HIOKI 3522-50, 3532-50, 3535 User Manual

2004

3522-50/3532-50 / 3535 LCR测试仪

元器件测量仪器

基本精度±0.08%，测量频率可调: DC、1mHz~100kHz

最快5ms

3535

基本精度Z:±0.5%，θ；± 0.3°
宽频带100kHz~120MHz

9700-10　前置放大单元

(

3522-50/3532-50

功能向上！

3535为100kHz~120MHz的宽频量程且价位低。具有6ms高速测定的
内置比较器和负载补偿、BIN(分类)测量功能，应用范围广，例如芯片
互感、高速磁头测试以及其他相关研发需求。可将前置放大器与3535
拆离，使用指定电缆将其延伸，并尽可能接近被测物，以减小测量导
线的影响。
简易的操作和低廉的价格，赋予这些元器件测试仪器出众的性价比。
无论是用于实验室评估运行特性，还是用于生产线，都是您的理想选
择。

(

3522-50)/42Hz~5MHz(3532-50

)

的高速LCR测试仪

宽频带、测量频率可调的3522/ 3532 LCR测试仪，
将测试速度提高到了5ms(是原有型号的4倍)。

3522-50可提供DC和1mHz~100kHz的测试频率，
3532-50的测试频带为42Hz~5MHz。能提供与元

器件工作条件更为接近的测试条件。

)

http://www.hioki.cn

ＨＩＯＫＩ公司概述，新的产品，环保举措和其他的信息都可以在我们的网站上得到。

3522-50/3532-50

两型号涵盖的

DC、1mHz~100kHz/42Hz~5MHz

宽频带范围

■测量广范围的电压和电流

除了可发生通常开路信号之外，此类仪器还可在恒压/恒流的模
式下，提供依赖于电压/ 电流的评估。信号电平设置范围
广：10mV~5Vrms/10μA~100mA（最高1MHz）。

■测量的同时进行测量条件的调整

测量频率、测量信号电平和其它测量条件，可在监测测量结果的
同时改变其设置，可发挥有效的事先测量及评估条件的设置。

3522-50/ 3532-50基本特性

■更宽范围的测量频率

3522-50的测量频率可设置成DC或1mHz~100kHz、3532-50
可设置成42Hz~5MHz、4位数分辨率的任意值。使得进一步接
近运作条件的测量、评估。

则

■触摸屏的对话型操作

操作极为简便： 只需触摸屏幕即可随意改变项目的设置，仅所需
项目依次被显示。采用前面简洁的触摸屏，省去了全部按键开关，
操作不再繁杂。

3522-50/3532-50/3535 LCR HiTESTER

测量频率（Hz）

■高分辨率和高精度

全5位显示的高分辨率测量，而且可进行基本精度是±0.08%的
高精度测量。

■最快5ms的高速测量

四种采样率可供选择:FAST/NORMAL/ SLOW/SLOW2。最快约5ms(显
示|Z|时)的快速采样，提高了生产线的效率。
(测试频率随测量参数的不同而不同)

■14种测量参数

可测量以下参数，并且通过计算机可以捕捉所选定的参数:|Z|、|Y|、
θ、 Rp(DCR*)、Rs(ESR,DCR*)、G、X、B、Lp、Ls、Cp、Cs、D(tanδ)和Q。
*DCR为3522-50仅有

■可存储30组测量条件

最多可存储包括比较条件在内的30组测量条件，为反复测量较
多的在线样品测试提供快速响应。因为内存中存储了多种测量

条件，所以可以连续进行5种不同测量。比较功能使单台仪器就
能提供逻辑AND输出。

■4种参数同时测量

从全参数中，可选择任意4种参数同时进行观察并显示。

■放大显示功能

最多4种参数可放大显示，这使在线测量值在一定距离的条件下
也能较为容易地读取。

■相关补偿功能

补偿系数a、b可按照以下补偿公式进行测量值的补偿。
补偿值＝ ａ×测量值＋ｂ

■打印输出

使用选件9442打印机，可以打印测量值、比较结果和屏幕画面。

■DC电阻测量 (*仅3522-50具有）

DC电阻测量是3522-50的另一个特性。只用一台3522-50就能够
提供评估变压器和线圈的重要参数:电感(L)和DC电阻(DCR)。

1 2

■直流偏置测量

使用选件9268/9269直流偏置单元，电压和电流偏置测量简单可
行。最大可加DC±40V*的偏置。

*依据测量条件而定。

可拆卸前置放大单元

3535本机

9678连接电缆

可将３５３５用前置放大单元与３５３５本机拆离。本
机与前置放大单元通过专用电缆连接，并可将
其延伸至被测物，以减小测量导线的影响。

前置放大单元

3535基本性能

■宽频测量范围

测量频率100kHz~120MHz，以4位分辨率进行设置。

■最快6ms高速测量

4种采样速度可供选择:FAST /NORMAL/ SLOW/SLOW2。最快约为6ms(显
示|Z|时)，为提高生产线效率提供快速采样。
(测量频率视测量参数的不同而不同)。

■14种测量参数

可测量以下参数，也可使用计算机捕捉必要的参数。|Z|，|Y|，θ，Rp，
Rs(ESR)，G，X，B，Lp，Ls，Cp，Cs，D(tanδ)和Q。

■测量的同时进行测量条件的调整

测量频率、信号电平等测量条件，可在监视测量值的同时进行更
改，所以可有效发挥于事前测量、评估标准等设置。

■测量值的存储

主机可存储200组测量值。保存数据可一次传输到计算机或打印
出来。

■放大显示功能

最多4组参数可放大显示，便于生产线或其它距显示有一定距离
的情况下观察测量值。

■BIN(分类)测量

2种测量最多使用10组分类，利用测量值可以很容易地进行分类。

■连续测量

可存储30组测量条件。从中最大可连续测量保存于屏幕的5组测
量条件。使用比较器功能时，使用1台、并通过一系列的操作，可获
得这些条件的AND输出。

■负载补偿功能

测量用于基准参考的样品，可补偿测量值。用此功能可调和各仪
器间的测量值。

■存储30组测量条件

利用可存储30组包括比较值在内的测量条件的功能，为随时更换
的样品检测的反复测量生产线，提供快速响应。

■同时测量4种参数

可选择任何4种参数同时测量并显示。

■相关补偿功能

可设置以下补偿系数a和b，达到对测量值的补偿。
补偿值=a×测量值+b

3522-50/3532-50/3535 LCR HiTESTER

■打印输出

使用选件9442打印机，测量值、比较结果和屏幕数据可打印输出。

利用数字控制

的自动平衡电桥回路

■外部I/O接口

通过Ｉ／Ｏ接口可从外部控制触发、键盘锁开／ 关、以及测量条
件的装载。而且比较结果、测量完成等可以输出，可应用于自

动化生产线。

外部I/O时序图

下图（以3532-50为例）显示的是从EXT.I/O获得的触发(TRIG)
时序图，模拟测量完成(INDEX)、结束测量(EOM)、比较结果的
各信号。

＊１α取决于采样和触发延时。
＊２　１ｋＨｚ测量频率、快速模式、Ｚ测量时的参考值。

触发最小间隔

ｓ

TRIG

INDEX

EOM

HI IN LO

可选择ＧＰ－ＩＢ或者ＲＳ－２３２Ｃ接口（选件）

100

电路响应时间 最小锁定时间

300

１ｍｓ

ｓ＋　　　

＊２

＊１

测量时间５ｍｓ＊２

键盘锁定键，以免误触操作改变设置。

判定结果

外部Ｉ／Ｏ内容

●输出

　　　　●　

内部ＤＣ电源（＋５Ｖ输出）

　　　　●　

比较结果输出

　　　　●　

模拟测量完成信号(3522-50/3532-50)

　　　　●　

BIN（分类）测量结果输出(3535)

　　　　●　

测量结束信号

●输入

　　　　●　

外部ＤＣ供电电源（外部供电为＋５Ｖ￣＋２４Ｖ）

　　　　●　

外部触发信号

　　　　●　

键盘锁的开／关功能（３５２２－５０无）

　　　　●　

装载用配电盘号码的选择

通过计算机进行外部控制(3535)

3535标准配置了RS-232C和GP-IB接口，除了电源ON/OFF以外，
3535本机的所有其它功能都可以由计算机来实现控制。

■RS-232C接口

传输方式: 通信方式　: 全双工，同期方式: 启停式传输
传输速度: 9,600、19,200bps
数据长度: 8位
奇偶特性: 无
停止位: 1位
符号: CR+LF、CR
跟踪控制: 无
连接方法: D-sub9pin插入式、反向连接

3522-50/3532-50/3535 LCR HiTESTER

ＡＣ１００Ｖ、１２０Ｖ、　２２０Ｖ或２４０Ｖ可选型电源 ３５３２－５０背面

ＥＸＴ．Ｉ／Ｏ

标准规格: IEEE-488.1 1987
可使用IEEE-488.2 1987的共同指令

测量原理　　　　利用数字控制的自动平衡电桥回路的采用

从第1振荡器产生测量信号，外加于样品(DUT)，测量LOW端口电压，在其
变为平衡状态(LOW端口电压0V)时，控制第2振荡器的相位和振幅。
从变为平衡状态后的第2振荡

■GP-IB接口

器的相位和振幅，获得DUT的阻
抗Z和相位角θ。

3 4

Ｒｏｕｔ

ＨＩＧＨ

电桥回路

Ｚｄｕｔ

ＬＯＷ

Ｒｆ

第２　振荡器第１振荡器

V

ＣＰＵ

振幅／相位控制

与计算机连接

有效分析并处理测量数据

通过计算机进行外部控制

通过安装选件9593-01、RS-232C接口、或者GP-IB接口，除了电
源开/关以外，3522-50/3532-50本机的所有其它功能都可以
由计算机来实现控制。

使用表格计算软件的图表

通过使用市场上有售的标准表格计算软件，输入计算机的测
量数据即可实现图表化。以下的例子为３５３２－５０利用连续变化
的频率来测量１ＭＨｚ石英振子的频率特性，读入ＥＸＣＥＬ中，然后
显示的结果图表。用４位分辨率设置频率，如图表所显示，还可
评估急剧变化的共振点特性。

与本机相同，最多可以选4项
监测项目。选择项目的数据被
列成文件。

■9593-01 RS-232C接口参数

传输方式
传输速度
数据长度
奇偶特性

：　启停式传输
：　2,400、4,800、9,600、19,200bps
：　7、8位
：　偶数、奇数、无

■9442打印机

选件9442打印机可以将测试数据和
显示画面打印出来。便于检查数据

的附件等。

可设置如扫频、数据直接输出
等项目。此外，每按返回键，即
可输出数据。

通过使用RS-232C接口，备有在计算机上设定频率扫描的同时，
利用EXCEL将测试数据文件化的采样软件。
从敝公司网页下栽即可http://www.hioki.cn

停止位
符号
控制流
连接方法

：　1、2位
：　CR+LF、CR
：　硬件（安装DIP开关设定）
：　D-sub25pin、反向连接

打印输出举例

3522-50/3532-50/3535 LCR HiTESTER

（连接需要选件9593-01 RS-232C接口
（3535不需要），连接线和AC电源适配器）

测试数据不仅可以输出到打印机，而且还可以输出到其他媒介，
如PC或时序器。通过RS-232接口可以使检测数据的传输变得简单
和方便。

通过

,

在扫频的同时

,

检测线圈和变压器等时

,

线圈内部的电感值随信号的变化而

不同。图示为改变测量电流的实验中

,

线圈信号依赖性的图表。

端子测量。因交

所以是获得准确地

恒

/

)))

,

例

测量的同时可改变测量条件

获得更接近实际操作的评估

简易的触摸屏操作

通过触摸屏设置和改变测量环境，操作十分简单。可激活的
项目呈深色图像，只需轻触项目或数值，就可以将其改变。而
且，设置画面还可以实时显示测量值，并随着测试信号设置
的改变而变化。还能任意放大显示4项参数，便于生产线等有

一定距离的场合下的观察。

* 图示例为3522-50的代表性显示画面

初始画面

测量画面上，任意的4项参数的测量值
和设置环境一目了然。

参数设置画面

在显示的全参数中，可选择显示任
意4项参数。

菜单选择画面

从设置项目一览表中选择项目，可
切换到相应的设置屏幕。

应用设置画面

可进行测量条件的保存/装入、比较
功能的执行和放大显示等的设置。

3522-50/3532-50/3535 LCR HiTESTER

　　　　　　　　　　　　　　测量频率设置画面

使用数字键盘和位数输入设置值、在改变测量频率和电平的同时可进行监测。电平
设置可在开路电压、恒压或恒流等形式间选择。

测量电平设置画面

放大显示／比较设置屏幕

可设置放大显示、将设置保存在内存
中以实现连续比较。

5 6

应　　　　　　用

,

,

,

,

/

)

)CC)

,

例

可变性的测试信号

扩大了其应用范围

■依赖于信号的样品评估

　　　　（线圈、变压器、马达、磁头等）

3522-50

V设置　　　: 设置V0
CV设置: 设置样品两端的电压值VCV(为设置VCV,控制VO)
CC设置: 设置通过样品的电流值ICC(为设置ICC,控制VO)
Vm : 电压监测值
Im : 电流监测值
R0 : 输出阻抗(50Ω)

3532-50

■从外部排列不同的测量条件

利用外部I/O接口,事先将登录的测量条件输入,进行不同测量
条件的样品选择/评估。通过改变测量条件,登录恰当的测量
条件、比较条件,相对同一样品也可进行连续测量。用一台测
量仪,构筑于多品种的自动化生产线,实现最快5ms的高速测量。

: 120Hz C-D测量和100kHz的ESR测量
: 1次侧和2次侧L的测量
/线圈: 1kHz的L测量和DCR测量(仅522-50)

V设定

Vo

Im =

Ro+Z

Vo

Vm =

CV设定 CC设定

Vcv

Im =

Z

Ro+Z

·Vo

Im =Icc

3522-50/3532-50/3535 LCR HiTESTER

【电气化学的特殊参数】

测量固体电解质的离子导电率举例

作为测量固体电解质的离子导电率,要使用4
流4端子测量不受分极和界面电阻的影响,
离子导电率的理想测量方法。
此测量的问题是产生于固体电解质和电极间的接触阻抗、
温槽(电气炉)等的干扰,造成了测量值的不稳定。
数的LCR测试仪,通过提高输入阻抗、增加波形平均处理,
到准确地测量。
β-显示的是氧化铝的阻抗测量结果

＊电气化学参数需另外改造

Vm =Vcv

RS-232C

使用采样软件将测量数据归档于Excel文件。

Vm =Icc·Z

■3522-50/3532-50技术参数

3522-50 3532-50

｜Ｚ｜、｜Ｙ｜、θ、 Ｒｐ（ＤＣＲ）、Ｒｓ（ＥＳＲ、

测量参数

测量范围　｜Ｚ｜、Ｒ、Ｘ　
　　　　　　　　　　　　　　　　θ
　　　　　　　　　　　　　　　　Ｃ　
　　　　　　　　　　　　　　　　Ｌ　
　　　　　　　　　　　　　　　　Ｄ　
　　　　　　　　　　　　　　　　Ｑ　
　　　　　　　　　　｜Ｙ｜、Ｇ、Ｂ　
基本精度
测量频率
测量信号电平
输出阻抗
显示方法／最大计数
测量时间

（显示｜Ｚ｜的代表值）　
比较记忆目录数

比较器比较方法
ＤＣ偏置

外置打印机
外部接口
电源
最大额定功率

ＤＣＲ）、　Ｇ、Ｘ、Ｂ、Ｃｐ、Ｃｓ、Ｌｐ、Ｌｓ、
Ｄ（ｔａｎδ）、Ｑ

１０．００ｍΩ￣２００．００ＭΩ（依据测试频率和信号电平而定）

０．３２００ｐＦ￣１．００００Ｆ ０．３２００ｐＦ￣３７０．００ｍＦ

Ｚ：　±０．０８％ｒｄｇ．　　　　　　θ：　±

ＤＣ、１ｍＨｚ￣１００ｋＨｚ ４２Ｈｚ￣５ＭＨｚ

１０ｍＶ￣５Ｖｒｍｓ／１０μＡ￣１００ｍＡ　ｒｍｓ

背光ＬＣＤ／９９９９９（全５位）
快速：　５ｍｓ、中速：　１６ｍｓ、
慢速１／２：　８８ｍｓ／８２８ｍｓ

从测量项目设置２种ＨＩ／ＩＮ／ＬＯ、％、％Δ以及绝对值

（３５２２－５０单独使用最大±１０Ｖ／使用９２６８最大±４０Ｖ）

ＧＰ－ＩＢ或ＲＳ－２３２Ｃ（选件可选），外部Ｉ／Ｏ口用于时序控制器

１００、１２０、２２０或２４０（±１０％）ＡＣ（可选），５０／６０Ｈｚ

约４０ＶＡ 约５０ＶＡ

｜Ｚ｜、｜Ｙ｜、θ、 Ｒｐ、Ｒｓ（ＥＳＲ）、
Ｇ、Ｘ、Ｂ、Ｃｐ、Ｃｓ、Ｌｐ、Ｌｓ、
Ｄ（ｔａｎδ）、Ｑ

－１８０．００￣＋１８０．００°

１６．０００ｎＨ￣７５０．００ｋＨ

０．００００１￣９．９９９９９

０．０１￣９９９．９９

５．００００ｎＳ￣９９．９９９Ｓ

５０Ω

快速：　５ｍｓ、中速：　２１ｍｓ、
慢速１／２：　７２ｍｓ／１４０ｍｓ

最多３０

外部ＤＣ偏置最大±４０Ｖ

９４４２打印机（选件）

测量量程: 所有参数都由|Z|来决定。

100m/1/10 /100/1k/10k/100k/1M/10M/100M

测量频率:
[3522-50]:

DC、1mHz~100kHz(±0.005%以下)
10Hz以内(1mHz微调)/10~100Hz(10mHz)/
100Hz~1kHz(100mHz)/1kHz~10kHz(1Hz)/
10kHz~100kHz(10Hz)

[3532-50]:

42Hz~5MHz(±0.005%以下)
1kHz以内(0.1Hz微调)/1kHz~10kHz(1Hz)/
10kHz~100kHz(10Hz)/100kHz~1MHz(100Hz)/
1MHz~5MHz(1kHz)

测量电平:
[电压与恒压]:

10mV~5V rms(DC~1MHz)
50mV~1V rms(1MHz~5MHz)
最大短路电流100mA rms
1mV微调

[恒流]: 10μA~100mA rms (DC~1MHz)
50μA~20mA rms (1MHz~5MHz)
最大电压5V rms
10μArms微调

尺寸与重量:
[3522-50]: 约313宽×125高×290厚mm，4.5kg
[3532-50]: 约352宽×124高×323厚mm，6.5kg

符合标准:

EN61000-3-2:1995+A1:1998+A2:1998
EN61000-3-3:1995
安全 EN61010-1:1993+A2:1995
供电电源: 污染度2，Ⅱ型过电压
(预计瞬间过电压2500V)
测量端子: 污染度2，Ⅰ型过电压
(预计瞬间过电压330V)

EMC EN61326-1:1997+A1:1998

Ω

9140 四端子探头

3522-50/3532-50/3535 LCR HiTESTER

DC~100kHz

*所有电缆长1m。

应用广泛的选件

9143 针夹式探头
DC~5MHz

9268 DC偏置电压单元
最大外加电压: ±40V DC
9269 DC偏置电流单元

最大外加电流: ±2A DC

使用9268、9269时，必须有外
带的定电压源和定电流源

连接DC偏置单元举例

9261 测试冶具
DC~5MHz

9262 测试冶具
DC~5MHz

9442 打印机

●

打印方法记录宽度: 热敏打印机/112mm

●

打印速度: 52.5cps

●

供电电源: 9443 AC适配器或提供的镍氢电池组

　　　　　　　　　　　　（用9443充满电后，可打印3000行）

●

尺寸及重量: 约160W×66.5H×170Dmm; 约580g

* 连接9442打印机需要选件9593-01 RS-232C接口，
9446连接线和AC电源适配器

高速、低价，适用于生产线的ＬＣＲ测试仪

3511-50 LCR测试仪

●

5ms（1kHz）/13ms (120Hz)的高速测量

●

基本精度: |Z|:±0.08%的高精度

●

适合在线测量的高速比较功能

●

测量频率: 1kHz/120Hz的切换

●

测量参数: |Z|、θ、C、L、D （tanδ）、Q、R

●

最小分辨率0.01pF的微小测量至1F的

　　　大容量测量

●

RS-232C接口标准配置

●

测量值、比较结果用9442打印机打印

　　　输出（选件）

9263 SMD测试冶具
DC~5MHz

7 8

测量精度和范围

条件：

温湿度范围23℃±5℃,80%rh或以下(无凝结)接通电源60分钟预热后,已完成开路和短路校正。使用9262测试夹具,测量信号

※

电平1V~5V(3522-50),0.501V~1.000V(3532-50),测量速度SLOW2。

※

测量范围和精度取决于所使用的测试冶具、测量信号电平和测量速度。

3522-50精度表

量程 阻抗　 DC

100MΩ

10MΩ

1MΩ

100kΩ

10kΩ

1kΩ

100Ω

10Ω

1Ω

100mΩ

200MΩ

100kΩ
100kΩ

100mΩ
100mΩ

10mΩ

10MΩ
10MΩ

1MΩ
1MΩ

10kΩ
10kΩ

1kΩ
1kΩ

100Ω
100Ω

10Ω
10Ω

1Ω
1Ω

A=1 B=1

A=0.5 B=0.3

A=0.2 B=0.05

A=0.1 B=0.01

A=0.1 B=0.02

A=0.2 B=0.05

A=0.3 B=0.3

A=1 B=0.5

1m~99.99Hz 100.0~999.9Hz 1.000~10.00kHz 10.01~100kHz

A=7 B=5
A=4 B=3

A=2 B=0.5
A=1 B=0.2

A=0.7 B=0.03
A=0.35 B=0.02

A=0.4 B=0.01
A=0.28 B=0.002

A=0.38 B=0.002
A=0.25 B=0.001

A=0.36 B=0.001
A=0.25 B=0.001

A=0.36 B=0.01
A=0.25 B=0.005

A=0.5 B=0.04
A=0.35 B=0.02

A=1 B=0.6
A=0.6 B=0.4

A=7 B=4
A=5 B=2

A=4.5 B=1
A=3 B=1.5

A=0.7 B=0.4
A=0.7 B=0.2

A=0.25 B=0.03
A=0.15 B=0.02

A=0.2 B=0.002
A=0.12 B=0.002

A=0.15 B=0.002
A=0.1 B=0.001

A=0.12 B=0.001
A=0.1 B=0.001

A=0.15 B=0.01
A=0.1 B=0.005

A=0.25 B=0.02
A=0.2 B=0.01

A=0.5 B=0.3
A=0.3 5 B=0.2

A=3.5 B=1.5
A=2.5 B=1

A=4.5 B=1
A=2.5 B=1.5

A=0.7 B=0.4
A=0.5 B=0.2

A=0.2 B=0.03
A=0.1 B=0.02

A=0.15 B=0.002
A=0.08 B=0.002

A=0.1 B=0.002
A=0.05 B=0.001

A=0.08 B=0.001
A=0.05 B=0.001

A=0.15 B=0.01
A=0.05 B=0.005

A=0.25 B=0.01
A=0.15 B=0.01

A=0.35 B=0.2
A=0.3 B=0.1

A=2.5 B=1.5
A=1.5 B=1

A=1.5 B=0.5
A=2 B=0.3

A=0.7 B=0.03
A=0.5 B=0.1

A=0.35 B=0.01
A=0.1 B=0.02

A=0.2 B=0.002
A=0.08 B=0.002

A=0.15 B=0.001
A=0.08 B=0.002

A=0.15 B=0.02
A=0.08 B=0.01

A=0.35 B=0.02
A=0.2 B=0.02

A=0.7 B=0.3
A=0.45 B=0.1

A=3.5 B=1.5
A=2 B=1

上限数值A
下限数值A
B是样品阻抗相关的系数

当DC电阻测量时

A是R的精度(±%rdg.)
B是采样电阻系数

高于1kΩ或低于100Ω的精度计算
公式不同。
详情请参考以下公式

Zx为样品的阻抗实测值(|Z|)

...

|Z|的基本精度(±%rdg.)

...

θ的基本精度(±deg.)

1kΩ量程以上
精度= A+

100Ω量程以下
精度= A+

B×
量程

B×
量程

10×Zx-量程

|

量程

|

|

-

Zx

×10

|

3532-50精度表

量程 阻抗　

10MΩ

1MΩ

10kΩ

1kΩ

100Ω

10Ω

1Ω

200MΩ

10MΩ
10MΩ

1MΩ
1MΩ

100kΩ
100kΩ

10kΩ
10kΩ

1kΩ
1kΩ

100Ω
100Ω

10Ω
10Ω

1Ω
1Ω

100mΩ
100mΩ

10mΩ

100MΩ

100kΩ

100mΩ

A=4 B=4
A=2.5 B=2

A=0.8 B=0.4
A=1 B=0.2

A=0.4 B=0.05
A=0.3 B=0.1

A=0.35 B=0.01
A=0.25 B=0.01

A=0.35 B=0.01
A=0.25 B=0.005

A=0.35 B=0.02
A=0.25 B=0.01

A=0.4 B=0.04
A=0.3 B=0.1

A=0.7 B=0.4
A=1 B=0.2

A=4 B=4
A=2.5 B=2

100Hz~1.000kHz 42~99.99Hz 1.001~.10.00kHz

A=2 B=2
A=1 B=1.5

A=0.4 B=0.2
A=0.25 B=0.1

A=0.15 B=0.05
A=0.15 B=0.02

A=0.08 B=0.01
A=0.05 B=0.01

A=0.08 B=0.01
A=0.05 B=0.005

A=0.08 B=0.02
A=0.05 B=0.01

A=0.2 B=0.03
A=0.1 B=0.02

■决定测量精度的方法

测量精度可以由样品的阻抗、测量量程、测量频率及以上表格
的基本精度A和系数B来计算。
高于1kΩ或低于100Ω的精度计算，分别用不同的公式。
对于C和L，基本精度A和系数B可以通过直接测量阻抗，或以下
公 式估算。

Zx (Ω) ≌　

≌　　
　≌　R (Ω) (θ≌90

ω

L (H) (

１
ω

C (F ) (

θ

θ

≌90

≌－90

°

)

°

)

°

)

A=0.15 B=0.01
A=0.08 B=0.01

A=0.4 B=0.3
A=0.25 B=0.2

A=3 B=2
A=2 B=1

10.01~100kHz 100.1k~1.000MHz 1.001~5MHz

A=1 B=0.5
A=1 B=0.5

A=0.3 B=0.08
A=0.3 B=0.08

A=0.25 B=0.04
A=0.15 B=0.02

A=0.2 B=0.02
A=0.08 B=0.02

A=0.2 B=0.02
A=0.08 B=0.02

A=0.2 B=0.03
A=0.15 B=0.02

A=3 B=1
A=3 B=0.5

A=0.4 B=0.3
A=0.3 B=0.3

A=0.3 B=0.03
A=0.15 B=0.02

A=0.3 B=0.03
A=0.15 B=0.02

A=0.4 B=0.1
A=0.3 B=0.05

A=1 B=1
A=0.7 B=0.5

※

1.001MHz及以上　　　精度×

■计算举例(3522-50的A和B值)

样品阻抗Zx: 500Ω（实测值）
测量条件: 频率10kHz, 信号电平2V,量程1kΩ
根据以上表格,Z的基本精度A=0.08,系数B= 0.001
将这些数据代入公式:

Z精度= 0.08+ = 0.084 (±％deg.)

0.001×｜10×5×102－10

10

3

同样θ的基本精度A=0.05,系数B=0.001,那么

0.001×

10×5×102－10

θ精度= 0.05+ = 0.054(

｜

10

3

3

｜

3

｜

A=2 B=0.5
A=2 B=0.3

A=1.5 B=0.2
A=1 B=0.2

A=1.5 B=0.2
A=1 B=0.2

A=2 B=1
A=2 B=0.5

(f[MHz]+3)
4

±

％deg.)

3522-50/3532-50/3535 LCR HiTESTER

高速测量

测 量 项 目:

测 量 频 率:

输 出 阻 抗:
测量信号电平:

3522-50/3532-50/3535 LCR HiTESTER

监 测 功

限 制 功 能:

测 量 时 间:

测 量 速 度:
平 均:
触 发 功 能:

负载补偿功能:

键 盘 锁:

非接触

3535 技术参数

Z(阻抗)、Y(导纳)、Rs(串联等效电阻，ESR)、RP(并
联等效电阻)、 G(导通率)、X(电抗)、B(电纳)、
θ(相位角)、Ls(串联等效电感)、Lp(并联等效
电感)、Cs(串联等效电容)、Cp(并联等效电容)、
Q(Q因素)、 D(损失常量tanδ)
频率范围:100kHz~120MHz
分辨率设置:4位(使用前控制板设置)*

100.0kHz~1.000MHz 100Hz

1.000MHz~10.00MHz 1kHz幅度

10.00MHz~100.0MHz 10kHz幅度

100.0MHz~120.0MHz 100kHz幅度
*使用GP-IB或RS-232C接口时，分辨率为1Hz。
频率精度:小于设置值的±0.005%
50Ω±10Ω(100kHz时)

开路电压(V)模式
　　　电平范围:

5mV~1V,最大20mA(10.00MHz以下)
5mV~500mV,最大10mA(10.01MHz以上)

　　　　设置分辨率:1mV幅度

设置精度:
恒流(CC)模式:
　　　电平范围:

200μA~20mA,最大1V(10.00MHz以下)
200μA~10mA,最大0.5V(10.01MHz以上)

设置分辨率:10μA幅度
精度:±(10%+50μA)×(2+log f)，f为MHz数
监测电压:0.000V~1.000V

能:

监测电流:0.000mA~20.00m
限制电流(设置为V)0.20mA~20.00mA
限制电压(设置为CC)0.005V~1.000V
6±1ms（代表值）
实际测量时间依测量条件而定，如测量速度
和平均值。
FAST、NORMAL、SLOW和SLOW2
关、2、4、8、16、32和64
内置、外置触发器可选触发延时功能:

0.01s~9.99s;0.01s分辨率
测量用作标准的样品得到补偿量，提供给以
后的测量值
使用后面锁定开关，锁定触摸面板操作

标记、芯片互感器和磁头

IC

比较两组测量项目，无论输入绝对值、标准值
的百分比还是偏差百分比(△%)
注:△%即显示测量值与标准值的偏差
将2种测量项目分成10类测量
输入补偿系数a和b，补偿显示值
[补偿后的测量数据]=a×[测量数据]+b
存储容量:30组
调用方法:前面板操作，外部I/O接口，GP-IB，

RS-232C

存储容量:最大200个数值
测量值存储在主机中，以批文件的形式传送。
放大显示测量数据和比较结果。
连续测量保存在屏幕的测量条件。
按键音和比较结果(IN或NG)的蜂鸣器可设置
为开/关。
可设置成3，4，或5位的测量值显示位数;必须
以参数而定。
背光、电压/电流监测显示，可以设置开/关。
注:背光关闭的时候，显示不能更新(高速测量
期间)。
打印测量值或屏幕显示的拷贝
注:需用9442和9444

GP-IB，RS-232C，EXT.I/O(标准)
10~40℃，最大80%rh，无凝结

－10~55℃，最大80%rh，无凝结
室内，最高2000m海拔
交流100V~240V，50/60Hz

50VA

约360宽×130高×360厚(mm);8.3kg

重

EMC:EN61326-1:1997+A1:1998+A2:2001

EN61000-3-2:2000

EN61000-3-3:1995+A1:2001

安全性:EN61010-1:2001

幅度

±(5%+5mV)×(2+log f)

比 较 器:

分类(BIN)测量:
相关补偿功能:

保 存 和 调 用:

测量值存储:

放大显示功能:
连 续 测 量:
蜂 鸣 器:

数字显示功能:

显示设置功能:

，f为MHz数

打 印 功 能:

接 口:
操 作 温 湿 度:
仓 储 温 湿 度:
操 作 环 境:
供 电 电 源:
最大额定功率:
尺　寸　及
符 合 标 准:

9 10

用于各种研究开发

测量精度和范围（6个月精度保证）

精度用Z和θ来规定，其他参数可参照此计算。

Z 精度: 按以下公式计算
精度[%]= 基本精度×频率系数×电平系数×测量速度系数×电缆长度系数×温度系数
θ精度: 按下列公式计算
精度[°]=Z精度×0.6

■基本精度

测量范围

10kΩ~300kΩ

1kΩ~20kΩ
100Ω~2kΩ

100mΩ~100Ω

■　频率系数

log f+2 (f≤10 MHz), f为MHz时
10×log f－7 (f >10 MHz), f为MHz时

■测量速度系数

5+ 150/ V (FAST), V为mV时
3+ 100/ V (NORMAL), V为mV时

1.5+ 30/ V (SLOW), V为mV时

1(SLOW2)

■电缆长度系数

1 (0m)
2 (2m, 9678)

●获得测量精度的方法

获得电容的基本精度。

(Cs=100pF)

使用1kΩ量程
测量值: Z=159.33, θ=－87.33°
在以下测量条件下进行测量。

·测量频率: 10 MHz

·测量速度: SLO W2

·测量信号电平: 500 mV

·电缆长: 0 m

·温 度 : 2 4℃

1kΩ量程

A=0.50 B= 0.10

A=0.50 B= 0.10

1.

2.

3.

4.

5.

6.

9700-10前置放大单元

A=1.00 B= 0.10

从基本精度表中找到Z的系数A
和B，计算出Z的基本精度。

从测量条件中得到其它系数。

求Z的精度
由Z的基本精度计算出θ的基

本精度。
从基本精度得到Z和θ可能值

范围。θ用绝对值求得。

由Z和θ的范围，得到Cs可能值
范围。

X=Zsinθ、 Cs=1/ωX

量程上限

100kΩ量程10kΩ量程

A=2.00 B=0.20

基本精度=A+B× －1

量程下限

基本精度=A+B× －1
Zm=测量值

■电平系数

10－3×log V, V为mV时

■温度系数

1 + 0.1

T [°C]－23 [°C]

|

|

【测量范围： 参考值】

1kΩ量程

Z·R*

100mΩ~2kΩ

0.66pF~15.9μF

C*

0.133nH~3.18mH

L*

θ

※由Z的范围计算获得，并不一定保证测量范围。

由基本精度表的系数A和B: A = 0.50 and B = 0.10
Z的基本精度= 0.50+ 0.10× －1 ≌±0.559%

频率系数 = log(10) + 2 = 3
电平系数= 10－3 × log(500)≌1.903
测量速度系数= 1
电缆长度系数= 1
温度系数= 1 + 0.1 ×

Z精度= 0.559×3×1.903×1 ×1×1.1≌±3.510%

θ精度 = 3.510×0.6 = ±2.106°

Zmin = 159.33×( 1－3.510 / 100 ) ≌153.74
Zmax = 159.33×( 1 + 3.510 / 100 ) ≌164.92

θmin = 87.33－2.106≌85.224°
θmax = 87.33 + 2.106≌89.436°

Csmin =1÷(ω×Zmax×sinθmax)≌96.509 pF ...－3.491%
Csmax =1÷(ω×Zmin×sinθmin )≌103.883pF ...3.883%

ω= 2×π×f, f为Hz下的测量频率
因此，Cs的基本精度为-3.491~3.883%.

24－23

|

10kΩ量程

1kΩ~20kΩ

0.066pF~1.59nF

1.33μH~31.8mH

-180.00°~ 180.00°

159.33 x10

(

1000

= 1.1

|

Zm×10

( )

量程

量程

(

Zm×10

100kΩ量程

10kΩ~300kΩ

4.4fF~159pF

13.3μH~477mH

)

)

3522-50/3532-50/3535 LCR HiTESTER

3535 选件

9678 连接电缆

电缆长: 2m

9700-10 前置放大单元

测量范围: 100mΩ~300kΩ(3量程)

（用于电极下）

9677 SMD

测试冶具(直接接触型)

3522-50 LCR测试仪
3532-50 LCR测试仪

附件: 电源线、接地适配器、备用保险丝
　　　　　　　　　（100/120V时1A，220V/240时0.5A）

本机不提供测试冶具，订货时请选择一测试冶具选件。

●选件

9140 四端子探头
9143 针夹型探头
9261 测试冶具

3522-50/3532-50/3535 LCR HiTESTER

9262 测试冶具（直接型）
9263 SMD测试冶具（直接型）
9268 DC偏置电压单元
9269 DC偏置电流单元
9165 连接电缆　（用于9268/9269；BNC-BNC；1.5m）
9166 连接电缆　（用于9268/9269；BNC-clip；1.5m）
9593-01 RS-232C接口
9518-01 GP-IB接口

9677 SMD 测试冶具

工作频率: DC~120MHz
测量对象尺寸: 3.5±0.5mm
尺寸: 约103W×37.1H×47.6D mm
重量: 约135g

*与3535组合使用时，无CE标记

9677 SMD 测试冶具

工作频率: DC~120MHz
测量对象尺寸: 宽1.0 ~4.0mm,
　　　　　　　　　　　　　高1.5mm以下
尺寸: 约100.5W×28.6H×40.0D mm
重量: 约125g

3535 LCR测试仪

前置放大器和测试冶具不随主机提供，请选择前置放大器和测试冶具选件，
必须同本机组和校正。

●选件

9700-10 前置放大单元
9677 SMD测试冶具
9699 SMD测试冶具
9678 连接电缆
9637 RS-232C 电缆　(9pin-9pin/交叉/1.8m)
9638 RS-232C 电缆　(9pin-25pin/交叉/1.8m)

●以下共同

9151-02 GP-IB 连接电缆　(2m)
9151-04 GP-IB 连接电缆 (4m)
9442 打印机
9443 AC 适配器 (用于9442)
9446 连接电缆　(用于9442和3522-50/3532-50连接)
9444 连接电缆　(用于9442和3535连接)
1196 记录纸　(用于9442/25m, 10卷)

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