Edwards AIM-S-NW25, AIM-SL-NW25 Instruction Manual

Instruction Manual / Betriebsanleitung / Mode d'emploi

Active Inverted Magnetron Gauge

Aktiv-Penning-Meßröhren

Jauge active Magnétron inverse

D145-45-885

Issue H

Description
Beschreibung
Description

AIM-S-NW25 D145-45-000
AIM-SL-NW25 D145-48-000

Item Number

Bestellnummer

Numéro de Référence

r

Declaration of Conformity

We, Edwards,
Manor Royal,
Crawley,
West Sussex, RH10 9LW, UK

declare under our sole responsibility, as manufacturer and person within the EU authorised to assemble the technical file, that the product(s)

Active Inverted Magnetron Gauge:
AIM-S-NW25 D145-45-000
AIM-SL-NW25 D145-48-000

to which this declaration relates is in conformity with the following standard(s) or other normative document(s)
EN61010-1: 2001 Safety Requirements for Electrical Equipment for Measurement, Control and Laboratory Use. General Requirements

EN 61326-1: 2006 Electrical equipment for measurement, control and laboratory Use. EMC requirements. General requirements.
and fulfils all the relevant provisions of
2004/108/EC Electromagnetic Compatibility (EMC) Directive

Note: This declaration covers all product serial numbers from the date this Declaration was signed onwards.

9 December 2009

Sia Abbaszadeh, Chief Technical Office

This product has been manufactured under a quality system registered to ISO9001

Date and Place

P200-02-580 Issue B

Konformitätserklärung

Wir, Edwards,
Manor Royal,
Crawley,
West Sussex, RH10 9LW, UK

erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist,
dass das Produkt bzw. die Produkte

Aktiv-Penning-Meßröhren:
AIM-S-NW25 D145-45-000
AIM-SL-NW25 D145-48-000

auf das bzw. auf die sich die vorliegende Erklärung bezieht, im Einklang steht bzw. stehen mit der (den) folgenden Norm(en) oder (einem)
anderen normativen Dokument(en):

EN 61010-1: 2001 Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel- und Laborgeräte. Allgemeine Anforderungen
EN 61326-1: 2006 Elektrische Mess-, Steuer- und Laborgeräte. EMV-Anforderungen. Allgemeine Anforderungen

und alle einschlägigen Vorschriften erfüllt aus
2004/108/EG Richtlinie zur elektromagnetischen Verträglichkeit (EMV-Richtlinie)

Hinweis: Diese Erklärung gilt für alle Produktseriennummern ab dem Unterzeichnungsdatum dies er Erklärung.

Sia Abbaszadeh, Chief Technical Officer Datum und Ort

16 December 2009

Dieses Produkt wurde gemäß einem nach ISO9001 zertifizierten Qualitätsmanagementsystem gefertigt.

P200-02-582 Issue B

Déclaration de conformité

Nous, la société Edwards,
Manor Royal,
Crawley,
West Sussex, RH10 9LW, R.U.

déclarons sous notre entière responsabilité, en tant que fabricant et personne établie dans l'UE et autorisée à constituer le dossier technique, que
le ou les produit(s) suivant(s)

Jauge active magnétron inverse :
AIM-S-NW25 D145-45-000
AIM-SL-NW25 D145-48-000

au(x)quel(s) cette déclaration se réfère est ou sont conforme(s) à la ou aux norme(s) suivante(s) ou à un ou plusieurs autre(s) document(s)
normatif(s)

EN61010-1: 2001 Règles de sécurité pour appareils électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire. Prescriptions générales.
EN 61326-1: 2006 Matériels électriques de mesure, de commande et de laboratoire. Prescriptions relatives à la CEM. Prescriptions

générales.

et est ou sont conforme(s) aux clauses pertinentes de
2004/108/CE Directive sur la compatibilité électromagnétique (CEM)

Remarque : la présente déclaration couvre tous les numéros de série à partir de la date de sa signature.

9 December 2009

Sia Abbaszadeh, responsable technique principal

Ce produit a été réalisé en respectant un système de qualité homologué conformément à la norme ISO9001

Date et lieu

P200-02-583 Issue B

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D145-45-885 Issue H

Contents / Inhalt / Table des matières

Contents

Section Page

1 Introduction ..........................1

1.1 Scope and definitions ........................ 1

1.2 Description ..................................... 2

1.3 Gas dependency ............................... 5

2 Technical data .......................7

2.1 Mechanical data ............................... 7

2.2 Performance, operating and storage

conditions ...................................... 7

2.3 Electrical data ................................. 8

2.4 Materials exposed to vacuum ............... 9

3 Installation .......................... 11

3.1 Unpack and inspect ..........................11

3.2 Fit the AIM Gauge to the

vacuum system ............................... 11

3.3 Electrical connections .......................12

3.3.1 Connect to Edwards controllers or

AGD display ................................... 13

3.3.2 Connect to your own supply and

control equipment ........................... 13

4 Operation ........................... 17

4.1 Safety ..........................................17

4.2 Enable and disable the AIM Gauge ........18

4.3 Pressure measurement ......................18

4.4 Error output signal ........................... 19

gea/0202/04/12

Inhalt

Abschnitt Seite

1 Einleitung .............................1

1.1 Ziel und Definitionen .........................1

1.2 Beschreibung ................................... 2

1.3 Gasart-Abhängigkeit ..........................5

2 Technische Daten ....................7

2.1 Mechanische Daten ............................7

2.2 Leistungs-, Betriebs- und

Lagerbedingungen ............................. 7

2.3 Elektrische Daten ..............................8

2.4 Werkstoffe im Vakuum .......................9

3 Installation .......................... 11

3.1 Auspacken und Kontrollieren .............. 11

3.2 Montage der AIM-Meßröhre in das

Vakuumsystem ............................... 11

3.3 Elektrische Anschlüsse ...................... 12

3.3.1 Anschluß an Edwards-Controller

oder AGD-Anzeigegerät ..................... 13

3.3.2 Anschluß an eigene Netzversorgung

und eigene Steuerung ....................... 13

4 Betrieb ............................... 17

4.1 Sicherheit ..................................... 17

4.2 Zulässiger Betriebsbereich

der AIM-Meßröhre ........................... 18

4.3 Druckmessung ................................ 18

4.4 Fehlerausgangssignal ........................ 19

Table des matières

Section Page

1 Introduction .......................... 1

1.1 Portée et définition ...........................1

1.2 Description .....................................2

1.3 Dépendance par rapport au gaz .............5

2 Caractéristiques techniques .......7

2.1 Caractéristiques mécaniques ................7

2.2 Performances et conditions de

fonctionnement et de stockage .............7

2.3 Caractéristiques électriques .................8

2.4 Matériaux exposé au vide ....................9

3 Installation ..........................11

3.1 Déballage et vérification ................... 11

3.2 Montage de la jauge AIM

sur le système à vide ........................ 11

3.3 Raccordements électriques ................ 12

3.3.1 Raccordement à des contrôleurs
Edwards ou à un coffret

d’affichage AGD ............................. 13

3.3.2 Raccordement à votre propre

matériel et équipement de contrôle ..... 13

4 Fonctionnement ....................17

4.1 Sécurité ....................................... 17

4.2 Activation et désactivation

de la jauge AIM .............................. 18

4.3 Mesures de pression ......................... 18

4.4 Signal de sortie d’erreur ................... 19

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Contents / Inhalt / Table des matières

5 Maintenance ........................ 21

5.1 Introduction ..................................21

5.2 Replace the body tube ......................22

5.2.1 Remove the AIM Gauge from the

vacuum system ............................... 22

5.2.2 Fit the new body tube ...................... 22

5.2.3 Refit the AIM Gauge to the

vacuum system ............................... 24

5.3 Replace the electrode assembly ...........24

5.4 Replace the electronics

and magnet housing ......................... 25

5.5 Clean the internal components ............ 26

5.6 Fault finding ..................................27

6 Storage and disposal . ..... .... .... 29

6.1 Storage ........................................ 29

6.2 Disposal ........................................29

7 Spares and accessories ............ 31

7.1 Introduction ..................................31

7.2 Spares ..........................................32

7.3 Accessories ....................................33

For return of equipment, complete the HS Forms at the
end of this manual.

5 Wartung ............................. 21

5.1 Einleitung ..................................... 21

5.2 Austausch des Meßröhrenkörpers ......... 22

5.2.1 Ausbau der AIM-Meßröhre aus dem

Vakuumsystem ............................... 22

5.2.2 Einbau des neuen Meßröhrenkörpers ..... 22

5.2.3 Einbau der AIM-Meßröhre ins

Vakuumsystem ............................... 24

5.3 Austausch der Elektrodengruppe .......... 24

5.4 Ausbau der Meßelektronik und des

Magnetgehäuses ............................. 25

5.5 Reinigung der internen Komponenten .... 26

5.6 Fehlersuche .................................. 27

6 Lagerung und Entsorgung ......... 29

6.1 Lagerung ...................................... 29

6.2 Entsorgung .................................... 29

7 Ersatzteile und Zubehör .......... 31

7.1 Einleitung ..................................... 31

7.2 Ersatzteile .................................... 32

7.3 Zubehör ....................................... 33

Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs
ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen.

5 Entretien ............................. 21

5.1 Introduction .................................. 21

5.2 Remplacement du tube ..................... 22

5.2.1 Dépose de la jauge AIM du

système à vide ............................... 22

5.2.2 Mise en place d’un tube neuf .............. 22

5.2.3 Remontage de la jauge AIM sur le

système à vide ............................... 24

5.3 Remplacement de

l’ensemble électrode ....................... 24

5.4 Remplacement de l’électronique et du

logement de l’aimant ....................... 25

5.5 Nettoyage des composants internes ...... 26

5.6 Recherche des causes de panne ........... 27

6 Stockage et mise au rebut ........29

6.1 Stockage ...................................... 29

6.2 Mise au rebut ................................. 29

7 Pièces détachées et accessoires .31

7.1 Introduction .................................. 31

7.2 Pièces détachées ............................ 32

7.3 Accessoires ................................... 33

Pour le retour d'équipements, complétez les
formulaires HS à la fin de ce manuel.

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Contents / Inhalt / Table des matières

Illustrations

Figure Page

1 General view of the AIM Gauge

(showing the NW25 flange) .................. 4

2 Dimensions (mm) ............................ 10

3 Schematic diagram of typical electrical

connections ................................... 14

4 Exploded view of the AIM Gauge ..........23

Tables

Table Page

1 Pins on the AIM Gauge electrical

connector socket .............................15

2 Pressure and voltage characteristics

for nitrogen and dry air ..................... 20

Abbildungen

Abbildung Seite

1 Allgemeine Ansicht der AIM-Meßröhre

(mit Flansch NW25) ...........................4

2 Abmaße (mm) ................................ 10

3 Schaltschema der typischen

elektrischen Anschlüsse .................... 14

4 Explosionsdarstellung der

AIM-Meßröhre ................................ 23

Tabellen

Tabelle Seite

1 Pinbelegung an der Anschlußbuchse

für die AIM-Meßröhre ....................... 15

2 Druck- und Spannungswerte für

Stickstoff und trockene Luft ............... 20

Illustrations

Illustration Page

1 Vue générale de la jauge AIM

(avec la bride NW25) ..........................4

2 Dimensions (mm) ............................ 10

3 Schéma des raccordements électriques

types ........................................... 14

4 Vue éclatée de la jauge AIM ............... 23

Tableaux

Tableau Page

1 Identification des broches de la prise

de raccordement électrique

de la jauge AIM .............................. 15

2 Caractéristiques de pression et de

tension pour l’air sec et pour l’azote .... 20

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CAUTION

WARNING

VORSICHT

WARNUNG

ATTENTION

AVERTISSEMENT

Introduction / Einleitung / Introduction

1Introduction

1.1 Scope and definitions

This manual provides installation, operation and
maintenance instructions for the Edwards AIM Gauge
(Active Inverted Magnetron Gauge). You must use the
AIM Gauge as specified in this manual.

Read this manual before you install and operate the AIM
Gauge. Important safety information is highlighted as
WARNING and CAUTION instructions; you must obey
these instructions. The use of WARNINGS and CAUTIONS
is defined below.

Warnings are given where failure to
observe the instruction could result in
injury or death to people.

Cautions are given where failure to observe the
instruction could result in damage to the equipment,
associated equipment or process.

The units used throughout this manual conform to the SI
international system of units of measurement.

1 Einleitung

1.1 Ziel und Definitionen

Diese Betriebsanleitung enthält Installations-, Betriebs­und Wartungsanleitungen für die Edwards-Aktiv­Penning-Meßröhren AIM. Verwenden Sie bitte die AIM
entsprechend den Anleitungen dieser
Betriebsanleitung.

Lesen Sie diese Betriebsanleitung vor Installation und
Betrieb der AIM-Meßröhre. Wichtige Sicherheitsangab en
sind durch WARNUNGS- und VORSICHTS-Anweisungen
hervorgehoben. Bitte befolgen Sie diese Anweisungen.
Die Verwendung von WARNUNGS- und VORSICHTS­Anweisungen ist nachfolgend definiert.

Mit Warnung werden Anweisungen
gekennzeichnet, die unbedingt befolgt
werden müssen, um Verletzungen oder
Tod von Personen zu vermeiden.

Mit Vorsicht werden Anweisungen gekennzeichnet,
die unbedingt befolgt werden müssen, um Schäden
an Ausrüstungen, angeschlossenen Ausrüstungen
oder Fehler im Gesamtprozeß zu vermeiden.

Die in diesem Handbuch durchgehend verwendeten
Maßeinheiten entsprechen dem internationalen
Maßeinheitensystem SI.

1Introduction

1.1 Portée et définition

Ce manuel présente les consignes de montage,
d’exploitation et d’entretien de la jauge AIM Edwards
(jauge active Magnétron inverse). Vous devez utiliser la
jauge AIM comme il est indiqué dans ce manuel.

Lisez ce manuel avant d’installer et de faire fonction ner
la jauge AIM. Les informations de sécurité importantes
sont mises en valeur par des paragraphes encadrés
intitulés AVERTISSEMENT et ATTENTION. Vous devez en
respecter les consignes. L’utilisation de ces messages
AVERTISSEMENT et ATTENTION est définie ci-dessous.

Un message Avertissement est prévu
chaque fois que le non respect d’une
consigne risque d’entraîner mort ou
blessure.

Un message Attention est prévu chaque fois que le
non respect d’une consigne risque d’endommager
l’équipement, le matériel associé ou le procédé.

Les unités utilisées tout au long de ce manuel sont
conformes au système international SI d’unités de
mesure.

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Introduction / Einleitung / Introduction

In accordance with the recommendations of EN61010,
the following warning symbol also appears on the
product:

From August 2005, Edwards will offer
European customers a recycling service.

1.2 Description

The AIM Gauge, shown in Figure 1, is an inverted
magnetron gauge head and gauge controller in a single
compact unit. The gauge operates as a cold cathode
ionisation gauge, in which the pressure is measured
indirectly as a function of the current which flows in a
Townsend discharge maintained in the bod y tube.

Two versions of AIM Gauge are available; the ‘S’ gauge
and the ‘SL’ gauge. The ‘SL’ gauge has a very low
external magnetic field and is suitable for use with
sensitive analytical instrumentation.

The measurement range of the AIM Gauge is 1 x 10-8 to
1 x 10-2 mbar. The AIM Gauge vacuum connection is an
NW25 flange.

The AIM Gauge requires a 13.5 to 36 V d.c. power
supply: it has a 2 to 10 V d.c. analogue output which is
related to pressure. The AIM Gauge is compatible with
all of the Edwards AGCs (Active Gauge Controllers) and
with the appropriate versions of the Edwards AGDs
(Active Gauge Displays). Alternatively, you can use an
independent power supply for the AIM Gauge and you

Gemäß den EN61010-Empfehlungen ist an dem Produkt
das folgende Warnsymbol angebracht:

Ab August 2005 bietet Edwards seinen
europäischen Kunden einen
Wiederaufbereitungsservice an.

1.2 Beschreibung

Die in Abbildung 1 dargestellte AIM Meßröhre ist ein
invertierter Magnetronmeßkopf und inte gr ie rte
Meßelektronik in einem einzigen kompakten Gerät. Sie
arbeitet als Kaltkathoden-Ionisierungsmeßgerät mit
indirekter Druckmessung als Funktion des Stromes, der
in einer im Röhrenkörper aufrechterhaltenen Townsend
Entladung fließt.

Die AIM Meßröhre ist in zwei Ausführungen erhältlich:
den Modellen "S" und "SL". Die "SL" Meßröhre hat ein sehr
niedriges externes Magnetfeld und eignet sich für den
Einsatz mit empfindlichen Analyseinstrumenten.

-8

Der Meßbereich der AIM-Meßröhre beträgt 1x10
1x10-2 mbar. Die Meßröhre hat einen NW25
Anschlußflansch.

Die AIM-Meßröhre erfordert eine Gleichspannungs­versorgung von 13,5 bis 36 V; die Meßröhre hat einen
druckabhängigen Gleichspannungs-Analogausgang von 2
bis 10 V. Die AIM-Meßröhre ist mit allen Edwards-AGC
(Aktiv-Controller) Geräten und den entsprechenden
Versionen der Edwards-AGD (Anzeigegeräte für Aktiv­Meßröhren) kompatibel. Es ist jedoch auch möglich,

bis

Conformément aux recommandations de la norme
EN61010, le symbole d'avertissement suivant figure
également sur le produit :

A partir d'août 2005, Edwards proposera
un service de recyclage à ses clients
européens.

1.2 Description

La jauge AIM qui est illustrée à la Figure 1 est une tête
de jauge Magnétron inversée associée à un contrôleur
de jauge, et le tout est implanté dans un groupe
compact. Cette jauge fonctionne suivant le principe de
l’ionisation cathodique à froid, c’est-à-dire que la
pression est mesurée indirectement, en fonction du
courant qui circule dans une décharge Townsend
maintenue à l’intérieur du tube du corps.

Il existe deux versions de cette jauge AIM : la jauge "S"
et la jauge "SL". La jauge "SL" a un champ magnétique
externe très faible et convient parfaitement à une
utilisation avec des instruments analytiques très
sensibles.

-8

La gamme de mesure de la jauge AIM va de 1 x 10
1 x 10-2 mbar. La jauge AIM a un raccordement de vide
à bride NW25.

La jauge AIM requiert une alimentation de 13,5 à 36 V
CC. Elle comporte une sortie analogique de 2 à 10 V CC,
liée à la pression. La jauge AIM est compatible avec tous
les AGC Edwards (Contrôleurs pour jauges actives) et

à

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Introduction / Einleitung / Introduction

can read the AIM Gauge output signal with a voltmeter
or an analogue-to-digital converter.

We recommend that you do not operate the AIM
Gauge unless the pressure in the vacuum system is

-2

mbar or lower. A gauge enable signal is used to

1 x 10
control the operation of the AIM Gauge; refer to

Section 4.2 for more information.

An 8-way electrical connector socket on the AIM Gauge
(Figure 1, item 6) is used to connect the AIM Gauge to
your AGC, AGD or electrical supply and voltmeter.
Electrical cables fitted with suitable connector plugs
are available as accessories.

A gauge identification signal is available on the
electrical connector: this signal is used by Edwards
AGCs to identify which type of Active Gauge is
connected.

The AIM Gauge has self-monitoring fault detection
circuits. When these circuits det ect that the AIM Ga uge
is not operating correctly, an error signal is set; this
error signal is available on the electrical connector. The
device which sets the error signal is an FET transistor
which acts like a switch. When no error is detected, the
output of the transistor is on (closed or low impedance).
When the fault detection circuits detect an error, the
transistor output changes to off (open or high
impedance). Note that, if you use a Edwards AGC
controller or AGD display, the AIM Gauge error signal is
not used.

eine unabhängige Stromversorgung für die Meßröhre zu
verwenden und das AIM-Ausgangssignal mit einem
Voltmeter oder über einen Analog-Digital-Wandler
abzulesen.

Wir empfehlen, daß Sie die AIM-Meßröhre nur dann
einsetzen, wenn der Druck im Vakuumsystem

-2

1 x 10

mbar ist. Der Betrieb der AIM-Meßröhre wird
über ein Freigabesignal gesteuert; siehe Abschnitt 4.2
für weitere Informationen.

Eine 8-polige Anschlußbuchse (Abbildung 1, Pos. 6) an
der AIM-Meßröhre wird für den Anschluß an Ihre Aktiv­Controller, Anzeigegeräte für Aktiv-Meßröhren oder
elektrische Versorgung und Voltmeter verwendet. Mit
passenden Steckern versehene Kabel stehen als Zubehör
zur Verfügung.

Auf dem elektrischen Stecker ist ein Signal zur
Identifizierung von Meßröhren verfügbar. Mit Hilfe
dieses Signals stellt der Edwards AGC den
angeschlossenen Meßröhrentyp fest.

Die AIM-Meßröhre hat selbstüberwachende
Fehlerschaltkreise. Wenn diese Schaltungen melden,
daß die Meßröhre nicht korrekt arbeitet, wird ein
Fehlersignal gesetzt; dieses Fehlersignal liegt am
Stecker an. Gesetzt wird das Fehlersignal durch einen
FET Transistor, der wie ein Schalter arbeitet. Wenn kein
Fehler anliegt, ist der Ausgang des Transistors
eingeschaltet (geschlossen oder niederohmig). Bei
Erkennung und Meldung eines Fehlers wird der
Transistorausgang ausgeschaltet (offen oder
hochohmig). Es ist zu beachten, daß bei Verwendung
eines Edwards-AGC-Controllers oder -AGD­Anzeigegeräts das Fehlersignal der AIM-Meßröhre nicht
verwendet wird.

avec la version correspondante des AGD de Edwards
(Coffrets d’affichage pour jauges actives). Vous pouvez
également utiliser une alimentation indépendante pour
la jauge AIM, et vous pouvez lire le signal de sortie de
la jauge AIM avec un voltmètre ou un convertisseur
analogique-numérique.

Nous vous recommandons de ne pas faire fonctionner la
jauge AIM tant que la pression du système à vide n’est
pas inférieure ou égale à 1 x 10

-2

mbar. Un signal de
validation de la jauge permet d’en contrôler le
fonctionnement. Pour de plus amples renseignements,
consultez la Section 4.2.

Une prise de raccordement électrique 8 voies sur la
jauge AIM (Figure 1, repère 6) permet de raccorder la
jauge AIM à votre AGC, à votre AGD ou à l’alimentation
et au voltmètre. Des câbles électriques munis de
connecteurs appropriés sont disponible s en accessoires.

Le connecteur dispose d’un signal d’identification de
jauge ; ce signal est utilisé par l’AGC Edwards pour
identifier le type de jauge active raccordée.

La jauge AIM dispose de circuits de détection de pannes
bénéficiant d’une auto-surveillance. Lorsque ces
circuits détectent que la jauge AIM ne fonctionne pas
correctement, un signal d’erreur est envoyé. Ce signal
aboutit au connecteur. Le dispositif qui envoie ce signal
est un transistor à effet de champ qui agit comme un
rupteur. Lorsqu’aucune erreur n’est détectée, la sortie
de ce transistor se positionne sur marche (fermé ou
basse impédance). Lorsque les circuits de détection de
pannes détectent une erreur, la sortie du transistor se
positionne sur arrêt (ouvert ou impédance élevée).
Notez que, si vous utilisez un contrôleur Edwards AGC
ou un affichage AGD, le signal d’erreur de la jauge AIM
n’est pas utilisé.

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Introduction / Einleitung / Introduction

2. Vacuum flange

3. Body tube

4. Magnet housing

5. Cable connector plug

6. AIM Gauge connector socket

1. Außenmantel

2. Vakuumflansch

3. Meßröhrenkörper

4. Magnetgehäuse

5. Kabelstecker

6. AIM-Anschlußbuchse

Figure 1 - General view of the AIM Gauge (showing the NW25 flange)1. End-cap
Abbildung 1 – Allgemeine Ansicht der AIM-Meßröhre (mit Flansch NW25)
Figure 1 – Vue générale de la jauge AIM (avec la bride NW25)

1. Anneau de protection

2. Bride de connexion au vide

3. Tube

4. Logement de l’aimant

5. Prise de raccordement du câble

6. Prise de raccordement de la jauge AIM

4 © Edwards Limited 2012. All rights reserved.

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