Varian Turbo-V 1000 ICE Instruction Manual

Turbo-V 1000 ICE

E-series

Model 969-9128

MANUALE DI ISTRUZIONI

BEDIENUNGSHANDBUCH

NOTICE DE MODE D’EMPLOI

MANUAL DE INSTRUCCIONES

MANUAL DE INSTRUÇÕES

BEDRIJFSHANDLEIDING

INSTRUKSTIONSBOG

BRUKSANVISNING

INSTRUKSJON MANUAL

OHJEKÄSIKIRJA

ODHGIES CRHSEWS

INSTRUCTION MANUAL

87-900-942-01(A)
APRIL 2002

Turbo-V 1000 ICE

E-series

ISTRUZIONI PER L’USO ....................................................................................................1

GEBRAUCHSANLEITUNG .................................................................................................3

MODE D’EMPLOI................................................................................................................ 5

INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7

INSTRUÇÕES PARA O USO..............................................................................................9

GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................. 11

BRUGSANVISNING .......................................................................................................... 13

BRUKSANVISNING ..........................................................................................................15

BRUKERVEILEDNING...................................................................................................... 17

KÄYTTÖOHJEET ..............................................................................................................19

PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21

INSTRUCTIONS FOR USE...............................................................................................23

TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25

DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25

TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26

INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28

HEATING JACKET INSTALLATION............................................................................................29

WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................29

VENT DEVICE INSTALLATION...................................................................................................31

VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................31

SOLID STATE FLOWMETER INSTALLATION ...........................................................................32

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES..................................................................................32

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM .....................................................................................................33

Connection A - HIGH VACUUM FLANGE .........................................................................34

Connection configurations .................................................................................................34

Connection B - FORE-VACUUM PUMP ............................................................................34

Connection C - ELECTRICAL............................................................................................34

SUGGESTED PUMP INSTALLATION.........................................................................................35

ROUGHING OPERATION ...........................................................................................................35

Pump and chamber at atmosphere ...................................................................................35

Pump under vacuum, chamber at atmosphere (chamber cleaning)..................................35

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ...............................................................36

ACCESSORIES ...........................................................................................................................36

ISTRUZIONI PER L’USO

1 87-900-942-01(A)

INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si
ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute
all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso
improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi
non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali
specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V1000 ICE E-series sono pompe
turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto
particolarmente adatte per l’uso nei settori legati all’industria
dei semiconduttori, e sono capaci di pompare qualsiasi tipo di
gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il pompaggio
di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (38000 giri/min. max) mossa da un motore
elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V1000
ICE-E series sono totalmente prive di agenti contaminanti, e
sono quindi adatte per applicazioni che richiedono un vuoto
"pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono
fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

!!!!

PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su
una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in
modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

!!!!

ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec­chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.

IMMAGAZZINAMENTO

Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non
devono essere superate le seguenti condizioni ambientali:

− temperatura: da -20 °C a +70 °C

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)

Se il tempo di immagazzinamento è molto lungo, avviare la
pompa nel modo SOFT START (vedere il manuale del control­ler).

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad
urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.

!!!!

ATTENZIONE!

Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.

NOTA

La pompa non può essere danneggiata rimanendo
semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul
sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.

INSTALLAZIONE

!!!!

PERICOLO!

La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata
tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento.

Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:

− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica

− temperatura: da + 5 °C a +35 °C

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

!!!!

ATTENZIONE!

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al
momento del collegamento della turbopompa al sistema.

ISTRUZIONI PER L’USO

2 87-900-942-01(A)

In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice
"Technical Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V1000 ICE-E
series devono essere utilizzate solo con uno degli appositi
controllori Varian (serie 969-9464 220V, 969-9564 120V) e
devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere
schema in "Technical Information").
La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione.
Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 4668 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive il numero di morsetti
necessari e con quale coppia di serraggio stringerli.

FLANGIA TIPO DI

MORSETTO

N. COPPIA DI

SERRAGGIO

ISO 200 Morsetto doppio

con filettatura M10

6 23 Nm

Morsetto singolo

con filettatura M10

12 23 Nm

Per fissare la pompa per mezzo della sua base, è necessario
utilizzare tre viti M6 fissate agli appositi fori presenti sulla base
della pompa. Le viti utilizzate devono avere un carico di
snervamento di 550 N/mm

2

e devono essere fissate con una
coppia di 4,5 Nm.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".

USO

Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della
turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo.
Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo.
Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare
l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale.
Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la
temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 80 °C.
Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le
operazioni di riscaldamento.

!!!!

PERICOLO!

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.

!!!!

ATTENZIONE!

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso
attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).

!!!!

ATTENZIONE!

Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della
turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero
danneggiarsi.

!!!!

ATTENZIONE!

Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per
proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical
Information").

!!!!

PERICOLO!

Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas
tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate
procedure tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.

MANUTENZIONE

Le pompe della serie Turbo-V1000 ICE-E series non
richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve
essere eseguito da personale autorizzato.

!!!!

PERICOLO!

Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa
scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la
pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo
arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale
della pompa sia inferiore a 50°C.

In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di
riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service",
che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione
di quella guasta.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o
advanced exchange service, è indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e
Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della
stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima
della spedizione.

Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali
specifiche.

!!!!

PERICOLO!

Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun
motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della
turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione
(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di
vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla
bocca d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.

NO!

GEBRAUCHSANLEITUNG

3 87-900-942-01(A)

ALLGEMEINES

Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei
Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der
einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen
übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V1000 ICE E-series handelt
es sich um Turbomolekularpumpen für Hoch- und
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich insbesonders
für den Einsatz in den verschiedenen Gebieten der
Halbleiterindustrie und zur Förderung von jeder Art von Gasen
oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur Förderung von
Flüssigstoffen oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine
(max. 38000 Upm) erzielt, die von einem
Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo­V1000 ICE-E series-Pumpen enthalten keinerlei
unweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch
für Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum
vorschreiben.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen
Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der
Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische
Informationen sind im Anhang "Technical Information"
enthalten.

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:

!!!!

GEFAHR!

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des
Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen
können.

!!!!

ACHTUNG!

Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung
Schäden an der Anlage entstehen können.

ANMERKUNG

Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.

LAGERUNG

Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen
folgende klimatische Verhältnisse vorliegen:

− Temperatur: von -20°C bis +70°C

− Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95%

Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei
Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden
(siehe Handbuch der Steuereinheit).

VOR DER INSTALLATION

Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der
zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
für Umweltschutz.

!!!!

ACHTUNG!

Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die
Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen,
nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe
oder einen anderen geeigneten Schutz tragen.

ANMERKUNG

Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre
ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis
zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um
Staubverschmutzungen zu vermeiden.

INSTALLATION

!!!!

GEFAHR!

Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe ausschließlich
mittels entsprechend geeigneten Hebe- bzw.
Versetzungsgeräten transportiert bzw. angehoben werden.

Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die
ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und
aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen
eingehalten werden:

− Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck

− Temperatur: von +5°C bis +35°C

−

Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).

Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über
Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms
geschützt werden.

!!!!

ACHTUNG!

Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.

GEBRAUCHSANLEITUNG

4 87-900-942-01(A)

Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V1000 ICE-E
series dürfen ausschließlich mit einer der Varian­Spezialsteuerungen betrieben werden (Baureihen 969-9464
220V, 969-9564 120V) und müssen an eine Primärpumpe
angeschlossen werden (siehe Schema “Technical
Information”).
Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position,
indem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen
Gegenflansch anschließen, der um die eigene Achse einem
Drehmoment von 4668 Nm standhalten muß.
Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch müssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die
Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden
Tabelle sind die Anzahl der jeweils erforderlichen Klemmschellen
sowie der jeweilige Anzugsmoment angegeben.

FLANSCH SCHELLENART ANZAHL ANZUGSMOMENT

ISO 200 Doppelklemme mit

NM10-Gewinde

6 23 Nm

Einzelklemme mit

NM10-Gewinde

12 23 Nm

Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen,
müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M6-Schrauben
eingesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze
von 500N/mm

2

haben und mit einem Anzugsmoment 4,5 Nm
angezogen werden.
Installation Sonderzubehör: siehe Anhang “Technical
Information”.

ANWENDUNG

Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das
Pumpengehäuse mit einer Heizmanschette (Optional)
ausgeheizt werden.
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 80°C nicht
überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen
die TP mit Wasserkühlung arbeiten.

!!!!

GEFAHR!

Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch
eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es
besteht Verbrennungsgefahr.

!!!!

ACHTUNG!

Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am
Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem
atmosphärischen Druck sein.

!!!!

ACHTUNG!

Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.

!!!!

ACHTUNG!

Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öfnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").

!!!!

GEFAHR!

Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen
die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und
Maßnahmen befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven
Gasen.

WARTUNG

Die Pumpen der Baureihe Turbo-V1000 ICE-E series sind
wartungsfrei. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten
Fachkräften vorgenommen werden.

!!!!

GEFAHR!

Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.

Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.

ANMERKUNG

Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem
Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt
werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.

Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der
einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.

!!!!

GEFAHR!

Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird
empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör).
Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines
flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die
Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein.

NEIN!

MODE D’EMPLOI

5 87-900-942-01(A)

INDICATIONS GENERALES

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire
attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser
l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité
en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions
données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non
formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire
aux réglementations nationales spécifiques.

Les pompes de la série Turbo-V1000 ICE E-series sont des
pompes turbomoléculaires conçues pour des applications
de vide poussé et ultrapoussé, particulièrement adaptées à
l’utilisation dans les secteurs liés à l’industrie des semi­conducteurs et elles sont appropriées pour le pompage de
n'importe quel type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne
sont pas indiquées pour le pompage de liquides ou de
particules solides.

L’effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (38000 tr/min maxi), mue par un moteur
électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo­V1000 ICE-E series sont totalement dépourvues d’agents
polluants et sont par conséquent indiquées pour les
applications exigeant un vide “propre”.
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l’opérateur pendant
l’utilisation de l’appareillage. Des renseignements plus détaillés
se trouvent dans l’appendice “Technical Information”.
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

!!!!

DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas
effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions.

!!!!

ATTENTION!

Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient
endommager sérieusement l'appareillage.

NOTE

Les notes contiennent des renseignements importants, isolés
du texte.

EMMAGASINAGE

Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra
veiller à respecter les conditions environnementales suivantes:

− température: de - 20°C - à + 70°C

− humidité relative 0 - 95 % (non condensante)

Si le temps d'emmagasinage est très long, mettre la pompe en
marche en mode SOFT START (voir la notice du contrôleur).

PREPARATION POUR L'INSTALLATION

La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;
si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être
produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de
vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,
veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe
et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE
85/399 en matière de protection de l'environnement.

!!!!

ATTENTION!

En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher,
les mains nues, les éléments devant être exposés au vide.
Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée.

NOTE

La pompe ne peut être endommagée en restant simplement
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la
garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter
toute pollution due à la poussière.

INSTALLATION

!!!!

DANGER!

En vertu de son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide
d’outils de levage et de déplacement appropriés.

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux
exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des
poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux
explosifs ou à risque élevé d'incendie. Pendant le
fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions
environnementales suivantes:

− pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique

− température: de +5°C° à +35°C

− humidité relative: 0 - 95% (non condensante)

En présence de champs magnétiques, la pompe doit être
protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails,
se reporter à l'appendice "Technical Information".

!!!!

ATTENTION!

N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la
connexion de la turbopompe au système.

MODE D’EMPLOI

6 87-900-942-01(A)

Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V1000 ICE-E
series ne doivent être utilisées qu’avec l’un des contrôleurs
spéciaux Varian (série 969-9464 220V, 969-9564 120V) et
doivent être connectées à une pompe primaire (Cf. schéma
dans “Technical Information”).
La turbopompe devra être installée en position verticale ou en
position retournée avec une inclinaison maximum de 10° par
rapport à l’axe vertical.
La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle
position. Fixer la turbopompe dans une position stable en
reliant la bride d’entrée à une contre-bride fixe pouvant
supporter un couple de 4668 Nm autour de son axe.
La turbopompe à bride d’entrée ISO doit être fixée à la
chambre à vide à l’aide de colliers doubles ou simples. Le
tableau suivant indique le nombre de colliers nécessaires et le
couple de serrage prescrit.

BRIDE TYPE DE

COLLIER

NBRE COUPLE DE

SERRAGE

ISO 200 Collier double à

filetage M10

6 23 Nm

Collier simple à

filetage M10

12 23 Nm

Pour fixer la pompe au moyen de sa base, il est nécessaire
d'utiliser trois vis M6 fixées aux trous prévus à cet effet se
trouvant aur la base de la pompe. Les vis utilisées doivent
avoir une limite d'élasticité de 500 N/mm2 et être fixées à un
couple de 4,5 Nm.
Pour l’installation des accessoires en option, consulter
“Technical Information”.

UTILISATION

Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la
turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de
contrôle.
Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser
la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est
possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du
réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la
chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas
dépasser 80°C. Utiliser toujours le refroidissement par eau
pendant les opérations de chauffage.
Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les
opérations de chauffage.

!!!!

DANGER!

Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut causer des lésions aux personnes.

!!!!

ATTENTION!

Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique.

!!!!

ATTENTION!

Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation
ou déplacement brusque car les paliers pourraient se
détériorer.

!!!!

ATTENTION!

Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de
fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour
protéger les coussinets (voir l'appendice "Technical
Information").

!!!!

DANGER!

Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz
toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures
typiques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.

ENTRETIEN

Les pompes de la série Turbo-V1000 ICE-E series ne
requièrent aucun entretien particulier. Toute intervention doit
être effectuée par du personnel agréé.

!!!!

DANGER!

Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe,
débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant
la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet
du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la
pompe soit inférieure à 50°C.

En cas de panne, il est possible de s'adresser au service
réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange
service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place
de la pompe détraquée.

NOTE

Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des
réparations ou un "advanced exchange service", remplir et
faire parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et
Santé" annexée à la présente notice d'instructions. Une copie
de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe
avant l'expédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nationales en la
matière.

!!!!

DANGER!

Pour éviter toutes lésions à la personne, ne jamais
introduire - pour quelque motif que ce soit - les doigts ou
bien des objets dans l'entrée de la turbopompe. Il est
conseillé d'utiliser un filet de protection (option). Si l'on
utilise un amortisseur de vibrations ou bien un soufflet
métallique flexible sur l'entrée, fixer toujours la
turbopompe à la base.

NON!

INSTRUCCIONES DE USO

7 87-900-942-01(A)

INFORMACION GENERAL

Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El
usuario deberá leer atentamente el presente manual de
instrucciones y cualquier otra información suplementaria
facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se
considera libre de cualquier responsabilidad debida al
incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco
apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las
intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las
normas nacionales específicas.

Las bombas de la serie Turbo-V1000 ICE E-series son
bombas turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y
ultra alto especialmente adecuadas para el uso en los
sectores relacionados con la industria de los
semiconductores y pueden bombear cualquier tipo de gas o
de compuesto gaseoso. No son apropiadas para bombear
líquidos o partículas sólidas.

El efecto de bombeo se consigue mediante una turbina rotativa
de alta velocidad (38000 r.p.m./min. máx) movida por un motor
trifásico de gran rendimiento. Las bombas Turbo-V1000 ICE-E
series no llevan ningún tipo de agentes contaminantes y por lo
tanto son aptas para aplicaciones que requieren un vacío
“limpio”.
Los apartados siguientes contienen toda la información
necesaria para garantizar la seguridad necesaria del operador
al utilizar el aparato. Información más detallada se puede
encontrar en el anexo “Technical Information”.

Este manual utiliza los símbolos convencionales
siguientes:

!!!!

¡PELIGRO!

Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una operación específica que, al no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.

!!!!

¡ATENCION!

Los mensajes de atención se visualizan antes de
procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños
al equipo.

NOTA

Las notas contienen información importante extraída del texto.

ALMACENAMIENTO

Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se
deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes:

− temperatura: de -20°C a +70°C

− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)

Si el periodo de almacenamiento es muy largo, poner en
marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el
manual de la unidad de control).

PREPARACION PARA LA INSTALACION

La bomba se suministra en un embalaje de protección
dimensional; si se observan señales de daños, que podrían
haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto
con la oficina de venta más cercana.
Durante la operación de desembalaje, prestar una atención
especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.
No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la
preservación del medio ambiente.

!!!!

¡ATENCION!

Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin
guantes los componentes destinados a someterse al vacío.
Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada.

NOTA

La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la
atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar
una posible contaminación debida al polvo.

INSTALACION

!!!!

¡PELIGRO!

A causa de su peso, la bomba ha de manejarse utilizando las
herramientas específicas de levantamiento y desplazamiento.

No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases
agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de
incendio.
Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:

− presión máxima: 2 bar por encima de la presión
atmosférica

− temperatura: de +5°C a + 35°C

− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)

Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice
“Technical Information” para más detalles.

!!!!

¡ATENCION!

Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento en que se conecte la turbobomba al sistema.

INSTRUCCIONES DE USO

8 87-900-942-01(A)

Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V1000 ICE-E
series han de utilizarse exclusivamente con uno de los
controladores Varian (serie 969-9464 220V, 969-9564 120V) y
se conectarán a una bomba primaria (véase esquema en
“Technical Information”).
La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. Fijar la
turbobomba en posición estable uniendo la brida de entrada de
la turbobomba con una contrabrida fija capaz de resistir a un
par de 4668 Nm alrededor de su eje.
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la
cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas
individuales. La tabla siguiente describe el número de
mordazas necesarias y el par de apriete al que han de
apretarse.

BRIDA TIPO DE MORDAZA N. PAR DE

APRIETE

ISO 200 Mordaza doble

con rosca M10

6 23 Nm

Mordaza individual

con rosca M10

12 23 Nm

Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres
tornillos M6 fijados en los orificios correspondientes que se
encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han
de tener una carga de deformación elástica de 500 N/mm

2

y
han de fijarse a un par de 4,5 Nm.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.

UTILIZACION

Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de
control.
Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.
Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la
temperatura de la brida de entrada no deberá superar 80°C.
Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las
operaciones de calentamiento.

!!!!

¡PELIGRO!

No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.

!!!!

¡ATENCION!

Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión
atmosférica.

!!!!

¡ATENCION!

Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.

!!!!

¡ATENCION!

Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas
de una puerta específica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o
Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice
“Technical Information”).

!!!!

¡PELIGRO!

Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.

MANTENIMIENTO

Las bombas de la serie Turbo-V1000 ICE-E series no
necesitan ningún tipo de mantenimiento. Cualquier operación
tendrá que ser realizada por personal autorizado.

!!!!

¡PELIGRO!

Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la
bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el
rotor se pare completamente y esperar a que la bomba esté
por debajo de 50 ºC.

En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.

NOTA

Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de
"Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en
el embalaje de la bomba antes de enviarla.

En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminación respetando las normas nacionales específicas.

!!!!

¡PELIGRO!

Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por
ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada
de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de
protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de
vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de
entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.

NO!

INSTRUÇÕES PARA O USO

9 87-900-942-01(A)

INFORMAÇÕES GERAIS

Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador
deve ler atentamente o presente manual de instruções e
qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian
antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza
pela eventual inobservância total ou parcial das instruções,
pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas
nacionais específicas.

As bombas da série Turbo-V1000 ICE E-series são bombas
turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo,
especialmente apropriadas para o uso nos sectores ligados
à industria dos semicondutores, e são capazes de bombear
qualquer tipo de gás ou de composto gasoso. Não são
adequadas para bombear líquidos ou partículas sólidas.

O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (38.000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico trifásico de alto rendimento. As bombas Turbo-V1000
ICE-E series são totalmente sem agentes contaminadores e,
portanto, são adequadas para aplicações que requerem um
vácuo "limpo".
Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as
informações necessárias para garantir a segurança do técnico
durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são
fornecidas no apêndice "Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:

!!!!

PERIGO!

As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões
pessoais.

!!!!

ATENÇÃO!

As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não observados, poderiam causar
danos à aparelhagem.

OBS

As obs. contêm informações importantes destacadas do texto.

ARMAZENAGEM

Durante o transporte e a armazenagem das bombas não
devem ser superadas as seguintes condições ambientais:

− temperatura: de -20ºC a +70ºC

− humidade relativa: 0 - 95% (não condensante)

Se o tempo de armazenagem for muito longo, accionar a
bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo).

PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO

A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se
apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se
durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de
vendas local.
Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou
vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399
para a protecção do meio ambiente.

!!!!

ATENÇÃO!

Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.

OBS

A bomba não pode ser danificada permanecendo
simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema
para evitar que se suje com poeiras.

INSTALAÇÃO

!!!!

PERIGO!

A bomba, devido ao seu peso, deve ser manuseada utilizando
os equipamentos apropriados para o levantamento e a
movimentação.

Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:

− pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica

− temperatura: de + 5ºC a + 35ºC

− humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).

!!!!

ATENÇÃO!

Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no
momento da ligação da turbobomba ao sistema.

INSTRUÇÕES PARA O USO

10 87-900-942-01(A)

Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida
com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical
Information" para maiores detalhes.
Existindo campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice
"Technical Information" para maiores detalhes.
As bombas turbomoleculares da série Turbo-V1000 ICE-E
series devem ser utilizadas somente com um dos
controladores Varian específicos (série 969-9464 220V, 969­9564 120V) e devem ser ligadas a uma bomba primária (ver
esquema em "Technical Information").
A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição. Fixar a
turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da
turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um
torque de 4668 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada às
câmaras de vácuo através de bornes duplos ou simples. A
tabela a seguir descreve o número de bornes necessários e
com qual torque devem ser apertados.

FLANGE TIPO DE BORNE N° TORQUE

ISO 200 Borne duplo com rosca

M10

6 23 Nm

Borne simples com rosca

M10

12 23 Nm

Para fixar a bomba através da sua base, é necessário utilizar
três parafusos M6 fixados aos furos específicos existentes na
base da bomba. Os parafusos utilizados devem possuir um
limite de carga de 500 N/mm

2

e devem ser fixados com um
binário de 4,5 Nm.
Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical
Information".

UTILIZAÇÃO

Todas as instruções para o correcto funcionamento da
turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.
Ler atentamente este manual antes da utilização.
Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o
invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o
eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no
flange de entrada não deve ser superior a 80 ºC. Utilizar
sempre o resfriamento com água durante as operações de
aquecimento.
Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações
de aquecimento.

!!!!

PERIGO!

Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.

!!!!

ATENÇÃO!

Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão
atmosférica).

!!!!

ATENÇÃO!

Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da
turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.

!!!!

ATENÇÃO!

Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou
Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical
Information").

!!!!

PERIGO!

Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás.
Não usar a bomba na presença de gases explosivos.

MANUTENÇÃO

As bombas da série Turbo-V1000 ICE-E series não requerem
qualquer manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada
por pessoal autorizado.

!!!!

PERIGO!

Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o
conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a
válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e
até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50
ºC.

Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite
obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com
defeito.

OBS.

Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou
advanced exchange service, é indispensável preencher e
enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da
mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da
expedição.

Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua
eliminação respeitando as normas nacionais específicas.

!!!!

PERIGO!

Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer
motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da
turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção
(opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou
um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar
sempre a turbobomba à base.

NÃO!

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

11 87-900-942-01(A)

ALGEMENE INFORMATIE

Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen
alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich
niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk
in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving.

De pompen van de serie Turbo-V1000 ICE E-series zijn
turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge
vacuümtoepassingen, uitermate geschikt voor toepassing in
sectoren die te maken hebben met de halfgeleiderindustrie,
die in staat zijn om elk type gas of gasverbinding te
pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van
vloeistoffen of vaste deeltjes.

Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende
turbine (max. 38.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door
een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De
Turbo-V1000 ICE-E series pompen zijn volledig vrij van
verontreinigingen en zijn dus ook geschikt voor toepassingen
die een “schoon vacuüm” verlangen.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de
apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te
vinden in de bijlage "Technical information".
Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:

!!!!

GEVAAR!

Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.

!!!!

ATTENTIE!

Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.

OPMERKING

De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.

OPSLAG

Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de
volgende omgevingscondities aanwezig zijn:

− temperatuur: van -20°C tot +70°C

− relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend)

Als de opslagperiode van lange duur is, de pomp met de SOFT
START wijze opstarten (zie handleiding regeleenheid).

UITPAKKEN

De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het
transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact
opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of
stoten te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.

!!!!

ATTENTIE!

Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd wanten of
een andere geschikte bescherming.

OPMERKING

De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan
de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden
om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het
systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof
wordt voorkomen.

INSTALLATIE

!!!!

GEVAAR!

De pomp moet in verband met haar gewicht met de juiste
hefwerktuigen worden opgeheven en verplaatst.

De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar.
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn:

− max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk

− temperatuur: van +5°C tot +35°C

− relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).

!!!!

ATTENTIE!

Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

12 87-900-942-01(A)

Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie.
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V1000 ICE-E
series mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een
van de speciale Varian controllers (serie 969-9464 220V, 969­9564 120V) en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp
(zie schema in “Technical Information”).
De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die
een koppel van 4668 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde
klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten
worden.

FLENS KLEMTYPE NR. AANHAALKOPPEL

ISO 200 Dubbele klem

met M10
schroefdraad

6 23 Nm

Enkelvoudige

klem met M10
schroefdraad

12 23 Nm

Om de pomp met behulp van zijn basis te bevestigen, zijn drie
M6 bouten nodig die in de gaten in de basis van de pomp
worden ingebracht. Deze bouten moeten een vloeisterkte van
500 N/mm

2

bezitten en met een koppel van 4,5 Nm worden
aangehaald.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.

GEBRUIK

Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp
zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld.
Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door.
Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis
verwarmd worden met behulp van een optionele
verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de
vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer
dan 80° C bedragen.
Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe.

!!!!

GEVAAR!

Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.

!!!!

ATTENTIE!

Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de
atmsoferische druk) bedragen.

!!!!

ATTENTIE!

Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen
anders beschadigd raken.

!!!!

ATTENTIE!

Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen
van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een
stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de
lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”).

!!!!

GEVAAR!

Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld.
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.

ONDERHOUD

De pompen van de serie Turbo-V1000 ICE-E series zijn
onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door
bevoegd personeel worden uitgevoerd.

!!!!

GEVAAR!

Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder
een temperatuur van 50 °C is gezakt.

In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.

OPMERKING

Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart
"Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het
plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van
deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking
worden gevoegd.

Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.

!!!!

GEVAAR!

Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening
van de turbompomp worden gestoken. Men raadt gebruik
van het beschermgaasje aan (optional). Als een
trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de
inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan de
basis bevestigen.

NEE!

BRUGSANVISNING

13 87-900-942-01(A)

ALMENE OPLYSNINGER

Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse.
Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere
vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug.
Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt,
eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret
anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages
uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en
måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige
normer.

Turbo-V1000 ICE E-series serien omfatter turbomolekulære
pumper til højvakuum og til ultra-højvakuum, der er specielt
velegnede til brug i industrier, hvor halvledere anvendes.
Pumperne er i stand til at pumpe alle typer luftarter og
luftforeninger. Denne serie er ikke egnet til at pumpe
væsker eller faste partikler.

Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved
høj hastighed (max. 38000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv
trefaset elektrisk motor. V1000 ICE-E series pumperne er
fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god
anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum.
I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for
operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede
oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information".
I denne håndbog findes følgende regler:

!!!!

ADVARSEL!

Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et
indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare
for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt.

!!!!

PAS PÅ

Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal
overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret.

BEMÆRK

Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger.

OPLAGRING

Under transport og oplagring af pumpene skal følgende
omgivelsesbetingelser være overholdt:

− temperatur: fra -20°C til +70°C

− relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)

Hvis pumperne oplagres gennem lang tid, skal de sættes i
gang på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til
kontrolenheden).

FORBEREDELSE TIL MONTERING

Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage.
Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på
beskadigelse, der kan være sket under transporten.
Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til
den under udpakningen.
Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er
genbrugsmateriale i overensstemmelse med EF-direktiv
85/399 vedrørende miljøbeskyttelse.

!!!!

PAS PÅ

For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de
bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid
handsker eller anden passende beskyttelse.

BEMÆRK

Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den
atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales
det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i
anlægget.

MONTERING

!!!!

ADVARSEL!

Grundet dens vægt må pumpen kun håndteres ved hjælp af
dertil bestemt løfte- og flytningsudstyr.

Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der
udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende
luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller
stor brandfare.
Følgende betingelser skal overholdes under driften:

− maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk)

− temperatur: fra +5°C til +35°C

− relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).

!!!!

PAS PÅ

Etiketten og beskyttelsesdækslet fjernes først i det øjeblik,
turbopumpen tilsluttes anlægget.

BRUGSANVISNING

14 87-900-942-01(A)

Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag
“Technical Information” for yderligere detaljer.
Turbomolekulærpumperne i V1000 ICE-E series serien må kun
anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie
969-9464 220 V, 969-9564 120V) og skal forbindes med en
primær pumpe (se skemaet i "Technical Information").
Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Den
fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres
til en fast modflange, der er i stand til at modstå et
drejningsmoment på 4668 Nm omkring aksen.
Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til
vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer.
Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og
det anvendte tilspændingsmoment for de enkelte
flangedimensioner og typer af klemmer.

FLANGE KLEMMETYPE ANTAL TILSPÆNDING-

SMOMENT

ISO 200 Dobbelt klemme,

gevind M10

6 23 Nm

Enkelt klemme,

gevind M10

12 23 Nm

For at fastspænde pumpen til fundamentet er det nødvendigt at
anvende tre M6-skruer, som indsættes i hullerne på pumpens
fundament. Skruerne skal klare en belastning på 500 N/mm

2

skruernes korrekte tilspændingsmoment er 4,5 Nm.
Se "Technical Information" for montering af optionals.

ANVENDELSE

Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er
beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.
Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.
For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen
opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, må temperaturen
på indgangsflangen ikke overstige 80°C.
Brug altid vandafkøling under opvarmningen.

!!!!

ADVARSEL!

Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under
opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage
kvæstelser på personer.

!!!!

PAS PÅ

Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der
er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige
åbning skal være under 2 bar.

!!!!

PAS PÅ

Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.

!!!!

PAS PÅ

Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet
med en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller
kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne.

!!!!

ADVARSEL!

Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller
radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte
gastype strengt overholdes.
Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer.

VEDLIGEHOLDELSE

Pumperne af TURBO-V1000 ICE-E series typen behøver ikke
nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal
foretages af autoriseret personale.

!!!!

ADVARSEL!

Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,
skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen
ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er
standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end
50°C.

Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange
Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for
den, der er gået i stykker.

BEMÆRK

Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges
i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.

Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå i
overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.

!!!!

ADVARSEL!

For at udgå kvæstelser må man aldrig af nogen som helst
årsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens
indgangsåbning. Det anbefales at anvende et beskyttelsesnet
(på efterspørgsel). Hvis der anvendes en vibrationsdæmper
eller en bøjelig metaldæmper på pumpeåbningen, skal
turbopumpen altid fastgøres til underlagspladen.

NEJ!

BRUKSANVISNING

15 87-900-942-01(A)

ALLMÄN INFORMATION

Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.

Pumparna i Turbo-V1000 ICE E-series serien är
turbomolekylära pumpar för höga och mycket höga
vakuumtillämpningar inom halvledarindustrin. De kan
användas för pumpning av alla typer av gas eller
gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor
eller fasta partiklar.

Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
38000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V1000 ICE-E series-seriens
pumpar, som därför passar för tillämpningar som kräver ett
"rent" vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:

!!!!

VARNING!

Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras
exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.

!!!!

VIKTIGT

Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som
måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.

OBSERVERA

Detta visar på viktig information i texten.

FÖRVARING

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport
och förvaring av pumpen:

− temperatur: från -20°C till +70°C

− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)

Efter lång förvaring skall pumpen startas med MJUKSTART ­metoden (se bruksanvisningen för styrenheten).

FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN

Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta
det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på
skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.

!!!!

VIKTIGT

Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.

OBSERVERA

Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har
installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm
eller annat i den.

INSTALLATION

!!!!

VARNING!

Pumpen måste p.g.a. sin vikt manövreras med speciella lyft­och flyttutrustningar.

Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från
atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte
heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:

− maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)

− temperatur: från +5°C till +35°C

− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)

!!!!

VIKTIGT

Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har
anslutits till systemet.

BRUKSANVISNING

16 87-900-942-01(A)

I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar.
Turbomolekylärpumparna i serien V1000 ICE-E series måste
användas med en särskild styrenhet från Varian (serie 969­9464 220V, 969-9564 120V), och anslutas till en förpump (se
schema i " Technical information").
Turbopumpen kan installeras i valfri position. Fäst
turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens
intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på
4668 Nm runt sin axel.
Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och
med vilket åtdragningsmoment de ska spännas.

FLÄNS TYP AV

KLAMMER

ANTAL ÅTDRAGNINGS-

MOMENT

ISO 200 Dubbel klammer

med gänga M10

6 23 Nm

Enkel klammer

med gänga M10

12 23 Nm

För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att
använda 3 M6 skruvar, som installeras i hålen på pumpens
fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på
500 N/mm

2

korrekt åtdragningsmoment är 4,5 Nm.
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information".

ANVÄNDNING

Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i
styrenhetens bruksanvisning.
Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.
För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med
ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under
uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet
aldrig bli högre än 80 °C.
Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.

!!!!

VARNING!

Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.

!!!!

VIKTIGT

Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för
luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar
(över atmosfäriskt tryck).

!!!!

VIKTIGT

Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.

!!!!

VIKTIGT

För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström
av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan
“Technical information“).

!!!!

VARNING!

Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna
för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.

UNDERHÅLL

Pumparna i Turbo-V1000 ICE-E series-serien är underhållsfria.
Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.

!!!!

VARNING!

Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens
strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.

Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en
renoverad pump.

OBSERVERA

Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.

Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning

!

!!

!

VARNING!

Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens
inlopp för att undvika skador. Användning av skyddsgaller
(tillval) rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare
eller böjliga metallbälgar monteras vid inloppet måste
pumpen förankras i fundamentet.

NEJ

BRUKERVEILEDNING

17 87-900-942-01(A)

GENERELL INFORMASJON

Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.

Turbo-V1000 ICE E-series serien med pumper er turbo­molekulære pumper for bruk i høy- eller ultrahøye
vakuumanlegg innenfor halvlederindustrien, og kan pumpe
nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke
beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler.

Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 38000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V1000 ICE-E
series pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor
egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:

!!!!

ADVARSEL!

Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.

!!!!

FORSIKTIG

Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom
de ikke følges, kan føre til at utstyret skades.

MERK

Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.

LAGRING

Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende
miljømessige krav oppfylles:

− temperatur: fra -20°C til +70°C

− relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)

Skal utstyret lagres lengre, må pumpen MYKSTARTES (se
kontrollenhetens manual).

KLARGJØRE TIL INSTALLASJON

Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser
denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten,
må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned
eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.

!!!!

FORSIKTIG

For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.

MERK

Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge
pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er
montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedstøving.

INSTALLASJON

!!!!

ADVARSEL!

Med hensyn til pumpens vekt må den bare flyttes ved hjelp av
et dertil bestemt løfteutstyr.

Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:

− maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)

− temperatur: fra +5°C til +35°C

− relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)

!!!!

FORSIKTIG

Ikke fjern klebemerket og det beskyttende dekslet før
turbopumpen skal festes til systemet

BRUKERVEILEDNING

18 87-900-942-01(A)

Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.
Turbo-V1000 ICE-E series serien turbo-molekulære pumper
må kun brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie
969-9464 220V, 969-9564 120V), og må koples til
hovedpumpen (se skjema i "Teknisk informasjon").
Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Fest
turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot
en koplingsflens med et dreiemoment på 4668 Nm rundt
aksen.
Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende
tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante
strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene.

FLENS TYPE KLEMME ANTALL STRAMME-

MOMENT

ISO 200 Dobbel klemme

gjenge M10

6 23 Nm

Enkel klemme

gjenge M10

12 23 Nm

For å feste pumpen til fundamentet er det nødvendig å bruke
tre M6-skruer, som skrues fast i hullene på pumpens
fundament. Skruene skal klare en belastning på 500 N/mm

2

skruenes riktige strammemoment er 4,5 Nm.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon".

BRUK

Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i
kontrollenhetens manual.
Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk.
For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en
varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av
kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke
overskride 80°C.
Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen

!!!!

ADVARSEL!

Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.

!!!!

FORSIKTIG

Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2
bar (over atmosfærisk trykk).

!!!!

FORSIKTIG

Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av
turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.

!!!!

FORSIKTIG

Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive
gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se
“Teknisk informasjon).

!!!!

ADVARSEL!

Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.

VEDLIKEHOLD

Turbo-V1000 ICE-E series serien pumper er vedlikeholdsfrie.
Alt arbeid på pumpen må kun utføres av autorisert personell.

!!!!

ADVARSEL!

Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples
tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og
deretter vente til rotoren har stanset og pumpens
overflatetemperatur er lavere enn 50°C.

Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte
pumpen.

MERK

Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller
som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen
som sendes tilbake.

Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.

!!!!

ADVARSEL!

For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre
gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler
på det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt
ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible
metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen
er godt festet til underlaget.

NEI

KÄYTTÖOHJEET

19 87-900-942-01(A)

YLEISIÄ TIETOJA

Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti
mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin
toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka
johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta
laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä
laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai
kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä.

Turbo-V1000 ICE E-series sarjan pumput ovat
turbomolekyylipumppuja, jotka on tarkoitettu korkean ja
ultrakorkean tyhjiön muodostamiseen. Ne sopivat erityisen
hyvin puolijohteita käyttävän teollisuuden käyttöön ja
soveltuvat kaikentyyppisien kaasujen tai kaasuseosten
pumppaamiseen. Ne eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden
hiukkasten pumppaukseen.

Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (38000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkomoottori käynnistää.
Turbo-V1000 ICE-E series sarjan pumpuissa ei ole lainkaan
likaavia aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä
vaativiin käyttötarpeisiin.
Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto
laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön
aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical
Information".
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:

!!!!

VAARA!

Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion
erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen
suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin.

!!!!

HUOMIO

Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden
laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen.

HUOMAUTUKSET

Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot.

VARASTOINTI

Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana täytyy
seuraavien ympäristöa koskevien ehtojen olla täytettyinä:

− lämpötila: - 20°C - +70°C

− suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä)

Jos varastointiaika on hyvin pitkä, tulee pumppu käynnistää
SOFT START-tavalla (katso valvojan käyttökirja).

VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN

Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa
pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti
kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys
paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun
putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja.
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on
täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä
ympäristön suojelusta.

!!!!

HUOMIO

Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön
tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai
muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen.

HUOMAUTUKSET

Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On
kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään
järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen
pölyltä.

ASENNUS

!!!!

VAARA!

Ajatellen pumpun painoa, tätä tulee käsitellä ainoastaan siihen
tarkoitetulla nosto- ja siirtolaitteiston avulla.

Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai
agressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa
räjähdys- tai tulipalovaara.
Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä
koskevia ehtoja:

− maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine

− lämpötila: + 5°C - +35°C

− suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä).

!!!!

HUOMIO

Irrottakaa tarra ja poistakaa suojakansi sillä hetkellä kun
turbopumppu liitetään järjestelmään.

KÄYTTÖOHJEET

20 87-900-942-01(A)

Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän
tarkotukseen olevilla suojilla. Lidä tietoja löytyy “Technical
Information”-liitteestä.
Sarjan V1000 ICE-E series turbomolekyylipumppuja tulee
käyttää ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa
(sarja 969-9464 220V, 969-9564 120V) ja niiden täytyy olla
yhdistettyinä pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical
Information").
Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä
turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka
kannattaa 4668 Nm momenttia akselinsa ympärillä, tai
käyttäen tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen
kiinnittämiseen.
Turbopumpu ISO sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammariin kaksois kiinnikkeillä tai yksinkertaisilla
kiinnikkeillä. Seuraava taulukko kuvaa kaikki laippakoot ja
kiinnikemallit, kiinnikkeiden tarpeellisen määrän ja
kiristysmomentti.

LAIPPA KIINNIKE MÄÄRA KIRISTYSMO-

ENTTI

ISO 200 Kaksoiskiinnike,

kierteitys M10

6 23 Nm

Yksinkertainen

kiinnike, kierteitys
M10

12 23 Nm

Pumppu tulee kiinnittää jalustan avulla käyttäen kolmea M6
ruuvia jotka on kiinnitetty sopiviin pumpun jalustassa oleviin
rakoihin. Ruuveilla tulee olla venytysrasitus joka vastaa 500
N/mm

2

, ja tulee kiinnittää 4,5 Nm momentilla.
Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical
Information" osassa.

KÄYTTÖ

Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet
löytyvät valvojan käsikirjasta.
Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa.
Jotta saavutettaisiin paremmat rajapaineet, on pumpun kotelon
kuumentaminen mahdollista käyttämällä lisätilauksesta saatavaa
kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen kuumentamisen
aikana ei sisäänjohtavan laipan lämpötila saa olla yli 80 °C.
Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen.

!!!!

VAARA!

Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin
kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan
henkilöiden loukkaantumisia.

!!!!

HUOMIO

Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai
jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Sisäänjohtavan
paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla alle 2 bar:ia
(paitsi atmosfäärinen paine).

!!!!

HUOMIO

Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan
aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.

!!!!

HUOMIO

Aggressiivisten kaasujen pumppauksta varten mänä pumput
on varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kulettaa
pumppuun ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit
suojataan (katso liite “Technical information”).

!!!!

VAARA!

Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka
kaasuun sopivaa menettelytapaa. Älkää käytä pumppua
räjähdysherkkien kaasujen lähellä.

HUOLTO

Sarjan Turbo-V1000 ICE-E series pumput eivät vaadi lainkaan
huoltoa. Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen
valtuutettu henkilö.

!!!!

VAARA!

Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä
verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen
tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä
pysähtymistä ja että pumpun pintalämpö on alle 50º.

Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka
mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen
tilalle.

HUOMAUTUS

Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai
advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti
täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon
"Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä
ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää
pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä.

Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa kansallisen
lainsäädännön määräämällä tavalla.

!!!!

VAARA!

Jotta henkilövahingoilta vältyttäisiin, ei missään
tapauksessa turbopumpun suuaukkoon saa laittaa sormia
tai muita esineitä. Turvaverkon käyttö on suositeltavaa
(lisävaruste).
Mikäli suuaukolla käytetään värähtelyjen vaimentajaa tai
taipuvaa metallista paljetta, tulee turbopumppu kiinnittää
aina jalustaan.

EI!

ODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHSODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHS

21 87-900-942-01(A)

GENIKES PLHROFORIES

GENIKES PLHROFORIESGENIKES PLHROFORIES

GENIKES PLHROFORIES

Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O
crÿsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou
parÒntoj egceir∂diou kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth

plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj
suskeuÿj.
H Varian den f◊rei kam∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ

merikÿ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj
anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ÿ crÿsh
pou den sumfwne∂ me touj eidikoÚj eqnikoÚjkanonismoÚj.

Oi antl∂ej thj seir£j Turbo-V1000ICE E-series e∂nai
strobilomoriak◊j antl∂ej gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ
uyhloÚ kenoÚ, idiait◊rwj kat£llhlej gia th crÿsh se tome∂j
pou sund◊ontai me th biomhcan∂a twn hmiagwgèn kai e∂nai
ikan◊j na antlÿsoun k£qe e∂douj a◊rio ÿ aerioÚco sustatikÒ.
E∂nai akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn
swmatid∂wn.
H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou

peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 38000 s.a.l.), h
opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r uyhlÿj

apÒdoshj.... Oi antl∂ej Turbo-V1000 ICE E-series den peri◊coun

rupantikoÚj par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia
efarmog◊j pou apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ.
Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej
plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£
th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j

plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø.
Aut

AutAut

AutÒÒÒÒ to egceir

to egceir to egceir

to egceir∂∂∂∂dio crhsimopoie

dio crhsimopoiedio crhsimopoie

dio crhsimopoie∂∂∂∂ ti

ti ti

tijjjj ak

ak ak

akÒÒÒÒlouqe

louqelouqe

louqejjjj sumb

sumb sumb

sumb££££sei

seisei

seijjjj¿¿¿¿

!!!!

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se m∂a
diadikas∂a ÿ se m∂a eidikÿ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂
swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j
bl£bej.

!!!!

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi
opo∂ej an den ektelestoÚn me prosocÿ, qa mporoÚsan na
prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuÿ.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun
apospaste∂ apÒ to ke∂meno.

APOQHKEUSH

APOQHKEUSHAPOQHKEUSH

APOQHKEUSH

Kat£ th di£rkeia thj metafor£j kai thj apoqÿkeushj twn
antlièn pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej periballontik◊j
sunqÿkej¿

- qermokras∂a: apÒ -20°C m◊cri +70°C

- scetikÿ ugras∂a: 0 - 95% (asumpÚknwth)
An o crÒnoj apoqÿkeushj e∂nai polÚ makrÚj, h antl∂a qa

pr◊pei na teqe∂ se k∂nhsh me trÒpo SOFT START (bl◊pe to
egceir∂dio thj mon£daj el◊gcou).

PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH

PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASHPROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH

PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH

H antl∂a promhqeÚetai m◊sa se m∂a eidikÿ prostateutikÿ
suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan
na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j,

sumbouleute∂te to topikÒ tmÿma pwlÿsewn.
Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste
idia∂terh prosocÿ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂

h antl∂a.
Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ
anakuklèènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj

E.O.K. 85/399 gia thn diafÚlaxh tou perib£llontoj.

!!!!

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Prokeim◊nou na apofÚgete problÿmata apÒ thn apeleuq◊rwsh
aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmÿmata pou prÒkeitai
na ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ÿ £llh
kat£llhlh prostas∂a.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

H antl∂a den katastr◊fetai an aplèj ekteqe∂ ston
atmosfairikÒ a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn
kratÿsete kleistÿ m◊cri th stigmÿ pou qa egkatastaqe∂ sto
sÚsthma, ◊tsi èste na apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ
th skÒnh.

EGKATASTASH

EGKATASTASHEGKATASTASH

EGKATASTASH

!!!!

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

H antl∂a, lÒgw tou b£rouj thj, pr◊pei na metakinhqe∂
diam◊sou eidikèn ergale∂wn anÚywshj kai metak∂nhshj.

H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ÿ na
crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj
par£gontej (brocÿ, p£go, ciÒni), skÒnej, polemik£ a◊ria, se
cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j.
Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi

akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj:

- m◊g. p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh

- qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 35°C

- scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).

!!!!

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Xekollÿste to autokÒllhto kai bg£lte to prostateutikÒ
kap£ki mÒno th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto
sÚsthma.

ODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHSODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHS

22 87-900-942-01(A)

Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na
prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to

par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej
leptom◊reiej.

Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V1000ICE E-
series pr◊pei na crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj
eidikoÚj elegkt◊j Varian (seir◊j 969-9464 220V, 969-9564
120V) kai pr◊pei na e∂nai sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa

antl∂a (bl◊pe scÿma stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).
H tourmpoantl∂a mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote
q◊sh. Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerÿ q◊sh enènontaj
th fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza ikanÿ na

na antistaqe∂ se ◊na zeÚgoj 4668 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj.
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO pr◊pei na sterewqe∂

ston q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn dagk£nwn. H
akÒlouqh tamp◊lla perigr£fei ton apara∂thto ariqmÒ
dagk£nwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj pr◊pei na sfictoÚn.

FLANTZA

FLANTZAFLANTZA

FLANTZA EIDOS DAGKANHS

EIDOS DAGKANHSEIDOS DAGKANHS

EIDOS DAGKANHS NNNN ZEUG

ZEUGZEUG

ZEUGOS

OSOS

OS

BIDWMATOS

BIDWMATOSBIDWMATOS

BIDWMATOS

ISO 200

Diplÿ dagk£nh me
elikwtÿ proexocÿ M10

6 23 Nm

Monÿ dagk£nh me
elikwtÿ proexocÿ M10

12

23 Nm

Gia na stereèsete thn antl∂a m◊sw thj b£shj thj e∂nai
apara∂thto na crhsimopoiÿsete treij b∂dej M6 sterewm◊nej
stij eidik◊j op◊j pou up£rcoun sth b£sh thj antl∂aj. Oi

crhsimopoioÚmenej b∂dej pr◊pei na ◊coun antocÿ 500 N§mm²
kai pr◊pei na sterewqoÚn me ◊na zeÚgoj 4,5 Nm.

Gia thn egkat£stash twn proairetikèn exarthm£twn, bl◊pe
øTecnik◊j Plhrofor∂ejø.

CRHSH

CRHSHCRHSH

CRHSH

/Olej oi odhg∂ej gia gia th swstÿ leitourg∂a thj
tourmpoantl∂aj peri◊contai sto egceir∂dio thj mon£daj
el◊gcou.
Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crÿsh.
Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na
qerm£nete to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton
proairetikÒ qermantÿra. Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj
q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ h qermokras∂a sth fl£ntza

eisÒdou den pr◊pei na xepern£ touj 80°C. Kat£ th q◊rmansh
na crhsimopoie∂te p£nta ugrÿ yÚxh.

!!!!

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartÿmat£
thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂
na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.

!!!!

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra
ÿ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh
eisÒdou diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh

apÒ 2 bar (p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh).

!!!!

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ
metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se
leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta
kouzinevta.

!!!!

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai
efodiasm◊nej me m∂a eidikÿ qur∂ da m◊sw thj opo∂aj e∂nai
anagka∂a h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (£zwto ÿ argÒn) gia
thn prostas∂a twn roulem£n (bl◊pe par£rthma øTecnik◊j
Plhrofor∂ejø).

!!!!

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,
eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂ste tij kat£llhlej
diadikas∂ej eidik£ gia to k£qe a◊rio.
Mhn crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂aj ekrhktikèn aer∂wn.

SUNTHRHSH

SUNTHRHSHSUNTHRHSH

SUNTHRHSH

Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V1000 ICE E-series de
crei£zontai kam∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei
na g∂netai apÒ exousiodothm◊no proswpikÒ.

!!!!

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a,
aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn
antl∂a ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da anam◊nete m◊cri thn
plÿrh akinhtopo∂hsh tou rÒtora kai perim◊nete m◊cri h
qermokras∂a thj epif£neiaj thj antl∂aj na e∂nai katèterh

apÒ 50° C.

Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto s◊rbij
episkeuèn Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”,

pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn
calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh eniscum◊nh.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ
ÿ gia

advanced exchange service,

e∂nai apara∂thto na
sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o
Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai uge∂aø sunhmm◊no sto
parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei
na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn
apostolÿ.

Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na
katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj.

!!!!

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Gia thn apofughv proswpikouv traumatismouv mh
qevtete potev gia kanevna lovgo, ta davktula hv avlla
antikeivmena sto stovmio thÇ eisovdou thÇ
tourmpoantlivaÇ. Sumbouleuvetai h crhvsh
prostateutikouv ductiouv (proairetikov). An
crhsimopoieivtai evnaÇ sigasthvraÇ katav twn
donhvsewn hv evna mikrov elastikov fuserov sto
stovmio thÇ eisovdou, sterewvnete pavnta thn
tourmpoantliva sth bavsh.

OCI

OCIOCI

OCI

INSTRUCTIONS FOR USE

23 87-900-942-01(A)

GENERAL INFORMATION

This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions, im­proper use by untrained persons, non-authorized interference
with the equipment or any action contrary to that provided for
by specific national standards.
The Turbo-V 1000 ICE E-series series pumps are turbo­molecular pumps for high and ultra-high vacuum applications
particularly suitable for use in semiconductor industry sector
and can pump any type of gas or gas compound. They are not
suitable for pumping liquids or solid particles.
The pumping action is obtained through a high speed turbine
(max. 38000 rpm) driven by a high-performance 3-phase elec­tric motor. The Turbo-V 1000 ICE-E series pumps are free of
contaminating agents and, therefore, are suitable for applica­tions requiring a "clean" vacuum.
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the equip­ment. Detailed information is supplied in the appendix "Techni­cal Information".
This manual uses the following standard protocol:

!!!!

WARNING!

The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not fol­lowed correctly, could lead to serious injury.

!!!!

CAUTION

The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.

NOTE

The notes contain important information taken from the text.

STORAGE

When transporting and storing the pumps, the following envi­ronmental requirements should not be exceeded:

− temperature: from -20° to +70 °C

− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)

If the storage time is long start the pump using the SOFT
START mode (see control unit manual).

PREPARATION FOR INSTALLATION

The pump is supplied in a special protective packing. If this
shows signs of damage which may have occurred during
transport, contact your local sales office.
When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid
any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.

!!!!

CAUTION

In order to prevent outgassing problems, do not use bare
hands to handle components which will be exposed to vacuum.
Always use gloves or other appropriate protection.

NOTE

Normal exposure to the environment cannot damage the pump.
Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed
in the system, thus preventing any form of pollution by dust.

INSTALLATION

!!!!

WARNING!

Cause its weight, the pump must be handled by means of suit­able moving and handling tools.

Do not install or use the pump in an environment exposed to
atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,
or in explosive environments or those with a high fire risk. Dur­ing operation, the following environmental conditions must be
respected:

− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure

− temperature: from +5 °C to +35 °C

− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)

In the presence of magnetic fields the pump must be protected
using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical In­formation" for detailed information.

!!!!

CAUTION!

Do not remove the adhesive and protective cap before con­necting the turbopump to the system.

INSTRUCTIONS FOR USE

24 87-900-942-01(A)

The Turbo - V 1000 ICE-E series series pumps must only be
used with one of the special Varian controllers (series 969­9464 220V, 969-9564 120V) and must be connected to a pri­mary pump (see "Technical Information").
The turbopump can be installed in any position.
Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet
flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of
withstanding a torque of 4668 Nm around its axis.
The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vac­uum chamber by means of clamps or claws. The following ta­ble shows, for each flange and fixing device, the necessary
number of clamps or claws and the relevant fixing torque.

FLANGE FIXING

DEVICE

N. FIXING TORQUE

ISO 200 M10 clamps 6 23 Nm
M10 claws 12 23 Nm

To fix the pump by means of its base, it is necessary to use
three M6 screws fixed to the foreseen holes of the pump base.
The used screws must have a minimum strength point of 500
N/mm

2

and must be fixed with a torque of 4.5 Nm.
For installation of optional accessories, see "Technical
Information".

USE

All the instructions for the correct use of the turbopump are
contained in the control unit manual.
Read the manual carefully before using the pump.
In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump
casing may be heated using the optional heater. While heating
the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed
80 °C. Always use the water cooling system during the heating
operations.

!!!!

WARNING!

Do not touch the turbopump or any of its accessories during
the heating process. The high temperatures may cause burns.

!!!!

CAUTION

Use air or inert gas free from dust or particles for venting the
pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar
(above atmospheric pressure).

!!!!

CAUTION

Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump
when in operation. The bearings may become damaged.

!!!!

CAUTION

For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a
special port to allow a steady flow of inert gas (like N

2

, Ar) for
pump bearing protection (see the appendix "Technical Informa­tion").

!!!!

WARNING!

When employing the pump for pumping toxic, flammable, or
radioactive gases, please follow the required procedures for
each gas disposal.
Do not use the pump in presence of explosive gases.

MAINTENANCE

The Turbo-V 1000 ICE-E series series pump does not require
any maintenance. Any work performed on the pump must be
carried out by authorized personnel.

!!!!

WARNING!

Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it
from the supply, vent the pump by opening the appropriate
valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the
surface temperature of the pump falls below 50 °C.

In the case of breakdown, contact your local Varian service
center who can supply a reconditioned pump to replace that
broken down.

NOTE

Before returning the pump to the constructor for repairs, or re­placement with a reconditioned unit, the "Health and Safety"
sheet attached to this instruction manual must be filled-in and
sent to the local sales office. A copy of the sheet must be in­serted in the pump package before shipping.

If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accor­dance with the specific national standards.

!!!!

WARNING!

To avoid injury, never put fingers or any objects whatso­ever in the inlet port of the turbopump. The use of the pro­tective screen is strongly advised (optional extra). If a
vibration damper or flexible metallic bellows are used on
the inlet port, make sure that the pump is fixed to the
base.

NO!

TECHNICAL INFORMATION

25 87-900-942-01(A)

DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP

The Turbo-V1000 ICE E-series pump is available
with an ISO 200 high vacuum flange.

The Turbo-V1000 ICE E-series pump consists of a
high frequency motor driving a turbine fitted with 15
bladed stages. The turbine rotates in an anticlock­wise direction when viewed from the high vacuum
flange end.
The turbine is made of high-strength, light alumin­ium alloy, and is machined from a single block of
aluminium. The turbine stages have six different
angles, from 44° to 16°.
The turbine rotor is supported by permanently lu­bricated high precision ceramic ball bearings in­stalled on the forevacuum side of the pump.
The static blades of the stator are made of stain­less steel with five different blade angles from 44°
to 16°. These are supported and accurately posi­tioned by spacer rings.

The Spiral Seal is a dynamic seal based on a
Siegbahn disk that increases the protection of the
bearings against corrosive gases. A special cen­trifugal stage, named centrifugal dust seal, is pro­vided in order to protect the pump bearings from
particles contamination.
The aluminium parts are protected against corro­sion caused by chlorinated and fluorinated gases
by means of a protective film. The film (called Ar­morr Coating) is deposited by means of a vacuum
process allowing an uniformity of the coating thick­ness with no impact on the pump balance.

During normal operation, the motor is fed with a
voltage of 56 Vac three-phase at 633 Hz. To re­duce losses during start-up to a minimum, the fre­quency increases according to a ramp with a
higher initial voltage/frequency ratio.

A water cooling kit is available to cool the pump in
the cases where it is used under heavy load or­when forced air is insufficient for cooling purposes.

Two thermistor sensors are mounted near the up­per and the lower bearings to prevent the pump
from overheating. The thermistor sensors, the mo­tor stator windings and the earth are connected to
a Turbo-V controller through a 8 pin socket on the
side of the pump.

An M5 hole in the pump envelope is provided to
install an accelerometer for diagnostic purposes.

The pump is balanced after assembly with a resid­ual vibration amplitude less than 0.01 µm.

The pump can operate in any position and can be
supported on the high vacuum flange or on its
base. The connection of the forevacuum on the
side of the pump is a KF 40 flange.

TECHNICAL INFORMATION

26 87-900-942-01(A)

TECHNICAL SPECIFICATION

Pumping speed N2: 950 l/s

He: 870 l/s
H

2

: 900 l/s

Compression ratio N2: 5 x 109

He: 8 x 10

6

H

2

: 2 x 105

Base pressure* minimum with recommended

forepump:
< 1 x 10

-10

mbar (< 1 x 10

-10

Torr)

Inlet flange ISO 200

Foreline flange KF 40 NW

Rotational speed 38000 RPM

Start-up time < 4 minutes

Recommended
forepump

Varian VSp 60; Varian VSr 90

Operating position Any

Cooling
requirements

Water (use water with electrical
conductivity ≤ 500 µS/cm)

Operating ambient
temperature

+ 5° C to + 35° C

Coolant water minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM)

temperature: + 10° C to + 20° C
pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 Psi)

Bakeout temperature 80° C at inlet flange (ISO flange)

Vibration level
(displacement)

< 0.01 µm at inlet flange

Noise level

≤ 45 dB (A) at 1 meter

Input 56 Vac, three phase, 633 Hz

Lubricant permanent lubrication

Storage temperature - 20° C to + 70° C

Weight kg (lbs) ISO 200: 19 (41.8)

* According to standard DIN 28 428, the base
pressure is that measured in a leak-free test dome,
48 hours after the completion of test dome bake­out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange
and using the recommended pre-vacuum pump.

TECHNICAL INFORMATION

27 87-900-942-01(A)

Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure

Graph of compression ratio vs foreline pressure

Graph of inlet pressure vs foreline pressure with fixed inlet flow (Ar)

TECHNICAL INFORMATION

28 87-900-942-01(A)

Graph of inlet pressure vs foreline pressure with fixed inlet flow (N2)

INLET SCREEN INSTALLATION

The inlet screens mod. 969-9316 prevents the
blades of the pump from being damaged by debris
greater than 1.4 mm diameter.
The inlet screen, however, will reduce the pumping
speed by about 20%.
The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure.

The screen can be mounted on each pump model.

The following figure show the overall flange dimen­sions with the protection screen fitted on pump with
ISO flange.

TECHNICAL INFORMATION

29 87-900-942-01(A)

HEATING JACKET INSTALLATION

The heating jacket model 969-9819 can be used to
heat the pump casing when a condensable proc­ess by-products are present.
It is applied on the lower part of the pump casing
with the provided set of springs, as shown in the fig­ure, to heat the envelope to a temperature between
40° and 90° C under controller selection.
The jacket must be mounted in order to have a
perfect thermal contact between the heating sur­face and the pump envelope to obtain a fast and
efficient heating.
When the jacket is correctly mounted around the
envelope, the hooks of the springs go outside the
band and the springs result a bit stretched.

Once the heating jacket is installed and connected,
set the controller to operate it at the desired tempera­ture by means of the configuration menu (refer to the
controller manual for details). The heating jacket will
be started by pressing the pump start button.
A dedicated temperature sensor into the heating
jacket will keep the pump temperature at the de­sired temperature.

NOTE

Please make sure to have a perfect contact be­tween the heating jacket thermistor and the pump
envelope for a safe and efficient operation.

!!!! CAUTION

If the chamber of the system is "baked" at a high
temperature, a shield should be installed to prevent
thermal radiation heating the high vacuum flange
on the pump.

WATER COOLING KIT INSTALLATION

Two types of water cooling kits are available to be
mounted when the pump is used under heavy load
conditions or when air cooling is insufficient.

The two model part numbers are: 969-9338 (metal­lic model), and 969-9348 (plastic model).

Model 969-9338

Model 969-9348

!!!! CAUTION

The items of the plastic model kit must be assem­bled as shown in the following figure

The assembled kit must be screwed into the suit­able holes of the pump body with a recommended
closing torque of 5 Nm.

TECHNICAL INFORMATION

30 87-900-942-01(A)

The water cooling kit 969-9338 has to be con­nected to a 3/8" internal diameter flexible water
line.

The water cooling kit 969-9348 has to be con­nected to a 6x8 (internal diameter x external di­ameter) metric flexible water line.

Cooling may be carried out either through an open
circuit with eventual discharge of the water, or us­ing a closed circuit cooling system.

The water temperature must be between +10°C
and +20°C, with an inlet pressure between 3 and 5
bar. This allows a flow of about 200 l/h.

The overall dimensions of the pump when
equipped with the water cooling kit mounted are
shown in the following figure.

NOTE

The water electrical conductance must be ≤ 500

µ

s/cm. When the conductance is higher, in closed
water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole
is suggested.

TECHNICAL INFORMATION

31 87-900-942-01(A)

VENT DEVICE INSTALLATION

The vent device mod. 969-9831 allows to avoid
undesired venting of the pump during a temporary
power failure (adjustable time up to 36 min.), and
enables an automatic vent operation.

Unscrew and remove the vent port threaded plug
(see figure below).

Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, tak­ing care of the o-ring right position.
Assemble the seal ring and lock the vent device in
position using the KF klamp.

VENT VALVE INSTALLATION

The vent valve mod. 969-9833 allows to avoid un­desired venting of the pump during a temporary
power failure (5 sec maximum), and enables an
automatic vent operation.

Unscrew the vent port threaded plug (see figure
below).

Screw the vent valve into the pump without insert­ing the supplied adapter between the valve and the
pump.

Tighten the valve using a 16 mm. hexagonal span­ner with a torque of 2.5 Nm.

!!!! CAUTION

Do not overtighten the valve as this may damage
the thread on the pump.

TECHNICAL INFORMATION

32 87-900-942-01(A)

SOLID STATE FLOWMETER INSTALLATION

A gas purge valve is integrated to protect the pump
bearings against particulate and corrosive gases
that could move into the pump.
To the purge valve can be connected a solid state
flowmeter model 969-9114 (see the following figure)
or model 969-9115, operating in the range from 0 to
150 SCCM with Nitrogen, and from 0 to 125 SCCM
with Argon, that connected to the controller can
monitor the flow of the protective gas purge.

The following figure shows the connector of the
flowmeter to the controller.

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES

To prevent damage to the bearings, an inert gas
must flow into the pump body around the upper
bearing towards the forevacuum line.
The inert purge gas (e. g. nitrogen, argon) is supplied
to the pump through the integrated purge valve. A
pressure regulator can be installed between the purge
valve and the gas purge source. Adjust the pressure
regulator in order to obtain the necessary gas purge
flow rate of 20 sccm. The standard gas purge may be
supplied with 1 atm (15 psig) to get 20 sccm.

!!!!

CAUTION

To prevent bearing damage, the integrated purge
valve is foreseen for a gas flow rate of 20 sccm
(0.34 mbar l/s). Please contact Varian for specific
applications.

The recommended gas flow maintains a pressure into
the pump body higher than the forevacuum pressure.
The recommended procedure to vent the system
and the pump avoiding the contact between the
pump bearings and the corrosive gas is described
in the following points:

1. Close the corrosive gas flow into the system.

2. Leaving the Turbo-V pump and the backing

pump running and the purge gas flowing, wait
for enough time to evacuate the corrosive gas
from the system.

3. Open the Turbo-V vent port slowly until to

reach atmospheric pressure in the system.

4. Turn off the Turbopump.

5. When the Turbo-V pump and the backing

pump are stopped and the system is at at­mospheric pressure, for a better bearing pro­tection it is advisable to leave the purge gas
flowing into the Turbo-V pump, with the
chamber or the Turbo-V vent valve opened, to
avoid system overpressures. If the vent valve
can't be kept opened, the backing pump
should be left operating.

1. Purge gas line

2. Pressure regulator

3. Solid state flowmeter

4. Gas purge valve (integrated into the pump)

5. Forevacuum pump

6. Turbopump

7. Vent valve

8. Controller

TECHNICAL INFORMATION

33 87-900-942-01(A)

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM

1. Turbo-V controller

2. Vent valve

3. Vacuum pump shut-off valve (optional)

4. System vent valve (optional)

5. Vacuum chamber

6. Ionisation gauge

7. Fore-vacuum pump connecting flange

8. Oil mist eliminator

9. Fore-vacuum pump with internal one-way
valve

10. Fore-vacuum pump control relay

11. Connection for water cooling

12. Roughing line with valve (optional)

13. Turbopump

14. Flexible connection

15. Solid state flowmeter

TECHNICAL INFORMATION

34 87-900-942-01(A)

Connection A - HIGH VACUUM FLANGE

To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange,
remove the outer ring and position the centering
ring as shown in the figure.

Then fix the two flanges with the clamps or claws
as shown in the figure.

Connection configurations

Connection B - FORE-VACUUM PUMP

A flange KF 40 NW is available to connect the Tur­bopump to the fore-vacuum pump. A hose or vac­uum approved pipe can be used. If a rigid pipe is
used, any vibration generated by the mechanical
pump must be eliminated through the use of bel­lows.

NOTE

The Turbo pump is characterized by its high com­pression ratio also for oil vapors. When using a
mechanical oil-sealed pump, it is advisable to in­stall a suitable trap between the turbopump and the
fore-vacuum pump in order to prevent oil back­streaming.

Connection C - ELECTRICAL

TECHNICAL INFORMATION

35 87-900-942-01(A)

The turbopump is connected to the controller
through an 8-pin connector. Pins B, C and D are
the 3-phase supply to the motor, pins A, F and G
are connected to the temperature sensors (NTC
type, 30 KΩ resistance at 20° C) and pin E is con­nected to the pump ground; pin H is not connected.

If the temperature sensors are disconnected, the
pump will not start. To prevent damage to the
pump when the temperature exceeds 60° C, the
sensors automatically cut out the power supply.

SUGGESTED PUMP INSTALLATION

The following figure shows a suggested pump in­stallation.

1. Vacuum chamber

2. Rough line

3. Heater jacket

4. ICE Turbo pump

5. Heater cable

6. Pump cable

7. Pump controller

8. Gas purge valve

9. Solid state flowmeter

V1 Gate valve

V2 Rough valve

V3 Dry pump valve

V4 Vent valve

ROUGHING OPERATION

Roughing of the vacuum chamber should be per­formed through a separate line and not through the
Turbopump.

Typical roughing sequences are detailed in the fol­lowing paragraphs (see the above figure).

NOTES

Gas Purge must be always on. Even during the
pump start-up or shutdown, supply pressure on
gas purge valve must be > 1 bar (15 psig).

NOTES

Venting of the pump must be performed in mini­mum 3 minutes from the pump stop signal. Back­ing pump should be left on for the first 30" of
venting to prevent pressure burst inside the tur­bopump. A gate valve on the pump inlet is defi­nitely suggested if dust is known to be present in
the process chamber.

Solid State Flowmeter must be used and the rela­tive alarm signal on the controller must be inter­faced on the system to indicate any low purge flow
condition. Proper actions must be taken on the
system when a low purge condition is present.

The special heater jacket should be used if con­densable materials are known to be present during
the process. The heater jacket working tempera­ture should be adjusted on the pump control unit
(see controller manual for reference). Ask VARIAN
for proper temperature setting. Heater jacket must
be always on even during start-up and shutdown.

Filtered cooling water should be used in closed cir­cuitry. Tap water could be used in closed cooling
circuitry in addition of 40% of ethyl glicole. The
electrical conductance of the water must be < 500

µ

S/cm. Tap water could be tolerated if its electrical

conductance is lower than 500

µ

S/cm.

Pump and chamber at atmosphere

1. V1, V2, and V4 closed; V3 open.
Start backing chamber and Turbo at the same
time.

2. When Turbo at Normal operation close V3,
open V2 and rough the chamber up to 10

-1

mbar or lower.

3. Close V2; open V3.

4. Open V1 and Start process.

Pump under vacuum, chamber at atmosphere
(chamber cleaning)

1. V1, V2 and V4 closed; V3 opened.
Turbopump is in Normal operation.

2. V3 closed; V2 open.

3. Rough down to 10

-1

mbar or lower.

4. Close V2; open V3.

TECHNICAL INFORMATION

36 87-900-942-01(A)

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC
FIELDS

Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of
a turbomolecular pump that tend to oppose to its
rotation.

The result is increased electrical power consump­tion by the motor, most of which is dissipated in the
rotor.

Since the rotor is not in contact with the stator the
above power can leave the rotor mainly by radia­tion and hence the rotor may be overheated while
static parts of the pump remain cool.

This effect is strongly dependant from the intensity,
time function and distribution of the magnetic field.

In general, therefore, an increase in pump current
can be expected.

If this increase is lower than 50% of the current
value drawn by the motor in high vacuum opera­tion, no particular problem should be expected.

However if the effect is grater, than the case
should be carefully reviewed by Varian's specialist.
As a matter of fact, in case of high magnetic fields,
also important forces might be generated and ap­plied to the rotor.

ACCESSORIES

DESCRIPTION PART NUMBER

Inlet screen, ISO 200 969-9316

Heating jacket 969-9819

Water cooling kit for American
fractional tubes

969-9338

Water cooling kit for Metric tubes 969-9348

Pump to controller cable 969-9953

Vent flange NW 10 KF (M8) 969-9108

Vent valve with fixed delay time 969-9833

Vent device with adjustable delay
time

969-9831

Solid state flowmeter 1/4"
swagelock

969-9114

Solid state flowmeter KF16 969-9115

Forepump VSP60 VSP60302

Forepump VSR90 VSR90301

Forepump DS602 with 1 phase
worldwide motor

949-9335

Forepump DS602 with 3 phase
worldwide motor

949-9336

For a complete overview of Varian's extensive
product lines, please refer to the Varian catalog.

Request for Return

1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.

2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).

3. The customer is expected to take the following actions to ensure the

Safety

of workers at Varian: (a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).

4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.

North and South America

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Ave

Lexington, MA 02421

Phone : [phone]

Fax: [phone]

Europe and Middle East

Varian SpA

Via Flli Varian 54

10040 Leini (TO) – ITALY

Phone: [phone]

Fax: [phone]

Asia and ROW

Varian Vacuum Technologies

Local Office

CUSTOMER INFORMATION

Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….

Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....

Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..

Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..

Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only: Taxable Non-taxable

Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...

……………..…………………... ..………………………………...

………………..………………... ..………………………………...

PRODUCT IDENTIFICATION

Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference

TYPE OF RETURN (check appropriate box)

Paid Exchange Paid Repair

Warranty Exchange

Warranty Repair

Loaner Return

Credit Shipping Error

Evaluation Return

Calibration

Other ……………….

HEALTH and SAFETY CERTIFICATION

Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.

The equipment listed above (check one):

HAS NOT

been exposed to any toxic or hazardous materials

OR

HAS

been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that

equipment was exposed to, check all categories that apply:

Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive

List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.

.……………………………………………………………………………………………………………………..

Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….

Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……

NOTE:

If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed,

the customer

will be held responsible

for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and

is liable

for any harm or injury to Varian

employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.

Do not write below this line

Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..

Request for Return

FAILURE REPORT

TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS

POSITION PARAMETERS

Does not start

Noise

Vertical

Power: Rotational Speed:

Does not spin freely

Vibrations

Horizontal

Current: Inlet Pressure:

Does not reach full speed

Leak

Upside-down

Temp 1: Foreline Pressure:

Mechanical Contact

Overtemperature Other: Temp 2: Purge flow:

Cooling defective …………………. OPERATION TIME:

TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:

ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS

Bad feedthrough

Poor vacuum

Main seal leak

Bellows leak

Vacuum leak

High voltage problem

Solenoid failure

Damaged flange

Error code on display

Other

Damaged sealing area

Other

Customer application:

Customer application:

LEAK DETECTORS INSTRUMENTS

Cannot calibrate

No zero/high backround

Gauge tube not working Display problem

Vacuum system unstable

Cannot reach test mode

Communication failure

Degas not working

Failed to start

Other

Error code on display

Other

Customer application:

Customer application:

PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS

Pump doesn’t start

Noisy pump (describe)

Heater failure

Electrical problem

Doesn’t reach vacuum

Over temperature

Doesn’t reach vacuum

Cooling coil damage

Pump seized

Other

Vacuum leak

Other

Customer application:

Customer application:

FAILURE DESCRIPTION

(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):

NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.

Sales and Service Offices

Argentina
Varian Argentina Ltd.

Sucursal Argentina
Av. Ricardo Balbin 2316
1428 Buenos Aires
Argentina
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Australia
Varian Australia Pty Ltd.

679-701 Springvale Road
Mulgrave, Victoria ZZ 3170
Australia
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Benelux
Varian Vacuum Technologies

Rijksstraatweg 269 H,
3956 CP Leersum
The Netherlands
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Brazil
Varian Industria e Comercio Ltda.

Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644
Vila Olimpia
Sao Paulo 04548 005
Brazil
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Canada
Central coordination through:

Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Toll Free: [phone]

China
Varian Technologies - Beijing

Room 1201, Jinyu Mansion
No. 129A, Xuanwumen Xidajie
Xicheng District
Beijing 1000031 P.R. China
Tel: [phone]
Fax: [phone]

France and Wallonie
Varian s.a.

7 avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH

Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: [phone]
Fax: [phone]

India
Varian India PVT LTD

101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Italy
Varian Vacuum Technologies

Via F.lli Varian, 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Japan
Varian Vacuum Technologies

Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Korea
Varian Technologies Korea, Ltd.

Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Mexico
Varia n S.A.

Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Ta i w a n
Varian Technologies Asia Ltd.

18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road
Sec. 1, Hsi Chih
Taipei Hsien
Taiwan, R.O.C.
Tel: [phone]
Fax: [phone]

UK and Ireland
Varia n L td.

28 Manor Road
Walton-On-Thames
Surrey KT 12 2QF
England
Tel: [phone]
Fax: [phone]

United States
Varia n Va cuum Tec h nologie s

121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Toll Free: [phone]

Other Countries
Varia n Va cuum Tec h nologie s

Via F.lli Varian, 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: [phone]
Fax: [phone]

Internet Users:

Customer Service & Technical Support:

[e-mail]

Wor l dwid e Web Si te:

www.varianinc.com/vacuum

Order On-line:

www.evarian.com

Representatives in most countries

11/01