Varian 919-1115, 919-1125, VacIon Plus 20, 919-1146, 919-1114 Instruction Manual
...
VacIon Plus 20
pumps
Model 919-1115
Model 919-1125
Model 919-1145
Model 919-1146
Model 919-1114
Model 919-1124
Model 919-1144
(I) MANUALE DI ISTRUZIONI
(D) BEDIENUNGSHANDBUCH
(F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI
(GB) INSTRUCTION MANUAL
87-900-106-01(B)
APRIL 2006
VacIon Plus 20
ISTRUZIONI PER L’USO ....................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3
MODE D’EMPLOI................................................................................................................5
INSTRUCTIONS FOR USE.................................................................................................7
TECHNICAL INFORMATION .............................................................................................. 9
DESCRIPTION OF THE VACION PUMP......................................................................................9
TECHNICAL SPECIFICATION ......................................................................................................9
OUTLINE DRAWING ...................................................................................................................12
STRAY MAGNETIC FIELD..........................................................................................................13
VACION PLUS PUMP INSTALLATION.......................................................................................14
Inspection procedure .........................................................................................................14
Visual inspection................................................................................................................14
Vacuum evaluation ............................................................................................................14
Short circuits ......................................................................................................................14
TYPICAL INSTALLATION............................................................................................................14
INLET FLANGE CONNECTION ..................................................................................................15
CONTROL UNIT CONNECTION.................................................................................................16
SAFETY INTERLOCK..................................................................................................................16
HEATER INSTALLATION............................................................................................................16
HEATER REPLACEMENT...........................................................................................................17
BAKEOUT OPERATION..............................................................................................................17
Bakeout of VacIon pump with the integral heaters...........................................................17
OPERATING PROCEDURE........................................................................................................17
MAINTENANCE ...........................................................................................................................18
Exchange of the high voltage feedthrough........................................................................18
Leakage current check ......................................................................................................19
High-potting........................................................................................................................19
PUMP TROUBLESHOOTING .....................................................................................................20
VACION PLUS PUMP REPLACEMENT PARTS AND ACCESSORIES ....................................21
VACION PLUS PUMP CONTROLLER........................................................................................22
ISTRUZIONI PER L'USO
1 87-900-106-01(B)
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza
totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di
personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso
contrario alle normative nazionali specifiche.
Le pompe della serie VacIon Plus sono pompe ioniche utilizzate comunemente per applicazioni di ultra alto vuoto, grazie alla
loro pulizia, capacità di pompare qualsiasi tipo di gas, e del loro
funzionamento senza vibrazioni e necessità di manutenzione.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
,
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in
modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a
non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde
evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il
funzionamento, per ottenere le specifiche tecniche dichiarate, la
temperatura ambiente deve essere compresa tra 0 °C e +85 °C.
ATTENZIONE!
La pompa deve essere tenuta sigillata con il suo tubo di ingresso schiacciato finchè non è pronta per essere collegata al sistema.
NO!
,
PERICOLO!
Per evitare lesioni alla persona, non collegare l’alta tensione alla pompa prima che sia installata nel sistema e
che tutte le flange di ingresso siano adeguatamente collegate o chiuse.
ISTRUZIONI PER L'USO
Il funzionamento delle pompe è ottimizzato solo con l’uso delle
apposite unità di controllo Varian (Dual, MidiVac o MiniVac).
6. La pressione nella pompa può anche essere calcolata leggendo la corrente e convertendo la lettura in pressione tramite l’apposito diagramma pressione-corrente illustrato
nell’appendice “Technical Information” di questo manuale.
ATTENZIONE!
Il rispetto delle normative di sicurezza nell’uso delle pompe è
garantito solo con l’uso delle unità di controllo Varian.
NOTA
I gradini nei diagrammi pressione - corrente sono una caratteristica del modo di funzionamento del Dual. Quando la corrente
assorbita dalla pompa raggiunge determinati valori, l'unità di
controllo cambia il valore dell'alta tensione in uscita ad un valore più basso.
La pompa VacIon Plus può essere installata in qualsiasi posi-
zione. Per convenienza normalmente viene montata in posizione verticale con la flangia di ingresso in alto.
Le pompe possono anche essere mantenute sospese in ogni
posizione tramite la loro flangia di ingresso. Per informazioni
dettagliate sull’installazione della pompa, vedere l’appendice
"Technical Information".
7. Quando si porta la pompa alla pressione atmosferica, usare
azoto secco in modo da evitare l’assorbimento di vapore
acqueo da parte delle pareti della pompa.
USO
,
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento delle pompe VacIon Plus sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Si raccomanda
di portare la pompa ad una pressione di 1x10
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure
tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas
esplosivi.
-4
Torr (mbar) in modo da ottenere un avvio più rapido. A questo scopo è meglio non
utilizzare una pompa meccanica sigillata con olio, ma se deve
essere utilizzata una tale pompa, si raccomanda di inserire una
trappola lungo la linea di vuoto per ridurre la pressione causata
dai vapori di acqua e di olio provenienti dalla pompa meccanica.
Cercare di ridurre al minimo il tempo in cui la pompa meccanica è
aperta verso il sistema e verso la pompa ionica, poiché i suoi vapori si diffondono nel sistema a pressioni inferiori a 1x10
,
PERICOLO!
Quando è installato il riscaldatore, non toccare la pompa durante le operazioni di riscaldamento e di raffreddamento. L'elevata
temperatura può causare lesioni alle persone.
-1
Torr
(mbar) causando una contaminazione dello stesso. Nei sistemi in
cui l’olio deve essere completamente assente, è meglio utilizzare
pompe Turbo per la suddetta operazione. Depositi igroscopici e
l’assorbimento dell’idrogeno all’interno del composto di titanio
possono provocare l’allungamento del tempo di avvio con
l’invecchiamento della pompa. Durante l’esposizione all’aria, il
deposito del composto di titanio assorbe vapore acqueo; in conseguenza di ciò, al successivo avvio, il riscaldamento della pompa provoca il rilascio del vapore e di parte dell’idrogeno pompato
precedentemente, con l’effetto dell’allungamento del tempo di
avvio.
ATTENZIONE!
Non avvicinare dispositivi elettronici alla pompa. Il campo magnetico attorno ad essa può provocare dei malfunzionamenti
dei dispositivi stessi.
MANUTENZIONE
Le pompe della serie VacIon Plus non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.
Procedure di uso
,
Controllare che la polarità dell’unità di controllo sia corretta per
la pompa: polarità positiva per le pompe Diode e negativa per
le StarCell. Fare riferimento al relativo manuale ed osservare la
seguente procedura per l’uso della pompa:
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla pompa scollegarla
dall’alta tensione.
1. Tramite una pompa di pre-vuoto portare il sistema da vuoto
ad una pressione minima di avvio in accordo alla tabella di
pagina 9 ed a seconda del tipo di pompa ionica.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.
2. Collegare l’unità di controllo ad una apposita fonte di ali-
mentazione ed accenderla.
3. Osservare la tensione, la corrente e la pressione. Se l’avvio
è avvenuto ad una pressione di 5x10
SMALTIMENTO
-2
Torr (mbar), è tipica
una tensione di circa 300 - 400 V. Un valore di corrente
prossimo alla corrente di corto circuito dell’unità di controllo
è indice dell’esistenza di una perdita nella pompa e nel sistema. Un temporaneo incremento della pressione di prevuoto è normale durante la fase di avvio.
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Eu-
ropea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve
essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali,
ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
4. Lasciare la valvola di pre-vuoto aperta durante l’avvio della
pompa ionica finchè non si raggiunge una adeguata pressione di avvio. Se la tensione della pompa ionica scende
dopo la chiusura della valvola, riaprirla per un prepompaggio aggiuntivo. Appena la pressione diminuisce, la
tensione cresce nuovamente e la valvola di pre-vuoto può
essere chiusa.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il
processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei
termini e condizioni contrattuali di vendita.
5. Quando la tensione ha raggiunto i 2 - 3kV, mettere l’unità di
controllo nello stato PROTECT. Il sistema sarà così autoprotetto dall’incremento della pressione oltre 1x10
-4
Torr
(mbar) quando la pompa non è controllata. Nel caso in cui
ci fosse un tale incremento, l’unità di controllo viene spenta
automaticamente.
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GEBRAUCHSANWEISUNGEN
ALLGEMEINE HINWEISE
Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch bestimmt.
Vor dem Gebrauch soll der Benutzer dieses Handbuch sowie
alle weiteren von Varian mitgelieferten Zusatzdokumentationen
genau lesen. Bei vollständiger bzw. teilweiser Nichtbeachtung
der enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch
ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen Bestimmungen übernimmt Firma Varian keinerlei Haftung.
Die Pumpen der Serie VacIon Plus sind Ionenpumpen, die aufgrund ihrer Reinheit, ihrer Fähigkeit, alle Arten von Gas zu
pumpen, und ihres vibrations- und wartungsfreien Betriebes,
allgemein für Ultrahochvakuumanwendungen zum Einsatz
kommen.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des
Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im
Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
,
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnte.
INSTALLATION
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen installiert und/oder benutzt werden, die ungeschützt vor Witterungsbedingungen (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, und in
denen Explosions- und erhöhte Brandgefahr besteht.
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden
am Gerät entstehen können.
Während des Betriebes soll die Umgebungstemperatur zwischen 0°C und +85°C betragen, um die angegebenen technischen Merkmale zu gewährleisten.
ANMERKUNG
ACHTUNG!
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.
Die Pumpe soll versiegelt und mit flachgedrücktem Eintrittsschlauch gehalten werden, bis sie für den Anschluß an das
System bereit ist.
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert.
Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen
Verkaufsstelle zu melden. Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht fällt oder Stößen oder Vibrationen
ausgesetzt wird. Das Verpackungsmaterial ist ordnungsgemäß
zu entsorgen. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der
EG-Richtlinie 85/399 für den Umweltschutz.
FALSCH!
ACHTUNG!
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten, die mit dem Vakuum in Kontakt kommen, nicht mit bloßen
Händen berührt werden. Stets Handschuhe oder einen anderen
geeigneten Schutz tragen.
,
GEFAHR!
Um Personenschäden zu vermeiden, darf die Hochspannungsleitung der Pumpe erst angeschlossen werden, wenn
die Pumpe im System installiert ist und alle Eintrittsflansche
entsprechend angeschlossen oder geschlossen sind.
ANMERKUNG
Die Pumpe kann, wenn sie einfach der Atmosphäre ausgesetzt
ist, nicht beschädigt werden. Sie sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen
durch Staub zu vermeiden.
3 87-900-106-01(B)
GEBRAUCHSANWEISUNGEN
Der Pumpenbetrieb wird nur durch den Einsatz speziell dafür
vorgesehener Varian Steuereinheiten (Dual, MidiVac oder MiniVac) optimiert.
ACHTUNG!
Die Einhaltung der Sicherheitsvorschriften beim Gebrauch der
Pumpen ist nur bei Verwendung von Varian Steuereinheiten
gewährleistet.
Die Pumpe VacIon Plus kann in einer beliebigen Position installiert werden. Aus praktischen Gründen wird sie in der Regel
senkrecht mit nach oben gerichtetem Eintrittsflansch. Die Pumpen können auch in einer beliebigen Position an ihrem Eintrittsflansch hängend eingebaut werden. Detaillierte Informationen
zur Installation der Pumpe sind dem Anhang “Technical Information” zu entnehmen.
GEBRAUCH
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Pumpen VacIon Plus sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten. Dieses Handbuch ist vor der Inbetriebnahme genau durchzulesen.
Es wird empfohlen, die Pumpe auf einen Druck von 1x10
-4
Torr
(mbar) zu bringen, um einen rascheren Anlauf zu gewährleisten. Zu diesem Zweck empfiehlt es sich, keine ölversiegelte
mechanische Pumpe zu verwenden. Falls hingegen eine derartige Pumpe benutzt werden muß, soll an der Vakuumleitung
eine Falle eingesetzt werden, um den durch die Wasser- und
Öldämpfe aus der mechanischen Pumpe erzeugten Druck zu
verringern. Es ist zu versuchen, die Zeit auf ein Mindestmaß zu
reduzieren, während der die mechanische Pumpe zum System
und zur Ionenpumpe geöffnet ist, da sich ihre Dämpfe bei Drücken unter 1x10
-1
Torr (mbar) im System verbreiten und dessen
Verunreinigung verursachen. Bei Systemen, die vollkommen
ölfrei sein müssen, erweisen sich für den obengenannten Vorgang Turbopumpen als geeigneter. Hygroskopische Ablagerungen und die Absorption von Wasserstoff in der
Titanverbindung können die Anlaufzeit verlängern und eine
kürzere Standzeit der Pumpe verursachen. Die Ablagerungen
der Titanverbindungen absorbieren Wasserdampf, wenn sie der
Luft ausgesetzt werden. Dadurch bewirkt beim anschließenden
Anlaufvorgang die Aufheizung der Pumpe die Abgabe des
Dampfes und eines Teils des zuvor gepumpten Wasserstoffs,
so daß sich die Anlaufzeit verlängert.
Bedienungsschritte
Es ist zu kontrollieren, daß die Steuereinheit in bezug auf die
Pumpe richtig gepolt ist: positive Polarität für Dioden Pumpen
und negative für StarCell Pumpen. Es ist nach dem diesbezüglichen Handbuch vorzugehen, für den Gebrauch der Pumpe
sind die folgenden Bedienungsschritte zu beachten:
1. Mit einer Vorvakuumpumpe das System auf einen Min-
destanlaufdruck gemäß Tabelle 9 in Abhängigkeit vom Ionenpumpentyp bringen.
2. Die Steuereinheit an eine entsprechende Versorgungs-
quelle anschließen und einschalten.
3. Die Spannung, die Stromstärke und den Druck beobach-
ten. Wenn der Anlauf bei einem Druck von 5x10
-2
Torr
(mbar) erfolgt ist, ist eine Spannung von ca. 300 – 400 V
typisch. Ein Stromwert, der sich dem Kurzschlußstromwert
der Steuereinheit annähert, weist auf eine Leckstelle an
der Pumpe und am System hin. Ein zeitweiliger Anstieg
des Vorvakuumdruckes ist während der Anlaufphase normal.
4. Während des Anlaufes der Ionenpumpe soll das Vorvakuumventil geöffnet bleiben, bis ein angemessener Anlaufdruck erreicht ist. Wenn die Spannung der Ionenpumpe
nach Schließung des Ventils abfällt, ist das Ventil für eine
zusätzliche Vorvakuumpumpung zu öffnen. Sobald der
Druck sinkt, steigt die Spannung erneut an und kann das
Vorvakuumventil geschlossen werden.
5. Wenn die Spannung 2 – 3 kV erreicht hat, ist die Steuereinheit auf den Status PROTECT zu schalten. Das System
verfügt auf diese Weise über einen Selbstschutz vor einem Druckanstieg über 1x10
-4
Torr (mbar), wenn die
Pumpe nicht kontrolliert ist. Falls ein solcher Anstieg stattfindet, wird die Steuereinheit automatisch ausgeschaltet.
6. Der Pumpendruck kann auch berechnet werden, indem
die Stromstärke abgelesen wird und der abgelesene Wert
mittels des Druck-Stromstärke-Diagramms im Anhang
“Technical Information” des vorliegenden Handbuches in
einen Druckwert umgerechnet wird.
ANMERKUNG
Die Stufen im Druck-Stromstärke-Diagramm sind charakteristisch für die Funktionsweise des Dual. Wenn die Stromaufnahme der Pumpe ein bestimmtes Ausmaß erreicht, ändert die
Steuereinheit die ausgangsseitige Hochspannung auf einen
niedrigeren Wert ab.
7. Wenn die Pumpe auf den atmosphärischen Druck gebracht wird, ist trockener Stickstoff zu verwenden, um die
Aufnahme von Wasserdampf durch die Pumpenwände zu
verhindern.
,
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge zu befolgen. Die
Pumpe nie bei Vorhandensein von explosivem Gas benutzen.
,
GEFAHR!
Wenn die Heizung installiert ist, darf die Pumpe während der
Aufheizung und Abkühlung nicht berührt werden. Die hohe
Temperatur kann zu Personenschäden führen.
ACHTUNG!
Keine elektronischen Geräte in die Nähe der Pumpe bringen.
Das darum befindliche Magnetfeld kann zu Funktionsstörungen
der Geräte führen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie VacIon Plus erfordern keine Wartung.
Sämtliche Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Personal vorgenommen werden.
,
GEFAHR!
Vor Eingriffen an der Pumpe ist diese von der Hochspannungsquelle zu trennen.
Bei eventueller Verschrottung einer Pumpe ist diese entsprechend der einschlägigen nationalen Vorschriften zu entsorgen.
ENTSORGUNG
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten
Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EURichtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)
angebracht.
Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass
das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll
entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem
zugeführt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die
Verkaufsbedingungen geprüft hat.
4 87-900-106-01(B)
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