Pfeiffer Vacuum TCP 380 Operating Instructions Manual

Betriebsanleitung Operating Instructions Mode d´emploi
Antriebselektronik
Electronic Drive Unit
Commande électronique
TCP 380
--_
..
Inhalt
Allgemeines
2
Technische
Technische
2.1
Einsatzarten
3
3.1 Einsatz
rung
3.2
Einsatz
rat
TCS
Einsatz
3.3 rat TCS
4
AnschlUsse
Netz
4.1
4.1
.1
Belegung X4
4.2
Turbopumpe
4.3
Luftkuhlung Flutventil
4.4
4.5
Heizung
4.6
Remotestecker
4.7
Serielle Pumpstandsteuergerat
4.8 und
304
Uberwachung
5
Uberwachungsrelais
5.1
5.1.1
yerriegelung
5.2
Uberwachungsrelais Bedienungselemente
6
LC-Anzeigefeld
6.1 Bed
6.2 7
7.1 Einschalten 7.1
7.2
7.3.
7.4
7.5
7.6
7.7
7.8
8
8.1
8.2
9
9.1
9.2
9.3
9.4
9.5
9.6
10 11
11
.1
12
Bestell-Nr. / Order
ienungselemente
LC-Anzeigefeld Betrieb Fernbedienung
Stand-by Reset Funktion Ausschalten Verzogertes ergerat Andern Parameter
Weitere Remote-Betrieb Betrieb (Option)
Fehlersuche Selbsttest Fehlerliste Ausgewertete gen
beim
Erweiterte Gestorter Einsendung Service
Ersatzteile Schaltpliine
Legende Zubehor
Daten
Daten/Optionen
ohne
Pumpstandsteue-
mit
Pumpstandsteuerge-
303
mit
Pumpstandsteuerge-
304/304R
der
Netzsteckerleiste
Turbopumpe
Schnittstelle
K2 5.1
der
DIL-Schalter
Fluten
TCF
der
Anzeige
Betriebsarten
uber
Schnittstellen
Analogspannun-
Selbsttest
Testmoglichkeiten
Betrieb
zur
Center
zu
den
nr. / Numero
(Option)
TCS
K2 K 1
und
mit
Flutsteu-
und
Reparatur
Schaltplanen
de
303
der
ins
commande:
Contents
2
2.1 Technical Data,
3
3.1
3.2
3.3
4
4.1
4.1.1
4.2
4.3
4.4
4.5
4.6
4.7
4.8
5
5.1
5.2
6
6.1
6.2 7
7.2
7.3
7.4
7.5
7.6
7.7
7.8
8
8.1
8.2
9
9.1
9.2
9.3
9.4
9.5
9.6
10 11
11 12
General
Technical
Types
of
Application
Unit
Control
Application
Control
Application
Coctrol
Connections
Mains
Pin
Assignment
nectar
X4
Turbo
Pump
Air
Cooling Venting Heater Remote
Serial
Interface Pumping and
304
Monitoring Monitoring
.1
Interlock Monitoring
Control Display Control LC
Display
Operation Switching Remote Stand-by Reset Function Switch
i ng Delayed Control Changing meters
Further Remote
Operation (Option)
Trouble-Shooting Self-Testing List
of
Errors Analyzed during
Self-Testing Extended Testing Defective Returning Repair
Spare
Parts
Wiring
.1
Legend Accessories
PM COl
490
Data
Application
without with
TCS
303
with
TCS
304/304R
Valve
for
Turbo Pump
Plug
Unit
Control
Relay K2
K2
Relay
Elements Panel
Elements
Panel
on
Control
of
the
off
Venting
Unit
TCF
the
Display
Operating Operation
via
Interfaces
Analogue
Operation
to
Service
Diagrams
for
wiring
Options
Pumping Pumping Pumping
of
Mains
(Option)
TCS
Kl
and
LC
OIL
Switches
using
Venting
and Para-
Modes
Voltages
Possibilities
Center
diagrams
Unit Unit
Con-
303
for
Contenu
Generalites
2
Caracteristiques
2.1
Caracteristiques
optionnelles
Utilisations
3
3.1
Utilisation groupe
Utilisation
3.2 groupe
3.3
Utilisation
groupe 304R
4
Raccordements
4.1
Branchement
4.1.1
Affectation connecteur
4.2
Pompe
4.3
Refroidissement Vanne de
4.4
4.5
Chaufferette
4.6
Connecteur
4.7
Interface
4.8
Commandes page
5
Surveillance
5.1 Relais Verrouillage
5.1.
5.2
Relais
6
Elements panneau
6.1
Elements
6.2
Panneau
7
Service
7.1
Mise
7.2
Telecommande
7.3
Stand-by
7.4
Reset
7.5
Fonction
7.6
Arret
7.7
Remise a
commande
7.8
Alteration I'affichage
Autres
8
8.1
Operation a distance
8.2
Operation (Option)
Depistage
9
Auto-test
9.1
9.2
Liste des
9.3
Tensions lars
de
9.4
Autres
9.5
Service en
9.6
Renvoi au Centre Apres-Vente
10
Pieces Schemas
11 11
.1
Legende
connexions
12
Accessoires
techniques
possibles
sans
commande
de
pompage
avec
commande
de
pompage
avec
commande
de
pompage
secteur
des
broches
X4
turbomoleculaire
par
remise a I'air
de
la
de
telecommande
serie
(Option)
de
TCS
de de
d'affichage
en
marche
des
modes
I'auto-test
possibilites
de
pour
groupe
303
et
304
surveillance
K2
surveillance
de
manoeuvre d'affichage de
manoeuvre
commutateurs
I'air
temporisee
TCF
des
parametres
d'
operation
par
interfaces
d'erreurs
messages analogiques
"derangement
de
pour
rechange
de
connexions
les
schemas
techniques
TCS
303
TCS
304/
du
air
pompe
de
reparation
turbo
de
K2 K 1
et
LCD
LCD
avec
et
(Remote)
d'erreurs
evaluees tests
Service
de
de
de
pom-
DIP
de
de
Betriebsanweisung fur Antriebselektronik
rep
380
Operating
Instructions for Electronic Drive
rep
380
Unit
Instruction de la commande
rep
380
de
service
electronique
Wichtige
Prufen
ken,
auf
Lesen
beY~r
Befolgen Punkten.
-
Aile
uber sind
- Das mit tung der
unterzogen.
-
Werden genutzt verlangt muB
genom
-
Die 841 8 erstellt.
Wenn
Hinweise
Sie
sotort
ob
die
dem
Sendung
Lieferschein
Sie
die
Sie
das
Sie
die
Gerate
entsprechen
technische
nach
Schutzklasse 1 aufgebaut.
Gerat
wurde
1500 V AC,
mit
500
Schutzleiterverbindungen
die
Signale
und
wird
(z.B.
gemall.
Rucksprache
men
Sie
werden.
selbst
Betriebsanweisung
tungsarbeiten
men,
die
mit Stoffen dann
beachten
Vorschriften.
Bei
Geraten,
tur-
oder
ken,
beachten
-
kontaminierte
misch entsprechend schriften
-
Zur
Reparatur hende sichtbarem
gesundheitsschadlichen
in
Beruhrung
die
Wartungsarbeiten
etc.)
sind
zu
dekontaminieren.
Gerate
Vermerk
stoffen"versehen
merk
ist
und
-
"Schadstoffe" reitungen
18.09.1979,
Technische
uns
auch
Anschreiben
gemafS
Artikel
Anderungen
vor.
nach
dem
Auspak-
mit
den
ubereinstimmt.
Angaben
Betriebsanweisung,
Gerat in
V DC
an
Sie
Sie
Gerate
den
oder
mussen
auf
sind:
Betrieb
Anweisungen
Arbeitsmittel,
einer
einer
Reparatur-
Sie
vor
dem
Stuckprufung
Isolationspru-
und
einer
der
TCP
extern
doppelte
mit
DIN
dem
ist
VDE
nach
Isolation
Hersteller
oder
den
Geraten
gekommen
die
entsprechenden
an
uns
zu
einschik-
folgendes:
(radioaktiv,
der
Einsendung
Strahlenschutzvor-
Wartung
mit
einge-
deutlich
"Frei von
sein.
Derselbe
dem
Lieferschein
anzubringen.
Stoffe
und
EG-Richtlinie
2.
behalten
nehmen.
in
Gesetz
§3.
PrOfung
mit
0411)
vorneh-
Repara-
Schad-
Zube­vom
allen
25
DIN
War-
sind,
che-
Ver-
wir
Important Information
Please
unpacking
conforms the
delivery
Please
before
them
in
-
All
units
Sie
ing
technical
They
have
dance
-
A
-
-
to
The
device
test
with
with
500 earthing If
the
TCP
and
if
double
(for
example manufacturer The
operating
prepared
DIN
8418.
If
you
perform
work on
contact detrimental the
relevant
If
you
return maintenance instructions
-
contaminated
chemically nated
in protection returned.
-
Units
returned
nance
must
"Free from
note
must
delivery
-
"Harmful materials
dance
with
18
September
Technical
check
immediately
whether
to
the
note.
read
the
you
operate
all
respects.
comply
implements,
been
protection
has
1500
V AC, an
V DC
and
conductor
signals
insulation
DIN VDE
must
instructions
in
accordance
repair or
units
which
with
substances
to
health,
regulations.
units
work,
below:
units
etc.)
accordance
regulations
for
bear a clearly
harmful
also
be
note
and substances" and
preparations
the
EEC
1979,
modifications
after
the
consignment
information
given
on
operating instructions
the
unit
and
follow
with
the
law
concern-
designed
undergone a routine
are
Section
in
grade
1.
isolation
also a protective
test
with
used
externally
is
requested
0411),
be
consulted.
have
with
accor-
25
A.
the
been
3.
test
maintenance
have
come
observe
repair
follow
the
radiation they
mainte-
visible
on
defined
in
accor-
2.
into
are
or
the
or
are
note
This
the
letter.
as:
dated
which
please
to
us
for
please
(radioactively
must
be
decontami-
with
before
repair
or
substances".
provided
accompanying
are
Specification
Article
reserved.
Directives
A la
debal/age
corresponde res
Avant
vice,
service
-
Tous prescriptions appareillages dimensionnes protection
-
L'appareil duel isolation des
importantes
reception
que
sur
Ie
bon
que
de
lire
attentivement
et
s'y
nos
appareils
1.
ete
avec
1500
avec
conducteurs
de
Ie
contenu
bien
de
livraison.
mettre
conformer
legales § 3,
techniques.
d'apres
soumis
V CA,
500
de
25A.
-
Si
les
signclUx
de
fa~on
double VDE
0411
ter
de
-
-
- Les
- Les
producteur. L'instruction concordance
L'utilisateur des
travaux
tien
sur
en
contact
il
est
alars
criptions
Au
renvoi
ou a reviser,
points
suivants:
les
appareils
ment,
chimiquement, blement a decontaminer legislation contre
les
appareils
ou
maintenance
d'une
etiquette
qu'ils
sont
ques':
La
sur
Ie
bon
correspondance
"matieres enumerees cription tembre
de
externe
isolement
par
exemple),
de
avec
procede-t-il
de
des
appareils
avec
tenu
afferentes.
de
tous
priere
cantamines
relative
emissions
envoyes
"exempts
meme
de
livraison
toxiques"
par
de
la C.E.E
1979.
In
et
service
reparation
des
de
doivent
bien
indication
aff9rente.
I'article 2 de
i'envoi,
aux
s'assurer
du
articles
I'appareil
(des)
enume-
en
colis
ser-
/'instruction
en
taus
points.
repondent
categorie
a un
1':1
V CC
protection
TCP on
demande
(suivant
la
norme
qui
matieres
respecter
appareils a reparer
de
tenir
etc.)
a la
protection
radioactives.
pour
visible
de
et
en
date
aux
relatives
lis
sont
essai
un
essai
et
a un essai
avec
sont
utilises
a la DIN
il
faut
consul-
est
redigee
DIN
lui-meme
ou
d'entre-
auraient
toxiques,
les
compte
(radioactive-
sont
preala-
en
vertu
reparation
etre
pourvus
certifiant
matieres
est
apposer
sur
toute
sont
celles
la
pres-
du
18
aux
de
indivi-
d'
un
8418.
a
ete
pres-
de
taxi-
la
sep-
au
de
en
des
la
Modifications
techniques
reservees.
Fig . 1
rep
PFEIFFER VACUUM
~
380
1 Aligemeines
-Die
Antriebselektronik
i
st
ein Rack- Teileinschubger
Gre!>e
- Aile Bedie
- Die
-
-
- Heizung
-
-
- Fernbedien ung
-
- KOhlwasserw8chter TCW. - Cooling
- Kuhlaggregat TZK
- Die
- Die
Grenzwertkurve B entst6rt
- Die
ausgelegt.
"6/12-19"
nungselemente
sich
auf
der
Anschlusse des Gerates Fur ausreichende das Gerat Zur Steuerung eines Pumpstandes
das
Pumpstandsteuergeriit
oder TeS
von T An
die
konnen weiterhin
Luftkuhlung Flu
tve
ange schlosse n
An
das folgende sen
werden:
Vorpumpe
leistung
Drehstromantrieb
T
CS
304.
Bei
Pump
Turbopump
komponenten
auch
Abschnitt 3 Ein
netztransformatorenlose
el
ektro
des
Antriebs
(ohne
bom
olekularpumpen Gre!>e
520
. - The
TCP
Anschllisse
Frontplatt
angeordnet.
ist
zu
304
CS
Antriebselektronik
ntil
Pumpstandsteuergerat
nik
Pumpstandsteuerung)
eing esetzt. Dar Einsatz
1001 ist auch meglich. a
TSF
012
werd
Zubehorgerate
bis max.
einphasig
stan
den
e e
ntfallen
TCW
TCP
380
und
wurde
nach DIN VDE
sind
TCP
380,
Fig. 1, - The Electronic Drive
at
der
Balzers -
e.
sind a
uf
Luftzirkulation
sorgen.
und
en.
550
bzw. bis 1,1
und
Einsatz eines u
oder
Luftkuhlung.
mit
luftgekuhlter
die
und TZK (siehe (see also Sec
satzarten)!
ist
ein Bestandteil
der
Uberwachung
der
Norm.
befinden
der Ruckseite - The
urn -
wird
TCS
303
TCP
380
konnen The
angeschlos-
W
Anschlu"-
kW
Pumpsta
Antriebs-
der
Tur-
060
-
nd-
0871
. - The
fUr Fe
rnb
edienung
1 General
Fig. 1, is a rack
of
the
- All
control elements
the front
connections rear side Sufficient unit must
- To
control a pumping
ing
Unit
is
employed.
TC
S 1001.
Further, the nected
TCP
380:
- Heater
-
Air
cooling
- Venting valve TSF
- Remote control. following
connected to
- Backin g
load
bei 1.1
- Cooling
- The Electron ic Drive
of
kW
se
of a TCS
case
of
turbo pump, the
nants
ti
on)!
without th
e drive and
unit
control)
pumps
TCP
DIN VDE
con
for
remote control.
Unit
Balzers standard rack,
Control
to
pump
550
with
water
unit
pumping
TeW
power
of
has been suppressed as
necti
module
panel. of
the
unit.
air
circulation
be ensured.
TCS
It is also possible
following
the Electroni c Dri ve
accessory
the
up
W,
single-phase,
three-phase
304.
monitor
TZK
pumping
and
UK
tion
transform
control (except pu
for
turbo-m
sizes
060 -520
0871
limit value curve B.
ons have been
size
are arra
are
arranged
arou nd
unit.
303
can be
012,
and
units can be
pumping
to
a max. co nnected
TCW.
or
air
cooling.
units
with air-coole
are not needed
3, Types
Unit
TCP
er
olecu lar
TCP
380,
"6/12-1 nged
on
the
the
Pump-
or
TCS
to
con-
Unit
unit
control:
or
up
drive and
In
unit
compo-
of
Applica-
380
is
part
mping
.
per
designed
1 Generalites
-
La
9"
on
the
304
use
to
the
the
d
of
comman
(Fig. 1) est
baie de rack de
(norme
- Taus
-Les
-
- Pour I'asservissement
-
- Refroi disseme
- Vanne de remise a
- T
- Pompe
- Control e
-
-
-
- Ses
seS
situes s
douilles posees Veiller
a assurer une
suffisanle. pompage, uti
TCS
303
utili
sables: Ie command
Les appareils suivants peuvent en outre
etre raccordes a
TCP
380
Chaufferett
elecomma
Une
comman groupes pee
des accessoir
de
550
(triph ase)
mande TCS T
eW.
Groupe re
froidi g turbomoleculaire les appli 3 La depourvue sion secteu systeme mande
des
typ
Le
ment
limite B.
une tel
sse
roup
es
appare
cab l
"Utilisations
commande
(sans
pampas
es
060 a 520.
TCP a eta
a DIN VDE
raccordements
ecom
de
electronique TCP
un
appareil
la
Balzers).
eleme
ur au
nts
son panneau frontal.
de raccordement sont
dos de I'appareil.
liser
ou
TeS
construit
taille
"6/12
de
manoeuvre so
circulation
d'un
une
commande
304.
Eventuellement
e T
la
commande
-19
groupe
CS
1001.
:
e
nt
par
air
!'air
TSF 0 12
nde.
de
d'asservissement
de
pompage
primaire
W (monophase) ou de 1,1
el
utilisation
30
ur
d'eau de
de refroidisse
ment
de
pompage
ils
TCW
es
(voir
elec
de
transformateur
r, fait
d'asservissement
gro
turbo
antiparasite
mande
peut eIre equi -
es
suivants :
d'une
puissance maxi
d'un
e co m-
4.
refroidissement
ment TZK
par air. Dans Ie cas
dont
la
pompe
est
refroidia
et TZK ns sont pas
egalement
possibles").
troniqu
partie
upe de
mole
culaires des
0871
coube de valeur
sont
eventuelle.
a !'air,
Ie sec
e TCP
de
int
egrante
e1
de
commands)
conforme-
concus
ou
380,
com-
pour
380
en
"
dis-
d'air
de
de
tion
ten
du
nt
kW
de
-
2
- Die Funktion Betrieb reduzierter
"Stand-by"
der
Turbomolekularpumpe Drehzahl
(66 % der
erlaubt
den -
mit
Nenn-
drehzahl). rated
-
Aile
Funktionen und
sind
mikroprozessorkontrolliert.
- Die
Anzeige
parameter
aller
erfolgt
gefeld.
- Das Gerat fOhrt sinen
Uberwachungen
wichtigen
auf
Betriebs-
einem Selbsttest
-
-
LC-Anzei-
- The
aus.
The
"Stand-by"
turbo-molecular
at
reduced
rotation
All
functions
function
pump
rotation
speed).
and
to
speed
monitoring
microprocessor-controlled.
All
major
displayed
unit
operating
on a
performs a self-testing.
parameters
LC
display
allows
be
operated
(66 % of
tasks
panel.
the
are
the
are
-
-
- Tous les
-
La
fonction
tourner
regime
"Stand-by"
la
pompe
ralenti
(66
nominal).
Toutes
sitifs
les
fonctions
de
surveillance
microprocesseur.
parametres
fonctionnement
bles
sur
un panneau
cristal
liquide.
L'appareil
un
auto-test.
execute a
permet
turbomoleculaire
% de son
et
sont
tous
cant
regime
les
essentiels au
de
I'appareil
sont
d'affichage
sa
mise
en
de
faire
dispo-
roles
visi-
au
marche
en
par
2 Technische Daten
Antriebselektronik
AnschluG.spannung Frequenz Leistungsaufnahme,
(+
Pumpenheizung) Ausgangsspannung, Hochlaufstrom, Nennfrequenz
Selbsttest,
Kontaktbelastung induktionsfrei!
Verzogerungszeit, Werkseinstellung
Drehzahlschaltpunkt. in %
Werkseinstellung Zul.
Kabellange Steckerausgange
AnschluG.moglichkeiten
Rackeinschubgr6G.e Gewicht
eingebaut
der
Nenndrehzahl
Umgebungstemperatur
Pumpe-TCP, max.
Luftkuhlung Heizung Flutventil
1)
Bei
Betrieb nung > 250 V erfolgt "Uberspannung"
max.
± 2 %
(42
max.
ca.
Kl
und K2
einstellbar
einstellbar
fur
V DC)
fur
am
60
.
Hz Netz
Fehleranzeige
2 Technical Data 2 Caracteristiques
Electronic Drive Unit
Connection Frequency Max.
(+
pump Output Run-up Rated Self Contact
non-inductive!
Time Factory Rotation
adjustable rotation
Factory Permissible Cable Sockets
Connection
Rack Weight
mit
Span-
power
heater)
voltage,
current,
frequency
testing,
rating,
lag,
adjustable
setting
speed
speed
setting
length,
for
Air
cooling Heating Venting
modul
voltage
consumption
approx.
max.
± 2 %
incorporated
Kl
and
switch-point,
in %
of
rated
ambient
pump-TCP,
valve
(42
options
size
1)
K2
temperature
max.
V DC)
for
When
operating
voltage>
"excess
voltage"
Commande
Tension Fn3quence Puissance
(+
Tension Courant Frequence Auto-test Charge
sans Temporisation Reglage Point
du
Reglage Temperature Longeur Douilles
Possibilites
Taille baie de Poids
at
250 V the
is
electronique
de
branchement
consommee
chauffage)
de
sortie
env.
de
montee
maxi.
nomina
Ie
integre
de
contact,
induction!
d'usine
de
commutation
regime
nominal
d'usine
de cable maxi Pompe-TCP
de Refroidissement Chauffage Vanne
de
(42 V DC)
60
Hz
mains
error
message
displayed.
K1
reglable
ambiante
sortie
pour
remise a I'air
de
raccordement
rack
with
nominaJe
maxi
± 2 %
et
K2
reglable
admissible
par
air
techniques
V
Hz
VA
V
A
HZ
VIA
min min
%
%
'C
m
pour
kg
1)
Lors
d'un 60 I'annonce
fonctionnement
Hz avec
d'erreur
tension>
TCP380
100-240 ± 10%1)
50-
60
325
40
DC
7
600-1500
250/6
DC
2416
DC
1 -
120
8 50 -90
80
0-40
100
TCS
303
TCS
304/304R
TeS
1000 Fernbedienungl Remote
Controll
Telecommande
"6/12-19"
4,2
sur
reseau
250
V,
"surtension".
apparalt
3
3
243
II
T
6O
-
-,
1
6
T
\
\
\
\
JL~'~
~209'7
. . 205,4
r-=--------1=,
r
I
~.
N N
L
I
~
--134,81-..--140-------1
-1
"3,6
/
---
----.ct--
1
~
N'
'"
J
I
Fig.2
Ma~e
2.1
Technische
Serielle
Schnittstelle
Sch
nittstellenpegel
nach
oder
wahlweise
mehreren
Baudrate: Datenformat:
Zeichenlange:
Stopbits:
Paritat:
keine, gerade oder ungerade Hardware handshake:
nicht
Geraten
vorhanden
Daten/Optionen
bei
Serial interface
Interface
to
or several
Baud rate:
Data
Character Stop Parity: none, Hardware, not
level acc.
optionally
units
format:
bits:
even
existent
for
length:
or
handshake:
odd
2.1
Technical
Dimensions
Data,
Interface
Niveau
selon
OU,
au
choix,
multiples
Ratio
baud: Format: Longueur Bits
de
stop: Parite: sans,
paire Handshake non
existant
Options
serie
pour
appareils
caractere:
ou
impaire
materiel:
Dimensions
2.1
Caracteristiqu8s
optionnelles
RS
RS
bit
232
485
C
techniques
9-poligj9
a 9
9-polig/9
poles/
poles
poles/
a 9 pOles
300
...
19200
ASCII
7
bzw./resp./ou
1
bzw./resp./ou
8
2
4
3 Einsatzarten
3.'
Einsatz steuerung
Als
Antriebselektronik
PM
021949
Es
k6nnen The
- Heizung -
-
Luftkuhlung
-
Flutventil angeschlossen
- Der
AnschluB
und
eines
deren
pumpe
- Einsatzart 3.1 beschrankt
Verriegelung durch nigt
werden.
3.2
Einsatz
geriit
Schaltplan
ohne
Pumpstand-
nach
-S: ing
und
TSF
012
direkt
am TCP
werden.
einer
Ventilsteuergerates,
Verriegelung
ist
nicht
bleiben.
Betriebsmitteldampfe
TCS
Vorvakuumpumpe -Connection mit
der
m6glich.
muB
auf
Ausnahmen
Durch
kann die
mit
Turbopumpe
Pumpstandsteuer-
303
PM 031
183-S
Schaltplan
380 -Venting
sowie
Turbo-
die
fehlende
verunrei-
3 Types
3.1
Application Unit
As an
diagram
following:
Heater
-
Air
cooling,
nected
valve
ing
with
ible.
~
Type tricted missing be
contaminated
vapors. rares
3.2
Application
Unit
Wiring
of
Application 3 Utilisations possibles
without
Control
electronic
valve TSF
directly
control
the
of
application
to
interlock,
drive
unit
PM 021
and -
of a backing
unit, and
turbo
exceptional
Control
diagram
to
the
the
by
with
949
012
can be
TCP
their
pump
3.1
must
cases. Due
turbo
operating
Pumping
TCS
303
PM
031
pump are
Pumping
as
per
wir-
-S:
con-
380. and a TCP
interlock-
not
poss-
be res- avec
to
may -Ce
medium
183
-So
the
pump
-
- Vanne de
-
3.1
Utilisation groupe
Commande Ie
schema PM 021 Chaufferette, Refroidissement
vent
etre raccordes
380.
Le
raccordement
maire des
vannes, y
la
pas possible.
genre
qu'occasionnel
exceptions: sence de moleculaire des vapeurs
3.2
Utilisation
groupe
Schema PM
de
electronique
de
connexions
949
-S:
remise a rair
et
d'un
appareil
pompe
d'utilisation
verrouillage,
risque
d'agent
de
de
031183-S
compris
sans
commands
pompage
cablee selon
par
air
et
TSF
012
directement
d'une
pompe
de
commande
leur
turbomohkulaire,
et
se
par
d'etre
avec
pompage
connexions
verrouillage
3.1 ne
do
limiter a quelques
suite
de
la
pompe
souillee
moteur.
com
man
TCS
sur
pri-
it
I'ab-
turbo-
303
peu-
n'est etre
par
de
de
la
de
Fig.3
TCS
303
Bei
dieser
Einsatzart
Zubehbrgerate
An
der
Ruckseite
- Heizung
-
Flutventil
-
Luftkuhlung
- TCS Das TCS
bel
der
An
-
Kuhlwasserwachter
-
Vorvakuumpumpe AnschluBleistung
-
Kuhlaggregat
-
Luftkuhlung Betriebsanweisung
PM
303
direkt lCP
aufgesteckt.
das
res
800
186
Turbopumpe
TSF
303
wird
auf
die
303:
TZK
BD,
kbnnen
angeschlossen
der
rep
380:
012
ohne
Verbindungska-
Netzsteckerleiste
TCW
bis max.
(einphasig).
350
TCS
303:
E,
F.
folgende
werden:
550
W
X4
With
this lowing nected:
At
the
-
Heater
-
Venting
-
Air
cooling
- TCS
303
The TCS the
mains
without
ro
the
-
Cooling
- Backing connected
-
Cooling
-
Air
cooling
Operating lCS
303:
type
of
accessory
rear
of
the
for
turbo
valve TSF
303
is
plugboard
connecting
res
303:
water
monitor
pump
up
load
unit
lZK
instructions
PM
800
application,
units
can be
rep
380:
pump
012
directly
(single-phase).
to
350
186
plugged
X4
cable.
TCW
max.
for
BD,
of
the
550
the
E,
the
con-
TCP
W
F.
fol-
into
Ce
genre
corder
Au
dos
-
Chaufferette
culaire
- Vanne de remise a
-
Refroidissement
-
lCS La
commande directement TCP,
Sur
-
Controleur
TCW
- Pompe a
maxi de
-
Groupe
-
Refroidissement Instruction
PM
d'utilisation
les accessoires
de
i'appareil
de la
pompe
303
sans
la
res
vide
550 W (monophase).
de
800
186
par
TCS
sur
Ie
dlble
303
de I'eau de
refroidissement
de service de
bornier
de liaison.
elle-meme:
primaire
par
BD,
E,
permet
suivants:
rep
380:
turbomole-
I'air
TSF
012
air
303
est
enfichee
X4
refroidissement
d'une
puissance
TZK
air
la
TCS
F.
de rac-
de
la
350
303:
5
3.3
Einsatz
geriit
SchaUplan PM
mit
Pumpstandsteuer-
TCS
304/304R
031129
-So
3,3
Application Unit
Wiring
Control
diagram
with
TCS
PM 031
Pumping
304/304R
129
-So
3.3
Utilisation groupe
TCS
Schema PM
de
304/304R
de
031
129
avec
commande
pompage
connexion
-5.
de
s
Fig. 4
T
CS
304
R
Bei
dieser
Zubehbrgerate
An
-
Heizung
- Flutv
- TCS
An
-
KOhlwasserwachter
-
Vorvakuumpumpe Anschluf5leistung
satz von mit mistorprint eing mit Drehsc Drehs min. 3 x
-
Kuhlaggregat Luftkuhlung
-
-
Ventilsteuergerat kuumventil. Flutve
-
Flutsteuergerat
TVF
-
Stromausfallfluter
- Fernbe Aile
ge
lun9
Achtung
Das Turbopumpstanden kann von diesen wendet lung
r
es
bestimmt
Betriebsanweisung PM
Einsatzart kbnnen
angeschl
der Ruckseite
Turbopumpe
entil
TSF
304/304R
das
res
Drehschiebervakuumpumpen
Drehstrommotoren
ese
tzt
Best. Nr. PM COl 450 A kannen
hiebervakuumpumpen
trommotoren
208
ntil
TVF 012
012
dienung,
Zubeh6rgerate
einbezogen.
l
TeS
304
werden.
von
Pumpe
304
R (Rackausfuhrung)
.
800
192
der
012
304/304R
TCW
bis
einphasig
(Schaltplan
werden.
Flutventil Rez
An
bis
V
angeschlossen
TZK
leV
TCF
mit
TSF 01 0
Pump
sind in
ist
nur
filr
vor getrennl nic Fur
getrennte
und
Steuerung
TCS
BD, E, F
folgende
oss
en
werden:
rep
380:
:
max. 550
. Bei Ein-
muP..
ein
TeS
mit
.
1,1
ipient
EIN/AUS
die
ht
Ther-
304
kW
werden.
hva-
und
Verrie-
und
ver-
Aufstel-
ist
PM 021 919
das
max
mit Hoc
Flutventil
stand
den Einsatz an
gesehen
304/304R:
- He
-
-
lCS
VA
-
Cooling
- Backing load
rotary phase
-S) tor pcb
PM Rotary vane phase
bei
min. 3x208 TCS
_
Cooling
_
Air Valve
_
va v TVF 012 -
-
Venting control valve TVF
_ Emergency
- Remote control, All
the
Attention!
for
das
cannot
res
installation
different locations.
Operating
TCS
With
this lowing nected:
At
the rear
ater
Venting
304/304R
ro
the res
of
021
304,
coo
control
cuum
acuum
acces
interlock
rhe
res
use
304
304/304R:
Fi
g. 5
'rcs
30
type
of
accessory
of
the
for
turbo
valve
lSF
application.
units
rep
pump
012
C(;ln
380
the
be
:
304/304R:
water
monitor
pump
550 vane AC
(wiring
AC
ling
up
VA,
vacuum
motors
diagram
919
-S)
vacuum
motors
V can be connected
order
unit
TZK pe
unit
valv
e,
venting
chamber
TCW
to
a ma
x.
single-phase. When
pumps with
are used, a
must
up
nr. PM COl 4
leV
and venti
unit
TCF
connected
thermis-
be
empl
pumps with
to max.
1.1
50
with
high
valve
for
ng valve -
with
venting -Comm
012
venting
sory
.
304
with
turbo
be
used
R (rack model)
of the
instructions
pumping
units
are
has
only
pumping
separately
pump
PM
valve TSF
01
unit ON/
integrated
been designed
units
. The
is ava
and
con
for
the
800
192
4
fol-
con-
three-
oyed. phase, on devra
three­kW
to
the
A. TCS
- d'
0 de I'enc
OFF
into
and
ilable
trol
BD,
E,
Ce
genre
des accessoires
Au
-
Chautferette culair
- Vanne
- TCS
Sur
- Contr61 e TCW
- Pompe a vide
maxi I'utilisation ves it
plaqu
at
tance PM 021
ves it
une 3x208 V minimum. Groupe
Refroidissement
de vide pousse, vanne de remise a
TVF 012
-
Commande
vanne TVF
-
Commande de coupure
- Telec ARRET du
Tous ces accessoires
rouilh~s
for
at
Attention La co que de pompsge
F
eIre emploi de ser
d'utilisation
dos de la
e
304/304R
la
de
palette
e
304
ut
recev
palettes
ommande
mmande
pour etre
empl
la
commande,
Ie modele
de la
de remise
res
304/304R
ur
de I'eau de
550
VA
des
s it
iI
Circuits
(Schema de
919 , reference PM COl
oir
puissance
de
refroidissement TZK
ande de vanne TCV avec vanne
eintre
de remise a
012
de
tension
groupe
en consequence.
l
et
oyee separement. Po
separe,
rack).
permet
suivants:
rep
380:
pompa
a I'air TSF
primaire
monopha
pam
pes a vide
moteurs
avoir
reco
imprimes the
connexions
-S).
La
commande
des
pam
pour
et
remise
TeS
utilisee
TeS
pes a
courant
maxi
de
par
air
vanne de remise a I'air
a I'a
TSF
(pour
10
de
pompagel peuvent etr
304 n'est
sur
ne
peut
c'est-a-dire
pre
voir
304
I'emploi
turbomoh~
012
ell
e-me
refroidissement
d'une
me:
puissance
se . Lars de
rotati-
it c
ourant
ur
s a
rmi
450
vide
tri
phas e
1,1
kWa
I'air
TeF
ir
en cas
010
MARCHE/
prevue
des
groupes
en aucun cas
ur
autonome
alors
R (en vers
d'utili
une
s-
A,
rotati-
avec
e ver-
un
ion
tri
-
I'air
de
-
Instruction 304R
: PM
de
800
service
192
de
BD,
la TCS
E,
F
304
/
6
4 AnschlOsse
4
Connections
H
eizung
Heating
Chauffage
I
Netz
oder Pumpstand
M
ains
or
Secteur
ouappareil
pumping
4
Raccordements
steuerung
unit
control
de
commande
I
I
I
I
Schnittste
Int
erface
ll e
Fernbedienung
R
emote cont
Tel
ecommande
Dll
Schalter
OIL swit
ch
Commutateures
rol
DIP
Fig.6
8 Kabel
16
Verriegelung
17
Schneidschraube
, 8
Schraube
19
Bajonettverschlu~
X5
AnschluP., TCP
X8
Anschlur.!.
4.1
Net.
Der
NetzanschluB
chen
Bestimmungen
Antriebselektronik
Netzspannungen
10%.50-60
anschluB
PM
021
geo
Messerleiste
Bei
Betrieb
nung > 250 V erfolgt
"Uberspannung".
erfolgt
949
Turbopumpe
Hz
ausgelegt.
nach
oS,
Fig.
am
60
ist
Tep
von
X4.
Hz
nach
den
ortli-
auszufuhren.
380
ist
fUr
100-240V
Der
der
mit
Netz-
16-poli-
Span-
Schaltplan
7,
an
Netz Fehleranzeige
Die
±
X5
8
X8
8 Cable
16
Interlock
17
Tab
screw
18
Screw
1 9
Bayonet
X5
Connection
X8
Connection
4.1
Mains
The
mains according Electronic been
to Drive
designed
100 -240 V ±1
nection
ing
Fig.7,
When voltage>
"excess
to
to
wiring
at
the
operating
voltage"
the
250 V the
catch
to
TCP
to
turbo
connection
local
regulations.
Unit
for
mains
0 %,
mains
diagram
16-poles
at
60
is
displayed.
pump
must
TCP
380
voltages
50 -60
is
made
PM 021
multiple
Hz
mains
error
be
made
The
has
Hz;
accord-
949
plug
with
message
from
con-
-5,
X4.
8
Cable
16
Verrouilluge
17
Vis aLitotaraudeuse
18
Boulon
19
Fermeture a bai'onnette
X5
Raccordement
X8
RuCGordement
tLi
rbo
III
4.1
Branchement
Les
branchements
teur
sont a reconduire
criptions tronique tensions ±1
ments
comme
0 %
50
eux-memes
indiques
locales. TCP secteur
ou
connexions
par
I'intermediaire
16
broches.
Lors
d'un
fonctionnement
60
Hz avec
!'annonce
d'erreur
(\
11"c
Lila
La
380
est
de
60
Hz. Les par
PM 021
tension>
sur
la TCP
sur
18
pompe
i re
secteur
sur
Ie
reseau
selon
les
commande
prevue
100 a 240
branche-
sont
accomplis
Ie
schema
949
-5
(Fig.
du
connecteur
sur
250
V,
"surtension".
apparalt
sec-
pres-
elec-
pour
V
de
7).
reseau
des
X4
a
7
4.
1.
1
Be/egung
X4:
a1
Netzphase sung
a2
Netzneutral
a3
Heizung
a4
Hochlaufzeitsperre, liberwachung dieser den
a5
Geratemasse,
a6
Stand-by solange bunden
a7
42 V Ausgang, des Storungsfall fest
a8
SchutzleiteranschluB
bl
Schaltseite
b2
Netzphase
b3
Schaltseite
b4
Kontakt
b5
Gemeinsamer takte Schaltpunktrelais
b6
Kontakt
b7
Uberwachung Verbindung fert
die wasserwachter pumpe
b8
Reset Fehlers.
(L 1) bei
extern
Eingang
ist.
extern,
dieser
ist.
Relais
im
durch
Kaltleiter.
IL
Uberwachungsrelais
von
Uberwachungs-
Schaltpunktrelais
Fehlerinformation
an
die
extern,
der
Netzsteckerleiste
Direkteinspei-
IN)
Hochlaufzeit-
ist
nicht
mit
a5
0 V
Stand-by
Eingang
zur
Ansteuerung
TCS
303,
stromlos,
(PE)
Netzschalter
1) bei
Schalterbetrieb
Netzschalter
AnschluB
Kl
und
Pumpstand,
mit
TCS
303,
und
Vorvakuum-
TCP
380.
Quittierung
aktiv
solange
(0
V)
verbun-
Betrieb
mit
a5
ver-
wird
im
kurzschluB-
K2
der
Kon-
und
K2
K1
nur
in
304
lie-
von
Klihl-
eines
4.
1.
1 Pin
Connector
a1
Mains
a2
Mains
a3
Heater,
a4
Run-up monitoring
this
a5
Unit
a6
Stand-by,
tion
nected
a7
42 V output, TCS error, resistor.
a8
Protective
bl
Switching
b2
Mains tion.
b3
Switching
b4
Contact,
b5
Common tacts point
b6
Contact.
b7
Pumping
together
des cooling pump
b8
Reset ment.
Assignment
phase neutral
external
time
not
input
is
ground,
external;
as
long to
a5.
303,
is
short-circuit
earth
side,
phase
side,
monitoring
connection
of
monitoring
relays
switch-point
unit
with
the
error
water
to
the
external,
of
X4:
(L 1)
for
(N)
lock,
run-up
active
connected
0 V.
as
currentless
Kl
stand-by
this
input
to
control
proof
connection
power
(L 1)
for
power
relay K2
and
and K2.
monitoring,
TCS
303, 304,
messages
monitor
TCP
380.
error
acknowledg-
the
Mains
direct
time
as
long
to
is
the
during
due
switch
switch
switch.
of
the
switch-
relay
from
and
supply
as
a5
(0 V).
opera-
con­relay
an
to
(PE).
opera-
con-
Kl
only
provi-
the
backing
of
PTC
4.1.1
Affectation
connecteur
a1
Phase mentation
a2
Neutre
a3
Chaufferette
a4
Retardeur
sitif
de n'etant entree
a5
Masse
a6
Stand-by Stand-by reliee avec
a7
Sortie des
relais hors resiste PTC).
a8
Circuit
bl
Commutateur
rupteur.
b2
Phase ment
b3
Commutateur
rupteur.
b4
Contact
b5
Broche
relais
tation
b6
Contact de
regime
b7
Surveillance ge,
seulement commande la TCP controleur ment
b8
Reset erreur
secteur
directe.
IN).
de surveillance pas
actif
est
reliee avec
des
appareils, externe, tant
a5.
42
V,
pour
de
courant
aux
court-
de
protection
secteur
avec
commutateur.
du
relais
sommune
de
surveillance
de
regime
du
relais
Kl.
du
TCS
380
les
de
et
de
la
externe,
intervenue.
des
broches
X4:
(L 1), en
externe.
demarrage,
tant
cas
du
demarrage
que
a5
av.
fonctionnement
que
cette
entree
I'asservissement
la TCS
303,
en cas
de
detaillance,
circuits
(PE).
secteur,
(L 1), en
secteur,
en
messages
I'eau
pompe a vide
acquittement
de
surveillance
des
contacts
et
Kl
et
de
commutation
groupe
relation
303
ou
de
refroidisse-
cote
fonctionne­cote
de
K2.
de
304,
du
d'ali-
Ie
dispo-
cette
(OV).
est
placee
(circuit
inter-
inter-
commu-
pompa-
avec la
livre
d'erreur
primaire.
d'une
est
K2
des
it
du
_ ~
~;
I'--T-'
-f
Fig.7 Anschluf1plan PM
1 1
I J'
X2
021
~
1 4 1
949-S
IA
B [ 0
'1
..
"'e'"
f-t-fl f f f f f
-11"'x""'----~I-
---P-M-0-31
-
·-:'c---;,'--~--
'
J
'"
"
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y,
y"
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0
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K L
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XC,IUl
±
w-l-c:::J-
Vl
"'
"7E
G N
I I I I I
~~,;~l
r
Connection
diagram
PM
021
949
-S
Schema
PM
de
raccordement
021949-S
~
r r 8
r
XB
I "
Y'l
X5
8
4.2
Turbopumpe
-
AnschluBkabel 8 beidseitig verbindung;
100
m.
-
AnschluB
X5,
an
dung
-
Stecker
nach
vor
dem
-
Verriegelung
legen
der
X8.
X5
dem
und
an
Fig.
Trennen
mit
maximale
der
Tep
Turbopumpe
6.
und
Steckdose
Einstecken
entriegelt
X5:
Verriegelung
Schneidschraube
mit
Kabellange
Steckverbindung
Steckverbin-
X8
verriegelt
werden.
anschrauben.
-
Verriegelung
des
Bajonettverschlusses
leicht
- Die
anziehen.
Verriegelungsteile
pack
mitgeliefert.
Achtung!
Be;
Pumpen
(Standardpumpen),
zwischen S
des
Steckers
X8:
Nach
werden
ohne
Betriebsmittelsensor
mu13
und F auf
der
der
Turbopumpe
dem
Einrasten
Schraube
eine
RiJckseite
vorhanden sein, bzw. var Inbetrieb-
nahme diese,
rep
zeigt!
angebracht
wird
bei
380
Normalbetrieb
Betriebsmittelmangel
werden.
Fehlt
Steck-
mussen
bzw.
16
ein-
17
als
Bei-
Brucke
(Fig.
an
der
ange-
18
8)
4.2
Turbo
-
Connecting connector;
100
-
Connection
turbo
- Plug after
they
-
Lock
using
-
Lock
locked,
-
The
locking
together
Attention! In
the medium bridge on
rear
pump
the
unit
low
operating
played
the
TCP
meters.
pump
X5
and
plugging
are
unplugged.
X5:
Insert
tap
screw
X8:
After
slightly
with
case
sensor
must
of
male
(Fig.
8)
into
during
380!
Pump
cable
8,
both
maximum
to
TCP
connector
connector
socket
X8
in
or
unlocked
lock
16
17.
the
bayonet
tighten
components
the
unit.
of
pumps
(standard
be
fitted connector
or
fitted
service.
If
medium
standard
ends
cable
length
X8,
Fig.
must
and
screw
catch
screw
are
without
pumps),
between
on
before
this
;s
level
operation
with
X5,
at
6.
be
locked
before
has
18.
supplied
operating
Sand turbo putting missing,
is
dis-
at
4.2
-
Cable teurs
100
-
Raccordement diaire
turbomoJeculaire
Fig.
- Le
on
a
mecanique), separation.
-
Verrouillage I'agrafe la vis
-
Verrouillage
vis
meture
a - Les
F
avec
Attention!
Sur moteur
imperatif Set pompe avant quoi, manence reur
Pompe
de
liaison
des
deux
m.
du
connecteur
6.
connecteur
verrouiller
(16)
autotaraudeuse
(18)
apres
a baYonnette.
pieces
de
la
commande.
les
pompes
(versions
de
Fa
I'arriere
turbo
leur
mise
fa
commande
durant
agent
moteur
turbomoleculaire
(8),
pourvu
cotes,
a la TCP
par
X5
et
la
apres
jonction
ou a deverrouiller
X5:
mettre
et
la
visser
X8:
serrer
enclenchement
verrouillage
sans
standard),
realiser
(Fig.
un
du
connecteur
8),
en
service,
affichera
fe
service
epuise!
de
longueur
par
I'interme-
X5,
a la
Ie
connecteur
douille
(agrafe
en
place
au
moyen
(17).
moderement
sont
dt§tecteur
if
pontage
au
plus
faute
normal
connec­maxi:
pompe
X8
avant
de
livrees
d'agent
est
entre
de
tard
de
en
per-
sont
de
la
la
/'er-
X8,
la
fer-
Fig.8
Antrieb
@
I
Turbopumpe
,
"'
_._._._.,
TP
.j
~
1;,
-l
-
15<
xr
H'
H/TPU
Drive,
turbo
i
X8
8
X5
pump
1
2
3
4
5
6 7
8
9
grau gelb schwarz
wei~
blau grun
cot
grun/ gelb
braun
grey
yellow
black white blue green
ced
green/ yellow
brown
Entrainement turbomoleculaire
de
gns jaune noir blanc bleu
vert
rouge
vert/ jaune
brun
la
pompe
9
4.3
luftklihlung
- Bei den TPH/TPU 240,450 H und lung
gemiif3,
Netzspannung
werden!
- Die
Ventilatoren
sind
fur
110
Der
elektrische
V,
AnschluB
060,
520
fur
TPH/TPU
50/60
180
mu~
Hz
ausgelegt.
erfolgt
H,
190,
die
Luftkuh-
ausgewahlt
330/510
nach cal
4.3
- For TPU 520, according
- The fans designed
Fig. 7. Fig. 7.
- Die
Zuleitung
(PE,
L,
N)
wird
fur
an
die
Ventilatoren
Stecker
X2
ange-
- The is
schlossen. - The air
- Die
Luftkuhlung
des
Netzschalters
lauft
Sl
PE
llN
nuch
Betatigung
sofort
an. operated. -
8ei At Pour
after
110V
mains
tension
Air
Cooling
the
turbo-molecular
060,
180
the
air
to
for
for
connection
supply
connected
cooling
the
power
Netzspannung
voltage
ot
de
reseau
H,
cooling
the
the
TPH/TPU
110
is
cable
to
plug
fan
switch
11
OV
de
pumps
190.240,450 must
be selected
mains
voltage!
330/510
V,
50/60
made
as
shown
for
the
fans
X2.
starts
immediately
Sl
has been
110
V
TPH/ -Sur
4.3
Hand
TPU 520, dissement
are
tension
Hz. Electri- - Les
in TPU
tensionde
(PE,
L,
N)
ment
-
Le
teurs
diaire Le marche commutateur
Refroidissement
les
pompes
060,
il
convient
secteur
ventilateurs
330/510
turbomoleculaire
180
H.
de
par
air en
disponible!
pour
sont
110 V 50/60
electrique:
dible
d'alimentation
(PE,
du
connecteur
L,
N)
voir
est
refroidissement
sit6t
apres
Sl.
par
air
190,240,
selectionner
fonction
les TPH/
prevus
relie
Fig.
pour
Hz.
7. des par
Branche-
ventila­I'interme-
X2.
par
air
est
actionnement
TPH/
450 H et
refroi-
de
la
une
mis
en
du
Fig.8a
4.4
Flutventil
AnschluP., platte
Die betragt
an
der
TCP
Steuerspannung
42 V und
Einschalten Ausschalten das
Flutventil
zierte
Spannung bopumpe 6ffnet Abschnitt
4.5
AnschluB platte
beim
somit
7.6).
Heizung
an
der
TCP. Die Heizung das Relais K3 wenn
der
Heizungsschalter
und
der
Orehzahlschaltpunkt
ist.
Bei
220V
At
mains
Pour
.~
PE
II
N
Stecker
der
oder
nur
drehzahlabhangig
Xl
fur
Flulventil
fur
liegt
TCP
380 einer noch
der
rotierenden
Auslaufen
auf
TSF
das
direkt
an. Nach
Stbrung
durch
versorgt
der
ROck-
012.
Flutventil
nach
dem
wird
die
indu-
Tur-
und
(siehe
Turbopumpe
Stecker
gesteuert.
X3
auf K3
der wird zieht
S2
Ruck-
durch
an,
betatigt
erreicht
Netzsrannung
voltage
tension
de
res8<Ju
4.4
Venting
Connection panel
of
TSF The
valve is
after on.
error,
by
turbo
it rotation
4.5
the
012. control
42
the
TCP
After
the
the
induced
pump
therefore
speed (see
Heater
Connection panel
of led heater rotation
the
by
relay K3. K3
switch
speed
of
220
V
de
Valve
to
plug
TCP
for
voltage
V;
it
is available
380
switching
venting
voltage
during
opens
for
Turbo
to
plug
TCP.
S2
switch-point
220
V
X 1 on
venting
for
the
has been
off
or
valve is
of
slowing
as a
function
Section
Pump
X3
on
The
heater
attracts
is
operated
the
rear
valve
venting
directly
switched
after
an supplied the
rotating
down,
of
7.6).
the
rear
is
control-
when
and
is attained.
only
and the
the the
4.4
Vanne
A
raccorder
dos
de
de remise La
tension
est de
de
par
I'appareil
a
I'air
de
42 V et immediatement che de
celle-ci, detaillance,
n'est inductive moleculaire
s'ouvre cette
4.5
la
TCP
ou en
la
plus
alimentee
g€mere8
en
ainsi
en
derniere
Chaufferette
turbo
A
raccorder I'arriere de asservie lorsque actionne tion
du
par
la
par
Ie
Ie
commutateur
et
que
regime
remise a I'air
Ie
connecteur
de
la
TCP de
TSF
012.
commande
de
la
est presente en
apres
la
Apres
mise en
arret
d'une
380. I'occurrence
vanne de remise a
que
par
par
marche
fonction
(voir
section
de
Ie
connecteur
TCP.
La
relais K3,
Ie
point
est
atteint.
la
la
pompe
inertielle
du
regime
7.6).
la
pompe
X3
chaufferette
qui
est excite
52
est
de
commuta-
Xl
au
la
vanne
vanne
sortie
mar-
de
I'air
tension
turbo-
et
a
est
de
10
4.6
Remotestecker
Der
Fernbedienungsstecker
Ruckplatte)
beim
Funktionen
besitzt
NetzanschluB
folgende
auBer
beschriebenen
(X16,
den
Eingange:
schon
4.6
Remote
The
remote
panel) has
addition
cribed
under
to
Plug
control
the
following
the
mains
plug
functions
connection:
(X
16,
inputs,
already
rear
in
des-
4.6
Connecteur
Le
connecteur panneau fonctions ment
secteur),
de
arriere)
decrites
de
telecommande
telecommande
dispose,
ptus
des
outre
haut
entrees'suivantes:
(X16,
les
(branche-
Pin 1
Pin 2
Pin 3
Pin 4
---
Pin 5
Aile
o.a.
Eingange
Ober
den
Rechnerprint
Weitere
OIL-Schalter
Remoteeingange:
Hochlaufzeitstop, Hochlaufzeit
Schaltpunkt
Stromprofil, ab
50% Stand-by zur
Betriebsmittelkontrolle, Betriebsmitteluberwachung erst Enddrehzahl) Abschnitt
Einschalten (siehe
Programmierung Schnittstelle Fronttasten.
fest
der
Drehzahl)
Drehzahl
ab
35 % der
7.5).
Abschnitt
lassen
sich
S14
einstellen.
eingestellte
wird
bei
vorzeitig
Motorstrom Enddrehzahl
der
auf
proportional
auf
71 %
Drehzahl
aktiv
(siehe
Testerweiterung
9.4). der
seriellen
uber
die
auch
dem
erreichtem beendet.
wird
(auch
abgesenkt.
wird
(nur
All
of fixed switch
Further
Run-up run-up prematurely point
Current current proportionally speed of
the
(also Operating
the
becomes
at
35 % of
speed
speed) Starting
(see Programming
interface
panel
the
above
on
the
computer
S14.
remote
time
time
is
attained. profile:
is
reduced
to
71
ultimate
stand-by
medium
operating
active
the
(only
(see
the
Section
via
keys.
inputs
inputs:
stop:
is
terminated
when
the
to
the
%,
starting
rotation
rotation
medium
only
rotation.
ultimate
Section
test
extension
9.4). the
the
front
can
pcb
via
the
the
motor
rotation
level
starting rotation
7.5).
serial
also
the
preset
switch-
at
50
speed
speed)
chec
manito
be
OIL
%
k:
Toutes egalement au sur
Autres
Arret
de
la
ternporisation demarrage; prematurement, a I'atteinte point
Courbe rnoteur ramene, a I'atteinte regime Stand-bY) a 71 % du
Controle surveillance
n'est de
35 % du
(voir
section
Enclenchement (voir
section
Programmation par
I'intermediaire
panneau
les
moyen
la
carte
entrees
celle-ci
de
commutation.
de
courant;
est
proportionnellement
nominal
d'agent
activee
frontal.
entrees
etre
des
de
(merne
d'agent
qu'a
regime
7.5).
des
9.4). de
ci-dessus
prereglees
cornmutateurs
I'ordinateur.
de
telecommande:
est
-----
Ie
courant
de
regime
moteur;
moteur
I'atteinte
nominal
essais
I'interface
des
par
au
arretee
du
50 % du
du
regime
actuel.
la
etendus
touches
peuvent
detaut
DIP
(S
de
serie
du
14)
Pin 7 Pin
Pin Pin Pin
11
12 14
15
R ese rve 0 be rwa c
Motorstrom des
Motorstromreglers
Uberwachung
nicht
belegt
Geratemasse
Fernsteuerfunktionen wie im stecker:
Pin 6 Pin 8 Pin 9 Pin
10
Pin
13
Jede
Fernsteuerung Remotestecker den Pin Segment
Die
Funktion
dung
des
(Gen3.temasse) Pin
Heizung Hoc Stand-by Pum
Reset,
oder
am
Netzstecker
(Fernsteuerung)
wird
entsprechenden
extern
h la
ufze
itu
extern
pstandfehlereingang
Quittierung
einer
Funktion
dem
entsprechen-
wird
angezeigt.
durch
die
Pins
15
aktiviert.
hun
9 sei n 9 a n 9
aus,
"Shut-down"
Vibration
(0
V)
Netz-
berwa c hun
eines
am
durch
Verbin-
mit
0 V
Remote mains
9 sspe rre
Fehlers Reset,
Any
remote
remote
das
at
the
segment The
function
of
the
ground).
Spare
monitoring
Motor
current "shut-down"of current
Monitoring not Unit
control
assigned
ground
control functions,
plug:
Heater, Run-up Stand-by, Pumping
an
plug
mains
(remote
corresponding
Pin
external
time
e·xternal
unit
acknowledgment
error
control
or
the
plug
is
activated
15.
is
control).
of a function
corresponding
input
Off,
the
for
vibrations
(0 V)
same
monitoring
error
displayed
by
pin
to
motor
as
in
loc
k
input
of
at
the
pin
by
the
connection
0 V
(unit
Entree
Arret
"Shut-down" courant
Surveillance (libre) Masse
Fonctions
a celles
secteur:
--4----~
----~
Chauffage
Retardeur Stand-byexterne Entree
groupe
Reset, d'une
Toute
telecommande quelconque connecteur
correspondante branchement
Ie
segment
La
fonction pontage avec les
de
surveillance
du
courant
du
moteur
des
des
appareils
de
telecommande,
du
connecteur
externe
de
demarrage
-------------
pour
erreurs
de
pompage
acquittement
erreur
par
I'intermediaire
ou
par
celui
du
connecteur
secteur
(telecommande).
afferente
de
la
broche
OV
de
la
masse
(reserve)
de
moteur,
regulateur
vibrations
(0
de
V)
identique
de
branchement
----------
du
d'une
fonction
de
est
est
correspondante
de
la
broche
de
affich.ee par
activee (broche
par
ce
Ie
15).
11
4.7
Serielle
Die
Tep
Schnittstelle
werden.
-
RS
232
Tep
380
-
RS
48
5
Tep
380
-
Die
sarielle
und
geh6rt
des
Gerates.
-
Pinbelegung tage
in
Schnittstelle
Schnittstelle
380
kann
mit
vom
Kunden nachgerOstet
Czur
Verbindung ainer
zu
rn
Leitrechner
lur
Verbindung
(max.
32)
des
(PM
zurn
zurn Steck
800
Schnittstelle ist nicht
der
Betriebsanweisung
IOptionl
einer
seriellen
. -
mehrerer
Leitrechner.
optionell
Lieferumfang
ers
und
Mon-
214
der
BD,E,F).
4.7
Serial
The
customer
-
RS
to
the
RS
Tep
ter.
-
The
not ment
- Pin lation
the
rep
232
485.
included
assignme
interf
Interface
380
can be
with
a serial
C,
for
connection
host
computer.
for
connection
380
(max.
serial
interface
. n
: see
in
nt
operating
ace (PM
IOptionl
retrofitted
interf
of
of
32)
to
the
host
is
optional
the standard
of
the
plug
instructions for
800
214
severa l
4.7
by
the
La
Interface
Tep
ace. post-equ
a
rep
380
interfa
-
RS
232-Cpour
nateur
compu-
and
consign-
and
instal-
BD,E,F). et
-
RS
Tep
is un
-
Cette livrais
-
Affectati vice
(PM
485
380
ordinateur
'est
pas
mont
de 800
380
peut,
ip
ee
ce serie.
central.
pour
(jusqu'a
interfa
ce serie
comprise
on de la
on
des
age:
voir
I'interface
214
serie
IOptionl
optionnellement.
par
son
utilisateur
une
liaison
la
liaison
de
concurrence
central.
est
dans
commande.
broches
I'instruction
BD,E,F)
d'une
a un
ordi-
plusieurs
de
optionnelle
I'e
venta
il
du
connecteur
de
ser-
etre
32)
de
a
et
Bestell
-Nr.
sie
he
4.8
res
Zur
Steuerung standes 100 -240 wird 303
Schnittstelle
1 2
Zubehor.
Fig. 9 Schn
itl
slclle
Pumpstandsteuergerat
TCS
303
und
303:
eines
mit
Netzspannung
V,
50 -60
das
Pumpstandsleuergerat
eingesetzt.
:
TCS
304
kompletlen
Hz
,
einph.sig
Pump-
TCS
Order nr. see
12
Accessories.
Interfa
4.8
Pumping
TCS
res
303:
The
Pumping
used
to
wit
ase.
contro
h a
unit
100 -240
ph
for
ce
303
mains
V,
interface
Unit
and
TCS
Unit
Contr
l a
complete
voltage
50 -60
:
Control
304
ol TCS
of
Hz.
303
pumping
s
ingle-
Reference
vo
ir
4.8
res
is
Pour pompage complet, fonctionnant de
s tens 240 V 50 mand
de
!'interface
section 12
IntArf
"Accesso
ace
Commandes
pompage
TCS
303:
I'asservissement
ions monophasees de
au
60
Hz
e TCS
303.
de
groupes
303
d'un
,
utiliser
:
ire
et
s".
de
TCS
groupe
sous
100
la com-
304
de
a
An
d.s
TCS Schaltplan Abschnitt nenlen
res
304/304R:
Zur
Steuerung
slandes
240Veinphasig 3-phasig standsteuergeriit gesetzl.
An
das Schallplan Abschnitt nenten
12
303
PM
3.2
beschriebenen
angeschlossen
mit
Netzspannung
50 -60
TCS
304/304R
PM
3.3
beschri
angeschlossen
kenn
031
eines
oder
Hz
TCS
031
en
gemii~
183
-S
werden.
komplett
208-415V,
wird
das
304/304R
kennan
129
·S
ebe
nen
werden.
die
in
Kompo-
en
100-
Pump·
gemii~
die
in
Kompo-
Pump-
ein-
The
compone
be
connected shown PM
The 304R pumping
3·phase, The
be shown PM
in
031183
res
304/304R:
Pumping
is used
100-240
compo
connected
in
031129
nts
to
the
wiring
diagram
·S.
Unit
to
control a co
unit
with a mains
V,
1-phase,
50-60
nents
to
the
wiring
diagram
-So
describ
TCS
Cant
ed in
rot TCS
or
Hz.
described
TCS
3.2
303
as
304
mplete
voltage
208-41
304/304R
in
3.3
5 V,
can
can
/
of
Celle-ci decrits indique PM
res
Pour pompage des 240 V 50 208 a 415 V 50 comm dernier
as
Celles-ci appareils der comme connexions
peut
section
par
031
Ie
183
304/304R:
I'as
serv
isse
cam
ten
sions
au
ande
TCS
e e
tant
peuvent
decrits
indique PM
recevoir
schema
-S.
plet,
monophasees
60
une
taus
3.2, a raccorder de
ment
d'un
fonctionnant
Hz,
au
triphasees
au
60
Hz,
304
au
304R
version
recev
oir
section
par
031
Ie
129
les
appareils
com
connexions
groupe
utiliser
en rack).
tous les
3.3, a raecor schema
-S.
de
de
sous
100
de
la
(cette
de
me
a
-,
5
Uberwachung
5.1
Uberwachungsrelais
-
Verzbgerter
laufphase.
test
schliefSt K2
Kontakt
-
Nach gerung,
Drehzahlschaltpunkt
bzw.
unterschritten
jeder
Pumpe
-
Wenn
sagt,
der
eingestellten
- Eine
Abschaltung
des
Drehzahlschaltpunktes
PIN 1 am (siehe
- Die
Verzogerungszeit
kung
von 1 bis
- Die
Hochlaufzeit senen der
Vorpumpe
abhangig.
- Die
Werkseinstellung
ten.
5.
1.
1 Verriegelung K2
In
bestimmten GaseinlaB weiteren funktion von
X4/a4 -X4/a5 den. Die aktiv, ausgeschlossen
5.2
Uberwachungsrelais
-
Unverzogerler
laufphase. an
X4/b5
-
Kontakt Drehzahlschaltpunktes.
-
Kontakt penheizung "Pumpe
den.
- Der
Schaltpunkt
Turbopumpe drehzahl
zwischen
Schaltkontakt
Nach
den
X4/b5-X4/b4.
Ablauf
Fehlermeldung
affnet
der
der
abo
z.B.
die
schaltet
Drehzahlregelung
K2
DIL-Schaller
7.5).
der
Hochlaufphase
120
Minuten.
Rezipientenvolumen
die
und
Einsatzfallen, z.B. bei
oder
durch
Volumens,
Hochlaufphase Drehzahlliberwachung
Fehlermeldung
(siehe
Schallkonlakl
Potentialfreie
und
X4/b6.
schlieBt kann
zur
oder
betriebsbereit"
ist
50%
auf
und
eingestellt
7.8).
K2
zur
erfolgreichem
potentialfreien
eingestellten
Kontakt,
wird.
nach
Drehzahl
bei
ist
vom
Turbopumpe
kann
unterbunden
wenn
nicht
erreicht
K2
und
affnet
schaltet
Oberschreiten
abo
Unterschreitung
ist
S14
einslellbar
zur
Uberbrlik-
ist
einstellbar
angeschlos-
sowie
betragt 8 Minu-
Zuschalten
die
Schalter-
durch
E006
9.1).
K1
der
Signalisierung
nach Erreichen
Steuerung z.B.
fur
die 80 % der und
90%.(Abschnitt
einer
benutzt Drehzahl
ist
der
Meldung
Nenn-
wahlbar
Hoch-
Selbst-
Verz6-
der
bei
die
ver-
mit
von
eines
Brucken
wer-
bleibt
wird
Hoch-
des Pum-
wer-
der
5
Monitoring
5.1
Monitoring
- Delayed up phase. successfully potential-free
-
After
red,
speed
ned it. K2
and
- If,
trol preset
-
Switching drops
sel (see
- The up minutes.
- The
connected well turbo
- The
5.
For inlet nected,
tion
switching
the
the
contact
switch-point
or
the
opens
stops
for
example,
fails,
K2
rotation
below
via
PIN 1 al
7.5).
delay
phase
run-up
as
the
pump.
factory
1.
1 Interlock K2
certain
or
when a further
the
can be
X4/a4 -X4/a5.
monitor
sage
5.2
-
Undelayed
run-up
al
- The speed
- The pump "Pump
- The rotation rated selected
7.8).
remains
E006
Monitoring
phase.
X4/b5
and
contact
switch-point
contact
heater
ready".
switch-point
speed is
rotation
from
Relay
contact
After
the
self-
completed,
contact
preset
delay opens
has
rotation
the
off
time
can be
time
vacuum
backing
setting
applications,
run-up
suppressed
is
speed
with
every
pump.
the
rotation
switches
speed is exceeded.
when
the
the
switch-point
the
DIL
for
bridging
preset
is a
function
chamber
pump
is 8
phase
The
rotation
active,
not
generated
Relay
switching
contact
Potential-free
X4/b6.
closes
after
can be used
has been
or, e.g., a
for
the
preset speed and can be 50 % to
K2
for
the
run-
test
has been
K2
closes
the X4/b5-X4/b4. time
has
expi-
if
the
rotation
not
been
attai-
drops
speed
when
below
message
con-
the
speed
can be
error
off
rotation
switch S 14
of
the
from 1 to
and
minutes.
e.g.
volume
switch
by
bridging
run-
of
the
volume
the
for
gas
is
con-
func-
120
speed
the
error
mes-
(see
9.1).
1{1
for
the
signalling
the
rotation
attained.
to
control
message
turbo
to
80 % of
90 % (Section
the
pump
the
5 Surveillance
5.1
Relais
-
Contact de
mantee
Apres
deroulement
test, K2
potentiel)
-
Apres
ecoulement prereglee, point
de regime est
sous-passe.
message
-
Lorsque, regime egalement regime
- Un
arret
point
de
par
detaut
mutateur
-
La
temporisation
etre
as
reg lee a
tes.
-
Le
temps depend place
et
turbo
-
-
- Le
-
-
encore.
Reglage
5.
1. 1 Verrouillage
Dans
certains exemple par
la
prise auxiliaire, la au
demarrage realisant X4/a5. demeure met
d'eviter
(voir
9.1).
5.2
Relais
Commutation de
demarrage.
emis
de
contact
de
commutation Ce
contact commande pompe, "Pompe Le
point
la
pompe
80 % de
varier
de
La
de
surveillance
de
temporisation
en
regime
referme
(demarrage).
correct
Ie
contact
X4/b5-X4/b4.
de
la
Ie
contact
commutation
n'est
pas
K2
d'erreur
par
exemple,la
s'avere
prescrit
du
detaillante,
la
pompe
est en cas de commutation
au
moyen
DIP
S14
volonte,
de
montee
volume
pompe
d'usine: 8 minutes.
primaire
temporisation
s'ouvre
en
atteint,
au
c'est-a-dire
s'ouvre a chaque
et
arrete
regulation
sit6t
outrepasse.
sous-passage
peut
du
PIN 1
(voir
section
demarrage
de
1 it
en
pression
de
I'enceinte
et
K2
cas
pour
un
surveillance
pas
X4/b5
ferme a I'atteinte
peut
par
prete a fonctionner".
de
turbomoleculaire
son
50 a 90
particuliers,
I'admission
en
compte
fonction pontage
mains
Ie
de
de
exemple,
commutation
regime
de
peut
etre
entre
active
message
surveillance
immediate
Signal
sans
vers
X4/b6.
du
regime.
etre
utilise
la
chaufferette
ou
nominal
% (voir
d'une
temporisation
annihilee
du
d'erreur
de
pour
du
section
1(2
de
la
phase
de
I'auto-
(exempt
lorsque
fonction
la
pompeo
K2
arrete
que
Ie
du
etre
regh§
du
7.5). peut
120
en
pompe
par
de
gaz ou
enceinte
X4/a4
regime
et cela
E006
K1
la
phase
potentiel
du
point
pour
la de signaler
regime
est regie a
et
peut
7.8).
de
Ie
du
du
com-
minu-
en et
n'en
per-
de
13
6 Bedienungselemente und
LC-Anzeigefeld
Auf
der
denen
feld a
Frontplatte
Schalter
ngeordnet.
sind
sowie da
die
s LC-
verschie-
Anzeige-
6
Control LC
The
front
switches
Elements and
Display Panel
panel
contains the various
and
the
LC
display
panel.
6 Elements de manoeuvre
et panneau
d'affichage
LCD
Le panneau di
spose
d'une visu a LCD.
de
diverses
frontal
de
touch
la
commande
es ainsi
que
TCP380
OJ
2 I
3
4
5 Sc
6
7 8
9 Dre hz<lhl errei
10 Stand-
11 Scha 12 He
13 Pumpe bcsc
14
15
16
17 Ubertemperatur 18
Anzeige
19
Wertanz
20
Einheifenfeld
22
Samme
29
Men
S 1 S 2 S 3 Scha 5 9 Schalter S 1 2 Sc S
13
Fig. 10
Fr
ontplatle
So
lldrehzah
strlr
Strom
Hochlaufzeit
haltpunkt
Betriebsstunden
Anzeige Fernbedienung
izung
Stromprof Betriebsmittelkontrolle
Ubertemperiltur
Schaller Pump Schalt
Sch
l
ehzahl
Istdrehz
cht
by
Orehzahl
ltpunkt erreicht
hleu
il
aktiv
"EIN"
eige
lst
orul1g
upfeil
lter
halter
alter
sanzeige
er Heizu
Reset Stand-by Menupf Menup
ilh
l
nigt
oder
TCP
Turbo
stand ng
"EIN/
eil nach
feil
Shut-down
~
EIN/AUS
AUS"
rec
nuch
links
hts
"
PFEIFFER
VACUUM
Front
pane
R
ated rotati
2
Act
ual rotation sp
3
Current
4 Run -
up
5
Switch -
6
Opera
ting
7
Actual rotation
8
Remote
9
Rotation
10
Stand Switch
ate Pump Cur
rent
Ore
rati
-by rotati
-point
r
acc
11
12 He 13
14
15 16 Excess
17 E
XCesS
18
Disp
lay
, 9
Value 20 Unit 22 29
S 1 Swit 5 2 S S 9 Swit S12 Swit
513
display
s fi
Collective
M
l:lfl
U c
ch
Switch heater "ON
3
Swi
tc h Reset
ch ch
Switch menu
l
on
spee
time point
hours
spe
control
speed
attain
on
attained
elerates
profile
active
ng
medium
temperuture,
temperatur
"ON"
eld
error d isplay
ursor
pump
ing
standby menu
cursor cur
d
eed
eu displ ay
ed
speed
or shut-down
check
TCP
e,
turb
unit
"ON/
/ OFF"
to
right
sor
to left
POWER SUPPlY
PFI!:IFFIiR
eA'L'Zi!"Rs
o
OFf"
PUlluoau Iront
1 Reg i
me
2 Regime reel
3
4
5
6
7 A
8 Tel
9
10 Regi
11 Po
12
13
14
15 Indica 16
17 S 18 1 9 20 22 29 Flec
S 1
S 2 Co
S 3 S 9 S
12
S 13 To
consigne
Couran
t
ramps
de
Point
de
Compte
Regime utteinl
Chauffage Pompe i.H.;(;eline
Courbe Shut-down
Surc
Affichage Aftichage Cha Annonce
commutati
uf
ffichage
urchauffe
Commutateur groupe
cha Commutateur Reset Commuta Touc fl
fl
ecomman
me
en
in
t
de
commuTat
de
teur
hauffe
mp d'u
de
he de me
de
mmututeur
urfage
he
de deplilcement
ec
he
vers
uche
de
p.c
he v
ers
du
"MARCHE" des
TCP
380
IS1Asl~
~
al
mantee
d'heures
Stand-
courant
du
nit
teur
591s21
~EQ~
e ill
§]
CD
regim
de
niveau TCP pompe turbomolecu
val
es
detauts
nu
pompa
la
droit
depl
la
gauche
~
en
press
ion
on
de SAr
vice
e reel
by
ion
att
eint
active ou
d'ugent
moteur
eurs
groupes
"MARCHE/ARRE
ge
"MAR
CHE/ARRET"
de
Stand-by
da lu
e
acement
de
la
laire
T"
14
6.1
Bedienungselemente
6.1
Control
Elements
6.1
Elements
de
manoeuvre
Sl
S2
Netzschalter des
Gerates. Bei
gemii~
als
Wechselschaltung
Heizungstaster, wird
erst
Schaltpunkt
S3
Resettaster, wird
quittiert beginnt vorgewahlte oder
Heizung
S9 S12
S13
S2
und
gen
Fernsteuereingange
Stecker)
Stand-by Menupfeil
Menupfeil
S9
werden
verriegelt,
durch
d.h. bei Heizungsfernbedienung S2
ohne
Funktion.
Die
beiden
chen
ben gewOnschte (Soll
Schaltpunkt
Tasten
im
Normalbetrieb
des
Menupfeils
..
-Isl..).
512,
Anzeige
Strom,
und
Betriebszeit.
29
Hochlaufzeit,
zum
Schaltplan
Heizungsrelais
nach
erreichtem
Kl
eingeschaltet.
---
Fehlermeldung
und
Neuanlauf
Funktion
bleibt
29
nach
29
nach
die
jeweili-
(Remote-
aktivierter
ist
der
513
ermogli-
das
Verschie-
auf
die
von
Drehzahl
Einschalten
Netzanschlu~
PM
021
949
-S
ausgelegt.
das
Gerat
mit
Selbsttest;
Stand-by
bestehen.
rechts
links
52
and
tive
remote
plug),
i.e.
trol
is
Taster
activated,
deactivated. In
standard
S12,
S13
be
moved rotation (rated
..
switch-point
Power the
unit connection wiring PM
021 a
two-way
Heater the
heating switched switch-point has been
Reset
push-button
error
message
and
unit self-test; function heater
Stand-by Menu
cursor
Menu
cursor
59
are
locked
control
when
the
operation. allow to
the
speed
-actual), and
switch
on.
to
With
according
diagram
949
-S
switch.
push-button
relay is
on
after
K1
attained.
is
restarts
the
preset
stand-by
is
maintained.
29
29
via
the
inputs
heater
push-button
the
the
menu
desired
current.
display run-up
operating
switch
mains
to
designed
as
switch;
only
the
switch;
acknowledged
with
a
or
to
right
to
left
respec-
(remote
remote
two cursor
52
keys
is
29
con-
to
of
time.
time.
Commutateur marche
de
Raccorde
de
con
nexions
PM
021
office
949
de
va-et-vient.
Commutateur marche
du (demarrage). chauffage qu'a
I'atteinte
de
commutation
Touche pour
de
acquitter quelconque (avec
auto-test);
Stand-by
ou chauffage demeure
---
---
conservee. Stand-by Fleche
de
la
droite
Fleche de la
gauche
S2
et
S9
sont avec les respectives; rette
fonctions
par
a-t-elle telecommande, et
la
chaufferette
tee
que
par
Ie
Le
deux
513
fleche
desire
rant, point d'heures
fonctions
en
service
de
menu
regime
temporisation
de
commutation
de
service.
de
mise
I'appareil.
selon
Ie
schema
-S,
fait
de
mise
chauffage
Ie
relais
du
n'etant
du
active
point
Kl.
rearmement
une
detaillance
et
relancer
une
fonction
d'activation
prealablement
menu
(29)
vers
menu
(29)vers
mutuellement
de
telecommande
exemple:
Me
enclenchement
52
est
alors
ne
pourra
telecommande.
permettent.
normal,
(29)
(consigne
de
sur
I'affichage
..
de
demarrage,
et
en
en
(Reset),
I'appareil
du
activee
exclusifs
la
chauffe­desactive
etre
512,
deplacer
-reel)
,cou-
compteur
--
par
arre-
la
15
6.2
LC·Anzeigefeld
Fig.
Display
11
Tep
380
6.2
LC
Display
Panel
rTl.
L2.J
~DJ
DisrlflY
Tep
380
6.2
Visu
Panneau
de la
Tep
d'affichage
380
LCD
Die
LC-Anzeige Informationen drehzahl,
Schaltpunkteinstellung
stundenzahl, formationen
larM
sich
dern:
Menufeld
bringt
wie
Motorstrom,
sowie
zur
in
Anzeige.
folgende
mit
Menuzeiger
Solldrehzahl
Rated
rotation
Regime
consigne
Solldrehzahl.
aile
wichtigen
Hochlaufzeit,
und
wichtige
Betriebs-
Einzelin-
Die
Teile
[)={]~
Ili
Anzeige
unterglie-
~~fJ
liffililii:
29:
speed
Ist-
Bi
J(i:
The
LC
information
speed,
current
ting important play
-
5-stellige
-
5-digit
- Visu
displny
actual and can be
numerical display
numerique
Einheitenfeld
-
Hertz
(Hz)
-
Volt
(V)
-
Ampere
-
Stunden
-
Minuten
-%
Menu
field
indicates
such
as
rated
rotation
fun-up
operating
single
broken
numerische
speed,
time,
switch-point
hours,
information.
down
Anzeige
a 5 chiffres
mit
(A)
(h) -
(min)
und
with
menu
all
important
rotation
motor
as
well
The
as
follows:
Units
-
Hertz
-
Volts
-
Amps
Hours
-
Minutes
-%
cursor
Hochlaufzeit Run-up Temporisation
Le
panneau
visualiser
set
as
dis-
fields, (Hz)
(V)
(A)
(h) -
29:
essentielles consigne, moteur, rage, les mutation lees, importantes. comme
with
(min), and
Champ
time
de
d'affichage
toutes
telles
Ie
regime
la
temporisation
reglages
et les
ainsi
que
La
suit:
-
-
-
-
- %
de
menu
demarrage
les
informations
que
reel, Ie
des
heures
d'autres
visu
est
Champ
Hertz
(Hz)
Volts
(V)
Amperes
Heures Minutes
avec
LCD
permet
Ie
regime
courant
de
demar-
points
de
de
service
informations
repartie
d'unites
(A)
(h)
(min)
et
fleche
29:
de
de
de
com-
ecou-
avec
16
Istdrehzahl
Actual
rotation
Regime
Motorstrom
Motor
Courant
feel
current
de
speed
moteur
Schaltpunkt Switch-point Point
de
commutation
Betrie
bsstu Operating Compteur
d'heures
nde
hours
nza h Ie r
counter
de
service
Quasianaloganzeige
der
Drehzahl Quasi analog
speed
Balken fOr X % Bar
for
Colonnes
display
der
X%
of
the
correspondant
of
the
Enddrehzahl
ultimate
rotation
a x %
rotation
speed
Affichage du
regime
pratiquement
analogique
Betriebssymbole
TCP
fernbedient
TCP
remotely
TCP
est
Stand-by Stand-by Service
Schaltpunkt Switch-point Point
de
Heizung Heater Chauffage
Pumpe Pump
Pompe
Motorstrom Motor Courant
2
controlled
telecommande
Betrieb mode
en
Stand-by
erreicht
attained
commutation
EIN
(intern
ON
(internally
en
MARCHE
beschleunigt
accelerates
accelere
fallend
current
moteur
dropping
en
)
2
2
)
atteint
oder
or
externally):l)
(interne
4
)
4
)
chute
)
extern)3)
41
Symbol Symbol
Symbole
fur for
signalant
Operational
ou
externe)3
"Enddrehzahl "Ultimate
rotation
"Regime
symbols
1
erreicht"ll
speed
nominal
attained"l)
atteint"l)
Symboles
de
service
Anzeige Display Affichage
Ubertemperatur Excess Surchauffe
Ubertemperatur Excess
Surchauffe
Gerat
EIN61
Unit
ON6)
Appareil
Sam
melstorungsa Collective Annonce
11
Bei
Enddrehzuhl
by
Drehzahl
2.1
Blinkt serielle
~I
Wenn eingeschaltet, punkt
41
Leuchtet blinkt
51
Nur Betriebsmittelsensor. Abschnitt
61
Anzeige
71
im
Storungsfuli
bei
Tastatursperre
Schnittstelle
Anzeige
erreicht
bei
bel
"SHUT-DOWN"
aktiv
bei
grun
(66
4.2
Betriebsmittelmangel!l)
of
low
operating
"Agent
medium
moteur
TCP
temperature
de
TCP
la TCP
Turbopumpe
temperature,
de
la
pompe
turbo
turbomoleculaire
en MARCHEGI
nzeige
error
de
detauts
und
errelchter
%)
blinkt,
wird
sob<.lld
Drehzuhlschalt-
ist
"Stromprofil
Turbopumpen
display7)
durch
7)
groupes
Stand-
die
Heizung
gewahlt",
mit
Achtung
beachten!
hinterleuchtet
rot
hlnterleuchtet
epuise"51
pump
71
11
'I
31
41
.'II
61
/I
5
level
)
Appears after
attaining
Flushes
serial
interf<.lce
When
display
ched
on switch-point Lights
up
been
selected; Only
active
medium
4.21
Background Background error
at
ultimate
when
as
soon
when
for
sensor.
of lights
the
stand-by
the
keyboard
flashes,
as
is
attained
the
flashes
turbo
Attention:
display
rotation
the
the
current
pumps
red in
is
he<.lter is
rotation
profile
at
"SHUT
observe
lights
the
speed
speed
locked
with
green event
and
(66
hy
swit-
speed
has
-DOWN" oper<.lting
section
uf
un
%)
the
11
Apparait a I'atteinte du
regime
21
Clignote du
31
Lorsque fie Ie
point
41
Allume
tionnee,
51
N'est culuires moteur. redonnees
61
Affichage
71
Est d'une
Stand-by
lorsque
claVier
est
cet
que
la
chaufferette
de
commutation
Sl
la
clignote
actif
que
equipees
Attention:
section
sous-eclaire
sous-eclaire
detCllliance
lu
verrouillee
affichage
courbe
en
sur
d'une
en
du
regllne
(66
0J0)
touche
correspond
par
cligrlOte,
sera
enclenche
atteint
de
courant
"SHUT-DOWN"
les
pompes
detecteur
observer
les
4.21
en
vert
rouge
en
presence
norninul
I'interface
celu
est
selec-
turbomole-
d'agent
indications
au
ante
serie
signi-
sitat
17
7 Betrieb 7 Operation
7.1
Einschalten
-
Kuhlwasser und
Durchflu~
-
Vorvakuumpumpe AnschlufS nach PM
031 pumpe Schalter
-
Sicherheitsventil Drehschiebervakuumpumpen integriert.
schalten
-
1st
eine
wird
diese pumpe Kuhlaggregates eines moglich
- Das
Flutventil
Einschalten
-
1st
ein
til
TVF Betriebsanweisung rat.
-
Heizung
7.2
Fernbedienung
Mit
Wechselschaltung:
Anschluf3
PM
031021
Der
Pumpstand Frontplatte Fernbedienung werden. fur
die gesamten sein.
Ausschalten
fur
Turbopumpe
kontrollieren.
einschalten.
Schaltplan
183
-5
wird
mit
der
S 1
der
Es
dffnet
automatisch.
Luftkuhlung
gleichzeitig
eingeschaltet.
Pumpstandsteuergerates
(siehe
TSF
der
Flutsteuergerat
eingesetzt,
mit
Schalter
gemaB
die
Turbopumpe
TCP
eingeschaltet.
bffnen.
nach
angeschlossen,
ist
nur
Abschnitt
012
Turbopumpe
beachten
zum
S2
Schaltplan
-So
kann
der
Die
Wechselschalter
elektrische
Pumpstandes
uber
sowohl
Tep
als
ein-
und
Belastung
Remote-Eingang
X4/b7:
Die
Antriebselektronik
"Pumpstand-Fehler"
dieser
Eingang
Pumpstand
der
Pumpstand
Achtung!
das Feld
Weitere nung siehe
auf
Auf
"St6rung
Moglichkeiten
uber
X4,
Abschnitt
ausgerustet.
bei
eingeschaltetem
Masse
ausgeschaltet.
dem
LC-Display
".
X16
oder
8.
bffnen
Beirn -
Vorval<uum-
am
EIN-
In
Pfeiffer
ist
dieses
dem
Ein-
mit
der
Turbo-
Der
Betrieb
bei Einsatz
3). -
schlief3t
TeF
mit
Flutsteuerge-
einschalten. -Start
auch
ausgeschaltet
ausgelegt
ist
mit
gelegt,
eines
TeS TeS
beim
sofort.
Flutven--If a venting
Sie
bitte
von
der
von
einer
mussen
des
Eingang
Wird
so
wird
leucl1tet
der
Fernbedie-
Schnittstelle
7.1
Switching
-
Open
the
cooling
turbo
pump
Start
the according PM
started at
-
Open
ary grated. starting.
-
If
an started pump. only
The immediately started.
ing low
venting
7.2
With
Connection gram
The or
off and via a switches electrical unit.
Switching
The with this the pumping
backing
031
183
together
the
ON
switch
the
security
vane
vacuum
It
opens
air
cooling
simultaneously
Operation possible is used (see
venting
valve TVF is
the
operating control
the
heater
Remote
selective
PM
031
pumping
both
remote
must
load
off
electronic
an
input
input
is
pumping
unit
Attention! on the LC display.
Further
X4,
X16
remote
or
On
water
and
check
to
pump.
wiring
-S
the
with
S 1 pumps,
automatically
is
of a cooling
if a pumping
Section
valve
TSF
when
control
employed,
unit.
via
Control
switching:
according
021
unit
from
the
control.
be
designed
of
the
via
Remote
drive
"Pumping
connected
unit
switched
is
switched
The
"Error"
control
interface,
flow
for
flow.
If
connected
diagram
backing
the
turbo
of
the
TCP.
valve. In
connected,
the
unit
instructions
switch
this
with
3). 012 turbo
TeF
to
wiring
Pfeiffer
unit
closes
please
S2.
-So
can be
switched
Tep
front
The
entire
pumping
input
unit
is
equipped
Unit
to
ground
on,
off.
field
possibilities
see
Section
for
for
the
pump
pump
is
after
this
the
turbo
unit
control
pump
with
for
dia-
panel
two-way
the
X4/b
Error".
the
fights
rot-
inte-
is
is
vent-
fol-
the
on
with
up
8.
7 Service
7.1
-
Ouvrir I'eau turbomoleculaire debit.
is
-
Enclencher Si connexions est pompe diaire
-
Ouvrir integree maire a palettes s'ouvre mise
-
Est-il air,
is
automatiquement, la d'un possible leur section La
­ferme
ment
-
Utilise-t-on
vanne
mer
propres
-
Enclencher du
7.2
En
A
raccorder
connexions
7:
Le
If
enclenche du telecommande. va-et-vient de contraintes pompage
via
Arret
X4/b7:
La pee pompage". masse che, ce
Mise
en
Ie
de
raccordee
mise
du
la
en
raccorde
celui-ci
pompe
groupe
de
vanne
immediatement a I'enclenche-
de
de
alors
commutateur
Teh~commande
marche
robinet
refroidissement
en
turbomoleculaire,
commutateur
vanne
sur
automatiquement
marche.
turbomoleculaire.
qu'en
groupe
3). de
la
remise a I'air
aces
d'alimentation
et
la
pompe a vide
selon
PM
marche
est
pompe
un contr61eur
aux
la
Ie
031
de
securite.
les
pompes a vide
rotatives
un
refroidissement
alers
en
de
refroidissement relation de
pompage
remise a I'air
turbomoleculaire.
instruction appareils. chaufferette
S2.
en contr61er Ie
schema
183
en
mis
meme
de
-S,
meme
Sl
en
avec un
TVF, se
de
va-et-vient:
selon
schema
PM
031 021
groupe
panneau
maniere a supporter
commande
par
d'une
alors
dernier
de
pompage
et
arrete
frontal
Les
doivent
electriques
integral.
f'entree de
electronique
entree
"Erreur
Celle-ci
que
Ie
est
peut
aussi
bien
de
la
Tep
commutateurs
alors
etre
I'ensemble
du
tfi/ecommande
du
est-elle
groupe
alors
arrete.
la
pompe
prima
de
celle-ci
que
par
I'interme-
de
la TCP.
Celle-ci
pri-
Pfeiffer
apres
marche
temps
L'emploi
contr6-
TeS
TSF
012
TeF
avec
confor-
services
au
moyen
de
-So etre
it
que
con~us
groupe
est
equi-
groupe
mise
est
enclen-
de
ire.
la
est
et
leur
par
que
n'est
(voir
se
partir
par
de
des
de
de
a la
18
Attention: simplement
Autres
face:
par
possibilites
les
liaisons
voir
L'affichage
"Defail/ance"!
X4,
section
8.
LCD
affiche
de
telecommande
X16
ou
par
I'inter-
7.3
Stand-by
-
Stand-by
Schalter
- Die tung Nenndrehzahl
der
betrieben
-
Wird
59
Turbopumpe
Stand-by
Nenndrehzahl
Stand-by
Hochlaufzeit
5tellten beschleunigt
-
Stand-by
nen X4/a5 -X4/a6
testecker
tet
7.4
Bei ausgeschaltet. Pumpe
Die
Wert
Schalter.
werden.
Reset
Stbrungen
erneut
Reset-Funktion
durch:
-
BehHigung tierung"
-
Wegnahme Zeit ~ 2
ter
-
Betatigung nen
X4/a5 -X4/b8) ga ng X 1
rung mu!3 sein.
.
Sekunden.
S 1.
"Reset"-Tasters
6/1
von
"Reset"
die
TCP
wird
auf
der
Frontplatte
eingeschaltet.
kann
mit
wahlweise
(Stand-by
(Stand-by
werden.
ausgeschaltet,
mit
dem
halben
neu
gesetzt.
auf
kann
Nenndrehzahl.
auch
uber
angeschlossen
oder
Liber einen
(X16/9 -X16/15)
wird
der
Mit
gestartet
Antrieb
"Reset"
werden.
wird aktiviert
des
Tasters
der
Netzspannung
des
extern
3 - X 1
mit
53
z.B.
mit
angeschlosse-
S6
(zwischen
oder
am
6/1
5. Bei
mit
Reset-
Spannung
mit
der
Einrich-
mit
66 % der
EIN)
oder
AUS)
wird
einge-
Die
Pumpe
einen
exter-
zwischen
Remo-
geschal-
intern
kann
die
"Fehlerquit-
fur
Netzschal-
Remoteein-
Aktivie-
Taster versorgt
mit
die
eine
7.3
Stand-by
-
Stand-by panel
-
With
pump 66 % of (Stand-by
speed
-
When run-up value. rated
-
Stand-by external
X4/a5 -X4/a6,
is
switched
switch
the
stand-by
can
be
the
rated
ON)
(Stand-by
stand-by
time
The
pump
rotation
can
switch,
(X16/9 -X16/15).
7.4
Reset
During
internally. be
The
-
Operating acknowledgment" Disconnecting
­time
switch
-
Operating "Reset" X4/a5 -X4/b8),
X16/13 -X16/15.
activated must
errors,
With
restarted.
Reset
function
the
of ~ 2
seconds,
S 1. La
the
push-button
via
be
supplied
S9.
feature,
operated
rotation
or
at
rated
OFF).
is
switched
is
reset
to
accelerates
speed.
also
be connected or
via a
the
drive
"Reset",
is
push-button
.
the
mains
externally
or
at
When
the
reset
with
on via
the
optionally
speed
rotation
half
the
switched
between
remote
is
stopped
the
activated
S3
voltage
e.g. via
connected
S6
(between
the
remote
"Reset"
button,
voftage.
the
turbo
off,
preset
up
pump
"Error
mains
the
front
at
the
to
via an
plug
can
by:
for
input
is
TCP
7.3
- Le I'intermediaire
- La activee service nominal, equipee
- Le
de valeur glee accelere regime
- Le active raccorder
X4/a6.
-X16/15).
7.4
En
est
la
de
a
cee.
-
Une ment"
- La tation rieure moyen
-
Une ment
X4/a5 mande
fa moyen afars
Stand-by
mode
Stand-by
pompe
Stand-by
demarrage
mode
turbomohkulaire
sod
en
Stand-by a 66 % de
dans
la
d'un
tel
est-il
a la
Ie
mode
alors
nominal.
Stand-by
un
commutateur
entre
ou
par
est
jusqu'a
telecommande
egale
pour
par
Reset
cas
de
d8faillances,
internement
fonction
"Reset",
tonction
suppression
fonetion
de
action
pour
a 2
secondes,
du
commutateur
action
sur
exterieure
et
X4/b8).
(entree
Reset
de
la
Mre
pfacee
rearmement,
elle
Reset
sur
la
une
la
X16/13 -X16/15).
touche
est
du
commutateur
service
mesure
dispositif.
desactive,
alors
moitie
Stand-by.
atteindre
peut
les
barnes
arretee.
peut
alors
est
activee
touche
de
la
tension
duree
egale
pm
touche
S6,
si
raccordee
ou
par
est
aecomplie
53,
sous
tension!
enclenche
normal,
ou
redetini a une de
egalement
59.
peut
soit
son
regime
elle
est
Ie
temps
celie
prere-
La
pompe
son
externe,
X4/a5
par
etre
et
(X16/9
la
commclnde
Au
moyen
c'est-a-dire
etre
relan-
par:
S3
"Acquitte-
d'alimen
ou
supe-
exemple
51. de
au
rearme-
(entre
telecom-
au
fa
TCP
dait
en
etre
a
de
Si
7.5
Funktion
S
14
auf
(5-polig)
Fig.12
Ruckseite
der
DIL-Schalter
der
Gerateruckseite
TCP
380
7.5
Function S
14
on
Unit
(5-poles)
Rear, TCP
of
the
380
the Bacl(
DIL
Panel
Switches
of
the
7.5
Fonction
DIP
S14
(5
broches)
Polnneau
des
commutateurs
au
dos
arriere
de
de
I'appareil
la TCP
380
19
Die
DIL-Schalter
stand
auf
k6nnen
folgende
eingestellt
O.
Durch
werden:
stehen im Lieferzu-
Schalten
Betriebsarten
auf
Pas.
fest
On
delivery,
0. By lowing
the
switching
modes
DIL
them
can be
switches
to
Pos. 1,
fixed:
are set
the
to
fol-
Ala
livraison de I'appareil. commutateurs O.
Places
d'operation
maniere
sur
la
suivants
ferme:
DIP
sont
position
sont
tous
sur
la
1, les
regles de
les
position
modes
DIL-Schalter DIL
Switch
Commutateur
514/1
----+---
514/2
2
514/3
S14/4
S14/5
)
11
Drehzahlschaltpunkt
21
Bei
Einsatz mitteluberwachung Schalterstellung 1 stehen.
DIP
von TCP
Schalterstellung
Switch
position 0
Position 0
Wird
nach
abgelaufener
Drehzahlschaltpunkt
wird
der
Motorstrom
K 1
geoffnet.
If
the
rotation reached motor
current
Si, lorsque,
commutation courant
Stromprofil
Current
Courbe de selection
Betriebs nach
30
Operating
active
after Surveillance activee au
Einfache
Simple Auto-test
Schnittstelle Interface Interface
380
mit
mu(l,
Betriebs-
Schalter
speed
after
the
is
Ie
point
du
moteur
nicht
profile
not
courant
nee
mittel
L.i
be
Sek. aktiv.
medium
30
sec.
d'agent
bout
de
Testfunktion
test
function
simple
nicht cannot non
programmable
3 in
°
Zeit
u ntersch ritten,
abgeschaltet
switch-point
time
has expired,
switched
regime
sera
gewahlt
selected
rwach u ng
30
programmierbar
be
off
de
contact
es sous passe,
coupe
et
pas
monitoring
moteur
s.
-----------~---------
programmed
1)
Rotation
21
When medium
position.
in 1
der
is
and
Kl
de
Kl
ouvert.
speed
using
monitoring
und
not
the
opens.
Ie
switch-point
TCP
380
Schalterstellung Switch
Position 1
Wenn
auf wahrend ausgeschaltet. When When the A
I'atteinte est place durant
Stromprofil Motorstrom lauch von
Current
Motor starting rotation
stand-by from
Courbe de de
moteur nominal de
7,0
4,0
3,0 Betrie bsm
ist
erst ab Operating
from
Surveillance
atteinte Erweiterte
Abschnitt Extended
Section Auto-test
Programmierung Programming Programmation
with
operating
switch 3 must
1
position
1
K1
0 gesetzt. Bei
erreicht
)
1
Unterschreitung
des Betriebs,
1
K1
is
attained,
)
dropping
pump
Ie
is
switched
de
K11),
sur
O.
service,
below
K1
la
gewahlt.
wird
ab
Stand-by-Drehzahl) 7,0 A auf 4,0 A auf 3,0 A auf
current
profile
at
50 % of
5,0
A
2,9
A
2,1 A
selected
is
reduced
ultimate
speed (also
rotation
7.0Ato
4.0 A to
3.0 A to
5.0A
2.9
2.1 A
courant
speed).
A
selectionnee.
est ramene a
(meme
A a
A a
5,0 2,9
en
A
A
Stand-by)
A a 2,1 A
ittel
L.i
berwach 45 % der medium
45 % of
monitoring
ultimate
d'agent
de
45
% du
Testfunktion,
9.4
test
function,
9.4 etendu
(voir
---------~---------
serielle
of
serial
de
I'interface
---------
1)
Point
2)
be
En surveillance tateur 3 doit
ist.
wird
Zeitglied
von
wird
die Pumpe
the
timer
is set
K1
during
operation,
off.
Ie
relais
temporisateur
est-il
sous-passe
pompe
50 % der
est alors arratee.
Enddrehzahl
auf
71 % gesetzt;
to
71
%,
Le
courant
50 % du
it
regime
71
%;
u n 9
Enddrehzahl aktiv.
only
active
rotation
moteur
regime
speed.
activee it I'
nominal
siehe
see
Section
9.4)
Schnittstelle
interface
serie
de
commutation
cas
d'utilisation
d'agent
etre
en
de
Kl
to
du
regime
la
TCP380 moteur position
O.
Ie
avec
commu-
1.
Die
Einstellungen 1 k6nnen stecker geandert
20
weder
noch
werden.
uber
bei
Schalterstellung
uber
den
die
Schnittstelle
Remote-
The
settings neither nor
via
be
changed
the
interface.
at
switch
via
position
the
remote
1 can
plug
reglages
Les des
commutateurs modifies par
I'interface.
ni
donnes
par
la
telecommande,
par
DIP ne
la
position
peuvent
1
etre
ni
7.6
Ausschalten
-
Turbopumpe
mit
Schalter
S 1
ten .
-
Sicherheitsventil fer-Drehschiebervakuumpumpen dieses
Ventil
-
Kuhlw
-
asse r absperren.
Vorvakuumpumpe
Nach
dem
ventil
TSF
dar
auslaufenden Turbopumpe
gespeist. der
TPH TPH TPH TPH/TPU TPH/TPU
TPH/TPU TPH/TPU TPH/TPU
7.7
Anstelle des das gerat TVF verz o Abschalten nur lich.
Betriebsanweisungen: TVF TeF
so daB
Auslaufdrehzahl
/TPU
060
/TPU
180
190
240
330 450 510 520
Verzogertes Flutsteuergerat
Fig,
13,14
Flutventil
TeF
103
012
und
gerung
in
Verbindung
012,
PM
103
, PM
schlieBen. Bei
in
der
Pumpe
abschalten.
Abschalten
012
aus
H
H
Flutventils
TVF
eingesetzt
TeF
bis
eingestellt
800 800
wird
dem
Antriebsmotor
das
Fluten bei
beginnt:
bei ca.
35 20
bei ca. bei ca.
20
bei ca. bei ca. beica. 25% ~ 185Hz bei ca. bei ca.
30
20 20
20% ~ 200 30% ~ 240
Fluten
TCF
TSF
012
mit
103
kann eine Flut -
Minuten
werden.
mit
TeS
126
BD,
196
BD,E,F
mit
Flutsteuer-
werden.
E,F
7.6
ausschal--Switch
S1.
ist
- Close
­ary integrated
-
Shut-off
-
Switch-off After stopping,
TSF motor pump, following speed:
Hz ' Hz
TPH/TPU
Hz
TPH/TPU TPH
Hz
Hz
TPH/TPU TPH/TPU
Hz
TPH/TPU TPH/TPU
Hz
TPH/TPU
Pfeif
integriert.
das
Flut-
folgen-
% ~
525
% ~
170
% ~
200 % ~ 200 % ~ 200
7,7
012,
nach
304
kann
Mit
dem
Einsatz
mog-
Fig, 13, In the venting contr With venting
30
unit
Tes
Operating TVF TeF
Switching
off
the
vane vac
012
of
so
190
Delayed Venting
14
stead
ol
unit
the
minutes
can
304.
012 103, PM
off
the
turbo
pump
security
into
the
the
is the slowing-down
that
slowing-down
060 180
240 330 450 51 520
valve. In
uum
pumps,
the
pump.
cooling water
backing
the
activated
0 at appro
venting
from
venting
at approx.
H at approx.
at approx. at approx. at approx.
H at approx.
at approx.
Venting Control
of the
venting
valve TVF
TeF
TVF
012
time
delay
after
only
be used
Instructions
, PM
800
800
valve TSF
012
103
can be
and
can be set
switching
together
: 126 196
via Pfeiffer
this
flow,
pump.
valve
the
begins
rotation
35 20 20 20 20
25
x.
20 30
Using
Unit
with
TeF
103,
off.
BD,E,F
BD,
E,F
switch
rot-
valve
is
drive
turbo
at
the
% ~ 525 % ~ 170 % ~ 200 % ~ 200 % ~ 200 % ~ 185 % ~ 200 % ~ 240
TCF
012,
venting
employed,
the
to
max.
This
with
the
-
- Ferme
-
-
Hz Hz Hz Hz Hz Hz Hz
Hz
7.6
Arret
Arret
de
la
moyen les
pompes ves, ce po
mpe Fermeture di ssem Arret
Apres TSF Ie
moteur pompa remi mes
TPH/TPU
TPH/TPU 1 TPH TPH/TPU TPH/TPU TPH/TPU TPH/TPU TPH/TPU
7.7
Au
lieu de la vanne de remise a
TSF vanne TVF remi quels
remise a
30
minutes
TVF
possible
TeS
pompe
du
commutateur
ture
de
tte vanne
,
de I'a rrivee
en
t
de la
pompe a vide
I'arret.
012
est
(en
turbomoleculaira,
se a I'a
ir n'in
suivants:
060
80
190
240 330 450 510 520
Remise a .'air commande
Fig,
13,
012,
il
est
012
se
a I'
air
il est
possible
I'air
012
et
TeF
qu
'avec la commande
304
.
turbomohkulaire
la vanne
Pfeiffer a palettes
la
alimentee
marche
de
est
inh~gree
d'eau
vanne de remise a
en
inertielle) de
tervient
a env.
H
a env. a env. a env. a env,
H
a env. a env. a env.
temporisee
TCF
14
possible
avec un
TCF
103, a I'aide
de
jusqu'a
apras I'arret.
concurrence
103
n'est
temporiser
S 1.
securite.
au
Sur
rotati-
a la
de
refro
i-
primaire
I'air
tension
d'ol!
qu'aux
35% ~ 525Hz 20% ~ 170Hz
20% ~ 200Hz 20% ~ 200Hz 20% ~ 200Hz 25
% ~
0
20 30% ~ 240Hz
d'employer
contraleur
L'emploi
toutefois
par
la
la
regi-
185
Hz
/0
=
200
Hz
avec
I'air
I.
de
des-
la
de
des
VENT
"
~,
..
I"lg. l,j
Flutsteuergerat Venting
valve
Appareil
de
comma
TeF
CONTROl
TCF
103
control
unit
nde
103
~
TO
..
TeF
de
vanne TCF
"
103
103
ny.
ILl-
Flutventil Venting Vanne de
Instructions TVF TeF
TVF
012
valve TVF
remise a I'air
012
012, 103
TVF 0
PM
, PM
12
de
service: 800 126 800
196
BD,E,F
BD,
E,F
21
19 20
29
S13
S12
7.8
Andern
Parameter
Die
5-stellige schaltet matisch
Mit der positioniert.
Sch81ter Schalter
Die Drehzahl 5-stelligen
tenfeld jeweilige
schaltet.
TCP3BO
nach
auf
den
5chaltern
Menupfeil
S12 S13
zugehorigen
(20)
Einheit
der
numerische jedem
die
29
nach nach
U.S.W.
Anzeige
wird
Anzeige
Einschalten
Istdrehzahl.
512
und
unter
den
rechts links
Daten
erscheinen
wie
(19),
das
automatisch
wie
A, Hz
und
Anzeige
513
Symbolen
Strom, in
der
Einhei-
auf
usw.
umge-
der
auto-
wird
die
7.8
The tically speed
The beneath
512and513.
Switch S 12
5witch
The ent,
5-digit
is pective
PFEIFFER
Changing
Parameters
5-digit
menu
corresponding rotation
numerical
switches
after
every
cursor
the
symbols
to
513
to
speed, etc.,
display
automatically
unit,
such
VACUUM
the
Display
display
to
the
actual
start.
29
is
positioned
using
the
right
the
left
data,
(19).
the
switched
as A, Hz, etc.
and
automa-
rotation
switches
such
as
curr-
appear
in
the
units field (20)
to
the
res-
7.8
Alteration
de
I'
affichage
A
chaque
mande,
5
chiffres
reel. A
I'aide fhkhe su r Ie sym
Touche vers Touche vers la
Les que raissent
(19).
automatiquement respective
mise
la visu
indique
des
de
menu
bole
512:
la
droite
513:
gauche
donnees
Ie
courant,
alors
Ie
champ
(volts,
d'affichage
touches
desi deplacement deplacement
correspond
sur
des unites (20)
des
en
marche
par
512
(29)
reo
Ie
regime,
la
visu
commute
amperes,
parametres
de
la
numerique
detaut
Ie
et
est
513,
position
de
la
de
la
antes,
etc.,
numerique
sur
etc.).
et
com-
a
regime
la
nee
fleche fleche
telles appa-
etant
I'unite
Fig.
15
Der
Wert
des
wird
nach
und
beim
fluchtiges
Die
Betriebsstundenzeit
EEPROM in 4 gespeichert, den
angezeigt.
Foigende tern
S12
Hochlaufzeit -zwischen 1 und
Minuten, 5chaltpunkt
90 % der
Der
Menupfeil einzugebende AnschlieBend
513)
gleichzeitig
pfeil
blinkt
tatigung
Datenwert Durch
nochmaliges
Drucken
513)
werden Libernommen gleichzeitig normalen
Betriebsstundenzahlers
jeweils
Netzausschalten
einer
Betriebsstunde
in ein
EEPROM abgespeichert.
wird
Minuten
jedoch
Werte
und
S13
K1 -zwischen
50lldrehzahl.
29 GroBe beide
zur
Dateneingabe.
512
oder
nach
der
Eingabetasten
die
und
erfolgt
Anzeigebetrieb.
Teileinheiten
nur
in
vollen
kennen
unten
eingestellten
mit
verandert
muB
hierzu
gesetzt
Tasten
drjjcken.
513
abgespeichert,
die
Der
verschiebt
oder
gemeinsames
Ruckkehr
den
werden:
50 % und
(512
oben.
(512
nicht-
im
5tun-
Schal-
120
unter
werden.
+
Menu-
Einzelbe-
den
+
Daten
in den
The ter after the
The EEPROM in only
The using
Run-up 5witch-point
of For
set
both
die
simultaneously. shes or data again
513) accepted returning
value
of
is
stored
every
mains
rated
this, beneath
513
operating
are
operating
following
4-minute
displayed
switches
time -from 1 to
rotation
the
the
keys
(512+513)
to
indicate
are
actuated
value
is
actuating
at
the
same and to
normal
the
operating
in a
non-volatile
time
as
512
speed.
value
is
full
can be
and
cursor
hour
stored subunits, hours.
to
disconnected.
values
K1 -from
menu
are depressed
The
menu
the
data
both
time,
stored,
separately,
entry
at
display
increased
hours
and
513:
120
50%
29
be
cursor
entry.
or
reduced.
keys
the
set
the
coun-
EEPROM
when
in
the
but
changed
minutes,
to
90
must
input.
fla-
If
512
the (512+
data
same
time
mode.
%
be
Then
By
is
Les
heures
apres
chaque
valeur
est memoire commande.
Le memorise n'est entieres.
Les d'alterer
Temps minutes,
Point et
Pour fleche amenee 50lliciter ensuite ches visu des pour menter pression 512 ment reprend
EEPROM a
temps
effectivement
toutefois
touches
les
de
de
commutation
90
% du
proceder
de
menu
so us la
I'introduction
simultanement
512
clignote.
touches
effet
la
simultanee
et
513
I'introduction
son
de
service
heure
ecoulee
sauvegardee
en
unites
de 4 minutes,
affiche
512
et
513
valeurs
demarrage:
regime
et
513,
512
de
valeur
valide
mode
suivantes:
de
aux
entrees
(29)
valeur
a la
L'action
ou
decrementer
affichee.
et
f8ite,
d'affichage
sont
actualisees
et
leur
sur
une
chaque
do
513 a ensuite
des
memorise
arret
ecoule
qu'en
heures
permettent
entre 1 et
K1 : entre
consigne.
voulues,
it
pour
cela
correspond
en
pressant
les
deux
suite
de
quoi
isolee
sur
au
d'incre-
Une
nouvelle
deux
touches
et Ie
systeme
normal.
est
50
tou-
rune
finale-
de
mais
120
etre
ante.
la
%
la
la
22
8
Weitere
Die
Tep
nen
Weise
ter,
auch
X16
oder
be
dient
Bedingung
Fr
ontp
lattenschalter
8.1
Remote-Betrieb
Der
Remote-Bet
uber
den
Steue
rfunktionen mOglich.
der
jeweilige Ansc
verbunden:
a6 Stand-b
b 7 Pump s
a4 HochlaufzeiWberwachungssperre b8
Reset,
a3
Heizung
bl/b3
EIN/AUS
Betriebsarten
kann ,
auBer
in
uber
die
Liber
die
werden.
:
die
Netzst
y ex
tandf
Quittierung eines
Frontplattenschal
den Remote-
serialle
Tep
rieb
ecke r
hluB
tern
ehlere
Sch
380 ist
S1
der
X4
ingang
der
beschrieb
Stecker
nittstelle
fiber
ein
geschaltet.
Tep
380 ist
mit
folgend
Dazu
mit
a5
Fehlers
(0
den
wird
Volt)
8 Further Operating
In
addit
ion
to
the
­also be
X16 or
Condition:
via
8 .1
Remote operati possible the
en
this, nected
­a6
b7 a4 b8 a3 Heating
.1/b3
front
front
Remote
following
the
Stand-by
Pumping
Run-up
Reset,
ON/OFF
the
panel
switches,
controlled
the
serial
the
TCP
panel
switc
Operation
on
via
the
contr
respecti
to
a5
(0
. ex
tern
unit error
tim
e mo
acknowledgment
man
ner
via
the remote
int
erface.
380
h S 1.
of the TCP
mains
plug
ol
functions.
ve
connectio
Volt)
:
al
input
nitoring lock
Modes
described
the
Tep
is
switched
380
X4,
n is
of an
can
plug
with
For
con
error
8
Autres
for
La
Tep
I
'operation par frontal, termedia
mande
on
Condition
avoir
ate
is
moyen frontal).
8.1
Operation a distance
-
L
'ope
ration a dist
par I'intermediaire
permet
suiva
ntes. Pour cela, Ie
correspondant
(0 volt):
a6
Stand-by,
b7
Entree
pompage
a4
Verouillage
de
b8
Reset,
03
Chauffage
b 1/
b3
modes
peut,
outre
les
etre
egalem
ire
du
connecteur
X16
au
par
paialable
prealablement
du
commutateur
les
fonctions
est
extern
d'erreur
demarrage
MARCHE/
de
acquittement
d'operation
Ie cas deja
touches
ent
ope
I'interface
: la TCP
enclenchee
S 1
ance
de la TCP
du
connecteur
de
commande
raccordement
relie
a la
e
du
groupe
la
temporisation
d'une
AR
RET
decrit
du
panneau
ree
par
de
telecom ser
ielle.
380
doi.
tpanneau
(Remote)
380,
broche
de
erreur
de
l'in-
-
au
X4,
a5
Fig.
16
23
Oer
Remote-Betrieb Funktionen ker
X16
mit
moglich.
AnschlufS den:
ist
folgenden
Oazu
mit
Pin
uber
wird
15
mit
den
der
(0
erweiterten
Remote-Stek-
Funktionen
jeweilige
Volt)
verbun-
Remote
tions
is
X16,
with
this,
the
nected
operation
possible
the
following
respective
to
Pin
15
with
via
the
connection
(0
Volt):
extended
remote functions.
func-
plug
is
For
con-
L'operation a distance etendues connecteur
fonctions
cordement la
broche
(par
I'intermediaire
X16)
permet
ci-dessous.
correspondant
15
(0
volt).
avec
fonctions
du
en
outre
Pour cela, Ie
est a relier
les
rac-
a
Stecker
Funktion
Plug
Connec-
teur X16/1
X16/2
X16/3
X16/4
X16/5
X16/6
X16j7
---
X16/8
X16/9
Xl
6/1 0 Pumpstandfehlereingang
X16/11
X16/12 X16/13
X16/14
------
X16/15
Hochlaufzeitstop Schaltpunkt
Stromprofil. ab
50 % der
(auch
Stand-by proportional auf
71 %
--
Betri e bsm Betrie
bsm
wird
erst
(nur
Enddrehzahl)
Einschalten
Programmierung Schnittstelle Fronttasten
Heizung, R eserveu
Funktion definiert
------
Hoc
h I a
ufze
Stand-by
----
Shut-down
Uberwachung Reset,
Quittierung
nicht
--
I
belegt
OV
Motorstrom Enddrehzahl
Drehzahl)
zur
abgesenkt.
ittel
ko
ittel u berwa
ab
35 % der
der
Testerweiterung
uber
extern berwach
EIN/AUS
werden
itu
berwa
extern
des
Motorstromreglers
Vibration
bei
erreichtem
Orehzahl
nt
ro lie,
ch u n g
Orehzahl
aktiv
-----------
der
seriellen
die
u n
gse
i nga ng,
kann
noch
ch u n 9 sspe rre
eines
Fehlers
wird
wie
b7
Function
Run-up
time
switch-point
Current current
profile,
is
reduced proportional speed
to
71
at
50 % of
rotation
stand-by Operating
operating becoming 35 % of (only
Switching
speed (also
rotation
medium
medium
active
the
ultimate
on
extension Programming
interface panel
Heater,
Spare
ON/OFF
via
keys
external
monitoring
function
defined
-----------
Run-up
Stand-by, Pumping
input,
time
as
external
unit
b7
Shut-down
control Monitoring Reset,
acknowledgment
error not
assigned
OV
stop is
attained
the
to
the
%,
starting
the
ultimate
starting
rotation
rotation
the
test
of
the
the
front
can
monitoring
error
of
motor
of
vibrations
when
motor
rotation
speed).
check,
monitoring
speed
speed).
serial
input,
the
still
lock
current
of
at
be
an
Fonction
--
Arret
du
lorsque
temps
Ie
point
commutation Courbe
de
de
moteur
courant; est
proportionnellement
a
I'atteinte
nominal
de
(meme Stand-by) a 71 % du actuel.
Controle
d'agent surveillance n'est
activee
de
35 % du
Enclenchement
etendus
Programmation
serie
par
touches Chauffage Entree
de MARCHE/ etre
du
pour
reserve,
detinie.
I'intermediaire
panneau
externe
une
une
ARRET
Verrouillage du
temps
de Stand-byexterne Entree
des
erreurs
identique a b7
Shut-down
du
moteur Surveillance Reset,
acquittement
d'une
defaillance (Iibre) OV
de
demarrage,
de
est
atteint
Ie
50 % du
du
regime
moteur;
d'agent
qu'a
regime
moteur
I'atteinte
nominal.
des
essais
de
I'interface
frontal.
surveillance
fonction
pouvant
de
la
surveillance
demarrage
du
regulateur
des
vibrations
courant
ramene,
regime
regime
la
des
encore
groupe,
de
- -
Die
Funktionen
nen
auch
fest
S14
auf eingestellt den dern
Jede
der
werden.
Remote-Eingang
(siehe
Fernsteuerung Remotstecker den
Pin
LC-Display
am
durch
24
X16/1
uber
Ruckseite
bis
den
OIL-Schalter
der
Sie
sind
nicht
Abschnitt
7.5).
einer
oder
dem
entsprechen-
Netzstecker
wird
Symbol 8 angezeigt.
X16/5
TCP
380
dann
zu
veran-
Funktion
auf
dem
kon-
liber
am
Functions
fixed
via OIL
the
TCP
be
changed
Section Each
remote
the
remote
pin
of
the
the
LC
display
X16j1
380.
7.5).
mains
switch
In
via
control
plug
by
to
X16/5 S14
this
case,
the
remote
of a function
or
the
plug
symbol
can
also
at
the
rear
they
cannot
input
(see
corresponding
is
displayed
8.
via
on
be
Les
of
etre du la TCP vent telecommande
Chaque soit mande, dante quee fichage.
fonctions
X16/1 a X16/5
fermement
commutateur
380.
Dans ce cas, elles ne
pas
etre
modifiees
telecommande
par
Ie
connecteur
soit
par
du
connecteur
par
Ie
symbole 8 sur
reglees
DIP
S14 a I'arriere
(voir
section
de
la
broche
reseau
par
les PINS
par
I'entree
7.5).
d'une
telecom-
correspon-
est
la visu
peuvent
de
peu-
de
fonction,
mar-
d'af-
8.2
Betrieb
(Option)
Die TCP Schnittstelle tiber
Rechner
Folgende
- Reset
- Heizung
-
Stand-by
-
Stromsperre
-
HochlaufzeitOberwachung
-
Hochlauizeitstop
-
Stromprofil
-
BetriebsmittelOberwachung
-
Tastatursperre
-
Fehlerquittierung
uber
380
kann
RS
Befehle
EIN /
EIN /
EIN /
EIN / AUS
Schnittstellen
uber
232
gesteuert
werden ausgefilhrt:
AUS
AUS
AUS
EIN /
EIN /
AUS
Fo/gende SOllwertvorgaben
eingestellt
-
Hochlaufzeit
-
Schaltpunkt
Folgende
- Gerat
-
Betriebsmittelmangel
-
Schaltpunkt
-
Fehlermeldung
-
Obertemperatur
-
Obertemperatur
- Enddrehzahl
-
Pumpe
-
Solldrehzahl
-
Istdrehzahl
-
Motorstrom
-
Betriebsstunden
-
Softwareversion Die serielle
Best.-Nr. PM Bedienung anweisung.
werden:
Statusabfragen
fernbedient
erreicht
erreicht
beschleunigt
Schnittstelle
021
siehe
TCP
Pumpe
872
zugehorige
die serielle
-C
oder
werden.
EIN /
AUS
EIN / AUS
k6nnen
sind
ist
Option,
-T.
Montage
RS
485
AUS
moglich: -
und
Betriebs-
8.2
Operation
(Option)
The TCP
led via
or
The following
RS
380
the
485.
can be
serial
commands
cuted:
- Reset Heater
-
-
Stand-by
-
Current
-
Run-up
-
Run-up
-
Current
-
Operating OFF
- Keyboard
- Error
ON /
ON / OFF
lock time time profile
medium
lock
acknowledgment
The following
OFF
ON /
monitoring stop
ON / OFF
ON / OFF
reference
preset:
-
Run-up Switch-point
The fol/owing
time
status
possible:
-
Unit
remotely
-
Low
operating
-
Switch-point
- Error message
- Excess
- Excess
-
Ultimate
- Pump accelerates
- Rated
-
-
-
-
rotation Actual Motor
current
Operating
Software
The serial code PM 021 and
operation,
operating
controlled
medium
attained
temperature, temperature,
rotation
rotation
speed
speed
hours
version
interface
872
see
instructions.
via
Interfaces
computer-control-
interface
are
OFF
ON / OFF
ON / OFF
monitoring
inputs
requests
level
TCP
pump
speed
attained
is an
option,
-1.
For
installation
the
corresponding
RS
232
exe-
ON
can
are
-C
/
be
order
8.2
Operation
(Option)
La
TCP
380
peut
vie
par
un
232-C
ordinateur
d'une
au
RS
I'intermediaire RS
Les instructions ex/kuMes:
-
Rearmement
-
Chaufferette
-
Stand-by
-
Verrouillage ARRET
-
Surveillance ARRET
-
Arret
du
CHE/ARRET
- Courbe de
-
Surveillance ARRET Verrouillage
­ARRET
-
Acquittement
Les
va
leurs
vent
etre
-
Temps
- Point de
(Reset)
MARCHE/ARRET
MARCHE/ARRET
de
courant
de
demarrage
temps
de
courant
d'agent du clavier
des
de
consigne
regtees
de
demarrage
commutation
Les interrogations possibles:
-
Appareil
- Niveau
- Point de
- Message
-
Surchauffe Surchauffe
-
- Regime
- Pompe accelere
-
Regime
-
Regime
-
Courant
- Heures de service
-
tEl!lecommande
d'agent
commutation
d'erreurs
TCP pompe
nominal de
consigne
reel
de
moteur
de version
moteur
logicielle
par
interfaces
egalement
485.
suivantes
demarrage
MARCHE/ARRET
moteur
erreurs
etre
central
interface
peuvent
MARCHE/
MARCHE/
MARCHE/
par
MARCHE/
suivantes
par
I'interface:
d'etat
suivantes
atteint
atteint
asser-
serie
etre
MAR-
peu-
sont
L'interface option Montage de service
(reference: PM
serie
n'est
et
operation:
afferentes.
livree
021
voir
qu'en 872 -TJ.
instructions
25
9 Fehlersuche
9.1
Selbsttest
Das
Gerat
Tep
Selbsttest schalten Teil
der
der
Leistungshalbleiter programm ein
Fehler
triebnahme
auf
dem
meldung
Die
Uberprufung
chen
auf
tigen
Punkten
schiedenen
dingungen.
1m
einzelnen
Hbhe
der schenkreisspannung renzspannung, gung
(15V),
gung,
der Motorspannung lerspannung.
Hierdurch schlusse des
Gerates, Bereich Motorstromregelung endstufen
sofort
erkannt
und
die
Pumpe
380
ausgerOstet.
des
Gerates
elektronischen
auf
Fehler
erkannt
des
LC -Display
Gerates
25
und
eine
basiert
Spannungsmessung
des
eingestellten
wird
Netzspannung,
der
der
Hallsondenversor-
Programmierspannung,
und
ergeben
uber
die
Fehler
des
Drehzahlreglers,
und
der
und
vor
ist
mit
einem
Nach
wird
ein
Regelung
in
einem
liberprlift.
ist
die
weitere
blockiert
erscheint
Fehlernummer.
im
Gerates
unter
Betriebsbe-
iiberprilft:
der
(48Vl.
internen
der
Drehzahlreg-
sich
wichtige
korrekte
im
Hallsonden schutzen
weiteren
Funktion
gesamten
(PIC),
der
dem
Ein-
groBer
und
Test-
Wird
Inbe­und
Fehler-
wesentli-
an
wich-
ver-
Zwi-
dar
Refe-
Versor-
der
Ruck-
der
Motor-
werden
das
Gerat
Schaden.
9
Trouble-Shooting
9.1
Self·Testing
The
TCP
380
is
test.
After
on, a
major
trol
and
checked
When
an operation error
message
appears
mainly voltage under
different
tions.
In detail,
Level
of
ate
circuit voltage, probe
supply,
motor
voltage
trol
voltage.
This
allows
be
drawn tioning areel
of current ges
and Hall
detected,
the
pump
the
based on
at
the internal
of rotation
control
equipped
the
unit
part
of
power
for
errors
error
is
of
the
unit
25
on
the
LC
important
preset
the
following
mains
voltage
supply
programming
and
important concerning the
unit;
speed
(PIC),
probes
thus
protecting
from
any
has been
the semi-conductors
by a test
detected,
and
display.
measurement
voltage,
(48V),
rotation
errors
further
with a self·
switched
electronic
program.
further
is
blocked,
an
error
This
points
in
operating
is
checked:
intermedi-
reference
(15V),
voltage,
speed
conclusions
the
correct
in
the
control,
motor
are
output
immediately
the
damage.
con-
and
number
test
of
the
condi-
Hall
func-
whole
motor
unit
the unit
con-
to
sta-
and
9 Depistage d'erreurs
9.1
Auto·test
La
commande
d'un
systeme
sitet
is
is
I'appareil majeure troniques semi-conducteurs prietes. commande marche prie
est
test
est
mesures
tants,
sous
sation
simulees.
Tests
effectues:
Niveau sion
des
de
la
tension vant a I'alimentation I'alimentation la
tension tension regulateur
Ces
mesures precieux de
I'appareil.
au
niveau
regulateur
des
etages
des
sondes
ment
detectees
ainsi
que
pouvant
d'autres
de
TCP
d'auto-test,
enclenche,
partie
des
de
regulation
Une
erreur
ne
peut
et un
message
emis
sur
essentiellement
de
tension
diverses
la
tension
circuits
moteur
Quant au
la pas endommagements
intermediaires
de
reference,
de
de
programmation,
et
de
regime.
donnent Des
du
regulateur
de
courant
finaux
de
Hall
et
commande -celle-ci
etre
380
est
composants
ainsi
Quant a
est-elle
pas
etre
d'erreur
la visu
(25). base
aux
pOints
conditions
secteur,
interne
la
sonde
de la
tension
des
bon
fonctionnement
erreurs
de
moteur
du
moteur
sont
immediate-
protegent
mise
en
pourvue
permettant,
de
tester
elec-
que
les
leurs
pro-
detectee,
mise
en
appro-
Cet
auto-
sur
des
impor-
d'utili-
de
la
ten-
(48
de
celie
(15
V),
de
Hall,
de
de la
du
resultats
eventuelles
regime,
(PIC),
ainsi
que
la
pompe
ne
marche
-
eventuels.
la
la
V),
ser-
de
du
26
9,2
Fahlarliste
Folgende
01 EOOI
02 03
04
05
06 E006
07 E007 Betriebsmittelmangel,
OS
09 E009
10
11 E011 Hall
Diese Fehl des Gerates sie fUhren in
Abschaltung der
Pumps
E00 E003 E004 E
005
EOOS
E010
tandes
Fehler
werden
Uberdrehzahl,
Uberspannung
2
Vibralion,
Reservefehlereingang. Pu
mpslandtehler,
Hochlaufzeit Schallpunkl
Verz6gerung 20
Pumpenstecker IU7
> 5
Stroml1fad
(UM > 44 Volt Drehzah
(a
nalog
sondenverso
er
werden
erkannt
jedem
Turbopumpe
.
angezeigt:
X16/12
Voll)
a1
lregelung
oder
nur
im
und
dargestellt,
Faile zu
f ~ f.
+48
akliv
X16
abgelaufen
sek
abgezogen
unterbrochen
)
defekt
digitital)
rgung
Betrieb einer
bzw. des
,d -1,05
V,
UL >
X16
/ 1 0
und
nach
Uh
9.2
List
The
60
V Excess voltage
/ 7
aktiv
akliv
f <
> 9
Vo
These
played any or
of
following errors
Excess
f = f
Vibration,
Spare err Pumping
active Run-up
f
< s
L
ow
after a delay Pump
IU7 Current path
(
UM > 44 voll
otation
R defecti digit
lt
Hall
errors
during
case
they
pumping
Errors
are
rotation
. 1.
05
ult
+48
X16/12
or input,
unit
error,
time
expi red and
witch-point
operat
ing
medium
ot
plug
unplugged
> 5
volts)
a 1
s)
speed control
ve (analogue
al)
probe supply
are
only
detected operation lead
to
unit being
the
displayed:
speed,
V,
UL > 60
aclive
X16/7
X16/1
level,
20
sec
interrupted
or
Uh
> 9 vo
and
of
the
unit;
turbo
switched
----
active
0
lt
dis-
pump
off.
in
s
9.2
Erreurs
--,-
V
Temps
Agent d'une
Connecteur IU7
Circuit (UM > 44 volt
Regulateur defectu num
Alimentation
Hall
Ces dur et
entrainent
de
la
groupe
Liste
des
affichees
--
--------
Sur-regime
Surtens Vibrations, Entree Erreur
X
f <
ant
ion +4S
de
du
16/1
0 aClive
de
point
moteur
temporisation
> 5
volts)
a 1
eux (anal
erique)
Uh
> 9 vo
erreurs
ne son t
Ie
fonctionnement
pompe
de
pompage.
messages
:
. f = ff
X16/
reserve. 16/7
groupe
demarrage
de
interrompu
de
automatiqueme
tur
----
lna
l .
V, UL >
12
active
de
pompage,
commutat
epuise, au
de
de
pompe
s)
regime
ogiq
ue
des sondes
lt
s
detectE~es
bomo
leculaire
d"erreurs
------
1.05
60
active
eCQule
ion
bout
20
retire
au
de
que
de
I'appareil
nt
V
et
s
I'arret
au
du
rCl'
3110
'!t
Fig
.17
Bei::;pie! Fehleranzei
ge
PFEIFFER VACUUM
Example
for
OJ
error display
Exemp
le (j
'ufflchage lJ'e
rreur
27
Folgende dem
Selbsttest:
21
E021
22
E022
23
E023
24
E024
25
E025
26
E026
E027
27
28
E028 E029
29
30
E030
31
E031
32
E032
33
E033
34
E034
35
E035
E036
36
37
E037
E038
38
Fehlermeldungen
Programmierspan U7 < 0.8 Drehzah
Program m ierspannung U7 abgezogen
Netzspannung < 90 Netzspannung > 265
UL < 43 Pri
UL> Pri ma
UR <
UR > UM > 30
geschlossen U5
defekt einer
U5 Hallsondenpfades
UV < 14,5 zu
UV> zu
UM < 30 defekt
Frequenzsimulation drehzahl
UF <
Fehler Drehzahlmesser
Frequenzsimulation drehzahl.
Fehler Drehzahlmesser
UM < 30 V und KurzschlufS
transistors Frequenzsimulation
drehzahl· US> Fehlabgleich
Iprogram m ierschaltung
> 5 V,
ma
rsch a It
60
rschaltnetzteil
5,05
5.15
< 4 V,
oder
Hallsonde
> 9 V.
gering
15,5
hoch,
oder
9,8
oder
oder
0,8
folgen
V.
Fehler
Pumpenstecker
V,
Fehler
netztei
V,
Fehler
V,
SG3525
V,
SG3525
V,
PIC
Hallsondenversorgung
KurzschluB
Unterbrechung
V,
Interne
V,
Interne
SNT
-Fehler
V,
PIC -Ansteuerung
Ubertemperatur
V UF <
Fehlabgleich
UF >
10,2
Fehlabgleich
Endstufe
eines
1,04,
Stromsollwert
V,
Fehler
Drehzahlregler
aus
nu ng
in
V
V
im
I
im
defekt defekt
626
kurz-
Versorgung
Versorgung
mit
End-
mit
End-
V
Endstufen-
mit
End-
oder
The from
des
Pumpe
gesperrt,
following
the
<
Mains UL < 43
circuit UL > 60
circuit
UR <
UR > UM > 30
U5 defective, in a Hall
U5 Hall
UV < 14.5 insufficient
UV> excessive,
UM < 30 or
Frequency
ultimate
Error
revolution
Frequency ultimate UF> Error of
UM < 30 V and locked, output
Frequency ultimate current US > balancing speed
error
self-test:
Programming
0.8
V,
speed
Programming U7 unplugged
Mains
error
programming
> 5 V,
voltage < 90 voltage>
V,
power
V,
power
5.05
5.15
< 4 V, Hall
probe
> 9 V,
probe
15.5
excess
rotation
9.8 or
erroneous
rotation
10.2
or
erroneous
revol
ution
short
stage
rotation
reference
0.8 V error control
messages
voltage
in
rotation
voltage
pump
plug
265
error
in
pack
error
in
pack
V,
SG3525
V,
SG3525
V,
PIC
626
probe
or
short
circuit
interruption
path
V,
internal
V,
internal
SNT
error
V,
PIC
control
temperature
simulation
speed,
V
counter
simulation V
simulation
of
balancing
speed,
balancing
cou
nter
output
circuit
transistor
speed
value
or
rotation
result
U7
circuit
V
V
primary
primary
defective defective
shorted
supply
in
supply
supply
defective.
of
pump
with
with
stage
of
an
with
1.04,
erroneous
of
Erreurs
detectees
Tension 0,8
V,
Erreur circuit regime
Tension 5 V,
Connecteur
Tension Tension
UL < 43
bloc
primaire
UL>
60
bloc
primaire
UR <
5,05
UR >
5,15
UM > 30 circuit
U5
< 4 V,
I'alimentation ou
court-circuit
U5
> 9 V,
des
sondes
UV < 14,5 insuffisante
UV>
15,5
trop
elevee (Erreur SNT)
UM < 30 tueuse
Simulation regime
Erreur
ou
compte-tours Simulation
regime Erreur ou
compte-tours UM < 30 V et
court-circuit
Simulation
final
1,04,
US>
0,8
du
regulateur
durant
de
programmation
au
de
de
secteur < 90 secteur > 265
V,
V,
ou
final
final
niveau
programmation
programmation
de
Erreur
d'alimentation
Erreur
d'alimentation
V,
SG3525
V,
SG3525
V,
PIC
626
Erreur
au
des
sur
Circuit
de Hall
V,
Alimentation
V,
Alimentation
V.
Commande
surchauffe
de
frequence
UF <
dereglage
de
frequence
UF >
dereglage
etage
d'un
de
frequence
Consigne
V,
Erreur
de
regime
un
auto-test:
U7
du
du
pompe
au
au
niveau
sondes
une
d'alimentation
interrompu
9,8
du
10,2
du
final
transistor
de
ou
U7
retire
V
V
niveau
du
niveau
du
detectueux defectueux
en
court-
de
Hall,
sonde
interne
interne
PIC
detec-
de
la
pompe
avec
V
avec
V
verrouille,
avec
courant
dereglage
<
>
Wahrend der reichem Betriebsprogramm Anzeige dargestellt.
28
des
LC-Anzeige
Test
arbeitet
wird
die
Selbsttests
"SELF".
Nach
das
und
auf
Drehzahl
erscheint
erfolg-
normale
der
der
Pumpe
auf
During played has been standard ning,
and
tion
speed
the
self-test,
on
the
LC
successfully
operating
the
display
of
the
"SELF"
display.
completed,
program
shows
pump.
is
After
starts
the
dis-
the
rota-
test
the
run-
Durant affiche cute
sans
ploitation
che
Ie
regime
I'auto-test,
Ie
mot
"SELF". erreurs, est
alors
de
la visu
L'auto-test
Ie
programme
lance
et la visu
la pompeo
numerique
exe-
d'ex-
affi-
9.3
Ausgewertete spannungen
Nr.
Name
No.
Name
No.
Objet
Therm Therm Sonde
2
Hallso Hall p
Alime
3
Therm
Therm Sonde
4 Progra
Progra Tensio
5
nicht not
as
(Iibre)
6
Verso
Suppl
Alimen
7
Analog
Analog Regim
--+
8 Refere
Refere
Tensio
9
Strom Refere Coura
10
Drehza
(5
V b
Rotatio
(5 V at
rotatio Tensio
(5
Vau
11
Hilfssp
Auxilia Tensio
13
Motors Motor Tensio
14
Strom
Actual Couran
15
Zwisch Interm
Circuit
Analog-
beim
5elbsttest
ofuhler
al
thermique
ndenversorgung robe ntation
ofLihler al sensor,
thermique
mmierspannung mming n
elegt
b
signed
rgung Y
tation drehzahl
ue
e
nzspannung
nee
n de
sollwert
nee
nt
hlspannung
ei
n
ultimate
TCP
sensor,
programmation
+15
analogique
de
Enddrehz.)
speed
supply
sonde
Pumpe
voltage
+15
V
+15
rotation
voltage
reference
current
consigne
voltage
TCP
TCP
pump
pompe
V
V
speed
n speed)
n de
regime
regime
annung ry
n
pannung voltage n
istwert
current t reel
enkreis
ediate
intermediaire
nominal)
voltage
auxiliaire
de
moteur
value
+48
circuit
V
Hall
+48
+48
9.3
Analvzed
during
ADC-Pin ADC
Pin
Pin
CAN
Analogue
5elf-
Testing
Verwendung
Utilise en
Betrieb
Used
Voltages
in
in
mode
"SELF"·
9.3
Tensions evaluees
analogiques
lors
de
I'auto-test
Operation
Normal
38
39
40
1 X
X
._--
X X
X
X
--
2
3 X
4 X
5 X
X
6 X
7 X
8
10
11
12
V
V
X
X X
X
X X
29
9.4
Erweiterte
Wahrend grammes mit
schalten
tere angezeigten
vorausgestellte
0 ... 9 ben A, b,
Pfeilreihe schaltet, werden erweiterte grammiert:
des
oder
Fehleranzeige
des
Testmoglichkeiten
Daten
und
die
C,
d,
bleibt
die
entsprechenden
passend
Testmessungen
Testmoglichl(eiten
normalen
nach
DIL-Schalters
Nummerierung
darstellbaren
E, F gekennzeichnet.
dabei
angezeigt.
einem
werden
eroffnet.
werden
komplett
Betriebspro-
Selbsttest
durch
S14/4
durch
Buchsta-
Einheiten
Foigende
sind
Ein-
Die
die
von
abge-
pro-
wei-
Die
9.4
Extended
During or tion, provided switch identified
o
d, pletely priate
following
are
the
after a self-test
further
by
14/4.
...
E,
by
9 and
F.
The
off
units
extended
programmed:
Testing
normal
checking
switching
The
prefix
the
allocated
cursor
during
are
suitably
Possibilities
operating
with
error
possibilities
on
displayed
numbering
letters
block
remains
this,
and
displayed.
test
measurements
program
indica-
the
data
the
OIL
is
from
A, b,
appro-
are
com-
The
C,
9.4
Autres
Durant commande, erreur, sont
Ie
donnees chiffre d, E au ches les quence. possibles:
Ie
d'autres
rendues
commutateur
affichees
de
F).
demeure
unites
Les
possibilites
fonctionnement
ou
apres
un
possibilites
possibles
DIP
S14/4
0 a 9 et
La
sont
sont
d'une
rangee
dans
affichees
mesures
affectee
ce cas
suivantes
de
tests
normal
auto-test
de
test
en
positionnant
sur
lettre
obscure
en
conse-
1. Les
A, b,
aux
sont
precedees
de
en
d'un
fle-
et
la
C,
MESSUNG
1
Thermospannung Thermospannung
2
3 H
aliso
n de
nverso
4
Programm
5
Versorgungsspannung + 15 Analogdrehzahl
6
Referenzspannung
7
8
Stromsollwert
9
Drehzahlspannung Hilfsspannung
A
Motorspannung
b
Stromistwert
C d
Zwischenkreisspannung Abgelaufene
E
F
Restliche
-
9.5
Gestorter
Bei Unregelmaf?,igkeiten Betriebes erkannt trieb wird "E" angezeigt
9.2). gabetasten einzelnen der
meldung
anschlieBendes Menupfeils links Information rungsmeldung Drehzahl), Betatigen wieder tes
Abschnitl
die
von
werden,
ausgeschaltet.
der
Fehler
....
und
einer
(siehe
Gemeinsames
ergibt
Menudaten
Storung
anzuzeigen,
E001
mit
oder
rechts
zum
erneutes
der
die
Fehleranzeige
Einschalten
7.4.
Eingabetasten
rg u n 9
ierspan
Hochlaufzeit
Hochlaufzeit
Betrieb
der
Elektronik
wird
der
Auf verschllisselt nachgestellten
Fehlerliste,
Betatigen
die
Moglichkeit zum
[Uberdrehzahl).
Verschieben
S12
oder
wird
die
Zeitpunkt
angezeigt
gemeinsames
mit
"Reset",
TCP Pumpe
nu ng
+48
wahrend
Pumpenan-
dem
Display mit
Abschnitt
Zeitpunkt
z.B.
Fehler-
des S13 gewlinschte
der
(hier
ergibt
E001.
siehe
Zahl
der
Durch
nach
Sto-
z.B.
Erneu-
V
V
des
Ein-
die
MEASUREMENT
Thermal voltage,
Thermal
Hall
Programming
Supply
Analogue Reference Reference Rotation Auxiliary Motor Actual Intermediate
voltage
Expired Remaining
9.5
During are pump shows suffix
tion
S13 to the sage When
left
red
is
rotation are
EOOl
"Reset",
voltage,
probe
voltage + 15
rotation
voltage
current speed voltage
voltage
current
+48
run-up
Defective
irregularities
detected
drive
the
error,
number
9.2).
When
are
actuated
display
displayed
the
time
of
EOOl (excess
the
menu
or
right
information
speed);
actuated
re-appears.
see
supply
voltage
circuit
V
run-up
by
is
stopped.
(see
individual
the
via S
(here,
jointly Section
TCP
pump
V
speed
voltage
time
time
Operation
in
operation
the
electronics,
The
coded
by
List
of
the
entry
jointly,
error,
e.g.
rotation
cursor
is
12
or S 13,
at
the
time
for
example,
if
again
the
error
Restarting
7.4.
display
"E"
Errors,
keys
it
is
menu
error
speed).
moved
the
of
the
entry
MESURAGE ANZEIGE
Tension Tension Alimentation Tension Tension
Regime
Tension
Courant Tension Tension Tension Courant Tension
Temps Temps
which
the
.... and a
Sec-
512,
possible
data
mes-
to
desi-
the
error
the
keys message using
thermique thermique
sonde programmation d'alimentation + 15 analogique de
reterence
de
consigne
de
regime auxiliaires du
moteur reel intermediaire
de
demarrage
restant
9.5
Service
A
I'occurrence
conques
par
I'electronique, pompe visu
affiche
code
("E ....
messages simultanee
at
permet nees
the
respectives
detail
lance Ie
message deplayant de
la
touche S 12
che
ou
iree
est
au
moment
(dans
cet
ayant
entraine regime). nee
sur ramene marche d'abord la
touche
TCP pompe
de
Hall
+48
ecoule
en
derangement
de
durant
Ie service,
est
instantanement
alors
",
voir
d'erreurs").
des
faire
est
intervenue,
EOOl
ensuite
droite,
affichee,
au
elle
exemple,
Ie
Une
nouvelle
touches
relance
Reset
touches
afficher
(voir
de
vers la
alars
les I'affichage et
acquitter
V U
V
detaillances
l'entraTnement
un
message
section
Une
d'introduction I'etat
au
moment
(sur-regime).
la
fleche
ou S
13
I'information
telle
est
intervenue
la
vitesse
message
action
d'introduction
E001.
de
la
commande:
I'erreur
section
DISPLAY INDICATION
UT [V] U6 [V] U"
[V]
U7 [V]
[V]
v
UF [V] UR [V] Us [V] Uo [V] UH [V] UM [V] U,
[A]
UL [V] [min]
[min]
quel-
detectees
de
arrete.
9.2 action
par
vers la
de
Remise en
au
d'erreur
"Liste
des
au la
exemple
En
au
moyen
qu'elle
exacte
sur-
simulta-
moyen
7.4).
La
don-
gau-
la
des
des­etait
de
30
Jede
erkannte
zum
Sperren
Motorstromregelung.
rell
aile Anzeige tet
die
rote
22
auf.
Auf
dem tusanzeigen rung
erhalten, ganzeige der
aktuelle
Bei
St6rungen
eine
Sicherheitsabschaltung
che den
Motorendstufe
dauernden
Fehlsteuerungen zessor
werden
sen. Am
LC-Display
nicht
definiert
durch
Aus-
nicht
behoben
im
Rechnerbereich
dann
ausgetauscht
9.6
Einsendung
Betriebsstorung
der
Motorendstufe
Relais
ausgeschaltet.
des
gestorten
Sammelstorungsmeldung
LC-Display
zum
Zeitpunkt
nur
(Abschnitt
Drehzahlwert
im
Motorstromregler
abschaltet
Prozessor-Reset
durch
dadurch
konnen
angezeigt
und
Einschalten
werden,
Service-Center
Verstandigen
den
Schwierigkeiten
Balzers-Service. Reparaturauftrage
lich
aufgrund
ferungsbedingungen
Reparaturen
zeit
von 6 Monaten.
den
ohne
die
Reparaturkosten
50%
des
mehr
als
Sie
bitte
unserer
gilt
eine Ruckfrage Artikel-Neuwertes
DM
5.000,--
fuhrt
Es
werden
Zur
Betriebes
bleiben
auf
6.2)
Rechnerbereich
vor. Das werden.
zur
Ihren
werden
durchgefuhrt.
Reparaturen
ausgefuhrt, nicht
aile
der
Sto-
der
Quasianalo-
wird
standig
angezeigt.
aktiv, wei'::
und
die
sowie
erzeugt.
den
Mikropro-
ausgeschlos-
diese
Fehler
werden.
der
liegt
ein
Gerat
Reparatur
bei
auftreten-
zustandigen
ausschliefS-
[Il1gemeinen Lie-
Gewahrleistungs-
mehr
bzw.
betragen.
und
gene­leuch-
Sta-
wird
einen
Kann Fehler Defekt
muf3.
ins
Fur
wer-
wenn
als
nicht
Every
time detected, motor Generally, all relays are To
display
collective On
the
the
time and nuously gue
In
the
area, a
becomes motor
output ous
incorrect
sor. On
the
be
displayed
the
error switching ter
defect.
ged.
9.6
We Balzers
you All
repairs
the
basis Delivery period
formed costs
nal
value
DM
irregular
the
current
irregular
error
LC
display,
of
the
the
actual
provided
display
processor
case
safety
active
current
stage
controls
LC
display,
cannot
off
The
(Section
of
Returning for
Repair
request should
5,000.00.
Service
only.
is 6
without
do
not
of
th8t
problems
orders
of
our
months.
exceed
the
operation
motor
output
control
operation,
display
all
error
are
rotation
by
the
errors
in
shut-down
which
control
and
produces a continu-
reset.
This
by
these
in a
defined
be
corrected
and
on,
unit
must
to
Service
you
contact
Center
are
General
For
repairs
Repair
checkback
50 % of
article
stage
are
blocked.
switched
22
lights
status
displays
maintained,
speed is
quasi
6.2)
only.
the
computer
feature
switches
and
the
prevents
the
microproces-
errors
manner.
there
is a
be
exch[ln-
Center
the
responsible
arise. carried
Terms
the
or
out
warranty work if
the
the
is
off.
the
up.
conti-
analo-
off
motor
cannot
by
compu-
on
of
is
repair
nomi-
and
red
the
If
for
per-
Toute
erreur rouillage de
la
regulation. desactives. derangement, allume.
at
L8
visu moment seule
I'instrument
6.2)
continue
actuel. En
cas un
[)fret
agissant sur
I'etage
tine
de activee. Ceci que
de microprocesseur.
La
visu
faire
afficher definie. annulee en
marche vraisemblablement au
niveau il
faudra
ment
I'appareil.
9.6
Renvoi Apres-Vente
En
cas
de
n'hesitez Balzers la district.
Les
ordres
etre
reconduits conditions aux
appareils
apres
vente
ordre
de
que
I'accord
dans
la
par
cette
50%
du
et
ne
depassent
5.000,00
d8tectee
de
1'8tage
Pour
affiche
ou
I'erreur
d'afficher
de
defaillances
de
securite
sur
Ie
final
relance
permet
controle
de
permet
ces
Une
erreur
par
Ie
de
de
I'ordinateur.
echanger
au
problemes
pas a
plus
de
reparation
generales.
repares
une
reparation
du
mesure
reparation
prix
neuf
DM.
final
Tous
indiquer
Ie
temoin
tous
les
est
analogique
est
regulateur
de
celui-ci,
du
processeur
d'eviter
errone
pas
erreurs
qui
simple
la
commande
d'une
purement
Centre
pour
quelconques,
contacter
proche
que
sur
garantie
est
client
ou
les
n'excedent
de
I'article
pas
la
entraine
du
moteur
les relais
un
service
rouge
Mats
au
intervenue,
Ie
regime
de
I'ordinateur,
alors
active,
du
moteur
et
tout
de la
part
toutefois
de
maniere
ne
pourrait
arret
et la
provient
defaillance
Dans ce cas
et
de
Service
reparation
I'agence
dans
votre
ne
peuvent
la base
Nous
accordons
par
nos
de 6 mois.
execute
ne
soit
sollicite,
frais
entraines
concerne
somme
Ie
ver-
et
sont
(22)
est
(Section
une
rou-
est
alors ris­du
de
etre
remise
simple-
de
nos
services
Un
sans
pas
de
en
et
31
10 Ersatzteile
10 Spare parts
10 Pieces de rechange
Ersa1zteilliste I Spare
PM
800
188
BO,E.F/ TCP
Pos.
Benennung I Description
Item
Pos.
Lutter
/Fil
de
n/Vent
courant
courant
Flanschdose-3
Prise
Flanschdose-3
Prise de
G-Sicherung/G-fuse/G-fusible G-Sicherung/G-fuse/G-fusible
G-Sicherung/G-fuse/G-fusible
Relais/Relay/Relais
---
Trafo/T
ransformer/Transformateur
Diode/Diode/Diode Netzschalter/Mains Tastschalter/Push-button/
Displayprint/Display IC/IC/IC
03
Steuerprint/Control
IC/IG/IC
T Transistor/T
Transistor/Transistor/Transistor
IC/IC/IC N
Schaltnetzteilprint/Switching Carte
Diode/Diode/Diode Diode/Diode/Diode
Transistor/Transistor/Transistor Transistor le/lc/lc
Relais/Relay/Relais Steueni Translateur Gleich
Transistor V19,20,19a,20a Diode/Diode/Diode V 17,18
Endstufenprint/Final Carte
Diode/Diode/Diode
Diode/Diode/Diode
--~-
Trilnsistor/Transistor/T Transistor/Transistor/Transistor Relais/Relay/Relais
Transistor/Transistor/Transistor
IC/IC/IC
Rechnerprint/Computer Carte IC/le/le
Dl
ra
nsistor/Tra nsistor/Tra
ra
nsistor
1,2
imprime Heir..leiter/Thermistor/Thermistor Diode/Diode/Diode
Diode/Diode/Diode
/Transistor/T
N 1
bertrager/Control
de
richter/Rectifier/Red
/T
ransistor
imprime
V19
imprime
01
IC/IC/IC D9
Ie/Ie/Ie
07 Stecker-3 Fiche,3-poles Stecker-5 Fiche, Stecker-15
Fiche-l 5 poles
11
Lieferung packs de
5.
polig/Plug
polig/Plug
5-poles
im
of
five/
polig/Plug
5-er
Livraison
parts
list / Pieces
de
rechange
380
/ Designation
ilateur
polig/Flange
de
polig/Flange
de
bride,
bride,
socket, 3 poles/
3-poles
socket, 3 poles/
5-poles
F4 F 1 ,3
2,
Bouton
nsistor
ransistor
1 0,1 12,24 16
ransistor
tra
nslator/
T2
resseur
ransistor
print/
ransistor
print/
par
paquets
K 3
Oa
F2
imprime
V35 V37
V38
print
R2
V21 V2
V21 V17
V1
15
in
T1
poussoir
imprime
for
2,2
3
V 1
,22
,2,3,4
poles/
S2
de
de
input
S1
LCD
com
unit/
man
K 1, K
V2 switch/lnterupteur-secteur
print/Carte
print/Carte
IT
d'alimentation
V2,3,4,5 VB,9,
V11, V15,
K5
commande
/T
stage
etage
finale V5,6,7,8 V18
~~~~~~------------------~~~----~----~~~~-
K4
ordinateur
connector, 3 poles/
connector, 5 poles/
connector,
Pack/Supplied
de
Pabst
814
0,5
AT
4,0
AT
0,5
AF
AZ
2732-510-52
BV
9351
220V/55V
1 N
4007
NE
2U
EE
SF
2U
EE
HEF
4046
BP
TC
4028
Be
Be
BP
327-25
546
B 1
BC337-16
SG
3525
AN
20,4W
BVV
95C
TG 6 1 A-BOO 4
1 N
5819
ZD
15 2
Be
546
B 1
BC
327-4D
L
387
AZ
2735
KBU
BK
IRFP
450
30P-BOO
BYT
BYW
95C
BYV
95C
BC
546
B 2
BD
139-10
AZ
2735
IRFP
243
PIC
CPU 4
EEPROM
NMC
EPROM
MOS-FET
646
MHz
1 K P
9346
250
ns
Stuck
Quantity
Pieces
Nc. No. No.
P0920
P0920
2
P0920
1 P 2 P
1 P 3 P
P
P
P
P
PM
P PM
P0920476El)
P
P
1 2 P
4
3
2 1
4 P 2 P
1 PM 4 1
4 P
P
PM
P0920193E
P
P
P
P
P
P
P
P
P
P
P0920361 P0920461
P P P
P
PM P
P
P
P
P
de cat.
30SE
356E 357E
4666
430
4666
448
0920335
0920334
0920
491
0920
453
0920
495
0920
496
021704-X
0920
489
021703-X
0920
485 E 11
0920
374
0920
331 E
0920
190
021701
0920
461 E
0920
462
0920
463
0920
230
0920
374 E 1)
0920
341 E
0920
465
0920279
0920339
0920
474
0920
475
0920
300
021702-X
0920374 0920
455
0920279 0920
459
0920
307
021
700-X
D920
435
0920
440
0920
451
0920
358
0920
359
0920
434
E
E
E
E
E
E
E
E
E
E
E E
E
E
E
E
E E
El) Ell
E E E
E
E
E E
E
E
E
E
11
1)
-X
1)
1)
11 11
1)
1)
11 11
32
11
Sehaltplane
11.1
Legende
zu
den
Schaltpl~nen
1 Ki..ihlwasserwachter
2
Drehschiebervakuumpumpe!
Membranvakuumpumpe
3
Luftkuhlung
3a Luftki..ihlung kann
TCP
direkt 4 Heizung 5
Flutgerat
oder
Kiihlaggregat
mit
angeschlossen
Turbopumpe
TCF 6 Flutventil TVF 7
Hochvakuurnventil
8 Kabel
9
11
13 17
18
19
A
NetzanschluB
B
NetzanschluB
S 1 S 2 Heizung
TCP-Turbopumpe
Flutventil
Rezipient
Fernbedienung
Ventilsteuergerat Turbopumpe Antriebselektronik
Flutventil TSF
fOr
Fernbedienung
Pumpstand
EIN/AUS
EIN/AUS
TeV
S 3 Reset S 4
Pumpstand S 5 Heizung (in S 6 Reset (in S 9
Stand-by S10
Stand-by S14
DIL-Schalter
1)
Beim entfernen.
2)
Bei
Raurntemperatur
1 - 3
3)
Bei
Fernbedienung,
8)
Bei
AnschlulS
ohne
(in
Fernbedienung)
Fernbedienung)
Fernbedienung)
extern
AnschluB
geschlossen.
Temperaturschalter,
eines
siner
Membranpumpe
leW
Stecker
TCP
TCW,
~
24°C,
Brucke
werden
Brucke
entfernen.
gebruckt.
TZK
vom
11
Wiring
11.1
1
leW
Legend
Diagrams
for
cooling
2 Rotary vane
Diaphragm
3
Air
cooling,
3aAir
Cooling
4 5 TCF 6 TVF 7 8
9
11
directly Turbo
High Cable drive Vacuum Remote
with
pump venting venting
vacuum
turbo
unit
chamber
control
13 TCV valve
17
Turbo 18 19
Mains
A
B
Mains
S 1
2
S
3 Reset
S S 4 S 5 Heating (in S 6 Reset (in S 9 S 1 0 S14
pump Electronic Venting
valve TSF
for
remote
Pumping Heating
ON/OFF
Pumping
Stand-by Stand-by DIL
switch
1)
Remove
connected
2) 1 to 3 closed ture
31
Remove
employed
6)
Bridged, pump connected.
bridge
~
24°C
bridge
when a diaphragm
without
wiring
vacuum
water
diagrams
monitor
pump/
pump
or
TZK
the
cooling
connected
TCP
connector
can be
heater
control
unit
valve
valve
pump -electronic
venting
control
drive
unit
unit
TCP
control
unit
ON/OFF
unit
(in
remote
remote
remote
control)
control)
external
when
a TCW is
when
ambient
when
remote
temperature
unit
valve
control)
tempera-
control
vacuum
switch
is
11
Legende pour les sehemas de eonnexions
11.1
Legende
connexions
Contr61eur
ment
2 Pompe a
Pompe a vide a membrane
3
Refroidissement systeme
3a
Le
refroidissement
etre
connecte
connecteur
4
Chaullage
5
Apareil I'air
TCF
6 Vanne de remise a
7 Vanne
Cable
8
electronique
9
Vanne
11
Telecommande
13
Appareil TCV
17
Pompe
18
Commande
19
Vanne de
A
Branchement
Branchement
B
commande
S 1
Groupe ARRET
S 2
Chauffage S 3 Reset S 4
is
Groupe
(telecommande) S 5
Chauffage S 6 Reset S 9
Stand-by S
10
Stand-by S
14
Commutateur
pour
les
d'eau
de
TCW
vide
rotative a palettes/
par
de
refroidissement
directement
de
la
TCP
pompe
de
commande
a
vide
pompe
de
remise a I'air
de
turbo
pousse
turbo
commande
turbomoleculaire
electronique
remise a I'air
elect rique
elect
rique
de
pompage MARCHE/ARRET
de
pompage (telecommande)
(telecommande)
extern
DIP
scMmas
refroidisse-
air
ou
par
air
peut
par
de remise a
I'air
TVF
commande
enceinte
de vanne
TSF
pour
tele-
MARCHE/
de
TZK
Ie
11
En
cas
de
enlever
2)
3)
6)
Ie
Ferme
(1 a 3) a 18
ambiante
~
24°C.
En
cas
de pont En
cas
de
a
vide a membrane
mostat.
branchement pont.
temperature
h§;lE.kommande,
branchement
ponte
d'un
enlever
d'une
sans
TeW,
Ie
pompe
ther-
33
3
~-I
r---
' H J
TPH/U
TMH/U
'L
K r G ,. P
I
iii
IT
Y L
X8
4-+111'1rrir1rl+I,8
t
Y2
Y4
YI
7
~ ~
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yo!.
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03'
021
X
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~3
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1
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'3
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47E
K1
_
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11
Sicherheitsinformation fur
die
Rucksendung
von
Vakuumgeraten
-komponenten
und
Safety the
return systems nents
information
of
vacuum
and
compo-
for
Information
sur
I'etat
de
composants
nique
d'appareils
du
vide a retour-
ner a I'usine
de
securite
de
et
tech-
Allgemeine
Der
Unternehmer
Verantwortung
Sicherheit erstreckt
das
bei
der
tung
der nenten steller
Die
und
gemacht
uber
beim
mit
Kontaminierung
-komponenten
Kontaminierung
Erklarung
fur
seiner
sich
auch
Reparatur
Vakuumgerate
Betreiber
diesen
werden,
uber
Kontaminierung
Das Personal, oder
die
Aufnahme
Zustand
ponenten
dient
die 'Erklarung Ober Kontaminie-
rung
von
nenten'.
Diese
Erklarung
der
von zuzusenden. den
Begleitpapieren
das
Wartung
der
Arbeiten
der
Vakuumgerate
informiert
Vakuumgeraten
ihm
beauftragten
Ein
Versand
Bei
Versand Vakuumgeraten sind
die angegebenen beachten,
-
Betriebsmittel
-
Pumpe lisieren,
-
Filtereinsatze
-
aile
Offnungen
- in
geeignete
-
Versand tainern.
von
in
der
Betriebsanweisung
Versandvorschriften
so
zum
ablassen,
durch
Spulen entfernen,
luftdicht
Schutzfolie
in
geeigneten
Information
(Betreiber)
die
Arbeitnehmer.
auf
in BerOhrung
der
muB
und
ist
die
durchfuhrt,
werden.
ist
dem
zweites
beigefugt
kontaminierten
und
-komponenten
Beispiel:
mit
tragt
Gesundheit
das
Personal,
und/oder
und
-kompo-
oder
beim
Vakuumgerate
kenntlich
die
Erklarung
auszuflillen.
Reparatuf
Transportcon-
muB
Ober
den
und
Dazu
und
Hersteller
Firma
Exemplar
Gas
neutra-
verschlieBen,
einschweiBen,
die
und
Sie
War-
Her-
kommt.
und/
vor
-kom-
-kompo-
oder
direkt
muB
werden.
zu
General
The the
Health
employees. those with the
user,
during
nation
nents Health completed.
Introduction
employer
and
This
persons
the
vacuum
or
manufacturer's
repair
of
vacuum
has
to
and
Safety
be
Health and
Declaration
Those
persons service dition purpose mination
This to
company. A second
with
have
of
the
of
of
declaration
the
manufacturer
the
equipment.
to components.
the
Vacuum
Despatch
When
returning
dures
set
out
tions
must
be
-
drain
the
pump
-
neutralise
-
remove
- seal all
- seal in
bag,
-
despatch ner.
by
filter
outlets,
heavy
in
suitable
flushing elements,
gauge
(user) is
Safety
also
applies
that
come
components
or
service. The
systems
declared
Declaration
Safety
carrying
be
informed
'Declaration
Equipment'.
must
or
copy
equipment
in
the
Operating
followed.
operating
with
polythene
transport
responsible
of
his
to
all
into
contact
either
premises
contami-
and
compo-
and
the
form
out
repair
of
the
This
is
the
of
Conta-
be
sent
directly
representative
must
be
the
proce-
Instruc-
For
example:
agent,
gas,
or
a
contai-
for
at
or
con-
sent
Information
L'employeur sable ses
employes. s'etend ges
de
des
appareils
technique
en usine. Le
degre detini I'Stat
de
Certificat
(I'utilisateur)
de
la
securite
Cette
egalement
la
reparation
et
du
vide
de
contamination
et
specifie contamination.
sur
contamination
II
est
obligatoire d'abord rations/de composants a traiter, de ce fournisseur de Une ment
Le
Lors il criptions service
-
vidange
-
rin~age
-
changement
-
obturation
-
emballage sous
-
transport
Ie
personnel,
certifieat;
reparation
copie
doit
a reparer.
transport
d'un
faut
retour
strictement
donnees
par
d'huile
de
feuille
dans
I'entretien,
ou a la
ou
aecompagner
exemple:
la
pompe
de
de
taus
hermetique
plastique,
colis
gElnerale
est
et
de
la sante
responsabilite
aux
personnes
ou
de
des
composants
chez
I'utilisateur
sur
Ie
certifieat
I'etat de
d'informer
charge
de
I'Stat
d'Oll
il
doit
etre
societe
de
decontamination.
de
materiel respecter dans
I'instruction
de la
pompe
par
la
gaz
cartouche
les
orifices,
du
materiel
adequats.
respon-
de
char-
I'entretien
de
ou
doit
etre
sur
tout
des
repa-
des I'importance envoye en
au
charge
I'equipe-
contamine les
pres-
de
primaire, neutre, filtre,
PFEIFFERF
VACUUM
c::.
101,
J.jlf
Herstellererkliirung
- Maschinen
89/392/EWG
- Elektromagnetische Vertriiglichkeit
- Niederspannung
Hlermit erklaren das
Endprodukt
Wir
bestatigen Konformitat gnctischc Vertraglichkeit NOlmen
c::
ill]),
wir,
den
und
Spezifikationen
m~
Manufacturers
- Machinery Directive
im
Sinne
73/23/EWG
da~
des
unten aufgefUhrte Produkt
Bestimmungen
mit
der
EU-Niederspannungsrichtlinie
S9/392}EWG
sind
unten aufgefiihrt.
declaration
89/392/EEC
folgender
89/336/EWG
der
EU-Richtlinie
festge~tellt,
die
pursuant
- Electromagnetic Compatibility Directive
- Low Voltage Directive
We
hereby certify that the product specified below
end
product
is
in
We
certify conformity with found. listed
below.
¢
llil~,
Declaration
accordance with the provision
This
will
be
reached too if the installation instructions
[;::2
du
- directive machine
-
directive
-
directive
Nous que NOlls gnetique complementaire
dcclarons
Ie
produit final
confirmons
89/392/CE,
CE
89/336/CEE
CE
13/23/CEE
par
la
repond
la
conformitil qUI
Les
73/23/EEC
EU
Low
Voltage
constructeur
CE
89/392/CEE
concernant
concernant
presente
que
Ie
bien
est egalement
directives a ppliquees,
prodult mentionne ci-dessous
aux
dispositions
du
produit
obtenue
is
of
EU
Directive
conformement
la
compatibilite
la
basse
de
la
avec
la
directive
en
observant
normlJs
harmonistllJs IJlles
EU-Richtlinien:
zurn
Einbau
in
89j392/EWG,
auch
bei
to
the
eine
Anhang
73j23/EWG,
Einhaltung
following
89/336/EEC
intended for installation
Directive
89/392/EEC,
73/23/EEC.
During
a certifying test with additional equipmelll conformity with
are
followed.
aux
directives
electromagnetique
tension
est
CE
B9/392/CEE,
73/23/CEE
directives
prevu
concernant
nurrlllJS
directive
CE
les
Maschine bestimmt ist
II
B entspricht.
Bei
der Baumusterprufung wurde
der
Installationsvorschriften arreicht wird.
EU
directives:
in
a machine which
Annex
II
B.
The
gUidelines,
CE
pour
Ie
montage
append
ice
la
en
basse
matiere d'instaliation, a
et spilcifications
und
daB
is
forbidden
harmonised standards, national standards
suivantes:
sur
une
tension.
natiunallJs
machine
La
conformitc
ete
constatee
liB.
deren
Inbetriebnahme
mit
Zusatzausrustung Konformitilt
Die
angewandten Richtlinien, harmonisierten Normen, nationalen
to
be
put
into
operation until sllch
et
que
sa
mise
requise
avec
lors
du
appllquE!lJ:S
processus d'homologation realise
figurlJnl
so
lange
unters<Jgt
is!,
mit
time
as
the
EU-directive relating
and
splJclfications which
en
service est interdite tant qu'il
la
directive
UE
rcgissant
ci-des:suu:s.
Pfeiffer Vacuum Grnbf
Emmeliusstr.33 fJ-35614 Asslar
bis
[!;lstgeslelll wurdll,
der
EU-Rictllllllie uber
it
has
been
determined that
10
EMI
89/392/EEC
havlJ
blJen
n'a
pas
la
compatibilitc cloctroma-
avec
un
equipement
!;11!;lk[romiJ-
was
applied
ete
determine
daB
the
are
¢
IJlf
Dichiarazione
- Macchinari
- CDmpatibilit. elellrDmagnetica
-
Bassa
Si
dichiara
rispetta
Ie Attestlamo conla dlrettiva te,
Ie
norme
¢
[E~
Declaracion
- Maquinarias
- CDmpatibilidad Electromagnetica
- Baja Tension
Por
la
presente declaramos
tanto
que
no
De
nuestra
miento
adicionalla conformidad
Las
directivas aplicadas,
del
costruttore
89/392/CEE
tensione
che
disposizioni
la
73/23/CEE
il
prod
otto
qui
menzionato e destinato
della
conform
UE
standardizzate nonche
direttiva U E
ita
con
la
relativa alia compatibilita elettromagnetica
del
fabricante
direttiva
Ie
B9j392/CEE,
UE
norme e Ie
al
89/392/MCE
73/23/MCE
que
el
se
parte
haya
verificado
certificamos
producto mencionado
que
la
conformidad
con
normas
armonizadas y
el
producto final concuerda
la
directiva
ai sensi
delle
89/336/CEE
al
Appendice
sulla
bassa specific
tenor
de
89/336/MCE
con
la
Directiva
de
la
UE
las
normas
montaggio
tensione
89/392/CEE,
he
nazionali utilizatte.
las
siguientes
mas
abajo 73/23/MCE
sobre
y especificaciones nacionales aplicadas
¢[im.
Verklaring
- machinerichtlijn
- richtlijn over elektromagnetische cDmpatibiliteit
- richtlijn over laagspanning
Hlermee gesteld Wij bevestigen elektromagnetische compatibiliteit toegepaste nationale
van de
fabrikant
89/392/EEG
verk.laren
wlj
dat
het
norm
hleronder
met
en en
specificaties lijn hierna aangegeven.
dat het eindprodukt voldoet
de
conformiteit
in
de
73/23/EEG
genoemde
aan
de
bepalingen
de
EEG-richtlijn over
89/392/EEG,
zin van de
produkt
van
laagspa
die
ook
wordt bereikt
is
beltoeld
EU-richtlijn
seguenti
II
B.
73/23/CEE.
in
una
direttive
macchina e
Durante
che
si
ottiene
la
che
prova
anche
UE:
la
Directivas
esta
previsto
para
ser
con
las
disposiciones resultantes
de
la
compatibilidad electromagnetica
volgende
UE
EU-richtlijnen:
sobre
incorporado
Baja
89/336/EEG
om
te
worden ingebouwd
nning
89/392/EEG,
73/23/EEG.
bij
het
appendix
Bij
in
acht
II
de
bouwtypekeuring
nemen
van
sua
messa
in
funzione e vietata
di
omologazione e stata
nell'osservanza
de
la
UE:
de
Tension.
89/392/MCE,
In
een
B.
de
installatievoor~chriften
en
la
Directiva
En
la
se
rnencionan
machine
is
delle
una
maquina y que
89/392/MCE
comprobacion
que
en
met
aanvullende uitrusting conformiteit vastgesteld
sin
quando
accertata,
norme
se
consigue tambien cumpliendo
abajo.
dat
con
di
installalione".
la
puesta
de
la
del
modelo
de
ingebruikneming hiervan
De
tnr.gepaste rrchtlijnen, geharmonlseerde
non e stato
equipaggiamento supplementare,
en
UE,
Apendice
de
accertato
Sono
riportate
servicio
de
II
B
construccion,
las
zolang
che
in
basso
la
misma
queda
se
ha
constatado
prescripciones
verboden
met
il
prodotto finale
la
conformita
Ie
direttive aplica-
prohibida
con
de
instalacion.
is,
totdat
de
EU-richtlijn over
normen
en
equipa-
is
vast-
en
de
non
¢
IJ~
Producenterkhering i henhold
- Maskiner
89/392/EWG
- ElektrDmagnetisk kompatihilitet
- Lavsp"mding
Hermed
IJrklccrer
melse
med
Vi
attesterer konformitet
de
elektromagnetisk kompatibilitet
anvendte
73/23/EWG
vi,
at det
EU-direktiv
nationale standarder
nedensLafHJde
89/392/EWG
med
till<eg
EU-Iavsp<endingsdirektiv
89/392/EWG,
og
specifikationer er angivet
til
folgende
89/336/EWG
produkl
er
II
beregneL
B.
hvad
EU-direktiver:
til
73/23/EWG.
der
ogs1l
kan
nedenfor.
indbygning i
en
rnaskine
Ved
konstrllktionsprovelwntrollen er
opnas
ved
overholdelse
og
at
dermes
idriftsa:ltelse
af
der
installationsforskrifterne
med
er
lorbudt, indtil det er fastslaet,
ekstra
udstyr blevet fastslaet konformitet
De
anvendte direktiver, harmoniserede
at
slutproduktet er i overensstem-
med
EU-direktivet vedroren-
sta
ndarder
og
de
c:')
i0ll:
TIliverkarens lorklaring enligt loljande EG-direktiv:
Maskindirektiv
-
-
Elektromagnetisk
- lagspanning
Harmed
ftirklararvi, attden nedan
mer
overens
Vi
bekriiftar konformitet
tolcrans
89/392/EEC,
Dc
riktlllljer, 8npassade standarder, nationella standarder
.-:>
IF~
73!23/EEC
med
EG's
89/392/EEC
toleran.
direktiv
B9/392/EEC,
med
EG's
som
aven
uppnas
89/336/EEC
namnda
pruduklen ar
iJnn!;lX
lagspanningsdirekllv
om
instaliatlonsforl;lskriflerna bcaktas
avsedd
II
B.
73!23jEEC. I samband
for inmontering i
o{;h
spccifikationer
en
maskin
med
typprovningen faststiilldes ocksil
som
har hllVlt accepterade,
Valmistajan vakuutus seuraavien EU-direktiivien mukaisesti:
-
konedirektiivi
-
sahkijmagneeHinen
-
pienjiinnite
Vakuutammf! taten, etta allamainittu tuote
B9/392/EtY
V;JtlVistarnrnc stiJ
yhteensopivuudesta annetull EU-direktiivin
Soveltamamnw
¢
IPit
Deelara~ao
-
Moquinas,
-
Compatibilidade
-
Baixa
Com
a presente, declaramos produto final estii CerLijicarnos haver cOrlformidade nal
consLaLou-se
instala~ao
Abaixo, da-se irldica!fao
89/392/ETY
siedeHavyy.
73/23/ETY
vaatimuksia.
vaatimllstenmukaisuuden EU-pienjiinnitedirektiivlll
suuntaviitat,
do
na
ha
rmonisoidut standardit, kansalliset standardit
labrieante, de aeordo com
redac~.o
89/392/CEE
electromagnetica,
tensao,
na
redacc;ao
que
em
conformidade
cxistlr conformidade
0 produto abaixo indlc<ldo
com
das
dircctivas aplicadas,
89/336/ETY
on
tarkolltlllu <lsonnottavaksi koneeseen
89/392}ETY
na
redac~ao
73J23/CEE
com
0 disposto
0 disposto
com
na
a directriz
das
na
Directiva
CE
ja
73/23/ETY
k(:l[l;;sa.
kanssa,
jolla Silavutet<l<JIl
as
seguintes Direetivas
Rakcnncmaliitarkastuksessa todettiin lisavarustuksella vaatimustenmukalsuus sahkomagn8eLtlse-
myos
ja
rakennemaaraykset
89/336/CEE
se
dtlsLirla
CE
CE,
sobre
rlC!
a montagcm
redac!fao
baixa
Directlv~
sobre a compatibilldade electromagnetica
normas harmonizadas e
nLima
89/392/CEE,
ltln~ao,
das
normas e
uch
att
denna
maskin
anges
har
sen
kiiyttoonotto
ascnnllsmaaraykslfi noudattamalla.
on
kielletty kunlles
on
lutcltu alempana
CEo
maquina e
na
redac~ao
que
Allendice
especifIG<J<;ues
e proibida a coloca!fao
II
B.
73/23/CEE.
89/392/CEE, a qual
Ao
fazer-se 0
aplicadcs
mts
t5rt<.15
i drift lorran det har konstaterats,
med
extru ulruslning konformitct
nedan
on
todettu,
!;lLli:l
em
servl!fo
exame
do
tambem
no
respectivo
tipo
se
con
lopullinen
da
mesma
de
constru~ao,
segue,
mantendo-se
pais.
art
med
EU-dlrektivet
Luolc
vastaa
<lrlttlS
de
Stl
com
um
as
disposi!foes referentes a
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EU-direktlivin
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om
elmagnetiskt
sHim-
que
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Ot
Prod u kt/
TCP
II")V
£qlOPlJ008CIITE:(,"'
Prod u ct/P
380
Angewendete
Guidelines,
Les
harmonised
directives Direttive aplicate, Directivas Toegepaste Anvendte Direetivas
E,.,apj.lao9cVTcC; KOVOlll0j.loi, r£KvIKcc;
aplieadas,
richtlijnen,
direktiver,
aplicadas,
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TO
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Richtlinien, harmonisierte
standards,
appliquees,
normes
norme
standardizzate e norme
normas
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geharmoniseerde
harmoniserede
normas
harmonizadas e normas
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i5lOnlorr.i.lBI")KoC
KCVOVIOJ.lOUc;
npo'lov~
nationale
oe:yXOTOorOOI')<;.
Normen
specifications which
appliquees
lingue
e specifiche:
en
idiomas
normen
met
standarder
cevi~cc;
n~layp<lql€C;
npOOdPfJOYrl
QVTOnOKpivCl(]l
11
OVTOOOKPIOIl
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in
Spraehen
have
en
langues
et
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j.Ie
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und
Spezifikationen:
been
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betrekking
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especifica~6es
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Of:
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Ovo~po\lral
specificaties:
pafs:
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KaTUJT£PW:
EN
61010
U
nte
rsc h rifte
n/S
GcschaftsfUhrer
Managing Director
Gerente
Administrerellde
Gerente
AlleklrjoitukseL
Herst.f1/9606
i 9 n
atu
(W.
Direktor
res/S
i 9 n
Dondorf)
Ger<Jrlt Dlrecteur
Verkstiillande Direktiir
Underskrift
atu
re/Fi
rm
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d'affairs
rm a s/H
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ke
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Ass
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atu
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DTP
Form.
Nr.
10120/ (9606)
~,.
Sicherheitshinweise TCP 380
Die
im
GEFAHR
Werden
isolieren. Dies beschrieben
Ebenso mussen die Anschlusse an X16, deren Funktion
Schnittstelle
getrennt, kennen aile Stecker
Die Stecker
daran
im
Netzstecker
TCP 380 benutzten Kleinspannungen
kennen aber
X1, X2, X3
vorgesehen
gilt
sinngemiiB
zusammen
gegen 300V
X4
Schaltfunktionen
mit
isoliert
im
am
Gerat sein.
und
sind,
verbunden
auch
fur
TCP
380 eingesetzt
werden.
einfachen Fehlerfall Netzspannungspotential
X5 am
den Netzstecker X9 des TCS 303, falls dieses Gerat
TCP
durfen
werden. Diese erfullen
benutzt,
wie
wird.
Safety Instructions, TCP 380
The
low mains can
apply
voltages
but
can, in a
to
all
of
40V ± 15V and
simple
plugs
on
malfunction
the
unit.
5V
used in
situation, take
~
~
Plugs X1, X2, X3 and X5 on vided
for
the
connection
purposes. This ensures
the
TCP
may
only
PFEIFFER
von
40V ± 15V
nur
mit
in 4.11. beschrieben, so
unter
4.6. beschrieben ist,
the
TCP
be connected
compliance
und
den
original
die
380 are
voltage
5V
Isolationsanforderungen.
galvanically
potential
with
with
I;"VACUUM
;:
...
sind
von
Netz
annehmen.
Zubeherteilen,
sind
diese
sowie
separated
from
the
those
original
the
insulation
galvanisch
Hiervon
die
gegen
wie
unter
die
der
mains
accessory parts pro-
requirements.
betroffen
zum
AnschluB
300 V
zu
3.2.
seriellen
from
the
supply. This
If
the
switching against 300V. operated
The
insulated
together
connections
This
against
functions
also
applies
with
the
to
X16
300V in
are used in
of
TCP 380 as described in section 3.2
whose
the
same way.
functions
mains
course
plug
X4, as described in section 4.11,
to
the
mains
are described in section 4.6 and also
plug X9 in
Indications de securite TCP 380
rc==O=AN=G=ER==il
Si
dans la elles appareil est
Doivent ainsi
Les
tensions reseau, etre concernees,
Les fiches X1, X2, X3 et X5 au ginaux
fiche
secteur X4, des
seront a isoler
utilise
etre
egalement
que
les interfaces serielles.
inferieures de 40V ± 15V et 5V utilisees dans TCP 380,
mais
peuvent
toutes
qui
sont
prevus
contre
avec TCP 380
300V.
isoles contre 300V, les raccordement a X16,
recevoir
les fiches a I'appareil.
pour
fonctions
Ce
comme
un potentiel de
TCP
ne
Ie
raccordement. Ceux-ci
de
commutation
qui
est
egalement
decrit dans
doivent
valable
Ie
chapitre 3.2
the
..
tension
etre reliees
sont
de reseau en cas de
remplissent
utilisees, com
pour
..
they
should
TCS 303 in
que
seulement
la fiche secteur X9 de TCS 303, si cet
dont
les
the
event
the
serial interface
sont
separees
detauts
avec les accessoires ori-
les exigences
me
decrit
fonctions
dans
sont
also be insulated
this
unit
is
being
must
also be
galvanique
simples.
d'isolation.
Ie
chapitre
decrites dans 4.6.
Peuvent
du
4.11.,
PM
800 475 BN/A
9701
Zentrale/Headquarters
Pfeiffer Vacuum GmbH
Emmeliusstrasse 33 D-35614 Asslar
Telefon 06441/802-0 Telefax 06441/802-202 Hotline 06441/802-333 Internet: http://www.pfeiffer-vacuum.de
India
Pfeiffer Vacuum India Ltd. 25-E Nicholson Road, Tarbund Secunderabad 500 009, telephone 0091 / 40 775 0014, telefax 0091 / 40 775 7774
Israel
Eastronics Ltd., 11 Rozanis Street, P.O. Box 39 300, Tel Aviv 61392, telephone 00972 / 3 6458 777, telefax 00972 / 3 6458 666
Italy
Pfeiffer Vacuum Italia S.p.a. Via San Martino, 44 I-20017 RHO (Milano) telephone 0039 / 2 93 99 051, telefax 0039 / 2 93 99 05 33
Japan
Hakuto Co. Ltd., C.P.O. Box 25, Vacuum & Scientific Instruments Division Tokyo Central 100-91, telephone 0081 / 3 32 258 910, telefax 0081 / 3 32 259 009
Korea
Pfeiffer Vacuum Korea Ltd., 3F Haein Building 453, Dokok-Dong, Kang Nam-Ku, Seoul, 135-270 telephone 0082 / 2 3461 0671, telefax 0082 / 2 3461 0676
Netherlands
Pfeiffer Vacuum Nederland BV Veldzigt 30a, NL-3454 PW De Meern, telephone 0031 / 30 6666050, telefax 0031 / 30 6662794
Peru
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Portugal
Unilaser Lda, Taguspark Núcleo Central, sala n
o
268, Estrada Cacém­Porto Salvo, P-2780 Oeiras telephone 00351 / 1 421 7733, telefax 00351 / 1 421 7744
Singapore
APP Systems Services Pte. Ltd, 2 Corporation Road 06-14 Corporation Place, Singapore 618494, telephone 0065 / 268 2024, telefax 0065 / 268 6621
Spain
Tecnovac Tecnologia de Vacio S.L., Ronda de Poniente, 6 Bajo F Centro Empresarial Euronova E-28760 Tres Cantos (Madrid) telephone 0034 / 91 804 11 34, telefax 0034 / 91 804 30 91
Sweden
Pfeiffer Vacuum Scandinavia AB Magasinsgatan 35, Box 10412 S-43424 Kungsbacka telephone 0046 / 300 710 80 telefax 0046 / 300 172 85 Service Hotline: 0046 / 300 710 85
Switzerland
Pfeiffer Vacuum Schweiz S.A. Förrlibuckstraße 30, CH-8005 Zürich telephone 0041 / 1 444 2255, telefax 0041 / 1 444 2266 Service Hotline: 0041 / 1 2730119
South Africa
Labotec Pty Ltd., P.O. Box 6553, Halfway House 1685 Midrand telephone 0027 / 11 315 5434 telefax 0027 / 11 315 5882
Taiwan
S & T Hitech Ltd. Hsinchu office No. 103, Hsien Chen 11th Street, Jubei City, HsinChu County, Taiwan, R.O.C. (zip/postal code: 302) telephone 00886 / 3 554 1020 telefax 00886 / 3 554 0867
Thailand
S & T Enterprises (Thailand) Ltd. 18th Floor, Chokchail Intíl Bldg. 690 Sukhumvit Road Klongton, Klongtoey Bangkok 10110 telephone 00662 / 259 4623 telefax 00662 / 259 6243
U.S.A.
Pfeiffer Vacuum Technology, Inc. 24 Trafalgar Square Nashua, NH 03063-1988 USA telephon 001/ 603 578 6500 telefax 001/ 603 578 6550
Venezuela
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Other countries
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Bahrain, Egypt, Iraq, Iran, Jordan, Kuwait, Lebanon, Lybia, Oman, Pakistan, Saudi-Arabia, Sudan, Syria, Turkey, United Arab Emirates, Yemen
Argentina
ARO S.A., Casilla de Correo 4890, 1000 Buenos Aires, telephone 0054 / 1 331 3918, telefax 0054 / 1 331 3572
Australia
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Austria
Pfeiffer Vacuum Austria GmbH Diefenbachgasse 35, A-1150 Wien, telephone 0043 / 1 8941 704, telefax 0043 / 1 8941 707 Service Hotline: 0043 / 1 8941704
Belgium / Luxemburg
Pfeiffer Vacuum Belgium N.V./S.A. Minervastraat 14, B-1930 Zaventem telephone 0032 / 2 725 0525, telefax 0032 / 2 725 0873 Service Hotline: 0032 / 2 725 3545
Brazil
Elmi Tec Assistencia Técnica e Representação S/C Ltda. Rua Bernadino de Compos, 551 CEP 04620-002 São Paulo, SP - Brasil telephone 0055 / 11 532 0740 telefax 0055 / 11 535 3598
Chile
BERMAT S.A., Coyancura 2283, piso 6 Providencia, P.O. Box 9781, Santiago telephone 0056 / 2 231 8877, telefax 0056 / 2 231 4294
Colombia
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Denmark
Pfeiffer Vacuum Scandinavia AB, Vesterengen 2, DK-2630 Taastrup, telephone 0045 / 43 52 38 00, telefax 0045 / 43 52 38 50
France
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Germany
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Great Britain
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Greece
Analytical Instruments S.A., 1 Mantzarou St., GR-15451 Athens, telephone 0030 / 1 674 8973, telefax 0030 / 1 674 8978
(0299)
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