MOTOROLA MPX5100 User Manual

MOTOROLA

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SEMICONDUCTOR TECHNICAL DATA

Order this document

by MPX5100/D

MPX5100

Integrated Silicon Pressure Sensor
On-Chip Signal Conditioned,
Temperature Compensated
and Calibrated

The MPX5100 series piezoresistive transducer is a state–of–the–art monolithic silicon
pressure sensor designed for a wide range of applications, but particularly those
employing a microcontroller or microprocessor with A/D inputs. This patented, single
element transducer combines advanced micromachining techniques, thin–film metalliza­tion, and bipolar processing to provide an accurate, high level analog output signal that is
proportional to the applied pressure.

Features

• 2.5% Maximum Error over 0° to 85°C

• Ideally suited for Microprocessor or Microcontroller–Based Systems

• Patented Silicon Shear Stress Strain Gauge

• Available in Absolute, Differential and Gauge Configurations

• Durable Epoxy Unibody Element

• Easy–to–Use Chip Carrier Option

V

S

SERIES

OPERATING OVERVIEW

INTEGRATED PRESSURE

SENSOR

0 to 100 kPa (0 to 14.5 psi)

15 to 115 kPa

(2.18 to 16.68 psi)

0.2 to 4.7 V olts Output

BASIC CHIP CARRIER

ELEMENT

CASE 867–08, STYLE 1

SENSING
ELEMENT

THIN FILM

TEMPERATURE

COMPENSATION

AND

GAIN STAGE #1

GND

GAIN STAGE #2

AND

GROUND

REFERENCE

SHIFT CIRCUITRY

PINS 4, 5 AND 6 ARE NO CONNECTS

V

out

Figure 1. Fully Integrated Pressure Sensor Schematic

MAXIMUM RATINGS

Overpressure

Burst Pressure
Storage Temperature T
Operating Temperature T

1. TC = 25°C unless otherwise noted.

2. Exposure beyond the specified limits may cause permanent damage or degradation to the device.

(2)

(1)

Parametrics Symbol Value Unit

(P1 > P2)
(P2 > P1)

(2)

(P1 > P2) P

P

max

burst

stg

A

400
400

1000 kPa
–40° to +125° °C
–40° to +125° °C

kPa

DIFFERENTIAL PORT OPTION

CASE 867C–05, STYLE 1

NOTE: Pin 1 is the notched pin.

PIN NUMBER

1

V

out

2

Gnd

3

NOTE: Pins 4, 5, and 6 are internal
device connections. Do not connect
to external circuitry or ground.

V

S

4

N/C

5

N/C

6

N/C

REV 6

 Motorola, Inc. 1998

1Motorola Sensor Device Data

MPX5100 SERIES

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OPERATING CHARACTERISTICS

(VS = 5.0 Vdc, TA = 25°C unless otherwise noted, P1 > P2)

Characteristic Symbol Min Typ Max Unit

Pressure Range

Supply Voltage
Supply Current I
Minimum Pressure Offset

@ V

S

Full Scale Output

@ V

S

Full Scale Span

@ V

S

Accuracy

(1)

Gauge, Differential: MPX5100D
Absolute: MPX5100A
Vacuum: MPX5100GV

(2)

(3)

= 5.0 Volts

(4)

Differential and Absolute (0 to 85°C)

= 5.0 Volts Vacuum

(5)

Differential and Absolute (0 to 85°C)

= 5.0 Volts Vacuum

(6)

(11)

(11)

(0 to 85°C)

(11)

P

OP

0

15

0

V

V

V

FSO

S
o
off

4.75 5.0 5.25 Vdc
— 7.0 10 mAdc

0.088 0.20 0.313 Vdc

4.587

3.688

V

FSS

—
—

— — —

—
—
—

4.700

3.800

4.500

3.600

100
115
100

4.813

3.913
—

—

"

2.5 %V

kPa

Vdc

Vdc

Sensitivity V/P — 45 — mV/kPa
Response Time
Output Source Current at Full Scale Output I
Warm–Up Time
Offset Stability

(7)

(8)

(9)

t

R

o+

— 1.0 — mS

— 0.1 — mAdc
— — 20 — mSec
— —

"

0.5 — %V

Decoupling circuit shown in Figure 4 required to meet electrical specifications.

MECHANICAL CHARACTERISTICS

Characteristic Symbol Min Typ Max Unit

Weight, Basic Element (Case 867) — — 4.0 — Grams
Common Mode Line Pressure

NOTES:

1. 1.0kPa (kiloPascal) equals 0.145 psi.

2. Device is ratiometric within this specified excitation range.

3. Offset (V

) is defined as the output voltage at the minimum rated pressure.

off

4. Full Scale Output (V

5. Full Scale Span (V
minimum rated pressure.

6. Accuracy (error budget) consists of the following:

• Linearity: Output deviation from a straight line relationship with pressure over the specified pressure range.

• Temperature Hysteresis: Output deviation at any temperature within the operating temperature range, after the temperature is

• Pressure Hysteresis: Output deviation at any pressure within the specified range, when this pressure is cycled to and from

• TcSpan: Output deviation over the temperature range of 0° to 85°C, relative to 25°C.

• TcOffset: Output deviation with minimum pressure applied, over the temperature range of 0° to 85°C, relative

• Variation from Nominal: The variation from nominal values, for Offset or Full Scale Span, as a percent of V

7. Response Time is defined as the time for the incremental change in the output to go from 10% to 90% of its final value when subjected to
a specified step change in pressure.

8. Warm–up is defined as the time required for the product to meet the specified output voltage after the Pressure has been stabilized.

9. Offset stability is the product’s output deviation when subjected to 1000 hours of Pulsed Pressure, Temperature Cycling with Bias Test.

10. Common mode pressures beyond what is specified may result in leakage at the case–to–lead interface.

11. Pressure Range: Vacuum sensor is rated to 100 kPa; part is tested to a vacuum pressure equivalent to 80 kPa.

(10)

) is defined as the output voltage at the maximum or full rated pressure.

FSO

) is defined as the algebraic difference between the output voltage at full rated pressure and the output voltage at the

FSS

— — — 690 kPa

cycled to and from the minimum or maximum operating temperature points, with zero differential pressure
applied.

minimum or maximum rated pressure at 25°C.

to 25°C.

at 25°C.

FSS

FSS

FSS

2 Motorola Sensor Device Data

MPX5100 SERIES

LUORO SILICONE

STAINLESS STEEL

STAINLESS STEEL

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ON–CHIP TEMPERATURE COMPENSATION, CALIBRATION and SIGNAL CONDITIONING

Figure 2 shows the sensor output signal relative to
pressure input. Typical, minimum, and maximum out­put curves are shown for operation over a temperature
range of 0° to 85°C using the decoupling circuit below.
(The output will saturate outside of the specified pres­sure range.)

F

GEL DIE COAT

WIRE BOND

DIE

METAL COVER

EPOXY PLASTIC

CASE

OUTPUT (V)

5

VS = 5 Vdc

4.5
T

3.5

2.5

1.5

0.5

4

3

2

1

0

= 25°C

A

MPX5100

0

10

20

30

40

PRESSURE (kPa)

TYP

50

MAX

60

MIN

70

Figure 2. Output versus Pressure Differential

FLUORO SILICONE

GEL DIE COAT

WIRE BOND

DIE

SPAN RANGE (TYP)

OUTPUT RANGE (TYP)

80

90

110

100

METAL COVER

EPOXY PLASTIC

CASE

OFFSET

(TYP)

LEAD FRAME

DIFFERENTIAL/GAUGE ELEMENT

DIE

BOND

Figure 3. Cross–Sectional Diagrams

(Not to Scale)

Figure 3 illustrates both the Differential/Gauge and the
Absolute Sensing Chip in the basic chip carrier (Case 867). A
fluorosilicone gel isolates the die surface and wire bonds
from the environment, while allowing the pressure signal to
be transmitted to the sensor diaphragm.

The MPX5100 series pressure sensor operating char-

1.0mF

0.01mF

LEAD FRAME

ABSOLUTE ELEMENT

acteristics, and internal reliability and qualification tests
are based on use of dry air as the pressure media. Media,
other than dry air, may have adverse effects on sensor
performance and long–term reliability. Contact the fac­tory for information regarding media compatibility in your
application.

+

5 V

V

V

IPS

S

out

GND

OUTPUT

DIE

BOND

Figure 4. Recommended Power Supply Decoupling.

For output filtering recommendations, please refer to

Application Note AN1646.

3Motorola Sensor Device Data

MPX5100 SERIES

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Transfer Function (MPX5100D, MPX5100GV)

Nominal Transfer Value: V

T emperature Error Multiplier

4.0

3.0

2.0

1.0

0.0

NOTE: The T emperature Multiplier is a linear response from 0 ° to –40°C and from 85° to 125°C.

Pressure Error Band

= VS (P x 0.009 + 0.04)

out

+/– (Pressure Error x Temp. Mult. x 0.009 x VS)

= 5.0 V ±5% P kPa

V

S

Break Points

MPX5100D Series

Temp Multiplier

– 40 3
0 to 85 1
+125 3

–40 –20 0 20 40 60

T emperature in °C

13012010080

140

3.0

2.0

1.0

0.0

Error (kPa)

–1.0
–2.0
–3.0

NOTE: For vacuum type parts (5100GV), Transfer Function is the same as that for 5100D Series.

0 20 40 60 80 100

Error Limits for Pressure

120

Pressure in kPa

MPX5100D Series

Pressure Error (max)
0 to 100 kPa ± 2.5 kPa

4 Motorola Sensor Device Data

Transfer Function (MPX5100A)

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MPX5100 SERIES

Nominal Transfer Value: V

T emperature Error Multiplier

4.0

3.0

2.0

1.0

0.0

NOTE: The T emperature Multiplier is a linear response from 0 ° to –40°C and from 85° to 125°C.

Pressure Error Band

= VS (P x 0.009 – 0.095)

out

+/– (Pressure Error x Temp. Mult. x 0.009 x VS)

= 5.0 V ±5% P kPa

V

S

Break Points

MPX5100A Series

Temp Multiplier

– 40 3
0 to 85 1
+125 3

–40 –20 0 20 40 60

T emperature in °C

13012010080

140

3.0

2.0

1.0

0.0

Error (kPa)

–1.0
–2.0
–3.0

Error Limits for Pressure

0 20 40 60 80 100

130

Pressure in kPa

MPX5100A Series

Pressure Error (max)

15 to 115 kPa ± 2.5 kPa

5Motorola Sensor Device Data

MPX5100 SERIES

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PRESSURE (P1)/VACUUM (P2) SIDE IDENTIFICATION T ABLE

Motorola designates the two sides of the pressure sensor
as the Pressure (P1) side and the Vacuum (P2) side. The
Pressure (P1) side is the side containing fluoro silicone gel
which protects the die from harsh media. The Motorola MPX

Part Number Case Type

MPX5100A, MPX5100D 867–08 Stainless Steel Cap
MPX5100DP 867C–05 Side with Part Marking
MPX5100AP, MPX5100GP 867B–04 Side with Port Attached
MPX5100GVP 867D–04 Stainless Steel Cap
MPX5100AS, MPX5100GS 867E–03 Side with Port Attached
MPX5100GVS 867A–04 Stainless Steel Cap
MPX5100ASX, MPX5100GSX 867F–03 Side with Port Attached
MPX5100GVSX 867G–03 Stainless Steel Cap

pressure sensor is designed to operate with positive differen­tial pressure applied, P1 > P2.

The Pressure (P1) side may be identified by using the

Table below:

Pressure (P1)
Side Identifier

ORDERING INFORMATION:

The MPX5100 pressure sensor is available in absolute, differential, and gauge configurations. Devices are available in the
basic element package or with pressure port fittings that provide printed circuit board mounting ease and barbed hose pres­sure connections.

MPX Series

Device Name Options Case Type

Basic Element Absolute 867–08 MPX5100A MPX5100A

Differential 867–08 MPX5100D MPX5100D

Ported Elements Differential Dual Ports 867C–05 MPX5100DP MPX5100DP

Absolute, Single Port 867B–04 MPX5100AP MPX5100AP
Gauge, Single Port 867B–04 MPX5100GP MPX5100GP
Gauge, Vacuum Port 867D–04 MPX5100GVP MPX5100GVP
Absolute, Axial 867E–03 MPX5100AS MPX5100A
Gauge, Axial 867E–03 MPX5100GS MPX5100D
Gauge, Vacuum Axial 867A–04 MPX5100GVS MPX5100D
Absolute, Axial PC Mount 867F–03 MPX5100ASX MPX5100A
Gauge, Axial PC Mount 867F–03 MPX5100GSX MPX5100D
Gauge Vacuum Axial PC Mount 867G–03 MPX5100GVSX MPX5100D

Order Number Device Marking

6 Motorola Sensor Device Data

P ACKAGE DIMENSIONS

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MPX5100 SERIES

–B–

B

PORT #2

VACUUM

(P2)

C

R

POSITIVE PRESSURE

M

(P1)

–A–

N

PIN 1

SEATING
PLANE

J
S

–T–

123456

F

D

6 PL

0.136 (0.005) T

L

G

M

M

A

CASE 867–08

NOTES:

1. DIMENSIONING AND TOLERANCING PER ANSI
Y14.5M, 1982.

2. CONTROLLING DIMENSION: INCH.

3. DIMENSION –A– IS INCLUSIVE OF THE MOLD
STOP RING. MOLD STOP RING NOT TO EXCEED

16.00 (0.630).

DIM MIN MAX MIN MAX

A 0.595 0.630 15.11 16.00
B 0.514 0.534 13.06 13.56
C 0.200 0.220 5.08 5.59
D 0.027 0.033 0.68 0.84

F 0.048 0.064 1.22 1.63

G 0.100 BSC 2.54 BSC

J 0.014 0.016 0.36 0.40
L 0.695 0.725 17.65 18.42

M 30 NOM 30 NOM

__

N 0.475 0.495 12.07 12.57
R 0.430 0.450 10.92 11.43
S 0.090 0.105 2.29 2.66

STYLE 1:

PIN 1. VOUT

2. GROUND

3. VCC

4. V1

5. V2

6. VEX

MILLIMETERSINCHES

ISSUE N

BASIC ELEMENT (A, D)

C

POSITIVE

PRESSURE

K

(P1)

PIN 1

S

V

J

NE

–T–

A

12 3 4 5 6

G

F

D

6 PL

0.13 (0.005) T

M

NOTES:

1. DIMENSIONING AND TOLERANCING PER ANSI
Y14.5M, 1982.

2. CONTROLLING DIMENSION: INCH.

DIM MIN MAX MIN MAX

A 0.690 0.720 17.53 18.28
B 0.245 0.255 6.22 6.48
C 0.780 0.820 19.81 20.82
D 0.027 0.033 0.69 0.84
E 0.178 0.186 4.52 4.72

F 0.048 0.064 1.22 1.63

G 0.100 BSC 2.54 BSC

J 0.014 0.016 0.36 0.41
K 0.345 0.375 8.76 9.53
N 0.300 0.310 7.62 7.87
S 0.220 0.240 5.59 6.10
V 0.182 0.194 4.62 4.93

STYLE 1:

M

B

PIN 1. VOUT

2. GROUND

3. VCC

4. V1

5. V2

6. VEX

MILLIMETERSINCHES

CASE 867A–04

ISSUE E

VACUUM SIDE PORTED (GVS)

7Motorola Sensor Device Data

MPX5100 SERIES

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P ACKAGE DIMENSIONS–CONTINUED

C

J

PORT #1

POSITIVE

PRESSURE

(P1)

PORT #2
VACUUM

(P2)

SEATING

PLANE

SEATING

–T–

PLANE

R

N

P

0.25 (0.010) T

X

–T– –T–

J

–P–

0.25 (0.010) T

M

M

Q

R

N

B

C

SEATING
PLANE

A

U
L

V

B

G

123456

D

F

PIN 1

M

Q

CASE 867B–04

ISSUE E

PRESSURE SIDE PORTED (AP, GP)

M

PIN 1

G

–A–

U

W

123456

F

CASE 867C–05

ISSUE F

PORT #1
POSITIVE
PRESSURE (P1)

–Q–

K

S

6 PL

0.13 (0.005) Q

M

S

P

T

L

V

PORT #2 VACUUM (P2)
PORT #1 POSITIVE

PRESSURE (P1)

–Q–

K

S

6 PL

D

M

0.13 (0.005)

A

NOTES:

1. DIMENSIONING AND TOLERANCING PER ANSI
Y14.5M, 1982.

2. CONTROLLING DIMENSION: INCH.

DIM MIN MAX MIN MAX

A 1.145 1.175 29.08 29.85
B 0.685 0.715 17.40 18.16
C 0.305 0.325 7.75 8.26
D 0.027 0.033 0.68 0.84
F 0.048 0.064 1.22 1.63
G 0.100 BSC 2.54 BSC

J 0.014 0.016 0.36 0.41
K 0.695 0.725 17.65 18.42
L 0.290 0.300 7.37 7.62
N 0.420 0.440 10.67 11.18
P 0.153 0.159 3.89 4.04
Q 0.153 0.159 3.89 4.04
R 0.230 0.250 5.84 6.35
S

0.220 0.240 5.59 6.10

U 0.910 BSC 23.11 BSC
V 0.182 0.194 4.62 4.93

S

M

STYLE 1:

PIN 1. VOUT

2. GROUND

3. VCC

4. V1

5. V2

6. VEX

NOTES:

1. DIMENSIONING AND TOLERANCING PER ANSI
Y14.5M, 1982.

2. CONTROLLING DIMENSION: INCH.

DIM MIN MAX MIN MAX

A 1.145 1.175 29.08 29.85
B 0.685 0.715 17.40 18.16
C 0.405 0.435 10.29 11.05
D 0.027 0.033 0.68 0.84
F 0.048 0.064 1.22 1.63
G 0.100 BSC 2.54 BSC
J 0.014 0.016 0.36 0.41
K 0.695 0.725 17.65 18.42
L 0.290 0.300 7.37 7.62
N 0.420 0.440 10.67 11.18
P 0.153 0.159 3.89 4.04
Q 0.153 0.159 3.89 4.04
R 0.063 0.083 1.60 2.11
S

0.220 0.240 5.59 6.10

U 0.910 BSC 23.11 BSC
V 0.182 0.194 4.62 4.93
W 0.310 0.330 7.87 8.38
X 0.248 0.278 6.30 7.06

STYLE 1:

PIN 1. VOUT

2. GROUND

3. VCC

4. V1

5. V2

6. VEX

MILLIMETERSINCHES

MILLIMETERSINCHES

PRESSURE AND VACUUM SIDES PORTED (DP)

8 Motorola Sensor Device Data

P ACKAGE DIMENSIONS–CONTINUED

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MPX5100 SERIES

–T–

M

SEATING
PLANE

0.25 (0.010) T

R

C

J

–P–

M

Q

N

B

PIN 1

A

U

L

V

123456

PORT #2
VACUUM (P2)

POSITIVE PRESSURE (P1)

–Q–

K

S

G

F

6 PL

D

0.13 (0.005) Q

M

T

S

P

CASE 867D–04

NOTES:

1. DIMENSIONING AND TOLERANCING PER ANSI
Y14.5M, 1982.

2. CONTROLLING DIMENSION: INCH.

DIM MIN MAX MIN MAX

A 1.145 1.175 29.08 29.85
B 0.685 0.715 17.40 18.16
C 0.305 0.325 7.75 8.26
D 0.027 0.033 0.68 0.84
F 0.048 0.064 1.22 1.63
G 0.100 BSC 2.54 BSC
J 0.014 0.016 0.36 0.41
K 0.695 0.725 17.65 18.42
L 0.290 0.300 7.37 7.62
N 0.420 0.440 10.67 11.18
P 0.153 0.159 3.89 4.04
Q 0.153 0.159 3.89 4.04
R 0.230 0.250 5.84 6.35
S

0.220 0.240 5.59 6.10

U 0.910 BSC 23.11 BSC
V 0.182 0.194 4.62 4.93

STYLE 1:

S

PIN 1. VOUT

2. GROUND

3. VCC

4. V1

5. V2

6. VEX

MILLIMETERSINCHES

ISSUE F

VACUUM SIDE PORTED (GVP)

–B–

PORT #1

POSITIVE

PRESSURE

(P1)

C

A

V

PIN 1

654321

K

S

J

N

E

–T–

G

F

D 6 PL

0.13 (0.005) T

M

NOTES:

1. DIMENSIONING AND TOLERANCING PER ANSI
Y14.5M, 1982.

2. CONTROLLING DIMENSION: INCH.

DIM MIN MAX MIN MAX

A 0.690 17.53 18.28
B 0.245 0.255 6.22 6.48
C 0.780 0.820 19.81 20.82
D 0.027 0.033 0.69 0.84
E 0.178 0.186 4.52 4.72
F 0.048 0.064 1.22 1.63
G 0.100 BSC 2.54 BSC
J 0.014 0.016 0.36 0.41
K 0.345 0.375 8.76 9.53
N 0.300 0.310 7.62 7.87
S 0.220 0.240 5.59 6.10
V 0.182 0.194 4.62 4.93

STYLE 1:

PIN 1. VOUT

M

B

0.720

2. GROUND

3. VCC

4. V1

5. V2

6. VEX

MILLIMETERSINCHES

CASE 867E–03

ISSUE D

PRESSURE SIDE PORTED (AS, GS)

9Motorola Sensor Device Data

MPX5100 SERIES

SUNSTAR传感与控制 http://www.sensor-ic.com/ TEL:[phone] FAX:[phone] E-MAIL:[e-mail]

SUNSTAR自动化 http://www.sensor-ic.com/ TEL: [phone] FAX:[phone] E-MAIL:[e-mail]

P ACKAGE DIMENSIONS–CONTINUED

V

PORT #1

POSITIVE

PRESSURE

(P1)

C

E

A
U

–Q–

N

R

–T–

PIN 1

–P–

654321

0.25 (0.010) T

M

M

Q

S

K

J

0.13 (0.005) Q

M

D

6 PL

S

P

T

S

G

F

NOTES:

1. DIMENSIONING AND TOLERANCING PER
ANSI Y14.5M, 1982.

2. CONTROLLING DIMENSION: INCH.

DIM MIN MAX MIN MAX

A 1.080 1.120 27.43 28.45
B 0.740 0.760 18.80 19.30
C 0.630 0.650 16.00 16.51

B

D 0.027 0.033 0.68 0.84
E 0.160 0.180 4.06 4.57
F 0.048 0.064 1.22 1.63
G 0.100 BSC 2.54 BSC
J 0.014 0.016 0.36 0.41
K

0.220 0.240 5.59 6.10

N 0.070 0.080 1.78 2.03
P 0.150 0.160 3.81 4.06
Q 0.150 0.160 3.81 4.06
R 0.440 0.460 11.18 11.68
S 0.695 0.725 17.65 18.42
U 0.840 0.860 21.34 21.84
V 0.182 0.194 4.62 4.93

STYLE 1:

PIN 1. VOUT

2. GROUND

3. VCC

4. V1

5. V2

6. VEX

MILLIMETERSINCHES

CASE 867F–03

ISSUE D

PRESSURE SIDE PORTED (ASX, GSX)

V

PORT #2
VACUUM

(P2)

C

E

POSITIVE

PRESSURE

(P1)

A
U

N

R

–T–

–P–

0.25 (0.010) T

PIN 1

123456

M

M

Q

S

K

J

0.13 (0.005) Q

M

D

6 PL

S

P

T

S

G

F

–Q–

B

NOTES:

1. DIMENSIONING AND TOLERANCING PER
ANSI Y14.5M, 1982.

2. CONTROLLING DIMENSION: INCH.

DIM MIN MAX MIN MAX

A 1.080 1.120 27.43 28.45
B 0.740 0.760 18.80 19.30
C 0.630 0.650 16.00 16.51
D 0.027 0.033 0.68 0.84
E 0.160 0.180 4.06 4.57
F 0.048 0.064 1.22 1.63

G 0.100 BSC 2.54 BSC

J 0.014 0.016 0.36 0.41
K 0.220 0.240 5.59 6.10
N 0.070 0.080 1.78 2.03
P 0.150 0.160 3.81 4.06

Q 0.150 0.160 3.81 4.06

R 0.440 0.460 11.18 11.68
S 0.695 0.725 17.65 18.42
U 0.840 0.860 21.34 21.84
V 0.182 0.194 4.62 4.93

STYLE 1:

PIN 1. VOUT

2. GROUND

3. VCC

4. V1

5. V2

6. VEX

MILLIMETERSINCHES

CASE 867G–03

ISSUE D

VACUUM SIDE PORTED (GVSX)

10 Motorola Sensor Device Data

NOTES

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SUNSTAR自动化 http://www.sensor-ic.com/ TEL: [phone] FAX:[phone] E-MAIL:[e-mail]

MPX5100 SERIES

11Motorola Sensor Device Data

MPX5100 SERIES

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Mfax is a trademark of Motorola, Inc.

Motorola reserves the right to make changes without further notice to any products herein. Motorola makes no warranty, representation or
guarantee regarding the suitability of its products for any particular purpose, nor does Motorola assume any liability arising out of the application
or use of any product or circuit, and specifically disclaims any and all liability , including without limitation consequential or incidental damages.
“Typical” parameters which may be provided in Motorola data sheets and/or specifications can and do vary in different applications and actual
performance may vary over time. All operating parameters, including “T ypicals” must be validated for each customer application by customer’s
technical experts. Motorola does not convey any license under its patent rights nor the rights of others. Motorola products are not designed,
intended, or authorized for use as components in systems intended for surgical implant into the body , or other applications intended to support
or sustain life, or for any other application in which the failure of the Motorola product could create a situation where personal injury or death
may occur. Should Buyer purchase or use Motorola products for any such unintended or unauthorized application, Buyer shall indemnify and
hold Motorola and its officers, employees, subsidiaries, affiliates, and distributors harmless against all claims, costs, damages, and expenses,
and reasonable attorney fees arising out of, directly or indirectly, any claim of personal injury or death associated with such unintended or
unauthorized use, even if such claim alleges that Motorola was negligent regarding the design or manufacture of the part. Motorola and
are registered trademarks of Motorola, Inc. Motorola, Inc. is an Equal Opportunity/Affirmative Action Employer.

12 Motorola Sensor Device Data

◊

MPX5100/D

美国 MOTOROLA 压力传感器

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SUNSTAR自动化 http://www.sensor-ic.com/ TEL: [phone] FAX:[phone] E-MAIL:[e-mail]

美国 MOTOROLA 公司的 MPX 系列硅压力传感器，主要以气压测量为主，适合用于医疗器械，气体压力控制等领域，输出数字信号。其测量方式可分为：

表压（GP）、绝压（A、AP）、差压（D、DP）型。在宽温度范围工作时需外加补偿网络和信号调整电路。具体型号分类而定

名称：MPX2010DP

名称：MPX5700DP MPX5700GP

名称：MPX2100AP

名称：MPX5500DP

名称：MPX5010DP

名称：MPX5100AP

名称：MPX4115AP

名称：MPX5050DP

名称：MPX2200A

名称：MPX2200AP

名称：MPXH6115A6U

名称：MPX4250DP

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名称：MPX4115A

名称：MPX2053GP

名称：MPX2202DP

名称：MPXY8300A6U 压力传感器

名称：MPX2102AP

名称：触力型压力传感器 FSG15N1A

名称：硅压力传感器 MPXH6115A

名称：压力传感器 FPM07

名称：MPX5700DP 硅压力传感器

名称：轮胎压力传感器 TP015

名称：MPX53GP 硅压力传感器

名称：轮胎压力传感器 NPP301

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名称：Freescale 压力传感器 MPX2010DP

商斯达实业传感器与智能控制分公司专门从事各种进口传感器的营销工作，代理多家欧美知名公司的产品。涉及压力、温度、湿度、电流、液位、

磁阻、霍尔、流量、称重、光纤、倾角、扭矩、气体、光电、位移、触力、红外、速度、加速度等多种产品。广泛应用于航空航天、医疗器械（如

血压计）、工业控制、冶金化工、汽车制造、教育科研等领域。

商斯达实业代理的品牌产品主要有：

压 力：Kulite、ACSI、Honeywell、Entran、Gems、Dwyer、SSI、Smi、Senstronics、Intersema、Motorola、 NAIS、E+H、Fujikura、Dytran、

APM

称重测力：Transcell、HBM、Interface、Thamesside、Philips、Entran

温 湿 度：Honeywell、Dwyer

流 量：Gems、Dwyer、Honeywell、Folwline、WorldMagnetics

液 位：Honeywell、Siccom、Gems、Dwyer、Kulite、SSI

加 速 度：Entran、Silicondesigns、Dytran

压力开关：ACSI、Gems、Dwyer、台湾矽微

航空器材：TexTech 隔音材料、Honeywell 薄膜加热片、DigirayX 射线探伤仪

仪 表：Honeywell、Transcell、东辉、上润、AD、东崎

商斯达实业 除代理上述产品外，还有几条传感器生产线，一条压力传感器组装线，可为用户提供各种用途的、特殊要求的配套产品。同时还和国

内众多同行建立了友好交流的合作关系。商斯达实业地处深圳，信息资源集中，技术力量雄厚，与国内外有着广泛的联系，本着互利互惠、让利

与长期合作者的原则，以成为企业 "理想的战略伙伴" 为已任，深受业界好评。商斯达实业期待着与您开展更友好、更广泛、更深入的合作！

飞思卡尔 > 传感器

MMA7260Q 是一款三轴 (XYZ-Axis) 向低重力加速度传感器，提供 1.5g、2g、4g 和 6g 的可选灵敏度。MMA7260Q

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SUNSTAR自动化 http://www.sensor-ic.com/ TEL: [phone] FAX:[phone] E-MAIL:[e-mail]

能够用于各种多功能应用，具备感应坠落、倾斜、移动、定位、撞击和震动的功能。它的封装尺寸很小，只需较

小的板卡空间，另外还提供快速启动和休眠模式，这些特性使 MMA7260Q 成为采用电池供电的电子产品的理想之选，

包括 PDA、手机、3D 游戏和数码相机等。 更多

重点汽车应用

轮胎压力监控系统 （中文）

轮胎压力监控系统(TPMS) 在线座谈 （中文）

重点产品

加速度（Low-g）传感器

MMA7260Q 低重力加速度（low-g）传感器 （中文）

MMA6200xxQ 低重力加速度（low-g）传感器 （中文）

集成压力传感器

MPXAZ 或 MPXHZ 封装的集成压力传感器特别适用于汽车应用

MPXA6115A 高温精确集成压力传感器 （中文）

MPXAZ6115A 媒体耐抗的高温精确集成压力传感器 （中文）

MPXH6115A 高温精确集成压力传感器 （中文）

MP3H6115A 高温精确集成压力传感器 （中文）

MPXHZ6115A 媒体耐抗的高温精确集成压力传感器 （中文）

MPXH6250A 集成压力传感器 （中文）

MPXH6300A 压力传感器 （中文）

MPXH6400A 集成压力传感器 （中文）

美国 motorola/freescale 气压传感器

MPX10D MPX10DP MPX10GP MPX10GS MPXV10GC6U MPXV10GC7U MPX12D MPX12DP MPX12GP MPX2010D MPX2010DP MPX2010GP MPXT2010G7U MPX2050D

MPX2050DP MPX2050GP MPX2050GVP MPX2050GS MPX2050GSX MPX2050GVSX MPX2053D MPX2053DP MPX2053GP MPX2100A MPX2100DP MPX2100AP MPX2100AS

MPX2100ASX MPX2102A MPX2102D MPX2102DP MPX2102AP MPX2102GP MPX2102GVP MPX2200A MPX2200D MPX2200DP MPX2200AP MPX2200GP MPX2200A

MPX2200D MPX2200DP MP2200AP MPX2200GP MPX21002A MPX2102D MPX2102DP MPX2102AP MPX2102GP MPX2102GVP MPX2200A MPX2200D MPX2200DP

MPX2200AP MPX2200GP MPX2201GP MPX2300DT1 MPX4080D MPX4100A MPXA4100A6U MPX4100AP MPXA4100A6U MPX4100AS MPX4101A MPXA4101AC6U

MPX4105A MPX4115A MPXA4115A6U MPX4115AP MPXA4115AC6U MPX4115AS MPX4200A MPX4200AP MPX4200SA MPX4200ASX MPX4250A MPX4250AP MPX4250A6U

MPXA4250A6T1 MPXA4250AC6U MPXA4250AC6T1 MPX4250D MPX4250GP MPX4250DP MPX5010D MPX5010DP MPX5010GP MPX5010GS MPX5010GSX MPXV5010G6U

MPXV5010G7U MPXV5010GC6U/T1 MPXV5010GC7U MPX5050D MPX5050DP MPX5050GP MPX5100A MPX5100D MPX5100DP MPX5100AP MPX5100GP MPX5100GVP

MPX5100AS MPX5100GS MPX5100GVS MPX5100ASX MPX5100GSX MPX5100GVSX MPX53D MPX53GP MPX5500D MPX5500DP MPX5700D MPX5700A MPX5700DP

MPX5700GP MPX5700AP MPX5700GS MPX5700AS MPX5999D MPXA6115A6U MPXA6115AC6U MPXA6115A MPXA6115A6T1 MPXA6115AC6T1 MPXAZ4100A6U

MPXAZ4100A MPXAZ4100A6T1 MPXAZ4100AC6U MPXAZ4100AC6T1 MPXAZ4115A6U MPXZ4115A MPXAZ4115A6T1 MPXAX4115AC6U MPXAZ4115AC6T1 MPXC2011DT1

MPXM2010D MPXM2010DT1 MPXM2010GS MPXM2010GST1 MPXM2053D MPXM2053DT1 MPXM2053GS MPXM2053GST1 MPXV4006GC6U MPXV4006G6U MPXV4115V6U

MPXV4115V6T1 MPXV4115VC6U MPXV5004GC6U/T1 MPXV5004G6U/T1 MPXV5004GC7U MPXV5004G7U MPXY8010 MPXY8020 MPXY8030 MPXY8040 MMA6200xxQ

低重力加速度（low-g）传感器

MPXA6115A 高温精确集成压力传感器 MPXAZ6115A 耐抗高温压力传感器 MPXH6115A 高温精确集成压力传感器

MP3H6115A 高温精确集成压力传感器 MPXHZ6115A 媒体耐抗的高温精确集成压力传感器 MPXH6250A 集成压力传感器 MPXH6300A 压力传感器

MPXH6400A 集成压力传感器 等汽车用压力传感器

详情请致电我公司或上我公司网站查询

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美国 motorola 压力传感器

MPX2010 MPX2100 MPX4080D MPX5050 MPX4105A MPX4200

MPX4250D MPX2050 MPX5999D MPX5100 MPX5010 MPX10

MPX4115A MPX4250A

MPX（毫伏输出）选型指南：（D：差压、A：绝压、P：含包装、MPX7000 系列适合电池供电）

型号 压力范围 KPa

MPX10D/DP 10 20 35 50 3.5 75 查看

MPX50D/DP 50 45 60 90 1.2 200 查看

MPX100D/DP/A/AP 100 45 60 90 0.6 200 查看

MPX200D/DP/A/AP 200 45 60 90 0.3 400 查看

MPX700D/DP 700 45 60 90 0.086 2800 查看

MPX2010D/DP 10 24 25 26 2.5 700 查看

MPX2050D/DP 50 38.5 40 41.5 0.8 200 查看

MPX2100D/DP/A/AP 100 38.5 40 41.5 0.4 400 查看

MPX2200D/DP/A/AP 200 38.5 40 41.5 0.2 400 查看

MPX2700D 700 38.5 40 41.5 0.057 2800 查看

MPX7050D/DP 50 38.5 40 41.5 0.8 200 查看

MPX7100D/DP/A/AP 100 38.5 40 41.5 0.4 400 查看

满量程输出，mV

灵敏度 mV/psi 过压 psi,Max 价格<元> 详细资料

Min. Typ. Max.

MPX7200D/DP/A/AP 200 38.5 40 41.5 0.2 400 查看

MPX（标准输出）选型指南

MPX4100A/AP 15-102 4618 4700 4782 54 400 查看

MPX4250A 20-250 4622 4690 4762 20 400 查看

MPX5010D/DP 10 4275 4500 4725 450 75 查看

MPX5050D/DP 50 4388 4500 4613 90 200 查看

MPX5100D/DP 100 4388 4500 4613 45 400 查看

MPX5100A/AP 15-115 4388 4500 4613 45 400 查看

MPX5500D/DP 500 4388 4500 4613 9.0 3500 查看

MPX5700D/DP 700 4388 4500 4613 6.0 2800 查看

MPX5999D/DP 1000 4388 4500 4613 5.0 2800 查看

Freescale

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加速度传感器（low g)

型 号

MMA6260Q

MMA6261Q

MMA6262Q

MMA6263Q

MMA2260D

MMA1260D

MMA1270D

MMA1250D

MMA1220D

MMA6231Q

MMA6233Q

型 号

MMA3201D

Acceleration(g) sensing axis sensitivity(mg/v) Rolloff frequency(hz) vdd(v) zero g output package

1.5/1.5 X-Y 800/800 50 3.3 1.65 16pin QFN

1.5/1.5 X-Y 800/800 300 3.3 1.65 16pin QFN

1.5/1.5 X-Y 800/800 150 3.3 1.65 16pin QFN

1.5/1.5 X-Y 800/800 900 3.3 1.65 16pin QFN

1.5 X 1200 50 5.0 2.5 16pin SOIC

1.5 Z 1200 50 5.0 2.5 16pin SOIC

2.5 Z 750 50 5.0 2.5 16pin SOIC

5.0 Z 400 50 5.0 2.5 16pin SOIC

8.0 Z 250 250 5.0 2.5 16pin SOIC

10/10 X-Y 120/120 300 3.3 1.65 16pin QFN

10/10 X-Y 120/120 900 3.3 1.65 16pin QFN

Freescale

Acceleration(g) sensing axis sensitivity(mg/v) Rolloff frequency(hz) vdd(v) zero g output package

40/40 X-Y 50/50 400 5.0 2.5 20pin SOIC

加速度传感器（Medium g)

MMA2201D

MMA2202D

MMA3222D

MMA3204D

MMA3202D

MMA2204D

MMA1213D

MMA1210D

型 号

MMA1211D

MMA2301D

MMA1212D

MMA2300D

MMA1200D

40 X 50 400 5.0 2.5 16pin SOIC

50 X 40 400 5.0 2.5 16pin SOIC

50/30 X-Y 40/66.67 400 5.0 2.5 20pin SOIC

100/30 X-Y 20/66.67 400 5.0 2.5 20pin SOIC

100/50 X-Y 50/100 400 5.0 2.5 20pin SOIC

100 X 20 400 5.0 2.5 16pin SOIC

50 Z 40 400 5.0 2.5 16pin SOIC

100 Z 20 400 5.0 2.5 16pin SOIC

Freescale

Acceleration(g) sensing axis sensitivity(mg/v) Rolloff frequency(hz) vdd(v) zero g output package

150 Z 13 400 5.0 2.5 16pin SOIC

200 X 10 400 5.0 2.5 16pin SOIC

200 Z 10 400 5.0 2.5 16pin SOIC

250 X 8.0 400 5.0 2.5 16pin SOIC

250 Z 8.0 400 5.0 2.5 16pin SOIC

加速度传感器（High g)

Freescale

集成压力传感器

型 号

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最大 压力

psi

最大 压力

kpa

最大 压力

in H2O

最大 压力

cm H2O

最大 压力

mm Hg

过压 (kpa)

量程 电压

vdc

灵敏 mV/Kpa

精度 0~85

(% of VFSS)

典型压力

A D G V

MPX4080

MPX4100

MPX4101

MPXA6115A

MPX4105

MPX4115

MPXH6115A

MPX4200

MPX4250

MPXH6250

MPXV4006

MPXV5004

MPX5010

11.6 80 321 815 600 400 4.3 54 ±3.0 •

15.2 105 422 1070 788 400 4.6 54 ±1.8

14.8 102 410 1040 765 400 4.6 54 ±1.8

16.7 115 462 1150 863 400 4.5 45.9 ±1.5

15.2 105 422 1070 788 400 4.6 51 ±1.8

16.7

16.7

16.7 115 462 1150 863 400 4.6 45.9 ±1.5

29 200 803 2040 1500 400 4.5 26 ±1.5

36

36

36 250 1000 2550 1880 400 4.7 19 ±1.5

0.87 6.0 24 61 45 10 4.6 766 ±5.0

0.57 4.0 16 40 29 10 3.9 1000 ±2.5

1.45 10 40 102 75 75 4.5 450 ±5.0

115

115

250

250

462

462

1000

1000

1174

1174

2550

2550

863

863

1880

1880

400

400

400

400

4.6

4.0

4.7

4.7

46

38

20

19

±1.5

±1.5

±1.5

±1.4

•

•

•

•

•

•

•

•

• •

•

• •

• •

• •

•

MPX5050

MPX5100

MPX5500

MPX5700

MPX5999

MPXh6300

MPXH6400

型 号

MPX2010

MPX2053

MPX2102

7.25 50 201 510 375 200 4.5 90 ±2.5

14.5

16.7

72.5 500 2000 5100 3750 2000 4.5 9.0 ±2.5

102 700 2810 7140 5250 2800 4.5 6.0 ±2.5

150 1000 4150 10546 7757 4000 4.5 5.0 ±2.5

44 300 1200 3060 2250 400 4.7 16 ±1.8

60 400 1600 4000 3000 500 4.7 12 ±1.5

最大压力

psi

1.45 10 40 102 75 75 ±1.0 25 2.5 -1.0 1.0 • •

7.0 50 201 510 375 200 ±1.0 40 0.8 -0.6 0.4

14.5

14.5

100

115

最大压力

kpa

100

100

401

462

最大压力

in H2O

400

400

1020

1174

最大压力

cm H2O

1020

750

863

Freescale

最大压力

mm Hg

750

750

400

400

4.5

4.5

带补偿压力传感器

过压

(kpa)

200 200

零位

偏差

mv

±2.0 ±

1.0

量程电压

mv

40

40

灵敏

mV/Kpa

0.4

0.4

45

45

线性%量程

最小

-1.0

-0.6

±2.5

±2.5

• • •

• • •

• •

• • •

•

•

•

线性%量程

最大

A D G V

• •

•

•

1.0

0.4

典型压力

•

MPX2202

SUNSTAR传感与控制 http://www.sensor-ic.com/ TEL:[phone] FAX:[phone] E-MAIL:[e-mail]

SUNSTAR自动化 http://www.sensor-ic.com/ TEL: [phone] FAX:[phone] E-MAIL:[e-mail]

29

29

200

200

800

800

2040

1500

1500

400 400

±1.0 ±

1.0

40

40

0.2

0.2

-1.0

-0.6

1.0

0.4

•

•

•

MPX2050

MPX2100

MPX2200

型号

MPX10

MPX12

MPX53

7.0 50 201 510 375 200 ±1.0 40 0.8 -0.3 -0.3

最大

压力

1020

2040

过压

(kpa)

750

750

1500

1500

Freescale

零位

量程

偏差

电压

mv

mv

Freescale

200 200

400 400

±2.0 ±

1.0

±1.0 ±

1.0

40

40

40

40

无补偿压力传感器

线性 %

小

线性 %

量程 最

大

灵敏

mV/Kpa

量程 最

胎压监测传感器

0.4

0.4

0.2

0.2

-1.0

-0.3

-1.0

-0.3

A D G V

-1.0

-0.3

-1.0

-0.3

典型压力

• •

• •

14.5

14.5

29

29

最大

压力

psi

1.45 10 40 102 75 75 20 35 3.5 -1.0 1.0 • •

1.45 10 40 102 75 75 20 55 3.5 -1.0 1.0

7.0 50 200 510 375 200 20 60 1.2 -0.6 0.4

最大

压力

kpa

100

100

200

200

最大

压力

in h2o

最大

压力

cm h2o

400

400

800

800

mm Hg

• •

• •

• •

•

•

型 号

MPXY8020A

MPXY8021A

MPXY8040A

最大 压

力 psi

130.5 900 9.0 8-BIT 5.0 ±25kpa ±20kpa ±4° C 2.1-3.6

最大 压

力 kpa

92.4 637.5 6.4 8-BIT 2.5 ±15kpa ±7.5kpa ±4° C

92.4 637.5 6.4 8-BIT 2.5 ±20kpa ±7.5kpa ±4° C 2.1-3.6

最大 压

力 BAR

量程 输

出

灵敏

kpa/count

最大压力

精度

-20° C

最大压力

精度

+25 ° C-+70° C

最大温度

精度

+25° C

工作电压 v

2.1-3.6

单位换算

单 位 千 帕 mm Hg millibars inchesH2O PSI

典型压力

A D G V

•

•

•

1 大气压 101.325 760.00 1013.25 406.795 14.696

1 千帕 1.00000

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1 mm Hg 0.133322 1.00000 1.33322 0.535257 0.0193368

1 millibar 0.100000 0.750062 1.00000 0.401475 0.0145038

1 inch H2o 0.249081 1.86826 2.49081 1.00000 0.0361

1 PSI 6.89473 51.7148 68.9473 27.6807 1.00000

1 hectoPascal 0.100000 0.75006 1.00000 0.401475 0.0145038

1 cm H2O 0.09806 0.7355 9.8x10*7 0.3937 0.014223

7.50062

10.0000 4.01475 0.145038

压力传感器型号解析(MPXA2XXXAPXT1)

M PX A 2 XXX A P X

无 -UNIBODY

AH- SSOP

M -

标准

品

S-

定制

品

P,X-

测试

品

A/V- SOP

AZ -SMALL OUTLINE MEDIA

RESISTANT PACKAGE

压

C-CHIP

力

HZ-SUPER SMALL OUTLINE

传

MEDIA RESISTANT

感

M-M PAK

器

Y-SUPER SMALL OUTLINE

PACKAGE(TPM)

无-无补偿

2-温度补偿校 正

3-open

4--温度补偿校正信

号

自动校准

5- 温度补偿校正信号

6-高温

7-CMOS

8-胎压检测

最大压力

（kpa)

mpx2300

(mmHg)

A-绝对压

力

G-表压

D-差压

V-真空

C-AXIXL PORT(SMALL

OUTLINE PACKAGE)

P-PORTED

SINGLE PORT

(AP,GP,GVP)

DUAL PORT(DP)

S-STOVEPIPE

PORT(UNIBODY)

SX-AXIAL PORT

(UNIBODY)

NONE-NO LEADFORM

0-OPEN

1-2 (CONSULT FACTORY)

3-5 OPEN

6-7 SOP ONLY

(6=GULL WING/SURFACE MOUNT)

(7= 87 DEGREES/DIP)

T1

NONE-TRAYS

T1-TAPE AND REEL

1 INDICATES PART

ORIENTATION IN TAPE

U-RAIL

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器、 压力变送、称重传感器、物（液）位传感器、物（液）位变送器、流量传感器、 流量变送器、电流
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