KLA Tencor P-16+, P-6 User Manual

P-16+ / P-6

User’s Guide

KLA-TENCOR CONFIDENTIAL

Family: Profiler Product Line: Profiler P1X / PX Model: P-16+ / P-6 Software Version 7.31/7.35 MNL, USER PN- 0142530-000 AB

One Technology Drive., Milpitas, CA 95035 Phone: (408) 875-3000 FAX: (408) 571-2722

TRADEMARKS

P-16+ / P-6 is a trademark of KLA-Tencor Corporation. All other brand and product names may be trademarks of their respective companies.

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EC COMPLIANCE

At the time of printing, the P-16+ / P-6 Profiler complies with the essential requirements of the EC (Electromagnetic Compatibility) Directives listed below:

EC Directives EC 89/392/EEC

EC 89/336/EEC

EC 93/68/EEC

Machinery, Annex 1 EC 98/37/EEC

Low Voltage, Annex 1 EC 73/23/EEC

Harmonized Electromagnetic Standards EN 50082-2:1995

EN 50081-2:1993

EN 55011:2000

Harmonized Safety Standards EN 60204-1:1992

IEC 61010-1, 2001

EN 61010-1:2001 (2nd Edition)

EN 61000-6-2:2005

EN 61000-6-4:2007

IEC 61010-1

Product Safety Assessment SEMI S2-0703

Ergonomic Assessment SEMI S8-0705

Fire Risk Assessment SEMI S14-0704

RoHS Compliance: All P-16+ and P-6 external

peripherals and computer components used (main scanner exempt) comply with the European Union's Directive 2002/95/EC, Restrictions of Hazardous Substances ("RoHS" Directive).

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Table of Contents

Chapter 1 Introduction & Safety

INSTRUMENT OVERVIEW. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1

AFETY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1

Safety Symbols and Related Keywords . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1

Lockout/Tagout Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2

Stage and Head Movement Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4

Chapter 2 Basic Skills

OVERVIEW . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-1

RGONOMIC CONSIDERATIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-1

OWERING UP THE PROFILE R . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2

Power Up Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2

OGGING INTO PROFILER SECURITY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2

TARTING THE PROFILER APPLICATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3

Profiler Start-Up Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3

AVIGATING BETWEEN PROGRAM LEVEL SCREENS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-5

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-5

Navigation Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-6

XITING THE PROFILER APPLICATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-6

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-6

Profiler Exit Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-6

LEARING A STATUS BAR MESSAGE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-7

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-7

Clearing a Status Bar Message Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-7

ROTECTING THE STYLUS ARM ASSEMBLY. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-8

System Provisions for Stylus Protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-8

Potential Stylus Damage During Scans. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-8

OADING A SAMPLE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-10

DJUSTING THE VIDEO IMAGE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-12

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-12

Video Image Adjustment Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-12

SING FILE NAME CONVENTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-13

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-13

Naming and Saving Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-13

AVING VIDEO IMAGES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-13

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-13

Naming and Saving Video Images Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-13

XPORTING DATA GRAPHS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-14

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-14

EXPORTING DATA FROM THE DATABASE FILE MANAGER. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-16

P/N 0142530-000 AB TOC-1 Friday, March 13, 2009

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Chapter 3 Scan Recipes

INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1

CCESSING THE SCAN RECIPE CATALOG SCREEN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2

SCAN RECIPE CATALOG SCREEN COMPONENTS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3

Screen Tools . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3

Catalog Screen Access Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9

List Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10

System Status Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12

REATING AND EDITING A SCAN RECIPE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12

Accessing the Scan Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13

Recipe Editor for 2D and 3D Scans. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13

Scan Parameter Definition Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14

Feature Detection (Only for 2D Scans) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31

Filters and Cursors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-38

Filters Cursors Menu for a 3D Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-48

Unit Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-51

General Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-51

Roughness and Waviness Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-55

Bearing Ratio and Cutting Depth . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-63

High Spot Count and Peak Count . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-67

Histogram Leveling and Depth Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-70

ISTOGRAM DEPTH . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-76

NALYSIS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-77

CMP A

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-77

Preliminary

Arrays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-80

Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-82

Pads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-83

EATURE FIND . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-84

Search For: Trench / Line . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-86

Search For Model Feature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-88

Search Patterns: Center Outward, Top to Bottom,

or Bottom to Top . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-91

X Scan Size (µm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-91

Traces. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-91

Y Spacing (µm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-92

Scan Speed (µm/s) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-92

Sampling (Hz) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-92

Failure Option: Save Search Data, Skip Current Scan, or Scan at Center . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-93

Scan Offset from Center (µm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-93

Feature Characteristics: Feature Down or Feature Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94

Feature Depth / Height (nm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94

X Width (µm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94

Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-95

Matching Methods: Edge Base or Depth Base . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-96

Matching Scores . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-97

Reference Point (µm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-98

Diagnostic Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-98

Entering Comments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-100

TOC-2 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB

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Chapter 4 XY View Screen

INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-1

TARTING THE XY VIEW APPLICATION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-1

Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-1

XY View Window Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-1

ETTING THE MAGNIFICATION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-9

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-9

Changing the Magnification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-10

Resetting the Zoom to “0.00”. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-10

Saving the Current Zoom Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-10

OCUSING THE VIEW. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-11

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-11

Focus the Optics – Top- or Side-View . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-11

OSITIONING THE SCAN SITE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-13

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-13

USING DIE GRID NAVIGATION (OPTIONAL FEATURE, P-16+ ONLY) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-16

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-16

Creating a Die Grid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-18

Loading a Die Grid (Turning ON Die Grid Navigation) for a Single Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-25

Clearing a Die Grid (Turn OFF Die Grid Navigation) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-28

Navigating Across the Wafer Using the Die Grid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-28

Enabling the Dropout Die Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-28

Clearing Dropout Dies From the Grid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-28

Moving to Partial Dies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-28

Displaying Grid Numbers in the Die Grid Navigation Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-29

To Change the Font and Color of the Grid Numbers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-29

LIGNING THE SAMPLE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-29

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-29

Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-29

Preliminary

Chapter 5 View Scan Window

2D SCREEN FUNCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-1

2D Scan Information Field. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-2

Scan Information Field - 2D Sequence Recipe Column . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-3

Real Time Scan Trace Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-4

2D View Scan Screen Tool Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-4

2D View Scan Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-5

3D S

CREEN FUNCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-9

3D Scan Information Field. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-10

Scan Information Field - 3D Sequence Recipe Column . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-11

3D View Scan Screen Tool Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-11

3D View Scan Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-12

Video Image. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-13

Real Time Scan Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-14

Wafer Image Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-14

Scan Site Image Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-15

BORTING A SCAN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-15

0142530-000 AB KLA-Tencor Confidential TOC-3 3/13/09

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide

Chapter 6 Sequence Recipe and Data

INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1

TARTING THE SEQUENCE EDITOR APPLICATION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2

CREATING A SEQUENCE RECIPE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2

EQUENCE EDITOR WINDOW FEATURES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-19

Sequence Editor Menus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-19

Sequence Editor Toolbar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-19

Displaying the Sequence Information Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-22

DITING THE OPTIONS FIELD IN THE SEQUENCE EDITOR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23

Semi-Automatic. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23

Set Deskew Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-24

Teaching the Base Angle (P-16+ Only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-27

UNNING A SEQUENCE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-28

QUEUE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-28

Setting up a Queue . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-28

Adding Sequence Recipes to the Queue at Runtime . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-30

ORRELATION SCANS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-31

Viewing the Correlation Scan Data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-32

VIEWING SAVED SEQUENCE DATA. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-33

Viewing Old Sequence Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-33

Recovering Sequence Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-33

Calculating Combined Sequence Statistics. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-34

SING MULTI ANALYSIS IN SEQUENCE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-34

Viewing Multi Analysis Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-35

Preliminary

VIEWING SEQUENCE DATA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-36

Viewing Wafer Summary Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-36

Sequence Summary Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-36

Viewing Sequence Data with the Corresponding Trace, Site-by-Site . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-37

EQUENCING WITH MANUAL DESKEW (APPLIES TO BOTH P-16+ AND P-6). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-38

DESKEWING TWICE TO ALIGN THETA (P-16+ ONLY) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-39

EQUENCING WITH PATTERN RECOGNITION DESKEW

(OPTIONAL PATTERN RECOGNITION FEATURE, P-16+ ONLY) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-39

ROPING WITH PATTERN RECOGNITION (P-16+ ONLY) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-44

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-44

Setup Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-44

EQUENCING WITH SITE-BY-SITE PATTERN RECOGNITION (P-16+ ONLY) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-47

SAVING SEQUENCES. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-47

AVING THE SEQUENCE DATA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-48

Chapter 7 Analyzing 3D Scan Data

INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1

TARTING THE 3D ANALYSIS APPLICATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1

NALYSIS SCREEN FEATURES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2

3D A

Analysis Screen – Image Orientation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2

Graphics Buttons and Their Function). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6

Analysis Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-16

INE-BY-LINE LEVELING . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-32

TOC-4 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB

3/13/09

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-32

Activating Line Leveling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-32

USTOMIZING THE SCAN IMAGE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-36

Setting the Image Proportions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-36

Setting the Shading Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-36

USTOMIZING THE VIEW . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-37

Changing the Image Colors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-37

Changing the Scan Height Colors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-37

Removing Banding with Line Leveling. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-37

SING IMAGE ARITHMETIC TO COMPARE DATA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-39

AVING SCAN DATA. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-40

Saving 3D Scan Data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-40

Creating and Saving 2D Slice Data from a 3D Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-41

Chapter 8 APEX 2D/3D - Getting Started

INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-1

ICENCE AGREEMENT. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-1

OVERVIEW OF APEX 2D/3D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-1

Preliminary

Chapter 9 Stress (Optional feature)

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-1

THEORY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-1

Stoney Equation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-1

Polynomial Fit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-3

Least Square Fit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-4

HE 2D STRESS APPLICATION WINDOW (P-16+ AND P-6) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-5

The Stress Screen Tool Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-5

Stress Recipe Catalog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-6

Stress Scan Data File Catalog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-6

REATING A STRESS RECIPE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-6

Number of Stress Points . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-6

Scan Start Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-6

Scan Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-7

Substrate Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-7

REATING STRESS DATA. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-8

Load a Wafer on the Stress Locator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-8

Loading Wafers. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-8

Taking a Pre-Stress Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-10

Taking a Post-Stress Scan. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-10

Analyzing Stress Scan Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-10

Chapter 10 3D Stress (optional Feature, P-16+ only)

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-1

Definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-1

The 3D Stress Application Window. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-3

0142530-000 AB KLA-Tencor Confidential TOC-5 3/13/09

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide

Creating a 3D Stress Recipe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-4

Adding New Substrates to the Substrate Database . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6

Saving a Stress Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-7

Taking 3D Stress Data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8

Creating and Analyzing 3D Stress Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8

Saving the Stress Difference Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18

Chapter 11 System Security

INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-1

KLA-Tencor Operating System Security . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-1

LOGIN AND LOGOUT PROCEDURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-2

ONFIGURING KLA-TENCOR SECURITY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-3

PROCEDURE TO MODIFY SECURITY SETTINGS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-4

ROUP USER ADMIN - MANAGE USERS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-5

ROCEDURE TO CHANGE THE AUTOLOGONUSER PASSWORD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-6

ACCESS POLICY SETTINGS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8

ROCEDURE TO CHANGE ACCESS POLICY SETTINGS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9

PPLICATION LIFECYCLE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-15

PROCEDURE TO CHANGE APPLICATION LIFECYCLE SETTINGS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-16

LOBAL SETTINGS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-17

ROCEDURE TO CHANGE THE GLOBAL SETTINGS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-19

SECURITY GROUPS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-20

OMPUTER MANAGEMENT/USER ACCOUNTS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-21

Preliminary

ROCEDURE TO CREATE A NEW USER ACCOUNT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-21

PROCEDURE TO ADD USERS TO SECURITY GROUPS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-23

ROCEDURE TO ADD SECURITY GROUPS TO USER ACCOUNTS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-26

Chapter 12 Calibrations

STANDARD CALIBRATION MATRIX. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1

PPLIED FORCE CALIBRATION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1

Applied Force Calibration Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-2

IDEO CALIBRATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-3

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-3

Video Calibration Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-3

CAN POSITION OFFSET CALIBRATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-6

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-6

TEP HEIGHT CALIBRATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-6

Calibration Procedure:. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-7

ERIES LEVEL CALIBRATIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-12

P-16 S

Level Calibration Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-13

Level Calibration Confirmation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-15

P-6 L

EVELING . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-19

WAFER CENTER CALIBRATION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-19

TOC-6 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB

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KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide

Chapter 13 Stylus Change Procedure

INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13-1

TYLUS REMOVAL AND REPLACEMENT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13-2

Stylus Removal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13-3

Stylus Replacement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13-7

Scan Position Offset Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13-9

Chapter 14 Configuration

OPERATING ENVIRONMENT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-1

YSTEM GEOMETRY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-1

Level and Tilt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-2

INTRODUCTION TO SYSTEM CONFIGURATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-5

STAGE CONFIGURATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-6

Theta Soft Home Position. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-7

Teach Lowest Elevator Position. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-7

Elevator Focus Speed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-9

Elevator Slow Focus Speed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-9

Move Elevator to Safe Position Before Moving Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-9

Elevator Safe Position. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-10

YSTEM CONFIGURATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-10

Editing the System Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-10

Instrument Setup Configuration Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-11

AFE AREA CONFIGURATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-12

LICENSE OPTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-15

ECIPE TRANSPORT OPTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-16

Data Export Paths Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-16

SEQUENCE EXECUTION OPTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-17

Open Sequence Execution Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-17

ROXIMITY SENSOR CONFIGURATION (P-16+ ONLY) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-17

Configuration Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-17

Options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-18

RECISI ON LOCATORS (P-16+ ONLY) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-19

Wafer Precision Locators. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-19

Three Point Disk Locator. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-21

Precision Locators - Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-24

P-6 P

RECISION LOCATORS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-25

Preliminary

Chapter 15 Preventive Maintenance

INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15-1

ERIODIC PREVENTIVE MAINTENANCE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15-1

Weekly PM Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15-1

Monthly PM Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15-2

Semi-Annual PM Procedures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15-2

0142530-000 AB KLA-Tencor Confidential TOC-7 3/13/09

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide

Chapter 16 Backup and Restore

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-1

Profiler Backup Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-1

Appendix A Hazardous Materials

INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-1

HAZARDOUS MATERIAL CONTENT. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-1

AZARDOUS MATERIALS LIST . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-2

Appendix A P Series Profiler - Preparing for Shipment

INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-1

ROCEDURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-1

Preliminary

TOC-8 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB

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List of Figures

Chapter 1 Introduction & Safety

Figure 1.1 Power Cord Plug Lockout/Tagout . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3

Chapter 2 Basic Skills

Figure 2.1 Logon Dialog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2

Figure 2.2 Program Icons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3

Figure 2.3 Profiler Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4

Figure 2.4 Profiler Configuration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6

Figure 2.5 Clearing the Status Diagnostic Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7

Figure 2.6 Contact Scan Stylus Tip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9

Figure 2.7 Scan Recipe Window in the Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10

Figure 2.8 XY View Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11

Figure 2.9 Video Control Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12

Figure 2.10 Export File Formats in Drop-Down Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-14

Figure 2.11 Catalog Screen – Database File Manager Icon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-14

Figure 2.12 Data Catalog Screen for Export of Data or Recipes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-15

Figure 2.13 Graphics Export Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-15

Figure 2.14 Data Catalog Screen for Export of Data or Recipes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-17

Chapter 3 Scan Recipes

Figure 3.1 Catalog Sequence Recipe Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2

Figure 3.2 Catalog Sequence Recipe Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3

Figure 3.3 Title Bar for Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4

Figure 3.4 Menu Bar for

Figure 3.5 ToolBar Icons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8

Figure 3.6 Scan Recipe information in the List Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10

Figure 3.7 Tool Bar Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11

Figure 3.8 System Status Message Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12

Figure 3.9 Recipe Editor for a 2D UNTITLED Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14

Figure 3.10 3D Parameters in the Information Display Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14

Figure 3.11 2D Scan Category Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15

Figure 3.12 X Scan Size (mm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15

Figure 3.13 Scan Trace Comparison - Large vs. Small Stylus Radius . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17

Figure 3.14 Data Collection When Using a Large Radius Stylus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-18

Figure 3.15 Data Collection When Using a Small Radius Stylus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19

Figure 3.16 2D Scan Options With Sampling Rate Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19

Figure 3.17 Teach Scan Length, from the 2D Scan Teach Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22

Figure 3.18 3D Scan Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23

Figure 3.19 Traces - Scan Perimeter with Traces . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24

Figure 3.20 Scan Time - Scan Parameters Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26

Figure 3.21 Stylus Parameters (2D and 3D) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27

Figure 3.22 Vertical Ranging - Profile Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30

Figure 3.23 Feature Detection - Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32

Figure 3.24 Feature Detection Point Locations on a Step . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-33

Figure 3.25 Feature Detection Point Locations for Convex and Concave . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-33

Scan Recipe Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5

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Figure 3.26 Detection Variables - Feature Detection - Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35

Figure 3.27 Scan Trace (Red) with First Derivative (Dark Blue) Overlaid on the Same Graph . . . . . . . . . 3-37

Figure 3.28 Filters Parameters - Noise Filter Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-38

Figure 3.29 Cursor Parameters - Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-39

Figure 3.30 Analysis Screen with Trace in Need of Leveling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-40

Figure 3.31 Cursor Boundary Setting on Unleveled Trace . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-41

Figure 3.32 Setting Measurement Cursors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-42

Figure 3.33 Measurement Cursor on Level Trace . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42

Figure 3.34 Cursor Parameters - Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-43

Figure 3.35 Measurement Cursors - Relative to Feature Detection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-44

Figure 3.36 Median Filter Application in Glitch Removal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-46

Figure 3.37 2D and 3D Median Filter Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-47

Figure 3.38 Y Lead Screw Filter Application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-48

Figure 3.39 3D Measurement Cursor Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-49

Figure 3.40 Recipe Editor - Choosing 3D Cursors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-50

Figure 3.41 Recipe Screen with Unit Output Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-51

Figure 3.42 General Parameters - Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-52

Figure 3.43 Waviness vs. Roughness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-56

Figure 3.44 Roughness/Waviness Filter Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-56

Figure 3.45 Recipe Editor Showing 2D and 3D Roughness/Waviness Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-57

Figure 3.46 3D Roughness Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-61

Figure 3.47 Bearing Ration and Cutting Depth Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-63

Figure 3.48 2D Bearing Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-64

Figure 3.49 Depth for 2D Bearing Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-64

Figure 3.50 Cutting Depth . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-65

Figure 3.51 Bearing Ratio and Cutting Depth Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-67

Preliminary

Figure 3.52 High Spot Count . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-68

Figure 3.53 Peak Count . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-69

Figure 3.54 2D Peak Count (PC) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-69

Figure 3.55 Histogram Leveling Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-72

Figure 3.56 Histograms of Scans A and B . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-73

Figure 3.57 Multiple Bins (Mode) Used to Define a Plane . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-73

Figure 3.58 Flat Surface Scan of a Single Object . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-74

Figure 3.59 Most Populous Plane Trace Variation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-75

Figure 3.60 Histogram of a Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-76

Figure 3.61 Histogram Depth . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-77

Figure 3.62 CMP Analysis - Lines or Array . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-78

Figure 3.63 CMP Analysis - PADS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-79

Figure 3.64 Sample Array . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-80

Figure 3.65 ER and CR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-81

Figure 3.66 Sample Array of Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-82

Figure 3.67 Sample Pad . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-83

Figure 3.68 Feature Find Parameter Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-85

Figure 3.69 Trench / Line Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-87

Figure 3.70 Trench / Line Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-88

Figure 3.71 Edge of an Array of 5 µm Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-89

Figure 3.72 Model Feature Search for the Edge of an Array of 5 mm Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-89

Figure 3.73 Model Feature Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-90

Figure 3.74 5µm Lines Measurement Pattern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94

Figure 3.75 Feature Find Definition for Model Feature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-96

Figure 3.76 Dual Damascene Example for Model Feature using Depth Based Matching . . . . . . . . . . . . . 3-97

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Figure 3.77 Recipe Information Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-100

Chapter 4 XY View Screen

Figure 4.1 XY View Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1

Figure 4.2 Move Extents Dialog Box. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5

Figure 4.3 Move To Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5

Figure 4.4 Distance Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8

Figure 4.5 View Menu and the Stage and Zoom Coordinate Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10

Figure 4.6 Save Zoom Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-11

Figure 4.7 P-16+ MicroHead Measurement Head. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-12

Figure 4.8 P-16+ Focusing the Optics (Dual-View Optics). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-13

Figure 4.9 Coordinate System of the KLA-Tencor Profiler Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14

Figure 4.10 XY View Screen Tool Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-15

Figure 4.11 XY View Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16

Figure 4.12 Teach Die Grid Screen with Loaded Die Grid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17

Figure 4.13 Scan Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19

Figure 4.14 Warning – Automatic Null . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19

Figure 4.15 Teach Die Grid Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20

Figure 4.16 Teach Die Grid - Teach First Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-21

Figure 4.17 Teach Die Grid - Teach Feature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-22

Figure 4.18 Teach Die Grid - Lower Right Corner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-23

Figure 4.19 Teach Die Grid - With Feature in Navigation Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-24

Figure 4.20 Teach Die Grid - Die Grid Simulation in Navigation Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-24

Figure 4.21 Sequence Editor with Die Grid Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-26

Figure 4.22 Load Sequence Die Grid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-27

Figure 4.23 Die Grid Menu From the Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-28

Figure 4.24 Setting Alignment Angle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-30

Figure 4.25 Move Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-31

Preliminary

Chapter 5 View Scan Window

Figure 5.1 2D Single Scan View Scan Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1

Figure 5.2 2D Scan Window - Scan Information Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-2

Figure 5.3 2D Scan Window - Scan Information Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-3

Figure 5.4 Scan screen - real time Trace Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4

Figure 5.5 2D View Scan Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5

Figure 5.6 3D View Scan Screen During a Single Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9

Figure 5.7 3D View Scan Screen During a Scan Sequence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10

Figure 5.8 3D Scan Window - Scan Information Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10

Figure 5.9 3D Scan Window - Scan Information Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11

Figure 5.10 View Scan Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12

Figure 5.11 Top View Image of the 3D Scan In Progress . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-14

Figure 5.12 Sequence Scan Screen with Die Measurement Site Map . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15

Chapter 6 Sequence Recipe and Data

Figure 6.1 Sequence Editor Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2

Figure 6.2 Sequence Recipe Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3

Figure 6.3 Scan Sequence Catalog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4

Figure 6.4 Sequence Editor for NEW Recipe with Pattern Recognition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5

Figure 6.5 Options Section in the Sequence Editor (Optional feature, P-16+ only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6

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Figure 6.6 Die Grid Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7

Figure 6.7 Load Die Grid Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-7

Figure 6.8 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-8

Figure 6.9 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-8

Figure 6.10 Pattern Rec. Deskew Teach: Site 1 Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-9

Figure 6.11 Deskew Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-10

Figure 6.12 Data Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-11

Figure 6.13 Sequence Editor Set Up for New Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-12

Figure 6.14 Sequence Editor - Teach Scan Location . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-13

Figure 6.15 Teach Location for First Recipe Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-14

Figure 6.16 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-15

Figure 6.17 Sequence Editor with Die Grid Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-16

Figure 6.18 XY View with Sequence Scan Sites . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-17

Figure 6.19 Sequence Editor Message Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-17

Figure 6.20 Sequence Editor with New Scan Sites . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-18

Figure 6.21 Sequence Editor – Sequence Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-22

Figure 6.22 Sequence Information Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-22

Figure 6.23 Sequence Editor – Mode Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-23

Figure 6.24 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-25

Figure 6.25 Data Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-25

Figure 6.26 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-27

Figure 6.27 Queue Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-29

Figure 6.28 Runtime View with the Sequence Queue . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-30

Figure 6.29 Correlation Scan Sequence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-31

Figure 6.30 Correlation Sub-scan Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-33

Figure 6.31 Sequence Parameter Data window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-36

Preliminary

Figure 6.32 Sequence Summary Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-37

Figure 6.33 Deskew Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-39

Figure 6.34 Profiler Sequence Editor Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-42

Figure 6.35 Pattern Rec. Deskew Teach Window After Teach . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-43

Figure 6.36 Pattern Recognition and Deskew Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-44

Figure 6.37 Groping Retry Layers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-45

Figure 6.38 Analysis Screen with File Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-49

Figure 6.39 Save Data Set Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-49

Chapter 7 Analyzing 3D Scan Data

Figure 7.1 Scan Catalog Screen with Scan Data Active. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-1

Figure 7.2 3D Analysis Screen with 3D Object Displayed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2

Figure 7.3 Analysis Tool Bar Image Rotation Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-2

Figure 7.4 Manual Image Rotation Handles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-4

Figure 7.5 Image Rotation Using the Rotate Image Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-5

Figure 7.6 Right-Click Menu – Mouse Tools . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6

Figure 7.7 Analysis Tool Bar Graphics Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6

Figure 7.8 Analysis Screen - Tool Activation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-7

Figure 7.9 Analysis Screen - Zoom Active . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-8

Figure 7.10 Analysis Screen with Zoom Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-8

Figure 7.11 Analysis Screen – Using the Zoom In Icon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-9

Figure 7.12 Analysis Screen – Zoomed In Area . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10

Figure 7.13 Analysis Screen – Unzoom Using Right-Click Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10

Figure 7.14 Analysis Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-16

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3/13/09

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide

Figure 7.15 Parameters Menu from the Analysis Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-25

Figure 7.16 3D Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-26

Figure 7.17 3D Recipe Editor with Roughness/Waviness Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-27

Figure 7.18 Bearing Ratio/Cutting Depth in Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-28

Figure 7.19 Recipe Editor - 3D Cursors Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-33

Figure 7.20 3D Line by Line Leveling Cursor Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-33

Figure 7.21 3D Line by Line Leveling Cursor Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-34

Figure 7.22 Line Leveling Top View Analysis Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-35

Figure 7.23 Recipe Editor with 3D Cursors Window Displayed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-36

Figure 7.24 Set Viewing Parameters Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-37

Figure 7.25 Line Leveling Dialog Box After Cursors Positioned . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-38

Figure 7.26 Image Arithmetic Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-39

Figure 7.27 Analysis Screen - Analysis Tool Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-41

Figure 7.28 3D Analysis Tool Bar with Slice Tool Activated . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-41

Figure 7.29 Analysis Screen with View . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-42

Figure 7.30 Analysis Screen with Slice Tool Active . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-43

Figure 7.31 Analysis Screen with Both 2D and 3D Images . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-43

Figure 7.32 Analysis Screen with Both 2D and 3D Images . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-44

Figure 7.33 Analysis Window with File Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-44

Chapter 8 APEX 2D/3D - Getting Started

Preliminary

Figure 8.1 Empty Document . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1

Figure 8.2 General Toolbar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2

Figure 8.3 Studiables Directory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2

Chapter 9 Stress (Optional feature)

Figure 9.1 Stress Calculation Regions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2

Figure 9.2 13 Point Least Square Fit Calculation Illustration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-4

Figure 9.3 Precision Locator on the Stage (P-16+) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-9

Chapter 10 3D Stress (optional Feature, P-16+ only)

Figure 10.1 The 3D Stress Catalog Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3

Figure 10.2 3D Stress Buttons Found in the 3D Stress Catalog Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3

Figure 10.3 3D Stress Recipe Editor Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-4

Figure 10.4 Edit Substrates Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6

Figure 10.5 Substrate Properties Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-7

Figure 10.6 Edit Substrate Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-7

Figure 10.7 Recipe Dropdown Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8

Figure 10.8 3D Stress Catalog Window and Stress Data Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9

Figure 10.9 Pre and Post Measurement Data Designation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9

Figure 10.10 Film Thickness Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10

Figure 10.11 Default Format of the 3D Stress Analysis Window in Apex . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-11

Figure 10.12 Stress Map Calculated by Apex Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12

Figure 10.13 3D Stress Toolbar in Apex Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12

Figure 10.14 3D Stress Dialogue Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-15

Figure 10.15 Angular Data Image in Apex Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-16

Figure 10.16 Save As Window for Saving Only the Xml Data Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-17

Figure 10.17 3D Stress File Selection Dialogue Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18

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Chapter 11 System Security

Figure 11.1 Log On Dialog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-1

Figure 11.2 Log On Dialog at Runtime . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2

Figure 11.3 Security Configuration Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3

Figure 11.4 XML Configuration Saved . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-5

Figure 11.5 Group User Admin - Manage Users . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-5

Figure 11.6 Load from OS Import Users . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-6

Figure 11.7 Choose Users From Local System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-6

Figure 11.8 Edit Users . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-7

Figure 11.9 Change User Password . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-7

Figure 11.10 Save Users to Local System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-8

Figure 11.11 Access Policy Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-9

Figure 11.12 Edit Access Policy Setting for Windows Shutdown Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10

Figure 11.13 Saving the Access Policy Setting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-10

Figure 11.14 Application Lifecycle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-15

Figure 11.15 Add Programs to the Control List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-16

Figure 11.16 Save Changes to the Control List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-17

Figure 11.17 Global Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-18

Figure 11.18 Modify Global Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-19

Figure 11.19 Persist Autologon to Operating System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-19

Figure 11.20 My Computer/Manage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-21

Figure 11.21 User Account Management . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-22

Figure 11.22 New User Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-22

Figure 11.23 Security Group Management . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-23

Figure 11.24 Profiler Security Group Members . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-24

Preliminary

Figure 11.25 Add a User to a Security Group . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-25

Figure 11.26 Windows XP User:Engineer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-26

Figure 11.27 Add a Security Group to a User . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-26

Figure 11.28 Examples of Operator and Engineer Security Group Access . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-27

Chapter 12 Calibrations

Figure 12.1 Catalog Screen - Choose Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-2

Figure 12.2 Calibrations Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-2

Figure 12.3 Applied Force Calibration Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-2

Figure 12.4 Manual Load from the Video Calibration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-4

Figure 12.5 Message Prompt and Focus Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-5

Figure 12.6 XY Video Display Message Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-6

Figure 12.7 Step Height Calibration Factors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-7

Figure 12.8 Navigation Window Right-Click Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-8

Figure 12.9 Move To Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-8

Figure 12.10 Calibration Menu in the Calibration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-9

Figure 12.11 Step Height Calibration Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-10

Figure 12.12 Saving the New Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-12

Figure 12.13 Calibration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-13

Figure 12.14 Level Calibration Warning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-14

Figure 12.15 Tilt Calibration System Status Load Wafer Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-14

Figure 12.16 Tilt Axis Angle Calibration Value Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-15

Figure 12.17 Activating Focus in the XY VIEW Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-16

Figure 12.18 Move To Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-16

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Figure 12.19 Move To Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17

Figure 12.20 Teach Lowest Elevator Position Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17

Figure 12.21 Move To Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-18

Figure 12.22 Move To Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-18

Figure 12.23 P6 Precision Standard Locator Chuck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-19

Chapter 13 Stylus Change Procedure

Figure 13.1 Profiler [Catalog] - Click on the Calibration Icon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-3

Figure 13.2 Stylus Force Calibration Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-3

Figure 13.3 Configuration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-4

Figure 13.4 Stylus ID Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-5

Figure 13.5 Message Box for Stylus Name Affirmation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-5

Figure 13.6 Message Box for Stylus Change Permission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-6

Figure 13.7 Supporting Stylus Mount During Stylus Change . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-6

Figure 13.8 Sensor Assembly - Loosening Stylus Clamp Screw . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-7

Figure 13.9 Sensor Assembly - Seating the New Stylus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-7

Figure 13.10 Supporting Stylus and Mount During Tightening Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-8

Figure 13.11 Sensor Assembly - Seating the New Stylus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-8

Figure 13.12 Message Box for Stylus Change Permission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-9

Figure 13.13 KLA-Tencor ProCal Wafer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-10

Figure 13.14 Message Box Requesting SPO Standard Placement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-10

Figure 13.15 Manual Load from the Scan Offset Calibration Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-11

Figure 13.16 Scan Position Offset Calibration Options dialog box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-11

Figure 13.17 Window Buttons - _OFF150- Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-12

Figure 13.18 Scan Position Offset Calibration Options dialog box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-13

Figure 13.19 Set Default Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-13

Figure 13.20 Scan Parameter Definition - _OFF150 - Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-14

Figure 13.21 ZOOM IN - Scan Offset Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-14

Figure 13.22 KLA-Tencor ProCal Wafer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-16

Figure 13.23 Aligning the Tool with Screen Crosshair . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-16

Figure 13.24 Align Screen Crosshair with 150 mm Crosshair Pattern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-17

Figure 13.25 Manual Load from the Scan Offset Calibration Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-17

Figure 13.26 Scan: _OFF150 Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-18

Figure 13.27 Trace Path Through Upper Triangle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-18

Figure 13.28 Data Analysis Window. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-19

Figure 13.29 Scan Data Portion of the Analysis Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-19

Figure 13.30 Coarse Scan Data Analysis Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-20

Figure 13.31 “Unknown Situation” Corrective Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-20

Figure 13.32 Pre Acceptance Analysis Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-21

Figure 13.33 Analysis Screen with Cursors Manually Placed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-21

Figure 13.34 Scan Offset Calibration, Analysis Information Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-22

Figure 13.35 Hand Selecting the Triangle Data in Analysis Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-23

Figure 13.36 Accepting Adjusted Scan Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-23

Preliminary

Chapter 14 Configuration

Figure 14.1 System Geometry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-1

Figure 14.2 Example Sample Stage Tilt Calibration Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-3

Figure 14.3 Example Sample Stage X-Direction Cross-Section Calculation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-4

Figure 14.4 Example Y-Direction Cross-Section Calculation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-4

Figure 14.5 Stylus Details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-5

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Figure 14.6 Choose Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-6

Figure 14.7 Stage Configuration Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-7

Figure 14.8 Configuration Screen - Lowest Elevator Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-8

Figure 14.9 Configuration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-10

Figure 14.10 System Configuration Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-11

Figure 14.11 Instrument Setup Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-11

Figure 14.12 Configuration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-12

Figure 14.13 Safe Area Configuration - Sample Configuration Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-13

Figure 14.14 Safe Area Configuration - Edit Safe Area Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-14

Figure 14.15 License Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-15

Figure 14.16 Recipe Transport Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-16

Figure 14.17 Sequence Execution Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-17

Figure 14.18 Proximity Sensor Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-18

Figure 14.19 Lightweight Stage Table Top . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-20

Figure 14.20 Precision Locator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-20

Figure 14.21 Three Point Disk Locator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-21

Figure 14.22 Three Point Disk Locator Base Plate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-22

Figure 14.23 Center Hub Screw . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-22

Figure 14.24 Disk Support for the Three Point Disk Locator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-23

Figure 14.25 P-6 Precision Standard Locator Chuck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-25

Figure 14.26 P-6 Stress Chuck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-26

Chapter 15 Preventive Maintenance

Chapter 16 Backup and Restore

Figure 16.1 Windows Run Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-1

Preliminary

Figure 16.2 Profiler Backup Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-2

Figure 16.3 Profiler Backup Command Confirmation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-3

Figure 16.4 Profiler Backup Complete . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-3

Figure 16.5 Profiler BackupFiles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-4

Figure 16.6 Profiler Restore Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-5

Figure 16.7 Profiler Restore Directory Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-5

Figure 16.8 Profiler Restore Directory Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-6

Figure 16.9 Profiler Restore Command Confirmation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-6

Figure 16.10 Profiler Restore Complete . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-7

Appendix A Hazardous Materials

Figure A.1 Hazardous Content Symbol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-2

Appendix A P Series Profiler - Preparing for Shipment

Figure 1.1 P-6 Hook . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-3

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List of Tables

Chapter 1 Introduction & Safety

Chapter 2 Basic Skills

Table 2.1 Profiler Program Access Icons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5

Table 2.2 Stylus Arm Assembly Protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8

Table 2.3 Special Characters Allowed for Naming Purposes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13

Table 2.4 Graphics Export Dialog Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-16

Chapter 3 Scan Recipes

Table 3.1 GEM Status Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4

Table 3.2 Edit Menu Options Description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5

Table 3.3 File Menu Options Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6

Table 3.4 Sample Menu Options Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6

Table 3.5 Vacuum Menu Options Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6

Table 3.6 Host Menu Options Description (Only available with GEM/SECS Option) . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7

Table 3.7 Diagnostics Menu Options Description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7

Table 3.8 Loadport Menu Options Description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7

Table 3.9 Task Menu Options Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7

Table 3.10 ToolBar for the Scan Recipe Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8

Table 3.11 Catalog Screen Access Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9

Table 3.12 Scan Recipe List Window Function Access Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11

Table 3.13 Show Position Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-21

Table 3.14 3D Scan Parameters Summary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22

Table 3.15 Show Position Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25

Table 3.16 Stylus Force Ranges for the Different Head Configurations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-28

Table 3.17 Range and Resolution Scan Parameters for the MicroHead V LF Head. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29

Table 3.18 Range and Resolution Scan Parameters for the MicroHead V SR Head. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29

Table 3.19 Range and Resolution Scan Parameters for the MicroHead V XR Head . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29

Table 3.20 Profile Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30

Table 3.21 Feature Detection Descriptions (See Figure 3.24 and Figure 3.25.). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34

Table 3.22 2D General Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-53

Table 3.23 3D General Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-55

Table 3.24 2D Roughness Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-58

Table 3.25 2D Waviness Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-60

Table 3.26 3D Roughness Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-61

Table 3.27 Feature Find Recipe Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-85

Table 3.28 Diagnostic Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-99

Table 3.29 Standard - Diagnostic Options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-99

Table 3.30 Linearity Calibration Only – Diagnostic Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-99

Chapter 4 XY View Screen

Table 4.1 View Menu Description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3

Table 4.2 Die Grid Menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4

Table 4.3 Move Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5

Table 4.4 Direction Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6

P/N 0142530-000 AB LOT-1 Friday, March 13, 2009

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide

Table 4.5 Actions Menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7

Table 4.6 Sample Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7

Table 4.7 Vacuum Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7

Table 4.8 Stylus Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8

Table 4.9 XY View window Tool Bar Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8

Table 4.10 Locating a Scan Site. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14

Chapter 5 View Scan Window

Table 5.1 Scan Screen - Recipe Information Column . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2

Table 5.2 View Scan Screen - 2D Location Information Column. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2

Table 5.3 View Scan Screen - 2D Location Information Column. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3

Table 5.4 2D View Scan Window Tool Bar Buttons. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5

Table 5.5 2D View Scan Screen - File Menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6

Table 5.6 2D View Scan Screen - View Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6

Table 5.7 2D View Scan Screen - Image Menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7

Table 5.8 2D View Scan Screen - Trace Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7

Table 5.9 2D View Scan Screen - Scan Menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7

Table 5.10 2D View Scan Screen - Sequence Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7

Table 5.11 2D View Scan Screen - Pan Menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8

Table 5.12 View Scan Screen - 3D Location Information Column. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11

Table 5.13 3D View Scan Screen - File Menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12

Table 5.14 3D View Scan Screen - Trace Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12

Table 5.15 3D View Scan Screen - Image Menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12

Table 5.17 3D View Scan Screen - Sequence Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-13

Table 5.18 3D View Scan Screen - Pan Menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-13

Table 5.16 3D View Scan Screen - Scan Menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-13

Preliminary

Chapter 6 Sequence Recipe and Data

Table 6.1 Sequence Editor window buttons. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-19

Table 6.2 Sequence List Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-20

Table 6.3 Options Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-20

Table 6.4 Site Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-21

Table 6.5 Mode Drop-down Menu Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-24

Table 6.6 If Fail Drop-down Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-24

Table 6.7 Save and Export Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-26

Table 6.8 Export Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-26

Table 6.9 Print Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-26

Table 6.10 Pattern Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-40

Table 6.11 Pattern Search Criteria . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-41

Table 6.12 Groping Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-45

Chapter 7 Analyzing 3D Scan Data

Table 7.2 Manual Image Rotation Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3

Table 7.1 Automatic Image Rotation Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3

Table 7.3 Image Rotation Using the Arrow Keys . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4

Table 7.4 Rotate Image Menu Options (From View Menu) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-5

Table 7.5 Analysis Toolbar Buttons. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-11

Table 7.6 Analysis Side Toolbar Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-12

Table 7.7 File Menu Operations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-16

LOT-2 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB

Friday, March 13, 2009

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide

Table 7.8 Edit Menu Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-17

Table 7.9 View Menu Options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-18

Table 7.10 Change Menu Option From the View Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-22

Table 7.11 Change Menu Option From the View Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-23

Table 7.12 Operations Menu Options (From Menu Bar) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-28

Table 7.13 Data Menu Options (From Menu Bar) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-30

Table 7.14 Tools Menu Options (From Menu Bar). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-31

Chapter 8 APEX 2D/3D - Getting Started

Chapter 9 Stress (Optional feature)

Table 9.1 Tool Bar Icons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-5

Table 9.2 Elastic Constant of Substrates . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-8

Table 9.3 Stress Calculation Results Box Contents. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-11

Chapter 10 3D Stress (optional Feature, P-16+ only)

Table 10.1 Common Terms Defined . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1

Table 10.2 Field Descriptions in the 3D Stress Recipe Editor Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5

Table 10.3 Field Descriptions in the Alignment Section of the Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5

Table 10.4 Field Descriptions in the Substrate Specification Section of the Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . 10-6

Table 10.5 Tool Bar Icons for the Stress Map Image Cursors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-13

Table 10.6 Tool Bar Icons for Adjusting Image Rendered . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-14

Preliminary

Chapter 11 System Security

Table 11.1 Security Configuration Editor Sections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-4

Table 11.2 Access Policy Settings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-11

Chapter 12 Calibrations

Table 12.1 Standard Calibration Matrix . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1

Chapter 13 Stylus Change Procedure

Table 13.1 Available L-Stylus Radius. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-1

Chapter 14 Configuration

Chapter 15 Preventive Maintenance

Table 15.1 Weekly PM Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-1

Table 15.2 Monthly PM Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-2

Table 15.3 Semi-Annual PM Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-2

Chapter 16 Backup and Restore

Appendix A Hazardous Materials

Table A.1 Hazardous Materials List. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-2

Appendix A P Series Profiler - Preparing for Shipment

Table B.1 Minimum Parts Required. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-1

0142530-000 AB KLA-Tencor Confidential LOT-3 Friday, March 13, 2009

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide

Preliminary

LOT-4 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB

Friday, March 13, 2009

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide Introduction & Safety - Instrument Overview

INTRODUCTION & SAFETY Chapter 1

INSTRUMENT OVERVIEW 1

The KLA-Tencor P-16+ / P-6 Profiler is a highly sensitive surface profiler that measures step height, roughness, and waviness on sample surfaces. The KLA-Tencor Profiler systems use stylus-based scanning to achieve high resolution.

The P-16+ / P-6 system offers the option between three head configurations, each with a different vertical range: the MicroHead II V SR (standard range), MicroHead V LF(low force), and the MicroHead V XR (extended range).

 The MicroHead V SR (standard range) has a vertical range of 327

capable of scanning at forces between 0.5 and 50 mg.

 The MicroHead V LF (low force) has a vertical range of 131

of scanning with a stylus force between 0.05 and 50 mg. Low force is useful when scanning soft materials such as gold, indium, or photoresist.

 The MicroHead V XR (extended range) extends the vertical range to 1000

It is capable of scanning at forces between 0.5 and 50 mg.

Contact KLA-Tencor for detailed specifications.

SAFETY 1

μm and is

μm. It is capable

μm.

yeliminary

Introduction 1

This safety chapter presents an overview of the safety issues involved in the use of the P-16+ Profiler or P-6 Profiler system.

This Chapter describes:

♦

Safety Symbols and Related Keywords on page 1-1

♦

Lockout/Tagout Procedure on page 1-3

♦

Stage and Head Movement Hazards on page 1-4

Safety Symbols and Related Keywords 1

WARNING: Warnings indicate a potentially hazardous situation which,

if not avoided, could result in personal injury or death.

CAUTION: Cautions indicate that equipment could be damaged, the operating environment compromised, or data could be lost or corrupted.

0142530-000 AB KLA-Tencor Confidential 1-1 3/13/09

Introduction & Safety - Safety KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide

DANGER: Dangers indicate an imminently hazardous situation which,

if not avoided, will result in death or serious injury. This signal word is limited to extreme situations.

PINCH POINT: Pinch Point indicates a situation where the user, if not careful, could get a hand or finger pinched.

LIFTING HAZARD: Lifting Hazard indicates a procedure where the user, if not using the proper technique or the correct number of people, could be injured.

LASER WARNING: Laser Hazard indicates a procedure or situation in which a laser beam could contact or damage eye tissue..

IMPORTANT: Important highlights critical details about the section for the reader.

Lockout/Tagout Procedure 1

Introduction

Lockout/tagout is a safety procedure consisting of notifying affected employees, turning off the system, unplugging the power source cord from the electric outlet and placing a locked and tagged shield around the plug to prevent it from being plugged in while the system is being serviced.

During normal operation, the system presents no hazards to its user or to others in the area of its operation. In normal operation, enclosure panels and shielding covers protect operators and other personnel working near the system against electrical and other hazards that could arise from the operation or failure of the system.

Only qualified service personnel are authorized to remove panels or covers. In situations requiring service personnel to work near components that present a potential electrical shock, the lockout/tagout procedure should be followed. In addition to electrical hazards, some mechanical dangers such as pinch or crush hazards can also be avoided through the lockout/tagout procedure.

1-2 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB

3/13/09

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide Introduction & Safety - Safety

STEP 1 STEP 2

STEP 3

Plug

Lockout Device

Padlock

Ta g

Lockout/Tagout Procedure 1

If the system is hardwired to facilities power, the lockout/tagout procedure is to be set by the system owner. Service personnel authorized to perform this type of lockout/tagout must be trained by the system owner in accordance with their set procedures.

HAZARDOUS VOLTAGE - SHOCK HAZARD: For personal safety and system reliability, only qualified service personnel, trained on service procedures for the system being serviced, are authorized to open or remove the panels or any protective electrical shielding.

For systems using the power cord disconnect lockout/tagout procedure for a non-emergency system shutdown, use the following steps:

1. Notify all affected personnel that a lockout is required.

2. Close all running software.

3. After ensuring that the system software has been properly shut down to

avoid system start-up problems later, turn off the system by pressing the

OFF button on the computer and unplug the power supply.

yeliminary

4. Disconnect the Main Power Cord from the outlet and secure it in the Plug

Lockout device as illustrated in Figure 1.1, step 1.

Figure 1.1 Power Cord Plug Lockout/Tagout

5. Attach the lockout hasp with warning tag to the lockout device, as

0142530-000 AB KLA-Tencor Confidential 1-3 3/13/09

shown in Figure 1.1, step 2.

Introduction & Safety - Safety KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide

6. Place a padlock through one of the holes on the lockout hasp as shown in

Figure 1.1, step 3. Make sure the device is secured in the closed position.

7. Before locking the padlock, place the eyelet of an approved lockout tag

over the hook of the padlock. Important information must be included on this tag:

♦ Your name and/or your ID number. ♦ Your contact number. ♦ Date and Time. ♦ Reason for Lockout.

8. Verify that the power chord cannot be plugged in to live AC Power.

9. After the system has been locked out, verify that the system cannot

operate. For example, press the ON switch on the User Interface and verify that the indicator lamp does not illuminate, that no other indicators on the system show that electrical energy has been applied.

Restoring the system to Service

1. When the system is ready for return to normal operation, notify all

affected employees, and check the equipment area to see that no one is exposed.

2. When the equipment area is clear, remove the padlock and tag that you

have put in place.

3. Reconnect the power cord into the AC outlet.

4. Announce “Power On!” to everyone presently near the system before

actually restoring power.

5. Press the Power On button on the User Interface to start the system.

6. Verify the system operates properly.

Stage and Head Movement Hazards 1

The system is designed so the user is not exposed to any internal moving parts during normal operation. The system is interlocked to prevent stage or head movement when the stage door is open. If stage or head movement is attempted with the door open, the system is automatically disabled.

For any of the stage or head movements to be hazardous to the user, the door interlock must be defeated and the user must have hands, fingers, or loose clothing inside the measurement chamber during a stage or head movement procedure. The normal scanning speed stage movements are very slow, and barely detectable to the eye. The manual load procedure and stage positioning move at a higher speed. If these movements are attempted with the door open, interlock defeated, and a finger, hand, or loose clothing positioned to interfere with the stage movement, an injury could occur.

1-4 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB

3/13/09

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide Introduction & Safety - Safety

If none of the components are in motion when the door is opened, or when the interlock is tripped, the system can be activated again by closing the door or by returning the interlock to its normal operating position. If a scan is taking place, if one of the components is in motion, or if an attempt is made to activate the motion system with the interlock tripped, the entire system must be rebooted.

CAUTION: Under no circumstances should the operator defeat any of the safety interlocks. There are no operator procedures that require the door to be open during normal operation. Operation of the system in service mode with interlocks defeated should only be performed by trained and qualified KLA -Tencor service Personnel.

yeliminary

0142530-000 AB KLA-Tencor Confidential 1-5 3/13/09

Introduction & Safety - Safety KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide

1-6 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB

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+ 426 hidden pages

KLA Tencor P-16+, P-6 User Manual

Specifications and Main Features

Frequently Asked Questions

User Manual

INTRODUCTION & SAFETY Chapter 1

Introduction 1

Safety Symbols and Related Keywords 1

Lockout/Tagout Procedure 1

Lockout/Tagout Procedure 1

Restoring the system to Service

Stage and Head Movement Hazards 1