How it Works
Varian
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Turbo-V 2K-G
Instruction Manual
103 pgs4.33 Mb0

Varian Turbo-V 2K-G, 969-8871, 969-8873 Instruction Manual

Turbo-V 2K-G
Pumping System
Models 969-8871 969-8873
87-900-968-01(C) MAY 2005
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL
Turbo-V 2K-G
ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................5
MODE D’EMPLOI...............................................................................................................................................9
INSTRUCCIONES DE USO .............................................................................................................................13
INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................17
GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................21
BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................25
BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................29
BRUKERVEILEDNING.....................................................................................................................................33
KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................37
PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................41
HASZNÁLATI UTASÍTÁS.................................................................................................................................45
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................49
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................53
NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................57
NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................61
INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................65
TECHNICAL INFORMATION...........................................................................................................................69
DESCRIPTION OF THE TURBO-V 2K-G....................................................................................69
Pump Description ..............................................................................................................69
Controller Description ........................................................................................................70
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................70
TURBO-V 2K-G OUTLINE...........................................................................................................73
INTERCONNECTIONS................................................................................................................73
J1 – REMOTE I/O..............................................................................................................73
J2 - Serial...........................................................................................................................76
SERIAL CABLE INSTALLATION.................................................................................................76
RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION..................................................................77
Communication Format .....................................................................................................77
Communication Protocol....................................................................................................77
Window Meanings .............................................................................................................79
MONITORR..................................................................................................................................81
Powering on the MoniTorr .................................................................................................81
Operation ...........................................................................................................................81
Maintenance ......................................................................................................................81
MoniTorr Installation on the Network and on the Main PC................................................81
MoniTorr Connectivity Kit Installation Procedure...............................................................82
Interconnections ................................................................................................................83
Network Connector (RS 485) ............................................................................................83
Installing the File Download Software ...............................................................................83
Operating Procedure .........................................................................................................84
Download Software............................................................................................................84
Functionality.......................................................................................................................84
Modifying the Parameters..................................................................................................84
Archive Saving Method Procedure ....................................................................................85
PROFIBUS OPTION....................................................................................................................85
General ..............................................................................................................................85
Mechanical.........................................................................................................................85
Installation..........................................................................................................................85
Configuration......................................................................................................................86
Indicators ...........................................................................................................................86
Software operation and state machine ..............................................................................86
Diagnostic management....................................................................................................92
Diagnostic buffer................................................................................................................92
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................93
WATER COOLING CONNECTION .............................................................................................93
PUMP PURGING AND VENTING ...............................................................................................94
Purge and Vent Installation................................................................................................94
Pump used with corrosive gases.......................................................................................94
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................95
FORE-VACUUM PUMP CONNECTION .....................................................................................95
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................95
ORDERABLE PARTS..................................................................................................................95
ISTRUZIONI PER L'USO
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Indicazioni di Sicurezza
per
Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa speci­fica dei loro rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
PERICOLO!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale!
ISTRUZIONI PER L'USO
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INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'uti­lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosser­vanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche. La Turbo-V 2K-G è un sistema integrato costituito da una pom­pa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare molti tipi di gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompag­gio di liquidi o di particelle solide. L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (33000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. La Turbo-V 2K-G è total­mente priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatta per ap­plicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile pilo­tarlo da remoto tramite un computer host collegato con linea seriale (RS232 o RS485). Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne­cessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nel­l'appendice “Technical information”. Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
!ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec­chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le seguenti prescrizioni:
• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento
delle pompe non devono essere superate le seguenti con­dizioni ambientali:
• temperatura: da –20 °C a 70 °C
• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomoleco-
lare è di 10 mesi dalla data di spedizione.
!ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è supe­riore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazio­ne, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian.
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
La Turbo-V 2K-G viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verifi­cati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 2K-G e a non sotto­porla ad urti o vibrazioni. A causa del suo peso (35 kg) per estrarre la pompa dall'imballo utilizzare i tre golfari a 120 ° avvitati sul corpo pompa. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è comple­tamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
!ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
La Turbo-V 2K-G non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere la pompa chiusa e sigillata fino al momento dell'in­stallazione sul sistema. Questo per prevenire la contaminazione del sistema.
Nell’imballo della Turbo-V 2K-G sono compresi:
1. pompa con controller integrato
2. inlet screen (montato)
3. questo manuale su CD-ROM
4. sacchetto accessori
5. controconnettore a 15 vie “REMOTE I/O” IP-54 con inte­grate le connessioni necessarie a far partire la pompa
6. controconnettore a 9 vie “SERIAL” IP-54 da utilizzare per la connessione seriale
7. controconnettore a 9 pin per il "Network" MoniTorr
8. staffetta per la ritenzione del cavo di alimentazione (mon­tata).
ISTRUZIONI PER L'USO
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INSTALLAZIONE
PERICOLO!
La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento. All’uopo utilizzare gli appositi golfari avvitati nei fori filettati pra­ticati sul corpo pompa.
!ATTENZIONE!
Non rimuovere la copertura imbullonata prima del collegamento della turbopompa al sistema.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura dell'aria: da + 5 °C a +40 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Techni­cal Information" per ulteriori dettagli. La Turbo-V 2K-G deve essere collegata ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). La Turbo-V 2K-G può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare la Turbo-V 2K-G in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 10600 Nm attorno al pro­prio asse. La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di bulloni. La seguente tabella descrive il numero di bulloni necessari e con quale coppia di serraggio consigliata da Varian stringerli.
FLANGIA
TIPO DI
FISSAGGIO
N.
COPPIA DI
SERRAGGIO
ISO 250 F Bullone con filettatura
M10
12 22 Nm
NOTA
La Turbo-V 2K-G non può essere fissata tramite la sua base. Il sistema può essere fissato solo tramite la sua flangia ISO 250F. Il fissaggio deve realizzato in conformità alla norma ISO 1609. Devono essere usati bulloni in acciaio con una classe di resisten­za di almeno 500 N/mm
2
.
!ATTENZIONE!
La Turbo-V 2K-G appartiene alla seconda categoria di installa­zione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Utilizzare i controconnettori in dotazione per garantire l'isola­mento IP-54. La Turbo-V 2K-G ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibi­le. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso alla Tur­bo-V 2K-G abbia un isolamento adeguato anche in condizione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information".
USO
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure ope­rative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 80 °C. Durante il funzionamento della pompa la temperatura del rotore non deve mai superare i 120 °C. L'operatore deve assicurarsi di predisporre il corretto modo di funzionamento in funzione del gas da pompare: 1 per Azoto e gas più leggeri, 0 per Argon (modo di default). Per ulteriori det­tagli vedere l'appendice "Technical Information".
PERICOLO!
Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura. Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau­sare lesioni alle persone.
!ATTENZIONE!
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra­verso l'apposita porta deve essere inferiore a 1 bar (oltre la pressione atmosferica). Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg­gere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos­sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. La pompa è progettata per avere un alto trasferimento di Azoto, Argon e gas più leggeri. Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti dell'Argon si prega di prendere contatti con l'Assistenza Tecni­ca della Varian per informazioni.
ISTRUZIONI PER L'USO
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Uso della Turbo-V 2K-G Come avviare il sistema
Prima dell'avvio del sistema, controllare che il controconnettore I/O sia rimosso. Se il sistema è collegato ad un dispositivo di Inpu/Output remoto, assicurarsi che il segnale di STOP sia attivo (vedere il paragrafo "J1 – REMOTE I/O" nell'appendice "Technical Information"). Per avviare il sistema eseguire i seguenti passi:
1. rimuovere (se presente) il controconnettore I/O
2. collegare l'alimentazione di rete
3. portare la pressione all0'interno della camera a vuoto a 0,1 mbar
4. fornire alla Turbo-V 2K-G il segnale di START in uno dei seguenti modi:
a. collegare il controconnettore I/O in dotazione b. dare il segnale di START da remoto tramite il
connettore I/O (vedere il paragrafo "J1 – REMOTE I/O" nell'appendice "Technical Infor­mation")
c. dare il segnale di START da remoto tramite l'inter-
faccia seriale RS 232/485 (vedere il paragrafo "RS 232/485 Communication Description" nell'appendi­ce "Technical Information").
PERICOLO!
Quando viene fornita l'alimentazione ed il controconnettore a 15 pin in dotazione è inserito, la Turbo-V 2K-G si avvia automa­ticamente.
!ATTENZIONE!
Il controller viene fornito già connesso meccanicamente ed elettricamente alla pompa. La separazione del controller dal corpo pompa può solo essere effettuata da personale autoriz­zato dalla Varian Vacuum Technologies.
NOTA
Quando si avvia la Turbo-V 2K-G per la prima volta, il controller automaticamente avvia il sistema con una procedura speciale che protegge i cuscinetti da possibili danni (SOFT START). Il sistema viene avviato a passi successivi fino alla piena velocità in un tempo che varia da 10 minuti fino ad 1 ora. Dopo che il sistema ha raggiunto la piena velocità, la procedura di "soft start" viene disabilitata e gli avvii successivi vengono eseguiti nel modo normale.
NOTA
Per mantenere il livello di protezione IP-54 utilizzare esclusiva­mente i connettori forniti con la pompa. Per il cavo di alimenta­zione utilizzare solo i PN: 969-9957 or 969-9958, e fissare il cavo al controller con l’apposita staffetta (vedere la figura se­guente). Utilizzare questo cavo e spina insieme ad una presa adeguatamente connessa a terra per evitare scosse elettriche e soddisfare i requisiti delle norme CE.
Il sistema è fornito di un LED verde pilotato da un segnale di stato. Il LED verde posto sul pannello frontale della Turbo-V 2K-G indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni opera­tive del sistema:
− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;
− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il si-
stema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Wai­ting for interlock”;
− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): con­dizione di errore.
Come arrestare la Turbo-V 2K-G
Per arrestare la pompa si può usare uno dei seguenti metodi:
1. togliendo il controconnettore di I/O in dotazione
2. inviando un segnale di STOP da remoto tramite il connet-
tore I/O (vedere il paragrafo "J1 – REMOTE I/O" nell'ap­pendice "Technical Information")
3. inviando un segnale di STOP da remoto tramite l'interfac-
cia seriale RS 232/485 (vedere il paragrafo "RS 232/485 Communication Description" nell'appendice "Technical In­formation").
Arresto di Emergenza
Per arrestare immediatamente in condizioni di emergenza la Turbo-V 2K-G occorre staccare il cavo di alimentazione dall'a­limentazione.
MANUTENZIONE
La Turbo-V 2K-G non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposi­ta elettrovalvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio­ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per­mette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello guasto.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o advanced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salu­te" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stes­sa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della spedizione.
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi­che.
GEBRAUCHSANLEITUNG
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Sicherheitshinweise
für
Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfü­gen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Ge­wicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
GEFAHR!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise!
GEBRAUCHSANLEITUNG
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ALLGEMEINE INFORMATIONEN
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Modell Turbo-V 2K-G ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum­anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System kann viele Arten von Gas oder gasförmi­gen Gemischen pumpen, ist jedoch nicht für das Pumpen von Flüssigkeiten oder Festkörperpartikeln geeignet. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine (max. 33000 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungs­drehstrommotor angetrieben wird. Modell Turbo-V 2K-G enthält keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich des­halb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfor­dern. Es verfügt des Weiteren über Hilfskonnektoren, über die es von einem Host-Rechner mit seriellem Anschluss (RS232 oder RS485) ferngesteuert werden kann. In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati­onen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben:
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie­ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei­se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her­vorrufen könnten.
!ACHTUNG!
Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
HINWEIS
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten:
• Während des Transports, der Handhabung und der Einla-
gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden:
• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensie-
rend)
• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-
fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in­gangzusetzen.
• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
!ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge­nannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Modell Turbo-V 2K-G wird in einer speziellen Schutzverpa­ckung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zustän­digen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell Turbo-V 2K-G ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpa­ckungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen. Für die Entnahme der Pumpe aus ihrer Verpackung sind, auf­grund des hohen Gewichtes (35 kg), die drei um 120º versetz­ten Ösenschrauben zu benutzen, die am Pumpenkorpus ange­schraubt sind. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85/399/EWG für Umweltschutz.
!ACHTUNG!
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden.
HINWEIS
Die Turbo-V 2K-G kann durch ledigliche Einwirkung von atmo­sphärischen Bedingungen nicht beschädigt werden. Es wird indes empfohlen, die Pumpe bis zur Installation am System geschlossen und versiegelt zu halten. Auf diese Weise kann der Verunreinigung des Systems vorgebeugt werden.
Verpackungsinhalt der Turbo-V 2K-G:
1. Pumpe mit integriertem Controller
2. Inlet-Screen (montiert)
3. Betriebsanleitung auf CD-ROM
4. Beutel mit Zubehör
5. Gegenkonnektor mit 15 PINs “REMOTE I/O” IP-54 mit integrierten Anschlüssen für den Pumpenanlauf
6. Gegenkonnektor mit 9 PINs “SERIAL” IP-54 für den se­riellen Anschluss
7. Gegenkonnektor mit 9 PINs "Network" MoniTorr
8. Halteschelle für das Stromversorgungskabel (montiert).
GEBRAUCHSANLEITUNG
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INSTALLATION
GEFAHR!
Die Pumpe ist aufgrund ihres hohen Gewichtes mit geeigneten Hebe- und Förderzeugen zu handhaben. Zu diesen Zwecken sind die Ösenschrauben zu benutzen, die in die Gewindeboh­rungen am Pumpenkorpus eingeschraubt sind.
!ACHTUNG!
Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der Turbopumpe an das System entfernt werden.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brand­gefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein­gehalten werden:
- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +40°C (siehe Diagramm im An­hang "Technical Information")
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informa­tionen siehe im Anhang "Technical Information". Modell Turbo-V 2K-G ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). Modell Turbo-V 2K-G kann in jeder beliebigen Position instal­liert werden. Modell Turbo-V 2K-G ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegen­flansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 10600 Nm um seine eigene Achse belastbar ist. Die Turbopumpe mit dem ISO-Eintrittsflansch ist mittels Mutter­schrauben an der Vakuumkammer zu befestigen. In der nach­stehenden Tabelle sind die Anzahl der erforderlichen Mutter­schrauben und die von Varian empfohlenen Anzugsmomente angegeben.
FLANSCH
KLEMMSCHELLE
ANZ. ANZUGSMOMENT
ISO 250 F Mutterschraube
mit Gewinde M10
12 22 Nm
HINWEIS
Die Turbo-V 2K-G kann nicht über ihren Sockel befestigt wer­den. Zur Befestigung des Systems ist der Flansch ISO 250F zu verwenden. Die Befestigung muss nach ISO 1609 ausgeführt sein. Es sind Mutterschrauben aus Stahl mit einer Festigkeitsklasse von mindestens 500 N/mm
2
zu verwenden.
!ACHTUNG!
Der Turbo-V 2K-G gehört zur zweiten Installationsklasse (Ü­berdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlos­sen werden, die dieser Kategorie entspricht. Zur Gewährleistung der Schutzart IP-54 sind die Gegenkonnek­toren zu verwenden. Der Turbo-V 2K-G hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise ange­schlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung zugänglich ist . Sicherstellen, daß die Isolierung der an den Turbo-V 2K-G angeschlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung ausreichend isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1 vorgesehen wird.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneu­matischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 80°C nicht überschreiten. Während des Pumpenbetriebs darf die Temperatur des Läufers niemals 120 °C überschreiten. Der Bediener hat sich zu vergewissern, dass die richtige Be­triebsart in Abhängigkeit von dem zu pumpenden Gas einge­stellt ist: 1 für Stickstoff und leichtere Gase, 0 für Argon (vor­eingestellte Betriebsart). Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information".
GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist. Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even­tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren­nungsgefahr.
!ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf­tungsanschluß soll unter 1 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information").
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm­baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfä­higen Gasen verwendet werden. Die Pumpe ist für einen hohen Durchsatz an Stickstoff, Argon und leichteren Gasen konzipiert. Falls das Pumpen von Gasen erforderlich ist, die schwerer als Argon sind, ist mit dem Technischen Kundendienst von Varian Rücksprache zu halten.
GEBRAUCHSANLEITUNG
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Benutzung der Turbo-V 2K-G Ingangsetzung des Systems
Vor der Ingangsetzung des Systems ist zu kontrollieren, dass der E/A-Gegenkonnektor entfernt ist. Wenn das System an eine Vor­richtung für die Ferneingabe/-ausgabe angeschlossen ist, ist zu überprüfen, dass das Signal STOP aktiv ist (siehe Abschnitt "J1 – REMOTE I/O " im Anhang "Technical Information"). Zur Ingangsetzung des Systems sind die folgenden Schritte auszuführen:
1. E/A-Gegenkonnektor entfernen (sofern vorhanden).
2. Gerät an das Netz anschließen.
3. Druck in der Vakuumkammer auf 0,1 mbar bringen.
4. Für die Erteilung des Signals START an die Turbo-V 2K-G
gibt es die folgenden Möglichkeiten:
a. Mitgelieferten E/A-Gegenkonnektor anschließen. b. Das Signal START von der Fernsteuerung über
den E/A-Konnektor geben (siehe Abschnitt "J1 – REMOTE I/O" im Anhang "Technical Informati­on").
c. Das Signal START von der Fernsteuerung über
die serielle Schnittstelle RS 232/485 geben (siehe Abschnitt "RS 232/485 Communication Descripti­on" im Anhang "Technical Information").
GEFAHR!
Wenn die Spannung zugeschaltet und der Gegenkonnektor mit 15 PINs angeschlossen ist, startet die Turbo-V 2K-G automa­tisch.
!ACHTUNG!
Im Lieferumfang ist der mechanisch und elektrisch an die Pumpe angeschlossene Controller enthalten. Die Trennung des Control­lers vom Pumpenkorpus darf nur von Personen ausgeführt wer­den, die von Varian Vacuum Technologies autorisiert sind.
HINWEIS
Bei Erstingangsetzung der Turbo-V 2K-G startet der Controller das System mit einer Spezialprozedur, um die Kugellager vor etwaigen Schäden zu schützen (SOFT START). Das System wird innerhalb von 10 min bis zu 1 h in aufeinander folgenden Schritten bis zur Arbeitsgeschwindigkeit gestartet. Sobald das System die Arbeitsgeschwindigkeit erreicht hat, wird die "soft start"-Prozedur deaktiviert. Die darauf folgenden Anlaufvorgän­ge werden normal ausgeführt.
HINWEIS
Um die Schutzart IP-54 aufrechtzuerhalten, sind ausschließlich die mit der Pumpe mitgelieferten Konnektoren zu verwenden. Für das Stromversorgungskabel dürfen nur die PN 969-9957 oder 969-9958 verwendet werden. Das Kabel ist am Controller mit der hierfür vorgesehenen Schelle zu befestigen (siehe nachstehende Abbildung). Verwenden Sie dieses Kabel und den Stecker zusammen mit einer entsprechend geerdeten Steckdose, um Stromschläge zu vermeiden und den Anforde­rungen der EG-Richtlinien zu entsprechen.
Das System wird mit einer grünen LED geliefert, die von einem Statussignal angesteuert wird. Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell Turbo-V 2K­G gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingun­gen des System an:
- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be­trieb.
- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder “Waiting for Interlock”.
- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stillsetzung der Turbo-V 2K-G
Für die Stillsetzung der Pumpe gibt es die folgenden Möglich­keiten:
1. Mitgelieferten E/A-Konnektor entfernen.
2. Das Signal STOP von der Fernsteuerung über den E/A-
Konnektor geben (siehe Abschnitt "J1 – REMOTE I/O" im Anhang "Technical Information").
3. Das Signal STOP von der Fernsteuerung über die serielle
Schnittstelle RS 232/485 geben (siehe Abschnitt "RS 232/485 Communication Description" im Anhang "Techni­cal Information").
WARTUNG
Modell Turbo-V 2K-G erfordert keine Wartung. Eventuelle Ein­griffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden.
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera­tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan­ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System zur Verfügung stellt.
HINWEIS
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um­tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpa­ckung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein­schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
MODE D’EMPLOI
9 87-900-968-01(C)
Normes de sécurité
pour
Pompe Turbomoléculaires
Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
DANGER!
Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation dé­crites dans ce manuel !
MODE D’EMPLOI
10 87-900-968-01(C)
INDICATIONS GENERALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profes­sionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian qui décline par conséquent toute responsabilité en cas de non respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation impropre par un personnel non formé, d'opérations non autori­sées ou d'emploi contraire aux réglementations nationales spécifiques. Le Turbo-V 2K-G est un système intégré, constitué d'une pompe turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé et ultrapoussé et doté d'un contrôleur Le système est en mesure de pomper de nombreux types de gaz ou de com­posés gazeux, mais il n’est pas adapté au pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (33000 tr/min maxi), mue par un moteur électri­que triphasé à haut rendement. Le Turbo-V 2K-G est totale­ment exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Il est en outre doté de connecteurs auxiliaires qui permettent de le piloter à distance à travers un ordinateur central connecté à travers une ligne sérielle (RS232 ou RS485). Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utili­sation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information". Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions
! ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines procé­dures dont le non respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants, extrapo­lés du texte.
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de res­pecter les instructions suivantes :
• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,
doivent impérativement avoir lieu dans les conditions am­biantes suivantes:
• température : de –20 °C à +70 °C
• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)
• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires
doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.
• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est
de 10 mois à compter de la date d'expédition.
! ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Varian de zone.
PREPARATION POUR L'INSTALLATION
Le Turbo-V 2K-G est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par­ticulièrement à ne pas laisser tomber le Turbo-V 2K-G et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Compte tenu de son poids (35 kg), il est nécessaire d’utiliser les trois anneaux de levage à 120° vissé sur le corps de la pompe pour l’extraire de son emballage. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement.
! ATTENTION!
Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
NOTE
La Turbo-V 2K-G ne peut être endommagée par une exposition environnementale normale. Toutefois, il est conseillé de main­tenir la pompe fermée et scellée jusqu'à son installation dans le système. Ceci afin de prévenir toute contamination du système.
La pompe Turbo-V 2K-G comprend :
1. Pompe avec contrôleur intégré.
2. Protection d’entrée (montée).
3. CD-Rom contenant cette notice d’utilisation.
4. Sachet d’accessoires.
5. Connecteur à 15 voies “E/S À DISTANCE” IP-54 avec toutes les connexions nécessaires à la mise en marche de la pompe.
6. Connecteur à 9 voies “SÉRIE” IP-54 à utiliser pour la connexion sérielle.
7. Connecteur à 9 voies "Network" MoniTorr
8. Bride de retenue du câble d’alimentation (montée).
MODE D’EMPLOI
11 87-900-968-01(C)
INSTALLATION
DANGER!
Étant donné son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide des équipements de levage et de déplacement appropriés. Utiliser les anneaux de levage vissés dans les orifices filetés sur le corps de la pompe.
! ATTENTION!
Ne jamais retirer la protection boulonnée avant le branchement de la turbo pompe au système.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo­sés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la pous­sière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes:
- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
- température: de +5°C° à +40°C (Cf. graphique dans "Tech­nical Information")
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro­tégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseigne­ment, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le Turbo-V 2K-G doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information"). Le Turbo-V 2K-G peut être installée dans n'importe quelle posi­tion. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 10600 Nm autour de son axe. La turbo pompe avec collerette d’entrée ISO doit être fixée à la chambre à vide à l’aide de boulons. Le tableau suivant indique le nombre de boulons nécessaires et le couple de serrage conseillé par Varian.
BRIDE
TYPE DE COLLIER
N.
COUPLE DE
SERRAGE
ISO 250 F Boulon à filet M10 12 22 Nm
NOTE
La Turbo pompe V 2K-G ne peut être fixée à l’aide de son so­cle. Le système peut être fixé uniquement à l’aide de sa bride ISO 250F. La fixation doit être réalisée en conformité à la norme ISO 1609. Il est nécessaire d’utiliser des boulons en acier ayant une classe de résistance minimum de 500 N/mm
2
.
! ATTENTION!
Le Turbo-V 2K-G appartient à la deuxième catégorie d'installa­tions (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie. Utiliser les connecteurs fournis pour garantir le niveau de pro­tection IP-54. Le Turbo-V 2K-G dispose de connecteurs pour les en­trées/sorties et pour la communication en série qui doivent être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif branché au Turbo-V 2K-G a une isolation appropriée même en condition de panne indivi­duelle selon les termes de la norme EN 61010-1.
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Technical Information".
UTILIZATION
Ce paragraphe présente les principales procédures opération­nelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 80°C. Pendant le fonctionnement de la pompe, la température du rotor ne doit jamais être supérieure à 120 °C. L'opérateur doit veiller à adapter le mode de fonctionnement au gaz à pomper : 1 pour azote et gaz plus légers, 0 pour Argon (mode défaut). Pour plus de détails, consulter l’appendice "Technical Information".
DANGER!
Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la bride de fermeture. Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut être à l'origine de lésions graves.
! ATTENTION!
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério­rer. Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 1 bar (au-delà de la pression atmosphérique). Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de four­nir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour pro­téger les paliers (voir l'appendice "Technical Information").
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi­ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi­ques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. La pompe est conçue pour garantir un transfert élevé de l’azote, de l’argon et des gaz plus légers. En cas de pompage de gaz plus lourds que l’argon, contacter le service technique Varian pour informations.
MODE D’EMPLOI
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Utilisation de la pompe Turbo-V 2K-G Mise en marche du système
Avant la mise en marche du système, contrôler que le connecteur E/S soit débranché. Si le système est connecté à un dispositif Entrée/Sortie à distance, s’assurer que le signal de STOP soit activé (voir paragraphe “J1 – REMOTE I/O – [J1 – E/S À DISTANCE”] dans l’appendice "Technical Information"). Pour démarrer le système, effectuer les opérations suivantes :
1. Retirer (si monté) le connecteur E/S.
2. Connecter au réseau.
3. Porter la pression à l’intérieur de la chambre à vide à 0,1 mbar.
4. Donner à la pompe Turbo-V 2K-G le signal de START de l’une des façons suivantes :
a. Brancher le connecteur E/S fourni. b. Donner le signal de START à distance à travers
le connecteur E/S (Cf. paragraphe "J1 – REMOTE I/O [E/S À DISTANCE]" dans l’appendice "Technical Information").
c. Donner le signal de START à distance à travers
l’interface sérielle RS 232/485 (Cf. paragraphe "RS 232/485 Communication Description [Des­cription communication]" dans l’appendice "Technical Information").
DANGER!
Lorsque le système est branché au réseau et que le connecteur à 15 broches est connecté, la pompe Turbo-V 2K-G se met automatiquement en marche.
!ATTENTION!
Le contrôleur est fourni déjà connecté (connexion mécanique et électrique) à la pompe. La séparation du contrôleur du corps de la pompe peut être effectuée uniquement par le personnel auto­risé par la société Varian Vacuum Technologies.
NOTE
Lors de la première mise en marche de la pompe Turbo-V 2K-G le contrôleur lance automatiquement le système en exécutant une procédure spéciale qui protège les paliers contre tout ris­que d’endommagement (SOFT START). Le système est lancé progressivement jusqu’à ce qu’il atteigne la vitesse maximum, en un temps qui peut varier de 10 minutes à 1 heure. Dès que le système atteint sa vitesse maximum, la procédure de "soft start" est désactivée et les démarrages suivants sont effectués en mode normal.
NOTE
Pour garantir l’indice de protection IP-54 n’utiliser que les connec­teurs fournis avec la pompe. Pour l’alimentation, utiliser exclusive­ment un câble type PN: 969-9957 ou 969-9958, et le fixer au contrôleur à l’aide de la bride prévue (voir la figure ci-dessous). Utiliser ce câble et cette fiche avec une prise connectée d’une manière adéquate à terre pour éviter des décharges électriques et satisfaire les requis des normes CE.
Le système est muni d’un LED vert piloté par un signal d’état. La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du Turbo-V 2K-G indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système:
- allumée fixe: la pompe est en rotation normale;
- clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente in­terlock.
- clignote rapidement (pédiode d'environ 200 ms): condition d'erreur.
Arrêt du système
Pour arrêter la pompe, opérer dans l’un des modes suivants :
1. Débrancher le connecteur E/S.
2. Envoyer un signal de STOP à distance à travers le connecteur E/S (Cf. paragraphe "J1 – REMOTE I/O [E/S À DISTANCE]" dans l’appendice "Technical Information").
3. Envoyer un signal de STOP à distance via l’interface sérielle RS 232/485 (Cf. paragraphe "RS 232/485 Com­munication Description" dans l’appendice "Technical In­formation").
Arrêt d'urgence
Pour arrêter le Turbo-V 2K-G en conditions d'urgence, il faut
débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur.
ENTRETIEN
Le Turbo-V 2K-G n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
DANGER!
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service répa­rations Varian ou du "Varian advanced exchange service" qui permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du système endommagé.
NOTE
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche de­vra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimina­tion conformément aux réglementations nationales concernant la gestion des déchets.
INSTRUCCIONES DE USO
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Indicaciones de Seguridad
para
Bombas Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combi­nación a la masa específica de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
¡PELIGRO!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual!
INSTRUCCIONES DE USO
14 87-900-968-01(C)
INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de usar el aparato. Varian se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas. El sistema está en condiciones de bombear diferentes tipos de gas y de compuestos gaseosos pero no es adecuado para bombear líquidos ni partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (33000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Turbo-V 2K-G no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”. Además cuenta con conectores auxiliares mediante los cuales es posible pilotearlo de remoto a través de un ordenador host conectado con línea serie (RS232 o RS485). A continuación se facilita toda la información necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo “Technical Information” se facilita información más detallada. Este manual utiliza las convenciones siguientes:
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales.
! ¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las siguientes instrucciones:
• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento
de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales:
• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
• el cliente deberá activar siempre las bombas
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez;
• el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente.
! ¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
El Turbo-V 2K-G se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el Turbo-V 2K-G y de no someterlo a golpes o vibraciones. Debido a su peso (35 kg) para extraer la bomba del embalaje deben utilizarse las tres armellas en 120° que se encuentran enroscadas en el cuerpo bomba. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.
! ¡ATENCIÓN!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.
NOTA
La Turbo-V 2K-G no puede sufrir daños sólo por quedar expuesta a la acción de la atmósfera. No obstante, se aconseja mantener la bomba cerrada y sellada hasta el momento de instalarla en el sistema a fin de prevenir la contaminación del mismo.
El embalaje de la Turbo-V 2K-G contiene:
1. bomba con controlador integrado;
2. inlet screen (montado);
3. el presente manual en CD-ROM;
4. bolsa con accesorios;
5. ensamble de conector de 15 vías “REMOTE I/O” IP-54 que incluye las conexiones necesarias para reactivar la bomba;
6. ensamble de conector de 9 vías “SERIAL” IP-54 a utilizar para efectuar la conexión serie;
7. ensamble de conector de 9 vías "Network" MoniTorr;
8. abrazadera para retener el cable de alimentación (montada).
INSTRUCCIONES DE USO
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INSTALACIÓN
¡PELIGRO!
Siempre a causa de su peso, la bomba debe ser manejada utilizando medios específicos de elevación y desplazamiento. Para ello deben utilizarse las correspondientes armellas enroscadas en los respectivos agujeros practicados en el cuerpo de la bomba misma.
! ¡ATENCIÓN!
No retirar la cubierta empernada antes de haber conectado la bomba de turbina al sistema.
No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica
- temperatura: de +5ºC a +40ºC (véase gráfico en el anexo “Technical Information”)
- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El Turbo-V 2K-G ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). El Turbo-V 2K-G puede instalarse en cualquier posición. Fijar el Turbo-V 2K-G en posición estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede resistir a un par de 10600 Nm alrededor de su eje. La bomba de turbina con brida de entrada ISO debe fijarse por medio de pernos a la cámara de vacío. En la siguiente tabla se indican el número de pernos necesarios y el par de apriete aconsejado por Varian para fijarlos.
BRIDA
TIPO DE
MORDAZA
N.
PAR DE
APRIETE
ISO 250 F Perno con rosca M10 12 22 Nm
NOTA
La Turbo-V 2K-G no puede ser fijada por medio de su base. En efecto, el sistema puede fijarse únicamente mediante su brida ISO 250F. La fijación debe realizarse de conformidad con lo establecido por la norma ISO 1609. Deben utilizarse pernos de acero cuya clase de resistencia sea de al menos 500 N/mm
2
.
! ¡ATENCIÓN!
El Turbo-V 2K-G pertenece a la segunda categoría de instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría. Para garantizar el aislamiento IP-54 deben utilizarse los ensambles de conectores suministrados adjuntos. El Turbo-V 2K-G tiene conectores para las entradas/salidas y para la comunicación serial que deben ser conectados a los circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión quede accesible. Controlar que el aislamiento del dispositivo conectado al Turbo­V 2K-G mantenga una acción aisladora incluso en caso de verificarse una avería, de conformidad con lo establecido por la normativa EN 61010-1.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”.
USO
En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 80ºC. Durante el funcionamiento de la bomba la temperatura del rotor no deberá superar nunca los 120 °C. El operador deberá verificar siempre que el modo de funcionamiento que ha predispuesto sea adecuado para el gas que se debe bombear, esto es: 1 para nitrógeno y gases más ligeros, 0 para argón (modo predeterminado). Para mayores detalles véase el apéndice "Technical Information".
¡PELIGRO!
No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está conectada al sistema o no está cerrada con la brida de cierre. No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas.
! ¡ATENCIÓN!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta deberá ser inferior a 1 bar (por encima de la presión atmosférica). Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas de una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical Information”).
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. La bomba ha sido proyectada para una elevada transferencia de nitrógeno, argón y gases más ligeros. En caso de que deban bombearse gases más pesados que el argón se ruega tomar contacto con la Asistencia Técnica de Varian a fin de recibir mayores informaciones.
INSTRUCCIONES DE USO
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Uso de Turbo-V 2K-G Cómo poner en funcionamiento el sistema
Antes de activar el sistema deberá retirarse el ensamble conector I/O. Si el sistema se encuentra conectado a un dispositivo de Input/Output remoto, verificar que la señal de STOP esté activada (véase el apartado "J1 – REMOTE I/O" en el apéndice "Technical Information"). Para poner en funcionamiento del sistema se deberá proceder de la manera que a continuación se indica:
1. retirar (si está presente) el ensamble conector I/O;
2. conectar la alimentación de red;
3. disponer en 0,1 mbar la presión en el interior de la
cámara de vacío;
4. dar la señal de START a la Turbo-V 2K-G mediante una
de las siguientes formas:
a. conectar el ensamble conector I/O suministrado
adjunto;
b. dar la señal de START de remoto mediante el
conector I/O (véase el apartado "J1 – REMOTE I/O" en el apéndice "Technical Information");
c. dar la señal de START de remoto mediante la
interfaz serie RS 232/485 (véase el apartado "RS 232/485 Communication Description" en el apéndice "Technical Information").
¡PELIGRO!
Una vez que se conecta la alimentación y se activa el ensamble conector de 15 pins suministrado adjunto, la Turbo-V 2K-G parte automáticamente.
! ¡ATENCIÓN!
El controlador se entrega ya conectado mecánica y eléctricamente a la bomba. La separación del controlador respecto del cuerpo de la bomba puede ser efectuada únicamente por personal autorizado por Varian Vacuum Technologies.
NOTA
Al activar la Turbo-V 2K-G por primera vez, el controlador activa automáticamente el sistema mediante un procedimiento especial que protege los cojinetes contra posibles daños (SOFT START). El sistema se activa paso a paso hasta alcanzar la plena velocidad, en un lapso comprendido entre 10 minutos y 1 hora. Una vez que el sistema ha alcanzado plena velocidad, el procedimiento de "soft start" se inhabilita y las sucesivas activaciones se efectúan de modo normal.
NOTA
Para mantener el nivel de protección IP-54 deben utilizarse únicamente los conectores suministrados junto con la bomba. Para el cable de alimentación utilizar sólo los PN: 969-9957 o 969-9958 y fijar el cable al controlador por medio de la correspondiente abrazadera (véase la siguiente figura). Utilizar el cable y el enchufe junto con un tomacorriente adecuadamente conectado a tierra para evitar descargas eléctricas y cumplir con los requerimientos de las normas CE.
El sistema cuenta con un LED verde piloteado por una señal de estado. El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TURBO-V 2K-G indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema:
- encendido fijo: la bomba está en rotación normal;
- parpadea lentamente (periodo de 400 ms aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ;
- parpadea rápidamente (periodo de 200 ms aproximadamente): condición de error.
Cómo detener la Turbo-V 2K-G
La detención de la bomba podrá efectuarse aplicando una de las siguientes modalidades:
1. retirando el ensamble conector de I/O suministrado adjunto;
2. enviando una señal de STOP de remoto mediante el conector I/O (véase el apartado "J1 – REMOTE I/O" en el apéndice "Technical Information");
3. enviando una señal de STOP de remoto mediante el interfaz serie RS 232/485 (véase el apartado "RS 232/485 Communication Description" en el apéndice "Technical Information").
Parada de Emergencia
Para detener en condiciones de emergencia el Turbo-V 2K-G es necesario desconectar del controlador el cable de alimentación.
MANTENIMIENTO
El Turbo-V 2K-G no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado.
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado.
NOTA
Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o “advanced exchange service”, es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo.
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo respetando las normas nacionales específicas.
INSTRUÇÕES PARA O USO
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Indicações de Segurança
para
Bombas Turbomoleculares
As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específi­ca de seus rotores.
Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o e­stator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
PERIGO!
Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual!
INSTRUÇÕES PARA O USO
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INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas. O Turbo-V 2K-G é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller. O sistema está em condições de bombear muitos tipos de gases ou de compostos gasosos, mas não é adequado para aspirar líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (33000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O Turbo-V 2K-G é totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo". Além disso, está equipado com conectores auxiliares com os quais é possível comandá-lo à distância através de um computador host ligado com linha série (RS232 ou RS485). Nos seguintes parágrafos estão descritas todas as informações necessárias para garantir a segurança do operador durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information". Este manual utiliza as seguintes convenções:
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais.
!ATENÇÃO!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem causar danos à aparelhagem.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas as seguintes prescrições:
• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem
das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes:
• temperatura: de –20 °C a 70 °C
• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)
• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez,
o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start
• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba
turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição.
!ATENÇÃO!
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Varian.
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
O Turbo-V 2K-G é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o controller e para não submetê-lo a choques ou vibrações. Devido ao seu peso (35 kg), para retirar a bomba da embalagem é necessário utilizar as três cavilhas fixadas a 120° ao corpo da bomba. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é completamente reciclável e em conformidade com a norma CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
!ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
NOTA
A normal exposição ao ar não pode danificar a Turbo-bomba V­2k. Aconselha-se, no entanto, mantê-la selada e bem fechada dentro da caixa até ao momento da instalação no sistema, para evitar que se suje com poeiras.
A embalagem da Turbo-V 2K-G contém:
1. bomba com controller integrado
2. inlet screen (montado)
3. este manual em CD-ROM
4. sacos dos acessórios
5. conector conjugado de 15 vias “REMOTE I/O” IP-54 com todas as ligações necessárias para activar a bomba.
6. conector conjugado de 9 vias “SERIAL” IP-54 a utilizar para a ligação série
7. conector conjugado de 9 vias "Network" MoniTorr
8. braçadeira de fixação do cabo de alimentação (montada).
INSTRUÇÕES PARA O USO
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INSTALAÇÃO
PERIGO!
Devido ao seu peso, a bomba deve ser manuseada com a ajuda de equipamentos de levantamento e deslocação específicos. Para tal, utilizar as respectivas cavilhas montadas nos furos roscados existentes no corpo da bomba.
!ATENÇÃO!
Não remover a cobertura aparafusada antes de ligar a turbobomba ao sistema.
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais:
- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 40ºC (consultar a planilha no apêndice “Technical Information”)
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O Turbo-V 2K-G deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). O Turbo-V 2K-G pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o Turbo-V 2K-G em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 10600 Nm ao redor do próprio eixo. A turbobomba com flange de entrada ISO deve ser fixada à câmara de vácuo através de parafusos. Damos a seguir uma tabela com o número de parafusos necessários e o tipo de torque de aperto aconselhados pela Varian.
FLANGE TIPO DE BORNE N
TORQUE DE
APERTO
ISO 250 F Parafuso com rosca
M10.
12 22 Nm
NOTA
A Turbo-V 2K-G não pode ser fixada por meio da sua base. O sistema pode ser segurado só por intermédio da sua flange ISO 250F. A fixação deve ser realizada de acordo com o estabelecido na norma ISO 1609. Devem ser utilizados parafusos de aço com uma classe de resistência de pelo menos 500 N/mm
2
.
!ATENÇÃO!
O Turbo-V 2K-G pertence à segunda categoria de instalação (ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. Utilizar os conectores conjugados fornecidos de série para garantir o isolamento IP-54. O Turbo-V 2K-G tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do dispositivo ligado ao Turbo-V 2K-G esteja isolado correctamente mesmo em caso de avaria, conforme previsto pela norma NE 61010-1.
Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar "Technical Information".
UTILIZAÇÃO
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 80 ºC. Durante o funcionamento da bomba a temperatura do rotor deve ser sempre inferior a 120°C. O operador deve verificar se o aparelho funciona na modalidade correcta, de acordo com o tipo de gás aspirado: 1 para Azoto e gases mais leves. 0 para Argon (modalidade pré­definida). Para maiores detalhes, consultar o apêndice “Technical Information”.
PERIGO!
Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange de fecho. Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas.
!ATENÇÃO!
Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 1 bar (acima da pressão atmosférica). Para bombear gases agressivos, estas bombas estão equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Argon) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice "Technical Information”).
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. A bomba foi concebida para fornecer um elevado caudal de Azoto, Argon e gases mais leves. Se houver a necessidade de bombear gases mais pesados que o Argon, aconselha-se a entrar em contacto com a Assistência Técnica da Varian para obter maiores informações.
INSTRUÇÕES PARA O USO
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Uso da Turbo-V 2K-G Como activar o sistema
Antes do arranque do sistema, assegurar-se de que o conector conjugado I/O não está montado. Se o sistema está ligado a um dispositivo de Input/Output remoto, assegurar-se de que o sinal de STOP está activo (consultar o parágrafo “J1 ­REMOTE I/O” no apêndice “Technical Information”). Para activar o sistema, executar as seguintes operações:
1. remover (se presente) o conector conjugado I/O
2. ligar o cabo à rede de alimentação eléctrica.
3. deixar aumentar a pressão dentro da câmara de vácuo até
atingir 0,1 mbars.
4. fornecer à Turbo-V 2K-G o sinal de START num dos
seguintes modos:
a. ligar o conector conjugado I/O fornecido de série. b. dar o comando remoto de START utilizando o
conector I/O (consultar o parágrafo “J1 - REMOTE I/O” no apêndice “Technical Information”).
c. dar o comando remoto de START utilizando o
interface série RS 232/485 (consultar o parágrafo “RS 232/485 Communication Description” no apêndice “Technical Information”).
PERIGO!
Quando o aparelho está ligado à rede de alimentação eléctrica e o conector conjugado de 15 pinos, fornecido de série, está introduzido, a Turbo-V 2K-G activa-se automaticamente.
!ATENÇÃO!
O controller é fornecido com todas as ligações mecânicas e as conexões eléctricas com a bomba já instaladas. O controller pode ser separado do corpo da bomba exclusivamente por pessoal autorizado pela Varian Vacuum Techmologies.
NOTA
Quando se activa a Turbo-V 2K-G pela primeira vez, o controller activa automaticamente o sistema com um processo especial que protege os mancais contra possíveis danos (SOFT START). O sistema entra em funcionamento com uma sequência de operações sucessivas, até atingir o regime máximo num intervalo de tempo que oscila entre 10 minutos e 1 hora. Depois de o sistema chegar à velocidade de regime máxima, o processo de “soft start” é desabilitado e os arranques posteriores realizam-se na modalidade normal.
NOTA
Para manter o nível de protecção IP-54 utilizar exclusivamente os conectores fornecidos com a bomba. Para o cabo de alimentação usar unicamente os PN: 969-9957 ou 969-9958, e fixar o cabo ao controller utilizando a braçadeira específica (ver a figura que se segue). Utilize este cabo e tomada juntos com uma tomada adequadamente conectada a terra para evitar choques eléctricos e satisfazer os requisitos das normas CE.
O sistema está equipado com um LED verde comandado por um sinal de estado. A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do Turbo-V 2K-G, indica, através da frequência de intermitência, as condições operacionais do sistema:
- acesa fixa: a bomba funciona normalmente;
- intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting for interlock”.
- intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição de erro.
Como parar a Turbo-V 2K-G
Para parar a bomba é possível utilizar um dos seguintes métodos:
1. retirando o conector conjugado de I/O fornecido de série.
2. dando o comando remoto de STOP através do conector
I/O (consultar o parágrafo “J1 - REMOTE I/O” no apêndice “Technical Information”).
3. dando um comando remoto de STOP através do interface
série RS 232/485 (consultar o parágrafo “RS 232/485 Communication Description” no apêndice “Technical Information”).
Paragem de Emergência
Para parar o Turbo-V 2K-G em condições de emergência é necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação.
MANUTENÇÃO
O Turbo-V 2K-G não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
PERIGO!
Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de assistência Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter um sistema regenerado que substitua a bomba com defeito.
NOTA
Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações ou o “advanced exchange service”, é indispensável preencher e enviar ao escritório de vendas local a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
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Veiligheidsinstructies
voor
Turbomoleculaire pompen
De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren.
In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
GEVAAR!
Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd!
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
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ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving De Turbo-V 2K-G is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen plus bijbehorende controller bestaat. Het systeem kan vele soorten gas of gasvormige verbindingen pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 33000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De Turbo-V 2K-G is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. Het is voorzien van hulpconnectoren waarmee het op afstand aangestuurd kan worden door middel van een host computer die met een seriële lijn (RS232 of RS485) is aangesloten. In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical information
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik:
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
!ATTENTIE!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht.
OPSLAG
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen:
• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen
moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan:
• temperatuur: van –20 °C tot 70 °C
• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet
condenserend)
• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de
Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld
• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
!ATTENTIE!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.
UITPAKKEN
De Turbo-V 2K-G wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 2K-G niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Vanwege het gewicht (35 kg) van de pomp, moet deze uit de verpakking worden verwijderd met behulp van de drie oogbouten die op 120° op het pomplichaam zijn vastgeschroefd. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399.
!ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De Turbo-V 2K-G kan niet beschadigd raken door normale blootstelling aan de omgeving. Men adviseert echter om de pomp afgesloten en verzegeld te houden tot het moment van installatie in het systeem. Dit om contaminatie van het systeem te voorkomen.
In de verpakking van de Turbo-V 2K-G zijn aanwezig:
1. pomp met geïntegreerde controller
2. inlet screen (gemonteerd)
3. deze handleiding op CD-ROM
4. zak met accessoires
5. 15-pin contraconnector IP-54 voor “REMOTE I/O” connector met alle geïntegreerde aansluitingen die benodigd zijn om de pomp op te starten
6. 9-pin contraconnector IP-54 voor “SERIAL” connector die voor de seriële verbinding wordt gebruikt
7. 9-pin contraconnector voor "Network" MoniTorr
8. opsluitbeugel voor het vasthouden van de voedingskabel (gemonteerd).
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
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INSTALLATIE
GEVAAR!
De pomp moet in verband met zijn gewicht met speciale hef- en transportwerktuigen worden gehanteerd. Gebruik hiervoor de speciale oogbouten die zijn vastgeschroefd in de gaten in het pomplichaam.
! ATTENTIE!
Verwijder niet de opgeboute afdekking voordat de turbopomp met het systeem wordt verbonden.
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn
- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
- temperatuur: van +5°C tot +40°C (zie grafiek in de bijlage “Technical Information”)
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie De Turbo-V 2K-G moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). De Turbo-V 2K-G kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de Turbo-V 2K-G in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 10600 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO ingangsflens moet bevestigd worden aan de vacuümkamer met behulp van bouten. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde bouten en met welk koppel Varian adviseert om ze aan te halen.
FLENS KLEMTYPE
NR.
AANHAAL KOPPEL
ISO 250 F Bout met M10
schroefdraad
12 22 Nm
OPMERKING
De Turbo-V 2K-G kan niet bevestigd worden via zijn basis. Het systeem mag uitsluitend bevestigd worden via zijn ISO 250F flens. De bevestiging moet conform de norm ISO 1609 gebeuren. Er moeten stalen bouten worden gebruikt met een weerstandsklasse van minstens 500 N/mm
2
.
!ATTENTIE!
De Turbo-V 2K-G behoort tot de tweede installatiecategorie (of overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. Gebruik de bijgeleverde contraconnectoren om de beveiligingsgraad IP-54 te garanderen. De Turbo-V 2K-G bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen en voor de seriële communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits, zodat geen enkel deel onder spanning toegankelijk is. Controleer of de inrichting verbonden met de Turbo-V 2K-G goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 80° C bedragen. Tijdens de werking van de pomp, mag de temperatuur van de rotor nooit 120 °C overschrijden. De gebruiker moet controleren of de correcte bedrijfswijze is ingesteld, afhankelijk van het te pompen gas: 1 voor stikstof en lichtere gassen, 0 voor Argon (default). Voor meer details wordt verwezen naar de bijlage "Technical Information".
GEVAAR!
Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is. Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken.
! ATTENTIE!
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen an­ders beschadigd raken. Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 1 bar (boven de atmosferische druk) bedragen. Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”).
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. De pomp is voor een hoge doorvoercapaciteit van stikstof, Argon en lichtere gassen ontworpen. Indien de noodzaak bestaat om zwaardere gassen dan Argon te pompen, wordt u verzocht om contact op te nemen met de Technische Service van Varian voor informatie.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
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Gebruik van de Turbo-V 2K-G Hoe wordt het systeem gestart
Controleer, alvorens het systeem te starten, of de I/O contraconncetor verwijderd is. Als het systeem verbonden is met een remote I/O, controleer dan of het STOP signaal actief is (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage "Technical Information"). Start het systeem via de volgende stappen:
1. verwijder de I/O contraconnector (indien aanwezig)
2. sluit het voedingsnet aan
3. breng de druk in de vacuümkamer op 0,1 mbar
4. geef aan de Turbo-V 2K-G het START signaal op een van de volgende manieren:
a. sluit de bijgeleverde I/O contraconnector aan b. geeft het START signaal op afstand via de I/O
connector (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage "Technical Information")
c. geef het START signaal op afstand via de seriële
interface RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485 Communication Description" in de bijlage "Technical Information").
GEVAAR!
Wanneer de voeding wordt geleverd en de bijgeleverde 15-pin connector is ingebracht, start de Turbo-V 2K-G automatisch.
! ATTENTIE!
De controller wordt reeds mechanisch en elektrisch aan de pomp verbonden geleverd. De controller kan slechts van het pomplichaam worden gescheiden door hiertoe bevoegd personeel van Varian Vacuum Technologies.
OPMERKING
Wanneer de Turbo-V 2K-G voor de eerste keer wordt gestart, start de controller automatisch het systeem met een speciale procedure die de lagers tegen mogelijke schade beschermt (SOFT START). Het systeem wordt via opeenvolgende stappen op volle snelheid gebracht, in een tijdsbestek dat van 10 minuten tot 1 uur kan variëren. Nadat het systeem de volle snelheid heeft bereikt, wordt de "soft start" procedure ontmachtigd en worden de volgende starten op de normale wijze uitgevoerd.
OPMERKING
Om de beveiligingsgraad IP-54 te behouden, mogen uitsluitend de bij de pomp geleverde connectoren gebruikt worden. Gebruik voor de voedingskabel uitsluitend de PN 969-9957 of 969-9958, en bevestig de kabel aan de controller met behulp van de hiervoor bestemde opsluitbeugel (zie volgende figuur). Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om te voldoen aan de vereisten van de EG-normen.
Het systeem is voorzien van een groene LED die door een statussignaal wordt aangestuurd. De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de Turbo­V 2K-G geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan:
- brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
- knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for interlock”;
- knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
Hoe wordt de Turbo-V 2K-G gestopt
Om de pomp te stoppen, kan één van de volgende methoden worden gebruikt:
1. verwijdering van de bijgeleverde I/O contraconnector
2. verzending van een STOP signaal op afstand via de I/O connector (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage "Technical Information")
3. verzending van een STOP signaal op afstand via de seriële interface RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485 Communication Description" in de bijlage "Technical Information").
Noodstop
Om de Turbo-V 2K-G in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden.
ONDERHOUD
De Turbo-V 2K-G is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd.
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk.
BRUGSANVISNING
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Sikkerhedsanvisninger
for
Molekylære turbopumper
De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt.
Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
ADVARSEL!
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning!
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