Betriebsanleitung
Compact Cold Cathode Gauge
Ganzmetall
IKR 270
BG 805 008 BD / A (0206) 1
Inhaltsverzeichnis
Produktidentifikation 3
Gültigkeit 3
Bestimmungsgemässer Gebrauch 3
Funktion 3
1 Sicherheit 4
1.1 Verwendete Symbole 4
1.2 Personalqualifikation 4
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 4
1.4 Verantwortung und Gewährleistung 4
2 Technische Daten 5
3 Einbau 7
3.1 Vakuumanschluss 7
3.1.1 Magneteinheit entfernen 8
3.2 Elektrischer Anschluss 9
3.2.1 Verwendung mit Pfeiffer Vacuum-Messgeräten 9
3.2.2 Verwendung mit anderen Auswertegeräten 9
4 Betrieb 11
5 Instandhaltung 12
5.1 Messröhre reinigen / Ersatzteile einbauen 12
5.1.1 Zerlegen 12
5.1.2 Messröhre reinigen 15
5.1.3 Messröhre zusammenbauen 15
5.2 Verhalten bei Störung 17
6 Ausbau 18
7 Produkt zurücksenden 19
8 Zubehör 19
9 Ersatzteile 20
10 Entsorgung 20
Anhang 21
A: Beziehung zwischen Messsignal und Druck 21
B: Gasartabhängigkeit 22
Kontaminationserklärung 23
Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (® 2 XY) verwendet, für Verweise auf
andere Dokumente das Symbol (® & [Z]).
2 BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270
Produktidentifikation
Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben des Typenschildes erforderlich.
Übertragen Sie daher diese Angaben auf das Ebenbild.
Pfeiffer Vacuum, D - 35614 Asslar
Typ:
No:
F-No:
V ; W
VACUUM
Compact
Cold Cathode
Gauge
Gültigkeit
Bestimmungsgemässer
Gebrauch
Funktion
Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit der Artikelnummer
PT R21 251
(Flansch DN 40 CF-F kurze Version)
PT R21 261 (Flansch DN 40 CF-F lange Version)
Sie finden die Artikelnummer auf dem Typenschild.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.
Die Compact Cold Cathode Gauge IKR 270 erlaubt die Vakuummessung im
Druckbereich von 5×10
-11
... 1×10-2 mbar.
Die Messröhre kann mit einem Pfeiffer Vacuum-Messgerät für KompaktMessröhren oder mit einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben werden.
Das Messsignal ist über den gesamten Messbereich logarithmisch vom Druck
abhängig.
Eingesetzt wird ein Kaltkatoden-Ionisationsmesskreis (nach dem Prinzip des
invertierten Magnetrons).
BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270 3
1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole
1.2 Personalqualifikation
GEFAHR
Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art.
WARNUNG
Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden.
Hinweis
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen
oder geringfügigen Sachschäden führen.
Fachpersonal
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke
1.4 Verantwortung und
Gewährleistung
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen
ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und
über die nötigen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend
geschult wurden.
· Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die
einschlägigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen (® 2 6) und
Prozessmedien.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen der Prozessmedien infolge Eigenerwärmung des Produkts.
· Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen Vorschriften und
Einhaltung der Schutzmassnahmen zulässig. Beachten Sie zudem die in
diesem Dokument angegebenen Sicherheitsvermerke.
· Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter.
Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der
Betreiber oder Drittpersonen
· dieses Dokument missachten
· das Produkt nicht bestimmungsgemäss einsetzen
· am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen, usw.) vornehmen
· das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produkt-
dokumentationen nicht aufgeführt ist.
Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt
beim Betreiber.
4 BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270
2 Technische Daten
Zulässige Temperatur
Lagerung
-40 °C ... +65 °C
Betrieb
alle Versionen
lange Version
+ 5 °C ... +55 °C
250 °C im Ausheizbereich gemäss
Massbild (ohne Magnetabschirmung)
Ausheizen
kurze Version
+250 °C (ohne Elektronikeinheit und
Magnetabschirmung)
lange Version
+250 °C im Ausheizbereich gemäss
Massbild (ohne Magnetabschirmung)
Relative Feuchte max. 80% bei Temperaturen bis +31 °C
abnehmend auf 50% bei +40 °C
Verwendung nur in Innenräumen
Höhe bis zu 2000 m NN
Messbereich (Luft, N2) 5×10
Genauigkeit
Reproduzierbarkeit
Gasartabhängigkeit
-11
... 1×10-2 mbar
» ± 30 %
im Bereich 1×10
» ± 5%
im Bereich 1×10
® Anhang B
-9
... 1×10-3 mbar
-9
... 1×10-3 mbar
Schutzart IP 40
Überdruck
£ 9 bar
beschränkt auf inerte Gase und
Temperaturen < 100 °C
Speisung
GEFAHR
Die Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen
werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung
(SELV-E nach EN 61010) entsprechen. Die Leitung zur Messröhre ist
abzusichern.
Spannung an der Messröhre 14.5 ... 30.0 V= (Rippel max. 1 Vpp)
Leistungsaufnahme
Sicherung
1)
Die minimale Spannung des Speisegerätes muss proportional zur Leitungslänge
erhöht werden.
Spannung am Speisegerät bei
maximaler Leitungslänge 16.0 ... 30.0 V= (Rippel max. 1 V
1)
£ 2 W
£ 1 AT
)
pp
Anschluss elektrisch Kompaktstecker Hirschmann
Typ GO 6, 6-polig, Kontaktstifte
Kabel 5-polig plus Abschirmung
maximale Leitungslänge 100 m (0.25 mm² Leiter)
150 m (0.34 mm² Leiter)
500 m (1.0 mm² Leiter)
Betriebsspannung
(in der Messkammer)
£ 3.3 kV
Betriebsstrom
(in der Messkammer)
£ 100 µA
1)
Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergeräte für Kompakt-Messröhren erfüllen
dies.
BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270 5
Ausgangssignal (Messsignal)
Spannungsbereich
» 0 V ... » +10.5 V
Beziehung Spannung-Druck logarithmisch, Steigung 0.8 V / Dekade
(® Anhang A)
Fehlersignal < 0.5 V (keine Speisung)
Ausgangsimpedanz
Normlast
Minimale Last
Ansprechzeit
p > 10
p = 10
-6
mbar
-8
mbar
2×10 W
100 kW
10 kW, kurzschlussfest
druckabhängig
< 10 ms
» 1 s
Identifikation der Messröhre
Widerstand 7.15 kW gegen Speisungserde
Erdkonzept
Vakuumflansch-Messerde
® Figur 1
über 10 kW verbunden
(max. Spannungsdifferenz
bezüglich Sicherheit ±50 V
bezüglich Genauigkeit ±10 V)
Speisungserde-Signalerde getrennt geführt; bei grossen Leitungs-
längen (³10 m) wird differentielle
Messung empfohlen
Werkstoffe gegen Vakuum
Durchführungsisolation
Interne Dichtung
Flansch
Anode
Zündhilfe
Inneres Volumen
Abmessungen
Keramik (Al
Ag
Edelstahl (1.4306 / AISI 304L)
Mo
Edelstahl (1.4310 / AISI 301)
» 20 cm³
105.5
24,1
28 53
DN 40 CF-F
ø 63,5
2O3
)
VACUUM
Compact
Cold Cathode
Gauge
20
216,35
24,1
DN 40 CF-F
32 57
ø 63,5
Ausheizbereich
Compact
Cold Cathod e
Gauge
20103,25
VACUUM
Gewicht 950 g (DN 40 CF-F kurze Version)
1100 g (DN 40 CF-F lange Version)
6 BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270
3 Einbau
3.1 Vakuumanschluss
Hinweis
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der
Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in bezug auf
Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.
Die Einbaulage ist frei wählbar, Partikel sollten jedoch nicht in die Messkammer
gelangen können (® 2 12).
Den notwendigen Platzbedarf ersehen Sie aus dem Massbild (® 2 6).
Schutzdeckel entfernen.
Schutzdeckel werden bei Instandhaltungsarbeiten benötigt.
Flanschverbindung herstellen.
Bei der Montage kann es vorteilhaft
sein, die Magneteinheit vorübergehend
zu entfernen (® Abschnitt 3.1.1).
GEFAHR
Vorsicht: Überdruck im Vakuumsystem > 4 bar
Bei KF-Flanschverbindungen können elastomere Dichtringe
(z.B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr standhalten. Dies kann
zu Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium
führen.
Dichtringe mit einem Aussenzentrierring verwenden.
GEFAHR
Vorsicht: Überdruck im Vakuumsystem > 1 bar
Unsachgemässes Öffnen von Spannelementen kann zu Ver-
letzungen durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente verwenden, die sich nur mit einem Werkzeug
öffnen und schliessen lassen (z.B. Spannband-Spannring).
BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270 7
3.1.1 Magneteinheit entfernen
GEFAHR
Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen:
· CF-Flansche entsprechen dieser Forderung
· Für KF-Flansche ist ein elektrisch leitender Spannring zu
verwenden.
Benötigtes Werkzeug
Vorgehen
· Innensechskantschlüssel 1.5 mm
· Gabelschlüssel 7.0 mm
a) Innensechskant-Gewindestift (1) seitlich an der Elektronikeinheit (2) lösen.
b) Elektronikeinheit abnehmen.
Hinweis
Aus Toleranzgründen ist bei erneuter Montage wieder die gleiche
Magnet- und Elektronikeinheit aufzusetzen.
c) Sechskantschraube (3) an der Magneteinheit (4) lösen und Magneteinheit
abnehmen.
Hinweis
Aufgrund der magnetischen Krafteinwirkung und der Tendenz,
leicht zu verkanten, ist das Trennen von Magneteinheit und
Messkammer (7) erschwert.
d) Messröhre an das Vakuumsystem anflanschen.
e) Magneteinheit aufsetzen und mit der Sechskantschraube (3) arretieren.
f) Elektronikeinheit (2) vorsichtig aufsetzen.
g) Elektronikeinheit bis zum Anschlag schieben und mit dem Innensechskant-
Gewindestift (1) arretieren.
8 BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270
2
3
2
1
4
3
3.2 Elektrischer Anschluss
3.2.1 Verwendung mit Pfeiffer
Vacuum-Messgeräten
7
Wird die Messröhre mit einem
Pfeiffer Vacuum-Messgerät für
Kompakt-Messröhren betrieben,
wird ein entsprechendes
Verbindungskabel benötigt
(® 2 19).
· Stecker an der Messröhre
mit der Schraube sichern.
1
4
7
VACUUM
Compact
Cold Cathode
Gauge
3.2.2 Verwendung mit anderen
Auswertegeräten
Vorgehen
Die Messröhre kann auch mit anderen Messgeräten betrieben werden. In diesem
Fall muss das Verbindungskabel selbst angefertigt werden.
2
Bei Leitungslängen bis 10 m (bei 0.34 mm
Leiterquerschnitt) kann das Messsignal
ohne Verlust an Genauigkeit direkt zwischen positivem Signalausgang (Pin 2) und
Speisungserde (Pin 5) gemessen werden. Bei grösserer Leitungslänge ist differentielle Messung zwischen Signalausgang und Signalerde (Pin 3) empfohlen (das
Common mode-Signal beträgt bei maximal zugelassener Leitungslänge infolge
Spannungsabfall über der Speisungserdleitung ca. 1.0 V).
Kabeldose vorbereiten
(Bestellnummer ® 2 19).
BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270 9
Verbindungskabel gemäss Schema einlöten.
10k
Figur 1: Elektrischer Anschluss
Pin 1 Identifikation
Pin 2 Signalausgang
(Messsignal)
Pin 3 Signalerde
Pin 4 Speisung
Pin 5 Speisungserde
Pin 6 Abschirmung
WARNUNG
Die Speisungserde (Pin 5) sowie die Abschirmung (Pin 6) sind
in jedem Fall beim Speisegerät mit Erde zu verbinden.
Falscher Anschluss, falsche Polarität oder nicht zulässige
Speisespannung können die Messröhre beschädigen.
10
10
7,15k
2
3
1
4
5
6
2
3
4
5
1
6
+
V
–
+
–
Kabeldose zusammenbauen.
Kabeldose einstecken.
Stecker an der Messröhre mit
der Schraube sichern.
VACUUM
Compact
Cold Cathode
Gauge
10 BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270
4 Betrieb
Nach dem Anlegen der Speisespannung steht zwischen den Anschlüssen 2 und 3
das Messsignal zur Verfügung (Beziehung zwischen Messsignal und Druck
® Anhang A).
Die grüne Lampe auf der Messröhre
zeigt den Betriebszustand an:
Speisespannung vorhanden.
Speisespannung nicht vorhanden.
Hinweis
Schalten Sie die Messröhre nur bei Drücken <10-2 mbar ein, um eine
übermässige Verschmutzung zu vermeiden.
Bei Pfeiffer Vacuum-Messgeräten für Kompakt-Messröhren und
mindestens zwei Messröhrenanschlüssen kann die KaltkatodenMessröhre beispielsweise durch eine Pirani-Messröhre gesteuert
werden.
Gasartabhängigkeit
Zündverzögerung
Verschmutzung
Das Messsignal ist gasartabhängig. Die Kennlinien gelten für trockene Luft, N2, O
und CO. Für andere Gase können sie umgerechnet werden (® Anhang B).
Wird die Messröhre mit einem Pfeiffer Vacuum-Messgerät für KompaktMessröhren betrieben, kann für diese Fälle ein Kalibrierfaktor zur Korrektur des
angezeigten Messwertes eingegeben werden (® & des entsprechenden
Messgerätes).
Kaltkatoden-Messröhren haben beim Einschalten eine Zündverzögerung. Sie
nimmt mit tieferen Drücken zu und beträgt bei:
-7
10
mbar » 0.1 Minute
-8
mbar » 1 Minute
10
-9
mbar » 5 Minuten
10
-10
mbar » 20 Minuten
10
-11
mbar » 30 Minuten
5×10
Die Verschmutzung der Messröhre ist abhängig von der Art der im Rezipienten
vorhandenen Verunreinigungen und ihrem Partialdruck. Bei dauernd tiefen
Drücken (< 1´10-6 mbar) sind Standzeiten > 1 Jahr bis zur Reinigung erreichbar
(Messröhre reinigen ® 2 12).
Das Mass der Verschmutzung kann in begrenztem Rahmen beeinflusst werden:
· Durch geometrische Schutzmassnahmen (Abschirmbleche, Krümmer) für sich
in gerader Linie ausbreitende Teilchen
· Durch gezielte Wahl der Messröhren-Flanschposition an einem Ort, wo der
Partialdruck der Verunreinigung minimal ist.
Bei Dämpfen, die sich unter Plasma (des Kaltkatoden-Messsystems) abscheiden,
ist besondere Vorsicht geboten. Notfalls ist es erforderlich, die Messröhre während
der Anwesenheit der Dämpfe abzuschalten.
2
BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270 11
5 Instandhaltung
GEFAHR
Vorsicht: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können zu Gesundheitsschäden führen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle
Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten.
5.1 Messröhre reinigen /
Ersatzteile einbauen
Benötigtes Werkzeug / Material
5.1.1 Zerlegen
Vorgehen kurze Version
GEFAHR
Vorsicht: Reinigungsmittel
Reinigungsmittel können zu Gesundheits- und Umweltschäden führen.
Beim Umgang mit Reinigungsmitteln die einschlägigen Vorschriften
beachten und die Schutzmassnahmen bezüglich deren Handhabung
und Entsorgung einhalten.
· Innensechskantschlüssel 1.5 mm
· Innensechskantschlüssel 3.0 mm
· Gabelschlüssel 7.0 mm
· Zange für Sicherungsring
· Poliertuch (Korn 400) oder Scotch-Brite
· Pinzette
· Industriealkohol
· Montagewerkzeug für Zündhilfe
· Zündhilfe
· Metalldichtung (11) für Anodendurchführung
a) Messröhre ausbauen (® 2 18).
b) Innensechskant-Gewindestift (1) seitlich an der Elektronikeinheit (2) lösen
(® Figur 2).
c) Elektronikeinheit abnehmen.
Hinweis
Aus Toleranzgründen ist bei erneuter Montage wieder die gleiche
Magnet- und Elektronikeinheit aufzusetzen.
d) Sechskantschraube (3) an der Magneteinheit (4) lösen und Magneteinheit
abnehmen.
Hinweis
Aufgrund der magnetischen Krafteinwirkung und der Tendenz,
leicht zu verkanten, ist das Trennen von Magneteinheit und
Messkammer (7) erschwert.
12 BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270
g) Sicherungsring (5) und den Poleinsatz (6) aus der Messkammer entfernen.
h) 4 Innensechskantschrauben (8) inkl. Schraubensicherung (8a) an der Rückseite
der Messkammer entfernen.
i) Nacheinander mit der notwendigen Sorgfalt das Druckstück (9), die Scheibe
(9a), die komplette Anode (10) und die Metalldichtung (11) inkl. Zentrierring (12)
entfernen.
Die Teile können nun gereinigt oder ersetzt werden.
2
3
1
4
Vorgehen lange Version
11
12
10a
7
8
8a
9a
10
9
7
Figur 2a
6
5
Figur 2b
a) Messröhre ausbauen (® 2 18).
b) Innensechskant-Gewindestift (1) seitlich an der Elektronikeinheit (2) lösen
(® Figur 3).
c) Elektronikeinheit abnehmen.
Hinweis
Aus Toleranzgründen ist bei erneuter Montage wieder die gleiche
Magnet- und Elektronikeinheit aufzusetzen.
d) Sechskantschraube (3) an der Magneteinheit (4) lösen und Magneteinheit
abnehmen.
Hinweis
Aufgrund der magnetischen Krafteinwirkung und der Tendenz,
leicht zu verkanten, ist das Trennen von Magneteinheit und
Messkammer (7) erschwert.
e) Sicherungsring (5) und den Poleinsatz (6) aus der Messkammer entfernen.
BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270 13
f) 2 Innensechskantschrauben (20) inkl. Schraubensicherung (19) an der Ver-
längerung entfernen.
g) Nacheinander mit der notwendigen Sorgfalt das Druckstück (18), den Isolator
(17) und die Anodenverlängerung (13) entfernen.
h) 2 Innensechskantschrauben (16) inkl. Schraubensicherung (15) und das Rohr
(14) entfernen.
i) 4 Innensechskantschrauben (8) inkl. Schraubensicherung (8a) an der Rückseite
der Messkammer entfernen.
j) Nacheinander mit der notwendigen Sorgfalt das Druckstück (9), die Scheibe
(9a), die komplette Anode (10) und die Metalldichtung (11) inkl. Zentrierring (12)
entfernen.
Die Teile können nun gereinigt oder ersetzt werden.
2
3
1
4
Figur 3a
Figur 3b
7
20
19
18
17
14
16
15
6
5
7
9a
10
10a
12
11
6
5
13
8
8a
9
7
Figur 3c
14 BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270
5.1.2 Messröhre reinigen
Vorgehen
a) Mit einem Poliertuch die Innenwandungen der Messkammer sowie den
Poleinsatz blank reiben.
Hinweis
Dichtfläche nur konzentrisch bearbeiten.
b) Messkammer und Poleinsatz mit Industriealkohol spülen.
c) Beides trocknen.
Anode reinigen oder ersetzen:
a) Alte Zündhilfe (10a) beispielsweise mit einer Pinzette entfernen (® Figur 2).
b) Anodenstift mit dem Poliertuch blank reiben.
Hinweis
Anode nicht verbiegen. Keramik nicht mechanisch bearbeiten.
c) Anode mit Industriealkohol spülen.
d) Anode trocknen.
e) Neue Zündhilfe (10a) in das Montagewerkzeug einlegen.
f) Anode (gereinigt oder neu) sorgfältig zentral
und parallel zur Werkzeugachse in die Zündhilfe eindrücken und ca. 15 mm weit einschieben. Die endgültige Positionierung
erfolgt erst nach dem Einbau der Anode.
Anode
Zündhilfe
Werkzeug
5.1.3 Messröhre zusammenbauen
Vorgehen kurze Version
BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270 15
a) Neue Metalldichtung (11) mit dem Zentrierring (12) zentrisch in die Mess-
kammer einlegen. Dichtfläche, Dichtung und Keramik müssen sauber sein
(® Figur 2b).
b) Anode (10) inkl. Zündhilfe (10a) sorgfältig in die Messkammer einlegen.
c) Die Scheibe (9a) und das Druckstück (9) auf die Messkammer aufsetzen und
mit den 4 Schrauben (8) inkl. Sicherungsscheiben (8a) gleichmässig bis zum
Anschlag anziehen.
d) Positionieren der Zündhilfe (10a): Montagewerkzeug für die Zündhilfe auf den
Anodenstift stecken und bis zum Anschlag einschieben.
e) Partikel in der Messkammer mit trockenem Stickstoff ausblasen (und dabei die
Messkammer mit dem Flansch nach unten halten).
f) Poleinsatz (6) bis zum mechanischen Anschlag in die Messkammer ein-
schieben.
g) Sicherungsring (5) satt an den Poleinsatz setzen.
Hinweis
Kontrollieren Sie visuell, ob der Anodenstift zentrisch zum mittleren
Loch des Poleinsatzes ist (max. zulässige Exzentrizität = 0.5 mm).
h) Nach Möglichkeit einen Lecktest durch führen (Leckrate <10-9 mbar l/s).
i) Magneteinheit (4) aufsetzen und mit der Sechskantschraube (3) arretieren.
j) Elektronikeinheit (2) aufsetzen und mit dem Innensechskant-Gewindestift (1)
arretieren.
Vorgehen lange Version
a) Neue Metalldichtung (11) mit dem Zentrierring (12) zentrisch in die Mess-
kammer einlegen. Dichtfläche, Dichtung und Keramik müssen sauber sein
(® Figur 3c).
b) Anode (10) inkl. Zündhilfe (10a) sorgfältig in die Messkammer einlegen.
c) Die Scheibe (9a) und das Druckstück (9) auf die Messkammer aufsetzen und
mit den 4 Schrauben (8) inkl. Sicherungsscheiben (8a) gleichmässig bis zum
Anschlag anziehen.
d) Positionieren der Zündhilfe (10a): Montagewerkzeug für die Zündhilfe auf den
Anodenstift stecken und bis zum Anschlag einschieben.
e) Partikel in der Messkammer mit trockenem Stickstoff ausblasen.
f) Poleinsatz (6) bis zum mechanischen Anschlag in die Messkammer ein-
schieben.
g) Sicherungsring (5) satt an den Poleinsatz setzen.
Hinweis
Kontrollieren Sie visuell, ob der Anodenstift zentrisch zum mittleren
Loch des Poleinsatzes ist (max. zulässige Exzentrizität = 0.5 mm).
h) Nach Möglichkeit einen Lecktest durchführen (Leckrate <10-9 mbar l/s).
i) Die komplette Messkammer mit dem Flansch nach unten auf den Tisch stellen
und die Verlängerung (13) sorgfältig auf den Anodenstift aufstecken
(® Figur 4).
j) Das Rohr (14) sorgfältig darüber stülpen und mit den 2 Schrauben (16) und den
Schraubensicherungen (15) festschrauben.
k) Den Isolator (17) in der abgebildeten Weise auf die Verlängerung (13) fädeln
und das Druckstück (18) mit 2 Schrauben (20) und den Schraubensicherungen
(19) festschrauben.
Hinweis
Das Innere des Rohres und der Isolator müssen völlig sauber und
frei von Fuseln sein.
l) Magneteinheit (4) aufsetzen und mit der Sechskantschraube (3) arretieren.
m) Elektronikeinheit (2) aufsetzen und mit dem Innensechskant-Gewindestift (1)
arretieren.
16 BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270
20
19
18
17
14
16
15
13
7
5.2 Verhalten bei Störung
Figur 4
Störung Mögliche Ursache Behebung
Messsignal dauernd
Speisung fehlt. Speisung einschalten.
< 0.5 V und grüne Lampe
leuchtet nicht.
Messsignal dauernd
< 0.5 V und grüne Lampe
leuchtet.
Speisespannung zu
niedrig.
Speisespannung erhöhen
(® 2 5).
Elektronikeinheit defekt. Elektronikeinheit ersetzen
(® 2 12).
Messsignal dauernd im
Bereich 0.5 ... 1.96 V
(underrange).
Druck in Vakuumkammer
-11
< 5×10
mbar.
Gasentladung hat nicht
gezündet.
–
Warten, bis Gasentladung zündet
(» 20 Minuten bei einem
Druck von 10
-10
mbar).
BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270 17
6 Ausbau
GEFAHR
Vorsicht: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können zu Gesundheitsschäden führen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle
Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten.
Hinweis
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der
Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in bezug auf
Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.
Vorgehen
Messröhre ausser Betrieb setzen.
Verbindungskabel lösen.
Messröhre von der Vakuum-
apparatur demontieren.
Schutzdeckel aufsetzen.
VACUUM
Compact
Cold Cathode
Gauge
18 BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270
7 Produkt zurücksenden
8 Zubehör
WARNUNG
Vorsicht: Versand kontaminierter Produkte
Zur Wartung oder Reparatur eingesandte Produkte sollen nach
Möglichkeit frei von Schadstoffen sein (z.B. radioaktiver, toxischer,
ätzender oder mikrobiologischer Art).
Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transportunternehmen
beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung beilegen.
Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Bestellnummer
Verbindungskabel zu Pfeiffer VacuumMessgerät für Kompakt-Messröhren
3 m
6 m
10 m
Leitungsdose, Hirschmann GO 6 WF,
6-polig, abgewinkelt, Buchsen
Magnetabschirmung
BG 448 250 -T
BG 448 251 -T
BG 448 252 -T
B 4707 283 MA
PT 443 155 -X
BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270 19
9 Ersatzteile
Bestellen Sie Ersatzteile immer mit den folgenden Angaben:
· Produkttyp
· Fabrikationsnummer gemäss Typenschild
· Position, Beschreibung und Bestellnummer gemäss Ersatzteilliste
Nachfolgende Teile sind als Ersatzteilsätze lieferbar:
Pos. Beschreibung Bestellnummer
Wartungssatz, bestehend aus:
10a
11
12
9a
3× Zündhilfe
1× Dichtung HNV 100 (9×1.6)
1× Zentrierring
1× Scheibe
BN 846 241 -T
12
8
8a
9a
10
10a
11
Reparatursatz, bestehend aus:
10
9
7
10a
11
12
9a
10a
1× Anode, komplett
3× Zündhilfe
1× Dichtung HNV 100 (9×1.6)
1× Zentrierring
1× Scheibe
Zündhilfensatz, bestehend aus:
10× Zündhilfe
Montagewerkzeug für Zündhilfe BG 510 600
Austausch-Messröhre
(defekte Messröhre zurücksenden)
Flansch DN 40 CF-F, kurze Version
Flansch DN 40 CF-F, lange Version
BN 846 240 -T
BN 845 995 -T
BG G21 251 A
BG G21 261 A
10 Entsorgung
WARNUNG
N
20 BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270
Vorsicht: Umweltgefährdende Stoffe
Produkte, Betriebsmittel usw. müssen unter Umständen speziell
entsorgt werden.
Zwecks fachgerechter Entsorgung bitte mit Ihrer nächstgelegenen
Pfeiffer Vacuum-Servicestelle Kontakt aufnehmen.
Anhang
A: Beziehung zwischen
Messsignal und Druck
Umrechnungstabelle
Umrechnungskurven
Messsignal U
[V] [mbar]
Druck p
[Torr] [Pa]
< 0.5 Sensorfehler (sensor error)
0.5...1.96 Messbereichsunterschreitung (underrange)
1.96
2.2
3.0
3.8
4.6
5.4
6.2
7.0
7.8
8.6
5.0×10
1.0×10
1.0×10
1.0×10
1.0×10
1.0×10
1.0×10
1.0×10
1.0×10
1.0×10
-11
-10
3.75×10
7.5×10
-9
-8
-7
-6
-5
-4
-3
-2
7.5×10
7.5×10
7.5×10
7.5×10
7.5×10
7.5×10
7.5×10
7.5×10
-11
-11
-10
-9
-8
-7
-6
-5
-4
-3
8.6...10.5 Messbereichsüberschreitung (overrange)
Druck p
1E–00
1E–01
1E–02
1E–03
5.0×10
1.0×10
1.0×10
1.0×10
1.0×10
1.0×10
1.0×10
1.0×10
0.1
1.0
-9
-8
-7
-6
-5
-4
-3
-2
Pa
mbar
torr
Umrechnungsformeln
1E–04
1E–05
1E–06
1E–07
1E–08
1E–09
1E–10
1E–11
0.0 0.5 1.0 1.5 2.5 3.5 4.5 5.5 6.5 7.5 8.5 9. 5 10.52.0 3.0 4.0 5.0 6.0 7.0 8.0 9.0 10.0
underrange
sensor error
overrange
Messsignal U [V]
U = c + 0.8×log
p
10
Û
Up c d Up c d
[V] [mbar] 10.2 12.75 [V] [micron] 7.9 9.875
[V] [µbar] 7.8 9.75 [V] [Pa] 8.6 10.75
[V] [Torr] 10.3 12.875 [V] [kPa] 11.0 13.75
[V] [mTorr] 7.9 9.875
p = 10
1.25×U-d
wobei U Messsignal
p Druck
gültig im
Bereich
c, d Konstanten (abhängig
von der Druckeinheit)
BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270 21
-11
mbar < p < 1×10-2 mbar
1×10
-12
7.5×10
1×10
Torr < p < 7.5×10-3 Torr
-9
Pa < p < 1 Pa
B: Gasartabhängigkeit
Angezeigter Druck
(Messröhre für Luft geeicht)
p (mbar)
4
2
–3
10
8
6
4
2
–4
10
8
6
4
2
–5
10
8
6
4
2
–6
10
8
6
4
2
–7
10
10
–7
24
–6
10
6
24
Luft / Air
O
2
CO
N
10
2H2
–3
24
Ne
p
eff
He
6
(mbar)
–2
10
Xe Kr
–5
10
6
24
–4
10
6
24
Ar
6
Anzeigebereich unter 10-5 mbar
Im Bereich unter 10-5 mbar ist die Anzeige linear. Für andere Gase als Luft können
der Druck durch eine einfache Umrechnung ermittelt werden:
p
= K × angezeigter Druck
eff
wobei Gasart K
Luft (N2, O2, CO) 1.0
Xe 0.4
Kr 0.5
Ar 0.8
H
2
2.4
Ne 4.1
He 5.9
Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte.
Hinweis
Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen zu tun. Eine
genaue Erfassung ist in diesen Fällen nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z.B. mit einem Quadrupol-Massenspektrometer.
22 BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270
Kontaminationserklärung
Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und vollständig ausgefüllte Kontaminationserklärung vorliegt. Sonst kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten.
Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt (in Druckbuchstaben) und unterschrieben werden.
Art des Produkts
Ty penbezeichnung
Artikelnummer
Seriennummer
Grund für die Einsendung
Verwendete(s) Betriebsmittel
Einsatzbedingte Kontaminierung des Produkts
toxisch nein
ätzend nein
mikrobiologisch nein
explosiv nein
radioaktiv nein
sonstige Schadstoffe nein q ja
q
ja
q
ja
q
ja q *)
q
ja q *)
q
ja q *)
q
q
q
*) Derart kontaminierte
Produkte werden nur
bei Nachweis einer
vorschriftsmässigen
Dekonta minierung
entgegengenommen!
Schadstoffe und/oder Reaktionsprodukte
Schadstoffe oder prozessbedingte, gefährliche Reaktionsprodukte, mit denen das Produkt in Kontakt kam:
Handels-/Produktname
Hersteller
Rechtsverbindliche Erklärung
Hiermit versichere(n) ich/wir, dass die Angaben korrekt und vollständig sind. Der Versand des kontami nierten Produkts erfüllt die
gesetzlichen Bestimmungen.
Firma/Institut
Strasse PLZ, Ort
Telefon Telefax
E-Mail
Name
Datum und rechtsverbindliche Unterschrift Firmenstempel
Chemische Bezeichnung
(evtl. auch Formel)
Gefahrenklasse
Massnahmen bei Freiwerden
der Schadstoffe
Erste Hilfe
bei Unfällen
Verteiler: Original an den Adressaten - 1 Kopie zu den Begleitpapieren - 1 Kopie für den Absender
BG 805 008 BD / A (0206) IKR 270 23
Berliner Strasse 43
D–35614 Asslar
Deutschland
Tel +49 (0) 6441 802-0
Fax +49 (0) 6441 802-202
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www.pfeiffer-vacuum.de
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