USE ........................................................................................................................................................30
PRESSURE VS CURRENT DIAGRAMS ...............................................................................................30
ACCESSORIES AND SPARE PARTS...................................................................................................30
ISTRUZIONI PER L’USO
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso
professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente
il presente manuale di istruzioni ed ogni altra
informazione addizionale fornita dalla Varian prima
dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene
sollevata da eventuali responsabilità dovute
all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso
improprio da parte di personale non addestrato, ad
interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice
“Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione
dell'operatore su una procedura o una pratica specifica
che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe
provocare gravi lesioni personali.
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di
procedure che, se non osservate, potrebbero causare
danni all'apparecchiatura.
Le note contengono informazioni importanti estrapolate
dal testo.
PERICOLO!
ATTENZIONE!
NOTA
DESCRIZIONE DEL CONTROLLER
Il controller MidiVac della Varian è un controller per le
pompe ioniche. L'unità può essere preconfigurata in
fabbrica a seconda delle necessità del cliente, o
possono essere ordinate separatamente dall'utente le
schede opzionali relative alla comunicazione seriale e
al “Set point”.
Il controller può essere configurato con due connettori
in modo da alimentare due pompe ioniche. In questo
caso i valori di corrente visualizzati corrispondono alla
somma dei due valori di corrente relativi a ciascuna
pompa.
Le versioni base del MidiVac sono dettagliate nella
seguente tabella (la polarità non è configurabile):
DESCRIZIONE P/N
Unità base con tensione
di alimentazione a 120
Vac e polarità negativa
Unità base con tensione
di alimentazione a 120
Vac e polarità positiva
Unità base con tensione
di alimentazione a 230
Vac e polarità negativa
Unità base con tensione
di alimentazione a 230
Vac e polarità positiva
929-5000
(singolo
connettore)
929-5001
(singolo
connettore)
929-5002
(singolo
connettore)
929-5003
(singolo
connettore)
929-5004
(doppio
connettore)
929-5005
(doppio
connettore)
929-5006
(doppio
connettore)
929-5007
(doppio
connettore)
IMMAGAZZINAMENTO
Durante il trasporto e l'immagazzinamento del
controller non devono essere superate le seguenti
condizioni ambientali:
• temperatura: da -20 °C a +70 °C
• umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)
1 87-900-080-01 (C)
ISTRUZIONI PER L’USO
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
Il controller viene fornito in un imballo protettivo
speciale; se si presentano segni di danni, che
potrebbero essersi verificati durante il trasporto,
contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare
particolare attenzione a non lasciar cadere il controller
e a non sottoporlo ad urti.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE
85/399 per la tutela dell'ambiente.
INSTALLAZIONE
!
Il controller è munito di un cavo di alimentazione a 3 fili
con una spina di sicurezza (approvata a livello
internazionale). Utilizzare questo cavo di alimentazione
e la spina insieme ad una presa munita di
collegamento di terra onde evitare folgorazioni.
Verificare che il collegamento di terra sia collegato in
modo corretto.
All'interno del controller si sviluppano alte tensioni che
possono recare gravi danni o la morte. Prima di
eseguire qualsiasi operazione di installazione o
manutenzione del controller scollegarlo dalla
alimentazione.
PERICOLO!
ATTENZIONE!
Il controller può essere usato sia come unità da tavolo
sia come modulo a rack, in ogni caso deve essere
posizionato in modo tale che l'aria possa circolare
liberamente attraverso i fori di areazione presenti sulla
copertura superiore e laterale.
Se il controller viene utilizzato come modulo a rack,
DEVE essere inserito in un adattatore alto quattro unità
rack a causa del suo peso.
Il pannello frontale del MidiVac non è previsto per
reggere il peso dell'unità.
Non installare o utilizzare il controller in un ambiente
esposto ad agenti atmosferici (pioggia, neve, ghiaccio),
polvere, gas corrosivi, o in un ambiente esplosivo o ad
alto rischio di infiammabilità.
NOTA
Se il controller è utilizzato come unità da tavolo,
estrarre i due piedini frontali. Se il controller è installato
in un rack, rimuovere i quattro piedini e posizionarlo
con almeno 30 mm (1.2 pollici) di spazio sopra e sotto.
Durante il funzionamento, occorre che siano rispettate
le seguenti condizioni ambientali:
• temperatura: da 0 °C a +45 °C
• umidità relativa: 0 - 95% (senza condensa)
Per collegare il controller alla pompa utilizzare il cavo
specifico non fornito.
NOTA
Il MidiVac viene fornito con un cavo di interlock
collegato tra la vite (4) e la boccola (8) (vedere la figura
del pannello posteriore): questo cavo non deve essere
rimosso altrimenti non sarà possibile accendere l’alta
tensione.
NOTA
Senza la connessione di interlock tra i pin 13 e 14 del
connettore I/O remoto non è possibile mettere in
funzione il controller. Per attivare o disattivare l'alta
tensione è necessario inserire un contatto a tensione
flottante tra i pin 13 e 14.
Per attivare l'alta tensione, i pin devono essere
cortocircuitati (con l'alta tensione attivata/disattivata,
portare l'interruttore del pannello frontale in posizione
ON).
Vedere l'appendice "Technical Information" per
informazioni dettagliate su questi ed altri collegamenti,
e sull'installazione delle schede opzionali.
2 87-900-080-01 (C)
ISTRUZIONI PER L’USO
USO
In questo paragrafo sono riportate le principali
procedure operative. Per ulteriori dettagli e per
procedure che coinvolgono collegamenti o particolari
opzionali, fare riferimento al paragrafo "USE"
dell'appendice "Technical Information".
Prima di usare il controller effettuare tutti i collegamenti
elettrici e pneumatici e fare riferimento al manuale della
pompa collegata.
!
Per evitare danni alle persone ed all'apparato, nel caso
in cui il controller sia appoggiato su di un tavolo
assicurarsi che sia stabile.
PERICOLO!
Controlli ed Indicatori del Pannello Frontale
del MidiVac
La figura e la tabella della pagina seguente illustrano il
pannello frontale del controller MidiVac con il significato
e la funzione dei relativi controlli e degli indicatori.
NOTA
Alcuni controlli ed indicatori variano la loro funzione ed
il loro significato in funzione della posizione
dell’interruttore HV ON OFF. La tabella riporta entrambi
i significati ed entrambe le funzioni.
Pannello Posteriore del MidiVac
La figura seguente mostra i controlli e le connessioni
del pannello posteriore del controller MidiVac.
Informazioni dettagliate sulle connessioni illustrate
sono contenute nell’appendice “Technical Information”.
1) Connettore “Remote I/O” per controllo remoto
2) Predisposizione per connettore “Set Point” (opzionale)
3) Predisposizione per connettore seriale (opzionale)
4) Vite per collegamento del cavo di interlock
5) Predisposizione per secondo ingresso cavo di interlock
(opzionale)
6) Predisposizione per secondo connettore HV (opzionale)
7) Connettore HV
8) Ingresso cavo di interlock
9) Cavo di interlock
10) Fusibili
11) Presa di alimentazione da rete
12) Interruttore di alimentazione
Pannello Posteriore del MidiVac
3 87-900-080-01 (C)
ISTRUZIONI PER L’USO
DESCRIZIONE RIF. DESCRIZIONE
con (12) su OFF con (12) su ON
1 Freccia in giù Quando premuto consente di diminuire il valore
2 Freccia in su Quando premuto consente di aumentare il valore
3 V Comando non abilitato. Quando premuto consente di visualizzare sul display
4 I Comando non abilitato. Quando premuto consente di visualizzare sul display
5 Set 2 Quando acceso indica che il display (9) sta
6 Set 1 Quando acceso indica che il display (9) sta
7 Amp Quando acceso indica che il display (9) sta
8 KV Quando acceso indica che il display (9) sta
9 Display Visualizza i valori delle tensioni e delle correnti
10 3Kv / 5Kv / 7Kv Il LED acceso corrisponde alla tensione massima
11 PROTECT Quando acceso indica che è stato attivato il
13 HV Quando acceso indica la presenza dell’alta tensione.
14 REMOTE Quando acceso indica che il controller è gestito da
15 START
PROT
16 MENU Se il MidiVac è in modo “Remote” quando premuto
della funzione selezionata con il pulsante (16).
della funzione selezionata con il pulsante (16).
visualizzando il valore del Set Point 2 quando
selezionato tramite il pulsante (16).
visualizzando il valore del Set Point 1 quando
selezionato tramite il pulsante (16).
selezionate tramite il pulsante (16).
erogabile dal controller.
funzionamento in modo “Protect”.
Quando lampeggia si è in fase di impostazione.
un computer remoto.
Quando premuto permette di attivare il modo
“Protect”.
Il LED (11) lampeggia durante le operazioni di
impostazione.
permette di passare in modo “Local”.
Se il MidiVac è in modo “Local” quando premuto
permette di accedere alle funzioni di impostazione.
Cambia il valore della tensione massima in uscita
dal controller da 7 kV a 5 kV e da 5 kV a 3 kV.
Cambia il valore della tensione massima in uscita
dal controller da 3 kV a 5 kV e da 5 kV a 7 kV.
(9) il valore della tensione erogata alla pompa.
(9) il valore della corrente assorbita dalla pompa.
Quando acceso indica che il valore di corrente ha
raggiunto il valore impostato del Set Point 2.
Quando acceso indica che il valore di corrente ha
raggiunto il valore impostato del Set Point 1.
visualizzando la corrente assorbita dalla pompa.
visualizzando la tensione erogata dal controller.
Visualizza il valore della tensione erogata dal
controller, o la corrente assorbita dalla pompa.
Il LED acceso corrisponde alla tensione massima
erogabile dal controller.
Quando acceso indica che è stato attivato il
funzionamento in modo “Protect”.
Quando acceso indica che il controller è gestito da
un computer remoto.
Quando premuto permette di attivare il modo
“Protect”.
Se il MidiVac è in modo “Remote” quando premuto
permette di passare in modo “Local”.
Se il MidiVac è in modo “Local” quando premuto
permette di passare in modo “Remote”.
4 87-900-080-01 (C)
ISTRUZIONI PER L’USO
PROCEDURE DI USO
Modi di Funzionamento
Il controller MidiVac può essere comandato in locale dal
pannello frontale (modo “Local”), o da remoto tramite un
computer (modo “Remote”).
Se non è installata alcuna scheda di comunicazione il
modo “Remote” non è disponibile. Nel caso in cui sia
installata una scheda seriale è possibile forzare il modo
“Local” premendo il pulsante “Menu” del pannello
frontale: il LED “REMOTE” lampeggerà.
Con HV ON e “Local” temporaneo attivato si possono
effettuare tutte le operazioni previste in questo stato
(vedere la tabella dei comandi ed indicatori seguente);
al termine delle operazioni si può tornare al modo
“Remote” premendo nuovamente il pulsante “Menu”: il
LED “REMOTE” indicherà il funzionamento normale.
Con HV OFF e “Local” temporaneo attivato si può
accedere alle sole funzioni di impostazione parametri al
termine delle quali l’unità rimane in modo “Local”. Per
tornare al modo “Remote” occorre accendere l’alta
tensione e poi premere il pulsante “Menu”.
Se l’unità è in modo “Remote” e l’alta tensione è
accesa, la reale accensione dell’alta tensione dipende
dall’ultimo comando (accensione o spegnimento) dato
dal computer remoto. La condizione iniziale predisposta
in fabbrica è di spegnimento, per cui per accendere
l’alta tensione occorre passare in modo “Local”
premendo il tasto “Menu” del pannello frontale, oppure
inviare il comando di accensione dell’alta tensione dal
computer remoto.
Se l’unità è in modo “Remote” e l’alta tensione è
spenta, l’accensione dell’alta tensione è possibile solo
con l’apposito comando inviato dal computer remoto.
Il controller MidiVac può operare nei modi “Start” o
“Protect”.
Nel modo “Start”, dopo l’accensione dell’alta tensione, il
controller alimenta la pompa con la corrente necessaria
finché non interviene una condizione di errore.
Nel modo “Protect si hanno due possibili condizioni:
1. All’accensione la corrente erogata è superiore al
valore di soglia impostato: in questo caso il
controller eroga in uscita la corrente richiesta finché
questa non scende sotto il valore di soglia
impostato, dopo di ché il controller entra nel vero
modo “Protect” e spegne l’alta tensione quando la
corrente erogata supera il valore di soglia
presentando sul display il messaggio di errore
“Err2”.
2. All’accensione la corrente erogata è inferiore al
valore di soglia impostato: in questo caso, dopo un
periodo di assestamento di 30 secondi durante il
quale non viene controllata la corrente, il controller
spegne l’alta tensione nel caso in cui la corrente
erogata superi il valore di soglia e presenta sul
display il messaggio di errore “Err2”.
Accensione e Spegnimento
Per accendere il controller occorre portare su I
l’interruttore di alimentazione posto sul pannello
posteriore (vedi figura in alto). Per accendere l’alta
tensione è sufficiente portare su ON l’interruttore (12)
del pannello frontale. Una volta accesa l’alta tensione i
LED (10) del pannello frontale indicano il valore di
tensione massima impostato. Per visualizzare sul
display il valore della tensione in uscita occorre premere
il pulsante (3) del pannello frontale; per visualizzare la
corrente occorre invece premere il pulsante (4).
NOTA
Il valore della tensione in uscita può variare in funzione
della corrente: vedere il diagramma tensione/corrente
riportato nel paragrafo “MidiVac controller description”
dell’appendice “Technical Information”.
Per spegnere la sola alta tensione portare su OFF
l’interruttore (12) del pannello frontale. Per spegnere il
controller portare su 0 l’interruttore di alimentazione
posto sul pannello posteriore.
MANUTENZIONE
Il controller MidiVac non richiede alcuna manutenzione.
Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale
autorizzato. In caso di guasto è possibile usufruire del
servizio di riparazione Varian o del "Varian advance
exchange service", che permette di ottenere un
controller nuovo in sostituzione di quello guasto.
!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul controller
scollegare il cavo di alimentazione.
Qualora un controller dovesse essere rottamato,
procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle
normative nazionali specifiche.
PERICOLO!
5 87-900-080-01 (C)
ISTRUZIONI PER L’USO
MESSAGGI DI ERRORE
Per certi tipi di guasti il controller esegue una autodiagnostica e visualizza uno dei messaggi mostrati
nella tabella seguente.
Nel caso in cui si dovesse bruciare il fusibile F1 interno
al controller, il display presenta per alcuni secondi
l’indicazione di Vout=0.0, e poi il messaggio “Err 3”.
MESSAGGIO DESCRIZIONE AZIONE CORRETTIVA
Err 1 E’ stata rilevata una condizione di corto
circuito (messaggio “SCr”) per più di 3 minuti.
La pressione nella pompa è troppo alta.
Err 2 l controller ha spento l’alta tensione per
l’intervento del “Protect”.
Err 3 Guasto generico dei circuiti di controllo
dell’alta tensione.
Err 5 L’interlock del cavo dell’alta tensione è aperto. Se si dispone di un cavo alta tensione con il filo
SCr L’uscita dell’alta tensione è in corto circuito.
La pressione della pompa è troppo alta.
Se questa condizione permane per più di 3
minuti, il controller spegne l’alta tensione e
presenta il messaggio “Err 1”.
NOTA
La rimozione della copertura del MidiVac comporta
l’apertura del microiunterruttore di sicurezza e quindi
l’interruzione dell’alimentazione, per cui il MidiVac e
tutti i suoi indicatori si spengono e non vi è alcuna
segnalazione sul display.
Spegnere l’alta tensione e verificare che il cavo
dell’alta tensione non sia in corto circuito.
Migliorare la pressione di roughing nella
pompa.
Spegnere e quindi riaccendere l’alta tensione.
Se l’errore si ripresenta chiamare l’assistenza
Varian.
Selezionare il modo di funzionamento “Start”.
Portare su OFF l’interruttore HV (12). Se si
vuole accendere l’alta tensione anche se la
corrente è superiore al livello di “Protect”,
portare su ON l’interruttore HV (12).
Spegnere e riaccendere il controller. Se l’errore
si ripresenta chiamare l’assistenza Varian.
di interlock, verificare che il connettore dal lato
della pompa sia inserito correttamente.
Nel caso in cui non si disponesse di tale cavo,
verificare che il cavetto fornito con l’unità sia
collegato tra la massa e la boccola posta sotto
il connettore dell’alta tensione.
Spegnere e riaccendere il controller. Se l’errore
si ripresenta chiamare l’assistenza Varian.
Spegnere il controller, verificare lo stato
dell’uscita dell’alta tensione e rimuovere la
causa del corto circuito. Migliorare la pressione
di roughing della pompa.
Spegnere e riaccendere il controller. Se l’errore
si ripresenta chiamare l’assistenza Varian.
6 87-900-080-01 (C)
GEBRAUCHSANLEITUNG
ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor
Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie
alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen
genau lesen. Bei Nichtbeachtung - auch teilweise - der
enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch
durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten
Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur
Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die
Firma Varian keinerlei Haftung.
Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben:
!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des
Bedieners auf bestimmte Vorgänge oder Praktiken, die
bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen
hervorrufen können.
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen
den Bediener darauf aufmerksam, daß bei
Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen
können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die
im Text hervorgehoben werden.
GEFAHR!
ACHTUNG!
BESCHREIBUNG DES CONTROLLERS
Der MidiVac-Controller der Firma Varian ist ein Gerät
zur Steuerung von Ionenpumpen. Das Gerät kann im
Werk nach den Angaben des Kunden voreingestellt
werden oder in Einzelkomponenten geliefert werden,
so daß der Kunde den Controller durch Einsetzen bzw.
den Austausch zusätzlicher Karten individuell
konfigurieren kann.
Der Controller kann mit zwei Steckverbindern zur
Stromversorgung von zwei Ionenpumpen konfiguriert
werden. In diesem Fall entsprechen die angezeigten
Stromwerte der Summe der zwei Stromwerte der
beiden Pumpen.
In der nachstehenden Tabelle sind die lieferbaren
Karten zur Konfigurationserweiterung aufgeführt (die
Polarität ist nicht konfigurierbar).
BESCHREIBUNG P/N
Grundeinheit mit 120 V
Ws Speisespannung
und negativer Polarität
Grundeinheit mit 120 V
Ws Speisespannung
und positiver Polarität
Grundeinheit mit 230 V
Ws Speisespannung
und negativer Polarität
Grundeinheit mit 230 V
Ws Speisespannung
und positiver Polarität
929-5000
(Einzelstecker)
929-5001
(Einzelstecker)
929-5002
(Einzelstecker)
929-5003
(Einzelstecker)
929-5004
(Doppelstecker)
929-5005
(Doppelstecker)
929-5006
(Doppelstecker)
929-5007
(Doppelstecker)
LAGERUNG
Beim Transport und bei der Lagerung der Controller
müssen folgende klimatischen Verhältnisse
eingehalten werden
• Temperatur: von -20 °C bis +70 °C
• Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95 %
(nicht kondensierend)
:
7 87-900-080-01 (C)
GEBRAUCHSANLEITUNG
VOR DER INSTALLATION
Der Controller wird mit einer speziellen
Schutzverpackung geliefert. Eventuelle
Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen
Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit der
Controller nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt
werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der
EG-Richtlinie 85/399 für Umweltschutz.
INSTALLATION
!
Der
MidiVac-Controller wird mit einem Netzkabel mit 3
Leitern und mit einem den internationalen Normen
entsprechenden Netzstecker geliefert. Es sollte immer
dieses Netzkabel benutzt werden, das an eine
vorschriftsmäßig geerdete Steckdose anzuschließen
ist, um Stromentladungen zu vermeiden.
Im Inneren des Controllers entstehen hohe
Spannungen, die schwere Schäden verursachen und
lebensgefährlich sein können. Vor jedem Montagebzw. Wartungseingriff muß deshalb der Netzstecker
gezogen werden.
GEFAHR!
ACHTUNG!
Der Controller kann auf einen Tisch oder ein Gestell
montiert werden. In beiden Fällen muß eine
ungehinderte Zirkulation der Kühlluft durch die im
Gehäuse vorne und unten eingelassen Luftöffnungen
gewährleistet sein.
Wenn der Controller in einem Gestell montiert wird,
MUSS er in einer vier Rackeinheiten hohen AdapterEinheit installiert werden, um zu vermeiden, daß der
Controller nicht in das Gestell fällt. Die vordere
Schalttafel des MidiVac-Controllers ist nicht geeignet,
das gesamte Gewicht der Einheit zu tragen.
Der Controller darf nicht in Umgebungen installiert u/o
benutzt werden, die Witterungseinflüssen (Regen,
Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen
ausgesetzt sind und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
ANMERKUNG
If the controller is used as a bench unit, extend the two
front legs. If the controller is installed on a rack, remove
the four feet and position it with at least 30 mm (1.2
inches) of clearance on top and bottom.
Während des Betriebs müssen folgende
Umgebungsbedingungen eingehalten werden:
• Temperatur: von +0 °C bis +45 °C;
• Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95%
(nicht kondensierend).
Zum Anschluß des Controllers an die Pumpe ist das
spezielle Kabel zu verwenden, das nicht mitgeliefert
wird.
ANMERKUNG
Der MidiVac-Controller wird mit einem Schutzkabel
geliefert, das zwischen der Schraube (4) und der
Buchse (8) angeschlossen ist (siehe Abbildung der
Geräterückseite). Dieses Kabel darf nicht entfernt
werden, da andernfalls die Einschaltung der
Hochspannung nicht möglich ist.
ANMERKUNG
Ohne die Verriegelungsverbindung zwischen den
Stiften 13 und 14 des Fern-E/A-Steckers kann der
Kontroller nicht arbeiten. Um die HV remote AUS- oder
EINzuschalten, muss ein spannungsfreier Kontakt
zwischen den Stiften 13 und 14 hergestellt werden.
Zum Einschalten der HV müssen die Stifte
kurzgeschlossen werden (mit dem EIN-/AUS-Schalter
auf der Frontseite in der EIN-Stellung).
Detailliertere Hinweise zu weiteren Anschlußarten
sowie zum Einsatz von Zusatzkarten finden Sie im
Anhang "Technical Information".
8 87-900-080-01 (C)
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