Hioki 9268, 9268-01, 9268-10 Instruction Manual

はじめに

9268, 9268-01, 9268-10

DC バイアス電圧ユニット

DC BIAS VOLTAGE UNIT

取扱説明書 / Instruction Manual

JA/EN

Aug. 2018 Revised edition 10 Printed in Japan

9268A980-10 18-08H

fL：測定周波数 [kHz] fH：測定周波数 [MHz]

レンジ ～ 100 kHz

100.1 kHz ～

1 kΩ以下

1.5 1.5

10 ｋΩ 以上

1.5 + 0.2 x f

L

5 + 1 x f

H

係数 α

外部 DC バイアス
印加端子

接続端子

測定端子

レバー

フィクスチャを接続

このたびは、HIOKI 9268,9268-01,9268-10 DC バイアス電圧ユニット
をご選定いただき、誠にありがとうございます。この製品を十分にご
活用いただき、末長くご使用いただくためにも、取扱説明書はていね
いに扱い、いつもお手元に置いてご使用ください。

概要

9268, 9268-01 DC バイアス電圧ユニットは弊社 LCR, Z ハイテスタ、
9268-10 DC バイアス電圧ユニットは弊社 IM シリーズ（LCR メータ、

インピーダンスアナライザ）とフィクスチャの間に接続し、コンデン
サ等に外部 DC バイアス電圧を印加するためのオプションユニットで
す。
※ 9268 および 9268-01 と 9268-10 は内部回路が異なります。必ず接
続先の測定器で指定されたものをご使用ください。

仕様

測定周波数範囲 42 Hz ～ 5 MHz (9268-10 は 40 Hz ～ 8 MHz)

3522,3522-50 接続時 100.1 Hz ～ 100 kHz

最大印加電圧 H 端子 -L 端子間、外部 DC バイアス印加端子間：

DC

±40 V (9268, 9268-10)、DC±4 V (9268-01)

最大対地間電圧 H端子 -筐体間、外部DCバイアス印加端子 -筐体間：

内部抵抗（参考値）1 kΩ (9268, 9268-10) 、100 Ω (9268-01)
残留パラメータ

（参考値）

測定確度 (9268-01) LCR ハイテスタの製品仕様 xα

外形寸法 ・ 質量 約 116W x 45H x 55D mm （突起物含まず）

使用温湿度範囲 0 ～ 40°C, 80%rh 以下 ( 結露なきこと )
保存温湿度範囲 -10°C ～ 55°C, 80%rh 以下 ( 結露なきこと )
使用場所 屋内 , 汚染度 2, 高度 2000m まで
適合規格 EN61010　
付属品 取扱説明書
製品保証期間 ３年間
接続可能機種については、弊社カタログをご覧ください。

±40 V (9268, 9268-10)、DC±4 V (9268-01)

DC
L 端子 - 筐体間： DC

残留インピーダンス：50 mΩ + 2 x π x 周波数 x

浮遊容量：2 pF 以下（100 kHz）

9268: 約 250 g, 9268-01: 約 270 g
9268-10: 約 240 g

±0.5V

50 nH

点検・保守

点検

本器がお手元に届きましたら、輸送中において異常または破損がない
か点検してからご使用ください。万一、破損あるいは仕様どおり動作
しない場合は、お買上店(代理店)か最寄りの営業所にご連絡ください。

使用前の確認

• 使用前には、保存や輸送による故障がないか、点検と動作確認をし
てから使用してください。故障を確認した場合は、お買上店 ( 代理

店 ) か最寄りの営業所にご連絡ください。

保守・サ－ビス

• 本器の汚れをとるときは、柔らかい布に水か中性洗剤を少量含ませ
て、軽く拭いてください。ベンジン、アルコ－ル、アセトン、エ－
テル、ケトン、シンナ－、ガソリン系を含む洗剤は絶対に使用しな
いでください。変形変色することがあります。

• 故障と思われるときは、
絡ください。輸送中に破損しないように梱包し、故障内容も書き添
えてください。輸送中の破損については保証しかねます。

お買上店（代理店）

か最寄りの営業所にご連

安全について

本器を安全にご使用いただくために、また機能を十二分にご活用いた
だくために、次の注意事項をお守りください。

この機器は測定方法を間違えると人身事故や機器の故障につ
ながる可能性があります。取扱説明書を熟読し、十分に内容
を理解してから操作してください。万一事故があっても、弊
社製品が原因である場合以外は責任を負いかねます。

安全記号

使用者は、取扱説明書内の マ－クのあるところは、必
ず読み注意する必要があることを示します。

直流（DC）を示します。

取扱説明書の注意事項には、重要度に応じて次の表記がされています。

操作や取り扱いを誤ると、使用者が死亡または重傷につな
がる可能性があることを意味します。
操作や取り扱いを誤ると、使用者が傷害を負う場合、また
は機器を損傷する可能性があることを意味します。

製品性能および操作上でのアドバイスを意味します。

規格に関する記号

EU 加盟国における、電子電気機器の廃棄にかかわる法規
制 (WEEE 指令 ) のマークです。

EU 指令が示す規制に適合していることを示します。

使用上の注意

• 直射日光や高温、多湿、結露するような環境下での、保存や使用
はしないでください。変形、絶縁劣化を起こし、仕様を満足しな
くなります。

• 腐食性ガスや爆発性ガスが発生する場所では使用しないでくださ
い。本器を破損する可能性があります。

• 本器は防じん、防水構造となっていません。ホコリの多い環境や水
のかかる環境下で使用しないでください。故障の原因になります。

• 本器の損傷を防ぐため、運搬および取り扱いの際は振動、衝撃を
避けてください。特に、落下などによる衝撃に注意してください。
本器を破損します。

• 水にぬれたり、油、ホコリでひどくなった時は、使用を中止し弊
社の修理サービスをお受けください。

• 接続機種、フィクスチャの取扱方法は、その機種の取扱説明書を
ご覧ください。

• ＤＣ バイアスユニットを測定器本体に接続したまま、上から重み
をかけないでください。測定器本体、本器の破損の原因となります。

• 9268, 9268-10 に印加できる DC バイアス電圧は、最大 DC40 V で
す。9268-01 に印加できる DC バイアス電圧は、最大 DC4 V です。
これ以上の DC バイアス電圧を常時印加すると測定器本体、本器
を破損する恐れがあります。

• 感電事故を避けるため、DC バイアス電圧を印加したまま、測定
端子間には絶対に触らないでください。

•DCバイアス電圧を印加したまま、試料を測定端子から切り離す
と、試料が充電されたままとなり、大変危険です。感電事故を避
けるため、試料は必ず放電してください。

•DCバイアス電圧を印加したまま、測定プローブのクリップ間を
短絡しないでください。プローブを破損し、短絡事故になります。

• 耐電圧以上の DC バイアス電圧を試料に印加しないでください。
試料、本器、測定器本体の破損の原因となります。

• 試料、DC バイアス電源の接続時は、各極性に十分ご注意ください。

• 試料に印加した DC バイアス電圧が設定値になるまでには、ある

程度時間（この時間は試料により変わります）がかかります。こ
の間は測定値が安定しませんので、ご注意ください。

• 測定後は外部 DC バイアス電源の出力電圧を 0 V にし、充電電荷
を放電してから試料をプローブからはずしてください。

• 放電せずに試料をプローブからはずしたときは、十分に放電させ
てください。

• 3522, 3522-50 に接続して使用する場合は、3522, 3522-50 の
EXT.DC BIAS 設定を OFF にしてください。EXT.DC BIAS 設定が
ON の場合は測定器本体の破損の原因になります。

•IMシリーズに接続して使用する場合は IM シリーズの DC バイア
ス設定で SET EXT

• 本器を接続機種から着脱するときは、接続機種の測定端子に対し

てまっす
変形し、測定値に影響を与える可能性があります。

ぐに挿抜して下

ボタンを押してください。

さい。斜めに挿抜した場合は接続端子が

各部の名称

接続方法

DC バイアス電圧ユニットの接続方法

形名が印刷されている面を上にして、測定器本体の測定端子

（UNKNOWN 端子）に直接差し込み、左右のレバーで固定してくださ

い。

テストフィクスチャの接続方法

9268, 9268-01, 9268-10 の測定端子（UNKNOWN 端子）に H 側、L 側
が合うようにフィクスチャ（または測定プローブ）を接続してくださ
い。試料の固定方法はフィクスチャの取扱説明書を参照してください。

外部 DC バイアス電源の接続方法

外部 DC バイアス電源の出力が OFF になっていることを確認し、9268,
9268-01,9268-10 の外部 DC バイアス印加端子（BNC 端子）にケーブ

ルを差し込み、接続してください。

• 外部 DC バイアス電源は別途必要です。

•LCRハイテスタ本体から DC バイアス電源をコントロールすること

はできません。

測定方法

安全に測定を行うために必ず次の手順に従って測定を行ってくださ
い。また、測定前には使用上の注意を必ずお読みください。

1. DC バイアス電圧ユニットの内部回路による測定誤差をなくすた
め、測定前に、オープン補正、ショート補正を必ず行ってくださ

い。オープン補正、ショート補正は 9268（または 9268-01, 9268-
10）、フィクスチャ（または測定プローブ）、バイアス印加ケーブ
ル、外部 DC バイアス電源（0 V 出力 ON 設定）を接続した状態で
行ってください。補正方法は測定器本体、フィクスチャの取扱説

明書を参照してください。

2. 試料をフィクスチャに固定します。

3. 外部 DC バイアス電源の出力電圧を 0 V に設定してから、電圧を印

加します。出力電圧を少しずつ上げていき、測定したい電圧にしま
す。

4. 試料の DC バイアス特性の測定を行います。

5. 外部 DC バイアス電源の出力電圧を少しずつ下げていき、0 V にし

ます。

6. 試料をフィクスチャから取り外します。

• IM3570 は DC バイアスユニットを接続した状態でショート補正をす

ることができませんので、仕様の残留インピーダンスが、誤差とし
て加算されます。

•DCバイアスユニットをIMシリーズと接続してオープン補正、ショー

ト補正を行う場合は、IM シリーズの補正範囲の設定で DC を OFF
にして下さい。

•DCバイアスユニットは 4 端子対構造ではありません。4 端子対構造

のテストフィクスチャ・プローブと組み合わせて使用する場合は、
測定誤差が増えたりプローブの配置の影響を受けやすくなります。

Warranty

9268, 9268-01, 9268-10

DC BIAS VOLTAGE UNIT

Instruction Manual

Aug. 2018 Revised edition 10 Printed in Japan

9268A980-10 18-08H

EN

Coefficient α

f

L

: test frequency [kHz]

fH

: test frequency [MHz]

Range 100 kHz or less 100.1 kHz or more

1 kΩ or less 1.5 1.5

10 kΩ or more

1.5+0.2xf

L

5+1xf

H

External DC
bias apply
terminal

Connecting terminals

Measurement terminals

Fixing lever

Fixture

Warranty malfunctions occurring under conditions of normal use in con­formity with the Instruction Manual and Product Precautionary Mark­ings will be repaired free of charge. This warranty is valid for a period
of three (3) years from the date of purchase. Please contact the distrib­utor from which you purchased the product for further information on
warranty provisions.

Introduction

Thank you for purchasing the HIOKI Model 9268, 9268-01,9268-10
DC BIAS VOLTAGE UNIT. To obtain maximum performance from

product, please read this manual first, and keep it handy for fu-

the
ture reference.

Overview

The 9268, 9268-01 DC BIAS VOLTAGE UNIT is an optional unit,
which can be connected between a HIOKI LCR, Z HiTESTER and
the fixture, The 9268-10 DC BIAS VOLTAGE UNIT is an optional
unit, which can be connected between a HIOKI IM Series (LCR
Meters, Impedance Analyzers) and the fixture,to allow a DC bias
voltage to be applied to a capacitor or other component.
The internal circuits of 9268, 9268-01 and 9268-10 are all different.
Please use the correct circuit specified by the tester to be connected.

Specifications

Measurement
frequency range

Maximum apply
voltage

Maximum voltage to
earth

Internal resistance
(reference value)

Residual parameters
(reference value)

Measurement
accuracy
(9268-01)

42 Hz to 5 MHz (9268-10 : 40 Hz to 8 MHz )
When connected to Model 3522 or 3522-50:

100.1 Hz to 100 kHz
Between the terminals of H-L and external DC

bias apply terminal :
±40 VDC (9268, 9268-10), ±4 VDC (9268-01)

Between the H terminal and chassis, external
DC bias terminal and chassis :
±40 VDC (9268, 9268-10), ±4 VDC (9268-01)
Between the L terminal and chassis : ±0.5 VDC

1 kΩ

(9268, 9268-10),100 Ω (9268-01)

Residual impedance : 50 mΩ + 2 x π x Fre­quency x 50 nH
Floating capacitance : 2 pF max. (at 100 kHz)

Specifications of the LCR HiTester

x α

Approx.116W x 45H x 55D mm

Dimensions and
Mass

Operating tempera­ture and humidity
range

Storage tempera­ture and humidity
range

Operating
environment

Applicable Stan­dards

Accessory Instruction Manual
Product warranty

period

Please check a HIOKI catalog for instruments to which this product can
be connected.

(4.57”W x 1.77”H x 2.17”D)
(excluding protrusions),
9268: Approx.250 g ( 8.8 oz.), 9268-01: Approx.
270 g (9.5 oz.), 9268-10: Approx.240 g ( 8.5 oz.)

0 to 40°C (32 to 104
(with no condensation)

-10°C to 55°C (14 to 131
(with no condensation)

Indoors, Pollution Degree 2,
altitude up to 2000 m (6562-ft.)

EN61010

3 years

°F)

, 80%RH or less

°F)

, 80%RH or less

Inspection and Maintenance

Initial Inspection

When you receive the product, inspect it carefully to ensure that
no damage occurred during shipping. If damage is evident, or if
it fails to operate according to the specifications, contact your
dealer or HIOKI representative.

Preliminary Checks

• Before using the product the first time, verify that it operates
normally to ensure that the no damage occurred during stor­age or shipping. If you find any damage, contact your dealer
or Hioki representative.

Maintenance and Service

• To clean the product, wipe it gently with a soft cloth moist­ened with water or mild detergent. Never use solvents such
as benzene, alcohol, acetone, ether, ketones, thinners or
gasoline, as they can deform and discolor the case.

• If the product seems to be malfunctioning, contact your
dealer or Hioki representative. Pack the product carefully so
that it will not be damaged during shipment, and include a
detailed written description of the problem. Hioki cannot be
responsible for damage that occurs during shipment.

Safety

Follow these precautions to ensure safe operation and to obtain
the full benefits of the various functions.

Mishandling during use could result in injury or death, as
well as damage to the product. Be certain that you under­stand the instructions and precautions in the manual
before use. We disclaim any responsibility for accidents
or injuries not resulting directly from product defects.

Safety Symbol

In the manual, the symbol indicates particularly important
information that the user should read before using the product.

Indicates DC (Direct Current).

The following symbols in this manual indicate the relative importance of
cautions and warnings.

Indicates that incorrect operation presents a significant haz­ard that could result in serious injury or death to the user.

Indicates that incorrect operation presents a possibility of
injury to the user or damage to the product.

Advisory items related to performance or correct operation
of the product.

Symbols for Various Standards

Indicates the Waste Electrical and Electronic Equipment
Directive (WEEE Directive) in EU member states.

Indicates that the product conforms to regulations set out
by the EU Directive.

Operating Precautions

• Do not store or use the product where it could be exposed
to direct sunlight, high temperature or humidity, or conden­sation. Under such conditions, the product may be damaged
and insulation may deteriorate so that it no longer meets
specifications.

• Do not use the product where it may be exposed to corrosive
or combustible gases. The product may be damaged.

• This product is not designed to be entirely water- or dust­proof. To avoid damage, do not use it in a wet or dusty envi­ronment.

• To avoid damage to the product, protect it from vibration or
shock during transport and handling, and be especially care­ful to avoid dropping.

• If the fixture has gotten seriously wet, oily, or dusty, stop us­ing it and send it for service at an approved HIOKI service
facility.

• For using the tester to which the test fixture is connected and
fixture, refer to Instruction Manual of them.

• When the DC bias unit is attached to the tester, be careful
not to put any weight on it. This could lead to damage both
to the tester and to the DC bias unit.

• The maximum DC bias voltage which can be applied to the
9268, 9268-10 is 40 VDC. The maximum DC bias voltage
which can be applied to the 9268-01 is 4 VDC. If a DC bias
voltage greater than this limit is applied continuously, the
units may be damaged.

• In order to avoid electric shock accident, be absolutely sure
not to touch the test terminals while the DC bias voltage is
being supplied to them.

• If you disconnect the sample under test from the test termi­nals with the DC bias voltage still being supplied, then the
test sample is left charged, which is very dangerous. In order
to avoid electric shock accident, be absolutely sure to dis­charge the test sample.

• Do not short circuit between the clips of the test probes with
the DC bias voltage still being supplied. Doing so may dam­age the probes or cause a short circuit accident.

• Do not apply a DC bias voltage of more than the withstand
voltage to the sample. This could lead to damage to the
tester, the DC bias unit, and sample.

• Be careful about the polarity when connecting together, the
sample to be tested, and the DC bias power supply.

• It takes a little time for the DC voltage which is being sup­plied to the sample under test to reach the set voltage, so
you should wait for a certain stabilization time period (which
depends upon the sample) before performing testing. Be
careful, because if you perform testing before this stabiliza­tion time period has elapsed, the results will not be reliable.

• After testing is completed, drop the voltage of the external
DC bias power supply to zero, and remove the sample under
test from the probes after having discharged any electric
charge which may have built up.

• If you have removed the sample under test from the probes
without first having discharged the accumulated electric
charge, you should be careful to do so immediately.

• When using with Model 3522 or 3522-50 turn OFF the
EXT.DC BIAS setting.Switching the EXT.DC BIAS setting
ON can cause the LCR meter to malfunction.

• When using with IM Series, press the SET EXT button in the
DC bias setting of the IM Series.

• When connecting or disconnecting this product from the
connected device, plugging it straight to the measurement
terminal of the connected device. If the connection is incor­rect, connecting terminal is deformed and may affect the
measurement.

Parts Names

Connecting the DC Bias Volt­age Unit and Test Fixture

DC bias voltage unit.

Plug the fixture into the measurement terminals (UNKNOWN) of the
tester, with the product name up. Fasten it in place with the left and right
fixing levers.

Test fix tu re

Connect the test fixture (or measurement probe) to the measurement ter­minals (UNKNOWN) of the tester, so that the H and L terminals match.

External DC bias power supply

Make sure that the external DC bias power supply is turned off, and
then plug the cable into the external DC bias apply terminals (BNC ter­minal) of the 9268, 9268-01, 9268-10 to connect.

• A separate external power supply for the DC bias voltage is also
required.

• The DC bias power supply cannot be controlled by the main unit of
the LCR HiTester.

Measurement Method

For safety reason, follows the procedure carefully.

1.To eliminate measurement errors due to the internal circuit of the DC
bias unit, before carrying out measurement, always carry out open­circuit compensation and short-circuit compensation. Carry out the
open-circuit compensation and short-circuit compensation with the
9268 (or 9268-01, 9268-10) and fixture (or measurement probe),
bias application cable and external DC bias power supply (output
voltage is set to 0 V) connected.

2.Fix the sample in the fixture.

3.Set the output voltage of the external DC bias supply to 0 V, then
apply the voltage. Next, increase the output voltage setting
progressively to reach the required setting.

4.Measure the DC bias characteristics of the sample.

5.Gradually decrease the output voltage of the external DC bias
supply until it reaches 0 V.

6.Remove the sample from the fixture.

• Since the IM3570 is not be able to compensate the short-circuit
while it is connected to the DC bias unit, residual impedance of the
specification will be added as an error.

• When carrying out open-circuit compensation or short-circuit
compensation using DC bias unit connected to IM Series, turn OFF
the DC setting of the correction range of IM Series.

• DC bias unit is not a four-terminal pair structure. When it is in
combination with the test fixture probes that is four-terminal pair
structure, measurement error increases or the measurement results
may be affected by the placement of the probe.