Varian Turbo-V 150HT Instruction Manual
Turbo-V 150HT
Pumps
Model 969-9369
Model 969-9370
Model 969-9371
Model 969-9372
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
INSTRUCTION MANUAL
87-900-891-01(C)
APRIL 2002
Turbo-V 150HT
ISTRUZIONI PER L’USO ....................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG .................................................................................................3
MODE D’EMPLOI................................................................................................................ 5
INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7
INSTRUÇÕES PARA O USO..............................................................................................9
GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................. 11
BRUGSANVISNING .......................................................................................................... 13
BRUKSANVISNING ..........................................................................................................15
BRUKERVEILEDNING...................................................................................................... 17
KÄYTTÖOHJEET ..............................................................................................................19
PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21
INSTRUCTIONS FOR USE...............................................................................................23
TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25
DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28
WATER COOLING INSTALLATION............................................................................................29
AIR COOLING KIT INSTALLATION ............................................................................................30
GAS PURGE VALVE INSTALLATION.........................................................................................30
VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................31
VENT DEVICE INSTALLATION...................................................................................................32
VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION....................................................................................32
TYPICAL LAYOUT DIAGRAM .....................................................................................................32
Connection A - HIGH VACUUM FLANGE .........................................................................33
Connection configurations .................................................................................................33
Connection B - FORE-VACUUM PUMP ............................................................................34
Connection C - ELECTRICAL............................................................................................34
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES..................................................................................34
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS...........................................................35
ACCESSORIES ...........................................................................................................................35
ISTRUZIONI PER L’USO
1 87-900-891-01(C)
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da
parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati
o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V150HT sono pompe turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare
qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte
per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (62000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V150HT
sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi
adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
!!!!
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su
una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in
modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
!!!!
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non
devono essere superate le seguenti condizioni ambientali:
− temperatura: da -20 °C a +70 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)
Se il tempo di immagazzinamento è molto lungo, avviare la
pompa nel modo SOFT START (vedere il manuale del controller).
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad
urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la
tutela dell'ambiente.
!!!!
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde
evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V150HT devono
essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian
(serie 969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) e devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information").
!!!!
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema.
ISTRUZIONI PER L’USO
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La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione.
Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 221 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive, per ogni dimensione
flangia e tipo di morsetto, il numero di morsetti necessari e con
quale coppia di serraggio stringerli.
FLANGIA TIPO DI
MORSETTO
N. COPPIA DI
SERRAGGIO
ISO 63 Morsetto doppio
con filettatura M10
4 22 Nm
Morsetto singolo
con filettatura M8
4 11 Nm
ISO 100 Morsetto doppio
con filettatura M10
4 22 Nm
Morsetto singolo
con filettatura M8
8 11 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information".
Per fissare la pompa per mezzo della sua base, è necessario
utilizzare tre viti M6 fissate agli appositi fori presenti sulla base
della pompa. Le viti utilizzate devono avere un carico di snervamento di 500 N/mm
2
e devono essere fissate con una coppia di 3.1 Nm.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo.
Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo.
Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare
l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale.
Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la
temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C.
Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni di riscaldamento.
!!!!
PERICOLO!
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone.
!!!!
ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).
!!!!
ATTENZIONE!
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
!!!!
ATTENZIONE!
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").
!!!!
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure
tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
MANUTENZIONE
Le pompe della serie Turbo-V150HT non richiedono alcuna
manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.
!!!!
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la pompa
aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto
del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della
pompa sia inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di
quella guasta.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o
advanced exchange service, è indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della
spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.
NO!
!!!!
PERICOLO!
Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun
motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della
turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione
(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca
d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.
GEBRAUCHSANLEITUNG
3 87-900-891-01(C)
ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V150HT handelt es sich um
Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich für jede Art von Gas oder gashaltige Gemische, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen
oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochge- schwindigkeitsdrehturbine (max. 62000 U/Min) erreicht, die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-V150HTPumpen enthalten keinerlei unweltschädliche Substanzen und
eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke, die ein
"sauberes" Vakuum vorschreiben.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des
Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im
Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
!!!!
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können.
!!!!
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen
folgende klimatische Verhältnisse vorliegen:
− Temperatur: von -20°C bis +70°C
− Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95%
Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden (siehe Handbuch der Steuereinheit).
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen
örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
für Umweltschutz.
!!!!
ACHTUNG!
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen
anderen geeigneten Schutz tragen.
ANMERKUNG
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur
Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubverschmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden:
− Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck
− Temperatur: von +5°C bis +35°C
− Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt
werden.
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V150HTdürfen nur
mit einer der Varian-Spezialsteuerungen (Serie 969-9405, 9699505, 969-9423, 969-9523) benutzt werden und müssen an
eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema in
"Technical Information").
!!!!
ACHTUNG!
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.
GEBRAUCHSANLEITUNG
4 87-900-891-01(C)
Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.
Installiren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie
den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch anschließen, der ein Drehmoment von 221 Nm um
seine eigene Achse aushält
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch müssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle
sind die Anzahl der Klemmschellen und der Anzugsmoment für
die jeweiligen Flanschgrößen und Klemmenarten angegeben.
FLANSC KLEMMSCHELLE ANZ. ANZUGSMO
MENT
ISO 63 Doppelklemme mit
M10-Gewinde
4 22 Nm
Doppelklemme mit
M8-Gewinde
4 11 Nm
ISO 100 Doppelklemme mit
M10-Gewinde
4 22 Nm
Doppelklemme mit
M8-Gewinde
8 11 Nm
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem
speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang
"Technical Information".
Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen,
müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M6-Schrauben eingesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze von
500N/mm
2
haben. Anzugsmoment: 3.1 Nm.
Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information".
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpengehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt werden. Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe
120°C nicht überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen die TP mit Wasserkühlung arbeiten.
!!!!
GEFAHR!
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
!!!!
ACHTUNG!
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphärischen Druck sein.
!!!!
ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
!!!!
ACHTUNG!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öfnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
!!!!
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für
das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V150HTsind wartungsfrei. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden.
!!!!
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
!!!!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall
in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör).
Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines
flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein.
NEIN
!
MODE D'EMPLOI
5 87-900-891-01(C)
INDICATIONS GENERALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement
cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian
décline par conséquent toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions données, d'utilisation
incorrecte de la part d'un personnel non formé, d'opérations
non autorisées ou d'un emploi contraire aux réglementations
nationales spécifiques.
Les pompes de la série Turbo-V150HT sont des pompes turbomoléculaires conçues pour des applications de vide poussé
et ultrapoussé, capables de pomper n'importe quel type de gaz
ou de composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le
pompage de liquides ou de particules solides.
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (62000 tr/mn maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-V150HT
sont totalement exemptes d'agents polluants et sont par conséquent indiquées pour des applications exigeant un vide "propre".
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se
trouvent dans l'appendice "Technical Information"
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
!!!!
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas
effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions.
!!!!
ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants, isolés
du texte.
EMMAGASINAGE
Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra
veiller à respecter les conditions environnementales suivantes:
− température: de - 20°C - à + 70°C
− humidité relative 0 - 95 % (non condensante)
Si le temps d'emmagasinage est très long, mettre la pompe en
marche en mode SOFT START (voir la notice du contrôleur).
PREPARATION POUR L'INSTALLATION
La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;
si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être
produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de
vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,
veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe
et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE
85/399 en matière de protection de l'environnement.
!!!!
ATTENTION!
En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher,
les mains nues, les éléments devant être exposés au vide.
Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
NOTE
La pompe ne peut être endommagée en restant simplement
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la
garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter
toute pollution due à la poussière.
INSTALLATION
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des
poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux
explosifs ou à risque élevé d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes:
− pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
− température: de +5°C° à +35°C
− humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se
reporter à l'appendice "Technical Information".
Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V150HT ne
doivent être utilisées qu'avec l'un des contrôleurs spéciaux Varian (série 969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) et elles
doivent être connectées à une pompe primaire (voir schéma
dans "Technical Information").
!!!!
ATTENTION!
N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la
connexion de la turbopompe au système.
MODE D'EMPLOI
6 87-900-891-01(C)
La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle position. Fixer la turbopompe dans une position stable, en reliant la
bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de 221 Nm autour de son axe.
La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le tableau
suivant décrit, pour chaque dimension de bride et pour chaque
type de collier, le nombre de colliers nécessaires ainsi que le
couple de serrage prescrit.
BRIDE TYPE DE
COLLIER
N.BRE COUPLE DE
SERRAGE
ISO 63 Collier double
à filetage M10
4 22 Nm
Collier simple
à filetage M8
4 11 Nm
ISO 100 Collier double
à filetage M10
4 22 Nm
Collier simple
à filetage M8
8 11 Nm
La turbopompe à bride d'entrée Conflat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian prévus à cet effet. Pour tous autres détails, se reporter à l'appendice "Technical Information".
Pour fixer la pompe au moyen de sa base, il est nécessaire
d'utiliser trois vis M6 fixées aux trous prévus à cet effet se trouvant aur la base de la pompe. Les vis utilisées doivent avoir
une limite d'élasticité de 500 N/mm
2
, et être fixées à un couple
de 3,1 Nm.
Pour l'installation des accessoires en option, voir "Technical
Information".
UTILISATION
Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la
turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrôle.
Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser
la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est
possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à
vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser
120°C.
Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opérations de chauffage.
!!!!
DANGER!
Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut causer des lésions aux personnes.
!!!!
ATTENTION!
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique.
!!!!
ATTENTION!
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation
ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer.
!!!!
ATTENTION!
Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de
fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour
protéger les coussinets (voir l'appendice "Technical Information").
!!!!
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
ENTRETIEN
Les pompes de la série Turbo-V150HT n'exigent aucun autre
entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel
agréé.
!!!!
DANGER!
Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la
soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet
du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la
pompe soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de s'adresser au service réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange service"
qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place de la
pompe détraquée.
NOTE
Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des réparations ou un "advanced exchange service", remplir et faire
parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette
fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales en la matière.
!!!!
DANGER!
Pour éviter toutes lésions à la personne, ne jamais introduire - pour quelque motif que ce soit - les doigts ou bien
des objets dans l'entrée de la turbopompe. Il est conseillé
d'utiliser un filet de protection (option). Si l'on utilise un
amortisseur de vibrations ou bien un soufflet métallique
flexible sur l'entrée, fixer toujours la turbopompe à la base.
NON!
INSTRUCCIONES DE USO
7 87-900-891-01(C)
INFORMACION GENERAL
Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El
usuario deberá leer atentamente el presente manual de
instrucciones y cualquier otra información suplementaria
facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se
considera libre de cualquier responsabilidad debida al
incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco
apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las
intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las
normas nacionales específicas.
Las bombas de la serie Turbo-V150HT son bombas
turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto
que pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto
gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o
partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene a través de una turbina que
gira a gran velocidad (62000 r.p.m. máx.) movida por un motor
eléctrico trifásico de grandes prestaciones. En las bombas
Turbo-V150HT no hay agentes contaminantes y, por lo tanto,
son apropiadas incluso para las aplicaciones que necesitan un
vacío "limpio".
En los párrafos siguientes se indica toda la información
necesaria para garantizar la seguridad del operador durante el
uso del equipo. Una información más detallada se facilita en el
Suplemento "Technical Information".
Este manual utiliza los símbolos convencionales
siguientes:
!!!!
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una operación específica que, al no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
!!!!
¡ATENCION!
Los mensajes de atención se visualizan antes de
procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños
al equipo.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se
deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes:
− temperatura: de -20°C a +70°C
− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
Si el periodo de almacenamiento es muy largo, poner en
marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el
manual de la unidad de control).
PREPARACION PARA LA INSTALACION
La bomba se suministra en un embalaje de protección
dimensional; si se observan señales de daños, que podrían
haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto
con la oficina de venta más cercana.
Durante la operación de desembalaje, prestar una atención
especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.
No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la
preservación del medio ambiente.
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¡ATENCION!
Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin
guantes los componentes destinados a someterse al vacío.
Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada.
NOTA
La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la
atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar
una posible contaminación debida al polvo.
INSTALACION
No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases
agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de
incendio.
Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
− presión máxima: 2 bar por encima de la presión
atmosférica
− temperatura: de +5°C a + 35°C
− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice
“Technical Information” para más detalles.
Las bombas turbomoleculares de la serie V150HT se deberán
utilizar sólo con uno de los controladores apropiados Varian
(serie 969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) y se deberán
acoplar a una bomba primaria (véase esquema en "Technical
Information").
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¡ATENCION!
Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento en que se conecte la turbobomba al sistema.
INSTRUCCIONES DE USO
8 87-900-891-01(C)
La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. Fijar la
turbobomba en posición estable acoplando la brida de entrada
de la turbobomba a una falsa brida fija que pueda soportar un
par de 221 Nm alrededor de su eje.
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante mordazas dobles o sencillas. La
tabla siguiente describe, para cualquier dimensión de la brida y
tipo de mordaza, el número de mordazas necesarias y a que
par de apriete apretarlas.
BRIDA TIPO DE
MORDAZA
N°°°°
PAR DE
APRIETE
ISO 63 Mordaza doble
con roscado M10
4 22 Nm
Mordaza sencilla
con roscado M8
4 11 Nm
ISO 100 Mordaza doble
con roscado M10
4 22 Nm
Mordaza sencilla
con roscado M8
8 11 Nm
La turbobomba con brida de entrada ConFiat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante accesorios mecánicos Varian. Para
más detalles véase el apéndice “Technical Information”.
Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres
tornillos M6 fijados en los orificios correspondientes que se
encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han
de tener una carga de deformación elástica de 500 N/mm
2
, y
han de fijarse a un par de 3,1 Nm.
Para la instalación de los opcionales, véase “Technical
Information”.
UTILIZACION
Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de
control.
Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.
Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la
temperatura de la brida de entrada no deberá superar 120°C.
Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las
operaciones de calentamiento.
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¡PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
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¡ATENCION!
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión
atmosférica.
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¡ATENCION!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
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¡ATENCION!
Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas
de una puerta específica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o
Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice
“Technical Information”).
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¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
MANTENIMIENTO
Las bombas de la serie Turbo-V150HT no necesitan ningún
mantenimiento. Cualquier intervención deberá ser realizada
por personal autorizado.
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¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la
bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el
rotor se pare completamente y esperar a que la bomba esté
por debajo de 50 ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.
NOTA
Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de
"Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en
el embalaje de la bomba antes de enviarla.
En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminación respetando las normas nacionales específicas.
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¡PELIGRO!
Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por
ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada
de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de entrada,
fijar siempre la turbobomba a la base.
NO!
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