Varian Turbo-V 2000 HT Instruction Manual

Turbo-V 2000HT

pumps

969-9084 series
969-9059 series

MANUALE DI ISTRUZIONI

BEDIENUNGSHANDBUCH

NOTICE DE MODE D’EMPLOI

MANUAL DE INSTRUCCIONES

MANUAL DE INSTRUÇÕES

BEDRIJFSHANDLEIDING

INSTRUKSTIONSBOG

BRUKSANVISNING

INSTRUKSJON MANUAL

OHJEKÄSIKIRJA

ODHGIES CRHSEWS

INSTRUCTION MANUAL

87-900-969-01
MAY 2003

Turbo-V 2000HT

ISTRUZIONI PER L’USO ....................................................................................................1

GEBRAUCHSANLEITUNG .................................................................................................3

MODE D’EMPLOI................................................................................................................ 5

INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7

INSTRUÇÕES PARA O USO..............................................................................................9

GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................. 11

BRUGSANVISNING .......................................................................................................... 13

BRUKSANVISNING ..........................................................................................................15

BRUKERVEILEDNING...................................................................................................... 17

KÄYTTÖOHJEET ..............................................................................................................19

PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21

INSTRUCTIONS FOR USE...............................................................................................23

TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25

DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25

TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26

INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28

WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................28

VENT DEVICE INSTALLATION...................................................................................................30

VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................30

GAS PURGE VALVE INSTALLATION.........................................................................................31

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES..................................................................................31

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM .....................................................................................................32

Connection A - HIGH VACUUM FLANGE .........................................................................32

Connection B - FORE-VACUUM PUMP ............................................................................33

Connection C - ELECTRICAL............................................................................................33

MOVING THE GAS PURGE VALVE AND FOREVACUUM PUMP CONNECTIONS .................34

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ...............................................................34

ACCESSORIES ...........................................................................................................................34

ISTRUZIONI PER L’USO

1 87-900-969-01

INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizza­tore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed
ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'uti­lizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali
responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istru­zioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad
interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali
specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V2000HT sono pompe turbomolecolari
per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare qual­siasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il
pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (33000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V2000HT sono totalmente
prive di agenti contaminanti, e sono quindi adatte per applicazioni
che richiedono un vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessa­rie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'appa­recchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice
“Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

!!!!

PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

!!!!

ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che,
se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

IMMAGAZZINAMENTO

Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le se­guenti prescrizioni:

• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento del­le pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:

• temperatura: da –20 °C a 70 °C

• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)

• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel

modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta

• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare
è di 10 mesi dalla data di spedizione.

!!!!

ATTENZIONE!

Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superio­re, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si
prega di contattare il locale rappresentante della Varian.

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si pre­sentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare atten­zione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o
vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamen­te riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela del­l'ambiente.

!!!!

ATTENZIONE!

Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani
nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare
sempre i guanti o altra protezione adeguata.

NOTA

La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplice­mente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mante­nerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde
evitare eventuale inquinamento da polvere.

INSTALLAZIONE

!!!!

PERICOLO!

La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata
tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento.
All’uopo utilizzare gli appositi golfari da avvitare nei fori filettati
M8 praticati sull’involucro della pompa.

!!!!

ATTENZIONE!

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento
del collegamento della turbopompa al sistema.

ISTRUZIONI PER L’USO

2 87-900-969-01

Assicurarsi che la pompa sia adatta per la propria applicazione.
La pompa è stata progettata per uso in sistemi di pompaggio
per PVD o generalmente per applicazioni in cui si richieda un
vuoto "pulito". Contattare Varian Vacuum Technologies o il vo­stro fornitore per altre applicazioni.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.

Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:

− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica

− temperatura: da + 5 °C a +35 °C

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Te­chnical Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V2000HT devono
essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian
(serie 969-9462, 969-9562) e devono essere collegate ad una
pompa primaria (vedere schema in "Technical Information").
La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione.

!!!!

PERICOLO!

Il livello di potenza fornito alla pompa va adattato al tipo di gas
pompato. Agendo attraverso il controller (vedere il manuale del
controller) è possibile selezionare ARIA o ARGON (default:
ARGON). Per utilizzare la pompa con gas diversi si prega di
contattare la Varian.

Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 30000 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISOF deve essere fissa­ta alla camera da vuoto per mezzo di 12 viti M10 di acciaio di
classe non inferiore a 8.8 (

s

r

= 800 N/mm2). Si suggerisce una
coppia di chiusura di 22 Nm.
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Te­chnical Information".
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".

USO

Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa
sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere atten­tamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori
pressioni limite è possibile riscaldare l'involucro della pompa uti­lizzando il riscaldatore opzionale. Durante l'eventuale riscalda­mento della camera da vuoto, le temperature della flangia di
ingresso e del rotore non devono essere superiori a 120 °C. Uti­lizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni
di riscaldamento.

!!!!

PERICOLO!

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau­sare lesioni alle persone.

!!!!

ATTENZIONE!

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso
attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopom­pa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.

!!!!

ATTENZIONE!

Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg­gere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").

!!!!

PERICOLO!

Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos­sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure
tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas
esplosivi.

MANUTENZIONE

Le pompe della serie Turbo-V2000HT non richiedono alcuna
manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.

!!!!

PERICOLO!

Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa
scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la
pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo
arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale
della pompa sia inferiore a 50°C.

In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio­ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per­mette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di
quella guasta.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advan­ced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al
locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al pre­sente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita
nell'imballo della pompa prima della spedizione.

Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi­che.

!!!!

PERICOLO!

Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun
motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della
turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione
(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazio­ni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca
d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.

NO!

GEBRAUCHSANLEITUNG

3 87-900-969-01

ALLGEMEINES

Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte
der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten
Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung -auch
teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch
durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und
Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden
Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V2000HT handelt es sich um
Turbomolekularpumpen für Hoch- und
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich zur Förderung von
jeder Art von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur
Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine
Hochgeschwindigkeitsdrehturbine (max. 33000 U/Min) erreicht, die
von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die
Turbo-V2000HT -Pumpen enthalten keinerlei umweltschädliche
Substanzen und eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke,
die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen
für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts
aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:

!!!!

GEFAHR!

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners
auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter
Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können.

!!!!

ACHTUNG

!

Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an
der Anlage entstehen können.

ANMERKUNG

Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.

LAGERUNG

Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:

• Während des Transports, der Handhabung und der

Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte
nicht überschritten werden:

• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C

• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend)

• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang

bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start
ingangzusetzen.

• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10

Monate ab dem Speditionsdatum.

!!!!

ACHTUNG!

Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte
Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk
zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den
örtlichen Varian Vertreter.

VOR DER INSTALLATION

Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert.
Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen
Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht fällt
oder Stößen ausgesetzt wird.

Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für
Umweltschutz.

!!!!

ACHTUNG

!

Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten,
die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit bloßen
Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen anderen
geeigneten Schutz tragen.

ANMERKUNG

Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Atmosphäre
ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis
zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um
Staubverschmutzungen zu vermeiden.

INSTALLATION

!!!!

GEFAHR!

Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe nur mit
entsprechend geeigneten Geräten angehoben und transportiert
werden. Zu diesem Zweck sind die dafür vorgesehenen
Ringschrauben zu verwenden, die in die Gewindebohrungen
M8 am Pumpengehäuse einzuschrauben sind.

!!!!

ACHTUNG

!

Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage

.

GEBRAUCHSANLEITUNG

4 87-900-969-01

Überprüfen, dass die Pumpe für die betreffende Anwendung
geeignet ist. Die Pumpe wurde für den Gebrauch in PVD­Pumpsystemen und im Allgemeinen für Anwendungen, bei de­nen ein “sauberes” Vakuum erforderlich ist, konzipiert. Für an­derweitige Anwendungen ist mit Varian Vacuum Technologies
oder mit Ihrem Lieferanten Rücksprache zu halten.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die un­geschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und ag­gressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.

Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein­gehalten werden:

- Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck

- Temperatur: von +5°C bis +35°C

- Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend)
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz
eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden.
Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Information”.
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V2000HT dürfen nur
mit einer der Varian-Spezial-Controller (Serie 969-9462, 969-

9562) benutzt werden und müssen an eine Primärpumpe ange­schlossen werden (siehe Schema in "Technical Information"). Die
Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.

!

GEFAHR!

Die von der Pumpe gelieferte Leistungsstärke ist an den zu
pumpenden Gastyp anzupassen. Über den Controller (siehe
Betriebsanleitung des Controllers) kann LUFT oder ARGON
(Default: ARGON) ausgewählt werden. Für die Verwendung der
Pumpe mit anderweitigen Gasen ist mit Varian Rücksprache zu
halten.

Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie
den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge­genflansch anschließen, der ein Drehmoment von 30000 Nm
um seine eigene Achse aushält.
Die Turbopumpe mit ISOF Eintrittsflansch ist an der Vakuum­kammer mit 12 Schrauben M10 aus Stahl mind. Klasse 8.8
(

s

r

= 800 N/mm2) zu befestigen. Es wird ein Schließmoment
von 22 Nm empfohlen.
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem
speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang
"Technical Information".
Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information“.

ANWENDUNG

Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen­gehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer­den. Während der eventuellen Erwärmung der Vakuumkammer
darf die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors
120°C nicht überschreiten. Vakuumsystemen die TP mit Was­serkühlung arbeiten.

!

GEFAHR!

Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch even­tuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.

! ACHTUNG!

Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf­tungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphäri­schen Druck sein.

! ACHTUNG!

Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.

! ACHTUNG!

Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit ei­ner Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der La­ger ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").

!

GEFAHR!

Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm­baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für
das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnah­men befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven
Gasen.

WARTUNG

Die Pumpen der Serie Turbo-V2000HT sind wartungsfrei. E­ventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal
ausgeführt werden.

!

GEFAHR!

Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.

Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian ad­vanced exchange service" in Anspruch genommen werden.

ANMERKUNG

Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand­buch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt wer­den. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.

Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der ein­schlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.

!

GEFAHR!

Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall
in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder ir­gendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird emp­fohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör). Bei
Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines fle­xiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Turbo­pumpe immer am Unterteil fest installiert.

NEIN!

MODE D’EMPLOI

5 87-900-969-01

INDICATIONS GENERALES

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire
attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser
l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité
en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions
données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non
formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire
aux réglementations nationales spécifiques.
Les pompes de la série Turbo-V2000HT sont des pompes
turbomoléculaires conçues pour des applications de vide
poussé et ultrapoussé, et elles sont appropriées pour le
pompage de n'importe quel type de gaz ou de composé
gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de
liquides ou de particules solides.
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (33000 tr/min maxi), actionnée par un moteur
électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo­V2000HT sont totalement exemptes d'agents polluants et sont
par conséquent indiquées pour des applications exigeant un
vide "propre".
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant
l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés
se trouvent dans l'appendice "Technical Information".

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

!!!!

DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur
sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle
n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de
graves lésions.

!!!!

ATTENTION !

Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient
endommager sérieusement l'appareillage.

NOTA

Les notes contiennent des renseignements importants,
isolés du texte.

STOCKAGE

Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des
pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de
respecter les instructions suivantes :

• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,

doivent impérativement avoir lieu dans les conditions
ambiantes suivantes:

• température : de –20 °C à +70 °C

• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)

• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires

doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.

• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est

de 10 mois à compter de la date d'expédition.

!

ATTENTION!

En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit
être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Varian de zone.

PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION

La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;
si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être
produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de
vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,
veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe
et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.

Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE
85/399 en matière de protection de l'environnement.

!!!!

ATTENTION !

En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas
toucher, les mains nues, les éléments devant être exposés
au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection
appropriée.

NOTE

La pompe ne peut être endommagée en restant simplement
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la
garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter
toute pollution due à la poussière.

INSTALLATION

!!!!

DANGER!

Compte tenu de son poids, la pompe doit toujours être maniée
à l'aide d'appareils de levage et de manutention spéciaux. Si
nécessaire, utiliser les anneaux de levage après les avoir
préalablement vissés dans les orifices filetés M8 pratiqués sur
le corps de la pompe.

!!!!

ATTENTION!

Ne retirer le ruban adhesiv et le couvercle de protection
qu’au moment du branchement de la turbopompe au
systéme.

MODE D’EMPLOI

6 87-900-969-01

Assurez-vous que la pompe est adaptée à l'application à la­quelle vous la destinez. La pompe a été conçue pour être utili­sée dans des systèmes de pompage pour PVD ou d'une façon
plus générale pour des applications impliquant un vide "propre".
Pour toute autre application, veuillez contacter Varian Vacuum
Technologies ou votre fournisseur habituel.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo­sés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des
poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux
explosifs ou à risque élevé d'incendie.

Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:

- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique

- température: de +5°C° à +35°C

- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro­tégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se
reporter à l'appendice "Technical Information".
Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V2000HT ne
doivent être utilisées qu'avec l'un des contrôleurs spéciaux Va­rian (série 969-9462, 969-9562) et elles doivent être connec­tées à une pompe primaire (voir schéma dans "Technical
Information").
La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle position.

!

DANGER!

Le niveau de puissance fourni à la pompe doit être adapté au
type de gaz pompé. Le contrôleur (voir manuel correspondant)
permet de sélectionner AIR ou ARGON (par défaut : ARGON).
Pour l'utilisation de la pompe avec des gaz différents, veuillez
contacter Varian.

Fixer la turbopompe dans une position stable, en reliant la bride
d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant sup­porter un couple de 30000 Nm autour de son axe.
La turbo pompe avec collerette d’entrée ISOF doit être fixée à
la chambre à vide à l’aide de 12 vis M10 en acier d’une classe
de résistance minimum de 8.8 (

s

r

= 800 N/mm2). Il est conseillé
de serrer à un couple de 22 Nm.
La turbopompe à bride d'entrée Conflat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian pré­vus à cet effet. Pour tous autres détails, se reporter à l'appen­dice "Technical Information".
Pour l'installation des accessoires en option, voir "Technical
Information".

UTILISATION

Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la tur­bopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrôle. Il
est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser la
pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est
possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du réchauf­feur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la chambre du
vide, la température de la bride d'entrée et celle du rotor ne
doivent pas dépasser 120°C. Utiliser toujours le refroidissement
par eau pendant les opérations de chauffage.

!

DANGER!

Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut causer des lésions aux personnes.

! ATTENTION !

Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique.

! ATTENTION !

Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation
ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério­rer.

! ATTENTION !

Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir
à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger
les coussinets (voir l'appendice "Technical Information").

!

DANGER!

Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi­ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi­ques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de
gaz explosifs.

ENTRETIEN

Les pompes de la série Turbo-V2000HT n'exigent aucun autre
entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel
agréé.

!

DANGER!

Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, dé­brancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la
soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet du
rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe
soit inférieure à 50°C.

En cas de panne, il est possible de s'adresser au service
réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange
service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place
de la pompe endommagée.

NOTE

Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des répara­tions ou un "advanced exchange service", remplir et faire par­venir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé"
annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette
fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'ex­pédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination
conformément aux réglementations nationales en la matière.

!

DANGER!

Pour éviter tout risque de lésion aux personnes, ne jamais
introduire, sous aucun prétexte, ni les doigts ni aucun objet
dans la bouche de la turbopompe. Il est conseillé d’utiliser le
filet de protection fourni en option. En cas d’utilisation d’un
amortisseur de vibrations ou d’un soufflet métallique flexible
sur la bouche d’entrée, toujours bien fixer la turbopompe à sa
base.

NON!

INSTRUCCIONES DE USO

7 87-900-969-01

INFORMACIÓN GENERAL

Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El usuario
deberá leer atentamente el presente manual de instrucciones y
cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes
de utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier
responsabilidad debida al incumplimiento total o parcial de las
instrucciones, al uso poco apropiado por parte de personal sin
adiestrar, a las intervenciones no autorizadas o al uso que no
cumpla con las normas nacionales específicas.
Las bombas de la serie Turbo-V2000HT son bombas
turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto y
pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso.
No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene a través de una turbina que gira a
gran velocidad (33000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico
trifásico de grandes prestaciones. En las bombas Turbo-V2000HT
no hay agentes contaminantes y, por lo tanto, son apropiadas
incluso para las aplicaciones que necesitan un vacío "limpio".
En los párrafos siguientes se indica toda la información necesaria
para garantizar la seguridad del operador durante el uso del equipo.
Una información más detallada se facilita en el Suplemento
"Technical Information".

Este manual utiliza los símbolos convencionales siguientes:

!!!!

¡PELIGRO!

Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un
procedimiento o una operación específica que, al no realizarse
correctamente, podría provocar graves lesiones personales.

!!!!

¡ATENCIÓN!

Los mensajes de atención se visualizan antes de procedimientos
que, al no respetarse, podrían provocar daños al equipo.

NOTA

Las notas contienen información importante extraída del texto.

ALMACENAMIENTO

Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las
bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las siguientes
instrucciones:

• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las

bombas no deberán superarse las siguientes condiciones
ambientales:

• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;

• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);

• el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares

en modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en
funcionamiento por primera vez;

• el período máximo de almacenamiento de una bomba

turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío
al cliente.

!!!!

¡ATENCIÓN!

En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver la bomba al
fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega con­tactar con el representante local de Varian.

PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN

La bomba se suministra en un embalaje de protección dimensional;
si se observan señales de daños, que podrían haberse producido
durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina de venta
más cercana.
Durante la operación de desembalaje, prestar una atención
especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.
No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE 85/399 para la
preservación del medio ambiente.

!!!!

¡ATENCIÓN!

Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin guantes
los componentes destinados a someterse al vacío. Utilizar siempre
los guantes u otra protección apropiada.

NOTA

La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la
atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar
una posible contaminación debida al polvo.

INSTALACIÓN

!!!!

¡PELIGRO!

La bomba, a causa de su peso, ha de manejarse mediante
herramientas de levantamiento y desplazamiento específicas.
Para este fin se utilizan las respectivas armellas, que deben
ser atornilladas en los agujeros roscados M8 presentes en la
cubierta de la bomba.

!!!!

¡ATENCIÓN!

Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en
el momento en que se conecte la turbobomba al sistema.

INSTRUCCIONES DE USO

8 87-900-969-01

Verificar que la bomba sea adecuada para el uso que de ella
se desea hacer. La bomba ha sido proyectada para empleo en
sistemas de bombeo para PVD o para aplicaciones en las que
generalmente se requiere un vacío “limpio”. Respecto de otras
aplicaciones sírvase contactar con Varian Vacuum
Technologies o con su proveedor.
No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a agentes
atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos, en
ambientes explosivos o con alto riesgo de incendio.

Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:

- presión máxima: 2 bar por encima de la presión

atmosférica

- temperatura: de +5°C a + 35°C

- humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora).
Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice
“Technical Information” para más detalles.
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V2000HT se
deberán utilizar sólo con uno de los controladores apropiados
Varian (serie 969-9462, 969-9562) y se deberán acoplar a una
bomba primaria (véase esquema en "Technical Information".
La turbobomba se puede instalar en cualquier posición.

!!!!

¡PELIGRO!

El nivel de potencia suministrado a la bomba debe ser
predispuesto en función del tipo de gas bombeado. Operando
mediante el controller (véase el manual del controller) es
posible seleccionar AIRE o ARGON (por defecto: ARGON).
Para utilizar la bomba con otros tipos de gases sírvase
contactar previamente con Varian.

Fijar la turbobomba en posición estable acoplando la brida de
entrada de la turbobomba a una falsa brida fija que pueda
soportar un par de 30000 Nm alrededor de su eje
La turbobomba con brida de entrada ISOF debe ser fijada a la
cámara de vacío mediante 12 tornillos M10 de acero de clase
no inferior a 8.8 (

s

r

= 800 N/mm2). Se sugiere aplicar un par de
apriete de 22 Nm.
La turbobomba con brida de entrada ConFiat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante accesorios mecánicos Varian. Para
más detalles véase el apéndice “Technical Information”.
Para la instalación de los opcionales, véase “Technical
Information”.

UTILIZACIÓN

Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de
control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.
Durante el eventual calentamiento de la cámara de vacío, la
temperatura de la brida de entrada y del rotor no debe superar
nunca 120 ºC. Utilizar siempre la refrigeración por agua
durante las operaciones de calentamiento.

!!!!

¡PELIGRO!

No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante
las operaciones de calentamiento. La alta temperatura
puede provocar lesiones a las personas.

!!!!

¡ATENCIÓN!

Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión
atmosférica.

!!!!

¡ATENCIÓN!

Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.

!!!!

¡ATENCIÓN!

Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas
de una puerta específica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o
Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice
“Technical Information”).

!!!!

¡PELIGRO!

Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.

MANTENIMIENTO

Las bombas de la serie Turbo-V2000HT no necesitan ningún
mantenimiento. Cualquier intervención deberá ser realizada
por personal autorizado.

!!!!

¡PELIGRO!

Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba
abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare
completamente y esperar a que la bomba esté por debajo de 50
ºC.

En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.

NOTA

Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de
"Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en
el embalaje de la bomba antes de enviarla.

En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminación respetando las normas nacionales específicas.

!!!!

¡PELIGRO!

Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por
ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada
de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de
protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de
vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de
entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.

NO!

INSTRUÇÕES PARA O USO

9 87-900-969-01

INFORMAÇÕES GERAIS

Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador deve
ler atentamente o presente manual de instruções e qualquer outra
informação adicional fornecida pela Varian antes de usar a
aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela eventual
inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido
por parte de pessoas não treinadas, por operações não
autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais
específicas.
As bombas da série Turbo-V2000HT são bombas
turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, e
são capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto
gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou
partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (33000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico de três fases de alto rendimento. As bombas Turbo­V2000HT são totalmente sem agentes contaminadores e,
portanto, são adequadas para aplicações que requerem um
vácuo "limpo".
Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações
necessárias para garantir a segurança do técnico durante o uso da
aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice
"Technical Information".

Este manual utiliza as seguintes convenções:

!!!!

PERIGO!

As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para um
procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada
correctamente, poderia provocar graves lesões pessoais.

!!!!

ATENÇÃO

!

As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não observados, poderiam causar danos à
aparelhagem.

NOTA

As notas contêm informações importantes destacadas do texto.

ARMAZENAGEM

Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das
bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas as
seguintes prescrições:

• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das

bombas as condições ambientais devem ser as seguintes:

• temperatura: de –20 °C a 70 °C

• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)

• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o

cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start

• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba

turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição.

!

ATENÇÃO!

Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for supe­rior, será necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante.
Para mais informações, contatar o representante local da Varian.

PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO

A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se
apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se
durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de
vendas local.
Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou
vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399
para a protecção do meio ambiente.

!!!!

ATENÇÃO

!

Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos
os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre
luvas ou outra protecção adequada.

NOTA

A bomba não pode ser danificada permanecendo
simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema
para evitar que se suje com poeiras.

INSTALAÇÃO

!!!!

PERIGO!

A bomba, devido ao seu peso, deve ser manejada utilizando
ferramentas específicas de levantamento e deslocamento. Se
for preciso, utilizar os pinos de olhal a aparafusar nos furos
com rosca M8 posicionados na embalagem da bomba.

!!!!

ATENÇÃO

!

Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no
momento da ligação da turbobomba ao sistema

.

INSTRUÇÕES PARA O USO

10 87-900-969-01

Assegure-se de que a bomba é idónea para o tipo de
aplicação desejado. A bomba foi concebida para o uso em
sistema de bombeamento para PVD ou, em geral, para
aplicações que necessitam de vácuo “limpo”. Para quaisquer
outros tipos de aplicação, contacte a Varian Vacuum
Technologies ou o seu fornecedor de confiança.
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.

Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:

- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica

- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC

- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida
com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical
Information" para maiores detalhes.
As bombas turbomoleculares da série Turbo-V2000HT devem
ser utilizadas somente com um dos controladores Varian
específicos (série 969-9462, 969-9562) e devem ser ligadas a
uma bomba primária (ver esquema em "Technical
Information").
A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição.

!!!!

PERIGO!

O nível de potência fornecido à bomba deve ser o indicado
para o tipo de gás aspirado. Operando com o controller (con­sultar o manual do controller) é possível seleccionar AR ou
ARGON (pré-definido: ARGON). Para utilizar a bomba com
outros tipos de gases, consultar a Varian.

Fixar a turbobomba em posição estável ligando a flange de
entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de
resistir a um torque de 30000 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISOF deve ser fixada à
câmara de vácuo através de 12 parafusos M10 de aço, classe
não inferior a 8,8 (

s

r

= 800 N/mm2). Aconselhamos um torque
de aperto de 22 Nm.
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada
à câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice
"Technical Information".
Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical
Information”.

UTILIZAÇÃO

Todas as instruções para o correcto funcionamento da
turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.
Ler atentamente este manual antes da utilização.
Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o
invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante a
fase de aquecimento da câmara de vácuo, a temperatura da
flange de entrada e do rotor não deve ultrapassar 120 °C.
Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações
de aquecimento.

!!!!

PERIGO!

Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.

!!!!

ATENÇÃO

!

Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão
atmosférica).

!!!!

ATENÇÃO

!

Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da
turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.

!!!!

ATENÇÃO

!

Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou
Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical
Information").

!!!!

PERIGO!

Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.

MANUTENÇÃO

As bombas da série Turbo-V2000HT não requerem qualquer
manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por
pessoal autorizado.

!!!!

PERIGO!

Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o
conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a
válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e
até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.

Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite
obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com
defeito.

NOTA

Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou
advanced exchange service, é indispensável preencher e
enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da
mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da
expedição.

Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua
eliminação respeitando as normas nacionais específicas.

!!!!

PERIGO!

Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer
motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da
turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção
(opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou
um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar
sempre a turbobomba à base.

NÃO

!

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

11 87-900-969-01

ALGEMENE INFORMATIE

Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen
alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich
niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk
in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving.
De pompen van de serie Turbo-V2000HT zijn turbomoleculaire
pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in
staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn
niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende
turbine (max. 33000 toeren/min.) die aangedreven wordt door
een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De
Turbo-V2000HT pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen
en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon"
vacuüm verlangen.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de
apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te
vinden in de bijlage "Technical information".

Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:

!!!!

GEVAAR!

Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.

!!!!

ATTENTIE

!

Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.

OPMERKING

De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.

OPSLAG

Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten
de volgende voorschriften in acht worden genomen:

• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen

moet aan de volgende omgevingscondities worden
voldaan:

• temperatuur: van –20 °C tot 70 °C

• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet

condenserend)

• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de

Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor
de eerste keer in werking worden gesteld

• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10

maanden vanaf de verzenddatum.

!!!!

ATTENTIE!

Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet
de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer
informatie wordt verzocht contact op te nemen met de
plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.

UITPAKKEN

De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het
transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact
opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of
stoten te verduren krijgt.

Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.

!!!!

ATTENTIE

!

Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet
met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.

OPMERKING

De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan
de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden
om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het
systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof
wordt voorkomen.

INSTALLATIE

!!!!

GEVAAR!

De pomp moet, in verband met haar gewicht, met speciale hef­en vervoerswerktuigen verplaatst worden.
Gebruik voor dit doel de specifieke hijsogen die in de M8
schroefdraadopeningen in het pompomhulsel geschroefd
moeten worden.

!!!!

ATTENTIE

!

Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

12 87-900-969-01

Controleer of de pomp geschikt voor de eigen toepassing is. De
pomp is ontworpen voor gebruik binnen PVD pompsystemen of in
het algemeen voor toepassingen waarvoor een “schoon” vacuüm is
vereist. Neem contact op met Varian Vacuum Technologies of uw
leverancier voor andere toepassingen.
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar.

Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn:

- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk

- temperatuur: van +5°C tot +35°C

- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie.
De turbomoleculaire pompen van de serie V2000HT mogen
alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale
Varian controllers (serie 969-9462, 969-9562) en moeten
aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in
"Technical information").
De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd.

!!!!

GEVAAR!

Het aan de pomp geleverde krachtniveau moet aangepast
worden aan het gepompte gastype. Het is mogelijk om met
behulp van de controller (zie de handleiding van de controller)
LUCHT of ARGON te kiezen (default: ARGON). Neemt u a.u.b.
contact op met Varian als u andere gastypes wilt gebruiken.

Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die
een koppel van 30000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISOF ingangsflens moet bevestigd worden
aan de vacuümkamer met behulp van 12 M10 stalen bouten
met een sterkteklassse van niet minder dan 8.8 (

s

r

= 800

N/mm

2

). Men adviseert een aanhaalkoppel van 22 Nm.
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor
meer informatie de bijlage "Technical information".
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.

GEBRUIK

Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn
in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees aandachtig
deze handleiding vóór ingebruikname door. Om een betere
grensdruk te bereiken, kan het pomphuis verwarmd worden met
behulp van een optionele verwarmingsunit. Tijdens het eventuele
verwarmen van de vacuümkamer, mag de temperatuur van de
ingangsflens en de rotor niet meer dan 120 °C bedragen. Pas
tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe.

!!!!

GEVAAR!

Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen
aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken.

!!!!

ATTENTIE

!

Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de
atmsoferische druk) bedragen.

!!!!

ATTENTIE

!

Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen
anders beschadigd raken.

!!!!

ATTENTIE

!

Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen
van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een
stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de
lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information").

!!!!

GEVAAR!

Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare,
giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden
gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de
pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.

ONDERHOUD

De pompen van de serie Turbo-V2000HT zijn onderhoudsvrij.
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel
worden uitgevoerd.

!!!!

GEVAAR!

Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder
een temperatuur van 50 °C is gezakt .

In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.

OPMERKING

Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart
"Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het
plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van
deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking
worden gevoegd.

Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.

!!!!

GEVAAR!

Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening
van de turbopomp worden gestoken. Men raadt gebruik van
het beschermgaasje aan (optional). Als een trillingdemper of
een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt
aangebracht, de turbopomp altijd aan de basis bevestigen.

NEE

!

BRUGSANVISNING

13 87-900-969-01

GENEREL INFORMATION

Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren
bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere vejledning,
Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er ikke
ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis den kun
er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret anvendes forkert af
ukvalificeret personale, hvis der foretages uautoriserede indgreb
på det, eller hvis udstyret benyttes på en måde, der står i kontrast
til det pågældende lands særlige normer.
Turbo-V2000HT serien omfatter turbomolekulære pumper til
højvakuum og til ultra-højvakuum. Pumperne er i stand til at
pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke
egnet til at pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved
høj hastighed (max. 33000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv
trefaset elektrisk motor. Turbo-V2000HT pumperne er
fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god
anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum.
I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for
operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede
oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information ".
I denne håndbog findes følgende regler:

!!!!

ADVARSEL!

Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et
indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare
for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt.

!!!!

VIGTIGT !

Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal
overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret.

BEMÆRK

Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger.

OPBEVARING

Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre
optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære
pumper fra Varian:

• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i

forbindelse med transport, flytning og opbevaring af
pumperne:

• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,

• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).

• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved

hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af
pumperne for første gang.

• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder

fra forsendelsesdatoen.

!!!!

VIGTIGT!

Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere,
er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yder­ligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Varian
repræsentant.

FORBEREDELSE TIL MONTERING

Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage.
Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på
beskadigelse, der kan være sket under transporten.
Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til
den under udpakningen.
Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er
genbrugsmateriale i overensstemmelse med direktivet
85/399/EØF vedrørende miljøbeskyttelse.

!!!!

VIGTIGT !

For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de
bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid
handsker eller anden passende beskyttelse.

BEMÆRK

Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den
atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales
det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i
anlægget.

MONTERING

!!!!

ADVARSEL!

Grundet dens vægt må pumpen kun håndteres ved hjælp af
dertil bestemt løfte- og flytningsudstyr. I forbindelse med løft
anvendes øjeboltene, der fastspændes i de gevindskårne
huller M8 på pumpens beklædning.

!!!!

VIGTIGT !

Tapen og beskyttelsesproppen må først fjernes, når
turbopumpen sluttes til systemet.

BRUGSANVISNING

14 87-900-969-01

Kontrollér, at pumpen er egnet til den konkrete brug. Pumpen
er projekteret til brug i pumpesystemer til PVD eller generelt til
anvendelse, der kræver et "rent" vakuum. Kontakt Varian
Vacuum Technologies eller forhandleren, hvis pumpen skal
benyttes til andre former for brug.
Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der
udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende
luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller
stor brandfare.

Følgende betingelser skal overholdes under driften:

- maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk)

- temperatur: fra +5°C til +35°C

- relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).
Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag
“Technical Information” for yderligere detaljer.
Turbomolekulærpumperne i Turbo-V2000HT serien må kun
anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie
969-9462, 969-9562) og skal forbindes med en primær pumpe
(se skemaet i "Technical Information").
Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling.

!!!!

ADVARSEL!

Pumpens effektniveau skal tilpasses i forhold til den pumpede
gastype. Ved at benytte styreenheden (se brugsanvisningen for
styreenheden) er det muligt at vælge LUFT eller ARGON
(standardindstilling: ARGON). Kontakt venligst Varian, hvis
pumpen skal benyttes til andre gastyper.

Den fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange
fastgøres til en fast modflange, der er i stand til at modstå et
drejningsmoment på 30000 Nm omkring aksen.
Turbopumpen med ISOF indgangsflange skal monteres på va­kuumkammeret ved hjælp af 12 M10 stålskruer (min. styrkek­lasse 8,8 (σ

r

= 800 N/mm2)). Anbefalet tilspændingsmoment:
22 Nm.
Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til
vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele
fra Varian. For detaljer henvises til ”Technical Information”.
Se "Technical Information" for montering af optionals.

ANVENDELSE

Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er
beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.
Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.
For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen
opvarmes. I forbindelse med eventuel opvarmning af
vakuumkammeret må temperaturen for indgangsflangen og
rotoren ikke overskride 120° C. Brug altid vandafkøling under
opvarmningen.

!!!!

ADVARSEL!

Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under
opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage
kvæstelser på personer.

!!!!

VIGTIGT!

Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der
er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige
åbning skal være under 2 bar.

!!!!

VIGTIGT!

Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.

!!!!

VIGTIGT!

Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet
med en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller
kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne (se bilaget
“Technical Information”).

!!!!

ADVARSEL!

Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller
radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte
gastype strengt overholdes.
Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer.

VEDLIGEHOLDELSE

Pumperne af Turbo-V2000HT typen behøver ikke nogen
vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af
autoriseret personale.

!!!!

ADVARSEL!

Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,
skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen
ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er
standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end
50°C.

Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange
Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for
den, der er gået i stykker.

BEMÆRK

Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges
i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.

Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå i
overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.

!!!!

ADVARSEL!

For at undgå personskader må fingre eller andre
genstande aldrig indsættes i turbopumpens indløbsdysen.
Det anbefales at anvende beskyttelsesnettet (optional).
Såfremt der anvendes en befugter eller en blæsebælg af
metal på indløbsdysen, skal turbopumpen altid fastgøres til
basen.

NEJ!

BRUKSANVISNING

15 87-900-969-01

ALLMÄN INFORMATION

Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Pumparna i Turbo-V2000HT-serien är turbomolekylära pumpar
för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan
användas för pumpning av alla typer av gas eller
gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller
fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
33000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V2000HT -seriens pumpar, som
därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".

I bruksanvisningen används följande standardrubriker:

!!!!

VARNING!

Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras
exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.

!!!!

VIKTIGT !

Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som
måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.

OBSERVERA

Detta visar på viktig information i texten.

FÖRVARING

Respektera följande anvisningar för att garantera optimal pre­standa och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:

• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande

omgivningsförhållanden respekteras:

• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.

• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).

• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna

när de mottas och sätts i drift för första gången.

• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader

från leveransdatumet.

!!!!

VIKTIGT !

Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen
skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala
Varian-återförsäljaren för ytterligare information.

FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN

Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta
det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på
skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.

!!!!

VIKTIGT !

Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.

OBSERVERA

Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har
installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm
eller annat i den.

INSTALLATION

!!!!

VARNING!

Med tanke på pumpens vikt får den endast hanteras med hjälp
av därtill avsedda lyft- och flyttningsanordningar Skruva om det
behövs i öglebultarna i de gängade hålen M6 på pumpens
hölje.

!!!!

VIKTIGT !

Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska
anslutas till systemet.

Kontrollera att pumpen är lämplig för dess
användningsområde. Pumpen är konstruerad för användning i
pumpsystem för PVD eller vanliga användningsområden som
kräver ett "rent" vakuum. Kontakta Varian Vacuum
Technologies eller din leverantör om pumpen ska användas för
andra ändamål.

BRUKSANVISNING

16 87-900-969-01

Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från
atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte
heller i explosiv eller brandfarlig miljö.

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:

- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)

- temperatur: från +5°C till +35°C

- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).

I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar.
Turbomolekylärpumparna i serien V2000HT måste användas
med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9462, 969-

9562), och anslutas till en förpump (se schemat " Technical
information ").
Turbopumpen kan installeras i valfri position.

!!!!

VARNING!

Pumpens effektnivå ska anpassas till pumpad gastyp. Använd
styrenheten (se styrenhetens bruksanvisning) för att välja LUFT
eller ARGON (standardinställning: ARGON). Kontakta Varian om
pumpen ska användas till andra gastyper.

Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens
intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på
30000 Nm runt den genomgående axeln.
Turbopumpen med inloppsfläns ISOF ska fästas vid
vakuumkammaren med hjälp av 12 stålskruvar M10 med min.
hållfasthetsklass 8.8 (s

r

= 800 N/mm2). Rekommenderat
åtdragningsmoment 22 Nm.
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga ”Technical Information”
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information”.

ANVÄNDNING

Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i
styrenhetens bruksanvisning.
Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.
För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med
ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under
eventuell uppvärmning av tryckkammaren ska temperaturen för
ingångsflänsen och rotorn inte överstiga 120 °C.
Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.

!!!!

VARNING!

Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.

!!!!

VIKTIGT!

Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för
luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar
(över atmosfäriskt tryck).

!!!!

VIKTIGT!

Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.

!!!!

VIKTIGT!

För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström
av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan
“Technical information”).

!!!!

VARNING!

Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna
för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.

UNDERHÅLL

Pumparna i Turbo-V2000HT-serien är underhållsfria. Allt
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.

!!!!

VARNING!

Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens
strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.

Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en
renoverad pump.

OBSERVERA

Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.

Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.

!!!!

VARNING!

För att undvika personskador får du aldrig sticka in
fingrarna eller andra föremål i turbopumpens
intagsöppningar. Vi rekommenderar användning av
skyddsnätet (tillval). Om en vibrationsdämpare eller en
flexibel metallbälg används för intagsöppningen, måste
turbopumpen alltid fästas till fundamentet.

NEJ!

BRUKERVEILEDNING

17 87-900-969-01

GENERELL INFORMASJON

Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
Turbo-V2000HT serien med pumper er turbo-molekulære
pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan
pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke
beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 33000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V2000HT
pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for
anlegg med behov for "rene" vakuum.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".

Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:

!!!!

ADVARSEL!

Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.

!!!!

FORSIKTIG !

Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom
de ikke følges, kan føre til at utstyret skades.

MERK

Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.

LAGRING

For å garantere optimal drift og pålitelighet for Varian turbo­molekylære pumper må følgende anvisninger følges:

• Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke

følgende miljøforhold overstiges:

• Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.

• Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering).

• Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene

når de mottas og startes opp første gang.

• Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder

fra sendedato.

!!!!

FORSIKTIG!

Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må
pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale
Varian-forhandleren for informasjon.

KLARGJØRE TIL INSTALLASJON

Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser
denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten,
må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned
eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.

!!!!

FORSIKTIG !

For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.

MERK

Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge
pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er
montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedstøving.

INSTALLASJON

!!!!

ADVARSEL!

Med tanke på pumpens vekt skal den bare håndteres ved bruk
av dertil egnede løfte- og flyttingsanordninger. Ved behov må
man bruke øyeboltene som skal skrues fast i de gjengete
hullene M8 på pumpehuset.

!!!!

FORSIKTIG !

Fjern tapen og ta ut beskyttelsesproppen først når
turbopumpen skal sluttes til systemet.

Forsikre deg om at pumpen er egnet for bruken. Pumpen er
produsert for å brukes i pumpesystemer for PVD, eller generelt
hvor det kreves et "rent" vakuum. Kontakt Varian Vacuum
Technologies eller din forhandler for annet bruk.
Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.

BRUKERVEILEDNING

18 87-900-969-01

Under bruk må følgende forhold respekteres:

- maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)

- temperatur: fra +5°C til +35°C

- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens).

Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.
Turbo-V2000HT serien turbo-molekulære pumper må kun
brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969­9462, 969-9562), og må koples til hovedpumpen (se skjema i
"Teknisk informasjon ").
Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling.

!!!!

ADVARSEL!

Effektnivået til pumpen må stilles inn i forhold til gassen som
pumpes. Det er mulig å velge LUFT eller ARGON ved hjelp av
styreenheten (se styreenhetens veiledning) (standardinnstilling:
ARGON). Ta kontakt med Varian dersom pumpen skal brukes
til andre gasstyper.

Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen
festet mot en koplingsflens med et dreiemoment på 30000 Nm
rundt aksen.
Turbopumpen med ISOF inngangsflens må festes til vakuum­kammeret med 12 M10 stålskruer med en styrkeklasse på
minst 8.8 (s

r

= 800 N/mm2). Det anbefales et strammemoment
på 22 Nm.
Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til “Technical Information”.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon.

BRUK

Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i
kontrollenhetens manual.
Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk.
For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en
varmer som kan fås som ekstrautstyr. I tilfelle trykkammeret
varmes opp, må ikke temperaturen til inngangsflensen og
rotoren overskride 120°C.
Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen..

!!!!

ADVARSEL!

Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.

!!!!

FORSIKTIG!

Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2
bar (over atmosfærisk trykk).

!!!!

FORSIKTIG!

Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av
turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.

!!!!

FORSIKTIG!

Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive
gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se
“Teknisk informasjon”).

!!!!

ADVARSEL!

Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.

VEDLIKEHOLD

Turbo-V2000HT serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid
på pumpen må kun utføres av autorisert personell.

!!!!

ADVARSEL!

Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples
tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og
deretter vente til rotoren har stanset og pumpens
overflatetemperatur er lavere enn 50°C.

Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte
pumpen.

MERK

Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller
som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen
som sendes tilbake.

Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.

!!!!

ADVARSEL!

For å unngå personskader må du aldri stikke inn fingrene
eller annet i turbopumpens inngangsåpning. Vi anbefaler
bruk av beskyttelsesnettet (tilbehør). Dersom en
vibrasjonsdemper eller en fleksibel metallbelge brukes på
inngangsåpningen må turbopumpen alltid festes til
fundamentet.

NEI!

KÄYTTÖOHJEET

19 87-900-969-01

YLEISIÄ TIETOJA

Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti
mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin
toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka
johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta
laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä
laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai
kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
Turbo-V2000HT sarjan pumput ovat turbomolekyylipumppuja,
jotka on tarkoitettu korkean ja ultrakorkean tyhjiön
muodostamiseen. Ne soveltuvat kaikentyyppisien kaasujen tai
kaasuseosten pumppaamiseen. Ne eivät sovellu nesteiden tai
kiinteiden hiukkasten pumppaukseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (33000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori käynnistää.
Turbo-V2000HT sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia
aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin
käyttötarpeisiin.
Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto
laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön
aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical
Information ".
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:

!!!!

VAARA!

Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion
erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen
suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin.

!!!!

HUOMIO!

Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden
laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen.

HUOMAUTUKSET

Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot.

VARASTOINTI

Noudata seuraavia ohjeita, jotta Varian turbomolekyylinen
pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti:

• Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan,

seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:

• lämpötila: -20 °C - 70 °C.

• suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä).

• Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen

pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja
käyttäessään sitä ensimmäisen kerran.

• Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta

toimituspäivästä.

!!!!

HUOMIO!

Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee
palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varian­edustajalta.

VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN

Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa
pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti
kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys
paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun
putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja.
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on
täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä
ympäristön suojelusta.

!!!!

HUOMIO !

Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön
tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai
muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen.

HUOMAUTUS

Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On
kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään
järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen
pölyltä.

ASENNUS

!!!!

VAARA!

Ajatellen pumpun painoa, tätä tulee käsitellä ainoastaan siihen
tarkoitetulla nosto- ja siirtolaitteiston avulla. Käytä tarvittaessa
tarkoitukseen olevia nostosilmukoita, jotka tulee kiertää
pumpun rungossa oleviin kierteisiin M8 reikiin.

!!!!

HUOMIO !

Poista tarra ja irrota suojakorkki vasta silloin, kun yhdistät
turbopumpun järjestelmään.

KÄYTTÖOHJEET

20 87-900-969-01

Varmista, että pumppu soveltuu tarkoitettuun käyttöön.
Pumppu on suunniteltu käytettäväksi PVD­pumppausjärjestelmissä tai yleensä tarkoituksiin, joissa
vaaditaan "puhdasta" tyhjiötä. Ota yhteys Varian Vacuum
Technologies -yritykseen tai jälleenmyyjään, jos pumppua
halutaan käyttää muihin tarkoituksiin.
Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai
aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa
räjähdys- tai tulipalovaara.

Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä
koskevia ehtoja:

- maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine

- lämpötila: + 5°C - +35°C

- suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä).

Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical
Information“-liitteestä.
Sarjan V2000HT turbomolekyylipumppuja tulee käyttää
ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 969­9462, 969-9562) ja niiden täytyy olla yhdistettyinä
pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information").
Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.

!!!!

VAARA!

Pumpun antama tehotaso tulee sovittaa pumpattuun
kaasutyyppiin. Valitse valvojan (ks. valvojan käsikirja) avulla
ILMA tai ARGON (oletus: ARGON). Jos haluat käyttää
pumppua muilla kaasuilla, ota yhteys Varian-yritykseen.

Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä
turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka
kannattaa 30000 Nm momenttia akselinsa ympärillä, tai
käyttäen tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen
kiinnittämiseen.
ISOF-imulaipalla varustettu turbopumppu tulee kiinnittää
tyhjökammioon 12 teräsruuvilla M10, joiden luokka ei ole alle

8.8 (

s

r

= 800 N/mm2). Suosittelemme 22 Nm
kiristysmomenttia.
Torbopumppu ConFlat siaääntilolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information”. – liittestä.
Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical
Information" osassa.

KÄYTTÖ

Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet
löytyvät valvojan käsikirjasta.
Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa.
Parempien rajapaineiden saavuttamiseksi pumpun kotelo
voidaan kuumentaa käyttämällä lisätilauksesta saatavaa
kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana
sisääntulolaipan ja roottorin lämpötila ei saa olla yli 120°C.
Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen.

!!!!

VAARA!

Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin
kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan
henkilöiden loukkaantumisia.

!!!!

HUOMIO!

Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai
jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia.
Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla
alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine).

!!!!

HUOMIO!

Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan
aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.

!!!!

HUOMIO!

Aggressiivisten kaasujen pumppausta varten nämä pumput on
varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kuljettaa pumppuun
ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit suojataan
(katso liite “Technical information”).

!!!!

VAARA!

Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka
kaasuun sopivaa menettelytapaa.
Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.

HUOLTO

Sarjan Turbo-V2000HT pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa.
Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu
henkilö.

!!!!

VAARA!

Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä
verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen
tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä
pysähtymistä ja että pumpun pintalämpö on alle 50°.

Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka
mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen
tilalle.

HUOMAUTUS

Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai
advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti
täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon
"Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä
ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää
pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä.

Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa kansallisen
lainsäädännön määräämällä tavalla.

!!!!

VAARA!

Älä koskaan aseta sormiasi tai muita esineitä turbopumpun
syöttöaukon sisään, sillä ne saattavat ruhjoutua pahasti.
Suosittelemme pikkuisen suojaverkon käyttöä
(valinnainen), mikäli syöttöaukossa käytetään
tärinänvaimenninta tai taipuisia metallipalkeita. Kiinnitä
turbopumppu aina jalustaan kiinni.

EI!

ODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHSODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHS

21 87-900-969-01

GENIKES PLHROFORIES

GENIKES PLHROFORIESGENIKES PLHROFORIES

GENIKES PLHROFORIES

Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj
qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj
egceir∂diou kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h

Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj.
H Varian den f◊rei kam∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ

aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj
anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ÿ crÿsh pou
den sumfwne∂ me touj eidikoÚj eqnikoÚjkanonismoÚj.

Oi antl∂ej thj seir£j Turbo-V2000HT e∂nai strobilomoriak◊j
antl∂ej gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na
antlÿsoun k£qe e∂douj a◊rio ÿ aerioÚco sustatikÒ. E∂nai
akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmatid∂wn.
H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou

peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 33000 s.a.l.), h
opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r uyhlÿj

apÒdoshj.... Oi antl∂ej Turbo-V2000HT den peri◊coun rupantikoÚj

par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia efarmog◊j pou
apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ.
Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej
plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th
di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j

plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø.
Aut

AutAut

AutÒÒÒÒ to egceir

to egceir to egceir

to egceir∂∂∂∂dio crhsimopoie

dio crhsimopoiedio crhsimopoie

dio crhsimopoie∂∂∂∂ ti

ti ti

tijjjj ak

ak ak

akÒÒÒÒlouqe

louqelouqe

louqejjjj sumb

sumb sumb

sumb££££sei

seisei

seij¿

j¿j¿

j¿

!!!!

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se m∂a
diadikas∂a ÿ se m∂a eidikÿ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂
swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.

!!!!

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi
opo∂ej an den ektelestoÚn me prosocÿ, qa mporoÚsan na
prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuÿ.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun
apospaste∂ apÒ to ke∂meno.

APO

APOAPO

APOQHKEUSH

QHKEUSHQHKEUSH

QHKEUSH

Gia na egguhqe∂ to M◊gisto ep∂pedo leitourgikÒthtaj kai axiopist∂aj
twn Strobilomoriakèn antlièn Varian, pr◊pei na throÚntai oi exÿj
prodiagraf◊j¿

• kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqÿkeush twn antlièn

den pr◊pei na uperba∂nontai oi exÿj periballontik◊j sunqÿkej¿

• qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj 70 °C

• scetikÿ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh)

• o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me ton

trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se
leitourg∂a gia prèth for£

• o crÒnoj apoqÿkeushj m∂aj strobilomoriakÿj antl∂aj e∂nai 10

mÿnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolÿj.

!!!!

PROSOCH

PROSOCH PROSOCH

PROSOCH

E£n, gia opoiodÿpote lÒgo, o crÒnoj apoqÿkeushj e∂nai megalÚteroj,
crei£zetai na epistr◊yete thn antl∂a sto ergost£sio. Gia k£qe
plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnÿsete me thn topikÿ
antiproswpe∂a thj Varian.

PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH

PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASHPROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH

PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH

H antl∂a promhqeÚetai m◊sa se m∂a eidikÿ prostateutikÿ
suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na
◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, sumbouleute∂te

to topikÒ tmÿma pwlÿsewn.
Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste
idia∂terh prosocÿ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂ h

antl∂a.
Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ
anakuklèènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj

E.O.K. 85/399 gia thn diafÚlaxh tou perib£llontoj.

!!!!

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Prokeim◊nou na apofÚgete problÿmata apÒ thn apeleuq◊rwsh
aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmÿmata pou prÒkeitai na
ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ÿ £llh
kat£llhlh prostas∂a.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

H antl∂a den katastr◊fetai an aplèj ekteqe∂ ston
atmosfairikÒ a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn
kratÿsete kleistÿ m◊cri th stigmÿ pou qa egkatastaqe∂ sto
sÚsthma, ◊tsi èste na apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ
th skÒnh.

EGKATASTASH

EGKATASTASHEGKATASTASH

EGKATASTASH

!!!!

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

H antl∂a, lÒgw tou b£rouj thj, pr◊pei na metakinhqe∂
diam◊sou eidikèn ergale∂wn anÚywshj kai metak∂nhshj. En
an£gkh crhsimopoie∂te touj eidikoÚj kr∂kouj pou pr◊pei na
bidwqoÚn stij elikoeide∂j op◊j M8 ftiagm◊nej sto per∂blhma
thj antl∂aj.

!!!!

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Xekollÿste to autokÒllhto kai bg£lte to prostateutikÒ
kap£ki mÒno th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto
sÚsthma.

Bebaiwqe∂te Òti h antl∂a e∂nai kat£llhlh gia thn efarmogÿ
thj. H antl∂a ◊cei scediaste∂ gia th crÿsh se sustÿmata

£ntlhshj gia PVD ÿ genik£ gia efarmog◊j stij opo∂ej
apaite∂tai ◊na "kaqarÒ" kenÒ. Epikoinwnÿste me thn Varian
Vacuum Technologies ÿ me ton promhqeutÿ saj gia £llej

efarmog◊j.

ODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHSODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHS

22 87-900-969-01

H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ÿ na
crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj
par£gontej (brocÿ, p£go, ciÒni), skÒnej, polemik£ a◊ria, se
cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j.

Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi
akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj:

- m◊g. p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh

- qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 35°C

- scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).

Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na
prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to

par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej
leptom◊reiej.

Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V2000HT pr◊pei
na crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj eidikoÚj elegkt◊j

Varian (seir◊j 969-9462, 969-9562) kai pr◊pei na e∂nai
sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scÿma stij
øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).
H tourmpoantl∂a mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote
q◊sh.

!!!!

KKKKINDUNOS

INDUNOSINDUNOS

INDUNOS!

Η στάθµη ισχύος που χορηγείται από την αντλία πρέπει να
προσαρµοστεί στον τύπο αντλούµενου αερίου. Ενεργώντας µέσω του
controller (βλέπε το εγχειρίδιο του controller) είναι δυνατό να επιλέξετε
ΑΕΡΑ ή ΑΡΓΟΝ (προεπιλογή: ΑΡΓΟΝ). Για τη χρησιµοποίηση της
αντλίας µε διαφορετικά αέρια παρακαλούµε να επικοινωνήσετε µε την

Varian.

Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerÿ q◊sh enènontaj th
fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza ikanÿ na na

antistaqe∂ se ◊na zeÚgoj 30000 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj.

Η στροβιλαντλία µε φλάντζα εισόδου ISOF πρέπει να στερεωθεί
στο θάλαµο κενού δια µέσου 12 χαλύβδινων βιδών M10 όχι
κατώτερης κατηγορίας από 8.8 (σ

r

= 800 N/mm2). Συνιστάται µια

ροπή κλεισίµατος 22 Nm.

H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na
sterewqe∂ ston q£lamo kenoÚ m◊sw thj eidikÿj mikrotecn∂aj

Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma
"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".

Gia thn egkat£stash twn proairetikèn exarthm£twn, bl◊pe
"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".

CRHSH

CRHSHCRHSH

CRHSH

/Olej oi odhg∂ej gia gia th swstÿ leitourg∂a thj
tourmpoantl∂aj peri◊contai sto egceir∂dio thj mon£daj
el◊gcou.
Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crÿsh.
Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na
qerm£nete to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton
proairetikÒ qermantÿra. Kat£ thn endecÒmenh q◊rmansh tou
qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a thJ fl£ntzaJ eisÒdou kai tou

rÒtora den pr◊pei na e∂nai anèterh apÒ 120°C. Kat£ th
q◊rmansh na crhsimopoie∂te p£nta ugrÿ yÚxh.

!!!!

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartÿmat£
thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂
na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.

!!!!

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra
ÿ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh
eisÒdou diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh

apÒ 2 bar (p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh).

!!!!

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ
metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se
leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta
kouzinevta.

!!!!

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai
efodiasm◊nej me m∂a eidikÿ qur∂ da m◊sw thj opo∂aj e∂nai
anagka∂a h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (£zwto ÿ argÒn) gia
thn prostas∂a twn roulem£n (bl◊pe par£rthma øTecnik◊j
Plhrofor∂ejø).

!!!!

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,
eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂ste tij kat£llhlej
diadikas∂ej eidik£ gia to k£qe a◊rio.
Mhn crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂aj ekrhktikèn aer∂wn.

SUNTHRHSH

SUNTHRHSHSUNTHRHSH

SUNTHRHSH

Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V2000HT de crei£zontai
kam∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai
apÒ exousiodothm◊no proswpikÒ.

!!!!

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a,
aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn
antl∂a ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da anam◊nete m◊cri thn
plÿrh akinhtopo∂hsh tou rÒtora kai perim◊nete m◊cri h
qermokras∂a thj epif£neiaj thj antl∂aj na e∂nai katèterh

apÒ 50° C.

Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto s◊rbij
episkeuèn Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”,

pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn
calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh eniscum◊nh.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ
ÿ gia

advanced exchange service,

e∂nai apara∂thto na
sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o
Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai uge∂aø sunhmm◊no sto
parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei
na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn
apostolÿ.

Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na
katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj.

!!!!

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Gia thn apofugÿ proswpikoÚ traumatismoÚ mh q◊tete
pot◊ gia kan◊na lÒgo, ta d£ktula ÿ £lla antike∂mena
sto stÒmio thj eisÒdou thj tourmpoantl∂aj.
SumbouleÚetai h crÿsh prostateutikoÚ ductioÚ
(proairetikÒ). An crhsimopoie∂tai ◊naj sigastÿraj
kat£ twn donÿsewn ÿ ◊na mikrÒ elastikÒ fuserÒ sto
stÒmio thj eisÒdou, stereènete p£nta thn
tourmpoantl∂a sth b£sh.

OCIç

OCIçOCIç

OCIç

INSTRUCTIONS FOR USE

23 87-900-969-01

GENERAL INFORMATION

This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions, im­proper use by untrained persons, non-authorized interference
with the equipment or any action contrary to that provided for
by specific national standards.
The Turbo-V 2000HT series pumps are turbo-molecular pumps
for high and ultra-high vacuum applications and can pump any
type of gas or gas compound. They are not suitable for pump­ing liquids or solid particles. The pumping action is obtained
through a high speed turbine (max. 33000 rpm) driven by a
high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V 2000HT
pumps are free of contaminating agents and, therefore, are
suitable for applications requiring a "clean" vacuum.
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the equip­ment. Detailed information is supplied in the appendix "Techni­cal Information".
This manual uses the following standard protocol:

!!!!

WARNING!

The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not fol­lowed correctly, could lead to serious injury.

!!!!

CAUTION

The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.

NOTE

The notes contain important information taken from the text.

STORAGE

In order to guarantee the maximum level of performance and
reliability of Varian Turbomolecular pumps, the following guide­lines must be followed:

• when shipping, moving and storing pumps, the following
environmental specifications should not be exceeded:

• temperature range: -20 °C to 70 °C

• relative humidity range: 0 to 95% (non condensing)

• the turbomolecular pumps must be always soft-started

when received and operated for the first time by the cus­tomer

• the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from
the shipping date.

!!!!

CAUTION

If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has
to be returned to the factory. Please contact the local Varian
Vacuum Sales and Service representative for informations.

PREPARATION FOR INSTALLATION

The pump is supplied in a special protective packing. If this
shows signs of damage which may have occurred during
transport, contact your local sales office.
When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid
any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.

!!!!

CAUTION

In order to prevent outgassing problems, do not use bare
hands to handle components which will be exposed to vacuum.
Always use gloves or other appropriate protection.

NOTE

Normal exposure to the environment cannot damage the pump.
Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed
in the system, thus preventing any form of pollution by dust.

INSTALLATION

!!!!

WARNING!

Cause its weight, the pump must be handled by means of suit­able moving and handling tools.
Use the suitable handling kit eyebolts screwing them into the
M8 holes of the pump envelope.

!!!!

CAUTION

Do not remove the adhesive and protective cap before
connecting the turbopump to the system.

INSTRUCTIONS FOR USE

24 87-900-969-01

Ensure that the pump is suitable for your application. The
pump is designed for PVD system pumping applications or
clean general vacuum applications. Contact Varian Vacuum
Technologies or your supplier if you want to use the pump on
any other application.
Do not install or use the pump in an environment exposed to
atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,
or in explosive environments or those with a high fire risk.

During operation, the following environmental conditions must
be respected:

− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure

− temperature: from +5 °C to +35 °C

− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)

In the presence of magnetic fields the pump must be protected
using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical In­formation" for detailed information.The Turbo - V 2000HT se­ries pumps must only be used with one of the special Varian
controllers (series 969-9462, 969-9562) and must be con­nected to a primary pump (see "Technical Information").
The turbopump can be installed in any position.

!!!!

WARNING!

The power level to the pump must be set according to the
pumped gas. It is possible to select AIR or ARGON by means
of the controller (see the relevant instruction manual). Please
contact Varian if you want to use the pump with other gas
types.

Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet
flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of
withstanding a torque of 30000 Nm around its axis.
The turbopump with ISOF inlet flange must be fixed to the vac­uum chamber by means of 12 M10 bolts with a strength class
at least of 8.8 (σ

r

= 800 N/mm2). A fixing torque of 22 Nm is
suggested.
The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Varian hard­ware. See the appendix "Technical Information" for a detailed
description.
For installation of optional accessories, see "Technical
Information".

USE

All the instructions for the correct use of the turbopump are
contained in the control unit manual.
Read the manual carefully before using the pump.
In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump
casing may be heated using the optional heater. While heating
the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed
120 °C. Always use the water cooling system during the heat­ing operations.

!!!!

WARNING!

Do not touch the turbopump or any of its accessories during
the heating process. The high temperatures may cause burns.

!!!!

CAUTION

Use air or inert gas free from dust or particles for venting the
pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar
(above atmospheric pressure).
Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump
when in operation. The bearings may become damaged.

!!!!

CAUTION

For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a
special port to allow a steady flow of inert gas (like N

2

, Ar) for
pump bearing protection (see the appendix "Technical Informa­tion").

!!!!

WARNING!

When employing the pump for pumping toxic, flammable, or
radioactive gases, please follow the required procedures for
each gas disposal.
Do not use the pump in presence of explosive gases.

MAINTENANCE

The Turbo-V 2000HT series pump does not require any main­tenance. Any work performed on the pump must be carried out
by authorized personnel.

!!!!

WARNING!

Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it
from the supply, vent the pump by opening the appropriate
valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the
surface temperature of the pump falls below 50 °C.

In the case of breakdown, contact your local Varian service
center who can supply a reconditioned pump to replace that
broken down.

NOTE

Before returning the pump to the constructor for repairs, or re­placement with a reconditioned unit, the "Health and Safety"
sheet attached to this instruction manual must be filled-in and
sent to the local sales office. A copy of the sheet must be in­serted in the pump package before shipping.

If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accor­dance with the specific national standards.

!!!!

WARNING!

To avoid injury, never put fingers or any objects whatso­ever in the inlet port of the turbopump. The use of the pro­tective screen is strongly advised (optional extra). If a
vibration damper or flexible metallic bellows are used on
the inlet port, make sure that the pump is fixed to the base.

NO!

TECHNICAL INFORMATION

25 87-900-969-01

DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP

The Turbo-V2000HT pump is available in two ver­sions which differ only in their inlet flange.
They are:

− Model 969-9084 with ConFlat 12” external di­ameter high vacuum flange

− Model 969-9059 with ISO F high vacuum flange

Model 969-9084

Model 969-9059

The Turbo-V2000HT pump consists of a high fre­quency motor driving a turbine fitted with 8 bladed
stages and 4 Macrotorr stages. The turbine rotates
in an anticlockwise direction when viewed from the
high vacuum flange end.
The turbine is made of high-strength, light alumin­ium alloy, and is machined from a single block of
aluminium. The turbine stages have seven differ­ent angles, from 44° to 16°, while the Macrotorr
stages are in form of discs.
The turbine rotor is supported by permanently lu­bricated high precision ceramic ball bearings in­stalled on the forevacuum side of the pump.
The static blades of the stator are made of
stainless steel with five different blade angles from
44° to 16°. These are supported and accurately
positioned by spacer rings.
The Macrotorr stators are in the form of self­positioning machined discs with pumping channels
and an opening restricted by the corresponding ro­tor discs. These are made of aluminium alloy.
During normal operation, the motor is fed with a
voltage of 120 Vac three-phase at 550 Hz. To re­duce losses during start-up to a minimum, the fre­quency increases according to a ramp with a
higher initial voltage/frequency ratio.
A water cooling kit is available to cool down the
pump in the case where it is used under heavy
load or when the ambient temperature is insuffi­cient for cooling purposes.
Two thermistor sensors are mounted near the
bearings to prevent the pump from overheating.
The thermistor sensors, the motor stator windings
and the earth are connected to a Turbo-V control­ler through a 8 pin socket on the side of the pump.
The pump is balanced after assembly with a resid­ual vibration amplitude less than 0.01 µm.
The pump can operate in any position and can be
supported on the high vacuum flange or on its
base. The connection of the forevacuum on the
side of the pump is a KF 40 flange.

TECHNICAL INFORMATION

26 87-900-969-01

TECHNICAL SPECIFICATION

The following figure shows the Turbo-V2000HT pump outline drawing. Dimensions are in inches [mm].

Pumping speed N2: 1950 l/s

He: 2000 l/s
H

2

: 1500 l/s

Compression ratio N2: >1 x 109

He: 2 x 10

6

H

2

: 2 x 105

Base pressure* Minimum with recommended

mechanical forepump:
1 x 10

-10

mbar (7.5 x 10

-11

Torr)

Inlet flange CFF 12" O.D.

ISO 250

Foreline flange KF 40 NW

Rotational speed 33000 RPM

Start-up time 10 minutes

Recommended
forepump

DS 602
TriScroll 600

Operating position Any

Cooling requirements Water

Max rotor temperature 120 °C

Operating ambient
temperature

+ 5° C to + 35° C

Coolant water minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM)

temperature: + 10° C to + 20° C
pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 Psi)

Bakeout temperature 120° C max. at CF inlet flange

80° C max. at ISO inlet flange

Max permissible rotor
temperature

120 °C

Vibration level (dis­placement)

< 0.01 µm at inlet flange

Input 120 Vac, three phase, 550 Hz

Lubricant permanent lubrication

Installation category II

Pollution degree 2

Storage temperature - 20° C to + 70° C

Weight kg (lbs) ISO 250: 44 (96.8)

CFF 12”: 55 (121)

* According to standard DIN 28 428, the base
pressure is that measured in a leak-free test dome,
48 hours after the completion of test dome bake­out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange
and using the recommended pre-vacuum pump.

TECHNICAL INFORMATION

27 87-900-969-01

Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure

Graph of compression ratio vs foreline pressure

Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using

the recommended mechanical forevacuum pump

TECHNICAL INFORMATION

28 87-900-969-01

INLET SCREEN INSTALLATION

The inlet screens prevents the blades of the pump
from being damaged by debris greater than 3 mm
diameter. The inlet screen, however, will reduce
the pumping speed by about 20%.
The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure and can be mounted
on each pump model.

The screen can be mounted on each pump model.
The inlet screen can be removed as shown in the
following figure.

The following figure shows the pump flange sec­tions with the protection screen fitted on them. As
you can see, the overall dimensions do not change
as the inlet screen remains inside the pump profile.

WATER COOLING KIT INSTALLATION

Two types of water cooling kits are available to be
mounted when the pump is used under heavy load
conditions or when air cooling is insufficient.

The two model part numbers are: 969-9338 (metal­lic model), and 969-9348 (plastic model).

Model 969-9338

Model 969-9348

!!!! CAUTION

The items of the plastic model kit must be assem­bled as shown in the following figure

The assembled kit must be screwed into the suit­able holes of the pump body with a recommended
closing torque of 5 Nm.

TECHNICAL INFORMATION

29 87-900-969-01

Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic
hoses from the water supply must be fitted to the
two nozzles.

NOTE

These hoses must be held on the respective noz­zles using hose clips to avoid that the tube(s) gets
loose or disconnected during operation.

Cooling may be carried out either through an open
circuit with eventual discharge of the water, or us­ing a closed circuit cooling system.

The water temperature must be between +10°C
and +20°C, with an inlet pressure between 3 and 5
bar. This allows a flow of about 200 l/h.

NOTE

The water electrical conductance must be ≤ 500
µs/cm. When the conductance is higher, in closed
water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole
is suggested.

The overall dimensions of the pump when
equipped with the water cooling kit mounted are
shown in the following figure (dimensions are in
inches [mm]).

TECHNICAL INFORMATION

30 87-900-969-01

VENT DEVICE INSTALLATION

The vent device mod. 969-9831 allows to avoid
undesired venting of the pump during a temporary
power failure (adjustable time up to 36 min.), and
enables an automatic vent operation.

Unscrew and remove the threaded plug (see figure
below).

Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, tak­ing care of the o-ring right position.

Assemble the seal ring and lock the vent device in
position using the KF klamp.

VENT VALVE INSTALLATION

The vent valve mod. 969-9843 allows to avoid un­desired venting of the pump during a temporary
power failure (5 sec maximum), and enables an
automatic vent operation.

Unscrew the threaded plug (see figure below).

Screw the vent valve into the pump without insert­ing the supplied adapter between the valve and the
pump.

Tighten the valve using a 16 mm. hexagonal span­ner with a torque of 2.5 Nm.

!!!! CAUTION

Do not overtighten the valve as this may damage
the thread on the pump.

TECHNICAL INFORMATION

31 87-900-969-01

GAS PURGE VALVE INSTALLATION

A gas purge valve is available to protect the pump
bearings against particulate and corrosive gases
that could move into the pump.

To install the gas purge valve it is necessary to un­screw the purge port cover as shown in the follow­ing figure,

and then screw the gas purge valve (with a torque
of 2.5 Nm) as shown in the following figure.

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES

To prevent damage to the bearings, an inert gas
must flow into the pump body around the upper
bearing towards the forevacuum line.

To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the
pump through the purge port, connect a gas purge
valve between the pressure regulator and the
pump (see the following figure). Adjust the pres­sure regulator in order to obtain the necessary gas
purge flow rate according to the application.

!!!! CAUTION

To prevent bearing damage, Varian suggests the
following purge gas flow rates: 10 sccm (0.17 mbar
l/s) for a mild purge process, or 20 sccm (0.34
mbar l/s) for an heavy process. Please contact
Varian for specific applications.

The purge gas throughput with the recommended
forepump of 15 m

3

/h (11 CFM) allows to achieve a

high vacuum pressure in the 10

-9

mbar range.

The recommended gas flow maintains a pressure into
the pump body higher than the forevacuum pressure.

TECHNICAL INFORMATION

32 87-900-969-01

The recommended procedure to vent the system
and the pump avoiding the contact between the
pump bearings and the corrosive gas is described
in the following points:

1. Close the corrosive gas flow into the system.

2. Leaving the Turbo-V pump and the backing

pump running and the purge gas flowing, wait
for enough time to evacuate the corrosive gas
from the system.

3. Turn off the Turbopump.

4. Open the Turbo-V vent port slowly until to

reach atmospheric pressure in the system.

5. Turn off the Turbopump.

6. When the Turbo-V pump and the backing

pump are stopped and the system is at at­mospheric pressure, for a better bearing pro­tection it is advisable to leave the purge gas
flowing into the Turbo-V pump, with the
chamber or the Turbo-V vent valve opened, to
avoid system overpressures. If the vent valve
can't be kept opened, the backing pump
should be left operating.

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM

1. Turbo-V controller

2. Vent valve

3. Vacuum pump shut-off valve (optional)

4. System vent valve (optional)

5. Vacuum chamber

6. Ionisation gauge

7. Fore-vacuum pump connecting flange

8. Oil mist eliminator

9. Fore-vacuum pump with internal one-way valve

10. Fore-vacuum pump control relay

11. Connection for water cooling

12. Roughing line with valve (optional)

13. Turbopump

14. Flexible connection

Connection A - HIGH VACUUM FLANGE

To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange,
remove the outer ring and position the centering
ring as shown in the figure.

Then fix the two flanges by means of 12 M10 steel
screws.

1. Purge gas line

2. Pressure regulator

3. Gas purge valve

4. Gas purge port

5. Forevacuum pump

6. Turbopump

7. Vent valve

TECHNICAL INFORMATION

33 87-900-969-01

For ConFlat flange connections we recommend
using Varian hardware. Other hardware can be
used if it satisfies to this specifications:

− stainless steel screws

− minimum strength point of 500 N/mm

2

− length: 63.5 mm (2.5 inches).

To facilitate assembly and dismantling, apply Fel­pro C-100 high temperature lubricant to the screw
threads protruding from the flange and between
the nuts and flange.

!!!! CAUTION

Exercise care when tightening nuts and bolts to
avoid creating dents in the envelope as this may
cause the pump rotor to lock.

Connection B - FORE-VACUUM PUMP

A flange KF 40 NW is available to connect the Tur­bopump to the fore-vacuum pump. A hose or vac­uum approved pipe can be used. If a rigid pipe is
used, any vibration generated by the mechanical
pump must be eliminated through the use of bel­lows.

NOTE

The Turbo pump is characterized by its high com­pression ratio also for oil vapors. When using a
mechanical oil-sealed pump, it is advisable to in­stall a suitable trap between the turbopump and the
fore-vacuum pump in order to prevent oil back­streaming.

Connection C - ELECTRICAL

The turbopump is connected to the controller
through an 8-pin connector. Pins B, C and D are
the 3-phase supply to the motor, pins A and F are
connected to the upper bearing temperature sen­sor, pins A and G are connected to the lower bear­ing temperature sensor and pin E is connected to
the pump ground; pin H is not connected.

If one temperature sensor is disconnected, the
pump will not start. To prevent damage to the
pump when the temperature exceeds 60° C, the
sensor automatically cuts out the power supply.

TECHNICAL INFORMATION

34 87-900-969-01

MOVING THE GAS PURGE VALVE AND
FOREVACUUM PUMP CONNECTIONS

All the pneumatic connections to the Turbo­V2000HT pump can be moved to its bottom (see
the following figure).

To move the gas purge valve to the bottom of the
pump make the following steps:

1. Unscrew the gas purge valve from the side of
the pump

2. Unscrew the purge port cover on the bottom of
the pump and screw it on the side

3. Screw the gas purge valve (with a torque of 2.5
Nm) in the bottom of the pump.

To move the forevacuum pump flange to the bot­tom of the pump make the following steps:

1. Unscrew the three screws that fix the forevac­uum blank flange to the bottom of the pump

2. Unscrew the three screws that fix the forevac­uum flange to the side of the pump

3. Fix the forevacuum flange to the bottom of the
pump using the relevant three screws

4. Fix the forevacuum blank flange to the side of
the pump using the relevant three screws.

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC
FIELDS

Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of
a turbomolecular pump that tend to oppose to its
rotation.

The result is increased electrical power consump­tion by the motor, most of which is dissipated in the
rotor.

Since the rotor is not in contact with the stator the
above power can leave the rotor mainly by radia­tion and hence the rotor may be overheated while
static parts of the pump remain cool. This effect is
strongly dependant from the intensity, time function
and distribution of the magnetic field. In general,
therefore, an increase in pump current can be ex­pected.

If this increase is lower than 50% of the current
value drawn by the motor in high vacuum opera­tion, no particular problem should be expected.
However if the effect is grater, than the case
should be carefully reviewed by Varian's specialist.
As a matter of fact, in case of high magnetic fields,
also important forces might be generated and ap­plied to the rotor.

ACCESSORIES

DESCRIPTION PART NUMBER

Inlet screen 969-9350

Water cooling kit 969-9338

Plastic water cooling kit 969-9348

Vent flange NW 10 KF (M8) 969-9108

Vent valve with fixed delay time 969-9843

Vent device with adjustable delay
time

969-9831

Heavy duty vent valve 969-9842

Purge valve KF16-M12 10 SCCM 969-9239

Purge valve 7/16-M12 10 SCCM 969-9240

Purge valve KF16-M12 20 SCCM 969-9241

Purge valve 7/16-M12 20 SCCM 969-9242

Triscroll Dry Vacuum Pump PTS
600 single phase, universal motor

PTS06001UNIV

Triscroll Dry Vacuum Pump PTS
600 3 phase, universal motor

PTS06003UNIV

Dual stage rotary vane pump DS
602 with single phase motor

949-9335

Dual stage rotary vane pump DS
602 with 3 phase motor

949-9336

For a complete overview of Varian's extensive
product lines, please refer to the Varian catalog.

Request for Return

1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.

2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).

3. The customer is expected to take the following actions to ensure the

Safety

of workers at Varian: (a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).

4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.

North and South America

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Ave

Lexington, MA 02421

Phone : [phone]

Fax: [phone]

Europe and Middle East

Varian SpA

Via Flli Varian 54

10040 Leini (TO) – ITALY

Phone: [phone]

Fax: [phone]

Asia and ROW

Varian Vacuum Technologies

Local Office

CUSTOMER INFORMATION

Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….

Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....

Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..

Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..

Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only: Taxable Non-taxable

Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...

……………..…………………... ..………………………………...

………………..………………... ..………………………………...

PRODUCT IDENTIFICATION

Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference

TYPE OF RETURN (check appropriate box)

Paid Exchange Paid Repair

Warranty Exchange

Warranty Repair

Loaner Return

Credit Shipping Error

Evaluation Return

Calibration

Other ……………….

HEALTH and SAFETY CERTIFICATION

Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.

The equipment listed above (check one):

HAS NOT

been exposed to any toxic or hazardous materials

OR

HAS

been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that

equipment was exposed to, check all categories that apply:

Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive

List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.

.……………………………………………………………………………………………………………………..

Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….

Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……

NOTE:

If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed,

the customer

will be held responsible

for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and

is liable

for any harm or injury to Varian

employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.

Do not write below this line

Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..

Request for Return

FAILURE REPORT

TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS

POSITION PARAMETERS

Does not start

Noise

Vertical

Power: Rotational Speed:

Does not spin freely

Vibrations

Horizontal

Current: Inlet Pressure:

Does not reach full speed

Leak

Upside-down

Temp 1: Foreline Pressure:

Mechanical Contact

Overtemperature Other: Temp 2: Purge flow:

Cooling defective …………………. OPERATION TIME:

TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:

ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS

Bad feedthrough

Poor vacuum

Main seal leak

Bellows leak

Vacuum leak

High voltage problem

Solenoid failure

Damaged flange

Error code on display

Other

Damaged sealing area

Other

Customer application:

Customer application:

LEAK DETECTORS INSTRUMENTS

Cannot calibrate

No zero/high backround

Gauge tube not working Display problem

Vacuum system unstable

Cannot reach test mode

Communication failure

Degas not working

Failed to start

Other

Error code on display

Other

Customer application:

Customer application:

PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS

Pump doesn’t start

Noisy pump (describe)

Heater failure

Electrical problem

Doesn’t reach vacuum

Over temperature

Doesn’t reach vacuum

Cooling coil damage

Pump seized

Other

Vacuum leak

Other

Customer application:

Customer application:

FAILURE DESCRIPTION

(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):

NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.

Sales and Service Offices

Argentina
Varian Argentina Ltd.

Sucursal Argentina
Av. Ricardo Balbin 2316
1428 Buenos Aires
Argentina
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Australia
Varian Australia Pty Ltd.

679-701 Springvale Road
Mulgrave, Victoria ZZ 3170
Australia
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Benelux
Varian Vacuum Technologies

Rijksstraatweg 269 H,
3956 CP Leersum
The Netherlands
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Brazil
Varian Industria e Comercio Ltda.

Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644
Vila Olimpia
Sao Paulo 04548 005
Brazil
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Canada
Central coordination through:

Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Toll Free: [phone]

China
Varian Technologies - Beijing

Room 1201, Jinyu Mansion
No. 129A, Xuanwumen Xidajie
Xicheng District
Beijing 1000031 P.R. China
Tel: [phone]
Fax: [phone]

France and Wallonie
Varian s.a.

7 avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH

Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: [phone]
Fax: [phone]

India
Varian India PVT LTD

101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Italy
Varian Vacuum Technologies

Via F.lli Varian, 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Japan
Varian Vacuum Technologies

Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Korea
Varian Technologies Korea, Ltd.

Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Mexico
Varia n S.A.

Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Ta i w a n
Varian Technologies Asia Ltd.

18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road
Sec. 1, Hsi Chih
Taipei Hsien
Tai wan, R .O.C .
Tel: [phone]
Fax: [phone]

UK and Ireland
Varia n L td.

28 Manor Road
Walton-On-Thames
Surrey KT 12 2QF
England
Tel: [phone]
Fax: [phone]

United States
Varia n Va cuum Tec h nologie s

121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Toll Free: [phone]

Other Countries
Varia n Va cuum Tec h nologie s

Via F.lli Varian, 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Internet Users:

Customer Service & Technical Support:

[e-mail]

Wor l dwid e Web Si te:

www.varianinc.com/vacuum

Order On-line:

www.evarian.com

Representatives in most countries

11/01