MKS Baratron Instruction Manual

MKS Baratron® Type DMB

Capacitance Manometer with

DeviceNet™ Digital Interface

Instruction Manual

2 Technology Drive

Andover, MA, USA 01810

Main: 978.645.5500
USA: 800.227.8766

www.mksinst.com

1034134-001
REV. B, 3/13

Instruction Manual

WARRANTY

MKS Baratron

®

Type DMB Capacitance

Manometer withDeviceNet™ Digital Interface

MKS Instruments, Inc. (MKS) warrants that for two years from the date of shipment the

equipment described above (the “equipment”) manufactured by MKS shall be free from

defects in materials and workmanship and will correctly perform all date-related

operations, including without limitation accepting data entry, sequencing, sorting,

comparing, and reporting, regardless of the date the operation is performed or the date

involved in the operation, provided that, if the equipment exchanges data or is otherwise

used with equipment, software, or other products of others, such products of others

themselves correctly perform all date-related operations and store and transmit dates and

date-related data in a format compatible with MKS equipment. THIS WARRANTY IS

MKS’ SOLE WARRANTY CONCERNING DATE-RELATED OPERATIONS.

For the period commencing with the date of shipment of this equipment and ending two

years later, MKS will, at its option, either repair or replace any part which is defective in

materials or workmanship or with respect to the date-related operations warranty without

charge to the purchaser. The foregoing shall constitute the exclusive and sole remedy of

the purchaser for any breach by MKS of this warranty.

The purchaser, before returning any equipment covered by this warranty, which is

asserted to be defective by the purchaser, shall make specific written arrangements with

respect to the responsibility for shipping the equipment and handling any other incidental

charges with the MKS sales representative or distributor from which the equipment was

purchased or, in the case of a direct purchase from MKS, with the MKS home office in

Andover, Massachusetts, USA.

This warranty does not apply to any equipment which has not been installed and used in

accordance with the specifications recommended by MKS for the proper and normal use

of the equipment. MKS shall not be liable under any circumstances for indirect, special,

consequential, or incidental damages in connection with, or arising out of, the sale,

performance, or use of the equipment covered by this warranty.

MKS recommends that all MKS pressure and flow products be calibrated periodically

(typically every 6 to 12 months) to ensure accurate readings. When a product is returned

to MKS for this periodic re-calibration it is considered normal preventative maintenance

not covered by any warranty.

THIS WARRANTY IS IN LIEU OF ALL OTHER RELEVANT WARRANTIES,

EXPRESSED OR IMPLIED, INCLUDING THE IMPLIED WARRANTY OF

MERCHANTABILITY AND THE IMPLIED WARRANTY OF FITNESS FOR A

PARTICULAR PURPOSE, AND ANY WARRANTY AGAINST INFRINGEMENT OF ANY

PATENT.

This warranty is void if the product is installed using single or double metal ferrule compression
type vacuum fittings, shown below. These fittings are commonly tightened incorrectly, causing
damage to the pressure sensor.

SPECIAL NOTICE

Single Ferrule

Double Ferrule

5/09 1034134-001

1034134-001

REV. B, 3/13

Instruction Manual

MKS Baratron® Type DMB

Capacitance Manometer with

DeviceNet™ Digital Interface

Applicable to firmware revision 3.03

Copyright © 2013 by MKS Instruments, Inc.

All rights reserved. No part of this work may be reproduced or transmitted in any form or by any
means, electronic or mechanical, including photocopying and recording, or by any information
storage or retrieval system, except as may be expressly permitted in writing by MKS Instruments,
Inc.

Printed in the United States of America

Baratron® is a registered trademark of MKS Instruments, Inc., Andover, MA, USA.

DeviceNet™ is a trademark of Open DeviceNet Vendor Association, Coral Springs, FL, USA.

SEMI® is a registered trademark of Semiconductor Equipment and Materials International,
Mountain View, CA, USA.

Swagelok® and VCR ® are registered trademarks of Swagelok Co., Solon, OH, USA.

Inconel® and Incoloy® are registered trademarks of Inco Alloys International, Huntington, WV,
USA.

Some Baratron® products may not be exported to many end user countries without both US and
local government export licenses under ECCN 2B230.

Table of Contents

Table of Contents

Pressure Transducer Safety Information ...................................................................................... 1

Symbols Used in This Instruction Manual ...................................................................... 1

Symbols Found on the Unit ............................................................................................ 2

Safety Procedures and Precautions ................................................................................. 3

Sicherheitshinweise für den Druckmeßumformer ....................................................................... 5

In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole ...................................................... 5

Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole ............................................................. 6

Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen ......................................................... 7

Informations relatives à la sécurité pour le transducteur de pression .......................................... 9

Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation ............................................................... 9

Symboles apparaissant sur l'unité ................................................................................... 10

Mesures de sécurité et précautions ................................................................................. 11

Medidas de seguridad del transductor de presión ........................................................................ 13

Símbolos usados en este manual de instrucciones .......................................................... 13

Símbolos hallados en la unidad ....................................................................................... 14

Procedimientos y precauciones de seguridad ................................................................. 15

Chapter One: General Information .............................................................................................. 17

Introduction ..................................................................................................................... 17

DeviceNet Transducer Object Model ................................................................ 18

Definitions ......................................................................................................... 19

References .......................................................................................................... 20

How This Manual is Organized ...................................................................................... 20

Customer Support ........................................................................................................... 21

Chapter Two: Installation ............................................................................................................ 23

Unpacking the Type DMB Unit ...................................................................................... 23

Unpacking Checklist .......................................................................................... 23

Interface Cables .............................................................................................................. 23

Generic Shielded Cable Guidelines ................................................................... 24

Product Location and Requirements ............................................................................... 25

v

Table of Contents

Operating Environmental Requirements ............................................................ 25

Safety Conditions ............................................................................................... 25

Power Requirements .......................................................................................... 25

Setup ............................................................................................................................... 26

Dimensions ........................................................................................................ 26

Fittings ............................................................................................................... 27

Mounting Instructions ........................................................................................ 27

Electrical Information ..................................................................................................... 28

Grounding .......................................................................................................... 28

Connectors ......................................................................................................... 28

Startup ............................................................................................................................. 29

Power-Up ........................................................................................................... 29

Warm Up Time .................................................................................................. 30

Zero Adjustment ................................................................................................ 30

System Status ..................................................................................................... 30

Reporting the Pressure Value............................................................................. 31

Suggested Pressures for Reading and Control ................................................... 31

Adjusting the Zero .......................................................................................................... 32

Coarse Zero Adjustments ................................................................................... 32

Fine Zero Adjustments ....................................................................................... 32

Adjusting the Analog and Digital Zero .............................................................. 33

Chapter Three: Overview ............................................................................................................. 35

General Information ........................................................................................................ 35

Sensor .............................................................................................................................. 35

Signal Conditioner/Electronics ....................................................................................... 35

Pressure Measurement .................................................................................................... 36

Top Panel Components ................................................................................................... 38

Digital Communications Connector .................................................................. 38

OneTouch Coarse Zero Push Button ................................................................. 38

Analog Interface Connector ............................................................................... 38

DeviceNet Status LEDs ..................................................................................... 38

Module Status LED ........................................................................................... 38

Network Status LED .......................................................................................... 39

vi

Table of Contents

Data Rate and Node Address Switches .............................................................. 39

Fault Conditions .............................................................................................................. 41

Minor Faults ....................................................................................................... 41

Major Faults ....................................................................................................... 41

Trip Points....................................................................................................................... 42

Trip Point Hysteresis ......................................................................................... 42

Trip Point Settling Time .................................................................................... 42

Labels .............................................................................................................................. 43

Band Label ......................................................................................................... 43

Serial Number Label .......................................................................................... 43

Chapter Four: Operation .............................................................................................................. 45

General Information ........................................................................................................ 45

Operating Modes................................................................................................ 45

DeviceNet Messaging Protocol....................................................................................... 45

Message Formats ............................................................................................... 46

CAN Identifier Field .......................................................................................... 46

CAN Data Field ................................................................................................. 48

Objects ............................................................................................................................ 51

Identity Object ................................................................................................................ 53

Identity Object Instance Attributes .................................................................... 53

Identity Object Supported Services ................................................................... 54

DeviceNet Object ............................................................................................................ 55

DeviceNet Object Class Attribute ...................................................................... 55

DeviceNet Object Instance Attributes ............................................................... 55

DeviceNet Object Supported Services ............................................................... 57

Assembly Object ............................................................................................................. 58

Assembly Object Instances ................................................................................ 58

Assembly Object Instance Attribute .................................................................. 59

Assembly Object Supported Service ................................................................. 59

Connection Object .......................................................................................................... 60

Connection Object Instances ............................................................................. 60

Explicit Messaging Instance Attributes ............................................................. 61

I/O Poll Messaging Instance Attributes ............................................................. 61

vii

Table of Contents

Connection Object Supported Services ............................................................. 64

S-Analog Sensor Object .................................................................................................. 65

Customer Supported Attributes .......................................................................... 65

Pressure Units Support ....................................................................................... 69

Specific Services ................................................................................................ 70

Device Configuration Object .......................................................................................... 71

Device Configuration Object Instance Attributes .............................................. 71

Device Configuration Object Supported Services ............................................. 71

S-Device Supervisor Object ............................................................................................ 72

Class Specific Attributes .................................................................................... 72

S-Device Supervisor Object Supported Services ............................................... 82

Chapter Five: Maintenance and Troubleshooting ........................................................................ 83

General Information ........................................................................................................ 83

Maintenance .................................................................................................................... 83

Zero Adjustment ................................................................................................ 83

Troubleshooting .............................................................................................................. 84

Appendix A: Product Specifications ............................................................................................ 85

Digital Communication Specifications .............................................................. 85

Electrical Specifications .................................................................................... 86

Environmental Specifications ............................................................................ 87

Performance Specifications ............................................................................... 88

Physical Specifications ...................................................................................... 89

Appendix B: Model Code Explanation ........................................................................................ 91

Model Code ..................................................................................................................... 91

viii

Table of Contents

Appendix C: Command Summary ............................................................................................... 95

Attribute Summary ......................................................................................................... 95

Supported Service Summary........................................................................................... 103

Reset .................................................................................................................. 105

Recover .............................................................................................................. 105

Abort .................................................................................................................. 105

Get Attribute Single ........................................................................................... 106

Set Attribute Single ............................................................................................ 106

Restore Default .................................................................................................. 107

Allocate Master/Slave ........................................................................................ 107

Release Master/Slave ......................................................................................... 108

Lock ................................................................................................................... 108

Unlock ................................................................................................................ 109

Perform Fine Zero Offset (0x4B) ...................................................................... 109

Perform Coarse Zero Offset (0x32) ................................................................... 109

Appendix D: Example Messages ................................................................................................. 111

General Information ........................................................................................................ 111

Explicit Messaging ......................................................................................................... 111

Example 1: Sending an Explicit Request Message ........................................... 112

Example 2: Interpreting a Successful Explicit Message Response ................... 114

Example 3: Interpreting an Explicit Message Error Response ......................... 116

I/O Poll Messaging ......................................................................................................... 118

Example 1: Sending an I/O Poll Request Message ........................................... 118

Example 2: Interpreting an I/O Poll Response Message ................................... 119

Index ............................................................................................................................................ 121

ix

List of Figures

List of Figures

Figure 1: DeviceNet Transducer Object Model .......................................................................... 18

Figure 2: Top View Dimensions of the DMB Transducer .......................................................... 26

Figure 3: Side View Dimensions of the DMB Transducer ......................................................... 26

Figure 4: Analog and Digital Pressure Calculation..................................................................... 37

Figure 5: Top Panel Components ................................................................................................ 38

Figure 6: Data Rate Rotary Switch ............................................................................................. 40

Figure 7: Node Address Rotary Switches ................................................................................... 40

Figure 8: Band Label .................................................................................................................. 43

Figure 9: Serial Number Label.................................................................................................... 43

Figure 10: Explicit Request Message .......................................................................................... 112

Figure 11: Explicit Request Message Components .................................................................... 113

Figure 12: Successful Explicit Message Response ..................................................................... 114

Figure 13: Successful Explicit Message Response Components ................................................ 115

Figure 14: Explicit Message Error Response .............................................................................. 116

Figure 15: Explicit Message Error Response Components ......................................................... 117

Figure 16: I/O Poll Request Message ......................................................................................... 118

Figure 17: I/O Poll Request Message Components .................................................................... 119

Figure 18: Successful I/O Poll Response Message ..................................................................... 119

Figure 19: Successful I/O Poll Response Message Components ................................................ 120

x

List of Tables

List of Tables

Table 1: Definition of Symbols Found on the Unit ........................................................................ 2

Tabelle 2: Bedeutung der am Gerät angebrachten Symbole ........................................................... 6

Tableau 3: Définition des symboles apparaissant sur l'unité ........................................................ 10

Tabla 4: Definición de los símbolos hallados en la unidad ........................................................... 14

Table 5: Definitions ...................................................................................................................... 19

Table 6: References....................................................................................................................... 20

Table 7: Interface Cables .............................................................................................................. 24

Table 8: Power Supply Requirements ........................................................................................... 25

Table 9: Digital Communications Connector Pinout .................................................................... 28

Table 10: Analog Interface Connector Pinout .............................................................................. 29

Table 11: Warm Up Time ............................................................................................................. 30

Table 12: Lowest Suggested Pressures for Reading and Control ................................................. 31

Table 13: Highest Pressures Suggested for Proper Zero Adjustment ........................................... 32

Table 14: Module Status LED Indicators ..................................................................................... 39

Table 15: Network Status LED Indicators .................................................................................... 39

Table 16: Fault Conditions ............................................................................................................ 41

Table 17: CAN Identifier Field ..................................................................................................... 48

Table 18: CAN Data Field ............................................................................................................ 49

Table 19: Object Classes in the DMB Transducer ........................................................................ 52

Table 20: Identity Object Instance Attributes ............................................................................... 53

Table 21: Identity Object Supported Services .............................................................................. 54

Table 22: DeviceNet Object Class Attribute ................................................................................. 55

Table 23: DeviceNet Object Instance Attributes .......................................................................... 55

Table 24: DeviceNet Object Supported Services .......................................................................... 57

Table 25: Assembly Object Instances ........................................................................................... 58

Table 26: Assembly Object Instance Attribute ............................................................................. 59

Table 27: Assembly Object Supported Service ............................................................................ 59

Table 28: Connection Object Instances ........................................................................................ 60

Table 29: Explicit Messaging Instance Attributes ........................................................................ 61

Table 30: I/O Poll Messaging Instance Attributes ........................................................................ 62

Table 31: Poll Response Setup of the Produced_Connection_Path .............................................. 63

xi

List of Tables

Table 32: Poll Response Assembly Instance 2 ............................................................................. 64

Table 33: Poll Response Assembly Instance 5 ............................................................................. 64

Table 34: Connection Object Supported Services ........................................................................ 64

Table 35: S-Analog Sensor Class Specific Attributes ................................................................... 65

Table 36: Attribute ID # 03 Data Type ......................................................................................... 66

Table 37: Status Attribute Values ................................................................................................. 67

Table 38: S-Analog Sensor Pressure Units Support ..................................................................... 69

Table 39: S-Analog Sensor Object Specific Services ................................................................... 70

Table 40: Device Configuration Object Instance Attributes ......................................................... 71

Table 41: Device Configuration Object Supported Services ........................................................ 71

Table 42: S-Device Supervisor Class Specific Attributes ............................................................. 72

Table 43: Device Status Attribute Values ..................................................................................... 74

Table 44: Exception Status Bit Map ............................................................................................. 75

Table 45: Exception Detail Alarm Bytes ...................................................................................... 76

Table 46: Exception Detail Warning Bytes .................................................................................. 76

Table 47: Exception Detail Alarm Map ........................................................................................ 79

Table 48: Calibration Date Format ............................................................................................... 81

Table 49: S-Device Supervisor Object Supported Services .......................................................... 82

Table 50: Troubleshooting Chart .................................................................................................. 84

Table 51: Attribute Summary ....................................................................................................... 95

Table 52: Supported Service Summary ...................................................................................... 103

Table 53: Get Attribute Single Parameters ................................................................................. 106

Table 54: Set Attribute Single Parameters .................................................................................. 106

Table 55: Restore Default Service Parameters ........................................................................... 107

Table 56: Allocate Master/Slave Parameters .............................................................................. 107

Table 57: Allocation Choice Byte Contents ............................................................................... 108

Table 58: Release Master/Slave Parameter ................................................................................. 108

Table 59: Release Choice Byte Contents .................................................................................... 108

Table 60: Unlock Service Parameters ......................................................................................... 109

xii

Pressure Transducer Safety Information

Symbols Used in This Instruction Manual

1

Warning

The WARNING sign denotes a hazard to personnel. It calls
attention to a procedure, practice, condition, or the like, which,
if not correctly performed or adhered to, could result in injury to
personnel.

Caution

The CAUTION sign denotes a hazard to equipment. It calls attention to
an operating procedure, practice, or the like, which, if not correctly
performed or adhered to, could result in damage to or destruction of all
or part of the product.

Note

The NOTE sign denotes important information. It calls attention to a
procedure, practice, condition, or the like, which is essential to highlight.

Pressure Transducer Safety Information

Symbols Used in This Instruction Manual

Definitions of WARNING, CAUTION, and NOTE messages used throughout the manual.

Symbols Found on the Unit

Pressure Transducer Safety Information

2

|

Off (Supply)

IEC 417, No.5008

Alternating current

IEC 417, No.5032

Both direct and

alternating current

IEC 417, No.5033-a

Three phase

alternating current

IEC 617-2 No.020206

Caution, refer to

accompanying

documents

ISO 3864, No.B.3.1

Caution, risk of

electric shock

ISO 3864, No.B.3.6

Caution, hot surface

IEC 417, No.5041

On (Supply)

IEC 417, No.5007

Earth (ground)

IEC 417, No.5017

Protective earth

(ground)

IEC 417, No.5019

Frame or chassis

IEC 417, No.5020

Equipotentiality

IEC 417, No.5021

Direct current

IEC 417, No.5031

Class ll equipment

IEC 417, No.5172-a

Symbols Found on the Unit

The following table describes symbols that may be found on the unit.

Table 1: Definition of Symbols Found on the Unit

Pressure Transducer Safety Information

Safety Procedures and Precautions

3

Safety Procedures and Precautions

Observe the following general safety precautions during all phases of operation of this
instrument. Failure to comply with these precautions or with specific warnings elsewhere in this
manual violates safety standards of intended use of the instrument and may impair the
protection provided by the equipment. MKS Instruments, Inc. assumes no liability for the
customer’s failure to comply with these requirements.

DO NOT SUBSTITUTE PARTS OR MODIFY INSTRUMENT

Do not install substitute parts or perform any unauthorized modification to the instrument. Return
the instrument to an MKS Calibration and Service Center for service and repair to ensure that all
safety features are maintained.

SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY

Operating personnel must not attempt component replacement and internal adjustments. Any
service must be made by qualified service personnel only.

USE CAUTION WHEN OPERATING WITH HAZARDOUS MATERIALS

If hazardous materials are used, users must take responsibility to observe the proper safety
precautions, completely purge the instrument when necessary, and ensure that the material used is
compatible with the materials in this product, including any sealing materials.

PURGE THE INSTRUMENT

After installing the unit, or before removing it from a system, purge the unit completely with a
clean, dry gas to eliminate all traces of the previously used flow material.

USE PROPER PROCEDURES WHEN PURGING

This instrument must be purged under a ventilation hood, and gloves must be worn for protection.

DO NOT OPERATE IN AN EXPLOSIVE ENVIRONMENT

To avoid explosion, do not operate this product in an explosive environment unless it has been
specifically certified for such operation.

USE PROPER FITTINGS AND TIGHTENING PROCEDURES

All instrument fittings must be consistent with instrument specifications, and compatible with the

intended use of the instrument. Assemble and tighten fittings according to manufacturer’s

directions.

CHECK FOR LEAK-TIGHT FITTINGS

Carefully check all vacuum component connections to ensure leak-tight installation.

Safety Procedures and Precautions

Pressure Transducer Safety Information

4

OPERATE AT SAFE INLET PRESSURES

Never operate at pressures higher than the rated maximum pressure (refer to the product
specifications for the maximum allowable pressure).

INSTALL A SUITABLE BURST DISC

When operating from a pressurized gas source, install a suitable burst disc in the vacuum system
to prevent system explosion should the system pressure rise.

KEEP THE UNIT FREE OF CONTAMINANTS

Do not allow contaminants to enter the unit before or during use. Contamination such as dust,
dirt, lint, glass chips, and metal chips may permanently damage the unit or contaminate the
process.

ALLOW PROPER WARM UP TIME FOR TEMPERATURE-CONTROLLED UNITS

Temperature-controlled units will only meet specifications when sufficient time is allowed for the
unit to meet, and stabilize at, the designed operating temperature. Do not zero or calibrate the unit
until the warm up is complete.

Sicherheitshinweise für den Druckmeßumformer

In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole

5

Warnung!

Das Symbol WARNUNG! weist auf eine Gefahr für das
Bedienpersonal hin. Es macht auf einen Arbeitsablauf, eine
Arbeitsweise, einen Zustand oder eine sonstige Gegebenheit
aufmerksam, deren unsachgemäße Ausführung bzw.
ungenügende Berücksichtigung zu Verletzungen führen kann.

Vorsicht!

Das Symbol VORSICHT! weist auf eine Gefahr für das Gerät hin. Es
macht auf einen Bedienungsablauf, eine Arbeitsweise oder eine
sonstige Gegebenheit aufmerksam, deren unsachgemäße Ausführung
bzw. ungenügende Berücksichtigung zu einer Beschädigung oder
Zerstörung des Gerätes oder von Teilen des Gerätes führen kann.

Hinweis

Das Symbol HINWEIS macht auf wichtige Informationen bezüglich eines
Arbeitsablaufs, einer Arbeitsweise, eines Zustands oder einer sonstige
Gegebenheit aufmerksam.

Sicherheitshinweise für den Druckmeßumformer

In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole

Bedeutung der mit WARNUNG!, VORSICHT! und HINWEIS gekennzeichneten Absätze in
dieser Betriebsanleitung.

Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole

Sicherheitshinweise für den Druckmeßumformer

6

|

Ein (Energie)

IEC 417, No.5007

Aus (Energie)

IEC 417, No.5008

Erdanschluß

IEC 417, No.5017

Schutzleiteranschluß

IEC 417, No.5019

Masseanschluß

IEC 417, No.5020

Aquipotential-

anschluß

IEC 417, No.5021

Gleichstrom

IEC 417, No.5031

Wechselstrom

IEC 417, No.5032

Gleich- oder

Wechselstrom

IEC 417, No.5033-a

Durchgängige

doppelte oder
verstärkte Isolierung
IEC 417, No.5172-a

Dreileiter-

Wechselstrom

(Drehstrom)

IEC 617-2, No.020206

Warnung vor einer

Gefahrenstelle

(Achtung, Dokumen-

tation beachten)

ISO 3864, No.B.3.1

Warnung vor

gefährlicher

elektrischer

Spannung

ISO 3864, No.B.3.6

Höhere Temperatur

an leicht

zugänglichen Teilen

IEC 417, No.5041

Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole

Nachstehender Tabelle sind die Bedeutungen der Symbole zu entnehmen, die am Gerät
angebracht sein können.

Tabelle 2: Bedeutung der am Gerät angebrachten Symbole

Sicherheitshinweise für den Druckmeßumformer

Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen

7

Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen

Folgende allgemeine Sicherheitsvorschriften sind während allen Betriebsphasen dieses Gerätes
zu befolgen. Eine Mißachtung der Sicherheitsvorschriften und sonstiger Warnhinweise in dieser
Betriebsanleitung verletzt die für dieses Gerät und seine Bedienung geltenden
Sicherheitsstandards, und kann die Schutzvorrichtungen an diesem Gerät wirkungslos machen.
MKS Instruments, Inc. haftet nicht für Mißachtung dieser Sicherheitsvorschriften seitens des
Kunden.

Niemals Teile austauschen oder Änderungen am Gerät vornehmen!

Ersetzen Sie keine Teile mit baugleichen oder ähnlichen Teilen, und nehmen Sie keine
eigenmächtigen Änderungen am Gerät vor. Schicken Sie das Gerät zwecks Wartung und
Reparatur an den MKS-Kalibrierungs- und -Kundendienst ein. Nur so wird sichergestellt, daß alle
Schutzvorrichtungen voll funktionsfähig bleiben.

Wartung nur durch qualifizierte Fachleute!

Das Auswechseln von Komponenten und das Vornehmen von internen Einstellungen darf nur
von qualifizierten Fachleuten durchgeführt werden, niemals vom Bedienpersonal.

Vorsicht beim Arbeiten mit gefährlichen Stoffen!

Wenn gefährliche Stoffe verwendet werden, muß der Bediener die entsprechenden
Sicherheitsvorschriften genauestens einhalten, das Gerät, falls erforderlich, vollständig spülen,
sowie sicherstellen, daß der Gefahrstoff die am Gerät verwendeten Materialien, insbesondere
Dichtungen, nicht angreift.

Spülen des Gerätes mit Gas!

Nach dem Installieren oder vor dem Ausbau aus einem System muß das Gerät unter Einsatz eines
reinen Trockengases vollständig gespült werden, um alle Rückstände des Vorgängermediums zu
entfernen.

Anweisungen zum Spülen des Gerätes

Das Gerät darf nur unter einer Ablufthaube gespült werden. Schutzhandschuhe sind zu tragen.

Gerät nicht zusammen mit explosiven Stoffen, Gasen oder Dämpfen benutzen!

Um der Gefahr einer Explosion vorzubeugen, darf dieses Gerät niemals zusammen mit (oder in
der Nähe von) explosiven Stoffen aller Art eingesetzt werden, sofern es nicht ausdrücklich für
diesen Zweck zugelassen ist.

Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen

Sicherheitshinweise für den Druckmeßumformer

8

Anweisungen zum Installieren der Armaturen!

Alle Anschlußstücke und Armaturenteile müssen mit der Gerätespezifikation übereinstimmen,
und mit dem geplanten Einsatz des Gerätes kompatibel sein. Der Einbau, insbesondere das
Anziehen und Abdichten, muß gemäß den Anweisungen des Herstellers vorgenommen werden.

Verbindungen auf Undichtigkeiten prüfen!

Überprüfen Sie sorgfältig alle Verbindungen der Vakuumkomponenten auf undichte Stellen.

Gerät nur unter zulässigen Anschlußdrücken betreiben!

Betreiben Sie das Gerät niemals unter Drücken, die den maximal zulässigen Druck (siehe
Produktspezifikationen) übersteigen.

Geeignete Berstscheibe installieren!

Wenn mit einer unter Druck stehenden Gasquelle gearbeitet wird, sollte eine geeignete
Berstscheibe in das Vakuumsystem installiert werden, um eine Explosionsgefahr aufgrund von
steigendem Systemdruck zu vermeiden.

Verunreinigungen im Gerät vermeiden!

Stellen Sie sicher, daß Verunreinigungen jeglicher Art weder vor dem Einsatz noch während des
Betriebs in das Instrumenteninnere gelangen können. Staub- und Schmutzpartikel, Glassplitter
oder Metallspäne können das Gerät dauerhaft beschädigen oder Prozeß und Meßwerte
verfälschen.

Bei Geräten mit Temperaturkontrolle korrekte Anwärmzeit einhalten!

Temperaturkontrollierte Geräte arbeiten nur dann gemäß ihrer Spezifikation, wenn genügend Zeit
zum Erreichen und Stabilisieren der Betriebstemperatur eingeräumt wird. Kalibrierungen und
Nulleinstellungen sollten daher nur nach Abschluß des Anwärmvorgangs durchgeführt werden.

Informations relatives à la sécurité pour le
transducteur de pression

Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation

9

Avertissement

L'indication AVERTISSEMENT signale un danger pour le
personnel. Elle attire l'attention sur une procédure, une
pratique, une condition, ou toute autre situation
présentant un risque d'accident pour le personnel, en cas
d'exécution incorrecte ou de non respect des consignes.

Attention

L'indication ATTENTION signale un danger pour l'appareil.
Elle attire l'attention sur une procédure d'exploitation, une
pratique, ou toute autre situation, présentant un risque
d'endommagement ou de destruction d'une partie ou de la
totalité de l'appareil, en cas d'exécution incorrecte ou de non
respect des consignes.

Remarque

L'indication REMARQUE signale une information importante. Elle
attire l'attention sur une procédure, une pratique, une condition, ou
toute autre situation, présentant un intérêt particulier.

Informations relatives à la sécurité pour le transducteur

de pression

Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation

Définitions des indications AVERTISSEMENT, ATTENTION, et REMARQUE utilisées dans ce
manuel.

Symboles apparaissant sur l'unité

Informations relatives à la sécurité pour le

transducteur de pression

10

|

Marche

(sous tension)

IEC 417, No.5007

Arrêt (hors tension)

IEC 417, No.5008

Terre (masse)

IEC 417, No.5017

Terre de protection

(masse)

IEC 417, No.5019

Masse

IEC 417, No.5020

Equipotentialité

IEC 417, No.5021

Courant continu

IEC 417, No.5031

Courant alternatif

IEC 417, No.5032

Courant continu et

alternatif

IEC 417, No.5033-a

Matériel de classe II
IEC 417, No.5172-a

Courant alternatif

triphasé

IEC 617-2,

No.020206

Attention : se reporter

à la documentation

ISO 3864, No.B.3.1

Attention : risque de

choc électrique

ISO 3864, No.B.3.6

Attention : surface

brûlante

IEC 417, No.5041

Symboles apparaissant sur l'unité

Le tableau suivant décrit les symboles pouvant apparaître sur l'unité.

Tableau 3: Définition des symboles apparaissant sur l'unité

Informations relatives à la sécurité pour le
transducteur de pression

Mesures de sécurité et précautions

11

Mesures de sécurité et précautions

Prendre les précautions générales de sécurité suivantes pendant toutes les phases d'exploitation
de cet appareil. Le non respect des ces précautions ou des avertissements contenus dans ce
manuel constitue une violation des normes de sécurité relatives à l'utilisation de l'appareil et
peut diminuer la protection fournie par l'appareil. MKS Instruments, Inc. n'assume aucune
responsabilité concernant le non respect des consignes par les clients.

PAS DE SUBSTITUTION DE PIÈCES OU DE MODIFICATION DE L'APPAREIL

Ne pas installer des pièces de substitution ou effectuer des modifications non autorisées sur
l'appareil. Renvoyer l'appareil à un centre de service et de calibrage MKS pour tout dépannage ou
réparation afin de garantir le l'intégrité des dispositifs de sécurité.

DÉPANNAGE UNIQUEMENT PAR DU PERSONNEL QUALIFIÉ

Le personnel d'exploitation ne doit pas essayer de remplacer des composants ou de faire des
réglages internes. Tout dépannage doit être uniquement effectué par du personnel qualifié.

PRÉCAUTION EN CAS D'UTILISATION AVEC DES PRODUITS DANGEREUX

Si des produits dangereux sont utilisés, l'utilisateur est responsable de la prise des mesures de
précaution appropriées, de la purge complète de l'appareil quand cela est nécessaire, et de la
garantie que les produits utilisés sont compatibles avec les composants de cet appareil, y compris
les matériaux d'étanchéité.

PURGE DE L'APPAREIL

Après l'installation de l'unité, ou avant son enlèvement d'un système, purger l'unité complètement
avec un gaz propre et sec afin d'éliminer toute trace du produit de flux utilisé précédemment.

UTILISATION DES PROCÉDURES APPROPRIÉES POUR LA PURGE

Cet appareil doit être purgé sous une hotte de ventilation, et il faut porter des gants de protection.

PAS D'EXPLOITATION DANS UN ENVIRONNEMENT EXPLOSIF

Pour éviter toute explosion, ne pas utiliser cet appareil dans un environnement explosif, sauf en
cas d'homologation spécifique pour une telle exploitation.

UTILISATION D'ÉQUIPEMENTS APPROPRIÉS ET PROCÉDURES DE SERRAGE

Tous les équipements de l'appareil doivent être cohérents avec ses spécifications, et compatibles
avec l'utilisation prévue de l'appareil. Assembler et serrer les équipements conformément aux
directives du fabricant.

Mesures de sécurité et précautions

Informations relatives à la sécurité pour le

transducteur de pression

12

VÉRIFICATION DE L'ÉTANCHÉITÉ DES CONNEXIONS

Vérifier attentivement toutes les connexions des composants pour le vide afin de garantir
l'étanchéité de l'installation.

EXPLOITATION AVEC DES PRESSIONS D'ENTRÉE NON DANGEREUSES

Ne jamais utiliser des pressions supérieures à la pression nominale maximum (se reporter aux
spécifications de l'unité pour la pression maximum admissible).

INSTALLATION D'UN DISQUE D'ÉCHAPPEMENT ADAPTÉ

En cas d'exploitation avec une source de gaz pressurisé, installer un disque d'échappement adapté
dans le système à vide, afin d'éviter une explosion du système en cas d'augmentation de la
pression.

MAINTIEN DE L'UNITÉ À L'ABRI DES CONTAMINATIONS

Ne pas laisser des produits contaminants pénétrer dans l'unité avant ou pendant l'utilisation. Des
produits contaminants tels que des poussières et des fragments de tissu, de glace et de métal
peuvent endommager l'unité d'une manière permanente ou contaminer le processus.

RESPECT DU TEMPS D'ÉCHAUFFEMENT APPROPRIÉ POUR LES UNITÉS Á
TEMPÉRATURE CONTRÔLÉE

Les unités à température contrôlée atteignent leurs spécifications uniquement quand on leur laisse
un temps suffisant pour atteindre d'une manière stable la température d'exploitation. Ne pas
remettre à zéro ou calibrer l'unité tant que l'échauffement n'est pas terminé.

Medidas de seguridad del transductor de presión

Símbolos usados en este manual de instrucciones

13

Advertencia

El símbolo de advertencia indica la posibilidad de que se
produzcan daños personales. Pone de relieve un
procedimiento, práctica, estado, etc. que en caso de no
realizarse u observarse correctamente puede causar daños
personales.

Precaución

El símbolo de precaución indica la posibilidad de producir daños al
equipo. Pone de relieve un procedimiento operativo, práctica,
estado, etc. que en caso de no realizarse u observarse
correctamente puede causar daños o la destrucción total o parcial
del equipo.

Nota

El símbolo de notas indica información de importancia. Este símbolo
pone de relieve un procedimiento, práctica o condición cuyo
conocimiento es esencial destacar.

Medidas de seguridad del transductor de presión

Símbolos usados en este manual de instrucciones

Definiciones de los mensajes de advertencia, precaución y de las notas usados en el manual.

Símbolos hallados en la unidad

Medidas de seguridad del transductor de presión

14

|

Encendido

(alimentación eléctrica)

IEC 417, N° 5007

Apagado

(alimentación eléctrica)

IEC 417, N° 5008

Puesta a tierra

IEC 417, N° 5017

Protección a tierra

IEC 417, N° 5019

Caja o chasis

IEC 417, N° 5020

Equipotencialidad

IEC 417, N° 5021

Corriente continua
IEC 417, N° 5031

Corriente alterna

IEC 417, N° 5032

Corriente continua y

alterna

IEC 417, N° 5033-a

Equipo de clase II

IEC 417, N° 5172-a

Corriente alterna

trifásica

IEC 617-2, N°

020206

Precaución. Consulte

los documentos

adjuntos

ISO 3864, N° B.3.1

Precaución. Riesgo

de descarga eléctrica

ISO 3864, N° B.3.6

Precaución.

Superficie caliente

IEC 417, N° 5041

Símbolos hallados en la unidad

La tabla siguiente contiene los símbolos que puede hallar en la unidad.

Tabla 4: Definición de los símbolos hallados en la unidad

Medidas de seguridad del transductor de presión

Procedimientos y precauciones de seguridad

15

Procedimientos y precauciones de seguridad

Las precauciones generales de seguridad descritas a continuación deben observarse durante
todas las etapas de funcionamiento del instrumento. La falta de cumplimiento de dichas
precauciones o de las advertencias específicas a las que se hace referencia en el manual,
constituye una violación de las normas de seguridad establecidas para el uso previsto del
instrumento y podría anular la protección proporcionada por el equipo. Si el cliente no cumple
dichas precauciones y advertencias, MKS Instruments, Inc. no asume responsabilidad legal
alguna.

NO UTILICE PIEZAS NO ORIGINALES O MODIFIQUE EL INSTRUMENTO

No instale piezas que no sean originales ni modifique el instrumento sin autorización. Para
asegurar el correcto funcionamiento de todos los dispositivos de seguridad, envíe el instrumento
al Centro de servicio y calibración de MKS toda vez que sea necesario repararlo o efectuar tareas
de mantenimiento.

LAS REPARACIONES DEBEN SER EFECTUADAS ÚNICAMENTE POR TÉCNICOS
AUTORIZADOS

Los operarios no deben intentar reemplazar los componentes o realizar tareas de ajuste en el
interior del instrumento. Las tareas de mantenimiento o reparación deben ser realizadas
únicamente por personal autorizado.

TENGA CUIDADO CUANDO TRABAJE CON MATERIALES TÓXICOS

Cuando se utilicen materiales tóxicos, es responsabilidad de los operarios tomar las medidas de
seguridad correspondientes, purgar totalmente el instrumento cuando sea necesario y comprobar
que el material utilizado sea compatible con los materiales del instrumento e inclusive, con todos
los materiales de sellado.

PURGUE EL INSTRUMENTO

Una vez instalada la unidad o antes de retirarla del sistema, purgue completamente la unidad con
gas limpio y seco para eliminar todo resto de la sustancia líquida empleada anteriormente.

USE PROCEDIMIENTOS ADECUADOS PARA REALIZAR LA PURGA

El instrumento debe purgarse debajo de una campana de ventilación y deben utilizarse guantes
protectores.

NO HAGA FUNCIONAR EL INSTRUMENTO EN AmbientES CON RIESGO DE
EXPLOSIÓN

Para evitar que se produzcan explosiones, no haga funcionar este instrumento en un Ambiente
con riesgo de explosiones, excepto cuando el mismo haya sido certificado específicamente para
tal uso.

Procedimientos y precauciones de seguridad

Medidas de seguridad del transductor de presión

16

USE ACCESORIOS ADECUADOS Y REALICE CORRECTAMENTE LOS
PROCEDIMIENTOS DE AJUSTE

Todos los accesorios del instrumento deben cumplir las especificaciones del mismo y ser
compatibles con el uso que se debe dar al instrumento. Arme y ajuste los accesorios de acuerdo
con las instrucciones del fabricante.

COMPRUEBE QUE LAS CONEXIONES SEAN A PRUEBA DE FUGAS

Inspeccione cuidadosamente las conexiones de los componentes de vacío para comprobar que
hayan sido instalados a prueba de fugas.

HAGA FUNCIONAR EL INSTRUMENTO CON PRESIONES DE ENTRADA SEGURAS

No haga funcionar nunca el instrumento con presiones superiores a la máxima presión nominal
(en las especificaciones del instrumento hallará la presión máxima permitida).

INSTALE UNA CÁPSULA DE SEGURIDAD ADECUADA

Cuando el instrumento funcione con una fuente de gas presurizado, instale una cápsula de
seguridad adecuada en el sistema de vacío para evitar que se produzcan explosiones cuando suba
la presión del sistema.

MANTENGA LA UNIDAD LIBRE DE CONTAMINANTES

No permita el ingreso de contaminantes en la unidad antes o durante su uso. Los productos
contaminantes tales como polvo, suciedad, pelusa, lascas de vidrio o virutas de metal pueden
dañar irreparablemente la unidad o contaminar el proceso.

CALIENTE ADECUADAMENTE LAS UNIDADES CONTROLADAS POR MEDIO DE
TEMPERATURA

Las unidades controladas por medio de temperatura funcionarán de acuerdo con las
especificaciones sólo cuando se las caliente durante el tiempo suficiente para permitir que lleguen
y se estabilicen a la temperatura de operación indicada. No calibre la unidad y no la ponga en
cero hasta que finalice el procedimiento de calentamiento.