauchsanleitung
Installation
2
WARNUNG!
B
ei der Installation ist unbedingt darauf zu achten, dass der Saugflansch an
die zu entleerende Kammer angeschlossen ist und der Ablassflansch nicht
verschlossen ist (siehe nachstehende Abbildung). Die Pumpe darf nicht als
Verdichter verwendet werden. Bei Nichtbeachtung dieser Anweisungen
besteht Schadensgefahr für das Gerät und die Bedienperson.
Saugflansch
Abbildung 2
VORSICHT!
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 27/104
Vergewissern Sie sich, dass die Versorgungsspannung in dem auf dem
Typenschild angegebenen Wertebereich liegt.
Die Pumpe an das Versorgungsnetz anschließen.
Ablassflansch
Gebrauchsanleitung
Installation
2
WARNUNG!
Die Pumpe muss so installiert werden, dass die Stromversorgung leicht
unterbrochen werden kann.
Die Pumpe muss mit dem mitgelieferten Netzkabel (auch als Zubehör
erhältlich) betrieben werden.
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 28/104
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
2
Gebrauch
Beim Einschalten des Netzschalters wird die Pumpe nach einer
kurzen Selbsttestphase automatisch in Betrieb genommen. Zum
Anhalten der Pumpe muss der Schalter ausgeschaltet werden.
Optional kann das Ein- und Ausschalten der Pumpe über die serielle
Kommunikation ferngesteuert werden.
WARNUNG!
Wartung
WARNUNG!
Die Pumpe ist für den Betrieb mit Inertgas oder nicht korrosiven Gasen
konzipiert. Der Einsatz mit potenziell explosions- oder feuergefährlichen
Substanzen ist streng verboten.
Das für den Betrieb und die Wartung zuständige Personal soll
geschult sein und über eine solide Kenntnis der
Unfallschutzvorschriften verfügen.
Hochspannungen können bei Kontakt tödliche Folgen haben. Es ist stets mit
größter Vorsicht und gemäß den geltenden Unfallschutzvorschriften
vorzugehen.
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 29/104
Gebrauchsanleitung
Wartung
2
WARNUNG!
Bei eingeschaltetem Gerät ist auf Bewegungs- und Hochspannungsteile zu
achten.
WARNUNG!
WARNUNG!
WARNUNG!
Falls die Pumpe im Anschluß an den Betrieb gewartet werden soll, ist
abzuwarten, bis sie abgekühlt ist, da ihre Oberfläche eine Temperatur von
60 °C überschreiten kann.
Vor Wartungsarbeiten ist die Pumpe stets energiefrei zu schalten. Am
Netzschalter sind spezielle Warnschilder “INSTANDHALTUNG AM GERÄT –
NICHT EINSCHALTEN” anzubringen. Nach Abschluss der Arbeiten sind die
Sicherheitseinrichtungen wieder zu aktivieren.
Keine Ölwechsel unmittelbar nach Stillsetzung des Gerätes vornehmen, da
die Öltemperatur sehr hoch sein kann.
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps User Manual / 87-901-008-01 (H.00) 30/104
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