Agilent Technologies 9191641, 9191640, 9191612, 9191622, 9191642 User Manual
...
Manuale di Istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de Mode D’Emploi
VacIon Plus 300 pumps
Models
9191610/1620/1640
9191611/1621/1641
9191612/1622/1642
9191650/1660/1680
9191651/1661/1681
9191652/1662/1682
User Manual
87-900-103-01 (H)
02/2016
Notices
WARNING
CAUTION
© Agilent Technologies, Inc. 2016
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and retrieval or translation into a
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Manual Part Number
Publication Number: 87-900-103-01 (H)
Edition
Edition 02/2016
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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the maximum extent permitted by
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information contained herein,
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Software is delivered and licensed as
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1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and nonDOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
indicated conditions are
until the
fully understood and met.
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
VacIon Plus 300
VacIon Plus 300
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 3/98
VacIon Plus 300
4/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Contents
1
2
3
Contents
Procedura per l’installazione 9
Informazioni Generali 10
Preparazione per l’installazione 11
Installazione 13
Uso 15
Procedure di uso 16
Manutenzione 18
Smaltimento 19
Anleitung zur Installation 21
Allgemeine Hinweise 22
Vor der Installation 23
Installation 25
Gebrauch 27
Bedienungsschritte 28
Wartung 30
Entsorgung 31
Procédure pour l’installation 33
Indications Générales 34
Préparation de l'installation 35
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 5/98
Contents
4
5
Installation 37
Utilisation 39
Procédure d’utilisation 40
Maintenance 42
Mise au rebut 43
Installation Procedure 45
General Information 46
Preparation for Installation 47
Installation 49
Use 51
Operating Procedure 52
Maintenance 54
Disposal 55
Technical Information 57
Vaclon Plus Pump Replacement Parts and Accessories 58
Description of the VacIon Pump 59
Technical Specification 61
Vaclon Plus 300 Starcell 63
Vaclon Plus 300 Diode 65
Vaclon Plus 300 Noble Diode 66
Outline Drawing 68
Stray Magnetic Field 69
6/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Contents
VacIon Plus Pump Installation 72
Typical Installation 75
Inlet Flange Connection 76
Control Unit Connection 79
Safety Interlock 80
Heater Installation 80
Heater Replacement 82
Bakeout Operation 82
Operating Procedure 84
Maintenance 85
Exchange of the High Voltage Feedthrough 87
Pump Troubleshooting 90
Vaclon Plus Pump Replacement Parts and Accessories 91
Vaclon Plus Pump Controllers 92
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 7/98
Contents
8/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
1
VacIon Plus 300 pumps User Manual
Procedura per l’installazione
Informazioni Generali 10
Preparazione per l’installazione 11
Installazione 13
Uso 15
Procedure di uso 16
Manutenzione 18
Smaltimento 19
Traduzione delle istruzioni originali
9/98
1 Procedura per l’installazione
Informazioni Generali
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Le pompe della serie VacIon Plus sono pompe ioniche utilizzate
comunemente per applicazioni di ultra alto vuoto, grazie alla loro
pulizia, capacità di pompare qualsiasi tipo di gas, e del loro
funzionamento senza vibrazioni e necessità di manutenzione.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
AVVERTENZA!
ATTENZIONE!
NOTA
10/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
I messaggi di avvertenza attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura
o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe
provocare gravi lesioni personali.
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura.
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
Preparazione per l’installazione
1
Preparazione per l’installazione
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o
vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente
riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela
dell'ambiente.
Procedura per l’installazione
ATTENZIONE!
NOTA
Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o
altra protezione adeguata.
La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta
all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento
dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 11/98
1 Procedura per l’installazione
Preparazione per l’installazione
Figura 1
12/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Installazione
1
AVVERTENZA!
Installazione
La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata tramite appositi
attrezzi di sollevamento e spostamento.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti
atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti
esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento,
per ottenere le specifiche tecniche dichiarate, la temperatura
ambiente deve essere compresa tra 0 °C e +85 °C.
Procedura per l’installazione
ATTENZIONE!
La pompa deve essere tenuta sigillata con il suo tubo di ingresso schiacciato
finchè non è pronta per essere collegata al sistema.
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 13/98
1 Procedura per l’installazione
Installazione
NO!
AVVERTENZA!
Per evitare lesioni alla persona, non collegare l’alta tensione alla pompa
ATTENZIONE!
14/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
prima che sia installata nel sistema e che tutte le flange di ingresso siano
adeguatamente collegate o chiuse.
Il funzionamento delle pompe è ottimizzato solo con l’uso delle
apposite unità di controllo Agilent.
Il rispetto delle normative di sicurezza nell’uso delle pompe è garantito solo con
l’uso delle unità di controllo Agilent.
Uso
1
Uso
Procedura per l’installazione
La pompa VacIon Plus può essere installata in qualsiasi posizione.
Per convenienza normalmente viene montata in posizione verticale
con la flangia di ingresso in alto.
Per installazioni con posizione diversa dalla verticale, la pompa deve
essere sostenuta tramite i piedini di montaggio posti sul suo fondo.
Per informazioni dettagliate sull’installazione della pompa, vedere
l’appendice "Technical Information".
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento delle pompe VacIon
Plus sono contenute nel manuale dell'unità di controllo.
Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo.
-4
Si raccomanda di portare la pompa ad una pressione di 1x10
(mbar) in modo da ottenere un avvio più rapido. A questo scopo è
meglio non utilizzare una pompa meccanica sigillata con olio, ma se
deve essere utilizzata una tale pompa, si raccomanda di inserire una
trappola lungo la linea di vuoto per ridurre la pressione causata dai
vapori di acqua e di olio provenienti dalla pompa meccanica. Cercare
di ridurre al minimo il tempo in cui la pompa meccanica è aperta
verso il sistema e verso la pompa ionica, poiché i suoi vapori si
diffondono nel sistema a pressioni inferiori a 1x10
causando una contaminazione dello stesso. Nei sistemi in cui l’olio
deve essere completamente assente, è meglio utilizzare pompe Turbo
per la suddetta operazione.
-1
Torr (mbar)
Torr
Depositi igroscopici e l’assorbimento dell’idrogeno all’interno del
composto di titanio possono provocare l’allungamento del tempo di
avvio con l’invecchiamento della pompa. Durante l’esposizione
all’aria, il deposito del composto di titanio assorbe vapore acqueo; in
conseguenza di ciò, al successivo avvio, il riscaldamento della pompa
provoca il rilascio del vapore e di parte dell’idrogeno pompato
precedentemente, con l’effetto dell’allungamento del tempo di avvio.
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 15/98
1 Procedura per l’installazione
Procedure di uso
Procedure di uso
Controllare che la polarità dell’unità di controllo sia corretta per la
pompa: polarità positiva per le pompe Diode e negativa per le
StarCell e le Triode. Fare riferimento al relativo manuale ed
osservare la seguente procedura per l’uso della pompa:
1 Tramite una pompa di pre-vuoto portare il sistema da vuoto ad
una pressione minima di avvio in accordo alla tabella di pagina 9
ed a seconda del tipo di pompa ionica.
2 Collegare l’unità di controllo ad una apposita fonte di
alimentazione ed accenderla.
3 Osservare la tensione, la corrente e la pressione. Se l’avvio è
avvenuto ad una pressione di 5x10
tensione di circa 300 - 400 V. Un valore di corrente prossimo alla
corrente di corto circuito dell’unità di controllo è indice
dell’esistenza di una perdita nella pompa e nel sistema. Un
temporaneo incremento della pressione di pre-vuoto è normale
durante la fase di avvio.
4 Lasciare la valvola di pre-vuoto aperta durante l’avvio della
pompa ionica finchè non si raggiunge una adeguata pressione di
avvio. Se la tensione della pompa ionica scende dopo la chiusura
della valvola, riaprirla per un pre-pompaggio aggiuntivo. Appena
la pressione diminuisce, la tensione cresce nuovamente e la
valvola di pre-vuoto può essere chiusa.
5 Quando la tensione ha raggiunto i 2 – 3 kV, mettere l’unità di
controllo nello stato PROTECT. Il sistema sarà così autoprotetto
dall’incremento della pressione oltre 1x10
la pompa non è controllata. Nel caso in cui ci fosse un tale
incremento, l’unità di controllo viene spenta automaticamente.
6 La pressione nella pompa può anche essere calcolata leggendo la
corrente e convertendo la lettura in pressione tramite l’apposito
diagramma pressione-corrente illustrato nell’appendice
“Technical Information” di questo manuale.
-2
Torr (mbar), è tipica una
-4
Torr (mbar) quando
16/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Procedura per l’installazione
Procedure di uso
1
AVVERTENZA!
AVVERTENZA!
Non avvicinare dispositivi elettronici alla pompa. Il campo magnetico attorno ad
NOTA
I gradini nei diagrammi pressione - corrente sono una caratteristica del modo di
funzionamento dei controller Agilent con funzione “step mode”. Quando la
corrente assorbita dalla pompa raggiunge determinati valori, l'unità di controllo
cambia il valore dell'alta tensione in uscita ad un valore più basso.
7 Quando si porta la pompa alla pressione atmosferica, usare azoto
secco in modo da evitare l’assorbimento di vapore acqueo da
parte delle pareti della pompa.
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici,
infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di
ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
Quando è installato il riscaldatore, non toccare la pompa durante le
operazioni di riscaldamento e di raffreddamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
ATTENZIONE!
essa può provocare dei malfunzionamenti dei dispositivi stessi.
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 17/98
1 Procedura per l’installazione
Manutenzione
Manutenzione
Le pompe della serie VacIon Plus non richiedono alcuna
manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.
AVVERTENZA!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla pompa scollegarla dall’alta
tensione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua
eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.
18/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Smaltimento
1
Smaltimento
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette.
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva
CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea)
indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito
insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere
avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del
dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il
processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei
termini e condizioni contrattuali di vendita.
Procedura per l’installazione
Per maggiori informazioni riferirsi a:
http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 19/98
1 Procedura per l’installazione
Smaltimento
20/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
2
VacIon Plus 300 pumps User Manual
Anleitung zur Installation
Allgemeine Hinweise 22
Vor der Installation 23
Installation 25
Gebrauch 27
Bedienungsschritte 28
Wartung 30
Entsorgung 31
Übersetzung der Originalanleitungen
21/98
2 Anleitung zur Installation
Allgemeine Hinweise
Allgemeine Hinweise
Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch bestimmt. Vor dem
Gebrauch soll der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren von
Agilent mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei
vollständiger bzw. teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen
Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen
Bestimmungen übernimmt Firma Agilent keinerlei Haftung.
Die Pumpen der Serie VacIon Plus sind Ionenpumpen, die aufgrund
ihrer Reinheit, ihrer Fähigkeit, alle Arten von Gas zu pumpen, und
ihres vibrations- und wartungsfreien Betriebes, allgemein für
Ultrahochvakuumanwendungen zum Einsatz kommen.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen
für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts
aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
WARNUNG!
VORSICHT!
HINWEIS
22/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine
spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere
Verletzungen hervorrufen könnte.
Die Vorsichtshinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf
aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden am Gerät entstehen können.
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben
werden.
Vor der Installation
2
Vor der Installation
Die Pumpe wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert.
Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen
Verkaufsstelle zu melden. Beim Auspacken vorsichtig vorgehen,
damit die Pumpe nicht fällt oder Stößen oder Vibrationen ausgesetzt
wird. Das Verpackungsmaterial ist ordnungsgemäß zu entsorgen. Es
ist vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für
den Umweltschutz.
Anleitung zur Installation
VORSICHT!
HINWEIS
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten, die mit dem
Vakuum in Kontakt kommen, nicht mit bloßen Händen berührt werden. Stets
Handschuhe oder einen anderen geeigneten Schutz tragen.
Die Pumpe kann, wenn sie einfach der Atmosphäre ausgesetzt ist, nicht
beschädigt werden. Sie sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage
geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 23/98
2 Anleitung zur Installation
Vor der Installation
Abbildung 1
24/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Installation
2
Installation
Anleitung zur Installation
WARNUNG!
VORSICHT!
Die Pumpe kann aufgrund ihres Gewichtes mittels geeigneter Hebe- und
Förderzeuge gehandhabt werden.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen installiert und/oder benutzt
werden, die ungeschützt vor Witterungsbedingungen (Regen, Frost,
Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, und in denen
Explosions- und erhöhte Brandgefahr besteht.
Während des Betriebes soll die Umgebungstemperatur zwischen 0 °C
und +85 °C betragen, um die angegebenen technischen Merkmale zu
gewährleisten.
Die Pumpe soll versiegelt und mit flachgedrücktem Eintrittsschlauch gehalten
werden, bis sie für den Anschluß an das System bereit ist.
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 25/98
2 Anleitung zur Installation
Installation
FALSCH!
WARNUNG!
Um Personenschäden zu vermeiden, darf die Hochspannungsleitung der
Pumpe erst angeschlossen werden, wenn die Pumpe im System installiert ist
und alle Eintrittsflansche entsprechend angeschlossen oder geschlossen sind.
Der Pumpenbetrieb wird nur durch den Einsatz speziell dafür
vorgesehener Agilent Steuereinheiten optimiert.
VORSICHT!
26/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Die Einhaltung der Sicherheitsvorschriften beim Gebrauch der Pumpen ist nur
bei Verwendung von Agilent Steuereinheiten gewährleistet.
Gebrauch
2
Gebrauch
Anleitung zur Installation
Die Pumpe Vaclon Plus kann in einer beliebigen Position installiert
werden. Aus praktischen Gründen wird sie in der Regel senkrecht
mit nach oben gerichtetem Eintrittsflansch montiert. Bei nicht
senkrechten Einbaulagen soll die Pumpe auf Montagefüßen aufliegen,
die an ihrer Unterseite angebracht werden.
Detaillierte Informationen zur Installation der Pumpe sind dem
Anhang “Technical Information” zu entnehmen.
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Pumpen VacIon
Plus sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch ist vor der Inbetriebnahme genau durchzulesen. Es
wird empfohlen, die Pumpe auf einen Druck von 1x10
zu bringen, um einen rascheren Anlauf zu gewährleisten. Zu diesem
Zweck empfiehlt es sich, keine ölversiegelte mechanische Pumpe zu
verwenden. Falls hingegen eine derartige Pumpe benutzt werden
muß, soll an der Vakuumleitung eine Falle eingesetzt werden, um den
durch die Wasser- und Öldämpfe aus der mechanischen Pumpe
erzeugten Druck zu verringern. Es ist zu versuchen, die Zeit auf ein
Mindestmaß zu reduzieren, während der die mechanische Pumpe
zum System und zur Ionenpumpe geöffnet ist, da sich ihre Dämpfe
bei Drücken unter 1x10
dessen Verunreinigung verursachen. Bei Systemen, die vollkommen
ölfrei sein müssen, erweisen sich für den obengenannten Vorgang
Turbopumpen als geeigneter. Hygroskopische Ablage-rungen und die
Absorption von Wasserstoff in der Titanverbindung können die
Anlaufzeit verlängern und eine kürzere Standzeit der Pumpe
verursachen. Die Ablagerungen der Titanverbindungen absorbieren
Wasserdampf, wenn sie der Luft ausgesetzt werden. Dadurch bewirkt
beim anschließenden Anlaufvorgang die Aufheizung der Pumpe die
Abgabe des Dampfes und eines Teils des zuvor gepumpten
Wasserstoffs, so daß sich die Anlaufzeit verlängert.
-1
Torr (mbar) im System verbreiten und
-4
Torr (mbar)
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 27/98
2 Anleitung zur Installation
Bedienungsschritte
Bedienungsschritte
Es ist zu kontrollieren, daß die Steuereinheit in bezug auf die Pumpe
richtig gepolt ist: positive Polarität für Dioden Pumpen und negative
für StarCell oder Triode Pumpen. Es ist nach dem diesbezüglichen
Handbuch vorzugehen, für den Gebrauch der Pumpe sind die
folgenden Bedienungsschritte zu beachten:
1 Mit einer Vorvakuumpumpe das System auf einen
Mindestanlaufdruck gemäß Tabelle 9 in Abhängigkeit vom
Ionenpumpentyp bringen.
2 Die Steuereinheit an eine entsprechende Versorgungsquelle
anschließen und einschalten.
3 Die Spannung, die Stromstärke und den Druck beobachten. Wenn
der Anlauf bei einem Druck von 5x10
eine Spannung von ca. 300 – 400 V typisch. Ein Stromwert, der
sich dem Kurzschlußstromwert der Steuereinheit annähert, weist
auf eine Leckstelle an der Pumpe und am System hin. Ein
zeitweiliger Anstieg des Vorvakuumdruckes ist während der
Anlaufphase normal.
4 Während des Anlaufes der Ionenpumpe soll das Vorvakuumventil
geöffnet bleiben, bis ein angemessener Anlaufdruck erreicht ist.
Wenn die Spannung der Ionenpumpe nach Schließung des
Ventils abfällt, ist das Ventil für eine zusätzliche
Vorvakuumpumpung zu öffnen. Sobald der Druck sinkt, steigt die
Spannung erneut an und kann das Vorvakuumventil geschlossen
werden.
5 Wenn die Spannung 2 – 3 kV erreicht hat, ist die Steuereinheit
auf den Status PROTECT zu schalten. Das System verfügt auf
diese Weise über einen Selbstschutz vor einem Druckanstieg über
-4
Torr (mbar), wenn die Pumpe nicht kontrolliert ist. Falls
1x10
ein solcher Anstieg stattfindet, wird die Steuereinheit
automatisch ausgeschaltet.
6 Der Pumpendruck kann auch berechnet werden, indem die
Stromstärke abgelesen wird und der abgelesene Wert mittels des
Druck-Stromstärke-Diagramms im Anhang “Technical
Information” des vorliegenden Handbuches in einen Druckwert
umgerechnet wird.
-2
Torr (mbar) erfolgt ist, ist
28/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Anleitung zur Installation
Bedienungsschritte
2
HINWEIS
WARNUNG!
WARNUNG!
Die Stufen im Druck-Stromstärke-Diagramm sind charakteristisch für die
Funktionsweise des Agilent Controller mit Funktion “Step mode”. Wenn die
Stromaufnahme der Pumpe ein bestimmtes Ausmaß erreicht, ändert die
Steuereinheit die ausgangsseitige Hochspannung auf einen niedrigeren Wert ab.
7 Wenn die Pumpe auf den atmosphärischen Druck gebracht wird,
ist trockener Stickstoff zu verwenden, um die Aufnahme von
Wasserdampf durch die Pumpenwände zu verhindern.
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder
radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas
vorgeschriebenen Vorgänge zu befolgen. Die Pumpe nie bei Vorhandensein
von explosivem Gas benutzen.
Wenn die Heizung installiert ist, darf die Pumpe während der Aufheizung und
Abkühlung nicht berührt werden. Die hohe Temperatur kann zu
Personenschäden führen.
VORSICHT!
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 29/98
Keine elektronischen Geräte in die Nähe der Pumpe bringen. Das darum
befindliche Magnetfeld kann zu Funktionsstörungen der Geräte führen.
2 Anleitung zur Installation
Wartung
Wartung
Die Pumpen der Serie VacIon Plus erfordern keine Wartung.
Sämtliche Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Personal
vorgenommen werden.
WARNUNG!
Vor Eingriffen an der Pumpe ist diese von der Hochspannungsquelle zu
trennen.
Bei eventueller Verschrottung einer Pumpe ist diese entsprechend
der einschlägigen nationalen Vorschriften zu entsorgen.
30/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
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