SM7110
HIOKI SM7110A962-05
SM7120
使用说明书
高阻计
SUPER MEGOHM METER
保留备用
Oct. 2022 Revised edition 5
SM7110A962-05 (A960-06) 22-10H
使用前请阅读
请妥善保管
初次使用时 有问题时
各部分的名称与功能
准备
p.25
p.16
维护和服务
错误显示与处理方法
p.161
p.164
CN
[600472525]
目 录
HIOKI SM7110A962-05
前言 ........................................................ 1
装箱内容确认 ........................................... 2
测量流程 .................................................5
关于安全 .................................................6
使用注意事项 ........................................... 9
1 概要 15
1.1 概要和特点 .................................... 15
1.2
各部分的名称与功能 .......................16
1.3
画面构成 ....................................... 20
■ 测量画面 ................................................ 20
■ 设置画面 ................................................ 20
1.4 测量画面的显示内容 .......................21
1.5
基本的按键操作 .............................22
■ 测量画面的显示 ...................................... 22
■ 各种菜单设置画面的显示 ......................... 22
■ 设置项目的选择 ...................................... 23
■ 数值的变更方法 ...................................... 24
2 准备 25
2.1 电源线的连接 ................................25
2.2
测试线的连接（本仪器侧） ................ 26
2.3
电极的连接 .................................... 26
2.4
温湿度传感器的连接 .......................28
2.5
接地 ..............................................28
2.6
要在测量之前对被测物进行充电
（预充电）时
2.7
为了安全地进行测量 .......................31
2.8
要通过 D/A 输出测量电流值时 ......... 32
2.9
电源的 ON/OFF ............................33
2.10
测量前的检查 ................................34
...................................30
3 基本测量 35
3.6 测量的开始与结束 .......................... 42
3.7
测量结果的确认 .............................42
■ 测试异常检测 ......................................... 42
■ 温度测量显示 ......................................... 42
■ 超出量程显示 ......................................... 42
3.8 基本测量示例 ................................43
4 应用测量 45
4.1 测量值稳定之后开始测量
（延迟功能） .................................... 45
4.2
缩小测量值的偏差（平均功能） .........46
4.3
自动测试（序列程序功能） ................ 48
4.4
电阻运算用电压值的设置 ................52
4.5
测量开始条件的变更（触发功能） ...... 53
■ 触发的设置 ............................................ 53
■ 外部触发的输入方法 ............................... 53
4.6 测试精度的维持（自校正功能） .........54
4.7
联锁功能的设置 .............................56
■ 联锁状态的解除方法 ............................... 57
4.8 预充电的设置 ................................58
4.9
限制流入被测物的电流
（电流限制器） ................................59
4.10 AUTO
4.11
接触检查（各种设置） ......................62
4.12
治具电容的取消
（治具电容开路补偿功能） ................64
4.13
接触检查（执行、判定值设置） .........65
4.14
电阻率运算的设置
（电阻率测量功能） .......................... 67
4.15
要进行更高速的测量时
（测量期间绘图更新切换功能） ..........70
4.16
扫描功能 ....................................... 71
■ 扫描功能的 ON/OFF .............................. 71
■ 扫描功能的设置 ...................................... 73
■ 扫描测量的执行 ...................................... 80
量程超时功能 ...................... 61
1
2
3
4
5
3.1 测量值显示模式的设置 ...................35
■ 显示位数的变更 ...................................... 36
3.2 测量用施加电压的设置 ...................37
3.3
3.4
3.5
SM7110A962-05
■ 显示方式的变更 ...................................... 36
测量速度的设置 .............................39
电流量程的变更 .............................40
测试线 / 电极的连接（被测物侧） ....... 41
5 适合被测物的测量方法 81
5.1 部件或电路的测量 .......................... 81
■ 使用测量治具时 ...................................... 82
■ 不使用测量治具时 ................................... 83
■ 自动测量 ................................................ 84
5.2 平板试料的测量 .............................86
i
目 录
HIOKI SM7110A962-05
■ 利用针型端子进行测量 ............................ 86
■ 利用表面电阻测试用电极进行测量 ............ 86
■ 利用平板试料用电极进行测量 .................. 87
■ 体积电阻测量、表面电阻率测量
（
GUARD电极的作用） ............................ 87
5.3 液体试料的测量 .............................89
■ 使用液体试料用电极时 ............................ 89
5.4 使用屏蔽箱进行测量 .......................90
5.5
电流的测量 .................................... 91
6 测量值的判定
（比较器功能） 93
6.1 判定音的设置 ................................95
6.2
判定结果的确认 .............................96
7 设置的保存 /读取
（面板保存 /读取） 97
7.1 设置保存（面板保存功能） ................ 98
7.2
设置读取（面板读取功能） ................ 99
7.3
面板名称的变更 ...........................100
7.4
面板内容的删除 ...........................101
9 外部控制 (EXT I/O) 115
9.1 灌电流 (NPN)/拉电流 (PNP) 的
............................................ 116
切换
9.2
外部输入输出端子与信号 .............. 116
■ 本仪器侧连接器与适合连接器 ................ 11 6
■ 本仪器侧连接器的信号配置.................... 117
■ 各信号的功能 ....................................... 118
9.3 时序图 ........................................120
■ 从测量开始起获取判定结果.................... 120
■ 电源接通时的输出信号状态.................... 126
■ 外部触发时的读入流程 .......................... 126
9.4 内部电路构成 ..............................127
■ 电气规格 .............................................. 128
■ 连接示例 .............................................. 129
9.5 EXT I/O用公头连接器（附件）
的组装方法 .................................. 130
9.6 EXT I/O
9.7
有关外部输入输出的设置 ..............132
■ 触发逻辑 .............................................. 132
■ 触发滤波器 .......................................... 133
■ GO信号逻辑设置 ................................. 134
■ EOM信号输出模式............................... 135
端子的输入输出测试 .......131
10 通讯 (USB, RS-232C,
11
12
8 系统设置 103
8.1 按键操作音的设置 ........................ 103
8.2
按键操作的有效 / 无效设置
（按键锁定） .................................. 104
8.3
内存数据的浏览 / 删除与外部输出 .. 105
■ 浏览 / 删除 ............................................ 106
8.4 电压异常的确认
（电压监视检查功能） .....................107
8.5
防止测试开始的误动作设置
（双动作功能） ..............................108
8.6
画面对比度的调整 ........................ 108
8.7
背光的调整 .................................. 109
8.8
电源频率的变更
（电源频率设置功能） .....................109
8.9
初始化（复位） .............................. 110
■ 初始设置清单 ........................................111
8.10 本仪器信息的确认 ........................ 113
GP-IB) 137
10.1 接口的概要和特点 ........................ 137
10.2 USB
■ USB驱动程序的安装 ............................ 138
■ USB连接线的连接 ............................... 138
■ 本仪器的设置 ....................................... 139
10.3 RS-232C接口 ............................140
■ RS-232C电缆的连接 ........................... 140
■ 本仪器的设置 ....................................... 141
■ 控制器（PC 或 PLC等）的设置 ............... 141
10.4 GP-IB接口 .................................142
■ GP-IB电缆的连接 ................................ 142
■ 本仪器的设置 ....................................... 142
10.5 各接口的通用设置 ........................ 144
■ 测量值的输出（数据输出功能）（仅限于
■ 通讯命令的显示（通讯监视功能） ............. 145
10.6 利用命令进行控制 ........................ 146
■ 远程状态 .............................................. 146
■ 本地状态 .............................................. 146
接口 ....................................138
RS-232C与 USB） ............................... 144
10
ii
目 录
HIOKI SM7110A962-05
11 规格 147
11.1 一般规格 ..................................... 147
11.2
输入规格 / 输出规格 / 测量规格 ....... 148
■ 基本规格 .............................................. 148
■ 精度规格 .............................................. 149
11.3 功能规格 ..................................... 152
11.4
接口规格 ..................................... 157
11.5
外部 I/O(EXT I/O) 规格 ................ 159
12 维护和服务 161
12.1 有问题时 ..................................... 161
■ Q&A（常见问题） .................................. 161
■ 错误显示与处理方法 ............................. 164
12.2 修理、检查与清洁 ........................ 166
附录 附 1
11
12
3
4
5
附录 1 内部电路 ................................. 附 1
附录 2 流入绝缘物电流的变化 ............. 附 2
附录 3 电压测试精度的计算示例
SM7110） ............................. 附 3
（
附录 4 降噪措施 ................................. 附 4
附录 5 用作电流表（使用外部电源时） ... 附 7
附录 6 被测物切换装置的制作 ............. 附 8
■ 被测物、切换装置以及本仪器的连接 .......附 8
■ 选择用于切换装置的继电器.....................附9
■ 切换装置的电路图 ................................附10
■ 继电器与电流限制用电阻（保护电阻）的
安装
...................................................附10
■ 电流限制电阻 ......................................附 11
附录 7 测试线的加工 ........................ 附12
附录 8 支架安装 ............................... 附 15
附录 9 外观图 .................................. 附 18
索引 索 1
6
7
8
9
10
附录索引
iii
目 录
HIOKI SM7110A962-05
iv
前言
HIOKI SM7110A962-05
感谢您选择 HIOKI SM7110、SM7120 高阻计。为了您能充分而持久地使用本产品，请妥善保管
使用说明书。
附带下述使用说明书。请根据用途阅读。
前言
使用说明书的最新版本
使用说明书内容可能会因修订 · 规格变更等而发生变化。
可从本公司网站下载最新版本。
https://www.hioki.cn/html/support/download.html
产品用户注册
为保证产品相关重要信息的送达，请进行用户注册。
https://www.hioki.cn/userscenter/intellectual/im_login.php
关于商标
•Windows 是美国 Microsoft Corporation 在美国、日本与其它国家的注册商标或商标。
•
特氟龙是
类型 记载内容 打印版
使用说明书（本手册） 本仪器的操作方法、功能、规格等 √
通讯命令使用说明书
The Chemours Company FC, LLC的注册商标或商标。
有关通讯的说明（信息参考、测量值格
式等）
CD版
文件名
-
SM7110A964-XX
√
2
4
关于标记
*
SET
（粗体）
[ ]
表示说明记载于底部位置。
操作键以粗体字进行标记。
画面上的键名称以 [ ]进行标记。
关于精度
通过利用相对于读数 (reading)、满量程 (full scale)、设置 (setting) 的比例、数位分辨率 (digits)
规定误差极限值，来表示测量仪器的精度。
满量程
（最大显示值）
读数
（显示值）
数位分辨率
（分辨率）
设置
（设置值）
表示各量程的最大显示值。本仪器的量程表示最大显示值。用“
表示满量程误差极限值。
表示测量仪器当前显示的值。用“
表示数字式测量仪器的最小显示单位，即最小位的
误差极限值。
表示要从测量仪器输出而设置的电压值、电流值等。用“
限值。
% of reading (% rdg)”来表示读数误差极限值。
1。 用“ digits (dgt)”来表示数位分辨率
% of full scale (% f.s.)”来
% of setting”来表示设置误差极
8
10
附录索引
1
装箱内容确认
HIOKI SM7110A962-05
装箱内容确认
本仪器送到您手上时，请检查在运输途中是否发生异常或损坏后再使用。尤其请注意附件、面板表
面的开关、按键及端子类等物件。万一有损坏或不能按照参数规定工作时，请与销售店（代理店）或
最近的 HIOKI 营业据点联系。
主机与附件
请确认装箱内容是否正确。
SM7110 或 SM7120 高阻计 使用说明书
短路插头
[GROUND端子 -OUTPUT 端子
（或 GUARD 端子）连接用 ]
EXT I/O用公头连接器 电源线
CD光盘（通讯命令使用说明书、USB 驱动程序）*
* ：可从本公司主页下载最新版本。
2
选件
HIOKI SM7110A962-05
本仪器可选购下述选件。需要购买时，请与销售店（代理店）或最近的 HIOKI 营业据点联系。选件可
能会随时变更。请通过本公司网站确认最新信息。
测试线
请参照第 11 页
L2230 针型测试线（红色） L2231 针型测试线（黑色）
长度 ：
端子形状 ： 三轴 BNC 端子形状 ： 香蕉
最大额定电压 ：
最大额定电流 ：1 A 最大额定电流 ：1 A
1 m 长度 ： 1 m
2000 V 最大额定电压 ：2000 V
装箱内容确认
2
L2232 夹型测试线（红色） L2233 夹型测试线（黑色）
长度 ：
端子形状 ： 三轴 BNC 端子形状 ： 香蕉
最大额定电压 ：
最大额定电流 ：1 A 最大额定电流 ：1 A
L2234 单侧无接头测试线（红色） L2235 单侧无接头测试线（黑色）
长度 ：
端子形状 ： 三轴 BNC 端子形状 ： 香蕉
最大额定电压 ：
最大额定电流 ：1 A 最大额定电流 ：1 A
1 m 长度 ： 1 m
2000 V 最大额定电压 ：2000 V
3 m 长度 ： 3 m
2000 V 最大额定电压 ：2000 V
4
8
通讯电缆
9637 RS-232C电缆
9针 -9 针 /1.8 m）
（
9638 RS-232C电缆
9针 -25 针 /1.8 m）
（
9151-02 GP-IB连接电缆
(2 m)
10
附录索引
3
装箱内容确认
HIOKI SM7110A962-05
电极
连接时，需要转换连接器。届时请另行协商。
SME-8301 表面电阻测试用电极 SME-8302 表面电阻测试用电极
SME-8310 平板测试用电极 SME-8311 平板测试用电极
SME-8320 砝码电极 SME-8330 液体测试用电极
SME-8350 屏蔽箱 SME-8360
SM9001 表面 /体积电阻测量用电极 SR-2 电阻箱
温湿度传感器 其它
Z2011 温湿度传感器 DSM8104F 联锁连接电缆
与 SME-8310、SME-8311、SME-8350 组合，
使用联锁功能时需要。
SMD
电容测试用电极
4
测量流程
HIOKI SM7110A962-05
请事先仔细阅读“使用注意事项”（第9页 ）。
设置 / 连接 / 接通电源
放置本仪器 （第 10 页）
测量流程
连接电源线（第 25 页）
连接测试线、电极与温湿度传感器（第 26 页）
连接外部接口（根据需要）
•
使用
EXT I/O（第 116 页）
•
通过
USB、RS-232C或 GP-IB与PC进行通讯（第 137 页）
接通电源（第33页）
（预热时间
30分钟以上）
本仪器的设置（第 35 页）
设置测量条件（根据需要）
•
基本设置（第
•
测量条件的定制设置（第
•
系统相关设置（第
•
初始设置清单（第
35页）
45页）
103页）
111 页）
连接测试线与电极
接通电源
连接电源线
连接温湿度传感器
EXT I/O
使用
通过 USB、RS-232C或 GP-IB 与
PC进行通讯
2
4
测量开始
执行开路补偿（第 64 页）
接触检查功能为 ON时，必须执行
将测试线连接到被测物上（第 41 页）
开始测量（第 42 页）
确认测量值（第 42页）
预充电设置为
按下 STOP键结束测量（第 42 页）
外部触发时，会在 1次测量之后自动结束测量
ON时，使用 CHARGE 端子向被测物充电。（第58页）
结束
关闭电源（第 33 页）
8
10
附录索引
5
关于安全
HIOKI SM7110A962-05
关于安全
本仪器是按照 IEC61010 安全标准进行设计和测试，并在安全的状态下出厂的。另外，如果不遵守
本使用说明书记载的事项，则可能会损坏本仪器所配备的用于确保安全的功能。
在使用本仪器前请认真阅读下述与安全有关的事项。
危 险
如果使用方法有误，有可能导致人身事故和仪器的故障。请熟读使用说明书，在充分理
解内容后进行操作。
警 告
包括触电、发热、火灾以及因短路而导致的电弧放电等电气危险。初次使用电气测量仪
器的人员请在资深电气测量人员的监督下进行使用。
关于标记
本手册将风险的严重性与危险性等级进行了如下分类与标记。
危 险
警 告
注 意
重要事项
记述了极有可能会导致作业人员死亡或重伤的危险情况。
记述了极可能会导致作业人员死亡或重伤的情况。
记述了可能会导致作业人员轻伤或预计引起仪器等损害或故障的情况。
存在必须事先了解的操作与维护作业方面的信息或内容时进行记述。
表示存在高电压危险。
对疏于安全确认或错误使用时可能会因触电而导致的休克、烫伤甚至死亡的危险进行警告。
表示禁止的行为。
表示必须执行的“强制”事项。
6
仪器上的符号
HIOKI SM7110A962-05
关于安全
表示注意或危险。仪器上显示该符号时，请参照使用说明书的相应位置。
表示该端子上施加有危险电压。
表示电源“开”。
与标准有关的符号
表示电源“关”。
表示接地端子。
表示直流电 (DC)。
表示交流电 (AC)。
欧盟各国有关电子电气设备废弃的法规（WEEE指令）的标记。
表示符合 EU指令所示的限制。
2
4
7
8
10
附录索引
关于安全
HIOKI SM7110A962-05
关于测量分类
为了安全地使用测量仪器，IEC61010把测量分类按照使用场所分成CATII ～ CATIV三个安全等级
的标准。
危 险
•
如果使用分类数值等级小的测量仪器在大数值级别的场所进行测量时，可能会导致重大
事故，因此请绝对避免这种情况。
•
如果利用没有分类的测量仪器对
重大事故，因此请绝对避免这种情况。
CAT II ： 带连接插座的电源线的仪器（可移动工具、家用电器等）的初级侧电路，直接测量插座插
口时。
CAT III ： 测量直接从配电盘得电的仪器（固定设备）的初级侧电路，以及从配电盘到插座的电路时。
CAT IV ： 测量建筑物的进户电路、从进入口到电表及初级侧过电流保护装置（分电盘）的电路时。
分电盘
CAT II ～ CAT IV的测量分类进行测量，可能会导致
进入口
进入线
CAT IV
电表
室内配线
CAT III
固定设备
CAT II
T
插座
8
使用注意事项
HIOKI SM7110A962-05
为了您能安全地使用本仪器，并充分运用其功能，请遵守以下注意事项。
危 险
如果测试线或本仪器有损伤，则可能会导致触电。使用之前，请务必进行下述检查。
•
请在使用前确认测试线的外皮有无破损或金属露出。有损伤时，请换上本公司指定的型
号。
•
请先确认没有因保存和运输造成的故障，并在检查和确认操作之后再使用。确认为有故
障时，请与销售店（代理店）或最近的
为了防止触电事故，请确认是否从电缆里面露出屏蔽线编织导体。露出时请勿使用。
关于本仪器的放置
HIOKI营业据点联系。
使用注意事项
2
4
警 告
请不要把本仪器放置在以下场所，否则会造成本仪器的故障或事故。
•
日光直射的场所或高温场所
•
产生腐蚀性气体、爆炸性气体的场所
•
产生強电磁波的场所或带电物件附近
•
感应加热装置附近（高频感应加热装置、
•
机械震动频繁的场所
•
受水、油、化学剂与溶剂等影响的场所
•
潮湿、结露的场所
•
灰尘多的场所
IH电磁炉等）
注 意
请勿放置在不稳定的台座上或倾斜的地方。否则可能会因掉落或翻倒而导致人员受伤或
本仪器故障。
本仪器不是防滴结构。如果连接器部分附着水滴，则可能会导致故障，敬请注意。
8
10
附录索引
9
使用注意事项
HIOKI SM7110A962-05
放置方法
为了防止本仪器温度上升，放置时请确保与周围保持指定的距离。
•
请将底面向下放置。
•
请勿堵塞通风孔。
50 mm以上50 mm以上
15 mm以上
“支架的竖立方法与合拢方法”（第 18 页）
10 mm以上
背面
关于本仪器的使用
为防止触电事故发生，请绝对不要拆下主机外壳。内部有高电压及高温部分。
为了防止本仪器损坏，在搬运及使用时请避免震动、碰撞。尤其要注意因掉落而造成的
碰撞。
本仪器属于 Class A 产品。
如果在住宅区等家庭环境中使用，则可能会干扰收音机与电视播放信号的接收。在这种情况下，
请作业人员采取适当的防护措施。
危 险
注 意
10
连接电源线之前
HIOKI SM7110A962-05
使用本仪器时，请务必使用指定的电源线。如果使用指定以外的电源线，可能会引起火灾。
•
•
•
•
使用注意事项
危 险
警 告
在接通电源前，请确认本仪器的电源连接部上所记载的电源电压与您使用的电源电压是
否一致。如果使用指定范围外的电源电压，会造成本仪器的损坏或电气事故。
为了避免触电事故并确保本仪器的安全，请把附带的电源线连接到三相插座上。
注 意
请勿弄错电源电压的连接。否则可能会导致内部电路被击穿。
为防止断线，将电源线从插座或本仪器拔出的时候，请握住插头部分（电源线以外）拔出。
2
4
连接测试线或电极之前
•
请勿在超出本仪器额定值与规格范围的状态下使用。
否则可能会因本仪器损坏或发热而导致触电事故。
•SM7110的输入端子对地最大额定电压为DC 1000 V，SM7120为DC 2000 V。请
勿向输入端子输入超出规格的电压。
•
使用本仪器时，请务必使用本公司指定的测试线。如果使用非指定测试线，则无法安全
地进行测量。
•
为了防止触电事故，请按本仪器与测试线上标示的较低的额定值进行使用。
连接温湿度传感器之前
•
温湿度传感器经过白金薄膜的精密加工。如果施加电压或静电，则可能会导致损坏。
•
请勿使温湿度传感器顶端承受过大的碰撞，也不要强行弯曲传感器导线。否则可能会导
致故障或断线。
•
请注意勿使温湿度传感器的环境温度超出“
中记载的温度范围。
警 告
8
注 意
Z2011 温湿度传感器的规格”（第 151 页）
10
附录索引
11
使用注意事项
HIOKI SM7110A962-05
连接到被测物之前
根据测量电压的设置，下述某对端子之间最大会输出 1000 V 的电压。
•OUTPUT端子－ INPUT 端子之间
•OUTPUT端子－ GUARD 端子之间
由于存在危险，因此，请务必在将电源开关设为 OFF 之后，将被测物连接到测量端子上。
连接GUARD 端子与GROUND 端子之间时，OUTPUT端子与大地之间也会输出高电
压，敬请注意。
接地之前
•
测量
电压的设置，GUARD端子、INPUT 端子与外侧电极（测试线的屏蔽侧）向大地施加最
大 2000 V 的电压。请充分注意，以免发生触电事故。
•
如果连接
OUTPUT端子与大地之间（GROUND 端子接地）施加最大 2000 V 的电压。请充分注
意，以免发生触电事故。
警 告
警 告
1线接地的被测物时，如果连接 OUTPUT 端子与 GROUND 端子，则会根据测量
GUARD 端子与GROUND 端子之间，则会根据测量电压的设置，在
测量之前
自动测量之前
警 告
•
测量绝缘电阻期间或故意按下
电事故，请勿触摸测试线的顶端。
•
即使按下
在进行充分放电之前，请勿触摸施加有电压的金属部分。
•
执行接触检查时，会施加设置电压。请充分注意，以免发生触电事故。
STOP键之后，被测物上仍可能残留有测量电压。由于存在触电危险，因此，
START 键时，测量端子上会产生危险电压。为了避免触
注 意
为了保护继电器接点，在保持输出测量电压的状态下利用继电器切换测量端子时，请在
电路中串联插入保护电阻 *。
保护电阻值≧（ 测量电压）/（最大容许电流）
* ：用于将通过接点的电流限制为接点最大容许电流值以下的电阻
12
使用屏蔽箱之前
HIOKI SM7110A962-05
GUARD 端子或 OUTPUT 端子与 GROUND 端子之间会因短路插头的连接方法而输出
最大 2000 V 的测量电压。
请务必将屏蔽箱的外壳连接到 GROUND 端子上。
为了防止发生触电事故，请使用联锁功能（第 56 页 ）。
另外，请充分注意，以免发生触电事故。
拆下被测物之前
使用高电压进行测量时，即使测量结束，被测物上也会残留有测量电压，因此，如果立
即拆下被测物，则可能会导致触电，十分危险。请将放电2的时间设置得长一些，并在对
危险电压进行充分的放电之后拆下被测物。
使用注意事项
警 告
2
警 告
4
进行外部控制之前
使用联锁功能之前也请阅读。
为了防止发生触电事故和仪器故障，对连接器进行连接时，请遵守下述事项。
•
请勿超出连接器的信号额定值。
•
如果动作期间连接脱落或接触其它导电部分，则非常危险。请用螺钉可靠地固定
RS-232C
•
请对连接到
的仪器和装置进行适当的绝缘。
在接通本仪器电源的状态下，请勿操作 EXT I/O MODE切换开关 (NPN/PNP)。
请根据外部连接仪器进行 NPN/PNP 设置（第 116 页 ）。
警 告
连接器、GP-IB 连接器、EXT I/O 连接器的连接。
RS-232C连接器、GP-IB 连接器、EXT I/O端子、INTER LOCK端子上
注 意
8
10
附录索引
13
使用注意事项
HIOKI SM7110A962-05
连接通讯电缆之前
为了避免发生触电事故和本仪器损坏，请勿向EXT I/O端子输入超出最大负载电压的电
压。
•
请将本仪器与
GND 之间会产生电位差。如果在有电位差的状态下连接通讯电缆，则可能会导致误动
作或故障。
•
连接或拆卸通讯电缆时，请务必切断本仪器与
障。
•
连接通讯电缆之后，请牢固地固定连接器附带的螺钉。如果连接器连接不牢固，则可能
会导致误动作或故障。
危 险
注 意
PC 的地线设为共用。如果不采用同一地线，则本仪器的GND与 PC 的
PC的电源。否则可能会导致误动作或故
开路补偿之前
执行开路补偿时，会瞬间向测量端子输出测量电压。
执行开路补偿（按下 F2 键 [EXEC]）之前，请充分确认人体没有碰到治具或测量电路。会
输出最大 2000 V 的电压，有发生触电事故的危险。
将本仪器用作电流表之前
•
为了避免本仪器故障，请在外部电源与被测物之间插入适当的保护电阻。如果被测物短
路，外部电源的电压则会施加到本仪器上。
•
为了防止本仪器故障，在
电流低于 1.8 mA。
参照 ：“附录
5 用作电流表（使用外部电源时）”（第附 7 页）
运输注意事项
警 告
注 意
1000 V ～ 2000 V电压下进行测试时，请进行限制，使输入
运输本仪器时，需要使用送货时的包装材料。即使开箱之后，也请保管包装材料。
CD光盘使用注意事项
14
•
请勿使光盘的刻录面脏污或受损。另外，在标签表面上写字等时，请使用笔尖柔软的笔记用具。
•
请将光盘放入保护壳中，避开阳光直射或高温潮湿的环境。
•
本公司对因本光盘使用而导致的
PC系统故障不承担任何责任。
1
HIOKI SM7110A962-05
概要
1.1 概要和特点
本仪器是内部带有高灵敏度电流表与低噪音电压源的绝缘电阻测量仪器。
通过采用三轴 BNC 连接器，增强了耐噪音性能，可进行电阻值较高的绝缘物等的电阻测量。
SM7120的测量电压最大为 2000 V，SM7110最大为1000 V。
可进行各种被测对象的稳定测量。
•
从结构上来说，采用三轴
•
由于最大测量电压为
•
具有宽广的测量范围。（因施加电压而异）
•
电阻测量范围 ：参照
•
也可以同时测量温湿度，因此，可确认电阻值相对于温湿度的变化。
•
如果使用接触检查功能，则即使向被测物施加的电压超过
适用于生产线使用
•
能在触发～
•
可利用接触检查的频率变更功能降低与生产线内其它装置之间的干扰。
•
自动补偿接触检查的电缆长度，因此，变更生产线时，无需进行电缆长度补偿。
•
由于可利用命令监视功能与外部
•
外部
I/O同时支持 NPN/PNP 两种方式，可迅速用于客户的生产线。
INDEX输出之间，以 6.4 ms 进行高速测量。
BNC连接器，抗外来噪音性能优良。
2000 V，因此，1台仪器即可简单地测量各种被测物。
(第 150 页 )，电流测量范围 ：0.1 fA ～ 2 mA
2000 V，也可以进行稳定的测量。
I/O监视功能确认控制状态，因此，可更快地构建生产线。
1
概要
可测量的项目
•
电容器端子间绝缘电阻
•
电池端子与外壳之间的绝缘电阻
•
共模滤波器的线圈间绝缘电阻
•
绝缘击穿电压的确认
•
薄膜等的表面电阻率与体积电阻率
•
液体试料的绝缘电阻
15
各部分的名称与功能
HIOKI SM7110A962-05
1.2 各部分的名称与功能
正面
插图所示为 SM7120 的情形。
HIGH VOLTAGE LED
输出高电压时点亮。
显示区
单色图形液晶显示器
操作键（第 19页）
测量端子
用于连接测试线。
1
请参照第 11 页
2 43 5
测量端子 说明
为测量输入端子。
采用三重同轴结构。中心导体为测量输入。其外侧的电极被连接到
1
2
INPUT
GUARD
外侧的电极被连接到
为 GUARD端子。
为电流测量部分的公共端子侧。
用于安装
GUARD端子的电气极性为负 (-)。
GUARD端子，以消除流经被测物保持器、治具等的泄漏电流的影响。
GROUND端子上。
电磁屏蔽线
测量用 GUARD线
测量输入线
GUARD 端子上。最
在测量通路中追加屏蔽线，可实现不受噪
音影响的稳定测量。
16
3
4
5
GROUND
OUTPUT
CHARGE
为接地端子。
除了降低噪音影响之外，还用于消除触电危险。
通常经由短路插头连接到
为电压输出端子。
在该
OUTPUT端子与 INPUT 端子之间测量绝缘电阻。
OUTPUT端子的电气极性为正 (+)。
为充电电压输出端子。
用于在测量之前对被测物进行充电（预充电）。
预充电电压被输出到
CHARGE端子的电位与 OUTPUT 端子相同，极性为正 (+)。
OUTPUT端子或 GUARD 端子上使用。
CHARGE 端子与GROUND 端子之间。电压与测量电压相同。
背面
HIOKI SM7110A962-05
1 2 3 4 5 6
7 8 9 10 11 12
名称 说明
电源开关 请参照第 33页
1
各部分的名称与功能
1
概要
用于连接附带的电源线。（第
电源输入口
2
通风孔 放置时请勿堵塞通风孔。
3
制造编号
4
D/A OUTPUT端子 输出与测量值成比例的电压。（第32页）
5
INTER LOCK端子
6
EXT I/O端子
7
EXT I/O MODE
8
切换开关
USB连接器
9
GP-IB连接器
10
RS-232C连接器
11
TEMP.SENSOR 端子 用于连接 Z2011 温湿度传感器。（第28页）
12
请参照第 11 页
表示制造编号。
制造编号由9位数字构成。其中，左面2 位为制造年份，接下来 2 位为制
造月份。出于管理方面所需，请勿剥下。
INTER LOCK功能设为有效，以防止触电。（第56页）
用于将
请参照第 13页
用于连接进行外部控制的仪器。（第
请参照第 13页
左 ：灌电流
用于连接
(NPN)、右 ：拉电流 (PNP)（第 116 页）
PC。（ 第 137页）
25页）
115 页）
17
各部分的名称与功能
HIOKI SM7110A962-05
底面
支架
右侧面
支架的竖立方法与合拢方法
通风孔 把手
请不要在放置支架竖立的状态下从上方施加强力。否则会损坏放置支架。
左侧面
注 意
通风孔
18
操作键
HIOKI SM7110A962-05
各部分的名称与功能
10 11
1
15
1
2
3
4
5
2
数值输入时，变为数字键。
3
4
16
按键 说明
用于切换测量模式。
每按下一次键，都按下述顺序发生变化。
电阻
→ 电流 → 表面电阻 → 体积电阻 → 液体体积电阻 → 电阻
提高电流量程。可在测量画面中变更设置。
每按下一次键，都按下述顺序进行变化。
5
20p → 200p → 2n → 20n → 200n → 2u → 20u → 200u → 2m
可能会存在因测量速度的设置而不能设置的量程。
降低电流量程。可在测量画面中变更设置。
每按下一次键，都按与上述相反的顺序发生变化。
提高测量电压。可在测量画面中变更设置。
每按下一次键，都按下述顺序进行变化。
0.1 → 0.5 → 1 → 2.5 → 5 → 10 → 25 → 50 → 100 → 250 → 500 → 1000
(
→ 1500 → 2000)
降低测量电压。可在测量画面中变更设置。
每按下一次键，都按与上述相反的顺序进行变化。
6
12
1
概要
7
8
13 14
9
10
11
12
13
14
15
6
7
8
9
显示比较器设置画面。
显示面板读取 /面板保存画面。
切换测量速度。可在测量画面中变更设置。
每按下一次键，都按下述顺序进行变化。
FAST → FAST2 → MED → SLOW→ SLOW2 → FAST
可能会存在因电流量程的设置而不能设置的测量速度。
解除远程状态（外部通讯期间），设为可进行按键操作。
开始测量。
停止测量
•
移动设置项目或数位。
•
变更数值。
•
取消正在进行的设置。
•
从各种画面返回到测量画面。
确定设置。
外部触发设置时用于输入触发。
切换到各种菜单设置画面。
16
～
为功能键。用于在各设置画面中选择项目。
19
画面构成
HIOKI SM7110A962-05
1.3 画面构成
本仪器的画面由测量画面与各设置画面构成。
测量画面
电阻值测量模式（初始画面） 电流测量模式
设置画面
比较器设置画面
也可以在菜单设置画面中选择 [COMP]标签进行显示。
表面电阻率测量模式
液体体积电阻率测量模式 体积电阻率测量模式
20
面板读取 / 面板保存画面 菜单设置画面
参照 ：“菜单设置画面清单”（第23页）
1.4 测量画面的显示内容
HIOKI SM7110A962-05
测量画面的显示内容
1 2 3 4 5 7
8
9
10
11
菜单设置画面显示（第 23页）
名称 说明
显示当前设置的触发。
触发设置
1
采样 采样期间显示。
2
自校正 自校正期间显示。
3
电压监视检查
4
接触检查
5
[INT] 内部触发
[EXT] 外部触发
电压监视检查功能有效时显示。
电压异常时进行加亮显示。
接触检查功能有效时显示。
接触错误时进行加亮显示。
测量条件显示内容变更
接触检查的执行
（仅在接触检查为
6
设为测量条件变更状态
[ON]时有效）
12
13
14
1
概要
开路补偿执行结果 执行1次开路补偿时显示。
6
[I.LOCK] 联锁时显示。
联锁
按键锁定
7
远程
测量判定 比较器功能有效时，显示判定结果。
8
电压监视值 显示本仪器输出的电压。
9
温度
10
湿度
11
测量值 显示与测量值显示模式（第 35页）相应的测量值。
12
测量条件
13
测量条件
14
（序列程序）
[K.LOCK] 联锁期间显示。
联锁与按键锁定有效时，显示
[RMT]
连接温湿度传感器时，显示温湿度。
未连接温湿度传感器时，显示错误。（第
参 照 ：“
[MES.V]
[SPEED]
[RANGE]
[DELAY]
[AV G]
参 照 ：“
远程状态时（外部通讯期间）显示。
按下
LOCAL键，则可解除远程状态。
2.4 温湿度传感器的连接”（第28页）
测量用施加电压（第 37页）
测量速度（第
电流量程（第
延迟功能（第
平均功能（第
4.3 自动测试（序列程序功能）”（第
48页）
[I.LOCK]。
39页）
40页）
45页）
46页）
165页）
如果按下
容则会发生变化。
F3键 [MONI]，显示内
21
基本的按键操作
HIOKI SM7110A962-05
1.5 基本的按键操作
测量画面的显示
即使按下 ESC键，也返回到测量画面。
各种菜单设置画面的显示
下面以通过测量画面显示 [SYS] 画面为例进行说明。
1
2
选择（左右）
选择（左右）
在本书的操作说明中按如下所示记载了设置画面的显示方法。
设置画面的显示方法 ：（测量画面）
22
MENU键 > [SYS] 标签
菜单设置画面清单
HIOKI SM7110A962-05
基本的按键操作
1
概要
[MEAS]画面
用于设置与测量有关的项目。
[COMP]画面
用于进行测量值判定的设置。
[SYS]画面
用于进行系统设置。
[C.CHK]画面
用于进行开路补偿与接触检查的设置。
[ELEC]画面
用于进行电阻率计算的设置。
[I/O]画面
用于进行外部控制设置。
设置项目的选择
移动
[IF]画面
用于进行接口设置。
[INFO]画面
用于显示本仪器的信息。
选择
23
基本的按键操作
HIOKI SM7110A962-05
数值的变更方法
包括使用光标键与使用数字键 2 种方法。
1
移动
（使用光标键）
2
（使用数字键）
移动（左右）
确定
数值变更（上下）
取消
确定
移动（左右）
取消
24
如果在数值变更期间按下 ESC键，数值变更则会被取消。
如果按下
ENTER键，则会确定变更内容。
2
HIOKI SM7110A962-05
准备
2.1 电源线的连接
请事先仔细阅读“连接电源线之前”（第11 页 ）。
电源输入口
2
1
确认电源开关处于 OFF（ ）状 态
1
确认电源电压处于背面记载的范围
2
内，然后将电源线连接到电源输入
口
将电源线的插头插进插座
3
2
准备
25
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