IM3570
使用说明书
阻抗分析仪
IMPEDANCE ANALYZER
保留备用
Dec. 2018 Revised edition 7
IM3570A988-07(A980-09) 18-12H
CN
目录
i
目 录
前言 ................................................................1
装箱内容确认..................................................1
关于安全.........................................................2
使用注意事项 ................................................. 4
第 1 章 概要 9
1.1 产品概要和特点 .................................... 9
1.2 各部分的名称与功能 ...........................10
1.3 画面构成与操作 .................................. 12
1.3.1 初始画面 .......................................... 12
1.3.2 测量模式选择画面 ...........................13
1.3.3 详细设定画面 ...................................14
1.3.4 补偿设定画面 ...................................21
1.3.5 系统设定画面 ...................................22
1.3.6 保存设定画面 ...................................24
1.3.7 参数设定画面 ...................................26
第 2 章 测量前的准备 27
2.1 准备流程 ............................................. 27
2.2 测量前的检查 .....................................28
2.3 连接电源线 .........................................29
2.4 连接测试电缆、探头与治具 ................ 30
2.5 接通 /关闭电源 ...................................31
第 3 章 测量举例 33
3.1 LCR 测量模式时 ................................. 33
3.2 分析仪测量模式时 ..............................35
第 4 章 LCR 功能 37
4.1 关于 LCR功能 ....................................37
4.1.1 初始画面 .......................................... 37
4.1.2 设定显示参数 ...................................38
4.2 进行测量条件的基本设定 ...................40
4.2.1 设定测量频率 ...................................40
4.2.2 设定测量信号电平 ...........................42
IM3570A988-07
4.2.3 设定量程 ..........................................48
AUTO 设定 ..................................................48
HOLD 设定 ..................................................50
低 Z 高精度模式 ..........................................52
4.2.4 在任意时序下进行测量
（触发测量） .....................................54
4.2.5 设定 DC 偏置 ...................................56
4.2.6 设定测量速度 ...................................58
4.2.7 设定电压 / 电流限值 .........................59
4.2.8 用平均值显示 （平均值设定） ..........61
4.2.9 任意时间进行测量 （触发延迟） ......63
4.3 进行直流电阻测量设定 .......................64
4.3.1 设定测量信号电平 ............................65
4.3.2 设定量程 ..........................................68
AUTO 设定 ..................................................68
HOLD 设定 ..................................................70
低 Z 高精度模式 ..........................................72
4.3.3 设定 DC 调节功能 ............................74
4.3.4 设定测量速度 ...................................75
4.3.5 设定电压 / 电流限值 .........................76
4.3.6 用平均值显示 （平均值设定） ..........78
4.3.7 设定延迟时间 ...................................79
4.4 判定测量结果 ......................................81
4.4.1 利用上下限值进行判定
（比较器测量） .................................83
以绝对值 （ABS）设定上限值与下限值
（绝对值模式） ............................................85
以相对于基准值的 （%）值设定上限值与
下限值 （百分比模式） ..............................86
以相对于基准值的偏差 （∆%）值设定
上限值与下限值 （偏差百分比模式） ......88
4.4.2 对测量结果进行分类
（分类测量） .....................................90
以绝对值 （ABS）设定上限值与
下限值 （绝对值模式） ..............................92
以相对于基准值的 （%）值设定上限值与
下限值 （百分比模式） ..............................95
以相对于基准值的偏差 （∆%）值设定
上限值与下限值 （偏差百分比模式） ......98
4.5 进行应用设定 ....................................101
4.5.1 进行测量同步
（触发同步输出功能） ....................101
4.5.2 保存测量结果 （存储功能） ...........103
4.5.3 检测 2 端子测量时的 OPEN
（Hi Z 筛选功能） ...........................105
4.5.4 监视检测电平
（检测电平监视功能） ....................107
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11
12
τ
⊥
⌡
ii
目录
4.5.5 设置相对于测试异常
（上溢或下溢）的检测灵敏度 ......... 110
4.5.6 设定比较器、分类判定结果输出～
EOM(LOW) 之间的延迟时间与
判定结果的复位 .............................112
4.5.7 将正在测量的触发输入设为有效、设定
触发输入的有效边沿 ......................114
4.5.8 设置 EOM
4.5.9 将按键操作设为无效
（按键锁定功能） ............................118
4.5.10 设定显示位数 .................................121
4.5.11 放大显示测量值 .............................123
4.5.12 设定液晶显示器的 ON/ OFF ..........124
4.5.13 设定操作音 （蜂鸣音） ..................125
4.5.14 初始化 （系统复位） ......................126
的输出方法 ...................116
第 5 章 分析仪功能 127
5.1 关于分析仪功能 ................................127
5.1.1 初始画面 ........................................127
5.2 设定测量的基本项目 .........................128
5.2.1 设定测量参数 .................................128
5.2.2 设定扫描参数 .................................129
5.2.3 设定触发 ........................................130
5.2.4 设定显示时序 .................................132
5.2.5 设定触发延迟 .................................133
5.2.6 分段设定 ........................................135
5.3 通常扫描 ...........................................136
5.3.1 设定扫描点 .....................................136
5.3.2 设定测量信号 .................................150
5.3.3 设定测量量程 .................................153
AUTO 设定 ................................................ 153
HOLD 设定 ................................................ 155
5.3.4 设定测量速度 .................................158
5.3.5 用平均值显示 （平均值设定） ........159
5.3.6 设定扫描点延时 .............................161
5.3.7 设定 DC 偏置 .................................162
5.4 分段扫描 ...........................................164
5.4.1 设定分段 ........................................164
5.5 设定图形的显示方法 .........................171
5.5.1 设定横轴 ........................................171
重叠描图的设定 ........................................ 171
横轴转换比的设定 .................................... 172
跨距的设定 ................................................ 174
5.5.2 设定纵轴 ........................................176
描图颜色的设定 ........................................ 176
纵轴转换比的设定 .................................... 178
手动转换比的设定 .................................... 179
5.5.3 设定栅格显示 .................................181
5.6 确认测量值 .......................................183
5.6.1 进行光标设定 ................................ 183
光标的显示设定 ........................................ 184
光标的移动设定 ........................................ 185
搜索功能的设定 ........................................ 185
搜索对象的参数设定 ................................ 186
选件设定 .................................................... 186
自动搜索的设置 ........................................ 187
5.6.2 移动光标 ........................................188
5.6.3 执行测量值搜索 .............................189
5.7 判定测量结果 （比较器功能） .......... 192
区域判定 .................................................... 192
峰值判定 .................................................... 202
5.8 编辑测量点 .......................................210
5.9 应用设定 .......................................... 211
5.9.1 保存测量结果 （存储功能） ...........211
5.9.2 检测 2 端子测量时的 OPEN
（Hi Z 筛选功能） ........................... 215
5.9.3 设置相对于测试异常
（上溢或下溢）的检测灵敏度 ........ 217
5.9.4 设置比较器判定结果输出～
EOM(LOW) 之间的延迟时间与
判定结果的复位 .............................219
5.9.5 将正在测量的触发输入设为有效、
设定触发输入的有效边沿 .............. 221
5.9.6 设置 EOM
5.9.7 将按键操作设为无效
（按键锁定功能） ...........................223
5.9.8 设定液晶显示器的 ON/ OFF .......... 226
5.9.9 设定操作音 （蜂鸣音） .................. 227
5.9.10 仅在测量时向测试物施加信号
（触发同步输出功能） ....................228
5.9.11 初始化 （系统复位） .....................230
5.10 等效电路分析功能 ............................231
5.10.1 关于等效电路分析功能 .................. 231
5.10.2 进行分析的基本设置 ..................... 232
的输出方法 ................... 222
设置等效电路模式 .................................... 232
设置分析方法 ............................................ 234
设置进行分析的频率范围 ........................ 236
选择进行分析的分段 ................................ 238
进行电气机械耦合系数 (K)
计算时的设置 ............................................ 240
设置分析结果显示位置 ............................ 243
5.10.3 进行等效电路分析 ......................... 245
进行频率扫描测量 .................................... 245
执行等效电路分析 .................................... 246
5.10.4 模拟频率特性 ................................ 251
5.10.5 判定分析结果 ................................ 253
设置上下限值 ............................................ 253
判定分析结果 ............................................ 255
iii
目录
13
5.10.6 进行 X-Y 显示 ................................ 256
进行 X-Y 显示 ...........................................256
第 6 章 连续测量功能 257
6.1 初始画面 ........................................... 257
6.2 进行连续测量设定 ............................258
6.3 执行连续测量 ...................................259
6.4 确认连续测量结果 ............................260
6.5 应用设置 ........................................... 261
6.5.1 设置显示时序 .................................261
6.5.2 设置触发 ........................................ 262
6.5.3 判定结果为 NG 时停止连续测量 .... 263
6.5.4 设置液晶显示器的 ON/ OFF ..........264
第 7 章 补偿误差 265
7.1 开路补偿的设定 ................................ 265
7.1.1 ALL 补偿 ........................................ 266
7.1.2 SPOT 补偿 ....................................269
7.2 进行短路补偿 ...................................272
7.2.1 ALL 补偿 ........................................ 274
7.2.2 SPOT 补偿 ....................................277
7.3 将值调节为基准值 （负载补偿） .......280
7.4 补偿测试电缆的误差
（线缆长度补偿） .............................. 293
9.4 删除面板 .......................................... 318
第 10 章 使用 U 盘 321
10.1 U 盘的插拔 ....................................... 322
10.2 关于文件操作画面 ............................ 323
10.3 关于文件保存设定画面 .................... 324
10.4 保存测量数据 ................................... 325
以文本形式保存测量结果 ........................325
保存画面的拷贝 ........................................333
确认文件的内容 ........................................335
变更要保存的文件夹 ................................336
10.5 读入测量数据 ................................... 338
10.6 保存主机的设定 ............................... 341
保存主机的设定 ........................................341
保存本仪器的所有设定
（ALL SAVE 功能） ..................................343
10.7 读取设定条件 ................................... 345
读入主机设置 ............................................345
读入 U 盘中保存的所有设置
（ALL LOAD 功能） .................................347
10.8 进行文件 / 文件夹操作 ..................... 349
对 U 盘进行格式化 ...................................349
删除文件 / 文件夹 .....................................351
生成文件夹 ................................................352
显示 U 盘的信息 .......................................354
1
14
2
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7.5 进行值换算 （转换比） ..................... 294
第 8 章 进行系统设定 297
8.1 进行接口设定 ...................................297
8.2 确认本仪器的版本 ............................298
8.3 自检查 （自诊断） ............................ 299
8.4 设定系统日期与时间 .........................306
第 9 章 进行面板信息的
保存与读入 307
9.1 保存测量条件 （面板保存功能） .......309
9.2 读入测量条件 （面板读取功能） .......314
9.3 变更面板名称 ...................................316
第 11 章 进行外部控制 355
11.1 关于外部输入输出端子与信号.......... 355
使用连接器与信号的配置 ........................356
各信号的功能 ............................................359
11.2 时序图 .............................................. 361
11.2.1 LCR 测量 ...................................... 361
11.2.2 分析仪测量 .................................... 364
11.2.3 连续测量 （按序时） ..................... 365
11.2.4 连续测量 （分步时） ..................... 366
11.3 内部电路构成 ................................... 367
电气规格 ....................................................368
连接举例 ....................................................369
11.4 有关外部输入输出的设定 ................. 370
设定比较器、分类判定结果输出～
EOM (LOW) 之间的延迟时间 ..................370
设定判定结果的复位 ................................370
将正在测量的触发输入设为有效 ............370
设定触发输入的有效边沿 ........................370
9
10
11
12
附
录
索
引
iv
目录
11.5 关于外部控制的 Q&A ........................371
11.6 使用计算机进行测量 .........................372
第 12 章 打印 373
12.1 连接打印机 .......................................373
连接本仪器与打印机 ................................ 374
12.2 设定本仪器与打印机 .........................375
进行本仪器的设定 .................................... 375
12.3 打印 ..................................................376
第 13 章 规格 379
13.1 一般规格 ...........................................379
13.2 测量范围与精度 ................................386
13.3 测量时间与测量速度 .........................389
附录 10 支架安装 ................... 附 13
附录 11 外观图 ..................... 附 15
附录 12 初始设定汇总表 ............. 附 16
附录 13 设备文件 ................... 附 22
索引 索 1
第 14 章 维护和服务 393
14.1 有问题时 ...........................................393
14.2 有问题时 ...........................................395
14.3 错误显示 ...........................................397
14.4 本仪器的废弃 ....................................399
附录 附 1
附录 1 测量参数与运算公式 .......... 附 1
附录 2 进行高阻抗元件的测量时 ...... 附 3
附录 3 进行电路网中的元件测量时 .... 附 4
附录 4 防止混入外来噪音 ............ 附 5
附录 4.1 电源线混入噪音的对策 ....... 附 5
附录 4.2 测试电缆混入噪音的对策 ..... 附 6
附录 5 施加 DC 偏置 ................ 附 7
附录 5.1 直流电压偏置的施加方法 ..... 附 7
附录 5.2 直流电流偏置的施加方法 ..... 附 8
附录 6 残留电荷保护功能 ............ 附 9
附录 7 关于串联等效电路模式与
并联等效电路模式............. 附 10
附录 8 等效电路模式的选择 ......... 附 11
附录 9 关于开路补偿与短路补偿 ..... 附 12
前言
感谢您选择 HIOKI “IM3570 阻抗分析仪”。为了您能充分而持久地使用本产品，请妥善保管使用说明书，
以便随时使用。
IM3570 阻抗分析仪以下将记为 “本仪器”。
装箱内容确认
检查
本仪器送到您手上时，请检查在运输途中是否发生异常或损坏后再使用。尤其请注意附件及面板开关、端
子类等物件。万一有损坏或不能按照参数规定工作时，请与销售店（代理店）或距您最近的营业所联系。
1
前言
装箱内容
请确认装箱内容是否正确。
IM3570 阻抗分析仪....................................... 1 使用说明书 （本手册）.............................. 1
通讯使用说明书 （CD）............................. 1
可从本公司主页下载最新版本。
电源线...........................................................1
不附带探头与测试治具。
请根据用途另行购买。
运输注意事项
运输本仪器时，请使用送货时的包装材料。
参照 :“运输本仪器时” (⇒ 第 394 页 )
2
关于安全
关于安全
本仪器是按照 IEC61010 安全标准进行设计和测试，并在安全的状态下出厂的。如果测量方
法有误，有可能导致人身事故和仪器的故障。另外，按照本使用说明书记载以外的方法使用
本仪器时，可能会损坏本仪器所配备的用于确保安全的功能。
请熟读使用说明书，在充分理解内容后进行操作。万一发生事故，除了本公司产品自身的原
因以外概不负责。
本使用说明书中记载了安全操作本仪器，保持仪器的安全状态所需要的信息和注意事项。在使用本仪器前请认
真阅读下述与安全有关的事项。
安全记号
表示使用者必须阅读使用说明书中有 记号的地方并加以注意。
使用者对于仪器上标示 记号的地方，请参照使用说明书上 记号的相应位置说明，操作仪器。
表示交流电 （AC）。
表示接地端子。
表示电源 “开”。
表示电源 “关”。
使用说明书的注意事项，根据重要程度有以下标记。。
表示如果产生操作或使用错误，有导致使用者死亡或重伤的极高危险性。
表示如果产生操作或使用错误，有导致使用者死亡或重伤的危险性。
表示如果产生操作或使用错误，有可能导致使用者受伤或仪器损坏。
表示产品性能及操作上的建议。
与标准有关的记号
欧盟各国有关电子电气设备废弃的法规 （WEEE 指令）的标记。
表示符合欧共体部长级理事会指令 （EC 指令）所示的限制。
关于标记
各功能标记
LCR
3
关于安全
表示仅在 LCR 模式时有效。
ANALYZER
CONTINUOUS
表示仅在分析仪模式时有效。
表示仅在连续测量模式时有效。
文中的标记
表示严禁的行为。
(⇒ 第○页 )
*
[ ]
CURSOR
（粗体）
Windows
对话框 Windows 的对话框记为 “对话框”。
表示参照页。
表示术语的说明记述于底部位置。
菜单名、页名、设定项目、对话框名以及按钮等画面上的名称以 [ ] 进行标记。
文中的粗体字母数字表示操作键上标示的字符。
未特别注明时， Windows 95、 98、 Me、 Windows NT4.0、 Windows 2000、 Windows XP、
Windows Vista 与 Windows 7 均记为 “Windows”。
关于精度
本公司将测量值的极限误差，作为如下所示的 f.s. （满量程）、 rdg. （读取）、 dgt. （数位分辨率）的值来
加以定义。
f.s. （最大显示值、刻度长度） 表示最大显示值、刻度长度。一般来说是表示当前所使用的量程。
rdg. （读取值、显示值、指 示值）表示当前正在测量的值、测量仪器当前的指示值。
dgt. （分辨率） 表示数字式测量仪器的最小显示单位、即最小位的 “1”。
关于测量分类
为了安全地使用测量仪器， IEC61010 把测量分类按照使用场所分成 CAT II ～ CAT IV 四个安全等级的标
准。概要如下所述。
CAT II
CAT III
CAT IV
如果使用分类数值等级小的测量仪器在大数值级别的场所进行
测量时，可能会导致重大事故，因此请绝对避免这种情况。
如果利用没有分类的测量仪器对 CAT II ～ CAT IV 的测量分类进
行测量，可能会导致重大事故，因此请绝对避免这种情况。
带连接插座的电源线的仪器 （可移动工具、家用电器等）的初级侧电路
直接测量插座插口时为 CAT Ⅱ。
直接从配电盘得电的仪器 （固定设备）的初级侧电路，以及从配电盘到插座的电路
建筑物的进户电路、从进入口到电表及初级侧电流保护装置 （分电盘）的电路
4
使用注意事项
使用注意事项
为了您能安全地使用本仪器，并充分运用其功能，请遵守以下注意事项。
使用前的确认
在使用前，请先确认没有因保存和运输造成的故障，并在检查和确认操作之后再使用。
确认为有故障时，请与销售店 （代理店）或距您最近的营业所联系。
关于本仪器的放置
请在使用前确认探头或电缆的外皮有无破损或金属露出。由于这些损伤会造成触电事故，所
以请换上本公司指定的型号。
使用温湿度范围：0 ～ 40 ℃、 80%RH 以下的室内 （没有结露）
保存温湿度范围：-10 ～ 55 ℃、 80%RH 以下的室内 （没有结露）
精度保证温湿度范围：23 ± 5 ℃、 80%RH 以下
请不要把本仪器放置在以下场所，否则会造成本仪器的故障或事故。
日光直射的场所
高温的场所
受水、油、化学剂与溶剂等
影响的场所
潮湿、结露的场所
灰尘多的场所
机械震动频繁的场所
• 不要把底面以外的部分向下放置。
• 不要放置在不稳定的台座上或倾斜的地方。
• 请勿堵塞通风孔。
产生腐蚀性气体、爆炸性气体
的场所
产生强力电磁波的场所
带电物体附近
感应加热装置附近
（高频感应加热装置、IH 电磁
炉等）
50 mm 以上
本仪器可在支脚立起状态下使用。 (⇒ 第 11 页 )
也可以安装在支架上。 (
50 mm 以上
⇒ 附第 13 页 )
10 mm 以上
背面
关于保证
本公司对因组装本仪器时或转售时给使用方造成的直接或间接损失不承担任何责任。敬请了解。
关于本仪器的使用
• 为防止触电事故发生，请绝对不要拆下主机外壳。内部有高电压及高温部分。
• 请不要淋湿本仪器，或者用湿手进行测量。否则会导致触电事故。
• 使用期间发生异常动作或显示时，请确认“有问题时”(⇒ 第 393 页 ) 与“错误显示”(⇒ 第
397 页 )，并与代理店或距您最近的营业所联系。请不要将充电的电容器连接到测量端子上，
或从外部输入电压 / 电流。否则会导致本仪器损坏。
• 本仪器不是防尘和防水结构。请勿在灰尘较多或淋水的环境中使用。否则会导致故障。
• 为了防止本仪器损坏，在搬运及使用时请避免震动、碰撞。尤其要注意因掉落而造成的碰
撞。
• 搬运本仪器时，请拔下连接线与 U 盘，握住把手搬运。
• 请不要在放置支架竖立的状态下从上方施加强力。否则会损坏放置支架。
• 请勿用力按压触摸面板，或用坚硬物品、尖头物品按压触摸面板。否则会导致故障。
• 使用后请务必切断电源。
5
使用注意事项
接通电源之前
• 在接通电源前，请确认本仪器的电源连接部上所记载的电源电压与您使用的电源电压是否
• 请勿弄错电源电压的连接。否则可能会导致内部电路被击穿。
• 为了避免触电事故并确保本仪器的安全，请把附带的电源线连接到三相插座上。
• 为了避免触电与短路事故，连接探头之前，请切断各仪器的电源。
一致。如果使用指定范围外的电源电压，会造成本仪器的损坏或电气事故。
6
使用注意事项
关于电线类与测试治具的使用
• 为了确保安全，不使用本仪器时，请务必从本仪器上拔出电源线并完全切断电源。为防止
断线，将电源线从插座或本仪器拔出的时候，请握住插头部分 （电源线以外）拔出。
• 请勿向测量端子施加电压。否则可能会导致本仪器损坏。
• 拔出 BNC 连接器时，请务必在解除锁定后握住拔出。如果不解除锁定硬拔或直接拔拉电
缆，都会损坏连接器。
• 为防止因断线引起的故障，请不要弯折或拽拉电缆或探头的连接部。
• 为了不损坏电线的外皮，请不要踩踏或夹住电线。
• 如果电源线熔化，金属部分则会露出，这非常危险。请勿触摸发热部分等。被测导线可能
会处于高温状态，请勿触摸。
• 使用本仪器时，请务必使用本公司指定的连接电缆。如果使用指定以外的连接电缆，则可
能会因接触不良等而导致无法进行正确的测量。
• 使用测试治具等时，请仔细阅读使用产品附带的使用说明书。
连接到 EXT I/O 连接器之前
为了防止发生触电事故和仪器故障，连接 EXT I/O 连接器时，请遵守下述事项。
• 请在切断本仪器以及连接仪器的电源之后再进行连接。
• 请勿超出 EXT I/O 连接器的信号额定值。 (⇒ 第 368 页 )
• 如果连接配线在操作期间脱落，则可能会接触到其他导电部，非常危险。请可靠地进行连
接，并用螺丝固定外部连接器。
• 请对连接到 EXT I/O 连接器上的仪器和装置进行适当的绝缘。
• EXT I/O 的 ISO_5V 端子为 5 V 电源输出。请勿从外部输入电源。
CD 的使用
7
使用注意事项
• 为了避免光盘上附着指纹等污迹或打印时露出飞白，使用时请务必手持光盘的边缘。
• 请绝对不要触摸光盘的刻录面。另外，也不要直接放在坚硬的物品上面。
• 请勿用挥发性酒精或水擦拭光盘，否则可能会导致光盘的标签标记消失。
• 在光盘的标签表面上写字时，请使用笔尖为毛毡的软性油性笔。请勿使用圆珠笔或笔尖坚
硬的笔，否则可能会导致光盘损伤，造成刻录内容损坏。另外，也不要使用胶粘性标签。
• 请勿将光盘放在阳光直射或高温潮湿的环境中，否则可能会导致光盘变形或刻录内容损
坏。
• 清除光盘上的污点、灰尘或指纹时，请使用柔软的干布或 CD 清洁剂。请始终从内侧向外侧
方向擦拭，绝对不要划圈擦拭。另外，请勿使用研磨剂或溶剂类清洁剂。
• 本公司对因本 CD 使用而导致的计算机系统故障以及购买产品时发生的故障不承担任何责
任。
8
使用注意事项
1.1
产品概要和特点
9
1
概要 第 1 章
1.1 产品概要和特点
HIOKI IM3570 阻抗分析仪是实现高速、高精度的阻抗测量仪。
具有可扫描测量频率或测量信号的
2 种功能。
由于可设定 4 Hz ～ 5 MHz 测量频率、5 mV ～ 5 V 测量信号电平的广范围测量条件，因此可用于各种用途。
广范围的测量条件 (⇒ 第 40 页 )
可在测量频率为 4 Hz ～ 5 MHz、测量信号电平为
5 mV ～ 5 V 的广范围测量条件下进行测量。
对应各种接口
可利用最适合生产线的外部 I/0
（Handler 接口）、 RS-232C、 GP-
IB、 USB、 LAN 进行对应。
阻抗分析仪以及可在单一测量条件下同时显示最多 4 个项目的 LCR 表
可高速测量
可进行高速测量。
最快以 0.5 ms （100 kHz、 FAST 时、显示器 OFF）进
行测量。
扫描测量 (⇒ 第 127 页 )
可测量频率特性与电平特性，
并在主机的彩色 LCD 上进行图
形显示。
第 1 章 概要
比较器功能
LCR 功能：(⇒ 第 83 页 )
可针对 2 个参数，通过测量值进行 HI/ IN/ LO 合格与
否判定。
分析仪功能：(⇒ 第 192 页 )
可针对扫描测量结果进行合格与否判定。
连续测量功能 (⇒ 第 257 页 )
可连续测量主机中保存的测量条件。可利用该功能在
不同的测量条件下进行合格与否判定等。
（例：在 120 Hz 下连续测量 C-D，以及在 100 kHz 下
连续测量 Rs）
分类功能 (⇒ 第 90 页 )
LCR 模式下最多 10 个分类，易于通过测量值进行分
级。
可高精度测量低阻抗
LCR 表模式下，包括用于高精度测量低阻抗的设定。
利用设定，可降低接触电阻的影响，检测 4 端子测量
时的断线 （探头连接错误）。
10
1.2
各部分的名称与功能
1.2 各部分的名称与功能
正 面
测量 LED
测量期间 LED 点亮。
正面 USB 连接器
用于连接 U 盘。
⇒ 第 322 页 )
(
判定结果显示 LED
比较器、分类测量时的判定结
果用 LED 进行显示。
LCR 模式 (⇒ 第 83 页 )
分析仪模式 (
⇒ 第 192 页 )
测量端子
用于连接探头或测试治具。 (⇒ 第 30 页 )
• H
• H
• L
• L
• GUARD 端子 : 屏蔽用端子
端子 : 电流发生端子
CUR
端子 : HIGH 侧电压检测端子
POT
端子 : LOW 侧电压检测端子
POT
端子 : 电流检测端子
CUR
（测量用 GND）
液晶显示器
是触摸面板显示器。
按画面上显示的按键，对仪器进行操
作。
POWER 开关
用于进行电源的 ON/OFF。
(
⇒ 第 31 页 )
（主电源位于背面）
底 面
本仪器可安装在支架上。
参照 :“支架安装” (
请妥善保管从本仪器上拆下的部件以备再次使用。
⇒ 附第 13 页 )
1.2
各部分的名称与功能
11
背 面
主电源
用于进行电源的
ON/OFF。
(
⇒ 第 31 页 )
电源输入口
用于连接电源线。
(
⇒ 第 29 页 )
EXT/IO 连接器
用于连接 PLC 或 I/O 板，可开始
测量或读取判定结果。
(
⇒ 第 355 页 )
通风孔
设置时请勿堵塞通
风孔。
(⇒ 第 4 页 )
LAN 连接器
与计算机连接之后，可利用通
讯命令控制本仪器。
（通讯使用说明书 “第2章”（CD））
背面 USB 连接器
与计算机连接之后，可利用通
讯命令控制本仪器。
（通讯使用说明书 “第2章”（CD））
GP-IB 连接器
使用 GP-IB 接口时，与计算机
连接。
（通讯使用说明书 “第2章”（CD））
RS-232C 连接器
使用 RS-232C 接口时，与 PLC
或计算机连接。
（通讯使用说明书 “第2章”（CD））
可连接 RS-232C 打印机进行
打印。
(
⇒ 第 373 页 )
制造编号
表示制造编号。
出于管理方面所需，请勿剥
下。
LAN 的 MAC 地址
(
⇒ 第 298 页 )、
（通讯使用说明书 “第2章”（CD））
1
第 1 章 概要
左 侧 面
把手
用于搬运本仪器。
请不要在放置支脚竖立的状态下从上方施加强
力。否则会损坏放置支脚。
右 侧 面
支脚
可倾斜本仪器。
• 立起支脚时
请开至发出咔嗒声的位置。
请务必立起两侧支脚。
• 合拢支脚时
请合至发出咔嗒声的位置。
12
1.3
画面构成与操作
1.3 画面构成与操作
本仪器测量条件的设定或变更均在触摸面板上进行。
轻轻触摸画面上的键，即可选择该键所设定的项目或数值。
选中的键变为黑色。
此后将在画面上轻轻 “触摸”记载为 “按下”。
请勿用力按压触摸面板，或用坚硬物品、尖头物品按压触摸面板。否则会导致故障。
1.3.1 初始画面
是打开电源时最初显示的画面。可在确认所有测量条件的同时进行测量。
再次打开电源时，在刚刚切断电源之前的测量模式进行显示。
表示选择的测
量模式。
参数键
进行各参数的设定。(⇒
第 26 页 )
显示已进行面
板读取的面板
名称。
显示错误信息等。 显示内存的使
用状况。
(
⇒ 第 103 页 )
操作键
根据状况显示操作键。
表示 U 盘的
连接。
(
⇒ 第 321 页 )
菜单键
选择测量模式。 (⇒ 第 13 页 )
设定详细条件。 (⇒ 第 14 页 )
进行补偿设定。 (⇒ 第 21 页 )
进行系统设定。 (⇒ 第 22 页 )
进行保存设定。 (⇒ 第 24 页 )
与 的设定内容因测量模式而
异。
表示可显示测量条件的页数。
显示测量条件。
显示当前设定的接口。
测量值超出精度保证范围时，错误信息显示区显示 Reference Value。
此时估计是以下原因造成的。请通过 “13.2 测量范围与精度” (⇒ 第 386 页 ) 确认精度保证范围，变更测
量条件，或将测量值作为参考值。
•
测量信号电平过低时：提高测量信号电平。
• 当前的量程 （HOLD 设定时）不合适时：在 AUTO 量程下设为最佳量程或手动变更量程。
参照 :“4.2.3 设定量程” (
⇒ 第 48 页 )
1.3
画面构成与操作
13
1.3.2 测量模式选择画面
选择测量模式。
步 骤
1
2
初始画面
模式选择
1
第 1 章 概要
按下 。
显示初始画面。
选择测量模式。
LCR 测量 (⇒ 第 37 页 )
分析仪测量 (⇒ 第 127 页 )
连续测量 (⇒ 第 257 页 )
14
1.3
画面构成与操作
1.3.3 详细设定画面
是设定要变更的测量条件等详细条件的画面。
请在事先选择测量模式 (⇒ 第 13 页 ) 之后进行设定。
步 骤
1
分别设定 LCR 模式、分析仪模式与连续测量模式。
2
初始画面
LCR 模式
基本设定
按下 。
测量频率的设定 (⇒ 第 40 页 )
显示初始画面。
测量信号电平的设定 (⇒ 第 42 页 )
量程设定 (⇒ 第 48 页 )
触发的设定 (⇒ 第 54 页 )
DC 偏置的设定 (⇒ 第 56 页 )
测量速度的设定 (⇒ 第 58 页 )
电压 / 电流限值的设定 (⇒ 第 59 页 )
平均值设定 (⇒ 第 61 页 )
触发延迟的设定 (⇒ 第 63 页 )
1.3
画面构成与操作
15
直流电阻测量的设定
应用设置
显示初始画面。
测量信号电平的设定 (⇒ 第 65 页 )
量程设定 (⇒ 第 68 页 )
DC 调节的设定 (⇒ 第 74 页 )
测量速度的设定 (⇒ 第 75 页 )
电压 / 电流限值的设定 (⇒ 第 76 页 )
平均值设定 (⇒ 第 78 页 )
DC 延迟的设定 (⇒ 第 79 页 )
1
第 1 章 概要
显示初始画面。
测量结果判定的设定 (⇒ 第 81 页 )
触发同步输出功能 (⇒ 第 101 页 )
测量结果的保存设定 (⇒ 第 103 页 )
设置检测异常值的灵敏度
(⇒ 第 110 页 )
IO的设定 (⇒ 第112页 )、(⇒ 第 114 页 )
Hi Z 筛选功能的设定 (⇒ 第 105 页 )
检测电平监视功能的设置 (⇒ 第 107 页 )
各参数显示位数的设定 (⇒ 第 123 页 )
液晶显示器的设定 (⇒ 第 124 页 )
面板的读取 / 保存 (⇒ 第 307 页 )
系统复位 (⇒ 第 126 页 )
蜂鸣音的设定 (⇒ 第 125 页 )
按键锁定的设定 (⇒ 第 118 页 )
16
1.3
画面构成与操作
设定信息的确认
可在测量画面上确认设定的内容。
有关交流信号 (AC) 的信息的显示
有关直流信号 (DC) 的信息的显示
1.3
画面构成与操作
17
分析仪模式
基本设定
显示初始画面。
1
第 1 章 概要
测量参数的设定 (⇒ 第 128 页 )
扫描参数的设定 (⇒ 第 129 页 )
触发的设定 (⇒ 第 130 页 )
显示时序的设定 (⇒ 第 132 页 )
触发延迟的设定 (⇒ 第 133 页 )
分段设定 (⇒ 第 135 页 )
扫描点的设定 (⇒ 第 136 页 )
测量电平信号的设定 (⇒ 第 150 页 )
量程设定 (⇒ 第 153 页 )
测量速度的设定 (⇒ 第 158 页 )
平均值设定 (⇒ 第 159 页 )
扫描点延时的设定 (⇒ 第 161 页 )
DC 偏置的设定 (⇒ 第 162 页 )
18
1.3
画面构成与操作
图形设定
重叠描图的设定 (⇒ 第 171 页 )
横轴转换比的设定 (⇒ 第 172 页 )
跨距的设定 (⇒ 第 174 页 )
描图颜色的设定 (⇒ 第 176 页 )
纵轴转换比的设定 (⇒ 第 178 页 )
比较器设定
显示初始画面。
手动转换比设定 (⇒ 第 179 页 )
栅格显示的设定 (⇒ 第 181 页 )
比较器的设定 (⇒ 第 192 页 )
显示初始画面。
列表设定
显示初始画面。
1.3
画面构成与操作
扫描点的编辑 (⇒ 第 210 页 )
19
1
第 1 章 概要
应用设置
显示初始画面。
存储功能的设定 (⇒ 第 211 页 )
设定判定结果的I/O 输出 (⇒ 第219页)
IO 触发的设定 (⇒ 第 221 页 )
EOM 输出方法的设定 (⇒ 第 222 页 )
Hi Z 筛选功能的设定 (⇒ 第215 页 )
设置检测异常值的灵敏度
(⇒ 第 217 页 )
液晶显示器的设定 (⇒ 第 226 页 )
蜂鸣音的设定 (⇒ 第 227 页 )
按键锁定的设定 (⇒ 第 223 页 )
触发同步输出功能的设置 (⇒ 第 228 页 )
等效电路分析 (⇒ 第 231 页 )
※仅在安装 IM9000 等效电路分析软
件时显示。
面板的读取 / 保存 (⇒ 第 307 页 )
系统复位 (⇒ 第 230 页 )
20
1.3
画面构成与操作
连续测量模式
基本设置
从连续测量对象中删除 (⇒ 第 258 页 )
设为连续测量的对象 (⇒ 第 258 页 )
从所有连续测量对象中删除
(⇒ 第 258 页 )
设为所有连续测量的对象
(⇒ 第 258 页 )
面板内容的显示 (⇒ 第 258 页 )
应用设置
显示初始画面。
显示时序的设置 (⇒ 第 261 页 )
设置触发 (⇒ 第 262 页 )
判定为 NG 时停止连续测量
(⇒ 第 263 页 )
液晶显示器的设置 (⇒ 第 264 页 )
显示初始画面。
1.3
画面构成与操作
21
1.3.4 补偿设定画面
步 骤
1
设定补偿条件。
2
初始画面
1
第 1 章 概要
按下 。
显示初始画面。
开路补偿的设定 (⇒ 第 265 页 )
短路补偿的设定 (⇒ 第 272 页 )
负载补偿的设定 (⇒ 第 280 页 )
电缆长度补偿的设定 (⇒ 第 293 页 )
转换比的设定 (⇒ 第 294 页 )
22
1.3
画面构成与操作
1.3.5 系统设定画面
步 骤
1
用于进行系统详细设定。
2
接口类型的设定
初始画面
按下 。
RS-232C 的设定 （通讯使用说明书 （CD））
显示初始画面。
GP-IB 的设定 （通讯使用说明书 （CD））
USB 的设定 （通讯使用说明书 （CD））
LAN 的设定 （通讯使用说明书 （CD））
打印机的设定 (⇒ 第 373 页 )
1.3
画面构成与操作
23
本仪器版本的确认
显示画面的确认
(⇒ 第 298 页 )
1
第 1 章 概要
显示初始画面。
面板测试 (⇒ 第 299 页 )
面板补偿 (⇒ 第 300 页 )
日期时间的设定
显示初始画面。
(⇒ 第 306 页 )
画面显示测试
(⇒ 第 302 页 )
ROM/RAM 测试
(⇒ 第 304 页 )
I/O
测试(⇒ 第
显示本仪器设置的当前日期时间。
305页)
显示初始画面。
24
1.3
画面构成与操作
1.3.6 保存设定画面
步 骤
1
设定保存处和方法。
2
保存方法的设定
初始画面
按下 。
保存类型的设定(⇒ 第
325页)
显示初始画面。
保存处文件夹的设定
(⇒ 第 336 页 )
1.3
画面构成与操作
25
测量条件的保存
显示初始画面。
设定条件的保存 (⇒ 第 341 页 )
详细设定画面的切换 (⇒ 第 323 页 )
显示上一级 (⇒ 第 323 页 )
文件的选择 (⇒ 第 323 页 )
1
第 1 章 概要
26
1.3
画面构成与操作
1.3.7 参数设定画面
显示测量参数的选择画面。
参照 :“4.1.2 设定显示参数” (⇒ 第 38 页 )、“关于串联等效电路模式与并联等效电路模式” (⇒ 附第 10 页 )
步 骤
按下要设定的键。
1
第 1 参数键
第 2 参数键
第 3 参数键
第 4 参数键
选择参数。
2
初始画面
参数的设定
电导 (S)阻抗 （Ω）
导纳 (S)
阻抗的相位角 （°） *
串联等效电路模式的有效电阻 =ESR （Ω）
并联等效电路模式的有效电阻 （Ω）
串联等效电路模式的静电容量 （F）
并联等效电路模式的静电容量 （F）
损耗系数 = tanδ
* 以阻抗 Z 为基准显示相位角 θ。以导纳 Y 为基准进行测量时，请反转阻抗 Z 的相位角 θ 的符号。
电抗 （Ω）
串联等效电路模式的电感 （H）
并联等效电路模式的电感 （H）
Q 因数
电纳 (S)
直流电阻 （Ω）
停止显示测量参数
2.1
测量前的准备 第 2 章
设定本仪器之前，请务必阅读 “使用注意事项” (⇒ 第 4 页 )。
有关支架安装，请参照 “支架安装” (⇒ 附第 13 页 )。
2.1 准备流程
放置本仪器 (⇒ 第 4 页 )
1
连接电源线 (⇒ 第 29 页 )
2
27
准备流程
2
第 2 章 测量前的准备
在测量端子上连接测试电缆、探头与测试治具 (⇒ 第 30 页 )
3
连接外部接口 （根据需要）
4
• 打印机 (⇒ 第 373 页 )
接通电源 (⇒ 第 31 页 )
5
• RS-232C
• GP-IB
• USB
• LAN
正面背面
（通讯使用说明书 “第 2 章”（CD-R)）
进行本仪器的设定
6
连接测试物
使用之后关闭电源 (⇒ 第 31 页 )
28
2.2
测量前的检查
2.2 测量前的检查
在使用前，请先确认没有因保存和运输造成的故障，并在检查和确认操作之后再使用。确认为
有故障时，请与销售店 （代理店）或距您最近的营业所联系。
1
外围设备的检查
电源线的外皮有无破损或金属露出 ?
未露出
测试电缆的外皮有无破损或金属露出 ?
未露出
2
本仪器的检查
本仪器有无损坏之处 ?
无
接通电源时
是否为自测试的显示 ( 型号名称与版本 )?
露出
露出
有
不显示
有损坏时，会造成触电事故或短路事故，
因此请勿使用。
请与销售店（代理店）或距您最近的营业
所联系。
有损坏时，可能会导致测量值不稳定或产
生误差。
建议更换为没有损坏的电线。
有损伤时请送修。
可能是电源线断线或者本仪器内部发生
了故障。请送修。
显示
自测试结束之后，是否显示测量画面
显示
检查结束
使用之前请务必阅读 “使用注意事项” (⇒ 第 4 页 )。
为错误显示 (Err)
?
可能是本仪器内部发生了故障。请送修。
参照 :“14.1 有问题时” (
“14.3 错误显示” (
⇒ 第 393 页 )
⇒ 第 397 页 )
29
2.3
连接电源线
2.3 连接电源线
连接之前请务必阅读 “接通电源之前” (⇒ 第 5 页 )、“关于电线类与测试治具
的使用” (
将电源线连接到本仪器并插入插座。
连接方法
⇒ 第 6 页 )。
请确认本仪器的电源开关处于关闭状态。
1
确认电源电压一致，
2
然后将电源线连接到电源输入口上。
将电源线的插头插进插座。
3
2
第 2 章 测量前的准备
请在切断电源之后，拔掉电源线。
30
2.4
连接测试电缆、探头与治具
2.4 连接测试电缆、探头与治具
连接之前请务必阅读 “关于电线类与测试治具的使用” (⇒ 第 6 页 )。
在测量端子上连接测试电缆或本公司选购探头或测试治具。
有关本公司选件，请参照 “选件” (⇒ 第 384 页 )。
有关使用方法等的详细说明，请参照使用治具等的使用说明书。
连接测试电缆与测试治具
将印有产品名称的面朝上，直接插入到测量端子
中，然后用左右的手柄固定。
自制探头时的注意事项
• 测试电缆请使用 50 Ω 类同轴电缆。
• 请确认电缆长度与主机设定一致。
• 请尽可能缩短芯线剥离部分。
• 请将 H
芯线上）
CUR、LCUR、HPOT、LPOT
• 请主要使用 HIOKI 生产的探头与测试治具 （选件）等。自制探头时，可能无法满足本仪器
的规格。
参照 :“选件” (⇒ 第 384 页 )
• 如果将 4 端子全部置于开路状态，则可能会显示没有任何含义的数字。
• 如果将4端子完全置于开路状态，H
可能会产生 6 V 的直流电压。
屏蔽线连接到测试物侧的屏蔽线上。（请勿将屏蔽线连接到
端子上则可能会产生6 V的直流电压；L
POT
端子上也
POT
测量端子的构成
测试治具
通常模式
2.5 接通 / 关闭电源
连接探头与测试治具之后，打开主机背面的电源。
主电源开关
2.5
接通/关闭电源
31
2
第 2 章 测量前的准备
接通主电源
关闭电源
将背面的主电源开关设为 ON （ I ）。
按上次切断电源时的测量条件进行起动。
为了进行高精度的测量，打开本仪器的电
源之后，请进行 60 分钟以上的预热。
点亮为绿色
将背面的主电源开关设为 OFF （ ）。
此时，测量条件被保存。
LED 熄灭
即使发生停电等电源异常，也会恢复为停电之前的测量模式。
32
2.5
接通/关闭电源
设为待机状态
在主电源为 ON 的状态下，长按正面的 POWER 开关约 2 秒钟。
点亮为红色
解除待机状态
在本仪器处于待机状态下，按下正面的 POWER 开关。
点亮为绿色
33
3.1 LCR
测量举例 第 3 章
LCR 测量模式与分析仪测量模式的测量举例如下所示。
3.1 LCR 测量模式时
测量多层陶瓷电容
准备物件：9263 测试夹具
要测量的多层陶瓷电容
在测量端子上连接 9263 测试夹具。
1
测量模式时
LCR
ANALYZER
3
第 3 章 测量举例
设定测量条件。
2
选择要设定的项目，并进行如下设定。
LCR 基本设定
有关连接方法，请参照测试治具附带的使用
说明书。
测量频率：1 kHz (⇒ 第 40 页 )
测量信号电平：1 V (⇒ 第 42 页 )
量程：AUTO (⇒ 第 48 页 )
触发：INT (⇒ 第 54 页 )
DC 偏置：OFF (⇒ 第 56 页 )
测量速度：MED (⇒ 第 58 页 )
电压 / 电流限值：OFF (⇒ 第 59 页 )
平均值：OFF (⇒ 第 61 页 )
触发延迟：0 s (⇒ 第 63 页 )
34
3.1 LCR
将测试物连接到 9263 测试夹具上。
3
查看测量结果。
4
测量模式时
有关测试物的连接方法，请参照测试治具附带
的使用说明书。
• 要在任意条件与时序下测量
参照 :“4.2.4 在任意时序下进行测量 （触发测量）”
(
⇒ 第 54 页 )
• 要判定测量结果
参照 :“4.4.1 利用上下限值进行判定 （比较器测量）”
(
⇒ 第 83 页 )
• 要保存测量结果
参照 :“4.5.2 保存测量结果 （存储功能）” (⇒ 第 103
页 )
3.2 分析仪测量模式时
1
2
在分析仪测量模式下，可在任意范围内扫描频率或信号电平。
参照 :“第 5 章 分析仪功能” (⇒ 第 127 页 )
测量带有共振点的元件
准备物件：9262 测试夹具
要测量的元件
3.2
分析仪测量模式时
ANALYZER
35
LCR
3
在测量端子上连接 9262 测试夹具。
设定测量条件。
分析仪基本设定
第 3 章 测量举例
有关连接方法，请参照测试治具附带的使用说
明书。
参数：Z-θ (⇒ 第 128 页 )
扫描参数：FREQ (⇒ 第 136 页 )
扫描点：100Hz ～ 5MHz
(⇒ 第 136 页 )
测量信号电平：1V(⇒ 第 150 页 )
量程：AUTO(⇒ 第 153 页 )
参照 :有关其他项目，请参照 127 页面以后的内容。
36
3.2
分析仪测量模式时
将测试物连接到 9262 测试夹具上。
3
执行扫描。
4
• 要确认测量值。
参照 :“5.6.1 进行光标设定” (⇒ 第 183 页 )
• 要尽快确认极大值 / 极小值。
参照 :“5.6.3 执行测量值搜索” (⇒ 第 189 页 )
• 要判定扫描结果。
参照 :“区域判定” (⇒ 第 192 页 )
• 要判定峰值位置是否适当。
参照 :“峰值判定” (⇒ 第 202 页 )
37
4.1
关于
LCR
功能
LCR 功能 第 4 章
LCR
4.1 关于 LCR 功能
LCR 功能是通过将任意频率、电平 （有效值）信号施加到要测量的元件上，可对阻抗与相位角等进行测量的功
能。适合于评价电容器与线圈等被动元件。
设置在 LCR 模式与分析仪模式下是同步的。
ANALYZER
4
4.1.1 初始画面
打开电源时最初显示的画面。可在确认测量条件的同时进行测量。
再次打开电源时，在刚刚切断电源之前的测量模式进行显示。
有关画面构成，请参照 (⇒ 第 14 页 )。
参数键
进行各参数的设
定。 (
⇒ 第 38 页 )
显示已进行面
板读取的面板
名称。
显示错误信息等。
显示内存的使
用状况。
(
⇒ 第 103 页 )
菜单键
表示 U 盘的连
接。
(
⇒ 第 321 页 )
选择测量模式。 (⇒ 第 13 页 )
设定详细条件。 (⇒ 第 40 页 )
进行补偿设定。 (⇒ 第 265 页 )
进行系统设定。
进行保存设定。 (⇒ 第 321 页 )
显示当前设定的接
口。
(
⇒ 第 297 页 )
第 4 章 LCR 功能
操作键
的设定内容因测量模式而异。
根据状况显示操作键。
放大显示画面。 (⇒ 第 123 页 )
显示 DC 测量的测量条件。
显示 AC 测量的测量条件。
进行比较器的设定。
显示分类设定。
测量值超出精度保证范围时，错误信息显示区显示 Reference Value。
此时估计是以下原因造成的。请通过 “13.2 测量范围与精度” (⇒ 第 386 页 ) 确认精度保证范围，变更测
量条件，或将测量值作为参考值。
•
测量信号电平过低时：提高测量信号电平。
• 当前的量程 （HOLD 设定时）不合适时：在 AUTO 量程下设为最佳量程或手动变更量程。
显示测量条件。
保存测量数据。 (⇒ 第 325 页 )
打印测量数据。 (⇒ 第 373 页 )
38
4.1
关于
LCR
功能
4.1.2 设定显示参数
可在任意位置从 15 种测量参数中选择最多 4 个要显示的参数。
参照 :“1.3.7 参数设定画面” (⇒ 第 26 页 )
“附录 1 测量参数与运算公式” (
“附录 7 关于串联等效电路模式与并联等效电路模式” (
⇒ 附第 1 页 )
⇒ 附第 10 页 )
1
2
步 骤
（例）第 1 个：电容 （串联等效电路模式） Cs、第 3 个：损耗系数 D
LCR 初始画面
在初始画面中按下第 1 参数键。
参数的设定
按下 。
3
按下 进行确定。
LCR 初始画面
按下第 3 参数键。
4
参数的设定
按下 。
按下 进行确定。
4.1
关于
LCR
39
功能
4
5
LCR 初始画面
第 4 章 LCR 功能
参数被设为 Cs 与 D。
如果在参数设置中选择 ，则不显示测量值。
40
4.2
进行测量条件的基本设定
4.2 进行测量条件的基本设定
4.2.1 设定测量频率
设定施加到测试物上的信号频率。值可能会因测试物以及测量频率而异。
LCR
ANALYZER
1
2
步 骤
（例）测量频率：1 kHz
LCR 初始画面
LCR 基本设定
LCR 基本设定
按下 。
3
逐位设定。
频率的设定 （数位分辨率 (dgt)） 频率的设定 （数字键）
频率的输入方法包括下述 2 种。
按下
利用数字键进行设定。
或 进行切换。
4
4.2
进行测量条件的基本设定
频率设定 频率设定
41
利用 、 逐位输入频率。
如果按住 dgt 键，则连续进行变化。
5
利用 、 选择小数点与单位。
频率设定 频率设定
利用数字键输入频率。
输入错误时：
按下 ，重新输入数值。
按下单位键，确定设定。
4
第 4 章 LCR 功能
将测量频率设为 10 倍。
将测量频率设为 1/10 倍。
按下 ，关闭设定画面。
6
测量信号电平的设定可能会因测量频率的设定而异。
参照 :“关于设定范围与精度” (⇒ 第 44 页 )
• 按下单位键之前，并不确定频率。
• 输入数值之前，单位键无效。
• 设定超过 5 MHz 时：
自动变为 5 MHz。
• 设为 4 Hz 以下时：
自动变为 4 Hz。
参照 :(
⇒ 第 379 页 )
42
4.2
进行测量条件的基本设定
4.2.2 设定测量信号电平
值可能会因测试物以及测量信号电平而异。
利用本仪器可按下述 3 种方法在宽范围内变更施加到测试物上的测量信号电平。
开路电压 （V）设定
恒电压 （CV）设定
恒电流 （CC）设定
步 骤
1
设定开路电压电平。
设定测试物端子间的电压电平。
设定流过测试物的电流电平。
由于可能会损坏测试物，因此请勿在测量端子上连接测试物的状态下进行 V、 CV、 CC 的切
换。
LCR 初始画面
LCR 基本设定
2
LCR 基本设定
按下 。
4.2
4
进行测量条件的基本设定
43
3
测量信号电平的设定
测量信号电平选择。
开路电压电平 (⇒ 第 44 页 )
测试物端子间电压电平 (⇒ 第 44 页 )
流过测试物的电流电平 (⇒ 第 46 页 )
测量精度因测量信号电平而异。
参照 :“13.2 测量范围与精度” (⇒ 第 386 页 )
4
第 4 章 LCR 功能
测量信号电平的设定
利用 、 输入电压或电流值。
参照 :“关于设定范围与精度” (⇒ 第 44 页 )
按下 ，关闭设定画面。
5
测量值超出精度保证范围时，画面上部显示下述注释。
此时估计是以下原因造成的。
请通过 “13.2 测量范围与精度” (⇒ 第 386 页 ) 确认精度保证范围，变更测量条件，或将测
量值作为参考值。
•
测量信号电平过低时：提高测量信号电平。
• 当前的量程 （HOLD 设定时）不合适时：在 AUTO 量程下设为最佳量程或手动变更量程。
44
4.2
进行测量条件的基本设定
关于测量信号电平
本仪器的测量信号电平与测试物之间的关系如下所示。
开路电压 （V）
该电压值是施加在输出阻抗与测试物串联两端的电压值。关于
施加在测试物端子间的电压值，请通过电压监视值进行确认，
或者选择设定测试物端子间电压的恒电压 （CV）。
V
输出阻抗
HL
CC
测试物
CV
关于设定范围与精度
开路电压 （V）、恒电压 （CV）设定时
恒电流 （CC）
将流过测试物的电流设定为固定值时进行选
择。
恒电压 （CV）
将测试物端子间的电压设为固定值时进行
选择。
• 通常模式时 (⇒ 第 53 页 )
测量频率设定范围 开路电压设定范围 开路电压精度
4 Hz ～ 1.000 MHz 0.005 V ～ 5.000 V ± 10% ± 10 mV
1.0001 MHz ～ 5.000 MHz 0.010 V ～ 1.000 V ± 20% ± 10 mV
5.000 V
1.000 V
0.010 V
0.005 V
4 Hz 5 MHz1 MHz
• 低 Z 高精度模式时 (⇒ 第 53 页 )
测量频率设定范围 开路电压设定范围 开路电压精度
4 Hz ～ 100 kHz 0.005 V ～ 1 V ± 10% ± 10 mV
1.000 V
0.005 V
4 Hz 5 MHz100 kHz
• 可设定的开路电压因频率而异。
• 在保持 1 V 以上设定的状态下将测量频率提高到 1 MHz 以上时，自动变为 1 V。
• 在保持 0.010 V 以下设定的状态下提高到 1 MHz 以上时，自动变为 0.010 V。
4.2
进行测量条件的基本设定
45
4
第 4 章 LCR 功能
有时可能会因测试物而无法进行恒电压测量。此时会显示下述标记。
此时不能进行恒电压测量。请将恒电压电平变更为 Vmoni 显示值以下的值。
（例）在 10 kHz 下测量 1 µF 的 C 时的 CV 可操作范围
测试物的阻抗
从发生部位观察到的阻抗
因此，测试物两端的电压
根据上表，由于 10 kHz 下发生部位的输出电压范围为 5[mV] ～ 5[V]，
因此， CV 可操作范围根据上式为
低 Z 高精度模式时，输出电阻
Zm 如下所示。
Zm = Rm + jXm = 0 [
Ω
Zm' 如下所示。
Zm' = Ro + Zm = 100 [
Vm 如下所示。
×
Vm
Zm Vo
==
----------------------
|Zm' |
Zm
′
] - j15.9 [
Ω
] - j15.9 [
15.9 [
15.9
--------------------------
Ω
101.3
Ω
Ω
Ω
] × Vo
Ω
]
]
Vo×
Vm = 0.8[mV] ～ 0.78[V]。
Ro 为 10 [Ω]。
其中
其中
其中， Vo 为发生部位的输出
Xm
Ro 为输出电阻 （100 [Ω ]）
-----------------=
1–
2
π
fC()
46
4.2
进行测量条件的基本设定
恒电流 （CC）设定时
• 通常模式时 (⇒ 第 53 页 )
但恒电流动作范围会因测试物而异。
测量频率设定范围 恒电流设定范围 恒电流精度
4 Hz ～ 1.000 MHz 0.01 mA ～ 50 mA ± 10% ± 10
1.0001 MHz ～ 5.000 MHz 0.01 mA ～ 10 mA ± 20% ± 10 µA
50.00 mA
10.00 mA
0.010 mA
4 Hz 5 MHz1 MHz
µA
• 低 Z 高精度模式时 (⇒ 第 53 页 )
但恒电压动作范围会因测试物而异。
测量频率设定范围 恒电流设定范围 恒电流精度
4 Hz ～ 100 kHz 0.01 mA ～ 100.00 mA ± 10% ± 10
100.00 mA
0.010 mA
4 Hz 5 MHz100 kHz
• 可设定的恒电流因频率而异。
• 在保持 10 mA 以上设定的状态下将测量频率提高到 1 MHz 以上时，自动变为 10 mA。
µA
4.2
进行测量条件的基本设定
有时可能会因测试物而无法进行恒电流测量。此时会显示下述标记。
此时不能进行恒电流测量。请将恒电压电平变更为 Imoni 显示值以下的值。
（例）在 1 kHz 下测量 1mH 的 L 时的 CC 可动作范围
47
测试物的阻抗
从发生部位观察到的阻抗
因此，流过测试物的电流
根据上表，由于 1 kHz 下发生部位的输出电压范围为 5[mV] ～ 5[V]，
CC 可动作范围根据上式为
低 Z 高精度模式时，输出电阻
Zm 如下所示。
Zm
= Rm + jXm = 0 [Ω ] - j62.8 [
Zm' 如下所示。
Zm' = Ro + Zm = 0 [
Ω
Im 如下所示。
Im
Vo
------------
|Zm' |Vo118.1 [
Zm
′
Im = 84.7[µA] ～ 42.3[mA]。
Ro 为 10 [Ω]。
] - j62.8 [
Vo
----------------- -==
118.1
Ω
Ω
Ω
Ω
]
]
]
其中
其中 Ro 为输出电阻 （100 [Ω ]）
其中， Vo 为发生部位的输出
Xm 2πfL=
4
第 4 章 LCR 功能
48
4.2
进行测量条件的基本设定
4.2.3 设定量程
量程的设定包括下述 2 种方法。
AUTO
自动设定最佳量程。
（测试物的阻抗因频率而发生较大变化时或者测量未知测试物等情况下，
可设定最佳量程）
1
1
AUTO 设定
步 骤
HOLD
量程构成均利用阻抗进行设定。因此，参数为阻抗以外的参数时，根据测量的 |Z | 与 θ 进行计
算，求出值。
参照 :“附录 1 测量参数与运算公式” (⇒ 附第 1 页 )
LCR 初始画面
固定或手动设定量程。
（如果固定量程，则可进行高速测量）
LCR 基本设定
2
LCR 基本设定
按下 。
4.2
4
进行测量条件的基本设定
49
3
量程设定
按下 。
在精度保证范围以外， AUTO 量程可能不会正常进
行动作，无法确定量程。在这种情况下，请利用
“13.2 测量范围与精度” (⇒ 第 386 页 ) 确认精度保
证范围，变更测量条件。
4
第 4 章 LCR 功能
按下 ，关闭设定画面。
DC 偏置时，在测量电容器以外的元件或直流电阻较低的电容器的情况下，AUTO 量程可能不
会正常进行动作，无法确定量程。
50
4.2
进行测量条件的基本设定
HOLD 设定
2
步 骤
1
2
LCR 初始画面 LCR 基本设定
LCR 基本设定
按下 。
3
量程设定
按下 。
4.2
进行测量条件的基本设定
51
2
请根据测试物与测试电缆的阻抗总和设定量程。
量程的选择
• 精度保证范围会因测量条件而异。
参照 :请通过 “13.2 测量范围与精度” (⇒ 第 386 页 ) 确认精度保证范围。
• 测量范围由量程确定。测量值显示为 OVER FLOW （UNDER FLOW）时，不能在当前量
程下进行测量。请利用 AUTO 设定设为最佳量程或手动变更量程。测量结果超出显示范围
(⇒ 第 379 页 ) 时，会显示 DISP OUT。
• 精度保证范围是指相对于补偿前的测量值而言的范围。
选择量程。
量程 精度保证范围
100 MΩ
10MΩ
1MΩ
100 kΩ
30 kΩ
10 kΩ
3 kΩ
1 kΩ
300 Ω
10 Ω
1 Ω
100 mΩ
8 MΩ ～ 200 MΩ 8 MΩ ～ 999.999 MΩ
800 kΩ ～ 100 MΩ
80 kΩ ～ 10 MΩ
24 kΩ ～ 1 MΩ
8 kΩ ～ 300 kΩ
2.4 Ω ～ 100 kΩ
800 Ω ～ 30 kΩ
240 Ω ～ 10 kΩ
8 Ω ～ 300 Ω
800 mΩ ～ 10 Ω
80 mΩ ～ 1 Ω
1 mΩ ～ 100 mΩ
自动量程范围
800 kΩ ～ 10 MΩ
80 kΩ ～ 1 MΩ
24 kΩ ～ 100 kΩ
8 kΩ ～ 30 kΩ
2.4 kΩ ～ 10 kΩ
800 Ω ～ 3 kΩ
240 Ω ～ 1 kΩ
8 Ω ～ 300 Ω
800 mΩ ～ 10 Ω
80 mΩ ～ 1 Ω
0 Ω ～ 100 mΩ
4
第 4 章 LCR 功能
按下 ，关闭设定画面。
3
• 测试物的阻抗因频率而发生变化时，如果在利用 HOLD 进行测量期间切换频率，则可能无
法进行同一量程内的测量。此时请切换量程。
• 请根据测试物与测试电缆的阻抗总和设定量程。也就是说，如果仅利用测试物的阻抗值将
量程设为 HOLD，有时可能无法进行测量。此时，请通过 “7.1 开路补偿的设定” (⇒ 第
265 页 ) 与“7.2 进行短路补偿” (⇒ 第 272 页 ) 进行确认，变更量程。
• 测量值超出精度保证范围时，画面上部显示下述注释。
此时估计是以下原因造成的。
请通过 “13.2 测量范围与精度” (⇒ 第 386 页 ) 确认精度保证范围，变更测量条件，或将
测量值作为参考值。
•测量信号电平过低时：提高测量信号电平。
•当前的量程 （HOLD 设定时）不合适时：在 AUTO 量程下设为最佳量程或手动变更量程。
52
4.2
进行测量条件的基本设定
低 Z 高精度模式
3
将 L
流入测试物，因此可进行高精度的测量。
1
2
端子平衡为 0 V，减小低阻抗测量时的接触电阻的影响。另外，输出电阻变为 10 Ω，可确保电流充分地
POT
步 骤
LCR 初始画面 LCR 基本设定
LCR 基本设定
按下 。
3
按下 ，关闭设定画面。
量程设定
选择低 Z 高精度模式的 ON/ OFF。
将低 Z 高精度模式设为 OFF。
将低 Z 高精度模式设为 ON。
4.2
进行测量条件的基本设定
在低 Z 高精度模式下，频率与测量信号的可设定范围会发生变化。
请参照下表。
编号 量程 ～ 1 kHz ～ 10 kHz ～ 100 kHz ～ 1 MHz ～ 5 MHz
1 100MΩ
2 10 MΩ
3 1 MΩ
4 100 kΩ
5 30 kΩ
6 10 kΩ
7 3 kΩ
8 1 kΩ
9 300 Ω
10 10 Ω
11 1 Ω
12 100 mΩ
仅限于通常模式 （低 Z 高精度模式设定无效）
低 Z 高精度模式 / 通常模式
53
无
4
第 4 章 LCR 功能
测量信号电平的可设定范围：(⇒ 第 44 页 )
仅在频率 4 Hz ～ 100 kHz 之间，处于低 Z 高精度模式时有效。
检测 4 端子断线时 （低 Z 高精度模式时）
是在低 Z 高精度模式 (⇒ 第 52 页 ) 下进行测量时动作的接触检查功能。
检测 L
未正确连接时，会进行如下显示。请再次确认连接。
参照 :“2.4 连接测试电缆、探头与治具” (⇒ 第 30 页 )
也可以由 EXT I/O 进行错误输出。
参照 :“第 11 章 进行外部控制” (⇒ 第 355 页 )
POT
、 H
POT
、 L
各端子的断线。
CUR
DC 偏置时，在测量电容器以外的元件或直流电阻较低的电容器的情况下，接触检测功能可能
不会正常进行动作。
54
4.2
进行测量条件的基本设定
4.2.4 在任意时序下进行测量 （触发测量）
所谓触发 （Trigger），是指使用特定信号确定记录开始和结束的时序的功能。
将使用特定信号开始和结束记录称之为 “进行触发”。
在本仪器中可选择下述 2 种触发。
1
步 骤
内部触发
外部触发
内部自动发生触发信号并连续进行测量。
通过外部控制进行测量。也可以手动进行测量。
LCR 初始画面 LCR 基本设定
2
LCR 基本设定
按下 。
4.2
进行测量条件的基本设定
55
3
选择 时
触发输入方法包括下述 3 种类型。
• 按下画面上的 ，手动输入触发：进行 1 次测量。
• 利用 EXT I/O 输入：每添加 1 次负逻辑的脉冲信号，就进行 1 次测量。
参照 :“使用连接器与信号的配置” (⇒ 第 356 页 )
触发的设定
选择触发的类型。
内部触发 自动进行连续测量。
外部触发
通过手动、 EXT I/O、接口输入触
发。
4
第 4 章 LCR 功能
• 通过接口输入：如果发送 *
参照 :附带 CD
画面上显示 。
外部触发 外部触发时
按下 ，关闭设定画面。
4
TRG，则进行 1 次测量。
56
4.2
进行测量条件的基本设定
4.2.5 设定 DC 偏置
测量电容器时，可在测量信号上叠加直流电压进行测量。
步 骤
1
2
LCR 初始画面 LCR 基本设定
LCR 基本设定
按下 。
3
DC 偏置的设定
选择 DC 偏置的 ON/ OFF。
将 DC 偏置设置设为 OFF。
将 DC 偏置设置设为 ON。
使用外部 DC 偏置装置时，请按下该按钮。
DC 偏置设置变为 ON，
偏置值被设为 0.00 V。
4.2
进行测量条件的基本设定
57
4
按下 ，关闭设定画面。
5
DC 偏置的设定
• DC 偏置功能为电容器测量专用。如果对电阻、阻抗等直流电阻较低的元件使用 DC 偏置功
能，则存在以下可能性。
• 不能正常测量。
• AUTO 量程不确定。
• 低 Z 高精度模式时，即使端子连接正常，也会发生接触错误。
• Rdc 测量时，不能设定 DC 偏置功能。
• 要在设为
• 叠加 2.5 V 以上的直流电压时，请参照“附录 5.1 直流电压偏置的施加方法”(⇒ 附第 7 页 )。
• 在线圈等上面叠加直流电流时，请参照“附录5.2 直流电流偏置的施加方法”(⇒ 附第8页 )。
• 不能设定交流信号电平有效值与直流信号电平之和超出 7.07 V 的值。
• 测量信号电平总和（AC 电平 +DC 偏置值）＞ 为 [V] 时，不能再提高测量信号电平。
请在降低 AC 电平或 DC 偏置值之后进行设定。另外，低 Z 高精度模式时，在总和值为
[V] 以下的范围内，可设定 AC 电平、 DC 偏置值。
2
利用 、 设定要叠加的直流电平。
• 可设定范围：0.00 V ～ 2.50 V （通常模式）
0.00 V ～ 1.00 V （低 Z 高精度模式）
• 输入错误时：按下 ，重新输入数值。
如果未按下 ，则不反映设定。
:MEASure:ITEM 的状态下测量 RDC 时，不能设定 DC 偏置功能。
52
4
第 4 章 LCR 功能
58
4.2
进行测量条件的基本设定
4.2.6 设定测量速度
设定测量速度。测量速度越低，测试精度越高。
步 骤
1
2
LCR 初始画面
LCR 基本设定
LCR 基本设定
按下 。
3
按下 ，关闭设定画面。
测量速度的设定
选择测量速度。
进行高速测量。
通常测量的速度。
测试精度提高。
测试精度高于 SLOW。
测量速度因显示参数的数量与类型而异。
参照 :“测量时间与测量速度” (
⇒ 第 389 页 )
4.2
4.2.7 设定电压 / 电流限值
根据测量信号电平，施加额定值以上的电压 / 电流时，可能会导致测试物破损。
因此，需设定用于限制施加在测试物上的电压或流过测试物的电流的限值。
59
进行测量条件的基本设定
在开路电压 / 恒电压下进行测量时
在恒电流下进行测量时
步 骤
1
LCR 初始画面
设定电流限值。
设定电压限值。
LCR 基本设定
4
第 4 章 LCR 功能
测量信号电平为电压 （V、 CV）时
3
电流限值的设定
设定测量信号电平之后，请设定电压 / 电流限值。
进行电压 / 电流限值设定时，可根据当前测量信号电平的设定自动变更为电流限值或电压限值。
参照 :“4.2.2 设定测量信号电平” (⇒ 第 42 页 )
测量信号电平为电流 （CC）时
电压限值的设定
• 可在监视器显示中确认当前的状态。
• 利用 V、 CV、CC 的设定，监视器显示会发生变化。
60
4.2
进行测量条件的基本设定
3
电流限值的设定
电流限值的设定
选择限值功能的 ON/ OFF。
将限值功能设为 OFF。
将限值功能设为 ON。
利用 、 输入限值。
限值范围
测量信号
电平
V、 CV 电流限值 0.01 mA ～ 100.00 mA
CC
设定限值 设定范围
电压限值 0.005 V ～ 5 V
限值功能为 ON 时，会进行如下显示。
（例）恒电压 （CV）设定时
施加在测试物上的电压或流过测试物的电流超出限值时
（即使将开路电压设为最低值，测试物也流过超出限值的
电流时等）
电流限值精度
频率 精度
4 Hz ～ 1.000 MHz ± 10% ± 10
1.0001 MHz ～ 5.000 MHz ± 20% ± 10 µA
电压限值精度
频率 精度
4 Hz ～ 1.000 MHz ± 10% ± 10 mV
1.0001 MHz ～ 5.000 MHz ± 20% ± 10 mV
µA
施加到测试物上的电压或电流可能会因限值设定而
达不到
此时，未向测试物施加限值以上的电压或电流。请重新设定
限值，或变更测量信号电平，以免超出限值。
设定的测量信号电平。
按下 ，关闭设定画面。
5
4.2.8 用平均值显示 （平均值设定）
进行测量值的平均化处理。可降低测量值显示的偏差。
4.2
进行测量条件的基本设定
61
内部触发时
外部触发时
测量值始终是当前～平均次数前的移动平均值。
（切换测试物时，值的稳定需要一定的时间）
根据触发输入设定平均次数的平均值。
平均次数为 4 次时，测量次数、测量值输出点和输出时的测量值计算方法如下所示。
移动平均
测量点
M1 M2 M3 M4 M5 M6
M1
1
测量值输出
Time
M1+M2
2
M1+M2+M3
3
M1+M2+M3+M4
4
M7 M8 M9 M10
M4+M5+M6+M7
4
M5+M6+M7+M8
4
M2+M3+M4+M5
4
M6+M7+M8+M9
4
4
第 4 章 LCR 功能
M3+M4+M5+M6
4
M7+M8+M9+M10
4
相加平均
测量点
M1 M2 M3 M4 M5 M6 M7 M8 M9 M10
测量值输出
Time
M1+M2+M3+M4
4
M5+M6+M7+M8
4
62
4.2
进行测量条件的基本设定
步 骤
1
2
LCR 初始画面
LCR 基本设定
LCR 基本设定
按下 。
3
按下 ，关闭设定画面。
平均次数的设定
利用 、 输入平均次数。
可设定范围：1 ～ 256 次
要停止平均值功能时：按下 。
平均次数被设为 001 次，平均功能变为 OFF 状态。
4.2.9 任意时间进行测量 （触发延迟）
设定从输入触发信号至读取数据之间的延迟时间。
可在测试物与测试电缆的连接状态稳定之后开始测量。
步 骤
4.2
进行测量条件的基本设定
63
1
2
LCR 初始画面
LCR 基本设定
LCR 基本设定
4
第 4 章 LCR 功能
按下 。
3
按下 ，关闭设定画面。
4
触发延迟时，从输入触发～测量结束期间，表示处于测量期间的 LED 保持点亮状态。
触发延迟的设定
利用 、 设定延迟时间。
可设定范围：0 ～ 9.9999 s 之间， 0.1 ms 分辨率
要停止触发延迟功能时：按下 。
已设定的时间被设为 0 s。
64
4.3
进行直流电阻测量设定
4.3 进行直流电阻测量设定
可输出任意电平 （最大 2.5 V）的直流信号，测量直流电阻 Rdc。
• 测量直流电阻时，需事先将测量参数设为 Rdc。
参照 :“1.3.7 参数设定画面” (⇒ 第 26 页 )
“4.1.2 设定显示参数” (
• 设定 Rdc 与其他参数时，在利用交流信号测量其他参数之后，测量直流电阻。可单独设定
测量条件。
• RDC 测量时，不能将 DC 偏置功能设为有效。
在测量参数中添加 Rdc
⇒ 第 38 页 )
LCR
ANALYZER
1
2
LCR 初始画面
选择要变更的参数。
参数的设定
按下 。
按下 ，关闭设定画面。
3
4.3.1 设定测量信号电平
值可能会因测试物以及测量信号电平而异。
利用本仪器可按下述 3 种方法在宽范围内设定施加到测试物上的测量信号电平。
4.3
进行直流电阻测量设定
65
开路电压 （V）设定
恒电压 （CV）设定
恒电流 （CC）设定
步 骤
1
设定开路电压电平。
设定测试物端子间的电压电平。
设定流过测试物的电流电平。
由于可能会损坏测试物，因此请勿在测量端子上连接测试物的状态下进行 V、 CV、 CC 的切
换。
LCR 初始画面
Rdc 的基本设定
4
第 4 章 LCR 功能
2
Rdc 的基本设定
按下 。
66
4.3
进行直流电阻测量设定
3
测量信号电平的设定
测量电平选择。
开路电压电平 (⇒ 第 44 页 )
测试物端子间电压电平 (⇒ 第 44 页 )
流过测试物的电流电平 (⇒ 第 46 页 )
测量精度因测量信号电平而异。
参照 :“13.2 测量范围与精度” (⇒ 第 386 页 )
测量信号电平的设定
利用 、 输入电压或电流值。
参照 :“关于设定范围与精度” (⇒ 第 67 页 )
按下 ，关闭设定画面。
5
测量值超出精度保证范围时，画面上部显示下述注释。
此时估计是以下原因造成的。
请通过 “13.2 测量范围与精度” (⇒ 第 386 页 ) 确认精度保证范围，变更测量条件，或将测
量值作为参考值。
•
测量信号电平过低时：提高测量信号电平。
• 当前的量程 （HOLD 设定时）不合适时：在 AUTO 量程下设为最佳量程或手动变更量程。
关于测量信号电平
本仪器的测量信号电平与测试物之间的关系如下所示。
4.3
进行直流电阻测量设定
67
开路电压 （V）
该电压值是施加在输出阻抗与测试物串联两端的电压值。关于
施加在测试物端子间的电压值，请通过电压监视值进行确认，
或者选择设定测试物端子间电压的恒电压 （CV）。
V
输出阻抗
HL
CC
测试物
CV
关于设定范围与精度
开路电压 （V）设定时
• 通常模式时 (⇒ 第 73 页 )
恒电流 (CC)
将流过测试物的电流设定为固定值时进行选
择。
4
第 4 章 LCR 功能
恒电压 (CV)
将测试物端子间的电压设为固定值时进行
选择。
开路电压设定范围 开路电压精度
0.10 ～ 2.50 V ± 10％ ± 10 mV
• 低 Z 高精度模式时 (⇒ 第 73 页 )
开路电压设定范围 开路电压精度
0.10 ～ 1.00 V ± 10％ ± 10 mV
恒电压 （CV）设定时
• 通常模式时 (⇒ 第 73 页 )
恒电压设定范围 恒电压精度
0.10 ～ 2.50 V ± 10％ ± 10 mV
• 低 Z 高精度模式时 (⇒ 第 73 页 )
恒电压设定范围 恒电压精度
0.10 ～ 1.00 V ± 10％ ± 10 mV
恒电流 （CC）设定时
• 通常模式时 (⇒ 第 73 页 )
恒电流设定范围 恒电流精度
0.01 ～ 25.00 mA ± 10％ ± 10
µA
• 低 Z 高精度模式时 (⇒ 第 73 页 )
恒电流设定范围 恒电流精度
0.01 ～ 100.00 mA ± 10％ ± 10
µA
68
4.3
进行直流电阻测量设定
4.3.2 设定量程
量程的设定包括下述 2 种方法。
1
1
AUTO 设定
步 骤
AUTO
HOLD
LCR 初始画面
自动设定最佳量程。
（测量未知测试物时等，可设定最佳量程）
固定或手动设定量程。
（如果固定量程，则可进行高速测量）
Rdc 的基本设定
2
Rdc 的基本设定
按下 。
4.3
进行直流电阻测量设定
69
3
量程设定
按下 。
在精度保证范围以外，AUTO 量程可能不会正常
工作，无法确定量程。在这种情况下，请利用
“13.2 测量范围与精度” (⇒ 第 386 页 ) 确认精
度保证范围，变更测量条件。
4
第 4 章 LCR 功能
按下 ，关闭设定画面。
70
4.3
进行直流电阻测量设定
HOLD 设定
2
步 骤
1
2
LCR 初始画面 Rdc 的基本设定
Rdc 的基本设定
按下 。
3
量程的选择
按下 。
量程的选择
选择量程。
4.3
进行直流电阻测量设定
71
请根据测试物与测试电缆的阻抗总和设定量程。
• 精度保证范围会因测量条件而异。
参照 :请利用 “13.2 测量范围与精度” (⇒ 第 386 页 ) 确认精度保证范围。
• 测量范围由量程确定。测量值显示为 OVER FLOW （UNDER FLOW）时，不能在当前量
程下进行测量。请利用 AUTO 设定设为最佳量程或手动变更量程。测量结果超出显示范围
(⇒ 第 379 页 ) 时，会显示 DISP OUT。
量程 精度保证范围
100 MΩ
10MΩ
1MΩ
100 kΩ
30 kΩ
10 kΩ
3 kΩ
1 kΩ
300 Ω
10 Ω
1 Ω
100 mΩ
8 MΩ ～ 200 MΩ 8 MΩ ～ 999.999 MΩ
800 kΩ ～ 100 MΩ
80 kΩ ～ 10 MΩ
24 kΩ ～ 1 MΩ
8 kΩ ～ 300 kΩ
2.4 Ω ～ 100 kΩ
800 Ω ～ 30 kΩ
240 Ω ～ 10 kΩ
8 Ω ～ 300 Ω
800 mΩ ～ 10 Ω
80 mΩ ～ 1 Ω
10 mΩ ～ 100 mΩ
自动量程范围
800 kΩ ～ 10 MΩ
80 kΩ ～ 1 MΩ
24 kΩ ～ 100 kΩ
8 kΩ ～ 30 kΩ
2.4 kΩ ～ 10 kΩ
800 Ω ～ 3 kΩ
240 Ω ～ 1 kΩ
8 Ω ～ 300 Ω
800 mΩ ～ 10 Ω
80 mΩ ～ 1 Ω
0 Ω ～ 100 mΩ
4
第 4 章 LCR 功能
按下 ，关闭设定画面。
5
• 请根据测试物与测试电缆的阻抗总和设定量程。也就是说，如果仅利用测试物的阻抗值将
量程设为 HOLD，有时可能无法进行测量。此时，请通过 “7.1 开路补偿的设定” (⇒ 第
265 页 ) 与“7.2 进行短路补偿” (⇒ 第 272 页 ) 进行确认，变更量程。
• 测量值超出精度保证范围时，画面上部显示下述注释。
此时估计是以下原因造成的。
请通过 “13.2 测量范围与精度” (⇒ 第 386 页 ) 确认精度保证范围，变更测量条件，或将
测量值作为参考值。
• 测量信号电平过低时：提高测量信号电平。
• 当前的量程 （HOLD 设定时）不合适时：在 AUTO 量程下设为最佳量程或手动变更量程。
72
4.3
进行直流电阻测量设定
低 Z 高精度模式
3
将 L
流入测试物，因此可进行高精度的测量。
1
2
端子平衡为 0 V，减小低阻抗测量时的接触电阻的影响。另外，输出电阻变为 10 Ω，可确保电流充分地
POT
步 骤
LCR 初始画面 Rdc 的基本设定
Rdc 的基本设定
3
按下 。
量程设定
选择低 Z 高精度模式的 ON/ OFF。
将低 Z 高精度模式设为 OFF。
将低 Z 高精度模式设为 ON。
按下 ，关闭设定画面。
4.3
进行直流电阻测量设定
在低 Z 高精度模式下，测量信号电平的可设定范围会发生变化。请参照下表。
量程
100MΩ
10 MΩ
1 MΩ
100 kΩ
30 kΩ
10 kΩ
3 kΩ
1 kΩ
300 Ω
10 Ω
1 Ω
100 mΩ
仅限于通常模式
（低 Z 高精度模式设定无效）
低 Z 高精度模式 / 通常模式
73
4
第 4 章 LCR 功能
测量信号电平的可设定范围：(⇒ 第 67 页 )
检测 4 端子断线时 （低 Z 高精度模式时）
是在低 Z 高精度模式 (⇒ 第 52 页 ) 下进行测量时工作的接触检查功能。
检测 L
未正确连接时，会进行如下显示。请再次确认连接。
参照 :“2.4 连接测试电缆、探头与治具” (⇒ 第 30 页 )
也可以由 EXT I/O 进行错误输出。
参照 :“第 11 章 进行外部控制” (⇒ 第 355 页 )
POT
、 H
POT
、 L
各端子的断线。
CUR
74
4.3
进行直流电阻测量设定
4.3.3 设定 DC 调节功能
DC 调节可将发生电压设为 0 V，取得主机内部电路发生的偏置值以降低测量误差。
步 骤
1
2
LCR 初始画面
Rdc 的基本设置
Rdc 的基本设置
按下。
3
DC 调节的设置
按下 ，关闭设定画面。
选择 DC 调节的 ON/ OFF。
通过 EXT I/O 的 CALIB 信号或通讯命令
（
:DCResistance:ADJust:DEMand）
取得偏置值。
每次测量都取得偏置值。
• 由于电压电平变更时的过渡响应时间会因测试物
的阻抗值而延长，因此请将 DC 延迟时间设置得稍
长一些。 (
DC 调节为 ON 时，通常的测量时间与偏置测量时
间会延长，所以测量时间约达到 2 倍左右。
• 即使将DC调节设为 OFF，在下述情况下也进行 DC
调节测量。
• 打开电源之后，初次进行测量时
• 变更 DC 延迟时间时
• 变更量程时
• 变更低 Z 高精度模式 ON/OFF 时
• 变更测量信号电平时
⇒ 第 79 页 )
4.3.4 设定测量速度
设定测量速度。测量速度越低，测试精度越高。
步 骤
4.3
进行直流电阻测量设定
75
1
2
LCR 初始画面
Rdc 的基本设定
Rdc 的基本设定
4
第 4 章 LCR 功能
按下 。
3
按下 ，关闭设定画面。
测量速度的设定
选择测量速度。
进行高速测量。
通常测量的速度。
测试精度提高。
测试精度高于 SLOW。
测量速度因显示参数的数量与类型而异。
参照 :“测量时间与测量速度” (
⇒ 第 389 页 )
76
4.3
进行直流电阻测量设定
4.3.5 设定电压 / 电流限值
根据测量信号电平，施加额定值以上的电压 / 电流时，可能会导致测试物破损。
因此，需设定用于限制施加在测试物上的电压或流过测试物的电流的限值。
在开路电压 / 恒电压下进行测量时
在恒电流下进行测量时
步 骤
1
LCR 初始画面
设定电流限值。
设定电压限值。
Rdc 的基本设定
测量信号电平为电压 （V、 CV）时
3
测量信号电平的设定
设定测量信号电平之后，请设定电压 / 电流限值。
进行电压 / 电流限值设定时，可根据当前测量信号电平的设定自动变更为电流限值或电压限值。
参照 :“4.2.2 设定测量信号电平” (⇒ 第 42 页 )
测量信号电平为电流 （CC）时
测量信号电平的设定
• 可在监视器显示中确认当前的状态。
• 利用 V、 CV、CC 的设定，监视器显示会发生变化。
4.3
进行直流电阻测量设定
77
3
测量信号电平的设定
测量信号电平的设定
选择限值功能的 ON/ OFF。
将限值功能设为 OFF。
将限值功能设为 ON。
利用 、 输入限值。
限值范围：
测量信号电平 设定限值 设定范围
V、 CV 电流限值 0.01 mA ～ 100 mA
CC
电压限值 0.10 V ～ 2.5 V
4
第 4 章 LCR 功能
限值功能为 ON 时，会进行如下显示。
（例）恒电压 （CV）设定时
施加在测试物上的电压或流过测试物的电流超出限值时
（即使将开路电压设为最低值，测试物也流过超出限值的
电流时等）
电流限值精度：± 10% ± 10 µA
电压限值精度：± 10% ± 10 mA
如果未向测试物施加超出限值的电压或电流，并且未达
到测量信号电平的设定值时，则停止测量信号电平的变
更。
此时，未向测试物施加限值以上的电压或电流。请重新设定
限值，或变更测量信号电平，以免超出限值。
按下 ，关闭设定画面。
5
78
4.3
进行直流电阻测量设定
4.3.6 用平均值显示 （平均值设定）
进行测量值的平均化处理。可降低测量值显示的偏差。
设置信号电平或量程之后，进行所设平均次数的测量并显示测量值。
Rdc 测量的平均处理是相加平均处理，与触发设置无关。
步 骤
1
2
LCR 初始画面
Rdc 的基本设定
Rdc 的基本设定
按下 。
3
按下 ，关闭设定画面。
平均次数的设定
利用 、 输入平均次数。
可设定范围：1 ～ 256 次
要停止平均值功能时：按下 。
平均次数被设为 1 次。
79
4.3
进行直流电阻测量设定
4.3.7 设定延迟时间
为下述情况时，设定开始直流电阻测量前的时间。
• 从交流信号测量切换为直流电阻测量时
• 变更电压电平时
• 将 DC 调节设为有效时
该延迟时间是 DC 电平、 DC0V 稳定之前用于延迟测量的时间。
测量直流电阻时，DC 电平稳定之前的时间因测试物而异，因此，观测测量波形时，请插入延迟时间直至过渡现
象消失。
平均次数为 1 次时
DC 调节有效 （ON）时
设定的变更
• 由交流测量变更为直流测量
• 信号电平的变更
• 量程的变更
DC 延时
（初始值 0.0003 秒）
直流电阻测量
DC 延时
（初始值 0.0003 秒）
偏移测量
测量结束
4
第 4 章 LCR 功能
平均次数为 2 次以上时
（例：2 次）
设定的变更
• 由交流测量变更为直流测量
• 信号电平的变更
• 量程的变更
步 骤
1
DC 延时
（初始值0.0003秒）
DC 延时
（初始值 0.0003 秒）
LCR 初始画面
DC 调节有效 （ON）时
直流电阻测量
直流电阻测量
直流电阻测量
平均次数部分测量 所设平均次数的测量
DC 延时
（初始值 0.0003秒）
DC 调节有效 （ON）时
DC 延时
（初始值 0.0003秒）
偏移测量
偏移测量
偏移测量
获得平均值
Rdc 的基本设定
测量结束
80
4.3
进行直流电阻测量设定
直流信号电平达到稳定状态的时间因要测量的测试物而异。为了进行正确的测量，请事先观
测测量波形，设定直流信号电平达到充分稳定状态的延迟时间。
2
3
Rdc 的基本设定
按下 。
延迟时间的设定
利用 、 设定延迟时间。
按下 ，关闭设定画面。
可设定范围：0.0003 ～ 9.9999 s
要停止延迟时间设定时：按下 。
已设定的时间被设为 0.0003 s。
81
4.4
判定测量结果
LCR
4.4 判定测量结果
比较测量结果与任意设定的基准，并显示判定结果。这是进行质量评价等的便利的功能。
包括比较一个判定基准与测量值的比较器测量，以及比较多个判定基准 （最多 10 个）与测量值的分类测量。
基于比较器测量、分类测量的判定对第 1 参数、第 3
参数起作用。
判定对象 结果显示
第 1 参数 第 2 参数区域
第 3 参数 第 4 参数区域
因此，请事先将要判定的测量值设为第 1 参数与第 3 参
数。
参照 :“4.1.2 设定显示参数” (
⇒ 第 38 页 )
ANALYZER
4
第 4 章 LCR 功能
设定判定模式
请按下述步骤选择项目进行设定。
步 骤
1
LCR 初始画面
应用设定
82
4.4
判定测量结果
2
3
应用设定
判定模式的设定
按下 。
选择判定模式。
解除
比较器、分类测量的设定
进行比较器测量的设定。 (⇒ 第 83 页 )
。
按下 ，关闭设定画面。
进行分类测量的设定。 (⇒ 第 90 页 )
比较器测量、分类测量时，仅可设定第 1、 3 参数。
第 2、 4 参数为 LMT。
83
4.4
判定测量结果
4.4.1 利用上下限值进行判定 （比较器测量）
比较器测量时，可进行下述操作。
• 事先利用基准值或上下限值设定判定基准，利用 HI（大于上限值）、 IN（处在上下限值设定范围内）、 LO
（小于下限值）显示测量结果。
• 向外部输出 （EXT I/O 连接器）判定结果。
• 可分别选择最多 2 个参数的设定予以执行。
• 利用蜂鸣器通知判定结果。
参照 :“4.5.13 设定操作音 （蜂鸣音）” (⇒ 第 125 页 )
• 利用本仪器正面的判定结果显示 LED 确认判定结果。
参照 :“判定结果显示 LED” (⇒ 第 10 页 )
判定方法包括下述 3 种类型。
（正面 LED）
点亮为绿色 点亮为红色
（比较器测量
结果为 IN 时）
测量值 > 上限值
上限值≧测量值≧下限值
测量值 < 下限值
（比较器测量结果为
HI 或 LO 时）
4
第 4 章 LCR 功能
绝对值 （ABS）设定 (⇒ 第 85 页 )
上限值
HI
IN
下限值
百分比 (%) 设定 (⇒ 第 86 页 )
上限值 [%]
基准值 [Ω]
LO
HI
IN
IN
下限值 [%]
偏差百分比 (∆%)*
上限值 [∆%]
基准值 [Ω]
LO
2
设定 (⇒ 第 88 页 )
HI
IN
IN
∆%]
下限值 [
LO
以绝对值设定测量参数的上限值与下限值。
测量值直接显示测量参数的值。
输入基准值，利用相对于基准值的百分比设定上限值与下限
1
值
*
。
测量值直接显示测量参数的值。
输入基准值，利用相对于基准值的百分比设定上限值与下限
1
值
*
。
测量值显示为与基准值之间的偏差值 （∆%）。
84
4.4
判定测量结果
*1: 按下式计算比较上限值、比较下限值。
（比较下限值时，如果设定值小于基准值，则需在百分比设定值前附加负号 （-））
比较上限值 （比较下限值） = 基准值 + | 基准值 | ×
*2: ∆% 值按下式计算。
∆% =
测量值 - 基准值
| 基准值 |
• 按下述顺序进行比较器的判定。
× 100
1. 测量值 OVER FLOW 时，显示 ............ HI
（但参数为 Y、 Cs、 Cp、 G、 B 时显示 LO）
测量值 UNDER FLOW 时，显示
（但参数为 Y、 Cs、 Cp、 G、 B 时显示 HI）
测量值为 L NO CNTCT 或 H NO CNTCT 时，显示
2. 判定测量值是否大于下限值，
NG 时，显示
.....................................LO
3. 判定测量值是否小于上限值，
NG 时，显示
.....................................HI
4. 满足 2. 与 3.时，显示........................ IN
由于不进行上下限值的大小判定，因此即使将上限值与下限值设定为相反，也不会发生错
误。
• 在比较器测量画面中切断电源时，则会在下次打开电源时，在比较器测量画面中起动。
百分比设定值
100
..........LO
.............HI
以绝对值 （ABS）设定上限值与下限值 （绝对值模式）
1
步 骤
4.4
判定测量结果
85
1
2
LCR 初始画面
按下 。
4
第 4 章 LCR 功能
比较器条件的设定
按下 。
3
按下 确定上限值。
返回到步骤 2，按下 ，利用数字键设定下限值，然后按下 。
5
可设定范围：-9.999999G ～ 9.999999G
上限值的设定
按下 ，利用数字键设定上限值。
可设定范围：-9.999999G ～ 9.999999G
单位的变更 （ a/ f/ p/ n/ µ/ m/ 无 / k/ M/ G）
不设定上下限值时：按下 。
单位上升。
单位下降。
按下 ，关闭设定画面。
6
86
4.4
判定测量结果
以相对于基准值的 （%）值设定上限值与下限值 （百分比模式）
2
步 骤
1
2
LCR 初始画面
按下 。
比较器条件的设定
按下 。
3
按下 ，关闭设定画面。
基准值的设定
按下 ，利用数字键设定基准值。
可设定范围：-9.999999G ～ 9.999999G
单位的变更 （ a/ f/ p/ n/ µ/ m/ 无 / k/ M/ G）
单位上升。
单位下降。
4.4
判定测量结果
87
5
按下 确定上限值。
6
返回到步骤 2，按下 ，利用数字键输入下限值，然后按下 。
7
上限值的设定
按下 ，利用数字键输入上限值。
以相对于基准值的百分比设定上限值。
不设定上限值时：按下 。
• 可设定范围：-999.9999% ～ 999.9999%
• 实际的内部操作：按下式计算比较上限值，并与
测量值比较进行判定。
比较上限值 = 基准值 + | 基准值 | ×
百分比设定值
100
4
第 4 章 LCR 功能
• 可设定范围：-999.9999% ～ 999.9999%
• 实际的内部操作：按下式计算比较下限值，如果设定值小于基准值时，则需在百分比设定值前
附加符号 （-）。
比较下限值 = 基准值 + | 基准值 | ×
按下 ，关闭设定画面。
8
已设定的基准值与上下限值在百分比模式及偏差百分比模式下是通用的。
百分比设定值
100
88
4.4
判定测量结果
以相对于基准值的偏差 （∆%）值设定上限值与下限值
3
步 骤
（偏差百分比模式）
1
2
LCR 初始画面
比较器条件的设定
按下 。
• 在偏差百分比模式下，测量值显示为与基准值之间的
偏差值 （
• 基准值与上下限值的设定方法与百分比模式相同。
参照 :“以相对于基准值的 （%）值设定上限值与下
• 基准值与上下限值在百分比模式与偏差百分比模式
下是通用的。
• ∆% 按下式计算。
∆% =
按下 ，选择偏差百分比模式。
∆%）。
限值 （百分比模式）” (
测量值 - 基准值
× 100
| 基准值 |
⇒ 第 86 页 )
3
按下 确定基准值。
基准值的设定
按下 ，利用数字键输入基准值。
可设定范围：-9.999999G ～ 9.999999G
/
a/ f/ p/ n/ µ/ 无 / k/ M/ G
4.4
判定测量结果
89
5
按下 确定上限值。
6
返回到步骤 2，按下 ，利用数字键输入下限值。
7
上限值的设定
按下 ，利用数字键设定上限值。
可设定范围：-999.9999% ～ 999.9999%
不设定上限值时：按下 。
4
第 4 章 LCR 功能
可设定范围：-999.9999% ～ 999.9999%
按下 ，关闭设定画面。
8
已设定的基准值与上下限值在百分比模式及偏差百分比模式下是通用的。
90
4.4
判定测量结果
4.4.2 对测量结果进行分类 （分类测量）
相对于 2 个参数设定上限值与下限值，并显示最多 10 个分类的判定结果。
另外，向外部输出判定结果。
选择分类测量的判定模式之后，
设定判定条件。 (⇒ 第 81 页 )
点亮为绿色
（测量结果处在分类范
围内时）
分类判定时
未设定分类时
（正面 LED）
点亮为红色
（测量结果为 OUT
OF BINS 时）
与任何分类都不一致时
关于分类功能
按照从 BIN1 到 BIN10 的顺序执行判定。显示最初判定为测量值处在已设定判定基准内的 BIN 编号。
测量值 A
测量值 B
判定基准范围
在上例中，由于未符合相对于测量值 A 设定的所有判定基准，因此显示 OUT OF BINS。另外，测量值 B
时，虽然最初进入到基准范围内，但由于是由 BIN5 设定的判定基准，因此显示 BIN5。
判定方法包括下述 3 种类型。
绝对值 （ABS）设定 (⇒ 第 92 页 )
4.4
判定测量结果
91
上限值
下限值
百分比 (%) 设定 (⇒ 第 95 页 )
上限值 [%]
基准值 [Ω]
下限值 [%]
偏差百分比 (∆%)*
上限值 [∆%]
基准值 [Ω]
∆%]
下限值 [
HI
IN
LO
HI
IN
IN
LO
2
设定 (⇒ 第 98 页 )
HI
IN
IN
LO
以绝对值设定测量参数的上限值与下限值。
测量值直接显示测量参数的值。
输入基准值，利用相对于基准值的百分比设定上限值与下限
1
值
*
。
测量值直接显示测量参数的值。
输入基准值，利用相对于基准值的百分比设定上限值与下限
1
值
*
。
测量值显示为与基准值之间的偏差值 （∆%）。
*1: 按下式计算比较上限值、比较下限值。
（比较下限值时，如果设定值小于基准值，则需在百分比设定值前附加负号 （-））
比较上限值 （比较下限值） = 基准值 + | 基准值 | ×
百分比设定值
100
4
第 4 章 LCR 功能
*2: ∆% 值按下式计算。
∆% =
测量值 - 基准值
| 基准值 |
• 在分类测量模式下切断电源时，则会在下次打开电源时，在分类测量模式下起动。
• 针对不需要分类判定的 BIN 编号，请将上限值与下限值设为 OFF。
• 执行分类时的测量条件直接沿用通常测量时的测量条件。
× 100
92
4.4
判定测量结果
以绝对值 （ABS）设定上限值与下限值 （绝对值模式）
1
步 骤
1
按下 。
2
3
分类设定
按下 。
按钮显示因测量参数而异。
分类模式的设定
按下 。
按下 ，返回到分类设定画面。
分类设定
93
4.4
判定测量结果
利用 、 选择要设定的 BIN 编号，然后
按下 。
4
第 4 章 LCR 功能
5
6
上下限值的设定
按下 。
上限值的设定
利用数字键设定第 1 个参数的上限值。
可设定范围： -9.999999G ～ 9.999999G
按下 确定上限值。
不设定上下限值时：按下 。
94
4.4
判定测量结果
7
8
9
10
11
返回到步骤 5，按下 ，利用数字键设定下限值。
可设定范围：-9.999999G ～ 9.999999G
按下 确定下限值。
返回到步骤 4，按相同的方式设定第 2个参数的上下限值。
按下 ，返回到分类设定画面。
按下 ，关闭设定画面。
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