Hioki IM3533, IM3533-01 Instruction Manual [ko]

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IM3533 IM3533-01

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LCR METER

사용설명서

사용하시기 전에 반드시 읽어 주십시오 안전에 대해서

처음 사용하시는 경우 문제 해결

p.10

각부의 명칭과 기능 화면 구성과 조작 측정 전 준비

Sept. 2018 Revised edition 2 IM3533A983-02(A980-06) 18-09H

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p.12 p.29

문제가 발생했을 경우 에러 표시

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

 

p.3

p.353 p.358

목　차

머리말 .................................................................... 1

포장 내용물 확인 ................................................. 1

안전에 대해서....................................................... 3

사용 시 주의사항 ................................................. 5

제 1 장개요 9

1.1 제품 개요와 특장점 ..............................9

1.2 각부의 명칭과 기능 ............................10

1.3 화면 구성과 조작 ................................12

1.3.1 초기화면 ................................................12

1.3.2 측정 모드 선택 화면 ...............................13

1.3.3 상세 설정 화면 .......................................14

1.3.4 보정 설정 화면 .......................................24

1.3.5 시스템 설정 화면 ....................................25

1.3.6 저장 설정 화면 .......................................27

1.3.7 파라미터 설정 화면 ................................28

제 2 장측정 전 준비 29

2.1 준비 순서 ............................................29

2.2 측정 전 점검 .......................................30

2.3 전원 코드 접속하기 ............................31

2.4 측정 케이블, 프로브, 픽스처

접속하기 .............................................32

2.5 온도 프로브 접속하기 ......................... 33

2.6 인터페이스 접속하기 .......................... 34

2.7 전원 켜기, 끄기 ..................................35

제 3 장측정 예 37

3.1 LCR 모드의 경우 ................................37

3.2 애널라이저 모드의 경우

(IM3533-01만) ....................................39

3.3 트랜스 모드의 경우 ............................41

제 4 장 LCR 기능 45

4.1 LCR 기능에 대해서 ............................45

4.1.1 측정화면 ................................................ 45

4.1.2 표시 파라미터 설정하기 ........................ 46

4.1.3 측정치를 확대 표시하기 ........................ 48

4.2 측정 조건의 기본 설정 ........................49

4.2.1 측정 주파수 설정하기 ............................ 49

4.2.2 측정 신호 레벨 설정하기 ....................... 51

4.2.3 시료에 인가되는 전압, 전류 제한하기

(리밋 값) ................................................ 55

4.2.4 DC 바이어스 설정하기 .......................... 57

4.2.5 임의의 타이밍에서 측정하기

(트리거 측정) ......................................... 59

4.2.6 측정 레인지 설정하기 ............................ 61

 측정 레인지의 결정방법 설정

(AUTO, HOLD, JUDGE SYNC) ............ 61

 저 Z 고정밀도 모드 ................................ 70

4.2.7 측정 속도 설정하기 ............................... 72

4.2.8 평균치로 표시하기(애버리지 설정) ....... 73

4.2.9 측정 데이터를 가져오기까지의 지연 시간

설정하기(트리거 딜레이) ....................... 75

4.2.10 측정 시에만 시료에 신호를 인가하기

(트리거 동기 출력 기능) ........................ 76

4.3 직류 저항 측정 설정하기 ....................79

4.3.1 온도 보정 기능 설정하기 ....................... 80

4.3.2 DC 측정의 지연 시간 설정하기

(DC 딜레이) ........................................... 82

4.3.3 오프셋 측정의 지연 시간 설정하기

(어저스트 딜레이) ................................. 84

4.3.4 전원 주파수 설정하기 ............................ 86

4.3.5 측정 레인지 설정하기 ............................ 87

 측정 레인지의 결정방법 설정(AUTO, HOLD,

JUDGE SYNC) ...................................... 87

 저 Z 고정밀도 모드 ................................ 95

4.3.6 측정 속도 설정하기 ............................... 97

4.3.7 평균치로 표시하기(애버리지 설정) ....... 98

4.4 측정 결과 판정하기 .............................99

4.4.1 상하한치로 판정하기

(콤퍼레이터 측정) ............................... 101

 상한치 , 하한치를 절대치 (ABS) 로 설정하기

( 절대치 모드 ) ..................................... 103

 상한치 , 하한치를 기준치에 대한 (%) 값으로

설정하기 ( 퍼센트 모드 ) ..................... 104

 상한치 , 하한치를 기준치와의 편차에 대한

(Δ％) 값으로 설정하기 ......................... 106

 ( 편차 퍼센트 모드 ) ............................. 106

부 록

IM3533A983-02

색 인

4.4.2 측정 결과 분류하기(BIN 측정) ............. 108

 상한치 , 하한치를 절대치 (ABS) 로 설정하기

( 절대치 모드 ) ..................................... 110

 상한치 , 하한치를 기준치에 대한 (%) 값으로

설정하기 ( 퍼센트 모드 ) ..................... 113

 상한치 , 하한치를 기준치와의 편차에 대한

(Δ％) 값으로 설정하기 ......................... 116

 ( 편차 퍼센트 모드 ) ............................. 116

4.5 응용 설정 ..........................................119

4.5.1 측정 레인지별로 측정 조건 설정하기

(레인지 동기 기능) .............................. 119

4.5.2 검출 신호의 파형 평균 수 임의 설정

(파형 평균 기능) .................................. 126

4.5.3 2단자 측정 시의 OPEN 검출하기

(Hi Z 리젝트 기능) ............................... 128

4.5.4 접촉 불량 및 접촉 상태 확인하기

(콘택트 체크 기능) .............................. 130

4.5.5 콤퍼레이터, BIN 판정 결과 출력에서 EOM

(LOW)까지의 딜레이 시간과 판정

결과의 리셋 설정하기 .......................... 132

4.5.6 측정 중인 트리거 입력을 유효로 하기,

트리거 입력의 유효 에지 설정하기 ...... 134

4.5.7 EOM

4.5.8 측정 결과 저장하기(메모리 기능) ........ 136

4.5.9 표시자릿수 설정하기 ........................... 138

4.5.10 액정 디스플레이의 ON/OFF

4.5.11 조작음 설정하기(비프음) ..................... 141

4.5.12 키 조작을 무효로 하기(키 록 기능) ...... 142

4.5.13 초기화하기(시스템 리셋) ..................... 145

의 출력방법 설정하기 ................. 135

설정하기 .............................................. 140

제 5 장 애널라이저 기능

(IM3533-01 만 ) 147

5.1 애널라이저 기능에 대해서 ................147

5.1.1 측정화면 .............................................. 147

5.2 측정의 기본 설정 ..............................148

5.2.1 측정 파라미터 설정하기 ...................... 148

5.2.2 트리거 설정하기 .................................. 149

5.2.3 표시 타이밍 설정하기 .......................... 150

5.2.4 트리거 딜레이 설정하기 ...................... 151

5.2.5 소인점 설정하기 .................................. 153

5.2.6 측정 신호 레벨 설정하기 ..................... 156

5.2.7 측정 레인지 설정하기 .......................... 158

 측정 레인지 결정방법 (AUTO, HOLD) 158

 저 Z 고정밀도 모드 .............................. 162

5.2.8 측정 속도 설정하기 ............................. 164

5.2.9 평균치로 표시하기(애버리지 설정) ..... 165

5.2.10 포인트 딜레이 설정하기 ...................... 166

5.2.11 DC 바이어스 설정하기 ........................ 167

5.3 응용 설정 ..........................................169

5.3.1 측정 시에만 시료에 신호를 인가하기

(트리거 동기 출력 기능) ...................... 169

5.3.2 검출 신호의 파형 평균 수 임의 설정

(파형 평균 기능) .................................. 171

5.3.3 2단자 측정 시의 OPEN 검출

(Hi Z 리젝트 기능) ............................... 173

5.3.4 접촉 불량 및 접촉 상태 확인하기

(콘택트 체크 기능) ............................... 175

5.3.5 측정 결과 저장하기(메모리 기능) ........ 177

5.3.6 AUTO 레인지 제한 기능 ...................... 180

5.3.7 액정 디스플레이의 ON/OFF

설정하기 .............................................. 182

5.3.8 조작음 설정하기(비프

5.3.9 키 조작을 무효로 하기(키 록 기능) ...... 184

5.3.10 측정 중의 트리거 입력을 유효로 하기,

트리거 입력의 유효 에지 설정하기 ...... 187

5.3.11 EOM

5.3.12 초기화하기(시스템 리셋) ..................... 189

의 출력방법 설정하기 .................. 188

음) ..................... 183

제 6 장 트랜스 기능 191

6.1 트랜스 기능에 대해서 ...................... 191

6.1.1 측정화면 .............................................. 191

6.1.2 측정 방법 ............................................. 192

6.1.3 측정 파라미터 설정하기 ...................... 194

6.1.4 연산 파라미터 설정하기 ...................... 195

6.2 측정 조건의 기본 설정 ..................... 196

6.3 상하한치로 판정하기

(콤퍼레이터 측정) ............................ 197

 상한치 , 하한치를 절대치 (ABS) 로 설정하기

( 절대치 모드 ) ..................................... 200

 상한치 , 하한치를 기준치에 대한 (%) 값으로

설정하기 ( 퍼센트 모드 ) ...................... 201

 상한치 , 하한치를 기준치와의 편차에 대한

(Δ％) 값으로 설정하기

( 편차 퍼센트 모드 ) ............................. 203

6.4 응용 설정 ......................................... 205

제 7 장연속 측정 기능 207

7.1 연속 측정 기능에 대해서 .................. 207

7.1.1 측정화면 .............................................. 207

7.2 연속 측정의 기본 설정 ..................... 208

7.3 연속 측정 실행하기 .......................... 209

7.4 연속 측정의 결과 확인 ..................... 210

7.5 연속 측정의 응용 설정 ..................... 211

7.5.1 표시 타이밍 설정하기 .......................... 211

7.5.2

액정 디스플레이의

ON/OFF

설정하기

....... 212

제 8 장오차 보정 213

8.1 오픈 보정 실행하기 ..........................213

8.1.1 ALL 보정 ..............................................214

8.1.2 SPOT 보정 ...........................................218

8.2 쇼트 보정 실행하기 ..........................222

8.2.1 ALL 보정 ..............................................224

8.2.2 SPOT 보정 ...........................................226

8.3 기준치에 값을 맞춘다(로드 보정) ..... 230

8.4 측정 케이블의 오차 보정하기

(케이블 길이 보정) ...........................243

8.5 값 환산하기(스케일링) ..................... 244

제 9 장패널 정보의 저장 및

가져오기 247

9.1 측정 조건의 저장

(패널 세이브 기능) ...........................249

9.2 측정 조건 가져오기

(패널 로드 기능) ...............................254

9.3 패널명 변경하기 ...............................256

9.4 패널 삭제하기 ..................................258

제 10 장 시스템 설정하기 261

10.1 인터페이스 설정하기 ........................ 261

10.2 본 기기의 버전 확인 ......................... 262

10.3 셀프 체크(자가진단) ......................... 263

10.4 날짜 및 시각 설정 .............................270

iii

11.5 본체의 설정 저장하기 .......................291

 본체 설정 저장하기 ............................. 291

 본 기기의 모든 설정 저장하기

(ALL SAVE 기능 ) ............................... 293

11.6 본체의 설정 로딩 ..............................295

 본체 설정 로딩하기 ............................. 295

 USB 메모리에 저장된 모든 설정 로딩하기

(ALL LOAD 기능 ) ............................... 298

11.7 파일 및 폴더 조작하기 ......................300

 USB 메모리 포맷하기 ......................... 300

 파일 및 폴더 삭제하기 ......................... 302

 폴더 작성하기 ..................................... 303

 USB 메모리의 정보 표시하기 .............. 305

제 12 장외부 제어 307

12.1 외부 입출력 단자와 신호에 대해서 ... 307

 사용 커넥터와 신호의 배치 ................. 308

 각 신호의 기능 상세 ............................ 314

12.2 타이밍 차트 ......................................316

12.2.1 LCR 모드 ............................................. 316

12.2.2 애널라이저 모드(IM3533-01만) ........... 319

12.2.3 트랜스 모드 ......................................... 320

12.2.4 연속 측정 ............................................. 321

12.3 내부 회로 구성 ..................................323

 전기적 사양 ......................................... 324

 접속 예 ................................................ 325

12.4 외부 입출력에 관한 설정 ..................326

 콤퍼레이터 , BIN 판정결과 출력에서

EOM(LOW) 까지의 딜레이 시간

설정하기 .............................................. 326

 판정결과의 리셋 설정하기 .................. 326

 측정 중인 트리거 입력 유효로 하기 ..... 326

 트리거 입력의 유효 에지 설정하기 ...... 326

12.5 외부 제어에 관한 Q&A .....................327

제 11 장 USB 메모리

사용하기 271

11.1 USB 메모리의 삽입 및 제거 ............. 272

11.2 파일 조작 화면에 대해서 ..................273

11.3 파일 저장 설정 화면에 대해서 .......... 274

11.4 측정 데이터 저장하기 ....................... 275

 측정 결과를 텍스트로 저장하기 ...........275

 화면 복사 저장하기 ..............................285

 파일 내용 확인하기 ..............................288

 저장할 폴더 변경하기 ..........................289

12.6 컴퓨터를 이용한 측정 .......................327

제 13 장인쇄 329

13.1 프린터 접속하기 ...............................329

 본 기기와 프린터 접속하기 ................. 330

13.2 본 기기와 프린터 설정하기 ...............331

 본 기기 설정하기 ................................. 331

13.3 인쇄하기 ...........................................332

부 록

색 인

제 14 장사양 335

14.1 일반 사양 ..........................................335

14.2 측정 범위와 정확도 ..........................340

 기본 정확도 계산 예 ............................ 345

14.3 측정 시간, 측정 속도 ........................348

제 15 장 유지보수 및 서비스 351

15.1 수리, 점검, 클리닝 ............................351

15.2 문제가 발생했을 경우 .......................353

15.3 에러 표시 ..........................................358

15.4 본 기기의 폐기 ..................................360

부록 부 1

부록 1 측정 파라미터와 연산식...............부 1

색인 색 1

부록 2 고 임피던스 소자를 측정할 때 ....부 3

부록 3 회로망 안의 소자를 측정할 때 ....부 4

부록 4 외래 노이즈의 혼입 방지 .............부 5

부록 4.1 전원 라인을 통한 노이즈 혼입

대책 ............................... 부 5

부록 4.2 측정 케이블을 통한 노이즈 혼입

대책 ............................... 부 6

부록 5DC 바이어스의 인가.....................부 7

부록 5.1 직류 전압 바이어스의 인가

방법 ............................... 부 7

부록 5.2 직류 전류 바

방법 ............................... 부 8

부록 6 잔류 전하 보호 기능......................부 9

부록 7 직렬 등가 회로 모드와 병렬

등가 회로 모드에 대해서 ...........부 10

부록 8 오픈 보정과 쇼트 보정에

대해서 ...........................................부 11

부록 9 온도 보정 기능 (TC)

에 대해서 ......................................부 12

부록 10 랙 마운팅 ......................................부 14

이어스의 인가

부록 11 외관도 ...........................................부 16

부록 12 초기 설정 일람.............................부 17

부록 13 디바이스 문서..............................부 22

머리말

저희 Hioki IM3533, IM3533-01 LCR 미터 제품을 구매해 주셔서 대단히 감사합니다 . 이 제품을 충분히 활 용하여 오래 사용할 수 있도록 사용설명서는 조심스럽게 다루고 항상 가까운 곳에 두고 사용해 주십시오 .

IM3533, IM3533-01 LCR 미터를 이후 “본 기기” 라고 기재합니다 .

상표에 대해서

Windows 는 미국 Microsoft Corporation 의 미국 , 일본 및 기타 국가에서의 등록상표 또는 상표입니다 .

포장 내용물 확인

본 기기를 받으시면 수송 중에 이상 또는 파손이 발생하지 않았는지 점검한 후 사용해 주십시오 . 특히 부속품 및 패널 면의 스위치 , 단자류를 주의해서 살펴봐 주십시오 . 만일 파손되거나 사양대로 작동하지 않는 경우에 는 당사 또는 대리점으로 연락 주십시오 .

포장 내용물이 맞는지 확인해 주십시오 .

 IM3533 또는 IM3533-01

LCR 미터 ...................................................1

 전원 코드 ................................................1

• 프로브 , 픽스처는 부속되어 있지 않습니다 . 용도에 맞춰 별도 구매하시기 바랍니다 .

• 본체는 공장 출하 시에 “부록 12 초기 설정 일람” (p.부 17) 의 상태로 설정되어 있습니다 .

 사용설명서 ( 본 설명서 ) .........................1

사용 설명서는 다른 언어로도 제공됩니다 . 당사 홈페이지(http://www.hioki.com) 에서 확 인하십시오 .



LCR 애플리케이션 디스크 ( 통신 사용설명서 (PDF 판 ),

통신 커맨드 설명 , USB 드라이버 ,

샘플 애플리케이션 )................................................

• 최신 버전은 당사 홈페이지에서 다운 로드 할 수 있습니다 .

수송상의 주의

본 기기를 수송할 경우에는 배송 시의 포장 재료를 사용해 주십시오 .

참조 : “본 기기를 수송할 때” (p.352)

포장 내용물 확인

옵션에 대해서 상세는 당사 또는 대리점으로 문의해 주십시오 .

L2000 4 단자 프로브

악어클립 타입 범용성이 있어 비교적 가는 선

에서 굵은 선까지 끼울 수 있습 니다 .

9140-10 4 단자 프로브

측정범위 : DC~8 MHz 최대전압 : ± 42 Vpeak （AC+DC） 최대전류 : ± 1 Apeak （AC+DC） 측정 가능 단자 지름 : 0.3 mm~5 mm

9500-10 4 단자 프로브

클립 타입

측정범위 : DC~200 kHz 최대전압 : DC ± 40 V (42 Vpeak ( 측정 신호＋바이어스 전압 )) 최대전류 : 1 Apeak ( 측정 신호＋바이어스 전류 ) 측정 가능 단자 지름 : 0.3 mm~2 mm

9261-10 테스트 픽스처

측정범위 : DC~8 MHz 최대인가전압 : DC ± 40 V 측정 가능 단자 지름 : 0.3 mm~1.5 mm

9263 SMD 테스트 픽스처

칩 부품 등을 측정하는 데 적합한 픽스처입니다 . ( 제로점 조정 후 . 잔류 저항 10 mΩ 이하 )

측정범위 : DC~200 kHz 최대전압 : ± 42 Vpeak (AC+DC) 최대전류 : ± 1 Apeak (AC+DC) 측정 가능 단자 지름 : 0.3 mm~5 mm

L2001 핀셋 프로브

핀셋 타입

측정범위 : DC~8 MHz 최대인가전압 : ± 42 Vpeak(AC+DC) 최대인가전류 : ± 1 Apeak(AC+DC) 선단 전극간격 : 0.3~ 약 6 mm

9262 테스트 픽스처

리드 부품 등을 측정하는 데 적 합한 픽스처입니다 . ( 제로점 조정 후 . 잔류 저항 10 m

측정범위 : 42 Hz~8 MHz 최대인가전압 : DC ± 40 V 시료 치수 : 리드의 지름 0.3 mm~2 mm 리드의 피치 5 mm 이상

9677 SMD 테스트 픽스처

Ω 이하 )

측정범위 : DC~8 MHz 최대인가전압 : DC ± 40 V 시료 치수 : 시료 폭 1 mm~10 mm

9268-10 DC 바이어스 전압 유닛

측정범위 : 40 Hz~8 MHz 최대인가전압 : DC ± 40 V

측정범위 : DC~120 MHz 최대인가전압 : DC ± 40 V 시료 치수 : 시료 폭 3.5 ± 0.5 mm 이하

9269-10 DC 바이어스 전류 유닛

측정범위 : 40 Hz~2 MHz 최대인가전류 : DC2 A

9699 SMD 테스트 픽스처 IM9100 SMD 테스트 픽스처

하면 전극용입니다 .

측정범위 : DC~120 MHz 최대인가전압 : DC ± 40 V 시료 치수 : 시료 폭 1 mm~4 mm 시료 높이 1.5mm 이하

측정범위 : DC~8 MHz 최대인가전압 : ± 42 Vpeak(AC+DC) 최대인가전류 : 0.15 A rms(0.15 ADC） 측정 가능 시료 치수

: 0.4×0.2 mm, 0.6×0.3 mm,1.0×0.5 mm

안전에 대해서

IM9110 SMD 테스트 픽스처

측정범위 : DC~1MHz 최대인가전압 : ± 42 Vpeak(AC+DC) 최대인가전류 : 0.15 A rms(0.15 A DC） 측정 가능 시료 치수

: 0.25×0.125 mm×0.125 mm

Z3000 GP-IB 인터페이스

안전에 대해서

이 기기는 니다 기기를 보를 사용설명서를 잘 읽고 충분히 내용을 이해한 후 조작해 주십시오 . 만일 사고가 발생해도 당 사 제품이 원인이 아닌 경우에는 책임을 지지 않습니다 .

IEC 61010

측정 방법을 잘못하면 인신사고나 기기의 고장으로 이어질 가능성이 있습니다.또한, 본

이

사용설명서에 기재되지 않은 방법으로 사용한 경우 본 기기가 갖추고 있는 안전 확

위한

기능이 손상될 수 있습니다

9478 온도 프로브

백금 측온저항체 (Pt100), 방수 구조 (EN60529:1991,IP67) 측정범위 : -10.0℃~99.9℃

φ 2.3 mm

선단 : 코드길이 : 1 m

Z3001 RS-232C 인터페이스

Z3002 LAN 인터페이스

안전규격에 따라 설계되었으며 시험을 거쳐 안전한 상태에서 출하되었습

이 사용설명서에는 본 기기를 안전하게 조작하고 안전한 상태로 유지하는 데 필요한 정보나 주의사항이 기재 되어 있습니다 . 본 기기를 사용하기 전에 다음의 안전에 관한 사항을 잘 읽어 주십시오 .

안전 기호

사용자는 사용설명서 안의 마크가 있는 부분은 반드시 읽고 주의할 필요가 있음을 나타냅니다 .

사용자는 기기상에 표시된 마크 부분에 관해서 사용설명서의 마크가 있는 해당 부분을 참조하 여 기기를 조작해 주십시오 .

교류 (AC) 를 나타냅니다 .

전원의 “ON”을 나타냅니다 .

전원의 “OFF”를 나타냅니다 .

사용설명서의 주의사항에는 중요도에 따라 다음과 같은 표기가 있습니다 .

조작이나 취급을 잘못하면 사용자가 사망 또는 중상으로 이어질 위험성이 매우 높다는 것을 의미 합니다 .

조작이나 취급을 잘못하면 사용자가 사망 또는 중상으로 이어질 가능성이 있음을 의미합니다 .

조작이나 취급을 잘못하면 사용자가 상해를 입거나 기기가 손상될 가능성이 있음을 의미합니다 .

제품 성능 및 조작 상의 어드바이스를 의미합니다 .

안전에 대해서

규격에 관한 기호

EU 가맹국의 전자 , 전기기기의 폐기에 관한 법 규제 (WEEE 지령 ) 마크입니다 .

EU 지령이 제시한 규제에 적합하다는 것을 나타냅니다 .

표기에 대해서

문장 안의 표기

해서는 안 되는 행위를 나타냅니다 .

(p. )

[ ]

CURSOR

( 굵은체 )

Windows

다이얼로그 Windows 의 대화상자는 “다이얼로그” 라고 표기하였습니다 .

참조 페이지를 나타냅니다 .

용어의 설명을 그 밑에 기술하였습니다 .

메뉴명 , 페이지명 , 설정항목 , 다이얼로그명 , 버튼 등 화면상의 명칭은 [　] 부호로 묶어 표기하였습니다 .

문장 안의 굵은체 영숫자는 조작키에 표시된 문자를 나타냅니다 .

특별히 단서가 붙어 있지 않은 경우 Windows 95, 98, Me, Windows NT4.0, Windows 2000, Windows XP, Windows Vista, Windows 7 을 “Windows”라고 표기하였습니다 .

정확도에 대해서

당사에서는 측정치의 한계 오차를 다음에 나타내는 f.s.(full scale), rdg.(reading), dgt.(digit), setting 에 대한 값으로서 정의합니다 .

f.s. ( 최대표시치 , 눈금 길이 ) 최대표시치 또는 눈금 길이를 나타냅니다 . 일반적으로는 현재 사용 중인 레인지

를 나타냅니다 .

rdg. ( 측정치 , 표시치 , 지시치 ) 현재 측정 중인 값으로 측정기가 현재 지시하고 있는 값을 나타냅니다 . dgt. ( 분해능 ) 디지털 측정기의 최소 표시 단위 , 즉 최소 자릿수인 “1”을 나타냅니다 . setting （설정값） 출력하는 전압값 , 전류값 등 설정한 값을 나타냅니다 .

측정 카테고리에 대해서

측정기를 안전하게 사용하기 위해 IEC61010에서는 측정 카테고리로써 사용하는 장소에 따라 안전 레벨의 기준을 CAT Ⅱ ~ CAT Ⅳ로 분류하고 있습니다 . 개요는 아래와 같습니다 .

CAT Ⅱ 콘센트에 접속하는 전원 코드가 내장된 기기 ( 가반형 공구 , 가정용 전기제품 등 ) 의 1 차 측 전기회로

콘센트 삽입구를 직접 측정하는 경우는 CAT Ⅱ입니다 .

CAT Ⅲ직접 분전반에서 전기를 끌어오는 기기 ( 고정 설비 ) 의 1 차 측 및 분전반에서 콘센트까지의 전기회로

CAT Ⅳ건조물에

대한 인입

전기회로, 인입구에서 전력량계 및 1차 측 전류보호장치(분전반)까지의 전기회로

카테고리의 수치가 작은 클래스의 측정기로 수치가 큰 클래스에 해당하는 장소를 측정하면 중대한 사고로 이어질 수 있으므로 반드시 삼가십시오 .

사용 시 주의사항

본 기기를 안전하게 사용하기 위해 , 또한 기능을 충분히 활용하기 위해 아래 주의사항을 지켜 주십시오 .

사용 전 확인

사용 전에 보관이나 수송에 의한 고장이 없는지 점검하고 동작을 확인한 후 사용해 주십시오 . 고장이 확인된 경우에는 당사 또는 대리점으로 연락 주십시오 .

프로브나 케이블의 피복이 벗겨졌거나 금속이 노출되지 않았는지 사용하기 전에 확인해 주 십시오 . 손상이 있는 경우에는 감전사고가 발생할 수 있으므로 당사 지정 제품으로 교체해 주 십시오 .

본 기기의 설치에 대해서

사용 온습도 범위 : 0~40℃, 20~80% RH 이하의 실내 ( 결로가 없을 것 ) 보관 온습도 범위 : -10 정확도 보증 온습도 범위 : 23 ± 5℃, 80% RH 이하

본 기기의 고장 , 사고의 원인이 되므로 다음과 같은 장소에는 설치하지 마십시오 .

본 기기의 온도 상승을 방지하기 위해 주위에서 지정 거리 이상 간격을 두고 설치해 주십시오 .

• 바닥면이 아닌 부분을 아래로 가게 해서 설치하지 않는다 .

• 불안정한 받침대 위나 기울어진 장소에 두지 않는다 .

• 통풍 구멍을 막지 않는다 .

~55℃, 20~80% RH 이하의 실내 ( 결로가 없을 것 )

직사광선이 닿는 장소 고온이 되는 장소

물 , 기름 , 약품 , 용제 등에 접촉할 수 있는 장소

다습하고 결로가 생기는 장소

먼지가 많은 장소

기계적 진동이 많은 장소

부식성 가스나 폭발성 가스가 발생하는 장소

강력한 전자파를 발생하는 장소 전기를 띠는 물체 근처

유도가열 장치 근처

( 고주파 유도가열 장치 , IH 조리기구 등 )

50 mm 이상 10 mm 이상

본 기기는 스탠드를 세워서 사용할 수 있습니다 .(p.11) 또한 , 랙에 설치할 수 있습니다 .(p. 부 14)

50 mm 이상 통풍 구멍

뒷면

사용 시 주의사항

보증에 대해서

본 기기를 조립 또는 전매하는 경우 수요자에게 직간접적으로 발생한 손해에 대해서는 책임을 지지 않습니다 . 양해 바랍니다 .

본 기기의 취급에 대해서

• 감전사고를 방지하기 위해 본체 케이스는 절대로 분리하지 마십시오 .내부에는 고전압이나 고온이 되는 부분이 있습니다 .

• 본 기기를 적시거나 젖은 손으로 측정하지 마십시오 . 감전사고의 원인이 됩니다 .

• 사용 중에 비정상적인 동작 , 표시가 발생한 경우에는 “문제가 발생했을 경우” (p.353),

“에러 표시” (p.358) 를 확인한 후 당사 또는 대리점으로 연락 주십시오 . 각 레인지의 측정

범위를 넘는 전압 , 전류를 입력하지 마십시오 . 본 기기가 파손됩니다 .

• 본 기기는 방진 및 방수 구조가 아닙니다 . 먼지가 많은 환경이나 물에 접촉할 수 있는 환경 에서 사용하지 마십시오 . 고장의 원인

• 본 기기의 손상을 방지하기 위해 운반 및 취급 시에는 진동 , 충격을 피해 주십시오 . 특히 낙 하 등에 의한 충격에 주의해 주십시오 .

• 스탠드를 세운 채 위에서 강한 힘을 가하지 마십시오 . 스탠드가 손상됩니다 .

• 터치패널을 세게 누르거나 단단한 것 또는 끝이 뾰족한 것으로 누르지 마십시오 . 고장의 원 인이 됩니다 .

• 사용 후에는 반드

시 전원을 꺼 주십시오 .

이 됩니다 .

• 본 기기는 Class A 제품입니다 .

• 주택지 등의 가정 환경에서 사용할 경우 라디오 및 TV 방송 수신을 방해할 수 있습니다 . 그런 경우는 작업자가 적절한 대책을 세워 주십시오 .

전원을 켜기 전에

• 전원을 켜기 전에 본 기기의 전원 접속부에 기재된 전원 전압과 사용할 전원 전압이 일치하

는지를 확인해 주십시오 . 지정한 전원 전압 범위 외에서 사용하면 본 기기의 파손이나 전기 사고의 원인이 됩니다 .

• 전원 전압의 접속을 틀리게 하지 마십시오 . 내부 회로가 파괴될 수 있습니다 .

• 감전 및 단락 사고 방지를 위해 프로브를 접속하기 전에 각 기기의 전원

을 꺼 주십시오 .

코드류 , 픽스처 , 온도 프로브의 취급에 대해서

• 안전을 위해 본 기기를 사용하지 않을 때는 반드시 전원 코드를 본 기기에서 뽑아 완전히

전원에서 분리해 주십시오 . 단선 방지를 위해 전원 코드를 콘센트 또는 본 기기에서 뽑을 때는 플러그 ( 코드 이외 ) 를 잡고 뽑아 주십시오 .

• 측정 단자에 전압을 인가하지 마십시오 . 본 기기가 파손될 수 있습니다 .

•BNC 커넥터를 뽑을 때는 반드시 잠금을 해제한 후 커넥터 제하지 않고 무리하게 잡아당기거나 케이블을 잡고 잡아당기면 커넥터부가 파손됩니다 .

• 단선에 의한 고장을 방지하기 위해 케이블 또는 프로브 연결부위를 구부리거나 잡아당기 지 마십시오 .

• 코드류의 피복이 손상되지 않도록 밟거나 끼우거나 하지 마십시오 .

• 코드가 녹으면 금속부가 노출되어 위험합니다 . 발열부 등에 접촉하지 않도록 해주십시오 . 피측정 도선이 고온인 경우가 있으므로 만지지 마

• 온도 프로브에는 백금 박막의 정밀 가공이 되어 있습니다 . 과도하게 높은 전압 펄스나 정전 기가 발생하면 파손될 가능성이 있습니다 .

• 온도 프로브 선단에 과도한 충격을 가하거나 리드선을 무리하게 구부리지 마십시오 . 고장 이나 단선의 원인이 됩니다 .

• 온도 프로브의 손잡이 부분 및 보상 도선이 지정 온도범위를 넘지 않도록 주의해 주십시오 .

• 온도 프로브 선단 해 주십시오 .

• 사용하지 않는 커넥터에는 반드시 보호 캡을 씌워 주십시오 . 보호 캡이 제대로 씌워지지 않 은 경우 커넥터에 먼지 등의 이물질이 부착하여 고장의 원인이 됩니다 .

• 온도 프로브의 시스 안에는 산화마그네슘 분말이 충전되어 있습니다 . 만일 프로브가 파손

된 경우 산 도록 취급에 주의해 주십시오 . 산화마그네슘 분말을 대량으로 섭취하면 건강을 해칠 수 있 습니다 .

에는 나일론 재질의 보호 캡이 붙어 있습니다 . 측정 시에는 분리하여 사용

화마그네슘 분말이 유출될 가능성이 있으므로 시스에 과도한 힘이 가해지지 않

사용 시 주의사항

를 잡고 뽑아 주십시오.잠금을 해

십시오 .

• 본 기기를 사용할 때는 반드시 당사 지정 접속 케이블을 사용해 주십시오 . 지정 이외의 접 속 케이블을 사용하면 접촉 불량 등으로 정확한 측정을 할 수 없는 경우가 있습니다 .

• 픽스처 등을 사용할 때는 사용할 제품에 부속된 사용설명서를 잘 읽어 주십시오 .

EXT I/O 커넥터에 접속하기 전에

감전사고 , 기기 고장을 방지하기 위해 EXT I/O 커넥터에 접속할 때는 다음 사항을 지켜 주십 시오 .

• 본 기기 및 접속할 기기의 전원을 차단한 후 접속해 주십시오 .

• EXT I/O 커넥터 신호의 정격을 넘지 않도록 해주십시오 .(p.324)

• 동작 중에 접속이 해제되어 다른 도전부 등에 접촉하면 위험합니다 . 외부 커넥터에 접속할 때는 나사로 확실하게 고정해 주십시오 .

• EXT I/O 커넥터에 접속할 기기 및 장치

• EXT I/O 의 ISO_5V 단자는 5 V 전원 출력입니다 . 외부에서 전원을 입력하지 마십시오 .

는 적절하게 절연해 주십시오 .

사용 시 주의사항

인터페이스 ( 옵션 ) 에 대해서

교환 전에

• 본 기기와 컴퓨터의 접지(어스 ) 는 공통으로 해주십시오. 접지가 다르면 본 기기의 GND 와 컴퓨터의 GND 사이에 전위차가 발생합니다 . 전위차가 있는 상태에서 통신 케이블을 연결 하면 오동작이나 고장의 원인이 됩니다 .

• 통신 케이블을 연결하거나 분리할 때는 반드시 본 기기 및 컴퓨터의 전원을 꺼 주십시오 . 오동작이나 고장의 원인이 됩니다 .

• 통신 케이블 연결 후에는 커넥터에 달려 있는 나사 결을 확실하게 하지 않으면 오동작이나 고장의 원인이 됩니다 .

• 감전사고 방지를 위해 인터페이스의 추가나 교환은 본체 전원을 끄고 모든 접속 코드와 전 원 코드를 분리한 후 장착 또는 분리해 주십시오 .

• 인터페이스의 커넥터 탈착 시에는 각 기기의 전원을 꺼 주십시오 . 감전사고의 원인이 됩니 다 .

인터페이스 ( 옵션 ) 를 사용하지 않을 때

감전사고 방지를 위해 인터페이스를 제거한 상태에서 사용하지 마십시오 . 인터페이스를 제 거해 둘 때는 반드시 블랭크 패널을 장착해 주십시오 .

를 확실하게 고정해 주십시오 . 커넥터 연

LCR 애플리케이션 디스크의 취급

• 디스크에 지문 등의 오염이 묻지 않도록 또한 인쇄물에 잔줄이 생기지 않도록 취급 시에는 반드시 디스크의 테두리를 잡도록 하십시오 .

• 디스크의 기록 면에는 절대 손을 대지 않도록 하십시오 . 또한 , 단단한 물건 위에 직접 올려 놓지 않도록 하십시오 .

• 디스크의 레벨 표시가 지워질 가능성이 있으므로 디스크를 휘발성 알코올이나 물에 젖지 않도록 하십시오 .

• 디스크 레벨 면에 글자를 써넣 혀 기록 내용을 파손할 위험성이 있으므로 볼펜이나 그 밖에 끝이 단단한 펜은 사용하지 마 십시오 . 또한 , 점착성 라벨도 사용하지 마십시오 .

• 디스크가 일그러지거나 기록 내용이 파손될 위험성이 있으므로 직사광선이나 고온다습한 환경에 디스크를 노출하지 마십시오 .

• 디스크의 얼룩이나 먼지 , 지문 등을 제거할 때는 마른 부드러 해 주십시오 . 항상 안쪽에서 바깥쪽으로 닦아내도록 하고 , 절대 원을 그리듯이 닦지 마십 시오 . 또한 , 연마제나 용제계 클리너는 사용하지 마십시오 .

• 이 LCR 애플리케이션 디스크를 사용함으로써 발생하는 컴퓨터 시스템상의 트러블 및 제품 구매 시의 트러블에 대해서 당사는 일체 책임을 지지 않습니다 .

을 때는 유성 펠트 펜을 사용해 주십시오 .디스크에 손상을 입

운 천 또는 CD 클리너를 사용

1.1

제품 개요와 특장점

개요 제 1 장

1.1 제품 개요와 특장점

Hioki IM3533 및 IM3533-01 LCR 미터는 고속 , 고정밀도를 실현한 임피던스 측정기입니다 . 측정 주파수는 1 mHz~200 kHz, 측정 신호 레벨은 5 mV~5 V 로 광범위한 측정 조건을 설정할 수 있습니다 . 또한 , 트랜스 코일 측정 전용화면 , 온도 보정 기능 내장 직류저항 측정 , 애널라이저 기능 (IM3533-01 만 ) 등 에 의해 트랜스 코일 생산 라인에서 연구개발에 이르기까지 폭넓은 용도로 사용할 수 있습니다 .

광범위한 측정 조건 (p.49)

측정 주파수는

5 mV~5 V

애널라이저 모드 (IM3533-01 만 ) (p.147)

주파수 스위프 기능에 의해 주파수 특성을 측정할 수 있습 니다 .( 리스트 표시만 )

1 mHz~200 kHz, 측정 신호

로 광범위한 측정 조건으로 측정할 수 있습니다

레벨은

고속 측정 가능

고속 측정이 가능합니다 . 최고속도 2 ms( 대표치 ) 로 측정할 수 있습니다 .

트랜스 모드 (p.191)

트랜스 코일 등의 권선을 전용화면에서 효율적으로 측 정할 수 있습니다 .

제 1 장 개요

연속 측정 모드 (p.207)

본체에 메모리한 측정 조건을 연 속으로 측정할 수 있습니다 . 이 기능을 통해 다른 측정 조건에서 의 양부 판정 등이 가능합니다 .

( 예 : 120 Hz 에서의 C-D 측정과 100 kHz 에서의 Rs 측정을 연속 으로 실시 )

콤퍼레이터 기능

• LCR 모드 : (p.101) 2 개의 파라미터에 대해 측정치에 의한 HI/IN/LO 의 양부 판정이 가능합니다 .

• 트랜스 모드 : (p.197)

연산 파라미터에 대해 HI/IN/LO 의 양부 판정이 가 능합니다 .

저 임피던스를 고정밀도로 측정 가능

LCR 모드에서는 저 임피던스를 고정밀도로 측정하기 위한 설정이 있습니다 .

다양한 인터페이스에 대응

생산 라인에 최적인 외부 I/0( 핸들 러 인터페이스 ), USB, GP-IB, RS-

232C, LAN 에 대응할 수 있습니다 .

GP-IB, RS-232C, LAN 은 옵션

BIN 기능 (p.108)

LCR 모드에서는 최대 10 분류까지 측정치에 의한 등급 구분을 쉽게 할 수 있습니다 .

온도 보정 기능

직류 저항 측정에서는 온도 보정 기능을 통해 한층 높은 정밀도로 측정할 수 있습니다 .

1.2

각부의 명칭과 기능

1.2 각부의 명칭과 기능

정　면

측정 LED

측정 중에는 LED 가 점등합니다 .

( 예 : IM3533)

판정 결과 표시 LED

콤퍼레이터 , BIN 측정의 판정 결과를 LED 로 표시합니다 .

LCR 모드 (p.101) 트랜스 모드 (p.197)

액정 디스플레이

터치패널 디스플레이입니다 . 화면에 표시되는 키를 눌러 기기를 조작합니다 .

앞면 USB 커넥터

USB 메모리를 접속합니다 .

(p.272)

바닥면

측정 단자

프로브나 픽스처를 접속합니다 . (p.32)

•H

•L

• GUARD 단자 : 실드용 단자 ( 계측용 GND)

단자 : 전류 발생 단자

CUR

단자 : HIGH 측 전압 검출 단자

POT

단자 : LOW 측 전압 검출 단자

POT

단자 : 전류 검출 단자

CUR

본 기기는 랙에 설치할 수 있습니다 .

참조 : “부록 10 랙 마운팅” (p. 부 14)

본 기기에서 분리한 부품은 다시 사용할 때를 위해 소중히 보관 해 주십시오 .

스탠바이 키

기동 스탠바이 상태로 합니다 . (p.35)

( 주전원은 뒷면에 있습니다 )

1.2

각부의 명칭과 기능

뒷　면

주전원

전원을 ON/OFF 합니다 .

(p.35)

EXT I/O 커넥터

PLC 나 I/O 보드와 접속하여 측정을 시작하거나

판정 결과를 추출할 수 있습니다 .

(p.307)

인터페이스 삽입구

옵션의 인터페이스를 장착할 수 있습니다 . (p.261), ( 통신 사용설명서 (LCR 애플리케이션 디스크 ))

• Z3000 GP-IB 인터페이스

• Z3001 RS-232C 인터페이스 ( 프린터를 사용할 때 )

TC SENSOR 단자

온도 프로브를 접속하여 저항 치를 기준 온도로 환산할 수 있습니다 .

(p.33)

, ( p. 부 12)

LAN 의 MAC 어드레스

(p.262), ( 통신 사용설명서

(LCR

애플리케이션 디스크

제 1 장 개요

))

전원 인렛

전원 코드를 접속합니다 . (p.31)

좌　측　면

통풍 구멍

막지 않도록 설치해 주십시오 . (p.5)

뒷면 USB 커넥터

컴퓨터와 접속하면 통신 커맨드로 본 기기를 제어할 수 있습니다 . ( 통신 사용설명서 (LCR 애플리케 이션 디스크 )

우　측　면

스탠드

본 기기를 기울일 수 있습니다 .

제조번호

제조번호를 나타냅니다 . 관리상 필요하므로 떼어내지 마십시오 .

스탠드를 세운 채 위에서 강한 힘을 가하지 마십시오 . 스탠드가 손상됩니다 .

1.3

화면 구성과 조작

1.3 화면 구성과 조작

본 기기는 측정 조건의 설정이나 변경을 모두 터치패널에서 실행합니다 . 화면상의 키에 살짝 터치하면 그 키에 설정된 항목이나 수치를 선택할 수 있습니다 . 선택된 키는 흑색으로 반전됩니다 . 이후 화면에 살짝 “터치한다” 는 것을 “누른다” 로 기재합니다 .

터치패널을 세게 누르거나 단단한 것 또는 끝이 뾰족한 것으로 누르지 마십시오 . 고장의 원인이 됩니다 .

1.3.1 초기화면

전원을 켰을 때 맨 처음 표시되는 화면입니다 . 측정 조건을 확인하면서 측정할 수 있습니다 . 다시 전원을 켰을 때는 전원을 끄기 직전

의 측정 모드에 맞춰 표시됩니다 .

선택한 측정 모드를 나타 냅니다 .

파라미터 키

각 파라미터의 설정을 합니다 . (p.28)

모니터 값

Vac, Vdc: 시료의 단자간 전압 Iac, Idc: 시료에 흐르는 전류치

조작 키

상황에 따라 조작 키를 표시합 니다 . (p.45)

현재 설정된 인터페이스가 표시됩니 다 .

메뉴 키

측정 모드를 선택한다 . (p.13)

상세를 설정한다 . (p.14)

보정 설정을 한다 . (p.24)

시스템 설정을 한다 . (p.25)

저장 설정을 한다 . (p.27)

와 의 설정 내용은 측정 모드

에 따라 다릅니다 .

측정 조건 표시 가능 페이지 수를 나타냅니다 .

측정 조건을 표시합니다 .

1.3

화면 구성과 조작

1.3.2 측정 모드 선택 화면

측정 모드를 선택합니다 .

순　서

측정화면

제 1 장 개요

를 누른다 .

IM3533 의 경우

IM3533-01 의 경우

모드 선택 (IM3533) 모드 선택 (IM3533-01)

선택한 모드의 측정 화면을 표시합니다 .

측정 모드를 선택한다 .

LCR 모드 (p.45)

애널라이저 모드 (IM3533-01 만 ) (p.147)

트랜스 모드 (p.191)

연속 측정 모드 (p.207)

측정 모드를 변경했을 때는 모든 설정 ( 보정 포함 ) 을 확인한 후 측정해 주십시오 .

1.3

화면 구성과 조작

1.3.3 상세 설정 화면

변경하려는 측정 조건 등 상세를 설정하는 화면입니다 . 사전에 측정 모드 (p.13) 를 선택한 후 설정해 주십시오 .

순　서

LCR 모드 , 트랜스 모드 , 연속 측정 모드 각각을 설정한다 .

IM3533-01 에서는 애널라이저 모드도 설정할 수 있습니다 .

측정화면

LCR 모드

기본 설정

을 누른다 .

측정 주파수의 설정 (p.49)

LCR 모드 측정 화면을 표시합니다 .

측정 신호 레벨의 설정 (p.51)

전압 , 전류 리밋의 설정 (p.55)

DC 바이어스 설정 (p.57)

트리거 설정 (p.59)

측정 레인지의 설정 (p.61)

측정 속도의 설정 (p.72)

애버리지 설정 (p.73)

트리거 딜레이의 설정 (p.75)

트리거 동기 출력 기능의 설정 (p.76)

1.3

화면 구성과 조작

직류 저항 측정의 설정

LCR 모드 측정 화면을 표시합니다 .

온도 보정 기능의 설정 (p.80)

DC 딜레이의 설정 (p.82)

어저스트 딜레이의 설정 (p.84)

전원 주파수의 설정 (p.86)

측정 레인지의 설정 (p.87)

측정 속도의 설정 (p.97)

애버리지 설정 (p.98)

제 1 장 개요

1.3

화면 구성과 조작

응용 설정

측정 결과 판정의 설정 (p.99)

레인지 동기 기능의 설정 (p.119)

파형 평균 기능의 설정 (p.126)

Hi Z 리젝트 기능의 설정 (p.128)

콘택트 체크 기능의 설정

(p.130)

판정 결과의 I/O 출력 설정 (p.132)

LCR 모드 측정 화면을 표시합니다 .

I/O 트리거의 설정 (p.134)

EOM 의 출력 방법 설정 (p.135)

측정 결과의 저장 설정 (p.136)

각 파라미터의 표시자릿수 설정 (p.138)

액정 디스플레이 설정 (p.140)

비프음 설정 (p.141)

키 록 설정 (p.142)

패널의 로드 및 세이브 (p.247)

시스템 리셋 (p.145)

1.3

화면 구성과 조작

설정 정보의 확인

교류 신호 (AC) 에 관한 정보를 표시한 경우

설정한 내용을 측정 화면 상에서 확인할 수 있습니다 표시한 정보에 따라 키 표시가 전환됩니다 .

교류 신호 (AC) 에 관한 정보의 표시

직류 신호 (DC) 에 관한 정보의 표시

콤퍼레이터 측정을 설정했을 때

콤퍼레이터 측정의 판정 기준에 관한 정보의 표시

BIN 측정을 설정했을 때

BIN 측정의 판정 기준에 관한 정보의

표시

제 1 장 개요

직류 신호 (DC) 에 관한 정보를 표시한 경우

콤퍼레이터 측정의 판정 결과에 관한 정보를 표시한 경우

BIN 측정의 판정 결과에 관한 정보를 표시한 경우

1.3

화면 구성과 조작

애널라이저 모드 (IM3533-01 만 )

기본 설정

측정 파라미터의 설정 (p.148)

트리거 설정 (p.149)

표시 타이밍 설정 (p.150)

트리거 딜레이의 설정 (p.151)

소인점 설정 (p.153)

리스트

측정 레벨 신호의 설정 (p.156)

애널라이저 모드 측정 화면을 표시합니다 .

측정 레인지의 설정 (p.158)

측정 속도의 설정 (p.164)

애버리지 설정 (p.165)

포인트 딜레이 설정 (p.166)

DC 바이어스의 설정 (p.167)

애널라이저 모드 측정 화면을 표시합니다 .

1.3

화면 구성과 조작

응용 설정

애널라이저 모드 측정 화면을 표시합니다 .

트리거 동기 출력 기능의 설정 (p.169)

파형 평균 기능의 설정 (p.171)

Hi Z 리젝트 기능의 설정 (p.173)

콘택트 체크 기능의 설정 (p.175)

측정 결과의 저장 설정 (p.177)

AUTO 레인지 제한 기능 (p.180)

액정 디스플레이 설정 (p.182)

비프음 설정 (p.183)

키 록 설정 (p.184)

제 1 장 개요

IO 트리거의 설정 (p.187)

EOM 출력 방법 설정 (p.188)

패널의 로드 및 세이브 (p.249)

시스템 리셋 (p.189)

1.3

화면 구성과 조작

트랜스 모드

기본 설정

트랜스 모드 측정 화면을 표시합니다 .

측정 주파수의 설정 (p.49)

측정 신호 레벨의 설정 (p.51)

전압 , 전류 리밋의 설정 (p.55)

측정 레인지의 설정 (p.61)

측정 속도의 설정 (p.72)

애버리지 설정 (p.73)

트리거 딜레이의 설정 (p.75)

트리거 동기 출력 기능의 설정 (p.76)

1.3

화면 구성과 조작

응용 설정

트랜스 모드 측정 화면을 표시합니다 .

측정 결과 판정의 설정 (p.197)

레인지 동기 기능의 설정 (p.119)

파형 평균 기능의 설정 (p.126)

Hi Z 리젝트 기능의 설정 (p.128)

콘택트 체크 기능의 설정

(p.130)

판정 결과의 I/O 출력 설정 (p.132)

I/O 트리거의 설정 (p.134)

EOM 의 출력 방법 설정 (p.135)

제 1 장 개요

측정 결과의 저장 설정 (p.136)

각 파라미터의 표시자릿수 설정 (p.138)

액정 디스플레이 설정 (p.140)

비프음 설정 (p.141)

키 록 설정 (p.142)

패널의 로드 및 세이브 (p.247)

시스템 리셋 (p.145)

1.3

화면 구성과 조작

설정 정보의 확인

설정한 내용을 측정 화면 상에서 확인할 수 있습 니다 .

트랜스 모델의 표시

교류 신호 (AC) 에 관한 정보의 표시

표시한 정보에 따라 키 표시가 전환됩니다 .

교류 신호 (AC) 에 관한 정보를 표시한 경우

트랜스 모델을 표시한 경우

1.3

화면 구성과 조작

연속 측정 모드

기본 설정

연속 측정 모드 측정 화면을 표시합니다 .

제 1 장 개요

연속 측정 대상에서 제외한다 (p.208)

연속 측정 대상으로 삼는다 (p.208)

모두 연속 측정 대상에서 제외한다

(p.208)

모두 연속 측정 대상으로 삼는다 (p.208)

패널 내용의 표시 (p.208)

응용 설정

연속 측정 모드 측정 화면을 표시합니다 .

표시 타이밍 설정 (p.211)

액정 디스플레이 설정 (p.212)

1.3

화면 구성과 조작

1.3.4 보정 설정 화면

순　서

보정 조건을 설정한다 .

측정화면

를 누른다 .

오픈 보정 설정 (p.213)

쇼트 보정 설정 (p.222)

측정 화면을 표시합니다 .

로드 보정 설정 (p.230)

케이블 길이 보정 설정 (p.243)

스케일링 설정 (p.244)

1.3

화면 구성과 조작

1.3.5 시스템 설정 화면

순　서

시스템의 상세를 설정한다 .

측정화면

제 1 장 개요

를 누른다 .

인터페이스의 종류 설정

측정 화면을 표시합니다 .

RS-232C 설정 ( 통신 사용설명서

(LCR 애플리케이션 디스크 ))

( Z3001 을 장착했을 때만 설정 가능 )

GP-IB 설정 ( 통신 사용설명서

(LCR 애플리케이션 디스크 ))

( Z3000 을 장착했을 때만 설정 가능 )

USB 설정 ( 통신 사용설명서

(LCR 애플리케이션 디스크 ))

( 표준 설정 )

LAN 설정 ( 통신 사용설명서

(LCR 애플리케이션 디스크 ))

( Z3002 를 장착했을 때만 설정 가능 )

프린터 설정 (p.329)

( Z3001 을 장착했을 때만 설정 가능 )

1.3

화면 구성과 조작

본 기기의 버전 확인

표시 화면의 확인

(p.262)

측정 화면을 표시합니다 .

패널 테스트 (p.263)

패널 보정 (p.264)

일시 설정

(p.270)

측정 화면을 표시합니다 .

화면 표시 테스트

(p.266)

ROM/RAM 테스트 (p.268)

I/O

테스트

(p.269)

본 기기에 설정된 현재 일시를 표시합니다 .

설정 일시를 확정합니다 .

측정 화면을 표시합니다 .

1.3

화면 구성과 조작

1.3.6 저장 설정 화면

순　서

저장위치나 방법을 설정한다 .

측정 조건의 저장

측정화면

제 1 장 개요

를 누른다 .

저장 방법의 설정

설정 조건의 저장 (p.291)

조작 버튼의 전환 (p.273)

1 개 위의 계층을 표시 (p.273)

파일의 선택 (p.273)

측정 화면을 표시합니다 .

저장 타입의 설정

(p.275)

저장위치의 폴더 설정 (p.289)

측정 화면을 표시합니다 .

1.3

화면 구성과 조작

1.3.7 파라미터 설정 화면

표시할 측정 파라미터를 선택하는 화면입니다 .

참조 : “4.1.2 표시 파라미터 설정하기” (p.46), “부록 7 직렬 등가 회로 모드와 병렬 등가 회로 모드에 대해서” (p. 부 10)

순　서

설정할 키를 누른다 .

제 1 파라미터 키

제 2 파라미터 키

제 3 파라미터 키

제 4 파라미터 키

임피던스 (Ω)

어드미턴스 (S)

임피던스의 위상각 ( ° )*

파라미터를 선택한다 .

파라미터 설정측정화면

측정 화면을 표시합니다 .

리액턴스 (Ω)

직렬 등가 회로 모드의 인덕턴스

(H)

직렬 등가 회로 모드의 실효 저항 = ESR(Ω)

병렬 등가 회로 모드의 실효 저항 (Ω)

직렬 등가 회로 모드의 정전용량 (F)

병렬 등가 회로 모드의 정전용량 (F)

손실계수 = tanδ

컨덕턴스 (S)

* 위상각 θ 는 임피던스 Z 를 기준으로 표시합니다 . 어드미턴스 Y 를 기준으로 측정하는 경우는 임피던스 Z 의 위상각 θ 의 부호가 반전됩니다 .

병렬 등가 회로 모드의 인덕턴스

Q 팩터

서셉턴스 (S)

직류 저항 (Ω)

온도 (°C)

측정 파라미터의 표시를 중지합니다

(H)

2.1

측정 전 준비 제 2 장

본 기기를 설정하기 전에 반드시 “사용 시 주의사항” (p.5) 을 읽어 주십시오 . 랙 마운팅에 대해서는 “부록 10 랙 마운팅” (p. 부 14) 을 참조해 주십시오 .

2.1 준비 순서

본 기기를 설치한다 (p.5)

전원 코드를 접속한다 (p.31)

준비 순서

제 2 장 측정 전 준비

측정 단자에 측정 케이블 , 프로브 , 픽스처를 접속한다 (p.32)

본 기기의 전원이 꺼졌는지 확인해 주십시오 .

외부 인터페이스를 접속한다 ( 필요에 따라서 )

• USB 케이블

•GP-IB 케이블 (Z3000 접속 시에만 )

• 프린터 (Z3001 접속 시에만 )(p.329)

전원을 켠다 (p.35)

• RS-232C 케이블 (Z3001 접속 시에만 )

•LAN 케이블 (Z3002 접속 시에만 )

• EXT I/O (p.307)

정면뒷면

9478 온도 프로브 ( 옵션 )

본 기기를 설정한다

직류 저항을 측정할 때는 측정하기 전에 반드시 전원 주파수를 설정해 주십시오 .

참조 : “4.3.4 전원 주파수 설정하기” (p.86)

시료를 접속한다

사용 후 시료를 분리하고 전원을 끈다 (p.35)

2.2

측정 전 점검

2.2 측정 전 점검

사용 전에 반드시 “사용 시 주의사항” (p.5) 을 읽어 주십시오 .

주변기기의 점검

전원 코드의 피복이 벗겨지거나 금속이 노출 되지는 않았나요 ?

노출되지 않음

측정 케이블류의 피복이 벗겨지거나 금속이 노출되지는 않았나요 ?

노출되지 않음

본 기기의 점검

본 기기에 파손된 부분은 없나요 ?

없다

전원을 켰을 때

오프닝 화면 표시 ( 형명 , 버전 ) 가 되나요 ?

오프닝 화면

노출됨

있다

표시되지 않음

손상이 있는 경우에는 감전사고나 단락 사 고의 원인이 되므로 사용하지 마십시오 . 당사 또는 대리점으로 연락 주십시오 .

손상이 있는 경우는 측정치가 불안정해지거 나 오차가 발생할 가능성이 있습니다 . 손상되지 않은 것으로 교체할 것을 권장합니 다 .

손상이 있는 경우에는 수리를 맡기십시오

전원 코드가 단선되었거나 본 기기 내부 가 고장 났을 가능성이 있습니다 . 수리를 맡기십시오 .

표시됨

오프닝 화면에서 에러가 표시되나요 ?

표시되지 않음

점검 완료

에러 표시가 됨

(Err)

본 기기 내부가 고장 났을 가능성이 있습니 다 . 수리를 맡기십시오 .

참조 : “15.2 문제가 발생했을 경우”

(p.353)

“15.3 에러 표시” (p.358)

2.3

전원 코드 접속하기

2.3 전원 코드 접속하기

접속 전에 반드시 “전원을 켜기 전에” (p.6), “코드류 , 픽스처 , 온도 프로브 의 취급에 대해서” (p.7) 를 읽어 주십시오 .

전원 코드를 본 기기에 접속하고 콘센트에 삽입합니다 .

전원 인렛

본 기기의 전원이 꺼졌는지 확인한다 .

전원 전압과 일치하는 전원 코드를 전원 인렛에 접속한

뒷면

다 .(AC100 V~240 V)

전원 코드의 삽입 플러그를 콘센트에 접속한다 .

제 2 장 측정 전 준비

전원을 끄고 나서 전원 코드를 삽입 및 제거하십시오 .

2.4

측정 케이블, 프로브, 픽스처 접속하기

2.4 측정 케이블 , 프로브 , 픽스처 접속하기

접속 전에 반드시 “코드류 , 픽스처 , 온도 프로브의 취급에 대해서” (p.7) 를 읽어 주십시오 .

측정 단자에 측정 케이블 또는 당사 옵션의 프로브나 테스트 픽스처를 접속합니다 . 당사 옵션에 대해서는 “옵션에 대해서” (p.2) 를 참조해 주십시오 . 취급 방법 등의 상세에 대해서는 사용할 픽스처 등의 사용설명서를 참조해 주십시오 .

측정 케이블 , 픽스처 접속하기

품명이 인쇄된 면을 위로 가게 하여 측 정 단자에 직접 삽입한 후 좌우 레버로 고정합니다 .

( 옵션의 9140-10, L2001 을 접속할 경우 ) 적색 플러그를 H

단자와 L

CUR

단자와 H

CUR

단자에 접속해 주십시오 .

POT

단자에 , 흑색 플러그를

( 옵션의 9500-10 을 접속할 경우 ) H

, H

, L

CUR

POT

의 측정 단자에 바르게 접속해 주십시오 .

CUR

의 BNC 플러그를 접속 기기 각각

POT

프로브를 자체 제작할 경우의 주의점

• 측정 케이블은 50 Ω 계 동축 케이블을 사용해 주십시오 .

• 케이블 길이는 본체의 설정과 같은 길이가 되게 해주십시오 .(IM3533: 1 m, IM3533-01: 1 m/ 2 m/ 4 m)

• 케이블 길이는 BNC 커넥터 선단에서 프로브 전극 선단까지의 길이가 됩니다 .

• 심선이 노출되는 부분은 가능한 한 짧게 해주십시오 .

•H

CUR

POT

, L

의 실드는 피측정물 측에서 실드끼리 접속해 주십시오 .

POT

, L

, H

( 실드가 심선과 접속되지 않도록 해주십시오 )

• 기본적으로 프로브, 픽스처 등(옵션)은 Hioki 제품을 사용해 주십시오.프로브를 자체 제작 한 경우 본 기기의 사양을 충족하지 못할 수 있습니다 .

참조 : “옵션에 대해서” (p.2)

•4단자를 모두 개방하면 전혀 의미 없는 숫자가 표시되는 경우가 있습니다 .

측정 단자의 구성

픽스처

일반 모드

2.5

온도 프로브 접속하기

2.5 온도 프로브 접속하기

접속 전에 반드시 “코드류 , 픽스처 , 온도 프로브의 취급에 대해서” (p.7) 를 읽어 주십시오 .

뒷면

커플링

본 기기의 전원이 꺼졌는지 확인한다 .

커넥터 부분을 잡고 화살표가 윗면을 향하도록 접속한다 .

달칵하는 소리가 나면서 커넥터가 록 됩니다 .

커넥터 ( 커플링 이외의 부분 ) 를 잡고 살짝 당겨서 제대로

접속되었는지 확인한다 .

온도 프로브를 분리할 경우 :

커넥터의 커플링 부분을 잡고 똑바로 빼냅니다 .

제 2 장 측정 전 준비

9478 시스형 온도 프로브의 측온부는 금속 시스의 선단에 있습니다 . 피측정물의 내부 온도를 측정하는 경우 아래와 같이 정확하게 측정하기 위해 금속 시스를 길 이 40 mm 이상 삽입해 주십시오 .

40 mm 이상

2.6

인터페이스 접속하기

2.6 인터페이스 접속하기

접속 전에 반드시 “ 인터페이스 ( 옵션 ) 에 대해서” (p.8) 를 읽어 주십시오 .

옵션의 인터페이스를 장착 및 교환할 경우 또는 인터페이스를 분리하여 사용하지 않을 경우에 잘 읽어 주십시 오 .

인터페이스 장착하기

준비물 : 십자드라이버

뒷면

본 기기의 전원 코드를 콘센트에서 뽑는다 .

접속 코드류를 분리한다 .

블랭크 패널을 분리한다 .

인터페이스의 방향에 주의하여

깊숙이 확실하게 삽입한다 .

인터페이스의 2 개 고정 나사를

십자드라이버로 단단히 조인다 .

인터페이스를 분리할 경우 :

전원 코드를 콘센트에서 뽑고 위와 반대 순서로 인터페이스를 분리합니다 .

인터페이스를 분리한 후 사용하지 않을 경우

뒷면

본 기기의 전원 코드를 콘센트에서 뽑는다 .

접속 코드류를 분리한다 .

블랭크 패널을 장착하고

2 개의 고정 나사를 십자드라이버로 단단히 조인다 .

블랭크 패널을 분리한 상태에서 측정하면 사양을 충족하 지 못합니다 .

본 기기에 장착된 인터페이스의 정보는 화면에서 확인할 수 있습니다 .

참조 : “10.1 인터페이스 설정하기” (p.261), “10.2 본 기기의 버전 확인” (p.262)

2.7 전원 켜기 , 끄기

프로브나 테스트 픽스처를 접속했다면 본체 주전원을 켭니다 .

전원 스위치

2.7

전원 켜기, 끄기

제 2 장 측정 전 준비

주전원 켜기

스탠바이 상태에서 주전원을 끈 경우 다시 주전원을 켜면 스탠바이 상태에서 기동합니다 .

주전원 끄기

뒷면의 전원 스위치를 ON( I ) 으로 한다 .

녹색으로 점등

사양의 정확도로 측정하기 위해 본 기기의 전원을 켠 후 워밍업을 60 분 이상 실시해 주십시오 .

뒷면의 전원 스위치를 OFF( ) 로 한다 .

전원 스위치를 OFF 로 해도 본 기기의 설정은 유지됩니다 .( 백업 )

LED 소등

정전 등으로 전원에 이상이 있을 때는 정전되기 전의 측정 모드로 복귀합니다 .

2.7

전원 켜기, 끄기

스탠바이 상태로 하기

주전원이 ON 인 상태에서 정면의 스탠바이 키를 약 2 초간 길게 누른다 .

적색으로 점등

스탠바이 상태란 ?

측정을 정지하고 스탠바이 키 검출을 기다리는 상태를 말합니다 . 스탠바이 키 검출을 위해 동작하는 회로가 있으며 소비 전력은 약 4 W 입니다 .

스탠바이 상태 해제하기

본 기기가 스탠바이인 상태에서 정면의 스탠바이 키를 누른다 .

사양의 정확도로 측정하기 위해 스탠바이 상태를 해제한 후 웜업을 60 분 이상 실시해주십시오 .

녹색으로 점등

3.1 LCR

측정 예 제 3 장

LCR 모드 , 애널라이저 모드 (IM3533-01 만 ) 및 트랜스 모드의 측정 예는 다음과 같습니다 .

3.1 LCR 모드의 경우

적층 세라믹 콘덴서 측정하기

준비물 : 9263 SMD 테스트 픽스처 , 측정하려는 적층 세라믹 콘덴서

측정 단자에 9263 SMD 테스트 픽스처를 접속한다 .

모드의 경우

제 3 장 측정 예

접속 방법은 픽스처 부속 사용설명서를 참조해 주십시오 .

제 1 파라미터를 Cs 에 , 제 3 파라미터를 D 에 설정한다 .(p.46)

측정 조건을 설정한다 .

측정 화면에서 을 눌러 설정하려는 항목을 선택하여 다음과 같이 설정합니다 .

LCR 기본 설정

측정 주파수 : 1.0000 kHz (p.49)

측정 신호 모드 : 개방전압 (V) 모드 (p.51) 측정 신호 레벨

전압 , 전류 리밋 : OFF (p.55)

DC 바이어스 : OFF (p.57)

트리거 : INT (p.59)

: 1.000 V (p.51)

측정 레인지 : AUTO (p.61)

측정 속도 : MED (p.72)

애버리지 : OFF (p.73)

트리거 딜레이 : 0.0000 s (p.75)

트리거 동기 출력 기능의 설정 : OFF (p.76)

3.1 LCR

모드의 경우

시료를 9263 SMD 테스트 픽스처에 접속한다 .

시료 접속 방법은 픽스처에 부속된 사용설명서를 참조해 주십시오 .

측정 결과를 본다 .

• 측정 결과를 판정하려면

참조 : “4.4.1 상하한치로 판정하기 ( 콤퍼레이터 측정 )”

(p.101)

• 측정 결과를 저장하려면

참조 : “4.5.8 측정 결과 저장하기 ( 메모리 기능 )”

(p.136)

3.2

애널라이저 모드의 경우

3.2 애널라이저 모드의 경우 (IM3533-01 만 )

애널라이저 모드에서는 주파수를 임의의 범위로 소인할 수 있습니다 .

참조 : “제 5 장 애널라이저 기능 (IM3533-01 만 )” (p.147)

공진점을 가진 소자 측정하기

준비물 : 9262 테스트 픽스처 , 측정하려는 소자

측정 단자에 9262 테스트 픽스처를 접속한다 .

접속 방법은 픽스처 부속 사용설명서를 참조해 주십시오 .

(IM3533-01만)

제 3 장 측정 예

측정 조건을 설정한다 .

측정 화면에서 을 눌러 설정하려는 항목을 선택하여 다음과 같이 설정합니다 .

애널라이저 기본 설정

파라미터 : Z-θ (p.148)

소인방법 : REPEAT (p.149)

묘사 타이밍 : REAL (p.150)

트리거 딜레이 : 0.0000 s (p.151)

소인범위 : 1.0000 kHz~

100.00 kHz (p.153)

소인점 수 : 201 설정 방법 : LOG

측정 신호 모드 : 개방전압 (V) 모드 (p.156) 측정 신호 레벨 : 1.000 V (p.156)

레인지 : AUTO (p.158)

포인트 딜레이 : 0.0000 s (p.166)

3.2

애널라이저 모드의 경우

시료를 9262 테스트 픽스처에 접속한다 .

소인을 실행한다 .

TRIG 가 REPEAT 로 설정되어 있어서 소인을 반복합니다 .

(IM3533-01만)

• 측정치를 확인한다 .

참조 : “5.1.1 측정화면” (p.147)

3.3 트랜스 모드의 경우

트랜스의 권수비 측정하기

준비물 : 절체기의 케이블 , 측정하려는 트랜스

아래 그림과 같이 본 기기와 트랜스를 결선한다 .

1 차 측

2 차 측

1 차 측

2 차 측

3.3

트랜스 모드의 경우

제 3 장 측정 예

측정 파라미터를 Ls 로 , 연산 파라미터를 N 으로 설정한다 . (p.194), (p.195)

측정 조건을 설정한다 .

측정 화면에서 을 눌러 설정하려는 항목을 선택하여 다음과 같이 설정합니다 .

LCR 기본 설정

측정 주파수 : 1.0000 kHz (p.49)

측정 신호 모드 : 개방전압 (V) 모드 (p.51) 측정 신호 레벨

전압 , 전류 리밋 : OFF (p.55)

측정 레인지 : AUTO (p.61)

: 1.000 V (p.51)

측정 속도 : MED (p.72)

애버리지 : OFF (p.73)

트리거 딜레이 : 0.0000 s (p.75)

트리거 동기 출력 기능의 설정 : OFF (p.76)

3.3

트랜스 모드의 경우

1 차 측을 결선한다 .

TRIG1 을 실행한다 .

1 차 측

2 차 측

1 차 측

2 차 측

을 눌러 트랜스의 1 차 측을 측정한다 .

2 차 측을 결선한다 .

TRIG2 를 실행한다 .

1 차 측

2 차 측

1 차 측

2 차 측

를 눌러 트랜스의 2 차 측을 측정한다 .

측정 결과를 본다 .

3.3

트랜스 모드의 경우

• 측정 결과를 판정한다 .

참조 :“ 6.3 상하한치로 판정하기 ( 콤퍼레이터 측정 )” (p.197)

• 측정결과를 저장한다 .

참조 : “4.5.8 측정 결과 저장하기 ( 메모리 기능 )” (p.136)

제 3 장 측정 예

3.3

트랜스 모드의 경우

4.1 LCR

기능에 대해서

LCR 기능 제 4 장

4.1 LCR 기능에 대해서

LCR 기능에서는 임의의 주파수 , 레벨 ( 실효치 ) 의 신호를 측정하고자 하는 소자에 인가함으로써 임피던스 , 위 상각 등을 측정할 수 있습니다 . 콘덴서 , 코일 등의 수동 소자 평가에 적합합니다 .

설정은 LCR 모드 , 애널라이저 모드 , 트랜스 모드에서 연동합니다 .

4.1.1 측정화면

측정 조건을 확인하면서 측정할 수 있습니다 . 다시 전원을 켰을 때는 전원을 끄기 직전의 측정 모드에 맞춰 표시됩 니다 . 화면 구성에 대해서는 (p.14) 를 참조해 주십시오 .

파라미터 키

각 파라미터의 설정을 합니다 .

(p.46)

패널 로드한 패널명이 표시됩니다 .

(p.254)

에러 메시지 등의 정보가 표시됩니 다

.(p.358)

내부 메모리의 사용 상황을 나타냅니다

(p.136)

USB 메모리의 접속을 나타냅니

다 .(p.271)

현재 설정된 인터 페이스가 표시됩니 다 .(p.261)

제 4 장 LCR 기능

조작 키

상황에 따라 조작 키가 표시됩니다 .

화면을 확대 표시합니다 .(p.48)

DC 측정의 측정 조건을 표시합니다

AC 측정의 측정 조건을 표시합니다 .(p.17)

콤퍼레이터의 설정을 표시합니다 .(p.17)

메뉴 키

측정 모드를 선택한다 .(p.13)

상세를 설정한다 .(p.49)

보정 설정을 한다 .(p.213)

시스템 설정을 한다 .(p.261)

저장 설정을 한다 .(p.271)

의 설정 내용은 측정 모드에 따라 다릅니다 .

Vac, Vdc: 시료의 단자간 전압 Iac, Idc: 시료에 흐르는 전류치

측정 조건이 표시됩니다 .(p.17)

측정 데이터를 저장합니다 .(p.275)

BIN 의 설정을 표시합니다 .(p.17)

측정치가 정확도 보증 범위를 벗어났을 때 에러 메시지 표시부에 Reference Value 로 표시합니다 . 이 경우 다음과 같은 원인을 생각할 수 있습니다 . 위를 확인하여 측정 조건을 변경하거나 측정치를 참고치로 삼아 주십시오 .

• 측정 신호 레벨이 너무 낮은 경우 : 측정 신호 레벨을 올린다 .

• 현재의 측정 레인지 (HOLD 설정일 때 ) 로는 적당하지 않은 경우 : AUTO 레인지로 최적의 측정 레

인지로 설정하거나 수동으로 측정 레인지를 변경한다 .

측정 데이터를 인쇄합니다 .(p.329)

“

14.2

측정 범위와 정확도”

(p.340)

에서 정확도 보증 범

4.1 LCR

기능에 대해서

4.1.2 표시 파라미터 설정하기

표시하고자 하는 파라미터를 16 종류의 측정 파라미터 중에서 임의의 장소에 최대 4 까지 선택할 수 있습니다 .

참조 : “1.3.7 파라미터 설정 화면” (p.28)

“부록 1 측정 파라미터와 연산식” ( p. 부 1) “부록 7 직렬 등가 회로 모드와 병렬 등가 회로 모드에 대해서” ( p. 부 10)

순　서

( 예 ) 제 1 파라미터 키 : 정전 용량 ( 직렬 등가 회로 모드 ) Cs,

제 3 파라미터 키 : 손실계수 D

LCR 측정 화면

초기화면에서 제 1 파라미터 키를 누른다 .

파라미터 설정

LCR 측정 화면

를 누른다 .

를 눌러 확정한다 .

제 3 파라미터 키를 누른다 .

파라미터 설정

LCR 측정 화면

4.1 LCR

를 누른다 .

를 눌러 확정한다 .

파라미터에 Cs 와 D 가 설정되었습니다 .

기능에 대해서

제 4 장 LCR 기능

파라미터 설정에서 를 선택하면 측정치가 비표시됩니다 .

4.1 LCR

기능에 대해서

4.1.3 측정치를 확대 표시하기

측정치 , 콤퍼레이터의 판정 결과를 확대 표시할 수 있습니다 . 측정 조건이 일정한 상태에서 사용되는 경우는 보기 쉬워서 편리한 기능입니다 .

에서 전원을 끈 경우 다음에 전원을 켰을 때 에서 기동합니다 .

순　서

LCR 측정 화면

측정 화면에서 을 눌러 확대 표시 화면으로 한다 .

확대 표시 (BIN 일 때 )

확대 표시 ( 콤퍼레이터일 때 )확대 표시 ( 평상시 )

• 콤퍼레이터 역치의 측정치 위치를 바로 표시합니다 .

• 바는 상하한치를 모두 설정하지 않으면

표시되지 않습니다 .

평상시 표시로 하려면 :

확대 표시 화면에서 를 누른다 .

4.2

측정 조건의 기본 설정

4.2 측정 조건의 기본 설정

4.2.1 측정 주파수 설정하기

시료에 인가할 신호의 주파수를 설정합니다 . 시료에 따라서는 측정 주파수에 따라 값이 변하는 것이 있습니다 .

순　서

( 예 ) 측정 주파수 : 1 kHz

LCR 측정 화면

LCR 기본 설정

제 4 장 LCR 기능

를 누른다 .

디짓별로 설정한다 .

주파수의 입력 방법은 다음 2 가지입니다 .

또는

설정 가능 범위 : 1 mHz~200 kHz

텐 키로 설정한다 .

주파수 설정 ( 디짓 ) 주파수 설정 ( 텐 키 )

을 누르면 전환됩니다

4.2

측정 조건의 기본 설정

주파수 설정 ( 디짓 ) 주파수 설정 ( 텐 키 )

, 로 주파수를 디짓별로 입력한다 .

디짓 키를 계속 누르면 연속해서 변합니다 .

주파수 설정 ( 디짓 ) 주파수 설정 ( 텐 키 )

, 로 소수점 , 단위를 선택한다 .

텐 키로 주파수를 입력한다 .

입력을 잘못했을 때 :

를 눌러 수치를 다시 입력합니다 .

단위 키를 눌러 설정을 확정한다 .

측정 주파수를 10 배로 합니다 .

측정 주파수를 배로 합니다 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

• 설정 가능 범위 : 1 mHz~200 kHz

•

단위 키를 누르기까지 주파수는 확정되지 않습니다

• 수치가 입력되기 전까지 단위 키는 무효입니다 .

• 200 kHz 를 넘어 설정한 경우 : 자동으로 200 kHz 가 됩니다 .

•1 mHz 미만으로 설정한 경우 : 자동으로 1 mHz 가 됩니다 .

4.2

측정 조건의 기본 설정

4.2.2 측정 신호 레벨 설정하기

시료에 따라서는 측정 신호 레벨에 따라 값이 변하는 경우가 있습니다 . 본 기기는 시료에 인가하는 측정 신호 레벨을 다음 3 가지 방법으로 광범위하게 가변할 수 있습니다 . 정전압 , 정전류 모드를 선택한 경우 소프트웨어의 피드백 제어로 실행하므로 측정 시간이 길어집니다 .

개방전압 (V) 모드

정전압 (CV) 모드

정전류 (CC) 모드

순　서

개방전압 레벨을 설정합니다 .

시료 단자 간의 전압 레벨을 설정합니다 .

시료에 흐르는 전류 레벨을 설정합니다 .

시료를 파손할 가능성이 있으므로 측정 단자에 시료를 접속한 상태에서 V, CV, CC 를 전환하 지 마십시오 .

• 정전압 (CV) 모드에서는 소프트웨어의 피드백을 통해 발생 전압을 제어하고 설정한 정전압 값을 인가합니다 . 발생 전압의 초기치는 1 회 전 측정 시의 전압이 출력되므로 1 회 전 측정 시보다 시료의 임피던스가 높은 경우는 피드백 제어하기 전 상태일 때 설정한 정전압 값보 다 큰 전압이 인가될 가능성이 있습니다 .

• 정전류 (CC) 모드에서는 소프트웨어의 피드백을 통해 발생 전압을 제어하고 설정한 정전 값을 인가합니다 . 발생 전압의 초기치는 1 회 전 측정 시의 전압이 출력되므로 1 회 전 측정 시보다 시료의 임피던스가 낮은 경우는 피드백 제어하기 전 상태일 때 설정한 정전류 값보 다 큰 전류가 인가될 가능성이 있습니다 .

LCR 측정 화면

LCR 기본 설정

류

제 4 장 LCR 기능

LCR 기본 설정

를 누른다 .

4.2

측정 조건의 기본 설정

측정 신호 모드의 설정

측정 신호 레벨의 설정

측정 신호 모드를 선택한다 .

개방전압 (V) 모드 (p.53)

정전압 (CV) 모드 (p.53)

정전류 (CC) 모드 (p.54)

, 로 전압 또는 전류치를 입력한다 .

일반 측정 모드

측정 신호 모드 설정 가능 범위

V, CV

CC 0.01 mA~50.00 mA

0.005 V~5.000 V

저 Z 고정밀도 모드

측정 신호 모드 설정 가능 범위

V, CV

CC 0.01 mA ~100.00 mA

참조 : “설정 범위와 정확도에 대해서” (p.53)

측정 신호 레벨에 따라 측정 정확도가 바뀝니다 .

참조 : “14.2 측정 범위와 정확도” (p.340)

0.005 V ~ 2.500 V

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

측정치가 정확도 보증 외인 경우 화면 상부에 다음 코멘트가 표시됩니다 .

이 경우 다음과 같은 원인을 생각할 수 있습니다 .

“14.2 측정 범위와 정확도” (p.340) 에서 정확도 보증 범위를 확인하여 측정 조건을 변경하

거나 측정치를 참고치로 삼아 주십시오 .

• 측정 신호 레벨이 너무 낮은 경우 : 측정 신호 레벨을 올린다 .

• 현재의 측정 레인지 (HOLD 설정일 때 ) 로는 적

당하지 않은 경우 : AUTO 레인지로 최적의

측정 레인지로 설정하거나 수동으로 측정 레인지를 변경한다 .

측정 신호 모드에 대해서

본 기기의 측정 신호 모드와 시료와의 관계는 다음과 같습니다 .

4.2

측정 조건의 기본 설정

개방전압 (V) 모드

이 전압치는 출력 임피던스와 시료가 직렬로 접속된 양단 에 인가되는 값입니다. 시료 단자 간에 인가되는 전압치에 대해서는 전압 모니터 값에서 확인하거나 , 또는 시료 단자 간 전압을 설정하는 정전압 (CV) 을 선택해 주십시오 .

출력 임피던스

시료

설정 범위와 정확도에 대해서

개방전압 (V) 모드 , 정전압 (CV) 모드 설정의 경우

측정 모드 (p.71) 일반 모드 저 Z 고정밀도 모드

개방전압 설정 범위

개방전압 정확도 ± 10%rdg. ± 10 mV ± 10%rdg. ± 10 mV

출력 임피던스 100 Ω ± 10 Ω 25 Ω ± 5 Ω

0.005 V ~ 5.000 V 0.005 V ~ 2.500 V

정전류 (CC) 모드

시료에 흐르는 전류를 일정하게 설정할 경우에 선택합니다 .

제 4 장 LCR 기능

정전압 (CV) 모드

시료 단자 간 전압을 일정하게 설정할 경우에 선택합니다 .

시료에 따라서는 정전압 측정을 할 수 없는 것이 있습니다 . 이 경우 다음 마크가 표시됩니다 .

이때 정전압 측정은 하지 않습니다 . 정전압 레벨을 모니터 값의 Vac 에 표시된 값 이하로 변경해 주십시오 .

( 예 ) 10 kHz 에서 1 μF 의 C 를 측정한 경우의 CV 동작 가능 범위 시료의 임피던스

Zm = Rm + jXm = 0 [Ω] - j15.9 [Ω]

또한 , 발생부에서 본 임피던스

Zm' = Ro + Zm = 100 [Ω] - j15.9 [Ω]

따라서 시료 양단의 전압

발생부의 출력 전압 범위는 위 표에 따라 5[mV] ~ 5[V] 가 되므로 , CV 동작 가능 범위는 위 식 에서

Vm = 0.8[mV] ~ 0.78[V] 가 됩니다 .

저 Z 고정밀도 모드에서는 출력 저항

Zm 은 아래와 같습니다 .

Zm' 은 아래와 같습니다 .

Vm 은 아래와 같습니다 .

Zm Vo

----------------------

|Zm' |

′

15.9 [Ω]

15.9

--------------------------

101.3 Ω[]

Ro 는 25[Ω] 가 됩니다 .

단 ,

단 , Vo 는 발생부의 출력

Ro 는 출력 저항 (100 [Ω ])

1–

-----------------= 2

fC()

4.2

측정 조건의 기본 설정

정전류 (CC) 모드 설정의 경우

측정 시료에 따라 정전류 동작 범위가 바뀝니다 .

측정 모드 (p.71) 일반 모드 저 Z 고정밀도 모드

정전류 설정 범위

정전류 정확도 ± 10%rdg. ± 10 μA ± 10%rdg. ± 10 μA

출력 임피던스 100 Ω ± 10 Ω 25 Ω ± 5 Ω

0.01 mA ~ 50.00 mA 0.01 mA ~ 100.00 mA

시료에 따라서는 정전류 측정을 할 수 없는 것이 있습니다 . 이 경우 다음 마크가 표시됩니다 .

이때 정전류 측정은 하지 않습니다 . 정전류 레벨을 모니터 값의 Iac 에 표시된 값 이하로 변경해 주십시오 . ( 예 ) 1 kHz 에서 1mH 의 L 을 측정한 경우의 CC 동작 가능 범위

시료의 임피던스

또한 , 발생부에서 본 임피던스

Zm' = Ro + Zm = 100 [

따라서 , 시료에 흐르는 전류

발생부의 출력 전압 범위는 53 페이지의 표에 따라 5[mV] ~ 5[V] 가 되므로 , CC 동작 가능 범 위는 위 식에서 저 Z 고정밀도 모드에서는 출력 저항

Zm 은 아래와 같습니다 .

= Rm + jXm = 0 [Ω ] - j6.28 [Ω ]

Zm' 은 아래와 같습니다 .

] - j6.28 [Ω ]

Im 는 아래와 같습니다 .

------------

|Zm' |Vo100.2 [

′

------------------==

118.1

]

Im = 49.9[μA]~ 49.9[mA] 가 됩니다 .

Ro 는 25[Ω] 가 됩니다 .

단 ,

단 , Vo 는 발생부의 출력

Xm 2πfL=

Ro 는 출력 저항 (100 [Ω ])

4.2

측정 조건의 기본 설정

4.2.3 시료에 인가되는 전압 , 전류 제한하기 ( 리밋 값 )

측정 신호 레벨에 따라 정격 이상의 전압 , 전류가 인가되어 시료를 파손할 수 있습니다 . 그러므로 시료에 가해지는 전압 또는 시료에 흐르는 전류를 제한하는 리밋 값을 설정합니다 . 리밋 기능을 유효 로 한 경우 소프트웨어의 피드백 제어를 통해 실행하므로 측정 시간이 길어집니다 .

개방전압 모드 , 정전압 모드에서

측정할 때

정전류 모드에서 측정할 때

순　서

LCR 측정 화면

전류 리밋을 설정합니다 .

전압 리밋을 설정합니다 .

제 4 장 LCR 기능

LCR 기본 설정

측정 신호 레벨이 전압 (V, CV) 일 때

전류 리밋의 설정

• 모니터 표시에서 측정 신호 레벨을 확인할 수 있습니다 .

• V, CV, CC 의 설정으로 모니터 표시가 변합니다 .

측정 신호 레벨을 설정한 후 전압 , 전류 리밋을 설정해 주십시오 . 전압 , 전류 리밋을 설정하면 현재의 측정 신호 모드의 설정에 따라 전류 리밋이나 전압 리밋 으로 자동 변경됩니다 .

참조 : “4.2.2 측정 신호 레벨 설정하기” (p.51)

측정 신호 레벨이 전류 (CC) 일 때

전압 리밋의 설정

4.2

측정 조건의 기본 설정

전류 리밋의 설정

리밋 기능의 ON/OFF 를 선택한다 .

리밋 기능을 무효로 합니다 .

리밋 기능을 유효로 합니다 .

전류 리밋의 설정

, 로 리밋 값을 입력한다 .

리밋 범위

측정 신호

모드

V, CV

전류 리밋 정확도 : ± 10%rdg. ± 10 mA 전압 리밋 정확도 : ± 10%rdg. ± 10 mV

리밋 기능이 ON 일 때 다음과 같은 표시가 나타나는 경우가 있습니다 . ( 예 ) 정전압 (CV) 설정 시

설정 리밋 설정 범위

전류 리밋 전압 리밋

0.01 mA~100.00 mA

0.005 V~5 V

시료에 가해지는 전압 또는 시료에 흐르는 전류가 리 밋 값을 초과해 버린 경우 ( 개방전압을 최저치로 설정해도 시료에 리밋 값을 초과하는 전류가 흘러 버린 경우 등 )

리밋 값을 초과하지 않도록 측정 신호 레벨을 내려 주십시오 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

시료에 리밋 값을 초과하는 전압 또는 전류를 인가 하지 않으면 측정 신호 레벨 설정이 되지 않을 때는 측정 신호 레벨 변경

을 중지합니다 .

이 경우 리밋 값 이상의 전압 또는 전류는 시료에 인 가되지 않습니다 . 리밋 값을 다시 설정하거나 리밋 값을 초과하지 않도록 측정 신호 레벨을 변경해 주 십시오 .

4.2.4 DC 바이어스 설정하기

콘덴서 측정 시 측정 신호에 직류 전압을 중첩하여 측정할 수 있습니다 .

순　서

4.2

측정 조건의 기본 설정

LCR 측정 화면 LCR 기본 설정

제 4 장 LCR 기능

LCR 기본 설정

를 누른다 .

DC 바이어스 설정

DC 바이어스의 ON/OFF 를 선택한다 .

DC 바이어스를 무효로 합니다 .

DC 바이어스를 유효로 합니다 .

외부 DC 바이어스 유닛을 사용할 때는 이 버튼을 눌러 주십시오 .

DC 바이어스의 설정이 ON 이 되어 바이어스 값이 0.00 V 로 설정됩니다 .

4.2

측정 조건의 기본 설정

DC 바이어스 설정

, 로 중첩할 직류 레벨을 설정한다 .

• 설정 가능 범위 : -5.00 V~5.00 V( 일반 모드 )

-2.50 V~2.50 V( 저 Z 고정밀도 모드 )

• 입력을 잘못했을 때 :

를 눌러 수치를 다시 입력합니다 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

• DC 바이어스 기능은 콘덴서 측정 전용입니다 . 저항 , 인덕터 등 직류 저항이 낮은 소자에 DC 바이어스 기능을 사용하면 아래와 같은 증상이 나타날 수 있습니다 .

• 정상적으로 측정할 수 없다 .

•AUTO 레인지가 정해지지 않는다 .

• 직류 저항 측정 시에는 DC 바이어스 기능을 설정할 수 없습니다 .

:MEASure:ITEM의 설정에서 Rdc를 측정하도록 할 때는 DC 바이어스 기능을 설정할

• 수 없습니다 .

• 내장 DC 바이어스 기능의 설정 가능 범위 외의 직류 전압을 중첩하는 경우는 “부록 5.1 직류 전압 바이어스의 인가 방법” ( p. 부 7) 을 참고해 주십시오 .

• 코일 등에 직류 전류를 중첩하는 경우는 “부록 5.2 직류 전류 바이어스의 인가 방법” ( p. 부 8) 을 참고해 주십시오 .

• 측정 신호 레벨

는 경우에는 그 이상 측정 신호 레벨을 올릴 수 없습니다 . AC 레벨 또는 DC 바이어스 값을 내린 후 설정해 주십시오 . 또한 , 저 Z 고정밀도 모드 시에는 합계치가 [V] 이하인

범위에서 AC 레벨 , DC 바이어스 값을 설정할 수 있습니다 .

의 합계치(AC 레벨 설정치

+ DC 바이어스 설정치)＞ [V]가 되

2 52

2.5 2

4.2

측정 조건의 기본 설정

4.2.5 임의의 타이밍에서 측정하기 ( 트리거 측정 )

트리거 (Trigger) 란 특정 신호를 통해 기록의 개시 및 종료 타이밍을 포착하는 기능입니다 . 특정 신호를 통해 기록을 개시 및 종료하는 것을 “트리거가 걸리다” 라고 표현합니다 . 본 기기에서는 다음 2 종류의 트리거를 선택할 수 있습니다 .

순　서

내부 트리거

외부 트리거

내부에서 자동으로 트리거 신호를 발생시켜 측정을 반복합니다 .

외부에서 제어하여 측정합니다 . 수동으로 측정할 수도 있습니다 .

LCR 측정 화면 LCR 기본 설정

제 4 장 LCR 기능

LCR 기본 설정

를 누른다 .

4.2

측정 조건의 기본 설정

트리거 설정

트리거의 종류를 선택한다 .

내부 트리거 자동으로 측정을 반복합니다 .

외부 트리거

를 선택한 경우

트리거 입력 방법에는 다음 3 종류가 있습니다 .

• 화면의 를 눌러 수동으로 트리거를 입력한다 : 1 회 측정합니다 .

• EXT I/O 를 통해 입력한다 : 음논리의 펄스 신호를 1 회 추가할 때마다 1 회 측정합니다 .

참조 : “사용 커넥터와 신호의 배치” (p.308)

• 인터페이스를 통해 입력한다 : *

참조 : LCR 애플리케이션 디스크 - 통신 커맨드

화면에 가 표시됩니다 .

TRG 를 송신하면 1 회 측정합니다 .

수동 , EXT I/O, 인터페이스로 트리 거를 입력합니다 .

외부 트리거의 경우 외부 트리거의 경우

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

4.2.6 측정 레인지 설정하기

측정 레인지의 결정방법 설정 (AUTO, HOLD, JUDGE SYNC)

측정 레인지 설정에는 다음 3 가지 방법이 있습니다 .

자동으로 최적의 측정 레인지를 설정합니다 .

AUTO

( 주파수에 따라 시료의 임피던스가 크게 변하는 경우나 불특정 시료를 측정하는 경우 등 최적의 측정 레인지를 설정할 수 있습니다 )

4.2

측정 조건의 기본 설정

HOLD

JUDGE SYNC

• 레인지 구성은 모두 임피던스로 실행합니다 . 따라서 임피던스 이외의 파라미터의 경우 측

• JUDGE 동기 설정이 ON인 상태에서 HOLD, AUTO 설정을 하면 자동으로 JUDGE 동기 설

측정 레인지를 고정합니다 . 레인지는 수동으로 설정합니다 .

( 레인지를 고정하면 고속 측정이 가능합니다 )

콤퍼레이터 , BIN 측정의 판정 기준에 따라 자동으로 최적의 레인지에 설정합니다 .

( 주파수에 따라 시료의 임피던스가 크게 변하는 경우에 콤퍼레이터 , BIN 측정 의 판정 기준에 대해 최적의 레인지로 고정할 수 있습니다 )

정된 |Z | 와 θ 로부터 계산하여 값을 구하고 있습니다 .

참조 : “부록 1 측정 파라미터와 연산식” ( p. 부 1)

정은 OFF 가 됩니다 .

제 4 장 LCR 기능

4.2

측정 조건의 기본 설정

AUTO 설정

순　서

LCR 측정 화면

LCR 기본 설정

를 누른다 .

레인지 설정

를 누른다 .

• 주파수에 따라 설정 가능 레인지가 변합니다 . (p.66)

•AUTO 레인지의 범위를 제어하려면

참조 : “AUTO 레인지 제한 기능” (p.63)

• 정확도 보증 범위 외에서는 정상으로 AUTO 레인

지가 작동하지 않아 레인지가 정해지지 않는 경우 가 있습니다 . 이런 경우에는 “14.2 측정 범위와 정확도” (p.340) 에서 정확도 보증 범위를 확인하여 측정 조건을 변 경해 주십시오 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

AUTO 레인지 제한 기능

AUTO 레인지 범위를 제한할 수 있습니다 .

순　서

4.2

측정 조건의 기본 설정

LCR 측정 화면

LCR 기본 설정

제 4 장 LCR 기능

를 누른다 .

레인지 설정

를 누른다 .

정확도 보증 범위 외에서는 정상적으로 AUTO 레인지가 작동하지 않아 레인지가 정해지지 않 는 경우가 있습니다 . 이런 경우에는 “14.2 측정 범위와 정확도” (p.340) 에서 정확도 보증 범위를 확인하여 측정 조건을 변경해 주십시오 .

4.2

측정 조건의 기본 설정

AUTO 레인지 제한 범위의 설정

레인지 설정

를 누른다 .

6 7

순서 4 로 되돌아가 를 눌러 AUTO 레인지의 상한 레인지를 선택한다 .

AUTO 레인지 제한 기능이 설정되어 있을 때의 화면

를 눌러 하한 레인지를 확정한다 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

AUTO 레인지 제한 기능을 해제할 때는 하한 레인지를 100 mΩ 로 , 상한 레인지를 100 MΩ 로 설정해 주십시오 .

AUTO 레인지의 하한 레인지를 선택한다 .

( 예 ) 하한 레인지 : 1 kΩ, 상한 레인지 : 1 MΩ 로 설정한 경우

설정한 AUTO 레인지 범위만 유효가 됩니다 .

HOLD 설정

순　서

4.2

측정 조건의 기본 설정

LCR 측정 화면 LCR 기본 설정

제 4 장 LCR 기능

LCR 기본 설정

를 누른다 .

레인지 설정

를 누른다 .

4.2

측정 조건의 기본 설정

레인지의 선택

측정 레인지는 시료와 측정 케이블의 임피던스 합계치에 따라 설정해 주십시오 .

측정 레인지를 선택한다 .

주파수에 따라 설정 가능한 레인지가 변합니다 .

설정 가능

레인지

모든

레인지

100 mΩ ~

10 M

100 mΩ ~

1 M

800 kΩ ~100 MΩ 800 kΩ ~10 MΩ

80 kΩ ~10 MΩ 80 kΩ ~1 MΩ

8 kΩ ~1 MΩ 8 kΩ ~100 kΩ

800 Ω ~100 kΩ 800 Ω ~10 kΩ

80 Ω ~10 kΩ 80 Ω ~1 kΩ

8 Ω ~100 Ω 8 Ω ~100 Ω

800 mΩ ~10 Ω 800 mΩ ~10 Ω

80 mΩ ~1 Ω 80 mΩ ~1 Ω

10 mΩ ~100 mΩ 0 Ω ~100 mΩ

레인지 설정 화면

주파수

0.001 Hz

10.000 kHz

10.001 kHz

100.00 kHz

100.01 kHz

200.00 kHz

측정 레인지 정확도 보증 범위 AUTO 레인지 범위

100 MΩ 8 MΩ ~200 MΩ 8 MΩ ~

10 MΩ

1 MΩ

100 kΩ

10 kΩ

1 kΩ

100 Ω

10 Ω

1 Ω

100 mΩ

• 측정 조건에 따라 정확도 보증 범위가 바뀝니다 .

참조 : “14.2 측정 범위와 정확도” (p.340) 에서 정확도 보증 범위를 확인해 주십시오 .

•AUTO 설정 시에 설정 레인지를 변경하면 자동으로 HOLD 설정이 됩니다 .

• 측정 범위는 측정 레인지에 의해 확정됩니다 . 측정치 표시가 “OVER FLOW(UNDER

FLOW)”라고 표시된 경우 현재 측정 레인지로는 측정할 수 없습니다 . AUTO 설정으로 최

적 레인지로 설정하거나 수동으로 측정 레인지를 변경해 주십시오 . 측정 결과가 표시 범위

(p.335) 외였던 경우에는 “DISP OUT”이 표시됩니다 .

• 정확도 보증 범위는 보정 전 측정

치에 대한 것입니다 .

• AUTO 레인지 범위는 AUTO 레인지가 전환되는 범위입니다 . 하지만 AUTO 레인지 제한 기능이 설정되어 있을 때는 그 제한 범위 이외로는 전환되지 않습니다 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

4.2

측정 조건의 기본 설정

• 주파수에 따라 임피던스가 변하는 시료에서는 HOLD 에서 측정 중에 주파수를 전환하면 동일 레인지 내 측정이 불가능한 경우가 있습니다.이때는 측정 레인지를 전환해 주십시오.

• 측정 레인지의 설정은 시료와 측정 케이블의 임피던스 합계치에 따라 설정하고 있습니다 . 따라서 , 시료의 임피던스 값만으로 측정 레인지를 HOLD 설정하면 측정할 수 없는 경우가 있습니다 . 이때는 “8.1 오픈 보정 실행하기” (p.213) 와 “8.2 쇼트 보정 실행하 에서 확인하여 측정 레인지를 변경해 주십시오 .

• 측정치가 정확도 보증 외인 경우 화면 상부에 다음 코멘트가 표시됩니다 .

기” (p.222)

이 경우 다음과 같은 원인을 생각할 수 있습니다 .

“14.2 측정 범위와 정확도” (p.340) 에서 정확도 보증 범위를 확인하여 측정 조건을 변경

하거나 측정치를 참고치로 삼아 주십시오 .

• 측정 신호 레벨이 너무 낮은 경우 : 측정 신호 레벨을 올린

• 현재의 측정 레인지 (HOLD 설정일 때 ) 로는 적당하지 않은 경우 : AUTO 레인지로 최적

의 측정 레인지로 설정하거나 수동으로 측정 레인지를 변경한다 .

다 .

제 4 장 LCR 기능

4.2

측정 조건의 기본 설정

JUDGE 동기 설정

JUDGE 동기 설정을 유효로 하면 콤퍼레이터 또는 BIN 측정의 판정 기준에 대해 최적인 레인지를 설정하고자 할 때 에서 임의로 다시 설정할 필요가 없어집니다 . 또한 , 주파수에 따라 임피던스가 크게 변하는 시료를 콤퍼레이터 , BIN 측정하는 경우 측정 레인지를 판정 기준

에 대해 최적인 레인지로 고정할 수 있습니다 .

• 콤퍼레이터 , BIN 측정에서 판정 기준이 설정되어 있을 때만 유효합니다 .(p.99)

• 설정이 ON 인 상태에서 콤퍼레이터 , BIN 측정의 판정 기준이 설정되면 자동으로 최적 레인 지로 전환되지만 , 판정 기준이 설정되어 있지 않으면 AUTO 레인지로 취급됩니다 .

순　서

( 예 ) 콤퍼레이터

LCR 측정 화면

LCR 기본 설정

를 누른다 .

레인지 설정

4.2

측정 조건의 기본 설정

JUDGE 동기 설정의 ON/OFF 를 선택한다 .

JUDGE 동기 설정을 무효로 합니다 .

JUDGE 동기 설정을 유효로 합니다 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

• 주파수에 따라 설정 가능 레인지가 변합니다 .(p.66)

• θ, D, Q 중 어느 하나밖에 설정되어 있지 않을 때는 취급이 됩니다 .

• 파라미터 조합에 따라서는 위상각을 알 수 없으므로 이상치에서 레인지를 결정하고 있습니 다 . 상세는 아래 표를 참조해 주십시오 .

참조 : “부록 1 측정 파라미터와 연산식” ( p. 부 1)

JUDGE 동기 설정 시 파라미터의 조합 조건

제 3 파라미터

AC OFF Z Y Rs Rp X G B Ls Lp Cs Cp

OFF

Rs U U U U U U U U U U U U

Rp U U U U U U U U U U U U

X U U U U U U U U U U U U

G U U U U U U U U U U U U

z z

z z z

U U U U U U U U U

D Q

× × ×

z z z

제 4 장 LCR 기능

제 1 파라미터

B U U U U U U U U U U U U

Ls U U U U U U U U U U U U

Lp U U U U U U U U U U U U

Cs U U U U U U U U U U U U

Cp U U U U U U U U U U U U

z z z z z z z z z z z

설정 불가 ( 레인지 취급 )

위상각이 불분명해서 이상치에서 설정

설정 가능

z z z

× × × × × × × × ×

4.2

측정 조건의 기본 설정

저 Z 고정밀도 모드

저 Z 고정밀도 모드에서는 출력 저항이 25 Ω 이 되어 전류를 충분히 측정 시료에 흘려보낼 수 있으므로 고정밀 도 측정을 할 수 있습니다 .

순　서

LCR 측정 화면 LCR 기본 설정

LCR 기본 설정

를 누른다 .

레인지 설정

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

저 Z 고정밀도 모드의 ON/OFF 를 선택한다 .

저 Z 고정밀도 모드를 OFF 로 합니다 .

저 Z 고정밀도 모드를 ON 으로 합니다 .

4.2

측정 조건의 기본 설정

• 저 Z 고정밀도 모드에서는 100 mΩ 와 1 Ω 레인지일 때만 유효합니다 . 아래 표를 참조해 주십시오 .

번호 측정 레인지

1 100 MΩ

2 10 MΩ

3 1 MΩ

4 100 kΩ

5 10 kΩ

6 1 kΩ

7 100 Ω

8 10 Ω

9 1 Ω

10 100 mΩ

• 저 Z 고정밀도 모드에서는 측정 신호 레벨의 설정 가능 범위가 바뀝니다 .(p.53)

• 오픈 보정 , 쇼트 보정 , 로드 보정이 유효할 때 저 Z 고정밀도 모드의 설정을 변경하면 보정 치는 무효가 됩니다 .

~1 kHz ~10 kHz ~100 kHz ~200 kHz

무

일반 모드만 ( 저 Z 고정밀도 모드의 설정 무효 )

저 Z 고정밀도 모드 / 일반 모드

제 4 장 LCR 기능

4.2

측정 조건의 기본 설정

4.2.7 측정 속도 설정하기

측정 속도를 설정합니다 . 측정 속도가 느릴수록 측정 정밀도는 향상됩니다 .

순　서

LCR 측정 화면

LCR 기본 설정

를 누른다 .

측정 속도의 설정

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

파형 평균 기능으로 측정 속도를 더 세밀하게 설정할 수 있습니다 . 또한 , 파형 평균 기능이 유 효로 되어 있을 때는 속도를 설정할 수 없습니다 . 파형 평균 기능을 무효로 한 후 속도를 설정 해 주십시오 .

참조 : “4.5.2 검출 신호의 파형 평균 수 임의 설정 ( 파형 평균 기능 )” (p.126)

측정 속도를 선택한다 .

고속으로 측정합니다 .

보통의 측정 속도입니다 .

측정 정밀도가 향상됩니다 .

SLOW 보다 측정 정밀도가 향상됩니다 .

측정 속도는 측정 조건에 따라 다릅니다 .

참조 : “측정 시간 , 측정 속도” (p.348)

4.2

4.2.8 평균치로 표시하기 ( 애버리지 설정 )

측정치의 평균화 처리를 실행합니다 . 측정치 표시의 오차 발생을 줄일 수 있습니다 .

측정 조건의 기본 설정

내부 트리거의 경우

외부 트리거의 경우

측정치는 항상 현재에서 애버리지 횟수 전까지의 이동 평균입니다 .

( 시료를 전환한 경우는 값이 안정될 때까지 시간이 걸립니다 )

트리거 입력에서 애버리지 횟수의 상가평균입니다 .

애버리지 횟수 4 회인 경우의 측정 횟수와 측정치 출력 포인트 , 출력 시의 측정치 산출 방법을 아래에 나타냅니 다 .

이동 평균

측정 포인트

M1 M2 M3 M4 M5 M6

측정치 출력

Time

M1+M2

M1+M2+M3

M1+M2+M3+M4

M2+M3+M4+M5

M3+M4+M5+M6

M7 M8 M9 M10

제 4 장 LCR 기능

M4+M5+M6+M7

M5+M6+M7+M8

M6+M7+M8+M9

M7+M8+M9+M10

상가평균

측정 포인트

M1 M2 M3 M4 M5 M6 M7 M8 M9 M10

측정치 출력

Time

M1+M2+M3+M4

M5+M6+M7+M8

4.2

측정 조건의 기본 설정

순　서

LCR 측정 화면

LCR 기본 설정

를 누른다 .

애버리지 횟수의 설정

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

, 로 평균 횟수를 입력한다 .

설정 가능 범위 : 1~256 회

애버리지 기능을 OFF 로 하려면 : 를 누른다 .

애버리지 횟수가 001 회로 설정되고 애버리지 기능 이 OFF 가 됩니다 .

4.2

측정 조건의 기본 설정

4.2.9 측정 데이터를 가져오기까지의 지연 시간 설정하기 ( 트리거 딜레이 )

트리거 신호를 입력한 후 측정까지의 지연 시간을 설정합니다 . 시료와 측정 케이블의 접속 상태가 안정된 후에 측정을 개시할 수 있습니다 .

참조 : “트리거 딜레이와 트리거 동기 출력 기능에 대해서” (p.78)

순　서

LCR 측정 화면

LCR 기본 설정

제 4 장 LCR 기능

를 누른다 .

트리거 딜레이의 설정

, 로 지연 시간을 설정한다 .

설정 가능 범위 : 0 s~9.9999 s 까지 0.1 ms 분해능

트리거 딜레이 기능을 OFF 로 하려면 : 를 누른다 .

설정한 시간이 0 s 로 설정됩니다 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

트리거 딜레이 시 트리거가 입력된 후 측정이 종료되기까지는 측정 중임을 나타내는 LED 가 점등 상 태가 됩니다 .

4.2

측정 조건의 기본 설정

4.2.10 측정 시에만 시료에 신호를 인가하기 ( 트리거 동기 출력 기능 )

측정 신호를 트리거 입력 후에 출력하여 측정 시에만 시료에 신호를 인가하는 기능입니다 . 또한 , 시료가 안정 된 후에 데이터를 가져오기 위한 지연 시간을 설정할 수 있습니다 . 이 기능으로 시료의 발열을 줄이거나 전극의 마모를 줄일 수 있습니다 .

참조 : “트리거 딜레이와 트리거 동기 출력 기능에 대해서” (p.78)

순　서

LCR 측정 화면

응용 설정

를 누른다 .

트리거 동기 설정

트리거 동기 출력 기능의 ON/OFF 를 선택한다 .

트리거 동기 출력 기능을 무효로 합니다 .

트리거 동기 출력 기능을 유효로 합니다 .

4.2

측정 조건의 기본 설정

트리거 동기 설정

, 로 트리거 인가에 따라 측정 신호가

출력된 후부터 측정 개시까지의 대기 시간을 설정

한다 .

설정 가능 범위 : 0.0010 s~9.9999 s

시간을 초기 상태로 되돌리려면 : 를 누른다 .

설정된 시간이 0.0010 s 로 설정됩니다 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

• 트리거 출력 동기 기능을 ON 한 경우 , 측정 신호가 출력된 후 데이터를 가져오기까지 WAIT 시간이 들어가므로 측정 시간이 느려집니다 .

참조 : “14.3 측정 시간 , 측정 속도” (p.348)

• 트리거 동기 출력 기능이 ON 인 상태에서 측정 조건을 변경하면 설정된 레벨이 순간적으로 출력되는 경우가 있습니다 .

• 측정 신호는 트리거 신호 입력 시에 출력되고 측정 종료 후에 정지합니다 .

제 4 장 LCR 기능

• 콘택트 체크 기능으로 콘택트 체크 타이밍을 또는 로 설정하면 트리거 동 기 출력 기능이 자동으로 ON 에 설정됩니다 . 측정 개시까지의 대기 시간을 설정해 주십시

오 .

참조 : “4.5.4 접촉 불량 및 접촉 상태 확인하기 ( 콘택트 체크 기능 )” (p.130)

• 연속 측정 모드에서는 마지막 패널 측정 종료 후에 측정 신호가 정지합니다 .

4.2

측정 조건의 기본 설정

트리거 딜레이와 트리거 동기 출력 기능에 대해서

트리거 딜레이는 트리거 신호를 입력한 후 측정까지의 지연 시간을 설정할 수 있는 기능입니다 . 트리거 동기 출력 기능은 측정 시에만 측정 신호를 출력하고 , 또한 데이터를 가져오기까지의 지연 시간을 설정 할 수 있는 기능입니다 . 측정 순서는 다음과 같습니다 .

트리거 딜레이 : ON, 트리거 동기 출력 : OFF

측정

트리거 신호

측정 신호

트리거 딜레이

트리거 딜레이 : ON, 트리거 동기 출력 : ON

트리거 신호

측정 신호

트리거 딜레이

데이터 가져오기

트리거 동기 딜레이

측정

데이터 가져오기

레인지 동기 기능이 유효인 경우는 트리거 딜레이와 트리거 동기 출력 기능만 파라미터의 설 정으로 유효가 되는 레인지 설정이 다릅니다 .

파라미터 유효가 되는 레인지 설정

AC 측정만 AC 측정 레인지

AC+DC 측정 AC 측정 레인지

DC 측정만 DC 측정 레인지

4.3 직류 저항 측정 설정하기

2.0 V( 고정 ) 의 직류 신호를 출력하여 직류 저항 Rdc 를 측정할 수 있습니다 . 측정 순서는 다음과 같습니다 .

1. 2.0 V 인가 시의 직류 저항 측정

2. 0 V 인가 시의 직류 저항을 측정하여 오프셋 값으로 한다

3. 오프셋 값을 이용해 측정 오차를 저감

4. Rdc 의 측정치 출력

• 본 기기에서는 노이즈를 제거하기 위해 공급 전원의 전원 주파수 설정이 필요합니다 . 사용

중인 상용 전원의 주파수로 설정한 후 측정해 주십시오 . 전원 주파수 설정이 바르게 이루 어지지 않을 경우 측정치가 안정되지 않습니다 .

참조 : “4.3.4 전원 주파수 설정하기” (p.86)

• 직류 저항을 측정하려면 사전에 측정 파라미터에 Rdc 를 설정할 필요가 있습니다 .

참조 : “1.3.7 파라미터 설정 화면” (p.28)

“4.1.2 표시 파라미터 설정하기” (p.46)

• Rdc 와 기타 파라미터를 설정한 경우 교류 신호로 기타 파라미터를 측정한 후 직류 저항을

측정합니다 . 측정 조건은 개별로 설정할 수 있습니다 .

• 직류 저항 측정 시에는 DC 바이어스 기능을 유효로 할 수 없습니다 .

• 시료가 콘덴서인 경우 직류 저항이 정상으로 측정되지 않을 수 있습니다 .

• 직류 신호 레벨이 안정될 때까지의 시간은 측정 시료에 따라 다

면 측정 파형을 사전에 관측하여 직류 신호 레벨이 충분히 안정될 때까지 지연 시간을 설 정해 주십시오 .

참조 : “4.3.2DC 측정의 지연 시간 설정하기 (DC 딜레이 )” (p.82)

“4.3.3 오프셋 측정의 지연 시간 설정하기 ( 어저스트 딜레이 )” (p.84)

4.3

직류 저항 측정 설정하기

릅니다. 정확한 측정을 하려

제 4 장 LCR 기능

측정 파라미터에 Rdc 를 추가하기

LCR 측정 화면

파라미터 설정

변경하고자 하는 파라미터를 선택한다 .

를 누른다 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

4.3

직류 저항 측정 설정하기

4.3.1 온도 보정 기능 설정하기

온도 보정의 원리(“부록 환산하여 표시합니다 9478 시스형 온도 프로브를 본체 뒷면 TC SENSOR 단자에 접속할 때는 반드시 아래 내용을 읽어 주십시오 .

참조 : “2.5 온도 프로브 접속하기” (p.33)

9478 시스형 온도 프로브를 접속하지 않으면 ON 으로 설정해도 무효이므로 Rdc 측정치에는

순　서

9 온도 보정 기능 (TC) 에

“TC ERR”로 표시됩니다 .(p.359)

LCR 측정 화면

대해서”

( p.부12))에 따라

저항치를 기준 온도에서의 값으로

Rdc 의 기본 설정

를 누른다 .

온도 보정 기능의 설정

4.3

직류 저항 측정 설정하기

온도 보정 기능의 ON/OFF 를 선택한다 .

온도 보정 기능을 무효로 합니다 .

온도 보정 기능을 유효로 합니다 .

기준 온도의 설정

온도계수의 설정

제 4 장 LCR 기능

를 눌러 텐 키로 기준 온도를 입력한다 .

설정 가능 범위 : -10℃~99.9℃

를 눌러 확정한다 .

를 눌러 텐 키로 온도계수를 입력한다 .

설정 가능 범위 : -99999ppm~99999ppm

를 눌러 확정한다 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

4.3

직류 저항 측정 설정하기

4.3.2 DC 측정의 지연 시간 설정하기 (DC 딜레이 )

교류 신호에 의한 측정에서 직류 저항 측정으로 전환했을 때 등 , 직류 저항 측정을 개시하기까지의 시간을 설 정합니다 . 이 지연 시간은 DC 레벨이 안정될 때까지 측정을 지연시키기 위한 시간입니다 .

애버리지 횟수　1 회일 때

昪洛懆凃

剖幞猧洛櫖昢滇幞猧洛求嵢懆凃崎汾滆懆凃

애버리지 횟수　2 회 이상일 때

( 예 : 2 회 )

昪洛懆凃

剖幞猧洛櫖昢滇幞猧洛求嵢懆凃崎汾滆懆凃

DC 娢崎決

(爎匶獞 0爎)

滇幞洆穳猧洛滇幞洆穳猧洛

橦憊庲滆箥朞把猧洛橦憊庲滆箥朞把猧洛

순　서

LCR 측정 화면

DC 娢崎決

(爎匶獞 0爎)

DC 娢崎決

(爎匶獞 0爎)

滇幞洆穳猧洛

ADJ 娢崎決

(爎匶獞 0.0030爎)

ADJ 娢崎決

(爎匶獞 0.0030爎)

ADJ 娢崎決

(爎匶獞 0.0030爎)

欪稊晑猧洛欪稊晑猧洛磏勦獞狮姣猧洛涋巒

欪稊晑猧洛猧洛涋巒

欪稊晑猧洛

Rdc 의 기본 설정

직류 신호 레벨이 안정될 때까지의 시간은 측정 시료에 따라 다릅니다 . 정확한 측정을 하려 면 측정 파형을 사전에 관측하여 직류 신호 레벨이 충분히 안정될 때까지 지연 시간을 설정해 주십시오 .

Rdc 의 기본 설정

4.3

를 누른다 .

직류 저항 측정 설정하기

지연 시간의 설정

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

제 4 장 LCR 기능

, 로 지연 시간을 설정한다 .

설정 가능 범위 : 0 s~9.9999 s

지연 시간 설정을 중지하려면 : 를 누른다 .

설정한 시간이 0 s 로 설정됩니다 .

4.3

직류 저항 측정 설정하기

4.3.3 오프셋 측정의 지연 시간 설정하기 ( 어저스트 딜레이 )

이 지연 시간은 오프셋 측정 (DC0 V) 이 안정될 때가지 측정을 지연시키기 위한 시간입니다 .

애버리지 횟수　1 회일 때

昪洛懆凃

剖幞猧洛櫖昢滇幞猧洛求嵢懆凃崎汾滆懆凃

애버리지 횟수　2 회 이상일 때

( 예 : 2 회 )

昪洛懆凃

剖幞猧洛櫖昢滇幞猧洛求嵢懆凃崎汾滆懆凃

DC 娢崎決

(爎匶獞 0爎)

滇幞洆穳猧洛滇幞洆穳猧洛

橦憊庲滆箥朞把猧洛橦憊庲滆箥朞把猧洛

순　서

LCR 측정 화면

DC 娢崎決

(爎匶獞 0爎)

DC 娢崎決

(爎匶獞 0爎)

滇幞洆穳猧洛

ADJ 娢崎決

(爎匶獞 0.0030爎)

ADJ 娢崎決

(爎匶獞 0.0030爎)

ADJ 娢崎決

(爎匶獞 0.0030爎)

欪稊晑猧洛欪稊晑猧洛磏勦獞狮姣猧洛涋巒

欪稊晑猧洛猧洛涋巒

欪稊晑猧洛

Rdc 의 기본 설정

를 누른다 .

어저스트 딜레이의 설정

4.3

직류 저항 측정 설정하기

, 로 오프셋 측정의 지연 시간을 설정한다 .

설정 가능 범위 : 0.0030 s~9.9999 s

오프셋 측정의 지연 시간 설정을 초기치로 하려면 :

를 누른다 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

설정한 시간이 0.0030 s 로 설정됩니다 .

제 4 장 LCR 기능

4.3

직류 저항 측정 설정하기

4.3.4 전원 주파수 설정하기

직류 저항 측정을 하는 경우는 반드시 공급 전원의 전원 주파수를 설정해 주십시오 .

순　서

LCR 측정 화면

Rdc 의 기본 설정

를 누른다 .

전원 주파수의 설정

전원 주파수를 선택한다 .

50 Hz 로 설정합니다 .

60 Hz 로 설정합니다 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

본 기기에서는 노이즈를 제거하기 위해 공급 전원의 전원 주파수 설정이 필요합니다 . 사용 중 인 상용 전원의 주파수로 설정한 후 측정해 주십시오 . 전원 주파수 설정이 바르게 이루어지지 않을 경우 측정치가 안정되지 않습니다 .

4.3.5 측정 레인지 설정하기

측정 레인지의 결정방법 설정 (AUTO, HOLD, JUDGE SYNC)

측정 레인지 설정에는 다음 3 가지 방법이 있습니다 .

4.3

직류 저항 측정 설정하기

AUTO

HOLD

JUDGE SYNC

AUTO 설정

순　서

자동으로 최적의 측정 레인지를 설정합니다 .

( 불특정 시료를 측정하는 경우 등 최적의 측정 레인지를 설정할 수 있습니다 )

측정 레인지를 고정합니다 . 레인지는 수동으로 설정합니다 .

( 레인지를 고정하면 고속 측정이 가능합니다 )

콤퍼레이터 , BIN 측정의 판정 기준에 따라 자동으로 최적의 레인지에 설정합니다 .

( 주파수에 따라 시료의 임피던스가 크게 변하는 경우에 콤퍼레이터 , BIN 측정 의 판정 기준에 대해 최적의 레인지로 고정할 수 있습니다 )

JUDGE 동기 설정이 ON 인 상태에서 HOLD 또는 AUTO 설정을 하면 자동으로 JUDGE 동기 설정은 OFF 가 됩니다 .

LCR 측정 화면

Rdc 의 기본 설정

제 4 장 LCR 기능

4.3

직류 저항 측정 설정하기

Rdc 의 기본 설정

를 누른다 .

레인지 설정

를 누른다 .

•AUTO 레인지의 범위를 제한하려면

참조 : “AUTO 레인지 제한 기능” (p.89)

• 정확도 보증 범위 외에서는 정상으로 AUTO 레인

지가 동작하지 않아 레인지가 정해지지 않는 경우 가 있습니다 . 이런 경우에는 “14.2 측정 범위와 정확도” (p.340) 에서 정확도 보증 범위를 확인하여 측정 조건을 변 경해 주십시오 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

AUTO 레인지 제한 기능

AUTO 레인지 범위를 제한할 수 있습니다 .

순　서

4.3

직류 저항 측정 설정하기

LCR 측정 화면

LCR 기본 설정

제 4 장 LCR 기능

를 누른다 .

레인지 설정

를 누른다 .

정확도 보증 범위 외에서는 정상으로 AUTO 레 인지가 동작하지 않아 레인지가 정해지지 않는 경우가 있습니다 . 이런 경우에는 “14.2 측정 범위와 정확도” (p.340) 에서 정확도 보증 범위 를 확인하여 측정 조건을 변경해 주십시오 .

4.3

직류 저항 측정 설정하기

AUTO 레인지 제한 범위의 설정

레인지 설정

를 누른다 .

6 7

순서 4 로 되돌아가 를 눌러 AUTO 레인지의 상한 레인지를 선택한다 .

AUTO 레인지 제한 기능이 설정되어 있을 때의 화면

를 눌러 하한 레인지를 확정한다 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

AUTO 레인지 제한 기능을 해제할 때는 하한 레인지를 100 mΩ 로 , 상한 레인지를 100 MΩ 로 설정해 주십시오 .

AUTO 레인지의 하한 레인지를 선택한다 .

( 예 ) 하한 레인지 : 1 kΩ , 상한 레인지 : 1 MΩ 로 설정한 경우

설정한 AUTO 레인지 범위만 유효가 됩니다 .

HOLD 설정

순　서

4.3

직류 저항 측정 설정하기

LCR 측정 화면 Rdc 의 기본 설정

제 4 장 LCR 기능

Rdc 의 기본 설정

를 누른다 .

레인지의 선택

를 누른다 .

4.3

직류 저항 측정 설정하기

레인지의 선택

측정 레인지는 시료와 측정 케이블의 임피던스 합계치에 따라 설정해 주십시오 .

측정 레인지를 선택한다 .

측정 레인지 정확도 보증 범위 AUTO 레인지 범위

100 MΩ 8 MΩ ~200 MΩ 8 MΩ ~

10 MΩ

1 MΩ

100 kΩ

10 kΩ

1 kΩ

100 Ω

10 Ω

1 Ω

100 mΩ

800 kΩ ~100 MΩ 800 kΩ ~10 MΩ

80 kΩ ~10 MΩ 80 kΩ ~1 MΩ

8 kΩ ~1 MΩ 8 kΩ ~100 kΩ

800 Ω ~100 kΩ 800 Ω ~10 kΩ

80 Ω ~10 kΩ 80 Ω ~1 kΩ

8 Ω ~100 Ω 8 Ω ~100 Ω

800 mΩ ~10 Ω 800 mΩ ~10 Ω

80 mΩ ~1 Ω 80 mΩ ~1 Ω

10 mΩ ~100 mΩ 0 Ω ~100 mΩ

• 측정 조건에 따라 정확도 보증 범위가 바뀝니다 .

참조 : “14.2 측정 범위와 정확도” (p.340) 에서 정확도 보증 범위를 확인해 주십시오 .

• 측정 범위는 측정 레인지에 의해 확정됩니다 . 측정치 표시가 “OVER FLOW(UNDER

FLOW)”라고 표시된 경우 현재 측정 레인지로는 측정할 수 없습니다 . AUTO 설정으로 최

적 레인지로 설정하거나 수동으로 측정 레인지를 변경해 주십시오 . 측정 결과가 표시 범위 (p.335) 외였던 경우에는 “DISP OUT”이 표시됩니다 .

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

• 측정 레인지의 설정은 시료와 측정 케이블의 임피던스 합계치에 따라 설정하고 있습니다 . 따라서 , 시료의 임피던스 값만으로 측정 레인지를 HOLD 설정하면 측정할 수 없는 경우가 있습니다 . 이때는 “8.1 오픈 보정 실행하기” (p.213) 와 “8.2 쇼트 보정 실행하기” (p.222) 에서 확인하여 측정 레인지를 변경해 주십시오 .

• 측정치가 정확도 보증 외인 경우 화면 상부에 다음 코멘트가 표시됩니다 .

이 경우 다음

과 같은 원인을 생각할 수 있습니다 .

“14.2 측정 범위와 정확도” (p.340) 에서 정확도 보증 범위를 확인하여 측정 조건을 변경

하거나 측정치를 참고치로 삼아 주십시오 .

• 측정 신호 레벨이 너무 낮은 경우 : 측정 신호 레벨을 올린다 .

• 현재의 측정 레인지 (HOLD 설정일 때 ) 로는 적당하지 않은 경우 : AUTO 레인지로 최적

의 측정 레인지로 설정하거나 수동으로 측정 레인

지를 변경한다 .

4.3

직류 저항 측정 설정하기

JUDGE 동기 설정

JUDGE 동기 설정을 유효로 하면 콤퍼레이터 또는 BIN 측정의 판정 기준에 대해 최적인 레인지를 설정하고자 할 때 에서 임의로 다시 설정할 필요가 없어집니다 .

• 콤퍼레이터 , BIN 측정에서 판정 기준이 설정되어 있을 때만 유효합니다 .

순　서

LCR 측정 화면

LCR 기본 설정

제 4 장 LCR 기능

를 누른다 .

4.3

직류 저항 측정 설정하기

JUDGE 동기 설정 시 파라미터의 조합 조건

제 3 파라미터

레인지 설정

를 눌러 설정 화면을 닫는다 .

OFF Rdc

JUDGE 동기 설정의 ON/OFF 를 선택한다 .

JUDGE 동기 설정을 무효로 합니다 .

JUDGE 동기 설정을 유효로 합니다 .

OFF

제 1 파라미터

Rdc

z z

설정 불가 ( 레인지 취급 )

설정 가능

Hioki IM3533, IM3533-01 Instruction Manual [ko]

Specifications and Main Features

Frequently Asked Questions

User Manual

포장 내용물 확인

안전에 대해서

사용 시 주의사항

1.1 제품 개요와 특장점

제 1 장 개요

1.2 각부의 명칭과 기능

1.3 화면 구성과 조작

1.3.1 초기화면

1.3.2 측정 모드 선택 화면

1.3.3 상세 설정 화면

1.3.4 보정 설정 화면

1.3.5 시스템 설정 화면

1.3.6 저장 설정 화면

1.3.7 파라미터 설정 화면

2.1 준비 순서

제 2 장 측정 전 준비

2.2 측정 전 점검

2.3 전원 코드 접속하기

2.4 측정 케이블 , 프로브 , 픽스처 접속하기

2.5 온도 프로브 접속하기

2.6 인터페이스 접속하기

2.7 전원 켜기 , 끄기

3.1 LCR 모드의 경우

제 3 장 측정 예

3.2 애널라이저 모드의 경우 (IM3533-01 만 )

3.3 트랜스 모드의 경우

4.1 LCR 기능에 대해서

4.1.1 측정화면

제 4 장 LCR 기능

4.1.2 표시 파라미터 설정하기

4.1.3 측정치를 확대 표시하기

4.2 측정 조건의 기본 설정

4.2.1 측정 주파수 설정하기

4.2.2 측정 신호 레벨 설정하기

4.2.3 시료에 인가되는 전압 , 전류 제한하기 ( 리밋 값 )

4.2.4 DC 바이어스 설정하기

4.2.5 임의의 타이밍에서 측정하기 ( 트리거 측정 )

4.2.6 측정 레인지 설정하기

측정 레인지의 결정방법 설정 (AUTO, HOLD, JUDGE SYNC)

저 Z 고정밀도 모드

4.2.7 측정 속도 설정하기

4.2.8 평균치로 표시하기 ( 애버리지 설정 )

4.2.9 측정 데이터를 가져오기까지의 지연 시간 설정하기 ( 트리거 딜레이 )

4.2.10 측정 시에만 시료에 신호를 인가하기 ( 트리거 동기 출력 기능 )

4.3 직류 저항 측정 설정하기

4.3.1 온도 보정 기능 설정하기

4.3.2 DC 측정의 지연 시간 설정하기 (DC 딜레이 )

4.3.3 오프셋 측정의 지연 시간 설정하기 ( 어저스트 딜레이 )

4.3.4 전원 주파수 설정하기

4.3.5 측정 레인지 설정하기

측정 레인지의 결정방법 설정 (AUTO, HOLD, JUDGE SYNC)