Cannexion
Refroidissement
Mise
Mise
Mise
turbo
Mise
pompage
Telecommande
Fonction
Reset
Affichages
tion
Fonction
S101
Arret
Remise
2
Commande
TCP
Generalites
Caracteristiques
Branchement
Branchement
Entrees
Surveillance
Relais
Relnis
Connexion
Refroidissement
Mise
Mise
Telecommande
Fonction
Reset
Affichages
tion
Fonction
S101
Arret
Remise a I'air
3
Detection
Appareillage
Depistage
dans
que
Derangements
tion
Description
relais K2
Contra
teur
Contrale
Contrale
Envoi
Pieces de
Schemas
Legende
connexions
ment.
blement a decontaminer·en
legislation
contre
- Les
ou
d'une
qu'ils
ques".
ser sur
la
- Les
enumerees
cription
tembre
Modifications
reception
sur
que
lire
nos
avec
conducteurs
de
que
Ie
bien
Ie
bon
de
de
mettre
attentivement
et
s'y
conformer
appareils
legales§3,
techniques.
d'apres
1.
1500
avec
500 V CC
A.
signaux
fa<;on
0411
Ie
producteur.
I'utilisateur
des
alors
renvoi
suivants:
de
externe
isolement
par
exemple),
de
avec
procede
de
reparation
appareils
avec
des
tenu
de
afferentes.
de
taus
priere
contamines
chimiquement,
relntive
les
emissions
appareils
maintenance
etiquette
sont
correspondance
"matieres
La
meme
Ie
bon
de
1979.
envoyes
bien
"exempts
de
toxiques"
par
I'article 2 de
la C.E.E
techniques
I'envoi,
contenu
aux
livraison.
s'assurer
du
articles
I'appareil
(des)
enume-
en
!'instruction
en
tous
repondent
categorie
soumis a un
V CA. a
de
protection
la TCP
et
on
demande
(suivant
service
la
norme
ou
qui
auraient
matieres
respecter
appareils a reparer
de
tenir
etc.)
a la
protection
radioactives.
pour
doivent
visible
de
indication
livraison
afferente.
en
date
aux
relatives
lis
sont
essai
un
essai
et a un
avec
sont
utilises
a la DIN
il
faut
est
redigee
DIN
lui-meme a des
d'entretien
ete
toxiques,
les
pres-
compte
(radioactive-
sont
vertu
reparation
etre
pourvus
certifiant
matieres
est a appo-
et
sur
sont
celles
la
pres-
du
18
reservees.
au
colis
ser-
points.
aux
de
indi-
d'
essai
un
consul-
en
8418.
en
il
des
preala-
de
tox;-
toute
sep-
de
la
Erklarung
Die
in
drei
Abschnitt
Betriebsilnweisung
nik
Blechgehause
gration
konzipiert.
elemente
nicht
Ausschnlten
Steuerung
Abschnitt
Betriebsanweisung
nik
Rack-Teileinschub
einheiten
OilS
mente
Abschnitt
Fehlersuche:
zur
vorliegende
Abschnitte
1
TCP
120.
Die TCP
in
kundenspezifische
Es
sind
vorhanden.
angebracht
mu~
erfolgen.
2
TCP 121. Die
(Balzers-Norm)
Gerat
hat
aile
auf
der
3
Die
Betriebsanweisung
Betriebsanweisung
eingebaut
TCP
Frontplatte.
beide Gera!e TCP
da
Funktion
sind.
und
unterteilt.
fijr
Antriebselektro-
120
ist
in ein
und
zur
Anlagen
keine
Bedienungs-
Sie kormen
werden.
von
4/12-19",
Bedienungsele-
Fehlersuche
120
Leistungsdaten
Ein-
einer
externen
fur
Antriebselektro-
121
is!
in
eingebaut.
und
TCP
3
gilt
Inte-
auch
und
den
Hohen-
fur
121,
gleich
Explanations concerning
ist
ing Instructions
These
operating
divided
Section
Operating
Drive
housed
designed
zed
available
fitted.
off
Section
Operating
Drive
installed
module
(Balzers
the
punel.
Section
Trouble
section
and TCP
tion
into
1
Unit
in a
for
plants.
and
Therefore,
must
be
2
Unit
in u
- size
norm).
unit
are
3
Shooting:
applies
121
and
specifications
instructions
TCP
No
performed
instructions
TCP
instructions
three
sections.
120.
The TCP
metal
enclosure
incorporation
operutions
neither
sectionul
arranged
units,
switching
121.
4/12,
All
control
The
both
can
The
with
on
for
because
the
are
for
Electronic
120
and
in
customi-
elements
they
be
on and
externally.
for
Electronic
TCP
ruck
three
elements
the
front
the
TCP
their
identical.
121 is
shooting
19"
trouble
are
Operat~
is
ure
units
of
120
func-
Explications
tions
de
La
divisee
Section
Instruction
que
TCP
tole
des
clients.
mande
plus y etre
au
mande
Section
Instruction
que de
est
pouces
(norme
de
regroupes
Section
Detection
erreurs
appareils
tions
memes.
service
presente
en 3
1
de
commande
120
est
et
con9ue
instullEltions
II
n'y a pas
disponibles.
I'arret
montes.
do
externe.
2
commande
mantee
et
de 3 unites
de
Balzers).Tous les
commande
sur
3
d'erreurs -La
est
TCP
et
caracteristiques
relatives
instruction
sections:
de
service
TCP
montee
pour
specifiques
d'elements
se
La
hire
it
de service
TCP 121.
dans
un
de
I'appareil
la
plaque
identique
120
et
aux
instruc-
de
service
pour
I'electroni-
120.
Lil
dans
un
boitier
I'integration
lis ne
mise
pnr
pour
aux
peuvent
en
une
I'electroni-
La
tiroir
4112-19
de
hauteur
elements
sont
frontale.
detection
pour
les
deux
TCP
121,
etant
est
dans
de
com-
non
marche
com-
TCP
des
fonc-
les
en
121
2
Abschnitt
1
Section
1
Section
1
1 Antriebselektronik
TCP
120
1.1
Aligemeines
- Die
netztransformatorenlose
elektronik
des
(ahne
bomolekularpumpen Gr6f3e
062 -330.
- Die
Grenzw
- Die Anschlusse sind fUr
ausgelegt.
- Die
Betrieb
66 % dar
- Die
rat.
luftzirkulation
-
Ansteuarung
von
rep
Antriebs
Pumpstand
Tep
wurde
ertku
Funktion
der
Nenndrehzahl.
Te? 120
Beim
Einbau ist
der
kundenseitig
120
ist
und
der
Oberwachung
ste
uerung)
nach DIN VDE
rve B
entstert.
"Stand
Turbomolekularpumpen
, Fig. 1, ist ain Einbauge-
-by"
aut
zu Bchten (Fig. 2).
und
Verriegelung
en Anlage. -
Antriebs--The
ein
Bestandteil
der
Tur-
0871
Fernbedienun
erlaubt
ausreichende
den
erfolgt
- The
~{
-
bei - The
- The
1
Electronic Drive Unit
TCP120
1.1
General
Electronic
which
has
part
of the
(excluding
the
turbomolecular
062 -330.
Tep
German
VDE 0871
The
connections
remote
turbomolecular
at
Sufficient
red
Switching
are executed
control.
"stand-by"
66 % of
TCP
during
Drive
no
power trans
drive
pumping
has been
Industrial
limit
value
function
pump
its rated
120
, Fig. 1. is a
air
circulation
installation
and
interlo
by
the
Unit
and
control
unit
pumps size
suppressed
Standard
curve
are
designed
to
rotati
(Fig. 2).
cki
customer
rep
120
former
system
control)
as
DIN
B.
for
enables
be
operated
on speed.
built-in
must
be
ng
operations
on
is
of
per
the
unit.
ensu-
site
1 Commande
TCP120
1.1
Gen6ralites
-
L'electronique
sans
tran
fait
partie
la
commande
ment)
des
des
types
-
La
TCP a ete anti parasite
ment
a DIN VDE
va
leur
-
La
conception
tronique
mande.
-
La
fonction "Stand-by"
tionnement
laire a
-
La
Tep
enc
astrabl
d'air
.
suffisante
(Fig. 2).
- Excitation
tir
de I'
de
sfo
rmateur
integrante
(de la
pam
pes
062 a 330.
limite
8.
des
en
permettent
de
66
120
installation
la
% de
(Fig.
e.
Prevoir
lars du
at
verrouillage
electronique
comm
ande TCP
ni
raccord
du
moteur
pampe
turbomollkulaires
0871
raccords
pompe
la vite
1)
est
une
du
unique-
conforme-
courbe
de
la
telecom-
permat
turbomolecu-
sse
nomina Ie.
un
appareil
circulation
montage
sa
font a par
client
.
120
secteur
et
de
de
I'
elec-
la
fonc
-
-
Fig. 1
TCP t
rep,
TC
P 120
~
20
fUr Einbau in Sc
20
for
installation
cabinet
pour
int
-
egrat
-
•
~-"
"
haltschran
in
switching
ion en rack
k
3
1.2
Technische
Daten
1.2
Technical
Data
1.2
Caracteristiques
techniques
Antriebselektronik
AnschluQ,spannung
Leistungsaufnahme
Ausgangsspannung,
Hochlaufstrom
Nennfrequenz
Kontaktbelastung,
Ohmsche
Induktive
Belastbarkeit
0-10
(10
V ~
Verzogerungszeit
Werkseinstellung
Hochlaufzeit
Zul.
Umgebungstemperatur
Kabellange
Gewicht
11
------------~--~
± 2 % Rated
Last
Last
des
V-Ausganges
Nenndrehzahl)
11
Pumpe-TCP, max.
bis
90%
der
50-60
Hz
ca.
K 1
und
K2
Nenndrehzahl
Electronic Drive
Connected
Power
Output
Run-up
Contact
Ohmic
Inductive
Rating
0-10 V output
(10
Time
Factory
Run-up
Permissible
Cable
Weight
voltage
input
voltage,
current
frequency
load,
load
load
of
V ~ rated
lag
setting
time
length,
K 1
rotation
11
ambient
pump-TCP, max.
Unit
50
60
Hz
----------=-
approx.
± 2 %
----
and
K2
speed)
temperature
1)
to
90 % of
rated
Commande
Tension
Puissance
Tension
Courant
Frequence
Charge
Charge
Charge
Capac!ts
sortie
(Vitesse
Temporisation
Reglage a I'usine
Temps
en
regime
Temperature
Longueur
Poids
rotation
electronique
de
branchement
absorbee
de
sortie
de
montee
nomina!e
de
contacts,
ohmique
inductive
de
charge
0-1
° V
nomina!e ~ 10
de
mantee
11
ambiante
de
dible
speed
50
60
par
env.
Hz
± 2 %
K1
et K2
de la
V)
----------~--~~----
TPH/TPU
TPH
TPH/TPU
TPH/TPU
admissible
pompe-TCP
062
190
240
330
max.
------------c-----rc-------------
11
a
90%
de
la
vitesse
nomina
Ie
I'-
~
0
Fig.2
TCP
120,
2)
Einbaugerat
Minimaler
Notizen / Notes
Abstand
zur
280
2m
Wand
~
r-
1>
TCP
2)
Minimum
120,
73
built-in-unit
distance
C40
o
o
o
3"
to
wall
TCP
120,
2) Ecart
appareil
minimal
encastrable
par
rapport
au
mur
4
1.3
Eleldrischer
Fig. 3. Fig. 4
AnschluB
1.3
Electrical
Fig. 3, Fig. 4
Connections
1.3
Branchement
Fig. 3, Fig. 4
electrique
1.3. 1
Netzanschlu!3
Der
NetzanschluB
chen
Bestimmungen
Die
Antriebselektronik
Netzspannungen
60
Hz
ohne
Umschalten
men
ausgelegt.
nach
Fig. 3
oder
1.3.2
Ein-
und
Anschlusse
-
Netz
-
Verzogerter
Unverzogerter
-
-
Verriegelung
Stand·by
-
-
Externer
-
Flutventil
gerten
der
Nenndrehzahl.
Nach
wahlweise
6
oder
TCF
103
30
Minuten
gesetzt
Betriebsanweisungen:
TCF
103.
TVF
012,
1.3.3
1.3.3.1
-
Verz6gerter
laufphase.
an
Steckkontakt
Kontakt
Gerates
-
Nach
gerung
zeit),
Drehzahlschaltpunkt
bzw.
- Bei
Storung
drehzahlregelung
Sicherheitsregelung
Drehzahl>
Kontakt
teuerung
an
Schaltkontakt
Schaltkontakt
K2
Schalter
TSF 012, Pos.
Fluten bei ca.
Schaltplan
ein
Flutventil
ein TVF
zum
verzogerten
nach
werden.
PM
800
PM
800
Uberwachung
Oberwachungsrelais
Schaltkontakt
Potentialfreie
K2
wird
geschlossen.
Ablauf
der
(Oberbruckung
6ffnet
der
unterschritten
der
105
K2
wird
eingesetzt.
ist
nach
den
auszufuhren.
TCP
120
von
100 -240V,
oder
Umklem-
Der
NetzanschluB
Fig. 4 auszufOhren.
Ausgange
der
Messerleiste
K2
Kl
6:
zum
20 % bis
PM
021
012
mit
dem
Abschalten
196
126
X4/b5
beim
Einschalten
eingestellten
der
Kontakt
nicht
wird.
elektronischen
schaltet
ab,
50
793·S
TSF
012,
Flutsteuergerat
Fluten
BD.E.F
BD,E,F.
K2
zur
Hoch-
Signalisierung
und
X4/b4.
Verz6-
Hochlauf-
K2,
wenn
erreicht
K2
uber
wenn
die
% ist.
fur
die
Pumpstands-
ortli-
ist
fur
50-
ist
X4:
verzo-
%
kann
Pos.
bis
ein-
des
der
End-
eine
-
- Delayed
-
-
-
- External
-
Der
- Delayed
-
-
-
1.3. 1
Mains
Connection
be
made
regulations.
The
been
100 -240
changeover
Connection
be
1.3.2
Connections
connector
Mains
Instantaneous
Interlock
Stand·by
Venting
delayed
50 % of
According
PM
TSF
Venting
optionally
delay
ing
Operating
TCF
TVF
1.3.3
1.3.3.1
phase.
pin
contact
switched
After
(bridging
K2
point
speed
When
electronic
trol,
trol
Contact
unit
in
Electronic
designed
made
as
Inputs
Switching
K2
switch
valve
venting
the
021
793
012,
Item
Control
be used
of
up
off.
instructions:
103,
PM
012,
PM
Monitoring
Monitoring
switching
Potential-free
contacts
K2
on.
expiry
of
opens
if
is
not
drops
there
ultimate
K2
switches
if
the
rotation
K2 is used
control.
X4:
to
closes
Connection
to
the
mains
compliance
Drive
for
V,
to
the
reached
mains
50 -60
or
terminal
to
the
mains
shown
in Fig. 3
and
Outputs
on
the
male
Contact
Switching
TSF
012.
at
approx.
rated
rotation
Wiring
·S, a Venting
6,
or
a TVF
Unit
for
30
minutes
800
196
800
126
Relay K2
contact
X4/b5
and
when
of
the
preset
the
run-up
rotation
below
is a
or
this
malfunction
rotation
off
via a
speed
for
supply
with
local
Unit
TCP
voltages
Hz
without
reconnection.
supply
or
multipoint
K2
Contact
Item
6:
20 % to
speed.
Diagram
Valve
012
TCF
103
venting
after
BD,E,F
BD,E,F
for
signal
output
X4/b4.
the
unit
delay
time),
speed
if
the
rotation
pOint.
in
speed
safety
is>
the
pumping
must
120
has
of
must
Fig.
4.
Kl
for
with
may
after
switch-
run-up
at
The
is
time
contact
switch
the
con-
con-
105
%.
-
-
-
-
-
-
- Vanne
a
-
- A
-
-
1.3.1
Branchement
Le
branchement
effectuer
tions
La
est
de
mutation
raccordement
tuer
1.3.2
Au
sont
Secteur
Contact
mande
Contact
mande
Verrouillage
Stand·by
Interrupteur
Pos.
d'env.
nominale.
Une
pos. 6 ou, au
appareil
I'air
conformement
connexions
temporisation
30
Instructions
TCF
TVF
1.3.3
1.3.3.1
Contact
mande
tion.
aux
contact
che
I'expiration
sation
Ie
ration),
point
n'est
En
tion
tion
une
vitesse
Le
contact
mande
conformement
locales
commande
conc;ue
100 a 240
conformement
connecteur a fiches
raccordes:
6:
vanne
TCF
minutes
103,
012,
Surveillance
Signalisation a potentiel
connecteurs
de
de
pas
cas
electronique
finale,
regulation
en
electronique
pour
V,
ni
permutation
au
Entrees
de
20 a 50
fixee
de
et
de
commutation
temporise
de
commutation
non
temporise
K2
externe
remise a I'air
pour
remise a I'air
% de la
de
remise a I'air
choix,
de
commande
103
peuvent
PM
de
apres
de
PM
800
PM
800126
Relais de
de
commutation
temporise
K2 se
ferme
I'appareil.
de
(duree
Ie
contact
commutation
atteint.
derangement
K2
est
de
de
rotation
K2
est
du
groupe
vigueur.
au
021
service:
X4/b5
la
sur
secteur
sur
secteur
aux
des
tensions
50/60
Hz sans
de
secteur
sorties
K2
schema
remise a I'air
mise
surveillance
en
de
mis
securite,
affecte
de
est a effec-
aux
Fig. 3
males
de
de
Kl
TSF 012,
vitesse
une
TVF
de
etre
793
-S
hors-circuit.
196
BD,E,F
BD.E,F.
de
phase
et
a la
mise
duree
de
de
la
phase
K2
s'ouvre
de la
de
la
vitesse
hors
surpasse
a la
pompage.
temporise
TSF
remise
montees
de
d'accelera-
X4/b4.
la
circuit
des
est
a
prescrip-
TCP
120
secteur
com·
bornes.
ou
X4
comcom-
012,
012
pour
jusqu'a
K2
com-
neutre
en
mar-
tempori-
d'acce-
si Ie
vitesse
regula-
de
que
105
com-
Le
4.
avec
a
une
Le
rota-
par
la
%.
5
- Die
Verzogerungszeit
kung
der
Hochlaufphase ist
von 1 bis
- Die
senen Rezipiente
kuu
30
Minuten.
Hochlaufzeit
mpumpe und
ist vom
nvolum
der
abhiingig_
-Die
Werks
eins
ca. 8
Pote
Minut
ntiom
tellung
en an
eter R
Potentiom
199
Verzogerungszeit:
- Verriegelung K2:
In bes
timmten
Gase
inlaB
weiteren
funktion
SO
zwischen
X4/a5
unterbund
zahluberwachung bleibt
Einsatzfallen, z.B. bei
oder
durch
Volumens,
Hochlaufphase
Steckkontakt X4/a4 und
en
zur Ube
rbruk-
einstellbar
angesc
en,
der
Turbopumpe
betr
ogt
eter R
longer
kurzer
~
,--....
Zuschalten
kann
die
Schalt-
du rch
werd
en. Die
aktiv
.
hlo
s-
Vorva-
199
eines
Schalter
Dreh-
- Th e
time
phase can be set
utes.
- The
run-up
rec
ipient
and the
- The
utes at
turbo pump
factory
potenti
.
Potentiomet
Delay
time
- K2 interlock:
In
certain
gas
inlet
the
run-up
can be
su
SO
between
X4
/a
5. Rotation speed
remains
lag
for bridging
fro
m 1
tim
e is a
volume, the
sett
ing is <lpProx. 8
ome
ter R 199
er R 1
99
: l
onge
r....----...
shorter ..---.....
applications,
or
by
adding
phase switching
ppr
essed
by
pin co
ntacts X4/a4 and
activ
e.
the run-
to
30
min
functi
on of
the
backin
g p
ump
connected.
min-
.
for
instance
another volume
function
means
of
swi
monit
oring
~--
.T
PH I
rn'ffiil
8
llinlnHnln~X5
ELECTRONIC
up
- La
-
-
- L'e
- Verrouillage K
for
,
tch
- - --
U060190.
temporisation
pha
se
d'acceh~r
a
30
minutes.
Le
temps
d'acceleration
vo
lume
du
maire
et
de
lement
minutes
8
ote
ntiometre
P
Temporisation: plus
pour
atio n
est regl able de 1
rec
ipi
ent, de la pompe
la
pompe turbo
est regie d'usine a
au
potentiometre R 199
R 1
99
longue""--'"
plus co
2:
Dans
cert
ains cas
exe
mpl
e en cas
par conjoncti
fonction
l
eratio
t
err
X4/a4
v
ite
-------,
240
:
eH-
TCPl20
de
n"
peut
upteur
SO entr
et X4/a5.
sse de
rotation
330
-X8
·
~
S I
d'u
tilisation, par
d'admission
on d'
un
autre volum
commande
etre verrouillee
e les
La surveillance de
reste active.
-
--
la
durs
e de
la
depend
du
pri-
en place.
enviro
.
urte
..--...
de gaz au
e, la
"phase d'acce-
par
I'in
connecteur
s
~
n
-
la
_
Fig. 3
1 Net z
rcp 120
6
8 Kabel TCP-T
9 Dr eh
SO V
S 1
S3
S9
S~"
R
199
bl /
b5
F1
F2
H1
H2
X4
t.
...
1.
/b3,
a3
b4
Flutventd
Netzsc:halter EIN/
Re
Stand-by
Extemer Sc
Potent io
Sch
Verzogert
Si
Sicherung
LED,
LE
zah l
M
mit
TSF 01 2
za
hl
Anal
err
iegelun9
set
meter Hochlau
altkontak
er
chen
lll
g 2,5 AT
Pumpe
D,
Drehztlh
~~serIClste
6
Stand
ard-Anschlu~
urbopump
ogau!>gang
Relais
K2
AUS
haller
t Relais Kl
Sdw
llkoll
0,2
AT
beschleuni~l
l ~ 50
% Ne
(Einga
ng TC
--
---
e
fzelt
ta kl K2
nndre
P)
PI"
1
6 VenLing Valve TSF
8 Cable bet
9 Analog
SO
S 1
S3
59
"Sut
," Ext erni'l l switch
R199
hl /a 1,
a3
b5/b3, b4 Dela
Fl Dela
F2 Deli'lyed action
Hl
h-
H2
X4 M
l N
~
,
rcp
120
MOlin
Int erloc
Mains switch
Res
Stand
Potenti
Switch
LED,
LED roLation
rotati
(input
wit
5
we
output ro
kin
g RelilY K2
eL
by
om et
ing contact, Relay Kl
ye
d Sw
yed l'I
cti
purnp
on S
j"l
Tep
eF!
)
ille multipoin
h 5
t<.H1d
ard conn ec
012
en TCP
and
tati
on
ON/ O
FF
er
run·up
itc
hing Cont
on
fuse
2.5
fuse
0.2 A
ilccclerating
spe
ed ~
d
t c
onne<;
tur
5peed
tim
act K2
A
50
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10;
04 0#1
r I
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pump
rated
-
F.-+
2
1
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S 1
S3
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R199
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F1
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X4
--
R199
4
fl---\-i--
"
01
03
TSF
012
PM
021707-S
rcp
120 <Jvuc conncxion
Sectcur
Vanne d e re
Ciible
Son
ro
tati
V
erruuill
Interrupte
MARCHE/ARRET
Reset
ta
nd-
S
Potentiometrp. temp!> d'acceleration
.. 3
Contflct
b4
Contact temp
Fusible
Fusible acti on reta
DEL, pom!"!e Accel ere
DEl, vite
50 % de la vit
COllner..;la
(
entree Tep)
TCP-p
ie ana
on
by
rupt
ur..;ti
logique
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ur princ
eur cxte
rFl
lais Kl
sse de r
ur : ..
mise
ompe
rclai s K2
rne
orise K2
on rc ta rdl': 2,5 A
otation
l:lS5e
fiches males
-------
standard
a I'air TSF 01 2
turbo
vitesse de
ipfl l
rde
0,2 A
au
..
nomin
ale
--
b1
h,I
':'
de
1.3.3.2
Unverzogerter
phase.
Uberwachungsrelais
Potentialfreie
8teckkontakt
-
Kontakt
Drehzahlscha
-
Der
Schaltpunkt
Turbopumpe
drehzahl
andert
K1
nen
und
werden.
enthalt
zur
Steuerung
einen
-
Meldung
benutzt
werden
Schaltkontakt
X4/b 1 und
Kl
schliefM
Itpu
ist
auf
eingestellt,
zwei
Kontakte,
externen,
"Pumpe
kann.
Signalisierung
X4/a3.
nach
Erreichen
nktes.
fOr
die
Drehzahl
50 % der
er kann
einen
der
Pumpenheizung
der
z.B. bei
betriebsbereit"
K 1
Hochlauf-
der
Nenn-
nicht
ver-
inter-
einer
-
am
des
-
-
-
1.3.3.2
Monitoring
Instantaneous
run-up
output
phase.
at
pin
X4/a3.
Contact
speed
Contact
to
and
Kl
for
one
be used
tionally
Kl
switch
K 1
50 % of
cannot
contains
regulating
external
for
ready".
the
Relay Kl
switching
Potential-free
cont()cts
closes
when
point
the
is
rotation
for
rated
be
varied.
two
contacts,
the
pump
which,
for
the
message
contact
X4jb
the
attained.
rotation
one
heating
example,
"Pump
for
signal
1 and
rotation
speed
speed
internal
and est
can il ne
opera--Kl
1.3.3.2
-
Contact
mande
celeration.
neutre
Relais
de
de
non
surveillance
commutation
temporise
en
Signalisation a potentiel
aux
connecteurs
X4jbl
de
com-
phase
K1
d'ac-
et
X4/a3.
-
Le
is
set
Ie
point
de
rotation.
--
Le
point
vitesse
fixe a 50 % de
comprend
interne
fage
contact
qui
pourra
signal
de
de
de
peut
pour
des
"pompe
pompes
K1
ferme
commutation
commutation
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de
la
etre
modifie.
deux
la
commande
et
etre
utilise
prete
apras
de
pour
la
pompe
vitesse
cont8cts,
du
un
autre,
p.ex.
au
fonctionne-
avoir
atteint
la
vitesse
la
turbo
nominale,
I'un
chauf-
externe,
lors
d'un
ment".
1 N
2
L
E
__
TZK350
450W
57
-
r2[
C;;-\
52_
1
~-v--\
51
\
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F1
S3lS
ex
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S9
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-
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~llfdJ3
b2
bl
~6
b6b5a7
8
Inn+IHHU
F
tl
L U E H J K L N F
TPH
I U
060.190.2-10.330
':i
b7
N
t'
b6
TCPl20S
~~b8
,it
v
~I
,6
150W
r:J..
(]S
(]7
7
6
TSF
M
O,55KW
5
0,2
f-
11ov,·mv
1'"
b2b5(]5blu2a6
TCF
103
.f.~6
b~
b5
L .J
~
TVFO,2
3
+
X6
X7
max
180W
4
Fig.4
TCP
120
und
Komponenten
1
Netzanschlul3
2
Kuhlaggregat
Luftkuhlung
3
Flutventil
4
Helzung
5
Vorvakuumpumpe
6
Flutventil
7
Flutsteuergerat
8
KClbel
9
Frequenz-Analog,wsg<.lng
SO
Verriegelung
S1
Pumpstand
S2
Heizung
S3
Reset
57
Hauptschalter
S9
Stand-by
Sex!
Externer
F1
Sicherung
Sicherung
F2
K10
Relais
mit
Verriegelung
rVF
Turbopumpe
TSF
TCP-Turbopumpe
EIN/AUS
Schalter
4 AT
10
Vorpumpe
bauseitigem
der
angeschlossenen
durch
Relals
TZK
350
012
012
TCF
Relais K2
AT
Anschlul1
K 1
oder
und
K2.
TCP
120
and
interlocking
connected
1 M<lins
2
Cooling
3
Venting
4
Turbo
5
6
7
8
9
SO
51
S2
53
S7
S9
"Sext."Exterr1<.11
Fl
F2
K
10
pump
Backing
Venting
Venting
Cable
between
Analog
Interlocking
Pumping
Heoting
Reset
Main
switch
Stand-by
Delayed
Delayed
Relay,
with
customer
by
relays
connection
Unit
TZK
Valve
TVF
heating
pump
Valve
TSF
Control
TCP
output,
frequency
Relay K2
unit
ON/OFF
switch
action
action
fuse
backing
pump
of
components
Kl
and
350
or
012
012
Unit
TCF
<.Ind
fuse 4 A
lOA
connection
K2.
Clir
cooling
turbo
pump
TCP
Ie
raccordes
1
Raccordement
2
Systeme
au
2
Vanne
4
Ch<lufbge
5
Pompe u vide
6
Vanne
7
Appareil
a
I'air
8
CJble
9
Sortie
50
Verrouillage
S1
Groupe
S2
Chauffage
S3
Reset
S7
Interrupteur
89
Stand-by
Sex!
Interrupteur
F1
Fusible
F2
Fusible
Kl0
Relais
PM
120
avec
client
refroidissement
de
de
TCF
TCP-pompe
<.Iflulogique
pompe u vide
connexion a fournir
et
verrouillage
par
les
secteur
de
refroidissement
remise a I'air
pompe
primaire
remise
de
commande
relais
de
pompage
principClI
p.xterne
action
retardp. 4 A
Clction
retarde
021
793-8
des
relais
Kl
et
par
air
TVF
turbo
il
1'<.Ilr
turbo
frequence
K2
012
TSF
012
de
remise
MARCHE/ARRET
10
A
primaire
par
ensembles
K2
TZK
350
7
7.3.4
AnschluB
Fig. 5
-
Anschlu~kabel
verbindung;
100
Meter.
- Das
Anschlullkabel 8 verbindet die
Tep
mit der
Tep
und
X8
schlossen.
- Stecker
Einstecken verriegelt bzw. vor
Trennen entriegelt werden.
- Verriegelung
legen und
anschrauben.
- Verriegelung
des Bajonettverschlusses Schraube
nur leicht anziehen.
- Die Verriegelungsteile werden als Beipack rnitgeliefert.
1.3.5
X5
Luftkuhlung
Fig. 6 - The air cooling fan voltage for
- Bei den TPH/TPU
muB die LuftkGhlung gemal'!, Netzspan-compatible
nung
- Die
ausgewahlt
Ventilatoren
fUr
110
V,
elektrische Anschlul'!, erfolgt nach shown
Turbopumpe -
8 beidseitig
maxima
Turbopumpe.
an der
und
mit
Ie
Kabellange
Turbopumpe
X8
mussen nach dem
X5:
Verriegelung
Schneidschraube
X8:
Nach dem Einrasten
062.
190
TCP
mit
Steck-
X5 wird am
ange-
dem
16
ein-
17
und
240
werden. - The fans
fur
50 -60
TPH/TPU
Hz ausgelegt. Der trical connection must be
330
sind designed
1.3.4 Connection Pump Fig. 5 Fig. 5
- Connecting cable 8,
connector on both ends,
cable length
- Connecting cable 8 connects the TCP -
with
the
turbo pump.
into the
pump. connecteur
- Plugs
after plugging in, or unlocked before sont a verrouiller apres enfichage et a
disconnection. deverrouiller avant deconnexion.
- Interlock on
tighten using self-tapping screw
- Interlock on
catch has locked, tighten screw
18
slightly. rement
- The interlocking components are sup- - Les elements de verrouillage font
plied separately
1.3.5
TCP and
X5
and
Air
Cooling
Fig. 6
TPH/TPU
062,
for
for
in
Fig.
Fig. 6. - The supply cable
- Die Zuleitung
(PE,
L,
Steuerung,
angeschlossen.
fOr
die Ventilatoren
N) wird je nach AusfGhrung
gemaB
den Schaltplanen diagrams.
der
is
connected, depending on
of
the
control,
TCP
with
plug-type -
maximum
100
meter. maximale
X5
is
plugged
X8
into
the
turbo
X8
must be interlocked -
X5:
Insert interlock
X8:
after the bayonet - Verrouillage
with
the
16
and - Verrouillage
17.
18
unit. tie de la fourniture.
1.3.4
Cable
teur des deux cotes; longueur de cable
Le
la
ment
Le
16
joint a ba"ionnette, ne visser
1.3.5
with
the
110
6.
as
190
and
the
mains voltage.
TPH/TPU
V,
50 -60
for
the
shown
240
must
330
Hz. Elec-
made
fans
(PE,
the
in
the wiring
the
are
as
design
- Pour les THP/TPU
be
refroidissement par air est a choisir
conformement a
-
Les
sont coneus pour
branchement electrique est a effectuer
selon
L,
N)
-
Le
teurs
mement
selon Ie type de
Connexion
de raccordement 8 avec connec-
cable de raccordement 8 raccorde
TCP avec la
au connecteur
connecteur
et visser avec
la
vis
Refroidissement
pompe
100
metres.
pompe
X8
X5
X5:
X8:
18.
turbo. Raccorde-
X5
de
apras encliquetage du
de la TCP et au
la
pompe
et Ie connecteur
placer Ie verrouillage
la
vis Parker
par
turbo -
turbo.
que
air
TCP
17.
mode-
par-
Fig. 6
062,
190
et
240.
la
ventilateurs
la
Fig. 6.
cable d'alimentation des ventila-
(pE,
L,
aux schemas de connexions,
tension du secteur.
pour
la TPH/TPU
110
V,
50/60
N) est a raccorder confor-
commande.
330
Hz.
X8
Ie
Le
Notizen / Notes
8
"
-
16
11
l:Eit--
.
~
- 1e
19
•
- J
-
1
f
,
~
)(5
Fig.5
8
AnschluBkabel
16 Verr
ieg
elun
17 Schneidschraub
18 Schraub
19
Bajonett
X5
Stecker
X8
Stacker
g
e
verschlu
rep
Turbopu
PE
II
N
Jr;
PE
Ll N
e
B
rnpe
II
X8
8 Connecting
16
Interlock
17 Self-tapping screw
16 Scr
ew
19 Bayonet catch
X5
Plug
Tep
XB
Plug
turbo
Bei
110 V Netzspannung
At
mains
v
oltage
Pour
tellsion
Bei 220 V Net
At
mains volta
Pour tonsion
of
du
nas
zspannung
ge
of 220 V
du
res8ilu
cilole
rum
110
eau
p
V
de
de 2
110
20
8 Cable
16 V
17
18
19
X5
XB
V
V
de raccordement
errauilla
Vis
Parker
Vis
Joint
a bai
Conn
ecteur
Connec
teur
ge
"onnelte
Tep
pompe
turbo
Fig.6
9
1.4
Betrieb
1.4. 1 Einschalten
1.4.1.1 Einschalten TCP-Turbopumpe
ohne
Komponenten
AnschluB
- KOhlwasserzufuhr fUr
dem
kontrollieren.
-
Mit
Gerat
-
Vorvakuumpumpe
-
Vorvakuumventil
(15-30
schiebervakuumpumpen
Ventil
Einschalten
1.4.1.2
AnschluB
-
Kuhlwasserzufuhr
dam
kontrollieren.
-
Vorvakuumpumpe
werden
gan
-
Vorvakuumventil
(15-30
schiebervakuumpumpen
Venti I integriert.
Einschalten
-
1st
ein
schlossen,
pumpe
- Das
Einschalten
-
1st
ein
Flutventil
ten
PM
-
Heizung
1.4.2
Ausschalten
Die
einem
Kontakt
nik
Bei
S1) kann die Pumpe
nen
10
mA.
Schalterkontakt
Schalterkontakt
geschaltet
gemaB
Einschalten
Schalter
ein-
Sekunden).
inte9riert.
Einschalten
gemaB
Einschalten
mit
Steuerung
Sekunden).
Kuhlaggregat
eingeschaltet.
Flutventil
Flutsteuergerat
TVF
Sie
bitte
800
196
mit
Fig.
offnen
S 1 (bauseits)
und
ausgeschaltet.
einschalten.
affnet
Es
automatisch.
Fig.
fUr
offnen
und
Schalter
ein-
affnet
Es
automatisch.
wird
dieses
TSF
012
der
Turbopumpe
012
eingesetzt,
Betriebsanweisung
BD,E.F.
Schalter
Fernbedienung
mittels
Antriebselektronik
Eingang
ausschaltet.
eingeschalteter
Schalter
zwischen
mit
X4/a5
werden.
ausgerustet,
die
Sext
..
Schaltleistung
X4/a5
Sex!
Sext
3:
Turbopumpe
und
DurchfluB
wird
verz6gert
In
Pleiffer-Oreh-
ist
dieses
Offnet nach
Turbopumpstand
4:
Turbopumpe
und Durchfluf3.
Turbopumpe
51
der
bauseiti-
und
ausgeschaltet.
verz6gert
In
Pfeiffer-Dreh-
ist
affnet
TZK
extern em
TCP
ubereinen
offen
geschlossen
dieses
nach
350
ange-
mit
der
Turbo-
schlie~t
sofort.
TCF
103
beach-
S2
einschalten.
Schalter:
TCP
120
der
Antriebselektro-
120
(Schalter
und
X4/b7.
ein-
und
das
dem
vor
dem
beim
mit
ist
mit
bei
exter-
bei
aus-
vor
bei
- Open
- The
-
- The
-
- The
- The
-
-
-
-
1
.4
Operation
1.4. 1
SWitching
1.4.1.1
Switching
Pump
Connection as
the
cooling
turbo
pump
for
flow.
unit
is
switch
Start
delay
incorporated
vacuum
after
1.4.1.2
51
the
backing
fore
vacuum
of
15-30
pumps.
starting.
Switching
Pumping
switched
(customer's
Connection as
Open
the
cooling
pump
turbo
for
flow.
backing
switched
the
delay
incorporated
vacuum
after
If a Cooling
nected,
with
Venting
diately
If a Venting
Venting
please
PM
Switch
1.4.2
Switching
The
an
when
When
the
external
acity
X4/b7
and
sed.
on and
customer's
fore
vacuum
of
15-30
pumps.
starting.
this
the
turbo
Valve
when
Valve TVF
refer
800
196
on
the
Remote
off
Electronic
input
which
contact
the
TCP
pump
can be
switch
1 0
mA,
with
off
with
switch
on
on
the
TCP-
Turbo
without
shown
before
in
shown
before
pump
control.
seconds.
in
Unit
is
switched
pump.
T5F
the
Control
to
Operating
BD.E.F. -
heating
Components
in Fig.
water
starting
on and
side).
pump.
valve
pfeiffer
It
opens
on
Unit
opens
the
seconds.
in Fig.
water
starting
and
off
at
switch
valve
opens
Pfeiffer
It
opens
TZK
350
012
turbo
pump
Unit
012
at
3:
supply
for
the
and
check
off
at
after
This
rotary
automatically
Turbo
supply
and
turbo
This
rotary
automatically -La
is
on
together
closes
TCF
is
employed,
Instructions
switch
a
valve is
vane
4:
for
the
check
pump
are
S1
of
after
a
valve is
vane de
con-
imme-
is
started. -5i
103
with
S2.
Control
via External
Drive
switches
is
made
120
switched
"5ext.",
between
contact
switch
Unit
TCP
off
with
is on
(switch
switching
X4/a5
contact
Switch
120
has
the
unit
X4ja5.
S 1)
on via an
cap-
and
"Sext". open
"Sex'-"
clo-
1
.4
Mise
en
1.4. 1
Mise
en
1.4.1.1
Mise
turbo
Branchement
-
Ouvrir
I'amenee
sement
mise en
-
L'interrupteur
mise en
-
Mettre
maire.
La
porise
deja
rotatives a palettes
s'ouvre
en marche.
1.4.1.2
pour
marche
marche
en
marche
vanne de
mantee
vide
(15-30
automatiquement
Mise
pompage
Branchement
-
Ouvrir
I'amenee
sement
mise en
-
La
pompe
arrEHees
parise
deja
rotatives
vre
che.
TZK
clenche
marche
La
ferme
marche
-
En
commande
avec vanne de
se
PM
Mettre
terrupteur
1.4.2
Mise
rupteur
la
est
necte la
cas de
pour
marche
pompe a vide
turbo
au
moyen
la
commande
vanne de
montee
automatiquement a la
un
350
vanne de remise a
cas
referer
800
vide
(15-30
a palettes Pfeiffer. Elle
systeme
est deja relie,
automatiquement a la
de la
immediatement
de
la
de
montage
de remise a
aux
196
Ie
chauffage
52.
Te/ecommande
hors
circuit
externe:
commande
equipee
d'une
commande
contact
oeuvre
marche
en
marche
sans
selon Fig.
de I'eau de
la
pompe
et
S1
et
secondes). Celle-ci
dans
en
marche
selon Fig.
de I'eau de
la
pompe
at
primaire
sont
fournie
primaire
secondes). Celle-ci
dans
de
pompe
pompe
remise a I'air
instructions
BD.E,F.
au
electronique
avec
TCP
composants
3:
refroidis-
turbo
contr61er
(externel
I'arret
la
pompe a vide
primaire
les
Pfeiffer. Elle
turbo
Ie
permet
de
I'appareil.
ouvert
pompes a vide
a la
du
groupe
4:
refroidis-
turbo
controler
mises
de
les
refroidissement
turbo.
turbo.
d'un
en
moyen
entree
electronique
X4/a5.
Ie
ainsi
en
marche
l'interrupteur
par
Ie
ouvert
pam
pes a
mise en
celui-ci
I'air
TSF
a la
mise
appareil
l'air
TCF
TVF
de service
circuit
d'un
TCP
qui
decon-
pompe
avant
debit.
tem-
est
mise
avant
debit.
que
client.
tem-
est
vide
s'ou-
s'en-
mise
012
en
de
103
012,
avec
inter-
120
en
la
la
pri-
a
de
la
la
et
S1
mar-
en
se
l'in-
10
Quand la
TCP
la
moyen
puissance de
X4/a5
tation
arretee avec
de
commande
120
(interrupteur
pompe
peut
d'un
et
X4/b7.
de
commande
commande
electronique
etre
mise en
interrupteur
rupture
contact
Ie
contact
ferme.
10
etant
de
Sl)
est activee,
marche
externe
mA
entre
de
commu-
ouvert,
commutation
au
Sext.
au
Achtung!
Storungsmeldung
kontakt
erfo/gen.
muS
durch Schlie/3-
Please note:
Malfunction
via
a normally open contact.
messages
must
be
made
Attention!
Le
signal
feeluer
par
de
derangement
contact
de
devra
travail.
s'ef-
M6gliche
Schalter
S1
EIN
EIN
AUS
AUS
1.4.3
Schalterstellungen:
Schalter
Sex!
AUS
EIN
AUS AUS
EIN
Funktion
Stand·by
Fig.4
-
Stand-by
(Schaltkontakt
(Schaltkontakt
- Die
66 % der
oder
AUS)
-
Wird
beschleunigt
wird
Turbopumpe
Nenndrehzahl
mit
der
Nenndrehzahl
belrieben
Stand-by
die
mit
geschlossen)
offen)
kann
werden.
ausgeschaltet,
Pumpe
zahl.
7.4.4
Reset
8ei
Storung
der
Turbopumpe
von K2
die
Pumpe
Die "Reset
wird
die
uber
unterbrochen.
erneut
gestartet
-Funktion"
durch:
-
Wegnahme
Zeit
~ 2
ler
S 1.
-
Betatigung
der
Netzspannung
Sekunden,
des "Reset-Tasters"
eine Zeit ~ 2 Sekunden.
Bei
Aktivierung
"Reset"-Taster
5pannung
von
53
versorgt
mu13
geschlossen).
1.4.5
Betriebsanzeigen
Die TCP
gen
LEO
LED
120
ist
ausgerustet.
H 1
gelb ~ Pumpe
H2
grun ~ Drehzahl
mit
Nenndrehzahl.
Beim Erreichen von
drehzahl
Normalbetrieb
grune
An den
und
zahl als
10 V entspricht
zahl
Bei
nung
erlischt
LED.
Sleckkontakten
X4/b6
(0·10
Analogsignal
der
Turbopumpe.
Storung
und
erl6schen
die
leuchtet
V)
immer
vorhandener
beide
arbeitet.
Schalter
59
EIN
oder
geschaltet.
wahlweise
(Stand-by
(Stand-by
auf
Nenndreh-
Stromversorgung
einen
Kontakt
Mit
"Reset"
werden.
wird
aktiviert
fur
z.8.
mit
Netzschal-
S3
"Reset"
sein
mit
die
TCP
(5chalter
mit
zwei LED-Anzei-
beschleunigt
'"
50%
2:
50 % der
gelbe
immer
X4/a5
steht
zur
der
Nenn-
LED.
die
(0
die
Ist·Dreh·
Verfugung.
Nenndreh-
Span-
LEOs,
der
Pumpe
EIN
AUS
AUS
AUS
mit
EIN)
kann
eine
fur
51
der
1m
V)
Lutter
Possible
Switch
S1
ON
ON
OFF OFF
OFF
7.4.3
switch
Stand·by
Fig.4
_
With
the
stand-by
(switching
(switching
_ The
optionally
speed
lion
_
If
the
the
tion
1.4.4
In
the
ent
supply
rupted
K2. The
"Reset"
The
turbo
(Stand-by
speed
stand-by
pump
speed.
Reset
event
inside
pump
.
"Reset"
contact
contact
pump
at
66 % of
(Sland·by
accelerates
of a malfunction,
of
the
the
function
follows:
-
Interruption
period
with
mains
- Depressing
period
When
button
with
voltage
7.4.5
The TCP
Yellow
Green
When
speed is
extinguishes.
illuminates
The actual
at
plugs
(0·10
always
tion
speed
In
the
age being
uish, and
of
of
2: 2 seconds,
switch
the
of
2';;
2 seconds.
"Reset"
S3,
the
(switch
Operating
120
has
LED
Hl = pump
LED
H2 = rotation
2';;
50 % of
attained,
The green
in
standard
rotation
X4/a5
V) as an analog signal.
corresponds
of
the
event
of a malfunction
applied,
the
fan is operative.
positions:
Switch
"
"Sex!
OFF
ON OFF
ON
Function
function
closed)
open)
can be
ON)
function
turbo
unit
can be restarted
the
mains
S 1.
"Reset"
is
activated
rep
must
Mode
two
~
50 % of
rotation
the
the
speed is available
(OV) and
to
turbo
both
ON
or
at
switch
operated
the
rated
or
at rated
OFF).
is
switched
to
its rated
pump
via a
contact
is
activated
voltage
for
example
button
via
be
51
closed).
Displays
LED
displays.
accelerating
speed
speed
rated
rotation
yellow
LED
operation.
X4/b6
the
rated
pump.
LEOs
OFF
the
is
supplied
rated
LED
always
10
and
exting-
Pump
ON
OFF
OFF
59.
rotation
rota-
off,
rota-
curr-
inter-
of
using
as
for
S3
for
"Reset"
V
rota-
volt-
Possibilites
de
l'interrupteur:
Interrupteuf Interrupteuf
S1
MARCHE
MARCHE MARCHE
ARRET ARRET
ARRET
1.4.3
Fonction
-
-
-
a
- Une
a
-
Fig.4
Commuter
I'interrupteur
la
fonction
S9
commutation
ARRET
commande
La
choix a 66
ou a
(contact
pompe
la
vitesse
ouvert).
turbo
% (en
ARRET).
Si
la
fonction
circuit,
la
pompe
nominale.
1.4.4
Reset
En
cas de
contact
la
derangement,
du
K2.
pompe
en
courant
un
"Reset",
marche.
La
fanctian
coupure
pendant
une
"Reset"
de
periode
rieure a 2 secondes,
I'aide
du
commutateur
la
touche
au
En
"Reset"
verifier
men
1.4.5
"Reset"
moins
2 secondes.
cas
d'activation
avec la
que
tee
(commutateur
Affichages
/'electronique
d'explaitatian.
La
commande
est
equipee
des
luminescentes.
DEL
Hl
DEL
H2
Au-dela
nale,
norma
la
Ie,
jaune
verte
de
DEL
la
de
50
jaune
DEL verte est
mee.
La
vitesse reelle est
connecteurs
(0
-10
correspond
nale de
En
cas de
presente), les
et
Ie
ventilateur
V)
en
toujours a la
la
pompe
panne
X4/a5
signal
deux
positions
Sex!
ARRET
MARCHE
de
Stand·by
Stand-by
MARCHE
de
commande
de
commutation
peut
Stand·by
nominale
Stand-by
accelere a
etre
est
(contact
terme)
action
MARCHE)
(en
Stand-by
mise
la
vitesse
I'alimentation
moteur
Avec
la
peut
est
tension
d'au
par
est coupee
fonction
etre remise en
activee
du
secteur
moins
exemple
51,
S3
pressee
de la
touche
de
/'etat
electronique
deux
indicateurs a dio-
fonction
"Reset"
TCP
51
fermej.
TCP
durant
est
= Pompe accelere
= Vitesse de
dela de
vitesse
% de
s'eteint.En
(0
analogique.
turbo.
(Ia
tension
DEL
est
en
50
nominale.
la
vitesse
toujours
affichee
V)
et
vitesse
sont
marche.
rotation
% de
marche
aux
X4/b6
demeurant
eteintes
Pompe
MARCHE
ARRET
ARRET
ARRET
avec
de
ou
de
nee au
hors-
par
par:
inte-
a
53,
ali-
120
au
la
nomi-
allu-
10 V
nomi-
11
1.4.6
Schalterfunktion
S 1 0 1
Fig. 7
Auf
dem
ein
OIL-Schafter
Schalter
in
schaltpunkt
Schalter
Nach
schaltet
schaltpunkt
ist
Schalter
Sobald
erreicht
gesetzt.
beeinflufSt die
Verbindung
S101
Ablauf
K2 aus,
oder
unterschritten
S 1 0 1
der
Drehzahlschaltpunkt
ist,
wird
D.h. bei
Kl.
der
noch
Drehzahlschaltpunktes,
der
eingestellten
das
Gerat
safori
Achtung!
Die
Tep's
werden
S 1 0 1
ausgefiefert.
1.4.7
Abschaiten
-
Steuerprint
Turbopumpe
mit
der
Sl
TCP
01
angeordnet.
Hochlaufphase
mit
dem
Drehzahl-
offen:
Hochlauflaufzeit
wenn
der
nicht
uberschritten
wird.
geschlossen:
das
Zeitglied
Unterschreitung
auch
Hochlaufzeit.
ausgeschaltet.
mit
offenem
Schalter
schalten.
-
Vorvakuumventil
fer-Drehschiebervakuumpumpen
dieses
~
~
Venti
Kuhlwasserzufuhr
Vorvakuumpumpe
1.4.8
Verz6gertes
schlieBen. Bei
I in
der
absperren.
abschalten.
Fluten
Pumpe
Mit integrierter Flutoption:
Nach
Abschalten
das
Flutventil
Antriebsmotor
bopumpe
ginn
TPH/TPU
TPH
TPH/TPU
TPH/TPU
bei
folgender
190
gespeist
060
240
330
der
Turbopumpe
TSF
012
der
auslaufenden
so
daB
Auslaufdrehzahl
bei ca.
35
bei ca.
20
bei ca.
bei ca.
20
20
aus
% ~ 525
% ~ 200
% ~ 200
%
120
Drehzahl-
Kl
auf
des
innerhalb
wird
Schalter
S 1
aus-
Pfeif-
ist
integriert.
dem
Tur-
der
Flutbe-
~
200
ist
Der
Null
wird
ist:
Hz
Hz
Hz
Hz
1.4.6
Switch
Fig. 7
A OIL
switch
control
switch
connection
switch
Switch S 101
After
expiry
switches
not
yet
the
switch
Switch
WRen
the
Kl
has been
ment
is
tion
speed
point,
also
time,
the
off.
Please
note:
The TCPs are
S1010pen.
1.4.7
~
~
-
-
Switching
Switch
S1.
Close
the
incorporated
is
vane
vacuum
Shut
off
Switch
1.4.8
Delayed
With
integrated
After
the
the
Venting
from
the
the
turbo
place
at
tion
speeds.
TPH/TPU
TPH
190
TPH/TPU
TPH/TPU
Function
S1
01 is
PCB
of
with
K1.
open:
of
off
if
point.
closed:
rotation
attained,
to
zero; i.e.
drops
within
unit
is
the
the·
the
the
immediately
influences
point
exceeded
5101
set
supplied
the
fore
cooling
the
off
turbo
vacuum
in all
pumps.
backing
Venting
off
the
off
venting
turbo
pump
Valve TSF
running-down
pump,
so
the
following
060
at approx.
at approx.
240
at approx.
330
at approx.
TCP
the
rotation
run-up
rotation
nor
dropped
speed
below
the
preset
pump
Pfeiffer
water
is
that
S 1 0 1
arranged
120.
This
run-up
time,
switch
the
when
the
with
valve.
pump.
phase
speed
speed
below
timing
the
switch
run-up
switched
switch
at
switch
This
rotary
flow.
option:
switched
012
is
supplied
drive
motor
venting
run-down
35
%
~
20
%
~
20% ~ 200
20
% ~ 200
on
the
K2
has
point
elerota-
valve
off,
takes
rota-
525
200
in
-
-
-
-
of
Hz
Hz
Hz
Hz
1.4.6
Fonction
Fig. 7
La
carte
de
que
TCP
120
OIL 51 01
celeration
commutation
qui
K1.
Interrupteur
A
I'expiration
K2
deconnecte
tion
de
la
atteint.
vitesse
Interrupteur
Des
que
vitesse
ment
c'est-a.-dire
tation
pas
temps
deconnecte
Ie
de
rotation
temporisateur
de la
atteint,
d'acceleration
Attention!
Les cornman
sont
livrees
ouvert!
1.4.7
Arret
Couper
teur
Fermer
les
Pfeiffer,
la pompeo
Fermer
sement.
Couper
1.4.8
Avec
la
pompe
51.
la
vanne
pompes a vide
cette
I'amenee
la
pompe a vide
Remise
possibilite
gree:
Apras
mise
turbo,
la
vanne
TSF
012
est
de
la
pompe
tissement
a
I'air
commence a partir
suivantes:
de
l'interrupteur 5101
commande
dispose
influe
en
liaison
de
5101
du
51
point
que
vitesse
meme
immediatement.
des
avec
vanne
a rair
hors
alimentee
turbo
de
telle
d'un
sur
avec Ie pOint
la
vitesse
ouvert:
temps
si Ie
point
de
rotation
0 1 ferme:
de
commutation
Kl
est
se
si Ie
point
de
rotation
a.
l'interieur
fixe,
electroniques
l'interrupteur S 101
turbo
de
vide
rotatives a palettes
est
de
I'eau
temporise
de
remise
circuit
de
remise a I'air
par
en
phase
fac;:on
de
I'electroni-
interrupteur
la
phase
d'ac-
de
d'acceleration,
de
atteint,
remet
de
I'appareil
de
rotation
commuta-
n'est
pas
de
I'ele-
a zero,
commu-
n'est
du
TCP
avec
I'interrup-
primaire.
montee
de
primaire.
a rair
de
la
Ie
que
des
Dans
dans
refroidis-
inte-
pompe
moteur
de
ralen-
la
remise
vitesses
la
Notizen / Notes
12
TPH/TPU
TPH
190
TPH/TPU
TPH/TPU
060 a 35
a
20
240 a 20
330 a 20
% ~
525
%
~
200
% ~ 200
% ~ 200
Hz
Hz
Hz
Hz
~
u
RI97
RI01
RI02
NI01
I
CI03
NI02
I
• I
Pl01
+
~
U UJ +
R
103
~,
C107
CI08
RN101
<D
LH-
'"
ill
u
:H~!U""
"""7'1
Nle5 Nle6
RI_I
RI_2
RI43
Rl44
P102.
1
le:
-V123
,..c..i=<'-
DI03
-v
124
~
I
NI07
f?Tt:;:JS!Z
R155
RI5
N
RI51
u
RI5
RI5
RI5
X21
I
RI5S
VI
V121
RI59
RIS0
X23
I
Fig.7
Steuerprint
Control
PCB
Carte
commande
Notizen I Notes
SENSIBLES
'------
ACHTUNG
ELEKTROSTATISCH
GEFAHRDETE
BAUELEMENTE
IEGB)
ATTENTION
ELECTROSTATIC
SENSITIVE DEVICES
ATTENTION
LES
APPAREILS SO NT
AUX
ELECTROSTATIQUES
PHENOMENES
offen/upen/ouvert / ..
U€schlossen!closed/ferme
S101
:1:.]]
\:-
••
~
----
-'-
..
--9;.
U
.
-~
13
Abschnitt
2
Section
2
Section
2
2 Antriebselektronik
TCP
121
2.1
Aligemeines
- Die TCP
einschubgerat.
-
Aile
sich
- Die
des Gerates
-
FOr
das Gerat
-
Zur
das
eingesetzt. - The
- Die AnschlOsse
ausgelegt. - The
- Die Funktion
Betrieb
bei
- Die TCP
Grenzwert A.
121,
Fig. 8 ist ein Rack-Teil-- The
Bedienungselemente
auf
der
Anschlusse
ausreichende
Steuerung
Pumpstandsteuergeriit
66 % der
Frontplatte.
sind auf
angeordnet.
Luftzirkulation
ist
zu sorgen.
eines Pumpstandes
sind
fOr
"Stand-by"
von
Turbomolekularpumpen
NenndrehzahL - The
121
entspricht
DIN/VDE
befinden
der
Ruckseite - The
urn -
wird
TCS
303
Fernbedienung
erlaubt
den
0871,
-
- Pu'mping
2 Electronic Drive Unit
TCP
121
2.1
General
TCP
121,
Fig. 8 is a sectional rack
module.
All
control
the
rear
Satisfactory
unit
employed
remote
turbo
at
66 % of
DIN/VDE
elements
front
panel.
connections
of
the
unit.
air
must
be ensured.
Unit
to
control a pumping
connections
control.
"stand-by"
molecular
its
Tep
121
complies
0871,
are
arranged
are arranged at
circulation
Control
rated
TCS
are designed
function
pump
limit
enables
to
rotation
with
value A.
around
303
be
operated
speed.
for
on
the
the
is
unit.
the
2 Commande electronique
TCP
121
2.1
Generalites
-
L'electronique
(Fig. 8)
- Tous
- Les connexions
- Prevoir un espace
- Pour
-
-
-
les
regroupes
de I'appareil.
culation
la
pompage,
mande
TCS
La
tronique
mande.
La
tionnement
laire a
La
DIN/VDE
pour
303.
conception
fonction
66
TCP
121
de
estun
elements
de
commande
utiliser
en
% de
0871,
commande
appareil en rack.
sur
est
de
la
platine
sont
sur
suffisant
I'air
autour
d'un
I'appareil de
groupe
permettent
"Stand-by"
de
de
des raccords de I'elec-
la
pompe
la
vitesse
conforme
valeur
TCP 121
commande
frontale.
la
face arriere
pour
de I'appareil.
groupe
pompage
la
telecom-
permet
turbomolecu-
nominale.
a
limite
A.
sont
la
de
com-
Ie
fonc-
cir-
rep
121
.?>/
,
2 -
--
iii
Fig.8
TCP 121
1
Leuchtanzeige
2 LED-Anzeige
3
Schalter
4
Potentiometer R 199
5 LED-Anzeige
6
Schalter
7
Schalter
Rackeinschubgerat
S9
S2
Sl
1
PfEifFER
'1'@
VACUUM
:i\i\-
@
...
3 6
"Stand-by"
"Stand-by"
"Heizung
"Heizung
"EIN/AUS"
"Power,
"Hochlaufzeit"
..
-----
ill
Drehzahl"
Turbopumpe"
Turbopumpe"
CD
7
"l./
-4
-5
1
2
3
4
5
6
7
I.I~I.I.!.I.,.I
TCP
121,
Luminous
rotation
LED
Switch
Potentiometer
LED
Switch
Switch
rack
speed"
display
S9
display
S2
Sl
display
"Stand-by"
"Heating,
"ON/OFF"
Detail Pos. 1
\
Powe,
module
"Power,
"Stand-by"
R199
"Heating,
"Run-up
turbo
turbo
time"
pump"
pump"
Rotet;oo
Speed
TCP 121 Rack a
1
Voyant
Vitesse
2
Affichage
3
Interrupteur
4
Potentiometre
d'acceleration
5
Affichage
turbo"
6
Interrupteur
turbo"
7
Interrupteur
lumineux
de
rotation"
DEL
"Stand-by"
S9
"Stand-by"
R199
DEL
"Chauffage
52
"Chauffage
S1
"MARCHE/ARRET"
tiroirs
"Power,
"Duree
du
temps
pompe
pompe
-----------------_
14
...
2.2
Technische
Daten
2.2
Technical
Data
2.2
Caracteristiques
techniques
Antriebselektronik Electronic Drive
AnschluBspannung
Leistungsaufnahme
Ausgangsspannung,
Hochlaufstrom
Nennfrequenz
Kontaktbelastung,K1
Ohmsche
Induktive
Verzogerungszeit
Werkseinstellung
Hochlaufzeit
Zul.
Kabeliange
~~--~------~~~-
Gewicht
Last
Last
Umgebungstemperatur
Pumpe-TCP, max. Cabls
1)
bis
90%
50-60
Hz
ca.
Connected
Power
Output
Run-up
± 2 % Rated
und K2
------~--------~
1)
der
Nenndrehzahl
Contact
Ohmic
Inductive
Time
Factory
Run-up
Permissible
Weight
,,-----=-::~--=--
voltage
input
voltage,
current
frequency
load,
K1
load Charge
load Charge
lag
setting
1
)
time
ambient
length,
pump-TCP, max.
Unit
50-60
Hz Tension de
approx.
± 2 % Frequence
and K2 Charge de
-----~------------------------~---
temperature
1)
to
90 % of
Commande
Puissance <Ibsorbee
Tension de
Courant
Temporisation
Reglage a
Temps
en
regime
Temperature
Longueur
Poids
rated
rotation
electronique
branchement
sortie
de
montee
nomina
contacts,
ohmique
inductive
I'usine
de
montee
1
)
ambiante
de
cable
speed
50-60
par
env.
Is ± 2 %
K1
et
K2
TPH/TPU
TPH
190
TPH/TPU
TPH/TPU
TPH/TPU
admissible
pompe-TCP max.
1) a
Hz
062
240
330
520
90%
M
de
V 1
VA
V
DC
A 3
HZ
A 6
A 4
min
min
min
min
min
min
min
"C
m
kg
la
vitssss
TCP 121
00-240 ± 10%
max.
150
44
715/1
000/1500
1 -
30
8
2
2
1
3
10
0-40
100
nominale
_1=
3
Fig. 9
TCP 121
3
Rackeinschubgerat
Hoheneinheiten
Notizen / Notes
243
~60-
",
i
'\1
~
~-<
Y'
~
\
0
I
15
--
=-i
T
,
<[)
~
j
,34,81-
,
~_C!
I
I
I
I
I
I
I,
L
__ • ______
e-
4/12-19",
TCP 121
with
____
03,6
three
135.4
70
139,7
rack
units
-"
•
J
module,
-1
__
_.JI
~
4/12-19",
I
I
II
~ ~~
"'-
N
N
j
4C·-
I
I
I
"'-
N
OJ
,,-
1/
TCP 121 Rack a
3
unites
de
hauteur
tiroirs
4/12-19
",
15
2.3
Elektrischer
2.3.1 Netzanschluf3
Der
NetzanschluB
chen
Bestimmungen
Die
Antriebselektronik
Netzspannungen
50-60
schluB
2.3.2
An
sen:
Flutventil
Fluten bei ca.
drehzahl
-
Turbopumpen-Heizung
-
Luftkuhlung
Messerleiste
-
Netz
-
Verz6gerter
-
Unverz6gerter
-
Verriegelung
-
Stand-by,
- Externer
- Netz. extern
- Heizung, extern
- Reset,
2.3.3
2.3.3.1
-
Verz6gerter
laufphase.
an
Kontakt
Gerates geschlossen.
- Nach
gerung
zeit),
Drehzahlschaltpunkt
bzw.
- Bei
drehzahlregelung
Sicherheitsregelung
Drehzahl>
-
Kontakt
teuerung
- Die
kung
von 1 bis
- Die
senen
kuumpumpe
abhangig.
- Die
ca.8
Potentiometer R 199
Verzagerungszeit
-
Verdege/ung
In
GaseinlaB
weiteren
funktion
von
unterbunden
uberwachung
Hz
ausgelegt.
ist
nach Fig.
Ein-
und
Ausgiinge
der
ROckplatte
TSF
012
20 -50 % der
X4
Schaltkontakt
Schaltkontakt
K2, extern
extern
Schalter
extern
Uberwachung
Uberwachungsrelais
Schaltkontakt
Potentialfreie
Steckkontakt
K2
wird
Ablauf
der
(Uberbruckung
affnet
der
unterschritten
Stbrung
Verzogerungszeit
der
Hochlaufzeit
Werkseinstellung
Minuten
der
105
K2
wird
eingesetzt.
Hochlaufphase
30
Minuten.
Rezipientenvolumen,
und
an
langer
kurzer ;:---.....
K2:
bestimmten
Steckkontakt
Einsatzfallen, z.B. bei
oder
durch
Volumens,
Hochlaufphase
werden.
bleibt
AnschluB
ist
nach den
auszufOhren.
TCP
von
10
werden
zum
mit:
121
100 -240
Der
Netzan-
auszufOhren.
angeschlos-
verz6gerten
Nenn-
K2
Kl
K2
zur
Hoch-
Signalisierung
X4/b5
und
beim
eingesteliten
Kontakt
wird.
elektronischen
schaltet
ab,
% ist.
fur
die
ist
vom
der
Potentiometer
einstellbar:
~
kann die
X4/a4 -X4/a5
aktiv.
X4/b4.
Einschalten des pin
Verzb-
der
Hochlauf-
K2,
wenn
nicht
erreicht
K2 Gber eine -
wenn
die
Pumpstands-
zur
Uberbruk-
ist
einstellbar
angeschlos-
der
Turbopumpe
betragt
Zuschalten
Die
Schalt-
durch
Drehzahl-
Brucken
6rtli-
ist
fur
V,
Der phase.
der
End-
Vorva-
R199.
eines
2.3
Electrical
2.3.1
Mains
Connection
Connection
be
made
regulations.
The
Electronic
been
100 -240
to
the
shown
2.3.2
Connections
-
Venting
venting
rated
- Turbo
-
Air
cooling
Male
-
Mains
- Delayed
Instantaneous
-
-
Interlock
-
Stand-by,
- External
-
Mains,
- Heating, external
- Reset, external
2.3.3
2.3.3.1
- Delayed
contacts
Contact
switched
-
After
(bridging
K2
opens
point
this
point.
When
electronic
trol,
K2
trol
if
-
Contact
unit
control.
- The
time
phase can be set
utes.
- The
run-up
recipient
and
the
- The
factory
utes at
Potentiometer R 199
Delay
to
in
accordance
designed
V,
mains
supply
in
Fig.
10.
Inputs
and
to
Valve TSF
at
approx.
rotation
pump
Multipoint
speed
heating
Switching
K2, external
external
switch
external
Monitoring
Monitoring
switching
Potential-free
X4/b5
K2 closes
on.
expiry
of
of
the
if
the
is
not
reached
there
is a
ultimate
switches
the
rotation
K2 is used
lag
for
time
volume,
turbo
pump
setting
potentiometer
time
adjustable:
longer
shorter
- K2 interlock:
In
certain
gas
the
can be
contacts
speed
applications,
inlet
or
run-up
suppressed
X4/a4
monitoring
by
adding
phase
Connections
the
mains
supply
with
Drive
Unit
for
mains
50 -60
Hz.
must
Outputs
rear panel:
012
for
20
% -
Connector
Contact
Switching
the
run-up
rotation
malfunction
off
bridging
from 1 to
is a
the
......---...
..---....
switching
and
remains
Contact
Relay K2
contact
signal
and
X4/b4.
when
the
preset
delay
time),
speed
or
drops
rotation
via a
speed
is>
for
the
the
function
backing
connected.
is
approx. 8 min-
R199.
for
another
by
bridging
X4/a5.
must
local
TCP 121 has
voltages
be
50 % of
for
safety
pumping
30
instance
active.
of
Connection
made
as
delayed
the
X4
with:
K2
K1
run-up
output
at
unit
is
time
contact
switch
below
in
the
speed
con-
con-
105
%.
run-up
min-
of
the
pump
for
volume,
function
pin
Rotation
2.3
Branchement
2.3.1
Branchement
Le
branchement
effectuer
tions
La
est
de
chement
conformement a la
2.3.2
Raccordement
- Vanne de remise a
remise a
50
-
Chauffage
-
Refroidissement
Connecteur a fiches
-
Branchement
-
Contact
mande
-
Contact
mande
-
Verrouillage
-
Stand-by
Interrupteur
-
-
Branchement
Chauffage
-
- Reset externe
2.3.3
2.3.3.1 Relais de
Contact
mande
tion.
aux
-
Le
marche
- A
I'expiration
sation
leration),
point
rotation
-
En
tion
tion
une
vitesse de
contact
du
-
La
temporisation
phase
a
30
-
Le
temps
volume
maire
-
L'element
8
minutes
Potentiometre R 199
Duree de
conformement
locales
commande
conc;:ue
100 a 240
% de
en
pour
sur
secteur
Entrees
I'air
temporise
la
vitesse
de
de
commutation
temporise
de
commutation
non
temporise
K2 externe
externe
externe
externe
vigueur.
electronique
V,
et
au
la
turbo
secteur
secteur
Surveillance
de
commutation
temporise
Signalisation a potentiel
connecteurs
contact
cas
groupe
K2
se
de
rappareil.
de
fixee (duree de la phase
Ie
contact
de
commutation
n'est
pas
de
derangement
electronique
finale, K2 est
regulation
d'acceleration
minutes.
du
et
plus
plus
de securite, des
rotation
K2 est
affecte a la
de
pompage.
d'acceleration
recipient,
de
la
pompe
est regie
au
potentiometre
deceleration
longue"""'--'"
courte
- Verrouillage K2:
Dans
certains
exemple
par
conjonction
fonction
leration"
tage
de
de
la
vitesse de
en cas
de
commande
peut
X4/a4-
cas
d'admission
d'un
etre
X4/a5.
rotation
electrique
sur
secteur
sur
des
50/60
Fig.
secteur
tensions
est a
aux
TCP
Hz.
Le
effectuer
10.
est a
prescrip-
sorties
dos
de
I'appareil:
I'air
TSF
012
d'env.
nominale
pompe
par
air
males
X4
de
com-
K2
de
com-
K1
externe
surveillance
X4/b5
ferme
la
atteint.
de
pour
d'utilisation,
de
com-
en phase
d'accelera-
et
X4/b4.
neutre
a la mise en
duree
de
tempori-
K2
s'ouvre
de
la
vitesse de
de la
la
mis
hors
surpasse
est
de
turbo
d'usine a environ
reglable:
A-"--...
autre
verrouillee
regula-
vitesse de
circuit
105
commande
la
duree
reglable
depend
la
pompe
en place.
R199.
de gaz ou
volume,
"phase
par
La
surveillance
reste active.
121
secteur
bran-
pour
20
a
avec:
K2
d'acce-
si
Ie
rota-
par
que
la
%.
de
la
de 1
du
pri-
par
la
d'acce-
pon-
Le
16
~
~.,r:
n::,P
lit
. '
P~EII=F
@
EfI
\J.IfU
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~
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"
r=
~~
,
•
'r-
I
4
"
i.';:~l
TCP
$9
121
Frontseite,
<D
s!
view,
Face
avant
240330
["L
l
~
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K,
PM
~
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"
"
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2
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" "
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"
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t-H
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•
,
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1
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•
•••
TCP
121
Ruckseite,
I
I '
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1
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I
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Rear
•
j,
52
,I."
-.
.
..
view,
Face
,
,
0
•
j,
K1
ro
?5
A 1
"
....
~
"
•
arriere
I
Fig_
TCP
2
Luttkuhlung
4
Heizung
6
Flutventil
8
AnschlufSkabel
SO
Verriegelung
Sl
Turbopumpe
S2
Heizung
S4
Pumpstand
55
Heizung
S6
Reset
S9
StoH1d-by
1 0
Stand-by
S
S"'I
Externer
Xl
Stecker
X2
Stecker
X3
Stecker
X4
Messerleiste
X5
Federleiste
XB
Stecker
R199
Potentiometer
Die TCP
gerat
aufgesteckt,
rcs
TCS
303
kann
wird
10
121
Turbopumpc
TSF
(in
(in
Fernbedienung)
extern
Schalter
Flutventil
Luftkuhlung
Heizung
Turbopumpe
mit
303
ausgerustet
auf
.~ffGr:~:-~~;~~~~~:~t------WY-·'~:
PM
021
562
012
Turbopumpe
K2
EIN/AUS
(in
Fernbedienung)
Fernbedienung)
(Eingang)
(Ausgang)
Hochl,wfzeit
einem
Pumpstandsteuer-
die
werden.
Messerleiste
I~
IN
L
Das
X4
2
4
6
B
SO
S1
S2
S4
S5
S6
S9
S10
S"'I
X1
X2
X3
X4
X5
XB
R199
The
TCP can be
Pumping
ged
into
TCP
121
Air
cooling
Turbo
pump
Venting
Valve, TSF
Connecting
Interlock
Turbo
Heating
Pumping
Heating
Reset
Slond-by
Stand
External
Socket,
Socket,
Socket,
Male
Female
Plug
Potentiometer
turbo
Unit
male
K2
pump
unit
(in
(in
remote
by,
external
switch
venting
air
cooling
heating
multipoint
multipoint
pump
equipped
Control.
multipoint
heating
cable
ON/OFF
(in
remote
valve
connector
run-up
The
012
for
turbo
remote
control)
control)
connector
time
with
a TCS
TCS
connector
pump
control)
(input)
(output)
303
is
X4.
303
plug-
TCP
2
Refroidissement
4
Chauffage
6
Vanne
8
Cable
SO
Verrouillage
Sl
Pompe
S2
Chaufbge
S4
Groupe
S5
Chauffage
S6
Reset
S9
Stand-by
S 1 0
Stand-byexterne
Sex!
Interrupteur
Xl
Connecteur
X2
Connecteur
X3
Connecteur
X4
Connecteur
X5
Reglette
X8
Connecteur
R199
Potentiometre
Le
TCP
peut
commande
Celui-ci
est a enficher
fiches
milles
121
pompe
de rernise
de
raccordement
K2
turbo
MARCHE/ARRET
de
pompage
(telecommande)
(telecommande)
externe
vanne
refroidissement
chauffage
il
fiches
femelle
pompe
temps
etre
equipe
de
groupe
de
X4.
sur
par
air
turbo
ill'air
TSF
pompe
(telecommande)
de
remise a I'air
males
(sortie)
turbo
de
montee
d'un
appareil
pompage
Ie
connecteur
012
turbo
par
air
(entree)
de
TCS
-S
303.
a
17
2.3.3.2
-
Unverzogerter
phase.
Steckkontakt
-
Kontakt
Drehzahlschaltpunktes.
-
Der
Turbopumpe
drehzahl
andert
-
K1
nen zur
und
Meldung
benutzt
2.3.4
-
AnschluBkabel 8 beidseitig
verbindung;
100
- Das
TCP
TCP
schlossen.
-
Stecker
Einstecken
Trennen
-
Verriegelung
legen
anschrauben.
-
Verriegelung
des
nur
- Die
pack
2.3.5
- Sei den TPH/TPU
520 M muB
Netzspannung
- Die
fur
elektrische
Fig.
- Die
IPE,
schlossen.
Oberwachungsrelais
Schaltkontakt
Potentialfreie
X4/b5
Kl
schlief3.t nach Erreichen des
Schaltpunkt
eingestellt,
werden.
enthalt
Steuerung
einen externen,
"Pumpe
werden
fur
die Drehzahl
ist
auf
50%
zwei Kontakte, einen
der
der
betriebsbereit"
kann.
Anschlui3 Turbopumpe-TCP
Fig. 11
maximale
Meter.
AnschluBkabel 8 verbindet
mit
der
und
Bajonettverschlusses
leicht
Verriegelungsteile
Turbopumpe.
X8
an
der
X5
und
verriegelt
entriegelt
und
mitgeliefert.
X5:
mit
Schneidschraube
X8:
anziehen.
Turbopumpe
X8
mussen nach
werden.
Verriegelung
Nach
Luftkuhlung
Fig.
12
Ventilatoren
110
V,
12.
Zuleitung
L.
N)
wird
062,
die
LuftkOhlung
ausgewahlt
fur
50 -60
AnschluB
fur
die
an
Stecker
TPH/TPU
Hz ausgelegt. Der
Ventilatoren
K1
Hochlauf--Instantaneous
Signalisierung
und
X4/b6.
der
er kann
bzw.
werden
erfolgt
Nenn-
nicht
inter--Kl
Pumpenheizung
z.B. bei
Kabellange
dem
190,
einer
mit
Steck-
die
X5
wird
ange-
vor
dem
16
17
Einrasten
Schraube
als Bei-
240
und
gemiiB
werden.
330
nach
X2
ange-
dar
ver-
am
dem
ein-
18
sind
2.3.3.2
am
run-up
output
X4/b6.
-
Contact
speed
- The
set
and
for
one external
be used
tionally
2.3.4
-
Connecting
connector
cable
-
Connecting
with
into
pump.
- Plugs
after
disconnection.
-
Interlock
tighten
-
Interlock
catch
slightly.
- The
plied
2.3.5
- The air
TPH/TPU
must
voltage.
-
The
designed
cal
shown
- The
is
Monitoring
phase.
at
pin
Kl
switch
contact
to
50 % of
cannot
contains
regulating
for
ready".
.t
closes
for
be varied. -
two
the
Relay
switching
Potential-free
contact
when
point
is attained. -
the
rotation
the
rated
contacts, one
the
pump
which,
for
message
Connection Pump - rep
Fig. 11
cable 8,
on
both
ends,
length
100
meters.
the
turbo
the
TCP
X5
and
plugging
on
using
on
has locked,
interlocking
separately
Air
Cooling
Fig.
12
cooling
062,
be
compatible
fans
for
for
connection
in Fig.
supply
connected
cable 8
X5:
X8:
the
cable
pump.
and
X8
X8
must
in,
or
Insert
self-
tapping
After
tighten
components
with
fan
voltage
190,
TPH/TPU
110
V,
must
12.
for
at
socket
connects
240
with
K1
contacts
signal
X4/b5
and
the
rotation
speed is
rotation
internal
heating
example, can
"Pump
with
plug-type
maximum
the
X5
is
plugged
into
the
turbo
be
interlocked -Le
unlocked
interlock
the
the
50-60
be
the
X2.
before
screw
bayonet
screw
are
unit. -
for
the
and
520
the
mains
330
are
Hz.
Electri-
made
as
fans IPE,
for
speed de
and fixe a
opera--K1
TCP Fig.
16
17. -Le
18
sup-
M
L,
2.3.3.2
-
Contact
mande
celeration.
nautre
X4/b6.
Le
contact
Ie
point
rotation.
Le
point
vitesse de
peut
etre
comprend
interne
fage
des
qui
pourra
d'un
signal
nement".
2.3.4
Connexion
- Cable de
teur
des
maximale
cable
Ie
TCP avec
ment
au
and
connecteur
connecteur
sont a verrouiller
deverrouiller
-
Verrouillage
16
et
visser
Verrouillage
joint
a baYonnette, ne
rement
- Les
elements
tie
de
la
2.3.5
Refroidissement
- Pour les TPH/TPU
N)
- Les
-
Fig.
520
M,
choisir
secteur.
ventilateurs
sont
con,us
branchement
selon
la
Le
cable
teurs
(PE,
connecteur
Relais de
de
non
aux
de
de
rotation
50%
modifie.
pour
pompes
surveillance
commutation
temporise
Signalisation a potentiel
connecteurs
Kl
ferme
commutation
commutation
de
la
deux
la
commande
etre
utilise
"pompe
en phase
apres
la
pompe
vitesse
contacts,
et
un autre, externe,
par
prete
pompe
11
raccordement
deux
cotes;
longueur
100
metres.
de
raccordement
la
pompe
connecteur
X8
X5
avant
X5:
avec
X8:
la vis
18.
de
fourniture.
turbo.
X5
de
la
pompe
et
Ie
connecteur
apres
enfichage
deconnexion.
placer
Ie
la
vis Parker
apres
enciiquetage
visser
verrouillage
par
12
Ie
refroidissement
conformement a la
Fig.
d'alimentation
L,
pour
pour
elect
12.
N) est a
X2.
062,
190,
la TPH/TPU
110 V,
rique est a
des
raccorder
K1
de
com-
d'ac-
X4/b5
at
avoir
de la vitesse
nominale,
turbo
8 avec
du TCP et au
atteint
pour
la
turbo
I'un
du
chauf-
exemple
au
fonction-
- rcp
connec-
de cable
8 raccorde
Raccorde-
turbo.
X8
et a
verrouillage
17.
que
mode-
font
par-
air
240
et
par
air
est a
tension
50/60
du
330
Hz.
effectuer
ventila-
au
est
il ne
lars
du
Le
18
.....
i
•
,.
......
....
.1'
1'''
.
,.
1
I
oj,
f a
••
,
tit
,.
Ii
1
I
I
I
..
!u'~l
.
I
'-IIJ.
1 I
8
Ansch
16 Verriegelung
17
18
19 Ba
X5
X8
lu"kah
Schneidschri.lube
Schraubc
jonetlv
Stecker
Stecker
ersc
rep
rurbupumpe
,
.6
I
..
el
hlui?:.
/
17
1<
ax
/
-
-._
3
B Connecting
16 Inte
, 7 Self-tapping
18
Screw
19 Bavonet
X5 Plug
X8
Plug t
rl
rep
oc k
urbo
cub
sc
catch
pum
._._ .
le
rew
p
J
8 Cable de racco
16 Verrouillage
17
Vis Parker
, B Vis
Joint
Conn
a b
ecte
19
X5
xa Connf!c
tf!
aiO
llr
ur
rdemenl
llnett
rcp
pompp.
e
turh
o
Fig. 12
PE
PE
l1 N
l1 N
Bei
110
At
Bei
At
Pou
V Netzspa
mains
Pour tension tlu resei.lu de
voltage
220 V Netzspann
main
s vo
r tension
lt
age of
tlu
nnung
of
110
:[20
restluu
ung
!.Ie
V
110
V
V
21
0 V
19
2.4
Betrieb
2.4.1
Einschalten
-
-
-
-
- Das
-
- Heizung
Fig.8
Kuhlwasserzufuhr
dem
Einschalten
kontrollieren.
Vorvakuumpumpe
Anschlu~
PM
021
wird
bopumpe
eingeschaltet.
Vorvakuumventil
(15-30
schiebervakuumpumpen
integriert.
schalten
1st
gregat
diesels)
pumpe
Einschalten
1st
Flutventil TVF
ten Sie
PM
2.4.2
Fernbedienung kann
realisiert
Mit
AnschluB
PM
Die Pumpe kann
platte
bedienung
den. Die
die
sein.
Ausschalten
Die
einem Eingang
Kontakt
nik
Bei
S 1) kann
nen
10
Schalterkontakt
Schalterkontakt
geschaltet
Der Eingang
(nicht
standkomponenten
Klihlwasserwachter
557
die
Vorvakuumpumpe
Sekunden) . In
automatisch.
eine
Luftkuhlung
rZK
gleichzeitig
eingeschaltet.
Flutventil
ein Flutsteuergerat
bitte
800
196
mit
Fernbedienung
werden:
Wechselschaltung:
gemaB
021
562
der
TCP als auch von
Wechselschalter
elektrische Belastung
Antriebselektronik
mit
ausschaltet.
eingeschalteter
die
Schalter
rnA.
zwischen
zum Ansteuern!) von
bffnen
nach
Schaltplan
-S
oder
am
EIN-Schalter
bffnet
Es
bffnet
350
angeschlossen,
rSF
der
Turbopumpe
012
Betriebsanweisung
BD,E,F.
Schalter
Schaltplan
-S.
sowohl
ein-
und
mittels
ausgerlistet,
X4/a5
Pumpe
Sax!.'
Schaltleistung
X4/a5
Sext.
Sext.
werden.
wird
zur
fur
Turbopumpe
und
DurchfluB
einschalten. Beim
PM
031
289-S
mit
der
Sl
der
verzbgert
Pfeiffer-Dreh-
ist
dieses
nach
dem
Ein-
oder
ein
Kuhlag-
wird
mit
der
Turbo-
012
schlie~t
TCF
eingesetzt,
S2
auf
zwei
von
ausgeschaltet
extern em
TCP 121 ist
die
Antriebselektro-
rep
121
uber
und
offen
geschlossen, aus-
Uberwachung
z.B.
Vorpumpe,
benutzt.
beim
sofort.
103
mit
beach-
einschalten.
Arten
der
Front-
der
Fern-
Schalter:
der
bei
(Schalter
exter-
X4/b7,
und bei
Pump-
wer-
fur
mlissen
ausgelegt
einen
ein-
2.4
2.4.1
-
vor
Open
turbo
-
Start
has been
Diagram
PM
031
Tur-
rep
mit
switched
pump
- The
fore
delay
incorporated
vacuum
after
-
If
air
TZK
on
together
-
Venting
diately
-
If a Venting
Venting
please refer
PM
800
-
Switch
2.4.2
Remote
one
of
With
Connection as
gram
The
pumping
and
off
TCP
and on
The
two-way
ned
for
pumping
Switching
The Electronic Drive
an
input
when
When
the
pump
external
acity 1 0
X4/a5
"Sext."
bei
tact
"Sex!."
The
input
(not
controlling)
nents,
cooling
Operation
Switching
Fig. 8 Fig. 8
the
pump
the
backing
PM
289
on
at
the
vacuum valve opens
of
15-30
pumps.
starting.
cooling
350
is
Valve TSF
when
Valve TVF
196
on
Remote
control
the
two-way
PM
021
both
the
unit.
which
contact
the
switch
mA,
and
open, and
can be used
for
example, backing
water
on
cooling
made
the
following
off
rep
can be
closed.
water
supply
for
the -Ouvrir
and
check
for
pump.
according
021
557
-S,
the
together
ON
switch
seconds. This valve is moyen de
in Pfeiffer rotary vane de
It
opens
or
a Cooling
connected,
with
the
012
the
turbo
Control
012
to
Operating
BD.E.F.
heating
Control
can be
switching:
shown
562
-S.
unit
can be
on
the
the
remote
switches
electrical load
via
external
switches
is
made
121 is on
switched
"Sext,'"
between
X4/b7,
with
off
pumping
monitor.
flow.
If
connection
to
Wiring
-S
or
backing
turbo
Unit
two
front
Unit
with
pump
with
the
turbo
Sl
of
the
after
automatically -La
Unit
this
is
switched
pump.
closes
imme-
pump
is started. -
TCF
103
is employed,
Instructions
at
switch
implemented
ways:
in
Wiring
switched
panel
control
must
with
switching
pin
switch
for
of
unit.
be
desig-
of
the
switch:
TCP 121 has
off
the
X4/a5.
(switch
on via an
contacts
contact
switch
monitoring
unit
compo-
pump,
TCP.
a
with
S2. -
Dia-
on
the
overall
unit
S 1).
cap-
con-
2.4
Mise
2.4.1
Mise
sement
mise
en
-
Mettre
maire.
is
selon
schemas
PM
021
pompe
pompe
I'electronique
vanne de vide
porise
deja
montee
rotatives a palettes Pfeiffer. Elle
vre
automatiquement a la
che.
En
cas de connexion
ment
par
dissement
enclenche
pompe
La
vanne de remise a I'air TSF
ferme
immediatement
marche
in
-
En
cas de
commande
avec vanne de remise a
se
reterer aux
PM
800
-
Mettre
terrupteur
2.4.2
Telecommande
La
telecommande
deux
fa-;ons :
Avec
va-et-vient:
Raccordement
schema de connexions PM 021
Le
groupe
en
marche
de la
platine
commande.
etre
con~us
du
groupe
Mise
hors
rupteur
La
commande
est
equipee
necte
la
cas de
contact
Quand
la
rep
121
la
pompe
moyen
puissance de
X4/a5
tation
arretee avec
de com mande ferme.
d'un
et
de
en
oeuvre
en
marche
I'amenee de I'eau de
pour
la
pompe
marche
en
marche
Conformement
a vide
turbo
(15-30
turbo.
de
557
-S ou
primaire
sont
I'interrupteur
secondes). Celle-ci est
dans les
air
ou
d'un
TZK
350,
simultanement
turbo
et contr61er
la
pompe
au
raccordement
connexions
PM
031
ainsi que
mise
en
Sl
TCP.
primaire
pompes
d'un
refroidisse-
systeme de
celui-ci
a la mise en
de
la
pompe
montage
de remise a I'air
196
BD,E,F.
Ie
chauffage
S2.
de
pompage
ou arrete aussi bien a
fronta'e
Les
pour
de
circuit
externe:
d'une
commande
commande
(interrupteur
peut
interrupteur
rupture
X4/b7,
commande
contact
turbo.
d'un
appareil de
I'air
instructions
en
circuit
peut
etre realisee de
conformement
peut
que
va-et-vient
la
pompage
au
electronique
entree
avec
etre
Ie
par
charge
entier.
moyen
qui
electronique
X4/a5.
electronique
Sl)
est activee,
mise
en
externe
10
mA
contact
etant
de
commutation
refroidis-
avant
Ie
debit.
a vide
289
-S, la
la
marche
MARCHE
ouvert
tem-
a vide
s'ou-
mise
en
refroi-
sera
avec
la
012
TCF
103
TVF
012,
de service
avec
au
562
etre
mis
partir
la
tele-
doivent
electrique
d'un
inter-
TCP
121
decon-
en
marche
Sext.
entre
de
commu-
ouvert, ou
la
pri-
au
mar-
se
I'in-
-So
au
20
L'entree peut
veillance (non pas
des
composants
page
par
controleur
etre
exemple
d'eau de
utilisee
pour
du
pompe
pour
la
commande!)
groupe
refroidissement.
de
primaire,
la
sur-
pom-
Achtung!
St6rungsmeldung
kontakt
erfolgen.
mu!3
durch
Schlie!3-
Please
note:
Malfunction
via a
normally
messages
open
contact.
must
be
made
Attention!
Le
signal
fectuer
par
de
derangement
contact
de
devra
travail.
s'ef-
M6gliehe Sehaiterstel/ungen:
Schalter
S1
EIN
EIN EIN
AUS
AUS
2.4.3
Funktian
Fig.
-
Stand-by
(Schaltkontakt
(Schaltkontakt
- Die
66 % der
oder
AUS)
-
Wird
beschleunigt
zahl.
-
Stand-by
nen
Schaltkontakt
geschaltet
2.4.4
Bei
der
K2
Pumpe
Die
wird
Turbopumpe
Nenndrehzahl
mit
der
betrieben
Stand-by
kann
Schalter,
Reset
St6rung
Turbopumpe
unterbrochen.
erneut
Reset-Funktion
durch:
-
Wegnahme
Zeit
5;;
2
ter
-
Betatigung
nen
5;;
Bei
Taster
versorgt
Sekunden,
S 1.
"Reset"
2
Sekunden.
Aktivierung
S6
mu/3
sein.
Schalter
Sext
AUS
AUS
ElN
Stand-by
10
mit
Schalter
geschlossen)
offen)
kann
Nenndrehzahl
werden.
ausgeschaltet,
die
Pumpe
auch
angeschlossen
X4/a5
werden.
wird
die
uber
Mit
gestartet
wird
der
Netzspannung
z.B.
des
extern
-Tasters
von
die
S6
"Reset"
rcp
gesehaltet.
wahlweise
uber
und
Stromversorgung
einen
"Reset"
angeschlosse-
S9
oder
(Stand-by
(Stand-by
auf
Nenndreh-
einen
zwischen
X4/a6,
Kontakt
kann
werden.
aktiviert
mit
Netzschal-
fur
eine
mit
mit
Spannung
Pumpe
EIN
AUS
AUS
AUS
EIN
AUS
mit
exter-
fur
eine
Zeit
Reset-
EIN)
die
Possible
Switch
switch
S1
ON
ON ON
OFF
OFF
2.4.3
Stand-by
Fig.
-
With
(switching
(switching
-
The
optionally
speed
tion
-
If
the
the
tion
The
switched
nected
and
2.4.4
In
the
ent
inside
pump
The
the
stand-by
turbo
(stand-by
speed
stand-by
pump
accelerates
speed.
stand-by
via an
between
X4/a6.
Reset
event
supply
the
can be
"Reset"
10
contact
contact
pump
at
66 % of
(stand-by
of a malfunction,
to
unit
function
follows:
-
Interruption
period
with
mains
-
Depressing
"Reset"
~
2
seconds.
When
button
with
voltage.
of
of
~ 2
switch
the
button
"Reset"
S6,
the
positions:
Switch
"
Sext
OFF
OFF
ON
Function
function
closed)
open)
can be
ON)
function
function
external
pin
contacts
the
motor
via a
contact
restarted
the
mains
seconds,
S 1.
externally
S6
for a period
is
activated
Tep
must
Pump
ON
OFF
OFF
OFF
ON Fig.
or
OFF _
at
switch
S9.
operated
the
rated
at
rated
is
switched
its
rated
switch,
X4/a5
the
interrupted
of
K2.
"Reset".
voltage
example
connected
of
via
"Reset"
be
supplied
rotation
rota-
off,
rota-
con-
curr-
The
as
for
a
- la
or
OFF). _
to
can also be
is
using
is
activated
for
Possibilites
de
f'interrupteur:
Interrupteur
S1
MARCHE
MARCHE
ARRET
ARRET
2.4.3
Fanetian
10
Commuter
I'interrupteur
de
commutation
ou
ARRET
commande
La
pompe
choix a 66
ou a la
ARRET).
Si la
circuit,
nomina
-
La
fonction
commutee a partir
externe
X4/a6.
2.4.4
En
cas
en
courant
un
contact
"Reset",
marche.
La
fonction
-
une
pendant
rieure
raide
touche
durant
secondes.
turbo
vitesse
fonction
la
pompe
Ie.
connecte
Reset
de
derangement,
la
coupure
une
a 2
secondes,
du
commutateur
externe
une
la
(contact
ouvert).
% (en
Stand-by
du
K2.
pompe
"Reset"
periode
positions
Interrupteur
Sext
ARRET
MARCHE
ARRET
MARCHE
Stand-by
fonction
S9
sur
de
peut
Stand-by
nominale
Stand-by
accelere
entre
moteur
Avec
peut
de
tension
peri
ode
"Reset"
de
Stand-by
MARCHE
commande
de
commutation
etre
actionnee
MARCHE)
(en
est
a la
peut
aussi
d'un
interrupteur
X4/a5
I'alimentation
est
coupee
la
fonction
etre
est
activee
du
secteur
d'au
moins
par
exemple
Sl,
S6
d'au
moins
Pompe
MARCHE
ARRET
ARRET
ARRET
avec
(contact
ferme)
Stand-by
mise
hors
vitesse
etre
et
remise
par:
infe-
it
pressee
2
de
au
par
en
Notizen / Notes
En
cas
d'activation
"Reset"
verifier
avec la
que
alimentee.
de
touche
/'
electronique
la
fanctian
"Reset"
TCP
56,
est
bien
21
2.4.5
Betriebsanzeigen
Fig. 8
Auf
der
zwei LED-Anzeigen
ein
Anzeige be; eingeschalteter
-
"Stand-by"
liber
- Heizung eingeschaltet: Grune
liber
-
Anzeige
Anzeige ist
Segment
schalteter TCP, auch bei Storung
Gerat. nicht bei Ausfall der internen
Spannungsversorgung
bei Spannungsunterbrechung.
~
Anzeige LED-Display Segmente 2 bis
6: Werden
steuert. D.h. bei
ten die Segmente 2 und 3, und bei
100
Frontplatte
LED-Display
aktiviert:
Schalter
Schalter
LED-Display
in
1 (links)
drehzahlproportional ange-
% Drehzahl die Segmente 2
der
TCP 121 sind
Pos.
2 und 5
Pos.
1 angeordnet.
Grline
S9, (3)
S2, (6)
6 Segmente aufgeteilt.
leuchtet
50%
rcp:
LED
leuchtet.
(15
LED
bei
einge-
V DC)
1: Die
leuchtet.
Segment
Drehzahlleuch-
6.
2.4.6
Schalterfunktion
Fig. 13, 16
Auf
dem
ein DIL-Schalter
Schalter beeinflulM die Hochlaufphase
in
schaltpunkt
Schalter
Nach Ablauf der Hochlaufzeit schaltet
K2
noch nicht uberschritten ist oder
unterschritten wird.
Schalter
Sobald
erreicht ist, wird das Zeitglied auf Null
gesetzt. D.h. bei Unterschreitung des
Drehzahlschaltpunktes, auch innerhalb
der eingestellten Hochlaufzeit. wird
das
Steuerprint
Verbindung mit dem Drehzahl-
Kl.
S101
offen:
aus, wenn der Drehzahlschaltpunkt
SID 1 geschlossen:
der
Drehzahlschaltpunkt
Gerat sofort ausgeschaltet.
S101
der
TCP
Sl
01 angeordnet. Der
121
Achtungf
Die
rcp's
werden
mit
offenem Schalter
S 101 ausgeliefert.
2.4.7
- Turbopumpe mit Schalter
~
~
- Kuhlwasserzufuhr
- Vorvakuumpumpe abschalten.
Abschaiten
S1
ten.
Vorvakuumventil
Bei
Pfeiffer-Drehschiebervakuumpumpen ist dieses
integriert.
Turbopumpe fluten.
schlief3.en.
Venti
I
absperren.
in
der Pumpe
ausschal-
2.4.5
und
(2)
(5)
im
oder
bis
ist
Kl
Operating
Fig.8
The TCP 121
displays,
display,
Display with
-
"Stand-by"
above switch
-
Heating
switch
-
Display
display
Segment 1 (left side) illuminates when
the
a
malfunction inside the unit but not
the event of a failure of the internal
voltage
ruption
-
Display
to 6: are controlled proportionally to
the rotation speed; i.e. at
speed, segments 2 and 3
and segments 2 to 6 at
speed.
2.4.6
A
DIL
control
switch influences the run-up phase
connection with the rotation speed
switch point K1.
Switch
After expiry of the run-up time,
switches off if the rotation speed
not yet exceeded nor dropped below
the switch point.
Switch
When
K1
ment
tion speed drops
pOint, also within the preset run-up
time, the unit
off.
Please note:
The
Items
Item
on:
S2
of
is
TCP
is
supply
in
of
Switch
Fig. 13, 16
switch
PCB
S101
SID 1 closed:
the rotation speed switch point
has
been attained, the timing ele-
is
set to zero; i.e. when the rota-
reps
Mode
front
panel has
2 and 5, and one
1.
rcp
switched on:
activated:
59
(3) illuminates.
Green
LED
(6) illuminates.
LED
display
divided into 6 segments.
on, and also
(15 V DC)
voltage supply.
LED
display
Function
Sl
01 is
of
the
TCP
open:
below the switch
is
immediately switched
are supplied with switch
Sl0lopen.
2.4.7
- Switch off the turbo pump at switch
Switching
Sl.
- Close the fore vacuum valve.
This valve
rotary vane vacuum pumps.
~
Vent turbomolecular pump.
-
Shut
off
- Switch off the backing pump.
the
off
is
incorporated
cooling
water
Displays
Green
LED
(5) above
segment
in
the event of
or
an
segments
50
% rotation
illuminate,
100
% rotation
S101
arranged
121.
This
in
all
flow.
two
LED
(2)
1: The
inter-
2
on
K2
has
Pfeiffer
2.4.5
Affichages
d'exploitation
LED
-
~
in
-
-
the
in
- Couper
- Fermer
- Remise a I'air pompe turbomoleculaire.
-
~
Fig. 8
La
platine frontale de I'electronique
121
TCP
DEL
DEL pos. 1.
Affichage avec
com
pos.
2 et 5 et une visualisation
"Stand-by"
s'allume, enclenchee par I'interrupteur
S9
(3).
Chauffage enclenche:
s'allume, enclenchee par I'interrupteur
S2
(6).
Affichage
chage est divise
segment 1 (gauche) s'allume quand
I'electronique est
de panne dans I'appareil, mais
cas
de panne de I'alimentation interne
(15
V, courant continu)
coupure de
Affichage
ils
sont commandes proportionnellement
dire
tion,
a
100
segments 2 a 6.
2.4.6
La
carte de commande de I'electroni-
que TCP 121 dispose d'un interrupteur
DIL S 1 01
celeration
commutation de
Kl.
Interrupteur S 101 ouvert:
A
I'expiration
K2
tion de
atteint.
Interrupteur
Des que
vitesse de rotation
ment temporisateur
c'est-a.-dire que
tation de
pas atteint,
temps d'acceleration fixe, I'appareil
deconnecte immediatement.
Attention!
Les commandes electroniques
sont livrees avec l'interrupteur S 1 a 7
ouvert!
2.4.7
teur
les pompes
Pfeiffer, cette vanne est montee dans
la
pompeo
Fermer I'amenee de I'eau de refroidissement.
Couper
visuel
a
la
vitesse de rotation, c'est-a-
qu'a
50%
les
segments 2
% de
Fonction de
Fig. 13, 16
qui
en
deconnecte
la
vitesse de rotation n'est
Ie
la
Arret
la
pompe turbo avec I'interrup-
Sl.
la
vanne de vide primaire. Dans
la
pompe a vide
de
retat
porte
deux affichages
TCP
en
activee:
visuel DEL
la
tension.
de
la
vitesse de rotation,
circuit:
la
DEL
la
DEL
segment
en
6 segments.
en
circuit
ou
DEL
segments
la
vitesse de rota-
et
3 s'allument
l'interrupteur
influe
sur
la phase
liaison avec
la
du
temps d'acceleration,
si
Ie
SIal
point de commutation de
si
Ie
vitesse de rotation n'est
me me
a I'interieur
a.
vide rotatives
Ie
vitesse de rotation
point de commuta-
ferme:
K1
est atteint, I'ele-
se
remet a zero,
point de commu-
prima
verte
verte (5)
1:
Le
ou
en
pas
en
cas
2 a
S107
point de
du
TCP
a.
palettes
ire.
(2)
I'affi-
cas
en
de
6:
et
les
d'ac-
pas
la
22
2.4.8
Verzogertes Fluten
Fig.
24
Mit integrierter Flutoption:
Nach dem Abschalten
wird
das Flutventil
Antriebsmotor der auslaufenden Turbopumpe
ginn bei folgender Auslaufdrehzahl
Pumpen-Frequenz
Pump Frequency
Frequence
de
525
200
la
pompe
Hz
Hz
gespeist
der
Turbopumpe
TSF
012
aus dem
so
daB der Flutbe-
Flutbeginn bei:
Venting start at:
Remise
35%
20%
a l'air
2.4.8
Delayed Venting
Fig.
24
With integrated venting option:
After
the
turbo
pump
Venting Valve
from the running -down drive motor of
the turbo pump,
place at the following run-down rota-
ist:
tion speeds:
TSF
is switched off,
012
is supplied
so
that venting takes
a:
2.4.8
Remise a rair
Fig.
Avec
possibilite
24
temporise
de
remise a rair
integree:
apres mise hors circuit
la
turbo,
TSF
de
tissement, de
vanne de remise a I'air
012
est alimentee par
la
pompe turbo
telle
de
la
pompe
en
fac;:on
Ie
phase de ralen-
que
moteur
la
remise
a l'air commence a partir des vitesses
suivantes:
Mit Flutsteuergeriit
Bei
Einsatz des Pumpstandsteuergera-
tes TCS
tils
TVF
eingesetzt werden.
TeF
30
gestellt werden.
Betriebsanweisungen:
TVF
TCF
TCS
304
TSF
012,
012
mit
103
kann eine Flutverzogerung bis
Minuten nach dem Abschalten ein-
012,
PM
103,
PM
304,
PM
rCF:
kann anstelle des Flutven-
Pos.
6 das Flutventil
Flutsteuergeriit
Mit
800
126
800
196
800
192
TVF
012
BD,E,F
BD,E,F
BD,E,F
TCF
103
und
With Venting Control Unit
If
Pumping
installed, Venting Valve TSF
6, can
TVF
TCF
TCF
30
minutes after switching off can
be
set.
Operating
TVF
TCF
TCS
Unit
be
replaced
012
with
103.
With
103,
a venting delay
instructions:
012,
PM
103,
PM
304,
PM
Control TCS
by
the TVF
126
196
192
Venting Valve
012
of
BD,E,F
BD,E,F
BD,E,F
Venting Control
800
800
800
rCF:
304
012,
and
up
Unit
to
is
Item
Avec
appareil
a rair
rCF:
lorsqu'on utilise une appareil de commande pour groupe de pompage
TCS
304, a la
remise a l'air TSF 012, position
un
appareil de commande de remise a
I'air
TCF
TeF
103,
30
minutes apres arret de
est possible.
Instructions de service:
TVF
012,
TCF
103,
304,
TCS
de
commande
place de
103.
Avec TVF
une temporisation
PM
800
PM
800
PM
800
126
196
192
la
012
BD,E,F
BD,E,F.
BD,E,F
de
remise
vanne de
6,
et
du
flux de
la
pompe
avec
Fig.
13
23
Abschnitt
3
Section
3
Section
3
3 Fehlersuche
Aile
Bezeichnungen
die
Schaltplane
PM
021
PM
3.1
Mel3-
Best.-Nr.
Am
Motorsignale
Motorstrom
Der
954
021955
Testwerkzeuge
und
Priifadapter:
PM
MeP.,-
und Prufadapter kbnnen aile
gem
MeP.,-
und Prufadapter
schen das Verbindungskabel und die
Turbopumpe
montiert.
TPH/TPU
Frequenzziihler COUNTER
Best.-Nr.
Der
der
PM
Counter
Drehzahl
2002
von
setzt.
- Er
arbeitet
unabhangig
- Die Elektronik
strom
der
- Bei
gen
von
- Die
schaltet.
3.2
Turbopumpe
niedrigen
Spannungen
einer 9 V-Batterie
Batterie
wird
Storungssuche
Antriebselektronik
TCP
Hiermit
werden,
treten,
beheben.
120/121
soli
die
Storungen,
zu
lokalisieren
Achtung!
Die Gerate
TCP
nicht potentialfrei.
ist nur
mit
vorgeschaltetem Trenntrafo
vorzunehmen.
Tritt
eine
Storung
folgende
werden:
- Netzanschlur.,
bopumpe,
-
KuhlwasserfluB
installiertem
-
Vorvakuumdruck
Prufungen
TCW
beziehen
-S
fur
TCP
-5fUrTCP
001
abgenommen
essen
COO
Turbopumpen
wird
Drehzahlen
wird
nur
Moglichkeit
120
und
(nur
(;::S
120
121.
210
AX.
werden.
062 -330
125.
Fig.
wird
zur
vom
aus dem
versorgt.
mit
die
versorgt.
bei
Bedarf
in
der
die
in
und
und
TCP
Die
Storungssuche
auf,
sollten
vorgenommen
Anschlur., TCP-Tur-
Tep
121).
002
10.1 mbar).
sich
und
Fig.
und
wird
2002
15
Messung
Netz.
Motor-
zu
Elektronik
gegeben
der
TCP
evtl. zu
121
zunachst
14
der
zwi-
einge-
gerin-
zuge-
bei
auf
auf-
sind
3 Trouble
All
designations
Diagrams
PM
021
PM
021
3.1
Test
Measuring
Order
Nr. PM
All
motor
th&
motor
measuring
The
measuring
ted
between
turbo
pump
Frequencv
Order
Nr. PM
The
Counter
speed
measurement
-
It
operates
-
The
electronics
motor
- In
-
current
the
case
insufficient
are
supplied
The
battery
ary.
3.2
Trouble
Electronic
TCP
This
section
locate
and
tions
which
Shooting
954
-5
955
-5
Tools
and
001
signals
current
and
test
and
the
TPH/TPU
counter
COO
2002
off-line.
of
of
low
voltages,
by a 9 V
cuts
Shooting
120/121
is
intended
possibly
may
refer
to
for
TCP
for
TCP
test
adapter:
210
can be
measured
adapter.
test
connecting
062 -330.
COUNTER
125.
is used
on
are
supplied
the
turbo
rotation
the
battery.
in
only
Drive
correct
occur
Please note:
The
TCP
120
and
not
potential-free. An isolating trans-
former
must
TCP
be
connected
trouble shooting.
If a malfunction
checks
-
Mains
connection.
-
Cooling
with
- Fore
should
connection
water
TeW
vacuum
flow
002
pressure
occurs,
first
be
and
(Tep
installed.
performed:
TCP-turbo
(~
Wiring
120
and
121.
AX.
Fig.
picked
at
adapter
cable
2002:
Fig.
15
for
rotation
turbo
pumps.
from
pump.
speeds
electronics
when
necess-
in
the
Unit
to
help
malfunc-
in
the
TCP.
121
units
in
series
the
following
121
only).
10.1 mbar).
14
up
the
is
you
are
pump
and
fit-
and
the
and
to
3 Detection d'erreurs
Tous les
aux
PM
PM
3.1
Adaptateur pour essais
Numero
PM
L'adaptateur
permet
moteur
moteur.
L'adaptateur
est a manter
dement
TPH/TPU
Compteur
2002
Numero
Fig.
Ce
vitesse
-
II
travaille
teur.
-
L'electronique
courant
-
En
tensions
alimentee
-
La
besoin.
3.2
II
for
est
eventuellement.
gements
I'electronique
Attention!
Les
se
detection des derangements ne
done
teur de
En
d'abord
-
branchement
electronique
-
flux
(pour
TCW
-
pression
«
designations
schemas
021
021
954
955
de
connexions
-5
pour
-5
pour
Appareillage
de
commande
001
210AX.
pour
de
recevoir
et
de
mesurer
pour
entre
et
la
pompe
062 -330.
de fn!quences COUNTER
de
15
Counter
cas
batterie
Depistage
dans
que
commande
2002
de
rotation
independamment
est
moteur
de
basses
trop
faibles,
par
une
n'est a utiliser
la
commande
TCP
120/121
ainsi
possible
pouvant
TCP.
de
des
d'eliminer
equipements
sont
pas
exempts
se
faire
qu'avee un transforma-
securite additionnel.
cas
de
panne,
aux
contr61es
secteur
liquide
de
1
mbar).
TCP -
de
121
uniquement),
monte
vide
primaire
de
TCP
002
10.
Fig.
essais
essais et
seri a mesurer
alimentee
vitesses
intervenir
TCP
proceder
refroidissement
se
rapporient
TCP
120
TCP
121.
de
controle
et
mesures
14
et
mesures
taus
les
signaux
Ie
courant
Ie
des
la
batterie
mesures
cable
de
turbo
PM
COO
pam
pes
du
par
pompe
l'electronique
turbo.
avec
de
qu'en
derangements
electroni~
de
localiser
les
dans
120
et
TCP
de potentiel.
tout
suivants:
et
connexion
pompe
turbo
avec
et
du
raccor-
125.
la
turbo.
sec-
Ie
des
9 V.
cas
et,
deran-
121
La
peut
du
est
de
24
Fig.
14
Me~
-
und
Testing
adapter
Adaptateur
Notizen I Notes
Prufadapter
pour
essais
et
mesures
Fig.
15
Frequenzzahler
Frequency
Compteur
Counter
de
COUNTER
2002
fn3quences
2002
COUNTER
2002
25
3.3
Storungen
und
deren
Behebung
-
Wenn
die
ten
nicht
nach Fig.
-
1st
Fl
delekt,
uberprufen.
-
Sind
V2,
an
X5
abziehen,
seln
und
-
Wenn
eine
PM 021
tet,
Ordnung.
- Bei
V14,
Prufen
Signal an Pin 8
signalen an Pin
an Pin
und 9.
logisch
Prufen
Wird
Gerat
der
LED
844
ist
Schaltnetzteil
delekten
Dl0l
0101
10
Pin 1
und
0102
"Reset"
Pumpe
lauft,
10
V3
Lufter
auf
ist
nach
dem
Sicherungen
uberprufen.
Schalttranistaren
in
Ordnung,
Sicherung
einschalten.
in
der
TCP
dem
Steuerprint
-X
ca. 2 Sekunden
(ahne
V2
und
V3
auch
und
Nl07
"berpr"len.
und 9 mit
10
vergleichen.
invers
zu
Signal
und
Pin 2
verknOpft.
aktiviert,
sind
muB
EinschalFl
Pumpenkabel
F1
lauft
V14)
Ausgangs-
zu
an Pin 4
o V anliegen, Pin 2 invers Pin 1, Pin
invers Pin
Prufen
An
derliches
gung
Prufen
Pin
3, Pin
Pin 1, Pin
invers Pin 6
Prufen
Am
X5/a7 -X5/b7
eine
oder
An
N1
Ben. An
anliegen.
1st
V14
tigung
nung
Geht
nung
nach
nicht
11
und
Pin
12
Nl07
Pin 2
steht
ein
uber
Rechtecksignal
mit
ca.
0,3 -100
0103
13
invers Pin
15
invers Pin 2, Pin
12
4,
Pin
invers Pin 5, Pin
und
Pin
10
V14
Ausgangsstecker
Brucke
legen.
S6
schalten.
04
Pin 8 gegen Pin 3
X5/a1
in
Ordnung,
des Kurzschlusses
innerhalb 1 Sekunde
bei KurzschluB an Pin 8
nicht
auf
Beseitigung
auf
45
Van,
zwischen
und
X5/a6 -X5/b6
"Reset"
mussen
0 V
dann
steigt
oder
des Kurzschlusses
ist
V14
invers Pin
R199
zur
Verfu-
Hz.
14
invers Pin
16
invers Pin 7.
uber
kurzschlie-
nach Besei-
die
Span-
auf
die
steigt
delekt.
und
V2,
wech-
und
leuch-
in
V6,
Vll,
Signal
an
Pin 8
Pin 3
veran-
invers
11
Netz
0 V
45
Van.
Span-
diese
3.3
-
If
F2
switching
per
V3
-
If
transistors
-
II
pump
switch
-
If
a LED on
illuminates
switching
is in order.
-
If
V'2
V6,
Checking 0 101
Compare
with
signal
at
cal and
Checking 0
If
"Reset"
10
available
pin
13.
pin 12 inverse
Checking N
A
square-wave
pin 2 which
with
Checking 0
Pin
to
16
pin
pin
je
Checking
Place a
between
ween
"Reset"
Short-circuit
o V
If
V14
increase
the
If
the
pin 8 is
age
short
defective.
Malfunctions
and
their
Elimination
the
pump
does
not
start
after
on,
check
fuses
F1
Fig.
10.
F1
is defective,
V2,
V3
are in order,
cable
on
fan
and
Vll,
the
output
at
tied
the
inside
control
power
V3
V14,
the
pin
the
pins 8 and 9. Pins 1 and 2 are
check
V2,
V3.
at
unit.
for
are
signal
10
to
X5,
Dl
pin 3.
pull
replace fuse
the
Tep
PCB
PM 021
approx. 2 seconds,
pack
defective,
01 and N 1
at
signals
is inverse
and F2 as
the
switching -En
out
is
running
(without
also
07.
pins 8 and 9
at
pin
10.
to
the
102
is
activated,
at
1,
pin
pin 10 inverse
to
0 V
4;
pin 2 inverse
to
pin
pin
13.
must
11
and
107
signal
is available
Hz.
apprax.
can be varied via R
0.3 -100
103
13
inverse
pin
3, pin
inverse
5,
pin
10
inverse
to
11
to
pin
15
inverse
pin
1, pin
inverse
to
pin 7.
4,
pin
to
pin 2, pin
12
to
pin 6, and
14
inverse
V14
bridge
at
the
output
connector
X5/a7
and
X5/b7
and
X5/a6
and
via
the
must
then
is in order,
to
short
45 V within
circuit
voltage
short-circuited,
does
not
circuit
has been removed,
X5/b6.
mains
pin 8
be available
has been removed.
does
rise
or
to
pin 3
the
voltage
not
go
to
45 V after
Switch
56.
at
N 1
at
X5/a
will
1 second
to
0 V
or
if
this
the
F1
and
and
844
-X
the
V14)
check
The
signal
logi-
be
to
at
199
inverse
to
bet-
04.
1.
after
when
volt-
the
V14
3.3
Derangements
elimination
- Si la
mise
et
F2
cas de
transistors
-
En
I'absence de
deconnecter
X5,
changer
l'appareil
- Si
Ie
TCP
fonctionne
s'allume
la
carte
mentation
est
alors
-
En
cas de
verifier
Dl0letNl07.
Controle de
Com
parer
les
avec
broche
inverse au
existe une liaison
signaux
la
broche
Controle de
5i
la
touche
tension
broche
broche
broche
brache
Controle de
Un signal
broche
etre
modifiee
R199.
0,3 a 100
Controle de
Broche
broche
broche
broche
broche
broche
broche
Controle de
Ponter aux
X5/a7 -X5/b7
Connecter
S6.
is
En
N 1
contre
d'une
pompe
en
ventilateur
ne
marche,
selan Fig.
detaut
de
Ie
Ie
en
marche.
pendant
PM
021
de
commande
en ordre.
derangement
egalement
commutation
0101
Ie
signal aux
signaux
10.
Le
signal a la
signal aux
des
broches 1 et 2 et
3.
0102
"Reset"
de 0 V
4,
la
broche 2 etant
1, la
broche
11
et
la
13.
Nl07
rectangulaire
2,
signal
par
Plage de
Hz.
0103
13
inverse a
14
inverse a
15
inverse a
16
inverse a
12
inverse a
11 inverse a
10
inverse a
V14
connecteurs
"Reset"
04
court-circuiter
broche
tension
3. Presence
de 0 V a
et
leur
fonctionne
verifier
10.
sur
detaut
dible
fusible
dans
et
env. 2 secondes
844
de
logique
doit
broche
dont
Ie
I'amplitude:
et
les
F1. contr61er les
sur
de
la
F1
et
I'electronique
qu'une
V6,
X5/a6 -X5/b6.
sur
diode
-X,le
(sans
de
Vll,
broches 8 et
sortie
a la
broche
broches 8 et
entre
est activee, une
etre presente a
10
inverse a la
12
inverse a la
est
I'amplitude
potentiometre
broche
broche
broche
broche
broche
broche 6 et
broche
de
sortie
secteur
broche
obligatoire
X5/al.
pas
apres
fusibles
V2
et
V2
pompe
V2
present a la
V3.
et
V3,
en
remettre
DEL
sur
bloc
d'ali-
V14)
et
V3,
V14,
10
9.
les
ceux de
la
inverse a
peut
env. de
4,
3,
2,
1,
5,
7.
entre
ou
sur
8
est
Fl
9
II
la
26
Si
V14
est en
remonte
pression du
S'il
broche
tension
suppression
detectueux.
en 1 sec. a
n'y
a pas presence de 0 V a
8 apres
ne
ordre,
court-circuit.
remonte
du
45 V apres
courtcircuitage
pas a
court-circuit,
la
tension
45
sup-
la
ou si la
Vapres
V14
est
I R19?
=
Fig.
16
Steuerprint
Control
PCB
Carte commande
SENSIBLES
'---------------
Nlffi
C123
NI06
J-
ACHTUNG
ELEKTROSTATISCH
GEFAHRDETE
BAUELEMENTE
ATTENTION
ELECTROSTATIC
SENSITIVE DEVICES
ATTENTION
LES APPAREILS
AUX
ELECTROSTATIQUES
IEGB)
SONT
PHENOMENES
DI01
X21
I
p:,
DIe<'
Ids
"-t"'R"'IS"'S"'
R156
gesch
lossen/
","~o"._
L
____
DI03
closed/terme
S101
~
INI0?
--
-
~
',,---->-
--
~
-='--
Notizen / Notes
------------
27
3.4
Funktionsbeschreibung
Relais
Oas Relais K2
takten
externe
andere
Abschaltung
gung
Folgende
von
K2:
1.
Oberdrehzahl > 105
2.
Hochlaufzeit
3. Falsche
R198.
Herstellerwerk
4.
Defekt
5. Oefekt
Pin 3 bei
Uber
schalter
den geschlossen)
von K2
nung
nach ca. 2 Sekunden.