Varian Turbo-V 81-M, 969-8901, 969-8903, 969-8904, 969-8902 Instruction Manual

Turbo-V 81-M

Models:

969-8901
969-8902
969-8903
969-8904

87-900-983-01(B)
MAY 2006

(I) MANUALE DI ISTRUZIONI

(D) BEDIENUNGSHANDBUCH

(F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI

(E) MANUAL DE INSTRUCCIONES

(P) MANUAL DE INSTRUÇÕES

(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING

(DK) INSTRUKSTIONSBOG

(S) BRUKSANVISNING

(N) INSTRUKSJON MANUAL

(FIN) OHJEKÄSIKIRJA

(GR)

ODHGIES CRHSEWS

(H) FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV

(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI

(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ

(SK) NÁVOD NA OBSLUHU

(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA

(GB) INSTRUCTION MANUAL

Turbo-V 81-M

ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1

GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................4

MODE D’EMPLOI...............................................................................................................................................7

INSTRUCCIONES DE USO .............................................................................................................................10

INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................13

GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................16

BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................19

BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................22

BRUKERVEILEDNING.....................................................................................................................................25

KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................28

PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................31

HASZNÁLATI UTASÍTÁS.................................................................................................................................34

INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................37

PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................40

NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................43

NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................46

INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................49

TECHNICAL INFORMATION...........................................................................................................................52

DESCRIPTION OF THE TURBO-V 81-M....................................................................................52

Pump Description ..............................................................................................................52

TURBO-V 81-M OUTLINE ...........................................................................................................54

INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................58

HEATER BAND INSTALLATION.................................................................................................59

AIR COOLING KIT INSTALLATION ............................................................................................59

WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................60

VENT ACCESSORIES.................................................................................................................61

VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION....................................................................................62

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM.....................................................................................................62

With Navigator Controller...................................................................................................62

With Standard Rack Controller ..........................................................................................63

Connection A - HIGH VACUUM FLANGE.........................................................................63

Connection configurations .................................................................................................64

Connection B - FORE-VACUUM PUMP............................................................................64

Connection C - ELECTRICAL............................................................................................64

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................65

ACCESSORIES AND SPARE PARTS ........................................................................................65

VENT VALVE MODEL SELECTION TABLE ...............................................................................65

ISTRUZIONI PER L'USO

1 87-900-983-01(B)

Indicazioni di Sicurezza

per

Pompe Turbomolecolari

Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata
quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa
specifica dei loro rotori.

Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per
una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.

,

PERICOLO!

Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte
nel presente manuale!

ISTRUZIONI PER L'USO

2 87-900-983-01(B)

INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utiliz­zatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni
ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima
dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da
eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non adde­strato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normati­ve nazionali specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V 81-M sono pompe turbomoleco­lari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto in grado di pompa­re qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso non corrosivo.
Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle soli­de.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad eleva­ta velocità (80000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico
trifase ad alto rendimento. Il Turbo-V 81-M è totalmente privo di
agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richie­dono un vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne­cessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nel­l'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

,

PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

 ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec­chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.

IMMAGAZZINAMENTO

Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le se­guenti prescrizioni:

• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento

delle pompe non devono essere superate le seguenti con­dizioni ambientali:

• temperatura: da –20 °C a 70 °C

• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)

• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel

modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta

• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomoleco-

lare è di 10 mesi dalla data di spedizione.

 ATTENZIONE!

Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è
superiore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni in­formazione, si prega di contattare il locale rappresentante della
Varian.

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

La Turbo-V 81-M viene fornita in un imballo protettivo speciale;
se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verifi­cati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad
urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente.
Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva
CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.

 ATTENZIONE!

Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.

NOTA

La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplice­mente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mante­nere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul
sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.

INSTALLAZIONE

 ATTENZIONE!

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al mo­mento del collegamento della turbopompa al sistema.

Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:

− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica

− temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico

nell’appendice “Technical Information”)

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Techni­cal Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V 81-M devono
essere utilizzate solo con uno degli appositi controller Varian e
devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere lo
schema in "Technical Information").

ISTRUZIONI PER L'USO

3 87-900-983-01(B)

I controller disponibili sono i seguenti:

- Rack controller 81-AG base: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

La Turbo-V 81-M può essere installata in qualsiasi posizione. Fis­sare la Turbo-V 81-M in posizione stabile collegando la flangia di
ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di
resistere ad una coppia di 250 Nm attorno al proprio asse.
Per esempio la flangia ISO 63 può essere fissata con morsetti
in acciaio ad alta resistenza (tipo modello Varian IC 63250
DCMZ).
La seguente tabella descrive, per ogni dimensione flangia, il
numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio
stringerli.

FLANGIA TIPO DI

MORSETTO

N. COPPIA DI SER-

RAGGIO

ISO 63 Morsetto doppio

con filettatura M10

4 22 Nm

Morsetto singolo

con filettatura M8

4 11 Nm

La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica
Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Informa­tion".

NOTA

La Turbo-V 81-M non può essere fissata tramite la sua base.

 ATTENZIONE!

La Turbo-V 81-M appartiene alla seconda categoria di installa­zione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1.
Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione
che soddisfi tale categoria.

Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Infor­mation".

USO

Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa
sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere atten­tamente tale manuale prima dell'utilizzo.
Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare il
sistema.
Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la
temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore
a 120 °C con flangiatura ConFlat e a 80 °C con flangiatura ISO.
Usare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni
di riscaldamento.

,

PERICOLO!

Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è
collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiu­sura.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le
operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare
lesioni alle persone.

 ATTENZIONE!

Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa
quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra­verso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di
una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla
pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Elio) per proteggere i cu­scinetti (vedere l'appendice "Technical Information").

,

PERICOLO!

Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos­sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure
tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.

MANUTENZIONE

Le pompe della serie Turbo-V 81-M non richiedono alcuna manu­tenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale
autorizzato.

,

PERICOLO!

Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposi­ta valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed at­tendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferio­re a 50°C.

In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio­ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per­mette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello
guasto.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o a­dvanced exchange service, è indispensabile compilare e far per­venire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute"
allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa
deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della spedizio­ne.

Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi­che.

SMALTIMENTO

Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette

Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla
direttiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Eu-
ropea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve
essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali,
ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del di­spositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il
processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna
verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita.

GEBRAUCHSANLEITUNG

4 87-900-983-01(B)

Sicherheitshinweise

für

Turbomolekularpumpen

Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen
verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen
Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.

Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder
durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.

,

GEFAHR!

Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!

GEBRAUCHSANLEITUNG

5 87-900-983-01(B)

ALLGEMEINE INFORMATIONEN

Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor
dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weite­ren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch
teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachge­mäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten
Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen
übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.
Die Pumpen der Serie Turbo V 81-M sind Molekularpumpen für
Hoch- und Höchstvakuumanwendungen, die jede beliebige Art
von Gasen oder nicht korrosiven gasförmigen Gemischen
pumpen können. Sie sind nicht für das Pumpen von Flüssigkei­ten oder Festkörperpartikeln geeignet.
Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine (max.
80000 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungs­drehstrommotor angetrieben wird. Modell Turbo-V 81-M enthält
keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich deshalb
auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informatio­nen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des
Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im
Anhang "Technical Information" enthalten.

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:

,

GEFAHR!

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie­ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei­se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her­vorrufen könnten.

ACHTUNG!

Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.

HINWEIS

Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.

LAGERUNG

Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden An­weisungen zu beachten:

• Während des Transports, der Handhabung und der Einla-

gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht
überschritten werden:

• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C

• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensie-

rend)

• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-

fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in­gangzusetzen.

• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10

Monate ab dem Speditionsdatum.

ACHTUNG!

Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge­nannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk
zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an
den örtlichen Varian Vertreter.

VOR DER INSTALLATION

Turbo-V 81-M wird in einer speziellen Schutzverpackung gelie­fert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtli­chen Verkaufsstelle zu melden. Die Pumpe ist vorsichtig aus­zupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen
und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist
vorschriftsgemäß zu entsorgen. Es ist vollständig recyclebar
und entspricht der Richtlinie 85/399/EWG für Umweltschutz.

ACHTUNG!

Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem
Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen
angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere
Schutzmittel zu verwenden.

HINWEIS

Die Pumpe kann durch die Umgebung an sich keine Schäden
erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage
geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu
vermeiden.

INSTALLATION

ACHTUNG!

Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei
Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen.

Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor
Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen
sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brand­gefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehal­ten werden:

- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck

- Temperatur: von +5°C bis +35°C (siehe Diagramm im An­hang "Technical Information")

- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).

Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pum­pe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen
siehe im Anhang "Technical Information".
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo V 81-M dürfen nur
mit einem der entsprechenden Controller Varian verwendet
werden und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen
werden (siehe Schema in der „Technical Information“).

GEBRAUCHSANLEITUNG

6 87-900-983-01(B)

Die verfügbaren Controller sind folgende:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

Modell Turbo-V 81-M kann in jeder beliebigen Position installiert
werden. Modell Turbo-V 81-M ist stabil zu befestigen, indem der
Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegen­flansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 1000
Nm um seine eigene Achse belastbar ist. Der ISO 63-Flansch
kann z.B. mit hochfesten Stahlklammern befestigt werden (wie
das Varian-Modell IC 63250 DCMZ).
Die Tabelle im Anschluss zeigt die erforderliche Anzahl von
Klammern und das jeweilige Anzugsmoment für jede Flansch­größe.

FLANSCH

KLEMMSCHELLE

ANZ. ANZUGSMOMENT

Doppelschelle mit
NM10 Gewinde

4 22 Nm ISO 63

Einzelklemme mit
NM8-Gewinde

4 11 Nm

Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem spe­ziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An­hang "Technical Information".

HINWEIS

Modell Turbo-V 81-M kann nicht mittels seines Sockels befes­tigt werden.

ACHTUNG!

Der Turbo-V 81-M gehört zur zweiten Installationsklasse (Ü­berdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die
Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlos­sen werden, die dieser Kategorie entspricht.

Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".

GEBRAUCH

Alle Anweisungen für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind
im Handbuch der Kontrolleinheit enthalten. Bitte lesen Sie das
Handbuch aufmerksam vor dem Gebrauch.
Für den Erhalt besserer Grenzdruckwerte ist es möglich, das Sys­tem zu erhitzen.
Bei einer eventuellen Erhitzung der Vakuumkammer darf die Tempe­ratur an dem Eintrittsflansch bei einem Flansch ConFlat nicht über
120°C und bei einem ISO-Flansch nicht über 80°C liegen.
Während der Erhitzungsvorgänge immer die Abkühlung mit
Wasser verwenden.

,

GEFAHR!

Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist. Während
des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße
Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.

ACHTUNG!

Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die
Lager beschädigt werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie Luft
oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftung­sanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck)
betragen.
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer
Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager I­nertgas (Stickstoff oder Helium) zuzuleiten ist (siehe Anhang
"Technical Information").

,

GEFAHR!

Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren
oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige
Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen
Gasen verwendet werden.

WARTUNG

Die Pumpen der Serie Turbo-V 81-M erfordern keine Wartung.
Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal aus­geführt werden.

,

GEFAHR!

Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera­tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.

Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan­ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein
generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System
zur Verfügung stellt.

HINWEIS

Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um­tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und
Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die
örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpa­ckung des Systems vor dem Versand beizulegen.

Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein­schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.

ENTSORGUNG

Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten

Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU­Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)
angebracht.
Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass
das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll
entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem
zugeführt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts ­d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontak­tieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die
Verkaufsbedingungen geprüft hat.

MODE D’EMPLOI

7 87-900-983-01(B)

Normes de sécurité

pour

Pompe Turbomoléculaires

Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une
énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique
de leurs rotors.

En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou
d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.

,

DANGER!

Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux
opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation
décrites dans ce manuel !

MODE D’EMPLOI

8 87-900-983-01(B)

INDICATIONS GENERALES

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profession­nelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisa­teur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute
autre indication supplémentaire fournie par Varian qui décline par
conséquent toute responsabilité en cas de non respect total ou
partiel des instructions données, d'utilisation impropre par un per­sonnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contrai­re aux réglementations nationales spécifiques.
Les pompes de la série Turbo-V 81-M sont des pompes turbo­moléculaires pour des applications de vide poussé et ultra­poussé en mesure de pomper n’importe quel type de gaz ou de
composé non corrosif. Elles ne sont pas adaptées au pompage
de liquides ou de particules solides.
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (80000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique
triphasé à haut rendement. Le Turbo-V 81-M est totalement
exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour
toutes les applications exigeant un vide "propre".
Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications néces­saires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de
l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans
l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

,

DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de
façon impropre, risque de provoquer de graves lésions

 ATTENTION!

Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures dont le non respect pourrait endommager
sérieusement l'appareillage.

NOTE

Les notes contiennent des renseignements importants, extrapo­lés du texte.

STOCKAGE

Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des
pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de res­pecter les instructions suivantes :

• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,

doivent impérativement avoir lieu dans les conditions am­biantes suivantes:

• température : de –20 °C à +70 °C

• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)

• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires

doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.

• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est

de 10 mois à compter de la date d'expédition.

 ATTENTION!

En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit
être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Varian de zone.

PREPARATION POUR L'INSTALLATION

Le Turbo-V 81-M est livré dans un emballage de protection spé­cial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être pro­duit pendant le transport, contacter le bureau de vente local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par­ticulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire
subir aucun choc et aucune vibration.
Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399
en matière de protection de l'environnement.

 ATTENTION!

Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à
mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre
toujours des gants ou toute autre protection appropriée.

NOTE

La pompe ne peut s'endommager en restant simplement expo­sé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à
la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage
clos jusqu'au moment de l'installation.

INSTALLATION

 ATTENTION!

Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection
qu'au moment de brancher la turbopompe au système.

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo­sés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la pous­sière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou
à fort risque d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:

- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique

- température: de +5°C° à +35°C (Cf. graphique dans
"Technical Information")

- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)

En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro­tégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseigne­ment, se reporter à l'opuscule "Technical Information".
Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V 81-M doi­vent être utilisées uniquement avec un des contrôleurs prévus
Varian et doivent être reliées à une pompe primaire (voir le
schéma sur "Technical Information").

MODE D’EMPLOI

9 87-900-983-01(B)

Les contrôleurs disponibles sont les suivants:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538
Le Turbo-V 81-M peut être installée dans n'importe quelle posi­tion. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée
de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un
couple de serrage de 1000 Nm autour de son axe Par exemple le
flasque ISO 63 peut être fixé à l'aide de brides en acier à haute
résistance (comme le modèle Varian IC 63250 DCMZ).
Le tableau suivant indique, pour chaque dimension de flasque,
le nombre de brides nécessaires et le couple de fixation
correspondant.

BRIDE TYPE DE

COLLIER

N. COUPLE DE

SERRAGE

Collier double à file­tage M10

4 22 Nm ISO 63

Collier simple à file­tage M8

4 11 Nm

La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian pré­vus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice
"Technical Information".

NOTE

Le Turbo-V 81-M ne peut être fixé par sa base.

 ATTENTION!

Le Turbo-V 81-M appartient à la deuxième catégorie d'installa­tions (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce
fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible
avec cette catégorie.

Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à
"Technical Information".

UTILIZATION

Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbo
pompe sont contenues dans le manuel de l’unité de contrôle. Lire
attentivement ce manuel avant l’emploi.
Pour atteindre des pressions limites meilleures, on peut chauffer le
système.
Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la tempé­rature sur la collerette d’entrée ne doit pas être supérieure à
120 °C avec collerette ConFlat et à 80 °C avec collerette ISO.
Utiliser toujours le refroidissement à eau pendant les opérations
de chauffage.

,

DANGER!

Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est
pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec
la bride de fermeture.
Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut être à l'origine de lésions graves.

 ATTENTION!

Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou
déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer.
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar (au-delà de la pression atmosphérique).
Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de four­nir à la pompe un flux de gaz inerte (Azote ou Hélium) pour
protéger les paliers (voir l'appendice "Technical Information").

,

DANGER!

Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi­ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi­ques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.

ENTRETIEN

Les pompes de la série Turbo-V 81-M ne demandent aucun entre­tien. Toute intervention doit être effectuée par un personnel
agréé.

,

DANGER!

Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler
l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,
attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la
température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.

En cas de panne, il est possible de bénéficier du service répa­rations Varian ou du "Varian advanced exchange service" qui
permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du
système endommagé.

NOTE

Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation
ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au
bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe
au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche de­vra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimina­tion conformément aux réglementations nationales concernant
la gestion des déchets.

MISE AU REBUT

Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes

Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la direc­tive CE nommée "WEEE".
Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Com-
munauté européenne) indique que le produit sur lequel il est
appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures mé­nagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par
un système de collecte sélective.
Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente,
l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du
dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le
processus de collecte et mise au rebut.

INSTRUCCIONES DE USO

10 87-900-983-01(B)

Indicaciones de Seguridad

para

Bombas Turbomoleculares

Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen
una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en
combinación a la masa específica de sus rotores.

En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o
por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.

,

¡PELIGRO!

Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas
en el presente manual!

INSTRUCCIONES DE USO

11 87-900-983-01(B)

INFORMACIÓN GENERAL

Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra
información suplementaria facilitada por Varian antes de usar el
aparato. Varian se considera libre de posibles responsabilidades
debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al
uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones
no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales
específicas.
Las bombas de la serie Turbo V 81-M son bombas
turbomoleculares para aplicaciones de alto y ultra alto vacío
capaces de bombear cualquier tipo de gas o compuesto
gaseoso no corrosivo. No son adecuadas para bombear
líquidos ni partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de
alta velocidad (80000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico
trifásico de alto rendimiento. El Turbo-V 81-M no posee ningún
agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones
que requieren un vacío’ “limpio”.
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo
“Technical Information” se facilita información más detallada.
Este manual utiliza las convenciones siguientes:

,

¡PELIGRO!

Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una ejecución específica que, de no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.

 ¡ATENCIÓN!

Los mensajes de atención se visualizan antes de los
procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños
al aparato.

NOTA

Las notas contienen información importante extraída del texto.

ALMACENAMIENTO

Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las
bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las siguientes
instrucciones:

• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento

de las bombas no deberán superarse las siguientes
condiciones ambientales:

• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;

• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);

• el cliente deberá activar siempre las bombas

turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;

• el período máximo de almacenamiento de una bomba

turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.

 ¡ATENCIÓN!

En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver la
bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto,
se ruega contactar con el representante local de Varian.

PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN

El Turbo-V 81-M se suministra en un embalaje especial de
protección; si se observan daños, que podrían haberse producido
durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de
ventas.
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se
caiga la bomba y de no someterla a golpes o vibraciones.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399
para la preservación del medio ambiente.

 ¡ATENCIÓN!

Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las
manos desnudas los componentes destinados a exponerse al
vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.

NOTA

El Turbo-V 81-M no puede dañarse permaneciendo
simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se
aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el
sistema para evitar su posible contaminación por polvo.

INSTALACIÓN

 ¡ATENCIÓN!

Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al
conectar la bomba al sistema.

No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases
agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:

- presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica

- temperatura: de +5ºC a +35ºC (véase gráfico en el anexo
“Technical Information”)

- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).

Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo
“Technical Information” para más detalles.
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V 81-M deben
usarse exclusivamente con uno de los controladores Varian y
deben conectarse a una bomba primaria (véase esquema en
“Technical Information”).

INSTRUCCIONES DE USO

12 87-900-983-01(B)

Los controladores disponibles son los siguientes:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538
El Turbo-V 81-M puede instalarse en cualquier posición. Fijar el
Turbo-V 81-M en posición estable conectando la brida de
entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede
resistir a un par de 1000 Nm alrededor de su eje. Por ejemplo
la brida ISO 63 puede ser fijada con mordazas en acero de alta
resistencia (tipo modelo tipo Varian IC 63250 DCMZ).
La tabla siguiente describe, para cada dimensión de brida, el
número de mordazas necesarios y con cual par de apriete
apretarlos.

BRIDA TIPO DE

MORDAZA

N. PAR DE

APRIETE

Mordaza doble
con rosca M10

4 22 Nm ISO 63

Mordaza individual
con rosca M8

4 11 Nm

La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos
específicos Varian. Para más detalles véase el anexo
“Technical Information”.

NOTA

El Turbo-V 81-M no puede fijarse utilizando su base.

 ¡ATENCIÓN!

El Turbo-V 81-M pertenece a la segunda categoría de
instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN
61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a
una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.

Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.

USO

En el manual de la unidad de control se encuentran todas las
instrucciones para el correcto funcionamiento de la turbo-bomba.
Leer atentamente este manual antes de su uso.
Para obtener mejores presiones de máxima es posible calentar el
sistema.
Durante el calentamiento de la cámara de vacío la temperatura
en la brida de entrada no debe superar los 120 ºC con
acoplamiento ConFlat y los 80 ºC con acoplamiento ISO.
Usar siempre refrigeración por agua durante las operaciones
de calentamiento.

,

¡PELIGRO!

No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está
conectada al sistema o no está cerrada con la brida de cierre.
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.

 ¡ATENCIÓN!

Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la presión atmosférica).
Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas de
una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a
la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Helio) para
proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical
Information”).

,

¡PELIGRO!

Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.No usar la bomba cuando haya
gases explosivos.

MANTENIMIENTO

Las bombas de la serie Turbo-V 81-M no requieren
mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por
personal autorizado.

,

¡PELIGRO!

Antes de realizar cualquier operación en el sistema
desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo
la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare
completamente y esperar a que la temperatura superficial de la
bomba sea inferior a 50ºC.

En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite
obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado.

NOTA

Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o
“advanced exchange service”, es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Seguridad y
Salud” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia
de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema
antes de enviarlo.

En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.

ELIMINACIÓN

Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas.
El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en

observancia de la directiva CE denominada "WEEE".
Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la
Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha
sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos
comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el
contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de recogida
diferenciada..
Por lo tanto, se invita al usuario final, a ponerse en contacto
con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es la casa
fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y
eliminación del producto, después de haber efectuado una
verificación de los términos y condiciones contractuales de
venta.

INSTRUÇÕES PARA O USO

13 87-900-983-01(B)

Indicações de Segurança

para

Bombas Turbomoleculares

As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta
quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa
específica de seus rotores.

Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o
estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.

,

PERIGO!

Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é
necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas
neste manual!

INSTRUÇÕES PARA O USO

14 87-900-983-01(B)

INFORMAÇÕES GERAIS

Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve
ler atentamente o presente manual de instruções e todas as
informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a
aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância
total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de
pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo
uso contrário às normas nacionais específicas.
As bombas da série Turbo-V 81-M são bombas
turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo em
grau de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso
não corrosivo. Não são adequadas para aspirar líquidos ou
partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (80000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico trifásico de alto rendimento. O Turbo-V 81-M é
totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é
adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Nos seguintes parágrafos estão descritas todas as informações
necessárias para garantir a segurança do operador durante o
uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas
no apêndice "Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:

,

PERIGO!

As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para um
procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada
correctamente, pode provocar graves lesões pessoais.

ATENÇÃO!

As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem
causar danos à aparelhagem.

NOTA

As notas contêm informações importantes destacadas do texto.

ARMAZENAGEM

Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade
das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas
as seguintes prescrições:

• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem

das bombas as condições ambientais devem ser as
seguintes:

• temperatura: de –20 °C a 70 °C

• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)

• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez,

o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start

• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba

turbomolecular é de 10 meses a contar da data da
expedição.

ATENÇÃO!

Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for
superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o
fabricante. Para mais informações, contatar o representante
local da Varian.

PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO

O Turbo-V 81-M é fornecido numa embalagem protectora
especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter
ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o
escritório de vendas local.
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não
deixar cair a bomba e para não submetêla a choques ou
vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e em conformidade com a norma
CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.

ATENÇÃO!

Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.

NOTA

O Turbo-V 81-M não pode ser danificado permanecendo
simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
manter a bomba fechada até o momento da instalação no
sistema para evitar eventuais acumulações de pó.

INSTALAÇÃO

ATENÇÃO!

Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção
somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema.

Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:

- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica

- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC (consultar a planilha no
apêndice “Technical Information”)

- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).

Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores
detalhes, consultar o apêndice "Technical Information".

INSTRUÇÕES PARA O USO

15 87-900-983-01(B)

As bombas turbomoleculares da série Turbo-V 81-M devem ser
utilizadas somente com um dos adequados controller Varian e
devem ser ligadas numa bomba primária (ver o esquema em
"Technical Information").
Os controller disponíveis são os seguintes:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538
O Turbo-V 81-M pode ser instalado em qualquer posição. Fixar
o Turbo-V 81-M em posição estável ligando o flange de entrada
da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um
torque de 1000 Nm ao redor do próprio eixo.
Por exemplo, a flange ISO 63 pode ser fixada com grampos de
aço de alta resistência (como o modelo Varian IC 63250
DCMZ).
A tabela seguinte descreve, para cada dimensão de flange, o
número de grampos necessários e o torque de aperto a utilizar.

FLANGE TIPO DE BORNE N TORQUE DE

APERTO

Borne duplo com
rosca M10

4 22 Nm ISO 63

Borne simples com
rosca M8

4 11 Nm

A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada
na câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o
apêndice "Technical Information".

NOTA

O Turbo-V 81-M não pode ser fixado através da sua base.

ATENÇÃO!

O Turbo-V 81-M pertence à segunda categoria de instalação
(ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto,
ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para
esta categoria.

Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar
"Technical Information".

UTILIZAÇÃO

Todas as instruções para o correcto funcionamento da
turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler
com muita atenção este manual antes do uso.
Para alcançar melhores pressões limite é possível aquecer o
sistema.
Durante o eventual aquecimento da câmara de vácuo, a
temperatura na flange de ingresso não deve ser superior a 120
°C com flange ConFlat e a 80 °C com flange ISO.
Use sempre o arrefecimento a água durante as operações de
aquecimento.

,

PERIGO!

Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver
ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange
de fecho.
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.

ATENÇÃO!

Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da
turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras
ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica
deve ser inferior a 2 bar (acima da pressão atmosférica).

Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou
Hélio) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice
"Technical Information”).

,

PERIGO!

Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.

MANUTENÇÃO

As bombas da série Turbo-V 81-M não necessitam de qualquer
manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por
pessoal autorizado.

,

PERIGO!

Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da
alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula
específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até
que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.

Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de
assistência Varian ou do "Varian advanced exchange service",
que permite obter um sistema regenerado que substitua a
bomba com defeito.

NOTA

Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações
ou o “advanced exchange service”, é indispensável preencher
e enviar ao escritório de vendas local a ficha "Segurança e
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da
mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da
expedição.

Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua
eliminação respeitando as normas nacionais específicas.

ELIMINAÇÃO

Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos.

O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a
directiva CE denominada "WEEE".
Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade
Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO
deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou
industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de
recolha diferenciada.
Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor
do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para
encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a
oportuna verificação dos termos e condições do contrato de
venda.

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

16 87-900-983-01(B)

Veiligheidsinstructies

voor

Turbomoleculaire pompen

De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote
hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke
massa van hun rotoren.

In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en
de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.

,

GEVAAR!

Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen,
moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden
opgevolgd!

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

17 87-900-983-01(B)

ALGEMENE INFORMATIE

Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens
het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet
aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in
acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving.
De pompen van de serie Turbo-V 81-M zijn turbomoleculaire
pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen die elk
soort gas en niet-corrosieve gasvormige verbindingen kunnen
pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen
of vaste deeltjes.
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende
turbine (max. 80000 toeren/min.) die aangedreven wordt door
een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De
Turbo-V 81-M is volledig vrij van verontreinigingen en is dus
ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm
verlangen.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur
te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de
bijlage "Technical information

Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik:

,

GEVAAR!

Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.

ATTENTIE!

Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.

OPMERKING

De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.

OPSLAG

Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten
de volgende voorschriften in acht worden genomen:

• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen

moet aan de volgende omgevingscondities worden
voldaan:

• temperatuur: van –20 °C tot 70 °C

• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet condenserend)

• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de

Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor
de eerste keer in werking worden gesteld

• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10

maanden vanaf de verzenddatum.

ATTENTIE!

Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet
de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer
informatie wordt verzocht contact op te nemen met de
plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.

UITPAKKEN

De Turbo-V 81-M wordt in een speciale beschermende
verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die
tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen
contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 81-M niet kan
vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.

ATTENTIE!

Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.

OPMERKING

De Turbo-V 81-M kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg
aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden
om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem
wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt
voorkomen.

INSTALLATIE

ATTENTIE!

Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.

De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn

- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk

- temperatuur: van +5°C tot +35°C (zie grafiek in de bijlage
“Technical Information”)

- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).

In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie.
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V 81-M
moeten uitsluitend met een van de speciale controllers van
Varian gebruikt worden en op een primaire pomp aangesloten
worden (zie schema in "Technical Information").

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

18 87-900-983-01(B)

De beschikbare controllers zijn de volgende:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

De Turbo-V 81-M kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Bevestig de Turbo-V 81-M in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 1000 Nm rondom de eigen as kan verdragen. De
flens ISO 63 kan bijvoorbeeld worden bevestigd met stalen
klemmetjes met grote weerstand (zoals model Varian IC 63250
DCMZ).
De volgende tabel geeft per flensafmeting het benodigde aantal
klemmetjes en het bijbehorende aandraaimoment.

FLENS KLEMTYPE

NR.

AANHAAL KOPPEL

Dubbele klem met
M10 schroefdraad

4 22 Nm ISO 63K

Enkelvoudige klem
met M8 schroefdraad

4 11 Nm

De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".

OPMERKING

De Turbo-V 81-M kan niet met behulp van zijn eigen basis
worden bevestigd.

ATTENTIE!

De Turbo-V 81-M behoort tot de tweede installatiecategorie (of
overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is
voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die
aan deze categorie voldoet.

Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.

GEBRUIK

Alle instructies voor de correcte werking van de turbopomp staan
in de handleiding van de controle-eenheid. Lees de handleiding
aandachtig alvorens de pomp in gebruik te nemen.
Om een betere limietdruk te bereiken kan het systeem verwarmd
worden.
Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de
temperatuur op de inlaatflens niet meer bedragen dan 120 °C
met ConFlat flens en niet meer dan 80 °C met ISO flens.
Koel tijdens de verwarming altijd met water.

,

GEVAAR!

Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de
vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.
Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.

 ATTENTIE!

Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen an­ders beschadigd raken.
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de
atmosferische druk) bedragen.
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom
inert gas (Stikstof of helium) ter bescherming van de lagers
krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”).

,

GEVAAR!

Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van
explosieve gassen.

ONDERHOUD

De pompen van de serie Turbo-V 81-M zijn onderhoudsvrij.
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel
worden uitgevoerd.

,

GEVAAR!

Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.

In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.

OPMERKING

Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.

Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig
de specifieke nationale wetgeving te werk.

AFVALVERWERKING

Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten.

Het onderstaande symbool wordt aangebracht in
overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE".
Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese
Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is
aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met
mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet
worden ingezameld.
De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met
de leverancier van het apparaat, zij het de fabrikant of een
wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en
verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde
termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben
gecontroleerd.

BRUGSANVISNING

19 87-900-983-01(B)

Sikkerhedsanvisninger

for

Molekylære turbopumper

De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor
kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers
specifikke vægt.

Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator,
eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.

,

ADVARSEL!

For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er
det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i
denne brugsanvisning!

BRUGSANVISNING

20 87-900-983-01(B)

GENEREL INFORMATION

Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren
bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere
information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke
ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af
disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt
kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der
strider imod gældende lokale regler.
Pumperne i serien Turbo-V 81-M er turbomolekylære pumper til
anvendelse for høj og ultrahøj vakuumtilpasning i stand til at
pumpe en hvilken som helst type gas eller ikke ætsende
gasholdige blandinger. De er ikke egnede til pumpning af
væsker eller faste partikler.

Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine
(80000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor
med høj effekt. Turbo-V 81-M er ikke fremstillet af skadelige
stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent”
vakuum.
De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige
for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med
anvendelse af udstyret. Bilaget “Teknisk Information”
indeholder detaljerede oplysninger.

I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker:

,

ADVARSEL!

Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en
speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist
efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære
personskader.

VIGTIGT!

Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal
følges nøje for ikke at risikere maskinskader.

BEMÆRK

Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.

OPBEVARING

Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre
optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære
pumper fra Varian:

• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i

forbindelse med transport, flytning og opbevaring af
pumperne:

• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,

• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).

• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved

hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af
pumperne for første gang.

• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder

fra forsendelsesdatoen.

VIGTIGT!

Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere,
er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken.
Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale
Varian repræsentant.

FORBEREDELSE FØR INSTALLATION

Turbo-V 81-M leveres i en speciel beskyttende emballage.
Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på
skader, der kan være opstået under transporten.
Sørg for, at Turbo-V 81-M ikke tabes eller udsættes for stød
ved udpakningen.

Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og
opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.

VIGTIGT!

Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres
med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid
handsker eller anden lignende beskyttelse.

BEMÆRK

Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade Turbo-V 81-M.
Det anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil
den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i
pumpen.

INSTALLATION

 VIGTIGT!

Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen
tilsluttes systemet.

Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for
påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive
gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.
Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:

- max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk

- temperatur: fra +5°C til + 35°C (se illustrationen i bilaget
“Teknisk Information”)

- relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)

Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske
felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for
yderligere oplysninger.
De turbomolekylære pumper i serien Turbo-V 81-M må kun
benyttes med en af de specielle Varian controller og de skal
tilsluttes med en primær pumpe (se skemaet under "Technical
Information").

BRUGSANVISNING

21 87-900-983-01(B)

De controller, som står til rådighed, er følgende:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

Turbo-V 81-M kan installeres i en hvilken som helst position.
Fastgør Turbo-V 81-M i en stabil position ved at slutte
turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et
moment på 250 Nm omkring akselen.
Flangen ISO 63 kan for eksempel fastgøres med klemmer af
højstyrkestål (type Varian-model IC 63250 DCMZ).
Nedenstående tabel viser, hvor mange klemmer der kræves alt
efter flangens størrelse, samt med hvilket spændingsmoment
de skal strammes.

LANGE KLEMMETYPE ANT. DREJNINGS-

MOMENT

Dobbelt klemme,
gevind M10

4 22 Nm ISO 63

Enkelt klemme,
gevind M8

4 11 Nm

Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på
vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I
bilaget “Teknisk Information” findes yderligere detaljer.

BEMÆRK

Turbo-V 81-M kan ikke fastgøres i fundamentet.

VIGTIGT!

Turbo-V 81-M hører til den anden installationsklasse (eller
overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor
anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne
klasse.

Der henvises til bilaget “Teknisk Information” for oplysninger
vedrørende installation af ekstraudstyret.

ANVENDELSE

Alle instruktionerne for den korrekte funktion af turbopumpen er
indeholdt i manualen for styreenheden. Læs omhyggeligt denne
manual før den anvendes.
For at opnå bedre begrænsnings-tryk er det muligt at opvarme
systemet.
Under den eventuelle opvarmning af vakuumkammeret må
temperaturen på indløbsflangen ikke overskride 120 °C med
flange ConFlat og ikke overskride 80 °C med flange ISO.
Brug altid vandafkøling under opvarmnings-operationerne.

,

ADVARSEL!

Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er
tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved
hjælp af lukkeflangen.
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i
skade på personer.

VIGTIGT!

Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke
indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den
specielle dør skal være mindre end 2 bar (over atmosfærisk
tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse
pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er
nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (Kvælstof eller
Helium) for at beskytte lejerne (se bilaget “Teknisk
Information”).

,

ADVARSEL!

Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive
gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.

VEDLIGEHOLDELSE

Pumperne i serien Turbo-V 81-M kræver ikke nogen form for
vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret
personale.

,

ADVARSEL!

Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal
strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at
åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er
standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under
50°C.

I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian
reparationsværksted eller “Varian advanced exchange service”,
der udskifter systemet med et repareret system.

BEMÆRK

Inden systemet sendes til reparationsværkstedet eller “Varian
advanced axchange service” skal “Sikkerheds- og
tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne instruktionsmanual,
udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets
emballage inden afsendelse.

Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det
pågældende lands særlige love.

BORTSKAFFELSE

Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne.

Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse
med det såkaldte EU-direktiv "WEEE".
Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at
produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes
sammen med affald fra private husholdninger eller
industriel affald men skal indleveres på en godkendt
affaldsstation.
Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte
leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en
forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og
bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret
betingelserne i salgskontrakten.

BRUKSANVISNING

22 87-900-983-01(B)

Säkerhetsanvisningar

för

Molekylära turbopumpar

De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi
beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa.

I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller
om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.

,

VARNING!

För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas
på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här
bruksanvisningen följas noga.

BRUKSANVISNING

23 87-900-983-01(B)

ALLMÄN INFORMATION

Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Pumparna av serie Turbo-V 81-M är molekylära turbopumpar
för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. Systemet kan
pumpa alla typer av gaser och ej frätande gasblandningar, men
kan dock inte användas för att pumpa vätskor eller fasta
partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
80000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V 81-M, som därför passar för
tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:

,

VARNING!

Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.

 VIKTIGT !

Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste
följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.

OBSERVERA

Detta visar på viktig information i texten.

FÖRVARING

Respektera följande anvisningar för att garantera optimal pre­standa och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:

• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande

omgivningsförhållanden respekteras:

• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.

• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).

• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna

när de mottas och sätts i drift för första gången.

• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från

leveransdatumet.

 VIKTIGT !

Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen
skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala
Varian-återförsäljaren för ytterligare information.

FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN

Turbo-V 81-M levereras i ett särskilt skyddande emballage.
Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar
tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till
att Turbo-V 81-M inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.

 VIKTIGT !

Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.

OBSERVERA

Normal påverkan från omgivningen kan inte skada Turbo-V 81­M. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den
har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in
damm eller annat i den.

INSTALLATION

 VIKTIGT !

Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen
ska anslutas till systemet.

Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för
påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva
gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:

- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)

- temperatur: från +5°C till +35°C (se bild i “Technical
Information”)

- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).

I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar.
De molekylära pumparna av typen Turbo-V 81-M bör endast
användas med en av de speciella Varian systemen och måste
anslutas till en huvudpump (se schemat "Technical
Information").

BRUKSANVISNING

24 87-900-983-01(B)

Följande kontrollsystem finns tillgängliga:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

Turbo-V 81-M kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett
stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast
fläns som måste tåla ett vridmoment på 1000 Nm kring sin axel.
Flänsen ISO 63 kan till exempel fixeras med höghållfasta
stålbyglar (modell Varian IC 63250 DCMZ).

I tabellen nedan beskrivs det antal byglar som erfordras för
varje flänsdimension och med vilket moment de ska dras åt.

FLÄNS TYP AV

KLAMMER

ANT. ÅTDRAGNINGS-

MOMENT

Dubbel klammer
med gänga M10

4 22 Nm ISO 63

Enkel klammer
med gänga M8

4 11 Nm

Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga ”Technical Information”

OBSERVERA

Turbo-V 81-M-systemet kan inte fastspännas med sin egen
bas.

 VIKTIGT !

Turbo-V 81-M tillhör den andra installationsklassen (eller ö­verspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut där­för anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna
klass.

Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information”.

ANVÄNDNING

Alla instruktioner för en optimal prestanda och driftsäkerhet av
turbopumparna finns i kontrollenhetens bruksanvisning.
Instruktionsboken bör läsas mycket noggrannt innan användning.
För att uppnå högre trycknivåer kan systemet värmas upp.
Under en eventuell uppvärmning av vakuumkammaren, bör ej
temperaturen på intagningsflänsen överstiga 120 °C med
ConFlat fläns och 80 °C med ISO fläns.
Använd alltid vattenkylning under uppvärmningsförloppen.

,

VARNING!

Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad
till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med
låsflänsen.

Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.

 VIKTIGT!

Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.
Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från
damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr
måsteunderstiga 2 bar (utöver det atmosfäriska trycket).
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström
av ädelgas (

Kväve eller Helium) för att skydda lagren (se

bilagan “Technical information”).

,

VARNING!

Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda
anvisningarna för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.

UNDERHÅLL

Turbo-V 81-M pumparna kräver inget som helst underhåll. Allt
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.

,

VARNING!

Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens
strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.

Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett
renoverat system.

OBSERVERA

Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.

Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.

BORTSKAFFNING

Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna.

Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD­direktivet som har betecknats som "WEEE".
Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den
Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbo­len har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med van­liga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentie­rat uppsamlingssystem måste upprättas.
Vi rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med
leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om
moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta
uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig
kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor.

BRUKERVEILEDNING

25 87-900-983-01(B)

Sikkerhetsanvisninger

for

Turbomolekylær Pumper

Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt
kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke
massen til pumpenes rotor.

I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller
brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt.

,

ADVARSEL!

For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må
installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye!

BRUKERVEILEDNING

26 87-900-983-01(B)

GENERELL INFORMASJON

Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
Turbo-V 81-M er en turbomolekylær pumpe for høye- og
ultrahøye vakumanlegg som kan pumpe alle typer gasser eller
gassblandinger. Den egner seg ikke for pumping av væsker
eller faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 80000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V 81-M har ingen
forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for
"rene" vakuum.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll :

,

ADVARSEL!

Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.

FORSIKTIG!

Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de
ikke følges, kan føre til at utstyret skades.

MERK

Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.

LAGRING

For å garantere optimal drift og pålitelighet for Varian
turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges:

• Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke

følgende miljøforhold overstiges:

• Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.

• Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering).

• Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene

når de mottas og startes opp første gang.

• Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder

fra sendedato.

FORSIKTIG!

Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må
pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale
Varian-forhandleren for informasjon.

KLARGJØRE TIL INSTALLASJON

Turbo-V 81-M leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje.
Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under
transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når Turbo-V 81-M pakkes ut, må du se til at det ikke slippes
ned eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.

FORSIKTIG!

For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.

MERK

Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge Turbo-V
81-M. Likevel anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er
montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedstøving.

INSTALLASJON

FORSIKTIG!

Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når
turbopumpen koples til systemet.

Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:

- maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)

- temperatur: fra +5°C til +35°C (se diagram i tillegget
“Teknisk informasjon”)

- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)

Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.

BRUKERVEILEDNING

27 87-900-983-01(B)

Turbo-V 81-M pumpen skal kun brukes sammen med en av de
egnede Varian-styreenhetene og den må koples til en
hovedpumpe (se skjema i "Technical Information").
Følgende styreenheter kan brukes:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

Turbo-V 81-M kan monteres i en valgfri stilling. Fest Turbo-V
81-M i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast
koplingsflens med et dreiemoment på 1000 Nm rundt aksen.
For eksempel ISO 63 flensen kan festes ved å bruke ekstra
resistente stål klemmer (som Varian modell IC 63250 DCMZ).
Følgende tabell viser det nødvendige antall klemmer og den
tilsvarende festeanordning for hver enkelt flens dimensjon.

FLENS TYPE KLEMME ANT. STRAMME-

MOMENT

Dobbel klemme
gjenge M10

4 22 Nm ISO 63

Enkel klemme
gjenge M8

4 11 Nm

Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”.

MERK

Turbo-V 81-M må ikke festes gjennom fundamentet.

FORSIKTIG!

Turbo-V 81-M hører til installasjonsklasse (eller
overspenningsklasse) nummer 2 i følge EN 61010-1
standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som
tilfredsstiller kravene for denne klassen.

For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon".

BRUK

Anvisningene for korrekt bruk av turbopumpen er beskrevet i
styreenhetens bruksanvisning. Les nøye denne manualen før du
bruker pumpen.
For å forbedre grensetrykket, er det mulig å varme opp pumpen.
Mens oppvarmingen av vakumkammeret pågår, må temperaturen
ved inngangsflensen ikke overskride 120 °C for en ConFlat flens
og 80 °C for en ISO flens.
Man må alltid bruke vannkjøling under oppvarmingsoperasjonene.

,

ADVARSEL!

Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.

FORSIKTIG!

Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av
turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.
Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2
bar (over atmosfærisk trykk).
Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive
gasser (Nitrogen eller lettere gasser) koples for å beskytte
lagrene (se “Teknisk informasjon).

,

ADVARSEL!

Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.

VEDLIKEHOLD

Turbo-V 81-M pumpeseriene er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på
systemet må kun utføres av autorisert personell.

,

ADVARSEL!

Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen,
pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter
vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er
lavere enn 50°C.

Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte system til erstatning for det ødelagte
systemet.

MERK

Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, eller
som innbytte for et overhalt system, må det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges systemet
som sendes tilbake.

Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.

ELIMINERING

Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene.

Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC­direktiv kalt "WEEE".
Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske
fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må
behandles som vanlig hus-industriavfall, men må legges i
kildesortering.
Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan
være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling
og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i
kjøpekontrakten.

KÄYTTÖOHJEET

28 87-900-983-01(B)

Turbomolekyylipumppujen

Turvaohjeet

Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä
energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien
massaan.

Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin
rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.

,

VAARA!

Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti
laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi!

KÄYTTÖOHJEET

29 87-900-983-01(B)

YLEISIÄ TIETOJA

Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti
ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota
vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden
täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä,
ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä,
valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
Sarjan Turbo-V 81-M pumput ovat turbomolekyylipumppuja
korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä
kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai
syövyttämättömiä kaasuyhdisteitä, mutta se ei sovellu
nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (80000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. Turbo-V 81-M ­järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu
myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin.
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen
käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.
Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Tekniset tiedot”.
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:

,

VAARA!

Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen
käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi
johtaa vakaviin henkilövaurioihin.

HUOMIO!

Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi
johtaa laitteen vahingoittumiseen.

HUOM

Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.

VARASTOINTI

Noudata seuraavia ohjeita, jotta Varian turbomolekyylinen
pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti:

• Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan,

seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:

• lämpötila: -20 °C - 70 °C.

• suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä).

• Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen

pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja
käyttäessään sitä ensimmäisen kerran.

• Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta

toimituspäivästä.

HUOMIO!

Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee
palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varian­edustajalta.

VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN

Turbo-V 81-M toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa;
mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita
vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo-V
81-Min putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali
voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EY­direktiiviä 85/399 ympäristön suojelusta.

HUOMIO!

Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin
osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai
muuta sopivaa suojausta.

HUOM

Turbo-V 81-M ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman
kanssa (auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna,
kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen
mahdollinen pölysaastuminen.

ASENNUS

HUOMIO!

Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun
turbopumppu kytketään järjestelmään.

Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen),
pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on
olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia
ehtoja:

- maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen

- lämpötila: + 5°C - +35°C (ks. “Tekniset tiedot” -liitteen
kaaviota).

- suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)

Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot”

-liitteestä.

KÄYTTÖOHJEET

30 87-900-983-01(B)

Sarjan Turbo-V 81-M turbomolekyylipumppuja saa käyttää
ainoastaan yhdessä tarkoitusta varten olevien Varian valvojien
kanssa ja ne on kytkettävä pääpumppuun (ks. "Tekniset tiedot"
liitteen kaaviota).
Saatavilla on seuraavan tyyppisiä valvojia:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

Turbo-V 81-M voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
Kiinnittäkää Turbo-V 81-M vakaaseen asentoon liittämällä
turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka
kestää 1000 Nm:n momentin akselinsa ympäri. Esimerkiksi
laippa ISO 63 voidaan kiinnittää suurta rasitusta kestävillä
teräspuristimilla (tyyppiä Varian IC 63250 DCMZ).
Seuraavassa taulukossa on lueteltu tarvittavat puristimet
jokaista laippakokoa kohti sekä vaadittava kiristysmomentti.

LAIPPA KIINNIKE MÄÄ-RÄ KIRISTYS-

MOMENTTI

Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10

4 22 Nm ISO 63

Yksinkertainen
kiinnike, kierteitys M8

4 11 Nm

Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammioon sopivien Varianin mekaanisten varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä.

HUOM

Turbo-V 81-Mia ei voida kiinnittää perustansa kautta.

HUOMIO!

Turbo-V 81-M kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten
mukaiseen asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite
tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan
vaatimukset.

Ks. “Tekniset tiedot” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten.

KÄYTTÖ

Kaikki turbopumpun oikeaan toimintaan liittyvät ohjeet löydät
valvontayksikön käyttöoppaasta. Lue tämä käyttöopas huolellisesti
ennen käytön aloittamista.
Voit saavuttaa parhaat rajapaineet lämmittämällä järjestelmän.
Tyhjiökammion mahdollisen lämmittämisen yhteydessä
imulaipan lämpötilan ei tule nousta 120 °C yläpuolelle ConFlat
laipoituksella ja 80 °C yläpuolelle ISO laipoituksella.
Käytä vesijäähdytystä aina lämmitystoimenpiteiden aikana.

,

VAARA!

Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty
tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla.
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen
aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden
loukkaantumisia.

HUOMIO!

Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan
aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.
Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole
pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen
tulee olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen).
Pumput on varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta
varten aukolla, jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja
(Typpi tai Helium) laakereiden suojaamiseksi (katso “Tekniset
tiedot” -liite).

,

VAARA!

Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa
jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa.
Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.

HUOLTO

Sarjan Turbo-V 81-M pumput eivät vaadi mitään huoltoa.
Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön
tehtäväksi.

,

VAARA!

Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä
kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa
avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin
täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun
pintalämmön laskea alle 50ºC:en.

Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service" ­vaihtopalvelua, jonka kautta saatte uudistetun pumpun
vahingoittuneen tilalle.

HUOM

Ennen järjestelmän lähettämistä valmistajalle korjausta tai
vaihtopalvelua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava
paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys” ­kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen
kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen
lähettämistä.

Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä
kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla.

HÄVITTÄMINEN

Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys

Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE­direktiivin mukaisesti.
Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita)
tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai
teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen
keräyspisteeseen.
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja
hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa
se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan
ensin kaupan sopimusehdot.

ODHGIES CRHSHS

31 87-900-983-01(B)

Οδηγίες για Ασφάλεια

για

Μοριακές Αντλίες Στροβίλου

Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας
περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής
σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν.

Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήματος, για παράδειγμα επαφής ρότορα /
επαγωγέα ή ακόμη και σε περίπτωση καταστροφής του ρότορα, η ενέργεια περιστροφής
μπορεί να ελευθερωθεί.

,

KINDUNOS!

Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισμού και για την
πρόληψη τραυματισμών του προσωπικού, οι οδηγίες εγκατάστασης,
όπως δίνονται στο παρόν εγχειρίδιο, θα πρέπει να τηρούνται αυστηρώς!

ODHGIES CRHSHS

32 87-900-983-01(B)

GENIKES PLHROFORIES

Autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O crˇsthj
qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj
egceir∂diou odhgièn kai opoiadˇpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a

pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H
Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ

aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek m◊rouj
anekpa∂deutou proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ˇ
crˇsh pou den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.

Οι αντλίες της σηράς Turbo-V 81-M είναι αντλίες
στροβιλομοριακές για εφαρμογές υψηλού κενού και υπερ – υψηλού
κενού

ικανές να αντλήσουν οποιοδήποτε είδος αερίου ή αέριο
ενώσεως μη διαβρωτικό. Δεν είναι κατάλληλες για την άντληση
υγρών ή στερεών σωματιδίων.

H en◊rgeia £ntlhshj epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou
peristr◊fetai se uyhlˇ tacÚthta (80000 str.§lept. max.)

kinoÚmenh apÒ ◊nan trifasikÒ hlektrikÒ kinhtˇra uyhlèn
epidÒsewn. To Turbo-V 81-M stere∂tai pantelèj rupantikèn

paragÒntwn, opÒte e∂nai kat£llhlo gia efarmog◊j oi opo∂ej
apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ.
Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej
plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristˇ kat£ th
di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuˇj. Leptomere∂j

plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik

◊j Plhrofor∂ejø.

("Technical Information")

AutÒ to egceir∂dio crhsimopoie∂ touj akÒlouqouj sumbatikoÚj
Òrouj¿

,

KINDUNOS!

Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocˇ tou ceiristˇ se m∂a
diadikas∂a ˇ se m∂a eidikˇ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂
swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.

 PROSOCH

Oi ende∂xeij prosocˇj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi
opo∂ej, an den thrhqoÚn, qa mporoÚsan na prokal◊soun bl£bej sth
suskeuˇ.

SHMEIWSH

Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun
apospaste∂ apÒ to ke∂meno.

APOQHKEUSH

Gia na egguhqe∂ to M◊gisto ep∂pedo leitourgikÒthtaj kai
axiopist∂aj twn Strobilomoriakèn antlièn Varian, pr◊pei na
throÚntai oi exˇj prodiagraf◊j¿

• kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqˇkeush twn

antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exˇj periballontik◊j
sunqˇkej¿

• qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj 70 °C

• scetikˇ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh)

• o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me

ton trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se
leitourg∂a gia prèth for£

• o crÒnoj apoqˇkeushj m∂aj strobilomoriakˇj antl∂aj e∂nai 10

mˇnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolˇj.

 PROSOCH

E£n, gia opoiodˇpote lÒgo, o crÒnoj apoqˇkeushj e∂nai
megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete thn antl∂a sto
ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnˇsete
me thn topikˇ antiproswpe∂a thj Varian.

PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH

To Turbo-V 81-M promhqeÚetai se m∂a eidikˇ prostateutikˇ
suskeuas∂a: an up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na
◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, ◊rceste se

epafˇ me to topikÒ tmˇma pwlˇsewn.
Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste

idia∂terh prosocˇ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to Turbo-V 81-M
kai na mhn uposte∂ ctupˇmata ˇ donˇseij.
Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ
anakuklèènetai plˇrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj

E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.

PROSOCH

Gia na apofÚgete problˇmata apagwgˇj aer∂ou, mhn agg∂zete me
gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto
kenÒ.
Crhsimopoie∂te ta g£ntia ˇ £llh kat£llhlh prostas∂a.

SHMEIWSH

To

Turbo-V 81-M

den bl£ptetai apl£ param◊nontaj ekteqeim◊no sto
perib£llon. EntoÚtoij sumbouleÚetai na diathre∂te kleistˇ thn antl∂a
m◊cri th stigmˇ thj egkat£stashj sto sÚsthma èste na apofeugcqe∂
m∂a endecÒmenh rÚpansh apÒ skÒnh.

EGKATASTASH

PROSOCH

Xekollˇste to autokÒllhto kai bg£lte to prostateutikÒ kap£ki
mÒno th stigmˇ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma.

H antl∂a de qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ˇ na crhsimopoihqe∂
se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocˇ,
p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei
k∂ndunoj ◊krhxhj ˇ k∂ndunoj purkagi£j.
Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi

akÒlouqej sunqˇkej perib£llontoj:

- m◊gisth p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikˇ p∂esh

- qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 35°C (bl◊pe di£gramma sto

par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).

- scetikˇ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).

Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na
prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to par£rthma

øTecnik◊j Plhrofor∂

ejø gia perissÒterej leptom◊reiej.

Οι αντλίες στροβιλομοριακές της σηράς Turbo-V 81-M πρέπει να
χρησιμοποιούνται μόνο με έναν από τους κατάλληλους controller
Varian και να είναι συνδεδεμένες σε μία κύρια αντλία (βλέπε σχήμα
στις "Τεχνικές Πληρoφoρίες").

ODHGIES CRHSHS

33 87-900-983-01(B)

Οι διαθέσιμοι controller είναι οι ακόλουθοι:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

To Turbo-V 81-M mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadˇpote q◊sh.
Stereèste to Turbo-V 81-M se staqerˇ q◊sh enènontaj th

fl£ntza eisÒdou thj tourmpoantl∂aj me m∂a staqerˇ
kÒntrofl£ntza ikanˇ na ant◊xei se ◊na zeÚgoj 1000 Nm gÚrw apÒ
ton £xon£ thj. Για παράδειγμα, η φλάντζα ISO 63 μπορεί να

στερεωθεί με τη χρήση χαλύβδινων σφιγκτήρων υψηλής αντοχής
(όπως το μοντέλο Varian IC 63250 DCMZ).

Ο ακόλουθος πίνακας δείχνει, για κάθε διάσταση φλάντζας,

τον

απαραίτητο αριθμό σφιγκτήρων και την αντίστοιχη ροπή στερέωσης.

FLANTZA EIDOS DAGKANHS

N.

ZEUGOS

BIDWMATOS
Diplˇ m◊ggenh me
el∂kwsh M10

4

22 Nm

ISO 63

Monˇ m◊ggenh me
el∂kwsh M8

4

11 Nm

H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂
sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn

Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma
"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".

SHMEIWSH

To

Turbo-V 81-M

den mpore∂ na sterewqe∂ diam◊sou thj b£shj tou.

PROSOCH

O Turbo-V 81-M anhvkei sth deuvterh kathgoriva
egkatavstashÇ (hv upevrtashÇ) pou problevpetai apov ton

kanonismov EN 61010-1. Katav sunevpeia sundevete th
diavtaxh se mia grammhv trofodovthshÇ h opoiva ikanopoieiv
authvn thn kathgoriva.

Gia thn egkat£stash twn proairetikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j
Plhrofor∂ej".

CRHSH

Όλες οι οδηγίες για την σωστή λειτουργία της στροβιλομοριακής
αντλίας περιέχονται στο εγχειρίδιo ελέγχου. Να διαβαστεί προσεκτικά
πριν από τη χρήση της αντλίας.
Για να επιτυγχάνετε καλήτερα όρια πίεσης είναι δυνατό να θερμένετε
το συστήμα.
Κατά τη διάρκεια της ενδεχόμενης θέρμανσης τou θαλάμoυ κενoύ, η
θερμoκρασία στη φλάντζα εισόδoυ δεν πρέπει να ξεπερνάει τouς
120°C με φλάντζα ConFlat και τους 80 °C με φλάντζα ISO.
Κατά τις ενέργειες θέρμανσης να εκτελείται η υδρόψυξη.

,

KINDUNOS!

Mhn afˇnete pot◊ na leitourge∂ h antl∂a an h fl£ntza eisÒdou
den e∂nai sundem◊nh sto q£lamo kenoÚ ˇ den e∂nai kleistˇ me th
fl£ntza kleis∂matoj.
Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta endecÒmena exartˇmat£
thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlˇ qermokras∂a mpore∂ na
prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.

PROSOCH

Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ
metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se
leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta.
Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂te a◊ra ˇ
adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ˇ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou

diam◊sou thj eidikˇj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar
(p£nw apÒ thn atmosfairikˇ p∂esh)
Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai
efodiasm◊nej me mia eidikˇ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a

h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (Άζωτο ή Ήλιο) gia na
prostateutoÚn ta ◊drana (bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j
Plhrofor∂ej")

,

KINDUNOS!

Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,
eÚflektwn ˇ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej
carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou.
Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn.

SUNTHRHSH

Οι αντλίες της σηράς Turbo-V 81-M δε χρειάζονται καμμία
συντήρηση. Opoiadˇpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ

eidikeum◊no proswpikÒ.

,

KINDUNOS!

Prin epiceirˇsete opoiadˇpote ep◊mbash sto sÚsthma,
aposund◊ste to apÒ thn trofodos∂a, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a
ano∂gontaj thn eidikˇ balb∂da, perim◊nete m◊cri na stamatˇsei
tele∂wj o rÒtor kai anam◊nete h epifaneiakˇ qermokras∂a thj

antl∂aj na e∂nai katèterh apÒ 50°C.

Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj
Varian ˇ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei

th dunatÒthta na antikatastˇsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a
£llh anazwogonhm◊nh.

SHMEIWSH

Prin epistr◊yete ston kataskeuastˇ thn antl∂a gia episkeuˇ ˇ
gia

advanced exchange service,

enai apara∂thto na
sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o
Pwlˇsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai Uge∂aø sunhmm◊no sto parÒn
egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei
m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolˇ.

Otan pl◊on ◊na sÚsthma pr◊pei na dialuqe∂, procwre∂te sthn
exoudet◊rwsˇ tou thrèntaj tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.

Χώνευση

Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες.

Το παρακάτω σύμβολο εφαρμόζεται σύμφωνα με την
ντιρεκτίβα Ε.Κ. που ονομάζεται "WEEE".
Αυτό το σύμβολο (που ισχύει μόνο για τις χώρες της
Ευρωπαϊκής Κοινότητας) δείχνει ότι το προϊόν στο οποίο είναι
εφαρμοσμένο, ΔΕΝ πρέπει να πεταχτεί μαζί με κοινά οικιακά ή
βιομηχανικά σκουπίδια,

αλλά με διαφοροποιημένο τρόπο.
Γι΄αυτό, παρακαλούμε τον τελικό χρήστη να έρθει σε επαφή με
τον πωλητή της συσκευής ή με το εργοστάσιο σχετικά με την
εκκίνηση της διαδικασίας διαφοροποιημένης συλλογής,
κατόπιν επαλήθευσης του συμβολαίου πώλησης.

HASZNÁLATI UTASÍTÁS

34 87-900-983-01(B)

Biztonsági útmutató

Turbómolekuláris szivattyúkhoz

A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy
mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege
miatt.

A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a
forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat.

,

VIGYÁZAT!

A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének
megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat
szigorúan be kell tartani!

HASZNÁLATI UTASÍTÁS

35 87-900-983-01(B)

ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ

A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték.
A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell
olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely
információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan
eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár
részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem
megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan
beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes
bármely művelet miatt történtek.
A Turbo-V 81-M széria szivattyúi turbómolekuláris szivattyúk,
melyeket magas és rendkívül magas vákuumalkalmazásokhoz
terveztek, hogy bármely típusú, nem korrodáló gáz illetve
gázvegyület szivattyúzására képes legyen. Nem alkalmas
folyadékok vagy szilárd részecskék szivattyúzására.
A szivattyúzási műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú
elektromos motorral hajtott nagysebességű turbina (max.
80000 fordulat/perc) biztosítja. A Turbo-V 81-M
szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta”
vákuumot igénylő alkalmazásokra.
A következő bekezdések a berendezést használó kezelő
biztonságának garantálásához szükséges összes információt
tartalmazzák. Részletes információt talál a „Műszaki
információ” függelékben.

Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt
használja:

,

VIGYÁZAT!

A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy
konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek
megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet.

 FIGYELEM

A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg,
amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását
okozhatják.

MEGJEGYZÉS

A megjegyzések a szövegből vett fontos információt
tartalmaznak.

TÁROLÁS

A Varian Turbomolecular szivattyúk maximális
teljesítményszintjének garantálására a következő
útmutatásokat kell követni:

• szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a

következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni:

• hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C

• relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)

• A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,

amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti.

• Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap

a szállítás dátumától.

 FIGYELEM

Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút
vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi
Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez.

ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE

A Turbo-V 81-Mt különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha
ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet,
forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,
és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett
módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az
EEC 85/399-es direktívának.

 FIGYELEM

Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta
kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig
használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.

MEGJEGYZÉS

A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a
Turbo-V 81-Mt. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való
telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés
bármely formáját.

TELEPÍTÉS

 FIGYELEM

Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a
turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása előtt.

Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus
közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban,
agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes
környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti
feltételeket kell biztosítani:

− maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett

− hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig (lásd a nyomás-

hőmérséklet diagramot a „Műszaki információ”
függelékben)

− relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)

Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell
ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért
lásd „Műszaki információ”.
A Turbo-V 81-M széria turbómolekuláris szivattyúit kizárólag a
megfelelő Varian vezérlő egységek egyikével szabad
használni, és a szivattyúkat előzőleg egy elsődleges szivattyúra
kell kötni (lásd a “Műszaki Információk” (Technical Information)
részben megadott rajzot).

HASZNÁLATI UTASÍTÁS

36 87-900-983-01(B)

Az alkalmazható vezérlő egységek a következők:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

A Turbo-V 81-M bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a
Turbo-V 81-Mt stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti
karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely
képes ellenállni 1000 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Például az ISO 63 karima rögzíthető nagy teherbírású
acélkapcsokkal (mint az IC 63250 DCMZ Varian típus).
A következő táblázat mindegyik karimamérethez megmutatja
az kapcsok szükséges számát és a hozzátartozó rögzítő
nyomatékot.

KARIMA RÖGZÍTŐ

ESZKÖZ

N. RÖGZÍTŐ

NYOMATÉK

M10 kapcsok 4 22 Nm ISO 63
M8 kapcsok 4 11 Nm

A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian
hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért
lásd „Műszaki információ”.

MEGJEGYZÉS

A Turbo-V 81-M nem rögzíthető az alapján keresztül.

 FIGYELEM

A Turbo-V 81-M a második telepítési (vagy túlfeszültség)
kategóriához tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint.
Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő
hálózathoz.

Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Műszaki
információt”.

HASZNÁLAT

A turbószivattyú helyes alkalmazására vonatkozó minden utasítást
megtalál a vezérlőegység kézikönyvében. Mielőtt a berendezést
használná, figyelmesen olvassa el az említett kézikönyvet!
A jobb nyomás-határértékek elérése érdekében a rendszert fel
lehet melegíteni.
A vákuumkamra esetleges felmelegítése során a bemeneti
nyjlásnál mért hőmérséklet nem lehet magasabb, mint 120 °C
ConFlat típusú illesztőperem esetén, illetve a 80 °C
hőmérsékletet ISO illesztőperem esetén.
Mindig alkalmazzon vízhűtést a melegítés során!



VIGYÁZAT!

Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima
nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a
melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.

 FIGYELEM

Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását
üzem közben. A csapágyak megsérülhetnek.
Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy
közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton
lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri
nyomás fölött).
Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak
szerelve egy különleges porttal, hogy lehetővé tegyék közömbös
gáz (Nitrogén vagy Hélium) stabil áramlását védelmet viselő
szivattyú számára (lásd „Műszaki információ” függelék).

,

VIGYÁZAT!

Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében.

KARBANTARTÁS

A Turbo-V 81-M típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A
rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek
kell elvégeznie.

,

VIGYÁZAT!

A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a
tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep
kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a
szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik.

Meghibásodás esetén lépjen kapcsolatba a helyi Varian
szervizközponttal, ahol tudnak adni egy helyreállított rendszert
a hibás helyett.

MEGJEGYZÉS

Mielőtt javításra vagy cserére visszaküldi a rendszert a
gyártóhoz, az ehhez a gépkönyvhöz csatolt „Egészség és
biztonság” lapot ki kell tölteni és el kell küldeni a helyi
kereskedelmi irodához. A lap egy másolatát szállítás előtt be
kell illeszteni a rendszercsomagba.

Ha a rendszert le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a
konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően.

MEGSEMMISÍTÉS

A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése.

Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű
irányelvével összhangban kerül alkalmazásra.
Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség
országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen
megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari
hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív
hulladékgyűjtő rendszerbe kell továbbítani.
A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás
beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és
feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a
kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy
egy viszonteladó.

INSTRUKCJA UZYTKOWANIA

37 87-900-983-01(B)

Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa

dla

Pomp Turbomolekularnych

Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię
kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą
wirników.

W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a
stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być zwolniona.

,

NIEBEZPIECZEŃSTWO!

Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała
operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące
instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi!

INSTRUKCJA UZYTKOWANIA

38 87-900-983-01(B)

OGÓLNE INFORMACJE

Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego.
Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą
instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę
Varian przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się
od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego
lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku
niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w
przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku
braku zastosowania odpowiednich norm krajowych.
Pompy z serii Turbo-V 81-M to pompy turbomolekularne
przeznaczone są do wywoływania wysokiej i ultra wysokiej
próżni, są wstanie pompować jakikolwiek typ gazu lub
mieszanki gazowej nie korozyjnej. Nie znajdują one
zastosowania do pompowania płynów lub cząstek ciał stałych.
Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotową turbinę
o wysokiej prędkości (max. 80000 obr./min) napędzaną przez
elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. System
Turbo-V 81-M jest całkowicie bez czynników
zanieczyszczających, i dlatego też

jest to system odpowiedni
do zastosowań gdzie jest wymagana tzw.”czysta” próżnia.
W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie
potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa
operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe
informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym
informacji technicznych „Informacje Techniczne”.

W tej instrukcji zastosowano następujące umowne
znaczenia:

,

NIEBEZPIECZEŃSTWO!

Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora
co do danej procedury lub danego postępowania którego
nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne
uszkodzenia ciała.

 UWAGA !

Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed
procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania, może
dojść do uszkodzenia aparatury.

INFORMACJA

Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu.

MAGAZYNOWANIE

W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego
i niezawodności pomp turbomolekularnych Varian, muszą być
przestrzegane następujące zalecenia:

• podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp,

nie mogą być przekroczone następujące warunki
środowiskowe:

• temperatura: od -20 °C do 70 °C

• względna wilgoć od 0 do 95% ( bez opar)

• klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp

turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób
Soft-Start

• czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej

wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki.

 UWAGA !

Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest
dłuższy, należy odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek
informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym
przedstawicielem firmy Varian.

PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI

System Turbo-V 81-M jest dostarczany w specjanym
ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do
których mogłoby dojść podczas transportu, należy
skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży.
Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną
uwagę aby nie spowodować upadku systemu Turbo-V 81-M ani

nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Nie porzucać
opakowania w środowisku.
Materiał ten nadaje się całkowicie do recyklingu zgodny jest z
dyrektywą UE 855/399 dotyczącej ochrony środowiska.

 UWAGA !

Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać
gołymi rękoma części przeznaczonych do próżni. Należy
zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub
odpowiednie zabezpieczenie.

INFORMACJA

Turbo-V 81-M, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie
go na działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do
momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu
uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.

INSTALACJA

 UWAGA !

Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w
momencie połączenia pompy do systemu.

Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach
wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg),
pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z
wysokim zagrożeniem pożaru.
Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać
następujące warunki otoczenia:

− maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem
atmosferycznym

− temperatura: od + 5 °C do +35 °C (patrz wykres graficzny w
dodatku “Informacje Techniczne”)

− względna wilgoć 0 -95% (bez opar).

W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być
odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie.
W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz
dodatek “Informacje Techniczne”.

INSTRUKCJA UZYTKOWANIA

39 87-900-983-01(B)

Pomp turbomolekularnych z serii Turbo-V 81-M należy używać
wyłącznie wraz ze specjalnym kontrolerem Varian i muszą być
one podłączone do pompy głównej (zobacz schemat w
"Informacje Techniczne ").
Kontrolery będące w dyspozycji są następujące:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

Turbo-V 81-M może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji.
Zamocować Turbo-V 81-M w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz
wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na
obciążenie 1000 Nm wokół własnej osi.
Na przykład kołnierz ISO 63 może być zamocowany z
zaciskami stalowymi o wysokiej wytrzymalności (typ modelu
Varian IC 63250 DCMZ).
Niniejsza tabela przedstawia dla każdego wymiaru kołnierza,
ilość potrzebnych zacisków i moment na jaki trzeba je dokręcić.

KOŁNIERZ TYP

ZACISKU

Nr. MOMENT

DOKRĘCENIA

Podwójny zacisk
z gwintem M10

4 22 Nm ISO 63

Pojedynczy zacisk
z gwintem M8

4 11 Nm

Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być
zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie
drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych
informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje
Techniczne”

INFORMACJA

Turbo-V 81-M nie może być mocowany poprzez własną podstawę.

 UWAGA !

Turbo-V 81-M należy do drugiej kategorii instalacji (lub
nadnapięcia) przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego
też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te
wymogi.

Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z
„Informacje Techniczne”.

UŻYTKOWANIE

Wszystkie instrukcje dotyczące prawidłowego funkcjonowania
pompy turbinowej zostały opisane w instrukcji użytkowania
jednostki kontroli. Przed użytkowaniem uważnie przeczytać
wspomniane instrukcje.
By uzyskać optymalne dopuszczalnie ciśnienie, przewidziane
zostało ewentualne nagrzanie systemu.
Podczas ewentualnego nagrzewania kamery próżniowej,
temperatura na kołnierzu złącznym nie powinna przekraczać
120 °C z wywiniętym kołnierzem ConFlat oraz 80 °C i z
wywiniętym kołnierzem ISO.
Zawsze stosować chłodzenie wodne podczas fazy
nagrzewania.

,

NIEBEZPIECZEŃSTWO!

Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz
wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty
z kołnierzem zamknięcia.
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas
operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować
uszkodzenia ciała na osobach.

 UWAGA !

Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć
turbopompy podczas jej działania. Mogą uszkodzić się łożyska.
Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub
obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe

poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 bar ( ponad
ciśnienie atmosferyczne).
Dla pompowania niszczących gazów, pompy te są wyposażone
w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie
przepływ obojętnego gazu (Azot i Hel) dla zabezpieczenia
łożysk (Patrz dodatek „Informacje Techniczne”).

,

NIEBEZPIECZEŃSTWO!

Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów
toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy
wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów.
Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych.

KONSERWACJA

Pompy z serii Turbo-V 81-M nie wymagają żadnej konserwacji.
Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez
upoważniony personel.

,

NIEBEZPIECZEŃSTWO!

Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie,
należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór
dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania
wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie
wynosiła poniżej 50°C.

W przypadku usterki możliwe jest skorzystanie z serwisu
naprawczego Varian lub "Varian advanced exchange
service",który pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu
w zastępstwie uszkodzonego systemu.

INFORMACJA

Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy lub
advanced exchange service, należy obowiązkowo wypełnić i
przekazać do miejscowego biura sprzedaży kartę
„Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do niniejszej instrukcji.
Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być włożony do
opakowania systemu przed jego wysyłką.

Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić
do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi
normami w meritum sprawy.

PRZETWORSTWO ODPADOW

Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo
“WEEE”.

Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia
“WEEE” Unii Europejskiej.
Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii
Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony
NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi
domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany
w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki
zroznicowanej .
Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej
weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie
sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca
urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu.

PŘÍRUČKA K POUŽITÍ

40 87-900-983-01(B)

Bezpečnostní návod

pro

Turbomolekulární vývěvy

Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké
množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem
jejich rotorů.

V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení
rotoru může dojít k uvolnění rotační energie.

,

VÝSTRAHA!

Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány
za účelem prevence zranění obsluhy!

PŘÍRUČKA K POUŽITÍ

41 87-900-983-01(B)

VŠEOBECNÉ INFORMACE

Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před
použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace
dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za jakékoli
nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení
těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami,
neoprávněným zásahem do zařízení nebo jakoukoli činností,
která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních
normách.
Čerpadlo řady Turbo-V 81-M je turbomolekulární čerpadlo pro
vysokovakuové a ultra vysokovakuové aplikace, které je
schopné čerpat jakýkoli typ nekorozívního plynu nebo
sloučeniny plynů. Nehodí se pro čerpání tekutin nebo pevných

částic.
Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 80000 ot/min.)

poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem.
Vývěva Turbo-V 81-M neobsahuje žádné kontaminující látky a
proto se hodí pro aplikace vyžadující "čisté" vakuum.
Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění
bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné
informace jsou uvedeny v příloze "Technické informace".
Tento manuál používá následující standardní protokol:

,

VÝSTRAHA!

Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý
postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly
způsobit vážný úraz.

 VAROVÁNÍ

Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě
nedodržení mohly poškodit zařízení.

POZNÁMKA

Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.

USKLADNĚNÍ

Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost
turbomolekulárních vývěv firmy Varian, musíte dodržovat
následující pokyny:

• Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste

neměli překračovat následující technické podmínky
prostředí:

• Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C

• Rozpětí vlhkosti: 0 až 95% (bez srážení)

• turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a

poprvé vždycky spouštět pozvolně

• skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode

dne doručení.

 VAROVÁNÍ

Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty,
vývěvu musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního
zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian.

PŘÍPRAVA K INSTALACI

Vývěva Turbo-V 81-M se dodává ve speciálním ochranném
obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž
mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní
pobočku.
Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte
jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento
materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice
EEC 85/399.

 VAROVÁNÍ

Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé
ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny
vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.

POZNÁMKA

V normálním prostředí se vývěva Turbo-V 81-M nemůže
poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou,
dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila
před jakýmkoli znečištěním a prachem.

INSTALACE

 VAROVÁNÍ!

Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému
nesundávejte adhezní a ochranné víko.

Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno
atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním
plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým
nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující
podmínky dané prostředím:

− maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem

− teplota: od +5 °C do +35 °C (viz diagram tlak-teplota v

příloze “Technické informace”)

− relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)

V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit
feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze
"Technické informace".

PŘÍRUČKA K POUŽITÍ

42 87-900-983-01(B)

Turbomolekulární čerpadlo řady Turbo-V 81-M lze používat jen
ve spojení s některým ze speciálních controllerů Varian a musí
být připojeno k primárnímu čerpadlu (viz schéma v bodu
Technické informace).
Jsou k dispozici následující controllery:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

Vývěvu Turbo-V 81-M lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu
Turbo-V 81-M upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní
přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese
torzní moment 1000 Nm kolem své osy.
Např. přírubu ISO 63 lze připevnit příchytkami z vysoce pevné
oceli (jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Varian). Následující
tabulka uvádí nezbytný počet příchytek pro každou přírubu a
příslušný utahovací moment.

PŘÍRUBA PŘÍCHYTNÉ

ZAŘÍZENÍ

POČET UTAHOVACÍ

MOMENT

Příchytky M10 4 22 Nm ISO 63
Příchytky M8 4 11 Nm

Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické
informace".

POZNÁMKA

Vývěvu Turbo-V 81-M nelze připevnit pomocí její podstavy.

 VAROVÁNÍ

Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva Turbo-V 81-M do
druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte
do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.

Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické
informace".

POUŽITÍ

Veškeré pokyny pro správné používání turbočerpadla jsou
uvedené v příručce řídicí jednotky. Před použitím čerpadla si tuto
příručku pozorně přečtěte.
Pro dosažení lepšího maximálního tlaku můžete systém čerpadla
zahřát.
Při zahřívání vakuové komory čerpadla nesmí teplota na
vstupní přírubě překročit 120°C v případě příruby typu ConFlat
a 80°C v případě příruby ISO.
Při zahřívání používejte vždy chlazení vodou.

,

VÝSTRAHA!

Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.

 VAROVÁNÍ

Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který
je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí
být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního plynu
(Dusík nebo helium) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu
"Technické informace").

,

VÝSTRAHA!

Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.

ÚDRŽBA

Čerpadla řady Turbo-V 81-M nevyžadují žádnou údržbu. Veškeré
práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.

,

VÝSTRAHA!

Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.

V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy
Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení
výměnou za porouchané.

POZNÁMKA

Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za
repasovaný kus, musíte list "Health and Safety" (Zdraví a
bezpečnost)
přiložený k tomuto návodu vyplnit a odeslat do kanceláře
místního prodejního oddělení. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.

Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.

LIKVIDACE

Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku.

Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE
pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro
státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto
označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními
domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho
předat do patřičných provozních sběren, kde musí být
tříděn a likvidován odděleně od městského odpadu.

Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby
se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který
se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek
postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku.

NÁVOD K POUŽITIU

43 87-900-983-01(B)

Bezpečnostný návod

pre

Turbomolekulárne vývevy

Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo
kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich
rotorov.

V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa
može uvolniť rotačná energia.

,

VAROVANIE!

Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne
dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy!

NÁVOD K POUŽITIU

44 87-900-983-01(B)

VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE

Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov.
Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na
použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť
Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti,
zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani
v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené
nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými osobami,
neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek
postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej
krajiny.

Čerpadlá série Turbo-V 81-M sú turbomolekulárnymi
čerpadlami na vytvorenie vysokého a ultravysokého vákua,

ktoré sú schopné odčerpať ľubovoľný nekorozívny druh plynu
alebo plynnej zmesi. Nie sú vhodné na čerpanie kvapalín alebo
tuhých častíc.
Vyčerpávanie zabezpečuje veľmi rýchla turbína (max. 80000
otáčok/minútu), poháňaná vysokovýkonným 3-fázovým
elektrickým motorom. Zariadenie Turbo-V 81-M neobsahuje
žiadne kontaminačné činidlá, a preto sa hodí pre aplikácie,
vyžadujúce „čisté“ vákuum.
Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré
zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so
zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technické informácie“.

Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:

,

VAROVANIE!

Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý
postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže
spôsobiť vážne zranenie.

 UPOZORNENIE

Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže
spôsobiť poškodenie zariadenia.

POZNÁMKA

Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu.

UCHOVÁVANIE

Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Varian
podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujú­ce pokyny:

• neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas

prevozu, prenášania a uchovávania vývev:

• rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C

• rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez

kondenzácie)

• zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy

použiť režim soft štartu

• skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov

odo dňa dodania.

 UPOZORNENIE

Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti
zariadenia, vráťte vývevu do závodu, v ktorom bola vyrobená.
Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Varian
pre predaj a servis.

PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU

Zariadenie Turbo-V 81-M sa dodáva v špeciálnom ochrannom
balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad
počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti
Varian.
Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie
nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu,
alebo vibráciám.

Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál
je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC
85/399.

 UPOZORNENIE

Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte
komponenty, ktoré budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy
používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu.

POZNÁMKA

Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie Turbo-V
81-M poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo
zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie
prachom.

INŠTALÁCIA

 UPOZORNENIE

Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte
turbovývevu k systému.

Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom
vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny,
ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké
riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné
zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia:

− maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického
tlaku

− teplota: od +5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty
v dodatku “Technické Informácie”)

− relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie)

V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená
feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú
v dodatku „Technické informácie“.

NÁVOD K POUŽITIU

45 87-900-983-01(B)

Turbomolekulárne čerpadlá série Turbo-V 81-M sa môžu
používať len s niektorým z príslušných kontrolných zariadení
Varian a musia byť zapojené na primárne čerpadlo (viď schému
v materiále “Technical Information”).
K dispozícii sú nasledujúce kontrolné zariadenia:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

Zariadenie Turbo-V 81-M môže byť nainštalované v ľubovoľnej
polohe.. Upevnite Turbo-V 81-M do stabilnej polohy pripojením
vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak,
aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 1000 Nm okolo
svojej osi.
Napríklad príruba typu ISO 63 môže byť pripevnená oceľovými
svorkami s vysokou pevnosťou (napr. model Varian IC 63250
DCMZ). Nasledujúca tabuľka ukazuje, pre každý typ príruby
potrebný počet svoriek a príslušný upevňovací krútiaci moment.

PRÍRUBA UPEVŇOVACÍ

MECHANIZMUS

POČET UŤAHOVACÍ

KRÚTIACI

MOMENT

svorky M10 4 22 Nm ISO 63
kleštiny M8 4 11 Nm

Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky
Varian. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technické informácie“.

POZNÁMKA

Zariadenie Turbo-V 81-M sa nemôže upevniť pomocou vlastnej
základne.

 UPOZORNENIE

Zariadenie Turbo-V 81-M patrí do druhej inštalačnej
(prepäťovej) kategórie podľa smernice EN 61010-1. Zariadenie
je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje
uvedenej kategórii.

O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technické
Informácie”.

POUŽITIE

Všetky inštrukcie, potrebné pre správnu prevádzku turbočerpadla,
sú uvedené v príručke kontrolnej jednotky. Pred použitím si túto
príručku pozorne preštudujte.
Aby sa dosiahli lepšie hraničné hodnoty tlaku, možno systém
vyhriať.
Pri zahrievaní vákuovej komory nesmie teplota na vstupnej
prírube prekročiť hodnotu 120°C u obrubového systému
ConFlat a 80°C u obrubového systému ISO.
Pri vyhrievaní používajte vždy chladenie vodou.

,

VAROVANIE!

Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je
pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná.
V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani
žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť
popáleniny

 UPOZORNENIE

Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená
nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom. Mohli by sa
poškodiť ložiská.
Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu,
zbaveného prachu a častíc. Tlak na preplachovacom vstupe
musí byť nižší než 2 bar (pretlakový).
Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie
agresívnych plynov, ktoré umožňujú stabilný tok inertného plynu
(Dusík a hélium) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok
„Technické informácie“).

,

VAROVANIE!

Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých
alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované
postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov.
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov.

ÚDRŽBA

Čerpadlá série Turbo-V 81-M nevyžadujú žiadnu údržbu.
Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný
personál.

,

VAROVANIE!

Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od
zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný
ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota
povrchu vývevy neklesne pod 50 şC.

V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte kontaktné stredisko
spoločnosti Varian, kde vám pokazený systém vymenia.

POZNÁMKA

Skôr než systém odošlete na opravu alebo výmenu, musíte
vyplniť dotazník “Zdravie a bezpečnosť”,
Dotazník pripojený k návodu na použitie je potrebné vyplniť a
odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka
so systémom a odošlite spolu s ním.

Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.

LIKVIDÁCIA

Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch.

Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s
názvom "WEEE".
Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená,
že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s
bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí
odstrániť ako delený odpad.
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s
dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za
účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja.

NAVODILA ZA UPORABO

46 87-900-983-01(B)

Varnostna navodila

za

Turbomolekularne črpalke

Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične
energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev.

V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe
rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.

,

OPOZORILO!

Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja
morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika!

NAVODILA ZA UPORABO

47 87-900-983-01(B)

SPLOŠNE INFORMACIJE

Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo
mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne
informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren
za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil,
nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo
ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Črpalke iz serije Turbo-V 81-M so turbomolekularne črpalke za
visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo. Sistem lahko črpa
vse tipe plinov ali nekorozivnih plinskih zmesi. Ni primeren za

črpanje tekočine ali trdnih delcev.
Črpanje se izvaja preko hitre turbine (maks. 80000 rpm), ki jo

vodi visoko učinkovit 3-fazni električni motor. Turbo-V 81-M ne
vsebuje onesnaževalnih agentov in je primeren za »čisto«
vakuumiranje.
Naslednji odstavki vsebujejo informacije, ki so potrebne za
varnost tistega, ki uporablja to opremo. Podrobne informacije
lahko najdete v prilogi »Tehnične informacije«.

Navodila so napisana po naslednjem standardnem
protokolu:

,

OPOZORILO!

Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na
določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb,
če se jih ne drži.

 POZOR

Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do
poškodbe opreme.

OPOMBA

Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.

SHRANJEVANJE

Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Varian
Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil:

• Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete

preseči naslednjih specifikacij:

• temperaturno območje: -20 °C do 70 °C

• območje relativne vlažnosti: 0 do 95% (brez

kondenza)

• Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo

zmerja zagnati mehko.

• Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev

od datum pošiljanja.

 POZOR

Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je
treba črpalko vrniti v tovarno. Za dodatne informacije
kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za
Varian Vacuum.

PRIPRAVA ZA MONTAŽO

Turbo-V 81-M je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je
embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno.
Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne
stresajte.
Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti
reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.

 POZOR

Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z
golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja.
Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.

OPOMBA

Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati
naprave Turbo-V 81-M. Kljub temu je priporočljivo, da je enota
zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili
onesnaženje s prahom.

MONTAŽA

 POZOR!

Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete
turbo črpalko na sistem.

Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je
ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske
agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer
obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati
naslednje pogoje:

− Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere

− temperatura: from +5 °C to +35 °C (glejte diagram pritisk-

temperatura v prilogi “Tehnične informacije”)

− Relativna vlažnost: 0 -95% (brez kondenza)

V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s
feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo
"Tehnične informacije" .

NAVODILA ZA UPORABO

48 87-900-983-01(B)

Turbomolekularne črpalke iz serije Turbo-V 81-M se lahko
uporabljajo samo s primernimi krmilniki Varian in morajo biti
priključene na primarno črpalko (glej sliko v sekciji “Technical
Information”).

Primerni krmilniki so sledeči:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

Turbo-V 81-M lahko montirate v številne pozicije. Turbo-V 81-M
namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno
prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko
prenese navor 1000 Nm okoli svoje osi.
ISO 63 prirobnico lahko na primer pritrdite s pomočjo jeklenih
držal (kot pri Varian modelu IC 63250 DCMZ).
Naslednja tabela, za vsako prirobnico,prikazuje število
potrebnih pritrjeval ter potreben navor za pritrjevanje.

PRIROBNICA NAPRAVA ZA

PRITRJEVANJE

N. NAVOR

M10 držala 4 22 Nm ISO 63
M8 pritrjevalo 4 11 Nm

Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme.
Za dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične informacije".

OPOMBA

Naprave Turbo-V 81-M ne morete fiksirati z njegovo lastno
spodnjo ploskvijo.

 POZOR

Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 81-M v skupino za
drugo nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na
napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.

Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Tehnične informacije«.

UPORABA

Vsa navodila za pravilno delovanje turbočrpalke se nahajajo v
priročniku kontrolne enote. Pazljivo preberite ta priročnik pred
uporabo.
Za dosego boljših mejnih pritiskov je možno segreti sistem.
Pri morebitnem segrevanju vakuumske komore temperatura
dovodne prirobnice ne sme preseči 120 stopinj C s prirobnicami
ConFlat in 80 stopinj C s prirobnicami ISO.

Vedno morate uporabiti vodno hlajenje med segrevanjem!

,

OPOZORILO!

Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni
priključena na vakuumsko ležišče.
Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte.
Visoka temperatura lahko povzroči opekline.

 POZOR

Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom
črpalke tekom delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo.
Za prezračevanje črpalke uporabite zrak ali inertni plin brez
prahu ali delcev. Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2
bara (nad pritiskom atmosfere).
Za črpanje agresivnih plinov so te črpalke opremljene s
priključkom, ki omogoča stalen pretok inertnih plinov (Dušik ali
Helij) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Tehnične informacije”).

,

OPOZORILO!

Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite
zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina.
Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov.

VZDRŽEVANJE

Črpalke iz serije Turbo-V 81-M ne potrebujejo nikakršnega
vzdrževanja.
Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje.

,

OPOZORILO!

Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti,
prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte,
da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura
črpalke pade pod 50 °C.

V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki
vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim.

OPOMBA

Preden odnesete sistem na popravilo ali zamenjavo z drugo
enoto, morate izpolniti »Health and Safety« obrazec, ki je
priložen navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni. Pred
pošiljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema.

Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi
standardi.

ODLAGANJE OPADKOV

Pomen znamke "WEEE" na etiketah.

Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod
imenom "WEEE".
Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti)
pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi
komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč morate
poskrbeti za njihovo primerno ločevanje.
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali
pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve
odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili
kupopordajne pogodbe.

INSTRUCTIONS FOR USE

49 87-900-983-01(B)

Safety Guideline

for

Turbomolecular Pumps

Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large
amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific
mass of their rotors.

In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash
the rotational energy may be released.

,

WARNING!

To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating
personnel the installation instructions as given in this manual should be
strictly followed!

INSTRUCTIONS FOR USE

50 87-900-983-01(B)

GENERAL INFORMATION

This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions, im­proper use by untrained persons, non-authorized interference
with the equipment or any action contrary to that provided for by
specific national standards.
The Turbo-V 81-M is a turbo-molecular pump for high and ultra­high vacuum applications which can pumps any type of non­corrosive gas or gas compound. It is not suitable for pumping
liquids or solid particles.
The pumping action is obtained through a high speed turbine
(max. 80000 rpm) driven by a high-performance 3-phase elec­tric motor. The Turbo-V 81-M is free of contaminating agents
and, therefore, is suitable for applications requiring a "clean"
vacuum.
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the equip­ment. Detailed information is supplied in the appendix "Techni­cal Information".
This manual uses the following standard protocol:

,

WARNING!

The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not fol­lowed correctly, could lead to serious injury.

 CAUTION

The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.

NOTE

The notes contain important information taken from the text.

STORAGE

In order to guarantee the maximum level of performance and
reliability of Varian Turbomolecular pumps, the following guide­lines must be followed:

• when shipping, moving and storing pumps, the following

environmental specifications should not be exceeded:

• temperature range: -20 °C to 70 °C

• relative humidity range: 0 to 95% (non condensing)

• the turbomolecular pumps must be always soft-started

when received and operated for the first time by the cus­tomer

• the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from

the shipping date.

 CAUTION

If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has
to be returned to the factory. Please contact the local Varian
Vacuum Sales and Service representative for informations.

PREPARATION FOR INSTALLATION

The Turbo-V 81-M is supplied in a special protective packing. If
this shows signs of damage which may have occurred during
transport, contact your local sales office.
When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any
kind of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.

 CAUTION

In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands
to handle components which will be exposed to vacuum. Al­ways use gloves or other appropriate protection.

NOTE

Normal exposure to the environment cannot damage the Turbo­V 81-M. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is
installed in the system, thus preventing any form of pollution by
dust.

INSTALLATION

 CAUTION!

Do not remove the adhesive and protective cap before connect­ing the turbopump to the system.

Do not install or use the pump in an environment exposed to
atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,
or in explosive environments or those with a high fire risk. Dur­ing operation, the following environmental conditions must be
respected:

− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure

− temperature: from +5 °C to +35 °C (see the diagram pres-

sure-temperature in the appendix “Technical Information”)

− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)

In the presence of magnetic fields the pump must be protected
using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical In­formation" for detailed information.

INSTRUCTIONS FOR USE

51 87-900-983-01(B)

The Turbo-V 81-M pumps must be used in conjunction with one
of the suitable Varian controller and they must be connected to
a primary pump (see "Technical Information").
The available controllers are the following:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

The Turbo-V 81-M can be installed in any position. Fix the
Turbo-V 81-M in a stable position connecting the inlet flange of
the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding
a torque of 1000 Nm around its axis.
For example the ISO 63 flange can be fixed using high strength
steel clamps (as Varian model IC 63250 DCMZ).
The following table shows, for each flange dimension, the nec­essary number of clamps and the relevant fixing torque.

FLANGE FIXING

DEVICE

N. FIXING

TORQUE

M10 clamps 4 22 Nm ISO 63
M8 claws 4 11 Nm

The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Varian hard­ware. See the appendix "Technical Information" for a detailed
description.

NOTE

The Turbo-V 81-M cannot be fixed by means of its base.

 CAUTION

The Turbo-V 81-M belongs to the second installation (or over­voltage) category as per directive EN 61010-1. Connect the
device to a mains line that satisfy the above category.

For installation of optional accessories, see "Technical Informa­tion".

USE

All the instructions to correctly use the turbopump are contained in
the controller manual. Read carefully this manual before use the
pump.
To obtain better limit pressures it is possible to heat the pump.
While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet
flange must not exceed 120 °C for a ConFlat flange and 80 °C for a
ISO flange.
While heating always use the water cooling.

,

WARNING!

Never use the turbopump when the inlet flange is not con­nected to the vacuum chamber or is not blanked.
Do not touch the turbopump or any of its accessories during the
heating process. The high temperatures may cause burns.

 CAUTION

Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump
when in operation. The bearings may become damaged.
Use air or inert gas free from dust or particles for venting the
pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar
(above atmospheric pressure).
For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a spe­cial port to allow a steady flow of inert gas (like Nitrogen or Helium)
for pump bearing protection (see the appendix "Technical Informa­tion").

,

WARNING!

When employing the pump for pumping toxic, flammable, or
radioactive gases, please follow the required procedures for
each gas disposal.
Do not use the pump in presence of explosive gases.

MAINTENANCE

The Turbo-V 81-M series pumps does not require any mainte­nance. Any work performed on the system must be carried out
by authorized personnel.

,

WARNING!

Before carrying out any work on the system, disconnect it from
the mains, vent the pump by opening the appropriate valve,
wait until the rotor has stopped turning and wait until the sur­face temperature of the pump falls below 50 °C.

In the case of breakdown, contact your local Varian service
center who can supply a reconditioned system to replace that
broken down.

NOTE

Before returning the system to the constructor for repairs, or
replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety"
sheet attached to this instruction manual must be filled-in and
sent to the local sales office. A copy of the sheet must be in­serted in the system package before shipping.

If a system is to be scrapped, it must be disposed of in accor­dance with the specific national standards.

DISPOSAL

Meaning of the "WEEE" logo found in labels

The following symbol is applied in accordance with the EC
WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive.
This symbol (valid only in countries of the European Com-
munity) indicates that the product it applies to must NOT be
disposed of together with ordinary domestic or industrial waste
but must be sent to a differentiated waste collection system.
The end user is therefore invited to contact the supplier of the
device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the
collection and disposal process after checking the contractual
terms and conditions of sale.

TECHNICAL INFORMATION

DESCRIPTION OF THE TURBO-V 81-M

The Turbo-V 81-M pump is available in four ver­sions. The difference among the four versions lies
purely in the high vacuum connection.

The four versions are:

− Model 969-8901 with ISO 63 high vacuum

flange;

− Model 969-8902 with KF 40 NW high vacuum

flange;

− Model 969-8903 with ConFlat 4.5" external di-

ameter high vacuum flange;

− Model 969-8904 with ConFlat 2.75” external

diameter high vacuum flange.

Pump Description

The pump consists of a high frequency motor driv­ing a turbine fitted with 9 bladed stages and 3
Macrotorr stages. The turbine rotates in an anti­clockwise direction when viewed from the high
vacuum flange end.

The turbine is made of high-strength aluminium
alloy, machined from a single block.

Model 969-8901 Model 969-8902

Model 969-8903 Model 969-8904

Proceeding from the high vacuum to the forevac­uum region, the turbine stages sequence is:

• 1st stage with a blade angle of 40°,

• 2nd stage with a blade angle of 30°,

• 3rd stage with a blade angle of 24°,

• 4th and 5th stages with a blade angle of 18°,

• 6th stage with a blade angle of 14°;

• 7th, 8th and 9th stages with a blade angle of

12°.

The Macrotorr stages are in the form of three
discs.

The turbine rotor is supported by permanently lu­bricated high precision ceramic ball bearings in­stalled on the forevacuum side of the pump.

The static blades of the stator are made of
stainless steel. These are supported and accu­rately positioned by spacer rings.

The Macrotorr stators are in the form of self­positioning machined discs with pumping channels
and an opening restricted by the corresponding
rotor discs. These are made of aluminium alloy.

During normal operation, the motor is fed with a
voltage of 54 Vac three-phase at 1350 Hz (max).
To reduce losses during start-up to a minimum,
the frequency increases according to a ramp with
a higher initial voltage/frequency ratio.

The pump can be water cooled or air cooled: in the
first case the customer can use a dedicated exter­nal plate made of nickel-plated brass, in the sec­ond case an external optional fan is available.
A thermistor sensor is mounted near the upper
bearing to prevent the pump from overheating.

The pump is balanced after assembly with a resid­ual vibration amplitude less than 0.01 μm.

The pump can operate in any position and can be
supported on the high vacuum flange. The con­nection of the forevacuum on the side of the pump
is a KF 16 NW flange.

PUMP

FOREPUMP
CONNECTOR

CONTROLLER
CONNECTOR

52 87-900-983-01(B)

TECHNICAL INFORMATION

TECHNICAL SPECIFICATION

Pumping speed With ISO 63 or

CFF 4.5”
N

2

: 77 l/s
He: 65 l/s
H

2

: 50 l/s

With KF 40 NW
or CFF 2.75”
N

2

: 50 l/s
He: 56 l/s
H

2

: 46 l/s

Compression ratio N2: 3 x 108

He: 8 x 10

4

H

2

: 7 x 10

3

Base pressure *
(with recommended
forepump)

mechanical:
5 x 10

-10

mbar (3.8 x 10

-10

Torr)
diaphragm:
5 x 10

-9

mbar (3.8 x 10

-9

Torr)

Inlet flange ISO 63 KF 40 NW

CFF 4.5” O.D. CFF 2.75” O.D.

Foreline flange KF16 NW

Rotational speed 1350 Hz (max)

Start-up time < 60 seconds

Cooling
requirements

Natural air convection
Forced air or water optional

Recommended
forepump

mechanical: Varian DS 42 – DS 102
dry pump: Varian SH 100

Operating position any

Coolant water flow: 10 l/h (0.05 GPM)

temperature: + 15 °C to + 35 °C
pressure: 2 to 4 bar (30 to 60 Psi)

Operating ambient
temperature with
natural air convec­tion

+5 °C to +25 °C

Operating ambient
temperature with
forced air cooling or
water

+5 °C to +35 °C

Bakeout temperature 120° C at inlet flange max. (CF flange)

80° C at inlet flange max. (ISO flange)

Vibration level
(displacement)

< 0.01 μm at inlet flange

Noise level

≤ 45 dB (A) at 1 meter

Compliance with: UNI EN 292-1

UNI EN 292-2
EN-CENELEC 55011
IEC 1000-4-2 (ex 801-2)
IEC 1000-4-3 (ex 801-3)
IEC 1000-4-4 (ex 801-4)
EN 61010-1 (IEC 1010-1)
EN 1012-2

Storage temperature -20° C to +70° C

Input 76 Vac, three phase,

1350 Hz (max)
100 W max

Lubricant permanent lubrication

Installation category II

Pollution degree 2

Storage temperature - 20° C to + 70° C
Weight kg (lbs):

ISO 63: 2 (4.4)
CFF 4.5”: 2.98 (6.57)

* (According to standard DIN 28 428, the base pressure is that

measured in a leak-free test dome, 48 hours after the comple­tion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a Con­Flat flange and using the recommended pre-vacuum pump)

NOTE

When the Turbo-V 81-M has been stored at a tem­perature less than 5°C, wait until the system has
reached the above mentioned temperature.

53 87-900-983-01(B)

TECHNICAL INFORMATION

TURBO-V 81-M OUTLINE

The following figure shows the Turbo-V 81-M outlines (dimensions are in inches [mm]).

Turbo-V 81-M outline

54 87-900-983-01(B)

TECHNICAL INFORMATION

Graph of pumping speed vs inlet pressure with a 8 m3/h mechanical pump

Graph of compression ratio vs foreline pressure

55 87-900-983-01(B)

TECHNICAL INFORMATION

Nitrogen throughput and power curves

Helium throughput and power curves

56 87-900-983-01(B)

TECHNICAL INFORMATION

Argon throughput and power curves

57 87-900-983-01(B)

TECHNICAL INFORMATION

INLET SCREEN INSTALLATION

The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309
prevent the blades of the pump from being dam­aged by debris greater than 0.7 mm diameter.

The inlet screen, however, does reduce the pump­ing speed by about 10%.

The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure.

The screen can be mounted on each pump.

The screen can be removed as shown in the fol­lowing figure.

The following figure shows the overall flange di­mensions with the protection screen fitted on
pump with ISO flange and pump with CFF flange
(dimensions are in inches [mm]).

58 87-900-983-01(B)

TECHNICAL INFORMATION

HEATER BAND INSTALLATION

The heater band model 969-9801 and 969-9802
can be used to heat the pump casing when a
bakeout is needed.

The heater band is applied to the upper part of the
pump casing, as shown in the figure, and heats it
to a temperature of about 80° C.

The heater band must be mounted such that there
is perfect thermal contact with the pump wall to ob­tain fast and efficient heating.

Switch on the heater while the turbopump is in op­eration. In the event of turbopump overheat, the
pump will be automatically cut out by the thermis­tor sensor.

NOTE

The turbopump must be "baked" only when operat­ing with an inlet pressure less than 10

-4

mbar and

with water cooling.

 CAUTION

If the chamber of the system is "baked" at a high
temperature, a shield should be installed to pre­vent thermal radiation heating the high vacuum
flange on the pump. The maximum temperature
allowed for the inlet flange is 120° C.

AIR COOLING KIT INSTALLATION

An air cooling kit (mod. 969-9290) is available for
cooling the pump during heavy operational condi­tions and whenever the natural air convection is
not sufficient.

Fan specifications:

− air flow: 9 l/s (10 CFM)

− input voltage: 24 Vdc

− dimensions: 60 x 60 x 25 mm

− power: 2.10 W

The fan bracket is shaped so that it can be
mounted close to the pump and in different posi­tions.

To fix the fan to the Turbo-V 81-M case execute
the following procedure (see the following figure):

1. Fix the fan to the suitable bracket by means of
the furnished screws;

2. Fix the bracket to the pump body;

3. Connect the fan supply to the P4 connector of
the controller.

59 87-900-983-01(B)

TECHNICAL INFORMATION

WATER COOLING KIT INSTALLATION

Two types of water cooling kits are available to be
mounted when the pump is used under heavy load
conditions or when air cooling is insufficient.

The two model part numbers are: 969-9823 (me­tallic model), and 969-9824 (plastic model).

 CAUTION

The items of the plastic model kit must be assem­bled as shown in the following figure

The assembled kit must be screwed into the suit­able holes of the pump body with a recommended
closing torque of 5 Nm.

The water kit is assembled as shown in the figure.

60 87-900-983-01(B)

TECHNICAL INFORMATION

61 87-900-983-01(B)

1. Connect the plate to the pump bottom with four
screws M3x20

2. Assemble the metal or the plastic kit as shown.
Cooling may be carried out either through an open

circuit with eventual discharge of the water, or us­ing a closed circuit cooling system.

The water temperature must be between +15 °C
and +35 °C, with an inlet pressure between 2 and
4 bar.

NOTE

The water electrical conductance must be ≤ 500

μ

s/cm. When the conductance is higher, in closed
water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole
is suggested.

VENT ACCESSORIES

The vent valve allows to avoid undesired venting
of the pump during temporary power failure and
enables an automatic vent operation.

There are several vent valves available and each
vent valve has to be driven by its own control unit.

NOTE

Refer to the Vent Valve Model Selection table to
choose the valve and the related control unit.

NOTE

Refer to the control unit manual for the pump­valve-controller interconnections.
Refer to the vent valve manual and follow the in­structions to properly vent the turbomolecular
pump.

To install the vent valve, unscrew the threaded
plug (see figure below).

TECHNICAL INFORMATION

Then screw the vent valve into the pump and
tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a
torque of 2.5 Nm.

 CAUTION

Do not overtighten the valve as this may damage
the thread on the pump.

Then connect the cable from the valve to the suit­able connector on the controller.

VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION

Two vibration isolators for ISO and CFF inlet
flange version pumps are available as accesso­ries.

The two model part numbers are the following:

− model 969-9375 for ISO 63 flange;

− model 969-9376 for CFF 4.5” flange.

They typically reduce the vibration transmitted
from the Turbo-V 81-M to the system by a factor of

20.
Please refer to the relevant instruction manual.

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM

With Navigator Controller

1. Turbo-V Navigator controller

2. Vent valve

3. Vacuum pump shut-off valve (optional)

4. System vent valve (optional)

5. Vacuum chamber

6. Ionization gauge

7. Fore-vacuum pump connecting flange

8. Oil mist eliminator

9. Fore-vacuum pump with internal one-way valve

10. Fore-vacuum pump control relay

11. Connection for water cooling

12. Roughing line with valve (optional)

13. Turbopump

14. Fan

15. Flexible connection

62 87-900-983-01(B)

TECHNICAL INFORMATION

With Standard Rack Controller

1. Turbo-V standard rack controller

2. Vent valve

3. Vacuum pump shut-off valve (optional)

4. System vent valve (optional)

5. Vacuum chamber

6. Ionization gauge

7. Fore-vacuum pump connecting flange

8. Oil mist eliminator

9. Fore-vacuum pump with internal one-way valve

10. Fore-vacuum pump control relay

11. Connection for water cooling

12. Roughing line with valve (optional)

13. Turbopump

14. Flexible connection

Connection A - HIGH VACUUM FLANGE

To connect the Turbo-V 81-M pump to the ISO
inlet flange, remove the outer ring and position the
centering ring as shown in the figure.

Then fix the two flanges with the clamps or claws
as shown in the figure.

For ConFlat flange connections we recommend
using Varian hardware.

To facilitate assembly and dismantling, apply Fel­pro C-100 high temperature lubricant to the screw
threads protruding from the flange and between
the nuts and flange.

Attach the units and tighten each one in turn. Re­peat the sequential tightening until the flange faces
meet.

 CAUTION

Exercise care when tightening nuts and bolts to
avoid creating dents in the envelope as this may
cause the pump rotor to lock.

63 87-900-983-01(B)

TECHNICAL INFORMATION

Connection configurations

Connection B - FORE-VACUUM PUMP

A flange KF 16 NW is available to connect the
Turbo-V 81-M pump to the fore-vacuum pump. A
hose or vacuum approved pipe can be used. If a
rigid pipe is used, any vibration generated by the
mechanical pump must be eliminated through the
use of bellows.

NOTE

The Turbo-V 81-M pump is characterized by its
high compression ratio also for oil vapors. When
using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable
to install a suitable trap between the turbopump
and the fore-vacuum pump in order to prevent oil
backstreaming.

Connection C - ELECTRICAL

The turbopump is connected to the controller
through an 6-pin connector. Pins B, C and D are
the 3-phase supply to the motor, pins A and F are
connected to the temperature sensor (NTC type,
30 KΩ resistance at 25° C) and pin E is connected
to the pump ground.

If the temperature sensor is disconnected, the
pump will not start. To prevent damage to the
pump when the temperature exceeds 60° C, the
sensor automatically cuts out the power supply.

64 87-900-983-01(B)

TECHNICAL INFORMATION

65 87-900-983-01(B)

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC
FIELDS

Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of
a turbomolecular pump that tend to oppose to its
rotation.

The result is increased electrical power consump­tion by the motor, most of which is dissipated in
the rotor.

Since the rotor is not in contact with the stator the
above power can leave the rotor mainly by radia­tion and hence the rotor may be overheated while
static parts of the pump remain cool.

This effect is strongly dependant from the inten­sity, time function and distribution of the magnetic
field.

In general, therefore, an increase in pump current
can be expected.

If this increase is lower than 50% of the current
value drawn by the motor in high vacuum opera­tion, no particular problem should be expected.

However if the effect is grater, than the case
should be carefully reviewed by Varian's specialist.
As a matter of fact, in case of high magnetic fields,
also important forces might be generated and ap­plied to the rotor.

ACCESSORIES AND SPARE PARTS

DESCRIPTION PART NUMBER

Inlet screen, DN 40 969-9309
Inlet screen, DN 63 969-9300
Heater band 220 V 969-9801
Heater band 120 V 969-9802
Metallic water cooling kit 969-9823
Plastic water cooling kit 969-9824
Air cooling kit (0.5 m cable) 969-9290
Air cooling kit extension cable (5 m) 969-9940
Pump extension cable 969-9942
Vibration damper DN 63 969-9375
Vibration damper CFF 4.5" 969-9376
Mechanical pump DS 102 949-9315
Mechanical pump DS 42 949-9309
Dry scroll SH 100 SH01001 UNIV
Rack controller 81-AG base 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus 969-8990
PCB 24 V 969-9538

For a complete overview of Varian's extensive
product lines, please refer to the Varian catalog.

VENT VALVE MODEL SELECTION TABLE

CONTROL UNIT MODEL VENT VALVE

PART NUMBER

Turbo-V 70 Rack controller
(P/N 969-9405, 969-9505)

969-9843

V70 Navigator
(P/N 969-8970, 969-8971)

969-9834

Rack controller 81-AG
(any version)

N.O. 969-9844