Leybold vacuum MAG W 2000 Operating Instructions Manual

MAG W 2000

Turbo-Molekularpumpe
mit Magnetlagerung

Turbomolecular Pump
with Magnetic Bearing

Kat.-Nr. / Cat. No. 136 30

Operating Instructions

Gebrauchsanleitung

Vakuum-Lösungen

Applikations­Unterstützung

Service

LEYBOLD VAKUUM

KA 05.144/1
Ergänzung zu GA 05.135
Supplement to GA 05.135

1.5 Lieferumfang

Zum Hochvakuum-Anschluß werden ein Splitterschutz
und eine Kupferdichtung mitgeliefert.

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KA 05.144/1 - 11/99

Die MAG W 2000 ist identisch mit der MAG W 2000 C
außer in den folgenden Punkten:

• Sie hat einen Hochvakuum-Anschlussflansch DN 250
CF.

• Sie ist nicht für Sperrgasbetrieb vorgesehen, der
Sperrgasanschluss ist blind geflanscht.

• Die Kühlwasser-Anschlüsse sind anders.

Deshalb ist die Gebrauchsanleitung GA 05.135 für diese
Pumpe gültig, allerdings mit den folgenden Abweichun­gen.

Abb. 1 MAG W 2000

Kühlwasser-Anschlüsse
Ein- und Auslass beliebig

Hochvakuum-Anschlussflansch

Vorvakuum-

Anschlussflansch

1.7 Bestelldaten

Bestell-Nr.
MAG W 2000 136 30
Verpackungs-Set auf Anfrage

2.6 Kühlwasser

Kühlwasser ist nur erforderlich beim Ausheizen der
Pumpe. Bei Enddruck-Betrieb ist kein Kühlwasser erfor­derlich.

Bei Zyklusbetrieb kann Kühlwasser erforderlich sein.
Wenn die Pumpe zu warm wird, wird sie mit der
Störungsmeldung „Lager Temp.“ abgeschaltet.

Ausheizen

Sollen in kurzer Zeit Drücke im Bereich von 10-8mbar
erreicht werden, müssen die Vakuumkammer und die
darin enthaltenen Komponenten ausgeheizt werden.

Den Rotor vor starker und direkter Wärmestrahlung
schützen. Beim Ausheizen an der Vorvakuumseite, z. B.
einer Adsorptionsfalle, darauf achten, daß sich direkt
angeflanschte Bauteile nicht über 80 °C erwärmen.

Die Vorvakuumpumpe muß zum Abpumpen der aus der
Adsorptionsfalle anfallenden Dämpfe in Betrieb sein.

Die max. Ausheiztemperatur am CF-Flansch ist 100 °C.

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KA 05.144/1 - 11/99

32 Schrauben: M8 x 45
Anziehmoment: 30 Nm

Abb. 2 Schnitt durch eine CF-Flanschverbindung

Kupferdichtung

Alle 32 Schrauben zur Befestigung des
Hochvakuum-Flansches benutzen.
Die Schrauben werden von Leybold mit­geliefert.

1.6 Technische Daten

Saugvermögen für N2gemessen
mit Splitterschutz (PNEUROP) 1650 l·s

-1

Kompression für N

2

3,8·10

8

Kompression für H

2

9,6·10

3

Enddruck nach DIN 28 400 2·10

-10

mbar

Max. Vorvakuumdruck mit Stickstoff 1 mbar
Empfohlener Vorvakuumdruck < 10-2mbar

Drehzahl 28 800 min

-1

Hochlaufzeit < 8 min

Bremszeit mit/ohne Belüftung 1 / < 7,5 min

Kühlung Wasser

Kühlwasser-Anschluß, Schlauchtülle für
Schlauch mit Innendurchmesser 8 bis 10 mm
Kühlwasser-Temperatur 15 — 30 °C

Gewicht ca. 72 kg

Hochvakuumflansch DN 250 CF

Vorvakuumflansch DN 40 KF

Empfohlene Vorvakuumpumpe DRYVAC 50

Zulässige Umgebungstemperatur 5 — 40 °C

Lagertemperatur -10 — +60 °C

Max. rel. Luftfeuchtigkeit 95% (nicht kondensierend)

Schutzart (EN 60529) IP 20