Agilent Technologies X3580-64000, X3580-64002, X3580-64005, X3580-64003, X3580-64001 User Manual

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TPS-compact
X3580-64024, X3580-64025, X3580-64026, X3580-64027
Instruksjon manual
Ohjekäsikirja
Felhasználói kézikönyv
Podrecznik i nstrukcji
Návod k použití
Návod na obsluhu
Priročnik za navodila
User Manual
Models: X3580-64000, X3580-64001, X3580-64002, X3580-64003, X3580-64004, X3580-64005, X3580-64006, X3580-64007, X3580-64010, X3580-64011, X3580-64012, X3580-64013, X3580-64014, X3580-64015, X3580-64016, X3580-64017, X3580-64020, X3580-64021, X3580-64022, X3580-64023,
87-901-010-01 (F) 11/2015
CAUTION
WARNING
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2015 No part of this manual may be
reproduced in any form or by any means (including electronic storage and retrieval or translation into a foreign language) without prior agreement and written consent from Agilent Technologies, Inc. as governed by United States and international copyright laws.
Manual Part Number
Publication Number: 87-901-010-01 (F)
Edition
Edition 11/2015 Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A. Vacuum Products Division Via F.lli Varian, 54 10040 Leinì (TO) ITALY
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Technology Licenses
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Restricted Rights Legend
If software is for use in the performance of a U.S. Government prime contract or subcontract, Software is delivered and licensed as “Commercial computer software” as defined in DFAR 252.227-7014 (June
1995), or as a “commercial item” as defined in FAR 2.101(a) or as “Restricted computer software” as defined in FAR 52.227-19 (June 1987) or any equivalent agency regulation or
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1987). U.S. Government users will receive no greater than Limited Rights as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2) (November 1995), as applicable in any technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S. registered tradema rks of Microsoft Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard. It calls attention to an operating procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to, could result in damage to the product or loss of important data. Do not proceed beyond a CAUTION notice until the indicated conditions are fully understood and met.
A WARNING notice denotes a hazard. It calls attention to an operating procedure, practice, or the like that, if not correctly performed or adhered to, could result in personal injury or death. Do not proceed beyond a WARNING notice
indicated conditions are
until the fully understood and met.
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TPS-compact

TPS-compact

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TPS-compact
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Contents
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Contents

Istruzioni per l’uso 13
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Immagazzinamento 18 Preparazione per l’ins ta lla zi one 19 Installazione 20 Uso 22 Manutenzione 25 Smaltimento 26
Gebrauchsanleitung 27
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Lagerung 32 Vor der Installation 33 Installation 35 Gebrauch 37 Wartung 40 Entsorgung 41
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Contents
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Mode d’emploi 43
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 44 Indications générale s 45 Stockage 48 Préparation pour l'inst a ll at io n 49 Installation 51 Utilisation 53 Entretien 56 Mise au rebut 57
Manual de istrucciones 59
Indicaciones de Seguri dad para Bombas Turbomole cu la r es 60 Información general 61 Almacenamiento 64 Preparación para la instalación 65 Instalación 67 Uso 69 Mantenimiento 72 Eliminación 73
Manual de Istruções 75
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 76 Informações gerais 77 Armazenagem 80
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Contents
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Preparação para a instalação 81 Instalação 83 Utilização 85 Manutenção 88 Eliminação 89
Bedrijfshandleiding 91
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 92 Algemene informatie 93 Opslag 96 Uitpakken 97 Installatie 99 Gebruik 101 Onderhoud 104 Afvalverwerking 105
Istruktionsbog 107
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 108 Generel Information 109 Opbevaring 112 Forberedelse før installation 113 Installation 114 Anvendelse 116 Vedligeholdelse 119
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Contents
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Bortskaffelse 120
Bruksanvisning 121
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 122 Allmän Informatio n 123 Förvaring 126 Förberedelser för inst a llati o ne n 127 Installation 128 Använding 130 Underhåll 133 Bortskaffning 134
Instruksjon Manual 135
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 136 Generell informas jon 137 Lagring 140 Klargjøre til installasjon 141 Installasjon 142 Bruk 144 Vedlikehold 147 Kassering 148
Ohjekäsikirja 149
Turbomolekyylip um pp uje n T urva oh je e t 150 Yleisiä tietoja 151
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Contents
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Varastointi 154 Valmistelut asennusta varten155 Asennus 157 Käyttö 159 Huolto 162 Hävittäminen 163
Felhasználói Kézikönyv 165
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 166 Általános információ 167 Tárolás 170 Előkészítés telepítésre 171 Telepítés 173 Használat 175 Karbantartás 178 Megsemmisítés 179
Podrecznik Instrukcji 181
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 182 Ogólne informacje 183 Magazynowanie 186 Przygotowanie do instalacji 187 Instalacja 188 Użytkowanie 190
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Contents
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Konserwacja 193 Przetworstwo odpadow 194
Návod k Použití 195
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 196 Všeobecné informace 197
Uskladnění 200 Příprava k instalaci 201
Instalace 202 Použití 204 Údržba 207 Likvidace 208
Návod na Obsluhu 209
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 210 Všeobecné informácie 211 Uchovávanie 214 Príprava na inštaláciu 215 Inštalácia 217 Použitie 219 Údržba 222 Likvidácia 223
Priročnik za Navodila 225
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 226
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Contents
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Splošne informacije 227 Shranjevanje 230 Priprava za montažo 231 Montaža 232 Uporaba 234 Vzdrževanje 237 Odlaganje opadkov 238
Instructions for Use 239
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 240 General Informatio n 241 Storage 244 Preparation for Insta ll atio n 245 Installation 246 Use 248 Maintenance 251 Disposal 252
Technical Information 253
Description of the TPS-Compact 255 Technical Specification 261 TPS-Compact Outline 263 Interconnections 272 RS 232/RS 485 Communication Des cription 286
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Contents
Window Protocol 289 Service Options 299 Orderable Parts 305
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TPS-compact User Manual
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Istruzioni per l’uso

Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Simboli usati 17 Immagazzinamento 18 Preparazione per l’installazione 19 Installazione 20 Uso 22 Acce nsione ed Uso del TPS-compact 23 Arrest o del TPS-compact 24 Arresto di Emergenza 25 Manutenzione 25 Smaltimento 26
Traduzione delle istruzioni originali
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Istruzion i per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari

Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari

Le pompe Turbomolecolari d es cr itt e nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
Per evitare d anni all'apparecchiatur a e prevenire lesio ni agli operatori, è necessario s e guire attentamente le istruzioni di installazione descr itte nel presente manuale!
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Istruzion i per l’uso

Informazioni Generali

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Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informa zio ne addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso impropr io da par te di pe rs onale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali spe cif iche .
Il TPS-compact è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità mossa da un motore elett r ico tr if as e ad al to rendimento. Il TPS-compact è totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Il TPS-compact ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i q ual i è possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato tramite linea seriale.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicu r ezza dell'operator e du rante l'utilizz o dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical Information”.
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Istruzion i per l’uso
Informazioni Generali
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni person ali.
ATTENZIONE!
NOTA
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
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Istruzion i per l’uso
Informazioni Generali
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Pericolo “Riferirsi a
Conduttore di
Superficie calda “Pericol o toccate le parti calde”
ON - Avviamento
Pericolo, rischio di scossa
OFF - Arresto

Simboli usati

I seguenti simboli sono utilizzati in modo coerente in tutte le illustrazioni:
AVVERTENZA!
installazione / funzionamento”
di scottature se v e n g o n o
elettrica
Quando la pompa viene utilizzata per il po mpaggio di gas t ossici, infiamm abili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi. La pompa è progettata per un elevato trasferimento di N2, Ar e gas leggeri. Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti di Ar, r ivolgersi al supporto tecnico Agilent per informa z ioni.
protezione
(Alimentazione)
(Alimentazione)
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Istruzion i per l’uso
Immagazzinamento

Immagazzinamento

Per garantire il massimo livel lo di funzionalità ed affidabil ità dei sistemi di pompaggio Agilent, devono essere osservate le segue nti prescrizioni:
§ durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali:
§ temperatura: da –20 °C a +70 °C
§ umidità relativa: da 0 a 95 % (non condensante)
§ il cliente deve sempre avvia r e le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevut e e mess e in funzione per la prima volta
§ il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 12 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre rinviare il sistema di pompaggio in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent.
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Istruzion i per l’uso

Preparazione per l’installazione

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componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra
Figura 1
momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da
Preparazione per l’installazione
Il TPS-compact viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TPS-compact e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non dispe rdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente ricicl a bile e risponde alla di re t ti v a CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
NOTA
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
protezione adeguata.
Il TPS-compact non può essere danneggi ato rimanendo semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al
polvere.
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Istruzion i per l’uso
Installazione

Installazione

ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema.
Non installare e/o utilizza re il sistema di pompaggio in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplo sivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali:
§ pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
§ temperat u ra: da + 5 °C a +35 °C
§ umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante).
In presenza di campi elettromag netici il sistema di pompaggio deve essere protetto tramite opportuni schermi.
Il TPS-compact può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il TPS-compact in posizione stabile col l egando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 50 Nm a t to rno al proprio as se .
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o mo rset ti singoli. La seguente tabella descrive, per ogni tipo di morsetto, il numero di morsetti necessari e con quale coppia di se r rag g io stringerli.
Il Sistema deve esser e installato in modo da permettere una facile interruzione dell’alimentazione.
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Istruzion i per l’uso
Installazione
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Tab. 1
Cavo di Alimentazione: Il cavo adatto al collegamento elettrico è un cavo a tre conduttori (Fase+Neutro+Terra). La sezione del cavo deve
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essere almeno di 0,75 mm
(AWG18).
ATTENZIONE!
NOTA
Assicurare uno spazio libero intorno al sistema di minimo 20 cm al fine di permettere un’adeguata circolazione dell’aria.
FLANGIA TIPO DI MORSETTO N.
ISO 63 Morsetto doppi o con filettatura M10 4 22 Nm ISO 100 K Morsetto doppio con fi lettatura M10 4 22 Nm ISO 160 K Morsetto doppio con fi lettatura M10 4 22 Nm
COPPIA DI SERRAGGIO
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'ap pos ita minuteria meccanica Agilent. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Techn ical Information".
Il TPS-compact non può essere fissato tramite la sua base.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information".
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Istruzion i per l’uso
Uso
Uso
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema verificare che tutti i collegamenti elettr ici e
pneumatici siano stati realizzati correttamente. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temp e ratura sulla flangi a di ingresso non deve essere superiore a 120 °C con flangiatura ConFlat e a 80 °C con flangiatura ISO.
Non far funzionare mai il sistema di pompaggio se la fla ngia di ingresso non è collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori du rante le operaz ioni
!
di riscaldam ento. L'elevata temperatura può causar e lesioni alle per sone.
Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti
!
potrebbero danneggiarsi e potrebbero verificarsi danni alle persone o alle cose.
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Istruzion i per l’uso
Uso
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ATTENZIONE!
AVVERTENZA!

Accensione ed Uso del TPS-compact

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente da polvere, particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica).
Quando la pompa viene utilizzata per il po mpaggio di gas t ossici, infiamm abili o radioatt ivi, seguire le ap propriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi.
Per accendere il TPS-compact è sufficie nte fornire la tensione di alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dell’alimentazione ed avvia la pompa.
Alla prima accensione è bene adottare la modalità "Soft Start" attivandola sul controller, per gli avvii successivi si cons iglia di disabilitare la modalità "Soft Start". Per la procedura di attivazione della modalità "Soft Start" far riferimento al paragrafo "Signal Description" nel capitolo "Technical Information".
Il LED blu “STATUS” posto sul pannello posteriore della base del TPS-compact indica, con la frequen za del suo lampeggio, le condizioni op e r ative del sistem a:
§ acceso fisso: la pompa è in rot a zio ne no rmale;
§ lampeggiante lenta me nte (periodo di circa 400 ms): il sistema è in
stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Waiting for interlock”;
§ lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): condizione
di errore.
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Istruzion i per l’uso
Uso
Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del TPS­compact vedere l'appendice "Technical Information".

Arresto del TPS-compact

Per arrestare il TPS-compact è sufficiente mettere in posizione OFF l'interruttore esterno. Il controller incorporato arresta immediatamente il sistema d i p o mpag g io .

Arresto di Emergenza

Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS-compact occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o spostare l'interruttore esterno in posizione OFF.
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Istruzioni per l’uso

Manutenzione

1
allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita
Manutenzione
Il TPS-compact non richiede alcuna manutenzione (ad eccezio ne della sostituzione del Tip-seal). Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizz ato.
Prima di effettuare quals iasi interven to sul sistema sco llegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 5 0 °C.
In caso di guasto è possibile usufr uir e del s e rvizio di riparazione Agilent.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Request for Return"
nell'imballo del sistema prima della spedizione.
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.
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Istruzion i per l’uso
Smaltimento

Smaltimento

Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è a pplicato in ottemperanza alla
direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea)
indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita.
Per maggiori informazion i rife rir si a:
http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml
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TPS-compact User Manual
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Gebrauchsanleitung

Übersetzung der Originalanleitungen
Sicherheitshinw eise für Turbomolekul arpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Verwend ete Symbole 31 Vor der Installation 33 Installation 35 Gebrauch 37 Einschaltung und Gebrauc h von
Modell TPS-compact 38 Stoppen von Modell TPS-compact 39 Not-Aus 39 Wartung 40 Entsorgung 41
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Gebrauchsanleitung
Sicherheits hinweise für T urbomolekularpumpen

Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen

Die in der folgenden Gebrauchsanw e isung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindig keit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte die se Rotationsenergie freigesetzt werden.
WARNUNG!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise!
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Gebrauchsanleitung

Allgemeine Informationen

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Allgemeine Informationen
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Ni c htbeachtung der enthaltene n Anw e isungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen u nd Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Modell TPS-compact ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller und der Primärpumpe, besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine erreicht, die von einem Hochleistungsdreh stro mmo tor angetrieben wird.
Modell TPS-compact enthält keinerlei umweltschädliche Subst an ze n und eignet sich deshalb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern. Modell TPS-compact verfügt des weiteren über Zusatzanschlüsse, über die das Entlüftungsventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer über eine serielle Leitung gesteuert werden kann.
In den folgenden Abschnitt en sind alle erforde rlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten.
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Gebrauchsanleitung
Allgemeine Informationen
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaß en hervorgehoben:
WARNUNG!
VORSICHT!
HINWEIS
Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei un ko rrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.
Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen ang egeben, die bei Nichtbeachtung Schäden an der Anlage v er ursachen könnten.
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden.
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