Edwards PV16EKA, PV10EKA, PVEK Series, PV16EKS, PV40EKA Instruction Manual

...

Download

Issue H/Ausgabe H/Version H

Instruction Manual/Betriebsanleitung/Mode d’emploi

PVEK Valves/PVEK Ventile/Vannes PVEK

C411-02-885

Declaration of Conformity

We, Edwards, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, UK

declare under our sole responsibility, as manufacturer and person within the EU authorised to assemble the technical file, that the product(s)

Right-Angled Valves:

PV10EKA (220 V) C411-01-000 PV25EKA (110 V) C413-03-000 PV25EKS (220 V) C413-02-000 PV10EKA (110 V) C411-03-000 PV40EKA (220 V) C414-01-000 PV25EKS (110 V) C413-02-000 PV16EKA (220 V) C412-01-000 PV40EKA (110 V) C414-03-000 PV40EKS (220 V) C414-02-000 PV16EKA (110 V) C412-03-000 PV16EKS (220 V) C412-02-000 PV40EKS (110 V) C414-04-000 PV25EKA (220 V) C413-01-000 PV16EKS (110 V) C412-04-000

In-Line Valves:

PV16EKA (220 V) C416-10-000 PV40EKA (220 V) C416-51-000 PV25EKS (220 V) C416-32-000 PV16EKA (110 V) C416-11-000 PV40EKA (110 V) C416-52-000 PV25EKS (110 V) C416-33-000 PV25EKA (220 V) C416-30-000 PV16EKS (220 V) C416-12-000 PV40EKS (220 V) C416-53-000

PV25EKA (110 V) C416-31-000 PV16EKS (110 V) C416-13-000 PV40EKS (110 V) C416-54-000 to which this declaration relates is in conformity with the following standard(s) or other normative document(s) EN61010-1: 2001 Safety Requirements for Electrical Equipment for Measurement, Control and Laboratory Use. General Requirements

EN 61326-1: 2006 Electrical equipment for measurement, control and laboratory Use. EMC requirements. General requirements. and fulfils all the relevant provisions of 2006/95/EC Low Voltage Directive

2004/108/EC Electromagnetic Compatibility (EMC) Directive

Note: This declaration covers all product serial numbers from the date this Declaration was signed onwards.

9 December 2009

Mr L. Marini, Technical Manager

This product has been manufactured under a quality system registered to ISO9001

Date and Place

P200-03-020 Issue B

Konformitätserklärung

Wir, Edwards, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, UK

erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte

Eckventile:

PV10EKA (220 V) C411-01-000 PV25EKA (110 V) C413-03-000 PV25EKS (220 V) C413-02-000

PV10EKA (110 V) C411-03-000 PV40EKA (220 V) C414-01-000 PV25EKS (110 V) C413-02-000

PV16EKA (220 V) C412-01-000 PV40EKA (110 V) C414-03-000 PV40EKS (220 V) C414-02-000

PV16EKA (110 V) C412-03-000 PV16EKS (220 V) C412-02-000 PV40EKS (110 V) C414-04-000

PV25EKA (220 V) C413-01-000 PV16EKS (110 V) C412-04-000 Durchgangsventile:

PV16EKA (220 V) C416-10-000 PV40EKA (220 V) C416-51-000 PV25EKS (220 V) C416-32-000

PV16EKA (110 V) C416-11-000 PV40EKA (110 V) C416-52-000 PV25EKS (110 V) C416-33-000

PV25EKA (220 V) C416-30-000 PV16EKS (220 V) C416-12-000 PV40EKS (220 V) C416-53-000

PV25EKA (110 V) C416-31-000 PV16EKS (110 V) C416-13-000 PV40EKS (110 V) C416-54-000

auf das bzw. auf die sich die vorliegende Erklärung bezieht, im Einklang steht bzw. stehen mit der (den) folgenden Norm(en) oder (einem) anderen normativen Dokument(en):

EN 61010-1: 2001 Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel- und Laborgeräte. Allgemeine Anforderungen EN 61326-1: 2006 Elektrische Mess-, Steuer- und Laborgeräte. EMV-Anforderungen. Allgemeine Anforderungen

und alle einschlägigen Vorschriften erfüllt aus 2006/95/EG Niederspannungsrichtlinie

2004/108/EG Richtlinie zur elektromagnetischen Verträglichkeit (EMV-Richtlinie) Hinweis: Diese Erklärung gilt für alle Produktseriennummern ab dem Unterzeichnungsdatum di eser Erklärung.

Mr L. Marini, Technical Manager Datum und Ort

16 December 2009

Dieses Produkt wurde gemäß einem nach ISO9001 zertifizierten Qualitätsmanagementsystem gefertigt.

P200-03-022 Issue B

Déclaration de conformité

Nous, la société Edwards, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, R.U.

déclarons sous notre entière responsabilité, en tant que fabricant et personne établie dans l'UE et autorisée à constituer le dossier technique, que le ou les produit(s) suivant(s)

Vannes à angle droit :

PV10EKA (220 V) C411-01-000 PV25EKA (110 V) C413-03-000 PV25EKS (220 V) C413-02-000

PV10EKA (110 V) C411-03-000 PV40EKA (220 V) C414-01-000 PV25EKS (110 V) C413-02-000

PV16EKA (220 V) C412-01-000 PV40EKA (110 V) C414-03-000 PV40EKS (220 V) C414-02-000

PV16EKA (110 V) C412-03-000 PV16EKS (220 V) C412-02-000 PV40EKS (110 V) C414-04-000

PV25EKA (220 V) C413-01-000 PV16EKS (110 V) C412-04-000 Vannes à passage droit :

PV16EKA (220 V) C416-10-000 PV40EKA (220 V) C416-51-000 PV25EKS (220 V) C416-32-000

PV16EKA (110 V) C416-11-000 PV40EKA (110 V) C416-52-000 PV25EKS (110 V) C416-33-000

PV25EKA (220 V) C416-30-000 PV16EKS (220 V) C416-12-000 PV40EKS (220 V) C416-53-000

PV25EKA (110 V) C416-31-000 PV16EKS (110 V) C416-13-000 PV40EKS (110 V) C416-54-000 au(x)quel(s) cette déclaration se réfère est ou sont conforme(s) à la ou aux norme(s) suivante(s) ou à un ou plusieurs autre(s) document(s) normatif(s)

EN61010-1: 2001 Règles de sécurité pour appareils électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire. Prescriptions générales. EN 61326-1: 2006 Matériels électriques de mesure, de commande et de laboratoire. Prescriptions relatives à la CEM. Prescriptions générales.

et est ou sont conforme(s) aux clauses pertinentes de 2006/95/CE Directive sur les basses tensions

2004/108/CE Directive sur la compatibilité électromagnétique (CEM)

Remarque : la présente déclaration couvre tous les numéros de série à partir de la date de sa signature.

9 December 2009

M. L Marini, responsable technique

Ce produit a été réalisé en respectant un système de qualité homologué conformément à la norme ISO9001

Date et lieu

P200-03-023 Issue B

This page has been intentionally left blank/Leerseite/Cette page est délibérément laissée blanche.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Contents

Section Page

1 Introduction ........................... 1

1.1 Scope and definitions .......................... 1

1.2 Description .......................................2

1.3 Construction ..................................... 4

1.4 Operation ........................................5

2 Technical data ........................ 7

2.1 Mechanical data ................................. 7

2.2 Performance, operating and

storage conditions .............................. 7

2.3 Electrical data ................................... 7

2.4 Materials .........................................7

2.5 Legislation and standards .....................8

2.6 Product Item Numbers ........................15

2.6.1 Right-angled valves ............................15

2.6.2 In-line valves ...................................16

3 Installation ............................17

3.1 Unpack and inspect ............................17

3.2 Install the valve ................................18

3.3 Electrical connections .........................19

3.3.1 Fit your own electrical supply cable ........22

3.3.2 Fit the electrical supply cable

accessory ........................................ 23

3.3.3 Position indicator connections ...............24

Inhalt

Abschnitt Seite

1 Einleitung .............................. 1

1.1 Umfang und Definitionen .......................1

1.2 Beschreibung .....................................2

1.3 Aufbau ............................................4

1.4 Betrieb ............................................5

2 Technische Daten ................... .. 7

2.1 Mechanische Daten ..............................7

2.2 Leistungs-, Betriebs- und

Lagerbedingungen ...............................7

2.3 Elektrische Daten ................................7

2.4 Werkstoffe ........................................7

2.5 Vorschriften und Normen ......................8

2.6 Artikelnummern ............................... 15

2.6.1 Eckventile ...................................... 15

2.6.2 Durchgangsventile ............................. 16

3 Einbau ................................. 17

3.1 Ventil auspacken und prüfen ................ 17

3.2 Ventil einbauen ................................ 18

3.3 Elektrische Anschlüsse ........................ 19

3.3.1 Anschließen eines eigenen Netzkabels ..... 22

3.3.2 Anschließen des Netzkabelzubehörs ........ 23

3.3.3 Anschlüsse des Stellungsindikators ......... 24

Table des matières

Section Page

1 Introduction ...........................1

1.1 Portée de ce manuel ............................1

1.2 Description .......................................2

1.3 Construction ......................................4

1.4 Fonctionnement .................................5

2 Caracteristiques techniques .........7

2.1 Caractéristiques mécaniques ..................7

2.2 Performances, conditions de

fonctionnement et de stockage ...............7

2.3 Caractéristiques électriques ...................7

2.4 Matériaux .........................................7

2.5 Législation et normes ...........................8

2.6 Numéro de code des produits ............... 15

2.6.1 Vannes à angle droit .......................... 15

2.6.2 Vannes à passage direct ...................... 16

3 Installation ............................17

3.1 Déballage et vérifications .................... 17

3.2 Installation de la vanne ...................... 18

3.3 Branchements électriques ................... 19

3.3.1 Installation de votre propre câble

d'alimentation électrique .................... 22

3.3.2 Installation du câble d'alimentation

électrique (accessoire) ....................... 23

3.3.3 Branchemen ts d’un indicateur de

position ......................................... 24

APT 09/08

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Contents

4 Operation .............................27

4.1 General ..........................................27

4.2 Position indicator ..............................27

5 Maintenance .......................... 29

5.1 General ..........................................29

5.1.1 Safety information .............................29

5.1.2 Fluoroelastomers ..............................30

5.2 Dismantle and inspect the valve ............31

5.3 Replace the bellows/pole-piece

assembly ........................................34

5.4 Replace the valve-body and pad

‘O’ rings .........................................35

5.5 Electrical service kit ..........................36

5.6 Fault finding.................................... 37

6 Storage and disposal ................41

6.1 Storage ..........................................41

6.2 Disposal ..........................................41

7 Service, spares and accessories ...43

7.1 Introduction ....................................43

7.2 Service ...........................................44

7.3 Spares ............................................44

7.4 Accessories ......................................46

For return of equipment, complete the HS Forms at the end of this manual.

4 Betrieb ................................27

4.1 Allgemeines .................................... 27

4.2 Stellungsindikator ............................. 27

5 Wartung ............................... 29

5.1 Allgemeines .................................... 29

5.1.1 Sicherheitshinweise ........................... 29

5.1.2 Fluorelastomere ............................... 30

5.2 Ventil zerlegen und prüfen .................. 31

5.3 Austausch der Faltenbalg-/

Polstückgruppe ................................ 34

5.4 Austausch der O-Ringe von Ventilkörper

und Ventilteller ................................ 35

5.5 Austausch des elektrischen

Sicherungeinsatzes ............................ 36

5.6 Verwendung des elektrischen

Wartungssatzes ................................ 37

6 Lagerung und Entsorgung ...........41

6.1 Lagerung ........................................ 41

6.2 Entsorgung ......................................41

7 Kundendienst Ersatzteile und

Zubehör ...............................43

7.1 Einleitung .......................................43

7.2 Kundendienst .................................. 44

7.3 Ersatzteile ...................................... 44

7.4 Zubehör ......................................... 46

Für die Rücksendung von Geräten sind die HS-Formulare am Ende dieser Betriebsanleitung zu verwenden.

4 Fonctionnement ......................27

4.1 Généralités ..................................... 27

4.2 Indicateur de position ........................ 27

5 Entretien ..............................29

5.1 Généralités ..................................... 29

5.1.1 Consignes de sécurité ......................... 29

5.1.2 Fluoroélastomères .............................30

5.2 Démontage et examen de la vanne ......... 31

5.3 Remise en place de l’ensemble

soufflet/pôle mobile .......................... 34

5.4 Replacement des joints toriques du

corps et du bloc de la vanne ................ 35

5.5 Remplacement du fusible de protection

contre les surtensions ........................ 36

6 Stockage et mise au rebut ..........41

6.1 Stockage ........................................ 41

6.2 Mise au rebut ...................................41

7 Service, pièces détachées et

accessoires ............................43

7.1 Introduction .................................... 43

7.2 Service .......................................... 44

7.3 Pièces détachées .............................. 44

7.4 Accessoires ..................................... 46

Pour le retour d’appareil, veuillez remplir les formulaires HS figurant à la fin de ce manuel.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Contents

Illustrations

Figure Page

1 PVEK valve (PV10EK right-angled

valve shown) ..................................... 3

2 Right-angled valve dimensions ...............13

3 In-line valve dimensions ......................14

4 Electrical connectors ..........................20

5 Electrical supply connections ................21

6 Position indicator connections ...............25

7 Sectional view of PVEK valve ................33

Tables

Table Page

1 Performance, operating and storage

conditions ........................................ 9

2 Electrical data ..................................11

3 Mechanical data ................................12

4 Fault finding ....................................37

5 Spares ............................................ 45

Abbildungen

Abbildung Seite

1 PVEK Ventil (dargestellt wird das

Eckventil PV10EK) ...............................3

2 Abmessungen der Eckventile ................ 13

3 Abmessungen der Durchgangsventile ....... 14

4 Elektrische Anschlüsse ........................ 20

5 Netzanschlüsse ................................. 21

6 Anschlüsse des Stellungsindikators ......... 25

7 Schnittbild eines PVEK-Ventils .............. 33

Tabellen

Tabelle Seite

1 Leistungs-, Betriebs- und

Lagerbedingungen ...............................9

2 Elektrische Daten .............................. 11

3 Mechanische Daten ............................ 12

4 Fehlersuche .................................... 37

5 Ersatzteile ...................................... 45

Illustrations

Figure Page

1 Vanne PVEK (Illustration du modèle

PV10EK à angle droit) ...........................3

2 Dimensions de la vanne à angle droit ...... 13

3 Dimensions de la vanne à passage direct .. 14

4 Connecteurs électriques ..................... 20

5 Connexions électriques ....................... 21

6 Branchements d’un indicateur de position 25

7 Vue en coupe d’une vanne PVEK ............ 33

Tableaux

Tableau Page

1 Performances, conditions de

fonctionnement et de stockage ...............9

2 Caractéristiques électriques ................. 11

3 Caractéristiques mécaniques ................ 12

4 Recherche des causes de pannes ........... 37

5 Pièces détachées .............................. 45

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

This page has been intentionally left blank/Leerseite/Cette page est délibérément laissée blanche.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Introduction

1Introduction

1.1 Scope and definitions

This manual provides installation, operation and maintenance instructions for the Edwards range of PVEK valves. You must use the valves as specified in this manual.

Read this manual before you install and operate the valve. Important safety information is highlighted as WARNING and CAUTION instructions; you must obey these instructions. The use of WARNINGS and CAUTIONS is defined below.

WARNING

Warnings are given where failure to observe the instruction could result in injury or death to people.

CAUTIONCAUTIONCAUTION

Cautions are given where failure to observe the instruction could result in damage to the equipment, associated equipment and process.

The units used throughout this manual conform to the SI international system of units of measurement.

1 Einleitung

1.1 Umfang und Definitionen

Dieses Handbuch enthält Installations-, Betriebs- und Wartungsanweisungen für die Edwards PVEK-Ventile. Verwenden Sie bitte die Ventile entsprechend den Anleitungen dieses Handbuchs.

Lesen Sie vor Installation und Inbetriebnahme Ihres „PVEK“ Ventils diese Betriebsanleitung aufmerksam durch. Wichtige Sicherheitshin- weise sind in dieser Betriebsanleitung mit den Signalwörtern WARNUNG und VORSICHT gekennzeichnet. Beachten Sie diese Hinweise unbedingt. Die Signalwörter WARNUNG und VORSICHT werden hier wie folgt verwendet:

WARNUNGWARNUNG

Mit dem Signalwort Warnung werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt zu befolgen sind, um Personenschäden (Tod oder Verletz ung) zu vermeiden.

VORSICHT

Mit dem Signalwort Vorsicht werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt zu befolgen sind, um Sachschäden zu vermeiden (Schäden an Geräten oder Zubehörteilen und Fehler im Gesamtprozeß).

Die in dieser Betriebsanleitung verwendeten Maßeinheiten entsprechen dem Internationalen Einheitensystem (SI).

1Introduction

1.1 Portée de ce manuel

Ce manuel présente les consignes de montage, d’exploitation et d’entretien de la gamme de vannes PVEK de Edwards. Vous devez utiliser ces vannes comme il est indiqué dans ce manuel.

Nous vous demandons de lire ce manuel avant d’installer et d’utiliser ces vannes. Les informations de sécurité importantes sont mises en valeur par des paragraphes encadrés intitulés AVERTISSEMENT et ATTENTION. Vous devez en respecter les consignes. L’utilisation de ces messages AVERTISSEMENT et ATTENTION est définie cidessous.

AVERTISSEMENT

Un message « Avertissement » est prévu chaque fois que le non respect d’une consigne risque d’entraîner mort ou blessure.

ATTENTION

Un message « Attention » est prévu chaque fois que le non respect d’une consigne risque d’endommager l’équipement, le matériel associé ou le procédé.

Les unités utilisées tout au long de ce manuel sont conformes au système international SI d’unités de mesure.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Introduction

The following symbols appear on the PVEK Valves:

Warning – refer to accompanying documents.

Warning – risk of electric shock.

1.2 Description

The PVEK valves are solenoid-operated vacuum-valves which are compact and lightweight. They are designed for low energy consumption, low operating temperatures and trouble-free operation. The PVEK valve enclosure provides protection to IP55 (as defined by EN60529).

The valves are available in right-angled and in-line versions (as shown in Figures 2 and 3); the in-line valves are designated IPVEK valves. The valves are available with either stainless steel or aluminium bodies and a range of valve-body and flange sizes is available to suit your system. In external appearance, the various models differ only in vacuum port configuration and valve-body and actuator-case size; the size of the electrical-box (Figure 1, item 7) is identical in all valve models.

Die folgenden Symbole erscheinen auf den PVEKVentilen:

Warnung – siehe beigefügte Dokumentation.

Warnung – Stromschlaggefahr.

1.2 Beschreibung

Die PVEK-Ventile sind elektromagnetisch- betriebene kompakte Vakuumventile von geringem Gewicht. Sie sind für einen niedrigen Energieverbrauch, niedrige Betriebs- temperaturen und einen problemfreien Betrieb ausgelegt. Das Gehäuse der PVEK-Ventile entspricht der Schutzart IP55 (nach EN60529).

Die Ventile gibt es als Eck- und Durchgangsventile (wie in den Abbildungen 2 und 3 dargestellt); die Durchgangsventile werden als IPVEK-Ventile bezeichnet. Die Ventile gibt es mit Ventilkörpern entweder aus rostfreiem Stahl oder aus Aluminium; sie werden in einer Reihe von unterschiedlichen Ventilkörper- und Flanschgrößen angeboten, passend zu Ihrem System. Vom äußeren Erscheinungsbild her unterscheiden sich die verschiedenen Modelle nur in der Anordnung der Vakuumöffnung und der Größe von Ventilkörper und Stellgliedgehäuse; die Größe des elektrischen Schaltkastens (Abbildung 1, lfd. Nr. 7) ist für alle Ventilmodelle gleich.

Les symboles suivants apparaissent sur les vannes PVEK :

Avertissement – consulter la documentation fournie.

Avertissement – risque de choc électrique.

1.2 Description

Les vannes PVEK sont des ensembles à vide pilotés par des solénoïdes. Elles sont compactes et légères. Elles sont conçues pour consommer peu de courant et pour fonctionner à basse température, sans aucun problème. L’enveloppe des vannes PVEK garantit une protection de niveau IP55 (définie dans la norme EN60529).

Ces vannes existent en versions à angle droit et à passage direct (comme illustré aux Figures 2 et 3). Les vannes à passage direct portent la désignation IPVEK. Elles ont un corps en acier inoxydable ou en aluminium. Une gamme complète vous permet donc de sélectionner le type du corps et le diamètre des brides qui conviennent à votre système. Extérieurement, les différents modèles ne diffèrent qu’au niveau de la configuration de la prise de vide et de la taille du corps et de l’actionneur. La taille du coffret électrique (repère 7 de la Figure 1) est identique quel que soit le modèle de vanne.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

1. Position indicator socket

2. Electrical supply socket

3. Valve-body

4. Valve-port

5. Valve-port

6. Mounting holes

7. Electrical-box

1. Anschluß Stellungsindikator

2. Anschluß Stromversorgung

3. Ventilkörper

4. Ventilöffnung

5. Ventilöffnung

6. Montagelöcher

7. Elektrischer Schaltkasten

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Introduction

Figure 1 – PVEK valve (PV10EK right-angled valve shown)

Abbildung 1 – PVEK Ventil (dargestellt wird das Eckventil PV10EK)

Figure 1 – Vanne PVEK (Illustration du modèle PV10EK à angle droit)

1. Prise femelle de l’indicateur de position

2. Prise femelle de l’alimentation électrique

3. Corps de la vanne

4. Orifice de la vanne

5. Orifice de la vanne

6. Trous de fixation

7. Coffret électrique

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Introduction

1.3 Construction

Refer to the sectional view of the PVEK valve in Figure 7 to identify the item numbers in brackets.

The valve mechanism is a solenoid-operated moving pole with an integral valve-pad and bellows ass embly (7). The vacuum system is isolated from atmosphere by a fluoroelastomer ‘O’ ring static seal (10) and a stainless steel bellows for dynamic sealing. The valve-pad also seals against the valve-body with a fluoroelastomer ‘O’ ring (12). The valve-body terminates in two ports with NW flanges.

A PCB inside the electrical-box (1) controls the valve actuation. A magnetic reed-switch positioned on the underside of the PCB provides position indication. The reed switch has changeover contacts and provides both normally open and normally closed position indications.

1.3 Aufbau

Die in Klammern angegebenen laufenden Nummern beziehen sich auf das Schnittbild des PVEK-Ventils in

Abbildung 7.

Der Ventilmechanismus besteht aus ein e m elektromagnetisch-betriebenen beweglichen Pol mit einem integrierten Ventilteller und einer Faltenbalggruppe (7). Das Vakuumsystem ist durch eine statische O-Ringdichtung aus Fluorelastomer (10) und einen Edelstahlfaltenbalg zur dynamischen Dichtung von der Atmosphäre getrennt. Der Ventilteller dichtet ebenfalls mit einer O-Ringdichtung aus Fluorelastomer (12) gegen den Ventilkörper ab. Der Ventilkörper hat zwei Öffnungen mit NW- Flanschen.

Eine Steuerplatine im Inneren des elektrischen Schaltkastens (1) steuert die Ventilbetätigung. Ein magnetischer Zungenschalter an der Unterseite der Schaltplatte sorgt für die Stellungsanzeige. Der Zungenschalter hat Umschaltkontakte und kann Stellungsanzeigen als Öffner und als Schließer ausgeben.

1.3 Construction

Les chiffres entre parenthèses correspondent aux repères de la vue en coupe d’une vanne PVEK (Figure 7).

Le mécanisme de ces vannes est représenté par un pôle mobile piloté par solénoïde avec un ensemble intégré bloc de vanne et soufflet (7). Le circuit de vide est isolé de l’atmosphère par des joints toriques statiques en fluoroélastomère (10) et un soufflet en acier inoxydable assure l’étanchéité dynamique. Un joint torique (12) en fluoroélastomère inséré entre le bloc de la vanne et son corps assure également une étanchéité entre ces deux éléments. Le corps de la vanne se termine par deux orifices à brides NW.

Une CCI implantée à l’intérieur du boîtier électrique (1) contrôle l’activation de la vanne. Un commutateur à lame vibrante magnétique est fixé sous cette CCI pour indiquer la position. Ce commutateur comporte des contacts inverseurs et signale les deux types possibles de positions : normalement ouverte ou normalement fermée.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Introduction

1.4 Operation

The solenoid coil in the valve has two windings. To open the valve, both windings are energised. Initially, the inner high energy or pulse winding provides a high transient force to open the valve and is then deenergised. The outer low energy or ‘hold’ winding remains energised to maintain the valve in the open position with minimum power.

The valve is closed by de-energising the solenoid coil. When the outer winding is de-energised, the action of the spring provides rapid positive closure.

1.4 Betrieb

Die elektromagnetische Spule im Ventil hat zwei Wicklungen. Zum Öffnen des Ventils werden beide Wicklungen erregt. Zunächst liefert die innere hochenergetische bzw. Impulswicklung einen hohen Einschaltstrom zur Öffnung des Ventils und wird dann abgeschaltet. Die äußere niederenergetische bzw. ,Haltewicklung‘ bleibt erregt, um das Ventil bei minimalem Stromverbrauch in geöffnetet Stellung zu halten.

Geschlossen wird das Ventil, indem die elektromagnetische Spule abgeschaltet wird. Wenn die äußere Wicklung stromlos ist, sorgt die Federwirkung für ein schnelles definitives Schließen des Ventils.

1.4 Fonctionnement

La bobine du solénoïde à l’intérieur de la vanne comporte deux enroulements. Pour ouvrir cette vanne, ces deux enroulements sont excités. Pour commencer, l’enroulement interne à haute énergie ou impulsion fournit une force transitoire élevée qui ouvre la vanne, avant d’être désexcité. L’enroulement externe à énergie faible dit de « maintien » reste excité pour conserver la vanne en position ouverte avec un minimum de courant.

La vanne est refermée par la désexcitation de la bobine du solénoïde. Lorsque l’enroulement externe est désexcité, l’action d’un ressort assure une fermeture définitive et rapide de la vanne.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

This page has been intentionally left blank/Leerseite/Cette page est délibérément laissée blanche.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Technical data

2 Technical data

Note: Unless otherwise specified, all data in this

section refers to both right-angled and in-line valves.

2.1 Mechanical data

Refer to Table 3.

2.2 Performance, operating and storage conditions

Refer to Table 1.

2.3 Electrical data

Refer to Table 2.

2.4 Materials

The valves are manufactured from the following materials:

Valve-body PVEKA Valve HE30TF grade aluminium PVEKS Valve AISI 304 grade

stainless steel Bellows AISI 316L stainless steel ‘O’ rings Fluoroelastomer

2 Technische Daten

Hinweis: Wenn nichts anderes angegeben ist, gelten

alle Daten in diesem Abschnitt sowohl für Eckventile als auch für Durchgangsventile.

2.1 Mecha nische Daten

Siehe Tabelle 3.

2.2 Leistungs-, Betriebs- und Lagerbedingungen

Siehe Tabelle 1.

2.3 Elektrische Daten

Siehe Tabelle 2.

2.4 Werkstoffe

Die Ventile werden aus folgenden Werkstoffen hergestellt:

Ventilkörper PVEKA-Ventil Aluminium

der Qualität HE30TF

PVEKS-Ventil Edelstahl

der Qualität AISI 304

Faltenbalg Edelstahl

der Qualität AISI 316L

O-Ringe Fluorelastomer

2 Caracteristiques

techniques

Note : Sauf indication contraire, toutes les données de

cette section sont valables pour les vannes à angle droit et les vannes à passage direct.

2.1 Caractéristiques mécaniques

Voir Tableau 3.

2.2 Performances, conditions de fonctionnement et de stockage

Voir Tableau 1.

2.3 Caractéristiques électriques

Voir Tableau 2.

2.4 Matériaux

Les vannes sont fabriquées à partir des matériaux constitutifs suivants:

Corps Vanne PVEKA Aluminium HE30TF Vanne PVEKS Acier inoxydable

AISI 304

Soufflet Acier inoxydable

AISI 316L

Joints toriques Fluoroélastomère

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Technical data

2.5 Legislation and standards

The valves have been designed in compliance with the following legislation and standards:

z 73/023/EEC – Low Voltage Directive. z 89/336/EEC – Electromagnetic Compatibility

Directive.

z EN61010 – Safety Requirements for Electrical

Equipment for Measurement, Control and Laboratory Use – Part 1: General Requirements.

z EN61326: (Industrial Location, Class B Emissions)

– Electrical Equipment for Measurement, Control and Laboratory Use – EMC requirements.

z EN60529 – Degrees of Protection Provided by

Enclosures (IP Code).

z Pneurop 6606 – Vacuum Flanges and Connections.

2.5 Vorschriften und Normen

Die Ventilkonstruktion erfüllt folgende Vorschriften und Normen:

z 73/023/EEC – Niederspannungsrichtlinie z 89/336/EEC – Richtlinie zur elektro-

magnetischen Verträglichkeit

z EN61010 – Sicherheitsanforderungen an

elektrische Ausrüstung für Mess-, Steuer- und Laboranwendungen – Part 1: General Requirements

z EN61326: (Industrieller Einsatz, Emissionsklasse

B) – Elektrische Ausrüstung für Mess-, Steuer- und Laboranwendungen EMV-Anforderungen.

z EN60529 – Schutzklassen von Gehäusen

(IP-Code).

z Pneurop 6606 – Vakuumflansche und

-verbindungen

2.5 Législation et normes

Toutes ces vannes sont conçues conformément à la législation et aux normes suivantes :

z 73/023/CEE – Directive sur les basses tensions. z 89/336/CEE – Directive sur la compat ibilité

électromagnétique.

z EN61010 – Règles de sécurité pour appareils

électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire – partie 1 : prescriptions générales

z EN61326 : (Environnement industriel, émissions

de classe B) – Matériels électriques de mesure, de commande et de laboratoire – Prescriptions relatives à la CEM.

z EN60529 – Degrés de protection procurés par les

enveloppes (code IP).

z Pneurop 6606 – Brides et connexions de vide.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

Table 1 – Performance, operating and storage conditions

Tabelle 1 – Leistungs-, Betriebs- und Lagerbedingungen

Tableau 1 – Performances, conditions de fonctionnement et de stockage

Ambient temperature (operation) Umgebungstemperatur (Betrieb) Température ambiante (fonctionnement)

Ambient temperature (storage) Umgebungstemperatur (Lagerung) Température ambiante (stockage)

Ambient humidity (operation) Umgebungsluftfeuchte (Betrieb) Humidité ambiante (fonctionnement)

Operating altitude/operating conditions Betriebshöhe über NN/Betriebsbedingungen Altitude/conditions de fonctionnement

Molecular conductance (right-angled valve)/ Molekular Leitwert (Eckv e ntil)/ Conductance en régime moléculaire (vanne à angle droit)

Molecular conductance (in-line valve)/ Molekular Leitwert (Durchgangsventil)/ Conductance en régime moléculaire (vanne à passage direct)

Pressure range (valve open)/ Druckbereich (Ventil offen)/ Gamme de pression (vanne ouverte)

Maximum pressure differential (between flanges) Maximales Druckdifferenzial (zwischen Flanschen) Pression différentielle maximale (entre brides)

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

PV10EK PV16EK PV25EK PV40EK

5 – 45 ºC 5 – 45 ºC 5 – 50 ºC 5 – 50 ºC

-30 – 70 ºC -30 – 70 ºC -30 – 70 ºC -30 – 70 ºC

80% decreasing linearly to 50% relative humidity at 40 ºC

80% linear abfallend zu 50% relativer Luftfeuchte bei 40 ºC

80 %, diminution linéaire jusqu’à 50 % d’humidité relative à 40 ºC

Up to 2000 m/For indoor use only

Bis zu 2000 m/Nur für den Innenbetrieb

Jusqu’à 2000 m/utilisation à l’intérieur uniquement

-1

3 l s

–2 l s-16 l s

4 l s

-1

10 l s

-1

34 l s

15 l s

-1

1 x 10-9 –2.1 x 103 mbar (absolute/absolut/absolu)

-7

1 x 10

–2.1 x 105 Pa

1 x 103 mbar

1 x 10

Technical data

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Technical data

Table 1 – Performance, operating and storage conditions (continued) Tabelle 1 – Leistungs-, Betriebs- und Lagerbedingungen (fortgesetzt)

Tableau 1 – Performances, conditions de fonctionnement et de stockage (suite)

PV10EK PV16EK PV25EK PV40EK

Leak rate/Undichtigkeitsrate/Taux de fuite 1 x 10-9 mbar l s-1, 1 x 10-7 Pa l s Maximum cycle frequency (per hour)/

Maximale Zyklusfrequenz (Pro Stunde)/ Fréquence maximale de manoeuvre (par heure)

Nominal lift (mm) Nominalhub (mm) Levée nominale (mm)

Time to open (ms) Öffnungszeit (ms) Temps d’ouverture (ms)

Time to close (ms) Schliebzeit (ms) Temps de fermeture (ms)

Mean time to failure (cycles) Mittlere Standzeit (Zyklen) Temps moyen avant apparition de défaillances (MTTF)

400 400 400 400

2.5 2.5 3.8 6.0

40 40 60 80

100 100 100 120

> 5 x 10

-1

> 1.3 x 10

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

Electrical supply voltage range Elektrischer Spannungsbereich Plage de tension d’alimentation

110 V nominal/110 V Nennspannung/110 V nominale

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Technical data

Table 2 – Electrical data

Tabelle 2 – Elektrische Daten

Tableau 2 – Caractéristiques électriques

PV10EK PV16EK PV25EK PV40EK

90 – 132 V 240 V nominal/240 V Nennspannung/240 V nominale Frequency/Frequenz/Fréquence

Continuous power (W)/Dauerleistung (W)/Puissance continue (W)

110 V a.c. 240 V a.c.

Peak power (VA) for 60 ms/Spitzenleistung (VA) für 60 ms/ Puissance de pointe (VA) pour 60 ms

110 V a.c. 240 V a.c.

Reed-switch ratings Daten Zungenschalter Caractéristiques nominales de commutateur à lame vibrante

Maximum voltage (peak, a.c. or d.c.) Maximalspannung (Spitzenwert, We chselstrom oder Gleichstrom) Tension maximale (pointe, c.a ou c.c.) Maximum current (peak)/power (r.m.s.) Maximalstrom (Spitzenwert) / Leistung (eff.) Intensité maximale (pointe)/puissance maximale (eff)

Electrical supply plug/Netzstecker/Fiche de l’alimentation électrique

Cable diameter/Kabeldurchmesser/Diamètre du câble 6 – 8 mm

Microswitch plug/Mikroschalterstecker/Fiche du microrupteur

Maximum cable diameter Maximaler Kabeldurchmesser Diamètre maximal du câble

3.3

4.4

450 560

180 – 264 V

3.3

4.4

450 560

0.25 A/3 VA

50 – 60 Hz

28 V

6.5 mm

6.1

8.2

940

1200

8.0

8.3

1400 2400

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Technical data

Dimensions: mm (see Figures 2 and 3 for keys) Abmessungen: in mm (bzgl. Erläuterungen siehe die Abbildungen 2 und 3) Dimensions : mm (voir légende des Figures 2 et 3)

Mounting hole thread size and maximum depth Gewindegröße und maximale Tiefe der Montagelöcher Filetage et profondeur maximale des orifices de montage

Valve-port flange size Flanschgröße der Ventilöffnung Taille de bride d’orifice de vanne

IP ratings (as defined by EN60529): valve enclosure ▲ IP-Daten (gemäß EN60529): Ventilgehäuse ▲ Indices IP (tels que définis par EN60529) : enveloppe de vanne ▲

Mass (kg) PVEKA Gewicht (kg) IPVEKA Poids (kg) PVEKS

IPVEKS

▲

The electrical supply connector and the microswitch connector must be connected using the gasket supplied, and the correct cable diameters must be used, in order to meet the requirements of IP55. ▲ Um den Anforderungen von IP 55 zu entsprechen müssen Netzstecker und Mikroschalterstecker unter Verwendung der mitgelieferten Manschette verbunden werden und die richtigen Kabeldurchmesser müssen verwendet werden. ▲ Les connecteurs de l’alimentation électrique et du microrupteur doivent être raccordés à l’aide du joint fourni, et les diamètres de câble corrects être utilisés pour satisfaire aux exigences d’IP55.

Table 3 – Mechanical data

Tabelle 3 – Mechanische Daten

Tableau 3 – Caractéristiques mécaniques

PV10EK PV16EK PV25EK PV40EK

A B C F H L

30 42 20 59 * - † 150 * - † 116 * - †

M4 x 7 M4 x 7 M4 x 7 M6 x 9

NW10 NW16 NW25 NW40

IP55 IP55 IP55 IP55

0.8 *

- †

0.9

- †

40 42 20 69 * 37.4 † 160 * 142.9 † 126 * 85 † 40 †

0.8 *

0.8 †

1.2

1.2 † * Right-angled valve/Eckventil/Vanne à angle droit

† In-line valve (note that there is no PV10EK in-line valve)

Durchgangsventil (Es gibt kein PV10EK – Durchgangsventil) Vanne à passage direct (Note : il n’existe pas de vanne PV10EK à passage direct)

50 55 20 82 * 72.5 † 182 * 172 † 142 * 93 † 50 †

1.8 *

1.8 †

2.4

2.5 †

65 80 40 110 * 10 1.5 † 230 * 222 † 170 * 111 † 65 †

4.5 *

4.6 †

6.4

6.8 †

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

Figure 2 – Right-angled valve dimensions

Abbildung 2 – Abmessungen der Eckventile

Figure 2 – Dimensions de la vanne à angle droit

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Technical data

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Technical data

Figure 3 – In -l in e valve dime nsi o ns Abbildung 3 – Abmessungen der Durchgangsventile Figure 3 – Dimensions de la vanne à passage direct

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Technical data

2.6 Product Item Numbers

2.6.1 Right-angled valves

Product Item Number Aluminium bodies

PV10EKA Valve (220 V) C411-01-000 PV10EKA Valve (110 V) C411-03-000 PV16EKA Valve (220 V) C412-01-000 PV16EKA Valve (110 V) C412-03-000 PV25EKA Valve (220 V) C413-01-000 PV25EKA Valve (110 V) C413-03-000 PV40EKA Valve (220 V) C414-01-000 PV40EKA Valve (110 V) C414-03-000

Stainless steel bodies

PV16EKS Valve (220 V) C412-02-000 PV16EKS Valve (110 V) C412-04-000 PV25EKS Valve (220 V) C413-02-000 PV25EKS Valve (110 V) C413-04-000 PV40EKS Valve (220 V) C414-02-000 PV40EKS Valve (110 V) C414-04-000

2.6 Artikelnummern

2.6.1 Eckventile

Produkt Artikelnummer Aluminiumkörper

PV10EKA Ventil (220 V) C411-01-000 PV10EKA Ventil (110 V) C411-03-000 PV16EKA Ventil (220 V) C412-01-000 PV16EKA Ventil (110 V) C412-03-000 PV25EKA Ventil (220 V) C413-01-000 PV25EKA Ventil (110 V) C413-03-000 PV40EKA Ventil (220 V) C414-01-000 PV40EKA Ventil (110 V) C414-03-000

Edelstahlkörper

PV16EKS Ventil (220 V) C412-02-000 PV16EKS Ventil (110 V) C412-04-000 PV25EKS Ventil (220 V) C413-02-000 PV25EKS Ventil (110 V) C413-04-000 PV40EKS Ventil (220 V) C414-02-000 PV40EKS Ventil (110 V) C414-04-000

2.6 Numéro de code des produits

2.6.1 Vannes à angle droit

Produit Numéro de code Corps en aluminium

Vanne PV10EKA (220 V) C411-01-000 Vanne PV10EKA (110 V) C411-03-000 Vanne PV16EKA (220 V) C412-01-000 Vanne PV16EKA (110 V) C412-03-000 Vanne PV25EKA (220 V) C413-01-000 Vanne PV25EKA (110 V) C413-03-000 Vanne PV40EKA (220 V) C414-01-000 Vanne PV40EKA (110 V) C414-03-000

Corps en acier inoxydable

Vanne PV16EKS (220 V) C412-02-000 Vanne PV16EKS (110 V) C412-04-000 Vanne PV25EKS (220 V) C413-02-000 Vanne PV25EKS (110 V) C413-04-000 Vanne PV40EKS (220 V) C414-02-000 Vanne PV40EKS (110 V) C414-04-000

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Technical data

2.6.2 In-line valves

Product Item Number Aluminium bodies

PV10EKA Valve (220 V) PV10EKA Valve (110 V) PV16EKA Valve (220 V) C416-10-000 PV16EKA Valve (110 V) C416-11-000 PV25EKA Valve (220 V) C416-30-000 PV25EKA Valve (110 V) C416-31-000 PV40EKA Valve (220 V) C416-51-000 PV40EKA Valve (110 V) C416-52-000

Stainless steel bodies

PV16EKS Valve (220 V) C416-12-000 PV16EKS Valve (110 V) C416-13-000 PV25EKS Valve (220 V) C416-32-000 PV25EKS Valve (110 V) C416-33-000 PV40EKS Valve (220 V) C416-53-000 PV40EKS Valve (110 V) C416-54-000

2.6.2 Durchgangsventile

Produkt Artikelnummer Aluminiumkörper

PV10EKA Ventil (220 V) PVI0EKA Ventil (110 V) PVI6EKA Ventil (220 V) C416-10-000 PVI6EKA Ventil (110 V) C416-11-000 PV25EKA Ventil (220 V) C416-30-000 PV25EKA Ventil (110 V) C416-31-000 PV40EKA Ventil (220 V) C416-51-000 PV40EKA Ventil (110 V) C416-52-000

Edelstahlkörper

PVI6EKS Ventil (220 V) C416-12-000 PV16EKS Ventil (110 V) C416-13-000 PV25EKS Ventil (220 V) C416-32-000 PV25EKS Ventil (110 V) C416-33-000 PV40EKS Ventil (220 V) C416-53-000 PV40EKS Ventil (110 V) C416-54-000

2.6.2 Vannes à passage direct

Produit Numéro de code Corps en aluminium

Vanne PV10EKA (220 V) Vanne PV10EKA (110 V) Vanne PV16EKA (220 V) C416-10-000 Vanne PV16EKA (110 V) C416-11-000 Vanne PV25EKA (220 V) C416-30-000 Vanne PV25EKA (110 V) C416-31-000 Vanne PV40EKA (220 V) C416-51-000 Vanne PV40EKA (110 V) C416-52-000

Corps en acier inoxydable

Vanne PV16EKS (220 V) C416-12-000 Vanne PV16EKS (110 V) C416-13-000 Vanne PV25EKS (220 V) C416-32-000 Vanne PV25EKS (110 V) C416-33-000 Vanne PV40EKS (220 V) C416-53-000 Vanne PV40EKS (110 V) C416-54-000

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Installation

3Installation

3.1 Unpack and inspect

Remove all the packing materials and protective covers and check the PVEK valve.

If the valve is damaged, notify your supplier and the carrier in writing within three days; state the Item Number of the valve together with your order number and your supplier’s invoice number. Retain the packing materials for inspection. Do not use the valve.

If the valve is not to be used immediately, replace the protective covers. Store the valve in suitable conditions, as described in Section 6.

3Einbau

3.1 Ventil auspacken und prüfen

Sämtliches Verpackungsmaterial und alle Schutzabdeckungen entfernen; dann das PVEK-Ventil prüfen.

Wenn eine Beschädigung des Ventils festgestellt wird, so müssen Lieferant und Spediteur hiervon innerhalb von drei Tagen schriftlich in Kenntnis gesetzt werden; dabei zusammen mit Ihrer Auftrag snummer und der Rechnungsnummer des Lieferanten die Artikelnummer des Ventils angeben. Die Verpackungsmaterialien zweck s späterer Begutachtung aufbewahren. Ein beschädigtes Ventil darf nicht benutzt werden.

Wenn das Ventil nicht für den sofortigen Einsatz bestimmt ist, die Schutzabdeckungen wieder anbringen. Das Ventil bei entsprechend geeigneten Bedingungen lagern. Siehe Abschnitt 6.

3 Installation

3.1 Déballage et vérifications

Retirez tous les matériaux d’emballage et obturateurs de protection et vérifiez que la vanne PVEK n’est pas endommagée.

En cas d’endommagement, vous devez prévenir votre fournisseur et le transporteur par écrit, dans les trois jours, en signalant le numéro de code de la vanne ainsi que votre numéro de commande et le numéro de facture de votre fournisseur. Conservez les matériaux d’emballage en vue d’un examen ultérieur. N’utilisez pas cette vanne si elle est endommagée.

Si la vanne ne doit pas être utilisée immédiatement, remettez en place les obturateurs de protection et conservez la vanne dans les conditions adéquates, comme indiqué à la Section 6.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Installation

3.2 Install the valve

WARNING

Take appropriate safety precautions when you install the valve in a system in which dangerous process substances have been pumped.

WARNING

Fit a cover to any valve-port which is open to atmosphere. Access to open ports is dangerous.

CAUTIONCAUTIONCAUTION

We recommend that you provide additional support for a PV40EKA in-line valve. The valve flanges of an unsupported PV40EKA in-line valve may be distorted by the mass of the valve. Alternatively, fit a PV40EKS in-line valve.

The valve is normally supported by the pipeline it is fitted to and can be mounted in any orientation. Two threaded holes in the valve-body allow for additional support, if required; the dimensions of these holes are defined in Section 2. Do not exceed the specified maximum depth of thread or you will damage the valve. Connect the valve to your vacuum system with standard NW coupling components.

3.2 Ventil einbauen

WARNUNGWARNUNG

Bei Einbau des Ventils in eine Anlage, durch die Gefahrstoffe gepumpt worden sind, müssen entsprechende Sicherheitsvorkehrungen getroffen werden.

WARNUNGWARNUNG

Decken Sie jeden zur Atmosphäre offenen Ventilanschluß ab. Zugang zu offenen Anschlüssen ist gefährlich.

VORSICHT

Wir empfehlen den Einsatz einer zusätzlichen Halterung für ein PV40EKA Durchgangs- ventil. Die Ventilflansche eines PV40EKA Durchgangsventils ohne Zusatzhalterung können sich durch die Masse des Ventils verformen. Alternativ wird der Einbau eines PV40EKS Durchgangsventils empfohlen.

Das Ventil wird üblicherweise von den Rohr- leitungen gehalten, an denen es angebracht wird, und kann in jeder Ausrichtung montiert werden. Zwei Gewindeöffnungen im Ventilkörper ermöglichen zusätzliche Befestigungsmöglichkeiten, falls erforderlich; die Abmessungen dieser Öffnungen sind in

Abschnitt 2 angegeben. Gehen Sie nicht über die

festgelegte maximale Gewindetiefe hinaus, da Sie sonst das Ventil beschädigen. Der Anschluß des Ventil s an da s Vakuumsystem erfolgt mit standardmäßigen NWKopplungsteilen.

3.2 Installation de la vanne

AVERTISSEMENT

Prenez les mesures appropriées de sécurité lors de l’installation d’une vanne dans un circuit dans lequel des substances dangereuses ont été pompées.

AVERTISSEMENT

Placez un obturateur sur tous les orifices de vanne qui sont mis à l’air libre. L’accès à des orifices ouverts est dangereux.

ATTENTION

Il est recommandé de prévoir un support supplémentaire pour une vanne à passage direct PV40EKA. Si vous ne respectez pas cette consigne, le poids de la vanne peut déformer les brides. Vous pouvez également installer une vanne à passage direct PV40EKS.

Normalement, la vanne est soutenue par la canalisation sur laquelle elle vient se fixer. Elle peut se monter dans n’importe quelle position. Deux trous filetés sur le corps de vanne offrent un support supplémentaire. La

Section 2 donne les côtes de ces trous. Ne dépassez pas

la profondeur maximale spécifiée de filetage pour ne pas endommager la vanne. Branchez cette vanne sur votre circuit de vide en utilisant des composants de raccordement standard NW.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Installation

If necessary, you can rotate the valve-body from its standard position (in 90° steps for the right-angled valve and in 180° steps for the in-line valve). Remove the fou r screws which secure the solenoid actuating cylinder to the valve-body and reassemble with the cylinde r turned in the required direction.

3.3 Electrical connections

WARNING

Ensure that the electrical installation of the PVEK valve conforms with your local and national safety requirements. It must be connected to a suitable fused and protected electrical supply and a suitable earth (ground) point.

WARNING

In order to comply with EN61010, the valve must be connected to a suitable 2 pole circuit breaker which is labelled appropriately and mounted in close proximity, within easy reach of the operator.

Wenn notwendig, können Sie den Ventilkörper aus der Standardstellung drehen (in 90°-Schritten beim Eckventil und in 180°-Schritten beim Durchgangsventil). Entfernen Sie dazu die vier Schrauben, die den elektromagnetischen Betätigungszylinder am Ventilkörper halten, und setzen Sie die Einheit mit dem Zylinder in der gewünschten Richtung wieder zusammen.

3.3 Elektrische Anschlüsse

WARNUNGWARNUNG

Unbedingt darauf achten, daß der elektrische Einbau des PVEK-Ventils den örtlichen und nationalen Sicherheitsvorschriften entspricht. Es muss an eine geschützte Stromquelle mit ausreichender Sicherung und eine geeignete Erdanschlussstelle angeschlossen sein.

WARNUNGWARNUNG

Gemäß EN61010 muss das Ventil mit einem geeigneten 2-poligen Schutzschalter verbunden werden, der entsprechend gekennzeichnet ist und in der Nähe, für die Bedienperson leicht zu erreichen, angebracht ist.

Le cas échéant, vous pouvez faire tourner le corps de la vanne par rapport à sa position standard (de 90° p our la vanne à angle droit et de 180° pour la vanne à passage direct). Retirez les quatre vis qui immobilisent le vérin de commande du solénoïde sur le corp s de la vanne puis procédez à un remontage après avoir tourné le cylindre dans le sens requis.

3.3 Branchements électriques

AVERTISSEMENT

Vérifiez que l’installation électrique de la vanne PVEK respecte les critères nationaux et locaux de sécurité. Elle doit être branchée sur une alimentation électrique équipée d’un fusible et protégée, avec point de mise à la terre (masse).

AVERTISSEMENT

Pour satisfaire à la norme EN61010, la vanne doit être raccordée à un disjoncteur bipolaire adéquat, correctement identifié et monté à proximité, à portée de l’opérateur.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Installation

1. Electrical-box

2. Sealing-gland

3. Connector block

4. Electrical supply socket

5. Socket retaining screw

6. Cable strain-relief nut

7. Position indicator socket

1. Elektrischer Schaltkasten

2. Dichtungsstopfbuchse

3. Klemmenblock

4. Elektrische Steckbuchse

5. Halteschraube für Buchse

6. Zugentlastungsmutter für Kabel

7. Buchse für Stellungsindikator

Figure 4 – Electrical connectors

Abbildung 4 – Elektrische Anschlüsse

Figure 4 – Connecteurs électriques

1. Coffret électrique

2. Presse-étoupe d’étanchéité

3. Bloc connecteur

4. Prise femelle d’alimentation électrique

5. Vis de fixation de prise

6. Ecrou de détente de câble

7. Prise femelle de l’indicateur de position

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

1. Live

2. Neutral

3. Earth (ground)

1. Phase

2. Neutral

3. Erdung

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Installation

Figure 5 – Electrical supply connections

Abbildung 5 – Netzanschlüsse

Figure 5 – Connexions électriques

1. Phase

2. Neutre

3. Terre (masse)

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Installation

3.3.1 Fit your own electrical supply cable

Use the following procedure to fit your own electrical supply cable to the PVEK valve. Refer to Figure 4 for item numbers in brackets.

1. Check that the electrical supply corresponds with

the voltage stated on the valve label.

2. Undo the screw (5) and remove the electrical supply

socket (4) from the electrical-box (1). Remove the sealing-gland (2) and prise out the connector block (3).

3. Loosen the strain-relief nut (6) and pass the

electrical supply cable through the nut and into the socket. Refer to Table 2 for information on the correct cable diameter .

4. Connect the electrical supply cable to the connector

block as shown in Figure 5. Ensure that the earth (ground) conductor is longer than the other conductors, so that if the cable is accidentally dragged, the earth (ground) conductor will be the last conductor to be pulled from the connector block.

5. Push the connector block (3) back into the socket;

ensure that it is orientated correctly so that the sockets mate with the corresponding pins labelled on the electrical-box (1).

6. Gently pull on the cable to ensure that the cable is

trapped inside the connector. Tighten the strainrelief nut (6).

3.3.1 Anschließen eines eigenen Netzkabels

Das folgende Verfahren durchführen, um ein eigenes Netzkabel an das PVEK-Ventil anzuschießen. Siehe

Abbildung 4 bezüglich der in Klammern angegebenen

Teilenummern.

1. Zunächst prüfen, daß die vorhandene Netzspannung

der auf dem Etikett des Ventils angegebenen Spannung entspricht.

2. Schraube (5) lösen und die elektrische Steckbuchse

(4) vom elektrischen Schaltkasten (1) abnehmen. Die Dichtungsstopfbüchse (2) abnehmen und den Klemmenblock (3) heraushebeln.

3. Die Zugentlastungsmutter (6) etwas lösen und das

Netzkabel durch die Mutter hindurch zur Steckbuchse führen. Informationen zum richtigen Kabeldurchmesser finden Sie in Tabelle 2.

4. Schließen Sie das Netzkabel wie in Abbildung 5

dargestellt an den Klemmenblock an. Achten Sie darauf, dass der Nullleiter länger ist als die übrigen Leiter, so dass bei versehentlichem Ziehen des Kabels der Nullleiter als letzter aus dem Klemmenblock gezogen wird.

5. Den Klemmenblock (3) zurück in die Steckbuchse

drücken; dabei auf korrekte Orientierung achten: die Buchsen in der Steckbuchse müssen so auf die dazugehörigen Stifte passen, wie in der Beschriftung des Schaltkastens (1) angegeben.

6. Leicht am Kabel ziehen, um zu prüfen, daß das

Kabel fest im Klemmenblock sitzt. Die Zugentlastungsmutter (6) festziehen.

3.3.1 Installation de votre propre câble d'alimentation électrique

Pour brancher votre propre câble d'alimentation électrique sur la vanne PVEK, respectez la procédure suivante. Les chiffres entre parenthèses correspondent aux repères de la Figure 4.

1. Vérifiez que la tension secteur est identique à la

valeur indiquée sur l’étiquette de la vanne.

2. Desserrez la vis (5) puis retirez du coffret électrique

(1) la prise femelle d’alimentation électrique (4). Resserrez le presse-étoupe d’étanchéité (2 ) puis extrayez le bloc connecteur (3).

3. Desserrez l’écrou de détente (6) puis faites passer le

câble électrique par cet écrou et introduisez-le dans la prise. Reportez-vous au Tableau 2 pour plus d’informations sur les diamètres de câble corrects .

4. Branchez le câble d’alimentation électrique dans le

bloc connecteur, comme illustré à la Figure 5. Veillez à ce que le conducte ur de masse (terre) soit plus long que les autres conducteurs, de sorte que si l’on tire accidentellement sur le câble, le conducteur de masse soit le dernier à être débranché du bloc.

5. Enfoncez de nouveau le bloc connecteur (3) dans la

prise. Vérifiez que son orientation est correcte et que les prises viennent se brancher sur les broches correspondantes identifiées par une étiquette apposée sur le coffret électrique (1).

6. Tirez doucement sur le câble pour s’assurer qu’il est

bien coincé à l’intérieur du connecteur. Resserrez l’écrou de détente (6).

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Installation

7. Refit the sealing-gland (2) over the socket (4) and push the socket onto the three connector pins on the electrical-box.

8. Refit the retaining screw (5) and tighten; ensure that there is a slight compression of the sealinggland.

3.3.2 Fit the electrical supply cable

accessory

Use the following procedure to fit the electrical supply cable accessory. Refer to Figure 4 for item numbers in brackets.

The accessory is supplied as a fully assembled cable, together with a new sealing-gland and socket retaining screw.

1. Undo the screw (5) and remove the existing electrical supply socket (4) from the electrical-box (1) on the valve.

2. Fit the new sealing-gland (2) to the socket (4) on the electrical supply cable accessory.

3. Push the socket (4) onto the three connector pins on the electrical-box.

4. Fit the new socket retaining screw (5) and tighten; ensure that there is a slight compression of the sealing-gland.

5. Fit the plug on the other end o f the electric al supply cable accessory to a suitable electrical supply outlet.

7. Die Dichtungsstopfbüchse (2) wieder über der Steckbuchse (4) anbringen und die Steckbuchse auf die drei Anschlußstifte am Elektrokasten drücken.

8. Die Sicherungsschraube (5) wieder einsetzen und festziehen; darauf achten, daß die Dichtungsstopfbüchse leicht zusammengedrückt wird.

3.3.2 Anschließen des

Netzkabelzubehörs

Das folgende Verfahren durchführen, um das Netzkabelzubehör anzuschließen. Abbildung 4 enthält die Teilenummern in Klammern.

Das Zubehör wird als komplett montiertes Kabel zusammen mit einer neuen Dichtungsstopf- buchse und einer Buchsenhalteschraube ausgeliefert.

1. Die Schraube (5) lösen, und den vorhandenen Stromversorgungsanschluß (4) vom elektrischen Schaltkasten (1) am Ventil entfernen.

2. Die neue Dichtungsstopfbuchse (2) an die Buchse (4) am Netzkabelzubehör montieren.

3. Die Buchse (4) über die drei Anschlußstifte am elektrischen Schaltkasten schieben.

4. Die neue Buchsenhalteschraube (5) einsetzen und festziehen. Sicherstellen, daß die Dichtungsstopfbuchse leicht zusammengedrückt wird.

5. Den Stecker am anderen Ende des Netzkabelzubehörs an eine geeignete Steckdose anschließen.

7. Remettez en place le presse-étoupe d’étanchéité (2) sur la prise (4) puis enfoncez la prise sur les trois broches du connecteur du coffret électrique.

8. Remettez en place la vis de fixation (5 ) et vissez-la. Assurez-vous que le presse-étoupe d’étanchéité est légèrement comprimé.

3.3.2 Installation du câble

d'alimentation électrique (accessoire)

Pour installer le câble d'alimentatio n éle ctrique (accessoire), respectez la procédure suivante. Reporte zvous à la Figure 4 pour les numéros de référence entre parenthèses.

Le câble est fourni entièrement assemblé, avec une vis de retenue de douille et un presse-étoupe d'étanchéité neufs.

1. Desserrez la vis (5) et ôtez la douille d'alimentation électrique existante (4) du coffret électrique (1) de la vanne.

2. Installez le nouveau presse-étoupe d'étanchéité (2) sur la douille (4) du câble d'alimentation électrique.

3. Enfoncez la douille (4) sur les trois broches de connecteur dans le coffret électrique.

4. Installez la nouvelle vis de retenue de douille (5) et serrez ; assurez-vous que le presse-étoupe d'étanchéité est légèrement comprimé.

5. Branchez la fiche à l'autre extrémité du câble d'alimentation électrique dans une prise de courant appropriée.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Installation

3.3.3 Position indicator connections

WARNING

Do not use the position indicator as a safety interlock device. Under certain circumstances the position indicator may not operate correctly.

The reed switch position indicator has changeover contacts and provides both normally open and normally closed position indications. To use the reed switch position indicator, connect the terminals as described below.

1. Undo the screw and remove the position indicator socket (Figure 4, item 7) from the electrical-box. Remove the sealing-gland, extract the connector block and loosen the strain-relief nut.

2. Connect the signal cable to the terminals in the connector block as shown in Figure 6. Refer to

Table 2 for information on the correct cable

diameter. Do not use the terminal marked with the earth (ground) symbol.

3. Refit the connector block to the socket and replace the socket. Note that the socket is not polarised and can be fitted in any of four possible positions. Ensure that the sockets mate with the corresponding pins labelled on the electrical-box.

3.3.3 Anschlüsse des Stellungsindikators

WARNUNGWARNUNG

Verwenden Sie den Stellungsindikator nicht als Sicherheitsverriegelung. Unter bestimmten Umständen kann es vorkommen, daß der Stellungsindikator nicht korrekt arbeitet.

Der Zungenschalter hat Umschaltkontakte und kann Stellungsanzeigen als Öffner und als Schließer ausgeben. Zum Betrieb des Zungenschalter- Stellungsindikators die Anschlußklemmen wie nachstehend beschrieben belegen.

1. Entfernen Sie die Stellungsindikator- Stecker-

buchse (Abbildung 4, lfd. Nr. 7) vom Schaltkasten. Entfernen Sie die Dichtungsstopfbuchse, nehmen Sie den Anschlußblock heraus und lösen Sie die Zugentlastungsmutter.

2. Schließen Sie das Signalkabel an den Anschlüssen de s

Anschlußblocks an, siehe Abbildung 6. Informationen über den richtigen Kabeldurchmesser finden Sie in

Tabelle 2. Verwenden Sie nicht den Anschluss, der

mit dem Erde-Symbol gekennzeichnet ist.

3. Setzen Sie den Anschlußblock wieder auf die

Steckerbuchse auf und setzen die Steckerbuchse wieder ein. Beachten Sie, daß die Steckerbuchse nicht polarisiert ist und in jeder der vier möglichen Positionen eingesetzt werden kann. Prüfen Sie, daß die Buchsen auf den entsprechenden Stiften sitzen (siehe Beschriftung des Schaltkastens).

3.3.3 Branchements d’un indicateur de position

AVERTISSEMENT

N’utilisez pas l’indicateur de position comme un dispositif de verrouillage de sécurité. Dans certains cas, cet indicateur risque de ne pas fonctionner correctement.

L’indicateur de position de type commutateur à lame vibrante comporte des contacts inverseurs et fournit des indications du type : normalement ouvert et normalement fermé. Pour utiliser cet indicateur, branchez ses bornes comme indiqué ci-dessous.

1. Desserrez la vis puis retirez la prise femelle de

l’indicateur de position (repère 7 de la Figure 4) au niveau du coffret électrique. Déposez le presseétoupe d’étanchéité, extrayez le bloc connecteur puis desserrez l’écrou de détente.

2. Branchez le câble de signalisation sur les bornes du

bloc connecteur, comme illustré à la Figure 6. Reportez-vous au Tableau 2 pour plus d’informations sur les diamètres de câble corrects. N’utilisez pas la borne identifiée par le symbole de masse (terre).

3. Remontez le bloc connecteur sur la prise femelle

puis remettez en place cette dernière. Il convient de noter que cette prise n’est pas polarisée et peut occuper n’importe laquelle des quatre positions possibles. Vérifiez que les prises femelles viennent se brancher sur les broches correspondantes identifiées par une étiquette apposée sur le coffret électrique.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

1. Normally closed

2. Normally open

3. Common

4. Not used

1. NC (Öffner)

2. NO (Schließer)

3. Masse

4. Nicht belegt

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Installation

Figure 6 – Position indicator connections

Abbildung 6 – Anschlüsse des Stellungsindikators

Figure 6 – Branchements d’un indicateur de position

1. Normalement fermé

2. Normalement ouvert

3. Commun

4. Non utilisé

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

This page has been intentionally left blank/Leerseite/Cette page est délibérément laissée blanche.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Operation

4Operation

4.1 General

Once correctly installed, operation of the PVEK valve is dependent only upon the switching of the electrical supply to the valve.

4.2 Position indicator

WARNING

Do not use the position indicator as a safety interlock device. Under certain circumstances the position indicator may not operate correctly.

Do not rely entirely on the position indicator to indicate the state of the valve for the following reasons:

z In the event of low electrical supply voltage or a

temporary loss of the electrical supply to the valve, it is possible for the valve to close but the position indicator to show the valve still open. This is because the stray magnetic flux which remains during a temporary loss of the electrical supply could be sufficient to hold the reed switch ‘open’.

z If the valve is not able to close due to a physical

obstruction, the position indicator will show the valve to be closed.

4 Betrieb

4.1 Allgemeines

Nach korrektem Einbau ist der Betrieb des PVEK-Ventils nur noch davon abhängig, wie die jeweilige Stromversorgung zum Ventil geschaltet wird.

4.2 Stellungsindikator

WARNUNGWARNUNG

Verwenden Sie den Stellungsindikator nicht als Sicherheitsverriegelung. Unter bestimmten Umständen kann es vorkommen, daß der Stellungsindikator nicht korrekt arbeitet.

Verlassen Sie sich nicht vollständig auf den Stellungsindikator, um den jeweiligen Zustand des Ventils festzustellen. Die Gründe hierfür sind:

z Im Falle einer niedrigen Netzspannung oder eines

vorübergehenden Ausfalles der Stromversorgung des Ventils, ist es möglich, daß sich das Ventil schließt, der Stellungsindikator aber ein noch geöffnetes Ventil anzeigt. Das liegt daran, daß der magnetische Streufluß, der bei einem vorübergehenden Ausfall der Stromversorgung bestehen bleibt, ausreichen könnte, um den Zungenschalter in ,geöffneter‘ Stellung zu halten.

z Wenn das Ventil sich aufgrund eines physischen

Hindernisses nicht schließen kann, zeigt der Stellungsindikator dennoch an, daß das Ventil geschlossen ist.

4 Fonctionnement

4.1 Généralités

A condition que la vanne PVEK soit correctement installée, son fonctionnement dépend uniquement de la commutation de l’alimentation électrique qui aboutit à ce composant.

4.2 Indicateur de position

AVERTISSEMENT

N’utilisez pas l’indicateur de position comme un dispositif de verrouillage de sécurité. Dans certains cas, cet indicateur risque de ne pas fonctionner correctement.

Ne vous fiez pas entièrement à un indicateur de po sition pour connaître l’état de la vanne et ce pour les raisons suivantes :

z Si la vanne subit une baisse de tension ou une

panne temporaire de courant, il est possible qu’elle se ferme et, dans ce cas-là, l’indicateur de position continue de signaler que cette vanne est ouverte. Cela est dû au fait que le flux de dispersion magnétique qui reste à la suite d’une panne temporaire de courant est parfois suffisant pour maintenir cette lame vibrante en position « ouverte ».

z Si la fermeture de la vanne est rendue impossible

par un obstacle physique, l’indicateur de position indique que la vanne est fermée.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Operation

If it is essential to know the state of the valve for safety reasons, use additional indicators, such as pressure gauges in the pipelines on each side of the valve.

Aus Gründen der Betriebssicherheit m uß der Zustand des Ventils bekannt sein; verwenden Sie desha lb zusätzliche Indikatoren wie z.B. Druckmeßgeräte in den Leitungen an beiden Seiten des Ventiles.

S’il est vital de connaître l’état de la vanne pour des raisons de sécurité, il faut utiliser des indicateurs supplémentaires comme, par exemple, des manomètres implantés dans des canalisations, de part et d’autre de la vanne.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Maintenance

5 Maintenance

5.1 General

PVEK valves do not require routine maintenance during their normal operational life. If the valve is faulty, refer to the following sections.

5.1.1 Safety information

WARNING

Obey the safety instructions given below and take note of appropriate precautions. If you do not you can cause injury to people and damage to equipment.

z Ensure that maintenance is done by a suitably

trained and supervised technician. Obey your local and national safety requirements.

z Observe all appropriate safety precautions when

you maintain a valve from a system in which dangerous process substances have been pumped.

z Isolate the valve from the electrical supply and

your vacuum system before you start maintenance.

z Observe all appropriate safety precautions when

you come into contact with solvents and fluoroeleastomer ‘O’ rings.

5Wartung

5.1 Allgemeines

PVEK-Ventile sind während ihres normalen Betriebslebens wartungsfrei. Wenn das Ventil defekt ist, siehe die Hinweise in den nachfolgenden Abschnitten.

5.1.1 Sicherheitshinweise

WARNUNGWARNUNG

Beachten Sie die nachstehenden Sicherheitshinweise und die entsprechenden Vorsichtsmaßnahmen. Wenn Sie dies nicht tun, kann das zu Verletzungen von Personen und Anlageschäden führen.

z Sorgen Sie dafür, daß Wartungsarbeiten nur

durch einen entsprechend geschulten und überwachten Techniker durchgeführt werden. Halten Sie Ihre örtlichen und nationalen Sicherheitsbestimmungen ein.

z Halten Sie bei der Wartung eines Ventils in einem

System, durch das gefährliche Prozeßsubstanzen gepumpt worden sind, alle entsprechenden Sicherheits- vorkehrungen ein.

z Vor Beginn der Wartungsarbeiten das Ventil von

Stromversorgung und Va kuums ystem abklemmen.

z Bei Kontakt mit Lösungsmitteln und O-Ringen aus

Fluorelastomer alle entsprechenden Sicherheitsvorkehrungen einhalten.

5Entretien

5.1 Généralités

Les vannes PVEK n’ont pas besoin d’entretien courant tout au long de leur durée de vie normale. Si une vanne est défectueuse, consultez les paragraphes suivants.

5.1.1 Consignes de sécurité

AVERTISSEMENT

Respectez les consignes de sécurité indiquées ci-dessous et notez les précautions à prendre afin d’éviter toute blessure et tout endommagement.

z Confiez l’entretien à un technicien dûment

formé et correctement supervisé. Respectez les réglementations locales et nationales de sécurité.

z Respectez toutes les précautions appropriées de

sécurité lors de l’entretien d’une vanne exploitée dans un circuit qui a reçu par pompage des substances dangereuses.

z Coupez l’alimentation électrique de la vanne et

isolez votre circuit de vide avant de commencer les activités d’entretien.

z Respectez toutes les précautions appropriées de

sécurité au contact de solvants et de joints toriques en fluoroélastomère.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Maintenance

z Ensure that you do maintenance in a well

ventilated area.

z Do not use abrasive or reactive chemicals to

clean the valve.

z Do not use solvents to clean ‘O’ rings. z Safely dispose of all components which have

been contaminated by dangerous process substances.

5.1.2 Fluoroelastomers

The seals and ‘O’ rings used in the PVEK valve are made from a fluoroelastomer. Fluoroelastomers can decompose into very dangerous substances if they are heated to 260 °C and above. The valve may have overheated if your system has been misused, if it has malfunctioned or if the valve has been in a fire. If the valve has overheated, ensure that you observe the appropriate safety precautions to prevent contact with the seals and ‘O’ rings.

z Die Wartungsarbeiten in einem gut belüfteten

Bereich durchführen.

z Zur Reinigung des Ve ntils keine scheuernden oder

reaktiven Chemikalien verwenden.

z O-Ringe nicht mit Lösungsmitteln reinigen. z Alle Komponenten und Bauteile, die durch

gefährliche Prozeßsubstanzen kontaminiert worden sind, sicher entsorgen.

5.1.2 Fluorelastomere

Die im PVEK-Ventil verwendeten O-Ringe bestehen aus Fluorelastomer. Fluorelastomere können sich in sehr gefährliche Substanzen zersetzen, wenn sie auf 260 °C und darüber erhitzt werden. Überhitzung kann aufgetreten sein, wenn das Ventil falsch benutzt worden oder ein Defekt aufgetreten ist bzw. das Ventil einem Brand ausgesetzt war. Wenn Überhitzung aufgetreten ist, müssen Sie sicherstellen, daß Sie die entsprechende n Sicherheitsregeln beachten, um den Kontakt mit den Dichtungen und O-Ringen zu verhindern.

z Effectuez l’entretien dans une zone bien

ventilée.

z N’utilisez pas de solvant pour nettoyer les joints

toriques.

z Mettez au rebut, en toute sécurité, les

composants qui ont été contaminés par des substances dangereuses.

5.1.2 Fluoroélastomères

Les joints d’étanchéité et les joints toriques utilisés dans cette vanne PVEK sont en fluoroélastomère. Les fluoroélastomères peuvent se décomposer en substances très dangereuses lorsqu’ils sont soumis à des températures supérieures ou égales à 260 °C. Une surchauffe peut se produire à la suite d’une mauvaise exploitation ou d’un défaut de fonctionnement de votre système ou lorsque la vanne s’est trouvée dans un incendie. A la suite d’une telle surchauffe, respectez les précautions appropriées de sécurité pour éviter tout contact avec les joints d’étanchéité et les joints toriques.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Maintenance

5.2 Dismantle and inspect the valve

CAUTIONCAUTIONCAUTION

When you reassemble the valve, make sure that ‘O’ rings are seated properly in their locating grooves and are not trapped or pinched.

Note: The best type of grease to use is dependent on

the gases pumped in your system. For ‘clean’ systems, we recommend that you use Fomblin.

Refer to Figure 7 for item numbers shown in brackets.

1. Isolate the valve from the electrical supply.

2. Undo the four retaining screws (9) and remove the

valve-body (11) and the valve-body ‘O’ ring (10) from the valve.

3. Examine the bellows/pole-piece assembly (7), the

valve-body ‘O’ ring (10) and the valve-pad ‘O’ ring (12) for damage and wear.

4. If necessary, replace any worn or damaged items as

described in Sections 5.3 and 5.4.

5. Refit the bellows assembly into the actuator-case;

ensure free movement of the pole-piece in the actuator-case.

6. Refit the valve-body (11) to the valve; secure in

place with the four retaining screws (9) and a suitable locking adhesive such as Locktite 222.

5.2 Ventil zerlegen und prüfen

VORSICHT

Beim Zusammenbau des Ventils auf richtigen Sitz der O-Ringe in ihren Aufnahmerillen achten und darauf, daß sie nicht eingeklemmt oder gequetscht werden.

Hinweis: Welches das beste Fett für Ihr System ist,

hängt von den durch Ihr System gepumpten Gasen ab. Bei ,sauberem‘ System empfehlen wir die Verwendung von Fomblin.

Siehe Abbildung 7 bezüglich der in Klammern angegebenen Teilenummern.

1. Das Ventil von der Stromversorgung trennen.

2. Die vier Halteschrauben (9) lösen und den Ventilkörper (11) und den O-Ring des Ventilkörpers (10) vom Ventil a bnehmen.

3. Die Faltenbalg-/Polstückgruppe (7), den O-Ring des Ventilkörpers (10) und den O-Ring des Ventiltellers (12) auf Beschädigung und Abnutzung prüfen.

4. Falls erforderlich, abgenutzte und/oder beschädigte Teile, wie in den Abschnitten 5.3 und 5.4 beschrieben, austauschen.

5. Die Faltenbalggruppe wieder in das Stellgliedgehäuse einbauen; auf freie Beweglichkeit des Polstücks im Stellgliedgehäuse achten.

6. Den Ventilkörper (11) wieder am Ventil anbringen; mit den vier Halteschrauben (9) und einem geeingneten Feststellkleber wie Loctite 222 befestigen.

5.2 Démontage et examen de la vanne

ATTENTION

Lors du remontage de la vanne, assurez-vous que les joints toriques reposent correctement dans leur gorge de centrage et ne sont pas coincés ou pincés.

Note : le meilleur type de graisse à employer dépend

des gaz pompés dans votre circuit. Pour des circuits « propres », nous vous recommandons d’utiliser des produits Fomblin.

Les chiffres entre parenthèses correspondent aux numéros de repères de la Figure 7.

1. Débranchez la prise électrique de la vanne.

2. Desserrez les quatre vis de fixation (9) puis retirez le

corps de la vanne (11) et le joint torique (10).

3. Examinez l’ensemble soufflet/pôle mobile (7), le

joint torique du corps de la vanne (10) et le joint torique du bloc de la vanne (12) pour vous assurer qu’il n’y a pas d’endommagement ou d’usure.

4. Le cas échéant, remplacez les articles usés ou

endommagés, comme indiqué aux paragraphes 5.3 et 5.4.

5. Remontez l’ensemble soufflet dans le carter de

l’actionneur. Assurez-vous que le pôle mobile se déplace librement dans ce carter.

6. Remontez le corps (11) sur la vanne. Immobi- lisez-

le en position avec les quatres vis de fixation (9) et un adhésif approprié de freinage come, par exemple, du Loctite 222.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Maintenance

Figure 7 – Sectional view of PVEK valve: key

Abbildung 7 – Schnittbild des PVEK-Ventils: Legende

Figure 7 – Vue en coupe d’une vanne PVEK : légende

A. Detail of in-line valve

1. Electrical box

2. Top cap

3. Sorbathane pad

4. Bearing assembly

5. Fixed pole

6. Coil

7. Bellows/pole-piece assembly

8. Actuator housing

9. Retaining screw

10.Valve-body ‘O’ ring

11.Valve-body

12.Valve-pad ‘O’ ring

A. Detaildarstellung des Durchgangsventils

1. Elektrischer Schaltkasten

2. Haube

3. Sorbathan-Kissen

4. Lagerbaugruppe

5. Festes Polstück

6. Spule

7. Faltenbalg-/Polstückgruppe

8. Stellgliedgehäuse

9. Halteschraube

10.O-Ring des Ventilkörpers

11.Ventilkörper

12.O-Ring des Ventiltellers

A. Détails d’une vanne à passage direct

1. Coffret électrique

2. Chapeau supérieur

3. Garniture Sorbathane

4. Palier

5. Tige fixe

6. Bobine

7. Ensemble soufflet/pôle mobile

8. Logement de l’actionneur

9. Vis de fixation

10.Joint torique du corps de la vanne

11.Corps de la vanne

12.Joint torique du bloc de la vanne

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

Figure 7 – Sectional view of PVEK valve

Abbildung 7 – Schnittbild eines PVEK-Ventils

Figure 7 – Vue en coupe d’une vanne PVEK

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Maintenance

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Maintenance

5.3 Replace the bellows/pole-piece assembly

Refer to Figure 7 for item numbers shown in brackets.

1. Dismantle the valve as described in Section 5.2.

2. Remove the old bellows/pole-piece assembly (7) and

discard.

3. Fit the new valve-pad ‘O’ ring (12) to the new

bellows assembly; apply a light wipe of high vacuum grease to ease the fit.

4. Fit the bellows assembly into the actuator-case;

ensure free movement of the pole-piece in the actuator-case.

5. Reassemble the valve as described in Section 5.2.

5.3 Austausch der Faltenbalg-/ Polstückgruppe

Siehe Abbildung 7 bezüglich der in Klammern angegebenen Teilenummern.

1. Das Ventil wie in Abschnitt 5.2 beschrieben

zerlegen.

2. Die alte Faltenbalg-/Polstückgruppe (7)

herausnehmen und entsorgen.

3. Den neuen O-Ring des Ve ntiltellers (12) an der neuen

Faltenbalggruppe anbringen; zur leichteren Passung mit einer dünnen Schicht Hochvakuumfett schmieren.

4. Die Faltenbalggruppe in das Stellergehäuse

einsetzen; auf freie Beweglichkeit des Polstücks im Stellergehäuse achten.

5. Das Ventil wieder zusammenbauen, wie in

Abschnitt 5.2 beschrieben.

5.3 Remise en place de l’ensemble soufflet/pôle mobile

Les chiffres entre parenthèses correspondent aux numéros de repères de la Figure 7.

1. Démontez la vanne comme indiqué au Section 5.2.

2. Déposez puis mettez au rebut l’ensemble soufflet/

pôle mobile (7) usagé.

3. Mettez en position un joint torique neuf de bloc de

vanne (12) sur l’ensemble soufflet neuf. Enduisez légèrement ces composants de graisse pour vide poussé pour faciliter cette opération.

4. Introduisez l’ensemble soufflet dans le carter de

l’actionneur. Assurez-vous que le pôle mobile se déplace librement dans ce carter.

5. Remontez la vanne comme indi qué au Section 5.2.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Maintenance

5.4 Replace the valve-body and pad ‘O’ rings

Refer to Figure 7 for item numbers shown in brackets.

1. Dismantle the valve as described in Section 5.2.

2. Remove the valve-body ‘O’ ring (10) from the valve-

body and discard.

3. Inspect the ‘O’ ring groove and contact surfaces.

Refinish any surfaces which are damaged.

4. Fit the new valve-body ‘O’ ring (10) to the valve-

body.

5. Remove the bellows/pole-piece assembly (7).

6. Remove and discard the valve-pad ‘O’ ring (12) from

the bellows/pole-piece assembly.

7. Inspect the ‘O’ ring groove and contact surfaces.

Refinish any surfaces which are damaged.

8. Fit the new valve-pad ‘O’ ring to the bellows/pole-

piece assembly; apply a light wipe of high vacuum grease to ease the fit.

9. Refit the bellows/pole-piece assembly and

reassemble the valve as described in Section 5.2.

5.4 Austausch der O-Ringe von Ven tilkörper und Ventilteller

Siehe Abbildung 7 bezüglich der in Klammern angegebenen Teilenummern.

1. Das Ventil wie in Abschnitt 5.2 beschrieben

zerlegen.

2. Den O-Ring des Ventilkörpers (10) vom Ventilkörper

abnehmen und entsorgen.

3. Die Paßrille für den O-Rings sowie die

Kontaktflächen prüfen. Beschädigte Oberflächen neu bearbeiten.

4. Den neuen O-Ring des Ventilkörpers (10) am

Ventilkörper anbringen.

5. Die Faltenbalg-/Polstückgruppe (7) herausnehmen.

6. Den O-Ring des Ventiltellers (12) aus der Faltenbalg-

/Polstückgruppe herausnehmen und entsorgen.

7. Die Paßrille für den O-Rings sowie die

Kontaktflächen prüfen. Beschädigte Oberflächen neu bearbeiten.

8. Den neuen O-Ring des Ventiltellers an der

Faltenbalg-/Polstückgruppe anbringen; zur leichteren Passung mit einer dünnen Schicht Hochvakuumfett schmieren.

9. Die Faltenbalg-/Polstückgruppe einbauen und das

Ventil, wie in Abschnitt 5.2 beschrieben, wieder zusammenbauen.

5.4 Replacement des joints toriques du corps et du bloc de la vanne

Les chiffres entre parenthèses correspondent aux numéros de repères de la Figure 7.

1. Démontez la vanne, comme indiqué au Section 5.2.

2. Déposez puis mettez au rebut le joint torique (10)

du corps de la vanne.

3. Examinez la gorge de centrage du joint torique et

les surfaces de contact. Retouchez les surfaces qui sont endommagées.

4. Mettez en place un joint torique neuf (10) sur le

corps de la vanne.

5. Déposez l’ensemble soufflet/pôle mobile (7).

6. Retirez de l’ensemble soufflet/pôle mobile le joint

torique du bloc de la vanne (12) puis mettez ce joint au rebut.

7. Examinez la gorge de centrage du joint torique et

les surfaces de contact. Retouchez les surfaces qui sont endommagées.

8. Mettez en position un joint torique neuf de bloc de

vanne sur l’ensemble soufflet/pôle mobile. Enduisez légèrement ces composants de graisse pour vide poussé pour faciliter cette opération.

9. Remettez en place l’ensemble soufflet/pôle mobile

puis remontez la vanne, comme indiqué au

Section 5.2.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Maintenance

5.5 Electrical service kit

WARNING

Do not attempt to open the electrical box. Hazardous voltages present inside the electrical box may cause death or serious injury.

WARNING

The printed circuit assembly should only be replaced by a service engineer or a suitably trained and supervised technician.

An electrical service kit containing a replacement printed circuit assembly is available as a spare: refer to

Section 7.3.

5.5 Austausch des elektrischen Sicherungeinsatzes

WARNUNGWARNUNG

Versuchen Sie nicht, den elektrischen Schaltkasten. zu öffnen. Innerhalb des elektrischen Schaltkastens vorhandene gefährliche Spannungen können zum Tod oder zu schweren Verletzungen führen.

WARNUNGWARNUNG

Die bestückte Leiterplatte sollte nur von einem Kundendienstingenieur oder einem entsprechend geschulten und überwachten Techniker ersetzt werden.

Ein elektrischer Wartungssatz mit einer bestückten Ersatzleiterplatte ist als Ersatzteil erhältlich: siehe

Abschnitt 7.3.

5.5 Remplacement du fusible de protection contre les surtensions

AVERTISSEMENT

Ne tentez pas d’ouvrir le coffret électrique. Les tensions dangereuses qu’il contient peuvent être mortelles ou occasionner des blessures graves.

AVERTISSEMENT

Seul un technicien d’entretien ou un technicien dûment qualifié est habilité à remplacer le circuit imprimé.

Un kit de maintenance électrique contenant un circuit imprimé de rechange est disponible séparément (voir

Section 7.3).

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

5.6 Fault finding/Verwendung des elektrischen Wartungssatzes/Utilisation du kit d’entretien électrique

Table 4 – Fault finding

Tabelle 4 – Fehlersuche

Tableau 4 – Recherche des causes de pannes

Symptom/Symptom/Symptôme Check/Prüfen/Vérification Action/Maßnahmnen/Remède

The valve fails to operate. Das V entil arbeitet nicht. La vanne refuse de fonctionner.

Has the electrical supply failed? Ist die Stromversorgung ausgefallen? Il y a eu une panne de courant.

Check the electrical supply and repair as necessary. Stromversorgung prüfen und ggfs. reparieren. Vérifiez l’alimentation électrique et procédez aux réparations nécessaires.

Maintenance

Is there a loose connection in the electrical supply socket? Gibt es eine lose Verbindung in der Netzanschlußbuchse? Il y a un faux contact dans la prise femelle d’alimentation électrique.

Is the valve obstructed? Ist das Ventil durch einen Fremdkörper blockiert? La vanne est bloquée.

Remove the electrical supply socket, check the electrical supply cable to socket connections and repair as necessary (see Section 3.3.1). Die Netzanschlußbuchse ausbauen, die Anschlüsse des Netzkabels an die Buchse prüfen und wie erforderlich reparieren (siehe Abschnitt 3.3.1). Déposez cette prise femelle, vérifiez les raccordements entre le câble et cette prise et procédez aux réparations nécessaires (voir Section 3.3.1).

Dismantle the valve (see Section 5.2) and remove the obstruction. Das Ventil zerlegen (siehe Abschnitt 5.2) und das Hindernis entfernen. Démontez cette vanne (voir Section 5.2) et éliminez la cause de ce blocage.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Maintenance

Table 4 – Fault finding (continued)

Tabelle 4 – Fehlersuche (Fortsetzung)

Tableau 4 – Recherche des causes de pannes (suite)

Symptom/Symptom/Symptôme Check/Prüfen/Vérification Action/Maßnahmnen/Remède

Incorrect position indication. Falsche Stellungsanzeige. Une position incorrecte est indiquée.

Is there a loose connection in the position indication socket? Gibt es eine lose Verbindung in der StellungsindikatorBuchse? Faux contact dans la prise femelle de l’indicateur de position.

Remove the socket, check the cable to socket connections and repair as necessary (see Section 3.3.1). Die Buchse ausbauen, die Anschlüsse des Kabels an die Buchse prüfen und wie erforderlich reparieren (siehe Abschnitt 3.3.1). Déposez cette prise, vérifiez les branchements entre le câble et cette prise et procédez aux réparations néces saires (voir

Section 3.3.1).

Is the electrical supply voltage low? Ist die Versorgungsspannung niedrig? La tension d’alimentation est faible.

Is the valve obstructed? Ist das V entil durch einen Fremdkörper blockiert? Il y a un faux contact dans la prise femelle d’alimentation électrique.

Change the electrical supply (see Section 4.2). Die Stromversorgung ändern (siehe Abschnitt 4.2). Changez la source d’alimentation électrique (voir Section 4.2).

Dismantle the valve (see Section 5.3) and remove the obstruction. Das Ventil zerlegen (siehe Abschnitt 5.3) und das Hindernis entfernen. Démontez cette vanne (voir Section 5.3) et éliminez la cause de ce blocage.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

Table 4 – Fault finding (continued)

Tabelle 4 – Fehlersuche (Fortsetzung)

Tableau 4 – Recherche des causes de pannes (suite)

Symptom/Symptom/Symptôme Check/Prüfen/Vérification Action/Maßnahmnen/Remède

The valve leaks Das Ventil ist undicht. La vanne fuit.

Is the valve-body ‘O’ ring or seating groove damaged? Sind der O-Ring des Ventilkörpers oder die Paßrille beschädigt? Le joint torique du corps de la vanne ou la gorge de centrage de ce joint est endommagé.

Dismantle the valve and check the ‘O’ ring and seating groove (see Section 5.2). Refinish and/or replace as necessary. Das Ventil zerlegen und den O-Ring und die Paßrille prüfen (siehe

Abschnitt 5.2).

Nach Erfordernis neu bearbeiten und/oder austauschen. Démontez la vanne pour vérifier le joint torique et sa gorge de positionnement (Section 5.2). Procédez aux retouches et/ou remplacements nécessaires.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Maintenance

Is the valve-pad ‘O’ ring or seating groove damaged? Sind der O-Ring des Ventiltellers oder die Paßrille beschädigt? Le joint torique du bloc de la vanne ou la gorge de centrage de ce joint est endommagé.

Is there a bellows leak? Ist der Faltenbalg undicht? Le soufflet fuit.

Dismantle the valve and check the ‘O’ ring and seating groove (see Section 5.2). Refinish and/or replace as necessary. Das Ventil zerlegen und den O-Ring und die Paßrille prüfen (siehe Abschnitt 5.2). Nach Erfordernis neu bearbeiten und/oder austauschen. Démontez la vanne pour vérifier le joint torique et sa gorge de positionnement (voir Section 5.2). Procédez aux retouches et/ou remplacements nécessaires.

Replace the bellows/pole-piece assembly (see Section 5.3). Die Faltenbalg-/P olstückgruppe (siehe Abschnitt 5.3) austauschen. Remplacez l’ensemble soufflet/pôle mobile, comme indiqué au

Section 5.3.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

This page has been intentionally left blank/Leerseite/Cette page est délibérément laissée blanche.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Storage and disposal

6Storage and

disposal

6.1 Storage

Isolate the valve from the electrical supply and disconnect it from your vacuum system. Place protective covers over the valve-ports and store the PVEK valve in cool, dry conditions until it is required for use.

When required, prepare and install the valve as described in Section 3.

6.2 Disposal

Dispose of the valve and any components rem oved from it safely in accordance with all local and national sa fety and environmental requirements.

Particular care must be taken with the following:

z Fluoroelastomers which may have been

subjected to temperatures above 260 ºC (see Section 5.1.2).

z Components which have been contaminated with

dangerous process substances.

6 Lagerung und

Entsorgung

6.1 Lagerung

Das Ventil von der Stromversorgung isolieren und vom Vakuumsystem trennen. Die Ventilöffnungen mit Schutzabdeckungen verschließen und das PVEK-Ventil kühl und trocken lagern, bis es gebraucht wird.

Bei Bedarf erfolgen Vorbereitung und Einbau des Ventils wie in Abschnitt 3 beschrieben.

6.2 Entsorgung

Das Ventil und alle von ihm abgebauten Teile und Komponenten nur unter Einhaltung aller örtlichen und nationalen Sicherheits- und Umweltvorschriften sicher entsorgen.

Besondere Vorsicht ist bei folgenden Komponenten geboten:

z Fluorelastomere, die Temperaturen über 260 ºC

ausgesetzt gewesen sein können (siehe

Abschnitt 5.1.2).

z Komponenten, die durch gefährliche

Prozeßsubstanzen kontami niert worden sind.

6 Stockage et mise

au rebut

6.1 Stockage

Débranchez la prise électrique de la vanne puis débranchez la vanne de votre circuit de vide. Mettez des obturateurs de protection sur les orifices de la vanne. Conservez la vanne PVEK dans un lieu frais et sec jusqu’à ce que vous en ayez besoin.

A ce moment-là, préparez et installez cette vanne, comme indiqué à la Section 3.

6.2 Mise au rebut

Vous devez vous débarrasser de cette vanne et de tous les composants qui en ont été retirés, en respectant toutes les réglementations locales et nationales en matière de sécurité et de protection de l’environnement.

En particulier, il faudra faire très attention aux éléments suivants :

z Les fluoroélastomères qui ont été soumis à des

températures supérieures à 260 ºC (voir

Section 5.1.2).

z Les composants qui ont été contaminés par des

substances dangereuses.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

This page has been intentionally left blank/Leerseite/Cette page est délibérément laissée blanche.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Service, spares and accessories

7 Service, spares

and accessories

7.1 Introduction

Edwards products, spares and accessories are available from Edwards companies in Belgium, Brazil, China, France, Germany, Israel, Italy, Japan, Korea, Singapore, United Kingdom, U.S.A. and a world-wide network of distributors.

The majority of these centres employ Service Engineers who have undergone comprehensive Edwards training courses.

Order spare parts and accessories from your nearest Edwards company or distributor. When you order, p lease state for each part required:

z Model and Item Number of your equipment z Serial number (if any) z Item Number and description of the part

7 Kundendienst

Ersatzteile und Zubehör

7.1 Einleitung

Die Produkte, Ersatz- und Zubehörteile von Edwards sind über Edwards-Niederlassungen in Belgien, Brasilien, China, Deutschland, Frankreich, Großbritannien, Israel, Italien, Japan, Korea, Singapur und den USA sowie ein weltweites Netz von Vertriebsfirmen erhältlich.

Die Mehrzahl dieser Unternehmen beschäftigt Wartungstechniker, die bei Edwards an umfassenden Schulungskursen teilgenommen haben.

Ersatzteile und Zubehör können Sie bei der nächstgelegenen Edwards-Niederlassung oder Vertriebsfirma bestellen. Machen Sie bei der Bestellung für jedes von Ihnen gewünschte Teil folgende Angaben:

z Modell und Bestellnummer Ihrer Ausrüstung z Seriennummer (sofern vorhanden) z Bestellnummer und Bezeichnung des Teils

7 Service, pièces

détachées et accessoires

7.1 Introduction

Les produits, pièces détachées et accessoires Edwards s’obtiennent en s’adressant à différentes sociétés Edwards implantées en Belgique, au Brésil, en Chine, en France, en Allemagne, en Israël, en Italie, au Japon, en Corée, à Singapour, au Royaume-Uni, aux Etats-Unis ainsi qu’à un réseau international de distributeurs.

La majorité de ces centres emploient des ingénieurs et techniciens d’après-vente qui ont suivi des cours très complets de formation dans des établissements Edwards.

Commander les pièces de rechange et les accessoires en vous adressant à la société Edwards ou au distributeur Edwards le plus proche. A lors de votre commande , veuillez indiquer, pour chaque composant demandé, les renseignements suivants :

z Numéro de modèle et de code de votre

équipement

z Numéro de série (le cas échéant) z Numéro de code et désignation de la pièce

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Service, spares and accessories

7.2 Service

Edwards products are supported by a world-wide network of Edwards Service Centres. Each Service Centre offers a wide range of options including: equipment decontamination; service exchange; repair; rebuild and testing to factory specifications. Equipment which has been serviced, repaired or rebuilt is returned with a full warranty.

Your local Service Centre can also provide Edwards engineers to support on-site maintenance, service or repair of your equipment.

For more information about service options, contact your nearest Service Centre or other Edwards company.

7.3 Spares

See Table 5.

7.2 Kundendienst

Edwards verfügt über eine weltweites Netz von Kundendienstzentren, mit dem alle Produkte von Edwards unterstützt werden. Jedes Kundendienstzentrum bietet Ihnen ein breites Serviceangebot. Dazu zählt: die Dekontamination von Geräten, das routinemäßige Austauschen, die Reparatur, das Überholen und Prüfen auf Einhaltung der Werksspezifkationen. Alle Geräte, die gewartet, repariert oder überholt wurden, werden mit voller Garantiegewährung wieder an unsere Kunden zurückgesandt.

Das Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe stellt Ihnen auch Edwards-Wartungstechniker zur Verfügung, die die Wartung, den Service oder die Reparatur Ihrer Geräte vor Ort durchführen.

Für weitere Informationen zu unseren Kundendienstleistungen wenden Sie sich bitte an das nächste Kundendienstzentrum oder direkt an Edwards.

7.3 Ersatzteile

Siehe Tabelle 5.

7.2 Service

Les produits Edwards bénéficient de l’assistance du réseau mondial des Centres de service Edw ards. Chaque Centre de service offre une large gamme de services, entre autres : décontamination des équipements, échange standard ; réparation ; reconstruction et test selon les spécifications du fabricant. Les équipements ayant été maintenus, réparés ou reconstruits sont retournés avec une garantie totale.

Votre Centre de service local pourra aussi mettre à votre disposition des techniciens Edwards pouvant assurer d es services de maintenance, de service ou de réparation de vos équipements.

Pour plus d’informations sur les différents services disponibles, contactez votre Centre de service le plus proche ou une autre société Edwards.

7.3 Pièces détachées

Consulter le Tableau 5.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

Table 5 – Spares

Tabelle 5 – Ersatzteile

Tableau 5 – Pièces détachées

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Service, spares and accessories

Valve type

Ventiltyp

Type de vanne

PV10EKA (220 V) PV10EKA (110 V) PV16EKA (220 V) PV16EKA (110 V) PV25EKA (220 V) PV25EKA (110 V) PV40EKA (220 V) PV40EKA (110 V)

PV16EKS (220 V) PV16EKS (110 V) PV25EKS (220 V) PV25EKS (110 V) PV40EKS (220 V) PV40EKS (110 V)

‘O’ ring service kit

O-Ring-Wartungssatz

Jeu de maintenance de joints

toriques

Right-angled

valve/

Rechtwinkliges

Ventil/

Vanne à angle

droit

C411-01-800 C411-01-800 C411-01-800 C411-01-800 C413-01-800 C413-01-800 C414-01-800 C414-01-800

C411-01-800 C411-01-800 C413-01-800 C413-01-800 C414-01-800 C414-01-800

In-line valve/

Gerade

durchgehendes

Ventil/

V anne à coulement

rectiligne

C411-01-800 C411-01-800 C413-01-800 C413-01-800 C414-01-800 C414-01-800

Electrical service kit

Elektrischer Wartungssatz

Jeu de maintenance électrique

Right-angled

valve/

Rechtwinkliges

Ventil/

V anne à angle

droit

C411-01-806 C411-01-805 C411-01-806 C411-01-805 C413-01-806 C413-01-805 C414-01-806 C414-01-805

C411-01-806 C411-01-805 C413-01-806 C413-01-805 C414-01-806 C414-01-805

In-line valve/

Gerade

durchgehendes

Ventil/

Vanne à coulement

rectiligne

C411-01-806 C411-01-805 C413-01-806 C413-01-805 C414-01-806 C414-01-806

C411-01-806 C411-01-805 C413-01-806 C413-01-805 C414-01-806 C414-01-805

Right-angled

valve/

Rechtwinkliges

Ventil/

Vanne à angle

droit

C411-01-007 C411-01-007 C411-01-007 C411-01-007 C413-01-007 C413-01-007 C414-01-007 C414-01-007

C411-01-007 C411-01-007 C413-01-007 C413-01-007 C414-01-007 C414-01-007

Bellows

Faltenbalg

Soufflets

In-line valve/

Gerade

durchgehendes

Ventil/

Va nne à coulement

rectiligne

C411-01-007 C411-01-007 C413-01-007 C413-01-007 C414-01-007 C414-01-007

Valve body

Ventilkörper

Corps du clapet

Right-angled

valve/

Rechtwinkliges

Ventil/

Vanne à angle

droit

C411-01-816 C411-01-816 C412-01-816 C412-01-816 C413-01-816 C413-01-816 C414-01-816 C414-01-816

C416-02-801 C416-02-801 C416-22-801 C416-22-801 C416-42-801 C416-42-801

In-line valve/

Gerade

durchgehendes

Ventil/

V anne à coulement

rectiligne

C416-01-802 C416-01-802 C416-21-802 C416-21-802 C416-41-802 C416-41-802

C416-02-811 C416-02-811 C416-22-811 C416-22-811 C416-42-811 C416-42-811

C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H

Service, spares and accessories

7.4 Accessories

Electrical supply cable accessory C411-01-090

7.4 Zubehör

Netzkabelzubehör C411-01-090

7.4 Accessoires

Câble d'alimentation électrique C411-01-090

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

This page has been intentionally left blank.

Return of Edwards Equipment – Procedure

Form HS1

INTRODUCTION

Before returning your equipment, you must warn Edwards if substances you used (and produced) in the equipment can be hazardous. This information is fundamental to the safety of our Service Centre employees and will determine the procedures employed to service your equipment.

Complete the Declaration (HS2) and send it to Edwards before you dispatch the equipment. It is important to note that this declaration is for Edwards internal use only, and has no relationship to local, national or international transportation safety or environmental requirements. As the person offering the equipment for shipment, it is your responsibility to ensure compliance with applicable laws.

GUIDELINES

z Equipment is 'uncontaminated' if it has not been used, or if it has only been used with substances that are not hazardous. Your equipment is

'contaminated' if it has been used with any substances classified as hazardous under EU Directive 67/548/EEC (as amended) or OSHA Occupational Safety (29 CFR 1910).

z If your equipment has been used with radioactive substances, biological or infectious agents, mercury, polychlorinated bi phenyls (PCB’s), dioxins or

sodium azide, you must decontaminate it before you return it to Edwards. You must send independent proof of decontamination (for example a certificate of analysis) to Edwards with the Declaration (HS2). Phone Edwards for advice.

z If your equipment is contaminated, you must either:

z Remove all traces of contamination (to the satisfaction of laws governing the transportation of dangerous/hazardous substances). z Or, properly classify the hazard, mark, manifest and ship the equipment in accordance with applicable laws governing the shipment of hazardous

materials.

Note: Some contaminated equipment may not be suitable for airfreight.

PROCEDURE

1. Contact Edwards and obtain a Return Authorisation Number for your equipment.

2. Complete the Return of Edwards Equipment - Declaration (HS2).

3. If the equipment is contaminated, you must contact your transporter to ensure that you properly classify the hazard, mark, manifest and ship the equipment, in accordance with applicable laws governing the shipment of contaminated/hazardous materials. As the person offering the equipment for shipment, it is your responsibility to ensure compliance with applicable law. Note: Equipment contaminated with some hazardous materials, such as

semiconductor by-products, may not be suitable for airfreight - contact your transporter for advice.

4. Remove all traces of hazardous gases: pass an inert gas through the equipment and any accessories that will be returned to Edwards. Where possible, drain all fluids and lubricants from the equipment and its accessories.

5. Seal up all of the equipment's inlets and outlets (including those where accessories were attached) with blanking flanges or, for uncontaminated product, with heavy gauge tape.

6. Seal equipment in a thick polythene/polyethylene bag or sheet.

7. If the equipment is large, strap the equipment and its accessories to a wooden pallet. If the equipment is too small to be strapped to a pallet, pack it in a suitable strong box.

8. E-mail via scan, fax or post a copy of the original with signature of the Declaration (HS2) to Edwards. The Declaration must arrive before the equipment.

9. Giv e a copy of the Declaratio n (HS2) to the transporter. You must tell your transporter if the equipment is contaminated.

10. Seal the original Declaration in a suitable e nvelo pe: at tach the envelope securely to the outside of the equipment package, in a clear weatherproof bag.

WRITE YOUR RETURN AUTHORISATION NUMBER CLEARLY ON THE OUTSIDE OF THE ENVELOPE

P900-70-000 Issue L

OR ON THE OUTSIDE OF THE EQUIPMENT PACKAGE.

Rücksendung von Edwards Geräten – Vorgehensweise

Formular HS1

EINFÜHRUNG

Bevor Sie Ihre Geräte an uns zurückschicken, müssen Sie Edwards warnen, wenn von den in dem Gerät eingesetzten (und erzeugten) Stoffen Gefahren ausgehen können. Diese Informationen sind für die Sicherheit der Mitarbeiter in unserem Kundendienstzentrum von entscheidender Bedeutung. Sie sind maßgeblich für die Verfahren, die zur Durchführung des Kundendienstes an Ihren Geräten angewendet werden.

Füllen Sie die Erklärung (Formular HS2) aus, und schicken Sie sie an Edwards, bevor Sie das Gerät zum Versand bringen. Beachten Sie hierbei, dass diese Erklärung nur zum internen Gebrauch bei Edwards bestimmt ist und kein Zusammenhang mit örtlichen, nationalen oder internationalen Anforderungen an Transportsicherheit oder Umweltschutz besteht. Da Sie die Geräte zum Versand bereitstellen, liegt es in Ihrer Verantwortung, für die Einhaltung der geltenden Gesetze Sorge zu tragen.

RICHTLINIEN

• Das Gerät ist „nicht kontaminiert“, wenn es nicht in Gebrauch genommen wurde oder wenn es nur mit Stoffen eingesetzt wurde, von denen keine Gefahren ausgehen. Ihr Gerät ist „kontaminiert“, wenn es mit nach EU-Richtlinie 67/548/EG (in der jeweiligen Abänderung) oder Arbeitsschutznorm OSHA 29 CFR 1910 als gefährlich eingestufte Substanzen eingesetzt wurde.

• Wenn Ihr Gerät mit radioaktiven, biologischen oder infektiösen Stoffen, Quecksilber, polychlorierten Biphenylen (PCB), Dioxinen oder Natriumazid eingesetzt wurde, müssen Sie es dekontaminieren, bevor Sie es an BOC Edwards zurücksenden. In diesem Fall müssen Sie zusammen mit der Erklärung (Formular HS2) einen unabhängigen Dekontaminierungsnachweis (zum Beispiel eine Analysebescheinigung) an Edwards schicken. Wenn Sie Fragen haben, rufen Sie bei Edwards an. Wir beraten Sie gerne.

• Wenn Ihr Gerät kontaminiert ist, müssen Sie entweder:

• alle Spuren der Kontaminierung beseitigen (sodass alle für den Transport gefährlicher/mit Risiken behafteter Stoffe geltenden Gesetze erfüllt sind);

• oder die Art der Gefahr ordnungsgemäß klassifizieren und das Gerät gemäß den geltenden Gesetzen für den Versand gefährlicher Materialien kennzeichnen, anmelden und versenden.

Hinweis: Einige kontaminierte Geräte sind möglicherweise nicht für den Versand per Luftfracht geeignet. VORGEHENSWEISE

1. Setzen Sie sich mit Edwards in Verbindung, und lassen Sie sich für Ihr Gerät eine Rücksendegenehmigungs-Nummer geben.

2. Füllen Sie das Formular „Rücksendung von Edwards Geräten– Erklärung“ (HS2) aus.

3. Wenn das Gerät kontaminiert ist, müssen Sie mit Ihrem Spediteur Verbindung aufnehmen, um sicherzustellen, dass Sie die Gefahr ordnungsgemäß klassifiziert haben und Sie das Gerät gemäß den geltenden Gesetzen für den Versand kontaminierter/gefährlicher Materialien korrekt kennzeichnen, anmelden und versenden. Da Sie die Geräte zum Versand bereitstellen, liegt es in Ihrer Verantwortung, für die Einhaltung der geltenden Gesetze Sorge zu tragen. Hinweis: Durch gefährliche Stoffe,

z.B. Nebenprodukte der Halbleiterproduktion, kontaminierte Geräte sind möglicherweise nicht für den Versand per Luftfracht geeignet. Lassen Sie sich von Ihrem Spediteur beraten.

4. Entfernen Sie alle Spuren gefährlicher Gase: Leiten Sie ein Intergas durch das Gerät und sämtliches Zubehör, das an Edwards zurückgeschickt wird. Sofern möglich, lassen Sie alle Flüssigkeiten und Schmiermittel aus dem Gerät und seinem Zubehör ab.

5. Verschließen Sie alle Einlässe und Auslässe des Geräts (auch die, an denen das Zubehör befestigt war) mit Blindflanschen oder bei einem nicht kontaminierten Produkt mit dickem Klebeband.

6. Siegeln Sie das Gerät in einem starken PE-Beutel oder einer starken PE-Folie ein.

7. Befestigen Sie ein großes Gerät mit Riemen oder Bändern auf einer Holzpalette. Wenn das Gerät für den Transport auf einer Palette zu klein ist, verpacken Sie es in einem geeigneten stabilen Karton.

8. Faxen oder schicken Sie eine Kopie der Erklärung (Formular HS2) an Edwards. Die Erklärung muss vor dem Gerät eintreffen.

9. Geben Sie eine Kopie der Erklärung (Formular HS2) dem Spediteur mit. Sie müssen Ihren Spediteur informieren, wenn das Gerät kontaminiert ist.

10.Verschließen Sie das Original der Erklärung in einem geeigneten Umschlag: befestigen Sie den Umschlag sicher außen an der Verpackung des Geräts in einer transparenten wasserfesten Hülle.

P900-70-882 Issue L

SCHREIBEN SIE IHRE RÜCKSENDEGENEHMIGUNGS-NR. DEUTLICH LESBAR AUSSEN AUF DEN UMSCHLAG ODER AUSSEN AUF DIE VERPACKUNG DES GERÄTS.

Procédure de retour d’équipements Edwards

Formulaire HS1

INTRODUCTION

Avant de renvoyer votre équipement, vous devez prévenir Edwards si les substances utilisées (et produites) dans l’équipement sont susceptibles d’être dangereuses. Ces informations sont essentielles pour la sécurité du personnel de nos centres de services et détermineront les procédures utilisées pour la maintenance de votre équipement.

Complétez la déclaration (HS2) et envoyez-la à Edwards avant l’équipement. Il importe de noter que cette déclaration n’est destinée qu’à un usage interne chez Edwards et n’a aucun rapport avec des dispositions locales, nationales ou internationales relatives à l’environnement ou à la sécurité des transports. En tant qu’expéditeur de l’équipement, vous êtes tenu de garantir le respect de la législation applicable.

CONSIGNES GENERALES

• L’équipement “n’est pas contaminé” s’il n’a pas été utilisé ou s’il n’a été utilisé qu’avec des substances non dangereuses. Votre équipement est “contaminé” s’il a été utilisé avec des substances classifiées dangereuses en vertu de la directive européenne 67/548/CEE (modifiée) ou de la réglementation OSHA sur la sécurité au travail (29 CFR 1910).

• Si votre équipement a été utilisé avec des substances radioactives, des agents biologiques ou infectieux, du mercure, des polychlorobiphényles (PCB), des dioxines ou de l’azide de sodium, vous devez le décontaminer avant de le retourner à Edwards. Vous devez envoyer une preuve de décontamination indépendante (par exemple, un certificat d’analyse) à Edwards avec la déclaration (HS2). Contactez Edwards par téléphone.

• Si votre équipement est contaminé, vous devez :

• Eliminer toute trace de contamination (conformément aux lois régissant le transport de substances dangereuses),

• Ou, classifier le risque, identifier et envoyer correctement l’équipement conformément aux lois applicables en matière d’expédition de substances dangereuses.

Remarque : il se peut que certains équipements contaminés ne soient pas adaptés au fret aérien.

PROCEDURE

1. Contactez Edwards pour obtenir un numéro d’autorisation de retour pour votre équipement.

2. Complétez la déclaration de retour d’équipements Edwards (HS2).

3. Si l’équipement est contaminé, vous devez contacter votre transporteur pour classifier le risque, identifier et envoyer correctement l’équipement, conformément aux lois applicables en matière d’expédition de substances dangereuses/contaminées. En tant qu’expéditeur de l’équipement, vous êtes tenu de garantir le respect de la législation applicable. Remarque : il se peut que l’équipement contaminé par des substances dangereuses

telles que des sous-produits de semi-conducteur, ne soit pas adapté au fret aérien. Consultez votre transporteur.

4. Eliminez toute trace de gaz dangereux : faites circuler un gaz inerte dans l’équipement et les accessoires à renvoyer à Edwards. Le cas échéant, purgez tous les fluides et lubrifiants de l’équipement et de ses accessoires.

5. Obturez toutes les entrées et sorties de l’équipement (y compris les emplacements de fixation d’accessoires) à l’aide de brides pleines ou, pour les produits non contaminés, de ruban adhésif épais.

6. Placez l’équipement dans un épais sac/feuille en polythène/polyéthylène hermétique.

7. S’il s’agit d’un équipement de grande taille, fixez-le, ainsi que tous ses accessoires, sur une palette en bois. S’il est trop petit pour pouvoir être immobilisé sur une palette, placez-le dans une solide caisse de taille appropriée.

8. Envoyez, par fax ou courrier, une copie de la déclaration (HS2) à Edwards. Celle-ci doit arriver avant l’équipement.

9. Remettez une copie de la déclaration (HS2) au transporteur. Vous devez lui signaler toute contamination de l’équipement.

10.Placez l’original de la déclaration dans une enveloppe appropriée : insérez-la dans un sachet étanche transparent et fixez-la correctement à l’extérieur de l’emballage de l’équipement.

INSCRIVEZ LISIBLEMENT VOTRE NUMERO D’AUTORISATION DE RETOUR A L’EXTERIEUR DE L’ENVELOPPE OU DE L’EMBALLAGE

P900-70-883 Issue L

DE L’EQUIPEMENT.

This page has been intentionally left blank.

Form HS2

Return of Edwards Equipment – Declaration

Return Authorisation Number:

You must:

•Know about all of the substances which have been used and produced in the equipment before you complete this Declaration

• Read the Return of Edwards Equipment – Procedure (HS1) before you complete this Declaration

• Contact Edwards to obtain a Return Authorisation Number and to obtain advice if you have any questions

• Send this form to Edwards before you return your equipment

SECTION 1: EQUIPMENT

Manufacturer's Product Name____________________________ Manufacturer's Part Number_____________________________ Manufacturer's Serial Number ____________________________

Has the equipment been used, tested or operated ? YES R Go to Section 2 NO R Go to Section 4

IF APPLICABLE:

Tool Reference Number__________________________________ Process________________________________________________ Failure Date____________________________________________ Serial Number of

Replacement Equipment__________________________________

SECTION 2: SUBSTANCES IN CONTACT WITH THE EQUIPMENT

Are any substances used or produced in the equipment:

•

Radioactive, biological or infectious agents, mercury, poly chlorinated biphenyls (PCBs), dioxins or sodium azide? (if YES, see Note 1)YES

•

Hazardous to human health and safety ? YES

R NO

R R

Note 1: Edwards will not accept delivery of any equipment that is contaminated with radioactive substances, biological/infectious agents, mercury, PCB’s, dioxins or sodium azide, unless you:

• Decontaminate the equipment

• Provide proof of decontamination

YOU MUST CONTACT EDWARDS FOR ADVICE BEFORE YOU RETURN SUCH EQUIPMENT

SECTION 3: LIST OF SUBSTANCES IN CONTACT WITH THE EQUIPMENT

Substance name

Chemical

Symbol

(for example, use protective gloves, etc.)

Precautions required

Action required after a spill,

leak or exposure

SECTION 4: RETURN INFORMATION

Reason for return and symptoms of malfunction:_____________________________________________________________________________ ______________________________________________________________________________________________________________________

If you have a warranty claim:

• who did you buy the equipment from ?________

• give the supplier’s invoice number_______ ______

_____________________________

_______________

_____________

SECTION 5: DECLARATION

Print your name: ________________________________________ Print your job title:_________________________________________ Print your organisation:_________________________________________________________________________________________ Print your address: _____________________________________________________________________________________________________ ______________________________________________________________________________________________________________________ Telephone number: _____________________________ Date of equipment delivery: ___________________

I have made reasonable enquiry and I have supplied accurate information in this Declaration. I have not withheld any information, and I have followed the Return of Edwards Equipment – Procedure (HS1).

Note: Please print out this form,

Signed: _____________________________________ Date: _______________________

sign it and return the signed form as hard copy.

P900-71-000 Issue M

Formular HS2

Rücksendung von Edwards Geräten – Erklärung

Sie müssen:

• Über alle Stoffe informiert sein, die in dem Gerät eingesetzt und produziert wurden, bevor Sie diese Erklärung ausfüllen.

• Das Formular „Rücksendung von Edwards Geräten – Vorgehensweise“ (HS1) lesen, bevor Sie diese Erklärung ausfüllen.

• Sich von Edwards eine Rücksendegenehmigungs-Nr. geben und sich beraten lassen, wenn Sie Fragen haben.

• Dieses Formular an Edwards schicken, bevor Sie Ihr Gerät zurücksenden.

Rücksendegenehmigungs-Nr.:

ABSCHNITT 1: ANGABEN ZUM GERÄT

Produktname des Herstellers _____________________________ Teilenummer des Herstellers _____________________________ Seriennummer des Herstellers ____________________________

Wurde das Gerät genutzt, getestet oder betrieben? JA ! Weiter mit Abschnitt 2 NEIN ! Weiter mit Abschnitt 4

SOFERNZUTREFFEND:

Artikel-Nr. des Werkzeugs _____________________________ Prozess _______________________________________________ Datum des Ausfalls _____________________________________ Seriennummer der

Ersatzausrüstung _______________________________________

ABSCHNITT 2: MIT DEM GERÄT IN KONTAKT GEKOMMENE STOFFE

Sind in diesem Gerät eingesetzte oder produzierte Stoffe:

• Biologische oder infektiöse Stoffe, Quecksilber, polychlorierte Biphenyle (PCB), Dioxine oder Natriumazid? (wenn JA, siehe Hinweis 1) JA ! NEIN !

• Gefährlich für die menschliche Gesundheit und Sicherheit? JA ! NEIN !

Hinweis 1: Edwards nimmt keine Lieferung eines mit radioaktiven, biologischen oder infektiösen Stoffen, Quecksilber, polychlorierten Biphenylen (PCB), Dioxinen oder Natriumazid kontaminierten Gerätes an, sofern Sie nicht:

• Das Gerät dekontaminieren

• Einen Nachweis der Dekontaminierung vorlegen

BEVOR SIE EIN SOLCHES GERÄT ZURÜCKSENDEN, MÜSSEN SIE SICH IMMER MIT EDWARDS ABSPRECHEN.

ABSCHNITT 3: LISTE DER MIT DEM GERÄT IN KONTAKT GEKOMMENEN STOFFE

Bezeichnung des Stoffs

Chemisches

Symbol

Erforderliche Vorsichtsmaßnahmen (zum

Beispiel Schutzhandschuhe tragen, usw.).

Maßnahmen nach Auslaufen,

Leck oder Exposition

ABSCHNITT 4: INFORMATIONEN ZUR RÜCKSENDUNG

Grund der Rücksendung und Symptome der Fehlfunktion:_________________________________________________________________ __________________________________________________________________________________________________________________

Wenn Sie einen Gewährleistungsanspruch haben:

• Von wem haben Sie das Gerät gekauft? _______________________________________________

• Bitte die Rechnungsnummer des Lieferanten angeben __________________________________

ABSCHNITT 5: ERKLÄRUNG

Name in Druckbuchstaben: _____________________________ Beruf/Position in Druckbuchstaben: ___________________________ Ihre Firma in Druckbuchstaben: _____________________________________________________________________________________ Ihre Anschrift in Druckbuchstaben: _________________________________________________________________________________ _________________________________________________________________________________________________________________

Telefonnummer: ________________________________ Datum der Gerätelieferung: _______________________________________ Ich habe angemessene Recherchen durchgeführt und in dieser Erklärung exakte und wahrheitsgemäße Angaben gemacht.

Ich habe keine Informationen verschwiegen und bin gemäß dem Formular „Rücksendung von Edwards Geräten – Vorgehensweise (HS1)“ vorgegangen.

Hinweis: Bitte dieses Formular ausdrucken, unterschreiben

Unterschrift: ____________________________________ Datum: ______________

und das unterschriebene Exemplar zurückschicken.

P900-71-882 Issue M

Formulaire HS2

Déclaration de retour d’équipements Edwards

Numéro d’autorisation de retour :

Vous devez :

• connaître toutes les substances utilisées et produites dans l’équipement avant de compléter cette déclaration

• lire la procédure de retour d’équipements Edwards (HS1) avant de compléter cette déclaration

• contacter Edwards pour obtenir un numéro d’autorisation de retour et des conseils si vous avez des questions

• envoyer ce formulaire à Edwards avant votre équipement

SECTION 1 : EQUIPEMENT

Nom du système/équipement du fabricant _______________ Numéro de référence du fabricant ______________________ Numéro de série du fabricant __________________________

L’équipement a-t-il été utilisé, testé ou exploité ? OUI ! Passez à la section 2 NON ! Passez à la section 4

LE CAS ECHEANT :

Numéro de référence de l’outil _____________________ Procédé ________________________________________ Date de la panne ________________________________ Numéro de série de

l’équipement de remplacement ______________________

SECTION 2 : SUBSTANCES EN CONTACT AVEC L’EQUIPEMENT

Les substances utilisées ou produites dans l’équipement sontelles :

• Radioactives, des agents biologiques ou infectieux, du mercure, des polychlorobiphényles (PCB), des dioxines ou de l’azide de sodium ? (dans l’affirmative, voir remarque 1) OUI ! NON !

• Dangereuses pour la santé et la sécurité humaines ? OUI ! NON !

Remarque 1 : Edwards n’acceptera pas la livraison d’équipements contaminés par des substances radioactives, des agents biologiques/infectieux, du mercure, des PCB, des dioxines ou de l’azide de sodium, sauf si vous :

• décontaminez l’équipement

• fournissez une preuve de décontamination

VOUS DEVEZ CONSULTER EDWARDS AVANT DE RENVOYER UN EQUIPEMENT DE CE GENRE

SECTION 3 : LISTE DES SUBSTANCES EN CONTACT AVEC L’EQUIPEMENT

Substance

Symbole

chimique

Précautions nécessaires (par exemple,

utilisation de gants de protection, etc.)

Action requise après une dispersion,

une fuite ou une exposition

SECTION 4 : INFORMATIONS CONCERNANT LE RETOUR

Motif du retour et symptômes de l’anomalie : _________________________________________________________________________ __________________________________________________________________________________________________________________

En cas de déclaration sous garantie :

• à qui avez-vous acheté cet équipement ? ________________________________________

• indiquez le numéro de facture du fournisseur _______________________________________

SECTION 5 : DECLARATION

Nom en caractères d’imprimerie : _____________________ Fonction en caractères d’imprimerie : ______________________ Organisation en caractères d’imprimerie :______________________________________________________________________ Adresse en caractères d’imprimerie : __________________________________________________________________________ __________________________________________________________________________________________________________

N° de téléphone : ______________________ Date de livraison de l’équipement : ____________________________________ J’ai pris tous les renseignements nécessaires et fourni des informations exactes dans cette déclaration.

Je n’ai pas omis d’informations et j’ai respecté la procédure de retour d’équipements Edwards (HS1).

Signature : _____________________________________ Date : _________________

Remarque : imprimez ce formulaire, signez-le et renvoyez-le.

P900-71-883 Issue M

This page has been intentionally left blank.

EUROPE/UNITED KINGDOM

Manor Royal Crawley West Sussex, RH10 9LW Tel: Office +44 (0) 1293 528844 Sales & Service 08459 21 22 23

Fax:

Office +44 (0) 1293 533453 Sales & Service +44 (0) 1293 534149

AMERICAS

One Edwards Park 301 Ballardvale Street Wilmington, MA 01887 Tel +1 978 658 5410 Fax +1 978 658 7969 Toll Free (USA only): Tel 1800 848 9800

CANADA

5860 Chedworth Way Mississauga, Ontario Canada, L5R 0A2 Tel +1 800 387 4076 Fax +1 905 501 1225

BRAZIL

Rua Bernado Wrona 222 02710 São Paulo-SP Brazil Tel +55 11 3952 5000 Fax +55 11 3965 2766

GERMANY

Ammerthalstraße 36 85551 Kirchheim Munich

Tel:

Sales 0 800 000 14 56 Service 0 800 000 14 57

Fax:

Office +49 89 99 19 18 99 Sales & Service +49 89 99 19 18 88

ITALY

Via Carpaccio 35 20090 Trezzano sul Navigilo Milan Office +39 02 48 4471 Sales +39 02 48 447242 Service +39 02 48 447217 Fax +39 02 48 401638

FRANCE

125 Avenue Louis Roche 92238 Gennevillers, Cedex Paris

Tel:

Office +33 1 47 98 24 01 Sales +33 1 41 21 12 45 Service +33 1 41 21 12 45

Fax:

Office +33 1 47 98 44 54 Sales & Service +33 1 41 21 12 38

BELGIUM

Bergensesteenweg 709 B1600 Sint-Pieters-Leeuw Brussels Tel +32 2 363 0030 Fax +32 2 363 0064

INDIA

203 Surya Kiran Building 19 Kasturba Gandhi Marg New Delhi - 110 001 India Tel +91 11 4151 0065 Fax +91 11 4151 0245

ISRAEL

5 Habarzel Blvd Gat 2000 Industrial Zone Qiryat Gat 82000 Tel +972 8 681 0633 Fax +972 8 681 0640

CHINA

23 Fu Te Road(N), Wai Gao Qiao Free Trade Zone Pudong, Shanghai, 200131, China Tel +86 21 5866 9618 Fax +86 21 5866 9993

JAPAN

1078-1, Yoshihashi Yachiyo-shi, Chiba Japan, 276-8523 Tel +81 47 458 8831 Fax +81 47 458 8835

SINGAPORE

42 Loyang Drive Loyang Indusrial Estate Singapore 508962 Tel +65 6546 8408 Fax +65 6546 8407

TAIWAN

No. 434 Chung-Hwa Road Toufen Town, Miaoli County 351 Taiwan Tel +886 37 611422 Fax +886 37 611401

KOREA

Daewoo Engineering Building 5th Floor 9-3 Sunae-dong Bundang-gu, Sungnam City Kyungki-do, Korea Tel +82 31 716 7070 Fax +82 31738 1001

AUSTRALIA

1688 Ipswich Road Rocklea Qld, 4106 Australia Tel +61 4 0199 1193 Fax +61 2 9886 9249

PLEASE CONTACT ANY OF THE ABOVE FOR DETAILS OF OTHER SALES AND SERVICE CENTERS IN YOUR AREA.

www.edwardsvacuum.com info@edwardsvacuum.com

DJD 031007 P800-80-000 Issue M 01A09-010

Produced by Technical Publicity

Edwards PV16EKA, PV10EKA, PVEK Series, PV16EKS, PV40EKA Instruction Manual

Specifications and Main Features

Frequently Asked Questions

User Manual

Contents

Illustrations

Tables

1Introduction

1.1 Scope and definitions

1.2 Description

1.3 Construction

1.4 Operation

2 Technical data

2.1 Mechanical data

2.2 Performance, operating and storage conditions

2.3 Electrical data

2.4 Materials

2.5 Legislation and standards

2.6 Product Item Numbers

2.6.1 Right-angled valves

2.6.2 In-line valves

3.1 Unpack and inspect

3 Installation

3.2 Install the valve

3.3 Electrical connections

3.3.1 Fit your own electrical supply cable

3.3.3 Position indicator connections

4Operation

4.1 General

4.2 Position indicator

5 Maintenance

5.1 General

5.1.1 Safety information

5.1.2 Fluoroelastomers

5.2 Dismantle and inspect the valve

5.3 Replace the bellows/pole-piece assembly

5.4 Replace the valve-body and pad ‘O’ rings

5.5 Electrical service kit

5.6 Fault finding/Verwendung des elektrischen Wartungssatzes/Utilisation du kit d’entretien électrique

Storage and disposal

6.1 Storage

6.2 Disposal

Service, spares and accessories

7.1 Introduction

7.2 Service

7.3 Spares

7.4 Accessories