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Manual Part Number
Publication Number: 87-901-010-01 (F)
Edition
Edition 11/2015
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered tradema rks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
indicated conditions are
until the
fully understood and met.
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
TPS-compact
TPS-compact
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 3/312
TPS-compact
4/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Contents
1
2
Contents
Istruzioni per l’uso 13
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Immagazzinamento 18
Preparazione per l’ins ta lla zi one 19
Installazione 20
Uso 22
Manutenzione 25
Smaltimento 26
Gebrauchsanleitung 27
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28
Allgemeine Informationen 29
Lagerung 32
Vor der Installation 33
Installation 35
Gebrauch 37
Wartung 40
Entsorgung 41
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 5/312
Contents
3
4
5
Mode d’emploi43
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 44
Indications générale s 45
Stockage 48
Préparation pour l'inst a ll at io n 49
Installation 51
Utilisation 53
Entretien 56
Mise au rebut 57
Manual de istrucciones 59
Indicaciones de Seguri dad para Bombas Turbomole cu la r es 60
Información general 61
Almacenamiento 64
Preparación para la instalación 65
Instalación 67
Uso 69
Mantenimiento 72
Eliminación 73
Manual de Istruções75
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 76
Informações gerais 77
Armazenagem 80
6/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Contents
6
7
Preparação para a instalação 81
Instalação 83
Utilização 85
Manutenção 88
Eliminação 89
Bedrijfshandleiding 91
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 92
Algemene informatie 93
Opslag 96
Uitpakken 97
Installatie 99
Gebruik 101
Onderhoud 104
Afvalverwerking 105
Istruktionsbog107
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 108
Generel Information 109
Opbevaring 112
Forberedelse før installation 113
Installation 114
Anvendelse 116
Vedligeholdelse 119
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 7/312
Contents
8
9
10
Bortskaffelse 120
Bruksanvisning121
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 122
Allmän Informatio n 123
Förvaring 126
Förberedelser för inst a llati o ne n 127
Installation 128
Använding 130
Underhåll 133
Bortskaffning 134
Instruksjon Manual 135
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 136
Generell informas jon 137
Lagring 140
Klargjøre til installasjon 141
Installasjon 142
Bruk 144
Vedlikehold 147
Kassering 148
Ohjekäsikirja149
Turbomolekyylip um pp uje n T urva oh je e t 150
Yleisiä tietoja 151
Turbomolekularnych 182
Ogólne informacje 183
Magazynowanie 186
Przygotowanie do instalacji 187
Instalacja 188
Użytkowanie190
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 9/312
Contents
13
14
15
Konserwacja 193
Przetworstwo odpadow 194
Návod k Použití195
Bezpečnostnínávod pro Turbomolekulární vývěvy 196
Všeobecné informace 197
Uskladnění 200
Příprava k instalaci 201
Instalace 202
Použití 204
Údržba 207
Likvidace 208
Návod na Obsluhu 209
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy210
Všeobecné informácie 211
Uchovávanie 214
Príprava na inštaláciu 215
Inštalácia 217
Použitie 219
Údržba 222
Likvidácia 223
Priročnik za Navodila 225
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 226
10/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Contents
16
17
Splošne informacije 227
Shranjevanje 230
Priprava za montažo 231
Montaža 232
Uporaba 234
Vzdrževanje 237
Odlaganje opadkov 238
Instructions for Use 239
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 240
General Informatio n 241
Storage 244
Preparation for Insta ll atio n 245
Installation 246
Use 248
Maintenance 251
Disposal 252
Technical Information 253
Description of the TPS-Compact 255
Technical Specification 261
TPS-Compact Outline 263
Interconnections 272
RS 232/RS 485 Communication Des cription 286
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 11/312
Contents
Window Protocol 289
Service Options 299
Orderable Parts 305
12/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
TPS-compact User Manual
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Simboli usati 17
Immagazzinamento 18
Preparazione per l’installazione 19
Installazione 20
Uso 22
Acce nsione ed Uso del TPS-compact 23
Arrest o del TPS-compact 24
Arresto di Emergenza 25
Manutenzione 25
Smaltimento 26
Traduzione delle istruzioni originali
13/312
1
Istruzion i per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari d es cr itt e nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
Per evitare d anni all'apparecchiatur a e prevenire lesio ni agli operatori, è
necessario s e guire attentamente le istruzioni di installazione descr itte nel
presente manuale!
14/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Istruzion i per l’uso
Informazioni Generali
1
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informa zio ne addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso impropr io da par te di pe rs onale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali spe cif iche .
Il TPS-compact è un sistema integrato costituito da una pompa
turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto integrata
dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il sistema è capace di
pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è adatto
per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità mossa da un motore elett r ico tr if as e ad al to rendimento. Il
TPS-compact è totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi
adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Il TPS-compact ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i q ual i è
possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto tramite
un computer host collegato tramite linea seriale.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicu r ezza dell'operator e du rante l'utilizz o
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 15/312
1
Istruzion i per l’uso
Informazioni Generali
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni person ali.
ATTENZIONE!
NOTA
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
16/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Istruzion i per l’uso
Informazioni Generali
1
Pericolo “Riferirsi a
Conduttore di
Superficie calda “Pericol o
toccate le parti calde”
ON - Avviamento
Pericolo, rischio di scossa
OFF - Arresto
Simboli usati
I seguenti simboli sono utilizzati in modo coerente in tutte le
illustrazioni:
AVVERTENZA!
installazione /
funzionamento”
di scottature se v e n g o n o
elettrica
Quando la pompa viene utilizzata per il po mpaggio di gas t ossici, infiamm abili
o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non
usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi. La pompa è
progettata per un elevato trasferimento di N2, Ar e gas leggeri. Nel caso in
cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti di Ar, r ivolgersi al
supporto tecnico Agilent per informa z ioni.
protezione
(Alimentazione)
(Alimentazione)
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 17/312
1
Istruzion i per l’uso
Immagazzinamento
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livel lo di funzionalità ed affidabil ità dei
sistemi di pompaggio Agilent, devono essere osservate le segue nti
prescrizioni:
§ durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
§ temperatura: da –20 °C a +70 °C
§ umidità relativa: da 0 a 95 % (non condensante)
§ il cliente deve sempre avvia r e le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevut e e mess e in funzione per la prima volta
§ il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 12 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
rinviare il sistema di pompaggio in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di
contattare il locale rappresentante della Agilent.
18/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Istruzion i per l’uso
Preparazione per l’installazione
1
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra
Figura 1
momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da
Preparazione per l’installazione
Il TPS-compact viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di
disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il
TPS-compact e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non dispe rdere
l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente ricicl a bile e
risponde alla di re t ti v a CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
NOTA
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
protezione adeguata.
Il TPS-compact non può essere danneggi ato rimanendo semplicemente esposto
all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al
polvere.
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 19/312
1
Istruzion i per l’uso
Installazione
Installazione
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del
collegamento della turbopompa al sistema.
Non installare e/o utilizza re il sistema di pompaggio in ambienti
esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas
aggressivi, in ambienti esplo sivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
§ pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
§ temperat u ra: da + 5 °C a +35 °C
§ umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante).
In presenza di campi elettromag netici il sistema di pompaggio deve
essere protetto tramite opportuni schermi.
Il TPS-compact può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il
TPS-compact in posizione stabile col l egando la flangia di ingresso
della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad
una coppia di 50 Nm a t to rno al proprio as se .
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla
camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o mo rset ti singoli. La
seguente tabella descrive, per ogni tipo di morsetto, il numero di
morsetti necessari e con quale coppia di se r rag g io stringerli.
Il Sistema deve esser e installato in modo da permettere una facile
interruzione dell’alimentazione.
20/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Istruzion i per l’uso
Installazione
1
Tab. 1
Cavo di Alimentazione: Il cavo adatto al collegamento elettrico è un
cavo a tre conduttori (Fase+Neutro+Terra). La sezione del cavo deve
2
essere almeno di 0,75 mm
(AWG18).
ATTENZIONE!
NOTA
Assicurare uno spazio libero intorno al sistema di minimo 20 cm al fine di
permettere un’adeguata circolazione dell’aria.
FLANGIA TIPO DI MORSETTO N.
ISO 63 Morsetto doppi o con filettatura M10 4 22 Nm
ISO 100 K Morsetto doppio con fi lettatura M10 4 22 Nm
ISO 160 K Morsetto doppio con fi lettatura M10 4 22 Nm
COPPIA DI
SERRAGGIO
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo dell'ap pos ita minuteria meccanica
Agilent. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Techn ical
Information".
Il TPS-compact non può essere fissato tramite la sua base.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 21/312
1
Istruzion i per l’uso
Uso
Uso
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative.
Prima di usare il sistema verificare che tutti i collegamenti elettr ici e
pneumatici siano stati realizzati correttamente. Durante l'eventuale
riscaldamento della camera da vuoto, la temp e ratura sulla flangi a di
ingresso non deve essere superiore a 120 °C con flangiatura ConFlat
e a 80 °C con flangiatura ISO.
Non far funzionare mai il sistema di pompaggio se la fla ngia di ingresso non è
collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori du rante le operaz ioni
!
di riscaldam ento. L'elevata temperatura può causar e lesioni alle per sone.
Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti
!
potrebbero danneggiarsi e potrebbero verificarsi danni alle persone o alle
cose.
22/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Istruzion i per l’uso
Uso
1
ATTENZIONE!
AVVERTENZA!
Accensione ed Uso del TPS-compact
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente da polvere,
particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di ingresso attraverso l'apposita
porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica).
Quando la pompa viene utilizzata per il po mpaggio di gas t ossici, infiamm abili
o radioatt ivi, seguire le ap propriate procedure tipiche di ciascun gas. Non
usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi.
Per accendere il TPS-compact è sufficie nte fornire la tensione di
alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno. Il
controller incorporato riconosce automaticamente la presenza
dell’alimentazione ed avvia la pompa.
Alla prima accensione è bene adottare la modalità "Soft Start"
attivandola sul controller, per gli avvii successivi si cons iglia di
disabilitare la modalità "Soft Start". Per la procedura di attivazione
della modalità "Soft Start" far riferimento al paragrafo "Signal
Description" nel capitolo "Technical Information".
Il LED blu “STATUS” posto sul pannello posteriore della base del
TPS-compact indica, con la frequen za del suo lampeggio, le
condizioni op e r ative del sistem a:
§ acceso fisso: la pompa è in rot a zio ne no rmale;
§ lampeggiante lenta me nte (periodo di circa 400 ms): il sistema è in
stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Waiting for
interlock”;
§ lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): condizione
di errore.
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 23/312
1
Istruzion i per l’uso
Uso
Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del TPScompact vedere l'appendice "Technical Information".
Arresto del TPS-compact
Per arrestare il TPS-compact è sufficiente mettere in posizione OFF
l'interruttore esterno. Il controller incorporato arresta
immediatamente il sistema d i p o mpag g io .
Arresto di Emergenza
Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS-compact occorre
staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o spostare
l'interruttore esterno in posizione OFF.
24/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Istruzioni per l’uso
Manutenzione
1
allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita
Manutenzione
Il TPS-compact non richiede alcuna manutenzione (ad eccezio ne
della sostituzione del Tip-seal). Qualsiasi intervento deve essere
eseguito da personale autorizz ato.
Prima di effettuare quals iasi interven to sul sistema sco llegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola,
attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura
superficiale della pompa sia inferiore a 5 0 °C.
In caso di guasto è possibile usufr uir e del s e rvizio di riparazione
Agilent.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni, è indispensabile
compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Request for Return"
nell'imballo del sistema prima della spedizione.
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla sua
eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 25/312
1
Istruzion i per l’uso
Smaltimento
Smaltimento
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette.
Il simbolo qui sotto riportato è a pplicato in ottemperanza alla
direttiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea)
indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito
insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere
avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del
dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il
processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei
termini e condizioni contrattuali di vendita.
26/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
TPS-compact User Manual
2
Gebrauchsanleitung
Übersetzung der Originalanleitungen
Sicherheitshinw eise für Turbomolekul arpumpen 28
Allgemeine Informationen 29
Verwend ete Symbole 31
Vor der Installation 33
Installation 35
Gebrauch 37
Einschaltung und Gebrauc h von
Modell TPS-compact 38
Stoppen von Modell TPS-compact 39
Not-Aus 39
Wartung 40
Entsorgung 41
27/312
2
Gebrauchsanleitung
Sicherheits hinweise für T urbomolekularpumpen
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanw e isung beschriebenen
Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen
Rotationsgeschwindig keit in Verbindung mit dem spezifischen
Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte die se
Rotationsenergie freigesetzt werden.
WARNUNG!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!
28/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Gebrauchsanleitung
Allgemeine Informationen
2
Allgemeine Informationen
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor
dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch
teilweiser Ni c htbeachtung der enthaltene n Anw e isungen,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht
autorisierten Eingriffen u nd Mißachtung der nationalen
einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei
Haftung.
Modell TPS-compact ist ein integriertes System, das aus einer
Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-anwendungen,
integriert mit einem entsprechenden Controller und der
Primärpumpe, besteht. Das System eignet sich für die Förderung
aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für
die Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln. Die
Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine erreicht, die von
einem Hochleistungsdreh stro mmo tor angetrieben wird.
Modell TPS-compact enthält keinerlei umweltschädliche Subst an ze n
und eignet sich deshalb auch für Anwendungen, die ein "sauberes"
Vakuum erfordern. Modell TPS-compact verfügt des weiteren über
Zusatzanschlüsse, über die das Entlüftungsventil gesteuert oder die
Vorrichtung von einem Host Computer über eine serielle Leitung
gesteuert werden kann.
In den folgenden Abschnitt en sind alle erforde rlichen Informationen
für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts
aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 29/312
2
Gebrauchsanleitung
Allgemeine Informationen
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaß en hervorgehoben:
WARNUNG!
VORSICHT!
HINWEIS
Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen
Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei un ko rrekter
Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.
Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen ang egeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage v er ursachen könnten.
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben
werden.
30/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
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