Agilent Technologies X3580-64000, X3580-64002, X3580-64005, X3580-64003, X3580-64001 User Manual

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TPS-compact

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Manuale di istruzioni

Instruksjon manual

Bedienungshandbuch

Ohjekäsikirja

Notice de mode d’emploi

Felhasználói kézikönyv

Manual de istrucciones

Podrecznik i nstrukcji

Manual de istruções

Návod k použití

Bedrijfshandleiding

Návod na obsluhu

Istrukstionsbog

Priročnik za navodila

Bruksanvisning

User Manual

Models: X3580-64000, X3580-64001, X3580-64002, X3580-64003, X3580-64004, X3580-64005, X3580-64006, X3580-64007, X3580-64010, X3580-64011, X3580-64012, X3580-64013, X3580-64014, X3580-64015, X3580-64016, X3580-64017, X3580-64020, X3580-64021, X3580-64022, X3580-64023,

87-901-010-01 (F) 11/2015

CAUTION

WARNING

Notices

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Manual Part Number

Publication Number: 87-901-010-01 (F)

Edition

Edition 11/2015 Printed in ITALY

Agilent Technologies Italia S.p.A. Vacuum Products Division Via F.lli Varian, 54 10040 Leinì (TO) ITALY

Warranty

The material contained in this document is provided “as is,” and is subject to being changed, without notice, in future editions. Further, to the maximum extent permitted by applicable law, Agilent disclaims all warranties, either express or implied, with regard to this manual and any information contained herein, including but not limited to the implied warranties of merchantability and fitness for a particular purpose. Agilent shall not be liable for errors or for incidental or consequential damages in connection with the furnishing, use, or performance of this document or of any information contained he rein. Shoul d Ag i l ent and the user have a separate written agreement with warranty terms covering the material in this document that conflict with these terms, the warranty terms in the separate agre ement shall control.

Technology Licenses

The hardware and/or software described in this document are furnished under a license and may be used or copied only in accordance with the terms of such license.

Restricted Rights Legend

If software is for use in the performance of a U.S. Government prime contract or subcontract, Software is delivered and licensed as “Commercial computer software” as defined in DFAR 252.227-7014 (June

1995), or as a “commercial item” as defined in FAR 2.101(a) or as “Restricted computer software” as defined in FAR 52.227-19 (June 1987) or any equivalent agency regulation or

contract clause. Use, duplication or disclosure of Software is subject to Agilent Technologies’ standard commercial license terms, and nonDOD Departments and Agencies of the U.S. Government will receive no greater than Restricted Rights as defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June

1987). U.S. Government users will receive no greater than Limited Rights as defined in FAR 52.227-14 (June

1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2) (November 1995), as applicable in any technical data.

Trademarks

Windows and MS Windows are U.S. registered tradema rks of Microsoft Corporation.

Safety Notices

A CAUTION notice denotes a hazard. It calls attention to an operating procedure, practice, or the like that, if

not correctly performed or adhered to, could result in damage to the product or loss of important data. Do not proceed beyond a CAUTION notice until the indicated conditions are fully understood and met.

A WARNING notice denotes a hazard. It calls attention to an operating procedure, practice, or the like that, if not correctly performed or adhered to, could result in personal injury or death. Do not proceed beyond a WARNING notice

indicated conditions are

until the fully understood and met.

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TPS-compact

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TPS-compact

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Contents

Istruzioni per l’uso 13

Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Immagazzinamento 18 Preparazione per l’ins ta lla zi one 19 Installazione 20 Uso 22 Manutenzione 25 Smaltimento 26

Gebrauchsanleitung 27

Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Lagerung 32 Vor der Installation 33 Installation 35 Gebrauch 37 Wartung 40 Entsorgung 41

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Contents

Mode d’emploi 43

Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 44 Indications générale s 45 Stockage 48 Préparation pour l'inst a ll at io n 49 Installation 51 Utilisation 53 Entretien 56 Mise au rebut 57

Manual de istrucciones 59

Indicaciones de Seguri dad para Bombas Turbomole cu la r es 60 Información general 61 Almacenamiento 64 Preparación para la instalación 65 Instalación 67 Uso 69 Mantenimiento 72 Eliminación 73

Manual de Istruções 75

Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 76 Informações gerais 77 Armazenagem 80

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Contents

Preparação para a instalação 81 Instalação 83 Utilização 85 Manutenção 88 Eliminação 89

Bedrijfshandleiding 91

Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 92 Algemene informatie 93 Opslag 96 Uitpakken 97 Installatie 99 Gebruik 101 Onderhoud 104 Afvalverwerking 105

Istruktionsbog 107

Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 108 Generel Information 109 Opbevaring 112 Forberedelse før installation 113 Installation 114 Anvendelse 116 Vedligeholdelse 119

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Contents

Bortskaffelse 120

Bruksanvisning 121

Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 122 Allmän Informatio n 123 Förvaring 126 Förberedelser för inst a llati o ne n 127 Installation 128 Använding 130 Underhåll 133 Bortskaffning 134

Instruksjon Manual 135

Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 136 Generell informas jon 137 Lagring 140 Klargjøre til installasjon 141 Installasjon 142 Bruk 144 Vedlikehold 147 Kassering 148

Ohjekäsikirja 149

Turbomolekyylip um pp uje n T urva oh je e t 150 Yleisiä tietoja 151

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Contents

Varastointi 154 Valmistelut asennusta varten155 Asennus 157 Käyttö 159 Huolto 162 Hävittäminen 163

Felhasználói Kézikönyv 165

Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 166 Általános információ 167 Tárolás 170 Előkészítés telepítésre 171 Telepítés 173 Használat 175 Karbantartás 178 Megsemmisítés 179

Podrecznik Instrukcji 181

Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp

Turbomolekularnych 182 Ogólne informacje 183 Magazynowanie 186 Przygotowanie do instalacji 187 Instalacja 188 Użytkowanie 190

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Contents

Konserwacja 193 Przetworstwo odpadow 194

Návod k Použití 195

Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 196 Všeobecné informace 197

Uskladnění 200 Příprava k instalaci 201

Instalace 202 Použití 204 Údržba 207 Likvidace 208

Návod na Obsluhu 209

Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 210 Všeobecné informácie 211 Uchovávanie 214 Príprava na inštaláciu 215 Inštalácia 217 Použitie 219 Údržba 222 Likvidácia 223

Priročnik za Navodila 225

Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 226

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Contents

Splošne informacije 227 Shranjevanje 230 Priprava za montažo 231 Montaža 232 Uporaba 234 Vzdrževanje 237 Odlaganje opadkov 238

Instructions for Use 239

Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 240 General Informatio n 241 Storage 244 Preparation for Insta ll atio n 245 Installation 246 Use 248 Maintenance 251 Disposal 252

Technical Information 253

Description of the TPS-Compact 255 Technical Specification 261 TPS-Compact Outline 263 Interconnections 272 RS 232/RS 485 Communication Des cription 286

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Contents

Window Protocol 289 Service Options 299 Orderable Parts 305

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TPS-compact User Manual

Istruzioni per l’uso

Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Simboli usati 17 Immagazzinamento 18 Preparazione per l’installazione 19 Installazione 20 Uso 22 Acce nsione ed Uso del TPS-compact 23 Arrest o del TPS-compact 24 Arresto di Emergenza 25 Manutenzione 25 Smaltimento 26

Traduzione delle istruzioni originali

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Istruzion i per l’uso

Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari

Le pompe Turbomolecolari d es cr itt e nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.

Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.

Per evitare d anni all'apparecchiatur a e prevenire lesio ni agli operatori, è necessario s e guire attentamente le istruzioni di installazione descr itte nel presente manuale!

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Istruzion i per l’uso

Informazioni Generali

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informa zio ne addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso impropr io da par te di pe rs onale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali spe cif iche .

Il TPS-compact è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.

L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità mossa da un motore elett r ico tr if as e ad al to rendimento. Il TPS-compact è totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".

Il TPS-compact ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i q ual i è possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato tramite linea seriale.

Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicu r ezza dell'operator e du rante l'utilizz o dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical Information”.

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Istruzion i per l’uso

Informazioni Generali

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni person ali.

ATTENZIONE!

NOTA

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

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Istruzion i per l’uso

Informazioni Generali

Pericolo “Riferirsi a

Conduttore di

Superficie calda “Pericol o toccate le parti calde”

ON - Avviamento

Pericolo, rischio di scossa

OFF - Arresto

Simboli usati

I seguenti simboli sono utilizzati in modo coerente in tutte le illustrazioni:

AVVERTENZA!

installazione / funzionamento”

di scottature se v e n g o n o

elettrica

Quando la pompa viene utilizzata per il po mpaggio di gas t ossici, infiamm abili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi. La pompa è progettata per un elevato trasferimento di N2, Ar e gas leggeri. Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti di Ar, r ivolgersi al supporto tecnico Agilent per informa z ioni.

protezione

(Alimentazione)

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Istruzion i per l’uso

Immagazzinamento

Per garantire il massimo livel lo di funzionalità ed affidabil ità dei sistemi di pompaggio Agilent, devono essere osservate le segue nti prescrizioni:

§ durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle

pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali:

§ temperatura: da –20 °C a +70 °C

§ umidità relativa: da 0 a 95 % (non condensante)

§ il cliente deve sempre avvia r e le pompe turbomolecolari nel modo

Soft-Start quando ricevut e e mess e in funzione per la prima volta

§ il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è

di 12 mesi dalla data di spedizione.

ATTENZIONE!

Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre rinviare il sistema di pompaggio in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent.

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Istruzion i per l’uso

Preparazione per l’installazione

componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra

Figura 1

momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da

Preparazione per l’installazione

Il TPS-compact viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TPS-compact e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non dispe rdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente ricicl a bile e risponde alla di re t ti v a CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.

ATTENZIONE!

NOTA

Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i

protezione adeguata.

Il TPS-compact non può essere danneggi ato rimanendo semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al

polvere.

TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 19/312

Istruzion i per l’uso

Installazione

ATTENZIONE!

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema.

Non installare e/o utilizza re il sistema di pompaggio in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplo sivi o con elevato rischio di incendio.

Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali:

§ pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica

§ temperat u ra: da + 5 °C a +35 °C

§ umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante).

In presenza di campi elettromag netici il sistema di pompaggio deve essere protetto tramite opportuni schermi.

Il TPS-compact può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il TPS-compact in posizione stabile col l egando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 50 Nm a t to rno al proprio as se .

La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o mo rset ti singoli. La seguente tabella descrive, per ogni tipo di morsetto, il numero di morsetti necessari e con quale coppia di se r rag g io stringerli.

Il Sistema deve esser e installato in modo da permettere una facile interruzione dell’alimentazione.

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Istruzion i per l’uso

Installazione

Tab. 1

Cavo di Alimentazione: Il cavo adatto al collegamento elettrico è un cavo a tre conduttori (Fase+Neutro+Terra). La sezione del cavo deve

essere almeno di 0,75 mm

(AWG18).

ATTENZIONE!

NOTA

Assicurare uno spazio libero intorno al sistema di minimo 20 cm al fine di permettere un’adeguata circolazione dell’aria.

FLANGIA TIPO DI MORSETTO N.

ISO 63 Morsetto doppi o con filettatura M10 4 22 Nm ISO 100 K Morsetto doppio con fi lettatura M10 4 22 Nm ISO 160 K Morsetto doppio con fi lettatura M10 4 22 Nm

COPPIA DI SERRAGGIO

La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'ap pos ita minuteria meccanica Agilent. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Techn ical Information".

Il TPS-compact non può essere fissato tramite la sua base.

Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information".

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Istruzion i per l’uso

Uso

In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema verificare che tutti i collegamenti elettr ici e

pneumatici siano stati realizzati correttamente. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temp e ratura sulla flangi a di ingresso non deve essere superiore a 120 °C con flangiatura ConFlat e a 80 °C con flangiatura ISO.

Non far funzionare mai il sistema di pompaggio se la fla ngia di ingresso non è collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura.

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori du rante le operaz ioni

di riscaldam ento. L'elevata temperatura può causar e lesioni alle per sone.

Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti

potrebbero danneggiarsi e potrebbero verificarsi danni alle persone o alle cose.

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Istruzion i per l’uso

Uso

ATTENZIONE!

AVVERTENZA!

Accensione ed Uso del TPS-compact

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente da polvere, particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica).

Per accendere il TPS-compact è sufficie nte fornire la tensione di alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dell’alimentazione ed avvia la pompa.

Alla prima accensione è bene adottare la modalità "Soft Start" attivandola sul controller, per gli avvii successivi si cons iglia di disabilitare la modalità "Soft Start". Per la procedura di attivazione della modalità "Soft Start" far riferimento al paragrafo "Signal Description" nel capitolo "Technical Information".

Il LED blu “STATUS” posto sul pannello posteriore della base del TPS-compact indica, con la frequen za del suo lampeggio, le condizioni op e r ative del sistem a:

§ acceso fisso: la pompa è in rot a zio ne no rmale;

§ lampeggiante lenta me nte (periodo di circa 400 ms): il sistema è in

stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Waiting for interlock”;

§ lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): condizione

di errore.

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Istruzion i per l’uso

Uso

Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del TPScompact vedere l'appendice "Technical Information".

Arresto del TPS-compact

Per arrestare il TPS-compact è sufficiente mettere in posizione OFF l'interruttore esterno. Il controller incorporato arresta immediatamente il sistema d i p o mpag g io .

Arresto di Emergenza

Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS-compact occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o spostare l'interruttore esterno in posizione OFF.

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Istruzioni per l’uso

Manutenzione

allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita

Manutenzione

Il TPS-compact non richiede alcuna manutenzione (ad eccezio ne della sostituzione del Tip-seal). Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizz ato.

Prima di effettuare quals iasi interven to sul sistema sco llegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 5 0 °C.

In caso di guasto è possibile usufr uir e del s e rvizio di riparazione Agilent.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Request for Return"

nell'imballo del sistema prima della spedizione.

Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.

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Istruzion i per l’uso

Smaltimento

Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è a pplicato in ottemperanza alla

direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea)

indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.

Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita.

Per maggiori informazion i rife rir si a:

http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml

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TPS-compact User Manual

Gebrauchsanleitung

Übersetzung der Originalanleitungen

Sicherheitshinw eise für Turbomolekul arpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Verwend ete Symbole 31 Vor der Installation 33 Installation 35 Gebrauch 37 Einschaltung und Gebrauc h von

Modell TPS-compact 38 Stoppen von Modell TPS-compact 39 Not-Aus 39 Wartung 40 Entsorgung 41

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Gebrauchsanleitung

Sicherheits hinweise für T urbomolekularpumpen

Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen

Die in der folgenden Gebrauchsanw e isung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindig keit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.

Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte die se Rotationsenergie freigesetzt werden.

WARNUNG!

Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise!

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Gebrauchsanleitung

Allgemeine Informationen

Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Ni c htbeachtung der enthaltene n Anw e isungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen u nd Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.

Modell TPS-compact ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller und der Primärpumpe, besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine erreicht, die von einem Hochleistungsdreh stro mmo tor angetrieben wird.

Modell TPS-compact enthält keinerlei umweltschädliche Subst an ze n und eignet sich deshalb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern. Modell TPS-compact verfügt des weiteren über Zusatzanschlüsse, über die das Entlüftungsventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer über eine serielle Leitung gesteuert werden kann.

In den folgenden Abschnitt en sind alle erforde rlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten.

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Gebrauchsanleitung

Allgemeine Informationen

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaß en hervorgehoben:

WARNUNG!

VORSICHT!

HINWEIS

Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei un ko rrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.

Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen ang egeben, die bei Nichtbeachtung Schäden an der Anlage v er ursachen könnten.

Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden.

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Gebrauchsanleitung

Allgemeine Informationen

Gefahr! Schlagen Sie im

Schutzleiter

Heiße Oberfläche – Berührung

ON - Start

Gefahr von Stromschlägen

OFF - Stopp

Verwendete Symbole

Folgende Symbole wurden durchgängig in allen Illustrationen verwendet:

Installations- und Betriebshandbuch nach.

WARNUNG!

Verbrennungsgefahr bei

Wird die Pumpe zum Pumpen von giftigen, brennbaren oder radioaktiven Gasen verwendet, die entsprechenden Verfahren für das jeweilige Gas befolgen. Die Pumpe nicht bei Präsenz von explosiven Gasen verwenden. Die Pumpe ist entwor fen worden, um Stickstoff, Argon und leichtere Gase zu pumpen. Sollte die Notwendigkeit bestehen, schwereres Gas als Argon pumpen zu müssen, wenden Sie sich bitte für Informationen an den Technischen Kundendienst der Agilent.

(Versorgung)

TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 31/312

Gebrauchsanleitung

Lagerung

Zur Garantie der hö c hsten Funktionstüchtigkei t und Zuverlässigkeit der Agilent – Pumpsysteme müssen die folgenden Vorschriften eingehalten werden:

§ Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung

der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden:

§ Temperat ur: von –20 °C bis +70 °C

§ Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95 % (nicht kondensierend)

§ Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang

bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start ingangzusetzen.

§ Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 12 Monate

ab dem Speditionsdatum.

VORSICHT!

Falls die Lagerd auer aus verschiedentl ichen Gründen die genannte Frist überschreiten sollte, ist das Pumpensystem an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter.

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Gebrauchsanleitung

Vor der Installation

Abbildung 1

Vor der Installation

Modell TPS-compact wird in einer speziellen Schutzverpa-ckung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TPS-compact ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85/399/EWG für Umweltschutz.

VORSICHT!

Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu ver wenden.

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Gebrauchsanleitung

Vor der Installation

HINWEIS

Modell TPS-compact ka nn durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.

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Gebrauchsanleitung

Installation

VORSICHT!

Das Klebeband abziehen und den Schutzd e c kel erst bei Anschluß der Turbopumpe an da s System abnehmen.

Das Pumpensystem darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.

Beim Betrieb müssen folgende Umgebung sb e di ngu ngen eingehalten werden:

§ Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck

§ Temperatur: von +5 °C bis +35 °C

§ Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend).

Bei Vorhandensein von ele ktr o magnetischen Feldern ist da s Pumpensystemdie Pumpe ents p r e chend abzuschirmen.

Modell TPS-compact kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell TPS-compact ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 50 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.

Turbopumpen mit einem ISO Eingangsf la nsch sind mittels doppelter oder einfacher Klemmschellen an die Vakuumkammer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für die Schellenarten angegeben.

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Gebrauchsanleitung

Installation

Vergewissern Sie sich, dass um das System herum ein freier Raum von

Tab. 1

WARNUNG!

VORSICHT!

Das System muss so installiert werden, dass die Stromversorgung schnell abgeschaltet werd en kann.

Versorgungskabel: Das Kabel für den Stromanschluss ist dreiadrig (stromführendes Kabel + Neutralleiter + Masse). Der Kabelquerschnitt muss mindestens 0,75 mm

betragen (AWG18).

mindestens 20 cm bleibt, damit die Luft frei zirkulieren kann.

FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ. ANZUGSMOMENT

ISO 63 Doppelschelle mit Gewinde M10 4 22 Nm ISO 100 K Doppelschelle mit Gewi n de M10 4 22 Nm ISO 160 K Doppelschelle mit Gewi n de M10 4 22 Nm

Turbopumpen mit ConFlat Eingangsflansch sind mit dem speziellen Agilent Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information".

HINWEIS

Modell TPS-compact ka nn nicht mittels seines Sockels befestigt werden.

Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information".

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Gebrauchsanleitung

Gebrauch

In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert.

Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der ev entuellen Aufheizung der Vakuumkammer da rf die Temperatur am Eingangsflansch bei einem Con Fl at -Fl ans ch nicht über 120°C und bei einem ISO-Flansch nicht über 80 °C steigen.

WARNUNG!

Das Pumpensyst em darf nicht in Betrieb gen ommen werden, w enn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlußflansch vers chlossen ist.

Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Ver brennungsgefahr.

Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager könnten beschädigt werden und Personen oder Gegenständen Schaden zugefügt werden.

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Gebrauchsanleitung

Gebrauch

VORSICHT!

WARNUNG!

Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-compact

Für die Belüftung der Pumpe staub , pa rtikel- und feuchtigkeitsfreies Inertgas (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftung sanschluß soll unter 2 bar (über dem at mosphärischen Druck) betragen.

Wenn das Pumpensystem zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird , s ind die für das jeweilige Ga s vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Das Pumpensystem darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden.

Zur Einschaltung des TPS-compact ist der Netzstecker anzuschließen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu stellen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Anliegen der Spannung und startet die Pumpe.

Bei der Erstinbetriebnahme sollte die Betriebsart "Soft Start" über den Controller eingestellt werden, bei darauffolgenden Ingangsetzungen wird empfohlen, die Betriebsart "Soft Start" zu deaktivieren. Um den Modus "Soft Start" einzustellen, bitte den Absatz "Signal Descriptio n" , im Ka p itel "Technical Information", nachschlagen.

Die blauen LEDs “STATUS” an der Bodenplatte von Modell TPScompact gibt mit der Häufigkeit ih res Blinkens die Betriebsbedingungen des System an:

§ Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.

§ Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich

entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder “Waiting for Interlock”.

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Gebrauchsanleitung

Gebrauch

§ Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.

Für eine detaillierte Erläuterung der Bedienblende des TPS-compact siehe im Anhang "Technical Information".

Stoppen von Modell TPS-compact

Zur Stillsetzung des TPS-compact ist der externe Schalte r auf d ie Schaltstellung OFF zu schalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Stopp des Pumpensystems.

Not-Aus

Zur Notstillsetzung des TPS-compact ist der Netzstecker zu ziehen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu schalten.

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Gebrauchsanleitung

Wartung

Das Modell TPS-compact erfordert keine Wartung (außer der Austausch des Tip-seal). Eventuelle Eingriffe dürfen nur durch autorisiertes Fachpersonal ausgeführt werden.

WARNUNG!

HINWEIS

Vor jedem Eingriff a m S ystem den Netzstecker ziehen, die Pu m pe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.

Bei Defekten kann der Agilent Service.

Bevor Fa. Agilent ein System zur Repara tur oder den Umtausc hdienst eingesandt wird, ist das Formular "Request for Return", das d iesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulege n.

Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.

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Gebrauchsanleitung

Entsorgung

Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten.

Das folgende Symbol ist in Übere ins timmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht.

Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.

Der Endabnehmer sollte daher den Liefer an te n de s Gerät s - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat.

Für weitere Informationen:

http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml

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Gebrauchsanleitung

Entsorgung

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TPS-compact User Manual

Mode d’emploi

Traduction de la mode d’emploi originale

Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 44 Indications générales 45 Symboles utilisés 46 Préparation pour l'installation 49 Installation 51 Utilisation 53 Mise en marche et utilisation du TPS-compact 54 Arrêt du TPS-compact 55 Arrêt d'urgence 55 Entretien 56 Mise au rebut 57

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Mode d’emploi

Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires

Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.

En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.

Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement le s instructions d'installat ion décrites dans ce manuel!

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Mode d’emploi

Indications générales

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité en cas de non-respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation impropre par un personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire aux réglementations nationales spécifiques.

Le TPS-compact est un système intégré, constitué d'une pompe turbomoléculaire conçue pour de s a pp lications de vide poussé et ultrapoussé et dotée d'un contrôleur et d'une pompe primaire. Le système est à même de pomper tou s les types de gaz et de composés gazeux mais il n'est pas adapté au pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée, mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement.

Le TPS-compact est totalement exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Le TPS-compact est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant de commander la soupape de ventilation, de le piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host connecté par ligne sérielle.

Les paragraphe s sui v ants fournissent toutes les indicat ions nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information".

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Mode d’emploi

Indications générales

Danger “Voir instuctions

Conducteur de

Surface chaude “Risque de

ON – Marche (Mise

Danger, risque

OFF - Arrêt (Mise hors

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions.

ATTENTION!

NOTE

Symboles utilisés

Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le nonrespect pourrait endommager sérieusement l'appareillage.

Les notes contienn ent des renseigneme nts importants, extrapolés du texte.

Les symboles suivants sont utilisés dans les différentes illustrations:

d’installation/mode d’emploi”

brûlure en cas de contact”

protection

sous tension)

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d’électrisation

tension)

Mode d’emploi

Indications générales

Quand la pompe est utilisée pour le pompage de gaz to xiques, inflammables ou radioact ifs, respectez les procédures spécifiques à ch aque gaz. N'utilisez pas la pompe en pr ésence de gaz explosifs. La pompe est conçue pour pomper de l'azote, de l'argon et des gaz p lus légers. En cas de nécessité de pomper des gaz plus lourds que l'argon, veuillez prendre contact avec l'assistance technique de Agilent pour plus d'informations.

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Mode d’emploi

Stockage

Pour garantir les performance s e t la fia bil ité maximales des systèmes de pompage Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes:

§ Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent

impérativement avoir lie u dan s les co nditions ambiantes suivantes:

§ température: de –20 °C à +70 °C

§ humidité relative: de 0 à 95 % (non condensante)

§ A la première utilisat io n, les po mp es tur bo mo lé culaires doivent

toujours être mises en marche en mode soft-Start

§ Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 12

mois à compter de la date d'expéditio n.

ATTENTION!

En cas de dépasseme nt du temps de stockage, le syst èm e de pompage doit êtr e retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone.

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Mode d’emploi

Préparatio n pour l'installa tion

Figure 1

Préparation pour l'installation

Le TPS-compact est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l' o p ér ation d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TPS-compact et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recycl a ble et conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement.

ATTENTION!

Afin d'éviter tout prob lème de dégazage, ne pas toucher, à mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée.

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Mode d’emploi

Préparatio n pour l'installa tion

NOTE

Le TPS-compact ne peut s' endommager en resta nt simplement exp osé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage clos jusqu'au moment de l'installation.

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Mode d’emploi

Installation

ATTENTION!

Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de prot ection qu'au moment de brancher la turbopom pe au système.

Ne pas installer et/ou utiliser le système de pompage dans des milieux expo sés aux agents atmo sp h ériques (pluie , gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie.

Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes:

§ pression max.: 2 bars au-delà de la pression atmosphérique

§ température: de +5 °C à +35 °C

§ humidité relativ e: 0 – 95 % (non condensante)

En présence de champs magnétiques, le systèm e de p om page doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés.

Le TPS-compact peut être installée dans n'importe quelle position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 50 Nm autour de son axe.

La turbopompe à bride d'entr ée ISO do it êtr e fix é e à la cha mbr e à vide à l'aide de colli ers doubles ou simp le s . Le tableau suivant décrit, pour chaque type de collier, le nombr e de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit.

Le système doit êtr e installé de manière à per mettre une interruption facile de l’alimentation.

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Mode d’emploi

Installation

Tab. 1

Câble d’alimentation : le cable destine au raccordement électrique doit avoir trois conducteurs (Phase+Neutre+Terre). La section du cable doit être de 0,75 mm² minimum (AWG18 ) .

ATTENZIONE!

NOTE

Laissez un espace libre autour du système de 20 cm minimum pour permettre une bonne circulation de l’air.

BRIDE TYPE DE COLLIER N.

ISO 63 Collier double à filet M10 4 22 Nm ISO 100 K Collier double à filet M10 4 22 Nm ISO 160 K Collier double à filet M10 4 22 Nm

COUPLE DE SERRAGE

La turbopompe à bride d'entr ée Con Fla t doit être fixée à la chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Agilent prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical Information".

Le TPS-compact ne peut être fixé par sa base.

Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Technical Information".

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Mode d’emploi

Utilisation

Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements

électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120°C en cas de bridage ConFlat et 80°C en cas de bridage ISO.

Ne jamais faire fonctionner le système de pompage si la bride d 'entrée n'est pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la bride de fermeture.

Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut être à l'origine de lésions graves.

Éviter tout choc ou déplacement de la turbopompe lorsqu'elle est en marche. Cela pourrait endommager les paliers et provoquer de graves dommages aux personnes et au x choses.

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Mode d’emploi

Utilisation

ATTENTION!

Mise en marche et utilisation du TPS-compact

Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte dépourvu de poussière, parti c ules ou humidité (Ex. azote). La pression d' e ntrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique).

Lorsque la pompe est utilisée pour le pom page de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser le sys tème de pompage en p résence de gaz explosifs.

Pour allumer le TPS-compact, il suffit de le brancher au réseau et de placer l'interrupteur extérieur sur ON. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de l'alimentation et met la pompe en marche.

Lors de la première mise en marche, il est con se illé d'adopter le mode "Soft Start" en l'activant sur le contrôleur; pour les démarrages suivants, il est conseillé de désactiver le mode "Soft Start". Pour la procédure d’activation de la modalité "Soft Start", se référer au paragraphe "SIGNAL DESCRIPTION" dans le chapitre "Technical Information".

La LED bleu "STATUS" placée sur le panneau arrière de la base du TPS-compact indique, par sa fréquen ce de clig notement, les conditions opérationnelles du système:

§ allumée fixe: la pomp e e s t en r o t ati on normale;

§ clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est en

état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente interlock.

§ clignote rapidemen t ( p ériode d'environ 200 ms): condition

d'erreur.

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Mode d’emploi

Utilisation

Pour une description détaillée du panneau de contrôle du TPScompact, consulter l'a ppend ice "Technical Information" .

Arrêt du TPS-compact

Pour arrêter le TPS-compact, il suffit de placer l'interrupteur extérieur sur OFF. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement le système de pompage.

Arrêt d'urgence

Pour arrêter le TPS-compact en condition d'urgence, débrancher le cordon d'alimentation de la prise ou placer l'interrupteur extérieur sur OFF.

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Mode d’emploi

Entretien

Le TPS-compact n'exige aucun entretien pa rticulier (à l’exception du remplacement du Tip-seal). Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé.

Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe soit inférieure à 50 °C.

En cas de panne, il est possible de bénéficier du service réparations Agilent.

NOTE

Avant de renvoyer une pompe au con st ructeur pour réparation, remplir et faire parvenir au bureau Agilent de v otre région la fiche "Request for Return” jointe au présent manuel d'i nst r uctions. Une copie de cette fic he devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimin ation conformément aux réglementations nationales concernant la gestion des déchets .

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Mode d’emploi

Mise au rebut

Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes.

Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE".

Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures ménagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par un système de collecte sélective.

Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateu r f i nal est donc pri é de contacter le four nisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour met tre en œu vr e le processus de collecte et mise au rebut.

Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse:

http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml

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Mode d’emploi

Mise au rebut

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TPS-compact User Manual

anual de istrucciones

Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 60 Información ge n er al 61 Símbolos usados 63 Almacenamiento 64 Preparación para la instalación 65 Instalación 67 Uso 69 Encendido y Uso del TPS-compact 70 Parada del TPS-compact 71 Parada de Emergenica 71 Mantenimiento 72 Eliminación 73

Traducción de las instrucciones originales

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Manual de istrucciones

Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares

Indicaciones de Seguri da d para Bombas Turbomoleculares

Las bombas Turbomoleculare s de scritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.

En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.

¡ADVERTENCIA!

Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir a tentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manua l!

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Manual de istrucciones

Información general

Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementar ia facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabil idades debidas al incumplimiento to ta l o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las n o r mas nacio nales específicas.

El TPS-compact es un sistema integrado compue st o por una bo mba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el respectivo controlador y la bomba primaria. El sistema puede bombear cualquier tipo de gas o de composición gaseosa, pero no es adecuado para bombear líquido s o partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene mediante una t ur bina r otativa de alta velocidad movida por un motor eléctrico trifás ico de alt o rend imien to.

El TPS-compact no posee absolutamente ningú n ag ente contaminante, por lo que es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”. Asimismo, el TPS-compact posee conectores auxiliares con los que se puede gobernar la válvula de ventilación y pilotearlo a distancia mediante un ordenador host conectado a través de línea serial.

A continuación se facilita toda la información necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo “Technical Information” se fa cilita información más detallada.

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Manual de istrucciones

Información general

Este manual utiliza las convenciones siguientes:

¡ADVERTENCIA!

¡ATENCIÓN!

NOTA

Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimien to o una ejecución específica q ue, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales.

Los mensajes de atención se visualiz an antes de los procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños al aparato.

Las notas contienen información importante extraída del texto.

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Manual de istrucciones

Información general

Peligro “Referirse a

Conductor de

Superficie caliente “Peligro las partes calientes”

ON - Arranque

Peligro, riesgo de descarga

OFF - Parada

Símbolos usados

Los siguientes símbolos se utilizan de modo co he r ente en todas las ilustraciones:

¡ADVERTENCIA!

instalación / funcionamiento”

de quemadura si se tocan

eléctrica

Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radiactivos , seguir los procedimientos adecuados, típicos para cad a gas. No usar la bomba en presencia de gases explosivos. La bomba está diseñada para bombear Nitrógeno, Argón y gases más livianos. En caso de que surja la necesidad de bo m bear gases más pesado s que el Argón, se solicita contactar co n la Asistencia T écnica de Agile nt para obt e ner información.

protección

(Alimentación)

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Manual de istrucciones

Almacenamiento

Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de los sistemas de bombeo Agilent, deberán ap l i c a rse las siguie ntes instrucciones:

§ durante el transpor te, desplazamien to y almacenamient o de la s

bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales:

§ temperatura: entre –20 °C y +70 °C;

§ humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);

§ el cliente deberá activ a r s iempre la s bo mbas tur bo mo leculares en

modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez;

§ el período máximo de almacen amiento de una bomba

turbomolecular es de 12 meses a contar de la fecha de envío al cliente.

¡ATENCIÓN!

En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de almacenamiento, será necesario devolver el sistema de bombeo al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent.

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Manual de istrucciones

Preparación para la instalación

Figura 1

Preparación para la instalación

El TPS-compact se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TPS-compact y de no someterlo a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.

¡ATENCIÓN!

Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.

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Manual de istrucciones

Preparación para la instalación

NOTA

El TPS-compact no pued e dañarse permaneciendo si m plemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.

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Manual de istrucciones

Instalación

¡ATENCIÓN!

Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento de conectar la turbobomba al sistema.

No instalar ni/o utilizar el si st e m a de bombeo en luga r e s ex p u estos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, ni en ambientes sujetos a riesgo de explosión o incendio.

Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes:

§ presión máxima: 2 bares por en cima de la presión atmosférica

§ temperatura: de +5 °C a +35 °C

§ humedad relativa: 0-95 % (no condensadora).

Cuando existan campos electro magnéticos, el sistema de bombeo ha de protegerse mediante pantallas adecuadas.

El TPS-compact puede ser instalado en cualquie r p osición . Fijar el TPS-compact en posición estable conectando la brida de

entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de resistir ha un par de 50 Nm en torno a su propio eje.

La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas sencillas. La tabla siguiente describe, por cada tipo de mordaza, el número de mordazas necesarias y con qué par de apriete apretarlas.

¡ADVERTENCIA!

Instalar el sistema de modo que se pueda interrumpir fácilmente la alimentación.

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Manual de istrucciones

Instalación

Asegurar un espacio libre alrededor del sistema de al menos 20 cm para permitir

Tab. 1

¡ATENCIÓN!

Cable de alimentación: el cable adecuado para la conexión eléctrica es un cable de tres conductores (Fase+Neutro+Tierra). El cable debe

tener una sección de al menos 0,75 mm

(AWG18).

una adecuada circulación de aire.

BRIDA TIPO DE MORDAZA N. PAR DE APRIETE

ISO 63 Mordaza doble con rosca M10 4 22 Nm ISO 100 K Mordaza doble con ros ca M10 4 22 Nm ISO 160 K Mordaza doble con ros ca M10 4 22 Nm

La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la cámara de vacío mediante los accesor io s me cán ico s específicos Agilent. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”.

NOTA

El TPS-compact no puede fijarse utilizando su base.

Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”.

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Manual de istrucciones

Uso

En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y

neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120 °C con una fijación con brida ConFl at y a 80 ºC con una fijación con brida ISO.

¡ADVERTENCIA!

No hacer fun cionar nunca el sistema de bomb eo si la brida d e e ntrada no está conectada a la cámara de vacío o no está cerrada con la brida de cierre.

No tocar la turbobomba y sus posibles acceso rios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas.

Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba cuando está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar y se podrían verificar daños a las personas o a las cosas.

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Manual de istrucciones

Uso

partículas y humedad (por ej.: nitrógeno). La presión de entrada a través de la

¡ATENCIÓN!

ADVERTENCIA

Encendido y Uso del TPS-compact

Para el "envío al aire" de la bomba utilizar gas inerte exento de polvo,

respectiva puerta debe ser inferior a 2 bares (por encima de la presión atmosférica).

Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivo s, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar el sistema de bombeo cuando haya gases explosivos.

Para encender el TPS-compact basta conectar la tensión de alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de la alimentación y pone en marcha la bomba.

Al efectuar el primer encendido conviene adoptar la modali dad "Soft Start" activándola en el controller, mientras que para las sucesivas activaciones se aconseja inhabilitar dicha modalidad "Soft Start". Para el procedimiento de activació n de la modalidad “Soft Start” consultar el punto “Signal Description” del capítulo “Technica l Information”.

El LED azul “STATUS” situado en el panel trasero de la base del TPScompact indica, con la frecuen cia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema:

§ encendido fijo: la bomba e st á e n rot ación normal;

§ parpadea lentamente (período de 400 ms aproximadamente): el

sistema está e n e s tado de rampa, o de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock”;

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Manual de istrucciones

Uso

§ parpadea rápidamente (período de 200 ms aproximadamente):

situación de error.

Una descripción detallada del panel de control del TPS-compact aparece en el apéndice "Technical Information".

Parada del TPS-compact

Para detener el TPS-compact basta disponer el interruptor externo en posición OFF. El controlador incorporado detiene inmediatamente el sistema de bombeo.

Parada de Emergenica

Para interrumpir inmediatame nt e en caso de emergencia el funcionamiento del TPS-compact, se deberá desenchufar el cable de alimentación de la toma de red o disponer el interruptor externo en posición OFF.

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Manual de istrucciones

Mantenimiento

El TPS-compact no necesita ningún mantenimie nt o (a e x cepción de la sustitución del Tip-seal). Toda intervención deberá ser realizada por personal autor i zado.

ADVERTENCIA

NOTA

Antes de realiz ar cualquier operación en el sistema, desco nectarlo de la alimentación, disponer la bomba en pr esión atmosférica abriendo la v álvula respectiva y espera r hasta que el rotor se pare completamen te y que la temperatura superficial de la bomba se reduzca a menos de 50 ºC.

En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Agilent.

Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación, es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Request for Return” adjunta al presente manual d e instrucciones. Una co pia de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo.

En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo respetando las normas nacio nales específi c as.

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Manual de istrucciones

Eliminación

Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas.

El símbolo que se indica a contin uación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE".

Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos doméstico s o industriales, y que, por el contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de recog ida dif erenciada.

Por lo tanto, se invita al usuario final, a ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder prove er a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta.

Para mayor información, remitirse a:

http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml

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Manual de istrucciones

Eliminación

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TPS-compact User Manual

Manual de Istruções

Tradução das instruções originais

Indicações de Seg ur ança para Bombas Turbomoleculares 76 Informações gerais 77 Símbolos utilizados 79 Armazenagem 80 Preparação para a instalação 81 Instalação 83 Utilização 85 Acendimento e Utilização do TPS-compact 86 Paragem do TPS-compact 86 Pa ragem de Emergência 87 Manutenção 88 Eliminação 89

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Manual de Istruções

Indicações de Segurança para Bombas Tu rbomolecular e s

Indicações de Seguran ça para Bombas Turbomoleculares

As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores.

Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.

ATENÇAO!

Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as inst ruções de instalação descritas neste manual!

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Manual de Istruções

Informações gerais

Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pel a Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.

O TPS-compact é um sistema integrado, constituíd o por uma bo mba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, equipado com os respectivos controller e bomba primária. O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso, mas não é apropriado para bombear líquido s ou partículas sólidas.

O efeito da bomba é obtido através d e uma tur bina r ot at iv a de alta velocidade movida por um motor el é ctr ico trifásico de alto rendimento. O TPS-compact é totalmente isento de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".

Além disso, o TPS-compact tem conec to r es auxiliares através dos quais é possível alimentar uma válvula de vent, accioná-lo por um controlo remoto através de um comput e r h ost co ne ctado por meio de linha serial. Nos seguintes p ar ágrafos estão descritas todas as informaçõe s necessárias par a garantir a segurança do operador durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information".

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Manual de Istruções

Informações gerais

Este manual utiliza as seguintes convenções:

ATENÇAO!

CUIDADO!

NOTA

As mensagens de atençao chamam a atenção do operador para um procedimen to ou uma prát ica específica que, se não efectuada correctamente, p ode provocar grav es lesões pessoais.

As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem causar danos à aparelhagem.

As notas contêm inf ormações importantes destacadas do texto.

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Manual de Istruções

Informações gerais

Perigo “Consulte a

Condutor de proteção

Superfície quente “Perigo

tocadas”

ON - Ligação Perigo, risco de choque

OFF - Paragem

Símbolos utilizados

Os seguintes símbolos são utilizados de modo coerente em todas as ilustrações:

instalação/ funcionamento”

ATENÇAO!

de queimaduras se as partes quentes forem

elétrico

Quando a bomba for utilizada para a bombagem de gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos normais adequados para qualquer tipo de gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. A bomba está projectada para bombear Nitrogénio, Argon e gases mais ligeiros. Caso seja necessário bombear gases mais pesados que o Argon, pede-se entrar em contacto com a Assistência Técnica da Agilent para mais informações.

(Alimentação)

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Manual de Istruções

Armazenagem

Para garantir o nível Máximo de funcion al idade e fiabilidade dos sistemas de bombagem Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições:

§ durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das

bombas as condições ambientais dev e m se r as se g uintes:

§ temperatura: de –20 °C a +70 °C

§ umidade relativa: de 0 a 95 % (não condensante)

§ ao accionar as bombas turbomol e culares pela primeira vez, o

cliente deve activá-las sempre em modalidade Soft-Start

§ o tempo máximo de armazenagem de uma bo mba t urbomo l ecular

é de 12 meses a contar da data da expedição.

CUIDADO!

Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será necessário enviar o sistema de bombeamento para o fabricante. Para mais informações, contactar o representante local da Agilent.

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Manual de Istruções

Preparação para a instalação

gás, não tocar com as mãos os componentes

Figura 1

Preparação para a instalação

O TPS-compact é fornecido numa embalagem protectora especia l; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem, to mar muito cuidado para não deixar cair o TPS-compact e para não su b m e tê -lo a choques ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é completamente recicláve l e em confo r midade com a norma CEE 85/399 para a protecção do meio ambien te .

CUIDADO!

Para evitar problemas de perdas de destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.

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Manual de Istruções

Preparação para a instalação

NOTA

TPS-compact não pode ser danificado permanecendo sim plesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó.

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Manual de Istruções

Instalação

CUIDADO!

Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema.

Não instalar e/ou usar o sistema de bombeamento em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com po ss ibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio.

Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambien tais:

§ pressão máxima: 2 bar além da pressã o atmo sférica

§ temperatura: de + 5 °C a + 35 °C

§ humidade relativa: 0 – 95 % (não condensante).

Na presença de campos electromagnéticos, o si stema de bombeamento deve ser protegida através de blindagens adequadas.

TPS-compact pode ser instalado em qual q ue r posição. Fixar a aparelhagem em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de res istir a um torque de 50 Nm ao redor do próprio eixo.

A turbobomba com flange de entrada I SO, d eve se r fixada à câ mara de vácuo através de grampos duplos ou sim p les. A tabela a segui r indica, para todos os tipos de grampos, o número de grampos e o torque de aperto necessários.

ATENÇAO!

TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 83/312

O Sistema deve ser instalado, de modo a permitir uma fácil interrupção da alimentação.

Manual de Istruções

Instalação

Tab. 1

Cabo de Alimentação: O cabo adequad o para a ins ta laçã o eléctrica é um cabo de três condutores (Fase+Neutro+Te rr a) . A secçã o do cabo deve ser no mínimo de 0,75 mm² (AWG18).

CUIDADO!

NOTA

Garantir um espaço livre em torno do sistema de no mínimo 20 cm, a fim de permitir a circulação de ar adequada.

FLANGE TIPO DE GRAMPO N. TORQUE DE APERTO

ISO 63 Grampo dupl o com rosca M10 4 22 Nm ISO 100 K Grampo duplo com r osca M10 4 22 Nm ISO 160 K Grampo duplo com r osca M10 4 22 Nm

A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica Agilent. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information".

O TPS-compact não pode ser fixado por intermédio da sua própria base.

Para a instalação dos acessórios o p cionais, consultar "Technical Information".

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Manual de Istruções

Utilização

Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais.

Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o possível aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 120°C com flangeamento ConFlat e a 80°C com flangeamento ISO.

ATENÇAO!

Nunca activar o sistema de bo m beamento se o flange de entrada não estiver ligado à câmar a de vácuo ou não estiver fechado com o fla nge de fecho.

Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A elevada tem peratura pode causar lesões às pessoas.

Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos e poderia verificar-se lesões às pessoas ou às coisas.

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Manual de Istruções

Utilização

humidade (p. ex.: Azoto). A pressão de entrada através da porta específica deve

CUIDADO!

ATENÇAO!

Para a "saída de ar" da bomba, utilizar gás inerte sem poeiras, partículas ou

ser inferior a 2 bars (além da pressão atmosférica).

Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivo s, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar o sistema de b ombeamento na presença de gases explos ivos.

Acendimento e Utilização do TPS-compact

Para ligar o TPS-compact é suficiente conectá-lo à rede de alimentação e colocar o interruptor exterior na posição de ON. O controller incorporado detect a automaticamente a corrente de alimentação e ac c i o na a bomba.

Quando ligar o aparelho pela primeira vez é aconselhável utilizar a modalidade "Soft Start" activando-a através do controller. Posteriormente aconselha-se a desactivar a modalidade "Soft Start". Para o procedimento de activação da modalidade “Soft Start” usar como referência o parágrafo “Sig nal Description” no capítulo “Technical Information”.

A luz piloto azul “STATUS”, posicionada no pa ine l t rase ir o da base do TPS-compact, indica, através da frequência de intermitên cia, as condições operacionais d o siste ma:

§ acesa fixa: a bomba funcion a normalmente;

§ intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema está em

estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting for interlock”.

§ intermitência ráp ida (pe r íod o d e ap rox. 200 ms): condição de

erro.

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Manual de Istruções

Utilização

Para informações mais detalhadas sobre o painel de comando do TPS-compact, consultar o apênd ice " Te chnical Information".

Paragem do TPS-compact

Para parar o TPS-compact é suficiente colocar o interruptor exterior na posição OFF. O controller incor p o rado pára ime diatamente o sistema de bombeamento.

Paragem de Emergência

Para parar em condições de emergência o TP S-compact é necessário desligar o cabo de alimentação da tomada da rede de alimentação, ou colocar o interruptor exterior na posição OFF.

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Manual de Istruções

Manutenção

Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações, é indispensável

Manutenção

O TPS-compact não requer qualquer manutenção (com excepção da substituição do Tip-seal). Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.

ADVERTENCIA!

NOTA

Antes de executar qualquer operação n o sistema, desligá-lo da rede de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.

Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de assistência Agilent.

preencher e enviar ao escritóri o d e vend as local a ficha "Request for Return" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedição.

Caso uma bomba deva ser eliminada , a ctue em confo rmid ade com as normas nacionais específica s.

88/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)

Manual de Istruções

Eliminação

Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE

denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade

Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os res íduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de r e colha diferenciada. Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna verificação dos termos e condiçõ es do cont r at o de venda.

Para maiores informações consultar:

http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml

TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 89/312

Manual de Istruções

Eliminação

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TPS-compact User Manual

Bedrijfshandleiding

Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 92 Algemene informatie 93 Gebruikte symbolen 95 Opslag 96 Uitpakken 97 Installatie 99 Gebruik 101 Insc hakeling en gebruik van de TPS-compact 102 Afzetten van de TPS-compact 103 Noodstop 103 Onderhoud 104 Afvalverwerking 105

Vertaling van de originele instructies

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Bedrijfshandleiding

Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen

De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de s pe cif ieke massa van hun rotoren.

In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.

WAARSCHUWING!

Om schade aan de a pparatuur en letsel bij de bedieners te vo o rkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd!

92/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)

Bedrijfshandleiding

Algemene infor ma tie

Algemene informatie

Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich ni e t aa nsprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifiek e nat io nale wetgeving.

De TPS-compact is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen en een primaire pomp bestaat. Het systeem is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een z eer snel dra aiende turbine die aan gedreven w ordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De TPS-compact is volledig vrij van verontrein ig ingen en is dus ook geschikt voor toepassinge n die een "schoon" vacuüm verlangen. De TPS-compact is bovendien van hulpconnectors voorzien waarmee de ontluchtingsklep kan worden aangestuurd, en waarmee het systeem d.m.v. een serieel aangesloten host computer op afstand kan worden bediend.

In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde infor mat ie is te v inden in de bijlage "Technical information”.

TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 93/312

Bedrijfshandleiding

Algemene infor ma tie

WAARSCHUWING!

Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik:

Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letse l kan veroorzaken.

VOORZICHTIG!

OPMERKING

Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.

De opmerkingen bevatten b elangrijke informatie die uit de tekst is gelicht.

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Bedrijfshandleiding

Algemene infor ma tie

Gevaar “Raadpleeg

Beschermingsgeleider

Heet oppervlak “Gevaar

onderdelen”

ON - Starten (Voeding) Gevaar, risico op

OFF - Stoppen

WAARSCHUWING!

Gebruikte symbolen

In alle afbeel di ng en worden systematisch de vol g ende symbolen gebruikt:

installatie / werking”

voor verbrandingen bij aanraken van hete

elektrische schok

Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de pro cedures worden gevolg d die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aan wezigheid van explosieve gassen. De pomp is voor h et verpompen van stiks tof, argon en lichtere gassen ontworpen. Indien de noodzaak bestaat om zwaardere gassen dan argon te pompen, wordt u verzocht om voor informatie contact op te nemen met de Technische Service van Ag ilent.

(Voeding)

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Bedrijfshandleiding

Opslag

Om een zo goed mogelijke werking en betrouw b aarheid van de pompsystemen van Agilent te garande ren, moeten de volgend e voorschriften in acht worden genomen:

§ tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan

de volgende omgevingscondities worden voldaan:

§ temperatuur: van –20 °C tot +70 °C

§ relatieve vochtigheid: van 0 tot 95 % (niet condenserend)

§ de klant moet de turbomolecul a ir e p o mpen altijd met de Soft-

Start opstarte n w anneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld

§ de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bed r aa gt 12

maanden va naf de verzend datum.

VOORZICHTIG!

Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet het pompsysteem weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informa tie wordt verzocht contact op te nemen met d e plaatselijke vertegenw oordiger van Agilent.

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Bedrijfshandleiding

Uitpakken

Figuur 1

Uitpakken

De TPS-compact wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TPS-compact niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking ni e t erg ens buiten ach ter . Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/ 39 9.

VOORZICHTIG!

Om ontgassingsprob lemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met d e blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd handschoenen of een ande re geschikte bescherming.

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Bedrijfshandleiding

Uitpakken

OPMERKING

De TPS-compact kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aa ngeraden om de pomp gesloten te houde n z olang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen.

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Bedrijfshandleiding

Installatie

VOORZICHTIG!

Alleen op het moment waarop de turbopomp op het syst eem wordt aangesloten mogen de sti c ker en de beschermdop ver wi jderd worden.

Het pompsysteem mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw ), stof, agressi e v e g assen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar

Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn

§ max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk

§ temperatuur: van +5 °C tot +35 °C

§ relatieve vochtigheid: 0 – 95 % (niet condenserend).

In aanwezigheid van magnetische velden moet het pompsysteem op passende wijze afgeschermd worden.

De TPS-compact kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de TPS-compact in een stabiele positie en verbind de

inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 50 Nm rondom de eigen as kan verdragen.

De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden verbonden met behulp va n dubbele of enkelvoudige klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke of klemtype, het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden.

TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 99/312

Bedrijfshandleiding

Installatie

WAARSCHUWING!

te van minstens 20 cm rond het systeem, met het oog op

Tab. 1

Het Systeem moet o p dusdanige wijze geïnstalleerd worden d at de voeding makkelijk onderbroken kan worden.

Voedingskabel: De kabel die geschikt is voor de elektrische aansluiting heeft drie geleiders (Fase+Neutraal+Aarde). De kabel moet een doorsnede van minstens 0,75 mm

(AWG18) hebben.

VOORZICHTIG!

OPMERKING

Zorg voor een vrije ruim een correcte luchtcircula tie.

FLENS KLEMTYPE NR. AANHAAL-KOPPEL

ISO 63 Dubbele klem met M1 0 schroefdraad 4 22 Nm ISO 100 K Dubbele klem met M10 schroefdraad 4 22 Nm ISO 160 K Dubbele klem met M10 schroefdraad 4 22 Nm

De turbopomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de specia le mechanische bevestigingselementen van Agilent. Zie voor meer informatie de bijlage "Techni c al Information".

De TPS-compact kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd.

Zie “Technical Information” v o o r inst al la tie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn.

100/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)

Agilent Technologies X3580-64000, X3580-64002, X3580-64005, X3580-64003, X3580-64001 User Manual

Specifications and Main Features

Frequently Asked Questions

User Manual

TPS-compact

Contents

Istruzioni per l’uso

Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari

Informazioni Generali

Simboli usati

Immagazzinamento

Preparazione per l’installazione

Installazione

Accensione ed Uso del TPS-compact

Arresto del TPS-compact

Arresto di Emergenza

Manutenzione

Smaltimento

Gebrauchsanleitung

Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen

Allgemeine Informationen

Verwendete Symbole

Lagerung

Vor der Installation

Installation

Gebrauch

Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-compact

Stoppen von Modell TPS-compact

Not-Aus

Wartung

Entsorgung

Mode d’emploi

Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires

Indications générales

Symboles utilisés

Stockage

Préparatio n pour l'installa tion

Installation

Utilisation

Mise en marche et utilisation du TPS-compact

Arrêt du TPS-compact

Arrêt d'urgence

Entretien

Mise au rebut

Indicaciones de Seguri da d para Bombas Turbomoleculares

Información general

Símbolos usados

Almacenamiento

Preparación para la instalación

Instalación

Encendido y Uso del TPS-compact

Parada del TPS-compact

Parada de Emergenica

Mantenimiento

Eliminación

Manual de Istruções

Indicações de Seguran ça para Bombas Turbomoleculares

Informações gerais

Símbolos utilizados

Armazenagem

Preparação para a instalação

Instalação

Utilização

Acendimento e Utilização do TPS-compact

Paragem do TPS-compact

Paragem de Emergência

Manutenção

Eliminação

Bedrijfshandleiding

Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen

Algemene infor ma tie

Gebruikte symbolen

Opslag

Uitpakken

Installatie