CN
使用说明书
IM7580
阻抗分析仪
IMPEDANCE ANALYZER
2015年1月 第一版 IM7580A982-00 (A980-01) 15-01H
目 录
前言 ........................................................1
装箱内容确认 ...........................................1
关于选件（另售） .......................................2
关于安全 .................................................3
使用注意事项 ...........................................6
1 概要 11
1.1 概要和特点 .................................... 11
1.2
各部分的名称与功能 .......................12
1.3
画面操作 .......................................15
2 测量前的准备 17
2.1 连接测试头 ....................................17
2.2
测量前的检查 ................................19
2.3
连接电源线 ....................................20
2.4
连接测试电缆与测试夹具 ................ 21
2.5
连接接口 .......................................22
2.6
接通 / 关闭电源 ............................... 24
2.7
选择测量模式 ................................25
3 LCR功能 27
3.1 关于 LCR 功能 ...............................27
3.2
进行测量条件的基本设置 ................ 32
3.2.1 设置显示参数.......................................... 32
在任意时序下开始测量（触发） ................... 33
3.2.2
设置触发～测量开始之间的延迟时间
3.2.3
（触发延迟） ............................................. 34
仅在测量时向测试物施加信号
3.2.4
（触发同步输出） ....................................... 35
设置测量频率.......................................... 37
3.2.5
设置测量信号电平 ................................... 38
3.2.6
设置测量速度.......................................... 40
3.2.7
用平均值显示（平均值） ............................ 41
3.2.8
3.3 判定测量结果 ................................43
3.3.1 设置判定模式 .......................................... 44
利用上下限值进行判定（比较器判定） ......... 45
3.3.2
对测量结果进行分类（分类判定） ................ 50
3.3.3
4 分析仪功能 57
4.1 关于分析仪功能 .............................57
4.2
设置测量的基本项目 .......................65
4.2.1 设置测量参数.......................................... 65
在任意时序下开始测量（触发） ................... 66
4.2.2
设置触发～测量开始之间的延迟时间
4.2.3
（触发延迟） ............................................. 67
仅在测量时向测试物施加信号
4.2.4
（触发同步输出） ....................................... 68
设置扫描参数 .......................................... 70
4.2.5
4.3 扫描测量 .......................................71
4.3.1 设置扫描方法.......................................... 72
设置扫描范围 .......................................... 74
4.3.2
通常扫描 ................................................ 78
4.3.3
分段扫描、分段间隔扫描 .......................... 81
4.3.4
4.4 设置扫描点的测量条件 ...................84
4.4.1 设置测量信号频率 ................................... 84
设置测量信号电平 ................................... 85
4.4.2
设置测量速度.......................................... 86
4.4.3
用平均值显示（平均值） ............................ 87
4.4.4
设置各扫描点的延迟时间（扫描点延时） ...... 88
4.4.5
4.5 设置图形的显示方法 .......................89
4.5.1 设置横轴 ................................................ 89
设置纵轴 ................................................ 92
4.5.2
进行X-Y显示的纵轴反转设置 ................... 95
4.5.3
设置X-Y显示的转换比幅度 ...................... 96
4.5.4
设置栅格显示 ......................................... 97
4.5.5
进行重叠描图设置 ................................... 98
4.5.6
4.6 进行光标设置 ................................99
4.6.1 选择要在画面中显示的光标 ...................... 99
设置光标的移动 .................................... 100
4.6.2
4.7 执行测量值搜索 ...........................101
4.7.1 设置搜索对象的参数 .............................. 101
进行搜索类型的设置 .............................. 102
4.7.2
使用自动搜索功能 ................................. 103
4.7.3
执行搜索 .............................................. 104
4.7.4
4.8 判定测量结果（比较器功能） ..........105
4.8.1 设置判定模式 ........................................ 105
设置要判定的参数 ................................. 106
4.8.2
设置测量画面中显示的判定区域 .............. 107
4.8.3
区域判定 .............................................. 108
4.8.4
峰值判定 ...............................................112
4.8.5
4.9 等效电路分析功能 ........................ 116
4.9.1 关于等效电路分析功能 ............................116
进行分析的基本设置 ...............................117
4.9.2
进行等效电路分析 ................................. 123
4.9.3
模拟频率特性 ....................................... 126
4.9.4
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
附录索引
IM7580A982-00
i
目 录
4.9.5 分析结果的判定设置 .............................. 128
5 校正与补偿 131
5.1 校正与补偿功能概要 .....................131
5.2
进行校正 .....................................135
5.2.1 校正设置[CAL] ..................................... 135
电气长度设置 [LENGTH] ....................... 144
5.2.2
5.3 补偿误差 .....................................145
5.3.1 进行补偿设置[COMPEN] ...................... 145
5.4 进行值的换算（转换比） ................. 150
5.5
有补偿问题时 ..............................151
6 连续测量功能 153
6.1 关于连续测量功能 ........................153
6.2
进行连续测量的基本设置 .............. 155
6.3
执行与停止连续测量 .....................156
6.4
确认连续测量的结果 .....................157
6.5
进行连续测量的应用设置 .............. 158
6.5.1 错误判定时，停止测量 ........................... 158
设置液晶显示器的ON/OFF .................... 159
6.5.2
8 外部控制 185
8.1 关于外部输入输出端子与信号 ........185
8.2
时序图 ........................................194
8.2.1 LCR模式 ............................................. 194
分析仪模式 ........................................... 196
8.2.2
连续测量模式 ....................................... 198
8.2.3
8.3 内部电路构成 ..............................200
8.4
关于外部控制的 Q&A ...................203
8.5
使用计算机进行测量 .....................203
8.6
外部控制输入输出的设置 .............. 204
8.6.1 将正在测量的触发输入设为有效
（触发有效） ........................................... 204
设置触发输入的有效边沿（触发边沿） ....... 205
8.6.2
设置判定结果的复位
8.6.3
（判定结果信号复位） .............................. 206
设置EOM 信号的输出方法
8.6.4
（EOM模式） ......................................... 207
设置判定结果输出～ EOM(LOW)之间的
8.6.5
延迟时间（JUDGE-EOM） ...................... 208
信延迟INDEX信号输出（INDEX延迟） .... 209
8.6.6
9 进行面板信息的
7 应用功能 161
7.1 确认接触不良、连接状态
（接触检测功能） ...........................161
7.1.1 进行 DC测量设置 .................................. 161
进行判定设置........................................ 164
7.1.2
检测2端子测量时的OPEN
7.1.3
（Hi Z筛选功能） .................................... 166
监视检测电平（检测电平监视功能） ........... 167
7.1.4
7.2 其它功能 .....................................168
7.2.1 设置显示位数........................................ 168
设置绝对值显示（仅限于 LCR） ................ 169
7.2.2
设置通讯测量数据类型 ........................... 170
7.2.3
7.3 通用功能（LCR 模式、
分析仪模式） ................................ 171
7.3.1 保存测量结果（存储功能） ....................... 171
进行画面显示设置 ................................. 173
7.3.2
设置蜂鸣音 ........................................... 176
7.3.3
显示预热信息........................................ 177
7.3.4
将按键操作设为无效（按键锁定功能） ....... 178
7.3.5
设置通讯测量数据类型 ........................... 182
7.3.6
对本仪器进行初始化 .............................. 184
7.3.7
保存与读取 211
9.1 保存测量条件（面板保存功能） .......212
9.2
读取测量条件（面板读取功能） .......214
9.3
变更面板名称 ..............................215
9.4
删除面板 .....................................216
10 进行系统设置 217
10.1 进行接口设置 ..............................217
10.2
确认本仪器的版本 ........................218
10.3
自检查（自诊断） ...........................219
10.3.1 面板测试 ............................................. 219
10.3.2
10.3.3
10.3.4 ROM/RAM
10.3.5 I/O
10.4 设置日期与时间 ........................... 224
面板补偿 ............................................. 220
画面显示测试 ....................................... 221
测试 .................................. 222
测试 .............................................. 223
ii
目 录
11 使用 U 盘 225
11.1 概要 ............................................225
11.2 U
11.3
11.4
11.4.1 以文本格式保存测量结果 ........................ 228
11.4.2
11.4.3
11.4.4
11.5 将主机设置保存到 U 盘中 ..............244
11.5.1 保存主机的设置 .................................... 244
11.5.2
11.6 从 U 盘读取二进制数据 .................246
11.6.1 读取测量数据（分析仪功能） .................... 246
11.6.2
11.6.3
11.7 编辑 U 盘中保存的数据 .................250
11.7.1 对U盘进行格式化 ................................. 250
11.7.2
11.7.3
11.7.4
11.7.5
盘的插拔 ..................................226
使用 U 盘时的画面显示 .................227
将数据保存到 U 盘中..................... 228
保存测量画面（画面拷贝） ....................... 239
设置要保存的文件夹 .............................. 241
保存存储数据 ....................................... 243
保存本仪器的所有设置
（ALL SAVE功能） ................................. 245
读取主机设置........................................ 247
读取所有的设置（ALL LOAD功能） .......... 249
在U盘内生成文件夹 .............................. 251
变更U盘内的文件夹名、文件名 .............. 252
删除U盘内的文件、文件夹 .................... 254
确认文件的内容 .................................... 255
附录 附 1
附录 1 测量参数与运算公式 ................ 附1
附录 2 防止混入外来噪音 .................... 附 3
附录 3 关于串联等效电路模式与
并联等效电路模式 .................... 附 4
附录 4 等效电路模式的选择 ................ 附5
附录 5 同轴连接器的维护 .................... 附 6
附录 6 支架安装 ................................. 附 7
附录 7 外观图 .................................. 附 13
附录 8 初始设置清单 ........................ 附 15
附录 9 设备文件 ............................... 附 20
索引 索 1
1
2
3
4
5
6
12 规格 257
12.1 一般规格 ..................................... 257
12.2
测试精度 .....................................266
12.2.1 阻抗测量 .............................................. 266
精度计算示例........................................ 267
12.2.2
12.2.3 DCR
12.2.4
12.3 测量时间 ..................................... 273
12.3.1 LCR模式 ............................................. 273
12.3.2
测量 ............................................ 271
换算表 ................................................. 272
分析仪模式 ........................................... 274
13 维护和服务 275
13.1 修理、检查与清洁 ........................ 275
13.2
关于废弃 .....................................277
13.3
有问题时 .....................................279
13.4
错误显示 .....................................284
7
8
9
10
附录索引
iii
目 录
iv
测量流程
设置本仪器之前，请务必阅读“使用注意事项”（第 6 页）。
有关支架安装，请参照“附录 6 支架安装”（第附 7页）。
放置本仪器 （第6页）
连接测试头（第 17 页）
连接电源线（第 20 页）
在测量端子上连接测试电缆与测试夹具（第 21 页）
连接外部接口（根据需要）（第217页）
进行检查（第 19 页）
接通电源 （第24页）
进行校正与补偿（第 131 页）
设置测量条件
连接测试物
进行测量
关闭电源 （第24页）
使用之后拆下测试物，关闭电源。
进行校正与补偿的时序
•
测量之前
•
已变更测试电缆的长度时
•
已变更测试物时
•
已变更测试夹具时
前言
前言
感谢您选择“HIOKI IM7580 阻抗分析仪”。为了您能充分而持久地使用本产品，请妥善保管使用说明书，
以便随时使用。
1
装箱内容确认
•
本仪器送到您手上时，请检查在运输途中是否发生异常或损坏后再使用。
尤其请注意附件、面板表面的开关及端子类等物件。万一有损坏或不能按照参数规定工作时，请与销售
店（代理店）或最近的
请确认装箱内容是否正确。
IM7580 阻抗分析仪
•
测试头
•
连接线
(IM7580
：1 m、IM7580-02 ：2 m)
HIOKI 营业所联系。
使用说明书
LCR应用程序光盘
（通讯使用说明书（PDF 版）、通讯命令说明、
USB驱动、样品应用程序）
•
从本公司主页下载最新版本。
•
如需要通讯使用说明书
营业所联系。属收费服务，敬请谅解。
(PDF) 的打印版，请与距您最近的
2
3
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5
6
7
电源线
8
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10
付録索引
1
关于选件（另售）
关于选件（另售）
需要购买时，请与销售店（代理店）或最近的 HIOKI 营业所联系。
测试夹具类
IM9200 测试夹具支架
IM9201 SMD测试夹具（SMD 部件用）
IM9906 转换器 (3.5 mm - 7 mm)
接口类
Z3000 GP-IB 接口
Z3001 RS-232C 接口
连接线类
9151-02 GP-IB 连接线 (2 m)
9637 RS-232C 电缆（9 针 -9 针 /1.8 m）
2
关于安全
关于安全
本仪器是按照 IEC61010 安全标准进行设计和测试，并在安全的状态下出厂的。另外，如果不遵守本使用
说明书记载的事项，则可能会损坏本仪器所配备的用于确保安全的功能。
在使用本仪器前请认真阅读下述与安全有关的事项。
1
危 险
如果使用方法有误，有可能导致人身事故和仪器的故障。请熟读使用说明书，在充分理
解内容后进行操作。
警 告
包括触电、发热、火灾以及因短路而导致的电弧放电等电气危险。初次使用电气测量仪器的
人员请在资深电气测量人员的监督下进行使用。
关于标记
本使用说明书将风险的严重性与危险性等级进行了如下分类与标记。
危 险
警 告
注 意
重要事项
记述了极有可能会导致作业人员死亡或重伤的危险性情况。
记述了极可能会导致作业人员死亡或重伤的情况。
记述了可能会导致作业人员轻伤或预计引起仪器等损害或故障的情况。
存在必须事先了解的操作与维护作业方面的信息或内容时进行记述。
2
3
4
5
6
表示存在高电压危险。
对疏于安全确认或错误使用时可能会因触电而导致的休克、烫伤甚至死亡的危险进行警
告。
表示禁止的行为。
7
8
表示必须执行的“强制”事项。
*
表示说明记载于底部位置。
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付録索引
3
关于安全
仪器上的符号
与标准有关的符号
表示注意或危险。仪器上显示该符号时，请参照使用说明书的相应位置。
表示交流电 (AC)。
表示电源“开”
表示电源“关”
欧盟各国有关电子电气设备废弃的法规（WEEE 指令）的标记。
表示符合欧共体部长级理事会指令（EC 指令）所示的限制。
关于精度
本公司将测量值的极限误差，作为如下所示的 f.s.（满量程）、rdg.（读取）、dgt.（数位分辨率）的值
来加以定义。
f.s.
rdg.
dgt.
（最大显示值、刻度长度）
表示最大显示值、刻度长度。一般来说是表示当前所使用的量程。
（读取值、显示值、指示值）
表示当前正在测量的值、测量仪器当前显示的值。
（分辨率）
表示数字式测量仪器的最小显示单位，即最小位的“
1”。
4
关于测量分类
为了安全地使用测量仪器，IEC61010 把测量分类按照使用场所分成 CAT II ～ CAT IV 三个安全等
级的标准。
关于安全
危 险
•
如果使用分类数值等级小的测量仪器在大数值级别的场所进行测量时，可能会导致重大
事故，因此请绝对避免这种情况。
•
如果利用没有分类的测量仪器对
重大事故，因此请绝对避免这种情况。
CAT II ： 带连接插座的电源线的仪器（可移动工具、家用电器等）的初级侧电路，直接测量插座插
口时。
CAT III ： 测量直接从配电盘得电的仪器（固定设备）的初级侧电路，以及从配电盘到插座的电路时。
CAT IV ： 测量建筑物的进户电路、从进入口到电表及初级侧过电流保护装置（分电盘）的电路时。
进入口
进入线
CAT IV
电表
CAT II ～ CAT IV 的测量分类进行测量，可能会导致
分电盘
室内配线
CAT III
固定设备
CAT II
T
插座
1
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付録索引
5
使用注意事项
使用注意事项
为了您能安全地使用本仪器，并充分运用其功能，请遵守以下注意事项。
使用前的确认
在使用前，请先确认没有因保存和运输造成的故障，并在检查和确认操作之后再使用。确认为有故
障时，请与销售店（代理店）或最近的 HIOKI 营业所联系。
警 告
请在使用前确认探头或电缆的外皮有无破损或金属露出。由于这些损伤会造成触电事故，
所以请换上本公司指定的型号。
关于本仪器的放置
请不要把本仪器放置在以下场所，否则会造成本仪器的故障或事故。
警 告
•
日光直射的场所或高温场所
•
产生腐蚀性气体、爆炸性气体的场所
•
受水、油、化学剂与溶剂等影响的场所
•
潮湿、结露的场所
•
产生強电磁波的场所或带电物件附近
•
灰尘多的场所
•
感应加热装置附近（高频感应加热装置、
•
机械震动频繁的场所
放置方法
为了防止本仪器温度上升，放置时请确保与周围保持指定的距离。
•
不要把底面以外的部分向下放置。
•
请勿堵塞通风孔。
•
背面应与周围保持
50 mm以上的距离。
IH电磁炉等）
50 mm以上
注 意
请不要在放置支架竖立的状态下从上方施加强力。否则会损坏放置支架。
6
关于保证
本公司对因组装本仪器时或转售时因使用方造成的直接或间接损失不承担任何责任。
敬请了解。
使用注意事项
关于本仪器的使用
•
为防止触电事故发生，请绝对不要拆下主机外壳。内部有高电压及高温部分。
•
请不要淋湿本仪器，或者用湿手进行测量。否则会导致触电事故。
•
使用期间发生异常动作或显示时，请确认“
示”（第 284 页），并与代理店或距您最近的营业所联系。请不要将充电的电容器连接
到测量端子上，或从外部输入电压 / 电流。否则会导致本仪器损坏。
•
为了防止本仪器损坏，在搬运及使用时请避免震动、碰撞。尤其要注意因掉落而造成的
碰撞。
•
本仪器不是防尘和防水结构。请勿在灰尘较多或淋水的环境中使用。否则会导致故障。
•
请勿用力按压触摸面板，或用坚硬物品、尖头物品按压触摸面板。否则会导致故障。
•
请不要在放置支架竖立的状态下从上方施加强力。否则会损坏放置支架。
•
为避免损坏本仪器，请勿短接连接器或输出部分，也不要输入电压。
•
使用后请务必切断电源。
1
危 险
2
3
注 意
13.3 有问题时（第 279 页）”、“13.4 错误显
4
5
6
接通电源之前
警 告
•
在接通电源前，请确认本仪器的电源连接部上所记载的电源电压与您使用的电源电压是
否一致。如果使用指定范围外的电源电压，会造成本仪器的损坏或电气事故。请勿弄错
电源电压的连接。否则可能会导致内部电路被击穿。为了避免触电事故并确保本仪器的
安全，请把附带的电源线连接到三相插座上。
7
8
9
10
付録索引
7
使用注意事项
关于电线类与测试夹具的使用
使用本仪器时，请务必使用指定的电源线。如果使用指定以外的电源线，可能会引起火灾。
•
为防止断线，将电源线从插座或本仪器拔出的时候，请握住插头部分（电源线以外）拔出。
•
为防止因断线引起的故障，请不要弯折或拽拉电缆或探头的连接部。
•
如果电线熔化，金属部分则会露出，这非常危险。请勿触摸发热部分等。
•
被测导线可能会处于高温状态，请勿触摸。
•
使用本仪器时，请务必使用本公司指定的连接线。如果使用指定以外的连接线，则可能会因接触
不良等而导致无法进行正确的测量。
•
使用测试夹具等时，请仔细阅读使用产品附带的使用说明书。
警 告
注 意
连接到 EXT I/O 连接器之前
为了防止发生触电事故和仪器故障，连接 EXT I/O 连接器时，请遵守下述事项。
•
请在切断本仪器以及连接仪器的电源之后再进行连接。
•
请勿超出
•
如果动作期间连接脱落或接触其它导电部分，则非常危险。请用螺钉可靠地固定外部
EXT I/O
•
请对连接到
•EXT I/O 的 ISO_5V 端子为 5 V 电源输出。请勿从外部输入电源。
EXT I/O 连接器的信号额定值。（第 201 页）
连接器的连接。
EXT I/O 连接器上的仪器和装置进行适当的绝缘。
警 告
8
关于 U 盘
使用注意事项
注 意
•U盘内的数据破坏时，本公司也不能进行数据修复或分析。另外，无论故障或损失的内
•
•
•
•
•
U盘有使用期限。长时间使用之后，可能会无法保存或读取数据。在这种情况下，请购买新 U 盘。
关于接口（选件）
容和原因如何，均不进行数据赔偿。建议对必要的数据在计算机内进行备份。
请勿插错
存取
存取期间切勿从本仪器拔出 U 盘。否则可能会导致 U 盘内的数据破坏。
请勿在连接
有些
使用。
如果在插入
打开电源，然后插入 U 盘。另外，建议事先确认之后再使用。
U盘的方向。否则可能会导致 U 盘或本仪器损坏。
U盘时，USB 图标的颜色会从蓝色变为红色。存取期间请勿切断本仪器电源。另外，
U盘的状态下移动本仪器。否则可能会导致其损坏。
U 盘易受静电影响。由于静电可能会导致 U 盘故障或本仪器误动作，因此请小心
U 盘的状态下打开电源，本仪器可能会不能起动（因 U盘而异）。此时，请
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3
4
5
警 告
装卸接口连接器时，请关闭各仪器的电源。否则会导致触电事故。
注 意
请握住板金部分插拔选件接口。如果直接触摸电路板，则可能会因静电的影响而导致故障。
（建议使用抗静电措施用吊绳等进行插拔）
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付録索引
9
使用注意事项
10
概要和特点
1
概要
1.1 概要和特点
HIOKI IM7580 阻抗分析仪是实现高速、高精度的阻抗测量仪。
具有可扫描测量频率或测量信号的阻抗分析仪，以及可在单一测量条件下同时显示最多 4个项目的 LCR 表
2种功能。
可设置广范围的测量条件，用于高频阻抗测量等广泛的用途。
•
测量频率为
广范围的测量条件
高速测量
•
测量信号电平为
最快可进行 0.6 ms（典型值）的测量。
1 MHz ～ 300 MHz
-40 dBm ～ +7 dBm
1
概要
图形显示
等效电路分析
连续测量模式
对应各种接口
比较器功能
可利用测量频率与测量电平的扫描功能，测量频率特性与电平特性，并在
主机的彩色液晶显示器上显示图形。另外，可简单地显示 Cole - Cole 图形、
导纳圆图形。
电路元件部件的等效电路模式有 5 种。
可用主机中保存的测量条件连续测量。可利用该功能在不同的测量条件下
进行合格与否判定等。
（例 ：在 1 MHz 下连续测量 C-D 以及在 100 MHz下连续测量Ls）
可利用最适合生产线的 EXT I/O（处理器接口）、USB、GP-IB、
RS-232C
*GP-IB、RS-232C为选件
•LCR模式：（第45 页）
可针对 4 个参数，通过测量值进行 HI/IN/LO 合格与否判定。
•
分析仪模式：（第
可针对扫描测量结果进行合格与否判定。
、LAN进行对应。
105页）
分类功能
在 LCR 模式下，可按测量值进行最多 10 个分级。
11
各部分的名称与功能
1.2 各部分的名称与功能
主机正面
液晶显示器
触摸面板显示器。
按下画面上显示的键，进行仪器操作。
HOME按钮
•
返回到测量画面。
•
全复位操作时使用。（第
起动按钮（第 24 页）
（主电源开关位于背面）
指示灯的状态 本仪器的状态
绿色
红色
283页）
电源
动作状态
电源
停止状态
ON
OFF
RF OUT（第17页）
PORT 1
PORT 2
主机底面
U盘用连接器
（第 225页）
用于连接
U盘。
如果在停止状态下按下起动按钮，则会进入动
作状态。为了进行正确的测量，需要
上的预热。
测量指示灯
指示灯的状态 本仪器的状态
绿色 正在测量
红色 正在进行全复位准备
本仪器可安装在支架上。
请参照“附录 6 支架安装”（第附 7页）
请妥善保管从本仪器上拆下的部件以备再次使用。
60 分钟以
12
各部分的名称与功能
主机背面
主电源开关
（第 24页）
电源输入口
（第 20页）
用于连接电源线。
通风孔（第 6 页）
设置时请勿堵塞通风孔。
通讯接口（选件）（第 217 页）
也可以安装接口选件。
请参照通讯使用说明书（
•Z3000 GP-IB接口
•Z3001 RS-232C接口
LCR应用程序光盘）
EXT I/O连接器
（第 185页）
USB电缆用连接器
请参照通讯使用说明书
（
LCR应用程序光盘）
LAN连接器
请参照通讯使用说明书
（
LCR应用程序光盘）
1
概要
主机右侧
把手
用于搬运本仪器。
立起支架时
中途请勿停止，务必完全打开。请务必立起两侧
支架。
合拢支架时
中途请勿停止，务必完全合拢。
支架
可倾斜本仪器。
注 意
请不要在放置支架竖立的状态下从上方施加强力。否则会损坏放置支架。
13
各部分的名称与功能
2×M3 Effective Depth 6
57.9
3.2 48.7 ±0.2
12.75
11.8
±1
24
15 16.25
17
61 ±1 9
测试头侧面
测试头底面
测量端子
RF OUT
PORT1
PORT2
IM9200 测试夹具支架固定用螺纹孔
在自动机等上面固定测试头时，也请使用该螺纹孔。
14
1.3 画面操作
本仪器测量条件的设置或变更均在触摸面板上进行。
轻轻触摸画面上的键，即可选择该键所设置的项目或数值。
此后将在画面上轻轻“触摸”记载为“按下”。
请勿用力按压触摸面板，或用坚硬物品、尖头物品按压触摸面板。否则会导致故障。
例 ：在 LCR 模式下设置测量频率
画面操作
1
概要
注 意
2
3
1
在 LCR 模式画面
1
中按下菜单键中的
[SETUP]
按下 [BASIC] 标签
2
按下 [FREQ]
3
4
（可选择 [DIGIT]（
5
/
4
输入）或
6
[10-KEY]（数字键输入）。
5
利用 / 或数字键设置
4
测量频率
按下单位键，确定设置
5
按下 [EXIT]，关闭设置
6
画面
15
画面操作
例 ：移动窗口
如果在按住窗口上部（绿色）
的状 态下进行拖动，则可移
动到任意位置。
16
连接测试头
2
设置本仪器之前，请务必阅读“使用注意事项”（第 6页）。
有关支架安装，请参照“支架安装”（第 附7页）。
测量前的准备
2.1 连接测试头
安装测试头。
请参照“5 校正与补偿”（第 131 页）
注 意
•
如果弄错主机与测试头连接器的连接，则可能会导致本仪器损坏，无法进行正确的测量。
•
安装连接器时，请以
会导致本仪器损坏，无法进行正确的测量。
0.56 N.m（推荐值）进行紧固。如果以别的扭矩进行紧固，则可能
2
测量前的准备
重要事项
•
连接电缆之前，请确认连接器没有异常。连接器有异常时，则会导致测量误差增大等，造成无法
进行正确的测量。
请参照“附录 5 同轴连接器的维护”（第附 6页）
•
出厂时，主机与测试头以及连接线已进行了配套调整。
请务必用同箱的连接线连接制造编号与主机相同的测试头。
主机背面 测试头背面
制造编号
17
连接测试头
1
请确认本仪器的电源开关处于关闭状态
2
用附带的连接线连接主机的 RF OUT、PORT1、PORT2 与测试头的 RF OUT、PORT1、
PORT2
0.56 N.m（推荐值）
如果施加规定扭矩，扭矩扳手则会产生如
图所示的折弯。
在主机与测试头上连接电缆的 SMA 连接器时，请勿转动电缆。如果在连接时转动电缆，则可能
会损伤连接器或电缆的芯线。连接时，请务必转动连接器的螺母。
18
2.2 测量前的检查
使用之前，请务必阅读“使用注意事项”（第 6页）。
在使用前，请先确认没有因保存和运输造成的故障，并在检查和确认操作之后再使用。
确认为有故障时，请与销售店（代理店）或最近的 HIOKI 营业所联系。
测量前的检查
附件与选件的检查
检查项目 处理方法
电源线的外皮有无破损或金属露出
测试电缆的外皮有无破损或金属露出
?
? 有损坏时，可能会导致测量值不稳定或产生误差。
本仪器的检查
检查项目 处理方法
本仪器是否损坏
接通电源时是否显示开机画面（型号名称与版本）
? 有损伤时请送修。
接通电源时的画面
有损坏时，会造成触电事故或短路事故，因此请勿使用。
请与销售店（代理店）或最近的
建议更换为没有损坏的电线。
?
不显示时，可能是电源线断线或者本仪器内部发生了故障。
请送修。
HIOKI 营业所联系。
2
测量前的准备
开机画面中是否显示错误
错误显示画面
?
出现错误显示时，可能是本仪器内部发生了故障。请送修。
参照 ：“有问题时”（第
例 ：装有不能使用的接口板时（网卡）
279 页）、“错误显示”（第 284 页）
19
连接电源线
2.3 连接电源线
连接之前请务必阅读“接通电源之前”（第 7页）、“关于电线类与测试夹具的使用”（第 8 页）。
将电源线连接到本仪器并插入插座。
请在将主电源开关设为 OFF 之后插拔电源线。
1
2
请确认本仪器的主电源开关处于 OFF 状态
然后将电源电压一致的电源线连接到电源输入口上 (AC100 V ～ 240 V)
背面
3
将电源线的插头插进插座
20
连接测试电缆与测试夹具
2.4 连接测试电缆与测试夹具
连接之前请务必阅读“接通电源之前”（第 7页）、“关于电线类与测试夹具的使用”（第 8 页）。
在测量端子上连接测试电缆或本公司测试夹具选件。
有关本公司选件，请参照“关于选件（另售）”（第 2 页）。
有关使用方法等的详细说明，请参照使用夹具等的使用说明书。
延长测量端子与测试物之间距离时的注意事项
•
测试电缆请使用
•
请尽可能缩短电缆长度。
•
请在测试物连接端进行
探头与测试夹具等请使用本公司指定的型号。自制探头时可能无法满足本仪器的规格。
请参照“关于选件（另售）”（第2页）
50
类同轴电缆。
Ω
OPEN/SHORT/LOAD校正。
2
测量前的准备
IM9906转换器 (3.5 mm-7 mm)
（推荐扭矩 0.9 N.m）
IM9200
测试夹具支架
本产品不使用该螺钉。
测试头
有
3 个 螺钉，但 本 产品仅
使用这
2个。
将测试头固定到 IM9200 测试夹具支
1
架上
在测试头的测量端子上安装IM9906
2
转换器 (3.5 mm-7 mm)（推荐扭矩
0.9 N.m）
使用校正套件进行校正
3
将IM9201 SMD 测试夹具放在
4
IM9200测试夹具支架上，然后连接
7 mm连接器
（推荐扭矩 1.35N.m）
21
连接接口
2.5 连接接口
背面
为防止本仪器损坏或发生触电事故，请使用出厂时已安装接口安装螺钉 (M3×6 mm) 的
型号。
螺钉丢失或损坏时，请垂询销售店（代理店）或距您最近的营业所。
•
连接之前，请务必阅读“关于接口（选件）”（第
•
安装
/更换接口选件时或因不使用而拆下接口时，请阅读接口选件的使用
说明书。
•
本可在画面中确认本仪器安装的接口的信息。
参照 ：“进行接口设置”（第 217 页）、“确认本仪器的版本”（第 218页）
9 页）。
警 告
注 意
请握住板金部分插拔选件接口。如果直接触摸电路板，则可能会因静电的影响而导致故障。
（建议使用抗静电措施用吊绳等进行插拔）
22
准备物件 ：十字螺丝刀（2 号）
连接接口
安装接口
从插座上拔出本仪器的电源线
1
拆下连接线类
背面
(M3×6 mm)
安装空板，用十字螺丝
2
刀牢 固地紧固 2 个固定
螺钉
(M3×6 mm)
用十字螺 钉刀牢固地紧固接口的 2 个
4
固定螺钉
注意接口的方 向， 可 靠
地插到底
安装空板
从插座上拔出本仪器的电源线
1
拆下连接线类
背面
安装空 板，用十 字螺丝 刀牢
2
固地紧固 2 个固定螺钉
拆下接口使用本仪器时，请安装空板。如果在没
有空板的状态下进行测量，则无法满足规格要求。
2
测量前的准备
拆下接口
从插座上拔出电源线，按照与上述相反的步骤拆下
接口。
23
接通 /关闭电源
2.6 接通 / 关闭电源
连接探头与测试夹具之后，打开主机的主电源。
背面 正面
主电源
起动按钮
接通主电源
将背面的主电源开关设为 ON ( I )
正面的起动按钮点亮为绿色。
（绿灯点亮）
•
已在停止状态下切断主电源时，下次打开主电源
时则会在停止状态下起动。
•
为了进行规格精度的测量，解除停止状态之后，
请进行
60分钟以上的预热。
关闭主电源
将背面的主电源开关设为 OFF ( )
进入停止状态
在主电源为 ON 的状态下，按住正面的起动按钮约 1
秒钟。
如果进入停止状态，正面的起动按钮则会变为红色。
（红灯点亮）
解除停止状态
为了进行规格精度的测量，解除停止状态之后，请
进行 60 分钟以上的预热。
本仪器处于停止状态时，按下正面的起动按钮
正面的起动按钮点亮为绿色。
（绿灯点亮）
正面的起动按钮熄灭
（熄灭）
•
即使发生停电等电源异常，也会恢复为停电之前
的测量模式。
•
即使切断主电源开关，也保持本仪器的设置。（备
份）
24
什么是停止状态 ?
是指本仪器电源被切断的状态。（仅使起动按钮指示灯
点亮的电路进行动作）
长时间不使用时，需要对内部电池进行充电。从连接
电源并打开本仪器电源开始，充电时间最低为
（推荐
24小时）。
3 小时
2.7 选择测量模式
从下述 3 种类型中选择测量模式。
2
3
1
按下[MODE]
1
选择测量模式
2
按下[EXIT]
3
选择测量模式
2
测量前的准备
[LCR] ：LCR功能
可利用 LCR 功能在单一测量条件下测量电容器、线圈等无源元件。
适合于生产线中的合格与否判定或分类。
•
比较器功能 ：利用测量值进行
•
分类功能 ：可按测量值进行最多
[ANALYZER] ：分析仪功能
利用分析仪功能，可在扫描测量频率或测量信号电平的同时测量部件或材
料的特性。
可根据频率特性的结果进行等效电路分析。
可在压电元件等生产线中利用共振频率进行合格与否判定。
•
区域判定 ：判定扫描点的测量值是否处在判定区域内
•
峰值判定 ：判定扫描结果的峰值是否处在范围内
•
等效电路分析 ：电路元件部件的等效电路模式分析
[CONTINUOUS] ：连续测量功能
使用连续测量功能可在不同的条件下进行连续测量。
比如，连续进行1 MHz的 Ls 测量与100 MHz的 Z 测量，并可进行合格与
否判定。
也可以混合 LCR 模式与分析仪模式的测量条件。
可进行最多 46 个（LCR30 个、分析仪 16 个）连续测量。
HI/IN/LO的合格与否判定
10个分级
25
接通 /关闭电源
26
关于 LCR功能
START
END
3
LCR功能
3.1 关于 LCR 功能
LCR功能是通过将任意频率、电平（有效值）信号施加到要测量的元件上，可对阻抗与相位角等进行
测量的功能。适合于评估电容器与线圈等无源元件。
可在测量画面中确认测量条件的同时进行测量。再次打开电源时，在刚刚切断电源之前的测量模式
下显示测量画面。
•
利用
LCR功能设置的条件不会反映到分析仪功能中。
•
测量值超出精度保证范围时，错误信息显示区中显示
请确认精度保证范围。另外，请将超出精度保证范围时的测量值用作参考值。
请参照“量程”（第 258 页）
流程图
REF VAL。
3
3
LCR功能CR
功
能
将 MODE设为LCR
必须设置
测量参数设置
基本测量设置
(FREQ,LEVEL,
SPEED,AVG,DELAY,
SYNC,TRIG)
校正 /补偿处理
接触检测设置
任意设置
判定设置
通用设置
测量
27
关于 LCR功能
画面图
系统设置画面
（第
217页）
测量模式设
置画面
（第 25页）
触发
（第 66页）
详细设置画面（第 33 页）
补偿设置
画面
（第 131页）
[CAL] 校正 第 135页
[Rdc LIMIT]
[LENGTH] 电气长度补偿 第 144页
[COMPEN] 补偿 第145 页
[Rdc LIMIT]
[SCALE] 转换比 第 150页
DC测量限值 第 142 页
DC测量限值 第 149 页
选择接口。（第 217 页）
可确认本仪器的版本。（第218页）
保存设置画
面
（第 228页）
[SETUP] [SAVE]的设置 第228 页
[SAVE] 设置条件的保存 第 228 页
[LOAD] 设置条件的读取 第 246 页
[FORMAT]
[DELETE]
[FOLDER]
[RENANE]
[SELECT]
U盘的格式化 第250 页
文件的删除 第 254页
文件夹的生成 第 251页
文件名的变更 第 252页
文件的选择 第 246页
[BACK] 显示上一级
可进行自检查（自诊断）。（第 219 页） 可在本仪器中设置日期时间。（第224页）
28
详细设置画面
（第 37页）
关于 LCR功能
[FREQ] 测量频率 第 37页
[LEVEL] 测量信号电平 第 38页
[SPEED] 测量速度 第40 页
[AVG] 平均 第 41页
[DELAY] 触发延迟 第 34页
[SYNC] 触发同步输出 第 35页
[TRIG] 触发 第 33页
[TIMING] 接触检测的时序 第 161页
[AC OUT] AC 信号重叠 第 163页
[DC WAIT] DC测量前的等待时间 第 162页
[WAVE] DC 采样数 第 163页
[AC WAIT] AC测量前的等待时间 第 162 页
[LIMIT] DC测量值判定 第164页
[ERR ABORT] 判定错误时结束功能 第164页
[JDG EXEC] 参照值时的判定 第 164 页
[Hi Z] Hi Z筛选功能 第 166页
[LEV CHECK] 检测电平监视功能 第 167页
[JUDGE] 判定 第44页
[DIGIT] 各参数的显示位数 第 168页
[PARA ABS] 绝对值显示 第 169 页
[COM MEAS] 通讯命令“
:MEASURE?
”用设置 第170页
3
3
LCR功能CR
功
能
[IO JUDGE] 判定结果的 I/O输出 第 206页
[IO TRIG] I/O 触发 第 204页
[IO EOM] EOM 的输出方法 第 207页
[MEMORY] 测量结果的保存 第 243 页
[DISP] 液晶显示器 第 159页
[BEEP KEY] 蜂鸣音 第 176页
[COM FORM] 通讯测量数据类型 第182 页
[KEYLOCK] 按键锁定 第178页
[WARM UP] 预热通知功能 第 177页
[PANEL] 面板的读取/保存 第211 页
[RESET]
初始化
29
关于 LCR功能
测量画面
进行测量参数的设置。（第
显示测量值。
设置上下限值。（第
32页）
45页）
显示判定结果。（第
45页）
切换在测量画面中显示的信息。
[SET]
[COMP]
[BIN1] ～
[BIN10]
显示与LCR测量有 关
的信息
有关比 较器测 量判定
基准的信息的显示
有关分 类测量 判定基
准的信息的显示
切换测量条件、比较器判定
分类判定的上下限值等的显
示。
显示测量条件或比较器判定 /
分类判定的上下限值等。
显示测 量 条 件时，如 果
按 下 各测 量 条 件 区 域，
则可显示设置窗口。
/
显示监视值。 显示
放大显示画面。
如果按下 [ZOOM OFF]，
画面则变为通常显示。
Rdc值。
（第 244页）
设置直流电阻的上下限值。
164页）
（第
显示直流电阻的上下限值。
外部触发时用于输入触发。（第
33页）保存测量数据。
30
本仪器的状态显示、错误显示
1 2 3 4
关于 LCR功能
用于显示当前的测量模式。
1
LCR功能
分析仪功能
连续测量功能
用于显示错误信息。
2
精度保证范围以外
Hi Z筛选错误
检测电平异常
用于显示内存中的保存信息。
3
用于显示校正 / 补偿的状态。
5
AC测量
校正
补偿
DC测量
校正
补偿
8765
校正无效
校正有效
补偿无效
补偿有效
校正无效
校正有效
补偿无效
补偿有效
3
3
LCR功能CR
功
能
用于显示连接接口的类型。
4
RS-232C
GP-IB
USB
LAN
内存中保存的存储数
主机存储器已满时
用于显示 U 盘的连接状况。
6
（蓝色） 正在连接 U 盘
（红色） 正在存取 U 盘
用于显示通讯状态。
7
正在进行通讯控制
本地
用于显示本仪器设置的日期时间。
8
31
进行测量条件的基本设置
3.2 进行测量条件的基本设置
3.2.1 设置显示参数
可从 14 种测量参数中选择最多 4 种，并在任意位置显示。
以阻抗 Z 为基准显示相位角θ。以导纳 Y 为基准进行测量时，反转阻抗 Z 的相位角θ的符号。
请参照“附录 1 测量参数与运算公式”（第附 1页）
请参照“附录 3 关于串联等效电路模式与并联等效电路模式”（第附 4页）
1
参数 内容
[Z] 阻抗 (Ω)
[Y]
[θ]
[Rs]
[Rp] 有效电阻 (Ω)（并联等效电路）
[Cs] 静电容量 (F)（串联等效电路）
[Cp] 静电容量 (F)（并联等效电路模式）
[D] 损耗系数 = tan
导纳 (S)
阻抗的相位角 (
有效电阻 = ESR (
°
)
δ
)（串联等效电路）
Ω
1
参数 内容
[G] 电导 (S)
[X]
[Ls]
[Lp] 电感 (H)（并联等效电路）
[Q] Q 因数
[B] 电纳 (S)
[OFF]
按下要设置的参数键
电抗 (
电感 (H)（串联等效电路）
不显示
)
Ω
32
2
3
选择参数
2
按下[EXIT]
3
进行测量条件的基本设置
3.2.2 在任意时序下开始测量（触发）
在任意时序下开始测量。所谓触发 (Trigger)，是指使用特定信号确定测量开始的时序的功能。本仪
器可设置的触发包括下述 2 种类型。
内部触发 自动重复进行测量。（在内部自动发生触发）
2
3
外部触发
4
5
通过外部控制进行测量。
通过
EXT I/O、接口、手动 ([TRIG]) 进行控制。
1
1
2
3
4
5
按下[SETUP]
按下[BASIC] 标签
按下[TRIG]
选择触发的类型
[INT] 内部触发
[EXT] 外部触发
按下[EXIT]，关闭详细设置画面
3
3
LCR功能CR
功
能
选择 EXT 时
触发输入方法包括下述 3 种类型。
按下画面上的 [TRIG]，手动输入触发
1
进行
1次测量。
利用 EXT I/O 输入
2
每添加
请参照“8.1 关于外部输入输出端子与信号”（第 185 页）
通过接口输入
3
如果发送
请参照 LCR 应用程序光盘 - 通讯命令
1次负逻辑的脉冲信号，就进行 1 次测量。
*TRG
，则进行 1 次测量。
33
进行测量条件的基本设置
3.2.3 设置触发～测量开始之间的延迟时间（触发延迟）
设置从输入触发信号至开始测量之间的延迟时间。
可在测试物与测量探头（测试夹具）的连接状态稳定之后开始测量。
请参照“8.1 关于外部输入输出端子与信号”（第 185 页）
触发延迟 ：OFF 触发延迟 ：ON
TRIG
EOM
INDEX
信号
测量 运算
即使在触发延迟期间，表示正在测量的 LED 也处于点亮状态。
TRIG
EOM
INDEX
信号
按下[SETUP]
1
1
按下[BASIC] 标签
2
2
按下[DELAY]
3
3
测量 运算
触发延迟
34
6
4
可进行数字键输入。
5
利用/
4
（利用数字键输入时，按下
可设置范围 0 s ～ 9.99999 s
分辨率 10 µs
按下[EXIT]，关闭触发延迟设置画面
5
按下[EXIT]，关闭详细设置画面
6
或数字键设置延迟时间
[C]
延迟时间为 0 s，将该功能设为无效。
[SET]）
进行测量条件的基本设置
3.2.4 仅在测量时向测试物施加信号（触发同步输出）
是指在触发输入之后输出测量信号并仅在测量时向测试物施加信号的功能。
此外，可设置在测试物稳定之后用于读取数据的延迟时间。
利用该功能，可降低测试物的发热以及电极的磨损。
另外，在结束测量，测量信号切实置为 OFF (0 V) 之后，可延迟 INDEX 信号的输出，以便切换为下
一测试物。（INDEX 延迟）
触发同步输出 ：OFF 触发同步输出 ：ON
TRIG
EOM
INDEX
信号
2
测量 运算
1
3
TRIG
EOM
INDEX
信号
按下[SETUP]]
1
按下[BASIC] 标签
2
按下[SYNC]
3
同步信号等待
INDEX延迟
测量 运算
3
3
LCR功能CR
功
能
4 5
9
按下[SYNC]
4
选择触发同步输出的ON/OFF
5
[OFF] 将触发同步输出设为无效。
[ON] 将触发同步输出设为有效。
接下页
35
进行测量条件的基本设置
通过施加触发输出测量信号之后，利用/
等待时间
6
INDEX时间
7
8
可进行数字键输入。
•
将触发同步输出功能设为
间会延长。
请参照“12.3 测量时间”（第 273 页）
•
如果在触发同步输出功能为
•
输入触发信号时输出测量信号，测量结束时停止输出。
•
在连续测量模式下，最后面板的测量结束之后，测量条件变为最初面板的设置。
最初面板的设置被设为触发同步功能 [ON] 时，停止测量信号。
[ON]时，由于输出测量信号之后～读取数据之前需要等待时间，因此测量时
[ON]的状态下变更测量条件，则可能会瞬间输出所设置电平的测量信号。
6
开始前的等待时间（稳定时间）
（利用数字键输入时，按下
可设置范围 0.00000 s ～ 9.99999 s
[C]
设置 INDEX延迟时间
7
（利用数字键输入时，按下 [SET]）
可设置范围 0.00000 s ～ 0.10000 s
按下[EXIT]，关闭触发同步输出设置画面
8
按下[EXIT]，关闭详细设置画面
9
设为初始值。
（被设为
0.001 s）
[SET]）
设置测量
触发延迟 ：ON 触发同步输出 ：ON
TRIG
EOM
INDEX
信号
触发延迟 同步信号等待 INDEX 延迟
测量 运算
36
3.2.5 设置测量频率
设置施加到测试物上的信号的频率。值可能会因测试物以及测量频率而异。
按下[SETUP]
1
1
按下[BASIC] 标签
2
2
按下[FREQ]
3
3
进行测量条件的基本设置
3
3
LCR功能CR
利用
/
（逐位）进行设置时
4
可利用 [DIGIT]、[10-KEY]
切换输入。
利用数字键进行设置时
4
5
5
6
利用/
4
可设置范围 1 MHz ～ 300 MHz
利用
如果按住
可设置范围 1 MHz ～ 300 MHz
利用数字键进行设置时
单位的变更 ：
•
如果输入数值，单位键则变为有效状态。
•
如果按下单位键，则频率会被设置。
•
设置超出
自动设为 300 MHz。
•
设置小于
自动设为 1 MHz。
或数字键设置频率
/
（逐位）进行设置时
dgt键，则连续进行变化。
[×10] 将测量频率设为 10 倍。
[/10] 将测量频率设为 1/10倍。
M（兆）/ k（千）
[C] 重新进行输入。
300 MHz时 ：
1 MHz时 ：
功
能
按下[EXIT]，关闭测量频率设置画面
5
按下[EXIT]，关闭详细设置画面
6
37
进行测量条件的基本设置
3.2.6 设置测量信号电平
设置测量信号电平。
值可能会因测试物以及测量信号电平而异。
利用本仪器可按下述 3 种方法设置施加到测试物上的测量信号电平。
功率 (P)模式 利用 DUT端口 50 Ω终端时的功率 (dBm)设置测量信号电平。
(V)模式
电压
(I)模式
电流
•
信号电平的设置分辨率始终为
因此，已经在电压、电流模式下进行设置时，根据输入的数值自动转换为 0.1 dB 分辨率的设置值。
•
测试精度因测量信号电平而异。
请参照“量程”（第 258 页）
利用 DUT端口开路时的电压值 (V) 设置测量信号电平。
（将
dBm换算为 V 后的值）
利用 DUT端口短路时的电流值 (A) 设置测量信号电平。
（将
dBm换算为 I 后的值）
0.1 dB，与设置信号模式无关。
按下[SETUP]
1
1
按下[BASIC] 标签
2
2
按下[LEVEL]
3
3
38
4 5
8
按下[P/V/I]
4
选择信号设置模式
5
[POWER] 利用功率 (dBm) 进行设置。
[V] 利用电压 (V) 进行设置。
[I] 利用电流 (A)进行设置。
接下页
可进行数字键输入。
6
7
利用
/
或数字键设置电压或电流值
6
（利用数字键设置时，按下 [dBm]）
测量信号模式 可设置范围
(P)模式 -40.0 dBm ～ +7 dBm
功率
（0.1 dBm分辨率）
(V)模式 4 mV ～ 1001 mV
电压
电流 (I)模式 0.09 mA ～ 20.02 mA
进行测量条件的基本设置
测量值超出精度保证范围时，错误信息显示区中显示 REF VAL。
请确认精度保证范围，变更测量条件，或将测量值作为参考值。
请参照“量程”（第 258 页）
关于运算
可利用下式转换功率与电压 / 电流设置值的关系。
VW= × ×2 50( )Ω
[C]
按下[EXIT]，关闭测量信号电平设置画面
7
按下[EXIT]，关闭详细设置画面
8
重新进行输入。
3
3
LCR功能CR
功
能
DBM
= × ÷×
210 1000 50
10
IW= × ÷2 50( )Ω
DBM
= × ÷÷
210 1000 50
10
Ω
()
Ω
()
V : 电压
I : 电流
DBM : 功率 (dBm) 设置值
39
进行测量条件的基本设置
3.2.7 设置测量速度
变更测量时间。
如果将测量速度设为 [FAST]，则可进行高速测量 ；如果设为 [SLOW2]，则会提高测试精度。
•
已变更测量速度时，请重新进行校正、补偿。
请参照“5 校正与补偿”（第 131 页）
•
测量时间因测量条件而异。
请参照“12.3 测量时间”（第 273 页）
1
2
1
2
按下[SETUP]
按下[BASIC] 标签
在步骤
3
6
4
5
4中选择 [CUSTOM] 时
按下[SPEED]
3
选择测量速度
4
[FAST] 进行高速测量。
[MED] 为通常测量的速度。
[SLOW] 测试精度提高。
[SLOW2] 测试精度高于 SLOW。
[CUSTOM]
按下[EXIT]，关闭测量速度设置画面
5
按下[EXIT]，关闭详细设置画面
6
利用/
1
（利用数字键输入时，按下
可更细致地设置测量速度。
设置范围 ：
或数字键设置测量速度
8 ～ 87
[SET]）
40
1
可进行数字键输入。
2
按下[EXIT]
2
[C] 重新进行输入。
3.2.8 用平均值显示（平均值）
进行测量值的平均化处理。可降低测量值显示的偏差。
进行测量条件的基本设置
内部触发
外部触发
平均次数为 4 次时，测量次数、测量值输出点和输出时的测量值计算方法如下所示。
移动平均
测量点
M1 M2 M3 M4 M5 M6
M1
1
测量输出值
Time
M1+M2
2
M1+M2+M3
M4+M5+M6+M74M5+M6+M7+M84M6+M7+M8+M94M7+M8+M9+M10
测量值始终是当前～平均次数前的移动平均值。
（切换测试物时，值的稳定需要一定的时间）
为触发输入平均次数部分的相加平均值。
M1+M2+M3+M44M2+M3+M4+M54M3+M4+M5+M6
3
M7 M8 M9 M10
3
3
LCR功能CR
功
能
4
4
相加平均
测量点
M1 M2 M3 M4 M5 M6 M7 M8 M9
M5+M6+M7+M8
4
测量输出值
Time
M1+M2+M3+M4
4
M10
41
进行测量条件的基本设置
2
3
6
1
按下[SETUP]
1
按下[BASIC] 标签
2
按下[AVG]
3
4
5
利用/
4
可设置范围 1 ～ 256次
按下[EXIT]，关闭平均值设置画面
5
按下[EXIT]，关闭详细设置画面
6
输入平均次数
[C] 将设置设为 OFF。
42
判定测量结果
3.3 判定测量结果
比较测量结果与任意设置的基准，并显示判定结果。这是进行出厂检查等的便利的功能。
包括按一个判定基准进行测量值合格与否判定 (HI/IN/LO) 的比较器功能，以及按多个判定基准（最多
10个）进行测量值分类（分级）的分类功能。
L_COMP.BMP
3
3
LCR功能CR
功
能
判定方法包括下述 3 种类型。
上下限值 (ABS) 设置（第 46 页）
上限值
HI
IN
下限值
百分比 (%) 设置（第 47 页）
上限值
[%]
LO
HI
IN
基准值
IN
下限值 [%]
LO
偏差百分比 ( ∆ %)*
上限值
2
设置（第 49 页）
[∆ %]
HI
IN
基准值
IN
下限值 [∆ %]
LO
设置测量参数的上限值与下限值。
测量值直接显示测量参数的值。
输入基准值，利用相对于基准值的比例（百分比）设置上限值与基
准值、下限值
测量值直接显示测量参数的值。
输入基准值，利用相对于基准值的比例（百分比）设置上限值与基
准值、下限值
测量值显示为与基准值之间的偏差值
*1
与基准值之差。
*1
与基准值之差。
(∆ %)。
*1 按下式计算比较上限值、比较下限值。（比较下限值时，如果设置值小于基准值，则需在百分比设置值前
附加负号
比较上限值（比较下限值）
*2 按下式计算Δ%值。
∆％ =
(-)）
测量值 -基准值
| 基准值 |
=基准值 + | 基准值 | ×
×100
百分比设置值
100
43
判定测量结果
3.3.1 设置判定模式
可通过获取蜂鸣音、画面显示、I/O输出、通讯命令的结果确认判定结果。
按下[SETUP]
1
1
按下[ADVANCED] 标签
2
2
按下[JUDGE]
3
10
3
4
5 6
7 8
9
选择判定模式
4
[OFF] 将比较器、分类功能设为无效。
[COMP] 将比较器判定设为有效。（第 45 页）
[BIN] 将分类判定设为有效。（第 50 页）
测量值超出精度保证范围时，设置判定处理的方法
5
[DO] 测量值超出精度保证范围时也进行判定。
[NOT]
设置针对判定结果的蜂鸣音
6
[OFF] 不鸣响蜂鸣音。
[IN] 判定结果均为 IN 时，鸣响蜂鸣音。
[NG]
利用/
7
可设置范围 0 ～ 14
测量 值超 出精 度保 证范 围时， 通过 HI判定
输出错误。
判定结果即使有一个为 LO 或 HI 时，也鸣响
蜂鸣音
设置蜂鸣音的类型
44
利用/
8
可设置范围 1 ～ 3
按下[EXIT]，关闭判定设置画面
9
按下[EXIT]，关闭详细设置画面
10
设置蜂鸣音的音量
3.3.2 利用上下限值进行判定（比较器判定）
判断测量结果是否在范围内。
比较器判定时，可进行下述操作。
•
事先利用基准值或上下限值设置判定基准，利用
LO（小于下限值）显示测量结果。
•
向外部输出（
•
可分别设置最多
•
利用蜂鸣音通知判定结果。
请参照“3.3.1 设置判定模式”（第 44 页）
EXT I/O连接器）判定结果。
4个参数进行判定。
HI（大于上限值）、IN（处在上下限值设置范围内）、
测量值 > 上限值
HI
判定测量结果
3
3
比较器的判定顺序
判定顺序 状况 判定显示
1
2
3
4 1
上限值≧测量值≧下限值
IN
测量值 < 下限值
LO
未设置判定基准时
- - -
•
测量值为
•
超出精度保证范围（超出精度保证范围的判定处理为
判定测量值是否大于下限值，为 NG时 LO
判定测量值是否小于上限值，为 NG时 HI
、2、3以外时 IN
MEAS ERR时
[NOT]时）
HI
LCR功能CR
功
能
•
测量值超出精度保证范围
进行判定处理。[NOT]时，不进行判定并返回 HI 判定。
•
由于不比较上下限值的大小，因此即使将上限值与下限值设置为相反，也不会发生错误。
•
仅设置上、下限值一方时，也可以进行比较器判定。
仅设置上限值时
上限值
(REF VAL) 时，如果 [JUDGE EXEC] 的设置为[DO]，则按判定顺序
仅设置下限值时
HI
下限值
IN
IN
LO
45
判定测量结果
上下限值模式
利用设置的上限值、下限值 (ABS) 进行判定。
1
32
按下[LMT]
1
按下[MODE]
2
按下[ABS]
3
按下[HI]
4
5
4
单位的变更 ：a/ f/ p/ n/ µ/ m/ 无 k/ M/ G
7
6
8
利用数字键设置上限值，然后按下[SET]
5
可设置范围 -9.99999G ～ 9.99999G
[-] 输入负号单位。
[×103] 单位的前缀变大。
/103]
[
[OFF] 不设置值。
[C] 重新进行输入
CANCEL]
[
按下
6
7
8
[LO]
利用数字键设置下限值，然后按下[SET]
可设置范围 -9.99999 G ～ 9.99999 G
按下[EXIT]，关闭设置画面
单位的前缀变小。
取消设置值。
46
判定测量结果
百分比模式
利用相对于基准值的比例 (%) 设置上限值与基准值、下限值与基准值之差，判断测量值是否处在上
限值与下限值的范围内。
已设置的基准值与上下限值在百分比模式及偏差百分比模式下是通用的。
按下[LMT]
1
1
按下[MODE]
2
2
3
3
按下[%]
3
3
LCR功能CR
功
能
4
单位的变更 ：a/ f/ p/ n/ µ/ m/ 无/ k/ M/ G
5
7
6
按下[REF]
4
利用数字键设置基准值，然后按下[SET]
5
可设置范围 -9.99999G ～ 9.99999G
[-] 输入负号单位。
[×103] 单位的前缀变大。
/103]
[
[OFF] 不设置值。
[C] 重新进行输入
CANCEL]
[
按下[HI]
6
利用数字键设置上限值，然后按下[SET]
7
以相对于基准值的百分比设置上限值。
可设置范围 -999.999% ～ +999.999%
实际的内部操作 ：按下式计算比较上限值，并与测量值比较
进行判定。
比较上限值（比较下限值）
接下页
单位的前缀变小。
取消设置值。
=基准值+ | 基准值| ×
百分比设置值
100
47
判定测量结果
8
按下[LO]
8
10
9
利用数字键设置下限值，然后按下[SET]
9
以相对于基准值的百分比设置下限值。
可设置范围 -999.999% ～ 999.999%
实际的内部操作 ：按下式计算比较下限值，如果设置值小于
基准值，则需在百分比设置值前附加符号
比较下限值
按下[EXIT]，关闭设置画面
10
=基准值 + | 基准值 | ×
(-)。
百分比设置值
100
48
判定测量结果
∆ % 模式
利用相对于基准值的比例 (%) 设置上限值与基准值、下限值与基准值之差，判断测量值是否处在上
限值与下限值的范围内。
在偏差百分比模式下，测量值显示为与基准值之间的偏差值 (∆ %)。
按下式计算
∆％ =
已设置的基准值与上下限值在百分比模式及偏差百分比模式下是通用的。
%值。
Δ
测量值 - 基准值
|基准值 |
1
2
3
×100
按下[LMT]
1
按下[MODE]
2
按下[ ∆ %]
3
3
3
LCR功能CR
功
能
4
单位的变更 ：a/ f/ p/ n/ µ/ m/ 无/ k/ M/ G
5
7
6
9
按下[REF]
4
利用数字键设置基准值，然后按下[SET]
5
可设置范围 -9.99999G ～ 9.99999G
[-] 输入负号单位。
[×103] 单位的前缀变大。
/103]
[
[OFF] 不设置值。
[C] 重新进行输入
CANCEL]
[
按下[HI]
6
利用数字键设置上限值，然后按下[SET]
7
可设置范围 -999.999% ～ 999.999%
按下[LO]
8
单位的前缀变小。
取消设置值。
8
10
利用数字键设置下限值，然后按下[SET]
9
可设置范围 -999.999% ～ 999.999%
按下[EXIT]，关闭设置画面
10
49
判定测量结果
3.3.3 对测量结果进行分类（分类判定）
相对于 4 个参数设置上限值与下限值，并显示最多 10 个分类的判定结果。
另外，向外部输出判定结果。
选择分类判定模式之后，设置判定条件。（第 44 页）
BIN
OUT
分类判定时
未进行分类设置时
- - -
与任何分类都不一致时
分类判定顺序如下所示，从 BIN1 的第 1参数向BIN10依次进行判定。显示最初判定为测量值处在已
设置判定基准内的 BIN 编号。
不在所有的分类判定范围时，显示 [OUT]。
判定
编号
BIN
BIN1
BIN2
BIN3
第 1参数
判定
OUT
判定
OUT
判定 BIN3判定 判定 判定
IN IN IN IN
OUT
IN IN IN IN
OUT
IN IN IN IN
第 2参数 第3 参数 第4 参数
OUT
OUT
OUT
OUT
分类判定结果
BIN1判定 判定 判定
BIN2判定 判定 判定
BIN10
判定
OUT
IN IN IN IN
OUT OUT
OUT
如下图所示，通过从严格的判定基准设为宽松的判定基准，可进行测量元件的分级。
BIN1 BIN2 BIN3 BIN4 BIN5 BIN10
•
有关
HI/IN/LO的判定步骤，请参照第 45 页页。
•
针对不需要分类判定的
下限值设为 [OFF]。
•
仅设置上、下限值一方时，也可以进行分类判定。
（下图）
IN
测量基准范围
仅设置上限值时
HI
上限值
IN
BIN10判定 判定 判定
OUT
BIN 编号，请将上限值 /
仅设置下限值时
IN
下限值
LO
50
上下限值模式
利用设置的上限值、下限值 (ABS) 进行判定。
1
2
4
3
5
按下[LMT]
1
按下[Z]
2
按键显示因测量参数而异。
按下[MODE]
3
按下[ABS]
4
按下[EXIT]，返回到分类设置画面
5
判定测量结果
3
3
LCR功能CR
功
能
7
9
8
11
10
6
12
利用/
6
按下相当于第1 参数的 HI 的部分
7
利用数字键设置第1 参数的上限值，然后按下 [SET]
8
可设置范围 -9.99999 G ～ 9.99999 G
[
按下相当于第1 参数的 LO 的部分
9
利用数字键设置下限值，然后按下[SET]
10
可设置范围 -9.99999 G ～ 9.99999 G
返回到步骤 4的状态。
或滚轴显示要设置的
[-] 输入负号单位。
[×103] 单位的前缀变大。
/103]
[
[OFF] 不设置值。
[C] 重新进行输入
CANCEL]
单位的前缀变小。
取消设置值。
BIN编号
单位的变更 ：a/ f/ p/ n/ µ/ m/ 无/ k/ M/ G
按相同的方式设置第 2 参数～第 4 参数的上下限值，然
11
后按下 [SET]
按下[EXIT]，关闭设置画面
12
51
判定测量结果
百分比模式
利用相对于基准值的比例 (%) 设置上限值与基准值、下限值与基准值之差，判断测量值是否处在上
限值与下限值的范围内。
按下[LMT]
1
按下[Z]
2
按键显示因测量参数而异。
按下[MODE]
3
按下[%]
4
按键显示因测量参数而异。
按下[EXIT]
5
2
3
1
4
5
6
10
12
8
7
9
按下[REF]
6
利用数字键设置基准值，然后按下[SET]
7
可设置范围 -9.99999 G ～ 9.99999 G
[-] 输入负号单位。
[×103] 单位的前缀变大。
/103]
[
[OFF] 不设置值。
[C] 重新进行输入
CANCEL]
[
按下[EXIT]
8
利用/
9
按下相当于第1 参数的 HI 的部分
10
接下页
单位的前缀变小。
取消设置值。
或滚轴显示要设置的
BIN编号
52
15
利用数字键设置第1 参数的上限值，然后按下 [SET]
11
判定测量结果
11
14
13
可设置范围 -999.999％～ 999.999%
按下相当于第1 参数的 LO 的部分
12
利用数字键设置下限值，然后按下[SET]
13
可设置范围 -999.999％～ 999.999%
返回到步骤 7的状态。
按相同的方式设置第 2 参数～第 4 参数的上下限值，然
14
后按下 [SET]
按下[EXIT]，关闭设置画面
15
3
3
LCR功能CR
功
能
53
判定测量结果
∆ % 模式
利用相对于基准值的比例 (%) 设置上限值与基准值、下限值与基准值之差，判断测量值是否处在上
限值与下限值的范围内。
已设置的基准值与上下限值在百分比模式及偏差百分比模式下是通用的。
按下[LMT]
1
按下[Z]
1
2
3
4
2
按键显示因测量参数而异。
按下[MODE]
3
按下[ ∆ %]
4
按键显示因测量参数而异。
按下[EXIT]
5
6
10
8
5
7
9
按下[REF]
6
利用数字键设置基准值，然后按下[SET]
7
可设置范围 -9.99999 G ～ 9.99999 G
[-] 输入负号单位。
[×103] 单位的前缀变大。
/103]
[
[OFF] 不设置值。
[C] 重新进行输入
CANCEL]
[
按下[EXIT]
8
利用/
9
按下相当于第1 参数的 HI 的部分
10
单位的前缀变小。
取消设置值。
或滚轴显示要设置的
BIN编号
54
12
接下页
15
利用数字键设置第1 参数的上限值，然后按下 [SET]
11
判定测量结果
11
14
13
可设置范围 -999.999％～ 999.999%
按下相当于第1 参数的 LO 的部分
12
利用数字键设置下限值，然后按下[SET]
13
可设置范围 -999.999％～ 999.999%
返回到步骤 7的状态。
按相同的方式设置第 2 参数～第 4 参数的上下限值，然
14
后按下 [SET]
按下[EXIT]，关闭设置画面
15
3
3
LCR功能CR
功
能
55
判定测量结果
56
关于分析仪功能
4
分析仪功能
4.1 关于分析仪功能
利用分析仪功能，可在扫描测量频率、测量信号电平的同时进行测量。
测量结果可通过图形、数值进行显示。请用于频率特性或电平特性的测量。
可确认各扫描点的测量结果。
4
分析仪功能
用图形显示测量结果。
请用于频率特性或电平特性的测量。
•
利用分析仪功能设置的条件不会反映到
•
再次打开电源时，根据刚刚切断电源之前的测量模式进行显示。
LCR功能中。
57
关于分析仪功能
流程图
分析仪测量
START
将 MODE设为ANALYZER
必须设置
测量参数设置
扫描参数设置
其它基本设置
(DELAY
、SYNC、TRIG)
扫描点设置
校正与补偿处理
图形显示设置
接触检测设置
判定设置
等效电路分析设置
通用设置
任意设置
58
测量
CURSOR读取测量值
利用
利用
SEARCH查找测量值
END
判定的设置
JUDGE ?
AREA PEAK
SEGMENT ?
ON
关于分析仪功能
判定设置
扫描点的设置
JUDGE
对象参数的选择
AREA PEAK
的设置
JUDGE ?
AREA的设置 PEAK范围的设置
END
扫描点设置
SEGMENT
的设置
4
分析仪功能
OFF
QUICK EDIT
扫描范围、扫描数、基本测量设置
个别扫描点的测量设置
SEGMENT ?
分段扫描范围、扫描数、
基本设置
ON
ON
END
间隔
间隔、基本测量设置
59
关于分析仪功能
画面图
系统设置画面
（第
217 页）
测量模式设置画面
（第
25 页）
（第 66 页）
触发
详细设置画面（第 65 页）
补偿设置画
面
（第 131页）
[CAL] 校正 第 135 页
[Rdc LIMIT]
[LENGTH] 电气长度补偿 第 144 页
[COMPEN] 补偿 第 145 页
[Rdc LIMIT]
[SCALE] 转换比 第 150 页
DC测量限值 第 142页
DC测量限值 第 142页
选择接口。
可确认本仪器的版本。（第 218 页）
（第 217页）
保存设置画面
（第
228 页）
[SETUP] [SAVE]的设置 第 228页
[SAVE] 设置条件的保存 第 228页
[LOAD] 设置条件的读取 第 246 页
[FORMAT]
[DELETE]
[FOLDER]
[RENANE]
[SELECT]
U盘的格式化 第 250 页
文件的删除 第 254 页
文件夹的生成 第 251 页
文件名的变更 第 252 页
文件的选择 第 246 页
[BACK] 显示上一级
可进行自检查（自诊断）。（第 219页） 可在本仪器中设置日期时间。（第 224 页）
60
详细设置
画面
（第
65 页）
关于分析仪功能
[PARA] 参数 第 65 页
[SOURCE] 扫描参数 第 70 页
[DELAY] 触发延迟 第 67 页
[SYNC] 触发同步输出 第 68 页
[TRIG] 触发 第 66 页
[TIMING] 接触检测（DC 测量） 第 161页
[Hi Z] Hi Z筛选功能 第 166 页
[LEV CHECK]
扫描点的设置（第 72 页）
检测电平监视功能 第 167页
4
判定功能的设置（第
等效电路分析的设置（第
[DIGIT] 各参数的显示位数 第 168 页
[COM MEAS]
[IO JUDGE] 判定结果的I/O输出 第 206页
[IO TRIG] I/O 触发 第 204 页
[IO EOM] EOM 的输出方法 第 207 页
[MEMORY] 测量结果的保存 第 243 页
[DISP] 液晶显示器 第 159 页
[BEEP KEY] 蜂鸣音 第 176 页
[COM FORM]
[KEYLOCK] 按键锁定
[WARM UP] 预热通知功能
[PANEL] 面板的读取/保存
[RESET] 初始化
105 页）
116页）
通讯命令“
用设置
通讯测量数据类型
:MEASURE?
”
第
170 页
182 页
第
178 页
第
177 页
第
211页
第
分析仪功能
61
关于分析仪功能
测量画面
显示光标位置的测量值。
执行搜索。（第 101 页）设置光标。（第 99 页）
移动光标。
向左移动 10点
[]
向左移动 1点
[]
向右移动 1点
[]
向右移动 10点
[]
显示图形纵轴的最大值与
最小值。
[DISP] 选择要显示的图形的类型。（第 63 页）
[GRAPH] 设置图形的转换比等。（第 89 页）
[CIRCUIT] 执行等效电路分析。（第 117 页）
[SCALE] 对纵轴进行自动转换比设置。
[SAVE]
[TRIG]
保存测量数据或画面。
连接
U盘时显示。
开始测量。
触发设置为
[SEQ]、[STEP]时显示。
显示
Rdc值。
62
图形的类型
扫描图形
第 1 ～ 4参数全部
扫描图形 1
第 1参数
扫描图形 2
第 2参数
扫描图形 3
第 3参数
扫描图形 4
第 4参数
XY图形
X轴 ：第1参数
Y轴 ：第2参数
XY图形1
X轴 ：第1参数
Y轴 ：第2参数
XY图形2
X轴 ：第3参数
Y轴 ：第4参数
扫描图形 1
第 1、第2参数
扫描图形 2
第 3、第4参数
XY图形1
X轴 ：第1参数
Y轴 ：第2参数
XY图形2
X轴 ：第3参数
Y轴 ：第4参数
如果在测量画面中按下 [DISP]，则可选择要显示的图形。
关于分析仪功能
[1 GRAPH]
比较器
综合判定结果
比较器
综合判定结果
[4 GRAPHs]
[2 X-Ys][1 X-Y]
4
分析仪功能
[MULTI]
比较器
综合判定结果
[NUMERIC] [PEAK] （第 112 页）
比较器
综合判定结果
63
关于分析仪功能
本仪器的状态显示、错误显示
1 2 3 4
8765
用于显示当前的测量模式。
1
LCR功能
分析仪功能
连续测量功能
用于显示错误信息。
2
精度保证范围以外
Hi Z筛选错误
检测电平异常
用于显示内存中的保存信息。
3
内存中保存的存储数
主机存储器已满时
用于显示校正 / 补偿的状态。
5
AC测量
校正
补偿
DC测量
校正
补偿
用于显示 U 盘的连接状况。
6
（蓝色） 正在连接 U 盘
校正无效
校正有效
补偿无效
补偿有效
校正无效
校正有效
补偿无效
补偿有效
用于显示连接接口的类型。
4
RS-232C
GP-IB
USB
LAN
64
（红色） 正在存取 U 盘
用于显示通讯状态。
7
正在进行通讯控制
本地
用于显示本仪器设置的日期时间。
8
4.2 设置测量的基本项目
第 1参数
第 2参数
第 4参数
第 3参数
4.2.1 设置测量参数
选择测量显示参数。
可在分析仪模式下进行第 1 参数～第 4 参数的 4种参数测量。
按下[SETUP]
1
1
按下[SWEEP] 标签
2
2
按下[PARA]
3
3
设置测量的基本项目
4
4
5
按下要设置的参数键
4
[COLE-COLE]
[GB-CURVE]
按下[EXIT]，关闭设置画面
5
将 [PARA1]设为 [Rs]（串联等效电路模
式的有效电阻
设为 [X]（电抗 (
反转
Y轴。将 X-Y 显示期间的自动转换比
设为
[SAME]。
也可按相同的方式设置
[PARA4]。
将 [PARA1]设为 [G]（电导 (S) ），将
[PARA2]设为 [B]（电纳 (S) ）。
将
X-Y显示期间的自动转换比设为
[SAME]。
也可按相同的方式设置
[PARA4]。
=ESR (Ω) ），将[PARA2]
) ）。
Ω
[PARA3]、
[PARA3]、
分析仪功能
65
设置测量的基本项目
4.2.2 在任意时序下开始测量（触发）
进行触发设置。本仪器可设置的触发包括下述 3 种类型。
有关各触发的详细说明，请参照步骤 4。
•
按序扫描
•
重复扫描
•step扫描
此处设置的触发设置不同于 LCR模式的触发设置。
（不影响
LCR模式的触发设置）
按下[SETUP]
1
1
2
4
3
5
将触发设置选为 [SEQ] 或[STEP] 时
按下[SWEEP] 标签
2
按下[TRIG]
3
选择触发设置
4
[SEQ]
[REPEAT]
[STEP]
按下[EXIT]，关闭设置画面
5
进行按序扫描。
输入外部触发之后，仅进行
进行重复扫描。
根据内部触发进行重复扫描。
进行 step扫描。
输入外部触发之后，在当前的测量点上进行测
量，然后移动到下一测量点。
1次扫描测量。
66
•
测量画面中显示
•
每按下
[TRIG]，都进行按序扫描或 step 扫描。
[TRIG]。
4.2.3 设置触发～测量开始之间的延迟时间（触发延迟）
设置从触发输入至开始测量之间的延迟时间。
触发延迟 ：OFF 触发延迟 ：ON
设置测量的基本项目
TRIG
EOM
INDEX
信号
外部触发
测量 运算
扫描点 1的测量 扫描点2 的测量
1
TRIG
EOM
INDEX
信号
扫描点 3的测量 最终扫描点的测量
按下[SETUP]
触发延迟
测量 运算
: 触发延迟
: 扫描点延时
测量结束
4
分析仪功能
2
3
4
可进行数字键输入。
5
1
按下[SWEEP] 标签
2
按下[DELAY]
3
利用
4
（利用数字键输入时，按下 [SET]）
可设置范围 0 s ～ 9.99999 s之间 10 ms分辨率
按下[EXIT]，关闭设置画面
5
或数字键设置延迟时间
/
•
将该功能设为无效。
[C]
•
已设置的时间被设为
0 s。
设为触发延迟时，从输入触发～测量结束期间，表示处于测量期间的 LED 点亮。
67
设置测量的基本项目
4.2.4 仅在测量时向测试物施加信号（触发同步输出）
是指在触发输入之后仅输出最初扫描点的测量信号，以便在测量时向测试物施加信号的功能。此外，
可设置在测试物稳定之后用于读取数据的延迟时间。
利用该功能，可降低测试物的发热以及电极的磨损。
触发同步输出 ：OFF 触发同步输出 ：ON
TRIG
EOM
INDEX
信号
2
测量 运算
1
3
TRIG
EOM
INDEX
信号
按下[SETUP]
1
按下[SWEEP] 标签
2
按下[SYNC]
3
同步信号等待
INDEX延迟
测量 运算
4 5
68
按下[SYNC]
4
选择触发同步输出的ON/OFF
5
[OFF] 将触发同步输出设为无效。
[ON] 将触发同步输出设为有效。
接下页
设置测量的基本项目
通过施加触发输出测量信号之后，利用/
等待时间
6
INDEX时间
7
8
可进行数字键输入。
•
将触发同步输出设为
延长。
请参照“12.3 测量时间”（第 273页）
•
如果在触发同步输出为
•
输入触发信号时输出测量信号，测量结束时停止输出。
•
在连续测量模式下，最后面板的测量结束之后，变为最初面板的设置。
最初面板的设置被设为触发同步功能 [ON] 时，停止测量信号。
[ON]时，由于输出测量信号之后～读取数据之前需要等待时间，因此测量时间会
[ON]的状态下变更测量条件，则可能会瞬间输出所设置的电平。
6
设置测量开始前的等待时间（稳定时间）
（利用数字键输入时，按下 [SET]）
可设置范围 0.00000 s ～ 9.99999 s
[C]
设置 INDEX延迟时间
7
（利用数字键输入时，按下 [SET]）
可设置范围 0.00000 s ～ 0.10000 s
按下[EXIT]，关闭触发同步输出设置画面
8
按下[EXIT]，关闭设置画面
9
（被设为
设为初始值。
0.001 s）
或数字键
4
分析仪功能
69
设置测量的基本项目
4.2.5 设置扫描参数
选择要扫描的参数。可设置的参数包括频率、测量信号电平（功率 (P)、电压 (V)、电流 (A) ）4种类型。
注 意
由于可能会损坏测试物，因此请勿在测量端子上连接测试物的状态下切换 P、V、I。
•
已变更扫描参数时，对比较器设置与扫描点进行初始化。另外，由于补偿也处于无效状态，因此
请重新进行校正。
•
进行等效电路分析时，请将扫描参数设为频率扫描。（第
按下[SETUP]
1
116页）
2
3
4
1
5
按下[SWEEP] 标签
2
按下[SOURCE]
3
选择扫描参数
4
[FREQ] 进行频率扫描。
[POWER] 进行测量信号电平（功率 (P) ）扫描。
[V] 进行测量信号电平（电压 (V) ）扫描。
[I] 进行测量信号电平（电流 (A) ）扫描。
按下[EXIT]，关闭设置画面
5
70
4.3 扫描测量
设置扫描范围与扫描点，进行扫描测量。
扫描范围的类型
扫描测量
START-STOP
设置扫描的开始值与结束值。
根据扫描点数自动计算各扫描点。
开始值 结束值
扫描点数
CENTER-SPAN
设置扫描范围的中心值与扫描宽度。
根据扫描点数自动计算各扫描点。
中心值
扫描宽度
START-STEP
设置扫描的开始值与扫描点的步幅。
根据扫描点数自动计算各扫描点。
开始值
步幅
INTVL MEAS
固定扫描参数，按一定时间间隔进行测量。
时间间隔
Time
扫描点数
4
分析仪功能
71
扫描测量
4.3.1 设置扫描方法
选择扫描方法。
通常扫描
通常间隔扫描
78 页）
（第
分段扫描
分段间隔扫描
（第
81 页）
什么是分段 ?
是指可分别设置扫描范围、扫描点数与测量信号电平等的 1个程序段。
2
设置扫描范围与扫描点数，进行测量。
（也可固定扫描参数，进行按一定时间间隔测量的“间隔测量”）
将扫描范围分割为名为“分段”的范围，进行扫描测量。
（可按分段设置扫描范围、扫描点数与测量条件。另外，也可固定扫
描参数，进行按一定时间间隔测量的“间隔测量”）
按下[SETUP]
1
1
按下[LIST] 标签
2
按下[SEGMENT]
3
3
选择扫描方法
4
4
[SEG ON] 分段扫描（第 81页）
[OFF] 通常扫描（通常间隔扫描）（第 78页）
5
[SEG INTVL]
按下[EXIT]，关闭设置画面
5
分段间隔扫描（第 81 页）
72
通常扫描与分段扫描的设置示例
扫描测量
扫描设置项目
扫描参数 频率 频率 频率 频率
扫描范围
扫描点数 801 点 201 点 201 点 399 点
扫描点的设置方法 对数 对数 对数 线性
测量信号的类型
测量信号电平 0.0 dBm 0.0 dBm 1.0 dBm -1.0 dBm
平均 5次 10次 3次 OFF
测量速度 FAST FAST MEDIUM SLOW
扫描点延时 0.0005 s 0.0005 s 0.0010 s 0.0000 s
通常扫描
通常扫描 分段扫描
分段 分段
1.0000 MHz ～
300.00 MHz
POWER POWER POWER POWER
1.0000 MHz
5.0000 MHz
1 分段2 分段3
～
分段扫描
10.000 MHz
50.000 MHz
～
50.000 MHz
300.00 MHz
～
4
分析仪功能
通常扫描范围
分段 1 分段 2 分段 3
73
扫描测量
4.3.2 设置扫描范围
设置扫描范围。
•
掃扫描参数为
•
分段扫描时，仅可设置
•
扫描范围的设置因扫描参数
•
可根据扫描点的设置、编辑进行设置。
参照 ：“4.3.3 通常扫描”（第 78 页）、“4.3.4 分段扫描、分段间隔扫描”（第 81页）
例 ：通常扫描时，设为频率扫描（[SOURCE] 的设置为[FREQ]）的 [START-STOP]
V、I时，不能设置 [CENTER-SPAN]与[START-STEP]。
[START-STOP]与[INTVL MEAS]。
([SOURCE]) 的设置内容而异。（第 75页）
按下[SETUP]
1
1
2
4
5
*各通用数字键
单位的变更 ：M（兆）/ k（千）
3
按下[LIST] 标签
2
按下[QUICK EDIT]
3
选择[START-STOP]
4
请参照“扫描范围的类型”（第 71 页）
5
(1)
按下 [START]
(2)
利用数字键 * 设置扫描的开始值，然后按下 [Hz]
(3)
按下 [STOP]
(4)
利用数字键 * 设置扫描的结束值，然后按下 [Hz]
[C] 重新进行输入。
[CANCEL] 取消设置值。
74
6
7
8
按下 [NUM]，设置扫描点数
6
按下[LOG]，设为对扫描点进行对数计算
7
按下[SET]，确定设置
8
扫描范围一览表
扫描范围清单
([SOURCE])的
设置
频率
[FREQ]
扫描范围的设置 设置内容 可设置范围
扫描的开始值
[START]
1.0000 MHz
～ 300.00 MHz
扫描测量
[START-STOP]
[CENTER-SPAN]
[START-STEP]
扫描的结束值
[STOP]
扫描点数
[NUM]
[LINEAR]
[LOG]
扫描范围的中心值
[CENTER]
扫描宽度
[SPAN]
扫描点数
[NUM]
扫描的开始值
[START]
扫描点的步幅
[STEP]
扫描点数
[NUM]
1.0000 MHz
～ 801
1
根据 [START]、[STOP]、[NUM] 的 设置值，对扫 描点
进行线性计算。
根据 [START]、[STOP]、[NUM] 的 设置值，对扫 描点
进行对数计算。
1.0000 MHz
*[SPAN]的设置范围因设置的频率而异。
0 Hz
～ 300.00 MHz
*设置范围因利用[CENTER]设置的值而异。
～ 801
1
1.0000 MHz
0 Hz
～ 300.00 MHz
*设置范围因利用[START]、[NUM] 设置的值而异。
～ 801
1
～ 300.00 MHz
～ 300.00 MHz
～ 300.00 MHz
4
分析仪功能
[INTVL MEAS]
扫描的开始值
[POINT]
测量间隔时间
[INTERVAL]
测量次数
[NUM]
1.0000 MHz
0.00000 s
～ 801
1
～ 300.00 MHz
～ 1000.00 s
75
扫描测量
扫描范围清单
([SOURCE])的
设置
功率
[POWER]
扫描范围的设置 设置内容 可设置范围
扫描的开始值
[START]
-40.0 dBm
～ 7.0 dBm
[START-STOP]
[CENTER-SPAN]
[START-STEP]
[INTVL MEAS]
扫描的结束值
[STOP]
扫描点数
[NUM]
扫描 范围 的中 心值
[CENTER]
扫描宽度
[SPAN]
扫描点数
[NUM]
扫描的开始值
[START]
扫描的结束值
[STEP]
扫描点数
[NUM]
扫描的开始值
[POINT]
测量间隔时间
[INTERVAL]
-40.0 dBm
1
～ 801
*扫描点的设置方法被固定为[LINEAR]。
-40.0 dBm
0.0 dB
*设置范围因利用[CENTER]设置的值而异。
～ 801
1
-40.0 dBm
0.1 dB
*设置范围因利用[START]、[NUM] 设置的值而异。
～ 801
1
-40.0 dBm
0.00000 s
～ 7.0 dBm
～ 7.0 dBm
～ 7.0 dB
～ 7.0 dBm
～ 7.0 dB
～ 7.0 dBm
～ 1000.00 s
电压 [V]
[START-STOP]
[INTVL MEAS]
测量次数
[NUM]
扫描的开始值
[START]
扫描的结束值
[STOP]
扫描点数
[NUM]
扫描的开始值
[POINT]
测量间隔时间
[INTERVAL]
测量次数
[NUM]
～ 801
1
～ 1001 mV
4 mV
～ 1001 mV
4 mV
1
～ 801
*扫描点的设置方法被固定为[LINEAR]。
～ 1001 mV
4 mV
0.00000 s
1
～ 801
*间隔测量时设置的测量间隔被反映到扫描点延迟时间中。
～ 1000.00 s
76
扫描范围清单
([SOURCE])的
设置
[I]
电流
扫描范围的设置 设置内容 可设置范围
扫描的开始值
[START]
0.09 mA
～ 20.02 mA
扫描测量
[START-STOP]
[INTVL MEAS]
扫描的结束值
[STOP]
扫描点数
[NUM]
扫描的开始值
[POINT]
测量间隔时间
[INTERVAL]
测量次数
[NUM]
0.09 mA
1
～ 801
*扫描点的设置方法被固定为[LINEAR]。
0.09 mA
0.00000 s
～ 801
1
～ 20.02 mA
～ 20.02 mA
～ 1000.00 s
4
分析仪功能
77
扫描测量
4.3.3 通常扫描
进行通常扫描的统一设置
1
按下[SETUP]
1
2
4
3
按下[LIST] 标签
2
按下[QUICK EDIT]
3
进行扫描范围的设置
4
请参照“4.3.2 设置扫描范围”（第 74页）
进行测量条件的统一设置
5
请参照“4.4 设置扫描点的测量条件”（第 84页）
78
5
6
按下[SET]，确定设置
6
添加扫描点
1
按下[SETUP]
1
扫描测量
4
5
2
6
3
按下[LIST] 标签
2
利用/
3
的点位置上
将扫描点添加到选择行的下一点。
按下[ADD]
4
设置要添加的扫描点的测量条件
5
请参照“4.4 设置扫描点的测量条件”（第 84页）
•
扫描参数的设置范围
值。
•
间隔测量时，不能设置
按下[SET]，确定设置
6
或滚轴，将光标移动到扫描点列表中要添加
([POINT]) 为选择行与下一行之间的
[POINT]、[POINT DELAY]。
4
分析仪功能
删除扫描点
2
4
1
3
按下[SETUP]
1
按下[LIST] 标签
2
利用/
3
的点位置上
按下[DELETE]
4
或滚轴，将光标移动到扫描点列表中要删除
79
扫描测量
编辑扫描点
1
按下[SETUP]
1
5
2
4
6
3
按下[LIST] 标签
2
利用/
3
按下[EDIT]
4
设置要编辑的扫描点的测量条件
5
请参照“4.4 设置扫描点的测量条件”（第 84页）
•
扫描参数的设置范围
值。
•
间隔测量时，不能设置
按下[SET]，确定设置
6
或滚轴，将光标移动到要编辑的点位置上
([POINT]) 为选择行与下一行之间的
[POINT]、[POINT DELAY]。
80
4.3.4 分段扫描、分段间隔扫描
添加分段
1
按下[SETUP]
1
扫描测量
2
4
删除分段
1
3
按下[LIST] 标签
2
利用/
3
将分段添加到选择行的下一点。
按下[ADD]
4
初始值为添加分段。
按下[SETUP]
1
或滚轴，将光标移动到要添加的点位置上
4
分析仪功能
4
2
3
按下[LIST] 标签
2
利用/
3
按下[DELETE]
4
或滚轴，将光标移动到要删除的点位置上
81
扫描测量
编辑分段
1
按下[SETUP]
1
2
5
4
3
按下[LIST] 标签
2
利用/
3
按下[EDIT]
4
进行扫描范围的设置
5
请参照“4.3.2 设置扫描范围”（第 74页）
分段扫描时，扫描范围的设置固定为 [START-STOP] ；
分段间隔扫描时，扫描范围的设置固定为 [INTVL
MEAS]
或滚轴，将光标移动到要编辑的点位置上
。
6
7
进行测量条件的统一设置
6
“4.4 设置扫描点的测量条件”（第 84页）
按下[SET]，确定设置
7
82
确认已设置的扫描点
1
按下[SETUP]
1
扫描测量
2
3
按下[LIST] 标签
2
按下[VIEW POINT]
3
可确认已设置的扫描点。
4
分析仪功能
83
设置扫描点的测量条件
4.4 设置扫描点的测量条件
设置扫描点的测量条件。
可根据扫描点的设置、编辑进行设置。
参照 ：“4.3.3 通常扫描”（第 78 页）、“4.3.4 分段扫描、分段间隔扫描”（第 81页）
4.4.1 设置测量信号频率
设置测量信号频率。
利用
/
（逐位）进行设置时
利用/
1
可设置范围 1 MHz ～ 300 MHz
或数字键设置频率
1
可 利 用 [DIGIT]、[10-KEY] 切
换输入。
利用数字键进行设置时
1
单位的变更 ：
3
2
M（兆）/ k（千）
利用
/
（逐位）进行设置时
如果按住
可设置范围 1 MHz ～ 300 MHz
利用数字键进行设置时
•
如果输入数值，单位键则变为有效状态。
•
如果按下单位键，则频率会被设置。
•
设置超出
自动设为 300 MHz。
•
设置小于
自动设为 1 MHz。
按下[EXIT]，关闭测量频率设置画面
2
按下[EXIT]，关闭详细设置画面
3
dgt键，则连续进行变化。
[×10] 将测量频率设为 10 倍。
[/10] 将测量频率设为 1/10倍。
[C] 重新进行输入。
300 MHz时 ：
1 MHz时 ：
84
4.4.2 设置测量信号电平
值可能会因测试物以及测量信号电平而异。
由于可能会损坏测试物，因此请勿在测量端子上连接测试物的状态下切换 P、V、I。
设置扫描点的测量条件
注 意
本仪器可设置的施加在测试物上的测量信号电平包括下述
功率 (P)模式 利用 DUT端口 50 Ω终端时的功率 (dBm)进行设置。
(V)模式
电压
(I)模式
电流
•
信号电平的设置分辨率始终为
因此，已经在电压、电流模式下进行设置时，根据输入的数值自动转换为 0.1 dB分辨率的设置值。
•
测试精度因测量信号电平而异。
请参照“量程”（第 258页）
•
有关运算，请参照“关于运算”（第
•
测量信号模式为所有点通用。
•
扫描参数为
POWER/ V/ I时，不能变更测量信号模式。
0.1 dB，与设置信号模式无关。
1 2
利用 DUT端口开路时的电压值 (V) 进行设置。
（将
dBm换算为 V 后的值）
利用 DUT端口短路时的电流值 (A) 进行设置。
（将
dBm换算为 I 后的值）
39 页）。
按下[P/V/I]
1
3种类型。
4
分析仪功能
5
3
可进行数字键输入。
4
选择信号设置模式
2
[POWER] 利用功率 (dBm) 进行设置。
[V] 利用电压 (V) 进行设置。
[I] 利用电流 (A)进行设置。
利用/
3
（利用数字键设置时，按下 [dBm]）
测量信号模式 可设置范围
功率
电压 (V)模式 4 mV ～ 1001 mV
电流 (I)模式 0.09 mA ～ 20.02 mA
按下[EXIT]，关闭测量信号电平设置画面
4
按下[EXIT]，关闭详细设置画面
5
或数字键设置电压或电流值
(P)模式
[C] 重新进行输入。
-40.0 dBm～+7 dBm（0.1 dBm
分辨率）
85
设置扫描点的测量条件
测量值超出精度保证范围时，错误信息显示区中显示 REF VAL。
此时，估计是测量信号电平比较低。请确认精度保证范围，变更测量条件，或将测量值作为参考值。
请参照“量程”（第 258页）
4.4.3 设置测量速度
变更测量时间。
如果将测量速度设为 [SLOW] 或 [SLOW2]，则会提高测试精度。
•
已变更测量速度时，请重新进行校正或补偿。
请参照“5 校正与补偿”（第 131页）
•
测量时间因测量条件而异。
请参照“12.3 测量时间”（第 273页）
在步骤
1
2
1中选择 [CUSTOM] 时
1
选择测量速度
1
[FAST] 进行高速测量。
[MED] 为通常测量的速度。
[SLOW] 测试精度提高。
[SLOW2] 测试精度高于 SLOW。
[CUSTOM]
按下[EXIT]，关闭测量速度设置画面
2
按下[EXIT]，关闭详细设置画面
3
利用/
1
（利用数字键输入时，按下
[C] 重新进行输入。
可更细致地设置测量速度。
设置范围 ：
或数字键设置测量速度
8 ～ 87
[SET]）
86
可进行数字键输入。
2
2
按下[EXIT]
2
4.4.4 用平均值显示（平均值）
进行测量值的平均化处理。可降低测量值显示的偏差。
•
分析仪测量期间，通过相加平均值进行平均化处理，而与触发设置无关。（第
•
平均有效时，根据经过平均化处理的值对搜索功能时的最大值或最小值、峰值（极大值、极小值）
进行检测。
设置扫描点的测量条件
41 页）
1
2
利用/
1
可设置范围 1 ～ 256次
按下[EXIT]，关闭平均值设置画面
2
按下[EXIT]，关闭详细设置画面
3
输入平均次数
[C] 将设置设为 OFF。
4
分析仪功能
87
设置扫描点的测量条件
4.4.5 设置各扫描点的延迟时间（扫描点延时）
在扫描点延时设置中设置各扫描点的延迟时间。
扫描测量时，测量值可能会因基于测试物的过渡响应而需要稳定时间。此时，请设置扫描点延迟
时间。
请参照“3.2.3 设置触发～测量开始之间的延迟时间（触发延迟）”（第 34 页）
按序扫描时
外部触发
扫描点 1的测量
扫描点 2的测量
扫描点 3的测量
反复扫描时
内部触发
扫描点 1的测量
扫描点 2的测量
返回到扫描点 1的测量
扫描点 3的测量
step扫描时
外部触发 外部触发 外部触发
扫描点 1的测量 扫描点2的测量
测量结束测量结束
扫描点 3的测量
触发延迟
扫描点延时
最终扫描点的测量
测量结束
最终扫描点的测量
最终扫描点的测量
测量结束测量结束
88
1
2
可进行数字键输入。
1
利用/
设置延迟时间
（利用数字键输入时，按下
可设置范围 0.00000 s ～ 9.99999 s
[C] 设为初始值。(0.00000 s)
按下[EXIT]，关闭设置画面
2
按下[EXIT]，关闭详细设置画面
3
[SET]）
4.5 设置图形的显示方法
4.5.1 设置横轴
横轴转换比的设置
1
按下[GRAPH]
1
设置图形的显示方法
4
32
4
已设置横轴转换比的确认方法
如果变更横轴显示转换比，如下图所示，图形显示画面的横轴转换比则会发生变化。
将横轴转换比设为线性 ([LINEAR]) 时 将横轴转换比设为对数 ([LOG]) 时
按下[SCALE]
2
选择描图类型
3
[LINEAR]
[LOG] 将横轴设为对数（对数轴）。
按下[EXIT]，关闭设置画面
4
将横轴设为线性（线性轴）。
分析仪功能
89
设置图形的显示方法
跨距的设置
可选择单跨距模式与分段跨距模式。
仅可在分段扫描时设置跨距。
事先按“4.3.1 设置扫描方法”（第 72页）将分段设置设为 [SEG ON] 或 [SEG INTVL]。
单跨距模式 在同一横轴上绘制各分段的测量结果。
1
分段跨距模式
4
绘制各分段的图形。
按下[GRAPH]
1
32
按下[SPAN]
2
选择跨距模式
3
[SEGMENT]
[SINGLE] 设为单跨距模式。
设为分段跨距模式。
按下[EXIT]，关闭设置画面
4
90
单跨距模式与分段跨距模式的比较示例
设置示例 ：
扫描设置 分段1 分段2 分段 3
扫描参数 频率 频率 频率
设置图形的显示方法
扫描范围
单跨距模式 分段跨距模式
分段 1 分段 3
1.0000 MHz ～ 5.0000 MHz 5.0000 MHz ～ 80.000 MHz 30.000 MHz ～ 300.00 MHz
分段 2
4
分析仪功能
分段 1 分段2 分段3
91
设置图形的显示方法
4.5.2 设置纵轴
设置纵轴转换比
将纵轴转换比的绘制方法设为线性（线性轴）或对数（对数轴）。
•
测量开始时，转换比的显示范围设置为从最大值设为最小值范围或上次测量结束时的转换比。要
设为最适合测量值的转换比时，请在测量画面中按下
•
如果设为对数（对数轴），则不绘制负测量值的图形。
按下[GRAPH]
1
[SCALE]。
1
按下[SCALE]
2
32
选择描图类型
3
4
[LINEAR]
[LOG] 将横轴设为对数（对数轴）。
其它参数也按相同的方式进行设置。
按下[EXIT]，关闭设置画面
4
将横轴设为线性（线性轴）。
92
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