Sevenstar D07 - 7B, D07-7BM User Manual

D07 - 7B

D07-7BM

2011 . 12

1.	……………………………..	1	6.2.1 …………………..……		15
2.	…………………………	1	6.2.2 …………………		15
3.	………………………	3	6.2.3 …………………………		15
4.	……………………	4	6.2.4 ………………………………		15
4.1	…………………………………	4	7.	……………………………	15
4.2	……………………………	5	7.1	………………………	15
5.	………………………	7	7.2	………………	15
5.1	……………………	7	7.3	………………………	16
5.2	………………………	8	7.4	………………………	16
5.3	………………………	9	7.5	………………………	16
5.4	………	11	7.6	………………………	16
5.5 ………………………		12	7.7	……………	17
6.	………………	13	7.8 D07-7B,7BM ……		18
6.1	……………	13	8.	……………………	21
6.1.1 …………………………		13	9.	……………………	23

6.1.2………………………… 14 9.1 ..…………………… 23

6.1.3…… 14 9.2 ..………………… 23

6.1.4……… 14 9.3 ..………………………………… 23

6.1.5………………………… 15 10. ………………………………… 24

6.1.6 …………………………	15	10.1 ……………	24
6.2 ……………….	15	10.2 …………………	26

MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER

D07 /

(Mass Flow Meter MFM)(Mass Flow Controller MFC) :, CVD ;

D07 ( ), ,,

D07 D08 ,( 1 )

1 26

1.

2 26

1. D07-7B MFC

						D07-7B
1					( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
					( 0~1,2,3,5,10)			SLM
2						±1.5	% F.S
3						±1 % F.S
4						±0.2	%F.S
5						:	10	sec
						:	≤ 4	sec
6						(0.1 ~ 0.5) MPa
7						3	MPa
8						5 ~ 45
9						0 V ~ +5.00 V
					( 100K, 3mA)
10						+15 V	50 mA
						-15V	200 mA
11						4
12						1.1	kg
	:
	N2
	:				SCCM ( / );
					SLM ( / )
	:				---	273.15K ( 0 );
					—	101325 Pa (760mm Hg)
	F.S. (Full Scale):

3 26

2. D07-7BM MFM

				D07-7BM
1			( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
			( 0~1,2,3,5,10)		SLM
2				±1.5	% F.S
3				±1 % F.S
4				±0.2 %F.S
5				10	sec
6				<0.01 MPa
7				3	MPa
8				5 ~ 45
9				0 V ~ +5.00 V
			(	100K, 3mA)
10			+15 V		50 mA
			-15 V		50 mA
11				5
12				0.92 kg

1 2 7BM 7B

4.1

,PID 7B, 2

4 26

D

2. 7B

7BM 7B

4.2 ( )

,, D08 , 3, ,3

5 26

	100.0	+5.00V
				(0 ~ +5.00V)
				(0 ~ +5.00V)
		+15V
~220V		0V
				COM
		-15V			0
		out	set
					+15V

I
		-15V

3. , (F.S)

+5V (2~100)%F.S, 0.1%F.S

:

“ ” “ ”+10V+5V

6 26

“ ” ,; “ ” , (0 +5)V

, “ ” , ; “ ”, , “ ”

5.1 :

7B 7BM 4 5

4. D07-7B MFC

7 26

5. D07-7BM MFM

:

108mm , 50mm

5.2

(Swagelok) VCR , 5 :

a.Swagelokφ3 mm ;

b.Swagelokφ6 mm ;

c.Swagelok 1/4" ( );

d.VCR 1/4"( );

e.Swagelok 1/8" ( )

或其它较硬的弹性塑料管。双卡套接头的连接方法, 6,

8 26

6.

:

6 , , ,( Swagelok 1.25 ),, ,, ,

5.3

+15V

								1		1
									9			9
								2
									10
	-15V							3		-15V
						(0~+5V)			11
								4
										-15V
	+15V								12
								5			8	15
									13
								6
									14
								7		+15V
									15
								8

-15V

7. 7B D

9 26

,

:

D07-7B D07-7A ,7B , D7A , , 7B7A ,7A 7B , , ,, ( )

7BM 8, 7BM 7B“ ” “ ”

+15V

			1
				9
			2
				10
	-15V		3		-15V
				11
			4		-15V
				12
			5
				13
			6
				14
			7		+15V
				15
			8

8. 7BM D

10 26

5.4
a. ( ) ,				9
				A/D
					PLC
				D/A
					+15V
			( :		-15V
			)
	9.

(0V +5V) , “ ”“ ”(0 ) (A/D) +5.00VMFC 3mA

“ ”0V +5.00V , 3.3K, “+5.00V” “ ” (D/A) 100KΩ

“ ”“ ” “ ”, 10

11 26

b. 10
		0~+5V	A/D
				PLC
		0~+5.00V	D/A
		( : )
	+15V		+15V
			COM	-15V
				+15V
	-15V
			-15V
		10.

MFC/MFM ±15V“ ” D/A “ ” A/D “ ” “ ” “ ”±15V

“ ”“ ” “ ” 10

5.5 ,

, 1115

12 26

11. 7B 7BM

D08

6.( D08 )

6.1

6.1.1 ( 12)

“ ”“ ”

a.“ ” 205% 155.5 , ,

b.“ ” , , “ ” ,2%

c.“ ”

13 26

d.“ ” ,

e.“ ”“ ” ,

12.

6.1.2 “ ” ,

MFC“ ”

6.1.3 1 9 “ ” “ ”

6.1.4

1 10

14 26

6.1.5 “ ” , “ ” , (

3 9) +15V -15V

6.1.6 “ ”

,

6.2

6.2.1: 15

, , 5.5 , ,

6.2.3: , ,

6.2.4: , ,

7.

7.1

, ,

7.2

: 00Cr17Ni14Mo2 ( 316L ) ,,7B 7BMBCl3 BBr3 7B

15 26

密封的漏气率小于满量程流量的2%

:

7.3 , , ,

,, , 2%F.S ,2%,

7.4 “ ” “ ” “ ”

“ ”

7.5

7.6

16 26