Tektronix 6517A User manual

Model 6517A エレクトロメータ

基本操作説明書

高抵抗メータ

/

A G R E A T E R M E A S U R E O F C O N F I D E N C E

保証規定

Keithley Instruments, Inc.

は、本製品が出荷後

年間の期間に渡って材質もしくは製造上の瑕疵による欠陥を生じないことを

1

保証します。

Keithley Instruments, Inc.

は以下の項目が出荷後

日の期間に渡って欠陥を生じないことを保証します：プローブ、ケーブル、

90

充電式電池、ディスケット、及びドキュメント。
万一保証期間内に製品に問題が発生しました場合には、欠陥と判定された製品の修理もしくは交換をさせて頂きます（どちらを

実施するかは弊社の裁量とさせて頂きます）。
本保証規定の実施を請求されます場合は、最寄の弊社代理店、もしくは本社（

Keithley

本社、

Cleveland、Ohio

）へ書面もしくは
電話でご連絡ください。遅滞なく事態の処理、および製品の返送に関する連絡を差し上げます。該当製品は、送料前払いにて、指
定されたサービス施設へお送りください。修理の完了した製品は輸送量当社負担にてお客様へ返送されます。

交換された製品に適用される保証期間は当初の保証が有効である残余期間、もしくは少なくとも

修理

/

90

日です。

保証の制限

Keithley

の対象外となります。また、ヒューズ、ソフトウェア、使い捨て電池、電池の液漏れに起因する損傷、および通常予期される磨
耗、取扱説明書の指示に従われなかったことに起因する故障も保証の対象となりません。

本保証規定は、本製品を特定の目的に使用した場合の適性や商品価値を示唆したものを含め、書面によると含意によるとを問わ
ず、他のあらゆる保証に優先します

KEITHLEY INSTRUMENTS, INC.

異的、あるいは偶発的、従属的に発生し得る損害に対して、例え
いて事前の連絡を受けていたとしても、その責を負いません。保証の対象外となる損害には以下の項目が含まれ、またそれだけ
に限定されません：撤去および設置に係わる費用、要員の怪我に付随して継続的に発生する損失、または財産の損傷。

からの書面による許諾なしに実施された改造、あるいは製品および付随する部品の誤使用に起因する欠陥は本保証規定

。損害に対して本保証が提供する救済は購入者が得られる唯一かつ独占的な救済策です。

はもとよりその従業員も、装置もしくはソフトウェアの使用に起因する直接的、間接的、特

KEITHLEY INSTRUMENTS, INC.

がそのような可能性につ

Keithley Instruments, Inc. 28775 Aurora Road • Cleveland, Ohio 44139 • 440-248-0400 • Fax: [phone]

Sales Offices:

BELGIUM: Bergensesteenweg 709 • B-1600 Sint-Pieters-Leeuw • 02-363 00 40 • Fax: [phone]
CHINA: Yuan Chen Xin Building, Room 705 • 12 Yumin Road, Dewai, Madian • Beijing 100029 • 8610-8225-1886 • Fax: [phone]
FINLAND: Tietäjäntie 2 • 02130 Espoo • Phone: [phone] • Fax: [phone]
FRANCE: 3, allée des Garays • 91127 Palaiseau Cédex • 01-64 53 20 20 • Fax: [phone]
GERMANY: Landsberger Strasse 65 • 82110 Germering • 089/84 93 07-40 • Fax: [phone]
GREAT BRITAIN: Unit 2 Commerce Park, Brunel Road • Theale • Berkshire RG7 4AB • 0118 929 7500 • Fax: [phone]
INDIA: 1/5 Eagles Street • Langford Town • Bangalore 560 025 • 080 212 8027 • Fax: [phone]
ITALY: Viale San Gimignano, 38 • 20146 Milano • 02-48 39 16 01 • Fax: [phone]
JAP AN: New Pier T akeshiba North Tower 13F • 11-1, Kaigan 1-chome • Minato-ku, Tokyo 105-0022 • 81-3-5733-7555 • Fax: [phone]
KOREA: 2FL., URI Building • 2-14 Yangjae-Dong • Seocho-Gu, Seoul 137-888 • 82-2-574-7778 • Fax: [phone]
NETHERLANDS: Postbus 559 • 4200 AN Gorinchem • 0183-635333 • Fax: [phone]
SWEDEN: c/o Regus Business Centre • Frosundaviks Allé 15, 4tr • 169 70 Solna • 08-509 04 600 • Fax: [phone]
TAIWAN: 13F-3. No. 6, Lane 99 Pu-Ding Road • Hsinchu, Taiwan, R.O.C. • 886-3-572-9077• Fax: [phone]

1-888-KEITHLEY (534-8453) • www.keithley.com

© Copyright 2003 Keithley Instruments, Inc.
Printed in the U.S.A. 1/03

Model 6517A

エレクトロメータ/高抵抗メータ

基本操作説明書

©2000, Keithley Instruments, Inc.

All rights reserved.

Cleveland, Ohio, U.S.A.

Second Printing, June 2003

Document Number: 6517A-903-01 Rev. B

マニュアル印刷履歴

本マニュアルの全ての版と補遺の印刷履歴を以下に示します。マニュアルが更新されるたびに版数
を示すアルファベットが
重要な変更で、かつお客様に遅滞なくお知らせする必要のある情報は随時発行される補遺に記載さ
れています。補遺には連番が付けられます。新しい改訂版を発行するときは、その前の版数のマニュ
アルに付随する補遺の内容はすべて新しい版に組み込まれます。各改訂版ごとに、この印刷履歴ペー
ジも内容を更新して添付されます。

A,B,C…

の順に変化してゆきます。正式な改訂と次の改訂の間に発生した

版数

（資料番号

A

6517A-903-01） ................................................ 2003 年 8

月

ケースレー（
それ以外のブランド名は該当メーカーに帰属する商標または登録商標です。

Keithley

）社のすべての製品名は

Keithley Instruments, Inc.

の商標または登録商標です。

安全上の注意事項

本製品および付随する装置をご使用になられる前に、以下に説明する安全上の注意事項を確認してください。
装置やアクセサリの中には通常の使用条件では危険な高電圧を使用しないものもありますが、置かれる状況によっては危険な状
態が存在する場合があります。

本製品は感電の危険を良く認識し、事故防止に必要な安全上の注意事項を熟知した人による使用を前提としています。製品ご使
用の前に、設置・操作・保守に関して説明された内容をよく読み、それに従ってください。製品仕様の詳細についてはマニュア
ルをご覧ください。

製品を指定の方法でご使用頂けなかった場合は、装置が本来備える保護機能を傷める可能性があります。
本装置を使用されるのは次のような方々です：
責任者（責任団体）は装置の使用と保守に責任を負う個人またはグループであり、装置が本来の仕様と動作限界の範囲内で適正

に運用され、オペレーターが適切な教育を受けることに対して責任を負います。
オペレーターは目的の機能を実現するために製品を使用します。オペレーターは電気的な安全保持および装置の適正な運用につ

いて教育を受けていなければならず、電気ショックや通電回路に直接触れぬように保護されている必要があります。
保守要員は製品を正しく動作させるために必要な所定の作業を行います（例えば、電源電圧の設定、消耗部品の交換など）。具体

的な保守作業の内容についてはマニュアルをご覧ください。保守担当者が実施できる項目であるかどうかはそれぞれの作業説明
に明記してあります。該当しない項目についてはサービス担当者にお任せください。

サービス担当者は安全に装置を設置し、製品の修理を行います。このため、サービス担当者は活線作業実施のための教育を受け
ていなければなりません。設置やサービス作業を行えるのは適正な教育を受けたサービス担当者だけです。

ケースレー社の製品は国際電気標準会議（
けられた電気信号を対象として設計されています。
測定、コントロール、および
ることは許されません。設置カテゴリー
護が必要となります。マニュアルに特段の注記、説明がない場合は、すべての測定、コントロール、
源に接続するものと見なしてください。

感電の危険性が存在する場面では特別な注意が必要です。ケーブル接続ジャックや試験ジグには人命にかかわる高電圧が印加さ
れていることがあります。米国規格協会（
超える場合は常に感電が危険が存在すると規定されています。未知回路を測定しようとするときは、常に危険な高電圧が存在す

るものとして作業を行ってください。

オペレーターは作業中常に感電から保護されていなければなりません。責任者（団体）はオペレーターが危険個所に触れない
縁されているようにすべての接続ポイントを処置する必要があります。場合によっては、人が触れられるように接続個所をあえ
て露出させなければならないことがあります。オペレーターは、このような状況でも感電事故から自分を保護できるように教育
されていなければなりません。しかし、
露出させないでください。

スイッチングカードを電流制限機能のない電源回路に直接接続しないでください。これらのカードはインピーダンスで制限され
た電源への接続を想定したものです。スイッチングカードは絶対に
源を接続するときは、過大な電流や電圧がカードに印加されないようにする保護デバイスを装着してください。

信号の殆どは設置カテゴリーI に属すものであり、電源電圧や大きな過渡電圧源に直接接続す

I/O

）規格

IEC

の接続では、現場の

II

ANSI

1000V

IEC 60664

）においては、電圧レベルが

を超える電圧で動作する可能性のある回路については、決して回路の導電部位を

に従って設置カテゴリーI、または設置カテゴリー

電源接続に往々に見られる大きな過渡電圧の印加に対する保

AC

接続はカテゴリーI 信号

I/O

30V RMS、42.4V

電源に直結しないでください。スイッチングカードに電

AC

（ピーク値）、または

に位置付

II

60VDC

を

絶

/

装置を動作させる前に、電源コードが正しく接地されたコンセントに接続されていることを確認してください。
接続ケーブルや試験導線、ジャンパー等に磨耗や割れ目、断線などがないか検査してください。
電源コードへのアクセスが難しい場所（ラックなど）に装置を設置する場合は、主電源を遮断できる独立したデバイスを装置の

できるだけ近く、かつオペレーターが容易に操作できる位置に設けてください。

5/02

確実に安全を確保するため、被試験回路が通電されている間は製品、試験ケーブル、その他の装置には手を触れないようにして
ください。次のような作業を行う場合は必ず事前に全回路の電源を切り、コンデンサーを放電させてください：ケーブル
パーの接続や取り外し、スイッチングカードの装着

取り外し、ジャンパーの取付け/取り外しなどの内部設定変更。

/

ジャン

/

被試験回路のコモン側や電源
ないことを確認し、測定対象の電圧に十分耐える乾燥した非導電性の床の上に立って作業してください。

装置およびアクセサリはその仕様と指定された操作法に従って使用してください。
て頂くことができません。

装置およびアクセサリの最大信号レベルを絶対に超えないようにしてください。この値は装置仕様と操作法に定義されており、
さらに装置や試験ジグのパネル、スイッチングカードにも印刷されています。

製品が装着しているヒューズを交換するときは、引火事故を連続監視できるようにするため、必ず型式と定格が同じヒューズだ
けを使用してください。

筐体端子は測定回路のシールドの接続のみに用い、安全接地
試験ジグを使用する場合、被試験デバイスの通電中は必ず蓋を閉じてください。安全に作業するためにはインターロック付きの

蓋を使用してください。

または

装置上に

装置上に
を発生/測定できることを示します。使用者がこのような電圧に直接触れないようにするため、標準的な対策を施して安全を保持
してください。

マニュアルの中で「警告」という見出しに続く文は、使用する人に傷害（場合によっては致命的な）を引き起こす可能性のある
危険性について説明しています。該当する操作を実行する前に必ず関連する情報を注意深く読んでください。

が表記された個所はユーザ用資料に推奨されたケーブルを用いて保安接地してください

シンボルが表記された個所については、マニュアルに記載の操作説明を必ずご覧ください。

シンボルが表記された個所は、通常およびコモンモード電圧の両方を考慮すると

へ電流を流す経路となりえる物体には触らないでください。測定を行うときは手が濡れてい

GND

これが守られない場合は装置を安全に使用し

の接続には使用しないでください。

GND

1000 V

またはそれ以上の電圧

マニュアルの中で「注意」という見出しに続く文は装置の損傷に結びつく危険事項を説明しています。このような損傷は保証規
定を無効にすることがありますからご注意ください。

装置およびアクセサリを人体に接続しないでください。
保守作業を行うときは必ず事前に電源ケーブルとすべての試験ケーブルを取り外してください。
感電や火災事故を防止するため、メイン回路コンポーネント（電源トランス、試験導線、入力ジャックなど）の交換部品は必ず

ケースレーから純正品を購入してください。ヒューズについては、該当安全規格を満たし、かつ型式と定格が一致するものであ
れば標準品を使用できます。それ以外の部品で装置の安全には関係しないものについては、本来の部品に同等の他社製品を購入
して頂いてかまいません。

（ただし一部の指定された部品については、製品の確度と機能を保つために、直接ケースレーから購入して頂く必要があります。）

交換部品の適用性についてご不明の点があるときは、ケースレーの支社、代理店にお問い合わせください。
装置をクリーニングするときは湿らせた布、または水溶性のクリーナーを使用してください。クリーニングできるのは装置の外

周りだけです。装置自体（内部）は直接クリーナーで触らないでください、また、装置表面や内部に液体が入らないように注意
してください。ケースや筐体のない裸の回路基板（コンピュータに装着するデータ収集基板など）は、指示に従って適切に操作
されている限りにおいてクリーニングの必要はありません。基板が汚れ、それによって機能に影響が生じている場合は、基板を
メーカーに返送してクリーニング

サービスを依頼してください。

/

目次

1

前面パネル操作

製品の概要 ......................................................................................................................

ディスプレイ ..................................................................................................................

電源を入れる ..................................................................................................................

ウォームアップ ........................................................................................................

ベンチ（

測定機能の切換え ...........................................................................................................

測定手順 ..........................................................................................................................

電圧測定 ..........................................................................................................................

ガード .............................................................................................................................

電流測定 ..........................................................................................................................

抵抗測定 ........................................................................................................................

抵抗率測定 ....................................................................................................................

電荷測定 ........................................................................................................................

外部温度と相対湿度の測定 ...........................................................................................

BENCH

自動電圧源（
電流相対値（

自動放電 ................................................................................................................

接続 ........................................................................................................................

測定コントロール ..................................................................................................

温度単位 ................................................................................................................

ディスプレイへの指示値表示オプション ..............................................................

）デフォルト .......................................................................................

Auto V-Source
Amps Rel

） .............................................................................

） ......................................................................................

1-2
1-5
1-5
1-6
1-6
1-6
1-7
1-7
1-9

1-9
1-10
1-12
1-12
1-12
1-14
1-15
1-15
1-15
1-16
1-16

1-17

2

測定オプション

マルチ表示 ......................................................................................................................

メニュー ..........................................................................................................................

メニュー内でのナビゲーション ......................................................................................

電圧源 .............................................................................................................................

接続 ..........................................................................................................................

基本操作 ...................................................................................................................

電圧源の設定 ............................................................................................................

相対 .................................................................................................................................

の設定 ................................................................................................................

Rel

ゼロチェック ..................................................................................................................

ゼロ補正 ..........................................................................................................................

トリガをかける .............................................................................................................

アイドリング .........................................................................................................

コントロールソース ...............................................................................................

デバイス動作 .........................................................................................................

出力トリガ .............................................................................................................

カウンタ（高度トリガ） ........................................................................................

ベンチデフォルトトリガモデルのセットアップ ....................................................

速度 ...............................................................................................................................

速度の設定 .............................................................................................................

2-2

2-5

2-6

2-7

2-7

2-8

2-8

2-9

2-9

2-9

2-9
2-10
2-11

2-11
2-12
2-12
2-12
2-12
2-12
2-12

分解能 ...........................................................................................................................

分解能の設定 .........................................................................................................

フィルタ ........................................................................................................................

フィルタタイプ ......................................................................................................

フィルタモード ......................................................................................................

メディアンフィルタ ...............................................................................................

フィルタの設定 ......................................................................................................

バッファ（データ保存） ..............................................................................................

読み取り値の保存 ..................................................................................................

演算 ...............................................................................................................................

数学演算の選択と設定 ...........................................................................................

演算機能をオンにする ...........................................................................................

Math Enabled

追加演算機能 .........................................................................................................

テストシーケンス .........................................................................................................

試験シーケンスの選択と設定 ................................................................................

接続 ........................................................................................................................

試験の実行 .............................................................................................................

内部スキャニング .........................................................................................................

内部スキャナの設定 ...............................................................................................

スキャンの実行 ......................................................................................................

チャンネルのオープン

外部スキャニング .........................................................................................................

トリガ接続 .............................................................................................................

外部チャンネルの設定 ...........................................................................................

スキャンの実行 ......................................................................................................

........................................................................................................

クローズ ...........................................................................

/

2-13
2-13
2-13
2-13
2-14
2-14
2-14
2-15
2-15
2-15
2-16
2-17
2-17
2-17
2-17
2-18
2-18
2-19
2-19
2-20
2-20
2-21
2-21
2-21
2-22
2-22

3

リモート操作

概要 .................................................................................................................................

ソフトウェアサポート ....................................................................................................

TestPoint

デモ

LabView
IEEE-488
RS-232
IEEE-488
RS-232
IEEE-488
RS-232

共通コマンド ..................................................................................................................

コマンド ................................................................................................................

SCPI

コマンドの構文 .....................................................................................................

SCPI

ツリー構造 ...............................................................................................................

長形式と短形式コマンド ..........................................................................................

クエリー（問い合わせ）コマンド ...........................................................................

デフォルトノード ....................................................................................................

アプリケーションソフトウェア ..............................................................

スタートアッププログラム ..............................................................................

/

ドライバ ...................................................................................................

バス規格 ........................................................................................................

規格 ...................................................................................................................

バス接続 .........................................................................................................

接続 ...................................................................................................................

インターフェイス、アドレス、および言語の選択........................................

インターフェイスの選択と設定 ........................................................................

3-2
3-2
3-2

3-2
3-2
3-2
3-3

3-3
3-3
3-3
3-4
3-4
3-5
3-5
3-5
3-6
3-6

3-6

コマンド構文 ............................................................................................................

信号指向コマンド .................................................................................................

SCPI

:FETCh?

:MEASure[:<function>]?

サブシステムコマンド ..........................................................................................

SCPI

デフォルト ...............................................................................................................

新しい読取り値 ........................................................................................................

機能設定 ...................................................................................................................

電圧源 ......................................................................................................................

データ保存（バッファ） ..........................................................................................

チャンネルのオープン

トリガモデル .........................................................................................................

テストシーケンス ..................................................................................................

ステータスレジスタ ...............................................................................................

プログラム例 ................................................................................................................

測定機能とレンジの切換え ....................................................................................

ワンショットトリガ ...............................................................................................

連続トリガ

連続トリガ

バッファフルにより

読み込んだ値をバッファに保存する......................................................................

スキャナカードを使用するデータ取り込み ...........................................................

試験シーケンス −

..................................................................................................................

.........................................................................................

クローズとスキャン ..........................................................

/

........................................................................................................

#1

........................................................................................................

#2

を発生させる ...............................................................

SRQ

階段波スイープ .......................................................................

3-7
3-7
3-7
3-7
3-7
3-7
3-8
3-8
3-9

3-9
3-10
3-10
3-10
3-11
3-12
3-12
3-13
3-14
3-14
3-15
3-15
3-16
3-18

4

仕様

電圧 ..........................................................................................................................

電流 ..........................................................................................................................

電荷 ..........................................................................................................................

抵抗：標準法 ............................................................................................................

抵抗：極性切換え法 .................................................................................................

電圧源 ......................................................................................................................

温度（熱電対） ........................................................................................................

IEEE-488

一般項目 ...................................................................................................................

バスの実装 ...............................................................................................

サービスフォーム

4-2

4-2

4-3

4-3

4-3

4-4

4-4

4-4

4-5

1

前面パネル操作

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-1

製品の概要

このセクションをご覧になった後で何かご不明の点がありました場合は最寄りのケースレー代理店、または直接弊社
のアプリケーションエンジニア（
の表紙に世界中の弊社連絡先電話番号を記載してあります。

1-800-348-3735：

米国、カナダのみ）までお問い合わせください。本マニュアル

Model 6517A

・
・
・
・10Ω から
・ 表面抵抗率測定
・ 体積抵抗率測定
・
・ 相対湿度測定（0〜

Model 6517A

・ 組み込み電圧源 −

・ データの保存
・ ボタン
・ 組み込み演算機能
・ 平均とメディアンフィルタ
・ 組み込みテストシーケンス
・
・
・ 外部スキャナ（
・ オプションスロットに装着したスキャナカード（

Model 6517A

な項目が列挙されています。

は次のような測定機能を備えた

から

1µV
10aA
10fC

210V

から

から

-25℃ から 150℃

はこの他にも次のような追加機能を備えています：

を供給します。

個の操作でゼロ合わせ（

1

IEEE-488（GPIB

までの

21mA

2.1µC

210TΩ

電圧測定

DC

までの

までの電荷測定

までの抵抗測定

までの外部温度測定（製品添付の熱電対

100

100V

電流測定

DC

％）、オプションとして提供される

レンジは最高

REL

）バスまたは

RS-232

DDC（Device-Dependent Command

Model 706、7001、7002

用

の前面と背面パネルの図（図

1-1、1-2

桁エレクトロメータ/高抵抗測定システムです。

6.5

Model 6517-TP

Model 6517-RH

100V

）

）プログラム言語モードを使用する

まで

10mA

インターフェイスによるリモート操作

など）のスキャン（測定）チャンネルを使用

Model 6521、6522

）の説明には、実際に装置を操作する前に知っておくべき重要

を供給します。

）のスキャン（測定）チャンネルを使

を使用）

プローブを使用

1000V

Model 617

レンジは

1000V

エミュレーション

まで

1mA

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-2

図

Secondary Display Line

4

1-1

Model 6517A

Primary Display Line

EDIT ERR REM TALK LSTN SRQ REAR REL FILT MATH 4W AUTO ARM TRIG SMPL

1234567891012345678910

前面パネルの概要

19

PREV

DISPLAY

NEXT

POWER

6517A ELECTROMETER/HIGH RESISTANCE METER

VI RQ

RELZ-CHK

FILTER MATH

INFO LOCAL

STORE RECALL

OPTION VOLTAGE SOURCE

CARD OPER

TRIG SEQ

EXIT ENTERCONFIG MENU

RANGE

AUTO

RANGE

VOLTAGE

SOURCE

OPERATE

CAL

52 6 7 3 8

1 通知ランプ

ERR
REM
TALK
LSTN
SRQ
REL
FILT
MATH
AUTO
ARM

読み込み値にエラーの可能性あり
リモートモードで点灯
トーカとしてアドレスされると点灯
リスナとしてアドレスされると点灯
サービス要求発生
相対読取り値を表示
デジタルフィルタ
数学演算機能
自動レンジ機能

ON

ON

ON

トリガ受け入れ準備完了：アイドリング状態 *（アスタリスク）ではありません。 読み込
み値は保存されます。

2 ファンクションキー 電圧（V）、電流（I）、抵抗（R）または電荷（Q）測定機能のいずれかを選択します。
3 レンジキー

上向き矢印 上位レンジへの切換え、数字を増加
下向き矢印 下位レンジへの切換え、数字を減少

AUTO

自動レンジ機能の使用/非使用選択

4 ハンドル 引き出して、希望する位置まで回転させてください（図には示されていません）。
5 表示キーPREV/NEXT ある機能の表示項目間を移動します

6 操作キー

Z-CHK
REL
FILTER

ゼロチェック機能のオン/オフ切換え。機能の切換え前にゼロチェックをオンにします。
相対値読み取り機能のオン/オフ
現在選択されている機能に適用されるデジタルフィルタのステータスを表示し、フィルタ
のオン/オフを切換えます。

MATH
TRIG
SEQ

数学演算の設定を表示し、設定されている場合はそのオン/オフを切換えます。
ユニットにトリガをかけます。
選択したテストシーケンスを実行

左/右矢印 入力する数値の桁移動、メニューや表示情報間の移動

INFO
LOCAL
STORE
RECALL

現在表示されている項目のそれぞれに対応した情報を表示
リモート操作をキャンセル
データ保存機能をオンにします。
読み込んだデータを表示（読み込み値、個数、時刻）。

PREV/NEXT DISPLAY

を使用し

て最大、最小、平均、標準偏差を選択します。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-3

CONFIG

T

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

23 5 4 9810

1

MENU

EXIT
ENTER

ファンクションと操作の設定
装置動作条件の保存/呼び出し、通信セットアップ、校正と自己テストの実行、リミット値
の定義、デジタル出力、およびその他の操作の設定（表
選択した内容をキャンセルして

つ前のメニューに復帰

1

2-2

参照）

読み込み値のホールド、選択内容の確定、メニューの下位項目への移動

7 電圧源キー

OPER

電圧源の動作とスタンバイの切換え
電圧源の出力値調節には上/下向き矢印キーを使用します

8電圧源の動作 動作中はインジケータが点灯、スタンバイ中は消灯します
9 オプションカードキー 実装されたオプションのプログラムと操作に使用します。外部スキャナチャンネルをス

キャンさせるときにもこのキーを使用します。

図

1-2

Model 6517A

背面パネルの概要

PEAK

OUT

!

INTERLOCK

DIGITAL

I/O

HI

SELECTED

LINE VOLTAGE

90-110V

105-125V

TRIG LINK

180-220V
210-250V

115V

LINE RATING

50-60HZ
50VA MAX
AC ONLY

IEEE-488

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

LINE FUSE

SLOWBLOW

1/2A 90-125V

1/4A 180-250V

!

INPUT

250V PEAK

1

LO

PREAMP OUT

TEMP

TYPE K

250 PEAK

OPTION SLOT

COMMON 2V ANALOG

OUTPUT

HUMIDITY

750V

PEAK

EXT TRIGINMTR COMP

RS232

V SOURCE

1010V

17 671516 14 13 12

Input High
Input Low

Chassis Ground

Unguarded (Guard off)

Input High
Guard

Chassis Ground

Guarded (Guard on)

EXTERNAL TRIGGER INPUT

Trigger Reading

TTL HI

>10µsec

TTL LO

BNC CONNECTIONS

METER COMPLETE OUTPU

Reading Complete

>10µsec

HI

LO (Chassis)

MADE

IN

U.S.A.

TTL HI
TTL LO

1

入力コネクタ（図

1

ガードなし構成 電流、抵抗、電荷測定、およびガードを使用しない電圧測定の
カード付き構成 ガード付き電圧測定の

2 TEMP TYPE K
3 PREAMP OUT

（熱電対タイプ

（プリアンプ出力）

をオンにすると、
き入力が構成されます。これは、

参照）

1-2

ßK

PREAMP OUT

GUARD

を有効にします。

） 温度測定用として

INPUT

は内部で

COMMON

端子に印加される信号の大きさをそのまま出力します。

軸コネクタ

3

を基準とした信号です。さらに詳しくは『

Model 6517-TP

INPUT

のシェルと接続されて、電圧測定用のガード付

タイプの

GUARD

K-

を無効にします。

熱電対を接続します。

Model 6517A

ユーザマ

ニュアル』をご覧ください。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-4

GUARD

4

2V ANALOG OUTPUT（2V

グされた電圧が出力されます。標準的にはこの端子をチャートレコーダなどへの出力として使用します。さらに
詳しくは『

5 COMMON（共通電位）この接続端子は装置内部で
6 CHASSIS GROUND（筐体グラウンド） この接続端子は装置筐体と接地ラインを電源ケーブルを介して接続し

ています。グラウンドリンクを取り付けることにより、
フローティング測定を行うときは、
いることを確認してください。

7 HUMIDITY（湿度）

します。

8V-SOURCE HI/LO（電圧源
9 ライン電圧切換えスイッチ この

ります。電源電圧範囲
を設定してください。

10 電源リセプタクル 3 線電源コードを使用して接地端子付きコンセント（
11 LINE FUSE（電源ヒューズ） 電源電圧設定が

mm)

ます。

12 IEEE-488 コネクタ 装置を

ください。

13 TRIG LINK（トリガリンク） 外部装置との間でトリガパルスの送受信を行うための

タ。

14 DIGITAL I/O（デジタル
15 RS-232
16 INTERLOCK（インターロック） 適切なケーブルを使用して

抗測定治具との安全インターロック接続を行います。

17 オプションスロット

着します。

Model 6517A

Model 6517-RH

90〜125V

を使用します。電源電圧設定が

RS-232

インターフェイス用

Model 6521 や Model 6522

アナログ出力） この接続端子には

ユーザマニュアル』をご覧ください。

INPUT の Low 側と 0.6Ω

COMMON

と筐体グラウンド間のグラウンドリンク接続がオープンになって

115V、180〜250V

115V

のときは、

バスへ接続します。 シールド付の

コネクタ。標準

のときは、

1/4 A-250V

スキャナカードなどのオプションカードをこのスロットに装

HI/LO

） 電圧源を引き出すためのバナナジャック。

位置スライドスイッチの位置によって装置が使用できる電源電圧範囲が決ま

2

を使用する場合は

IEEE-488(GPIB)

）

I/O

TTL

COMMON

プローブ（オプション）を使用して相対湿度測定を行うときはここへ接続

230V

レベルのデジタル出力を

DB-9

COMMON

を筐体グラウンドへ落とすことができます。

を基準として 0〜

抵抗を介して接続されています。

の電源電圧範囲を使用する場合は

50/60 Hz

1/2 A-250V

のスローブローヒューズ(5×

のスローブローヒューズ(5×

IEEE-488

系統出力できる

4

RS-232

ケーブルを使用してください。

Model 8009

8

抵抗率測定治具や

2V

）へ接続します。

20 mm)

ケーブルを使用して

ピンマイクロ

8

ピンマイクロ

DIN

Model 8002A

にスケーリン

230V

20

を使用し

コネク

DIN

コネクタ。

高抵

ディスプレイ

図

1-1（Model 6517A

行、および通知ランプで各種の情報を表示します。

・ メイン表示行 − 一番上の表示行は読取り値と単位を表示します。測定タイプ、"ホールド"、数学演算のタイ

プ、チャンネル番号、メニューの名前とメッセージなどもこの行に表示されます。エラーとステータスメッ
セージ一覧が『ユーザマニュアル』のセクション

・2 番目の表示行 − 下の行にはレンジ、電圧源の値、メニュー項目、メッセージ、およびマルチディスプレイ

が表示されます（このマニュアルの「測定オプション」のセクションを参照）。テキスト文字列が長くて一
行に収まらない場合は、表示行の左右いずれかに矢印が表示されます。このような場合はカーソルキー（右
左矢印キー）を使用して残りの情報を表示させてください。

前面パネルの概要）が示すように、前面パネルディスプレイはメイン表示行と

に記載されています。

2

行目の表示

2

電源を入れる

警告 Model 6517A の電源スイッチを入れる前に、製品に添付される正規の電源コードまたは相当品

によって装置が接地端子付きのコンセントに確実に接続されていることを確認してください。
適正に接地されていない装置は、最悪の場合は人命にかかわる感電事故を引き起こす恐れがあ
ります。

電源の投入/遮断には前面パネルの

Model 6517A

合は、短時間だけエラーメッセージを表示してから通知ランプ 
と、ディスプレイにファームウェアのバージョン番号とバスインターフェイスに関する情報が表示されます。

装置の立ち上げ手順の完全な説明は『ユーザマニュアル』のセクション

は立ち上げ処理の間に搭載しているメモリの自己テストを行います。このテスト中に問題が発生した場

POWER

スイッチを使用します。

ERR"

を点灯します。装置が自己テストに合格する

に記載されています。

2

/

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-5

ウォームアップ

電源投入シーケンスが完了すれば、装置は直ちに使用可能な状態になります。しかし、確度の定格値を実現するため
には
いて内部温度を安定化させてください。

時間のウォームアップ時間を置いてください。装置が極端な温度変化に曝されていた場合は更に長い時間を置

1

ベンチ（

Model 6517A は 10

たときに自動的選択されるデフォルトセットアップとしては、これらユーザセットアップのいずれか
種類の工場セットアップのどちらか（ベンチ作業と
ます。

このマニュアルで説明する測定操作は
テップに従い

1. MENU
MAIN MENU
SAVESETUP COMMUNICATION CAL

左矢印キー

2. SAVESETUP

示にしてから

SETUP MENU
SAVE RESTORE POWERON RESET

3. RESET
RESET ORIGINAL DFLTS
BENCH GPIB

4. BENCH
RESETTING INSTRUMENT

実行するには

5. ENTER

ゼロチェックはオンになっています。

BENCH

種類のユーザセットアップを不揮発性メモリに保存しておくことができます。装置に電源を入れ

MAIN MENU の SAVESETUP

キーを押してメインメニューを表示させます。

TEST LIMITS STATUS-MSG GENERAL

オプションが点滅表示になっていない場合は、左矢印キーを必要回数押してこの項目を点滅表

ENTER

オプションを選択してから

オプションを選択して

ENTER

を押して選択を確定させてください。ディスプレイに電圧測定機能が表示され、自動レンジはオフ、

）デフォルト

GPIB

BENCH

を押してセットアップメニューを表示させます：

ENTER

、キャンセルするには

デフォルトが選択されていることを前提としていますから、以下のス

を実行して装置をリセットしてください。

右矢印キー

ENTER

を押すことにより、リセットメニューを表示させます：

を押します。次のメッセージが表示されます：

EXIT

操作用に最適化された

を押してください。

"BENCH"

、または

つ、または

1

"GPIB"

2

）選択し

その他の測定機能についての

・ トリガ − 連続測定
・ 測定速度（積分時間） − 標準（電源ラインのサイクルに同期）
・ デジタルフィルタ − オン（
・ メディアンフィルタ − オン（ランク 1）
・ 表示分解能 −

注注

注：メインメニュー内でのナビゲーションについては、このマニュアルのセクション「測定オプション」に含まれる

注注

「メニュー」を参照してください。

5.5

BENCH

桁

のデフォルト設定は次のとおりです：

回の測定値を平均化）

10

測定機能の切換え

誤動作防止のため、他の測定機能（V、I、R、または Q）のいずれかを選択するときは、その前にゼロチェック機能
をオンにしておいてください（
です。ゼロチェック機能についてさらに詳しくはセクション

"ZeroCheck"

と表示されます）。ゼロチェックをコントロールするのは

の「ゼロチェック」をご覧ください。

2

Z-CHK

キー

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-6

測定手順
電圧測定

"BENCH"

1.

2.

のリセット条件を仮定すれば、基本的な手順は次のようになります：

ゼロチェックがオンの状態で（
チェックのオン/オフ切換えには

必要に応じてガードをオンまたはオフにします。ガードの設定についてはこの手順の最後の部分をご覧くださ
い。

注注

注 ガードがオンのときは

注注

されます）になっている場合は

"ZeroCheck"

Z-CHK

"Grd"

メッセージが表示されます。ただし、すでにゼロ補正がオン（

が表示されます）、V を押して電圧機能を選択します。 ゼロ

キーを使用します。

"Grd"

が表示されません。

"ZCor"

が表示

低電圧測定で最高の確度を達成するには

3.
RANGE

ンになっているときは

注注

注 ゼロ補正がオンになっているときは

注注

測定レンジを自分で選択するか、または自動レンジを使用します。

4.
a.

b.

テスト用ケーブルを測定対象である電圧源に接続します。ガードを使用しない測定接続例を図

5.

ドを使用する接続例を図

警告 GUARD をオンにした場合は、3軸ケーブルの内側シールドに危険な電圧がかかることがありま

注意 入力には 250V（ピーク値、DC〜60Hz）を超える電圧を印加しないでください。装置損傷の原

6. Z-CHK

の下向き矢印キーを押して最も小さい測定レンジ（2V）を選択して

ランプが点灯します。

REL

（

最も感度の高いレンジの選択を自動的に行いたい場合は自動レンジ機能をオンにしてください。
を押すと自動レンジのオン/オフが切換わります。この機能がオンになると

レンジを手動設定するときは
レンジを選択してください。

が表示されます）になっている場合は

"Grd"

RANGE

にそれぞれ示します。

1-3B

す。30V を超える電圧を測定する場合は必ず安全シールドを安全接地グラウンドに接続して使
用してください（図 1-3B参照）。

因になります。

を押してゼロチェックをオフにしてからディスプレイの値を読み取ります。

Model 6517A

"ZCor"

の上向き/下向き矢印キーを使用して、予期される電圧に適した測定

メッセージが表示されます。ただし、ガードがすでにオン

をゼロ補正してください。これを実行するには、

を押します。ゼロ補正がオ

REL

"ZCor"

は表示されません。

AUTO

ランプが点灯します。

1-3A

AUTO

に、ガー

キー

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-7

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

A. Unguarded (GUARD off)

図

1-3

電圧測定

Measured

Voltage

Shield (Optional)

+

Vs

-

Red (HI)

Black (LO)

237-ALG-2

Cable

6517A

!

INPUT

250V PEAK

6517A

COMMON

IN OUT

TRIGGER

LINK

LINE RATING

90-134VAC

180-250VAC

50, 60, 400HZ

55VA MAX

IEEE-488

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

LINE FUSE

SLOWBLOW

1/2A, 250V

Measured

Voltage

Guard

Safety

Earth

Ground

+

Vs

-

Safety

Shield

Red (HI)
Black

Green
LO

237-ALG-2

Cable

!

INPUT

250V PEAK

COMMON

IN OUT

TRIGGER

LINK

LINE RATING

90-134VAC

180-250VAC

50, 60, 400HZ

55VA MAX

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

IEEE-488

LINE FUSE

SLOWBLOW

1/2A, 250V

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-8

ガード

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

高インピーダンス電圧測定（
ピーダンス回路では、ガードを施すことにより漏れ電流を大幅に減少させることができます。入力ケーブルが長い場
合は、ガードを施すことにより測定の応答時間を長くする原因となる、ケーブルの寄生容量をキャンセルすることが
できます。

GUARD

がオンになると、3 軸コネクタ
位が印加されるようになります。この構成では
図

ガードのオン

はガードを使用する場合と使用しない場合、両方の

1-3

オフを切換えるには次のステップを実行します：

/

まず

1.

2.左/

CONFIG

右矢印キーを使用してカーソル（点滅するメニュー項目）を

を押し、続いて

します。
希望する選択項目（ガードを使用する場合は

3.
ENTER

4. EXIT

を押します。

キーを押してメニューを終了します。

9

Ω）や長い入力ケーブルを使用する電圧測定でガードを使用してください。高イン

≥10

INPUT

を押すことにより電圧測定設定メニューを表示させます。

V

の接続が再構成されて、この

電位入力用として

LOW

INPUT

COMMON

コネクタの接続構成を示しています。

GUARD

、使用しないのであれば

ON

軸コネクタの内側シェルにガード電

3

バナナジャックが使用されます。

の上に移動させてから

）の上にカーソルを合わせて

OFF

ENTER

を押

電流測定

"BENCH"

1.

2.

3.

4.図 1-4

のリセット条件を仮定すれば、基本的な手順は次のようになります：

ゼロチェックがオンの状態（
クのオン/オフ切換えには

"ZeroCheck"

Z-CHK

キーを使用します。

低電流測定で最高の確度を達成するには

RANGE

オンになっているときは

の下向き矢印キーを押して最も小さい測定レンジ（

ランプが点灯してメッセージ

REL

が表示されます）で

Model 6517A

をゼロ補正してください。これを実行するには、

を押して電流機能を選択します。 ゼロチェッ

I

20pA

"ZCor"

）を選択して

が表示されます。

を押します。ゼロ補正が

REL

測定レンジを自分で選択するか、または自動レンジを使用します。

最も感度の高いレンジの選択を自動的に行いたい場合は、自動レンジ機能をオンにしてください。

a.

キーを押すと自動レンジ機能のオン/オフが切換わります。この機能がオンになると

AUTO

ランプが点灯し

ます。
レンジを手動設定するときは、

b.

RANGE

の上向き/下向き矢印キーを使用して、予期される電流に適した測

定レンジを選択してください。

を参照して装置を測定対象となる電流源に接続します。

AUTO

注意 入力には250V（ピーク値、DC〜60Hz、mAレンジの場合は 1分あたり10 秒を超えないこ

と）を超える電圧を印加しないでください。装置損傷の原因になります。

5. Z-CHK

注注

注 ゼロ補正をオフにするには、ゼロチェックをオンにしてから

注注

図

1-4

を押してゼロチェックをオフにしてからディスプレイの値を読み取ります。

を押してください。

REL

電流測定

6517A

237-ALG-2

Red (HI)

Measured

Current

Shield

(Recommended

below 1mA)

I

s

Black (LO)

Input low

connected

to shield

注意： 最大入力=250V（ピーク値、DC〜60Hz）
 ；mAレンジでは1分あたり10秒を超えぬこと。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

Cable

.

SLOWBLOW

COMMON

IN OUT

TRIGGER

LINK

LINE RATING

90-134VAC
180-250VAC
50, 60, 400HZ

55VA MAX

IEEE-488

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

LINE FUSE

1/2A, 250V

!

INPUT

250V PEAK

1-9

抵抗測定

注注

注 高抵抗を精密に測定するには低漏電を測定できる治具が必要となります。

注注

以下の手順を実行するには装置が
については「ベンチデフォルト」の項をご覧ください。

ゼロチェックがオン（

1.

す。
自動電圧源抵抗（

2.

にある電圧値（定格値
圧源」の項を参照してください。

注

"BENCH"

測定に適した電圧源レベルを選択しなければなりません。電圧源の使用法について詳しくはセクション
「電圧源」をご覧ください。

警告 自動電圧源抵抗を選択すると電圧源から 400V

測定レンジを自分で選択するか、または自動レンジを使用します。

3.

最も感度の高いレンジの選択を自動的に行いたい場合は、自動レンジ機能をオンにしてください。

a.

キーを押すと自動レンジ機能のオン/オフが切換わります。この機能がオンになると
ます。

レンジを手動設定するときは、

b.

測定レンジを選択してください。

4. Model 6517A

ンメータの

から

LO

注注

注 最高確度を達成するために、測定の電流成分に対して

注注

することができます。実際に漏れ電流をキャンセルする方法については「アンペア
照してください。

LO

LO

V-Source ohms

のリセット条件では自動的に手動電圧源抵抗が選択されます。このモードではユーザが手動で

を試験治具へ接続します。最も基本となる接続方法を図

を、装置内部で電圧源の

へ接続する方法については、セクション

"BENCH"

"ZeroCheck"

または

40V

のリセット条件になっている必要があります。装置をリセットする方法

が表示されます）の状態で

）を選択します。このモードでは測定確度の最適化のために電圧源が自動的

）に設定されます。自動電圧源抵抗の選択について詳しくは「自動電

400V

RANGE

の上向き/下向き矢印キーを使用して、予期される抵抗値に適した

へ接続しなければならないことに注意してください。装置内部で

LO

2

を押すことにより抵抗測定機能を選択しま

R

が出力されることがあります。



AUTO

に示します。この接続方法ではア

1-5A

「電圧源の設定」をご覧ください。

を適用して試験治具の漏れ電流をキャンセル

REL

REL

2

AUTO

ランプが点灯し

」の項の説明を参

5. Z-CHK

ディスプレイから指示値を読み取ります。

6.

読み取りが終了したならば、もう一度

7.

警告 試験治具またはDUTとの接続/切り離しを行うときは、必ずその前に電圧源をスタンバイモー

を押してゼロチェックをオフにしてから

OPER

ドへ戻してください。

を押して電圧源をスタンバイ状態へ戻します。

OPER

を押して、試験治具

へ電圧を出力します。

DUT

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-10

図

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

基本接続

1-5

抵抗測定

A.

Measured

Resistance

Shield



6517A

R

X

237-ALG-2

Red

Black

LO connected
to shield

Cable

INPUT

250V PEAK

PREAMP OUT

250V PEAK

HI

!

COMMON

LO

V SOURCE

IN OUT

TRIGGER

LINK

LINE RATING

90-134VAC
180-250VAC

50, 60, 400HZ

55VA MAX

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

IEEE-488

LINE FUSE

SLOWBLOW

1/2A, 250V

注： 電圧源のLOは内部で電流計の
 LOと接続されています。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-11

自動電圧源（

抵抗測定で最高の確度を実現するためには自動電圧源を使用してください。自動電圧源を選択すると、電圧源が自動
的に
ら

200TΩ

することができます。
抵抗測定時の電圧源モードを設定するには以下のステップを実行してください：

1.

2.

3.

4. EXIT

または

40V

までのレンジでは

まず

CONFIG

左/右矢印キーを使用して、カーソル（点滅するメニュー項目）を
を押します。

カーソルを
を押します。

キーを押してメニューを終了します。

Auto V-Source

400V

に設定されます。2MΩ から

400V

を押し、続いて

AUTO

（自動電圧源抵抗）または

）

200GΩ

が使用されます。手動電圧源を選択した場合には 、電圧源レベルを手動でセット

を押すことにより抵抗測定設定メニューを表示させます。

R

MANUAL

までのレンジでは電圧源が

VSOURCE

（手動電圧源抵抗）の上に移動させてから、

の上に移動させてから、

にセットされ、2TΩ か

40V

ENTER

ENTER

電流相対値（

抵抗測定用試験治具の漏れ電流をキャンセルしたい場合は
実行してください。

注 この手順を実行するためには、抵抗測定手順のステップ

ません。

電圧源がスタンバイ状態にあることを確認し、試験治具から

1.

アンペア（I）機能を選択してゼロチェックをオフにします。

2.

い。

3. OPER
ATE

試験治具の漏れ電流を表示させるために、最も低い測定レンジを選択します。

4.

5. REL

れて指示値がゼロになります。

6. OPER

抵抗測定で使用する電流

7.

まず

a.
b.左/

ENTER

抵抗測定にこのアンペア

c.

ENTER

d. EXIT

試験治具に

8.

抵抗測定機能（R）を選択し、抵抗測定の手順で説明したステップ

9.

Amps Rel

を押して電圧源を動作状態にします。電圧源が動作状態にあるときは

ランプが点灯します。

を押して相対測定をオンにします（

を押して電圧源をスタンバイ状態にしてから、ゼロチェックをオンにします。

CONFIG

右矢印キーを使用して、カーソル（点滅するメニュー項目）を

キーを押してメニューを終了します。

を押し、続いて

を押します。

を押します。

を再び取り付けます。

DUT

）

Amps Rel

ランプ点灯）。これによって漏れ電流読取り値がキャンセルさ

REL

値を決定するには以下のステップを実行してください。

Rel

を押すことにより抵抗測定設定メニューを表示させます。

R

値を使用することを確定させるために、カーソルを

Rel

を使用します。そのためには以下のステップを

から

1

DUT

REL

までがすでに実行されていなければなり

4

を取り外します。

がオフになっていることを確認してくださ

VOLTAGE SOURCE OPER-

AMPSREL

へと進みます。

5

の上に移動させてから、

の上に合わせて

YES

抵抗率測定

注 以下に説明する（表面/体積）抵抗率測定を実行するには、抵抗測定用治具である

必要になります。
この治具の使用法の詳細については『

以下の手順を実行するには装置が
ついては「ベンチデフォルト」の項をご覧ください。

ゼロチェックがオン（

1.

す。
自動電圧源抵抗（

2.

的にある電圧値（定格値
抗測定」のセクションの「自動電圧源」の項を参照してください。

注

"BENCH"

測定に適した電圧源レベルを選択しなければなりません。電圧源の使用法について詳しくは「電圧源」の
項をご覧ください。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

V-Source ohms

のリセット条件では自動的に手動電圧源抵抗が選択されます。このモードではユーザが手動で

"BENCH"

"ZeroCheck"

）を選択します。このモードでは測定確度の最適化のために、電圧源が自動

または

40V

Model 8009

のリセット条件になっていなければなりません。装置のリセット方法に

が表示されます）の状態で、R を押すことにより抵抗測定機能を選択しま

）に設定されます。自動電圧源抵抗を選択する方法については「抵

400V

使用マニュアル』を参照してください。

1-12

Keithley Model 8009

が

警告 自動電圧源抵抗を選択すると電圧源から400V が出力されることがあります。

測定レンジを自分で選択するか、または自動レンジを使用します。

3.

最も感度の高いレンジの選択を自動的に行いたい場合は、自動レンジ機能をオンにしてください。

A.

キーを押すと自動レンジ機能のオン/オフが切換わります。この機能がオンになると
ます。

レンジを手動設定するときは、

B.

測定レンジを選択してください。

4. Model 6517A を Model 8009

プ（表面、または体積）へ切換えます。
次の手順に従って抵抗率測定モードを選択します：

5.

まず

A.
B.上/

CONFIG

下矢印キーを使用して、カーソル（点滅するメニュー項目）を

ENTER

カーソルを

C.

を押し、続いて

を押します。

RESISTIVITY

RANGE

試験治具へ接続し（図

を押すことにより抵抗測定設定メニューを表示させます。

R

の上に合わせて

の上向き/下向き矢印キーを使用して、予期される抵抗値に適した

参照）、試験治具上のスイッチを希望する測定タイ

1-6

MEAS-TYPE

ENTER

を押します。

AUTO

の上に移動させてから、

AUTO

ランプが点灯し

注

Model 6517A

体積）に倒されているかを検出し、選択内容に合わせて装置の測定タイプを自動的に設定します。

選択された測定タイプの上にカーソルが移動します（メニュー項目

D.

示になります）。

・

SURFACE -

せんから、

・

VOLUME -

を指定する必要があります。

カーソルが

a.

カーソルを

b.

メータの値が表示されます。
カーソルキー（左/右矢印キー）と

c.

してから

d. EXIT

6. Z-CHK

7. OPER

電時間として標準的には

読み取りが終了したならば、もう一度

8.

警告 試験治具またはDUTとの接続/切り離しを行うときは、必ずその前に電圧源をスタンバイモー

ENTER

キーを押してメニューを終了します。

を押してゼロチェック機能をオフにします。

を押して電圧を

はインターロックケーブルを介して、

測定タイプとして表面抵抗率を選択した場合は、これ以上のメニュー操作の必要がありま

キーを押してメニューを終了します。

EXIT

測定タイプとして体積抵抗率を選択した場合は、さらに以下の操作を行ってサンプルの厚さ

VOLUME
THICKNESS

ドに戻してください。

の上にある状態で

の上に合わせて

を押します。

に印加し、適切な帯電時間経過後にディスプレイから指示値を読み取ります。帯

DUT

秒が使用されます。

60

ENTER

ENTER

RANGE 上/

OPER

を押して電圧源をスタンバイ状態へ戻します。

下矢印キーを使用して、サンプルの厚み（ミリ単位）を指定

Model 8009

を押し、体積パラメータメニューを表示させます。

を押します。サンプル用に現在設定されている厚さパラ

上のスイッチがどちら側（表面、または

SURFACE

または

VOLUME

が点滅表

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-13

図

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

Model 8009

1-6

抵抗率測定

METER SOURCE

TRIAX

MAX INPUT

250 MAX

1100V

HI-LO

8607 Banana Plug Cable

7078-TRX-3 Triax Cable

PREAMP OUT

!

INPUT

250V PEAK

!

LID
INTERLOCK

警告：治具のを安全接地ワイヤ
を使用して安全グラウンドへ接
地してください。

6517-ILC-3 Interlock Cable

8607 Banana Plug Cable

LO HI

COMMON

250V PEAK

!

V SOURCE

INTERLOCK



OUT

LINE RATING

90-134VAC

180-250VAC

50, 60, 400HZ

55VA MAX

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

IEEE-488

LINE FUSE

SLOWBLOW

1/2A, 250V

電荷測定

"BENCH"

1.

2.

3.

4.図 1-7

注意 250V（ピーク値、DC〜60Hz）を超える電圧を印加しないでください。装置損傷の原因になり

Model 6517A

のリセット条件を仮定すれば、基本的な手順は次のようになります：

ゼロチェックがオン（

"ZeroCheck"

が表示されます）の状態で、Q を押すことによりクーロン測定機能を選択

します。
測定レンジを自分で選択するか、または自動レンジを使用します。

最も感度の高いレンジの選択を自動的に行いたい場合は、自動レンジ機能をオンにしてください。

a.

キーを押すと自動レンジ機能のオン/オフが切換わります。この機能がオンになると

AUTO

ランプが点灯し

ます。
レンジを手動設定するときは、

b.

RANGE

の上向き/下向き矢印キーを使用して、予期される電荷の値に適し

た測定レンジを選択してください。

試験ケーブル（図

1-7）を Model 6517A

にします。必要に応じて

を押すことによりディスプレイ指示値をゼロにしてください。

REL

の入力へ接続し、入力がまだオープンの状態でゼロチェックをオフ

を参照して装置を測定対象となる電荷へ接続します。

ます。

AUTO

ディスプレイから指示値を読み取ります。

5.

注 ゼロチェックをオンにすることよって指示値をゼロにリセットすることも可能です。電荷の値が特定のレ

ベルに達したときに指示値をゼロにリセットしたいのであれば、次の節の説明に従って自動放電（

Discharge

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

）をオンにしてください。

1-14

Auto