Tektronix 6517A User manual

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Model 6517A エレクトロメータ

基本操作説明書

高抵抗メータ

A G R E A T E R M E A S U R E O F C O N F I D E N C E

保証規定

Keithley Instruments, Inc.

は、本製品が出荷後

年間の期間に渡って材質もしくは製造上の瑕疵による欠陥を生じないことを

保証します。

Keithley Instruments, Inc.

は以下の項目が出荷後

日の期間に渡って欠陥を生じないことを保証します：プローブ、ケーブル、

充電式電池、ディスケット、及びドキュメント。万一保証期間内に製品に問題が発生しました場合には、欠陥と判定された製品の修理もしくは交換をさせて頂きます（どちらを

実施するかは弊社の裁量とさせて頂きます）。本保証規定の実施を請求されます場合は、最寄の弊社代理店、もしくは本社（

Keithley

本社、

Cleveland、Ohio

）へ書面もしくは電話でご連絡ください。遅滞なく事態の処理、および製品の返送に関する連絡を差し上げます。該当製品は、送料前払いにて、指定されたサービス施設へお送りください。修理の完了した製品は輸送量当社負担にてお客様へ返送されます。

交換された製品に適用される保証期間は当初の保証が有効である残余期間、もしくは少なくとも

修理

日です。

保証の制限

Keithley

の対象外となります。また、ヒューズ、ソフトウェア、使い捨て電池、電池の液漏れに起因する損傷、および通常予期される磨耗、取扱説明書の指示に従われなかったことに起因する故障も保証の対象となりません。

本保証規定は、本製品を特定の目的に使用した場合の適性や商品価値を示唆したものを含め、書面によると含意によるとを問わず、他のあらゆる保証に優先します

KEITHLEY INSTRUMENTS, INC.

異的、あるいは偶発的、従属的に発生し得る損害に対して、例えいて事前の連絡を受けていたとしても、その責を負いません。保証の対象外となる損害には以下の項目が含まれ、またそれだけに限定されません：撤去および設置に係わる費用、要員の怪我に付随して継続的に発生する損失、または財産の損傷。

からの書面による許諾なしに実施された改造、あるいは製品および付随する部品の誤使用に起因する欠陥は本保証規定

。損害に対して本保証が提供する救済は購入者が得られる唯一かつ独占的な救済策です。

はもとよりその従業員も、装置もしくはソフトウェアの使用に起因する直接的、間接的、特

KEITHLEY INSTRUMENTS, INC.

がそのような可能性につ

Keithley Instruments, Inc. 28775 Aurora Road • Cleveland, Ohio 44139 • 440-248-0400 • Fax: 440-248-6168

Sales Offices:

BELGIUM: Bergensesteenweg 709 • B-1600 Sint-Pieters-Leeuw • 02-363 00 40 • Fax: 02/363 00 64 CHINA: Yuan Chen Xin Building, Room 705 • 12 Yumin Road, Dewai, Madian • Beijing 100029 • 8610-8225-1886 • Fax: 8610-8225-1892 FINLAND: Tietäjäntie 2 • 02130 Espoo • Phone: 09-54 75 08 10 • Fax: 09-25 10 51 00 FRANCE: 3, allée des Garays • 91127 Palaiseau Cédex • 01-64 53 20 20 • Fax: 01-60 11 77 26 GERMANY: Landsberger Strasse 65 • 82110 Germering • 089/84 93 07-40 • Fax: 089/84 93 07-34 GREAT BRITAIN: Unit 2 Commerce Park, Brunel Road • Theale • Berkshire RG7 4AB • 0118 929 7500 • Fax: 0118 929 7519 INDIA: 1/5 Eagles Street • Langford Town • Bangalore 560 025 • 080 212 8027 • Fax: 080 212 8005 ITALY: Viale San Gimignano, 38 • 20146 Milano • 02-48 39 16 01 • Fax: 02-48 30 22 74 JAP AN: New Pier T akeshiba North Tower 13F • 11-1, Kaigan 1-chome • Minato-ku, Tokyo 105-0022 • 81-3-5733-7555 • Fax: 81-3-5733-7556 KOREA: 2FL., URI Building • 2-14 Yangjae-Dong • Seocho-Gu, Seoul 137-888 • 82-2-574-7778 • Fax: 82-2-574-7838 NETHERLANDS: Postbus 559 • 4200 AN Gorinchem • 0183-635333 • Fax: 0183-630821 SWEDEN: c/o Regus Business Centre • Frosundaviks Allé 15, 4tr • 169 70 Solna • 08-509 04 600 • Fax: 08-655 26 10 TAIWAN: 13F-3. No. 6, Lane 99 Pu-Ding Road • Hsinchu, Taiwan, R.O.C. • 886-3-572-9077• Fax: 886-3-572-9031

1-888-KEITHLEY (534-8453) • www.keithley.com

Model 6517A

エレクトロメータ/高抵抗メータ

基本操作説明書

Cleveland, Ohio, U.S.A.

Second Printing, June 2003

Document Number: 6517A-903-01 Rev. B

マニュアル印刷履歴

本マニュアルの全ての版と補遺の印刷履歴を以下に示します。マニュアルが更新されるたびに版数を示すアルファベットが重要な変更で、かつお客様に遅滞なくお知らせする必要のある情報は随時発行される補遺に記載されています。補遺には連番が付けられます。新しい改訂版を発行するときは、その前の版数のマニュアルに付随する補遺の内容はすべて新しい版に組み込まれます。各改訂版ごとに、この印刷履歴ページも内容を更新して添付されます。

A,B,C…

の順に変化してゆきます。正式な改訂と次の改訂の間に発生した

版数

（資料番号

6517A-903-01） ................................................ 2003 年 8

月

ケースレー（それ以外のブランド名は該当メーカーに帰属する商標または登録商標です。

Keithley

）社のすべての製品名は

Keithley Instruments, Inc.

の商標または登録商標です。

安全上の注意事項

本製品および付随する装置をご使用になられる前に、以下に説明する安全上の注意事項を確認してください。装置やアクセサリの中には通常の使用条件では危険な高電圧を使用しないものもありますが、置かれる状況によっては危険な状態が存在する場合があります。

本製品は感電の危険を良く認識し、事故防止に必要な安全上の注意事項を熟知した人による使用を前提としています。製品ご使用の前に、設置・操作・保守に関して説明された内容をよく読み、それに従ってください。製品仕様の詳細についてはマニュアルをご覧ください。

製品を指定の方法でご使用頂けなかった場合は、装置が本来備える保護機能を傷める可能性があります。本装置を使用されるのは次のような方々です：責任者（責任団体）は装置の使用と保守に責任を負う個人またはグループであり、装置が本来の仕様と動作限界の範囲内で適正

に運用され、オペレーターが適切な教育を受けることに対して責任を負います。オペレーターは目的の機能を実現するために製品を使用します。オペレーターは電気的な安全保持および装置の適正な運用につ

いて教育を受けていなければならず、電気ショックや通電回路に直接触れぬように保護されている必要があります。保守要員は製品を正しく動作させるために必要な所定の作業を行います（例えば、電源電圧の設定、消耗部品の交換など）。具体

的な保守作業の内容についてはマニュアルをご覧ください。保守担当者が実施できる項目であるかどうかはそれぞれの作業説明に明記してあります。該当しない項目についてはサービス担当者にお任せください。

サービス担当者は安全に装置を設置し、製品の修理を行います。このため、サービス担当者は活線作業実施のための教育を受けていなければなりません。設置やサービス作業を行えるのは適正な教育を受けたサービス担当者だけです。

ケースレー社の製品は国際電気標準会議（けられた電気信号を対象として設計されています。測定、コントロール、およびることは許されません。設置カテゴリー護が必要となります。マニュアルに特段の注記、説明がない場合は、すべての測定、コントロール、源に接続するものと見なしてください。

感電の危険性が存在する場面では特別な注意が必要です。ケーブル接続ジャックや試験ジグには人命にかかわる高電圧が印加されていることがあります。米国規格協会（超える場合は常に感電が危険が存在すると規定されています。未知回路を測定しようとするときは、常に危険な高電圧が存在す

るものとして作業を行ってください。

オペレーターは作業中常に感電から保護されていなければなりません。責任者（団体）はオペレーターが危険個所に触れない縁されているようにすべての接続ポイントを処置する必要があります。場合によっては、人が触れられるように接続個所をあえて露出させなければならないことがあります。オペレーターは、このような状況でも感電事故から自分を保護できるように教育されていなければなりません。しかし、露出させないでください。

スイッチングカードを電流制限機能のない電源回路に直接接続しないでください。これらのカードはインピーダンスで制限された電源への接続を想定したものです。スイッチングカードは絶対に源を接続するときは、過大な電流や電圧がカードに印加されないようにする保護デバイスを装着してください。

信号の殆どは設置カテゴリーI に属すものであり、電源電圧や大きな過渡電圧源に直接接続す

I/O

）規格

IEC

の接続では、現場の

ANSI

1000V

IEC 60664

）においては、電圧レベルが

を超える電圧で動作する可能性のある回路については、決して回路の導電部位を

に従って設置カテゴリーI、または設置カテゴリー

電源接続に往々に見られる大きな過渡電圧の印加に対する保

接続はカテゴリーI 信号

I/O

30V RMS、42.4V

電源に直結しないでください。スイッチングカードに電

（ピーク値）、または

に位置付

60VDC

を

絶

装置を動作させる前に、電源コードが正しく接地されたコンセントに接続されていることを確認してください。接続ケーブルや試験導線、ジャンパー等に磨耗や割れ目、断線などがないか検査してください。電源コードへのアクセスが難しい場所（ラックなど）に装置を設置する場合は、主電源を遮断できる独立したデバイスを装置の

できるだけ近く、かつオペレーターが容易に操作できる位置に設けてください。

5/02

確実に安全を確保するため、被試験回路が通電されている間は製品、試験ケーブル、その他の装置には手を触れないようにしてください。次のような作業を行う場合は必ず事前に全回路の電源を切り、コンデンサーを放電させてください：ケーブルパーの接続や取り外し、スイッチングカードの装着

取り外し、ジャンパーの取付け/取り外しなどの内部設定変更。

ジャン

被試験回路のコモン側や電源ないことを確認し、測定対象の電圧に十分耐える乾燥した非導電性の床の上に立って作業してください。

装置およびアクセサリはその仕様と指定された操作法に従って使用してください。て頂くことができません。

装置およびアクセサリの最大信号レベルを絶対に超えないようにしてください。この値は装置仕様と操作法に定義されており、さらに装置や試験ジグのパネル、スイッチングカードにも印刷されています。

製品が装着しているヒューズを交換するときは、引火事故を連続監視できるようにするため、必ず型式と定格が同じヒューズだけを使用してください。

筐体端子は測定回路のシールドの接続のみに用い、安全接地試験ジグを使用する場合、被試験デバイスの通電中は必ず蓋を閉じてください。安全に作業するためにはインターロック付きの

蓋を使用してください。

または

装置上に

装置上にを発生/測定できることを示します。使用者がこのような電圧に直接触れないようにするため、標準的な対策を施して安全を保持してください。

マニュアルの中で「警告」という見出しに続く文は、使用する人に傷害（場合によっては致命的な）を引き起こす可能性のある危険性について説明しています。該当する操作を実行する前に必ず関連する情報を注意深く読んでください。

が表記された個所はユーザ用資料に推奨されたケーブルを用いて保安接地してください

シンボルが表記された個所については、マニュアルに記載の操作説明を必ずご覧ください。

シンボルが表記された個所は、通常およびコモンモード電圧の両方を考慮すると

へ電流を流す経路となりえる物体には触らないでください。測定を行うときは手が濡れてい

GND

これが守られない場合は装置を安全に使用し

の接続には使用しないでください。

GND

1000 V

またはそれ以上の電圧

マニュアルの中で「注意」という見出しに続く文は装置の損傷に結びつく危険事項を説明しています。このような損傷は保証規定を無効にすることがありますからご注意ください。

装置およびアクセサリを人体に接続しないでください。保守作業を行うときは必ず事前に電源ケーブルとすべての試験ケーブルを取り外してください。感電や火災事故を防止するため、メイン回路コンポーネント（電源トランス、試験導線、入力ジャックなど）の交換部品は必ず

ケースレーから純正品を購入してください。ヒューズについては、該当安全規格を満たし、かつ型式と定格が一致するものであれば標準品を使用できます。それ以外の部品で装置の安全には関係しないものについては、本来の部品に同等の他社製品を購入して頂いてかまいません。

（ただし一部の指定された部品については、製品の確度と機能を保つために、直接ケースレーから購入して頂く必要があります。）

交換部品の適用性についてご不明の点があるときは、ケースレーの支社、代理店にお問い合わせください。装置をクリーニングするときは湿らせた布、または水溶性のクリーナーを使用してください。クリーニングできるのは装置の外

周りだけです。装置自体（内部）は直接クリーナーで触らないでください、また、装置表面や内部に液体が入らないように注意してください。ケースや筐体のない裸の回路基板（コンピュータに装着するデータ収集基板など）は、指示に従って適切に操作されている限りにおいてクリーニングの必要はありません。基板が汚れ、それによって機能に影響が生じている場合は、基板をメーカーに返送してクリーニング

サービスを依頼してください。

前面パネル操作

製品の概要 ......................................................................................................................

ディスプレイ ..................................................................................................................

電源を入れる ..................................................................................................................

ウォームアップ ........................................................................................................

ベンチ（

測定機能の切換え ...........................................................................................................

測定手順 ..........................................................................................................................

電圧測定 ..........................................................................................................................

ガード .............................................................................................................................

電流測定 ..........................................................................................................................

抵抗測定 ........................................................................................................................

抵抗率測定 ....................................................................................................................

電荷測定 ........................................................................................................................

外部温度と相対湿度の測定 ...........................................................................................

BENCH

自動電圧源（電流相対値（

自動放電 ................................................................................................................

接続 ........................................................................................................................

測定コントロール ..................................................................................................

温度単位 ................................................................................................................

ディスプレイへの指示値表示オプション ..............................................................

）デフォルト .......................................................................................

Auto V-Source Amps Rel

） .............................................................................

） ......................................................................................

1-2 1-5 1-5 1-6 1-6 1-6 1-7 1-7 1-9

1-9 1-10 1-12 1-12 1-12 1-14 1-15 1-15 1-15 1-16 1-16

1-17

測定オプション

マルチ表示 ......................................................................................................................

メニュー ..........................................................................................................................

メニュー内でのナビゲーション ......................................................................................

電圧源 .............................................................................................................................

接続 ..........................................................................................................................

基本操作 ...................................................................................................................

電圧源の設定 ............................................................................................................

相対 .................................................................................................................................

の設定 ................................................................................................................

Rel

ゼロチェック ..................................................................................................................

ゼロ補正 ..........................................................................................................................

トリガをかける .............................................................................................................

アイドリング .........................................................................................................

コントロールソース ...............................................................................................

デバイス動作 .........................................................................................................

出力トリガ .............................................................................................................

カウンタ（高度トリガ） ........................................................................................

ベンチデフォルトトリガモデルのセットアップ ....................................................

速度 ...............................................................................................................................

速度の設定 .............................................................................................................

2-2

2-5

2-6

2-7

2-8

2-9

2-9 2-10 2-11

2-11 2-12 2-12 2-12 2-12 2-12 2-12

分解能 ...........................................................................................................................

分解能の設定 .........................................................................................................

フィルタ ........................................................................................................................

フィルタタイプ ......................................................................................................

フィルタモード ......................................................................................................

メディアンフィルタ ...............................................................................................

フィルタの設定 ......................................................................................................

バッファ（データ保存） ..............................................................................................

読み取り値の保存 ..................................................................................................

演算 ...............................................................................................................................

数学演算の選択と設定 ...........................................................................................

演算機能をオンにする ...........................................................................................

Math Enabled

追加演算機能 .........................................................................................................

テストシーケンス .........................................................................................................

試験シーケンスの選択と設定 ................................................................................

接続 ........................................................................................................................

試験の実行 .............................................................................................................

内部スキャニング .........................................................................................................

内部スキャナの設定 ...............................................................................................

スキャンの実行 ......................................................................................................

チャンネルのオープン

外部スキャニング .........................................................................................................

トリガ接続 .............................................................................................................

外部チャンネルの設定 ...........................................................................................

スキャンの実行 ......................................................................................................

........................................................................................................

クローズ ...........................................................................

2-13 2-13 2-13 2-13 2-14 2-14 2-14 2-15 2-15 2-15 2-16 2-17 2-17 2-17 2-17 2-18 2-18 2-19 2-19 2-20 2-20 2-21 2-21 2-21 2-22 2-22

リモート操作

概要 .................................................................................................................................

ソフトウェアサポート ....................................................................................................

TestPoint

デモ

LabView IEEE-488 RS-232 IEEE-488 RS-232 IEEE-488 RS-232

共通コマンド ..................................................................................................................

コマンド ................................................................................................................

SCPI

コマンドの構文 .....................................................................................................

SCPI

ツリー構造 ...............................................................................................................

長形式と短形式コマンド ..........................................................................................

クエリー（問い合わせ）コマンド ...........................................................................

デフォルトノード ....................................................................................................

アプリケーションソフトウェア ..............................................................

スタートアッププログラム ..............................................................................

ドライバ ...................................................................................................

バス規格 ........................................................................................................

規格 ...................................................................................................................

バス接続 .........................................................................................................

接続 ...................................................................................................................

インターフェイス、アドレス、および言語の選択........................................

インターフェイスの選択と設定 ........................................................................

3-2 3-2 3-2

3-2 3-2 3-2 3-3

3-3 3-3 3-3 3-4 3-4 3-5 3-5 3-5 3-6 3-6

3-6

コマンド構文 ............................................................................................................

信号指向コマンド .................................................................................................

SCPI

:FETCh?

:MEASure[:<function>]?

サブシステムコマンド ..........................................................................................

SCPI

デフォルト ...............................................................................................................

新しい読取り値 ........................................................................................................

機能設定 ...................................................................................................................

電圧源 ......................................................................................................................

データ保存（バッファ） ..........................................................................................

チャンネルのオープン

トリガモデル .........................................................................................................

テストシーケンス ..................................................................................................

ステータスレジスタ ...............................................................................................

プログラム例 ................................................................................................................

測定機能とレンジの切換え ....................................................................................

ワンショットトリガ ...............................................................................................

連続トリガ

バッファフルにより

読み込んだ値をバッファに保存する......................................................................

スキャナカードを使用するデータ取り込み ...........................................................

試験シーケンス −

..................................................................................................................

.........................................................................................

クローズとスキャン ..........................................................

........................................................................................................

を発生させる ...............................................................

SRQ

階段波スイープ .......................................................................

3-7 3-7 3-7 3-7 3-7 3-7 3-8 3-8 3-9

3-9 3-10 3-10 3-10 3-11 3-12 3-12 3-13 3-14 3-14 3-15 3-15 3-16 3-18

仕様

電圧 ..........................................................................................................................

電流 ..........................................................................................................................

電荷 ..........................................................................................................................

抵抗：標準法 ............................................................................................................

抵抗：極性切換え法 .................................................................................................

電圧源 ......................................................................................................................

温度（熱電対） ........................................................................................................

IEEE-488

一般項目 ...................................................................................................................

バスの実装 ...............................................................................................

サービスフォーム

4-2

4-3

4-4

4-5

前面パネル操作

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-1

製品の概要

このセクションをご覧になった後で何かご不明の点がありました場合は最寄りのケースレー代理店、または直接弊社のアプリケーションエンジニア（の表紙に世界中の弊社連絡先電話番号を記載してあります。

1-800-348-3735：

米国、カナダのみ）までお問い合わせください。本マニュアル

Model 6517A

・・・・10Ω から・表面抵抗率測定・体積抵抗率測定・・相対湿度測定（0〜

Model 6517A

・組み込み電圧源 −

・データの保存・ボタン・組み込み演算機能・平均とメディアンフィルタ・組み込みテストシーケンス・・・外部スキャナ（・オプションスロットに装着したスキャナカード（

Model 6517A

な項目が列挙されています。

は次のような測定機能を備えた

から

1µV 10aA 10fC

210V

から

-25℃ から 150℃

はこの他にも次のような追加機能を備えています：

を供給します。

個の操作でゼロ合わせ（

IEEE-488（GPIB

までの

21mA

2.1µC

210TΩ

電圧測定

までの

までの電荷測定

までの抵抗測定

までの外部温度測定（製品添付の熱電対

100

100V

電流測定

％）、オプションとして提供される

レンジは最高

REL

）バスまたは

RS-232

DDC（Device-Dependent Command

Model 706、7001、7002

用

の前面と背面パネルの図（図

1-1、1-2

桁エレクトロメータ/高抵抗測定システムです。

6.5

Model 6517-TP

Model 6517-RH

100V

）

）プログラム言語モードを使用する

まで

10mA

インターフェイスによるリモート操作

など）のスキャン（測定）チャンネルを使用

Model 6521、6522

）の説明には、実際に装置を操作する前に知っておくべき重要

を供給します。

）のスキャン（測定）チャンネルを使

を使用）

プローブを使用

1000V

Model 617

レンジは

1000V

エミュレーション

まで

1mA

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-2

図

Secondary Display Line

1-1

Model 6517A

Primary Display Line

EDIT ERR REM TALK LSTN SRQ REAR REL FILT MATH 4W AUTO ARM TRIG SMPL

1234567891012345678910

前面パネルの概要

DISPLAY

POWER

6517A ELECTROMETER/HIGH RESISTANCE METER

VI RQ

RELZ-CHK

FILTER MATH

INFO LOCAL

STORE RECALL

OPTION VOLTAGE SOURCE

CARD OPER

TRIG SEQ

EXIT ENTERCONFIG MENU

RANGE

AUTO

RANGE

VOLTAGE

SOURCE

OPERATE

CAL

52 6 7 3 8

1 通知ランプ

ERR REM TALK LSTN SRQ REL FILT MATH AUTO ARM

読み込み値にエラーの可能性ありリモートモードで点灯トーカとしてアドレスされると点灯リスナとしてアドレスされると点灯サービス要求発生相対読取り値を表示デジタルフィルタ数学演算機能自動レンジ機能

トリガ受け入れ準備完了：アイドリング状態 *（アスタリスク）ではありません。読み込み値は保存されます。

2 ファンクションキー電圧（V）、電流（I）、抵抗（R）または電荷（Q）測定機能のいずれかを選択します。 3 レンジキー

上向き矢印上位レンジへの切換え、数字を増加下向き矢印下位レンジへの切換え、数字を減少

AUTO

自動レンジ機能の使用/非使用選択

4 ハンドル引き出して、希望する位置まで回転させてください（図には示されていません）。 5 表示キーPREV/NEXT ある機能の表示項目間を移動します

6 操作キー

Z-CHK REL FILTER

ゼロチェック機能のオン/オフ切換え。機能の切換え前にゼロチェックをオンにします。相対値読み取り機能のオン/オフ現在選択されている機能に適用されるデジタルフィルタのステータスを表示し、フィルタのオン/オフを切換えます。

MATH TRIG SEQ

数学演算の設定を表示し、設定されている場合はそのオン/オフを切換えます。ユニットにトリガをかけます。選択したテストシーケンスを実行

左/右矢印入力する数値の桁移動、メニューや表示情報間の移動

INFO LOCAL STORE RECALL

現在表示されている項目のそれぞれに対応した情報を表示リモート操作をキャンセルデータ保存機能をオンにします。読み込んだデータを表示（読み込み値、個数、時刻）。

PREV/NEXT DISPLAY

を使用し

て最大、最小、平均、標準偏差を選択します。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-3

CONFIG

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

23 5 4 9810

EXIT ENTER

ファンクションと操作の設定装置動作条件の保存/呼び出し、通信セットアップ、校正と自己テストの実行、リミット値の定義、デジタル出力、およびその他の操作の設定（表選択した内容をキャンセルして

つ前のメニューに復帰

2-2

参照）

読み込み値のホールド、選択内容の確定、メニューの下位項目への移動

7 電圧源キー

OPER

電圧源の動作とスタンバイの切換え電圧源の出力値調節には上/下向き矢印キーを使用します

8電圧源の動作動作中はインジケータが点灯、スタンバイ中は消灯します 9 オプションカードキー実装されたオプションのプログラムと操作に使用します。外部スキャナチャンネルをス

キャンさせるときにもこのキーを使用します。

図

1-2

Model 6517A

背面パネルの概要

PEAK

OUT

INTERLOCK

DIGITAL

I/O

SELECTED

LINE VOLTAGE

90-110V

105-125V

TRIG LINK

180-220V 210-250V

115V

LINE RATING

50-60HZ 50VA MAX AC ONLY

IEEE-488

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

LINE FUSE

SLOWBLOW

1/2A 90-125V

1/4A 180-250V

INPUT

250V PEAK

PREAMP OUT

TEMP

TYPE K

250 PEAK

OPTION SLOT

COMMON 2V ANALOG

OUTPUT

HUMIDITY

750V

PEAK

EXT TRIGINMTR COMP

RS232

V SOURCE

1010V

17 671516 14 13 12

Input High Input Low

Chassis Ground

Unguarded (Guard off)

Input High Guard

Chassis Ground

Guarded (Guard on)

EXTERNAL TRIGGER INPUT

Trigger Reading

TTL HI

>10µsec

TTL LO

BNC CONNECTIONS

METER COMPLETE OUTPU

Reading Complete

>10µsec

LO (Chassis)

MADE

U.S.A.

TTL HI TTL LO

入力コネクタ（図

ガードなし構成電流、抵抗、電荷測定、およびガードを使用しない電圧測定のカード付き構成ガード付き電圧測定の

2 TEMP TYPE K 3 PREAMP OUT

（熱電対タイプ

（プリアンプ出力）

をオンにすると、き入力が構成されます。これは、

参照）

1-2

ßK

PREAMP OUT

GUARD

を有効にします。

）温度測定用として

INPUT

は内部で

COMMON

端子に印加される信号の大きさをそのまま出力します。

軸コネクタ

を基準とした信号です。さらに詳しくは『

Model 6517-TP

INPUT

のシェルと接続されて、電圧測定用のガード付

タイプの

GUARD

K-

を無効にします。

熱電対を接続します。

Model 6517A

ユーザマ

ニュアル』をご覧ください。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-4

GUARD

2V ANALOG OUTPUT（2V

グされた電圧が出力されます。標準的にはこの端子をチャートレコーダなどへの出力として使用します。さらに詳しくは『

5 COMMON（共通電位）この接続端子は装置内部で 6 CHASSIS GROUND（筐体グラウンド）この接続端子は装置筐体と接地ラインを電源ケーブルを介して接続し

ています。グラウンドリンクを取り付けることにより、フローティング測定を行うときは、いることを確認してください。

7 HUMIDITY（湿度）

します。

8V-SOURCE HI/LO（電圧源 9 ライン電圧切換えスイッチこの

ります。電源電圧範囲を設定してください。

10 電源リセプタクル 3 線電源コードを使用して接地端子付きコンセント（ 11 LINE FUSE（電源ヒューズ）電源電圧設定が

mm)

ます。

12 IEEE-488 コネクタ装置を

ください。

13 TRIG LINK（トリガリンク）外部装置との間でトリガパルスの送受信を行うための

タ。

14 DIGITAL I/O（デジタル 15 RS-232 16 INTERLOCK（インターロック）適切なケーブルを使用して

抗測定治具との安全インターロック接続を行います。

17 オプションスロット

着します。

Model 6517A

Model 6517-RH

90〜125V

を使用します。電源電圧設定が

RS-232

インターフェイス用

Model 6521 や Model 6522

アナログ出力）この接続端子には

ユーザマニュアル』をご覧ください。

INPUT の Low 側と 0.6Ω

COMMON

と筐体グラウンド間のグラウンドリンク接続がオープンになって

115V、180〜250V

115V

のときは、

バスへ接続します。シールド付の

コネクタ。標準

のときは、

1/4 A-250V

スキャナカードなどのオプションカードをこのスロットに装

HI/LO

）電圧源を引き出すためのバナナジャック。

位置スライドスイッチの位置によって装置が使用できる電源電圧範囲が決ま

を使用する場合は

IEEE-488(GPIB)

）

I/O

TTL

COMMON

プローブ（オプション）を使用して相対湿度測定を行うときはここへ接続

230V

レベルのデジタル出力を

DB-9

COMMON

を筐体グラウンドへ落とすことができます。

を基準として 0〜

抵抗を介して接続されています。

の電源電圧範囲を使用する場合は

50/60 Hz

1/2 A-250V

のスローブローヒューズ(5×

IEEE-488

系統出力できる

RS-232

ケーブルを使用してください。

Model 8009

抵抗率測定治具や

）へ接続します。

20 mm)

ケーブルを使用して

ピンマイクロ

DIN

Model 8002A

にスケーリン

230V

を使用し

コネク

DIN

コネクタ。

高抵

ディスプレイ

図

1-1（Model 6517A

行、および通知ランプで各種の情報を表示します。

・メイン表示行 − 一番上の表示行は読取り値と単位を表示します。測定タイプ、"ホールド"、数学演算のタイ

プ、チャンネル番号、メニューの名前とメッセージなどもこの行に表示されます。エラーとステータスメッセージ一覧が『ユーザマニュアル』のセクション

・2 番目の表示行 − 下の行にはレンジ、電圧源の値、メニュー項目、メッセージ、およびマルチディスプレイ

が表示されます（このマニュアルの「測定オプション」のセクションを参照）。テキスト文字列が長くて一行に収まらない場合は、表示行の左右いずれかに矢印が表示されます。このような場合はカーソルキー（右左矢印キー）を使用して残りの情報を表示させてください。

前面パネルの概要）が示すように、前面パネルディスプレイはメイン表示行と

に記載されています。

行目の表示

電源を入れる

警告 Model 6517A の電源スイッチを入れる前に、製品に添付される正規の電源コードまたは相当品

によって装置が接地端子付きのコンセントに確実に接続されていることを確認してください。適正に接地されていない装置は、最悪の場合は人命にかかわる感電事故を引き起こす恐れがあります。

電源の投入/遮断には前面パネルの

Model 6517A

合は、短時間だけエラーメッセージを表示してから通知ランプ  と、ディスプレイにファームウェアのバージョン番号とバスインターフェイスに関する情報が表示されます。

装置の立ち上げ手順の完全な説明は『ユーザマニュアル』のセクション

は立ち上げ処理の間に搭載しているメモリの自己テストを行います。このテスト中に問題が発生した場

POWER

スイッチを使用します。

ERR"

を点灯します。装置が自己テストに合格する

に記載されています。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-5

ウォームアップ

電源投入シーケンスが完了すれば、装置は直ちに使用可能な状態になります。しかし、確度の定格値を実現するためにはいて内部温度を安定化させてください。

時間のウォームアップ時間を置いてください。装置が極端な温度変化に曝されていた場合は更に長い時間を置

ベンチ（

Model 6517A は 10

たときに自動的選択されるデフォルトセットアップとしては、これらユーザセットアップのいずれか種類の工場セットアップのどちらか（ベンチ作業とます。

このマニュアルで説明する測定操作はテップに従い

1. MENU MAIN MENU SAVESETUP COMMUNICATION CAL

左矢印キー

2. SAVESETUP

示にしてから

SETUP MENU SAVE RESTORE POWERON RESET

3. RESET RESET ORIGINAL DFLTS BENCH GPIB

4. BENCH RESETTING INSTRUMENT

実行するには

5. ENTER

ゼロチェックはオンになっています。

BENCH

種類のユーザセットアップを不揮発性メモリに保存しておくことができます。装置に電源を入れ

MAIN MENU の SAVESETUP

キーを押してメインメニューを表示させます。

TEST LIMITS STATUS-MSG GENERAL

オプションが点滅表示になっていない場合は、左矢印キーを必要回数押してこの項目を点滅表

ENTER

オプションを選択してから

オプションを選択して

ENTER

を押して選択を確定させてください。ディスプレイに電圧測定機能が表示され、自動レンジはオフ、

）デフォルト

GPIB

BENCH

を押してセットアップメニューを表示させます：

ENTER

、キャンセルするには

デフォルトが選択されていることを前提としていますから、以下のス

を実行して装置をリセットしてください。

右矢印キー

ENTER

を押すことにより、リセットメニューを表示させます：

を押します。次のメッセージが表示されます：

EXIT

操作用に最適化された

を押してください。

"BENCH"

、または

つ、または

"GPIB"

）選択し

その他の測定機能についての

・トリガ − 連続測定・測定速度（積分時間） − 標準（電源ラインのサイクルに同期）・デジタルフィルタ − オン（・メディアンフィルタ − オン（ランク 1）・表示分解能 −

注注

注：メインメニュー内でのナビゲーションについては、このマニュアルのセクション「測定オプション」に含まれる

注注

「メニュー」を参照してください。

5.5

BENCH

桁

のデフォルト設定は次のとおりです：

回の測定値を平均化）

測定機能の切換え

誤動作防止のため、他の測定機能（V、I、R、または Q）のいずれかを選択するときは、その前にゼロチェック機能をオンにしておいてください（です。ゼロチェック機能についてさらに詳しくはセクション

"ZeroCheck"

と表示されます）。ゼロチェックをコントロールするのは

の「ゼロチェック」をご覧ください。

Z-CHK

キー

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-6

測定手順電圧測定

"BENCH"

のリセット条件を仮定すれば、基本的な手順は次のようになります：

ゼロチェックがオンの状態で（チェックのオン/オフ切換えには

必要に応じてガードをオンまたはオフにします。ガードの設定についてはこの手順の最後の部分をご覧ください。

注注

注ガードがオンのときは

注注

されます）になっている場合は

"ZeroCheck"

Z-CHK

"Grd"

メッセージが表示されます。ただし、すでにゼロ補正がオン（

が表示されます）、V を押して電圧機能を選択します。ゼロ

キーを使用します。

"Grd"

が表示されません。

"ZCor"

が表示

低電圧測定で最高の確度を達成するには

3. RANGE

ンになっているときは

注注

注ゼロ補正がオンになっているときは

注注

測定レンジを自分で選択するか、または自動レンジを使用します。

4. a.

テスト用ケーブルを測定対象である電圧源に接続します。ガードを使用しない測定接続例を図

ドを使用する接続例を図

警告 GUARD をオンにした場合は、3軸ケーブルの内側シールドに危険な電圧がかかることがありま

注意入力には 250V（ピーク値、DC〜60Hz）を超える電圧を印加しないでください。装置損傷の原

6. Z-CHK

の下向き矢印キーを押して最も小さい測定レンジ（2V）を選択して

ランプが点灯します。

REL

（

最も感度の高いレンジの選択を自動的に行いたい場合は自動レンジ機能をオンにしてください。を押すと自動レンジのオン/オフが切換わります。この機能がオンになると

レンジを手動設定するときはレンジを選択してください。

が表示されます）になっている場合は

"Grd"

RANGE

にそれぞれ示します。

1-3B

す。30V を超える電圧を測定する場合は必ず安全シールドを安全接地グラウンドに接続して使用してください（図 1-3B参照）。

因になります。

を押してゼロチェックをオフにしてからディスプレイの値を読み取ります。

Model 6517A

"ZCor"

の上向き/下向き矢印キーを使用して、予期される電圧に適した測定

メッセージが表示されます。ただし、ガードがすでにオン

をゼロ補正してください。これを実行するには、

を押します。ゼロ補正がオ

REL

"ZCor"

は表示されません。

AUTO

ランプが点灯します。

1-3A

AUTO

に、ガー

キー

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-7

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

A. Unguarded (GUARD off)

図

1-3

電圧測定

Measured

Voltage

Shield (Optional)

Red (HI)

Black (LO)

237-ALG-2

Cable

6517A

INPUT

250V PEAK

6517A

COMMON

IN OUT

TRIGGER

LINK

LINE RATING

90-134VAC

180-250VAC

50, 60, 400HZ

55VA MAX

IEEE-488

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

LINE FUSE

SLOWBLOW

1/2A, 250V

Measured

Voltage

Guard

Safety

Earth

Ground

Safety

Shield

Red (HI) Black

Green LO

237-ALG-2

Cable

INPUT

250V PEAK

COMMON

IN OUT

TRIGGER

LINK

LINE RATING

90-134VAC

180-250VAC

50, 60, 400HZ

55VA MAX

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

IEEE-488

LINE FUSE

SLOWBLOW

1/2A, 250V

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-8

ガード

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

高インピーダンス電圧測定（ピーダンス回路では、ガードを施すことにより漏れ電流を大幅に減少させることができます。入力ケーブルが長い場合は、ガードを施すことにより測定の応答時間を長くする原因となる、ケーブルの寄生容量をキャンセルすることができます。

GUARD

がオンになると、3 軸コネクタ位が印加されるようになります。この構成では図

ガードのオン

はガードを使用する場合と使用しない場合、両方の

1-3

オフを切換えるには次のステップを実行します：

まず

2.左/

CONFIG

右矢印キーを使用してカーソル（点滅するメニュー項目）を

を押し、続いて

します。希望する選択項目（ガードを使用する場合は

3. ENTER

4. EXIT

を押します。

キーを押してメニューを終了します。

Ω）や長い入力ケーブルを使用する電圧測定でガードを使用してください。高イン

≥10

INPUT

を押すことにより電圧測定設定メニューを表示させます。

の接続が再構成されて、この

電位入力用として

LOW

INPUT

COMMON

コネクタの接続構成を示しています。

GUARD

、使用しないのであれば

軸コネクタの内側シェルにガード電

バナナジャックが使用されます。

の上に移動させてから

）の上にカーソルを合わせて

OFF

ENTER

を押

電流測定

"BENCH"

4.図 1-4

のリセット条件を仮定すれば、基本的な手順は次のようになります：

ゼロチェックがオンの状態（クのオン/オフ切換えには

"ZeroCheck"

Z-CHK

キーを使用します。

低電流測定で最高の確度を達成するには

RANGE

オンになっているときは

の下向き矢印キーを押して最も小さい測定レンジ（

ランプが点灯してメッセージ

REL

が表示されます）で

Model 6517A

をゼロ補正してください。これを実行するには、

を押して電流機能を選択します。ゼロチェッ

20pA

"ZCor"

）を選択して

が表示されます。

を押します。ゼロ補正が

REL

測定レンジを自分で選択するか、または自動レンジを使用します。

最も感度の高いレンジの選択を自動的に行いたい場合は、自動レンジ機能をオンにしてください。

キーを押すと自動レンジ機能のオン/オフが切換わります。この機能がオンになると

AUTO

ランプが点灯し

ます。レンジを手動設定するときは、

RANGE

の上向き/下向き矢印キーを使用して、予期される電流に適した測

定レンジを選択してください。

を参照して装置を測定対象となる電流源に接続します。

AUTO

注意入力には250V（ピーク値、DC〜60Hz、mAレンジの場合は 1分あたり10 秒を超えないこ

と）を超える電圧を印加しないでください。装置損傷の原因になります。

5. Z-CHK

注注

注ゼロ補正をオフにするには、ゼロチェックをオンにしてから

注注

図

1-4

を押してゼロチェックをオフにしてからディスプレイの値を読み取ります。

を押してください。

REL

電流測定

6517A

237-ALG-2

Red (HI)

Measured

Current

Shield

(Recommended

below 1mA)

Black (LO)

Input low

connected

to shield

注意： 最大入力=250V（ピーク値、DC〜60Hz）  ；mAレンジでは1分あたり10秒を超えぬこと。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

Cable

SLOWBLOW

COMMON

IN OUT

TRIGGER

LINK

LINE RATING

90-134VAC 180-250VAC 50, 60, 400HZ

55VA MAX

IEEE-488

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

LINE FUSE

1/2A, 250V

INPUT

250V PEAK

1-9

抵抗測定

注注

注高抵抗を精密に測定するには低漏電を測定できる治具が必要となります。

注注

以下の手順を実行するには装置がについては「ベンチデフォルト」の項をご覧ください。

ゼロチェックがオン（

す。自動電圧源抵抗（

にある電圧値（定格値圧源」の項を参照してください。

注

"BENCH"

測定に適した電圧源レベルを選択しなければなりません。電圧源の使用法について詳しくはセクション「電圧源」をご覧ください。

警告自動電圧源抵抗を選択すると電圧源から 400V

測定レンジを自分で選択するか、または自動レンジを使用します。

最も感度の高いレンジの選択を自動的に行いたい場合は、自動レンジ機能をオンにしてください。

キーを押すと自動レンジ機能のオン/オフが切換わります。この機能がオンになるとます。

レンジを手動設定するときは、

測定レンジを選択してください。

4. Model 6517A

ンメータの

から

注注

注最高確度を達成するために、測定の電流成分に対して

注注

することができます。実際に漏れ電流をキャンセルする方法については「アンペア照してください。

V-Source ohms

のリセット条件では自動的に手動電圧源抵抗が選択されます。このモードではユーザが手動で

を試験治具へ接続します。最も基本となる接続方法を図

を、装置内部で電圧源の

へ接続する方法については、セクション

"BENCH"

"ZeroCheck"

または

40V

のリセット条件になっている必要があります。装置をリセットする方法

が表示されます）の状態で

）を選択します。このモードでは測定確度の最適化のために電圧源が自動的

）に設定されます。自動電圧源抵抗の選択について詳しくは「自動電

400V

RANGE

の上向き/下向き矢印キーを使用して、予期される抵抗値に適した

へ接続しなければならないことに注意してください。装置内部で

を押すことにより抵抗測定機能を選択しま

が出力されることがあります。



AUTO

に示します。この接続方法ではア

1-5A

「電圧源の設定」をご覧ください。

を適用して試験治具の漏れ電流をキャンセル

REL

AUTO

ランプが点灯し

」の項の説明を参

5. Z-CHK

ディスプレイから指示値を読み取ります。

読み取りが終了したならば、もう一度

警告試験治具またはDUTとの接続/切り離しを行うときは、必ずその前に電圧源をスタンバイモー

を押してゼロチェックをオフにしてから

OPER

ドへ戻してください。

を押して電圧源をスタンバイ状態へ戻します。

OPER

を押して、試験治具

へ電圧を出力します。

DUT

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-10

図

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

基本接続

1-5

抵抗測定

A.

Measured

Resistance

Shield



6517A

237-ALG-2

Red

Black

LO connected to shield

Cable

INPUT

250V PEAK

PREAMP OUT

250V PEAK

COMMON

V SOURCE

IN OUT

TRIGGER

LINK

LINE RATING

90-134VAC 180-250VAC

50, 60, 400HZ

55VA MAX

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

IEEE-488

LINE FUSE

SLOWBLOW

1/2A, 250V

注： 電圧源のLOは内部で電流計の  LOと接続されています。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-11

自動電圧源（

抵抗測定で最高の確度を実現するためには自動電圧源を使用してください。自動電圧源を選択すると、電圧源が自動的にら

200TΩ

することができます。抵抗測定時の電圧源モードを設定するには以下のステップを実行してください：

4. EXIT

または

40V

までのレンジでは

まず

CONFIG

左/右矢印キーを使用して、カーソル（点滅するメニュー項目）をを押します。

カーソルをを押します。

キーを押してメニューを終了します。

Auto V-Source

400V

に設定されます。2MΩ から

400V

を押し、続いて

AUTO

（自動電圧源抵抗）または

）

200GΩ

が使用されます。手動電圧源を選択した場合には、電圧源レベルを手動でセット

を押すことにより抵抗測定設定メニューを表示させます。

MANUAL

までのレンジでは電圧源が

VSOURCE

（手動電圧源抵抗）の上に移動させてから、

の上に移動させてから、

にセットされ、2TΩ か

40V

ENTER

電流相対値（

抵抗測定用試験治具の漏れ電流をキャンセルしたい場合は実行してください。

注この手順を実行するためには、抵抗測定手順のステップ

ません。

電圧源がスタンバイ状態にあることを確認し、試験治具から

アンペア（I）機能を選択してゼロチェックをオフにします。

い。

3. OPER ATE

試験治具の漏れ電流を表示させるために、最も低い測定レンジを選択します。

5. REL

れて指示値がゼロになります。

6. OPER

抵抗測定で使用する電流

まず

a. b.左/

ENTER

抵抗測定にこのアンペア

ENTER

d. EXIT

試験治具に

抵抗測定機能（R）を選択し、抵抗測定の手順で説明したステップ

Amps Rel

を押して電圧源を動作状態にします。電圧源が動作状態にあるときは

ランプが点灯します。

を押して相対測定をオンにします（

を押して電圧源をスタンバイ状態にしてから、ゼロチェックをオンにします。

CONFIG

右矢印キーを使用して、カーソル（点滅するメニュー項目）を

キーを押してメニューを終了します。

を押し、続いて

を押します。

を再び取り付けます。

DUT

）

Amps Rel

ランプ点灯）。これによって漏れ電流読取り値がキャンセルさ

REL

値を決定するには以下のステップを実行してください。

Rel

を押すことにより抵抗測定設定メニューを表示させます。

値を使用することを確定させるために、カーソルを

Rel

を使用します。そのためには以下のステップを

から

DUT

REL

までがすでに実行されていなければなり

を取り外します。

がオフになっていることを確認してくださ

VOLTAGE SOURCE OPER-

AMPSREL

へと進みます。

の上に移動させてから、

の上に合わせて

YES

抵抗率測定

注以下に説明する（表面/体積）抵抗率測定を実行するには、抵抗測定用治具である

必要になります。この治具の使用法の詳細については『

以下の手順を実行するには装置がついては「ベンチデフォルト」の項をご覧ください。

ゼロチェックがオン（

す。自動電圧源抵抗（

的にある電圧値（定格値抗測定」のセクションの「自動電圧源」の項を参照してください。

注

"BENCH"

測定に適した電圧源レベルを選択しなければなりません。電圧源の使用法について詳しくは「電圧源」の項をご覧ください。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

V-Source ohms

のリセット条件では自動的に手動電圧源抵抗が選択されます。このモードではユーザが手動で

"BENCH"

"ZeroCheck"

）を選択します。このモードでは測定確度の最適化のために、電圧源が自動

または

40V

Model 8009

のリセット条件になっていなければなりません。装置のリセット方法に

が表示されます）の状態で、R を押すことにより抵抗測定機能を選択しま

）に設定されます。自動電圧源抵抗を選択する方法については「抵

400V

使用マニュアル』を参照してください。

1-12

Keithley Model 8009

が

警告自動電圧源抵抗を選択すると電圧源から400V が出力されることがあります。

測定レンジを自分で選択するか、または自動レンジを使用します。

最も感度の高いレンジの選択を自動的に行いたい場合は、自動レンジ機能をオンにしてください。

キーを押すと自動レンジ機能のオン/オフが切換わります。この機能がオンになるとます。

レンジを手動設定するときは、

測定レンジを選択してください。

4. Model 6517A を Model 8009

プ（表面、または体積）へ切換えます。次の手順に従って抵抗率測定モードを選択します：

まず

A. B.上/

CONFIG

下矢印キーを使用して、カーソル（点滅するメニュー項目）を

ENTER

カーソルを

を押し、続いて

を押します。

RESISTIVITY

RANGE

試験治具へ接続し（図

を押すことにより抵抗測定設定メニューを表示させます。

の上に合わせて

の上向き/下向き矢印キーを使用して、予期される抵抗値に適した

参照）、試験治具上のスイッチを希望する測定タイ

1-6

MEAS-TYPE

ENTER

を押します。

AUTO

の上に移動させてから、

AUTO

ランプが点灯し

注

Model 6517A

体積）に倒されているかを検出し、選択内容に合わせて装置の測定タイプを自動的に設定します。

選択された測定タイプの上にカーソルが移動します（メニュー項目

示になります）。

・

SURFACE -

せんから、

・

VOLUME -

を指定する必要があります。

カーソルが

カーソルを

メータの値が表示されます。カーソルキー（左/右矢印キー）と

してから

d. EXIT

6. Z-CHK

7. OPER

電時間として標準的には

読み取りが終了したならば、もう一度

警告試験治具またはDUTとの接続/切り離しを行うときは、必ずその前に電圧源をスタンバイモー

ENTER

キーを押してメニューを終了します。

を押してゼロチェック機能をオフにします。

を押して電圧を

はインターロックケーブルを介して、

測定タイプとして表面抵抗率を選択した場合は、これ以上のメニュー操作の必要がありま

キーを押してメニューを終了します。

EXIT

測定タイプとして体積抵抗率を選択した場合は、さらに以下の操作を行ってサンプルの厚さ

VOLUME THICKNESS

ドに戻してください。

の上にある状態で

の上に合わせて

を押します。

に印加し、適切な帯電時間経過後にディスプレイから指示値を読み取ります。帯

DUT

秒が使用されます。

ENTER

RANGE 上/

OPER

を押して電圧源をスタンバイ状態へ戻します。

下矢印キーを使用して、サンプルの厚み（ミリ単位）を指定

Model 8009

を押し、体積パラメータメニューを表示させます。

を押します。サンプル用に現在設定されている厚さパラ

上のスイッチがどちら側（表面、または

SURFACE

または

VOLUME

が点滅表

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-13

図

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

Model 8009

1-6

抵抗率測定

METER SOURCE

TRIAX

MAX INPUT

250 MAX

1100V

HI-LO

8607 Banana Plug Cable

7078-TRX-3 Triax Cable

PREAMP OUT

INPUT

250V PEAK

LID INTERLOCK

警告：治具のを安全接地ワイヤ を使用して安全グラウンドへ接 地してください。

6517-ILC-3 Interlock Cable

8607 Banana Plug Cable

LO HI

COMMON

250V PEAK

V SOURCE

INTERLOCK



OUT

LINE RATING

90-134VAC

180-250VAC

50, 60, 400HZ

55VA MAX

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

IEEE-488

LINE FUSE

SLOWBLOW

1/2A, 250V

電荷測定

"BENCH"

4.図 1-7

注意 250V（ピーク値、DC〜60Hz）を超える電圧を印加しないでください。装置損傷の原因になり

Model 6517A

のリセット条件を仮定すれば、基本的な手順は次のようになります：

ゼロチェックがオン（

"ZeroCheck"

が表示されます）の状態で、Q を押すことによりクーロン測定機能を選択

します。測定レンジを自分で選択するか、または自動レンジを使用します。

最も感度の高いレンジの選択を自動的に行いたい場合は、自動レンジ機能をオンにしてください。

キーを押すと自動レンジ機能のオン/オフが切換わります。この機能がオンになると

AUTO

ランプが点灯し

ます。レンジを手動設定するときは、

RANGE

の上向き/下向き矢印キーを使用して、予期される電荷の値に適し

た測定レンジを選択してください。

試験ケーブル（図

1-7）を Model 6517A

にします。必要に応じて

を押すことによりディスプレイ指示値をゼロにしてください。

REL

の入力へ接続し、入力がまだオープンの状態でゼロチェックをオフ

を参照して装置を測定対象となる電荷へ接続します。

ます。

AUTO

ディスプレイから指示値を読み取ります。

注ゼロチェックをオンにすることよって指示値をゼロにリセットすることも可能です。電荷の値が特定のレ

ベルに達したときに指示値をゼロにリセットしたいのであれば、次の節の説明に従って自動放電（

Discharge

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

）をオンにしてください。

1-14

Auto

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

図

1-7

電荷測定

6517A

237-ALG-2

Black (LO)

Cable

INPUT

250V PEAK

COMMON

IN OUT

TRIGGER

LINK

LINE RATING

90-134VAC 180-250VAC 50, 60, 400HZ

55VA MAX

IEEE-488

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

LINE FUSE

SLOWBLOW

1/2A, 250V

Measured

Charge

Red (HI)

Shield (Optional)

Input low connected to shield

自動放電

自動放電（

Auto Discharge

リセットされてゼロに戻ります。この操作によって積分回路がリセットされると、電荷測定プロセスが再びゼロからスタートします。

まず

2.左/

右矢印キーを使用してカーソル（点滅するメニュー項目）を

ENTER

Auto Discharge

CONFIG

を押します。

3. Auto Discharge a. Auto Discharge

荷レベルを表示させます。左/右矢印キーとから

ENTER

b. Auto Discharge

4. EXIT

キーを押してメニューを終了します。

）機能をオンにすると、電荷がある指定したレベルに達したとき、電荷指示値が自動的に

のオン/オフを切換えるには次のステップを実行します。

を押し、続いて

をオンにするにはステップ a、オフにするにはステップ

をオンにする −

を押すことによりクーロン測定設定メニューを表示させます。

の上に移動させてから

を押すことにより現在の電

の上にカーソルを移動させてから

RANGE 上/

下矢印キーを使用して異なる電荷レベルを設定して

AUTO-DISCHARGE

を実行してください。

ENTER

を押します。

をオフにする − カーソルを

の上に合わせて

OFF

ENTER

を押します。

外部温度と相対湿度の測定

Model 6517A は K-

熱電対（

Model 6517-TP

とができます。

Model 6517A

はオプションとして提供される

測定することができます。

接続

Model 6517-TP "HUMIDITY"

注

Model 6517-TP

対がグラウンドラインや他の電位に接触していると誤った値を読み取る原因になります。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

（熱電対）と

6517-RH

とラベリングされた端子に接続します（図

の熱電対接合部はグラウンドや他の電位から電気的に絶縁するようにお奨めします。熱電

、標準添付）を使用して、

Model 6517-RH

湿度プローブを使用して、相対湿度（0〜

-25

℃〜

℃の範囲で外部温度を測定するこ

150

（湿度プローブ）は、それぞれ背面パネルの

参照）。

1-8

1-15

100

"TEMP TYPE K"

％）を

および

図

CAUTION:FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

1-8

外部温度と湿度測定

6517A

INPUT

250V PEAK

odel 6517-TP

Thermocouple

測定コントロール

PREAMP OUT

250V PEAK

COMMON

V SOURCE

Extension Cable (P/N CA-129-1)

Model 6517-RH Humidity Probe

LINE RATING

90-134VAC

180-250VAC

50, 60, 400HZ

55VA MAX

BENCH

に合わせてリセットすると温度と湿度測定機能がオフに設定されます。これらの測定をオンにするには前面

パネルを使用して以下の操作を行ってください。

1. MENU

2.左/

を押してメインメニューを表示します。

右矢印キーを使用して、カーソル（点滅するメニュー項目）を

GENERAL

を押して、一般メニューのメニュー項目を表示させます。カーソルを

A/D-CONTROLS

の上へ移動させて

ENTER

を押し、

コントロールメニューを表示させま

A/D

す。カーソルを

す。

DATA-STAMP

と表示されれば測定が可能であることを意味し、

の上に合わせて

ENTER

を押します。温度と湿度の現在の設定状態が表示されま

が表示されれば測定機能がオフになっているこ

OFF

とを示します。温度/湿度測定のコントロール状態を変更するには、まずカーソルを該当するメニュー項目の上へ移動させてか

ら、

RANGE

する状態（ON、または

6. EXIT

注

キーを押してメニューを終了します。

TEMPERATURE

の上向き/下向き矢印キーを押してコントロール状態を交互に切換えます。温度と湿度測定の希望

）が表示されたことを確認して

OFF

オプションは

"Change From Cal Temp"

ENTER

を押します。

マルチ表示の温度指示値をコントロールする

機能も備えています。詳しくはセクション 2「マルチ表示」をご覧ください。

温度単位

Model 6517A

は温度指示値を˚C、˚F、または

が ℃ にセットされます。単位を変更するには以下のステップを実行してください：

1. MENU

2.左/

を押してメインメニューを表示します。

右矢印キーを使用して、カーソル（点滅するメニュー項目）を

を押して、一般メニューのメニュー項目を表示させます。カーソルを

DISPLAY

の上に合わせて

させます。カーソルを

TEMP-UNITS

の上に合わせて

を示します。温度単位を変更するのであれば、希望する選択肢（℃、K、または °F）の上にカーソルを合わせて

を押してください。

6. EXIT

キーを押して上位のメニューへ戻ります。

で表示します。

ENTER

を押すことにより、

ENTER

"BENCH"

を選択した装置をリセットすると測定単位

GENERAL

SET READING DISPLAY

を押します。点滅カーソルが現在選択されている温度単位

の上に移動させてから

メニューを表示

ENTER

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-16

ディスプレイへの指示値表示オプション

温度と湿度指示値にはマルチ（に加えて温度と湿度の読み取りも行われ、バッファに測定値を保存するときにも温度と湿度をデータ要素の一部として保存することができます。詳しくはセクション 2「マルチ表示」をご覧ください。

保存するデータ要素の一部として外部温度と湿度を選択するには、データ保存設定メニューを操作する必要があります。詳しくはセクション

「バッファ（データ保存）」をご覧ください。

）表示を適用することができます。マルチ表示を使用すると、通常の

A/D

測定

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

1-17

測定オプション

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

2-1

このセクションでは実際に測定を行う際の詳細を説明します。説明の内容には設定オプション、トリガ、読み込み値の保存、スキャニングを始めとする多くの項目が含まれます。ここで説明する内容はら操作する場合と

IEEE-488

バスでコントロールする場合の両方で役立つ情報です。

Model 6517A

を前面パネルか

マルチ表示

それぞれの測定機能と一部の操作については、前面パネルディスプレイの一番下の行を利用する「マルチ表示」がサポートされています。マルチ表示機能により複数のタイプの測定値を表示したり、別な形式で表示したり、あるいは読み込み値に関する追加情報を表示することができます。

マルチ表示についてはこのセクションでまとめて説明します（全部のマルチ表示を表マルチ表示をスクロールして機能や操作を選択するには

マルチ表示モードをキャンセルするには、どちらかのキーを押してそのまま保持してください。

表

2-1

機能別マルチ表示機能次の表示項目

全部時間、曜日、および日付

バーグラフ中心振り分けバーグラフ最大と最小値相対値と実際の値計算値と実際の値リミットバーグラフ相対湿度と外部温度校正温度からの変化

NEXT と PREV（previous）DISPLAY

に示します）。

2-1

キーを使用します。

抵抗（R）電圧源の値（V）と実測電流値（I）

バッファ相対湿度と外部温度、電圧源の値、最大読取り値、最小読取り値、平均読取り

値、標準偏差、バッファデータのプリントアウト

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

2-2

6517 ELECTROMETER/HIGH RESISTANCE METER

時間、曜日、および日付

時間、曜日、日付を表示しま

—

す。時間、日付、および表示形式（

GENERAL MENU

（メインメニュー参照）の

プションを使用して設定します。

12/24

時間制）は

CLOCK

オ

6517 ELECTROMETER/HIGH RESISTANCE METER

バーグラフ

示します。バーグラフの

左端をゼロとして読取り値をバーグラフ表

—

つのセグメントがレンジ全体の

約 4％を表します。

中心振り分けバーグラフ

値ゼロを中心として、正負両

—

方のリミットの範囲内で正負両方に振れる読取り値をバーグラフ表示します。1 つのセグメントがリミットの

％

に相当します。

最大、最小値

表示開始後に発生した最大と最小読取

—

り値を示します。現在選択されている機能の選択キーを押すか、または表示を終了することによって最大/最小値がリセットされます。

相対値と実際の値— 相対（

ます。一番上のラインが相対（

）機能でこの表示を使用し

Rel

）操作の結果を示し、

Rel

一番下のラインが実際（生）の読取り値を示します。

6517 ELECTROMETER/HIGH RESISTANCE METER

計算値と実際の値

数学演算機能でこのディスプレイを

—

使用します。一番上のラインが数学演算の結果を示し、一番下のラインが生の読取り値を示します。

6517 ELECTROMETER/HIGH RESISTANCE METER

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

2-3

6517 ELECTROMETER/HIGH RESISTANCE METER

リミット

リミットテストの結果を示します。読取

—

り値をゼロを中心として左右に振り分けたバーグラフとして表示し、読取り値が指定した上下リミットの範囲内に収まっているときは

PASS

メッセージを示します。読取り値がリミットの範囲を超えた場合はン/オフ設定はメインメニューの

メッセージを示します。リミットの設定とオ

FAIL

LIMITS

オプション

で行います。

6517 ELECTROMETER/HIGH RESISTANCE METER

FILT 4W ARM

6517 ELECTROMETER/HIGH RESISTANCE METER

相対湿度と外部温度

この画面は相対湿度と外部温

—

度の表示に使用します。この表示を使用するためには該当するオプションが装着されており、その機能がオンに設定されている必要があります（このマニュアルのセクション

校正温度からの変化

参照）。

温度読取り機能をオンにして

—

おくと、最近の校正実行時の内部温度と現在の内部温度との差が表示されます。温度読取りをオンにする方法についてはセクション 1「外部温度測定」をご覧ください。

Measure/source —

この画面を使用して抵抗測定用に設定した電圧源レベルと、そのときの電流実測値を表示します。

6517 ELECTROMETER/HIGH RESISTANCE METER

バッファ

取り値の

— RECALL

項目のデータが表示されます：

メニューに入るとバッファ読

相対湿度（RH）と外部温度（ET）電圧源の値

6517 ELECTROMETER/HIGH RESISTANCE METER

最大読取り値（左寄り）最小読取り値平均読取り値（左寄り）標準偏差バッファデータプリントアウト

6517 ELECTROMETER/HIGH RESISTANCE METER

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

2-4

メニュー

Model 6517A

す。メインメニューは専用キーを持たない項目へアクセスし、目を設定します。

メインメニューの選択項目をまとめて表作に関する設定項目をまとめたものです。

表

2-2

メインメニューのまとめ

オプション説明

SAVESETUP

COMMUNICATION CAL Model 6517A

TEST LIMITS STATUS-MSG GENERAL

が使用する基本的なメニューとして、メインメニューと設定（

に示します。表

2-2

セットアップのメモリへの保存とメモリからの呼び出し、起動時デフォルトの設定、装置をデフォルト条件へ戻します。

インターフェイスの選択と設定（

の校正（『校正マニュアル』参照）、オフセット調節と校正日付の確

認。自己診断の実行（『修理マニュアル』参照）。リミット試験実行のための単位の設定。ステータスメッセージモードのオン/オフ。デジタル出力ポートの出力コントロール、装置のシリアル番号とファームウェアバー

ジョン番号管理、電源ラインとの同期コントロール、リミットコントロールとデータスタンプ、タイムスタンプ管理、指示値表示方法の設定とリアルタイムクロックの設定。

2-3

CONFIG

、および表

または

GPIB

CONFIG

メニューは測定機能と装置の操作に関する項

2-4

RS-232

）メニューの

は測定機能に関する設定と装置の操

）

種類がありま

表

2-3

各測定機能の設定

自動レンジ外部アンペア測定

機能

電圧電流抵抗電荷

抵抗または抵抗率

自動または手動

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

速度フィルタ分解能リミットダンピングガードフィードバック

REL

タイプ*電圧源**放電

• • • • • •

• • • • •

• • • • • • • •

• • • • •

2-5

V- 

自動

表

2-4

装置の操作方法設定オプション説明

CONFIG REL REL CONFIG FILTER CONFIG MATH

CONFIG TRIG CONFIG SEQ CONFIG STORE

CONFIG VOLTAGE SOURCE* CONFIG CARD CONFIG NEXT

電圧源（

印キー）のいずれかを押します。

V-Source

）メニューへアクセスするには

（相対）値をセットして機能をオンにします。平均とメディアンフィルタを選択して設定します。数学演算機能の選択と設定：多項式、パーセント、パーセント偏倚、比率または

。

log10

基本または高度なトリガモデルの選択と設定。試験シーケンスの選択と設定。データ保存法の設定：カウント、コントロール、タイムスタンプ、データ要素と表

示、バッファのクリア。電圧源の設定：レンジ、電圧の限界値、抵抗性電流の限界値、メータ接続。内部/外部スキャニングの選択と設定。ゼロ中心バーグラフのスケール変更。

CONFIG

を押してから、

VOLTAGE SOURCE

キー（

、上向き矢印キーまたは下向き矢

OPER

メニュー内でのナビゲーション

メニュー構造の内部では以下の規則にしたがって項目間を移動してください。メニュー内での移動に使用できる前面パネルキーを表

装置が指示値を表示している通常の状態からスタートして、以下の操作が可能です：

・

CONGIF

る。

・

次の操作によって装置は指示値を表示する通常の状態へ復帰します：

・メインメニューのトップレベルにあるときに・設定メニューのトップレベルから・メニュー内から測定ファンクションキーを押す。

3. ENTER

ベルに降りて行きます。メニュー構造の上位レベルに戻るにはカーソル位置はメニュー項目やパラメータの点滅によって示されます。カーソルをある項目から次へ移動させ

るにはカーソルキー（左/右矢印キー）を使用します。ある項目を選択するには、カーソルをその項目へ移動させてハイライト表示にした状態で

一番下の行に左矢印と右矢印キーが表示されたときは、さらに選択が必要な項目や追加情報があることを意味

しています。例えば左矢印が表示された場合は、左矢印カーソルキーを押してください。カーソルキーは自動リピート機能を持っています。

数値パラメータを入力するときは、変更したい桁の上にカーソルを合わせた状態で

押して、その桁の数字を増加/減少させます。実際に変更が行われるのは

生し、その入力は無視されます。また、メニューの何処にいるときであっても、

れます。情報メッセージを消してそのままメニューに留まりたい場合はは

ENTER

の指示値表示モードに復帰します。

にまとめてあります。

2-5

を押し、続いて希望する機能キーや操作キー（V、

キーを押してメインメニューのトップレベルを表示させる。

または

EXIT

を押す。

EXIT

キーを押すことによりある項目が選択され、さらに細かな定義が必要な場合はメニュー構造の下のレ

EXIT

ENTER

を押してください。ファンクションキーを押すと

を押してください。

キーが押されたときです。無効なパラメータを入力した場合はエラーが発

キーを押した場合にも変更が無視されます。

EXIT

キーを押せばその操作に関する有用な情報メッセージが表示さ

INFO

等々）を押して設定メニューを表示させ

TRIG

を押す。

キーを押します。

RANGE 上/

INFO

とメニューがキャンセルされ、装置は通常

をもう一度押すか、

下矢印キーを

EXIT

また

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

2-6

表

2-5

メニューのまとめ動作説明

CONFIG-

（ファンクション）

CONFIG

キーを押し、続いてファンクションキー（例：

）を押すと該当する機能

"V"

設定メニューのトップレベルが表示されます。

MENU MENU

キーを押すとメインメニューのトップレベルが表示されます。メインメ

ニューには直接対応するキーを持たない操作が配置されています。

左

右矢印キーメニュー項目間でのカーソル（ハイライト表示）の移動、パラメータ値の桁選択、ス

キャナのチャンネル切換えなどにこれらのカーソルキーを使用します。

RANGE

上向き矢印キーパラメータのある桁を選択して値を増加/減少させるときに

RANGE

キーを使用しま

す。

RANGE ENTER EXIT INFO

下向き矢印キー

メニューの選択やデータ入力の内容を確定させます。メニューの選択をキャンセルし、直前のメニューレベルに復帰します。現在表示されているメニューレベルに対応した情報を表示します。このキーを押すた

びにメッセージの表示/非表示が切換わります。

電圧源

双極性、容量

の内蔵電圧源は最高 ±

1000V

までを出力できる能力を持っています。装置が通常の測定モードに

あるときは、プログラムされた電圧レベルがディスプレイの一番下の行に表示されています。

接続

警告けがや、場合によっては人命にかかわる感電事故防止のため、電圧源が動作中（

SOURCE OPERATE

さい。

OPER

キーを押すことにより電圧源がスタンバイと動作モードで交互に切換わります。

独立した電圧源として使用する場合には、背面パネルのます（図

SOURCE

参照）。

2-1

メニューの

FVMI（force voltage measure current

METER CONNECT

することができます（「電圧源の設定」参照）。これに合わせた接続例を図

図

2-1

独立した電圧源としての接続

A. Basic Connections

V-Source Out

ランプ点灯）は絶対に装置や試験回路の接続/取り外しを行わないでくだ

V-SOURCE HI と LO

端子間から電圧を取り出すことができ

）ソースとして使用するのであれば、

オプションを使用して、

V-Source LO

2-2

を内部的にアンメータ

に示します。

VOLTAGE

CONFIGURE V-

と接続

V-Source

LO HI

B. Equivalent Circuit

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

2-7

図

が

2-2

FVMI

としての接続

INPUT

250V PEAK

注 CONFIGUREV-SOURCEメニューのMETER-

CONNECTオプションによってV-SOURCELO アンメータ入力のLOと接続されています。

Ammeter

V-Source

V SOURCE

OUT

基本操作

基本操作として行うのは電圧源レベルの設定と、電圧を出力できる動作モードに入れることだけです。電圧源に関するそれ以外の操作は

CONFIGURE-SOURCE

電圧リミット設定、抵抗電流リミットの選択、および電圧源とアンメータの定」の項をご覧ください。

電圧源レベルの設定 − 電圧源のレベルは装置の通常の測定モードで行います。この電圧レベルの設定には

AGE SOURCE

上/下矢印キーとカーソルキー（左/右矢印キー）を使用します。これらの押すと電圧源編集モードがアクティブになります。電圧源ディスプレイの点滅桁が現在のカーソル位置を表します。カーソルキーを使用して希望する桁へカーソルを移動してから、します。電圧の極性を切換えたい場合は、カーソルを極性記号の上に移動してからキーを押してください。

電圧を出力する −

OPER

す。電圧が出力されているときは

OPER

キーを押すと電圧源がスタンバイモードへ復帰します。

キーを押すと、現在ディスプレイに表示されている電圧レベルが出力端子に印加されま

VOLTAGE SOURCE OPERATE

メニューで実行します。電圧レンジの選択（

LO-LO

間接続については「電圧源の設

VOLTAGE SOURCE 上/

ランプが点灯します。この状態でもう一度

100V

または

1000V

）、

VOLT-

種類のキーのいずれかを

下矢印キーでレベルを変更

下矢印

電圧源の設定

以下のステップを実行して電圧源を設定します：

1. CONFIG

キーを押し、続いて

より以下の設定メニューを表示させます：

RANGE: 100V V-LIMIT: RESISTIVE LIMIT:

または

1000V

電圧リミット値の設定（絶対値）とコントロール（

抵抗（1MΩ）電流リミットをコントロール（

METER CONNECT: V-Source LO

メニュー項目を使用して電圧源を設定します。メニュー項目を選択するには、まずカーソルを目的の項目に移

動（左/右矢印キー）させてからラメータ値を変更する場合はカーソルキーとニュー構造の内部を移動する方法に関してさらに詳しくは、このセクションの前半で説明した「メニュー」の項をご覧ください。

メニュー構造から脱出するには

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

VOLTAGE SOURCE

のいずれか

レンジのいずれかを選択します。

とアンメータ

ENTER

EXIT

を押します。メニューのオプション選択も同じ方法で行います。パ

RANGE

キーを押します。

間の内部接続をコントロール（

キーで値を変更してから

2-8

つ（

ON/OFF

、上/下矢印キー）を押すことに

OPER

）を行います。

）します。

ENTER

ON/OFF

）します。

を押します。メ

相対

相対（値として記憶し、それ以後は実際の入力値からこの基準値を引き去った値を表示します。

表示される指示値＝実際の入力

（相対）機能をアクティブにするには

Rel REL

す。

Rel

切換えたときに保存されます。ある測定機能について決定した

Rel

ある測定機能の

2. CONFIG

）機能は実際の読取り値から基準値を減算します。

Rel

基準値

キーを押してください（

REL

機能がオフになります。

値は各測定機能ごとに独自の値を設定することができます。それぞれの測定機能の

CONFIG-REL

ディスプレイから

をオンにすると装置はその時点での読取り値を基準

Rel

ランプ点灯）。もう一度

REL

値を入力してこの機能をオンにすることも可能で

Rel

値は、すべてのレンジについて共通です。

Rel

の設定

値をチェック/変更するには以下のステップを実行してください：

Rel

対象となる測定機能を選択します。

キーを押し、続いて

カーソルキー（左右矢印キー）とは

がオンの状態で通常の表示状態へ復帰します。

Rel

キーを押して現在の

REL

RANGE

Rel

キーを使用して、

値を表示させます。

値を変更してから

Rel

REL

値の状態と値は、機能を

Rel

ENTER

を押します。装置

を押すと

ゼロチェック

ゼロチェックがオン（います。電圧、電流、および抵抗測定のときは、入力信号の接続/取り外しを行うときにゼロチェックをオンにしてください。ただし、電荷測定ではゼロチェックをオフにする必要があります。ゼロチェックをオンのままにしておくと電荷が

10MΩ

ゼロチェックのオン/オフ切換えには

シャントを介して散逸してしまいます。

"ZeroCheck"

表示）のとき、入力信号は高インピーダンスシャントを介して

Z-CHK

キーを使用します。

へ接続されて

注装置を正常に動作させるため、機能（V、I、R、または Q）切換えの前には必ずゼロチェックをオンにし

てください。

ゼロ補正

Z-CHK と REL

連携して機能します。電圧または電流機能のゼロ補正を行うには以下のステップを実行してください：

または

1. V

ゼロチェック機能をオンにします。

測定に使用するレンジを選択するか、または最も低いレンジを選択します。

4. REL

注電圧機能の場合、ガードがすでにオン（

5. Z-CHK

これで、通常の方法での読み取りが可能になりました。

注装置の測定レンジを上げてもゼロ補正された状態はそのまま保たれますが、レンジを下げた場合は装置の

キーは電圧と電流測定の確度劣化の原因となる内部オフセットをキャンセル（ゼロ補正）するために

機能を選択します。

を押して装置のゼロ補正を実行します。

表示されません。

を押してゼロチェック機能をオフにします。

ゼロ補正を再実行してください。

ゼロ補正をオフにするには、まずゼロチェックをオンにしてから次に

ランプが点灯して

REL

が表示されます）になっているときは

"Grd"

"ZCor"

REL

メッセージが表示されます。

"ZCor"

を押してください。

メッセージが

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

2-9

トリガをかける

以下の説明はトリガに関するおおまかな知識を得ることを目的としたものです。より完全な説明については『

6517A

きるトリガ設定（

Model 6517A は 2 2-4

イヤから構成されるのに対して、高度トリガモデルはます。

図

基本トリガモデル（簡略表示）

ユーザマニュアル』をご覧ください。トリガの設定には

Trigger Configuration

種類のトリガモード（基本と高度）を備えています。これら

に示す簡略化されたトリガモデルによって表現されます。図に示すように、基本トリガモデルの動作は

）メニューを使用します。

つのレイヤを使用することでより多くのオプションを提供し

2-3

Idle

MODE

One Shot

Event

Detection

Continuous

Output Trigge

CONFIG と TRIG

キーを押すことによりアクセスで

種類のトリガモードは図

2-3 1

Model

と図

つのレ

Device Action

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

2-10

図

re t

2-4

高度トリガモデル（簡略表示）

Idle

Arm

Layer

Scan

Layer

Measure

Layer

Arm

Event

Scan

Event

Measure

Event

Device

Action

Yes

Another

Arm

Another

Scan

Another

Measure-

ment

Output Trigger

Arm

Count

Scan

Count

Measu

Coun

アイドリング

トリガモデルのいずれのレイヤにも入っていないとき、装置は常にアイドリング状態にあります。（または、バスを介して

ランプが点灯すると同時に、装置がトリガモデル内で動作を開始します。

ARM

:INIT

または

:INIT:CONT ON

を送信）

Model 6517A

をアイドリングから脱出させると、

TRIG

を押して

コントロールソース

高度トリガと基本ワンショットトリガを使用する場合、装置の動作はコントロールソースによってコントロールされ、動作はプログラムされたイベントの発生までホールド状態になります。基本ワンショットトリガがロールソースだけを使用するのに対して、高度トリガは

種類のコントロールソースを使用します。コントロール

ソースには次のようなタイプがあります：

・即時 − 即時にイベント検出が起こり、動作が次に進みます。・外部 − ・手動 − ・

GPIB −

・

TrigLink − TRIGGER LINK

EXT TRIG IN TRIG

キーを押すと、それに同期してイベント検出が起こります。

バストリガの受信（

コネクタから入力トリガを受信すると、それに同期してイベント検出が起こります。

GET

または

）によってイベント検出が起こります。

*TRG

コネクタから入力トリガを受信すると、それに同期してイベント検出が起こりま

す。基本トリガにはこの機能はありません。

・

TIMER −

れたタイマインターバルの経過によってイベント検出が起こります。高度トリガモデルの機能はありません。

・ホールド − ホールドを選択すると上に説明したどの条件が成立してもイベント検出が起こらず、動作はホー

そのレイヤを最初に通過するときは即時にイベント検出が起こります。それ以後は、プログラムさ

Arm Layer

ルド状態になります。基本トリガにはこの機能はありません。

連続基本トリガが使用されている場合、装置は図

に示すコントロールソースをバイパスしてデバイス動作を実行

2-3

します。

つのコント

にこの

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

2-11

デバイス動作

最も重要なデバイス動作は勿論測定です。しかし、機能の切換えやチャンネルスキャン（スキャナが使用可能である場合）もデバイス動作に含まれます。チャンネルスキャンでは測定実行前にズ）されます。内部チャンネルをスキャンしているときは、直前のチャンネルが開いて次のチャンネルが閉じます（ブレークビフォーメーク）。また、リレー整定時間用の遅延もデバイス動作に含まれます。

つのチャンネルがスキャン（クロー

出力トリガ

回の測定（デバイス動作）終了の度に出力トリガパルスが発生し、このパルスは

取り出すことができます。外部スキャナ（ンの次のチャンネルを選択する目的で出力トリガを利用します（このセクションの後半で説明する「外部スキャニング」参照）。

Model 7001 や 7002

スイッチシステムなど）を併用する場合は、スキャ

Model 6517A

の背面パネルから

カウンタ（高度トリガ）

高度トリガのいます。例えば、測定レイヤ（での動作を継続することができます。毎回のデバイス動作終了後、動作ループはトリガレイヤ（ントロールソースへ復帰します。動作ループがより上位のレイヤ（またはアイドル状態）へ復帰するときにカウンタがリセットされます。

つのレイヤはいずれもプログラムカウンタを利用して、それぞれのレイヤへの復帰と滞留の管理を行

Measure Layer

）カウンタを

とプログラムすることによって測定レイヤ内

infinite

Trigger Layer

）のコ

ベンチデフォルトトリガモデルのセットアップ

ベンチデフォルトでセットアップすると、高度トリガが選択されてに、全部のレイヤのコントロールソースを即時に、測定レイヤを無限にセットします。このトリガモデルがセットアップされると、動作はそのまま測定レイヤに入ってそのまま留まり、連続測定を行います。

Model 6517A

がアイドル状態を脱出するととも

速度

SPEED は A/D

定することができます。積分時間は電源ラインの周波数（なわち、

一般的に、一番速い積分時間（それに対して、一番遅い積分時間（ノイズの兼ね合いを考えて選択します。

60Hz の 1 PLC は 16.67msec

変換器の積分時間と入力信号を測定する周期を設定します。

0.01 PLC 10 PLC

であり、

）を選択すると読取りノイズが増加して信号の有効な分解能が低下します。

50Hz と 400Hz の 1 PLC は 20msec

）が最良の同相、標準モード除去率を示します。その中間の設定は速度と

SPEED

）から導かれるパラメータを用いて指定します、す

NPLC

は各測定機能ごとに独立して設

です。

速度の設定

積分時間はそれぞれの測定機能ごとに独立して設定することができます。速度を設定するときは以下にまとめる手順に従って機能設定メニューを操作してください：

1. CONFIG

カーソルキー（左/右矢印キー）を使用して

せます：

NORMAL: FAST: MEDIUM: HIACCURACY: SET-SPEED-EXACTLY: (0.01〜10) SET-BY-RESOLUTION:

ル』参照）。

メニュー項目を使用して速度を設定します。メニュー項目を選択するには、まずカーソルを目的の項目に移動

（左/右矢印キー）させてからキーで値を変更してからニュー」に記載されています。

注さらに詳しくは『ユーザマニュアル』のセクション

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

キーを押し、続いて希望する機能のキー（V、I、など）を押します。

積分時間を

を入力します。

1 PLC

0.01 PLC

0.1 PLC

このオプションを選択するとプロンプトが表示されますから、希望の

現在の分解能設定に合わせて積分時間を自動的に最適化します（『ユーザマニュア

ENTER

SPEED

に設定します。

10 PLC

ENTER

に設定します。

を押します。パラメータ値を変更する場合はカーソルキーと

を押します。メニュー構造内を移動する方法について詳しい説明が「メ

を選択し、

ENTER

2 「SPEED

2-12

を押して次の速度オプションを表示さ

」をご覧ください。

PLC

RANGE

値

分解能

Input signal

すべての機能はます。

3.5

から

桁の分解能で動作します。それぞれの機能ごとに独立した分解能を設定することができ

6.5

分解能の設定

ある測定機能の分解能を設定するには以下の手順を実行してください：

1. CONFIG

カーソルキー（左/右矢印キー）を使用して

ンを表示させます：

a. 3.5 to 6.5d: b. AUTO:

す（『ユーザマニュアル』参照）。

カーソルをメニューオプションの上に合わせ（左/右矢印キー使用）、

メニュー構造内を移動する方法について更に詳しくは「メニュー」の節をご覧ください。

キーを押し、続いて希望する機能のキー（V、I、など）を押します。

RESOLUTION

いずれかのオプションを選択して表示分解能を設定します。

このオプションを選択すると現在設定されている分解能に合わせて積分時間を自動的に最適化しま

を選択し、

フィルタ

フィルタはノイズの多い測定を安定化してくれます。します。ルタが有効になります。もう一度

FILTER

を押してフィルタをオンにすると（

FILTER

を押すとフィルタの機能がオフになります。

フィルタタイプ

Model 6517A

ランプ点灯）、その測定機能用として選択されているフィ

FILT

はデジタルフィルタとメディアンフィルタを使用

ENTER

を押して次の分解能オプショ

を押して分解能を設定します。

Model 6517A は 2

読取り値を単純平均化するフィルタですが、高度フィルタの相違点はユーザがプログラム可能なノイズ「ウィンドウ」を使用できることにあります。ノイズウィンドウ（レンジのパーセント値で表します）を使用することにより信号の大きなステップ変化に対する応答が速くなります（図『ユーザマニュアル』をご覧ください。

図

2-5

フィルタ応答/ノイズウィンドウ

Response with the noise window turned “on” shifts when the input signal moves beyond the specified range

Limits of the

user-specified

noise window

種類のデジタルフィルタ（平均化と高度）を備えています。どちらのタイプも

参照）。フィルタタイプの完全な説明については

2-5

Response with no noise window

Value displayed

with filtering

回から

100

回の

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

2-13

フィルタモード

フィルタには移動平均と反復という

）スタックを利用します。スタックがいっぱいになると測定変換値を平均化して

out"

れ以後、1 回のれて新しい平均値（指示値）が計算されます。

反復フィルタの場合もやはりスタックが変換値でいっぱいになると、平均計算が行われて指示値が決まりますが、その後スタックを空にしてから同じ処理を繰り返します。フィルタモードの完全な説明については『ユーザマニュアル』をご覧ください。

変換が行われる度に新しい変換値がスタックに書き込まれると同時に、最も古い変換値が捨てら

A/D

つのタイプがあります：移動平均フィルタは先入れ先出し（

つの指示値を計算します。そ

"first-in, first-

メディアンフィルタ

メディアンフィルタはサンプリングした読取り値のグループを値の昇順に並べて、その中で「最も中央に近い」値を指示値として使用します。例えば、読取り値が次の値であったとすれば：

20V, 1V, 3V

これらの値を昇順に並べると次のようになります：

1V, 3V, 20V

このサンプルグループのメディアン値（中央値）はサンプル読取り値の数は次の式によってランク付けされます。

サンプル読取り値の数

ここに、R はランクの値（1〜5）です。例えば、ランクが新しい読取り値が取り込まれたびにそれを一番古い値と入れ替え、更新されたサンプルグループからメディアンを決

定します。

の場合は最近の

= (2 ¥ R) + 1

個の読取り値（（2×4）+1＝9）からメディアンを決定します。

です。

フィルタの設定

それぞれの測定機能ごとに独自のフィルタ設定を持たせることができます。以下に説明するステップに従ってフィルタの設定を行ってください：

測定機能を選択します。

まず

CONFIG AVERAGING: MEDIAN:

種類のフィルタ（デジタルとメディアン）に関連するメニュー構造は次のとおりです：

3. 2 a. AVERAGING

TYPE —

NONE AVERAGING

サイズ）を入力するように要求してきます。

ADVANCED

ズ）を入力するように要求してきます。スタックサイズを入力すると、さらにノイズ許容レベル（0〜％）の入力を要求してきます。

AVERAGING-MODE —

ルタを選択します。

b. MEDIAN

DISABLE — ENABLE —

メニュー項目を使用してフィルタの設定を行います：メニュー項目を選択するには、まずカーソルを目的の項

目に移動（左/右矢印キー）させてから

RANGE

「メニュー」の節をご覧ください。

を押し、続いて

デジタルフィルタの設定とコントロールを行います。

メディアンフィルタの設定とコントロールを行います。

（デジタル）フィルタオプション：

この項目を使用してデジタルフィルタのタイプを選択します：

— デジタルフィルタの機能をオフにします。

— 平均化フィルタを選択し、さらに平均値計算の対象となる読取り値の数（「スタック」

— 高度フィルタを選択し、さらに平均値計算の対象となる読取り値の数（「スタック」サイ

フィルタのオプション：

メディアンフィルタの機能をオフにします。

メディアンフィルタの機能をオンにして、レンジ（1〜5）入力を要求してきます。

キーで値を変更してから

FILTER

このメニュー項目を使用して移動平均（

を押すことにより以下のメニュー項目を表示させます：

）または反復（

ENTER

MOVING

を押します。パラメータ値を変更する場合はカーソルキーと

を押します。メニュー構造内を移動する方法について更に詳しくは

REPEAT

100

）フィ

注フィルタ設定メニューは機能設定メニューからもアクセスが可能です。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

2-14

バッファ（データ保存）

Model 6517A は 1

取り値の数は、何種類のオプションデータ要素を同時に保存するかによって変わります（『ユーザマニュアル』の表

参照）。

2-22

基本データ要素として含まれるのは読取り値、単位、読取り番号、およびステータス（オーバーフロー/アンダーフロー）です。バッファから読み出したデータには、これらの項目に加えて統計情報（最大/最小、平均、標準偏差など）も含まれており、これらの追加情報が

データ要素のオプションとしてはタイムスタンプ、湿度、外部温度、チャンネル番号（スキャニング用）、および電圧源レベルがあります。

個から

15,000

個を超える読み取り値を保存できるバッファを備えています。実際に保存できる読

表示の一部になります（セクション 1「マルチ表示」参照）。

読み取り値の保存

以下に説明する読み込み値の保存手順は、標準的なデータ保存設定を使用しています。この設定ではユーザが定義した数の読取り値がバッファに保存されます（規定数に達したならば停止）。データ保存設定と操作全般の詳細が『ユーザマニュアル』のセクション

希望する測定（機能、レンジ等）に合わせて装置をセットアップします。

次の手順に従ってデータ保存の設定を行います：メニュー項目を選択するには、まずカーソルを目的の項目に

移動（左/右矢印キー）させてからとによりパラメータを変更します。メニュー構造内を移動する方法について更に説明が必要であれば「メニュー」の節をご覧ください。

• 押す CONFIG

• 押す STORE

• 選択 CONTROL

• 選択 FILL-AND-STOP

• 選択 ELEMENTS (y = オン, n = オフ)

• 選択 COUNT

• 選択 ENTER-COUNT (バッファサイズ入力)

に説明されています。

ENTER

を押します。

RANGE

キーで値を変更してから

ENTER

を押すこ

注データ要素

あります。そうでなければ、

• 選択 TIMESTAMP

• 選択 TYPE

• 選択 REAL-TIME

• 選択 FORMAT

• 選択 ABSOLUTE

キーを押してメニュー構造から脱出してください。

EXIT

3. STORE

必要に応じて、カーソルキーとるとバッファサイズが最大値に設定されます。）

4. ENTER

プが点灯します。保存されている読取り値を呼び出すには

キーを使用してください。

TIMESTAMP

を押すと、現在プログラムされているバッファサイズ（保存する読み込み値の数）が表示されます。

を押して読み込み値の保存を開始します。データ保存実行中であることを示すアスタリスク（*）ラン

を使用する設定にしたのであれば、続けてタイムスタンプの設定を行う必要が

EXIT

RANGE

演算

MATH CONFIGURE MATH

多項式：

キーを使用することにより個々の読取り値に対する数学演算を実行してその結果を表示することができます。

メニューにより設定された

Y = (a2)X2 + (a1)X + (a0)

キーを押してメニュー構造から脱出してください。

キーを使用してバッファサイズを変更します。（最上位桁を増加させ

RECALL

を押します。バッファ内をスクロールするには

種類の数学演算機能は次のとおりです：

RANGE

ここに：X は通常表示される指示値、

a2、a1 Y

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

、および

は表示される演算結果です。

はユーザが定義する定数、

2-15

パーセント：

パーセント＝

ここに：「読取り値入力」は通常表示される指示値、

「目標値」はユーザが入力する定数、「パーセント」は表示される計算結果です。

パーセント偏差：

D = ¥ 100

ここに：X は通常表示される指示値、

Y PD

偏差：

偏差

ここに：X は通常表示される指示値、

「偏差」は表示される計算結果です。

読取り値入力

目標値

(X - Y)

はユーザが入力する基準値、

はディスプレイに表示される計算結果（パーセント偏差）です。

(X - Y)

はユーザが入力する基準値、

100

レシオ：

シオ

ここに：X は通常表示される指示値、

はユーザが入力する基準値、

「レシオ」は表示される計算結果です。

Log10

（対数）

log

X = Y

数学演算の選択と設定

数学演算の選択と設定の手順をまとめると次のようになります：

まず

CONFIG

す：

NONE: MATH POLYNOMIAL: PERCENT: % DEV: DEVIATION: RATIO: LOG10:

メニュー項目を選択して演算機能の設定を行います。メニュー項目を選択するには、まずカーソルを目的の項

目に移動（左/右矢印キー）させてから

RANGE

「メニュー」の節をご覧ください。

を押し、続いて

キーを押しても数学演算機能が選択されません。

多項式演算を選択し、多項式係数（a2、a1、a0）を入力します。

パーセント計算を選択して目標値（基準値）を入力します。

パーセント偏差計算を選択します。

偏差計算を選択します。

レシオ計算を選択します。

対数計算を選択します。

キーで値を変更してから

MATH

を押すことにより以下の演算フィルタメニューオプションを表示させま

ENTER

を押します。パラメータ値を変更する場合はカーソルキーと

を押します。メニュー構造内を移動する方法について更に詳しくは

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

2-16

演算機能をオンにする

単に

MATH

して、計算のタイプ（時間だけ表示されます：

キーを押すだけで、選択した数学演算機能がオンになります。機能がオンになると

NONE、POLY、%

MathEnabled

Math Enabled Display = NONE (reading)

Math Enabled Display = POLY (reading)

Math Enabled Display = % (reading)

Math Enabled Display = % DEV (reading)

Math Enabled Display = DEV (reading)

Math Enabled Display = RATIO (reading)

Math Enabled Display = LOG10 (reading)

もう一度

MATH

を押すと演算機能がオフになります。

、または

MATH

）が表示されます。さらに以下のいずれかのメッセージが短

DEV

ランプが点灯

追加演算機能

上に説明したような個々の読み込み値を対象とした演算機能に加えて、います：

・バッファに保存された読み込み値に対する演算（最大/最小値、平均値、標準偏差）。・合否判定試験の一部として個々の読取り値に対して実施される演算。

注

MATH

図

2-6

数学演算を組合せて実行

Raw

Measurement

機能に関する完全な説明については『ユーザマニュアル』のセクション

Math

Polynomial,

Percent, Percent Deviation, Ratio, Logarithmic

MAX, MIN

Value Displayed

Multiple Displays

Model 6517A

テストシーケンス

は次のような演算機能を備えて

をご覧ください。

Model 6517A

試験シーケンスに関する詳細は『ユーザマニュアル』に説明されています。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

自体が内蔵している試験シーケンスの概略を以下に説明します。

2-17

試験シーケンスの選択と設定

試験シーケンスの選択と設定は

まず

CONFIG

カーソルをスメニューの中から項目を選択して試験の選択と設定を行います。メニュー項目を選択するには、まずカーソルを目的の項目に移動（左/右矢印キー）させてからカーソルと

DEV-CHAR -

DIODE:

す。

CAPACITOR: CABLE: RESISTOR:

RESISTIVITY —

SURFACE:

放電時間を指定します。

VOLUME:

放電時間を指定します。

SIR —

間を指定します。

表面絶縁抵抗試験 −

SWEEP — SQUARE-WAVE:

サイクル数を指定します。

STAIRCASE:

す。

3. EXIT

を押して次のメニューを表示します：

を押し、続いて

APPLICATIONS

RANGE

ダイオードの漏れ電流試験 − 初期電圧と最終電圧、およびステップ変化量と遅延時間を指定しま

ケーブルの絶縁抵抗試験 − バイアス電圧とバイアス時間を指定します。

体積抵抗率試験 − 予備放電時間、バイアス電圧、バイアス時間、測定電圧、測定時間、および

キーを使用して値を変更し、最後に

装置の特性試験を選択します：

コンデンサの漏れ電流試験 − バイアス電圧とバイアス時間、および放電時間を指定します。

抵抗の電圧係数試験 − 電圧源

抵抗率試験を選択します：

表面抵抗率試験 − 予備放電時間、バイアス電圧、バイアス時間、測定電圧、測定時間、および

スイープ試験を選択します：

矩形波スイープ試験 − 高レベルの電圧と持続時間、低レベルの電圧と持続時間、および

階段波スイープ試験 − 初期電圧と最終電圧、およびステップ電圧とステップ時間を指定しま

CONFIGURE SEQUENCE

アプリケーションのコントロールカーソルを

させます。希望するコントロールソースの上にカーソルを合わせて

MANUAL — TRIG IMMEDIATE — LID-CLOSURE —

CONTROL

キーを押して試験をスタートさせます。

準備ができ次第直ちに試験がスタートします。

試験治具

GPIB — Model 6517A EXTERNAL — Model 6517A

します。

TRIGLINK — Model 6517A

す。トリガの入力ラインについても選択を要求してきます。

CONFIGURE SEQUENCE

を押すことによりシーケンス設定メニューを表示させます。

SEQ

の上に移動（左/右矢印キーを使用）させて

メニューから以下の手順で行います：

ENTER

の電圧と遅延、および電圧源

試験を選択します。バイアス電圧、バイアス時間、測定電圧、および測定時

SIR

の上へ移動させて

Model 8009

がバストリガ（

がトリガパルス（

ENTER

の蓋が閉じられると試験がスタートします。

*TRG

を押し、試験をスタートさせるコントロールソースを表示

または

）を受信すると試験がスタートします。

GET

EXT TRIG IN

TRIG LINK

ENTER

を押します。パラメータ値を変更する場合は

を押します。

ENTER

コネクタ経由）を受信すると試験がスタート

コネクタ経由）を受信すると試験がスタートしま

を押します。試験シーケン

の電圧と遅延を指定します。

を押します。

接続

警告

図式は電圧源の

SOURCE

に示す接続はあらゆる試験の要件をすべて厳密に満たすものではないことに注意してください。この図の目的はあくまでも一般概念を説明することであり、より具体的な接続図は『ユーザマニュアル』に記載されています。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

に示すように、試験シーケンスは

2-7

メニューの

Model 6517A

状態（

VOLTAGE SOURCE OPERATE

とアンメータ

METER CONNECT

への信号ラインの接続/取り外しを行うときは、事前に必ず電圧源がスタンバイ

ランプ消灯）になっていることを確認してください。

FVMI（Force Voltage Measure Current

とが内部的に接続されることを仮定しています。この接続は

オプションを使用してコントロールします（「電圧源」参照）。図

2-18

）技術を使用します。この接続方

CONFIGURE V-

2-7

図

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

2-7

典型的な

FVMI

接続

6517A

7078-TRX

Cable

Shield

DUT

注: アンメータLOは装置の内部で電圧源



LOに接続されます（「電圧源」参照）



Shield

DUT

6517A

V-Source

INPUT

250V PEAK

PREAMP OUT

250V PEAK

COMMON

V SOURCE

IN OUT

TRIGGER

LINK

LINE RATING

90-134VAC

180-250VAC

50, 60, 400HZ

55VA MAX

IEEE-488

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

LINE FUSE

SLOWBLOW

1/2A, 250V

6517A

Ammeter

試験の実行

試験が選択され、設定と接続が完了したならば、以下の手順に従って試験を実施します：

1. SEQ

2. ENTER

キーを押します。選択されている試験の種類がディスプレイに表示されます。

を押して試験をスタート可能な状態にします。

"SEQ"

メッセージが点滅表示されます。実際に試験がスタートするのは指定したコントロールソースイベントが発生したときです。ただし、コントロールソースとして即時（

Immediate

注試験のスタート準備が整っていれば、どのコントロールソースが選択されていても、

）が選択されている場合は準備が整い次第試験がスタートします。

TRIG

キーを押すこ

とにより試験がスタートします。

試験が完了すると、ディスプレイの

バッファに保存されたデータを読み出すには

は

RANGE

キーを使用します。

"SEQ"

メッセージが消灯して、電圧源はスタンバイ状態に復帰します。

RECALL

キーを用い、バッファ内のデータをスクロールするに

内部スキャニング

Model 6517A

は装置背面のオプションスロットにスキャナカード（

Model 6521、6522

ことができます。このセクションではこのような内蔵チャンネルをスキャンさせるために必要な基本事項を説明します。スキャナカードがまだ未装着である場合は、該当するスキャナカードの取扱い説明書を参照してください。

注スキャニング（内部/外部）の完全な説明については、スキャナカードに添付される取扱い説明書をご覧く

ださい。

など）を装着して使用する

内部スキャンの設定と実行に関するメニューへアクセスできるためには、スキャナカードがオプションスロットに装着されていなければなりません。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

2-19

内部スキャナの設定

以下に説明するステップに従って内部スキャンの設定を行ってください：

1. CONFIG

内部スキャナに関するメニュー項目を表示させるため、

キー使用）以下に説明するメニュー構造にアクセスして内部スキャナの設定を行います。メニュー項目を選択するには、

まずカーソルを目的の項目に移動（左必要である場合はカーソルキーとしくは「メニュー」の節をご覧ください。

CHANNELS —

が表示されるチャンネルはスキャンに含まれており、いことを示しています。チャンネルのステータスを変更するには、そのチャンネルにカーソルを合わせて

RANGE SCAN-MODE —

キャンモードですから、ブレークビフォーメイクスイッチングを必要としない測定にこのモードを使用することができます。

VSRC-LIMIT —

す。± 電圧源設定メニューからも設定が可能です（「電圧源」参照）。

SETTLING-TIME —

す。時間間隔設定後は必ず

4. EXIT

を押し、続いて

ENTER

このメニュー項目を選択すると各チャンネルのステータス（

キーを押してください。作業が終わったならば最後に

このメニュー項目を使用してスキャンモードを設定します。最も高速なのは

このメニュー項目を使用して

リミットはスキャナカードを保護する目的で使用されます。電圧源リミット（0〜±

200V

キーを押してメニュー構造から脱出してください。

CARD

を押します。

このメニュー項目を使用して各チャンネルの整定時間（0〜

を押してスキャニングオプション（内部/外部）を表示させます。

INTERNAL

右矢印キー）させてから

RANGE

キーを使用します。メニュー構造内を移動する方法について更に詳

OFF

ENTER

が表示されるチャンネルはスキャンに含まれていな

ENTER

電圧源リミットのオン（

ENTER

200V

を押してください。

の上にカーソルを合わせて（左/右矢印

を押します。パラメータ値の変更が

ON/OFF

を押します。

）が表示されます。

VOLTAGE

YES）/

オフ（NO）を切換えま

1000V

999.999

秒）を設定しま

）は

ス

スキャンの実行

内部チャンネルをスキャンするには以下の手順を実行します。メニュー項目を選択するには、まずカーソルを目的の項目の上に合わせ（左/右矢印キー使用）、

RANGE

合は「メニュー」の節をご覧ください。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

キーで値を変更してから

希望する測定に合わせて

2. CARD

3. PERFORM-SCAN

4. INTERNAL

します。必要に応じてスキャンカウントを変更し、

次に、スキャンとスキャンの間の時間を決定するために、スキャンタイマーを使用するか否かをきいて来ま

す。

a. Yes —

b. No —

次に、読み込み値をバッファに保存するか否かをきいてきます。

7. a. Yes —

b. No —

を押して内部スキャナのオプションを表示させます（チャンネルのクローズ、スキャン実行など）。

を選択してスキャンのタイプ（内部/外部）を表示させます。

を選択してスキャンカウントを表示させます。スキャンカウントはスキャンを反復する回数を表

タイマーを使用するのであれば

表示されます。必要に応じて時間間隔を変更してください。

タイマーを使用しないのであれば

バッファを使用するのであれば

を表す数字が表示されます。

バッファを使用しないのであれば

8. "Press ENTER to begin"

します。スキャン終了後は以下のオプションを使用できます：

9. a. RECALL DATA —

す。バッファ内のデータ位置をスクロールするには

b. SCAN AGAIN —

させるには

c. EXIT —

RECALL

ENTER

通常の測定モードに復帰するには

キーを押すことによって保存された読取り値を表示させることができます。

ENTER

Model 6517A

メッセージが表示されますから、この状態で

バッファに保存されている読取り値を読み出したいときは

スキャン（複数可）を反復するには

を押します。

ENTER

を押します。メニュー構造内での操作について更に詳しい情報が必要な場

ENTER

を押します。パラメータ値を変更するには、カーソルキーと

をセットアップします（機能、レンジ、フィルタなど）。

ENTER

YES

を押して次のステップへ進みます。

を押してください。

を選択してください。現在設定されている時間間隔（秒）が

ENTER

を選択してください。

を選択してください。バッファに保存される読み込み値の数

を選択してください。

を押して次のステップへ進みます。

ENTER

を押すとスキャンがスタート

RECALL DATA

RANGE

を押してください。通常の測定モードであっても、

EXIT

2-20

キーを使用してください。

SCAN AGAIN

を選択します。スキャンをスタート

を選択しま

チャンネルのオープン/クローズ

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

7001 or 7002 Switch System

6517A Multimeter

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

内部スキャナカードのチャンネルをオープン/クローズするには以下の手順を実行します：

1. CARD

キーを押して内部スキャナのオプションを表示させます（チャンネルのクローズ、スキャン実行な

ど）。カーソルを

チャンネルのクローズに関連して使用できるオプションは次のとおりです：

3. a. CLOSE CHANNEL —

ENTER

CHANNEL-CLOSURES

チャンネルをクローズするには、カーソルを

を押します。

RANGE

の上に移動（左/右矢印キーを使用）させて

ENTER

CLOSE-CHANNEL

キーを使用してクローズしたいチャンネルを表示させてから

てください。クローズされたチャンネル番号が読取り値と共に表示されます。

b. OPEN CHANNELS —

CHANNELS

の上に合わせて

スキャナカードの全部のチャンネルをオープンするには、カーソルを

ENTER

を押してください。

外部スキャニング

を押します。

の上に合わせて

ENTER

OPEN-ALL-

を押し

外部のスキャニングメインフレーム（

Model 7158 Model 6517A

低電流マルチプレクサカード）を装着し、これを使用して

は外部トリガを使用して、各スキャンチャンネルの測定とデータ保存を行います。

Model 706、7001、7002

スイッチシステム）にスキャナカード（例えば

Model 6517A

で測定することも可能です。

注スキャニング（内部と外部）に関する完全な説明については『ユーザマニュアル』のセクション

びスイッチシステムやスキャナカードの取扱い説明書をご覧ください。

以下に説明する手順は

Model 6517A が BENCH

照）に合わせてリセットされており、

Model 7001/7002 が RESET

デフォルト条件（セクション 2「ベンチデフォルト」参

デフォルト条件に設定されていると仮

定しています。

トリガ接続

トリガリンク（

Trigger Link

ます。標準的な外部トリガを使用する場合は図は『ユーザマニュアル』のセクション

図

2-8

トリガリンクを使用するトリガ接続

MADE IN USA

OUT

）を使用するシステムでは、図

をご覧ください。

PREAMP OUT

250V PEAK

INPUT

250V PEAK

に従って

2-8

に従って装置を接続します。トリガをかける方法について詳しく

2-9

LO HI

IN OUT

COMMON

V SOURCE

INTERLOCK

LINE RATING

90-134VAC

SLOWBLOW

180-250VAC 50, 60, 400HZ

55VA MAX

IEEE-488

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

OUT

Model 6517A

LINE FUSE

1/2A, 250V

をスイッチシステムへ接続し

、およ

Trigger

Link

Trigger Link Cable (8501)

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

Trigger

Link

2-21

図

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

CAUTION:

FOR CONTINUED PROTECTION AGAINST FIRE HAZARD,REPLACE FUSE WITH SAME TYPE AND RATING.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

WARNING:

NO INTERNAL OPERATOR SERVICABLE PARTS,SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY.

External

2-9

標準外部トリガを使用するトリガ接続

7001 or 7002 Switch System

MADE IN USA

Channel

Ready

7051-2

External

Trigger Input

6517A Multimeter

COMMON

PREAMP OUT

250V PEAK

INPUT

250V PEAK

LO HI

V SOURCE

INTERLOCK

LINE RATING

90-134VAC

180-250VAC

50, 60, 400HZ

55VA MAX

IEEE-488

(CHANGE IEEE ADDRESS

WITH FRONT PANEL MENU)

OUT

Meter

Complete

Output

LINE FUSE

SLOWBLOW

1/2A, 250V

BNC to BNC

Cables (2)

外部チャンネルの設定

スキャナ設定メニューを使用してスキャンのチャンネル数（外部入力）を指定します。スキャナカードが

Trigger

6517A

のオプションスロットに装着されている場合は手順

てください。手順

スキャナが

A —

まず

CONFIG

カーソルをスキャンで使用する外部入力（チャンネル）の数をきいてきますから、カーソルキーと

）を変更してください。

400

4. EXT

Model 6517A

を押し、続いて

EXTERNAL

のオプションスロットに取り付けられている場合。

CARD

を押すことによりスキャナ設定メニューを表示させます。

の上に移動（左/右矢印キーを使用）させて

ENTER

を押して次へ進みます。

を押して通常の測定表示に戻ります。

を、オプションスロットが空の場合は手順

ENTER

を押します。

RANGE

Model

を使用し

キーで数(1〜

手順

B — Model 6517A

まず

CONFIG

スキャンで使用する外部入力（チャンネル）の数をきいてきますから、カーソルキー（左/右矢印キー）と

RANGE

3. ENTER

キーで数（1〜

を押して通常の測定表示に戻ります。

のオプションスロットが空の場合。

を押し、続いて

）を変更してください。

400

CARD

を押すことによりスキャナ設定メニューを表示させます。

スキャンの実行

外部チャンネルをスキャンするには以下の手順を実行します。メニュー項目を選択するには、まずカーソルを目的の項目の上に合わせ（左/右矢印キー使用）、

ENTER

を押して確定させてください。

1. Model 6517A — CARD

ている場合はステップ

a. PERFORM-SCAN

a と b

の上にカーソルを合わせて

キーを押します。

ENTER

を実行し、オプションスロットが空の場合はステップ

表示させます。カーソルを

スイッチシステム

EXTERNAL

— Model 7001/2

の上に合わせて

さい：

• 押す MENU

• 選択 SAVESETUP

• 選択 RESET

• 選択 ENTER

キーを押してメニュー構造から脱出してください。

EXIT

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

を押します。パラメータの値は

Model 6517A

ENTER

のオプションスロットにスキャナカードが実装され

を押すことにより、スキャンタイプ（内部/外部）を

を押します。

RANGE

キーを用いて変更し、

へ進んでください。

がまだリセットされていない場合は、次の手順に従ってリセットしてくだ

2-22

3. Model 6517A — ENTER COUNT to infinite"

スイッチシステム

押す

•

選択

•

選択

•

選択

•

選択

•

注：チャンネルカウントとして無限（

さい。

。

—

SCAN SELECT-CONTROL NUMBER-OF-CHANS CHAN-COUNT INFINITE

5. Model 6517A — ENTER

を選択します。トリガリンク（トリガを使用するのであれば

"CONFIG EXT SCANNER"

スイッチシステム

ばよいかを示すメッセージが

選択

•

選択

•

キーを押してメニュー構造から脱出してください。

EXIT

—

CHANNEL-SPACING TRIGLINK or EXTERNAL

7. Model 6517A — ENTER

プトが表示されます。スイッチシステム

—

9. Model 6517A — ENTER

表示させます。スイッチシステム

10.

— STEP

11. Model 6517A — ENTER

定回数を決定するのはスキャンカウントです。スキャンカウントを変更するには、カーソルキー（左/右矢印キー）と

RANGE

12. Model 6517A —

のスキャンまでの時間間隔を与えるものです。

13. Model 6517A —

と、バッファに保存される読取り値の総数を示すメッセージが表示されます。へ進みます。

キー（上/下矢印キー）を使用します。

スキャンタイマーを使用するか否かをきいてきます。このタイマーは

次に、読み込み値をバッファに保存するか否かをきいてきます。ここで

14. Model 6517A — "Press ENTER to begin"

キャンプロセスがスタートします。スキャンの完了後は、値の読み出しまたはスキャンの反復を行うためのオプションが表示されます。

15.

・

RECALL-DATA —

にはカーソルキーと択画面に戻ります。

・

SCAN-AGAIN —

・

EXIT —

スキャンを終了したいときに、このオプションを選択します。

を押して次のメッセージを表示させます、

次の手順に従ってチャンネルカウントを無限（

INFINITE

を押して

"SELECT TRIG SOURCE"

Trigger Link

EXTERNAL

メッセージが次に表示されます。

次の手順に従ってチャンネル間隔を設定してください。どの間隔オプションを選択すれ

Model 6517A

を押します。スイッチシステムのスキャンリストを定義するように要求するプロン

スキャンリストを定義します。

を押して

を押して現在プログラムされているスキャンカウントを表示させます。実行する測

"CONFIG EXT SCANNER; STEP scanner to first channel"

を押してスキャンの最初のチャンネルをクローズします。

）を選択した場合は、メニュー構造から抜け出さないでくだ

）を使用するのであれば

を選択します。スイッチシステムのチャンネル間隔設定を促す

に表示されます。

ENTER

を選択した場合は、時間間隔（秒）を入力してください。

YES

メッセージが表示されますから、この状態で

読取り値を呼び出すときにこのオプションを選択します。バッファ内をスクロールする

RANGE

スキャンを反復したいときに、このオプションを選択します。

キーを使用します。作業終了後は

"CONFIG EXT SCANNER; Set CHAN

INFINITE

メッセージを表示させ、適切なトリガ発生源

TRIGLINK

を押して次のステップへ進みます。

ENTER

）に設定します：

を選択します。標準的な外部

メッセージを

回のスキャンから次

を選択する

YES

ENTER

を押して、スキャン後オプション選

を押して次のステップ

ENTER

を押すとス

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide

2-23

リモート操作

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-1

概要

Model 6517A は IEEE-488

らのインターフェイスでも共通コマンドと

IEEE-488

の代わりに装置依存性のある

Model 6517A

り、

DDC

で操作する場合は

をあたかも

Model 617

一覧が『ユーザマニュアル』の付録

用に作成したプログラムを一切コードの修正なしに

または

Model 617

RS-232

言語モードの選択が可能となり、このモードでは共通コマンドや

DDC

DDC（Device Dependent Command

インターフェイスを使用してリモート操作を行うことができます。どち

コマンドを使用できます。

SCPI

）を使用します。

エレクトロメータそのものであるように差し換えて使用することが可能とな

に適用できます。

に記載されています。

Model 6517A

モードを使用すると、

DDC

コマンド

Model 6517A

ソフトウェアサポート

Model 6517A

TestPoint

製品に添付されるディスクにはプションスキャナカードを使用するアプリケーション、他方は複雑な対話操作を行うアプリケーションです。対話操作アプリケーションは多くの機能を持ち、例えば機能とレンジ選択、測定実行、読み取値のバッファへの保存、結果のグラフ化、さらにデータをアプリケーションはフェイスカードを必要とします。

Model 6517A 用 TestPoint

任意にカスタマイズすることができます。

には以下のソフトウェアツールが標準で添付されます：

アプリケーションソフトウェア

Microsoft Excel

Windows 3.0

ライブラリが標準で付属しますから、

種類の

TestPoint

以降を実行するどの

ランタイムアプリケーションが収められています。その一方はオ

ファイルへエキスポートなどの操作が可能です。これらのランタイム

にも適合しますが、

TestPoint

Keithley KPC-488

を使用してこれらのアプリケーションを

シリーズインター

用

デモ/スタートアッププログラム

TestPoint

例が

LabView

ご請求により無償で提供されるこのドライバを使用することにより、からへお問い合わせください。

IEEE-488

リモート操作の方法として、信を行うことができます。す。

Model 6517A は IEEE-488-1978 と IEEE-488.1-1987 SCPI 1994（Standard Commands for Programmable Instruments

格により、装置の殆どの動作を

ディスクには、ユーザに

本収められています。

ドライバ

Model 6517A

を操作することができます。詳しくは

バス規格

SCPI

Model 6517A は IEEE-488

IEEE-488

コマンドに馴染んでいただくことを目的とした、

社アプリケーショングループ（

バスは

コマンドと

Keithley

バスを使用して装置とコントローラ（コンピュータ）間の通

GPIB（General Purpose Interface Bus

規格に準拠しているばかりでなく、

SCPI

コマンドを使用して実行することができます。

QuickBASIC

National Instruments

）規格にも準拠しています。これら

社の

LabView

03-5733-7555

）という名前でも知られていま

IEEE-488.2-1987

プログラム

パッケージ

と

種類の規

）

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-2

RS-232

Instrument

Instrument Instrument

リモート操作の方法として、タ）間の通信を行うことができます。す。このシリアルポートの電気的、機械的特性は

規格

Model 6517A は RS-232

コマンドを除くすべてのコマンドはシリアルポート経由で使用が可能で

DDC

シリアルポートを使用して装置とコントローラ（コンピュー

RS-232-C

規格に従っています。

IEEE-488

Model 6517A

ニットから構成される試験システムの典型的接続方式を図ネクタが積み重ね接続できる構造になっていることに注意してください。

電磁放射による干渉をできるだけ小さくするため、必ずシールド付きの

、

7007-1

図

3-1

IEEE-488

7007-2

接続

RS-232

Model 6517A の RS-232

（ヌルモデム不可）でコンピュータに接続します。シリアルポートはラベルを付けて配置してあります。

使用するコンピュータのが続でなければならず、ヌルモデムは使用できません。

コネクタを備えたケーブルを使用するか、または変換コネクタが必要になります。この場合もストレート接

DB-9

バス接続

は終端に標準

）を使用してください。

IEEE-488

Controller

接続

シリアルポートは、

RS-232

インターフェイスが、

コネクタを装着したケーブルで

に示します。複数の装置を並列接続できるように、コ

3-1

コネクタで終端処理をした標準のストレート

DB-9

DB-25

コネクタを使用している場合は片側が

IEEE-488

Model 6517A

バスに接続されます。複数のユ

ケーブル（例：

の背面パネルに

Keithley Models

RS-232

ケーブル

"RS232"

DB-25

、他方

という

IEEE-488

インターフェイス、アドレス、

および言語の選択

Model 6517A は IEEE-488

択されています。インターフェイスとして示されます。

IEEE-488

クまたは変更してください。

1. MENU

注インターフェイスとしてそれまで

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-3

IEEE-488

バスインターフェイスを選択するには次の手順を実行します。同時に一次アドレスと言語モードをチェッ

を押して

カーソルをフェイスのオプション（

カーソルをす。

MAIN MENU

を続けてください。

一次アドレスのチェック/変更を行いたい場合は以下のステップを実行してください：

カーソルを

（

COMMUNICATION

GPIB

ADDRESSABLE

ADDRESS、LANGUAGE

バスが選択された状態で工場を出荷され、一次アドレスは

IEEE-488

バスは

GPIB（General Purpose Interface Bus

MAIN MENU

の上に合わせて

から脱出します。その場合はステップ

を表示させます。

の上に移動（上/下矢印キーを使用）させて

GPIB、RS-232

ENTER

RS-232

の上に合わせて

）を表示させます。

バスが選択されている装置では電源投入時に一次アドレスが表

）が表示されます。

を押すことにより、

が選択されていた場合は、

ENTER

、言語モードは

）という名前でも知られています。

ENTER

IEEE-488

1 から 3

を押すことにより、アドレッサブルメニュー項目

までを再実行してから以後のメニュー操作

バスインターフェイスを選択しま

GPIB

を押します。インター

を選択することによって一旦

SCPI

が選

カーソルを

アドレスを変更するには、まずカーソルキーと

から

注バスに接続されたデバイスはそれぞれが一意のアドレスを持たなければなりません。標準的にはコン

ピュータは

言語モードのチェック/変更を行いたい場合は以下のステップを実行してください：

カーソルを

示させます。カーソルのある位置が現在選択されている言語モードを示します。希望する言語モードの上にカーソルを合わせて

注言語モードを変更すると自動的に

EXIT

ADDRESS

ENTER

を押します。

または

LANGUAGE

キーを押してメニュー構造から脱出してください。

の上に合わせて

ENTER

RANGE

というアドレスを使用します。

の上に合わせて

ENTER

MAIN MENU

を押すことにより、一次アドレスを表示させます。

キーを使用して希望するアドレス値を表示させて

を押すことにより、言語オプション（

を押します。

から脱出します。言語モードを変更しなかった場合は

SCPI、DDC

）を表

RS-232

Model 6517A の RS-232

す：

注

1. MENU

カーソルを

フェイスのオプション（カーソルを

注インターフェイスとしてそれまで

ボーレートのチェック/変更を行いたい場合は、以下のステップを実行してください：

カーソルを

ソルのある位置が現在のボーレートを示しています。現在の設定をそのまま使用するのであればたは

ボーレートを変更するのであれば、希望する設定の上にカーソルを合わせて

データビット数のチェック/変更を行いたい場合は、以下のステップを実行してください：

カーソルを

を表示させます。カーソルのある位置が現在選択されている設定を示します。現在の設定をそのまま使用するのであれば

データビット数を変更したい場合は、希望する選択項目にカーソルを合わせて

パリティのチェック/変更を行いたい場合は、以下のステップを実行してください：

カーソルを

EVEN

ま使用するのであればパリティを変更するのであれば、希望する選択肢の上にカーソルを合わせて

ストップビット数のチェック/変更を行いたい場合は、以下のステップを実行してください：

カーソルを

用するのであればストップビット数を変更したい場合は、希望する選択項目にカーソルを合わせて

8. EXIT

インターフェイスの選択と設定

インターフェイス設定を選択、チェックまたは変更するには以下のステップを実行しま

Model 6517A

ピュータ側で使用する通信パッケージの設定と適合していなければなりません。

を押して

COMMUNICATION

RS-232

MAIN MENU

作を続けてください。

EXIT

）を表示させます。カーソルのある位置が現在選択されている設定を示します。現在の設定をそのま

）を表示させます。カーソルのある位置が現在選択されている設定を示します。現在の設定をそのまま使

キーを押してメニュー構造から脱出してください。

側の

RS-232

MAIN MENU

GPIB、RS-232

の上に合わせて

から脱出します。その場合はステップ

BAUD

を押します。

BITS

の上に合わせて

ENTER

PARITY

STOP

の上に合わせて

ENTER

設定（ボーレート、データビット、パリティ、ストップビット）は、コン

を表示させます。

の上に移動（上/下矢印キーを使用）させて

または

ENTER

EXIT

または

）が表示されます。

ENTER

GPIB

ENTER

を押します。

ENTER

EXIT

を押すことにより、

が選択されていた場合は、

を押すことにより使用可能なボーレートを表示させます。カー

を押すことにより、使用可能なデータビット数（7、または 8）

ENTER

EXIT

を押すことによりパリティオプション（

を押します。

を押すことにより、使用可能なストップビット数（1、または

を押します。

から

ENTER

RS-232

インターフェイスを選択します。

RS-232

までを再実行してから、以後のメニュー操

を押します。インター

を選択することによって一旦

ENTER

を押します。

NONE、ODD

ENTER

を押します。

ENTER

を押します。

ま

、

共通コマンド

共通コマンドはバスに接続されているすべての共通コマンドの機能を要約して以下に説明します。コマンドの完全な説明については『ユーザマニュアル』のセクション

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-4

をご覧ください。

IEEE-488

デバイスに機能するコマンドです。最も頻繁に使用される

*CLS （ステータスクリア）

すべてのイベントレジスタとエラーキューをクリアします。イベントレジスタのクリア後、このレジスタのビットがセットされるのをモニターすることによって、イベント（バッファがいっぱいになった等）の発生を知ることができます。

*RCL <NRf> （呼び戻し）

指定したメモリ位置に保存されている装置セットアップ情報を呼び戻します。例：メモリ位置セットアップを呼び戻すには *RCL 0を送信します。

に保管されている

*RST （リセット）

装置を

*RST

デフォルト状態に戻し、装置をアイドリング状態に入れます（

ランプ消灯）。

ARM

*SAV <NRf> （保存）

現在の装置セットアップをメモリの指定位置（には*SAV 0を送信します。

）に保存します。例：メモリ位置

0〜9

にセットアップを保存する

*TRG （トリガ）

トリガモードのコントロールソースとしてト検出が行われます。例えば、装置の動作が測定（トリガ）レイヤコントロールソースで待ち状態にあり、かつ装置がなわち測定）が行われます。

イベントにプログラムされているときに

BUS

が指定されているときに、このコマンドをバスに送出するとイベン

BUS

*TRG

を送信すると、イベント条件が満足されてデバイス動作（す

*WAI （継続待ち）

この遅延コマンドを使用すると、*TRG または他の起動コマンド（:INIT または :INIT:CONT ON）の受信を待ってから次の処理の実行へ移行します。INITiate コマンドは、装置動作がアイドリング状態に復帰するまではコマンド完了と見なされません。

SCPI

Model 6517A

らにコントロールポイントもより多く提供されているため、他の装置と同様の動作をさせるために必要なコマンド数も多くなることがあります。この状況を調和させるため、装置は

Instruments

以下の

SCPI

コマンド

では、他の装置では一般に隠されているコントロール設定にもユーザのアクセスが許されています。さ

SCPI（Standard Commands for Programmable

）コマンドセットを組み込んでいます。

SCPI

・

・一般的に使用されるタスクの簡単なプログラム例を提示する。・プログラム例が使用する

コマンドの入門的説明は

コマンド構文を説明する。装置へ送信するデータ量を減らすのに有効な短縮形式とデフォルトノード

SCPI

の説明を含みます。

SCPI

うにする。

とおりの目的を持っています：

コマンドの機能を説明して、ユーザが自分のニーズに合わせて変更できるよ

コマンドの構文

ツリー構造

コマンドの構成は、コンピュータオペレーティングシステムのディレクトリ構造に似たツリー構造をとってい

SCPI

ます。サブディレクトリに相当する構造をサブシステムと呼びます。その例として、以下に列記し、同じものを図

[SENSe[1]]

:DATA? :FUNCtion <name> :VOLTage [:DC]

:RANGE [:UPPer] <n> :AUTO <Boolean> | ONCE :REFerence <n> :STATe <Boolean> :ACQuire

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-5

に示します。

3-2

SENSe1

サブシステムの一部を

図

3-2

SENSe1

コマンド例の階層構造

SENSe1

:DATA? :FUNCtion :VOLTage

[:DC]

:RANGe

コマンドを説明する

SCPI

網羅したものではありません。完全なコマンドはコンポーネントを接合することによって得られます。例えば、例に示した

:STATe

SENSe1:VOLTage[:DC]:REFerence:STATe

角カッコはコマンドの一部ではなく、コマンドの省略可能な部分を示すことに注意してください。構成がこのように階層化されているため、同じコマンドを何回も使用することが可能になります。例えば、多くのサ

ブシステムが :STATe コマンドを含んでいますが、完全なコマンドは一意的に表現されますからそれぞれのコマンドも一意的に定まります。この関係は、コンピュータハードディスク内の例えばファイルが複数のディレクトリに存在できることと似ています。ファイル名が同じであっても、ディレクトリが異なることから個々のファイルが一意的に定まります。

コマンドの完全な形は次のようになります：

つの方法としてコマンド要約テーブルを使用しますが、このテーブルはコマンド名を完全に

:REFerence

:ACQuire[:UPPer] :AUTO :STATe

:STATe

INDEX.TXT

という名前の

長形式と短形式コマンド

すべてのを大文字で表記し、長形式を作るための残りの部分を小文字で表記します。コマンド名を長形式と短形式の中間の形式で表現することはできません。すなわち、正確な長形式または短形式でコマンドを送信する必要があります。ただし、大文字と小文字を上の説明のように使い分ける必要はなく、成されたコマンドを問題なく受け付けます。例えば、次の3通りの方法で表現したSENSe1:VOLTage[:DC]:REFerence コマンドはいずれも有効です：

sense1:voltage[:dc]:reference:state sens1:volt[:dc]:ref:stat SENS1:volt[:DC]:rEFErENCe:STat

SCPI

コマンドは短形式を持っており、さらにその殆どは長形式も持っています。説明資料の中では短形式

Model 6517A

は大文字と小文字の任意の組合せで構

クエリー（問い合わせ）コマンド

少数の例外はありますが、すべてのントロールポイントを設定したとすれば、クエリーを用いて現在のコントロールポイント設定を確認することができます。クエリーは単にコマンド名の末尾にトを設定するというよりもアクションを指定しますから、そのようなコマンドはクエリー形式を持ちません。例えば、

SENSe1:VOLTage[:DC]:REFerence:ACQuire

は設定コマンドではなくアクションコマンドですからクエリー形式を持ちません。対応するコマンドを持たないクエリーも存在します。例えば、

に要求します。勿論、これに対応して読取り値を装置に送信させるようなコマンドは存在しません。

コマンドには対応する問い合わせ形式があります。あるコマンドが装置にコ

SCPI

を付加して作られます。ただし、幾つかのコマンドはコントロールポイン

"?"

SENSe1:DATA?

は最後の読取り値を返すように装置

デフォルトノード

はデフォルトノードという概念を使用します。前に示した図

SCPI

示した内容は装置に送信する際に必要ではありませんが、それを送信したとしても装置はそれを問題なく受け取ります。測定レンジを設定する :UPPer コマンドを例に考えてみると、る以下のコマンドはいずれも同様に機能します。

SENSe1:VOLTage[:DC]:RANGe:UPPer 15 SENSe:VOLTage[:DC]:RANGe:UPPer 15

SENSe1:VOLTage[:DC]:RANGe 15 VOLTage[:DC]:RANGe:UPPer 15 VOLTage[:DC]:RANGe 15

これらのコマンドは長形式で表記されていますが、短形式も同様に使用することができます。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-6

のコマンド例を考えてみます。角カッコ内に

3-2

Model 6517A

の測定レンジを

15VDC

に設定す

コマンド構文

前節で示した例はいずれもコマンドの先頭にコロンが付いていないことに注意してください。コマンドの先頭にコロンがあると、新しくコマンドを送信するたびに（勿論、コロンを付けて送信しても装置は問題なく受け取ります）。

つのメッセージ内に複数のコマンドを含めて送信することも可能です。その場合にはセミコロンでコマンドを区

切ってください。りは、そのコマンドが直前のコマンドのレベルから始まるものと解釈します。例えば、次のも

Model 6517A を 20V

volt[:dc]:rang 20;ref 5;ref:stat on volt]:dc]:rang 20;:volt[:dc]:ref 5;:volt[:dc]:ref:stat on

Model 6517A

それが次の意味を持つと解釈します。

・文字列の最初のコマンドには属さない。・コマンド先頭にコロンが付かない。・先行するコマンドのレベルは VOLTage[:DC] であった。

従って、装置はこのコマンドがあたかも VOLTage[:DC] レベルにあるものとして解釈します。

Model 6517A

はこの

はそのコマンドがコマンドツリーのルート（最高レベル）から始まるものと解釈します。

Model 6517A

がセミコロンに続くコマンドに遭遇すると、コマンドの先頭にコロンを付加しない限

レンジにプログラムし、

つの完全に同等なコマンドとして取扱います。最初の文字列で

はルートからスタートしますから、先頭のコロンは必要ありません

つのコマンドはいずれ

を相対値（

REFerence

コマンドとともに）として使用します。

";ref 5"

に遭遇すると、装置は

SCPI

信号指向コマンドは、高レベル命令で測定プロセスをコントロールして、読取り値を取り込むために使用するコマンドです。最も頻繁に使用されるコマンドとして:FETCh? と :MEASure? があります。

すべての信号指向コマンドの詳細は『ユーザマニュアル』のセクション

信号指向コマンド

で説明されています。

:FETCh?

このクエリーコマンドは読み込み処理を終わった最新の値を要求するときに使用します。このコマンドの送信後に

Model 6517A

にトリガをかける訳ではなく、単に取り出し可能な最近の値を要求するだけです。

をトーカとしてアドレッシングすると、読み取り値がコンピュータへ送られます。このコマンドは測定

:MEASure[:<function>]?

一般的に、このコマンドは装置をワンショット測定モードに入れ（して:FETCh? を実行します。

このコマンドに測定機能を含めることにより、装置はまず指定した測定機能へ移行してから、ワンショット測定とクエリーを実行します。

:MEASure? 現在選択されている機能 :MEASure:VOLTage[:DC]? 電圧測定機能 :MEASure:CURRent[:DC]? 電流測定機能 :MEASure:RESistance? 抵抗測定機能 :MEASure:CHARge? 電荷測定機能

ランプ消灯）、単発測定トリガをかけ、そ

ARM

SCPI

すべてのに使用されるコマンドだけを選択してその要点を説明します。

サブシステムコマンド

SCPI

コマンドの詳細については『ユーザマニュアル』をご覧ください。このセクションでは基本的な操作

デフォルト

SYSTem SYSTem サブシステム

:PREset

ます：電圧、連続トリガ、標準速度（

:POSetup <name> 起動時に選択するセットアップを選択:RST、PRESetまたは SAV0〜SAV9。装置は電源投入

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-7

6517A

とともに *RST または現在のシステムデフォルト、または *SAV0〜*SAV9 セットアップのいずれかで立ち上がります。

をシステムの現在のデフォルトに設定します。選択されるデフォルトは以下の内容を含み

1.0 PLC

）、および自動レンジ。

新しい読取り値

[:SENSe[1]] SENSe サブシステム :DATA:FRESh? 新たな読取り値を要求します。このコマンドが同じ読み込み値を

ありません。新しい読み込みにすでにトリガがかかっているのであれば、このコマンドは新しい読み込み値が取り出し可能になるのを待ちます。

:CALCulate[1] CALCulate サブシステム

:DATA:FRESh? 新たな計算処理後の読取り値を要求します。

sens:data:fres? は計算前の読み取り値であり、calc:data:fres? は計算後の読み取り値です。

CALC1

がオフである場合、両方の読取り値は同じになります。

CALC1

がオンになっているのであれば、

機能設定

[:SENSe[1]] SENSe サブシステム

:FUNCtion <name> 測定機能の選択：

<name> ='VOLTage[:DC]' 電圧測定機能

'CURRent[:DC] ' 電流測定機能 'RESistance' 抵抗測定機能 'CHARge ' 電荷測定機能

:VOLTage[:DC] 電圧測定設定パス：

:NPLC <n> 速度設定： 0.01 〜10 PLC.

:AUTO 自動

:RANGe 測定レンジ設定パス：

[:UPPer] <n> 予想される読取り値を指定してレンジを選択 :AUTO <n> 自動レンジのオン/オフ

:REFerence <n> 基準値（

:STATe 基準値（ :ACQuire 入力信号を基準（

:DIGits <n> 測定分解能を指定

:AUTO 自動分解能選択のオン/オフ

AVERage デジタルフィルタコントロール用パス：

:TYPE <name> フィルタ選択（ :TCONtrol <name> 平均値計算方法の選択（ :COUNt <n> フィルタカウントを指定（1〜 :ADVanced 高度フィルタを設定するパス：

:NTOLerance <n> ノイズ許容範囲を指定（0〜

[:STATe] デジタルフィルタのオン/オフ

:MEDian メディアンフィルタコントロール用パス：

:RANK < n> フィルタのランクを指定（1〜5） [:STATe] メディアンフィルタのオン/オフ

:GUARd ガードのオン/オフ

NPLC

）を指定：

Rel

のオン/オフ

-210〜+210

）使用のオン/オフ

）として使用

Rel

NONE、SCALar

REPeat

、または

または

）

100

100%

ADVanced

MOVing

）

回要求することは

）

:CURRent:DC 電流測定設定用パス：

電圧測定コマンド

(

:DAMPing ダンピングのオン/オフ

:RESistance 抵抗測定設定用パス：

（電圧測定コマンド）電圧測定コマンド（

[:AUTO] 自動電圧源抵抗設定用パス：

:RANGe 測定レンジ設定用パス：

[:UPPer] <n> レンジの選択（0〜

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-8

)

電圧測定コマンド（

GUARD

100e18

を除く）を適用

）

:AUTO 自動レンジのオン/オフ

:MANual 自動電圧源抵抗設定用パス：

:CRANge 測定レンジ設定用パス：

[:UPPer] <n> レンジの選択（0〜

AUTO 自動レンジのオン/オフ

:VSOurce 電圧源設定用パス：

[:AMPLitude] <n> 電圧源レベルを指定（ :RANGe <n> レンジ設定：

:OPERate 電圧源出力のオン/オフ :IREFerence 電流基準値のオン :DAMPing ダンピングのオン :VSControl <name> 抵抗電圧源のモード選択（ :MSELect <name> 抵抗測定のタイプ選択（ :RESistivity 抵抗率測定設定用パス：

:STHickness <NRf> 体積抵抗率 − サンプルの厚さを指定、 :FSELect <name> 試験用治具の選択（ :M8009 試験治具への問い合わせパス：

:RSWitch? スイッチ設定の問い合わせ（

:USER 試験治具の設定パス

:RSELect <name> 試験タイプの選択（

:KSURface <NRf> 表面抵抗率 −

:KVOLume <NRf> 体積抵抗率 −

100e18

≤100 = 100V

オフ

M8009

Ks Kv

）

0〜1000

MANual

NORMal

SURFace

を指定：

）

レンジ、

または

>100 = 1000V

AUTO

RESistivity

0.0001〜99.9999 (mm)

または

USER

SURFace

または

VOLume

0.001〜999.999

）

または

）

VOLume

）

レンジ

）

:CHARge 電荷測定設定用パス：

（電圧測定コマンド）電圧測定コマンド（

:ADIScharge 自動放電コントロール用パス

:LEVel <NRf> レベル設定（ [:STATe] 自動放電のオン/オフ

電圧源

SOURce SOURce サブシステム

:VOLTage <n> 電圧源レベルを指定（0〜±

:RANGe <n> レンジ選択： :LIMit 電圧リミット設定パス：

[:AMPLitude] <n> 電圧リミットを指定：0〜

:STATe リミットのオン/オフ :MCONnect 電圧源

:CURRent 電流リミット設定パス：

:RLIMit 抵抗電流リミットのコントロール用パス：

:STATe

:LIMit 電流コンプライアンスのチェック用パス：

[STATe]? 電流コンプライアンスの状態問い合わせ

データ保存（バッファ）

:TRACe TRACe サブシステム

:ELEMents <name> 読み込むデータ要素を選択：

:POINts <n> バッファサイズを指定 :FEED バッファをコントロールするパス：

:CONTrol <name> コントロールモードを選択してバッファの機能をオンにする：

:DATA? バッファ内の全読み取り値を読み込みます

GUARD

-2.2e6〜2.2e6

を除く）を適用

）

1000V

≤100 = 100V

レンジ、

1000（V

抵抗

とアンメータ

リミットのオン/オフ

間の接続をオン/オフ

TSTamp、HUMidity、CHANnel

ETEMperature、VSOurce、NONE

NEVer、NEXT、ALWays

、または

）

>100 = 1000V

）

PRETrigger

レンジ

、

注

PRETrigger

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-9

の使い方については『ユーザマニュアル』を参照。

チャンネルのオープン/クローズとスキャン

:ROUTe ROUTe サブシステム

:CLOSe <list> 指定されたチャンネルをクローズ

:STATe? クローズされたチャンネルの問い合わせ :OPEN <list> 指定されたチャンネルをオープン :OPEN:ALL すべてのチャンネルをオープン :SCAN スキャンをコントロールするパス：

[:INTernal] <list> 内部スキャンリストを指定します：

:EXTernal <list> 外部スキャンリストを指定します： 1〜

:SMEThod <name> 内蔵カードの整定時間を指定；

:LSELect <name> 指定されたスキャンをオンにします：

NONE

トリガモデル

2〜10

チャンネル

400

0〜99999.9999

INTernal、EXTernal

（秒）

または

システムのプリセット（リセットされた後のシステムでは起動コマンド、度な操作を実施できるようになります。

:INITiate [:IMMediate] 装置をアイドリングから脱出させます（ :CONTinuous 連続起動のオン/オフ :ABORt トリガシステムをリセット。連続起動がオフ（

:TRIGger 高度トリガレイヤを設定するパス：

:SOURce <name> コントロールソースの選択：IMMediate、TIMer、MANual、BUS、

:TIMer <n> タイマーの時間間隔設定（秒単位）： :DELay <n> 測定から次の測定までの遅延（秒）を設定： 0〜

:SYSTem

:MACRo

:TRIGger 基本トリガを設定するパス

[:EXECute] 基本トリガを選択 :MODE <name> トリガモード（ :SOURce <name> トリガ信号源を指定（

:TIMer <n> タイマー間隔の設定；

:SYSTem:PRESet

）を実行し、装置の典型的な高度トリガモデルに合わせて設定します。プ

置はアイドリング状態のまま留まります

:ABORt

TLINk、EXTernalまたはHOLD

、およびトリガ（測定）レイヤコマンドを使用して各種の高

CONTinuous

IMMediate、MANual、BUS、EXTernal

または

TIMer

）

0.001〜99999.999

ランプ点灯）

ARM

）になっている場合、装

OFF

0.001〜9999999.999

999999.999

または

ONEShot

）を指定

（秒）

テストシーケンス

:TSEQuence TSEQuence サブシステム :ARM 選択したテストシーケンスを実行可能な状態に準備 :ABORt 進行中のテストシーケンスを停止 :TYPE <name> テストのタイプを指定：

RVCoefficient、SRESistivity、VRESistivity、SIResistivity SQSWeep、STSWeep

:TSOurce <name> トリガ発生源を指定；

LCLosure

:TLINe <NRf> DLEakage ダイオード漏れ電流をテストするパス：

:STARt <NRf> 初期電圧を指定；

:STOP <NRf> 最終電圧を指定；

:STEP <NRf> ステップ変化電圧を指定；

:MDELay <NRf> 測定遅延時間を指定； 0〜

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-10

TLINK

ライン（1〜6）を指定

DLEakage、CLEakage、CIResistance

、

MANual、IMMediate、BUS、TLINk、EXTernal

-1000〜1000

99999.9

（秒）

、

:CLEakage コンデンサ漏れ電流テストパス：

:SVOLtage <NRf> バイアス電圧を指定（ :STIME <NRf> バイアス時間を指定； 0〜 :DTIMe <NRf> 放電時間を指定； 0〜

:CIResistance ケーブルの絶縁抵抗テストパス：

:SVOLtage <NRf> バイアス電圧を指定； :STIME <NRf> バイアス時間を指定； 0〜

:RVCoefficient 抵抗の電圧係数テストパス：

:SVOLtage[1] <NRf> 印加電圧 :MDELay[1] <NRf> 測定遅延時間 :SVOLtage2 <NRf> 印加電圧 :MDELay2 <NRf> 測定遅延時間

:SRESistivity 表面抵抗率テストパス：

:PDTime <NRf> 予備放電時間を指定； 0〜 :SVOLtage <NRf> バイアス電圧を指定； :STIME <NRf> バイアス時間を指定； 0〜 :MVOLtage <NRf> 測定電圧を指定； :MTIMe <NRf> 測定時間を指定； 0〜 :DTIMe <NRf> 放電時間を指定； 0〜

:VRESistivity 体積抵抗率テストパス：

:SIResistance 表面絶縁抵抗テストパス：

:SVOLtage <NRf> バイアス電圧を指定； :STIME <NRf> バイアス時間を指定； 0〜 :MVOLtage <NRf> 測定電圧を指定； :MTIMe <NRf> 測定時間を指定； 0〜

:SQSWeep 矩形波スイープテストパス：

:HLEVel <NRf> 高レベル電圧を指定； :HTIMe <NRf> 高レベル持続時間を指定； 0〜 :LLEVel <NRf> 低レベル電圧を指定； :LTIMe <NRf> 低レベル持続時間を指定； 0〜 :COUNt <NRf> サイクル数指定

:STSWeep 階段波スイープテストパス：

:STARt <NRf> 初期電圧を指定； :STOP <NRf> 最終電圧を指定； :STEP <NRf> ステップ変化電圧を指定； :STIME <NRf> ステップ時間を指定； 0〜

を指定；

-1000〜1000

99999.9

9999.9

-1000〜1000

99999.9

-1000〜1000

を指定； 0〜

-1000〜1000

を指定； 0〜

99999.9

-1000〜1000

99999.9

-1000〜1000

99999.9

-1000〜1000

99999.9

-1000〜1000

99999.9

-1000〜1000

99999.9

-1000〜1000

99999.9

-1000〜1000

99999.9

（秒）

99999.0

99999.9

（秒）

（秒）（秒）

（秒）

（秒）（秒）

（秒）

99999.9

（秒）

）

（秒）

ステータスレジスタ

Model 6517A

ンを起こせるように構成されています。プログラム上での判断に特に有用なのは測定イベントレジスタ（

Measurement Event Register

ステータスレジスタについて詳しくは『ユーザマニュアル』をご覧ください。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-11

のステータスレジスタは、ユーザがレジスタの状態をモニターしてイベントの発生に同期してアクショ

）と動作イベントレジスタ（

:STATus STATus サブシステム

:MEASurement 測定ステータスレジスタへのパス：

[:EVENt]? 測定イベントレジスタの読み出しに使用します :OPERation 動作ステータスレジスタへのパス：

[:EVENt]? 動作イベントレジスタの読み出しに使用します

Operation Event Register

）をモニターすることです。

イベントレジスタを読み出すと、コンピュータへはタのどのビットがセットされているかを判定します。例えば、ることを意味します。イベントレジスタは読み出しによってクリアされます。また、*CLS を送信することによってすべてのイベントレジスタがクリアされます。

イベントレジスタの中で特にコントロールに役立つビットを以下にまとめて説明します：

測定イベントレジスタ動作イベントレジスタ

進数の数値が送られます。これを

進数の

はビットの

進数に読み直してレジス

B0 と B5

がセットされてい

(Measurement Event Register) (Operation Event Register)

ビットセット＝読み込み値オーバーフロー

ビットセット＝読み込み実行可能

ビットセット＝バッファ使用可能

ビットセット＝バッファハーフフル

ビットセット＝バッファフル

ビットセット＝電圧源コンプライアンス

B14

ビットセット＝計算中

ビットセット＝アイドルビット

B10

ビットセット＝シーケンステスト実行中

B11

プログラム例

すべてのプログラム例はフェイスカードの使用を仮定しています。さらに、ばならず、

Model 6517A の IEEE-488

QuickBASIC

バージョン

4.5 CEC

バスアドレスは

以降と

Keithley KPC-488.2

ドライバのバージョン番号は

であるとします。

または

2.11

CEC IEEE-488

またはそれ以降でなけれ

インター

測定機能とレンジの切換え

Model 6517A

レンジをオンに設定し、電流測定には自動レンジをオフにすることができます。弊社の従来機種とのもう一つの相違点はレンジコマンドに与えるパラメータです。従来機種はそれぞれのレンジを

つの数字で表していましたが、装置はこのパラメータを解釈して正しいレンジへ移行します。RANGe? でレンジ設定を問い合わせると、装置は現在のレンジのフルスケール値を返します。次に示すプログラム例は機能とレンジを変更する方法を示すものです。このプログラムは複数の機能についてレンジ設定を行い、それぞれの機能を使用して値を読み取ります。

Model 6517A

VOLTage:DC:RANGe 20.45 コマンドを送ることによって機能とレンジを変更して複数の機能で値を読み込む方法を示すプログラム例

'QuickBASIC 4.5 と KPC-488.2/CEC

'QuickBASIC

'$INCLUDE: 'c:\qb45\ieeeqb.bi'

インターフェイスをアドレス

CALL initialize(21, 0)

トリガモデルとともに SENSe1 サブシステムの設定をリセットする。

それぞれの READ? はトリガを

CALL SEND(27, "*rst", status%)

では測定機能ごとに独立したコントロール方法を設定することができます。例えば、電圧測定には自動

SCPI RANGe

は、適切なレンジを選択する前にレンジパラメータを丸めて整数にしていることに注意してください。

インターフェイスカード用

ライブラリの保存位置を示す次の行を使用するシステムに合わせて変更してください

として初期化

回発生させる。

コマンドでは「測定する最大値」という形でパラメータを与えます。

Model 6517A が 20V

レンジに設定されます。

それぞれの機能ごとに測定レンジを設定する

CALL SEND(27, "volt:dc:rang 10", status%) CALL SEND(27, "curr:dc:rang 0.003", status%) CALL SEND(27, "res:rang 10e6", status%)

電圧測定に切換えて値を読み込む

CALL SEND(27, "func 'volt:dc';:read?", status%) reading$ = SPACE$(80) CALL ENTER(reading$, length%, 27, status%) PRINT reading$

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-12

電流測定に切換えて値を読み込む

CALL SEND(27, "func 'curr:dc';:read?", status%) reading$ = SPACE$(80) CALL ENTER(reading$, length%, 27, status%) PRINT reading$

線式抵抗測定に切換えて値を読み込む

CALL SEND(27, "func 'res';:read?", status%) reading$ = SPACE$(80) CALL ENTER(reading$, length%, 27, status%) PRINT reading$

ワンショットトリガ

ケースレーの従来からの装置は一般にワンショットと連続のは、指定したソースからのソースがアクティブになるまで装置はアイドリング状態にあり、トリガ発生後は指定速度で繰り返しデータ読み込みを行います。非

・・・・外部トリガ（背面パネルの

非

SCPI

コントロールを変化させるコマンドを送信するだけで、装置自体がトリガに対する準備を整えます。

Model 6517A

・トリガソースを陽にコントロール可能（・装置をトリガに対応させる・トリガの機能を完全に停止させる機能

TRIGger

はありません。次に示すプログラムは、1 個の外部トリガパルスを受信するたびに

Model 6517A

外部トリガに同期してワンショット測定を行う方法を示すプログラム例

SCPI

IEEE-488 IEEE-488 GET（Group Execute Trigger

コマンド

"X"

装置の場合、トリガに応答させるために表立って特別な準備は必要ありません。単に非

に実装された

サブシステムの設定を変更しても、それだけで自動的に

をセットアップします。

装置に使用する典型的なトリガソースには次のタイプがあります：

トーカ

'QuickBASIC 4.5 と KPC-488.2/CEC

'QuickBASIC

'$INCLUDE: 'c:\qb45\ieeeqb.bi'

ライブラリの保存位置を示す次の行を使用するシステムに合わせて変更してください

個のトリガによって

コネクタ）

BNC

トリガモデルは次の機能を提供します：

SCPI

通りのレベル

インターフェイスカード用

回のデータ読み込みが起こります。連続モードの場合はトリガ

）

TRIGger

種類のトリガ機能を備えています。ワンショットで

装置にトリガ

SCPI

サブシステム）

Model 6517A

のトリガに対する準備ができる訳で

回の読み込みを行うように

インターフェイスをアドレス

CALL initialize(21, 0)

'INIT、ARM、LAY1、ARM:LAY2

リング状態に入れる

CALL SEND(27, "*rst", status%) CALL SEND(27, "trig:sour ext;coun inf", status%)

全部の処理開始

CALL SEND(27, "init", status%) INITiate コマンドの受信後、

ジャックにパルスが入るのを待ちます。外部トリガジャックにパルスが到着するたびにみ取りを行います。TRIGger:COUNt はイヤに留まります。トリガモデルをアイドリング状態に戻すには ABORt コマンドを送信しますが、これにより次回 INITiate コマンドが送信されるまでトリガには応答しなくなります。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-13

として初期化

、および

Model 6517A

TRIG

サブシステムのコントロールをリセットしてトリガモデルをアイド

はトリガモデルの TRIGger レイヤで動作を休止して外部トリガ

Model 6517A は 1

INFinity

に設定されていますから、トリガモデルはそのまま TRIGger レ

回だけ読

連続トリガ

#1

次のプログラム例は外部トリガ受信後に実際にどれだけ速くなるかは

連続トリガの方法を示すプログラム例

A/D

'QuickBASIC 4.5 と KPC-488.2/CEC

'QuickBASIC

'$INCLUDE: 'c:\qb45\ieeeqb.bi'

インターフェイスをアドレス

CALL initialize(21, 0)

INIT、ARM、LAY1、ARM:LAY2、および TRIG サブシステムのコントロールをリセットしてトリガモデルを

態に入れる

CALL SEND(27, "*rst", status%)

*RST は TRIG:SOUR を

CALL SEND(27, "arm:lay2:sour ext", status%) CALL SEND(27, "trig:coun inf", status%)

全部の処理開始

CALL SEND(27, "init", status%) INITiate コマンドの受信後、

ジャックにパルスが入るのを待ちます。す。TRIGger:SOURce が IMMediate にセットされていることから、即時に読み込みにトリガが掛かると共に、回の読み取りが終了すると直ちに次回のトリガが発生します。

ライブラリの格納位置を示す次の行を使用するシステムに合わせて変更してください。

として初期化

にセットします

IMM

Model 6517A

積分時間や自動レンジの

インターフェイスカード用

はトリガモデルの ARM:LAYer2 レイヤで動作を休止して外部トリガ

Model 6517A

ができるだけ速く値を読取れるようにセットアップします。

ON/OFF

を含む他の因子に依存します。

IDLE

は外部トリガ信号の発生によって TRIGer レイヤへ移動しま

状

連続トリガ

次のプログラム例は、外部トリガ受信後に連続的に読み取りを行うように

回の読み取りを行うようにトリガ速度を設定します。

指定した速度で連続トリガを発生させる方法を示すプログラム例

' 'QuickBASIC 4.5 と KPC-488.2/CEC

'QuickBASIC

'$INCLUDE: 'c:\qb45\ieeeqb.bi'

インターフェイスをアドレス

CALL initialize(21, 0)

INIT、ARM、LAY1、ARM:LAY2、および TRIG サブシステムのコントロールをリセットしてトリガモデルを

状態に入れる

CALL SEND(27, "*rst", status%)

*RST は TRIG:SOUR を

CALL SEND(27, "arm:lay2:sour ext", status%) CALL SEND(27, "trig:coun inf;sour tim;tim .05", status%)

全部の処理開始

CALL SEND(27, "init", status%) INITiate コマンドの受信後、

ジャックにパルスが入るのを待ちます。す。TRIGger:SOURce が TIMer にセットされていることから、即時に読み取りへのトリガが掛かるとともに、それ以後

50 ms

まま TRIGer レイヤに留まり続けます。

#2

Model 6517A

インターフェイスカード用

ライブラリの保存位置を示す次の行を使用するシステムに合わせて変更してください

として初期化

にセットします。

IMM

Model 6517A

毎に読み取りが行われます。TRIGger:COUNt は無限に設定されていますから、トリガモデルはその

はトリガモデルの ARM:LAYer2 レイヤで動作を休止して外部トリガ

Model 6517A

は外部トリガ信号の発生によって TRIGer レイヤへ移動しま

を設定します。

50 ms

毎に

IDLE

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-14

バッファフルにより

SRQ

を発生させる

Model 6517A

が

IEEE-488 SRQ

的です。標準的には度にシリアルポールが行われます。一般的にはみスループットの低下をもたらします。この問題を回避するには関数呼び出し

Model 6517A

または

False

できます。をチェックできますから、実行中のプロセスに割り込みをかけることなくとができます。

次に一部を示すプログラム例は読み込みバッファが完全にフルの状態になると

6517A

ルを示すのを待つようにプログラムします。これは完全なプログラムではありません。トリガモデルと読み込みバッファを設定する部分がプログラムに示されて

いません（次の例参照）。ここに示す例を必要に応じて変更すればムに発生する任意のイベントに対応することができます。

'STATus サブシステムをリセットする（*RST の影響を受けません） CALL SEND(27, "stat:pres;*cls", status%) CALL SEND(27, "stat:meas:enab 512", status%) 'enable BFL CALL SEND(27, "*sre 1", status%) 'enable MSB CALL SEND(27, "trac:feed:cont next", status%)

全部の処理開始

CALL SEND(27, "init", status%)

がある動作を完了させるのをプログラムが待たなければならない場面では、動作完了時に

ラインをアサートするようにプログラムした方が、何度も装置をシリアルポールするよりも効率

IEEE-488

は実行する殆どすべての動作に関連してステータスビットを変化させます。ステータスビットが

に変化する度に

IEEE-488

をプログラムし、続いて読み込みバッファの準備をして読み込みを開始してから

コントローラ（使用中のコンピュータ）はシリアルポールを行わなくても

コントローラが装置を一度トーカとしてアドレスしてから次にアンアドレスし、その

に対するポーリングの繰り返しは全体としての読み込

srq%( )

を使用してください。

Model 6517A

6517A

がタスクを完了したことを知るこ

をアサートするように

SRQ

IEEE-488 SRQ

Model 6517A

ラインをアサートするように、

Model 6517A

ステータスレポーティングシステ

Model 6517A

True

をプログラムすることが

ラインの状態

SRQ

Model

がバッファフ

WaitSRQ: IF (NOT(srq%)) THEN GOTO WaitSRQ CALL SPOLL(27, poll%, status%) IF (poll% AND 64)=0 THEN GOTO WaitSRQ

ラインがアサートされたのを検出すると、プログラムは

SRQ

ているサービスであるのか否かを確認します。次の

・シリアルポールにより・

イベントレジスタが一度サービス要求を発生させると、レジスタを読み出してそれをクリアするか（このケースでは STATus:MEASurement[:EVENt]? を使用）、または *CLS コマンドを送信しない限りは次のサービス要求を発生させることができません。

をアサートするようにプログラムされた

SRQ

どの装置がサービスを要求しているのか確認しなければならない。

Model 6517A が SRQ

つの理由によりこの確認は必要です：

Model 6517A

ラインのアサートを解除できる。

IEEE-488

装置を

をシリアルポールしてデバイスが要求し

台以上持つ試験システムの場合は実際に

読み込んだ値をバッファに保存する

Model 6517A

類のコントロール要素を備え、コントロール用にコマンドも持っています：

• バッファのサイズ（読み込み）

• 読み込みと共に追加データ（チャンネル番号、タイムスタンプなど）を保存するか。追加データの保存は

の読み込みバッファは柔軟性に富み高機能です。このバッファ用として

TRACe:POINts <NRf>

バッファの最大サイズを小さくします。 TRACe:ELEMents <name> 追加で読み込むデータ要素を指定：

TRACe

TSTamp、HUMidity、CHANnel

ETEMperature、VSOurce、NONE

• バッファのコントロールモードを選択

TRACe:FEED:CONTrol NEVer 読み込み値の保存を即時停止 TRACe:FEED:CONTrol NEXT 即時保存を開始して、バッファがフルになると停止 TRACe:FEED:CONTrol ALWays 即時保存を開始し、そのまま継続 TRACe:FEED:CONTrol PRETrigger 即時保存を開始して、プリトリガ条件が満足されると停止

サブシステムは

種

、

次に示すプログラムはデータを読み出すようにが、読み出しの対象となるのは測定読取り値とタイムスタンプだけです。

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-15

個の読取り値を可能な限り速くバッファに取り込み、全部の書き込みが終わったならば

Model 6517A

をプログラムします。タイムスタンプを含む追加データも同時に保存します

バッファからの読み出し方法を示すプログラム例

' 'QuickBASIC 4.5 と KPC-488.2/CEC

インターフェイスカード用

'QuickBASIC

'$INCLUDE: 'c:\qb45\ieeeqb.bi'

インターフェイスをアドレス

CALL initialize(21, 0)

INIT、ARM、LAY1、ARM:LAY2、および TRIG サブシステムのコントロールをリセットしてトリガモデルを

状態に入れる

CALL SEND(27, "*rst", status%)

STATus サブシステムをリセットする（*RST の影響を受けません）

CALL SEND(27, "stat:pres;*cls", status%) CALL SEND(27, "stat:meas:enab 512", status%) 'enable BFL CALL SEND(27, "*sre 1", status%) 'enable MSB CALL SEND(27, "trig:coun 20", status%)

TRACe サブシステムは *RSTの影響を受けません

CALL SEND(27, "trac:poin 20;elem none", status%) CALL SEND(27, "trac:feed:cont next", status%)

全部の処理開始

CALL SEND(27, "init", status%)

'6517A

reading$ = SPACE$(4000)

ライブラリの保存位置を示す次の行を使用するシステムに合わせて変更してください

として初期化

が読み込み処理でビジーな間に reading$ を初期化

IDLE

WaitSRQ: IF (NOT(srq%) THEN GOTO WaitSRQ CALL SPOLL(27, poll%, status%) IF (poll% AND 64)=0 THEN GOTO WaitSRQ

CALL SEND(27, "trac:data?", status%) CALL ENTER(reading$, length%, 27, status%) PRINT reading$

スキャナカードを使用するデータ取り込み

Models 6521 と 6522 は Model 6517A

カードです。ある一時にクローズできるのはときに新たにチャンネルをクローズしようとすると、ブレークビフォーメーク動作によって最初のチャンネルがオープンします。

スキャナカードはてから測定実行用の別なコマンドを送る方法であり、もうみ込み前のチャンネルクローズ操作を計器に任せる方法です。

次に示すプログラムは ROUTe:CLOSe コマンドを使用してチャンネル

で抵抗をそれぞれ測定します。

複数の異なるチャンネルを使用して読み取りを行うプログラム例

通りの方法で使用が可能です。1 つの方法は特定のチャンネルをクローズするコマンドを発行し

'QuickBASIC 4.5 と KPC-488.2/CEC

マルチメータ用オプションとして提供されている

つのチャンネルだけです。他のチャンネルがすでにクローズしている

つの方法ではスキャンリストをプログラムしておいて読

で電圧、チャンネル

インターフェイスカード用

チャンネルスキャナ

で電流、チャンネル

'QuickBASIC

'$INCLUDE: 'c:\qb45\ieeeqb.bi'

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-16

ライブラリの保存位置を示す次の行を使用するシステムに合わせて変更してください

インターフェイスをアドレス

CALL initialize(21, 0)

として初期化

INIT、ARM、LAY1、ARM:LAY2、および TRIGサブシステムのコントロールをリセットしてトリガモデルを

態に入れ、さらに測定機能として電圧を選択する

CALL SEND(27, "*rst", status%)

チャンネル

CALL SEND(27, "rout:clos (@1);:read?", status%) reading$ = SPACE$(80) CALL ENTER(reading$, length%, 27, status%) PRINT reading$

チャンネル

CALL SEND(27, "func 'curr:dc'", status%) CALL SEND(27, "rout:clos (@2);:read?", status%) reading$ = SPACE$(80) CALL ENTER(reading$, length%, 27, status%) PRINT reading$

チャンネル

CALL SEND(27, "func 'res'", status%) CALL SEND(27, "rout:clos (@3);:read?", status%) reading$ = SPACE$(80) CALL ENTER(reading$, length%, 27, status%) PRINT reading$

次のプログラム例ではチャンネル 1、2、3 を使用して用するように

計器は

は可能な限り高速で読み取るようにします。になると

スキャンリストの使用法を示すプログラム例

' 'QuickBASIC 4.5 と KPC-488.2/CEC

をクローズして電圧を読み取る

をクローズして電流を読み取る

をクローズして抵抗を読み取る

Model 6517A

セットの読み取りを行い、セット間の時間間隔を

をセットアップします。

Model 6517A

をアサートします。プログラムは

SRQ

インターフェイスカード用

SRQ

電圧を測定するためのスキャンリストを作成し、これを使

秒とします。

は読み取った値をバッファに保存し、バッファがいっぱい

の発生を待ってからバッファの値を読み出します。

つのセットに属する

個の読取り値

IDLE

状

'QuickBASIC

'$INCLUDE: 'c:\qb45\ieeeqb.bi'

インターフェイスをアドレス

CALL initialize(21, 0)

INIT、ARM、LAY1、ARM:LAY2、および TRIG サブシステムのコントロールをリセットしてトリガモデルを

状態に入れる

CALL SEND(27, "*rst", status%)

*RST は TRIG:SOUR を

CALL SEND(27, "trig:coun 3", status%) CALL SEND(27, "arm:lay2:sour tim;tim 15", status%) CALL SEND(27, "arm:lay2:coun 10", status%)

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-17

ライブラリの保存位置を示す次の行を使用するシステムに合わせて変更してください

として初期化

にセットします

IMM

IDLE

TRACe サブシステムは

CALL SEND(27, "trac:poin 30;elem none", status%) CALL SEND(27, "trac:feed sens1;feed:coun next", status%)

これでバッファの動作準備完了

CALL SEND(27, "rout:scan (@1:3)", status%) CALL SEND(27, "rout:lsel int", status%)

全部の処理開始

CALL SEND(27, "init", status%)

*RST

の影響を受けません

'6517A

reading$ = SPACE$(2500)

WaitSRQ: IF (NOT(srq%()) THEN GOTO WaitSRQ CALL SPOLL(27, poll%, status%) IF (poll% AND 64)=0 THEN GOTO WaitSRQ

CALL SEND(27, "form:elem read,time,chan", status%) CALL SEND(27, "trac:data?, status%) CALL ENTER(reading$, length%, 27, status%) PRINT reading$

が読み込み処理でビジーな間に reading$ を初期化

試験シーケンス−階段波スイープ

次に示すプログラムは階段波スイープを行います。この試験ではいて、個の読取り値はバッファに保存され、試験の終了後にコンピュータ

'Quick Basic 4.5、KPC-488.2/CEC

'$INCLUDE: 'ieeeqb.bi' CALL initialize(21, 0)

CLS CALL send(27, "*rst", status%) CALL send(27, "*CLS", status%) CALL spoll(27, KIspoll%, status%)

ステップの電圧（0〜

）を印加したときに

10V

カード

DUT

FVMI（Source Voltage Measure Current

を通って流れる電流を測定します（図

に表示されます。

CRT

2-8

）法を用

参照）。

ステータスモデルを「バッファフル時に

CALL send(27, "stat:meas:enab 512", status%) CALL SEND(27, "*sre 1", status%)

自動レンジ電流測定を選択：

CALL send(27, ":SENS:FUNC 'CURR'", status%) CALL send(27, ":SENS:CURR:RANG:AUTO ON", status%)

'0〜10V（1V

CALL send(27, ":TSEQ:TYPE STSW", status%) CALL send(27, ":TSEQ:STSW:STAR 0", status%) CALL send(27, ":TSEQ:STSW:STOP 10", status%) CALL send(27, ":TSEQ:STSW:STEP 1", status%) CALL send(27, ":TSEQ:STSW:STIM 0.3", status%) CALL send(27, ":TSEQ:TSO imm", status%)

処理を完了させるコマンド待ち

DATA1$ = SPACE$(600) CALL send(27, "*OPC?", status%) CALL enter(DATA1$, length%, 27, status%)

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-18

ステップ）の階段波スイープを設定

SRQ

発生」（

SRQ on Buffer Full

）に設定

試験シーケンス開始：

CALL send(27, ":TSEQ:ARM", status%)

待ち（バッファフル）

'SRQ

WaitSRQ IF (NOT (srq%)) THEN GOTO WaitSRQ CALL spoll(27, poll%, status%) If (poll% AND 64) = 0 THEN GOTO WaitSRQ

バッファ内の読取り値をコンピュータ

CALL send(27, ":TRACE:DATA?", status%) CALL enter(DATA1$, length%, 27, status%) A = 1 FOR I = 1 TO 11 r$ = MID$(DATA!$, A, 13) PRINT r$ A = A + 14

NEXT I

END

CRT

へ送出

6517A Electrometer/High Resistance Meter Getting Started Guide3-19

仕様仕様

仕様

仕様仕様

仕様

4-2

電圧

VOLTSVOLTS

VOLTS 確度

VOLTSVOLTS

桁

5.5





レンジ分解能 ±

2 V 10 µV 0.025 + 4 0.003 + 2

20 V 100 µV 0.025 + 3 0.002 + 1

200 V 1 mV 0.06 + 3 0.002 + 1



％％

％

％％

(



年)



18〜28

カウント数)±

rdg+

℃

0〜18

％％

％

％％

(

rdg+

温度係数



℃





カウント数)/℃

注：

適正なゼロ調節が行われた場合の値、

タ

読取り値

= 10

、

20V

50Hz

レンジで

または

>200T

60dB、200V

60Hz で CMR >120dB

Ω（並列に

NMRR:2V CMRR:DC

入力インピーダンス：プリアンプ出力の小信号帯域幅：典型値

5.5 桁、1 PLC

レンジで

20pF

100 kHz（-3dB

（電源ラインサイクル）、メディアンフィルタ

>55dB、50/60 Hz±0.1%

）、ガード使用時は

電流

AMPSAMPS

AMPS 確度

AMPSAMPS

桁

5.5





レンジ分解能 ±

20 pA 100 aA

200 pA 1 fA

2nA 10fA 0.2 + 30 0.1 + 2

20 nA 100 fA 0.2 + 5 0.03 + 1

200 nA 1 pA 0.2 + 5 0.03 + 1

2µA10pA 0.1 + 10 0.005 + 2

20 µA 100 pA 0.1 + 5 0.005 + 1

200 µA 1 nA 0.1 + 5 0.005 + 1

2mA10nA 0.1 + 10 0.008 + 2

20 mA 100 nA 0.1 + 5 0.008 + 1



注：

適正なゼロ調節が行われた場合の値、

タ

読取り値

= 10

入力バイアス電流：

aA =10

–18

A, fA=10

–15

入力バイアス電流ノイズ：

減衰

入力電圧負荷量（

デジタルフィルタ＝読取り値×

ON.

<20μV： 20pA、2nA、20nA、2μA、20μA

CAL

<100μV： 200pA、200nA、200μA <2mV：2mA <4mV：20mA

レンジ

入力電圧負荷量の温度係数：プリアンプ整定時間（最終値の

15ms；μA と mA

NMRR : pA

レンジで

％％

％

％％

(

にて <3fA

CAL

<750aA p-p

での値）

±1℃

<10μV/℃： pA、nA、μA

レンジでは

>95dB、nA、μA、mA



年)



℃

18〜28

カウント数)±

rdg+

1+30 0.1 + 5 1+5 0.1 + 1

5.5 桁、1 PLC

。温度係数＝

温度係数

&&

℃

&28〜50℃

&&

0〜18

％％

％

カウント数)/℃

％％

(

rdg+

（電源ラインサイクル）、メディアンフィルタ

℃

0.5fA/

（キャップ入力）、帯域幅

レンジ

10％

以内）：

レンジでの典型値：

2ms

レンジで

60dB、50Hz



28〜50℃



）

レンジ

< 2pF（10M

0.1Hz〜10Hz

（減衰

2.5s

または

60Hz ±0.1%

、デジタルフィル

Ω、ゼロチェックオンなし）

、デジタルフィル

、

OFF）、4s

（減衰ON）；

レンジでは

電荷

COULOMBSCOULOMBS

COULOMBS 確度

COULOMBSCOULOMBS

桁

5.5

レンジ分解能 ±

2 nC 10 fC 0.4 + 5 0.04 + 3

20 nC 100 fC 0.4 + 5 0.04 + 1

200 nC 1 pC 0.4 + 5 0.04 + 1

2 µC 10 pC 0.4 + 5 0.04 + 1

％％

％

％％

(



年)



18〜28

カウント数)±

rdg+

℃

0〜18

％％

％

％％

(

rdg+

温度係数



℃





& 28〜50

カウント数)/℃

注：

電荷取り込み時間は

適正なゼロ調節が行われた場合の値、

読取り回数

入力バイアス電流：

回。

<1000s

CAL

でなければならず、

にて

<4 fA

。温度係数＝

10,000s

5.5 桁、1 PLC

0.5fA/

（電源ラインサイクル）、メディアンフィルタ

℃。

℃

増えるごとに 1％ディレーティングします。

仕様

4-3

、デジタルフィルタ

抵抗：標準法

確度

％％

％

％％

(

18〜28

rdg+

(1年)

℃

カウント数)±

桁

5.5

レンジ分解能

2MΩ 10 Ω 0.125+ 1 0.01 + 1 40 V 200 µA

20 MΩ 100 Ω 0.125+ 1 0.01 + 1 40 V 20 µA

200MΩ 1kΩ 0.15 + 1 0.015+ 1 40 V 2 µA

2GΩ 10 kΩ 0.225+ 1 0.035+ 1 40 V 200 nA

20 GΩ 100 kΩ 0.225+ 1 0.035+ 1 40 V 20 nA

200 GΩ 1MΩ 0.35 + 1 0.110+ 1 40 V 2 nA

2TΩ 10 MΩ 0.35 + 1 0.110+ 1 400 V 2 nA

20 TΩ 100MΩ 1.025+ 1 0.105+ 1 400 V 200 pA

200 TΩ 1GΩ 1.15 + 1 0.125+ 1 400 V 20 pA

温度係数 ℃&28〜50℃

0〜18

％％

％

％％

(

rdg+

カウント数)/℃

試験電流電圧レンジ

注：

仕様は適切にゼロ調節された自動電圧源抵抗の場合を規定、

読取り値。電圧をユーザが選択する必要がある場合は手動モードを使用してください。手動モードでは電流測定値から

= 10

計算した抵抗値（最高

Ω）を表示します。

5.5 桁、1 PLC

、、メディアンフィルタ

、デジタルフィルタ

電圧源確度に選択した電流レンジ確度を加算したものが全体確度になります。

プリアンプ整定時間：電圧源の整定時間を電流仕様に規定されたプリアンプ整定時間に加えてください。

抵抗：極性切換え法

試験治具として

再現性：確度：

∆I

ここに：

Keithley 8009

+ 0.1% (1s)

R/V

ALT

SRC

Err + I

∆IBG

Err

MEAS

は標準的な測定条件下（

ラムした時間範囲にわたって発生する標準的バックグラウンド電流ノイズの実測値です。

は測定に使用する極性が変化する電圧値です。

ALT

Err は V

SRC

Err は V

MEAS

∆I

R/V

< 10%

ALT

を設定値としたときの電圧源確度（ボルト単位）です。

ALT

/R を rdg

ALT

という条件の場合、被測定抵抗に対して典型値

抵抗実測値は試験治具に対して直列または並列に挿入される寄生抵抗の影響を受けます。

を使用

（装置温度定数

R)/V

ALT

1 PLC

として使用したときのアンメータ確度（アンペア単位）です。

℃）

±1

、同一レンジ、フィルタ

<10nF

）におかれたサンプルと試験治具がプログ

OFF、..

の寄生容量が並列に挿入されます。

仕様

4-4

電圧源

VOLTAGESOURCEVOLTAGESOURCE

VOLTAGESOURCE

VOLTAGESOURCEVOLTAGESOURCE

桁

5.5

レンジ分解能 ±

100 V 5 mV 0.15 +10 mV 0.005 +1 mV

1000 V 50 mV 0.15 + 100 mV 0.005 +10 mV

確度



年)



℃

18〜28

％％

％設定+オフセット値)±

％％

(

温度係数



℃





0〜18

％％

％設定+オフセット値)/℃

％％

(

& 28〜50

最大出力電流：

10mA；<11.5mA、100V

1mA；<1.15mA、1,000V

レンジにおけるアクティブ電流リミット

整定時間：

<8ms； 100V <50ms； 1,000V

レンジで定格確度に達する整定時間

ノイズ：

<150μV p-p；0.1Hz〜10Hz、100V <1.5 mV p-p；0.1Hz〜10Hz、1,000V

レンジ

温度（熱電対）

熱電対タイプレンジ ±

K –25°C

注：注：

注：1プローブ誤差を除き、

注：注：

〜

150°C ± (0.3% ± 1.5°C)

CAL

±5

℃、積分時間

確度

18〜28

1 PLC

％％

％

％％

(

rdg+℃)



年)



℃

湿度確度

18〜28

レンジ ±

0–100% ± (0.3% +0.5)

注：注：

注：

注：注：

湿度プローブの確度を加算しなければなりません。

％％

％

％％

(



年)



℃

rdg+%RH)

Model 6517-RH

の場合、この値は

（85℃ を超えないようにしてください）。

IEEE-488

マルチラインコマンド：実装：ユニラインコマンド：インターフェイス機能：

バスの実装

DCL、LLO、SDC、GET、GTL、UNT、UNL、SPE、SPD

SCPI (IEEE-488.2、SCPI-1994.0); DDC (IEEE-488.1)

IFC、REN、EOI、SRQ、ATN

SH1、AH1、T5、TE0、L4、LE0、SR1、RL1、PP0、DC1、DT1、C0、E1

プログラム可能なパラメータ：測定機能、レンジ、ゼロチェック、ゼロサプレス、

ターミネータ（ド）、校正（

モードのみ）、

DDC

モードのみ）、電圧源出力、表示形式、

SPCI

個の読取り値保存（

100

モード）、最大

DDC

、ステータス（電圧源

SRQ

ガード

アドレスモード：読み込み完了時のトリガ発生：標準

RS-232

の実装：

サポートする言語：ボーレート：プロトコル：コネクタ：

のみ、アドレッシング可能

TALK

、外部トリガと共に

150ms

SCPI 1994.0. 300、600、1200、2400、4800、9600、19.2k Xon/Xoff、7/8 ASCII

ビット、パリティ：遇/奇/なし

DB-9 TXD/RXD/GND

65℃

EOI（DDC

15706

リミットを含む）、出力形式、

I -

までの範囲で ±

3% RH

モードのみ）、トリガー、

個の読取り値保存（

SPCI

です

モー

一般項目

ディスプレイ：オーバーレンジ表示ランプ：ディスプレイにレンジ設定：自動、またはマニュアル操作変換時間：プログラム：前面パネルから最大入力：最大入力最大コモンモード電圧（DC〜絶縁（計器入力コネクタ：3 ラグタイプ

アナログ出力：フルレンジ入力に対して

2V

プリアンプ出力：電圧測定用にガード出力を提供。反転出力として使用可能。

ともに使用可能

外部トリガ：ガード：切換え式ガード使用可能デジタル

EMI/RFI EMC

安全性：欧州共同体指針試験シーケンス：極性交互切換え

読取り値の保存：読取り速度：

I/O

：

VDE-0871

：欧州共同体指針

縁抵抗、およびスイープ

内蔵バッファへ書き込み：

IEEE-488

表面パネル表示：バス転送：

注：

0.01 PLC

1.00 PLC

バイナリ転送モード

デジタルフィルタ：メディアン、または平均値設置環境：

動作温度：0〜50℃、相対湿度保管温度：

暖機時間：定格確度達成に電源：

105〜125V

外形寸法・重量：

筐体寸法：動作時寸法：筐体前面から背面（電源ケーブル、重量（本体）：出荷梱包重量：

付属アクセサリ：

Model 237-ALG-2

Model 8607 Model 6517-TP Model CS-459

桁真空蛍光表示、マルチライン

6.5 "OVERFLOW"

0.01 PLC〜10 PLC

= 250V

COMMON

TTL

とトリガライン：使用可能（使用法についてはマニュアルを参照）

バス伝送：

〜筐体間）：標準値

レベル外部トリガとエレクトロメータ変換完了

および

個の読取り値を保存（

100

15 回/秒

2500 回/秒

、デジタルフィルタ、デジタルフィルタ

-25℃〜+65

または

（高さ）×

90mm

の範囲で選択

アドレスへのアクセス、工業単位/科学表記の選択、デジタル校正可能

IEEE

（ピーク値、DC〜

正弦波）：エレクトロメータ：

60Hz

軸（背面パネル）

クラス

FCC

89/336/EEC

73/23/EEC

準拠

Hi-R

秒

125 回/

1,3

秒

115 回/

OFF OFF

％（非結露）、35℃ まで

℃

時間の暖機が必要（推奨操作についてはマニュアルを参照）

210〜250V

（外部スイッチ切換）、90〜

（幅）×

214mm

60 Hz）；mA

Ω（並列に

を出力。電圧モードでは非反転出力。出力インピーダンス

リミットに適合

、デバイス特性評価（ダイオード、コンデンサ、ケーブル、抵抗）、低効率、表面絶

モード）、最大

DDC

、前面パネル、温度＋

OFF

RH OFF

369mm

IEEE-488 <4.6 kg（<10.1 lbs <9.5 kg（<21 lbs

低ノイズ

軸ケーブル〜わに口クリップ接続ケーブル、3-スロット（

高電圧用安全試験リード線熱電対入力リード線インターロックコネクタ

）

軸ケーブル、

と表示

レンジでは

500V

）

500pF

15706

、温度＋

RH OFF

110V

（奥行き）（

3.5×8.5 ×14.5

コネクタを含む）まで：

（ピーク値）、電圧源：

（内部の変更が必要）、50〜

分あたり

個の読取り値を保存（

仕様

秒を超えぬこと

（ピーク値）

750V

10k

電流、電荷モードでは外部フィードバックと

モード）

SCPI

60Hz、50VA

インチ）

インチ

15.5

）

6.6 ft

4-5

製品仕様は改良のために予告なく変更されることがあります。

サービスフォーム

製品型式名 シリアル番号  日付 

お名前と電話番号 

会社名 

コントロール設定の内容を列記し、発生している問題点を説明してください。該当するチェックボックスのすべてをチェックしてください。 ____________________________________________________________________

_________________________________________________________________________________________

 時折問題が発生する  アナログ出力がディスプレイに  特定のレンジ/機能で問題が発生する

追随して変化する具体的に：_____________________



 前面パネルは機能している すべてのレンジ/機能で動作不良  ケーブルはすべてチェック済み

ディスプレイ/出力（1つだけチェックしてください）

 ドリフト ゼロ調節不能  不安定  オーバーロード 印加した入力を読み込めない  校正のみ 校正検定書要  校正データ要

（必要ならば別紙に記入して添付してください）接続されているすべての装置を含めた測定システムのブロック図を示してください（通電の有無も記入してくださ

い）。信号源についても説明してください。

測定実施場所？（工場、環境をコントロールしたラボ、屋外等々） ___________________________________

が機能しない  電源立ち上げ時に問題発生 バッテリーとヒューズは問題なし

IEEE

_________________________________________________________________________________________

使用電源電圧？ _______________________________________ 周囲温度？ ___________________________ ∞F 相対湿度？ ________________________________________________ その他？ _______________________ その他の情報（ユーザが独自の改造を施している場合は具体的に説明してください）。 ___________________

_________________________________________________________________________________________ _________________________________________________________________________________________

お名前と電話番号が間違いなく記入されていることを確認してください。

予告なしに仕様書を変更することがあります。

ケースレー

(Keithley)

のすべての登録商標および商品名は、

Keithley Instruments. Inc.

が所有権を有します。

他のすべての登録商標および商品名は、それぞれの会社が所有権を有します。

A GREATER MEASURE OF CONFIDENCE

Keithley Instruments, Inc.

Corporate Headquarters • 28775 Aurora Road • Cleveland, Ohio 44139 • 440-248-0400 • Fax: 440-248-6168 • 1-888-KEITHLEY (534-8453) • www.keithley.com

BELGIUM: Sint-Pieters-Leeuw • 02-363 00 40 • Fax: 02-363 00 64 • ww.keihley.nl CHINA: Beijing • 100029 • 8610-82251886 • Fax: 8610-82251892 • ww.keihley.com.cn FINLAND: Helsinki • 09-53 06 65 60 • Fax: 09-53 06 65 65 • ww.keihley.com FRANCE: Saint-Aubin • 01-64 53 20 20 • Fax: 01-60 11 77 26 • ww.keihley.fr GERMANY:Germering • 089-84 93 07-40 • Fax: 089-84 93 07-34 • ww.keihley.de REAT BRITAIN: Theale • 0118 -929 75 00 • Fax: 0118- 929 75 19 • ww.keihley.co.uk INDIA: Bangalore • 080 212 80-27 • Fax: 080 212 80 05 • ww.keihley.com

ITALY: Milano • 02-48 39 16 01 • Fax: 02-48 30 22 74 • ww.keihley.it JAPAN: Tokyo • 81-3-5733-7555 • Fax: 81-3-5733-7556 • ww.keihley.jp KOREA: Seoul • 82-2-574-7778 • Fax: 82-2-574-7838 • ww.keihley.com NETHERLANDS: Gorinchem • 0183-63 53 33 • Fax: 0183-63 08 21 • ww.keihley.nl Singapore: Singapore • 65-6747-9077 • Fax: 65-6747-2991 • ww.keihley.com SWEDEN: Solna • 08-50 90 46 00 • Fax: 08-655 26 10 • www.keihley.com TAIWAN: Hsinchu • 886-3-572-9077• Fax: 886-3-572-9031 • www.keihley.com.tw

Tektronix 6517A User manual

Specifications and Main Features

Frequently Asked Questions

User Manual