Hioki IM3533, IM3533-01 Instruction Manual [zh]

IM3533 IM3533-01
LCR 测试仪
LCR METER
使用说明书
使用前请务必阅读 关于安全
初次使用时 有问题时
各部分的名称与功能 画面构成与操作 测量前的准备
保留备用
Sept. 2018 Revised edition 5 IM3533A982-05(A980-06) 18-09H
p.10 p.12 p.29
有问题时 错误显示
视频通过此处观看扫描此码 可观看讲解视频。 流量费用由客户自己负担。
p.3
p.353 p.358
CN
前言 ................................................................1
装箱内容确认.................................................. 1
关于安全.........................................................3
使用注意事项................................................. 5
1 章 概要 9
1.1 产品概要和特点 ....................................9
1.2 各部分的名称与功能 ........................... 10
1.3 画面构成与操作 ..................................12
1.3.1 初始画面 .......................................... 12
1.3.2 测量模式选择画面 ........................... 13
1.3.3 详细设置画面 ................................... 14
1.3.4 补偿设置画面 ................................... 24
1.3.5 系统设置画面 ................................... 25
1.3.6 保存设置画面 ................................... 27
1.3.7 参数设置画面 ................................... 28
2 章 测量前的准备 29
2.1 准备流程 .............................................29
2.2 测量前的检查 .....................................30
2.3 连接电源线 .........................................31
2.4 连接测试电缆、探头与夹具 ................ 32
2.5 连接温度探头 .....................................33
2.6 连接接口 .............................................34
2.7 接通 / 关闭电源 ...................................35
3 章 测量示例 37
3.1 LCR 模式时 ........................................37
3.2 分析仪模式时 (仅限于 3533-01) ..... 39
3.3 变压器模式时 .....................................41
IM3533A
982-05
4 LCR 功能 45
4.1 关于 LCR 功能 ....................................45
4.1.1 测量画面 ..........................................45
4.1.2 设置显示参数 ...................................46
4.1.3 放大显示测量值 ...............................48
4.2 进行测量条件的基本设置 ....................49
4.2.1 设置测量频率 ...................................49
4.2.2 设置测量信号电平 ............................51
4.2.3 限制施加到测试物上的电压与电流
(限值) ............................................55
4.2.4 设置 DC 偏置 ...................................57
4.2.5 在任意时序下进行测量
(触发测量) .....................................59
4.2.6 设置量程 ..........................................61
量程确定方法的设置
(AUTOHOLDJUDGE SYNC) ...........61
低 Z 高精度模式 ..........................................70
4.2.7 设置测量速度 ...................................72
4.2.8 用平均值显示 (平均值设置) ..........73
4.2.9 设置至读取测量数据之前的延迟时间
(触发延迟) .....................................75
4.2.10 仅在测量时向测试物施加信号
(触发同步输出功能) ......................76
4.3 进行直流电阻测量设置 .......................79
4.3.1 设置温度补偿功能 ............................80
4.3.2 设置 DC 测量的延迟时间
DC 延迟) ......................................82
4.3.3 设置偏置测量的延迟时间
(调节延迟) .....................................84
4.3.4 设置电源频率 ...................................86
4.3.5 设置量程 ..........................................87
量程确定方法的设置
(AUTOHOLDJUDGE SYNC) ...........87
低 Z 高精度模式 ..........................................95
4.3.6 设置测量速度 ...................................97
4.3.7 用平均值显示 (平均值设置) ..........98
4.4 判定测量结果 ......................................99
4.4.1 利用上下限值进行判定 (
比较器测量) ..................................101
以绝对值 (ABS)设置上限值与下限值
(绝对值模式) ..........................................103
以相对于基准值的 (%)值设置上限值
与下限值 (百分比模式) ........................104
以相对于基准值的偏差(%)值设置上限值
与下限值 ....................................................106
(偏差百分比模式) ..................................106
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目录
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目录
4.4.2 对测量结果进行分类
BIN 测量) ...................................108
以绝对值 (ABS)设置上限值与下限值
(绝对值模式) .......................................... 110
以相对于基准值的 (%)值设置上限值
与下限值 (百分比模式) ........................ 113
以相对于基准值的偏差(%)值设置上限值
与下限值 .................................................... 116
(偏差百分比模式) .................................. 116
4.5 进行应用设置 ....................................119
4.5.1 设置各量程的测量条件
(量程同步功能) ............................119
4.5.2 检测信号波形平均数的任意设置
(波形平均功能) ............................126
4.5.3 检测 2 端子测量时的 OPEN
Hi Z 筛选功能) ...........................128
4.5.4 确认接触不良或接触状态
(接触检测功能) ............................130
4.5.5 设置比较器、 BIN 判定结果输出~
EOM
(LOW) 之间的延迟时间与
判定结果的复位 .............................132
4.5.6 将正在测量的触发输入设为有效、
设置触发输入的有效边沿 ...............134
4.5.7 设置 EOM
4.5.8 保存测量结果 (存储功能) ...........136
4.5.9 设置显示位数 .................................138
4.5.10 设置液晶显示器的 ON/ OFF ..........140
4.5.11 设置操作音 (蜂鸣音) ..................141
4.5.12 将按键操作设为无效
(按键锁定功能) ............................142
4.5.13 初始化 (系统复位) ......................145
的输出方法 ...................135
5.2.11 设置 DC 偏置 ................................. 167
5.3 应用设置 .......................................... 169
5.3.1 仅在测量时向测试物施加信号
(触发同步输出功能) .................... 169
5.3.2 检测信号波形平均数的任意设置
(波形平均功能) ........................... 171
5.3.3 检测 2 端子测量时的 OPEN
Hi Z 筛选功能) ........................... 173
5.3.4 确认接触不良或接触状态
(接触检测功能) ........................... 175
5.3.5 保存测量结果 (存储功能) ........... 177
5.3.6 AUTO 量程限制功能 ..................... 180
5.3.7 设置液晶显示器的 ON/OFF ........... 182
5.3.8 设置操作音 (蜂鸣音) .................. 183
5.3.9 将按键操作设为无效
(按键锁定功能) ........................... 184
5.3.10 将正在测量的触发输入设为有效、
设置触发输入的有效边沿 .............. 187
5.3.11 设置 EOM
5.3.12 初始化 (系统复位) ..................... 189
的输出方法 ................... 188
6 章 变压器功能 191
6.1 关于变压器功能 ............................... 191
6.1.1 测量画面 ........................................ 191
6.1.2 测量方法 ........................................ 192
6.1.3 设置测量参数 ................................ 194
6.1.4 设置运算参数 ................................ 195
6.2 进行测量条件的基本设置 ................. 196
5 章 分析仪功能
(仅限于
5.1 关于分析仪功能 ................................147
5.1.1 测量画面 ........................................147
5.2 设置测量的基本项目 .........................148
5.2.1 设置测量参数 .................................148
5.2.2 设置触发 ........................................149
5.2.3 设置显示时序 .................................150
5.2.4 设置触发延迟 .................................151
5.2.5 设置扫描点 .....................................153
5.2.6 设置测量信号电平 ..........................156
5.2.7 设置量程 ........................................158
量程的确定方法 (AUTOHOLD) ......... 158
Z 高精度模式 ....................................... 162
5.2.8 设置测量速度 .................................164
5.2.9 用平均值显示 (平均值设置) ........165
5.2.10 设置扫描点延时 .............................166
IM3533-01)147
6.3 利用上下限值进行判定
(比较器测量) ................................. 197
以绝对值 (ABS)设置上限值与
下限值 (绝对值模式) ............................ 200
以相对于基准值的 (%)值设置上限值与下
限值 (百分比模式) ................................ 201
以相对于基准值的偏差 (%)值设置
上限值与下限值 ........................................ 203
(偏差百分比模式) ..................................203
6.4 进行应用设置 ................................... 205
7 章 连续测量功能 207
7.1 关于连续测量功能 ............................ 207
7.1.1 测量画面 ........................................ 207
7.2 进行连续测量的基本设置 ................. 208
7.3 执行连续测量 ................................... 209
7.4 确认连续测量的结果 ........................ 210
iii
目录
13
7.5 进行连续测量的应用设置 ................. 211
7.5.1 设置显示时序 ................................. 211
7.5.2 设置液晶显示器的 ON/OFF ........... 212
8 章 补偿误差 213
8.1 进行开路补偿 ...................................213
8.1.1 ALL 补偿 ........................................214
8.1.2 SPOT 补偿 ....................................218
8.2 进行短路补偿 ...................................222
8.2.1 ALL 补偿 ........................................224
8.2.2 SPOT 补偿 ....................................226
8.3 将值调节为基准值 (负载补偿) .......230
8.4 补偿测试电缆的误差
(线缆长度补偿) .............................. 243
8.5 进行值换算 (转换比) .....................244
9 章 进行面板信息的保存 /
读入 247
9.1 保存测量条件 (面板保存功能) .......249
9.2 读入测量条件 (面板读取功能) .......254
9.3 变更面板名称。 ................................. 256
9.4 删除面板 ...........................................258
10 章 进行系统设置 261
10.1 进行接口设置 ...................................261
10.2 确认本仪器的版本。 .......................... 262
10.3 自检查 (自诊断) ............................263
10.4 设置日期与时间 ................................270
变更要保存的文件夹 ................................289
11.5 保存主机的设置 ............................... 291
保存主机的设置 ........................................291
保存本仪器的所有设置
ALL SAVE 功能) ..................................293
11.6 读入主机设置 ................................... 295
读入主机设置 ............................................295
读入 U 盘中保存的所有设置
ALL LOAD 功能) .................................298
11.7 进行文件 / 文件夹操作 ..................... 300
U 盘进行格式化 ...................................300
删除文件 / 文件夹 .....................................302
生成文件夹 ................................................303
显示 U 盘的信息 .......................................305
12 章 进行外部控制 307
12.1 关于外部输入输出端子与信号.......... 307
使用连接器与信号的配置 ........................308
各信号的详细功能 ....................................313
12.2 时序图 .............................................. 315
12.2.1 LCR 模式 ...................................... 315
12.2.2 分析仪模式
(仅限于 IM3533-01 ................... 318
12.2.3 变压器模式 .................................... 319
12.2.4 连续测量 ....................................... 320
12.3 内部电路构成 ................................... 322
电气规格 ....................................................323
连接举例 ....................................................324
12.4 有关外部输入输出的设置 ................. 325
设置比较器、 BIN 判定结果输出~
EOM (LOW) 之间的延迟时间 ..................325
设置判定结果的复位 ................................325
将正在测量的触发输入设为有效 ............325
设置触发输入的有效边沿 ........................325
12.5 关于外部控制的 Q&A ....................... 326
12.6 使用计算机进行测量 ........................ 326
1
14
15
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11 章 使用 U 271
11.1 U 盘的插拔 ....................................... 272
11.2 关于文件操作画面 ............................273
11.3 关于文件保存设置画面 .....................274
11.4 保存测量数据 ...................................275
以文本形式保存测量结果 ........................275
保存画面的拷贝 ........................................285
确认文件的内容 ........................................288
13 章 打印 327
13.1 连接打印机 ...................................... 327
连接本仪器与打印机 ................................328
13.2 设置本仪器与打印机 ........................ 329
进行本仪器的设置 ....................................329
13.3 打印 ................................................. 330
12
附 录
索 引
iv
目录
14 章 规格 333
14.1 一般规格 ...........................................333
14.2 测量范围与精度 ................................338
基本精度计算示例 .................................... 343
14.3 测量时间与测量速度 .........................347
15 章 维护和服务 351
15.1 修理、检查与清洁 ............................351
15.2 有问题时 ...........................................353
15.3 错误显示 ...........................................358
15.4 本仪器的废弃 ....................................360
附录 1
附录 1 测量参数与运算公式 .......... 附 1
附录 2 进行高阻抗元件的测量时 ...... 附 3
附录 3 进行电路网中的元件测量时 .... 附 4
附录 4 防止混入外来噪音 ............ 附 5
附录 4.1 电源线混入噪音的对策 ....... 附 5
附录 4.2 测试电缆混入噪音的对策 ..... 附 6
附录 5 施加 DC 偏置 ................ 附 7
附录 5.1 直流电压偏置的施加方法 ..... 附 7
附录 5.2 直流电流偏置的施加方法 ..... 附 8
附录 6 残留电荷保护功能 ............ 附 9
附录 7 关于串联等效电路模式与
并联等效电路模式 ........... 附 10
附录 8 关于开路补偿与短路补偿 ..... 附 11
附录 9 关于温度补偿功能 (TC)....附12
附录 10 支架安装 ................... 附 14
附录 11 外观图 ..................... 附 16
附录 12 初始设置清单 ............... 附 17
附录 13 设备文件 ................... 附 22
索引 1
前言
感谢您选择 HIOKI IM3533IM3533-01 LCR 测试仪”。
为了您能充分而持久地使用本产品,请妥善保管使用说明书,始终放在手边,以便随时取阅。
IM3533IM3533-01 LCR 测试仪以下将记为 “本仪器”。
关于商标
Windows 是美国 Microsoft Corporation 在美国与其它国家的注册商标或商标。

装箱内容确认

本仪器送到您手上时,请检查在运输途中是否发生异常或损坏后再使用。尤其请注意附件、面板表面的开关及
端子类等物件。万一有损坏或不能按照参数规定工作时,请与销售店(代理店)或距您最近的营业所联系。
1
前言
请确认装箱内容是否正确。
IM3533 或 IM3533-01
LCR 测试仪..................................................... 1
不附带探头与测试夹具。请根据用途另行购买。
主机出厂时被设为 “附录 12 初始设置清单” (附第 17 ) 的状态。
使用说明书 (本手册).............................. 1
LCR 应用软件光盘 ..................................... 1
(通讯使用说明书(PDF 版)、通讯命令说明、
USB 驱动程序、采样应用软件)
可从本公司主页下载最新版本。
三相电源线 .................................................. 1
运输注意事项
运输本仪器时,请使用送货时的包装材料。
参照 :“运输本仪器时” ( 第 352 页 )
2
装箱内容确认
关于选件 详情请垂询销售店 (代理店)或距您最近的营业所。
L2000 4 端子探头
鳄鱼夹型。 具有通用性,可夹住较细~较
粗的线。
9140-10 4 端子开尔文夹
测量范围:DC 8 MHz 最大电压:± 42 Vpeak AC+DC) 最大电流:± 1 Apeak AC+DC) 可测量端子直径:0.3 mm 5 mm
9500-10 4 端子探头
蛾虫夹型
测量范围:DC 200 kHz 最大电压:DC ± 40 V (42 Vpeak ( 测量信号+偏置电压 )) 最大电流:1 Apeak (测量信号+偏置电流) 测定可能端子直径:0.3 mm 2 mm
9261-10 测试治具
测量范围:DC 8 MHz 最大施加电压:DC ± 40 V 测定可能端子直径:0.3 mm 1.5 mm
9263 SMD 测试治具
是最适合测量芯片等部件的测试 夹具。
(调零之后。
残留电阻 10 m以下)
测量范围:DC 200 kHz 最大电压:± 42 Vpeak (AC+DC) 最大电流:± 1 Apeak AC+DC) 测定可能端子直径:0.3 mm 5 mm
L2001 镊形探头
镊子型
测量范围:DC 8MHz 最大施加电压:± 42Vpeak AC+DC) 最大施加电流:± 1Apeak AC+DC) 顶端电极间隔:0.3 ~约 6mm
9262 测试治具
是最适合测量导线等部件的测 试夹具。
(调零之后。残留电阻 10 m
以下)
测量范围:42 Hz 8 MHz 最大施加电压:DC ± 40 V 测试物尺寸:导线直径 导线节距 5 mm 以上
φ0.3mm~2 mm
9677 SMD 测试治具
测量范围:DC 8 MHz 最大施加电压:DC ± 40 V 测试物尺寸:测试物宽度 1 mm 10 mm
9268-10 DC 偏置电压单元
测量范围:40 Hz 8 MHz 最大施加电压:DC ± 40 V
9699 SMD 测试治具
用于电极下面。
测量范围:DC 120 MHz 最大施加电压:DC ± 40 V 测试物尺寸:测试物宽度 1 mm 4 mm 测试物高度 1.5mm 以下
测量范围:DC 120 MHz 最大施加电压:DC ± 40 V 测试物尺寸:测试物宽度 3.5 ± 0.5 mm 以下
9269-10 DC 偏置电流单元
测量范围:40 Hz 2 MHz 最大施加电压:DC ± 2 A
IM9100 SMD 测试治具
测量范围:DC 8 MHz 最大施加电压:± 42 Vpeak AC+DC) 最大施加电流:0.15 A rms (± 0.15 ADC) 可测量测试物尺寸:0.4 × 0.2 mm0.6 × 0.3 mm
1.0 × 0.5 mm
3

关于安全

IM9110 SMD 测试治具
测量范围:DC 1 MHz 最大施加电压:± 42 Vpeak AC+DC) 最大施加电流:0.15 A rms (± 0.15 A DC) 可测量测试物尺寸:0.25 × 0.125 mm × 0.125 mm
Z3000 GP-IB 接口
关于安全
本仪器是按照 IEC61010 安全规格进行设计和测试,并在安全的状态下出厂的。如果测量方 法有误,有可能导致人身事故和仪器的故障。另外,按照本使用说明书记载以外的方法使用
本仪器时,可能会损坏本仪器所配备的用于确保安全的功能。 请熟读使用说明书,在充分理解内容后进行操作。万一发生事故,除了本公司产品自身的原 因以外概不负责。
Z3001 RS-232C 接口
9478 温度探头
白金测温电阻体 (Pt100)、防水结构 (EN60529:1991,IP67) 测量范围:-10.0 ℃~ 99.9
φ2.3 mm
顶端: 电线长度:1 m
Z3002 LAN 接口
本使用说明书中记载了安全操作本仪器,保持仪器的安全状态所需要的信息和注意事项。在使用本仪器前请认 真阅读下述与安全有关的事项。
安全记号
表示使用者必须阅读使用说明书中有 记号的地方并加以注意。
使用者对于仪器上标示 记号的地方,请参照使用说明书上 记号的相应位置说明,操作仪器。
表示交流电 (AC)
表示电源 “开”。
表示电源 “关”。
使用说明书的注意事项,根据重要程度有以下标记。
表示如果产生操作或使用错误,有导致使用者死亡或重伤的极高危险性。
表示如果产生操作或使用错误,有导致使用者死亡或重伤的危险性。
表示如果产生操作或使用错误,有可能导致使用者受伤或仪器损坏。
表示产品性能及操作上的建议。
4
关于安全
与标准有关的符号
欧盟各国有关电子电气设备废弃的法规 (WEEE 指令)的标记。
表示符合 EU 指令所示的安全限制。
关于标记
文中的标记
表示禁止的行为。
( 第○页 )
*
[ ]
CURSOR
( 粗体 )
Windows
对话框 Windows 的对话框记为 “对话框”。
表示参阅页面。
表示术语说明记述于底部位置。
菜单名、页名、设置项目、对话框名以及按钮等画面上的名称以 [ ] 进行标记。
文中的粗体字母数字表示键盘上标示的字符。
未特别注明时, Windows 9598MeWindows NT4.0Windows 2000, Windows XP, Windows Vista Windows 7 均记为 “Windows”。
关于精度
本公司将测量值的极限误差,作为如下所示的 f.s. (满量程)、 rdg. (读取值)、 dgt. (数位分辨率)、 setting (设置)的值来加以定义。
f.s. (最大显示值、刻度长度) 表示最大显示值、刻度长度。一般来说是表示当前所使用的量程。
rdg. (读取值、显示值、指示值) 表示当前正在测量的值、测量仪器当前的指示值。
dgt. (分辨率) 表示数字式测量仪器的最小显示单位、即最小位的 “1”。
setting (设置值) 表示要输出的电压值、电流值等设置的值。
关于测量分类
为了安全地使用测量仪器,IEC61010 把测量分类按照使用场所分成 CAT I ~CAT IV 四个安全等级的标准。 概要如下所述。
CAT II
CAT III
CAT IV
带连接插座的电源线的仪器 (可移动工具、家用电器等)的初级侧电路 直接测量插座插口时为 CAT Ⅱ。
直接从配电盘得电的仪器 (固定设备)的初级侧电路,以及从配电盘到插座的电路
建筑物的进户电路、从进入口到电表及初级侧过电流保护装置 (分电盘)的电路
如果使用分类数值等级小的测量仪器在大数值级别的场所进行测量时,可能会导致重大事故,因此请绝对 避免这种情况。

使用注意事项

为了您能安全地使用本仪器,并充分运用其功能,请遵守以下注意事项。
使用前确认
在使用前,请先确认没有因保存和运输造成的故障,并在检查和确认操作之后再使用。
确认为有故障时,请与销售店 (代理店)或距您最近的营业所联系。
请在使用前确认探头或电缆的外皮有无破损或金属露出。由于这些损伤会造成触电事故,所 以请换上本公司指定的型号。
关于本仪器的放置
5
使用注意事项
使用温湿度范围:0 40 ℃、 20 80%RH 以下的室内 (没有结露)
保存温湿度范围:-10 55 ℃、 20 80%RH 以下的室内 (没有结露)
精度保证温湿度范围:23 ± 5 ℃、 80%RH 以下
请不要把本仪器放置在以下场所,否则会造成本仪器的故障或事故。
日光直射的场所 高温的场所
受水、油、化学剂与溶剂等 影响的场所
潮湿、结露的场所
灰尘多的场所
机械震动频繁的场所
为了防止本仪器温度上升,设置时请确保与周围保持指定的距离。
不要把底面以外的部分向下放置。
不要放置在不稳定的台座上或倾斜的地方。
请勿堵塞通风孔。
产生腐蚀性气体、爆炸性气体 的场所
产生强力电磁波的场所 带电物体附近
感应加热装置附近
(高频感应加热装置、IH 电磁
炉等)
50 mm 以上 10 mm 以上
本仪器可在支架立起状态下使用。 ( 第 11 页 ) 也可以安装在支架上。 (
50 mm 以上 通风孔
背面
附第 14 )
6
使用注意事项
关于保证
本公司对因组装本仪器时或转售时因使用方造成的直接或间接损失不承担任何责任。敬请了解。
关于本仪器的使用
为防止触电事故发生,请绝对不要拆下主机外壳。内部有高电压及高温部分。
请不要淋湿本仪器,或者用湿手进行测量。否则会导致触电事故。
使用期间发生异常动作或显示时,请确认“有问题时”( 353 )、“错误显示”(
358 页 ),并与代理店或距您最近的营业所联系。请勿输入超出各量程测量范围的电压和电 流。否则会导致本仪器损坏。
本仪器不是防尘和防水结构。请勿在灰尘较多或淋水的环境中使用。否则会导致故障。
为了防止本仪器损坏,在搬运及使用时请避免震动、碰撞。尤其要注意因掉落而造成的碰
撞。
请不要在放置支架竖立的状态下从上方施加强力。否则会损坏放置支架。
请勿用力按压触摸面板,或用坚硬物品、尖头物品按压触摸面板。否则会导致故障。
使用后请务必切断电源。
本仪器属于 Class A 产品。 如果在住宅区等家庭环境中使用,则可能会干扰收音机与电视播放信号的接收。在这种情况 下,请作业人员采取适当的防护措施。
接通电源之前
在接通电源前,请确认本仪器的电源连接部上所记载的电源电压与您使用的电源电压是否
请勿弄错电源电压的连接。否则可能会导致内部电路被击穿。
为了避免触电事故并确保本仪器的安全,请把电源线连接到三相插座上。
为了避免触电与短路事故,连接探头之前,请切断各仪器的电源。
一致。如果使用指定范围外的电源电压,会造成本仪器的损坏或电气事故。
关于电线类、测试夹具与温度探头的使用
为了确保安全,不使用本仪器时,请务必从本仪器上拔出电源线并完全切断电源。为防止 断线,将电源线从插座或本仪器拔出的时候,请握住插头部分 (电源线以外)拔出。
请勿向测量端子施加电压。否则可能会导致本仪器损坏。
拔出BNC连接器时,请务必在解除锁定后握住拔出。如果不解除锁定硬拔或直接拔拉电缆,
都会损坏连接器。
为防止因断线引起的故障,请不要弯折或拽拉电缆或探头的连接部。
为了不损坏电线的外皮,请不要踩踏或夹住电线。
如果电线熔化,金属部分则会露出,这非常危险。请勿触摸发热部分等。被测导线可能会
处于高温状态,请勿触摸。
温度探头经过白金薄膜的精密加工。如果施加过高电压脉冲或静电,则可能会导致损坏。
请勿使温度探头顶端承受过大的碰撞,也不要强行弯曲导线。否则可能会导致故障或断线。
请注意勿使温度探头的握手部分和补偿导线超出指定的温度范围。
温度探头的顶端带有尼龙保护盖。测量时,请取下后使用。
不使用的连接器请务必装上保护盖。如果保护盖安装不充分,连接器上则会附着灰尘,这可
能会导致故障。
温度探头的外壳中填充有氧化镁粉末。一旦探头损坏,则可能会导致氧化镁粉末流出,因 此,使用时请勿向外壳施加过大的力。如果人体大量摄取氧化镁粉末,则可能会损害健康。
7
使用注意事项
使用本仪器时,请务必使用本公司指定的连接电缆。如果使用指定以外的连接电缆,则可 能会因接触不良等而导致无法进行正确的测量。
使用测试夹具等时,请仔细阅读使用产品附带的使用说明书。
连接到 EXT I/O 连接器之前
为了防止发生触电事故和仪器故障,连接 EXT I/O 连接器时,请遵守下述事项。
请在切断本仪器以及连接仪器的电源之后再进行连接。
请勿超出 EXT I/O 连接器的信号额定值。 ( 323 )
如果动作期间连接脱落或接触其它导电部分,则非常危险。请用螺钉牢固地固定外部连接器
的连接。
请对连接到 EXT I/O 连接器上的仪器和装置进行适当的绝缘。
EXT I/O ISO_5V 端子为 5 V 电源输出。请勿从外部输入电源。
8
使用注意事项
关于接口 (选件)
更换之前
请将本仪器与计算机的地线连接设为共用。如果不采用同一地线,则本仪器的 GND 与计算 机的 GND 之间会产生电位差。如果在有电位差的状态下连接通讯电缆,则可能会导致误动 作或故障。
连接或拆卸通讯电缆时,请务必切断本仪器与计算机的电源。否则可能会导致误动作或故 障。
连接通讯电缆之后,请牢固地固定连接器附带的螺钉。如果连接器连接不牢固,则可能会 导致误动作或故障。
为了避免触电事故,请在关闭主机电源并拔下所有连接线和电源线之后,进行接口的安装 或拆卸。
装卸接口连接器时,请关闭各仪器的电源。否则会导致触电事故。
不使用接口 (选件)时
为了避免触电事故,请勿在拔下接口的状态下使用。拔下接口时,请务必安装空板。
LCR 应用软件光盘的使用
为了避免光盘上附着指纹等污迹或打印时露出飞白,使用时请务必手持光盘的边缘。
请绝对不要触摸光盘的刻录面。另外,也不要直接放在坚硬的物品上面。
请勿用挥发性酒精或水擦拭光盘,否则可能会导致光盘的标签标记消失。
在光盘的标签表面上写字时,请使用笔尖为毛毡的软性油性笔。请勿使用圆珠笔或笔尖坚
硬的笔,否则可能会导致光盘损伤,造成刻录内容损坏。另外,也不要使用胶粘性标签。
请勿将光盘放在阳光直射或高温潮湿的环境中,否则可能会导致光盘变形或刻录内容损 坏。
清除光盘上的污点、灰尘或指纹时,请使用柔软的干布或 CD 清洁剂。请始终从内侧向外侧 方向擦拭,绝对不要划圈擦拭。另外,请勿使用研磨剂或溶剂类清洁剂。
本公司对因本 LCR 应用软件光盘使用而导致的计算机系统故障以及购买产品时发生的故障 不承担任何责任。
1.1
产品概要和特点
9
1
概要 1

1.1 产品概要和特点

HIOKI IM3533 IM3533-01 LCR 测试仪是实现高速、高精度的阻抗测量仪。 可设置测量频率为 1 mHz 200 kHz、测量信号电平为 5 mV 5 V 的广范围测量条件。另外,可利用变压 器 / 线圈测量专用画面、带温度补偿功能的直流电阻测量与分析仪功能 (仅限于 IM3533-01)等,用于变 压器与线圈生产线~研究开发等各种用途。
广范围的测量条件 ( 第 49 页 )
可在测量频率为 1 mHz 200 kHz、测量信号电平为 5 mV 5 V 的广范围测量条件下进行测量频率的测量。
分析仪模式(仅限于 IM3533-01) ( 第 147 页 )
可利用频率扫描功能测量频率特性。(仅限于列表显示)
可高速测量
可进行高速测量。 最快可进行 2 ms (典型值)的测量。
变压器模式 ( 第 191 页 )
可在专用画面中高效地测量变压器与线圈等绕线。

1 章 概要

连续测量模式 ( 第 207 页 )
可连续测量主机中保存的测量 条件。可利用该功能在不同的 测量条件下进行合格与否判定 等。
(例:在 120 Hz 下连续测量
C-D 以及在 100 kHz 下连续测 量 Rs
比较器功能
LCR 模式:( 101 )
可针对 2 个参数,通过测量值进行 HI/IN//LO 合格 与否判定。
变压器模式:( 可针对运算参数,进行 HI/IN/LO 合格与否判定。
可高精度测量低阻抗
LCR 模式下,可进行用于高精度测量低阻抗的设 置。
197 页 )
对应各种接口
可利用最适合生产线的外部 I/0
(处理器接口)、 USBGP-IB
RS-232CLAN 进行对应。
*
GP-IBRS-232CLAN 为选件
BIN 功能 (108 页 )
LCR 模式下,可按测量值进行最多 10 个分级。
温度补偿功能
直流电阻测量时,可利用温度补偿功能进行高精度的 测量。
10
1.2
各部分的名称与功能

1.2 各部分的名称与功能

正 面
测量 LED
测量期间 LED 点亮。
(例:IM3533
判定结果显示 LED
LED 显示判定比较器、 BIN 测量的判定结果。
LCR 模式 ( 第 101 页 ) 变压器模式 (
197 页 )
液晶显示器
是触摸面板显示器。 按下画面上显示的键,对仪器进行 操作。
正面 USB 连接器
用于连接 U 盘。
( 272 )
底 面
测量端子
用于连接探头或测试夹具。 ( 第 32 页 )
H
H
L
L
GUARD 端子 : 屏蔽用端子
端子 : 电流发生端子
CUR
端子 : HIGH 侧电压检测端子
POT
端子 : LOW 侧电压检测端子
POT
端子 : 电流检测端子
CUR
本仪器可安装在支架上。
参照 :“支架安装” (
请妥善保管从本仪器上拆下的部件以备再次使用。
待机键
进入起动待机状态。
(
(主电源位于背面)
附第 14 )
35 )
1.2
各部分的名称与功能
11
背 面
主电源
用于进行电源的
ON/OFF
( 35 )
EXT I/O 连接器
用于连接 PLC I/O 板, 可开始测量或读取判定结果。
(
307 )
1
1 章 概要
接口插口
也可以安装接口选件。 ( 第 261 页 )、(通讯使用说明书
LCR 应用软件光盘))
Z3000 GP-IB 接口
Z3001 RS-232C 接口
(使用打印机时)
Z3002 LAN 接口
TC SENSOR 端子
用于连接温度探头,可将电阻 值换算为基准温度。
( 第 33 页 )、 (附第 12 页 )
LAN MAC 地址
( 第 262 页 )、(通讯使用说 明书 (LCR 应用软件光盘))
电源输入口
用于连接电源线。 ( 第 31 页 )
左 侧
通风孔
设置时请勿堵塞通风孔。 ( 第 5 页 )
背面 USB 连接器
与计算机连接之后,可利用通讯 命令控制本仪器。
(通讯使用说明书 (LCR 应用软
件光盘))
支架
可倾斜本仪器。
制造编号
表示制造编号。 出于管理方面所需,请勿剥 下。
右 侧
请不要在放置支架竖立的状态下从上方施加强力。否则会损坏放置支架。
12
1.3
画面构成与操作

1.3 画面构成与操作

本仪器测量条件的设置或变更均在触摸面板上进行。 轻轻触摸画面上的键,即可选择该键所设置的项目或数值。 选中的键变为黑色。 此后将在画面上轻轻 “触摸”记载为 “按下”。
请勿用力按压触摸面板,或用坚硬物品、尖头物品按压触摸面板。否则会导致故障。

1.3.1 初始画面

是打开电源时最初显示的画面。可在确认测量条件的同时进行测量。 再次打开电源时,按照切断电源之前的测量模式进行显示。
表示选择的测量模式。
参数键
进行各参数的设置。
(
28 )
监视值
VacVdc:测试物的端子间电压 IacIdc:流过测试物的电流值
操作键
根据情况显示操作键。
(
45 页 )
显示当前设置的接口。
菜单键
选择测量模式。 ( 第 13 页 )
设置详细条件。 ( 第 14 页 )
进行补偿设置。 ( 第 24 页 )
进行系统设置。 ( 第 25 页 )
进行保存设置。 ( 第 27 页 )
的设置内容因测量模式而
异。
表示可显示测量条件的页数。
显示测量条件。
1.3
画面构成与操作
13

1.3.2 测量模式选择画面

选择测量模式。
步 骤
1
测量画面
1
1 章 概要
按下
IM3533
IM3533-01
模式选择 (IM3533) 模式选择 (IM3533-01)
显示所选模式的测量画面。
选择测量模式。
LCR 模式 (⇒ 第 45 页 )
分析仪模式 (仅限于 IM3533-01( 第 147 页 )
变压器模式 ( 第 191 页 )
连续测量模式 ( 第 207 页 )
变更测量模式时,请在确认一组设置 (含补偿)之后进行测量。
14
1.3
画面构成与操作

1.3.3 详细设置画面

是设置要变更的测量条件等详细条件的画面。 请在事先选择测量模式 ( 第 13 页 ) 之后进行设置。
步 骤
1
分别设置 LCR 模式、变压器模式与连续测量模式。
也可以在 IM3533-01 上设置分析仪模式。
测量画面
LCR 模式
基本设置
按下
测量频率的设置 ( 第 49 页 )
显示 LCR 模式测量画面。
测量信号电平的设置 ( 第 51 页 )
电压 / 电流限值的设置 ( 第 55 页 )
DC 偏置的设置 ( 第 57 页 )
触发的设置 ( 第 59 页 )
量程设置 ( 第 61 页 )
测量速度的设置 ( 第 72 页 )
平均值设置 ( 第 73 页 )
触发延迟的设置 ( 第 75 页 )
触发同步输出功能的设置 ( 第 76 页 )
1.3
画面构成与操作
15
直流电阻测量的设置
显示 LCR 模式测量画面。
温度补偿功能的设置 ( 第 80 页 )
DC 延迟的设置 ( 第 82 页 )
校准延迟的设置 ( 第 84 页 )
电源频率的设置 ( 第 86 页 )
量程设置 ( 第 87 页 )
量速度的设置 ( 97 )
量速度的设置 ( 97 )
测量速度的设置 ( 第 97 页 )
平均值设置 ( 第 98 页 )
1
1 章 概要
16
1.3
画面构成与操作
应用设置
测量结果判定的设置 ( 第 99 页 )
量程同步功能的设置 ( 第 119 页 )
波形平均功能的设置 ( 第 126 页 )
Hi Z 筛选功能的设置 ( 第 128 页 )
接触检测功能的设置 ( 第 130 页 )
设置判定结果的I/O输出 ( 第 132 页 )
显示 LCR 模式测量画面。
I/O 触发的设置 ( 第 134 页 )
EOM 输出方法的设置 ( 第 135 页 )
测量结果的保存设置 ( 第 136 页 )
各参数显示位数的设置 ( 第 138 页 )
液晶显示器的设置 ( 第 140 页 )
蜂鸣音的设置 ( 第 141 页 )
按键锁定的设置 ( 第 142 页 )
面板的读取 / 保存 ( 第 247 页 )
系统复位 ( 第 145 页 )
1.3
画面构成与操作
17
设置信息的确认
显示有关交流信号 (AC) 的信息时
可在测量画面上确认设置的内容。 根据显示的信息切换按键的显示。
有关交流信号 (AC) 的信息的显示
有关直流信号 (DC) 的信息的显示
设置比较器测量时
有关比较器测量判定基准的信息的显 示
设置 BIN 测量时
有关 BIN 测量判定基准的信息的显示
1
1 章 概要
显示有关直流信号 (DC) 的信息时
显示有关比较器测量判定基准的信息时
显示有关 BIN 测量判定基准的信息时
18
1.3
画面构成与操作
分析仪模式 (仅限于 IM3533-01
基本设置
测量参数的设置 ( 第 148 页 )
触发的设置 ( 第 149 页 )
显示时序的设置 ( 第 150 页 )
触发延迟的设置 ( 第 151 页 )
扫描点的设置 ( 第 153 页 )
列表
测量电平信号的设置 ( 第 156 页 )
显示分析仪模式测量画面。
量程设置 ( 第 158 页 )
测量速度的设置 ( 第 164 页 )
平均值设置 ( 第 165 页 )
扫描点延迟的设置 ( 第 166 页 )
DC 偏置的设置 ( 第 167 页 )
显示分析仪模式测量画面。
1.3
画面构成与操作
19
应用设置
显示分析仪模式测量画面。
触发同步输出功能的设置 ( 第 169 页 )
波形平均功能的设置 ( 第 171 页 )
Hi Z 筛选功能的设置 ( 第 173 页 )
接触检测功能的设置 ( 第 175 页 )
测量结果的保存设置 ( 第 177 页 )
AUTO 量程限制功能 ( 第 180 页 )
液晶显示器的设置 ( 第 182 页 )
蜂鸣音的设置 ( 第 183 页 )
按键锁定的设置 ( 第 184 页 )
1
1 章 概要
IO 触发的设置 ( 187 )
EOM 输出方法的设置 ( 188 )
面板的读取 / 保存 ( 第 249 页 )
系统复位 ( 第 189 页 )
20
1.3
画面构成与操作
变压器模式
基本设置
显示变压器模式测量画面。
测量频率的设置 ( 第 49 页 )
测量信号电平的设置 ( 第 51 页 )
电压 / 电流限值的设置 ( 第 55 页 )
量程设置 ( 第 61 页 )
测量速度的设置 ( 第 72 页 )
平均值设置 ( 第 73 页 )
触发延迟的设置 ( 第 75 页 )
触发同步输出功能的设置( 第76页 )
1.3
画面构成与操作
21
应用设置
显示变压器模式测量画面。
测量结果判定的设置 ( 第 197 页 )
量程同步功能的设置 ( 第 119 页 )
波形平均功能的设置 ( 第 126 页 )
Hi Z 筛选功能的设置 ( 第 128 页 )
接触检测功能的设置 ( 第 130 页 )
设置判定结果的I/O输出 ( 第 132 页 )
I/O 触发的设置 ( 第 134 页 )
EOM 输出方法的设置 ( 第 135 页 )
1
1 章 概要
测量结果的保存设置 ( 第 136 页 )
各参数显示位数的设置 ( 第 138 页 )
液晶显示器的设置 ( 第 140 页 )
蜂鸣音的设置 ( 第 141 页 )
按键锁定的设置 ( 第 142 页 )
面板的读取 / 保存 ( 第 247 页 )
系统复位 ( 第 145 页 )
22
1.3
画面构成与操作
设置信息的确认
可在测量画面上确认设置的内容。
变压器型号的显示
有关交流信号 (AC) 的信息的显示
根据显示的信息切换按键的显示。
显示有关交流信号 (AC) 的信息时
显示变压器型号时
1.3
画面构成与操作
23
连续测量模式
基本设置
显示连续测量模式测量画面。
1
1 章 概要
从连续测量对象中删除 ( 第 208 页 )
设为连续测量对象 ( 第 208 页 )
从所有连续测量对象中删除 ( 第 208 页 )
设为所有连续测量对象 ( 第 208 页 )
面板内容的显示 ( 第 208 页 )
应用设置
显示时序的设置 ( 第 211 页 )
液晶显示器的设置 ( 第 212 页 )
显示连续测量模式测量画面。
24
1.3
画面构成与操作

1.3.4 补偿设置画面

步 骤
1
设置补偿条件。
测量画面
按下
开路补偿的设置 ( 第 213 页 )
短路补偿的设置 ( 第 222 页 )
显示测量画面。
负载补偿的设置 ( 第 230 页 )
线缆长度补偿的设置 ( 第 243 页 )
转换比的设置 ( 第 244 页 )
1.3
画面构成与操作
25

1.3.5 系统设置画面

步 骤
1
进行系统详细设置。
测量画面
1
1 章 概要
按下
接口类型的设置
显示测量画面。
RS-232C 的设置 (通讯使用说明书 (CD-R)
(仅安装 Z3001 时可设置)
GP-IB 的设置 (通讯使用说明书 (CD-R)
(仅安装 Z3000 时可设置)
USB 的设置 (通讯使用说明书 (CD-R)
(标配设置)
LAN 的设置 (通讯使用说明书 (CD-R)
(仅安装 Z3002 时可设置)
打印机的设置 ( 第 327 页 )
(仅安装 Z3001 时可设置)
26
1.3
画面构成与操作
本仪器版本的确认
显示画面的确认
( 第 262 页 )
显示测量画面。
面板测试 ( 第 263 页 )
面板补偿 ( 第 264 页 )
日期时间的设置
显示测量画面。
( 第 270 页 )
画面显示测试
( 第 266 页 )
ROM/RAM 测试 ( 268 )
I/O
测试(⇒ 第
显示本仪器设置的当前日期时间。
269页)
确定设置日期时间。
显示测量画面。
1.3
画面构成与操作
27

1.3.6 保存设置画面

步 骤
1
设置保存处和方法。
测量条件的保存
测量画面
1
1 章 概要
按下
保存方法的设置
设置条件的保存 ( 第 291 页 )
操作按钮的切换 ( 第 273 页 )
显示上一级 ( 第 273 页 )
文件的选择 ( 第 273 页 )
显示测量画面。
保存类型的设置(⇒ 第
275页)
保存处文件夹的设置 ( 第 289 页 )
显示测量画面。
28
1.3
画面构成与操作

1.3.7 参数设置画面

是显示测量参数的选择画面。
参照 :“4.1.2 设置显示参数” ( 第 46 页 )、“关于串联等效电路模式与并联等效电路模式” ( 附第 10 页 )
步 骤
按下要设置的键。
12
1 参数键
2 参数键
3 参数键
4 参数键
阻抗
导纳 (S)
阻抗的相位角 (°*
选择参数。
参数的设置测量画面
显示测量画面。
电抗 (
串联等效电路模式的电感 (H)
串联等效电路模式的有效电阻 =ESR
并联等效电路模式的有效电阻 (Ω)
串联等效电路模式的静电容量 (F)
并联等效电路模式的静电容量 (F)
损耗系数 = tanδ
电导 (S)
* 以阻抗 Z 为基准显示相位角 θ。以导纳 Y 为基准进行测量时,请倒置阻抗 Z 的相位角 θ 的符号。
并联等效电路模式的电感 (H)
Q 因数
电纳 (S)
直流电阻 (Ω)
温度 (°C)
停止显示测量参数
2.1
测量前的准备 2
设置本仪器之前,请务必阅读 “使用注意事项” ( 第 5 页 )。 有关支架安装,请参照 “支架安装” ( 附第 14 页 )。

2.1 准备流程

放置本仪器 ( 第 5 页 )
1
连接电源线 ( 第 31 页 )
2
29
准备流程
2

2 章 测量前的准备

在测量端子上连接测试电缆、探头与测试夹具 ( 第 32 页 )
3
请确认本仪器的电源处于关闭状态。
连接外部接口 (根据需要)
4
USB 连接线
GP-IB 电缆 (仅连接 Z3000 时)
打印机 (仅连接 Z3001 时) (
接通电源 ( 第 35 页 )
5
327 )
RS-232C 电缆 (仅连接 Z3001 时)
网线 (仅连接 Z3002 时)
EXT I/O ( 307 )
正面背面
9478 温度探头 (选件)
进行本仪器的设置
6
直流电阻测量时,请务必在测量之前设置电源频率。
参照 :“4.3.4 设置电源频率” ( 第 86 页 )
连接测试物
使用之后拆除测试物关闭电源 ( 第 35 页 )
30
2.2
测量前的检查

2.2 测量前的检查

使用之前请务必阅读 “使用注意事项” ( 第 5 页 )。
在使用前,请先确认没有因保存和运输造成的故障,并在检查和确认操作之后再使用。确认为 有故障时,请与销售店 (代理店)或距您最近的营业所联系。
1
外围设备的检查
电压线的外皮有无破损或金属露出 ?
未露出
测试电缆的外皮有无破损或金属露出 ?
未露出
2
本仪器的检查
本仪器是否损坏 ?
接通电源时
是否为开机画面显示 (型号名称与版本) ?
露出
露出
不显示
有损坏时,会造成触电事故或短路事故, 因此请勿使用。 请与销售店(代理店)或距您最近的营业所 联系。
有损坏时,可能会导致测量值不稳定或产生 误差。 建议更换为没有损坏的电线。
有损伤时请送修。
可能是电源线断线或者本仪器内部发生 了故障。请送修。
开机画面
开机画面中是否显示错误 ?
检查完成
显示
不显示
为错误显示 (Err)
可能是本仪器内部发生了故障。请送修。
参照 :“15.2 有问题时” (
15.3 错误显示” (
353 ) ⇒ 358 )
31
2.3
连接电源线

2.3 连接电源线

连接之前请务必阅读 “接通电源之前” ( 第 6 页 )、“关于电线类、测试夹具 与温度探头的使用” (
将电源线连接到本仪器并插入插座。
电源输入口
背面
7 页 )。
请确认本仪器的电源开关处于关闭状态。
1
然后将电源电压一致的电源线连接到电源输入口上。
2
(AC100 V 240 V)
将电源线的插头插进插座。
3
2
2 章 测量前的准备
请在切断电源之后,拔掉电源线。
32
2.4
连接测试电缆、探头与夹具

2.4 连接测试电缆、探头与夹具

连接之前请务必阅读 “关于电线类、测试夹具与温度探头的使用” ( 第 7 页 )。
在测量端子上连接测试电缆或本公司选购探头或测试夹具。 有关本公司选件,请参照 “关于选件” ( 第 2 页 )。 有关使用方法等的详细说明,请参照使用夹具等的使用说明书。
连接测试电缆与测试夹具
将印有产品名称的面朝上,直接插入 到测量端子中,然后用左右的手柄固 定。
(连接选件 9140-10L2001 时)请将红色插头连接到
H
CUR
L
POT 端子上。
端子与 H
端子上,将黑色插头连接到 L
POT
CUR
端子
( 连接选件 9500-10 )
CUR
H
请将 H 到连接仪器的各测量端子上。
POT
L
自制探头时的注意事项
测试电缆请使用 50 同轴电缆。
请确认电缆长度与主机设置一致。 (IM3533: 1 mIM3533-01: 1 m/ 2 m/ 4 m)
电缆长度为 BNC 连接器顶端~探头部分电极顶端之间的长度。
请尽可能缩短芯线剥离部分。
请将 H
CUR
L
CUR
H
POT
L
屏蔽线连接到测试物侧的屏蔽线上。
POT
(请勿将屏蔽线连接到芯线上)
请尽量使用 HIOKI 生产的探头与测试夹具 (选件)等。自制探头时,可能无法满足本仪器 的规格。
参照 :“关于选件” ( 第 2 页 )
如果将 4 端子全部置于开路状态,则可能会显示没有任何含义的数字。
CUR 、LPOT
BNC 插头正确地连接
测量端子的构成
测试夹具
通常模式
33
2.5
连接温度探头

2.5 连接温度探头

连接之前请务必阅读 “关于电线类、测试夹具与温度探头的使用” ( 第 7 页 )。
2
背面
连接部分
请确认本仪器的电源开关处于关闭状态。
1
握住连接器部分,将箭头朝上进行连接。
2
听到咔嗒声时,连接器即被锁定。
握住连接器 (连接以外的部分)轻轻拉拽,确认连接可
3
靠。
拆卸温度探头时:
握住连接器的连接部分并笔直地拔出。
2 章 测量前的准备
OK
9478 温度探头的温度测量部分位于金属外壳的顶端。 测量被测物的内部温度时,请按如下所述将金属外壳插入 40 mm 以上的长度,以确保正确测 量。
40 mm 以上
34
2.6
连接接口

2.6 连接接口

连接之前请务必阅读 “关于接口 (选件)” ( 第 8 页 )。
安装 / 更换接口选件时或因不使用而拆下接口时请阅读。
安装接口
准备物件:十字螺丝刀
背面
从插座上拔出本仪器的电源线。
1
拆下连接线。
拆下空板。
2
拆下接口之后不使用时
背面
注意接口的方向,充分地插到底。
3
用十字螺丝刀牢固地拧紧 2 个固定螺钉。
4
拆卸接口时:
从插座上拔出电源线,按照与上述相反的步骤拆下接口。
从插座上拔出本仪器的电源线。
1
拆下连接线。
装上空板,用十字螺丝刀牢固地拧紧 2 个固定螺钉。
2
如果在拆下空板的状态下进行测量,则无法满足规格要 求。
可在画面中确认本仪器安装的接口的信息。
参照 :“10.1 进行接口设置” ( 第 261 页 )“10.2 确认本仪器的版本。” ( 第 262 页 )

2.7 接通 / 关闭电源

连接探头与测试夹具之后,打开主机的主电源。
电源开关
2.7
接通/关闭电源
35
2
2 章 测量前的准备
接通主电源
已在待机状态下切断主电源时,下次打开主电源时则会在待机状态下起动。
关闭主电源
将背面的电源开关设为 ON I )。
点亮为绿色
为了进行符合规格精度的测量,打开本仪 器的电源之后,请进行 60 分钟以上的预 热。
将背面的电源开关设为 OFF )。
即使关闭电源开关,也保持本仪器的设置。(备份)
LED 熄灭
即使发生停电等电源异常,也会恢复为停电之前的测量模式。
36
2.7
接通/关闭电源
设为待机状态
在主电源为 ON 的状态下,按住正面的待机键约 2 秒钟。
点亮为红色
什么是待机状态 ?
是指停止测量并进入等待待机键检测的状态。 包括用于待机键检测的电路,功耗约为 4 W
解除待机状态
在本仪器处于待机状态下,按下正面的待机键。
为了进行符合规格精度的测量,解除待机状态之后,请进行 60 分钟以上的预热。
点亮为绿色
37
3.1 LCR
测量示例 3
如下所示为 LCR 模式、分析仪模式 (仅限于 IM3533-01)与变压器模式的测量举例。

3.1 LCR 模式时

测量多层陶瓷电容
准备物件:9263 SMD 测试夹具、要测量的多层陶瓷电容
在测量端子上连接 9263 SMD 测试夹具。
1
模式时
3

3 章 测量示例

将第 1 参数设为 Cs、第 3 参数设为 D。 ( 第 46 页 )
2
设置测量条件。
3
在测量画面中按下 ,选择要设置的项目,并 进行如下设置。
LCR 基本设置
有关连接方法,请参照测试夹具附带的使用说 明书。
测量频率:1.0000 kHz ( 第 49 页 )
测量信号模式:开路电压 (V) 模式 ( 第 51 页 ) 测量信号电平
电压 / 电流限值:OFF ( 第 55 页 )
DC 偏置:OFF (57 页 )
触发:INT ( 第 59 页 )
1.000 V ( 第 51 页 )
量程AUTO ( 第 61 页 )
测量速度:MED ( 第 72 页 )
平均:OFF ( 第 73 页 )
触发延迟:0.0000 s ( 第 75 页 )
触发同步输出功能的设置:OFF ( 第76页)
38
4
3.1 LCR
5
模式时
将测试物连接到 9263 SMD 测试夹具上。
查看测量结果。
有关测试物的连接方法,请参照测试夹具附带 的使用说明书。
要判定测量结果
参照 :“4.4.1 利用上下限值进行判定 (比较器测量)”
(
101 )
要保存测量结果
参照 :“4.5.8 保存测量结果 (存储功能)”
(
136 )
3.2
分析仪模式时 (仅限于

3.2 分析仪模式时 (仅限于 3533-01

在分析仪模式下,可在任意范围内扫描频率。
参照 :“第 5 章 分析仪功能 (仅限于 IM3533-01)” ( 第 147 页 )
测量带有共振点的元件
准备物件:9262 测试夹具、要测量的元件
39
3533-01
在测量端子上连接 9262 测试夹具。
1
设置测量条件。
2
在测量画面中按下 ,选择要设置的项目,并 进行如下设置。
分析仪基本设置
3
3 章 测量示例
有关连接方法,请参照测试夹具附带的使用说 明书。
参数:Z-θ ( 第 148 页 )
扫描方法:REPEAT ( 第 149 页 )
绘制时序:REAL ( 第 150 页 )
触发延迟:0.0000 s ( 第 151 页 )
扫描范围:1.0000 kHz
100.00 kHz (153 页 ) 扫描点数:201 设置方法:LOG
将测试物连接到 9262 测试夹具上。
3
测量信号模式:开路电压 (V) 模式 ( 第 156 页 ) 测量信号电平:1.000 V (⇒ 第 156 页 )
量程:AUTO ( 第 158 页 )
扫描点延时:0.0000 s ( 第 166 页 )
40
3.2
分析仪模式时 (仅限于
执行扫描。
4
由于将 TRIG 设为 REPEAT,因此重复进行扫描。
3533-01
要确认测量值。
参照 :“5.1.1 测量画面” ( 第 147 页 )

3.3 变压器模式时

测量变压器的匝数比
准备物件:切换器电缆、要测量的变压器
按下图所示连接本仪器与变压器
1
3.3
变压器模式时
41
初级侧
次级侧
初级侧
次级侧
将测量参数设为 Ls、将运算参数设为 N。 ( 第 194 页 )、 ( 第 195 页 )
2
3
3 章 测量示例
设置测量条件。
3
在测量画面中按下 ,选择要设置的项目,并 进行如下设置。
LCR 基本设置
测量频率:1.0000 kHz ( 第 49 页 )
测量信号模式:开路电压 (V) 模式 ( 第 51 页 ) 测量信号电平
电压 / 电流限值:OFF ( 第 55 页 )
量程AUTO ( 第 61 页 )
测量速度:MED ( 第 72 页 )
平均:OFF ( 第 73 页 )
触发延迟:0.0000 s ( 第 75 页 )
触发同步输出功能的设置:OFF ( 第76页)
1.000 V ( 第 51 页 )
42
4
6
3.3
变压器模式时
连接初级侧。
执行 TRIG1
5
初级侧
次级侧
初级侧
次级侧
按下 ,测量变压器的初级侧。
连接次级侧。
执行 TRIG2
7
初级侧
次级侧
初级侧
次级侧
按下 ,测量变压器的次级侧。
查看测量结果。
8
3.3
变压器模式时
要判定测量结果。
参照 :“6.3 利用上下限值进行判定 (比较器测量)”
(
197 )
要保存测量结果。
参照 :“4.5.8 保存测量结果 (存储功能)” ( 第 136 页 )
43
3
3 章 测量示例
44
3.3
变压器模式时
45
4.1
关于
LCR
功能
LCR 功能 4

4.1 关于 LCR 功能

LCR 功能是通过将任意频率、电平 (有效值)信号施加到要测量的元件上,可对阻抗与相位角等进行测量的功 能。适合于评价电容器与线圈等无源元件。
LCR 模式、分析仪模式与变压器模式下,设置联锁。

4.1.1 测量画面

可在确认测量条件的同时进行测量。再次打开电源时,按照切断电源之前的测量模式进行显示。有关画面构成,请 参照 ( 第 14 页 )。
参数键
进行各参数的设 置。 (
46 页 )
显示已进行面板 读取的面板名称。
(
254 页 )
显示错误信息等。
(⇒ 第358页)
表示内存的使用状 况。
(
136 )
菜单键
表示 U 盘的连接。 (
271 页 )
选择测量模式。 ( 第 13 页 )
设置详细条件。 ( 第 49 页 )
进行补偿设置。 ( 第 213 页 )
进行系统设置。 ( 第 261 页 )
进行保存设置。 ( 第 271 页 )
显示当前设置的接 口。 (
261 页 )
4

4 LCR 功能

操作键
的设置内容因测量模式而异。
根据状况显示操作键。
放大显示画面。 ( 第 48 页 )
显示 DC 测量的测量条件。 ( 第 17 页 )
显示 AC 测量的测量条件。 ( 第 17 页 )
显示比较器的设置。 ( 第 17 页 )
显示 BIN 设置。 ( 第 17 页 )
测量值超出精度保证范围时,错误信息显示区中显示 Reference Value。 此时估计是以下原因造成的。“14.2 测量范围与精度”( 第 338 页 ) 请通过 确认精度保证范围,变更测量 条件,或将测量值作为参考值。
测量信号电平过低时:提高测量信号电平。
当前的量程 (HOLD 设置时)不合适时:在 AUTO 量程下设为最佳量程或手动变更量程。
VacVdc:测试物的端子间电压 IacIdc:流过测试物的电流值
显示测量条件。 ( 第 17 页 )
保存测量数据。 ( 第 275 页 )
打印测量数据。 ( 第 327 页 )
46
4.1
关于
LCR
功能

4.1.2 设置显示参数

可在任意位置从 16 种测量参数中选择最多 4 个要显示的参数。
参照 :“1.3.7 参数设置画面” ( 第 28 页 )
“附录 1 测量参数与运算公式” ( “附录 7 关于串联等效电路模式与并联等效电路模式” (
附第 1 页 )
附第 10 页 )
1
步 骤
(例)第 1 参数键:电容 (串联等效电路模式) Cs
3 参数键:损耗系数 D
LCR 测量画面
在初始画面中按下第 1 参数键。
参数的设置
按下
LCR 测量画面
按下 进行确定。
按下第 3 参数键。
参数的设置
按下
按下 进行确定。
4.1
关于
LCR
47
功能
4
LCR 测量画面
参数被设为 Cs D
如果在参数设置中选择 ,则不显示测量值。
4 LCR 功能
48
4.1
关于
LCR
功能

4.1.3 放大显示测量值

可放大显示测量值、比较器的判定结果。 如果在测量条件稳定的条件下使用,那么这是一项易于观察的便利的功能。
中切断电源时,则会在下次打开电源时,在 中起动。
步 骤
LCR 测量画面
在测量画面中按下 ,设为放大显示画面。
放大显示 (BIN 时)
放大显示 (比较器时)放大显示 (通常时)
用指示条显示比较器阈值中的测量值位 置。
如果未设置上、下限值双方,则不显示指 示条。
要设为通常显示时:
在放大显示画面中按下

4.2 进行测量条件的基本设置

4.2.1 设置测量频率

设置施加到测试物上的信号的频率。值可能会因测试物以及测量频率而异。
4.2
进行测量条件的基本设置
49
1
步 骤
(例)测量频率:1 kHz
LCR 测量画面
LCR 基本设置
LCR 基本设置
4
4 LCR 功能
按下
3
逐位设置。
频率的设置 (数位分辨率 (dgt) 频率的设置 (数字键)
频率的输入方法包括下述 2 种。
按下
可设置范围:1 mHz 200 kHz
利用数字键进行设置。
进行切换。
50
4.2
进行测量条件的基本设置
频率设置 (数位分辨率 (dgt) 频率的设置 (数字键)
利用 逐位输入频率。
如果按住 dgt 键,则连续进行变化。
频率设置 (数位分辨率 (dgt) 频率的设置 (数字键)
利用 选择小数点与单位。
利用数字键输入频率。
输入错误时:
按下 ,重新输入数值。
按下单位键,确定设置。
将测量频率设为 10 倍。
将测量频率设为 倍。
按下 ,关闭设置画面。
6
10
可设置范围:1 mHz 200 kHz
按下单位键之前,并不确定频率。
1
输入数值之前,单位键无效。
设置超过 200 kHz 时:
自动变为 200 kHz
设为 1 mHz 以下时: 自动变为 1 mHz
51
4.2
进行测量条件的基本设置

4.2.2 设置测量信号电平

值可能会因测试物以及测量信号电平而异。 利用本仪器可按下述 3 种方法在宽范围内变更施加到测试物上的测量信号电平。由于选择恒电压 / 恒电流模式 时,通过软件的反馈控制来执行,因此测量时间会延长。
开路电压 (V) 模式
恒电压 (CV) 模式
恒电流 (CC) 模式
步 骤
1
设置开路电压电平。
设置测试物端子间的电压电平。
设置流过测试物的电流电平。
由于可能会损坏测试物,因此请勿在端子上连接测试物的状态下进行 V、 CV、 CC 的切换。
在恒电压 (CV) 模式下,利用软件的反馈控制发生电压并施加已设置的电压值。由于发生电 压的初始值为输出上一次测量时的电压,因此测试物的阻抗高于上一次测量时的阻抗时,
如果处于反馈控制之前的状态,则可能会施加大于已设置电压值的电压。
在恒电流 (CV) 模式下,利用软件的反馈控制发生电压并施加已设置的电流值。由于发生电 压的初始值为输出上一次测量时的电压,因此测试物的阻抗低于上一次测量时的阻抗时,
如果处于反馈控制之前的状态,则可能会施加大于已设置电流值的电流。
LCR 测量画面
LCR 基本设置
4
4 LCR 功能
LCR 基本设置
按下
52
4.2
进行测量条件的基本设置
3
测量信号模式的设置
测量信号电平的设置
测量信号模式选择
开路电压 (V) 模式 ( 第 53 页 )
恒电压 (CV) 模式 ( 第 53 页 )
恒电流 (CC) 模式 ( 第 54 页 )
利用 输入电压或电流值。
通常测量模式
测量信号模式 可设置范围
VCV
CC
0.005 V 5.000 V
0.01 mA 50.00 mA
按下 ,关闭设置画面。
测量值超出精度保证范围时,画面上部显示下述注释。
此时估计是以下原因造成的。
“14.2 测量范围与精度”( 第 338 页 ) 请通过 确认精度保证范围,变更测量条件,或将测量
值作为参考值。
测量信号电平过低时:提高测量信号电平。
当前的量程 (HOLD 设置时)不合适时:在 AUTO 量程下设为最佳量程或手动变更量程。
Z 高精度模式
测量信号模式 可设置范围
VCV
CC
参照 :“关于设置范围与精度” ( 53 )
测试精度因测量信号电平而异。
参照 :“14.2 测量范围与精度” (
0.005 V 2.500 V
0.01 mA 100.00 mA
338 )
关于测量信号模式
本仪器的测量信号模式与测试物之间的关系如下所示。
4.2
进行测量条件的基本设置
53
开路电压 (V) 模式
该电压值是施加在输出阻抗与测试物串联两端的电压值。关于 施加在测试物端子间的电压值,请通过电压监视值进行确认, 或者选择设置测试物端子间电压的恒电压 (CV)。
V
输出阻抗
HL
CC
测试物
CV
关于设置范围与精度
开路电压 (V) 模式、恒电压 (CV) 模式设置时
测量模式 (第 71 页) 通常模式 Z 高精度模式
开路电压设置范围
开路电压精度 ± 10%rdg. ± 10 mV ± 10%rdg. ± 10 mV
输出阻抗 100 ± 10 25 ± 5
0.005 V ~ 5.000 V 0.005 V ~ 2.500 V
恒电流 (CC) 模式
将流过测试物的电流设置固定值时进行选 择。
4
4 LCR 功能
恒电压 (CV) 模式
将测试物端子间的电压设为固定值时进行 选择。
有时可能会因测试物而无法进行恒电压测量。此时会显示下述标记。
此时不能进行恒电压测量。 请将恒电压电平变更为监视值 Vac 显示值以下的值。
(例)在 10 kHz 下测量 1 µF C 时的 CV 可操作范围
测试物的阻抗
从发生部位观察到的阻抗
因此,测试物两端的电压
根据上表,发生部位的输出电压范围为 5[mV] 5[V],根据上式, CV 可动作范围为
Zm 如下所示。
Zm = Rm + jXm = 0 [
Zm' 如下所示。
Zm' = Ro + Zm = 100 [
Vm 如下所示。
×
Vm
Zm Vo
==
----------------------
|Zm' |
Zm
] - j15.9 [Ω ]
] - j15.9 [Ω ]
15.9 [
15.9
--------------------------
101.3
] × Vo
Vo×
[]
其中
其中
其中, Vo 为发生部位的输出
Xm
Ro 为输出电阻 (100 [ ]
-----------------= 2
π
1
fC()
Vm = 0.8[mV] 0.78[V]
Z 高精度模式时,输出电阻
Ro 25 []
54
4.2
进行测量条件的基本设置
恒电流 (CC)模式设置时
恒电流动作范围会因测试物而异。
测量模式 (第 71 页) 通常模式 Z 高精度模式
恒电流设置范围
恒电流精度 ± 10%rdg. ± 10 µ A ± 10%rdg. ± 10 µ A
输出阻抗 100 ± 10 25 ± 5
有时可能会因测试物而无法进行恒电流测量。此时会显示下述标记。
此时不能进行恒电流测量。 请将恒电流电平变更为监视值 Iac 显示值以下的值。
(例)在 1 kHz 下测量 1mH L 时的 CC 可动作范围
0.01 mA 50.00 mA 0.01 mA 100.00 mA
测试物的阻抗
从发生部位观察到的阻抗
因此,流过测试物的电流
根据第 53 页的表,发生部位的输出电压范围为 5[mV] 5[V],根据上式, CC 可动作范围为
Zm 如下所示。
Zm
= Rm + jXm = 0 [Ω ] - j6.28 [Ω ]
Zm' 如下所示。
Zm' = Ro + Zm = 100 [
] - j6.28 [Ω ]
Im 如下所示。
Im
Vo
------------
|Zm' |Vo100.2 [
Zm
Vo
------------------==
118.1
其中
其中 Ro 为输出电阻 (100 [ ]
]
其中, Vo 为发生部位的输出
Xm 2πfL=
Im = 49.9[µA] 49.9[mA]
Z 高精度模式时,输出电阻
Ro 25 []
55
4.2
进行测量条件的基本设置

4.2.3 限制施加到测试物上的电压与电流 (限值)

根据测量信号电平,施加额定值以上的电压 / 电流时,可能会导致测试物破损。 因此,需设置用于限制施加在测试物上的电压或流过测试物的电流的限值。由于将限值功能设为有效时,通过 软件的反馈控制进行,因此测量时间会延长。
在开路电压模式 / 恒电压模式下进行
测量时
在恒电流模式下进行测量时
步 骤
1
LCR 测量画面
设置电流限值。
设置电压限值。
4
LCR 基本设置
4 LCR 功能
测量信号电平为电压 (V、 CV)时
电流限值的设置
可在监视器显示中确认测量信号电平。
根据 VCVCC 的设置,监视器显示会发生变化。
设置测量信号电平之后,请设置电压 / 电流限值。 进行电压 / 电流限值设置时,可根据当前测量信号模式的设置自动变更为电流限值或电压限 值。
参照 :“4.2.2 设置测量信号电平” ( 第 51 页 )
测量信号电平为电流 (CC)时
电压限值的设置
56
4.2
进行测量条件的基本设置
电流限值的设置
选择限值功能的 ON/OFF
将限值功能设为无效。
将限值功能设为有效。
电流限值的设置
利用 输入限值。
限值功能为 ON 时,可能会进行如下显示。
(例)恒电压 (CV)设置时
施加在测试物上的电压或流过测试物的电流超出限值时
(即使将开路电压设为最低值,测试物也流过超出限值的
电流时等) 请降低测量信号电平,以免超出限值。
限值范围
测量信号
模式
VCV 电流限值 0.01 mA 100.00 mA
CC
电流限值精度:± 10%rdg. ± 10 µA
电压限值精度:± 10%rdg. ± 10 mV
如果未向测试物施加超出限值的电压或电流,并且未达 到测量信号电平的设置时,则停止测量信号电平的变 更。 此时,未向测试物施加限值以上的电压或电流。请重新 设置限值,或变更测量信号电平,以免超出限值。
设置限值 设置范围
电压限值 0.005 V 5 V
按下 ,关闭设置画面。
5

4.2.4 设置 DC 偏置

测量电容器时,可在测量信号上叠加直流电压进行测量。
步 骤
4.2
进行测量条件的基本设置
57
1
LCR 测量画面 LCR 基本设置
4
4 LCR 功能
LCR 基本设置
按下
3
DC 偏置的设置
选择 DC 偏置的 ON/OFF
DC 偏置设为无效。
DC 偏置设为有效。
使用外部 DC 偏置装置时,请按下该按钮。 DC 偏置设为 ON,偏置值被设为 0.00 V
58
4.2
进行测量条件的基本设置
4
按下 ,关闭设置画面。
5
DC 偏置的设置
DC 偏置功能为电容器测量专用。如果对电阻、阻抗等直流电阻较低的元件使用 DC 偏置功 能,则存在以下可能性。
不能正常测量。
AUTO 量程不确定。
直流电阻测量时,不能设置 DC 偏置功能。
要在设为
要叠加内置 DC 偏置功能可设置范围以外的直流电压时,请参照“附录 5.1 直流电压偏置的
施加方法” (⇒ 附第 7 页 )。
在线圈等上面叠加直流电流时,请参照“附录5.2 直流电流偏置的施加方法”(附第8 )
测量信号电平总和(AC 电平设置值
提高测量信号电平。请在降低 AC 电平或 DC 偏置值之后进行设置。另外,低 Z 高精度模 式时,在总和值为 [V] 以下的范围内,可设置 AC 电平、 DC 偏置值。
利用 设置要叠加的直流电平。
可设置范围:-5.00 V 5.00 V (通常模式)
-2.50 V 2.50 V (低 Z 高精度模式)
输入错误时:
按下 ,重新输入数值。
:MEASure:ITEM 的状态下测量 Rdc 时,不能设置 DC 偏置功能。
× + DC 偏置设置值)> [V] 时,不能再
2 52
2.5 2

4.2.5 在任意时序下进行测量 (触发测量)

所谓触发 (Trigger),是指使用特定信号确定记录开始和结束的时序的功能。 将使用特定信号开始和结束记录称之为 “进行触发”。 在本仪器中可选择下述 2 种触发。
4.2
进行测量条件的基本设置
59
1
步 骤
内部触发
外部触发
内部自动发生触发信号并重复进行测量。
通过外部控制进行测量。也可以手动进行测量。
LCR 测量画面 LCR 基本设置
4
4 LCR 功能
LCR 基本设置
按下
60
4.2
进行测量条件的基本设置
触发的设置
选择触发的类型。
内部触发 自动重复进行测量。
选择
触发输入方法包括下述 3 种类型。
按下画面上的 ,手动输入触发:进行 1 次测量。
利用 EXT I/O 输入:每添加 1 次负逻辑的脉冲信号,就进行 1 次测量。
参照 :“使用连接器与信号的配置” ( 第 308 页 )
通过接口输入:如果发送 *
参照 :LCR 应用软件光盘 - 通讯命令
画面上显示
TRG,则进行 1 次测量。
外部触发
通过手动、 EXT I/O、接口输入触 发。
外部触发时 外部触发时
按下 ,关闭设置画面。
4

4.2.6 设置量程

量程确定方法的设置 (AUTOHOLDJUDGE SYNC)
1
量程的设置包括下述 3 种方法。
AUTO
自动设置最佳量程。
(测试物的阻抗因频率而发生较大变化时或
测量未知测试物时等,可设置最佳量程)
4.2
进行测量条件的基本设置
61
HOLD
JUDGE SYNC
量程构成均利用阻抗进行设置。因此,参数为阻抗以外的参数时,根据测量的 |Z | θ 进行
如果在JUDGE 同步设置为ON的状态下进行HOLDAUTO 的设置,JUDGE同步设置则自动
固定量程。手动设置量程。
(如果固定量程,则可进行高速测量)
根据比较器、 BIN 测量的判定基准自动设为最佳量程。
(测试物的阻抗因频率而发生较大变化时,可针对比较器、 BIN 测量的判定基
准固定为最佳量程)
计算,求出值。
参照 :“附录 1 测量参数与运算公式” (附第 1 页 )
变为 OFF 状态。
4
4 LCR 功能
62
4.2
进行测量条件的基本设置
AUTO 设置
步 骤
LCR 测量画面
LCR 基本设置
LCR 基本设置
按下
3
量程设置
按下 ,关闭设置画面。
按下
可设置量程因频率而异。 ( 第 66 页 )
要限制 AUTO 量程的范围时
参照 :“AU TO 量程限制功能” (
在精度保证范围以外,AUTO 量程可能不会正常进 行动作,无法确定量程。
在这种情况下,请利用 “14.2 测量范围与精度”
(
338 ) 确认精度保证范围,变更测量条件。
63 )
AUTO 量程限制功能
可限制 AUTO 量程范围。
步 骤
4.2
进行测量条件的基本设置
63
LCR 测量画面
LCR 基本设置
LCR 基本设置
4
4 LCR 功能
按下
量程设置
按下
在精度保证范围以外, AUTO 量程可能不会正常进 行动作,无法确定量程。 在这种情况下,请利用 “14.2 测量范围与精度” ( 第 338 页 ) 确认精度保证范围,变更测量条件。
64
4.2
进行测量条件的基本设置
AUTO 量程限制范围的设置
量程设置
按下
6 7
8
按下 确定下限量程。
返回到步骤 4,按下 ,选择 AUTO 量程的上限量程。
按下 ,关闭设置画面。
解除 AUTO 量程限制功能时,请将下限量程设为 100 m,将上限量程设为 100 MΩ。
设置 AUTO 量程限制功能时的画面
选择 AUTO 量程的下限量程。
(例)设为下限量程:1 k、上限量程:1M
仅设置的 AUTO 量程范围有效。
HOLD 设置
步 骤
4.2
进行测量条件的基本设置
65
1
LCR 测量画面 LCR 基本设置
4
4 LCR 功能
LCR 基本设置
按下
量程设置
按下
66
4.2
进行测量条件的基本设置
量程的选择
请根据测试物与测试电缆的阻抗总和设置量程。
选择量程。
可设置量程因频率而异。
频率
DC
0.001 Hz
10.000 kHz
10.001 kHz
100.00 kHz
100.01 kHz
200.00 kHz
量程 精度保证范围 AUTO 量程范围
100 M
10 M
1 M
100 k
10 k
1 k
100
10
1
100 m
可设置
量程
所有量程
100 m
10 M
100 m
1 M
8 M200 M 8 M
800 k100 M 800 k10 M
80 k10 M 80 k1 M
8 k1 M 8 k100k
800 100 k 800 10 k
80 10 k 80 1 k
8 100 8 100
800 m~ 10 800 m~ 10
80 m~ 1 80 m1
10 m100 m 0 100 m
量程设置画面
精度保证范围会因测量条件而异。
参照 :请利用 “14.2 测量范围与精度” ( 第 338 页 ) 确认精度保证范围。
如果在 AUTO 设置时变更设置量程,则会自动变为 HOLD 设置。
测量范围由量程确定。测量值显示为 “OVER FLOW (UNDER FLOW)”时,不能在当前
量程下进行测量。请利用 AUTO 设置设为最佳量程或手动变更量程。测量结果超出显示范 围 ( 第 333 页 ) 时,会显示 “DISP OUT”。
精度保证范围是指相对于补偿前的测量值而言的范围。
AUTO量程范围是指切换AUTO 量程的范围。但在设置了AUTO量程限制功能时,不切换为
限制范围以外范围。
按下 ,关闭设置画面。
67
4.2
进行测量条件的基本设置
测试物的阻抗因频率而发生变化时,如果在利用 HOLD 进行测量期间切换频率,则可能无 法进行同一量程内的测量。此时请切换量程。
请根据测试物与测试电缆的阻抗总和设置量程。也就是说,如果仅利用测试物的阻抗值将 量程设为 HOLD,有时可能无法进行测量。此时,请通过 “8.1 进行开路补偿” ( 第 213 页 ) 与“8.2 进行短路补偿” ( 第 222 页 ) 进行确认,变更量程。
测量值超出精度保证范围时,画面上部显示下述注释。
此时估计是以下原因造成的。
14.2 测量范围与精度”( 第 338 页 ) 请通过 确认精度保证范围,变更测量条件,或将测
量值作为参考值。
测量信号电平过低时:提高测量信号电平。
当前的量程(HOLD 设置时)不合适时:在 AUTO 量程下设为最佳量程或手动变更量程。
4
4 LCR 功能
68
4.2
进行测量条件的基本设置
JUDGE 同步设置
如果将 JUDGE 同步设置设为有效,要针对比较器或 BIN 测量的判定基准设置最佳量程时,无需利用 重 新进行任意设置。 对阻抗因频率而发生较大变化的测试物进行比较器、 BIN 测量时,可在针对判定基准将量程固定为最佳量程。
仅在比较器、 BIN 测量中设置判定基准时有效。 ( 99 )
如果在设置为 ON 的状态下设置比较器、BIN 测量的判定基准,则自动切换为最佳量程,但如
果未设置判定基准,则按 AUTO 量程处理。
步 骤
(例)比较器
LCR 测量画面
LCR 基本设置
LCR 基本设置
按下
量程设置
4.2
进行测量条件的基本设置
选择 JUDGE 同步设置的 ON/OFF
JUDGE 同步设置设为无效。
JUDGE 同步设置设为有效。
69
4
按下 ,关闭设置画面。
可设置量程因频率而异。 ( 66 )
只设置 θDQ 之一时,按 处理。
由于仅凭参数组合并不能确定相位角,因此根据理想值确定量程。详情请参照下表。
参照 :“附录 1 测量参数与运算公式” (附第 1 )
JUDGE 同步设置中的参数组合条件
3 参数
AC OFF Z Y Rs Rp X G B Ls Lp Cs Cp
OFF
×
Z
Y
Rs U U U U U U U U U U U U
Rp U U U U U U U U U U U U
X U U U U U U U U U U U U
G U U U U U U U U U U U U
z z
z z z
z z z
U U U U U U U U U
U U U U U U U U U
U U U U U U U U U
D Q
θ
× × ×
z z z
z z z
z z z
z z z
z z z
z z z
4 LCR 功能
B U U U U U U U U U U U U
1 参数
Ls U U U U U U U U U U U U
Lp U U U U U U U U U U U U
Cs U U U U U U U U U U U U
Cp U U U U U U U U U U U U
θ
×
D
×
Q
×
z z z z z z z z z z z
z z z z z z z z z z z
z z z z z z z z z z z
×
不可设置 (按 量程处理)
U
由于相位角不明,因此根据理想值进行设置
z
可设置
z z z
z z z
z z z
z z z
z z z
× × × × × × × × ×
70
4.2
进行测量条件的基本设置
Z 高精度模式
2
在低 Z 高精度模式下,输出电阻变为 25 ,可确保电流充分地流入测试物,因此可进行高精度的测量。
步 骤
1
LCR 测量画面 LCR 基本设置
LCR 基本设置
按下
量程设置
按下 ,关闭设置画面。
选择低 Z 高精度模式的 ON/ OFF
将低 Z 高精度模式设为 OFF。
将低 Z 高精度模式设为 ON。
4.2
进行测量条件的基本设置
在低 Z 高精度模式下,仅 100 m1 量程时有效。 请参照下表。
编号 量程 1 kHz 10 kHz 100 kHz 200 kHz
1 100 M
2 10 M
3 1 M
4 100 k
5 10 k
6 1 k
7 100
8 10
9 1
10 100 m
仅限于通常模式 (低 Z 高精度模式设置无效)
Z 高精度模式 / 通常模式
71
4
4 LCR 功能
在低 Z 高精度模式下,测量信号电平的可设置范围会发生变化。 ( 53 )
开路补偿、短路补偿与负载补偿有效时,如果变更低 Z 高精度模式设置,补偿值则会变为无
效。
72
4.2
进行测量条件的基本设置

4.2.7 设置测量速度

设置测量速度。测量速度越低,测试精度越高。
步 骤
1
LCR 测量画面
LCR 基本设置
LCR 基本设置
按下
测量速度的设置
按下 ,关闭设定画面。
可利用波形平均功能更细致地设置测量速度。另外,波形平均功能有效时,不能进行速度设 置。请将波形平均功能设为无效,然后再设置速度。
参照 :“4.5.2 检测信号波形平均数的任意设置 (波形平均功能)” ( 第 126 页 )
选择测量速度。
进行高速测量。
为通常测量的速度。
测试精度提高。
测试精度高于 SLOW
测量速度因测量条件而异。
参照 :“测量时间与测量速度” (
347 )

4.2.8 用平均值显示 (平均值设置)

进行测量值的平均化处理。可降低测量值显示的偏差。
4.2
进行测量条件的基本设置
73
内部触发时
外部触发时
测量值始终是当前~平均次数前的移动平均值。
(切换测试物时,值的稳定需要一定的时间)
为触发输入平均次数部分的相加平均值。
平均次数为 4 次时,测量次数、测量值输出点和输出时的测量值计算方法如下所示。
移动平均
测量点
M1 M2 M3 M4 M5 M6
M1
1
测量值输出
Time
M1+M2
2
M1+M2+M3
3
M1+M2+M3+M4
4
M7 M8 M9 M10
M4+M5+M6+M7
4
M5+M6+M7+M8
4
M2+M3+M4+M5
4
M6+M7+M8+M9
4
4
4 LCR 功能
M3+M4+M5+M6
4
M7+M8+M9+M10
4
相加平均
测量点
M1 M2 M3 M4 M5 M6 M7 M8 M9 M10
测量值输出
Time
M1+M2+M3+M4
4
M5+M6+M7+M8
4
74
4.2
进行测量条件的基本设置
步 骤
1
LCR 测量画面
LCR 基本设置
LCR 基本设置
按下
平均次数的设置
按下 ,关闭设置画面。
利用 输入平均次数。
可设置范围:1 256
要将平均值功能设为 OFF :按下
平均次数被设为 001 次时,平均值功能变为 OFF 状态。
4.2
进行测量条件的基本设置

4.2.9 设置至读取测量数据之前的延迟时间 (触发延迟)

设置从输入触发信号至开始测量之间的延迟时间。 可在测试物与测试电缆的连接状态稳定之后开始测量。
参照 :“关于触发延迟与触发同步输出功能” ( 第 78 页 )
步 骤
75
1
LCR 测量画面
LCR 基本设置
LCR 基本设置
4
4 LCR 功能
按下
3
按下 ,关闭设置画面。
4
触发延迟时,从输入触发~测量结束期间,表示处于测量期间的 LED 保持点亮状态。
触发延迟的设置
利用 设置延迟时间。
可设置范围:0 s 9.9999 s 之间, 0.1 ms 分辨率
要将触发延迟功能设为 OFF 时:按下
已设置的时间被设为 0 s
76
4.2
进行测量条件的基本设置

4.2.10 仅在测量时向测试物施加信号 (触发同步输出功能)

是指在触发输入之后输出测量信号并仅在测量时向测试物施加信号的功能。此外,可设置在测试物稳定之后用 于读取数据的延迟时间。 利用该功能,可降低测试物的发热以及电极的磨损。
参照 :“关于触发延迟与触发同步输出功能” ( 第 78 页 )
步 骤
1
2
LCR 测量画面
应用设置
应用设置
按下
触发同步的设置
选择触发同步输出功能的 ON/OFF
将触发同步输出功能设为无效。
将触发同步输出功能设为有效。
4.2
进行测量条件的基本设置
77
4
按下 ,关闭设置画面。
5
触发同步的设置
将触发同步输出功能设为 ON 时,由于输出测量信号之后~读取数据之前需要等待时间,因 此测量时间会延长。
参照 :“14.3 测量时间与测量速度” ( 第 347 页 )
如果在触发同步输出功能为 ON 的状态下变更测量条件,则可能会瞬间输出所设置的电平。
输入触发信号时输出测量信号,测量结束时停止输出。
利用 设置通过施加触发而输出测量信号
~测量开始的等待时间。
可设置范围:0.0010 s 9.9999 s
要将时间恢复为初始状态时:按下
已设置的时间被设为 0.0010 s
4
4 LCR 功能
如果利用接触检测功能将接触检测时序设为 ,触发同步输出功能则被 自动设为 ON。请设置测量开始之前的等待时间。
参照 :“4.5.4 确认接触不良或接触状态 (接触检测功能)” ( 第 130 页 )
在连续测量模式下,最后面板的测量结束之后停止测量信号。
78
4.2
进行测量条件的基本设置
关于触发延迟与触发同步输出功能
触发延迟是指可设置输入触发信号至测量之间延迟时间的功能。 触发同步输出功能作用在于仅在测量时输出测量信号,并可设置读取数据之前的延迟时间。 测量流程如下所示。
触发延迟:ON,触发同步输出:OFF
测量
触发信号
ON
测量信号
触发延迟:ON,触发同步输出:ON
触发信号
ON
测量信号
触发延迟
数据读取
测量
触发延迟 触发同步延迟
量程同步功能有效时,仅触发延迟与同步输出功能的通过参数设置而生效的量程设置不同。
参数 生效的量程设置
仅限于 AC 测量 AC 测量量程
AC+DC 测量 AC 测量量程
仅限于 DC 测量 DC 测量量程
数据读取

4.3 进行直流电阻测量设置

可输出 2.0 V (固定)的直流信号,测量直流电阻 Rdc。 测量流程如下所示。
1. 测量施加 2.0 V 时的直流电阻
2. 测量施加 0 V 时的直流电阻并作为偏置值
3. 使用偏置值降低测量误差
4. Rdc 的测量值
为了除去噪音,需设置供给电源的电源频率。请设为所用工频电源的频率之后再进行测
量。如果未正确设置电源频率,测量值会变得不稳定。
参照 :“4.3.4 设置电源频率” ( 第 86 页 )
测量直流电阻时,需事先将测量参数设为 Rdc
参照 :“1.3.7 参数设置画面” ( 第 28 页 )
4.1.2 设置显示参数” (
设置 Rdc 与其它参数时,在利用交流信号测量其它参数之后,
测量直流电阻。可单独设置测量条件。
直流电阻测量时,不能将 DC 偏置功能设有有效。
测试物为电容器时,可能无法正常进行直流电阻测量。
直流信号电平达到稳定状态的时间因要测量的测试物而异。为了进行正确的测量,请事先
观测测量波形,设置直流信号电平达到充分稳定状态的延迟时间。
参照 :“4.3.2 设置 DC 测量的延迟时间 (DC 延迟)” ( 第 82 页 )
4.3.3 设置偏置测量的延迟时间 (调节延迟)” (
46 )
84 )
4.3
进行直流电阻测量设置
79
4
4 LCR 功能
在测量参数中添加 Rdc
1
LCR 测量画面
参数的设置
选择要变更的参数。
按下
按下 ,关闭设置画面。
80
4.3
进行直流电阻测量设置

4.3.1 设置温度补偿功能

根据温度补偿的原理(“附录9 关于温度补偿功能(TC)”(附第12页)),将电阻值换算为基准温度值进行显示。 要将 9478 温度探头连接到主机背面的 TC SENSOR 端子时,请务必阅读下述说明。
参照 :“2.5 连接温度探头” ( 第 33 页 )
如果未连接 9478 温度探头,即使设为 ON 也属无效,因此, Rdc 测量值会显示 “TC ERR”。 ( 359 )
步 骤
1
LCR 测量画面
Rdc 的基本设置
Rdc 的基本设置
按下
温度补偿功能的设置
4.3
进行直流电阻测量设置
选择温度补偿功能的 ON/OFF
将温度补偿功能设为无效。
将温度补偿功能设为有效。
81
4
基准温度的设置
温度系数的设置
4 LCR 功能
按下 ,利用数字键输入基准温度。
可设置范围:-10 ℃~ 99.9
按下 进行确定。
按下 ,利用数字键输入温度系数。
按下 ,关闭设置画面。
6
可设置范围: -99999ppm ~ 99999ppm
按下 进行确定。
82
4.3
进行直流电阻测量设置

4.3.2 设置 DC 测量的延迟时间 (DC 延迟)

设置从交流信号测量切换为直流电阻测量时等开始直流电阻测量之前的时间。 该延迟时间为 DC 电平稳定之前用于延迟测量的时间。
平均次数为 1 次时
设定的变更
由交流测量变更为直流测量
量程的变更
平均次数为 2 次以上时
(例:2 次)
设定的变更
由交流测量变更为直流测量
量程的变更
DC 延时
(初始值 0 秒)
步 骤
1
DC 延时
(初始值 0 秒)
DC 延时
(初始值 0 秒)
直流电阻测量
平均次数部分测量
LCR 测量画面
直流电阻测量
直流电阻测量
直流电阻测量
ADJ 延时
(初始值 0.0030 秒)
ADJ 延时
(初始值 0.0030 秒)
ADJ 延时
(初始值 0.0030 秒)
偏移测量
所设平均次数的测量
偏移测量
偏移测量
偏移测量
测量结束
获得平均值
Rdc 的基本设置
测量结束
直流信号电平达到稳定状态的时间因要测量的测试物而异。为了进行正确的测量,请事先观 测测量波形,设置直流信号电平达到充分稳定状态的延迟时间。
Rdc 的基本设置
按下
4.3
进行直流电阻测量设置
83
4
延迟时间的设置
按下 ,关闭设置画面。
4 LCR 功能
利用 设置延迟时间。
可设置范围:0 s 9.9999 s
要停止延迟时间设置时:按下
已设置的时间被设为 0 s
84
4.3
进行直流电阻测量设置

4.3.3 设置偏置测量的延迟时间 (调节延迟)

该延迟时间为偏置测量 (DC0 V) 稳定之前用于延迟测量的时间。
平均次数为 1 次时
设定的变更
由交流测量变更为直流测量
量程的变更
平均次数为 2 次以上时
(例:2 次)
设定的变更
由交流测量变更为直流测量
量程的变更
DC 延时
(初始值 0 秒)
步 骤
1
DC 延时
(初始值 0 秒)
DC 延时
(初始值 0 秒)
直流电阻测量
平均次数部分测量
LCR 测量画面
直流电阻测量
直流电阻测量
直流电阻测量
ADJ 延时
(初始值 0.0030 秒)
ADJ 延时
(初始值 0.0030 秒)
ADJ 延时
(初始值 0.0030 秒)
偏移测量
所设平均次数的测量
偏移测量
偏移测量
偏移测量
测量结束
获得平均值
Rdc 的基本设置
测量结束
Rdc 的基本设置
按下
调节延迟的设置
按下 ,关闭设置画面。
85
4.3
进行直流电阻测量设置
利用 设置偏置测量的延迟时间。
可设置范围:0.0030 s 9.9999 s
要将偏置测量的延迟时间设为初始值时:按下
已设置的时间被设为 0.0030 s
4
4 LCR 功能
86
4.3
进行直流电阻测量设置

4.3.4 设置电源频率

进行直流电阻测量时,请务必设置供给电源的电源频率。
步 骤
1
LCR 测量画面
Rdc 的基本设置
Rdc 的基本设置
按下
电源频率的设置
按下 ,关闭设置画面。
为了除去噪音,需设置供给电源的电源频率。请设为所用工频电源的频率之后再进行测量。如 果未正确设置电源频率,测量值会变得不稳定。
选择电源频率。
50 设为 Hz
设为 60 Hz

4.3.5 设置量程

量程确定方法的设置 (AUTOHOLDJUDGE SYNC)
1
量程的设置包括下述 3 种方法。
4.3
进行直流电阻测量设置
87
AUTO
HOLD
JUDGE SYNC
AUTO 设置
步 骤
自动设置最佳量程。
(测量未知测试物时等,可设置最佳量程)
固定量程。手动设置量程。
(如果固定量程,则可进行高速测量)
根据比较器、 BIN 测量的判定基准自动设为最佳量程。
(测试物的阻抗因频率而发生较大变化时,可针对比较器、 BIN 测量的判定基
准固定为最佳量程)
如果在 JUDGE 同步设置为 ON 的状态下进行 HOLD AUTO 设置,JUDGE 同步设置则自动 变为 OFF 状态。
LCR 测量画面
Rdc 的基本设置
4
4 LCR 功能
88
4.3
进行直流电阻测量设置
Rdc 的基本设置
按下
3
量程设置
按下 ,关闭设置画面。
按下
要限制 AUTO 量程的范围时
参照 :“AU TO 量程限制功能” ( 第 89 页 )
在精度保证范围以外,AUTO 量程可能不会正常进 行动作,无法确定量程。
在这种情况下,请利用 “14.2 测量范围与精度”
(
338 ) 确认精度保证范围,变更测量条件。
AUTO 量程限制功能
可限制 AUTO 量程范围。
步 骤
4.3
进行直流电阻测量设置
89
LCR 测量画面
LCR 基本设置
LCR 基本设置
4
4 LCR 功能
按下
量程设置
按下
在精度保证范围以外, AUTO 量程可能不会正常进 行动作,无法确定量程。在这种情况下,请利用
“14.2 测量范围与精度” ( 第 338 页 ) 确认精度保
证范围,变更测量条件。
90
4.3
进行直流电阻测量设置
AUTO 量程限制范围的设置
量程设置
按下
6 7
8
按下 确定下限量程。
返回到步骤 4,按下 ,选择 AUTO 量程的上限量程。
按下 ,关闭设置画面。
解除 AUTO 量程限制功能时,请将下限量程设为 100 m,将上限量程设为 100 MΩ。
设置 AUTO 量程限制功能时的画面
选择 AUTO 量程的下限量程。
(例)设为下限量程:1 k、上限量程:1 M
仅设置的 AUTO 量程范围有效。
HOLD 设置
步 骤
4.3
进行直流电阻测量设置
91
1
LCR 测量画面 Rdc 的基本设置
4
4 LCR 功能
Rdc 的基本设置
按下
量程的选择
按下
92
4.3
进行直流电阻测量设置
量程的选择
请根据测试物与测试电缆的阻抗总和设置量程。
选择量程。
量程 精度保证范围 AUTO 量程范围
100 M
10 M
1 M
100 k
10 k
1 k
100
10
1
100 m
8 M200 M 8 M
800k100M 800 k10 M
80k10M 80 k1 M
8k1M 8 k100k
800 100 k 800 10 k
80 10 k 80 1 k
8 100 8 100
800 m~ 10 800 m~ 10
80 m~ 1 80 m~ 1
10 m100 m 0 100 m
精度保证范围会因测量条件而异。
参照 :“14.2 测量范围与精度” ( 338 ) 请利用 确认精度保证范围。
测量范围由量程确定。测量值显示为 “OVER FLOW(UNDER FLOW)”时,不能在当前 量程下进行测量。请利用 AUTO 设置设为最佳量程或手动变更量程。测量结果超出显示范 围 ( 第 333 页 ) 时,会显示 “DISP OUT”。
按下 ,关闭设置画面。
请根据测试物与测试电缆的阻抗总和设置量程。也就是说,如果仅利用测试物的阻抗值将 量程设为 HOLD,有时可能无法进行测量。此时,请通过 “8.1 进行开路补偿” ( 第 213 页 ) 与“8.2 进行短路补偿” ( 第 222 页 ) 进行确认,变更量程。
测量值超出精度保证范围时,画面上部显示下述注释。
此时估计是以下原因造成的。
14.2 测量范围与精度”( 第 338 页 ) 请通过 确认精度保证范围,变更测量条件,或将测
量值作为参考值。
测量信号电平过低时:提高测量信号电平。
当前的量程(HOLD 设置时)不合适时:在 AUTO 量程下设为最佳量程或手动变更量程。
93
4.3
进行直流电阻测量设置
JUDGE 同步设置
如果将 JUDGE 同步设置设为有效,要针对比较器或 BIN 测量的判定基准设置最佳量程时,无需利用 重 新进行任意设置。
仅在比较器、 BIN 测量中设置判定基准时有效。
如果在设置为 ON 的状态下设置比较器、BIN 测量的判定基准,则自动切换为最佳量程,但如
果未设置判定基准,则按 AUTO 量程处理。
步 骤
LCR 测量画面
LCR 基本设置
LCR 基本设置
4
4 LCR 功能
按下
94
4.3
进行直流电阻测量设置
3
按下 ,关闭设置画面。
JUDGE 同步设置中的参数组合条件
3 参数
OFF Rdc
量程设置
选择 JUDGE 同步设置的 ON/OFF
JUDGE 同步设置设为无效。
JUDGE 同步设置设为有效。
1 参数
OFF
Rdc
×
z z
z
×
不可设置 (按 量程处理)
z
可设置
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