Varian Turbo-V 1800A Instruction Manual

Turbo-V 1800A

Model 969-9064
Model 969-9065
Model 969-9066

MANUALE DI ISTRUZIONI

BEDIENUNGSHANDBUCH

NOTICE DE MODE D’EMPLOI

MANUAL DE INSTRUCCIONES

MANUAL DE INSTRUÇÕES

BEDRIJFSHANDLEIDING

INSTRUKSTIONSBOG

BRUKSANVISNING

INSTRUKSJON MANUAL

OHJEKÄSIKIRJA

ODHGIES CRHSEWS

INSTRUCTION MANUAL

87-900-867-01(A)
APRIL 2002

View

our inventory

Turbo-V 1800A

ISTRUZIONI PER L’USO ....................................................................................................1

GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3

MODE D’EMPLOI................................................................................................................5

INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7

INSTRUÇÕES PARA O USO..............................................................................................9

GEBRUIKSAANWIJZINGEN ............................................................................................. 11

BRUGSANVISNING ..........................................................................................................13

BRUKSANVISNING........................................................................................................... 15

BRUKERVEILEDNING ...................................................................................................... 17

KÄYTTÖOHJEET ..............................................................................................................19

PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21

INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23

TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25

DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25

TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26

INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28

HEATER BAND INSTALLATION.................................................................................................28

GAS PURGE VALVE INSTALLATION ........................................................................................29

VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................29

VENT DEVICE INSTALLATION ..................................................................................................29

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM.....................................................................................................30

Connection A - HIGH VACUUM FLANGE.........................................................................30

Connection B - FORE-VACUUM PUMP............................................................................31

Connection C - ELECTRICAL............................................................................................31

WATER COOLING CONNECTION .............................................................................................31

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES .................................................................................31

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..........................................................32

ACCESSORIES ...........................................................................................................................32

ISTRUZIONI PER L'USO

1 87-900-867-01(A)

INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si
ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute
all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso
improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi
non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali
specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V1800A sono pompe
turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci
di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non
sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (27000 giri/min. max) mossa da un motore
elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V1800A
sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi
adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono
fornite nell'appendice “Technical information”.

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

,

PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

 ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec­chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.

IMMAGAZZINAMENTO

Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non
devono essere superate le seguenti condizioni ambientali:

− temperatura: da -20 °C a +70 °C

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)

Se il tempo di immagazzinamento è molto lungo, avviare la
pompa nel modo SOFT START (vedere il manuale del
controller).

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad
urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.

 ATTENZIONE!

Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.

NOTA

La pompa non può essere danneggiata rimanendo
semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul
sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.

INSTALLAZIONE

,

PERICOLO!

La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata
tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento.

Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:

− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica

− temperatura: da + 5 °C a +35 °C

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

 ATTENZIONE!

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al
momento del collegamento della turbopompa al sistema.

ISTRUZIONI PER L'USO

2 87-900-867-01(A)

In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice
"Technical Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V1800A devono
essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian
(serie 969-9561, 969-9461) e devono essere collegate ad una
pompa primaria (vedere schema in "Technical Information").
La turbopompa deve essere installata in posizione verticale, o
in posizione capovolta con una inclinazione massima rispetto
all’asse verticale di 10°.
La pompa può rimanere poggiata sui suoi piedi, o essere
sospesa tramite la flangia di ingresso.
Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 2814 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive il numero di morsetti
necessari e con quale coppia di serraggio stringerli.

FLANGIA TIPO DI

MORSETTO

N. COPPIA DI

SERRAGGIO

ISO 250 Morsetto doppio

con filettatura M10

6 22 Nm

Morsetto singolo

con filettatura M10

12 22 Nm

La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice
"Technical Information".
Nel caso in cui la pompa poggi sui suoi piedi, questi ultimi
vanno fissati al piano di appoggio utilizzando i fori filettati M6
posti in corrispondenza dei piedi di appoggio. Questi fori sono
posti su di un cerchio con diametro 285 mm (11,22 pollici).
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".

USO

Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della
turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo.
Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo.
Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare
l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale.

Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la
temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore
a 120 °C.
Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le
operazioni di riscaldamento (vedere l’appendice “Technical
information” per dettagli circa il collegamento del
raffreddamento ad acqua alla pompa).

,

PERICOLO!

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.

 ATTENZIONE!

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso
attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).

 ATTENZIONE!

Evitare urti o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in
funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.

 ATTENZIONE!

Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per
proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical
Information").

,

PERICOLO!

Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas
tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate
procedure tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.

MANUTENZIONE

Le pompe della serie Turbo-V1800A non richiedono alcuna
manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.

,

PERICOLO!

Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa
scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la
pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo
arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale
della pompa sia inferiore a 50°C.

In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di
riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service",
che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione
di quella guasta.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o
advanced exchange service, è indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e
Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della
stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della
spedizione.

Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali
specifiche.

,

PERICOLO!

Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun
motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della
turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione
(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di
vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla
bocca d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.

NO!

GEBRAUCHSANLEITUNG

3 87-900-867-01(A)

ALLGEMEINES

Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei
Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht
autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier
zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma
Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V1800A handelt es sich um
Turbomolekularpumpen für Hoch- und
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich für jede Art
von Gas oder gashaltige Gemische, nicht jedoch zur Förderung
von Flüssigstoffen oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine
(max. 27000 Upm) erzielt, die von einem
Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo­V1800A-Pumpen enthalten keinerlei unweltschädliche
Substanzen und eignen sich deshalb auch für
Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen
Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der
Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische
Informationen sind im Anhang "Technical Information"
enthalten.

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:

,

GEFAHR!

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des
Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen
können.

 ACHTUNG!

Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden
an der Anlage entstehen können.

ANMERKUNG

Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.

LAGERUNG

Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen
folgende klimatische Verhältnisse vorliegen:

− Temperatur: von -20°C bis +70°C

− Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95%

Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei
Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden
(siehe Handbuch der Steuereinheit).

VOR DER INSTALLATION

Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der
zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
für Umweltschutz.

 ACHTUNG!

Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die
Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen,
nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe
oder einen anderen geeigneten Schutz tragen.

ANMERKUNG

Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre
ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur
Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um
Staubverschmutzungen zu vermeiden.

INSTALLATION

,

GEFAHR!

Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe ausschließlich mittels
entsprechend geeigneten Hebe- bzw. Versetzungsgeräten
transportiert bzw. angehoben werden.

Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die
ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und
aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen
eingehalten werden:

− Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck

− Temperatur: von +5°C bis +35°C

− Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).

 ACHTUNG!

Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.

GEBRAUCHSANLEITUNG

4 87-900-867-01(A)

Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über
Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms
geschützt werden.
Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V1800A dürfen
ausschließlich mit einer der Varian-Spezialsteuerungen
betrieben werden (Baureihen 969-9561, 969-9461) und müssen
an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema
“Technical Information”).
Die Turbopumpen müssen in vertikaler oder aber in invertierter
Position installiert werden; die maximal zulässige Neigung zur
vertikalen Achse beträgt dabei 10°.
Die Pumpen können ebenso auf den eigenen Standbeinen
stehend oder durch Befestigung am Eingangsflansch in
angehobener Position betrieben werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position,
indem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen
Gegenflansch anschließen, der um die eigene Achse einem
Drehmoment von 2814 Nm standhalten muß.
Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch müssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die
Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden
Tabelle sind die Anzahl der jeweils erforderlichen
Klemmschellen sowie der jeweilige Anzugsmoment angegeben.

FLANSCH SCHELLENART ANZAHL ANZUGSMOMENT

ISO 250 Doppelklemme mit

NM10-Gewinde

6 22 Nm

Einzelklemme mit

NM10-Gewinde

12 22 Nm

Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem
speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang
“Technical Information”.
Sollte die Pumpe auf ihren eigenen Standfüßen stehend
betrieben werden, so müssen diese mittels der an den Füßen
befindlichen M6-Gewindebohrungen befestigt werden. Diese
Bohrungen sind in einem Kreis mit einem Durchmesser von
285 mm (11,2 Zoll) angebracht.
Installation Sonderzubehör: siehe Anhang “Technical
Information”.

ANWENDUNG

Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden. Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das
Pumpengehäuse mit einer Heizmanschette (Optional)
ausgeheizt werden.
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120°C
nicht überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren
Vakuumsystemen die TP mit Wasserkühlung arbeiten
(genauere Angaben zum Anschluß des Kühlwasserkreises an
die Pumpe siehe Anhang “Technical Information”).

,

GEFAHR!

Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch
eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es
besteht Verbrennungsgefahr.

 ACHTUNG!

Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am
Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem
atmosphärischen Druck sein.

 ACHTUNG!

Während des Betriebs darf die Pumpe weder Stößen noch
ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden, da die Lager
beschädigt werden können.

 ACHTUNG!

Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öfnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").

,

GEFAHR!

Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen
die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und
Maßnahmen befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven
Gasen.

WARTUNG

Die Pumpen der Baureihe Turbo-V1800A sind wartungsfrei.
Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten Fachkräften
vorgenommen werden.

,

GEFAHR!

Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.

Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.

ANMERKUNG

Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem
Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt
werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.

Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der
einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.

,

GEFAHR!

Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird
empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör).
Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines
flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die
Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein.

NEIN!

MODE D’EMPLOI

5 87-900-867-01(A)

INDICATIONS GENERALES

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire
attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser
l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité
en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions
données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non
formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire aux
réglementations nationales spécifiques.
Les pompes de la série Turbo-1800A .sont des pompes
turbomoléculaires conçues pour des applications de vide
poussé et ultrapoussé, capables de pomper n'importe quel type
de gaz ou de composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées
pour le pompage de liquides ou de particules solides.
L’effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (27000 tr/min maxi), mue par un moteur
électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo­V1800A sont totalement dépourvues d’agents polluants et sont
par conséquent indiquées pour les applications exigeant un
vide “propre”.
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l’opérateur pendant
l’utilisation de l’appareillage. Des renseignements plus détaillés
se trouvent dans l’appendice “Technical Information”.

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

,

DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas
effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions.

 ATTENTION!

Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient
endommager sérieusement l'appareillage.

NOTE

Les notes contiennent des renseignements importants, isolés
du texte.

EMMAGASINAGE

Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra
veiller à respecter les conditions environnementales suivantes:

− température: de - 20°C - à + 70°C

− humidité relative 0 - 95 % (non condensante)

Si le temps d'emmagasinage est très long, mettre la pompe en
marche en mode SOFT START (voir la notice du contrôleur).

PREPARATION POUR L'INSTALLATION

La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;
si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être
produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de
vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,
veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et
à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE
85/399 en matière de protection de l'environnement.

 ATTENTION!

En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher,
les mains nues, les éléments devant être exposés au vide.
Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée.

NOTE

La pompe ne peut être endommagée en restant simplement
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la
garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter
toute pollution due à la poussière.

INSTALLATION

,

DANGER!

En vertu de son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide
d’outils de levage et de déplacement appropriés.

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux
exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des
poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux
explosifs ou à risque élevé d'incendie. Pendant le
fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions
environnementales suivantes:

− pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique

− température: de +5°C° à +35°C

− humidité relative: 0 - 95% (non condensante)

 ATTENTION!

N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la
connexion de la turbopompe au système.

MODE D’EMPLOI

6 87-900-867-01(A)

En présence de champs magnétiques, la pompe doit être
protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails,
se reporter à l'appendice "Technical Information".
Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V1800A ne
doivent être utilisées qu’avec l’un des contrôleurs spéciaux
Varian (série 969-9561, 969-9461) et doivent être connectées à
une pompe primaire (Cf. schéma dans “Technical Information”).
La turbopompe devra être installée en position verticale ou en
position retournée avec une inclinaison maximum de 10° par
rapport à l’axe vertical.
La pompe peut être mise en appui sur ses pieds ou suspendue
à l’aide de la bride d’entrée. Fixer la turbopompe dans une
position stable en reliant la bride d’entrée à une contre-bride
fixe pouvant supporter un couple de 2814 Nm autour de son
axe.
La turbopompe à bride d’entrée ISO doit être fixée à la
chambre à vide à l’aide de colliers doubles ou simples. Le
tableau suivant indique le nombre de colliers nécessaires et le
couple de serrage prescrit.

BRIDE TYPE DE

COLLIER

NBRE COUPLE DE

SERRAGE

ISO 250 Collier double à

filetage M10

6 22 Nm

Collier simple à

filetage M10

12 22 Nm

La turbopompe à bride d’entrée ConFiat doit être fixée à la
chambre à vide à l’aide des éléments mécaniques Varian
prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à
l’appendice “Technical Information”.
Au cas où la pompe repose sur ses pieds, ceux-ci doivent être
fixés à la base de la pompe à l’aide des orifices filetés M6
positionnés en correspondance des pieds. Ces orifices sont
placés sur un cercles de 285 mm de diamètre (11,22 pouces).
Pour l’installation des accessoires en option, consulter
“Technical Information”.

UTILISATION

Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la
turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de
contrôle.
Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser
la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est
possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du

réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la
chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas
dépasser 120°C. Utiliser toujours le refroidissement par eau
pendant les opérations de chauffage.
Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les
opérations de chauffage. Pour plus de détails sur le
branchement du refroidissement à l’eau de la pompe, consulter
l’appendice “Technical Information”.

,

DANGER!

Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut causer des lésions aux personnes.

 ATTENTION!

Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique.

 ATTENTION!

Eviter tous chocs ou déplacements brusques de la turbopompe
lorsqu'elle est en marche. Cela pourrait endommager les
coussinets.

 ATTENTION!

Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de
fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour
protéger les coussinets (voir l'appendice "Technical
Information").

,

DANGER!

Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz
toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures
typiques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.

ENTRETIEN

Les pompes de la série Turbo-V1800A ne requièrent aucun
entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par
du personnel agréé.

,

DANGER!

Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe,
débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant
la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet
du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la
pompe soit inférieure à 50°C.

En cas de panne, il est possible de s'adresser au service
réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange
service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place
de la pompe détraquée.

NOTE

Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des
réparations ou un "advanced exchange service", remplir et faire
parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé"
annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette
fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant
l'expédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nationales en la
matière.

,

DANGER!

Pour éviter toutes lésions à la personne, ne jamais
introduire - pour quelque motif que ce soit - les doigts ou
bien des objets dans l'entrée de la turbopompe. Il est
conseillé d'utiliser un filet de protection (option). Si l'on
utilise un amortisseur de vibrations ou bien un soufflet
métallique flexible sur l'entrée, fixer toujours la turbopompe
à la base.

NON!

INSTRUCCIONES DE USO

7 87-900-867-01(A)

INFORMACION GENERAL

Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El
usuario deberá leer atentamente el presente manual de
instrucciones y cualquier otra información suplementaria
facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se
considera libre de cualquier responsabilidad debida al
incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco
apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las
intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las
normas nacionales específicas.
Las bombas de la serie Turbo-1800A son bombas
turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto
que pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto
gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o
partículas sólidas.
El efecto de bombeo se consigue mediante una turbina rotativa
de alta velocidad (27000 r.p.m./min. máx) movida por un motor
trifásico de gran rendimiento. Las bombas Turbo-V1800A no
llevan ningún tipo de agentes contaminantes y por lo tanto son
aptas para aplicaciones que requieren un vacío “limpio”.
Los apartados siguientes contienen toda la información
necesaria para garantizar la seguridad necesaria del operador
al utilizar el aparato. Información más detallada se puede
encontrar en el anexo “Technical Information”.

Este manual utiliza los símbolos convencionales
siguientes:

,

¡PELIGRO!

Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una operación específica que, al no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.

 ¡ATENCION!

Los mensajes de atención se visualizan antes de
procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños
al equipo.

NOTA

Las notas contienen información importante extraída del texto.

ALMACENAMIENTO

Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se
deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes:

− temperatura: de -20°C a +70°C

− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)

Si el periodo de almacenamiento es muy largo, poner en
marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el
manual de la unidad de control).

PREPARACION PARA LA INSTALACION

La bomba se suministra en un embalaje de protección
dimensional; si se observan señales de daños, que podrían
haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto
con la oficina de venta más cercana.
Durante la operación de desembalaje, prestar una atención
especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.
No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la
preservación del medio ambiente.

 ¡ATENCION!

Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin
guantes los componentes destinados a someterse al vacío.
Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada.

NOTA

La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la
atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar
una posible contaminación debida al polvo.

INSTALACION

,

¡PELIGRO!

A causa de su peso, la bomba ha de manejarse utilizando las
herramientas específicas de levantamiento y desplazamiento.

No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases
agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de
incendio.
Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:

− presión máxima: 2 bar por encima de la presión
atmosférica

− temperatura: de +5°C a + 35°C

− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)

 ¡ATENCION!

Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento en que se conecte la turbobomba al sistema.

INSTRUCCIONES DE USO

8 87-900-867-01(A)

Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice
“Technical Information” para más detalles.
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V1800A han
de utilizarse exclusivamente con uno de los controladores
Varian (serie 969-9561, 969-9461) y se conectarán a una
bomba primaria (véase esquema en “Technical Information”).
La turbobomba se instalará en posición vertical o en posición
invertida con una inclinación máxima respecto al eje vertical de
10°.
La bomba puede permanecer apoyada sobre sus patas o
colgarse mediante la brida de entrada.
Fijar la turbobomba en posición estable uniendo la brida de
entrada de la turbobomba con una contrabrida fija capaz de
resistir a un par de 2814 Nm alrededor de su eje.
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la
cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas
individuales. La tabla siguiente describe el número de
mordazas necesarias y el par de apriete al que han de
apretarse.

BRIDA TIPO DE MORDAZA N. PAR DE

APRIETE

ISO 250 Mordaza doble con

rosca M10

6 22 Nm

Mordaza individual

con rosca M10

12 22 Nm

La turbobomba con brida de entrada ConFiat se fijará a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos Varian.
Para más detalles véase el anexo “Technical Information”.
Si la bomba se apoya sobre sus patas, éstas se fijarán a la
superficie de apoyo utilizando los orificios roscados M6
situados a la altura de las patas de apoyo. Estos orificios están
colocados sobre un círculo con un diámetro de 285 mm (11,22
pulgadas).
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.

UTILIZACION

Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de
control.
Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.
Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la

temperatura de la brida de entrada no deberá superar 120°C.
Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las
operaciones de calentamiento.
Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las
operaciones de calentamiento (véase el anexo “Technical
Information” para detalles sobre la conexión de la refrigeración
por agua a la bomba).

,

¡PELIGRO!

No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.

 ¡ATENCION!

Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión
atmosférica.

 ¡ATENCION!

Evitar los golpes o desplazamientos rápidos de la turbobomba
cuando está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar.

 ¡ATENCION!

Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas
de una puerta específica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o
Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice
“Technical Information”).

,

¡PELIGRO!

Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.

MANTENIMIENTO

Las bombas de la serie Turbo-V1800A no necesitan ningún tipo
de mantenimiento. Cualquier operación tendrá que ser
realizada por personal autorizado.

,

¡PELIGRO!

Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la
bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el
rotor se pare completamente y esperar a que la bomba esté
por debajo de 50 ºC.

En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.

NOTA

Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de
"Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el
embalaje de la bomba antes de enviarla.

En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminación respetando las normas nacionales específicas.

,

¡PELIGRO!

Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por
ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada
de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de
protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de
vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de
entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.

NO!

INSTRUÇÕES PARA O USO

9 87-900-867-01(A)

INFORMAÇÕES GERAIS

Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador
deve ler atentamente o presente manual de instruções e
qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian
antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza
pela eventual inobservância total ou parcial das instruções,
pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas
nacionais específicas.
As bombas da série Turbo-V1800A são bombas
turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo,
capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto
gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou
partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (27.000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico trifásico de alto rendimento. As bombas Turbo­V1800A são totalmente sem agentes contaminadores e,
portanto, são adequadas para aplicações que requerem um
vácuo "limpo".
Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações
necessárias para garantir a segurança do técnico durante o
uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas
no apêndice "Technical Information".

Este manual utiliza as seguintes convenções:

,

PERIGO!

As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões
pessoais.

 ATENÇÃO!

As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não observados, poderiam causar
danos à aparelhagem.

OBS

As obs. contêm informações importantes destacadas do texto.

ARMAZENAGEM

Durante o transporte e a armazenagem das bombas não
devem ser superadas as seguintes condições ambientais:

− temperatura: de -20ºC a +70ºC

− humidade relativa: 0 - 95% (não condensante)

Se o tempo de armazenagem for muito longo, accionar a
bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo).

PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO

A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se
apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se
durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de
vendas local.
Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou
vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399
para a protecção do meio ambiente.

 ATENÇÃO!

Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.

OBS

A bomba não pode ser danificada permanecendo
simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para
evitar que se suje com poeiras.

INSTALAÇÃO

,

PERIGO!

A bomba, devido ao seu peso, deve ser manuseada utilizando
os equipamentos apropriados para o levantamento e a
movimentação.

Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:

− pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica

− temperatura: de + 5ºC a + 35ºC

− humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).

 ATENÇÃO!

Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no
momento da ligação da turbobomba ao sistema.

INSTRUÇÕES PARA O USO

10 87-900-867-01(A)

Existindo campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice
"Technical Information" para maiores detalhes.
As bombas turbomoleculares da série Turbo-V1800A devem
ser utilizadas somente com um dos controladores Varian
específicos (série 969-9561, 969-9461) e devem ser ligadas a
uma bomba primária (ver esquema em "Technical
Information").
A turbobomba deve ser instalada em posição vertical, ou em
posição invertida com uma inclinação máxima em relação ao
eixo vertical de 10”.
A bomba pode permanecer apoiada nos seus pés, ou ser
suspensa através do flange de entrada. Fixar a turbobomba em
posição estável ligando a flange de entrada da turbobomba a
uma contraflange fixa capaz de resistir a um torque de 2814
Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada às
câmaras de vácuo através de bornes duplos ou simples. A
tabela a seguir descreve o número de bornes necessários e
com qual torque devem ser apertados.

FLANGE TIPO DE BORNE N° TORQUE

ISO 250 Borne duplo com rosca

M10

6 22 Nm

Borne simples com rosca

M10

12 22 Nm

A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à
câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice
"Technical Information".
Se a bomba apoiar nos seus pés, estes deverão ser fixados ao
plano de apoio utilizando os furos rosqueados M6 existentes na
base da bomba. Ditos furos são posicionados num anel com
diâmetro de 285 mm (11,22 polegadas).
Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical
Information".

UTILIZAÇÃO

Todas as instruções para o correcto funcionamento da
turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.
Ler atentamente este manual antes da utilização.
Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o
invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o
eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no
flange de entrada não deve ser superior a 120 ºC. Utilizar

sempre o resfriamento com água durante as operações de
aquecimento.
Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações
de aquecimento (ver o apêndice “Technical Information” para
os detalhes relativos à ligação à bomba do resfriamento de
água ).

,

PERIGO!

Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.

 ATENÇÃO!

Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão
atmosférica).

 ATENÇÃO!

Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba
quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer
danos.

 ATENÇÃO!

Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou
Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical
Information").

,

PERIGO!

Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás.
Não usar a bomba na presença de gases explosivos.

MANUTENÇÃO

As bombas da série Turbo-V1800A não requerem qualquer
manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por
pessoal autorizado.

,

PERIGO!

Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o
conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a
válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e
até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50
ºC.

Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite
obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com
defeito.

OBS.

Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou
advanced exchange service, é indispensável preencher e
enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da
mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da
expedição.

Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua
eliminação respeitando as normas nacionais específicas.

,

PERIGO!

Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer
motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da
turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção
(opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou
um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar
sempre a turbobomba à base.

NÃO!

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

11 87-900-867-01(A)

ALGEMENE INFORMATIE

Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens
het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet
aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in
acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving.
De pompen van de serie Turbo-V1800A zijn turbomoleculaire
pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in
staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn
niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste
deeltjes.
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende
turbine (max. 27.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door
een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De
Turbo-V1800A pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen
en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een “schoon
vacuüm” verlangen.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur
te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de
bijlage "Technical information".

Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:

,

GEVAAR!

Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.

 ATTENTIE!

Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.

OPMERKING

De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.

OPSLAG

Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de
volgende omgevingscondities aanwezig zijn:

− temperatuur: van -20°C tot +70°C

− relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend)

Als de opslagperiode van lange duur is, de pomp met de SOFT
START wijze opstarten (zie handleiding regeleenheid).

UITPAKKEN

De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het
transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact
opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of
stoten te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.

 ATTENTIE!

Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd wanten of
een andere geschikte bescherming.

OPMERKING

De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan
de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden
om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het
systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof
wordt voorkomen.

INSTALLATIE

,

GEVAAR!

De pomp moet in verband met haar gewicht met de juiste
hefwerktuigen worden opgeheven en verplaatst.

De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar.
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn:

− max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk

− temperatuur: van +5°C tot +35°C

− relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).

 ATTENTIE!

Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

12 87-900-867-01(A)

Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie.
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V1800A
mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de
speciale Varian controllers (serie 969-9561, 969-9461) en
moeten aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in
“Technical Information”).
De turbopomp moet in verticale stand worden geïnstalleerd of
op haar kop, waarbij de hellingsgraad t.o.v. de verticale as
maximaal 10° mag bedragen.
De pomp kan op haar pootjes worden gezet of met behulp van
de inlaatflens worden opgehangen.
Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 2814 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde
klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten
worden.

FLENS KLEMTYPE NR. AANHAALKOPPEL

ISO 250 Dubbele klem

met M10
schroefdraad

6 22 Nm

Enkelvoudige

klem met M10
schroefdraad

12 22 Nm

De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümkamer worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage “Technical Information”.
Als de pomp op haar pootjes wordt gezet, moeten deze pootjes
aan het steunvlak worden bevestigd met behulp van M6
schroefdraadgaten die zich onder de pootjes moeten bevinden.
Deze gaten bevinden zich op een cirkelomtrek met diameter
van 285 mm (11,22 duim).
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.

GEBRUIK

Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp
zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld.
Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door.

Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis
verwarmd worden met behulp van een optionele
verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de
vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer
dan 120° C bedragen.
Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe (zie bijlage
“Technical Information” voor aanwijzingen over de aansluiting
van de waterkoeling aan de pomp).

,

GEVAAR!

Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.

 ATTENTIE!

Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de
atmsoferische druk) bedragen.

 ATTENTIE!

Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de
turbopomp in werking is. De lagers kunnen hier namelijk
schade door oplopen.

 ATTENTIE!

Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom
inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt
geleverd (zie bijlage “Technical Information”).

,

GEVAAR!

Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld.
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.

ONDERHOUD

De pompen van de serie Turbo-V1800A zijn onderhoudsvrij.
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel
worden uitgevoerd.

,

GEVAAR!

Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.

In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.

OPMERKING

Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.

Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.

,

GEVAAR!

Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele reden, de vingers of voorwerpen in de
inlaatopening van de turbompomp worden gestoken. Men
raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als
een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de
inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan
de basis bevestigen.

NEE!

BRUGSANVISNING

13 87-900-867-01(A)

ALMENE OPLYSNINGER

Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse.
Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere
vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug.
Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt,
eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret
anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages
uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en
måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige
normer.
Turbo-V1800A serien omfatter turbomolekulære pumper til
højvakuum og til ultra-højvakuum, der er i stand til at pumpe
alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke egnet til
at pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved
høj hastighed (max. 27000 omdr./min) drevet af en højeffektiv
trefaset elektrisk motor. Turbo-V1800A pumperne er
fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god
anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum.
I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for
operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede
oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information".

I denne håndbog findes følgende regler:

,

ADVARSEL!

Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et
indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare
for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt.

 PAS PÅ!

Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal
overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret.

BEMÆRK

Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger.

OPLAGRING

Under transport og oplagring af pumpene skal følgende
omgivelsesbetingelser være overholdt:

− temperatur: fra -20°C til +70°C

− relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)

Hvis pumperne oplagres gennem lang tid, skal de sættes i gang
på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til
kontrolenheden).

FORBEREDELSE TIL MONTERING

Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage. Kontakt
vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på beskadigelse,
der kan være sket under transporten.
Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til
den under udpakningen.
Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er
genbrugsmateriale i overensstemmelse med EF-direktiv 85/399
vedrørende miljøbeskyttelse.

 PAS PÅ!

For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de
bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid
handsker eller anden passende beskyttelse.

BEMÆRK

Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den
atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales
det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i
anlægget.

MONTERING

,

ADVARSEL!

Med hensyn til pumpens vægt må den kun flyttes med dertil
egnet løfteudstyr.

Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der
udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende
luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller
stor brandfare.
Følgende betingelser skal overholdes under driften:

− maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk)

− temperatur: fra +5°C til +35°C

− relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).

 PAS PÅ!

Etiketten og beskyttelsesdækslet fjernes først i det øjeblik,
turbopumpen tilsluttes anlægget.

BRUGSANVISNING

14 87-900-867-01(A)

Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag
“Technical Information” for yderligere detaljer.
Turbomolekulærpumperne i Turbo-V1800A serien må kun
anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie
969-9561, 969-9461) og skal forbindes med en primær
Turbopumpen kan monteres i vertikal stilling, eller med bunden
i vejret med en max. hældning på 10° i forhold til den vertikale
akse.
Pumpen kan enten stå på sine fødder, eller hænges via
indgangsflangen.
Turbopumpen fastspændes ved, at turbopumpens
indgangsflange fastgøres til en fast modflange, der er i stand til
at modstå et drejningsmoment på 2814 Nm omkring aksen.
Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til
vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer.
Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og det
anvendte tilspændingsmoment for de enkelte
flangedimensioner.

FLANGE KLEMMETYPE ANTAL TILSPÆNDING-

SMOMENT

ISO 250 Dobbelt

klemme gevind
M10

6 22 Nm

Enkelt klemme

gevind M10

12 22 Nm

Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til
vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele
fra Varian. For detaljer henvises til “Teknisk information”.
Hvis pumpen står på sine fødder, skal disse forankres til
underlaget ved hjælp af M6-hullerne i nærheden af
støttefødderne. Disse huller er anbragt på en cirkel med
diameter 285 mm.
Se "Technical Information" for montering af optionals.

ANVENDELSE

Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er
beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.
Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.
For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen
opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, må temperaturen
på indgangsflangen ikke overstige 120°C.
Brug altid vandafkøling under opvarmningen (se “Technical
Information” vedrørende kølevandets tilslutning til pumpen).

,

ADVARSEL!

Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under
opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage
kvæstelser på personer.

 PAS PÅ!

Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er
fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige
åbning skal være under 2 bar.

 PAS PÅ!

Undgå stød eller pludselig flytning af turbopumpen, mens den
er i drift. Lejerne kan beskadiges.

 PAS PÅ!

Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet med
en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller
kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne.

,

ADVARSEL!

Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller
radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte
gastype strengt overholdes.
Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer.

VEDLIGEHOLDELSE

Pumperne af TURBO-V1800A serien behøver ikke nogen
vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af
autoriseret personale.

,

ADVARSEL!

Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,
skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen
ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er
standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end
50°C.

Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange
Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for
den, der er gået i stykker.

BEMÆRK

Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges i
pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.

Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå i
overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.

,

ADVARSEL!

For at udgå kvæstelser må man aldrig af nogen som helst
årsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens
indgangsåbning. Det anbefales at anvende et
beskyttelsesnet (på efterspørgsel). Hvis der anvendes en
vibrationsdæmper eller en bøjelig metaldæmper på
pumpeåbningen, skal turbopumpen altid fastgøres til
underlagspladen.

NEJ!

BRUKSANVISNING

15 87-900-867-01(A)

ALLMÄN INFORMATION

Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Pumparna i Turbo-1800A -serien är turbomolekylära pumpar för
höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan användas
för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. De
lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
27000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V1800A-seriens pumpar, som
därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:

,

VARNING!

Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.

 VIKTIGT

Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste
följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.

OBSERVERA

Detta visar på viktig information i texten.

FÖRVARING

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport
och förvaring av pumpen:

− temperatur: från -20°C till +70°C

− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)

Efter lång förvaring skall pumpen startas med MJUKSTART ­metoden (se bruksanvisningen för styrenheten).

FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN

Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta
det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på
skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.

 VIKTIGT

Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.

OBSERVERA

Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har
installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm
eller annat i den.

INSTALLATION

,

VARNING!

Pumpen måste p.g.a. sin vikt manövreras med speciella lyft­och flyttutrustningar.

Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från
atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte
heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:

− maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)

− temperatur: från +5°C till +35°C

− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)

 VIKTIGT

Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har
anslutits till systemet.

BRUKSANVISNING

16 87-900-867-01(A)

I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar.
Turbomolekylärpumparna i serien V1800A måste användas
med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9561, 969-

9461), och anslutas till en förpump (se schema i " Technical
information").
Turbopumpen ska installeras i lodrät position eller uppochned
med en max. lutning på 10° i förhållande till den lodräta axeln.
Pumpen kan stödjas mot sina fötter eller vara upphängd med
intagsflänsen.
Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens
intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på
2814 Nm runt sin axel.
Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och
med vilket åtdragningsmoment de ska spännas.

FLÄNS TYP AV

KLAMMER

ANTAL ÅTDRAGNINGS-

MOMENT

ISO 250 Dubbel klammer

med gänga M10

6 22 Nm

Enkel klammer med

gänga M10

12 22 Nm

Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga “Technical Information”.
Om pumpen stödjs på sina fötter, fästs de till stödytan med de
M6-gängade hål som är placerade i förhållande till stödfötterna.
Dessa hål är placerade på en omkrets med diameter 285 mm.
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information".

ANVÄNDNING

Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i
styrenhetens bruksanvisning.
Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.
För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett
särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under
uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet
aldrig bli högre än 120 °C.

Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas. (se
bilaga "Technical Information" för detaljer om pumpens
anslutning till vattenkylning).

,

VARNING!

Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.

 VIKTIGT

Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning
av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över
atmosfäriskt tryck).

 VIKTIGT

Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift. I
annat fall kan lagren skadas.

 VIKTIGT

För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström
av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan
“Technical information“).

,

VARNING!

Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna
för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.

UNDERHÅLL

Pumparna i Turbo-V1800A-serien är underhållsfria. Allt
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.

,

VARNING!

Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens
strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.

Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en
renoverad pump.

OBSERVERA

Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.

Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.

,

VARNING!

Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens inlopp
för att undvika skador. Användning av skyddsgaller (tillval)
rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare eller böjliga
metallbälgar monteras vid inloppet måste pumpen
förankras i fundamentet.

NEJ

BRUKERVEILEDNING

17 87-900-867-01(A)

GENERELL INFORMASJON

Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
Turbo-V1800A serien med pumper er turbo-molekulære
pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan
pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke
beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 27000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V1800A
pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for
anlegg med behov for "rene" vakuum.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:

,

ADVARSEL!

Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.

 FORSIKTIG

Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de
ikke følges, kan føre til at utstyret skades.

MERK

Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.

LAGRING

Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende
miljømessige krav oppfylles:

− temperatur: fra -20°C til +70°C

− relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)

Skal utstyret lagres lengre, må pumpen MYKSTARTES (se
kontrollenhetens manual).

KLARGJØRE TIL INSTALLASJON

Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser
denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten,
må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned
eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.

 FORSIKTIG

For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.

MERK

Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge pumpen.
Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er montert i
systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedstøving.

INSTALLASJON

,

ADVARSEL!

Med hensyn til pumpens vekt må den bare flyttes ved hjelp av
et dertil bestemt løfteutstyr.

Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:

− maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)

− temperatur: fra +5°C til +35°C

− relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)

 FORSIKTIG

Ikke fjern klebemerket og det beskyttende dekslet før
turbopumpen skal festes til systemet

BRUKERVEILEDNING

18 87-900-867-01(A)

Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.
Turbo-V1800A serien turbo-molekulære pumper må kun brukes
med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969-9561, 969-

9451), og må koples til hovedpumpen (se skjema i "Teknisk
informasjon").
Turbopumpen kan monteres i vertikal stilling eller opp-og-ned­vendt, med en maks. helling på 10° i forhold til den vertikale
aksen.
Pumpen kan stå på føttene sine eller henges ved hjelp av en
inngangsflens.
Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet
mot en koplingsflens med et dreiemoment på 2814 Nm rundt
aksen.
Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende
tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante
strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene.

FLENS TYPE KLEMME ANTALL STRAMME-

MOMENT

ISO 250 Dobbel klemme

gjenge M10

6 22 Nm

Enkel klemme

gjenge M10

12 22 Nm

Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”.
Hvis pumpen står på føttene sine, festes disse til fundamentet
ved hjelp av M6-hullene i nærheten av støtteføttene. Disse
hullene er plasserte på en sirkel med diameter 285 mm.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon".

BRUK

Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i
kontrollenhetens manual.
Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk.
For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en
varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av
kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke
overskride 120°C.

Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen (se “Teknisk
informasjon om tilkopling av pumpens kjølevannsledninger).

,

ADVARSEL!

Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.

 FORSIKTIG

Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2
bar (over atmosfærisk trykk).

 FORSIKTIG

Unngå støt eller brå bevegelser av pumpen når den er i bruk.
Dette kan føre til at lagrene skades.

 FORSIKTIG

Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive
gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se
“Teknisk informasjon).

,

ADVARSEL!

Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.

VEDLIKEHOLD

Turbo-V1800A serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på
pumpen må kun utføres av autorisert personell.

,

ADVARSEL!

Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples
tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og
deretter vente til rotoren har stanset og pumpens
overflatetemperatur er lavere enn 50°C.

Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte
pumpen.

MERK

Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller som
innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen
som sendes tilbake.

Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.

,

ADVARSEL!

For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre
gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler
på det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt
ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible
metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen
er godt festet til underlaget.

NEI

KÄYTTÖOHJEET

19 87-900-867-01(A)

YLEISIÄ TIETOJA

Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti mukana
seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin toimittama
lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat
laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta laiminlyönnistä,
ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä,
valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
Turbo-V1800A sarjan pumput ovat korkean ja ultrakorkean
tyhjiön käyttöön tarkoitettuja kaikentyyppisiä kaasuja tai
kaasukoostumien pumppaavia turbomolekyylipumppuja. Ne
eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten
pumppaukseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (27000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka käynnistää
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. Turbo-V1800A ­sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia aineita, joten ne
soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin.
Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto
laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön
aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical
Information".

Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:

,

VAARA!

Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen
käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen suoritus voi
johtaa vakaviin henkilövaurioihin.

 HUOMIO

Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden
laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen.

HUOMAUTUS

Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot.

VARASTOINTI

Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana täytyy
seuraavien ympäristöa koskevien ehtojen olla täytettyinä:

− lämpötila: - 20°C - +70°C

− suhteellinen kosteus: 0 - 95% ( ei tiivistävä )

Jos varastointiaika on hyvin pitkä, tulee pumppu käynnistää
SOFT START-tavalla (katso valvojan käyttökirja).

VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN

Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa
pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti
kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys
paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun
putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja.
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on
täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä
ympäristön suojelusta.

 HUOMIO

Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön
tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai
muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen.

HUOMAUTUS

Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On
kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään
järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen
pölyltä.

ASENNUS

,

VAARA!

Pumppua tulee sen painosta johtuen käsitellä asianmukaisten
nosto- ja siirtovälineiden avulla.

Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai
agressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa
räjähdys- tai tulipalovaara.
Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä
koskevia ehtoja:

− maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine

− lämpötila: + 5°C - +35°C

− suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)

 HUOMIO

Irrottakaa tarra ja poistakaa suojakansi sillä hetkellä kun
turbopumppu liitetään järjestelmään.

KÄYTTÖOHJEET

20 87-900-867-01(A)

Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän
tarkotukseen olevilla suojilla. Lidä tietoja löytyy “Technical
Information“-liitteestä.
Sarjan Turbo-V1800A turbomolekyylipumppuja tulee käyttää
ainoastaan niihin sopivien Varian-valvojien kanssa (sarja 969­9551, 969-9461) ja niiden tulee olla yhdistettyinä pääpumppuun
(katso kaaviota osasta "Technical Information").
Turbopumppu tulee asentaa pystyasentoon tai ylösalaisin, niin
että se on pystyakselista katsoen kallellaan enintään 10°.
Pumppu voidaan tukea jalkojensa varaan tai se voidaan
asettaa riippuvaan asentoon sisääntulolaipan avulla.
Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä
turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka
kannattaa 2814 Nm momenttia akselinsa ympärillä.
Turbopumpu ISO-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammariin kaksoiskiinnikkeillä tai yksinkertaisilla
kiinnikkeillä. Seuraava taulukko sisältää tarvittavien
kiinnikkeiden määrän ja niiden kiristysmomentit.

LAIPPA KIINNIKE MÄÄRA KIRISTYSMO-

MENTTI

ISO 250 Kaksoiskiinnike

kierteitys M10

6 22 Nm

Yksinkertainen

kiinnike kierteitys
M10

12 22 Nm

Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammariin sopivien Varianin mekaanisten varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information“-liitteestä.
Mikäli pumppu on asennettu jalkojensa varaan, jalat tulee
kiinnittää tukitasoon käyttämällä siihen tehtyjä, tukijalkoja
vastaavia kierteisreikiä M6. Nämä reiät on sijoitettu
läpimitaltaan 285 mm olevaan ympyrään.
Lisälaitteiden asennusohjeet ovat "Technical Information"
osassa.

KÄYTTÖ

Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet
löytyvät valvojan käsikirjasta.
Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa.
Jotta saavutettaisiin paremmat rajapaineet, on pumpun kotelon
kuumentaminen mahdollista käyttämällä lisätilauksesta
saatavaa kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen
kuumentamisen aikana ei sisäänjohtavan laipan lämpötila saa
olla yli 120 °C.

Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen (ks.
“Technical information” -osaa pumpun vesijäähdytyskytkentöjä
varten).

,

VAARA!

Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin kuumentamisen
aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan henkilöiden
loukkaantumisia.

 HUOMIO

Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai
jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia.
Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla
alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine).

 HUOMIO

Välttäkää turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen äkkinäistä
liikuttamista sen ollessa käynnissä. Laakerit voivat vahingoittua.

 HUOMIO

Aggressiivisten kaasujen pumppauksta varten mänä pumput on
varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kulettaa pumppuun
ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit suojataan
(katso liite “Technical information“).

,

VAARA!

Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka
kaasuun sopivaa menettelytapaa.
Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.

HUOLTO

Sarjan Turbo-V1800A pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa.
Minkä tahansa toimenpiteen tulee suorittaa siihen valtuutettu
henkilö.

,

VAARA!

Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä
verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen
tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä
ja että pumpun pintalämpö on alle 50º.

Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka
mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen
tilalle.

HUOMAUTUS

Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai
advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti
täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon
"Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä
ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää
pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä.

Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa kansallisen
lainsäädännön määräämällä tavalla.

,

VAARA!

Jotta henkilövahingoilta vältyttäisiin, ei missään
tapauksessa turbopumpun suuaukkoon saa laittaa sormia
tai muita esineitä. Turvaverkon käyttö on suositeltavaa
(lisävaruste).
Mikäli suuaukolla käytetään värähtelyjen vaimentajaa tai
taipuvaa metallista paljetta, tulee turbopumppu kiinnittää
aina jalustaan.

EI

ODHGIES CRHSHS

21 87-900-867-01(A)

GENIKES PLHROFORIES

Autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O
crˇsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou
parèntoj egceirid∂ou kai opoiadˇpote £llh prÒsqeth
plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj
suskeuˇj.
H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikˇ ˇ
merikˇ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek m◊rouj
anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ˇ crˇsh
pou den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.

Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V1800A e∂nai
(strobilomoriak◊j) antl∂ej (ˇ moriak◊j tourmp∂nej) gia
efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na
antlˇsoun k£qe e∂douj a◊rio. E∂nai akat£llhlej gia thn
£ntlhsh ugrèn ˇ stereèn swmatid∂wn.
H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou
peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 27000 s.a.l.), h
opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r uyhlˇj

apÒdoshj. Oi antl∂ej Turbo-V1800A den peri◊coun rupantikoÚj
par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia efarmog◊j pou
apaitoÚn ◊na "kaqarÒ" kenÒ.
Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej
plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristˇ kat£
th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuˇj. Leptomere∂j

plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma " Tecnik◊j Plhrofor∂ej ".
Auto to egceir∂dio crhsimopoie∂ tij akÒlouqej sumb£seij:

,

KINDUNOS!

Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocˇ tou ceiristˇ se mia
diadikas∂a ˇ se mia eidikˇ ergas∂a h opo∂a e£n den ekteleste∂
swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j
bl£bej.

 PROSOCH!

Oi ende∂xeij prosocˇj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi
opo∂ej e£n den ektelestoÚn me prosocˇ, qa mporoÚsan na
prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuˇ.

SHMEIWSH

Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun
apospaste∂ apÒ to ke∂meno.

APOQHKEUSH

Kat£ th di£rkeia thj metafor£j kai thj apoqˇkeushj twn
antlièn pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej periballontik◊j
sunqˇkej¿

− qermokras∂a apo:/ -20°C m◊cri +70°C

− scetikˇ ugras∂a: 0 - 95% (asumpÚknwth)

E£n o crÒnoj apoqˇkeushj xepern£ei touj 9 mˇnej, h antl∂a qa
pr◊pei na teqe∂ se k∂nhsh me trÒpo SOFT START (bl. to

egceir∂dio thj mon£daj el◊gcou).

PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH

H antl∂a enai exoplism◊nh me m∂a eurÚcwrh prostateutikˇ
suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan
na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j,
sumbouleute∂te to topikÒ tmˇma pwlˇsewn. Kat£ th di£rkeia
tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèèste idia∂terh prosocˇ
◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂ h antl∂a.
Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ
anakuklènetai plˇrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj
E.E. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.

 PROSOCH!

Prokeim◊nou na apofÚgete problˇmata apÒ thn apeleuq◊rwsh
aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmˇmata pou prÒkeitai
na ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ˇ £llh
kat£llhlh prostas∂a.

SHMEIWSH

H antl∂a den katastr◊fetai e£n aplèj ekteqe∂ ston
atmosfairikÒ a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn
kratˇsete kleistˇ m◊cri th stigmˇ pou qa egkatastaqe∂ sto
sÚsthma, ◊tsi èste na apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ
th skÒnh.

EGKATASTASH

,

KINDUNOS!

H antl∂a, lÒgw tou b£rouj thj, pr◊pei na metakinhqe∂
diam◊sou kat£llhlwn sÚnergwn anÚywshj kai metak∂nhshj.

H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai-ˇ na
crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj
par£gontej (brocˇ, p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se
cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ˇ k∂ndunoj purkagi£j.
Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi
akÒlouqej sunqˇkej perib£llontoj:

− max. p∂esh: 2 bar

− qermokras∂a: apÒ +5°C m◊cri +35°C

− scetikˇ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).

 PROSOCH!

Xekoll£te to autokÒllhto kai bg£zete to prostateutikÒ
kap£ki mÒnon th stigmˇ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj
sto sÚsthma.

ODHGIES CRHSHS

22 87-900-867-01(A)

Se magnhtik£ ped∂a Òpou h ◊ntash uperba∂nei ta 10 mT e∂nai
anagka∂a h k£luyh thj antl∂aj me ◊na sidhromagnhtikÒ
k£lumma.
Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V1800A pr◊pei
na crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj eidikoÚj el◊gcouj
Varian (seir£ 969-9561, 969-9461) kai pr◊pei na e∂nai
sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scˇma stij

"Tecnik◊j Plhrofor∂ej").
H tourmpoantl∂a pr◊pei na egkatastaqe∂ se k£qeth q◊sh, ˇ se
anatrepÒmenh q◊sh me m∂a m◊gisth kl∂sh 10" se sc◊sh me ton
k£qeto £xona.
H antl∂a mpore∂ na parame∂nei akoumpism◊nh sta pÒdia thj, ˇ
na anarthqe∂ diam◊sou thj fl£ntzaj eisÒdou.
Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerˇ q◊sh enènontaj th
fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerˇ kÒntrofl£ntza ikanˇ na

sugkratˇsei ◊na zeug£ri 2814 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj.
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO pr◊pei na sterewqe∂

sto q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ˇ monèn m◊ggenwn. H akÒlouqh
tamp◊la perigr£fei to apara∂thto noÚmero m◊ggenwn kai me
poio zeÚgoj bidèmatoj na ta sf∂xete.

FLANTZA TUPOS MEGGENHS N. ZEUGOS

BIDWMATOS

ISO 250

Diplˇ m◊ggenh me
el∂kwsh M10

6

22 Nm

Monˇ m◊ggenh me

el∂kwsh M10

12

22 Nm

H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na
sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn
exarthm£twn Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe thn

epifull∂da "Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
Se per∂ptwsh pou h antl∂a sthr∂zetai sta pÒdia thj, aut£ ta
teleuta∂a pr◊pei na sterewqoÚn sthn epif£neia stˇrixhj
crhsimopoièntaj tij elikweide∂j op◊j M6 pou ◊coun teqe∂ se
antapÒkrish twn podièn stˇrixhj. Aut◊j oi op◊j br∂skontai se
◊nan kÚklo me di£metro 285 mm (11,22 ∂ntsej).
Gia thn egkat£stash twn proeraitikèn axesou£r, bl◊pe

"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".

CRHSH

Olej oi odhg∂ej gia th swstˇ leitourg∂a thj tourmpoantl∂aj
peri◊contai sto egceir∂dio el◊gcou.
Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crˇsh.
Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na
qerm£nete to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton
◊xtra qermantˇ. Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj q◊rmanshj
tou qal£mou kenoÚ h qermokras∂a sth fl£ntza eisÒdou den

pr◊pei na xepern£ei touj 120°C. Kat£ th q◊rmansh na
crhsimopoie∂te p£nta ugrˇ yÚxh (bl◊pete thn epifull∂da
"Tecnik◊j Plhrofor∂ej" gia leptom◊reiej scetik£ me th
sÚndesh thj ugrˇj yÚxhj sthn antl∂a).

,

KINDUNOS!

Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartˇmat£
thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlˇ qermokras∂a mpore∂
na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.

 PROSOCH!

Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra
ˇ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ˇ £lla stoice∂a. H p∂esh
eisÒdou diam◊sou thj eidikˇj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh

apÒ 2 bar.

 PROSOCH!

Na apofeÚgontai ctupˇmata ˇ apÒtomej metakinˇseij thj
tourmpoantl∂aj Òtan e∂nai se leitourg∂a. Qa mporoÚsan na
dhmiourghqoÚn bl£bej sta roulem£n.

 PROSOCH!

Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai
efodiasm◊nej me mia eidikˇ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai
anagka∂a h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (Azwto ˇ ArgÒ) gia
na prostateutoÚn ta ◊drana (bl◊pete thn epifull∂da

"Tecnik◊j Plhrofor∂ej")

,

KINDUNOS!

Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,
eÚflektwn ˇ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej
carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou.
Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn.

SUNTHRHSH

Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo - V1800A de crei£zontai
kamm∂a suntˇrhsh. Opoiadˇpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai
apÒ eidikeum◊no proswpikÒ.

,

KINDUNOS!

Prin epiceirˇsete opoiadˇpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a,
aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn
antl∂a ano∂gontaj thn eidikˇ balb∂da kai perim◊nete m◊cri na
stamatˇsei tele∂wj to mot◊r.

Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto ser/ice thj
Varian ˇ sto “Varian ad/anced exchange ser/ice”, pou saj
d∂nei th dunatÒthta na antikatastˇsete thn calasm◊nh
antl∂a me m∂a £llh eniscum◊nh.

SHMEIWSH

Prin epistr◊yete ston kataskeuastˇ thn antl∂a gia episkeuˇ
ˇ gia ad/anced exchange ser/ice, enai apara∂thto na
sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o
Pwlˇsewn, to ◊ntupo -Sigouri£ kai uge∂a- sunhmm◊no sto
parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei
na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn
apostolˇ.

Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na
katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj.

,

KINDUNOS!

Gia na apofÚgcqoÚn traumatismo∂ se £toma mh b£zete
pot◊, gia kan◊na lÒgo, ta d£ctula ˇ £lla antike∂mena
sto stÒmio eisÒdou thj tourmpoantl∂aj. SumbouleÚetai h
crˇsh tou dictuoÚ prostas∂aj (proeraitikÒ). An
crhsimopoie∂tai ◊naj aposbestˇraj donˇsewn ˇ ◊na
elastikÒ metallikÒ mikrÒ fuserÒ sto stÒmio eisÒdou,
stereènete p£nta thn tourmpoantl∂a sth b£sh.

OCI

INSTRUCTIONS FOR USE

23 87-900-867-01(A)

GENERAL INFORMATION

This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions, im­proper use by untrained persons, non-authorised interference
with the equipment or any action contrary to that provided for
by specific national standards.
The Turbo-V 150HT series pumps are turbo-molecular pumps
for high and ultra-high vacuum applications and can pump any
type of gas or gas compound. They are not suitable for pump­ing liquids or solid particles. The pumping action is obtained
through a high speed turbine (max. 62000 rpm) driven by a
high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V 150HT
pumps are free of contaminating agents and, therefore, are
suitable for applications requiring a "clean" vacuum.
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the equip­ment. Detailed information is supplied in the appendix "Techni­cal Information".

This manual uses the following standard protocol:

!!!!

WARNING!

The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not fol­lowed correctly, could lead to serious injury.

!!!!

CAUTION

The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.

NOTE

The notes contain important information taken from the text.

STORAGE

When transporting and storing the pumps, the following envi­ronmental requirements should not be exceeded:

− temperature: from -20° to +70 °C

− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)

If the storage time is long start the pump using the SOFT
START mode (see control unit manual).

PREPARATION FOR INSTALLATION

The pump is supplied in a special protective packing. If this
shows signs of damage which may have occurred during
transport, contact your local sales office.
When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid
any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.

!!!!

CAUTION

In order to prevent outgassing problems, do not use bare
hands to handle components which will be exposed to vacuum.
Always use gloves or other appropriate protection.

NOTE

Normal exposure to the environment cannot damage the pump.
Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed
in the system, thus preventing any form of pollution by dust.

INSTALLATION

!!!!

WARNING!

Cause its weight, the pump must be handled by means of suit­able moving and handling tools.

Do not install or use the pump in an environment exposed to
atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,
or in explosive environments or those with a high fire risk. Dur­ing operation, the following environmental conditions must be
respected:

− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure

− temperature: from +5 °C to +35 °C

− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)

In the presence of magnetic fields the pump must be protected
using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical In­formation" for detailed information.

!!!!

CAUTION!

Do not remove the adhesive and protective cap before con­necting the turbopump to the system.

INSTRUCTIONS FOR USE

24 87-900-867-01(A)

The Turbo - V 1800A series pumps must only be used with one
of the special Varian controllers (series 969-9561, 969-9461)
and must be connected to a primary pump (see "Technical
Information").
The turbopump must be installed vertically or upside-down,
with a maximum slope of 10°.
The pump can either rest on its support pedestal or it can be
suspended from the high vacuum flange.
Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet
flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of
withstanding a torque of 2814 Nm around its axis.
The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vac­uum chamber by means of clamps or claws. The following ta­ble shows, for each flange and fixing device, the necessary
number of clamps or claws and the relevant fixing torque.

FLANGE FIXING

DEVICE

N. FIXING TORQUE

ISO 250 M10 clamps 6 22 Nm

M10 claws 12 22 Nm

The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Varian hard­ware. See the appendix "Technical Information" for a detailed
description.
When the pump rest on its legs, attach them to the bench us­ing teh M6 threaded holes in the legs where the rubber feet are
installed. These holes are located on a 285 mm (11.22 inches)
diameter.
For installation of optional accessories, see "Technical Infor­mation".

USE

All the instructions for the correct use of the turbopump are
contained in the control unit manual.
Read the manual carefully before using the pump.
In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump
casing may be heated using the optional heater. While heating
the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed
120 °C. Always use the water cooling system during the heat­ing operations (see annex “Technical information” for details
about the water cooling connection).

!!!!

WARNING!

Do not touch the turbopump or any of its accessories during
the heating process. The high temperatures may cause burns.

!!!!

CAUTION

Use air or inert gas free from dust or particles for venting the
pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar
(above atmospheric pressure).

!!!!

CAUTION

Avoid impacts or harsh movements of the pump when in
operation.The bearings may become damaged.

!!!!

CAUTION

For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a
special port to allow a steady flow of inert gas (like N

2

, Ar) for
pump bearing protection (see the appendix "Technical Informa­tion").

!!!!

WARNING!

When employing the pump for pumping toxic, flammable, or
radioactive gases, please follow the required procedures for
each gas disposal.
Do not use the pump in presence of explosive gases.

MAINTENANCE

The Turbo-V 1800A series pump does not require any mainte­nance. Any work performed on the pump must be carried out
by authorized personnel.

!!!!

WARNING!

Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it
from the supply, vent the pump by opening the appropriate
valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the
surface temperature of the pump falls below 50 °C.

In the case of breakdown, contact your local Varian service
center who can supply a reconditioned pump to replace that
broken down.

NOTE

Before returning the pump to the constructor for repairs, or re­placement with a reconditioned unit, the "Health and Safety"
sheet attached to this instruction manual must be filled-in and
sent to the local sales office. A copy of the sheet must be in­serted in the pump package before shipping.

If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accor­dance with the specific national standards.

!!!!

WARNING!

To avoid injury, never put fingers or any objects whatso­ever in the inlet port of the turbopump. The use of the pro­tective screen is strongly advised (optional extra). If a
vibration damper or flexible metallic bellows are used on
the inlet port, make sure that the pump is fixed to the ba­se.

NO!

TECHNICAL INFORMATION

The Turbo-V1800A pump consists of a medium
frequency motor driving a turbine fitted with 12
bladed stages. The turbine rotates in an anticlock­wise direction when viewed from the high vacuum
flange end.
The turbine is made of high-strength, light alumin­ium alloy, and is machined from a single block of
aluminium. The first 3 high vacuum stages have
blade angles of 40°, the subsequent four stages
have blade angles of 30°, and the lower stages
have blade angles of 20°.

DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP

The Turbo-V1800A pump is available in three
models. The three models, which differ only in the
high vacuum flange, are:

− Model 969-9064 with ISO 250 high vacuum
flange

− Model 969-9065 with ConFlat 12” external di­ameter high vacuum flange

− Model 969-9066 with ConFlat 12.5" external
diameter high vacuum flange

The turbine rotor is supported by high precision
ceramic ball bearings lubricated with a proprietary
process located on the forevacuum side of the
pump.
The static blades of the stator are made of
stainless steel. These are supported and accu­rately positioned by spacer rings.
During normal operation, the motor is fed with a
voltage of 90 Vac three-phase at 450 Hz. To re­duce losses during start-up to a minimum, the fre­quency increases according to a ramp with a
higher initial voltage/frequency ratio.

Model 969-9064

Model 969-9065

Model 969-9066

A water jacket surrounds the pump stator and is
used to cool the motor, which operates in the fore­vacuum region of the pump. Cooling water is con­nected to the pump via two riffled nozzles on the
cooling jacket.
A thermistor sensor is mounted directly on the mo­tor stator and pump body to prevent the pump
from overheating. The thermistor sensor, the mo­tor stator windings and the earth are connected to
a Turbo-V controller through a 7 pin socket on the
side of the pump.

The pump is balanced after assembly with a resid­ual vibration amplitude less than 0.02 µm.
The pump must be mounted vertically or upside
down, with a maximum allowable slope of 10°. It
can be suspended by inlet flange or rest upon its
support legs. The connection of the forevacuum on
the side of the pump is an ISO 63 flange.

25 87-900-867-01(A)

TECHNICAL INFORMATION

TECHNICAL SPECIFICATION

Pumping speed N2: 1600 l/s

He: 1850 l/s
H

2

: 1750 l/s

Compression ra­tio

N2: >1 x 1010
He: 2.5 x 105
H2: 6 x 103

Base pressure* 1 x 10

-10

mbar

(7.5 x 10

-11

Torr)

Inlet flange ISO 250

CFF 12" CFF 12.5”

Foreline flange ISO 63

Vent port flange KF 10 NW

Purge port
flange

KF 10 NW

Rotational speed 27000 rpm

Start-up time 10 minutes

Recommended
forepump

Varian SD 700

Operating
position

Vertical/inverted
(max slope 10°)

Operating ambi­ent temperature

+ 5° C to + 35° C

Coolant water flow: 70 l/h (0.3 GPM)

temperature: +10° C to +30°
C
pressure: 2 to 4 bar
(30 to 60 Psi)

Bakeout
temperature

120° C at inlet flange
maximum

Vibration level
(displacement)

< 0.02 µm at inlet flange

Noise level

≤ 52 dB (A) at 1 meter

Input 90 Vac, three phase, 450 Hz

Lubricant permanent lubrication

Storage
temperature

- 20° C to + 70° C

Weight kg (lbs) 62 (137)

* According to standard DIN 28 428, the base
pressure is that measured in a leak-free test
dome, 48 hours after the completion of test dome
bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat
flange and using the recommended pre-vacuum
pump.

26 87-900-867-01(A)

TECHNICAL INFORMATION

Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure

Graph of compression ratio vs foreline pressure

Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using

the recommended mechanical forevacuum pump

27 87-900-867-01(A)

TECHNICAL INFORMATION

INLET SCREEN INSTALLATION

The inlet screens mod. 969-9306 prevents the
blades of the pump from being damaged by debris
greater than 2 mm diameter.

The inlet screen, however, will reduce the pumping
speed by about 15%.

The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure.

The screen can be mounted on each pump model.

The following figure show the overall flange di­mensions with the protection screen fitted on
pump with ISO flange and pump with CFF flange.

HEATER BAND INSTALLATION

The heater band model 969-9811 and 969-9812
can be used to heat the pump casing when a
bakeout is needed.

The heater band is applied to the upper part of the
pump casing, as shown in the figure, and heats it
to a temperature of about 80° C.

The heater band must be mounted such that there
is perfect thermal contact with the pump wall to ob­tain fast and efficient heating.

Switch on the heater while the turbopump is in op­eration. In the event of turbopump overheat, the
heater will be automatically cut out by the thermis­tor sensor.

28 87-900-867-01(A)

TECHNICAL INFORMATION

NOTE

The turbopump must be "baked" only when
operating with an inlet pressure less than 10

-4

mbar and with water cooling.

 CAUTION

If the chamber of the system is "baked" at a high
temperature, a shield should be installed to pre­vent thermal radiation heating the high vacuum
flange on the pump. The maximum temperature
allowed for the inlet flange is 120° C.

GAS PURGE VALVE INSTALLATION

A gas purge valve is available to protect the pump
bearings against particulate and corrosive gases
that could move into the pump.
To install the gas purge valve it is necessary to
lock the purge valve in position using the KF klamp
as shown in the following figure.

VENT VALVE INSTALLATION

The vent valve mod. 969-9833 allows to avoid un­desired venting of the pump during a temporary

power failure (5 sec maximum), and enables an
automatic vent operation.

Screw the vent valve into the vent port of the pump
and tighten it using a 10 mm. hexagonal spanner
with a torque of 2.5 Nm.

 CAUTION

Do not overtighten the valve as this may damage
the thread on the pump.

VENT DEVICE INSTALLATION

The vent device mod. 969-9831 allows to avoid
undesired venting of the pump during a temporary
power failure (adjustable time up to 36 min.), and
enables an automatic vent operation.

Assemble the seal ring and lock the vent device in
position using the KF klamp as shown in the fol­lowing figure.

29 87-900-867-01(A)

TECHNICAL INFORMATION

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM

Connection A - HIGH VACUUM FLANGE

To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange,
remove the outer ring and position the centering
ring as shown in the figure.

Then fix the two flanges with the clamps or claws
as shown in the figure.

1. Turbo-V controller

2. Vent valve

3. Vacuum pump shut-off valve (optional)

4. System vent valve (optional)

5. Vacuum chamber

6. Ionisation gauge

7. Fore-vacuum pump connecting flange

8. Oil mist eliminator

9. Fore-vacuum pump with internal one-way

valve

For ConFlat flange connections we recommend
using Varian hardware.
To facilitate assembly and dismantling, apply Fel­pro C-100 high temperature lubricant to the screw
threads protruding from the flange and between
the nuts and flange.
Attach the units and tighten each one in turn. Re­peat the sequential tightening until the flange faces
meet.

10. Fore-vacuum pump control relay

11. Connection for water cooling

12. Roughing line with valve (optional)

13. Turbopump

14. Flexible connection

 CAUTION

Exercise care when tightening nuts and bolts to
avoid creating dents in the envelope as this may
cause the pump rotor to lock.

30 87-900-867-01(A)

TECHNICAL INFORMATION

Connection B - FORE-VACUUM PUMP

WATER COOLING CONNECTION

A flange ISO 63 is available to connect the Tur­bopump to the fore-vacuum pump. A hose or vac­uum approved pipe can be used. If a rigid pipe is
used, any vibration generated by the mechanical
pump must be eliminated through the use of bel­lows.

The turbopump must be used with the water cool­ing connected.
To connect the water cooling to the turbopump see
the following figure.

NOTE

The Turbo pump is characterised by its high com­pression ratio also for oil vapours. When using a
mechanical oil-sealed pump, it is advisable to in­stall a suitable trap between the turbopump and
the fore-vacuum pump in order to prevent oil back­streaming.

Connection C - ELECTRICAL

The turbopump is connected to the controller
through an 7-pin connector. Pins B, G and E are
the 3-phase supply to the motor, pins A and F are
connected to the temperature sensor (NTC type,
30 KΩ resistance at 20° C) and pins C and D are
available for further connections.

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES

To prevent damage to the bearings, an inert gas
must flow into the pump body around the upper
bearing towards the forevacuum line.
To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen, ar­gon) to the pump through the purge port, connect
a gas purge valve between the pressure regulator
and the pump (see the following figure). Adjust the
pressure regulator in order to read a gas flow rate
of 0.1 to 0.8 mbar l/s.

The ground cable should be connected to the con­troller. If the temperature sensor is disconnected,
the pump will not start. To prevent damage to the
pump when the temperature exceeds 60° C, the
sensor automatically cuts out the power supply.

 CAUTION

To prevent bearing damage, Varian suggests a
minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17
mbar l/s). This value can be exceeded, according
to the process requirements. Please contact Var­ian for specific applications.

The purge gas throughput with the recommended
forepump of 15 m3 /h (11 CFM) allows to achieve a
high vacuum pressure in the 10-8 mbar range.

31 87-900-867-01(A)

TECHNICAL INFORMATION

32 87-900-867-01(A)

The recommended gas flow maintains a pressure
into the pump body higher than the forevacuum
pressure.

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC
FIELDS

Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of
a turbomolecular pump that tend to oppose to its
rotation.

The result is increased electrical power consump­tion by the motor, most of which is dissipated in
the rotor.

Since the rotor is not in contact with the stator the
above power can leave the rotor mainly by radia­tion and hence the rotor may be overheated while
static parts of the pump remain cool.

This effect is strongly dependant from the inten­sity, time function and distribution of the magnetic
field.

1. Purge gas line

2. Pressure regulator

3. Gas purge valve

4. Gas purge port

5. Forevacuum pump

6. Turbopump

7. Vent valve

In general, therefore, an increase in pump current
can be expected.

If this increase is lower than 50% of the current
value drawn by the motor in high vacuum opera­tion, no particular problem should be expected.

The recommended procedure to vent the system
and the pump avoiding the contact between the
pump bearings and the corrosive gas is described
in the following points:

However if the effect is grater, than the case
should be carefully reviewed by Varian's specialist.
As a matter of fact, in case of high magnetic fields,
also important forces might be generated and ap­plied to the rotor.

1. Close the corrosive gas flow into the system.

2. Leaving the Turbo-V pump and the backing

pump running and the purge gas flowing, wait
for enough time to evacuate the corrosive gas
from the system.

ACCESSORIES

DESCRIPTION PART NUMBER

Inlet screen, ISO 250 969-9306

Heater band, 120 V 969-9812

Heater band, 220 V 969-9811

Vent valve with fixed delay
time

969-9833

Vent device with adjustable
delay time

969-9831

Forepump SD 700, with 3
ph., 220/380 V, 50 Hz motor

949-0860-080

Forepump SD 700 with 1
ph., 120/220 V, 60 Hz motor

0424-P1241-307

Forepump SD 700, with 3
ph.,
universal motor

0424-P1241-337

3. Open the Turbo-V vent port slowly until to

reach atmospheric pressure in the system.

4. Turn off the Turbopump.

5. When the Turbo-V pump and the backing

pump are stopped and the system is at at­mospheric pressure, for a better bearing pro­tection it is advisable to leave the purge gas
flowing into the Turbo-V pump, with the
chamber or the Turbo-V vent valve opened, to
avoid system overpressures.
If the vent valve can't be kept opened, the
backing pump should be left operating.

For a complete overview of Varian's extensive
product lines, please refer to the Varian catalog.

Request for Return

1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.

2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).

3. The customer is expected to take the following actions to ensure the

Safety

of workers at Varian: (a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).

4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.

North and South America

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Ave

Lexington, MA 02421

Phone : [phone]

Fax: [phone]

Europe and Middle East

Varian SpA

Via Flli Varian 54

10040 Leini (TO) – ITALY

Phone: [phone]

Fax: [phone]

Asia and ROW

Varian Vacuum Technologies

Local Office

CUSTOMER INFORMATION

Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….

Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....

Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..

Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..

Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only: Taxable Non-taxable

Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...

……………..…………………... ..………………………………...

………………..………………... ..………………………………...

PRODUCT IDENTIFICATION

Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference

TYPE OF RETURN (check appropriate box)

Paid Exchange Paid Repair

Warranty Exchange

Warranty Repair

Loaner Return

Credit Shipping Error

Evaluation Return

Calibration

Other ……………….

HEALTH and SAFETY CERTIFICATION

Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.

The equipment listed above (check one):

HAS NOT

been exposed to any toxic or hazardous materials

OR

HAS

been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that

equipment was exposed to, check all categories that apply:

Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive

List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.

.……………………………………………………………………………………………………………………..

Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….

Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……

NOTE:

If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed,

the customer

will be held responsible

for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and

is liable

for any harm or injury to Varian

employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.

Do not write below this line

Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..

Request for Return

FAILURE REPORT

TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS

POSITION PARAMETERS

Does not start

Noise

Vertical

Power: Rotational Speed:

Does not spin freely

Vibrations

Horizontal

Current: Inlet Pressure:

Does not reach full speed

Leak

Upside-down

Temp 1: Foreline Pressure:

Mechanical Contact

Overtemperature Other: Temp 2: Purge flow:

Cooling defective …………………. OPERATION TIME:

TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:

ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS

Bad feedthrough

Poor vacuum

Main seal leak

Bellows leak

Vacuum leak

High voltage problem

Solenoid failure

Damaged flange

Error code on display

Other

Damaged sealing area

Other

Customer application:

Customer application:

LEAK DETECTORS INSTRUMENTS

Cannot calibrate

No zero/high backround

Gauge tube not working Display problem

Vacuum system unstable

Cannot reach test mode

Communication failure

Degas not working

Failed to start

Other

Error code on display

Other

Customer application:

Customer application:

PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS

Pump doesn’t start

Noisy pump (describe)

Heater failure

Electrical problem

Doesn’t reach vacuum

Over temperature

Doesn’t reach vacuum

Cooling coil damage

Pump seized

Other

Vacuum leak

Other

Customer application:

Customer application:

FAILURE DESCRIPTION

(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):

NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.

Sales and Service Offices

Argentina
Varian Argentina Ltd.

Sucursal Argentina
Av. Ricardo Balbin 2316
1428 Buenos Aires
Argentina
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Australia
Varian Australia Pty Ltd.

679-701 Springvale Road
Mulgrave, Victoria ZZ 3170
Australia
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Benelux
Varian Vacuum Technologies

Rijksstraatweg 269 H,
3956 CP Leersum
The Netherlands
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Brazil
Varian Industria e Comercio Ltda.

Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644
Vila Olimpia
Sao Paulo 04548 005
Brazil
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Canada
Central coordination through:

Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Toll Free: [phone]

China
Varian Technologies - Beijing

Room 1201, Jinyu Mansion
No. 129A, Xuanwumen Xidajie
Xicheng District
Beijing 1000031 P.R. China
Tel: [phone]
Fax: [phone]

France and Wallonie
Varian s.a.

7 avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH

Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: [phone]
Fax: [phone]

India
Varian India PVT LTD

101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Italy
Varian Vacuum Technologies

Via F.lli Varian, 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Japan
Varian Vacuum Technologies

Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Korea
Varian Technologies Korea, Ltd.

Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Mexico
Varian S.A.

Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Ta i w a n
Varian Technologies Asia Ltd.

18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road
Sec. 1, Hsi Chih
Taipei Hsien
Taiwan, R.O.C.
Tel: [phone]
Fax: [phone]

UK and Ireland
Varian Ltd.

28 Manor Road
Walton-On-Thames
Surrey KT 12 2QF
England
Tel: [phone]
Fax: [phone]

United States
Varian Vacuum Technologi es

121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Toll Free: [phone]

Other Countries
Varian Vacuum Technologi es

Via F.lli Varian, 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Internet Users:

Customer Service & Technical Support:

[e-mail]

Wor ldwide Web S it e:

www.varianinc.com/vacuum

Order On-line:

www.evarian.com

Representatives in most countries

11/01