使用说明书
3505
3506
C 测试仪
C HiTESTER
2013年4月 修订四版 3505A982-04 (A980-06) 13-04H
目录
i
目 录
前言 ............................................................................................1
装箱内容确认..............................................................................1
关于安全 .....................................................................................2
使用注意事项..............................................................................4
第 1 章
概要 _______________________________________ 7
1.1 产品概要 ..............................................................................7
1.2 特点 .....................................................................................7
1.3 整体流程 ..............................................................................8
1.4 各部分的名称与功能 ..........................................................10
第 2 章
1
2
3
测量前的准备 _______________________________ 15
2.1 准备步骤 ............................................................................15
2.2 确认电源电压 ....................................................................16
2.3 连接电源线 ........................................................................ 17
2.4 连接测试探针、测试夹具 .................................................. 18
2.5 接通 / 关闭电源 ..................................................................19
第 3 章
设定测量条件 _______________________________ 21
3.1 测量前的检查 ....................................................................21
3.2 测量举例 ............................................................................22
3.3 设定测量条件 ....................................................................24
3.3.1 设定显示参数 ..........................................................................24
3.3.2 测量模式 .................................................................................25
3.3.3 测量频率 .................................................................................25
3.3.4 测量信号电平 ..........................................................................26
3.3.5 测量速度 .................................................................................26
3.3.6 等效电路模式 ..........................................................................27
3.3.7 测量量程 .................................................................................29
3.3.8 触发信号 .................................................................................34
ii
目录
第 4 章
对误差进行补偿 _____________________________35
4.1 开路补偿 / 短路补偿 ..........................................................35
4.2 负载补偿 ........................................................................... 42
4.3 偏置补偿 ........................................................................... 48
4.4 自校正 ............................................................................... 52
4.5 设定线缆长度 .................................................................... 54
第 5 章
判定测量结果 _______________________________55
5.1 比较器测量功能 ................................................................. 55
5.2 BIN 分选测量功能 ............................................................. 69
第 6 章
使用应用功能 _______________________________85
6.1 使用平均值功能 ................................................................. 85
6.2 设定触发延时 .................................................................... 87
6.3 使用接触检测功能 ............................................................. 89
6.3.1 Low C 拒绝功能的设定 ........................................................... 90
6.3.2 检测电平监视功能的设定 ....................................................... 92
6.4 使用检测电流电路监视功能 ............................................... 94
6.5 使用施加电压值监视功能 .................................................. 94
6.6 使用频率切换功能 ............................................................. 95
6.7 设定显示器的 ON/ OFF .....................................................96
6.8 使用触发同步输出功能 ...................................................... 97
6.9 按键操作设为无效 （按键锁定功能） ................................ 98
6.10 保存测量条件 （面板显示保存功能） ................................ 99
6.11 读取测量条件 （面板显示调用功能） .............................. 100
6.12 设定鸣音 ......................................................................... 104
6.12.1 比较器及 BIN 分选判定结果的鸣音设定 ............................... 104
6.12.2 按键操作的鸣音设定 ............................................................ 106
6.13 切换显示项目 ( 次显示区 ) ............................................... 107
6.14 执行系统复位 .................................................................. 108
6.15 打印 ................................................................................. 109
6.15.1 连接前的准备 ....................................................................... 109
6.15.2 连接方法 .............................................................................. 112
6.15.3 打印 ......................................................................................113
第 7 章
外部控制__________________________________ 115
7.1 关于 EXT I/O 接口 ........................................................... 115
7.2 EXT I/O 接口的电路构成和连接 ......................................117
7.3 关于输入、输出信号 ........................................................118
7.4 关于测量时间 ..................................................................121
iii
目录
第 8 章
计算机控制 ________________________________ 123
8.1 概要和特点 ......................................................................123
8.2 规格 .................................................................................124
8.2.1 RS-232C 的规格 ...................................................................124
8.2.2 GP-IB 的规格 ........................................................................125
8.3 连接与设定方法 ...............................................................126
8.3.1 连接 RS-232C 电缆、 GP-IB 电缆 ........................................126
8.3.2 设定接口的通信条件 .............................................................128
8.4 关于远程功能 ..................................................................131
8.5 通信方法 ..........................................................................132
8.6 通讯前需知 ......................................................................132
8.6.1 关于信息格式 ........................................................................132
8.6.2 关于输出提示与输入缓冲区 ..................................................137
8.6.3 关于状态字节寄存器 .............................................................138
8.6.4 关于事件寄存器 ....................................................................140
8.7 信息汇总表 ......................................................................145
4
5
6
7
8
9
8.7.1 共用命令 ...............................................................................145
8.7.2 固有命令 ...............................................................................146
8.8 不同状态下命令的有效和无效 .........................................157
8.8.1 共用命令 ...............................................................................157
8.8.2 固有命令 ...............................................................................157
8.9 信息参考 ..........................................................................162
8.9.1 共用命令 ...............................................................................163
8.9.2 固有命令 ...............................................................................168
8.9.3 返回数值查询的应答格式 ......................................................233
8.10 初始化项目 ......................................................................235
8.11 生成程序 ..........................................................................236
8.11.1 生成步骤 ...............................................................................236
8.11.2 示例程序 ...............................................................................239
10
11
12
附
录
索
引
iv
目录
8.12 接口的故障排除 ............................................................... 241
8.13 装置文书要点 .................................................................. 243
第 9 章
规格 _____________________________________247
9.1 一般参数 ......................................................................... 247
9.2 精度 ................................................................................. 250
9.3 测量参数与运算公式 ....................................................... 253
第 10 章
维护和服务 ________________________________ 255
10.1 检查、修理和打扫 ........................................................... 255
10.2 更换电源保险丝................................................................ 257
10.3 关于测量仪器的废弃 ....................................................... 258
附录 _________________________________________ 附 1
附录 1 防止外来噪声混入的对策 ............................................... 附 1
附录 1.1 防止来自电源线的噪声混入的对策 .................................. 附 1
附录 1.2 防止来自输入线 （测试探针类）的噪声混入的对策 ........ 附 2
附录 2 测量高阻抗元件时 .......................................................... 附 3
附录 3 测量电路网中的元件时................................................... 附 4
附录 3.1 使用保护处理进行测量 .................................................... 附 4
附录 3.2 多台测量 .......................................................................... 附 5
附录 4 支架安装 ........................................................................ 附 6
附录 5 外观图 ............................................................................ 附 8
附录 6 选购件 ............................................................................ 附 9
附录 7 初始设定汇总表............................................................ 附 11
索引 __________________________________________ 索 i
前言
装箱内容确认
主机 3505 或 3506 C 电容测试仪
附件 • 操作手册.................................................................................1
1
前言
感谢您选择 HIOKI “3505、3506 C 测试仪”。为了您能充分而持久地使用本产品，
请妥善保管操作手册，以便随时使用。
本仪器送到您手上时，请检查在运输途中是否发生异常或损坏后再使用。尤其请
注意附件及面板开关、端子类等物件。万一有损坏或不能按照参数规定工作时，请
与销售店 （代理店）或距您最近的营业所联系。
• 电源线.....................................................................................1
• 电源备用保险丝 （根据额定电源指定）.............................1
100 V, 120 V 设定 : 250 V F 1.0 AL φ 5 x 20 mm
220 V, 240 V 设定 : 250 V F 0.5 AL φ 5 x 20 mm
运输方面的注意事项
关于选购件
测试探针、测试夹具不随机附送。请根据用途另行购买。
运输本仪器时，请使用送货时的包装材料。
请参照 “附录 6 选购件” ( 附录 9)。
2
关于安全
关于安全
安全记号
本仪器是按照 IEC61010 安全规格进行设计和测试，并在安全的状态下出厂的。如
果测量方法有误，有可能导致人身事故和仪器的故障。另外，按照本使用说明书
记载以外的方法使用本仪器时，可能会损坏本仪器所配备的用于确保安全的功
能。请熟读操作手册，在充分理解内容后进行操作。万一发生事故，除了本公司
产品自身的原因以外概不负责。
本操作手册中记载了安全操作本仪器，保持仪器的安全状态所需要的信息和注意
事项。在使用本仪器前请认真阅读下述与安全有关的事项。
表示使用者必须阅读操作手册中 有记号的地方并加以注意。
使用者对于仪器上标示 记号的地方，请参照操作手册上 记号的相应
位置说明，操作仪器。
表示交流电 （AC）。
表示接地端子。
表示保险丝。
表示电源 “开”。
表示电源 “关”。
操作手册的注意事项，根据重要程度有以下标记。
表示如果产生操作或使用错误，有导致使用者死亡或重伤的危险性。
表示如果产生操作或使用错误，有可能导致使用者受伤或仪器损坏。
表示产品性能及操作上的建议。
其他记号
3
关于安全
表示严禁的行为。
关于测量分类
参照 :
*
为了安全地使用测量仪， IEC61010 把测定分类按照使用场所分成 CAT II ～ CAT
IV 四个安全等级的标准。
CAT II
CAT III
CAT IV
如果使用分类数值较小等级的测量仪器对符合分类数值较大等级的测量位置进行
测量，则有可能导致发生重大事故，因此，请绝对避免。如果利用没有分类的测
量仪器对 CAT II ～ CAT IV 的测量分类进行测量，可能会导致重大事故，因此请
绝对避免这种情况。
表示参阅内容。
表示与操作快速参考、故障处理方法相关的记述。
表示术语的说明记述于该页的底部。
带连接插座的电源线的仪器 （可移动工具、家用电器等）的初级
侧电路直接测量插座插口时为 CAT Ⅱ。
直接从配电盘得电的仪器 （固定设备）的初级侧电路，以及从配
电盘到插座的电路
建筑物的进户电路、从进入口到电表及初级侧过电流保护装置
（分电盘）的电路
关于精度
本公司将测量值的极限误差，作为如下所示的 rdg. （读值）、 dgt.（数位）的值来加
以定义。
rdg.
（读取值、显示值、指示值）
dgt.
（分辨率）
表示当前正在测量的值、测量仪器当前的
指示值。
表示数字式测量仪器的最小显示单位、即
最小位的 “1”。
4
使用注意事项
使用注意事项
使用前的确认
为了您能安全地使用本仪器，并充分运用其功能，请遵守以下注意事项。
• 在使用前，请先确认没有因保存和运输造成的故障，并在检查和确认动作之后
再使用。确认为有故障时，请与销售店 （代理店）或距您最近的营业所联系。
• 请在使用前确认测试探针、线缆的外皮有无破损或金属露出。由于这些损伤会
造成触电事故，因此若有损伤换上本公司指定的测试探针。
关于本仪器的放置、使用环境
使用温、湿度范围：0 ～ 40 ℃、 80%RH 以下 （没有结露）
保存温、湿度范围：-10 ～ 55 ℃、 80%RH 以下的室内 （没有结露）
精度温、湿度范围：23 ± 5 ℃、 80%RH
请不要把本仪器放置在以下场所，否则会造成本仪器的故障或事故。
日光直射的场所
高温的场所
淋水的场所
潮湿、结露的场所
灰尘多的场所 机械震动频繁的场所
产生腐蚀性气体、爆
炸性气体的场所
产生强力电磁波的场
所
带电物体附近
放置方法 • 不要把底面以外的部分向下放置。
OK
• 不要堵塞通风孔。
5
使用注意事项
5 cm 以上
10 cm 以上
关于本仪器的使用
• 请不要淋湿本仪器，或者用湿手进行测量。否则会导致触电事故。
• 请绝对不要进行改造。也不要让非本公司修理技术人员拆开或修理。否则会引起
火灾、触电事故或人员受伤。
• 使用中发生异常动作、异常显示时，请立即关闭电源开关，与代理店或距您最近
的营业所联系。
• 为了防止本仪器损坏，在搬运及使用时请避免震动、碰撞。尤其要注意因掉落而
造成的碰撞。这样会导致本仪器损坏。
6
使用注意事项
连接 / 接通电源前
• 在接通电源前，请确认本仪器的电源连接部上所记载的电源电压与您使用的电
源电压是否一致。如果使用指定范围外的电源电压，会造成本仪器的损坏或电气
事故。
• 本仪器的电源通过电压选择器进行切换。为了避免电气事故，请根据使用电源电
压设定电压选择器的电压值。
参照 :电源电压的设定方法 “2.2 确认电源电压” (⇒ 第 16 页 )
• 为了避免触电事故并确保本仪器的安全，请把附带的电源线连接到三相插座上。
参照 :连接方法 “2.3 连接电源线” (⇒ 第 17 页 )
• 为了避免触电和出现短路事故，请在连接测试探针之前关闭各仪器的电源。
为了防止短路，请注意不要错误连接。
关于保修
对于需求方因组装或转卖本仪器而造成的直接或间接的损失，本公司不承担任何
责任。敬请谅解。
1.1
产品概要
概要 第 1 章
1.1 产品概要
HIOKI “3505、 3506 C 测试仪”是测量频率为 1 kHz、 100 kHz （仅限于 3505）、
1 MHz 的电容测量仪器。
可高速、高精度地测量电容。主要用于封装机、分选机、电容器的合格与否的判
断和等级分类等。
1.2 特点
电容专用测量仪器
测量频率为 1 kHz、 100 kHz （仅限于 3505）、 1 MHz 的电容测量仪器。
7
1
可进行高速测量
可以高速测量。 FA ST 时的测量速度为 2ms。
BIN 分选功能 (⇒ 第 69 页 )
C （静电容量
*1
）最多可分成 13 类，能简单地根据测量值进行分类。
比较器功能 (⇒ 第 55 页 )
*2
可使用 C 的测量值、D ( 损耗系数
合格与否的判定。
) 或 Q (Quality factor*3) 的测量值对被测物进行
采用 LED 显示
易于查看辨识数据。
配备标准接口 (⇒ 第 123 页 )
标准配备有时序外部 I/O、 RS-232C 接口、 GP-IB 接口。
测量值存储功能 (⇒ 第 221 页 )
存储器最多可保存 1000 组最新的测量值。
可以进行触发同步测量 (⇒ 第 97 页 )
可以与触发器同步，对被测元件施加测量信号。
频率切换功能 (⇒ 第 95 页 )
多台使用时，可通过切换各自的测量频率来减轻干涉所造成的测量值不稳定现
象。
接触检测 (⇒ 第 89 页 )
可使用 Low C 拒绝功能、检测电平监视功能检查接触不良。
*1：表示携带电荷的能力。
*2：大致显示电容的损耗。
*3：大致显示电容的纯度。
8
1.3
整体流程
1.3 整体流程
测量前的准备 参照 :“第 2 章 测量前的准备” (⇒ 第 15 页 )
测量前的检查 参照 :“3.1 测量前的检查” (⇒ 第 21 页 )
基本测量 参照 :“3.2 测量举例” (⇒ 第 22 页 )
测量结束 6. 拆下被测元件，关闭电源
1. 确认电源电压
2. 连接电源线
3. 将测试探针或测试夹具 （选购件）连接到测量端子
4. 接通电源
5. 连接被测元件
请务必在测量前进行
1. 准备本仪器、测试夹具、被测元件
2. 将测试夹具连接到测量端子
3. 设定测量条件
4. 将被测元件和测试夹具相连接
5. 观察测量结果
1.3
9
整体流程
应用功能
功能 本领 参考位置
开路补偿 / 短路补偿 消除了残留阻抗所造成的测量误差。 (⇒ 第 35 页 )
负载补偿 通过测量已知被测元件，实现测量仪器之间的互换性。 (⇒ 第 42 页 )
偏置补偿 通过从测量值中减去设定值，实现测量仪器之间的互换性。 (⇒ 第 48 页 )
线缆长度补偿 补偿因测量线缆延长而产生的误差。 (⇒ 第 54 页 )
比较器测量功能 设定上、下限值，判断被测元件是否合格。 (⇒ 第 55 页 )
自校正 减少测量值的漂移现象。 (⇒ 第 52 页 )
BIN 分选测量功能 设定几种上、下限值，对被测元件进行分级。 (⇒ 第 69 页 )
平均值功能 通过进行对测量值的平均处理，降低测量值的偏差现象。 (⇒ 第 85 页 )
触发延时 即使在刚刚连接被测元件之后开始测量，也可以获得稳定的
测量值。
接触检测功能 可识别触针与被测元件是否连接。 (⇒ 第 89 页 )
检测电流电路监视功能 可监视是否产生容许范围之外的电流。 (⇒ 第 94 页 )
施加电压监视功能 可监视是否产生容许范围之外的电压。 (⇒ 第 94 页 )
频率切换 降低了因使用多台本仪器测量而产生干涉影响时所造成的测
量值偏差。
(⇒ 第 87 页 )
(⇒ 第 95 页 )
1
显示器 控制显示 LED 的 ON/ OFF。 (⇒ 第 96 页 )
触发同步输出功能 只在测量时施加测量信号，降低被测元件的发热和电极的磨
损。
按键锁定功能 按键操作无效。 (⇒ 第 98 页 )
通信功能 由计算机来控制本仪器。 (⇒ 第 123 页 )
面板显示保存功能 保存测量条件。 (⇒ 第 99 页 )
面板显示调用功能 读取保存的测量条件。 (⇒ 第 100 页 )
鸣音 可控制判定结果、按键操作鸣音的 ON/ OFF。 (⇒ 第 104 页 )
系统复位 将本仪器设定初始化。 (⇒ 第 108 页 )
打印功能 打印测量值。 (⇒ 第 109 页 )
(⇒ 第 97 页 )
应用测量
• 针对外来噪声混入的对策 “附录 1 防止外来噪声混入的对策” (⇒ 附录 1)
• 高阻抗元件的测量
• 电路中元件的测量
“附录 2 测量高阻抗元件时” (⇒ 附录 3)
“附录 3 测量电路网中的元件时” (⇒ 附录 4)
10
1.4
各部分的名称与功能
1.4 各部分的名称与功能
正 面
次显示区
显示 BIN 分选、比较器的极限
值。
比较器判断结果显示区
显示比较器模式的
判断结果。
参照 :“5.1 比较器测量功能”
(⇒ 第 55 页 )
主显示区
显示 C 和 D （或 Q）的测量值。
显示菜单内容。
设定条件显示区
显示当前的测量条件、设定条件
等。
BIN 分选判定结果显示区
显示 BIN 分选模式下的判断结果。
参照 :“5.2 BIN 分选测量功能”
(
⇒ 第 69 页 )
测量端子
由 5 个端子构成
H
H
L
L
GUARD 保护端子
参照 :“2.4 连接测试探针、测试夹具” (
测量信号施加端子
CUR
检测电压的 Hi 端子
POT
检测电压的 Lo 端子
POT
测量电流检测端子
CUR
出错显示区
显示 Low C 拒绝、测量波形异常时的错
误。
参照 :“6.3.1 Low C 拒绝功能的设定”
(
⇒ 第 90 页 )
参照 :“6.3.2 检测电平监视功能的设定”
⇒ 第 92 页 )
(
⇒ 第 18 页 )
操作区
用于测量条件等各种
设定。
(⇒ 第 11 页 )
操作区
1.4
各部分的名称与功能
11
1
数字键 *1
输入数值时使用。
设定测量模式
(
⇒ 第 25 页 )
比较器测量功能
(⇒ 第 55 页 )
BIN 分选测量功能
⇒ 第 69 页 )
(
方向键
更改设定和移动菜单、
数位时使用。
确定
设定量程
(⇒ 第 29 页 )
锁定 / 本地
(⇒ 第 98 页 )
菜单
(⇒ 第 13 页 )
手动触发
(⇒ 第 34 页 )
设定测量频率 (⇒ 第 25 页 ) *2 设定量程 (⇒ 第 29 页 )
设定测量信号电平
设定测量速度 (⇒ 第 26 页 )
设定等效电路模式 (⇒ 第 27 页 )
*1：小数点键仅在测量 C 的偏置补偿值时有效。
*2：测量频率 100 kHz 的显示仅在使用 3505 时有效。
(⇒ 第 26 页 )
设定开路、短路补偿 (⇒ 第 35 页 )
设定负载补偿 (⇒ 第 42 页 )
设定触发信号 (⇒ 第 34 页 )
12
1.4
各部分的名称与功能
背 面
EXT I/O 接口
进行外部触发信号的输入和比较器结果
信号的输出。可对应 PLC （可编程逻辑
控制器）的连接。
参照 :“7.1 关于 EXT I/O 接口” (⇒ 第
115 页 )
电源插座
连接附带的电源线。
参照 :“2.3 连接电源线”
(
⇒ 第 17 页 )
电源开关
电源的开 / 关。
参照 :“2.5 接通 / 关闭电
: 电源关
: 电源开
源” (
RS-232C 接口
连接 RS-232C 线缆。
参照 :“第 8 章 计算机控制”
(
⇒ 第 123 页 )
电压选择器
切换电源电压
参照 :“2.2 确认电源电压”
⇒ 第 19 页 )
GP-IB 接口
连接 GP-IB 线缆。
参照 :“第 8 章 计算机控制”
(⇒ 第 123 页 )
(⇒ 第 16 页 )
侧 面
右侧
支架
请不要在放置支架竖立的状态下从上方施加强力。否则会损坏放置支架。
1.4
菜单画面构成
菜单画面。
（主显示区）
面板显示调用功能 面板显示保存功能 负载条件 平均值功能
13
各部分的名称与功能
1
“LoAd_A(C/h)”
(⇒ 第 100 页 )
触发延时
“dELAY”
(⇒ 第 87 页 )
偏置补偿
“oFFSEt”
(⇒ 第 48 页 )
“SAVE”
(⇒ 第 99 页 )
频率切换功能
“Frq.SFt”
(⇒ 第 95 页 )
Low C 拒绝功能
“Lo C”
(⇒ 第 90 页 )
“Ld_tYP”
(⇒ 第 100 页 )
触发同步输出功能
“SYnC”
(⇒ 第 97 页 )
检测电平监视功能
“LEV.ChK”
(⇒ 第 92 页 )
“AVErAG”
(⇒ 第 85 页 )
线缆长度
“CAbLE”
(⇒ 第 54 页 )
判断模式
“JudGE”
(⇒ 第 56 页 )
判定结果的鸣音
“bEEP_J”
(⇒ 第 104 页 )
自校正
“CALIb”
(⇒ 第 52 页 )
按键操作的鸣音
“bEEP_K ”
(⇒ 第 106 页 )
通信条件
“IF”
(⇒ 第 128 页 )
显示器
“dISP”
(⇒ 第 96 页 )
转至面板显示调用功能
按 键返回上一画面
第 2 参数
“Sub.PAr”
(⇒ 第 24 页 )
14
1.4
各部分的名称与功能
主显示区的出错显示
使用 3505、 3506 检测出测量异常时，主显示区显示错误内容。
发生测量异常时，按优先顺序在主显示区显示主机的状态。
优先
顺序
---
出错内容 主显示区
开路补偿错误
开路补偿值为 1 kΩ 以下时
显示。
短路补偿错误
短路补偿值为 1 kΩ 以上时
显示。
负载补偿错误
负载补偿值超出量程范围时
显示。
1 kHz 时
100 kHz 时
1 MHz 时
1 kHz 时
100 kHz 时
1 MHz 时
EXT.I/O
---
---
---
对策
请将测量端子设为开路状态。
请对 （请将 H
以及 L
端子和 H
CUR
CUR
端子和 H
端子进行短路
POT
POT
端子，
连接。）
作为外来噪声对策，请进行屏蔽处
理。
请将 3505、 3506 主机接地。
请确认测量线缆是否发生断线。
请将测量端子设为短路状态。
请确认测量线缆是否发生断线。
请设定为适当的量程之后，再次进行
补偿。
高
低
采样出错
A/D 转换不正常时显示。
暂停
触发输入后未开始测量时显
示。
电流检测异常
测量电流超出当前量程范围
时显示。
施加电压异常
测量端子之间的电压低于设
定电压时显示。
LOW C 接触出错
测量值异常低于测量量程时
显示。
检测电平异常
监视值发生变动时显示。
普通测量值
ERR 输出
HI 判定
OUT 判定
ERR 输出
HI 判定
OUT 判定
HI 判定
OUT 判定
ERR 输出
HI 判定
OUT 判定
ERR 输出
普通判定
ERR 输出
HI 判定
OUT 判定
可能会受到外来噪声的影响。
是 3505、 3506 主机的故障。
请送修。
可能会受到外来噪声的影响。
是 3505、 3506 主机的故障。
请送修。
可能是量程设定过低。请设定为适当
的量程之后，再次测量。
被测物可能变为短路状态。请再次测
量，确认被测物是否正常。
可能是 H
POT
、 H
端子产生松动。
CUR
请确认被测物与端子之间的接触状
况。
可能是 H
CUR
端子、 L
端子与被测
CUR
物之间的接触电阻过高。
可能是测量端子未接触被测物。请确
认被测物与端子之间的接触状况。
有可能发生了振动。请确认被测元件
与端子之间的接触状况。
可能受到外来噪声的影响。作为外来
噪声对策，请进行屏蔽处理。
错误显示时，比较器与 BIN 分选测量的判定结果变为 HI、 OUT-OF-BINS。
2.1
准备步骤
测量前的准备 第 2 章
在设置本仪器前请务必阅读 “使用注意事项” (⇒ 第 4 页 )。
2.1 准备步骤
确认电源电压
1
参照 :“2.2 确认电源电压” (⇒ 第 16 页 )
15
2
4
2
3
（例）
9677 （选购件）
1
背面
正面
连接电源线
2
参照 :“2.3 连接电源线” (⇒ 第 17 页 )
将探针或
3
测试夹具
参照 :“2.4 连接测试探针、测试夹具” (⇒ 第 18 页 )
接通电源
4
参照 :“2.5 接通 / 关闭电源” (⇒ 第 19 页 )
连接被测元件
5
(
选购件
)
连接到测量端子上
5
本仪器的设定和测量
“第 3 章 设定测量条件” (⇒ 第 21 页 )
“第 6 章 使用应用功能” (⇒ 第 85 页 )
“附录 1 防止外来噪声混入的对策” (⇒ 附录 1)
“附录 2 测量高阻抗元件时” (⇒ 附录 3)
“附录 3 测量电路网中的元件时” (⇒ 附录 4)
16
2.2
确认电源电压
2.2 确认电源电压
• 在接通电源前，请确认本仪器的电源连接部上所记载的电源电压与您使用的电
源电压是否一致。
如果使用指定范围外的电源电压，会造成本仪器的损坏或电气事故。
• 本仪器的电源通过电压选择器进行切换。为了避免电气事故，请根据所使用的电
源电压设定电压选择器的电压值。
• 请务必在切断电源的状态下切换电压选择器。
如果在接通电源的状态下切换电压选择器，会导致本仪器的损坏或电气事故。
• 最大额定功率为 40 VA。
• 请使用指定形状和特性、额定电流、额定电压的保险丝。如果使用非指定的保险
丝，或者将保险丝座短路后使用，都会造成人身事故，请加以注意。
指定保险丝：100 V 120 V 设定 250 V F1.0AL φ 5 mm x 20 mm
220 V 240 V 设定 250 V F0.5AL φ 5 mm x 20 mm
参照 :“10.2 更换电源保险丝” (⇒ 第 257 页 )
将本仪器的电源电压规格设定为定货时指定的规格。
可在 100 V、 120 V、 220 V、 240 V 中选择。
所设定的电压可以通过电压选择器的位置加以辨别。
请参照位于电压选择器中央的示意图。
电压 左侧电压选择器的位置 右侧电压选择器的位置
100 V
120 V
220 V
240 V
（右侧） （右侧）
（右侧） （左侧）
（左侧） （右侧）
（左侧） （左侧）
背面
图中的情况为左、右电压
选择器均设定在右侧，因
此电压值为 100 V。
电压选择器
2.3 连接电源线
2.3
连接电源线
17
连接方法
为了避免触电事故并确保本仪器的安全，请把附带的电源线连接到三相插座上。
另外，如果要使用接地转换器的话，请将接地转换器的绿色线接到插座的接地端
子上。
• 为防止断线，将电源线从插座或本仪器拔出的时候，请握住插头部分 （电源线
以外）拔出。
• 请在切断电源之后，拔掉电源线。
1. 确认主机电源开关已关闭。
2. 确认电源电压和本仪器的一致性，把电源线插进背面电压选择器边
上的电源插座。
3. 将电源线插头插进插座。
2
18
2.4
连接测试探针、测试夹具
2.4 连接测试探针、测试夹具
• 请不要往测量端子上加电压。否则可能会损坏本仪器。
• 拔出测试夹具之类的 BNC 连接器时，请务必在解除锁定后，握住连接器拔出。如
果不解除锁定硬拉，或直接拉线缆，都会损坏连接器。
• 为防止因断线引起的故障，请不要弯折或拽拉测试探针的连接部。
• 为了不损坏电线的外皮，请不要踩踏或夹住电线。
连接方法
( 例 ) 连接 9677 SMD 测试治具 （选购件）时
测量端子
将印有型号名称的面朝上，直接插入主机的测
量端子中，然后用左右操作柄进行固定。
本仪器的测量端子由以下 4 个端子构成。
H
端子 测量信号施加端子
CUR
端子 检测电压的 HIGH 端子
H
POT
端子 检测电压的 LOW 端子
L
POT
端子 测量电流检测端子
L
CUR
GUARD 端子 保护端子
( 例 ) 连接测量线缆时
3505(3506)
连接器定位头
测量端子
测量端子的构成
测量线缆
BNC 连接器沟槽
锁紧
21
测试夹具等的连接方法和其他详细内容，请参阅各操作手册。
• 请使用 HIOKI 制造的测试夹具 （选购件）。
参照 :“附录 6 选购件” (⇒ 附录 9)
• 本仪器使用 1.5D-2V 的同轴线缆进行调整。使用其他线缆时，可能会增大测量误
差。
• 如果 4 个端子全部为开路，会显示毫无意义的数字。
• 本仪器有四个端子构成，请务必在被测元件附近连接全部 4 个端子的屏蔽线。如
果未在被测元件附近连接 4 个端子的屏蔽线，可能会增大测量误差。
把 BNC 连接器的沟槽对准主机的连接器定位头
插入，往右旋转锁紧。
拆卸时，将连接器向左旋转解锁后拔出。
测试夹具
2.5 接通 / 关闭电源
2.5
接通/关闭电源
接通电源
打开背面的电源开关 ( I ) 。
正面面板的 LED 全部点亮。
测量条件按照上一次关闭电源时的状态启动。
接通电源后，请经过 60 分钟预热之后再开始测量。
19
2
电源开
电源关
关闭电源
关闭背面的电源开关 ()。
此时会保存测量条件。
即使发生停电等电源异常，也能恢复停电前的测量模
式。
20
2.5
接通/关闭电源
3.1
测量前的检查
设定测量条件 第 3 章
3.1 测量前的检查
为了安全地使用本仪器，请在测量前务必检查以下项目。
项目 处理方法 参考位置
21
3
检查本仪器、测试探针、测试
夹具
检查有无损坏之处？
电源线、接线的
检查
外皮有无破损、金属是否露
出？
确认电源电压的设定
本仪器背面的电压选择器的设
定与您使用的电源电压是否一
致？
接通电源时，主显示区是否显
示“3505 (3506)”、“ 版 本
号”？
测量标准电容器等已知的被测
元件时，本仪器的测量值是否
正常？
有损坏时
本仪器、测试夹具：请送修。
测试探针：请换上新品。
有损坏时，会造成触电事故，因此请勿使用。
（请换上新品）
如果使用指定范围外的电源电压，会造成本仪器的损
坏或电气事故。
请根据使用的电源电压设定电压选择器的电压。
“3505 (3506)”、“版本号”没有显示时，可能本仪
器已发生故障。请送修。
有异常时，请确认以下几点。
•
测量条件是否一致？
•
请重新进行开路/短路补偿。
•
请关闭负载补偿和偏置补偿。
以上确认后测量值仍异常时，可能本仪器、测试探
针、测试夹具已发生故障。
本仪器、测试夹具：请送修。
测试探针：因为不能修理，请换上新品。
--
--
电压选择器的设定
“2.2 确认电源电压” (⇒
第 16 页 )
--
“3.3 设定测量条件” (⇒
第 24 页 )
“第 4 章 对误差进行补偿”
⇒ 第 35 页 )
(
22
3.2
测量举例
3.2 测量举例
测量举例 使用 9263 SMD 测试治具测量多层陶瓷电容时：
准备物件
测量条件 参照
将
1
2
9263 SMD
设定测量条件
• 3505 (3506)
• 9263 SMD
•
被测元件：多层陶瓷电容
测试治具
2
测试治具
（选购件）
连接到测量端子
把选购件9263 SMD 测试治具连接到测量端子。
（连接方法请参阅测试夹具附带的操作手册）
使用操作区的按键，如左所示设定测量条件
显示。
显示参数 ........................................D
MODE
FREQ
LEVEL
SPEED
CIRCUIT
RANGE
其他设定为任意设定。
“4.1 开路补偿 / 短路补偿” (⇒ 第 35 页 )
“4.2 负载补偿” (
“4.3 偏置补偿” (
“4.4 自校正” (
“4.5 设定线缆长度” (
“3.3.8 触发信号” (
“6.1 使用平均值功能” (
“6.2 设定触发延时” (
测量模式.............. NORM
频率....................... 1 MHz
测量信号电平.............1 V
测量速度.............. NORM
等效电路模式....... AUTO
量程....................... AUTO
⇒ 第 42 页 )
⇒ 第 48 页 )
⇒ 第 52 页 )
⇒ 第 54 页 )
⇒ 第 34 页 )
⇒ 第 85 页 )
⇒ 第 87 页 )
(⇒ 第 24 页 )
(⇒ 第 25 页 )
(⇒ 第 25 页 )
(⇒ 第 26 页 )
(⇒ 第 26 页 )
(⇒ 第 27 页 )
(⇒ 第 29 页 )
进行开路补偿、短路补偿、负载补偿和自校正后，
测量精度会更好。
3.2
23
测量举例
将被测元件和
3
观察测量结果
4
9263 SMD
测试治具
相连接
被测元件的连接方法请参阅测试夹具附带的操作手
册。
静电容量值
损耗系数值
可在次显示区中确认电压监视与电流监视。
(
⇒ 第 107 页 )
3
24
3.3
设定测量条件
3.3 设定测量条件
3.3.1 设定显示参数
可将主显示区下部的参数 ( 第 2 参数 ) 设定为 D( 损耗系数 ) 或 Q (Quality
factor)。
1. 按键。
主显示区的上部显示菜单内容，主显示区的下部显示详细设定。
( 有关菜单顺序，请参阅 “菜单画面构成” (
2. 按 键，选择 “Sub.PAr”。
⇒ 第 13 页 ))
成为如下状态。
（主显示区）
数
参
2
第
（显示参数的设定画面）
3. 按 键，选择第 2 参数。
每按一次 ，会在 “d” ( 损耗系数 ) 与“q”（Quality factor）之间进
行切换。
4. 按 键，确定第 2 参数。
确定后，主显示区上部显示 “CALIb”（自校正的设定画面）。
如果不按 键，则不确定第 2 参数。
5. 按键。
返回普通测量模式。
3.3.2 测量模式
选择测量模式。
按 进行切换。
测量模式： NORM、 COMP、 BIN
所选择的模式 LED 点亮。
3.3
设定测量条件
25
3
3.3.3 测量频率
设定测量频率。选择符合测量被测元件的频率。
按 进行切换。
测量频率 : 1 kHz、 100 kHz ( 仅限于 3505)、 1 MHz
NORM
COMP
BIN
使用普通测量模式时选择。
使用比较器测量模式时选择 。
参照 :“5.1 比较器测量功能” (⇒ 第 55 页 )
使用 BIN 分选测量模式时选择。
参照 :“5.2 BIN 分选测量功能” (
⇒ 第 69 页 )
所选择的频率 LED 点亮。
如果在 1 MHz 频率下使用频率切换功能，则可将测量频率切换为 ±1% 或
±2%。
参照 :“6.6 使用频率切换功能” (⇒ 第 95 页 )
26
3.3
设定测量条件
3.3.4 测量信号电平
设定测量信号电平。选择符合测量被测元件的电平。
按 进行切换。
测量信号电平 : 500 mV、 1 V
所选择的电平 LED 点亮。
• 根据被测元件，不同的测量信号电平会产生不同的值。
• 由于本仪器采用开路端子电压模式，因此不能进行恒定电压测量。测量大容量电
容器时，由于输出电阻与测量线缆电阻产生的电压降，电容器端子间的电压也会
低于所设定的电压。
输出电阻 约 1 Ω (1 kHz 时的 2.2 µF 量程以上、 100 kHz 时的 22 nF 量程以上 )
约 20 Ω( 上述以外的量程 )
3.3.5 测量速度
设定测量速度。
按 进行切换。
测量速度 : FAST、 NORM、 SLOW
所选择的速度的 LED 点亮。
测量速度越低，测量精度越高。
测量速度
FAS T NORM SLOW
FAST
NORM
SLOW
高速度测量。
普通速度测量。
低速度测量。提高测量精度。
2.0 ms 5.0 ms 14.0 ms
（允许误差： ±5%±0.5 ms)
测量时间会因开路补偿、短路补偿以及负载补偿的 ON/ OFF，以及比较器与 BIN
分选测量功能的 ON/ OFF 等而异。
3.3.6 等效电路模式
选择等效电路模式 （SER/PAR）。也可自动选择 （AUTO）。
参照 :“关于等效电路模式” (⇒ 第 28 页 )
按 进行切换。
等效电路模式： AUTO、 SER、 PAR
所选择的模式 LED 点亮。
3.3
设定测量条件
27
3
AUTO
SER
PAR
根据量程自动选择串联等效电路模式或
并联等效电路模式。
测量频率 量程 等效电路模式
1 kHz
100 kHz
（仅限于 3505）
1 MHz
参照 :关于量程编号 (⇒ 第 31 页 )
串联等效电路模式
并联等效电路模式
100 pF ～ 100 nF 并联等效电路模式
220 nF ～ 10 µF
1 pF ～ 1 nF 并联等效电路模式
2.2 nF ～ 100 nF 串联等效电路模式
220 fF ～ 100 pF 并联等效电路模式
220 pF ～ 1 nF 串联等效电路模式
串联等效电路模式
28
3.3
设定测量条件
关于等效电路模式
本仪器用于测量流过测试物的电流和测试物两端的电压，求出阻抗 Z 和相
位角θ。通过 C 和θ计算出静电容量 C。此时，假定相对于 C 的电阻成分
以串联模式存在的计算模式为串联等效电路模式；假定相对于 C 的电阻成
分以并联模式存在的计算模式为并联等效电路模式。串联等效电路模式和
并联等效电路模式下的运算式是不同的，出于减小误差之需，有时需要选
择正确的等效电路模式。
串联等效电路模式
一般来说，测量大容量电容器 （低阻抗元件：约 100 Ω以下）时，使用串
联等效电路模式；测量小容量电容器 （高阻抗元件：约 10k Ω以上）时，
使用并联等效电路模式。约 100 Ω～约 10k Ω的阻抗，不清楚等效电路模
式时，请咨询部件制造商予以确认。
并联等效电路模式
3.3.7 测量量程
选择量程。也可自动选择。
按 进行切换。
3.3
设定测量条件
29
测量范围
测量量程： AUTO、 HOLD
所选择的量程 LED 点亮。
AUTO
（自动量程）
HOLD
(
保持量程
）
电流、电压检测波形 （A/D）输入范围
自动选择最佳量程。
未知量程的被测元件时有效。
测量时间会较长。
固定或手动设定量程。
与测量被测元件的值无关，以一定的量程进行测量。
高速测量时有效。
更改量程：
更改量程后，测量值显示区的小数点与单位会发生切换。次显
示区会显示量程。
3
精度保证范围
参考值 参考值
自动量程范围 （推荐范围）
30
3.3
设定测量条件
精度保证范围
1 kHz
编号
量程 精度保证范围 量程 精度保证范围 量程 精度保证范围
1 220 fF
2 470 fF
3 1 pF
4 2.2 pF
5 4.7 pF
6 10 pF
7 22 pF
8 47 pF
9 100 pF
10 220 pF
11 470 pF
12 1 nF
13 2.2 nF
14 4.7 nF
15 10 nF
16 22 nF
17 47 nF
18 100 nF
19 220 nF
20 470 nF
21 1 µF
22 2.2 µF
23 4.7 µF
24 10 µF
0.000 pF ～ 150.000 pF
33.000 pF ～ 330.000 pF
68.000 pF ～ 680.000 pF
0.15000 nF ～ 1.50000 nF
0.33000 nF ～ 3.30000 nF
0.68000 nF ～ 6.80000 nF
1.5000 nF ～ 15.0000 nF
3.3000 nF ～ 33.0000 nF
6.8000 nF ～ 68.0000 nF
15.000 nF ～ 150.000 nF
33.000 nF ～ 330.000 nF
68.000 nF ～ 680.000 nF
0.15000 µF ～ 1.50000 µF
0.33000 µF ～ 3.30000 µF
0.68000 µF ～ 6.80000 µF
1.5000 µF ～ 15.0000 µF
100 kHz （仅限于 3505）
0.00000 pF ～ 1.50000 pF
0.33000 pF ～ 3.30000 pF
0.68000 pF ～ 6.80000 pF
1.0000 pF ～ 15.0000 pF
3.3000 pF ～ 33.0000 pF
6.8000 pF ～ 68.0000 pF
100 pF
220 pF
470 pF
1 nF
2.2 nF
4.7 nF
10 nF
22 nF
47 nF
100 nF
15.000 pF ～ 150.000 pF
33.000 pF ～ 330.000 pF
68.000 pF ～ 680.000 pF
0.15000 nF ～ 1.50000 nF
0.33000 nF ～ 3.30000 nF
0.68000 nF ～ 6.80000 nF
1.5000 nF ～ 15.0000 nF
3.3000 nF ～ 33.0000 nF
6.8000 nF ～ 68.0000 nF
15.000 nF ～ 150.000 nF
2.2 pF
4.7 pF
10 pF
22 pF
47 pF
100 pF
220 pF
470 pF
1 pF
1 nF
1 MHz
0.000 fF ～ 330.000 fF
68.000 fF ～ 680.000 fF
0.15000 pF ～ 1.50000 pF
0.33000 pF ～ 3.30000 pF
0.68000 pF ～ 6.80000 pF
1.0000 pF ～ 15.0000 pF
3.3000 pF ～ 33.0000 pF
6.8000 pF ～ 68.0000 pF
15.000 pF ～ 150.000 pF
33.000 pF ～ 330.000 pF
68.000 pF ～ 680.000 pF
0.15000 nF ～ 1.50000 nF
自动量程范围
3.3
设定测量条件
31
1 kHz
编号 量程 自动量程范围 量程 自动量程范围 量程 自动量程范围
1 220 fF
2 470 fF
3 1 pF
4 2.2 pF
5 4.7 pF
6 10 pF
7 22 pF
8 47 pF
9 100 pF
10 220 pF
11 470 pF
12 1 nF
13 2.2 nF
14 4.7 nF
15 10 nF
16 22 nF
17 47 nF
18 100 nF
19 220 nF
20 470 nF
21 1 µF
22 2.2 µF
23 4.7 µF
24 10 µF
0.000 pF ～ 150.000 pF
100.000 pF ～ 330.000 pF
220.000 pF ～ 680.000 pF
0.47000 nF ～ 1.50000 nF
1.00000 nF ～ 3.30000 nF
2.20000 nF ～ 6.80000 nF
4.7000 nF ～ 15.0000 nF
10.0000 nF ～ 33.0000 nF
22.0000 nF ～ 68.0000 nF
47.000 nF ～ 150.000 nF
100.000 nF ～ 330.000 nF
220.000 nF ～ 680.000 nF
0.47000 µF ～ 1.50000 µF
1.00000 µF ～ 3.30000 µF
2.20000 µF ～ 6.80000 µF
4.7000 µF ～ 15.0000 µF
100 kHz （仅限于 3505）
0.00000 pF ～ 1.50000 pF
1.00000 pF ～ 3.30000 pF
2.20000 pF ～ 6.80000 pF
4.7000 pF ～ 15.0000 pF
10.0000 pF ～ 33.0000 pF
22.0000 pF ～ 68.0000 pF
100 pF
220 pF
470 pF
1 nF
2.2 nF
4.7 nF
10 nF
22 nF
47 nF
100 nF
47.000 pF ～ 150.000 pF
100.000 pF ～ 330.000 pF
220.000 pF ～ 680.000 pF
0.47000 nF ～ 1.50000 nF
1.00000 nF ～ 3.30000 nF
2.20000 nF ～ 6.80000 nF
4.7000 nF ～ 15.0000 nF
10.0000 nF ～ 33.0000 nF
22.0000 nF ～ 68.0000 nF
47.000 nF ～ 150.000 nF
1 pF
2.2 pF
4.7 pF
10 pF
22 pF
47 pF
100 pF
220 pF
470 pF
1 nF
1 MHz
0.000 fF ～ 330.000 fF
220.000 fF ～ 680.000 fF
0.47000 pF ～ 1.50000 pF
1.00000 pF ～ 3.30000pF
2.20000 pF ～ 6.80000 pF
4.7000 pF ～ 15.0000 pF
10.0000 pF ～ 33.0000 pF
22.0000 pF ～ 68.0000 pF
47.000 pF ～ 150.000 pF
100.000 pF ～ 330.000 pF
220.000 pF ～ 680.000 pF
0.47000 nF ～ 1.50000 nF
3
显示范围
C 显示范围 D(Q) 显示范围
通常测量、比较器、 BIN 分选测量时
（计数值设定）
比较器、 BIN 分选测量时 （∆ 设定） -199999 ～ 999999
比较器、 BIN 分选测量时 （∆% 设定）
-199999 ～ 999999
-99999 ～ 99999 -199999 ～ 199999
-199999 ～ 199999
-199999 ～ 199999
备注
C 测量值为 -199999 以下时，主
画面显示固定为 -199999
32
3.3
设定测量条件
• 本仪器显示的测量值超出精度保证范围时， HOLD 的 LED 会闪烁。
• 有关测量范围以外的错误显示，请参阅 “主显示区的出错显示” (⇒ 第 14 页 )。
• 在自动量程范围内，对进入两个量程范围内的测试物进行测量时，如果选择接近
测试物容量上限值的量程，则重复精度会更佳。
• 在量程和显示范围以外时，按照下面的流程图主显示区会显示错误。
• 测量值有时可能会显示为负数。
其原因可能包括下述各项。
·测量了阻抗。
·未正常取得开路补偿值。
·负载补偿有效。
·偏置补偿有效。
最小显示值为 ( 主显示区、次显示区 ) = ( -199999, -199999)。
测量值小于该值时
( 主显示区、次显示区 )= 显示 ( -199999, d-UF)。
•
可设定的量程因频率各不相同。如果变更测量频率时没有相应的量程，则在小于最
小值时设定为最小量程，大于最大值时设定为最大量程。
OF、 UF 判定流程图
YES
YES
YES
主显示区的上部显示
0F(uF)
电压、电流检测波形
是否超出输入范围？
No
测量量程？
AUTO
量程范围外？
No
C 显示范围外？
HOLD
No
主显示区的上部显
示测量值
主显示区的上部只显示
0F(uF)
主显示区的下部显示
d(q)-O F(d(q)-uF)
D(Q) 显示范围外？
主显示区的下部显示
测量值
主显示区 原因
HOLD 设定时 : 电流检测波形超出输入范围时
AUTO 设定时 : 电流检测波形超出输入范围
HOLD 设定时 : 电压检测波形超出输入范围时
AUTO 设定时 : 电压检测波形超出输入范围
+
实测值大于自动量程
范围的上限值时
+
实测值小于自动量程
范围的下限值时
3.3
设定测量条件
33
3
或
或
超出 C 显示范围时
超出 D 显示范围时
或
超出 Q 显示范围时
34
3.3
设定测量条件
3.3.8 触发信号
可选择内部触发或者外部触发。
按 进行切换。
触发信号： INT、 EXT
INT
( 内部
触发模式
EXT
( 外部
触发模式
从接口输入时 通过接口发送 “*TRG”命令进行测量。
通过接口进行触发输入
参照 :8.9 “信息参考” - “采样要求” (⇒ 第 167 页 )
通过 EXT I/O 接口
输入时
往背面面板上的 EXT I/O 接口的 TRIG （1 号针），施加 1 次负逻辑的脉冲
信号后，测量 1 次。
)
)
自动在内部产生触发信号，进行连续测量。
INT 的 LED 点亮。
从外部输入触发信号，或手动输入后测量。
EXT 的 LED 点亮。
通过从 EXT I/O 接口的 TRIG 端子导入的触发输
入，来进行测量。
按 MENU TRIG( 手动设定 ) 测量 1 次。
参照 :“7.1 关于 EXT I/O 接口” (⇒ 第 115 页 )
4.1
开路补偿/短路补偿
对误差进行补偿 第 4 章
4.1 开路补偿 / 短路补偿
开路补偿和短路补偿能够减少测试探针和测试夹具的残留阻抗的影响，提
高测量精度。
要进行开路补偿和短路补偿，有 2 种方法。
• 完全补偿
用命令：CORRection:OPEN(SHORt):POINt 所设定的测量条件
（频率：1 kHz、 100 kHz （仅限于 3505）、 1 MHz、信号电平：500 mV、 1 V
的任意点）进行补偿。但 1MHz 时，仅在进行频率切换而设定的频率下执行补
偿。可以通过正面面板和计算机来执行。
参照 :8.9 “信息参考”“开路补偿读取位置的设定和查询” (⇒ 第 193 页 ) 、“短路补偿
读取位置的设定和查询” (
⇒ 第 196 页 )
35
4
完全补偿举例
例如，在频率切换为 1%，补偿点为所有频率，信号电平为 1V 条件下
（:CORRection:OPEN:POINt 42、 :CORRection:SHORt:POINt 42），如果执行完
全补偿，则在下表 “○”所示的测量条件下执行补偿。
测量频率
1 kHz 100 kHz
测量电平
500 mV
1V
• 局部补偿
用当前设定的频率、测量信号电平进行补偿。由和接口相连的计算机来执行。
参照 :8.9 “信息参考”“开路补偿功能的设定和查询” (⇒ 第 191 页 ) 、“短路补偿功能
的设定和查询” (
• 参数中记载的测量精度是执行开路补偿、短路补偿后的值。
• 更换测试探针或测试夹具时，请务必重新进行补偿。如果用更换前的补偿值进行
测量，将无法得到正确的测量值。
• 开路补偿所能补偿的范围：阻抗大于 1 kΩ。但是，如果不是远远高于被测元件的
阻抗，测量误差会增大，可能导致无法测量。
• 短路补偿所能补偿的范围：阻抗小于 1 kΩ。但是，如果不是远远低于被测元件的
阻抗，测量误差会增大，可能导致无法测量。
• 保存补偿值，补偿值因频率、测量信号电平、频率切换的设定而异。变更这些设
定而无法在变更了的测量条件下获得补偿值时，开路 / 短路补偿变为 OFF。但
是，更改频率切换、线缆长度的设定时，将所有测量条件的开路 / 短路补偿设为
OFF。
• 补偿值出现异常时，测量值误差则会增大。
测量值有时可能会出现负数。
• 进行补偿时，请确认周围没有噪音发生源。有时在补偿期间会因噪音的影响而产
生错误。
例：伺服马达、开关电源、高压线
×
○○ ×××○
⇒ 第 194 页 )
ЧЧЧЧЧ
-2% -1% 0% 1% 2%
1 MHz
×
×
36
4.1
开路补偿/短路补偿
获得开路 / 短路补偿的补偿值 __________________________________________
1. 普通测量模式时按 键。
( 闪烁 )
（主显示区）
闪烁
不执行开路补偿时，请按 键。进入短路补偿的设定。(SHORT 的 LED 闪烁，
主显示区显示 “Short AdJuSt”，“ AdJuSt”闪烁 )
请进至步骤 5。
2. 根据被测元件的宽度，把连接到测量端子的测试探针或测试夹具的高端子
和低端子的端子间设成开路状态。
（例）
3. 按 键，选择开路补偿设定。
每按一次 键就会切换如下显示。
“AdJuSt”
获得补偿值
“oFF”
使补偿值成为无效
“on”
使补偿值成为有效
• 执行补偿时，请尽量使测试探针等的配置和端子间接近测量状态。
• 如果受到外来噪声的影响，请进行屏蔽处理。
参照 :“附录 2 测量高阻抗元件时” (⇒ 附录 3)
4. 选择 “AdJuSt”， 按 键。
读取开路补偿值。（完全补偿）
( 闪烁 )
（主显示区）
3505 时
4.1
开路补偿/短路补偿
37
1 kHz、 500 mV 补偿结束
100 kHz、 1 V 补偿结束
3506 时
1 kHz、 500 mV 补偿结束
1 kHz、 1 V 补偿结束
1 MHz、500 mV 补偿结束
1 kHz、 1 V 补偿结束
补偿结束：
一旦补偿结束，则鸣音一次，成为如下状态。
100 kHz、 500 mV 补偿结束
4
1 秒显示
完全补偿结束
1 MHz、500 mV 补偿结束
1 秒显示
完全补偿结束
( 点亮 ) （闪烁）
（主显示区）
闪
烁
38
4.1
开路补偿/短路补偿
补偿错误：
如果补偿出错 ，则发出警告鸣音，成为如下状态。
可使用下方条目的显示来确认哪个频率出错。
参照 :“主显示区的出错显示” (⇒ 第 14 页 )
（主显示区）
出错显示 测量频率
点亮
补偿中止。
1 kHz 时
100 kHz 时
1 MHz 时
出错对策
请确认以下所示。
• 测量端子是否处于开路状态？请将测量端子设成开路状态后再进行补偿。（测
量端子为开路时，请分别短接 H
• 测量端子为开路状态，但仍发生补偿错误时，可考虑为外来的噪声影响，或者
为主机、测试探针、测试夹具发生故障所致。请做如下处理：进行屏蔽处理，
或者修理主机、测试夹具，或者换上新的测试探针。（测试探针不能修理）
参照 :“附录 2 测量高阻抗元件时” (⇒ 附录 3)
CUR
端子与 H
POT
端子、L
CUR
端子与 L
POT
端子）
按 键进入短路补偿值读取模式。（进至步骤 5）
（开路补偿的设定与前一次一样）
5. 使用短路棒，把连接到测量端子的测试探针，或测试夹具的高端子和低端
子设成短路状态。
请尽可能选择低阻抗的短路棒。
（例）
• 执行补偿时，请尽可能将测试探针、测试夹具的配置接近于可测量状态。
• 不执行短路补偿时，请按 键。返回普通测量模式。
6. 按 键，选择短路补偿设定。
7. “选择 AdJuSt”， 按 键 。
读取短路补偿值。（完全补偿）
( 点亮 ) （闪烁）
（主显示区）
4.1
开路补偿/短路补偿
1 秒显示
39
1 kHz 补偿结束
100 kHz 补偿结束
（仅限于 3505）
补偿结束：
一旦补偿结束，则鸣音一次，成为如下状态。
( 点亮 ) （点亮）
返回普通测量模式。
补偿错误：
如果补偿出错 ，则发出警告鸣音，成为如下状态。
可使用下方条目的显示来确认哪个频率出错。
参照 :“主显示区的出错显示” (⇒ 第 14 页 )
（主显示区）
出错显示 测量频率
点亮
完全补偿结束
1 kHz 时
4
补偿中止。
100 kHz 时
1 MHz 时
出错对策
• 按 键返回普通测量模式。（短路补偿的设定与前一次一样）
• 测量端子是否处于短路状态？请将测量端子设成短路状态后再进行补偿。
• 测量端子为短路状态，但仍发生补偿错误时，可考虑为主机、测试探针、测
试夹具发生故障所致。请修理主机、测试夹具，或者换上新的测试探针。（测
试探针不能修理）
40
4.1
开路补偿/短路补偿
设定开路补偿 / 短路补偿的 ON/ OFF ________________________________
1. 普通测量模式时按 键。
成为如下状态。
（闪烁） ( 点亮 )
（主显示区）
闪烁
每按一次 键就会切换如下显示。
“AdJuSt”
获得补偿值
“oFF”
使补偿值变为无效
“on”
使补偿值变为有效
2. 按 键，选择开路补偿的 ON/ OFF。
在选择开路补偿 ON 的状态下，次显示区显示开路补偿值 (Cp、 G)。
( 次显示区 )
Cp
G
在显示补偿值的状态下，按前面板的 、 变更测量条件时，显示对应
于所设定测量条件的补偿值。
3. 按 键，确定开路补偿的 ON/ OFF。
变为短路补偿的解除模式。
( 熄灭 ) （闪烁）
开路补偿的 LED 变为如下状态，进入短路补偿设定模式。
选择“on”时 选 择 “ oFF”时
( 点亮 ) （闪烁） ( 熄灭 ) （闪烁）
（主显示区）
烁
闪
4.1
开路补偿/短路补偿
41
4
不执行开路补偿 ON/ OFF 设定时，请按 键。
进入短路补偿的 ON/ OFF 设定。（进至步骤 4）
4. 按 键，选择短路补偿的 ON/ OFF。
在选择短路补偿 ON 的状态下，次显示区显示开路补偿值 ( Rs、 X)。
( 次显示区 )
Rs
X
在显示补偿值的状态下，按前面板的 、 变更测量条件时，显示对应
于所设定测量条件的补偿值。
5. 按 键，确定短路补偿的 ON/ OFF。
短路补偿的 LED 成为如下状态。
选择“on”时 选 择 “ oFF”时
( 熄灭 ) （点亮） ( 熄灭 ) （熄灭）
不执行短路补偿 ON/ OFF 设定时，请按 键。
返回普通测量模式。
42
4.2
负载补偿
4.2 负载补偿
负载补偿能通过测量已知测量值的基准被测元件来算出负载补偿系数，对
测量值进行补偿。
基于该功能，使用多台 3505 (3506) 时，可降低各 3505 (3506) 的测量误差，
以便接近测量值。
另外，也可以使作为基准的测量仪器的测量值与 3505 (3506) 的测量值相吻
合。
补偿系数根据测量条件， C 和 D （Q）的基准值以及实际测量值算出阻抗
Z 和相位角θ，计算公式如下。
Z 补偿系数 = （Z 基准值） / （Z 实际测量值）
θ补偿系数 = （θ基准值） / （θ实际测量值）
对于实测值的 Z 和θ，可以根据上述负载补偿系数进行补偿，通过补偿后
的 Z 和θ算出 C 和 D （Q）。
• 负载补偿时的测量条件即为当前设定的条件 （频率切换、电平、量程、显示参
数和线缆长度等）。
但负载补偿值会根据测量频率分成其他数据。
因此，如果在负载补偿有效时改变测量条件，负载补偿将变为无效。此时 LOAD
的 OFF LED 闪烁。
但是，如果把测量条件恢复成负载补偿时的条件，负载补偿就会重新开始。
（LOAD 的 ON LED 点亮）
例如，在下表 “○”所示的测量频率下，已取得负载补偿值时，即使测量频率
从 1kHz 变为 1MHz，负载补偿功能仍有效。 但如果测量频率变更为 100kHz，或
者频率切换、电平、量程、显示参数、线缆长度等发生变化时，则负载补偿功能
会变为无效。
测量频率
负载补偿
• 开路 / 短路补偿有效时，负载补偿对开路 / 短路补偿之后的 Z 和θ进行补偿。
在读取开路、短路补偿值及设定补偿值之际发生和获取负载补偿时的测量条件
（频率切换、电平、电缆长度等）相同的开路、短路补偿变化情况下，以最新的
开路、短路补偿值补偿负载补偿值，并再次计算补偿系数。
• 在设定开路、短路补偿的有效·无效，设定所有补偿的获取点之际，由于会利用
所有的测量条件 （频率、电平）来变更设定，所以在接通电源后那怕有一次把
负载补偿设为有效的情况下，请务必再次计算补偿系数。
1 kHz 100 kHz
○× ○
1 MHz(-2% ～ 2%)
43
4.2
负载补偿
获得负载补偿系数 ____________________________________________________
1. 普通测量模式时按 键。
成为如下状态。
( 闪烁 )
（主显示区）
烁
闪
2. 按 键，选择负载补偿设定。
每按一次 键就会切换如下显示。
4
“SEt”
设定当前所设定的测量频率的基准值
“oFF”
将所有频率的负载补偿系数设为无效
“on”
将所有频率的负载补偿系数设为有效
“AdJuSt”
取得当前所设定的测量频率的负载补偿系数
3. 选择 “AdJuSt”， 按 键 。
获取负载补偿系数。
( 闪烁 )
44
4.2
负载补偿
补偿结束：
一旦补偿正常结束，则鸣音一次，成为如下状态。
( 点亮 )
（主显示区）
点亮 1 秒
返回普通测量模式。
补偿错误：
如果补偿出错 ，则发出警告鸣音，成为如下状态。
（主显示区）
补偿中止。
出错对策
• 超出测量范围 (下溢出、上溢出)时，发生补偿错误。请重新设定成合适的量程再
进行补偿。
• 按 键返回普通测量模式。
45
4.2
负载补偿
设定基准值 __________________________________________________________
1. 普通测量模式时按 键。
成为如下状态。
( 闪烁 )
（主显示区）
烁
闪
2. 按 键，选择负载补偿设定。
每按一次 键就会切换如下显示。
4
“SEt”
设定当前所设定的测量频率的基准值
“oFF”
将所有频率的负载补偿系数设为无效
“on”
将所有频率的负载补偿系数设为有效
“AdJuSt”
取得当前所设定的测量频率的负载补偿系数
3. 选择 “SEt”， 按 键 。
( 次显示区 )
闪烁
若要退出基准值输入画面，返回负载补偿设定画面，请按 键。
C 的基准值
D (Q) 的基准值
46
4.2
负载补偿
4. 另外，用数字键输入 C 的基准值，按 键。
（通过数字键输入数值时，数位会逐个向右移动）
可设定范围： -199999 ～ 999999
移动数位.......
更改数值.......
( 次显示区 )
C 的基准值
•C的基准值无须更改时，不更改数值直接按 键。
转成为 D （Q）的基准值输入画面。
• 基准值以计数值来设定。出厂时的基准值 （C、 D）
为（100000， 0）。
5. 另外，用数字键输入 D （Q）的基准值，按 键。
（通过数字键输入数值时，数位会逐个向右移动）
可设定范围： -199999 ～ 199999
移动数位.......
更改数值.......
( 次显示区 )
D 的基准值
Q 的基准值
第 2 参数为 D 时
回到步骤 2 状态。
•D（Q）的基准值无须更改时，不更改数值直接按 键。
• 若要退出基准值输入画面，返回负载补偿设定画面，请按 键。
•LOAD补偿有效时，如果变更基准值，则需重新计算负载补偿系数。
• 基准值会根据测量频率分成其他数据。
设定当前所设定的测量频率的基准值。
第 2 参数为 Q 时
47
4.2
负载补偿
设定负载补偿的 ON/ OFF ________________________________________
1. 普通测量模式时按 键。
成为如下状态。
( 闪烁 )
（主显示区）
烁
闪
2. 按 键，选择负载补偿的 ON/ OFF。
每按一次 键就会切换如下显示。
4
“SEt”
设定当前所设定的测量频率的基准值
“oFF”
将所有频率的负载补偿系数设为无效
“on”
将所有频率的负载补偿系数设为有效
“AdJuSt”
取得当前所设定的测量频率的负载补偿系数
3. 按 键，确定负载补偿的 ON/ OFF。
负载补偿的 LED 成为如下状态。
选择“on”时 选 择 “ oFF”时
（点亮） ( 熄灭 )(熄灭 ) （点亮）
不执行负载补偿 ON/ OFF 设定时，请按 键。
返回普通测量模式。
48
4.3
偏置补偿
4.3 偏置补偿
从测量结果中减去输入的任意值，可以补偿相对于理想值的误差。使用该
功能，可以补偿测量基准被测元件时的误差，或者在测量同一被测元件
时，更换测量仪器。
执行偏置补偿时的误差 _______________________________________________
1. 普通测量模式时按 键。
主显示区的上部显示菜单内容，主显示区的下部显示详细设定。
( 有关菜单顺序，请参阅
比较器测量、 BIN 分选测量模式下不能更改。
“菜单画面构成” (⇒ 第 13 页 ))
2. 按键，选择“oFFSEt”。
成为如下状态。
（主显示区）
（偏置补偿的设定画面）
( 次显示区 )
点亮
闪
烁
3. 按 键，选择偏置补偿的有效 / 无效。
每按一次 键，会在 “on”和 “oFF”间切换。
4. 按 键，确定偏置补偿的有效 / 无效。
如果选择 “on”，则成为如下状态。
（主显示区）
亮
点
( 次显示区 )
4.3
49
偏置补偿
4
闪烁
选择“oFF”时，主显示区的上部显示“Lo C”(Low C 拒绝功能设定画面）。
偏置补偿值的有效数部分
偏置补偿值的次方数
5. 另外，用数字键输入 C 的偏置补偿值的有效数部分。
（通过数字键输入数值时，数位会逐个向右移动。按下小数点键时，闪烁
位的前一位带有小数点）
可设定范围 （有效数部分）：
移动数位 ......
更改数值 ......
C 的偏置补偿值的最小分辨率为 1.0E-18。如果要设定更小的值，则被设定为 0。
另外，要设定小于最小设定值的值时，则被设定为最小设定值；要设定大于最大
设定值的值时，则被设定为最大设定值。
±(0.0000 ～ 9999.9)
50
4.3
偏置补偿
6. 按键，确定C 的偏置补偿值的有效数部分。
成为如下状态。
( 次显示区 )
偏置补偿值的次方数
闪烁
7. 另外，用数字键输入 C 的偏置补偿值的次方数。
（通过数字键输入数值时，数位会逐个向右移动）
可设定范围：-10E-6 ～ 10E-6 （以绝对值输入）
最小分辨率：1.0E-18
移动数位.......
更改数值.......
8. 按键，确定C 的偏置补偿值的次方数。
成为如下状态。
( 次显示区 )
点亮
闪烁
第 2 参数为 D 时
闪烁
第 2 参数为 Q 时
点亮
9. 另外用数字键输入 D （Q）的偏置补偿值。
（通过数字键输入数值时，数位会逐个向右移动）
D 的可设定范围：-1.99999 ～ 1.99999
Q 的可设定范围：-19999.9 ～ 19999.9
移动数位 ......
更改数值 ......
10. 按 键，确定 D （Q）的偏置补偿值。
主显示区的上部显示 “Lo C”。
• 出厂时， C、 D （Q）偏置补偿值均为 0。
•C、D（Q）偏置补偿值均会因测量频率 (1 kHz、100 kHz ( 仅限于 3505)、1 MHz)
而变为其他数据。在当前设定的测量频率下设定偏置补偿值。
4.3
51
偏置补偿
4
11. 按键。
返回普通测量模式。
52
4.4
自校正
4.4 自校正
3505 （3506）可通过实施自校正，减小测量值的漂移。自校正是指通过测
量内部基准信号，取得用于补偿电流检测电路与电压检测电路的相对误差
的值，以便对检测电路的漂移进行数值补偿。
自校正具有如下模式。
• AUTO
通信或测量结束后，每次都获取自校正值，以便对测量值进行补偿。
• MANUAL
通信或测量开始时，从外部 I/O 输入自校正值读取开始信号时，获取自
校正值。使用过去最新的自校正值对测量值进行补偿。
从外部 I/O 输入自校正值读取信号或 AUTO 模式时，在一次测量结束后，
获取自校正值。 ( 通信时，仅获取自校正值 )
参照 :“自校正” (⇒ 第 120 页 )
• 使用上次测量后获取的自校正值。因此，如果获取自校正值到下次测量之间的间
隔过长，就会在取得自校正值的时点与当前电路状态之间产生漂移，这将导致自
校正效果的降低。请尽可能缩短获取自校正值的间隔。环境温度变化超过 2
时，请在测量之后获取自校正值。
• 本仪器在接通电源后，需要 1 小时的预热。接通电源时，会自动获取自校正值，
但电路误差与预热之后的情形不同，因此，预热后请务必获取自校正值。
• 获取自校正值期间，通信状态在结束读取自校正值之前会被保持。
进行自校正 _________________________________________________________
1. 普通测量模式时按 键。
主显示区的上部显示菜单内容，主显示区的下部显示详细设定。
（菜单的顺序请参照
比较器及 BIN 分选模式时不能更改。
“菜单画面构成” (⇒ 第 13 页 )）
2. 按 键，选择 “CALIb”。
（主显示区）
°C
（自校正的设定画面）
菜单内容
自校正
（按步骤 3 设定）
3. 按 ，选择自校正条件。
每按一次 键就会切换如下显示。
“Auto”
测量期间，测量基准信号并计算自校正值
“MAnu”
触发输入之后， EXT I/O 的 CALIB
时，或者
处理通信命令 (:CALibration:ADJust) 时，计算自校正
值
4. 按键。
确定自校正设定。
确定后，主显示区上部显示 “IF”（通信条件的设定画面）
4.4
自校正
信号线为 LOW
53
4
如果未按下 键，则不确定自校正值的设定。
5. 按键。
• 以下情况与自校正功能的设定无关，仅按 :CALibration:AVERaging 命令设定的次
数测量基准信号，获得算术平均值，并将其作为自校正值。
·电源接通时
·变更频率、频率切换以及设备初始化时
·执行 :CALibration:ADJust 命令时
·执行调用条件为 “ALL”、” hArd” 的面板显示调用时
·在普通测量、比较器测量以及 BIN 分选测量画面中按 时
参照 :补偿开始步骤 (⇒ 第 120 页 )
• 自校正值的获取时间可通过 :CALibration:SPEEd 命令设定进行变更。
FAST ( 初始设定 )
1.7 4.7 13.0
• 可使用通信命令设定补偿计算时的测量速度与平均次数。
参照 :“自校正期间测量速度的设定和查询” (⇒ 第 181 页 )
参照 :“自校正期间平均次数的设定和查询” (
自校正值的获取时间 (ms)
NORMAL SLOW
⇒ 第 180 页 )
54
4.5
设定线缆长度
4.5 设定线缆长度
为了补偿因测量线缆延长而产生的误差，可设定适合测量线缆的长度。
1. 普通测量模式时按 键。
主显示区的上部显示菜单内容，主显示区的下部显示详细设定。
( 菜单的顺序请参照
比较器测量、 BIN 分选测量模式下不能更改。
2. 按 键，选择 “CAbLE”。
（主显示区）
“菜单画面构成” (⇒ 第 13 页 ))
菜单内容
测量线缆长度
（按步骤 3 设定）
（线缆长度的设定画面）
3. 按 键，选择测量线缆长度。
可设定范围：0 ～ 2 (m)
4. 按键。
确定线缆长度的设定。
确定后，主显示区上部显示 “oFFSEt”（偏置补偿的设定画面）。
如果不按 键，就不确定线缆长度的设定。
5. 按键。
返回普通测量模式。
变更线缆长度的设定时，将所有测量条件的开路 / 短路 / 负载补偿设为 OFF。
5.1
比较器测量功能
判定测量结果 第 5 章
5.1 比较器测量功能
分别设定 C 和 D (Q) 的上、下限值，在比较器判定结果显示区以 HI、 IN、
LO 显示判定结果。
根据判定结果判断被测元件是否合格。
并从背面的 EXT I/O 接口输出相应的信号。
比较器测量的判定模式，有计数值设定和偏差计数 ( ⊿ ) 设定、偏差百分比
( ⊿ %) 设定三种。
55
5
• 设定计数值 (⇒ 第 58 页 )
以计数值设定测量参数的上、下限值。
• 设定偏差计数 ( ⊿ )
输入基准值，以相对于基准值的计数值设定上、下限值。
• 设定偏差百分比 ( ⊿ %)
输入基准值，以相对于基准值的百分比设定上、下限值。
选择判定模式之后，设定判定条件。
• 判定模式的设定 (⇒ 第 56 页 )
• 判定条件的设定
设定计数值
设定偏差计数 ( ⊿ )、偏差百分比 ( ⊿ %)
测量结果的显示
判定模式
Count （计数值设定）
d-Cou （偏差计数
( ⊿ ) 设定）
d-PEr （偏差百分比
( ⊿ %) 设定）
(⇒ 第 58 页 )
(⇒ 第 61 页 )
(⇒ 第 61 页 )
(⇒ 第 57 页 )
测量结果
显示测量值。
显示 ( 测量值 - 基准值 ) 计算得出的结果。
第 1 参数 (C) 为×100
第 2 参数 (D 或 Q) 显示为 ( 测量值 - 基准值 ) 计
算得出的结果。
(⇒ 第 61 页 )
( 测量值 - 基准值 )
｜基准值｜
• 在比较器测量模式的状态下切断电源，再次接通电源时，以比较器测量模式启
动。
• 未进行比较器判定的参数 (C、D 或 Q)，请将它们的上限值与下限值设定为 OFF。
不进行判定。
• 比较器执行时的测量条件直接沿用普通测量时的测量条件。但是，AUTO 量程会
自动变成 HOLD 量程。
56
5.1
比较器测量功能
设定判定模式 _______________________________________________________
在设定比较器的判定条件之前选择判定模式。
（计数值设定、偏差计数 ( ⊿ ) 设定、偏差百分比 ( ⊿ %)）
判定模式为比较器、 BIN 分选测量通用。
1. 普通测量模式时按 键。
主显示区的上部显示菜单内容，主显示区的下部显示详细设定。
（菜单的顺序请参照
比较器及 BIN 分选模式时不能更改。
“菜单画面构成” (⇒ 第 13 页 )）
2. 按 键，选择菜单内容的 “JudGE”
（主显示区）
菜单内容
判定模式
（按步骤 3 设定）
（判定模式的设定画面）
3. 按 键，选择判定模式。
每按一次 键就会切换如下显示。
“Count”
（计数值设定）
“d-PEr”
（偏差百分比 ( ⊿ %) 设定）
“d-Cou”
（偏差计数 ( ⊿ ) 设定）
4. 按键。
确定判定模式。
确定后，主显示区的上部会显示 “bEEP_J”( 判定结果鸣音设定画面 )。
如果不按 键，则不确定判定模式。
5. 按键。
返回普通测量模式。
57
5.1
比较器测量功能
设定判定条件 ________________________________________________________
设定流程
普通测量模式
1
比较器测量模式
2
C 设定
3
设定 C 的基准值
4
（设定⊿、⊿ % 时）
C 的上、下限值设定
5
数字键 /
数字键 /
数字键 /
选择比较器测量模式。（COMP 点
亮）
量程自动变为 HOLD 设定。
转到上、下限值的设定模式
确定 C
移至下一步设定。
设定 C 的基准值
5
设定 C 的上限值
确定上限值
设定 C 的下限值
确定下限值
设定 D (Q)
6
设定 D (Q) 的基准值
7
（设定⊿、⊿ % 时）
设定 D (Q) 的上、下限值
8
比较器测量模式
9
数字键 /
数字键 /
数字键 /
选择 D (Q)
确定 D (Q)
设定 D (Q) 的基准值
移至下一步设定。
设定 D (Q) 的上限值
确定上限值
设定 D (Q) 的下限值
确定下限值
转到比较器测量模式
58
5.1
比较器测量功能
测量方法 1 使用上 / 下限值进行设定 ( 计数值设定 )
( 使用基准值与上 / 下限值进行设定时，请参阅 “测量方法 2” (⇒ 第 61 页 ))
1. 按，点亮COMP，进入比较器测量模式。
( 点亮 )
2. 按键。
( 次显示区 )
想通过任意设定模式进行设定时，在次显示
区上部的 “C”或 “d” ( “q” ) 闪烁的状态
闪烁
下，按 。
选择设定模式，按 。
设定模式：C 的上 / 下限值 ↔D(Q) 的上 / 下
限值 ↔C 的上 / 下限值 ...
3. 按键，进入C 的上限值设定模式。
( 次显示区 )
点亮
闪烁
上限值
4. 另外，用数字键设定 C 的上限值。
可设定范围： OFF、 -199999 ～ 999999( 设定为 OFF 时 (⇒ 第 66 页 ))
移动数位.......
更改数值.......
即使设定值小于下限值，也不会出错，但不能进行正确判定。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
5. 按 键，确定 C 的上限值。
进入 C 的下限值设定模式。
( 次显示区 )
5.1
比较器测量功能
59
闪烁
下限值
6. 同样 另外用数字键输入 C 的下限值。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
7. 按 键，确定 C 的下限值。
8. 按 键，进入 D(Q) 的上限值设定模式。
( 次显示区 )
点亮
闪烁
上限值
闪烁
5
点亮
上限值
（OFF）
第 2 参数为 D 时第2 参数为 Q 时
9. 另外用数字键输入 D (Q) 的上限值。
可设定范围：OFF、 -199999 ～ 199999( 设定为 OFF 时 (⇒ 第 66 页 )）
移动数位.......
更改数值.......
即使设定值小于下限值，也不会出错，但不能进行正确判定。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
60
5.1
比较器测量功能
10. 按键，确定D (Q) 的上限值。
进入 D (Q) 的下限值设定模式。
( 次显示区 )
（OFF）
闪烁
下限值
第 2 参数为 D 时第2 参数为 Q 时
闪烁
11. 同样 另外用数字键输入 D (Q) 的下限值。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
12. 按键，确定D (Q) 的下限值。
13. 按键。
返回比较器测量模式。
( 点亮 )
在主显示区显示比较器测量结果。
下限值
参照 :“关于比较器测量结果” (⇒ 第 67 页 )
• 设定计数值时的上、下限值是与测量条件无关的显示计数值。如果改变量程设
定，则计数值所意味的绝对值也会发生变化。
例如，当前量程为 100 pF 量程时，表示 C 的计数值 50000 = 50E-12、 D 的计数
值 100 = 0.00100、 Q 的计数值 100 = 10.0。
•D或 Q 的上下限值使用通用的计数值，与参数设定无关。
• 请以普通测量模式设定比较器测量模式的测量条件。
参照 :“3.3 设定测量条件” (⇒ 第 24 页 )
• 不进行上、下限值的大小判定。
因此，如果上、下限值反过来设定，则不能进行正确的判定，敬请注意。
• 有关比较器的判定结果，请参阅
• 设定结束后，确定判定范围时，可使用 切换判定范围的显示。
“判定结果显示” (⇒ 第 67 页 )。
61
5.1
比较器测量功能
测量方法 2 用基准值和上、下限值进行设定 （⊿设定、⊿ % 设定）
（仅用上、下限值进行设定时，请参照 “测量方法 1” (⇒ 第 58 页 )）
因判定模式 ( ⊿设定与⊿ % 设定 ) 而未分开记述次显示区的画面显示
时，对⊿ % 设定画面进行说明。
( ⊿设定时，“COUNT”点亮 )
1. 按，点亮COMP，进入比较器测量模式。
( 点亮 )
2. 按键。
( 次显示区 )
点亮
设定⊿时
想通过任意设定模式进行设定时，在次显示区上部的 “C”或 “d” ( “q” )
闪烁的状态下，按 ，选择设定模式，然后按 。
设定模式：C 的基准值 ↔ C 的上 / 下限值 ↔ D (Q) 的基准值 ↔ D (Q) 的上 /
下限值 ↔ C 的基准值 ...
闪烁
点亮
3. 按，进入C 的基准值设定模式
( 次显示区 )
5
闪烁
设定⊿ % 时
闪烁
点亮
基准值
闪烁
设定⊿时 设定⊿ % 时
点亮
基准值
62
5.1
比较器测量功能
4. 另外，用数字键设定 C 的基准值。
（通过数字键输入数值时，数位会逐个向右移动）
可设定范围： -199999 ～ 999999( ⊿ % 设定时，不能设定为 0)
移动数位.......
更改数值.......
即使设定值小于下限值，也不会出错，但不能进行正确判定。
基准值以计数值来设定。
出厂时被设定为 “100000”
5. 按 键，确定 C 的基准值。
( 次显示区 )
闪烁
设定⊿时 设定⊿ % 时
如果不按 键，则不确定当前输入的基准值。上一次的基准值仍然有
效。
6. 按 键，进入 C 的上限值设定模式。
( 次显示区 )
点亮
闪烁
上限值
闪烁
闪烁
点亮
上限值
设定⊿时 设定⊿ % 时
7. 另外，用数字键输入 C 的上限值。
可设定范围
• 设定⊿时 : OFF 、 -199999 ～ 999999
• 设定⊿ % 时 : OFF 、 -999.99 ～ 999.99
( 设定为 OFF 时 (⇒ 第 66 页 ))
移动数位 ......
更改数值 ......
即使设定值小于下限值，也不会出错，但不能进行正确判定。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
8. 按 键，确定 C 的上限值。
进入 C 的下限值设定模式。
5.1
比较器测量功能
63
( 次显示区 )
点亮
闪烁
闪烁
下限值
9. 同样 另外用数字键输入 C 的下限值。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
10. 按 键，确定 C 的下限值。
( 在次显示区设定⊿％时 )
5
点亮
下限值
设定⊿ % 时设定⊿时
闪烁
第 2 参数为 D 时第2 参数为 Q 时
闪烁
64
5.1
比较器测量功能
11. 按，进入D (Q) 的基准值设定模式。
( 在次显示区设定⊿％时 )
点亮
闪烁
第 2 参数为 D 时第2 参数为 Q 时
基准值
闪烁
12. 另外用数字键输入 D (Q) 的基准值。
可设定范围： -199999 ～ 199999
移动数位.......
更改数值.......
基准值以计数值来设定。出厂时被设定为 ” 0 ”。
13. 按键，确定D (Q) 的基准值。
点亮
基准值
如果不按 键，则不确定当前输入的基准值。上一次的基准值仍然有
效。
14. 按，进入D (Q) 的上限值设定模式。
( 在次显示区设定⊿％时 )
点亮
闪烁
闪烁
第 2 参数为 D 时
上限值
第 2 参数为 Q 时
点亮
上限值
（OFF）
15. 另外用数字键输入 D (Q) 的上限值。
可设定范围：OFF 、 -199999 ～ 199999( 设定为 OFF 时 (⇒ 第 66 页 )）
移动数位 ......
更改数值 ......
即使设定值小于下限值，也不会出错，但不能进行正确判定。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
16. 按 键，确定 D (Q) 的上限值。
进入 D (Q) 的下限值设定模式。
( 在次显示区设定⊿％时 )
5.1
比较器测量功能
65
点亮
闪烁
下限值
第 2 参数为 D 时
闪烁
第 2 参数为 Q 时
17. 同样 另外用数字键输入 D (Q) 的下限值。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
18. 按 键，确定 D (Q) 的下限值。
19. 按键。
返回比较器测量模式。
点亮
5
（OFF）
下限值
( 点亮 )
在主显示区显示比较器测量结果 。
参照 :“关于比较器测量结果” (⇒ 第 67 页 )
66
5.1
比较器测量功能
• 进行⊿设定、⊿ % 设定时的基准值是与测量条件无关的显示计数值。如果测量条
件不同，计数值所意味的绝对值也会发生变化。
例如，当前量程为 100 pF 量程时，表示 C 的计数值 50000 = 50E-12、 D 的计数
值 100 = 0.00100、 Q 的计数值 100 = 10.0。
• 第 2 参数的基准值与上下限值使用通用的计数值，与参数设定无关。
• 请以普通测量模式设定比较器测量模式的测量条件。
参照 :“3.3 设定测量条件” (⇒ 第 24 页 )
• 不进行上、下限值的大小判定。因此，如果上、下限值反过来设定，则不能进行
正确的判定，敬请注意。
• 有关比较器的判定结果，请参阅 “判定结果显示” (⇒ 第 67 页 )。
• 设定结束后，确定判定范围时，可使用 切换判定范围的显示。
上、下限值设定为 OFF 时 ____________________________________________
1. 输入上、下限值时，按 键将闪烁位往左侧移动，按住 键 2 秒以上；
或者按 键往右侧移动，按住 2 秒以上。
显示 “－－－－－－”，设定 OFF。
2. 按键，确定OFF 设定。
3. 按键。
返回比较器测量模式。
( 点亮 )
解除比较器测量时 ___________________________________________________
在比较器测量模式 (COMP 的 LED 点亮 ) 的状态下，按 2 次。
测量模式的LED按COMP→BIN→NORM的顺序点亮，变成普通测量模式。
( 点亮 )
67
5.1
比较器测量功能
关于比较器测量结果 __________________________________________________
• 比较器测量模式的测量条件使用普通测量时的测量条件。普通测量模式下，请设
定比较器所使用的测量条件。
参照 :“3.3 设定测量条件” (⇒ 第 24 页 )
• 不进行上、下限值的大小判定。因此，如果上、下限值反过来设定，则不能进行
正确的判定，敬请注意。
判定结果显示
在比较器判定结果显示区分别显示对于 C 和 D (Q) 的判定结果。
对于上、下限值在 OFF 设定下的参数，不进行比较器的判定。
判定测量值
上、下限值设定
上限值
HI
测量值大于上限值时
IN
下限值
LO
判定测量值
量程
测量值在上、下限值范围内时
测量值小于下限值时
测量值超出量程范围时 （上溢出）
HI
上限
测量范围
下限
测量值低于量程范围时 （下溢出）
LO
判定
顺序
判定结果 内容 处理
HI 点亮 测量出错时
HI 点亮 测量值超出量程范围的上限值范围 请更改为合适的量程。
1
参照 :“主显示区的出错显示” (⇒ 第 14 页 )
参照 :“3.3.7 测量量程” (⇒ 第 29 页 )
5
LO 点亮 测量值低于量程范围的下限值范围
LO 点亮 测量值小于下限值
2
HI 点亮 测量值大于上限值
3
IN 点亮 测量值在设定范围之内
4
68
5.1
比较器测量功能
判定结果输出 • 从 EXT I/O 输出 C 和 D (Q) 的各自判定结果（LO/ IN/ HI），和两个判定结果的
比较器测量模式下有
效的按键
AND 结果 （仅当 2 个参数处于 IN 时）。
参照 :“7.1 关于 EXT I/O 接口” (⇒ 第 115 页 )
• 可通过鸣音判别比较器的判定结果 （IN/ NG）。
参照 :“6.12 设定鸣音” (⇒ 第 104 页 )
• 比较器测量模式下，不能更改测量条件。（除触发设定外）
请按 键，设成普通测量模式后再更改测量条件。
按键 功能
切换测量模式。
切换至上、下限的设定模式。
用 INT/ EXT 切换触发设定。
触发设定仅在 EXT 时有效。每按一次进行一次测量。
可设定以下菜单。
• “LoAd_A(C/h)”
• “SAVE”
• “Ld_tYP”
• “Lo C”
• “LEV.Chk”
• “bEEP_K ”
• “dISP”
• “IF”
除此之外的设定，请在进入普通测量模式之后再进行设定。
不能在比较器测量模式下设定的菜单，在主显示区下部会显示
“－－－－”。
切换按键锁定功能、解除远程控制状态。
69
5.2 BIN 分选测量功能
设定最多 13 类的 C 和 1 类 D (Q) 的上、下限值，在 BIN 分选判定结果显
示区显示结果。并从背面的 EXT I/O 接口输出相应的信号。
BIN 分选测量的判定模式，有计数值设定和偏差计数 ( ⊿ ) 设定、偏差百分
比 ( ⊿ %) 设定三种。
• 设定计数值
以计数值设定测量参数的上、下限值。
• 设定偏差计数 ( ⊿ )
输入基准值，以相对于基准值的计数值设定上、下限值。
• 设定偏差百分比 ( ⊿ %)
输入基准值，以相对于基准值的百分比设定上、下限值。
选择判定模式之后，设定判定条件。
• 判定模式的设定 (⇒ 第 70 页 )
• 判定条件的设定
设定计数值
设定偏差计数 ( ⊿ ) 设定、偏差百分比 ( ⊿ %)
(⇒ 第 72 页 )
(⇒ 第 71 页 )
5.2 BIN
(⇒ 第 76 页 )
分选测量功能
5
测量结果的显示
判定模式
Count （设定计数值）
d-Cou （偏差计数
( ⊿ ) 设定）
d-PEr （偏差百分比
( ⊿ %) 设定）
• 在 BIN 分选测量模式的状态下切断电源，再次接通电源时，以 BIN 分选测量模式
启动。
• 不需要BIN分选判定的BIN分选号码，请把上、下限值设定为OFF。不进行判定。
•BIN分选执行时的测量条件直接沿用普通测量时的测量条件。
但是， AUTO 量程会自动变成 HOLD 量程。
测量结果
显示测量值。
显示 ( 测量值 - 基准值 ) 计算得出的结果。
第 1 参数 (C) 为×100
第 2 参数 (D 或 Q) 显示为 ( 测量值 - 基准值 ) 计
算得出的结果。
( 测量值 - 基准值 )
｜基准值｜
70
5.2 BIN
分选测量功能
设定判定模式 _______________________________________________________
在设定 BIN 分选的判定条件之前设定判定模式。
（计数值设定、偏差计数 ( ⊿ ) 设定、偏差百分比 ( ⊿ %) 设定）
判定模式为比较器、 BIN 分选测量通用。
1. 普通测量模式时按 键。
主显示区的上部显示菜单内容，主显示区的下部显示详细设定。
（菜单的顺序请参照
比较器及 BIN 分选模式时不能更改。
“菜单画面构成” (⇒ 第 13 页 )）
2. 按 键，选择菜单内容的 “JudGE”
（主显示区）
菜单内容
判断模式
（按步骤 3 设定）
（判定模式的设定画面）
3. 按 键，选择判定模式。
每按一次 键就会切换如下显示。
“Count”
（计数值设定）
“d-PEr”
（偏差百分比 ( ⊿ %) 设定）
“d-Cou”
（偏差计数 ( ⊿ ) 设定）
4. 按键。
确定判定模式。
确定后，主显示区的上部会显示 “bEEP_J”( 判定结果鸣音设定画面 )。
如果不按 键，则不确定判定模式。
5. 按键。
返回普通测量模式。
71
5.2 BIN
分选测量功能
设定判定条件 ________________________________________________________
设定流程
选择 BIN 分选测量模式。
（BIN 点亮）
量程自动变为 HOLD 设定。
转到上、下限值的设定模式
确定 C
普通测量模式
1
BIN 分选测量模式
2
（２次）
设定 C 的基准值
3
（设定⊿、⊿ % 时）
数字键 /
设定 C 的基准值
确定设定值
确定 BIN1
5
设定 BIN1 ～ 13 的上、下
4
限值
设定 D (Q) 的基准值
5
（设定⊿、⊿ % 时）
设定 D (Q) 的上、下限值
6
数字键 /
数字键 /
数字键 /
数字键 /
数字键 /
设定 BIN1 的上限值
确定上限值的设定值。
设定 BIN1 的下限值
确定下限值的设定值
同样设定 BIN2 ～ BIN13
确定 D (Q)
设定 D (Q) 的基准值
确定设定值
移至下一步设定。
确定 D (Q)
设定 D (Q) 的上限值
确定上限值的设定值。
设定 D (Q) 的下限值
确定下限值的设定值
移至下一步设定。
BIN 分选测量模式
7
转至 BIN 分选测量模式
72
5.2 BIN
分选测量功能
测量方法 1 使用上 / 下限值进行设定 ( 计数值设定 )
( 使用基准值与上 / 下限值进行设定时，请参阅 “测量方法 2” (⇒ 第 76 页 ))
1. 按，点亮BIN，进入 BIN 分选测量模式。
( 点亮 )
2. 按键。
BIN分选
编号
( 次显示区 )
闪烁
想通过任意设定模式进行设定时，在
“1 ～ 13”闪烁的状态下按 ，选
择设定模式，然后按 。
设定模式： BIN1 ～ 13 的上 / 下限值 ↔
D (Q) 的上 / 下限值 ↔ BIN1 ～ 13 的上
/ 下限值 ...
3. 按，进入BIN1 的上限值设定模式。
( 次显示区 )
点亮
闪烁
上限值
4. 另外，用数字键输入 BIN1 的上限值。
可设定范围： OFF 、 -199999 ～ 999999（设为 OFF 时
移动数位.......
更改数值.......
即使设定值小于下限值，也不会出错，但不能进行正确判定。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
(⇒ 第 82 页 )）
73
5. 按 ，确定 BIN1 的上限值。
进入 BIN1 的下限值的设定模式。
( 次显示区 )
点亮
闪烁
如果不按 键，则不能确定本次输入的 BIN 分选的上、下限值。上
一次的 BIN 分选的上、下限值仍然有效。
5.2 BIN
分选测量功能
5
6. 另外，用数字键输入 BIN1 的下限值。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
7. 按 键，确定 BIN1 的下限值。
( 次显示区 )
闪烁
8. 按，进入BIN2 的上限值设定模式。
同样设定 BIN2 ～ 13 的上、下限值。
( 次显示区 )
BIN2
闪烁
点亮
上限值
74
5.2 BIN
分选测量功能
9. 按，进入D (Q) 的上限值设定模式。
10. 另外用数字键输入 D (Q) 的上限值。
( 次显示区 )
点亮
闪烁
闪烁
第 2 参数为 D 时第2 参数为 Q 时
可设定范围： OFF 、 -199999 ～ 199999（设为 OFF 时
移动数位.......
更改数值.......
即使设定值小于下限值，也不会出错，但不能进行正确判定。
上限值
点亮
上限值
（OFF）
(⇒ 第 82 页 )）
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
11. 按，确定D (Q) 的上限值。
进入 D (Q) 的下限值设定模式。
( 次显示区 )
点亮
闪烁
第 2 参数为 D 时第2 参数为 Q 时
下限值
闪烁
12. 另外用数字键输入 D (Q) 的下限值。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
点亮
（OFF）
下限值
13. 按键，确定D (Q) 的下限值。
75
14. 按键。
进入 BIN 分选测量模式。
( 点亮 )
参照 :“关于 BIN 分选测量结果” (⇒ 第 83 页 )
• 设定计数值时的上、下限值是与测量条件无关的显示计数值。如果测量条件不
同，计数值所意味的绝对值也会发生变化。
例如，当前量程为 100 pF 量程时，表示 C 的计数值 50000 = 50E-12、 D 的计数
值 100 = 0.00100、 Q 的计数值 100 = 10.0。
• 第 2 参数的上下限值使用通用的计数值，与参数设定无关。
•BIN分选测量模式的测量条件使用普通测量时的测量条件。普通测量模式下，请
设定 BIN 分选所使用的测量条件。
• 如果上、下限值的设定出错，将不能进行正确的判定，因此请注意以下 2 点。
·设定值是否在量程的显示范围之内？
·上限值和下限值的大小关系是否正确？
• 设定结束后，确定判定范围时，可使用 切换判定范围的显示。
5.2 BIN
分选测量功能
5
76
值
5.2 BIN
分选测量功能
测量方法 2 用基准值和上、下限值进行设定 （⊿设定、⊿ % 设定）
（用上、下限值进行设定时，请参照 “测量方法 1” (⇒ 第 72 页 )）
因判定模式 ( ⊿设定与⊿ % 设定 ) 而未分开记述次显示区的画面显示
时，对⊿ % 设定画面进行说明。
( ⊿设定时，“COUNT” 点亮 )
1. 按，点亮BIN，进入 BIN 分选测量模式。
( 点亮 )
2. 按键。
( 次显示区 )
点亮
设定⊿时 设定⊿ % 时
想通过任意设定模式进行设定时，在 “C”闪烁的状态下，按 ，选择
设定模式，然后按 。
设定模式：C 的基准值 ↔ BIN1 ～ 13 的上 / 下限值 ↔ D (Q) 的基准值 ↔
D (Q) 的上 / 下限值 ↔ C 的基准值 ....
闪烁
点亮
3. 按，进入C 的基准值设定模式。
( 次显示区 )
点亮
闪烁
点亮
闪烁
设定⊿时
基准值
闪烁
基准
设定⊿ % 时
77
4. 另外，用数字键输入 C 的基准值。
（通过数字键输入数值时，数位会逐个向右移动）
可设定范围： -199999 ～ 999999( ⊿ % 设定时，不能设定为 0
移动数位 ......
更改数值 ......
基准值用计数值来设定。出厂时被设定为 ” 100000 ”。
5. 按 键，确定 C 的基准值。
( 次显示区 )
闪烁 闪烁
5.2 BIN
分选测量功能
)
5
设定⊿时
如果不按 键，则不确定当前输入的基准值。上一次的基准值仍然有
效
设定⊿ % 时
6. 按，进入BIN1 的上限值设定模式。
( 次显示区 )
BIN1
闪烁
点亮
上限值
设定⊿时
BIN1
闪烁
点亮
设定⊿ % 时
78
5.2 BIN
分选测量功能
7. 另外，用数字键输入 BIN1 的上限值。
可设定范围
• 设定⊿时 : OFF 、 -199999 ～ 999999（ 设 为 OFF 时 (⇒ 第 82 页 )）
• 设定⊿ % 时 : OFF 、 -999.99 ～ 999.99
移动数位.......
更改数值.......
即使设定值小于下限值，也不会出错，但不能进行正确判定。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
如果不按 键，则不能确定本次输入的 BIN 分选的上、下限值。上
一次的 BIN 分选的上、下限值仍然有效。
8. 按 键，确定 BIN1 的上限值。
进入 BIN1 的下限值设定模式。
( 次显示区 )
点亮
闪烁
闪烁
设定⊿时
下限值
9. 同样 另外用数字键输入 BIN1 的下限值。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
10. 按，确定BIN1 的下限值。
点亮
下限值
设定⊿ % 时
79
11. 按，进入BIN2 的上限值设定模式。
( 次显示区 )
BIN2
闪烁
设定⊿时
同样设定所有 BIN 分选的上、下限值。
设定了所有 BIN 分选的上、下限值之后，成为如下状态。
( 在次显示区设定⊿％时 )
点亮
上限值
下限值
BIN2
闪烁
5.2 BIN
设定⊿ % 时
分选测量功能
点亮
上限值
下限值
5
闪烁
第 2 参数为 D 时第2 参数为 Q 时
12. 按，进入D (Q) 的基准值设定模式。
( 在次显示区设定⊿％时 )
点亮
基准值
闪烁
第 2 参数为 D 时第2 参数为 Q 时
闪烁
闪烁
点亮
基准值
13. 另外用数字键输入 D (Q) 的基准值。
可设定范围： -199999 ～ 199999
移动数位 ......
更改数值 ......
基准值用计数值来设定。出厂时被设定为 “ 0 ”
80
5.2 BIN
分选测量功能
14. 按，确定D (Q) 的基准值。
15. 按，进入D (Q) 的上限值设定模式。
如果不按 键，则不确定当前输入的基准值。上一次的基准值仍然有
效
( 在次显示区设定⊿％时 )
点亮
闪烁
点亮
上限值
闪烁
上限值
（OFF）
第 2 参数为 D 时第2 参数为 Q 时
16. 另外用数字键输入 D (Q) 的上限值。
可设定范围 : OFF 、 -199999 ～ 199999（设为 OFF 时
移动数位.......
更改数值.......
即使设定值小于下限值，也不会出错，但不能进行正确判定。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
17. 按，确定D (Q) 的上限值。
进入 D (Q) 的下限值设定模式。
( 在次显示区设定⊿％时 )
点亮
(⇒ 第 82 页 )）
点亮
闪烁
第 2 参数为 D 时
下限值
（OFF）
闪烁
下限值
第 2 参数为 Q 时
81
18. 同样 另外用数字键输入 D (Q) 的下限值。
出厂时，设定为 “－－－－－－” (OFF)。
19. 按，确定D (Q) 的下限值。
20. 按键。
进入 BIN 分选测量模式。
( 点亮 )
参照 :“关于 BIN 分选测量结果” (⇒ 第 83 页 )
5.2 BIN
分选测量功能
5
• 进行⊿设定、⊿ % 设定时的基准值是与测量条件无关的显示计数值。如果测量条
件不同，计数值所意味的绝对值也会发生变化。
例如，当前量程为 100 pF 量程时，表示 C 的计数值 50000 = 50E-12、 D 的计数
值 100 = 0.00100、 Q 的计数值 100 = 10.0。
• 第 2 参数的基准值与上下限值使用计数值，与参数设定无关。
•BIN分选测量模式的测量条件使用普通测量时的测量条件。普通测量模式下，请
设定 BIN 分选所使用的测量条件。
• 确定上、下限值时，不进行出错判定。
• 如果上、下限值的设定出错，将不能进行正确的判定，因此请注意以下 2 点。
·设定值是否在量程的显示范围之内？
·上限值和下限值的大小关系是否正确？
• 设定结束后，确定判定范围时，可使用 切换判定范围的显示。
82
5.2 BIN
上、下限值设定为 OFF 时 ____________________________________________
分选测量功能
1. 输入上、下限值时，按 键将闪烁位往左侧移动，按住 键 2 秒以上；
或者按 键往右侧移动，按住 2 秒以上。
显示切换到 “－－－－－－”，成为 OFF 设定。
2. 按键，确定OFF 设定。
3. 按键。
返回 BIN 分选测量模式。
( 点亮 )
解除 BIN 分选测量时 _________________________________________________
在 BIN 分选测量模式 (BIN 分选的 LED 点亮 ) 的状态下，按 。
测量模式的 LED 按 BIN 至 NORM 的顺序点亮，变成普通测量模式。
83
5.2 BIN
分选测量功能
关于 BIN 分选测量结果 ________________________________________________
• 检查是否在按BIN分选编号从小到大顺序设定的上、下限值的范围之内，最初进
入范围内的 BIN 分选编号作为判定结果显示。
•BIN分选测量模式下，除触发设定之外不能更改测量条件。请按
键，设成普通测量模式后再更改测量条件。
• 按 键可以切换次显示区的显示。
C 的基准值 ( ⊿设定与⊿ % 设定时 ) ↔ BIN1 ～ 13 的上 / 下限值 ↔ D (Q) 的基
准值 ( ⊿设定与⊿ % 设定时 ) ↔ D (Q)的上 / 下限值 ↔ 显示 OFF ↔ C 的基准值 ...
•C、D (Q)的上限值与下限值均未设定时，BIN分选判定结果显示区显示OUT。 量
程自动变为 HOLD。
判定结果显示
在 BIN 分选判定结果显示区显示各个判定结果。
5
C
上限值
Hi
D-NG D-NG
下限值
测量值小于 D (Q) 的
下限值时
Lo
OUT
BIN1
BIN2
…
BIN13
OUT
Lo Hi
下限值 上限值
测量值在 D (Q)
的上、下限值
判定范围之内
时
测量值大于 C 的上限
值时
测量值在 C 的上、下
限值范围之内时
测量值小于 C 的下限
值时
D(Q)
测量值大于 D (Q) 的
上限值时
84
5.2 BIN
分选测量功能
判定结果的输出 • 从 EXT I/O 输出 BIN 分选判定结果 （BIN1 ～ 13、 OUT OF BINS、 D-NG）。
参照 :“7.1 关于 EXT I/O 接口” (⇒ 第 115 页 )
• 可通过鸣音判别 BIN 分选判定结果 （IN/ NG）。
参照 :“6.12 设定鸣音” (⇒ 第 104 页 )
使用 BIN 分选测量模
式有效键
按键 功能
切换测量模式。
切换至上、下限的设定模式。
用 INT/EXT 切换触发设定。
触发设定仅在 EXT 时有效。
每按一次进行一次测量。
可设定以下菜单。
• “LoAd_A(C/h)”
• “SAVE”
• “Ld_tYP”
• “Lo C”
• “LEV.Chk”
• “bEEP_K ”
• “dISP”
• “IF”
除此之外的设定，请在进入普通测量模式之后再进行设定。
不能在 BIN 分选测量模式下设定的菜单，在主显示区下部会显示
“－－－－”。
切换按键锁定功能、解除远程控制状态。
6.1
使用平均值功能
使用应用功能 第 6 章
6.1 使用平均值功能
使用平均值功能进行测量值的均化处理。使用该功能，即使在噪声较多的
环境下，也可以降低测量值的偏差。
1. 普通测量模式时按 键。
主显示区的上部显示菜单内容，主显示区的下部显示详细设定。
（菜单的顺序请参照
“菜单画面构成” (⇒ 第 13 页 )）
85
比较器测量、 BIN 分选测量模式下不能更改。
2. 按 ，选择 “AVErAG”。
（主显示区）
菜单内容
“on”或 “oFF”闪烁
（平均次数的设定画面）
( 次显示区显示“on”时 )
6
平均次数点亮
3. 按 键，选择平均值功能的有效 / 无效。
每按一次
键，会在 “on”、“ oFF”间切换。
4. 按 键，确定平均值功能的有效 / 无效。
选择 “oFF”时，不进行平均值处理。
主显示区显示 “dELAY”（触发延时设定画面）。
选择 “on”时，次显示区中间的平均次数闪烁。
86
6.1
使用平均值功能
5. 选择 “on”时
另外用数字键输入平均次数。
( 用数字键输入数值时，从较小的位依次输入 )
可设定范围：1 ～ 256
移动数位.......
更改数值.......
6. 按键。
确定平均次数的设定。
确定后，主显示区显示 “dELAY”（触发延时设定画面）。
如果不按 键，就不确定平均次数的设定。
7. 按键。
返回普通测量模式。
6.2 设定触发延时
设定从检测出触发至开始测量之间的延迟时间。
使用该功能，即使在刚刚连接被测元件之后开始测量，也可以在测量值稳
定之后开始测量。
1. 普通测量模式时按 键。
主显示区的上部显示菜单内容，下部显示详细设定。
（菜单的顺序请参照
比较器测量、 BIN 分选测量模式下不能更改。
2. 按键，选择“dELAY”。
“菜单画面构成” (⇒ 第 13 页 )）
6.2
设定触发延时
87
（主显示区）
菜单内容
“on”或 “oFF”闪烁
（触发延时的设定画面）
（次显示区显示 “on”时）
延时时间点亮
3. 按 键，选择触发延时的有效和无效。
每按一次 键，会在 “on”
、“oFF”间切换。
6
4. 按 键，选择触发延时的有效和无效。
选择 “oFF”时，主显示区显示 “Frq.SFt” ( 频率切换设定画面 )。
选择 “on”时，次显示区中间所显示的延时时间的左端闪烁。
88
6.2
设定触发延时
5. 选择 “on”时
另外用数字键输入延时时间。
（通过数字键输入数值时，数位会逐个向右移动）
可设定范围：0.000 ～ 9.999(s)
移动数位.......
更改数值.......
6. 按 键，确定延时时间的设定。
主显示区显示 “Frq.SFt”（频率切换的设定画面）。
如果不按
键，就不确定延时时间的设定。
7. 按键。
返回普通测量模式。
6.3 使用接触检测功能
接触检测功能包括如下两种功能。
• 排除异常低的测量结果 (Low C 拒绝功能 ) (⇒ 第 90 页 )
C 的测量值异常低时，可将其测量结果作为错误加以检测。可识别触针是否接
触被测元件。
如果将相对于当前选择量程的满量程的百分比设定为极限值，低于此值时，则
检测为接触出错。
例如，在 100 pF 量程中设定为 1%，测量值为 1 pF 以下时，检测为接触出错。
使用开路补偿、短路补偿、负载补偿结束之后的测量值进行判定。
接触出错时的测量值、比较器与 BIN 分选的判定结果按常规方式处理。
通过偏置补偿，测量值小于极限值时，这并不是接触出错。
6.3
使用接触检测功能
89
• 排除接触时的振动 ( 检测电平监视功能 )
通过监视电压有效值 （Vmoni）、电流有效值 (Imoni) 的变量，可以检测出触针
与被测元件接触时产生的振动等测量波形异常。
判定方法：在模拟测量期间，对 Vmoni、 Imoni 进行数次计算，以最初计算的
Vmoni、 Imoni 为基准值，对于此后计算的 Vmoni、 Imoni，使用下述公式计算
⊿ % 值。
⊿ % = （有效值－基准值） / | 基准值 | ×100
如果⊿ % 超出设定的限值，则作为接触出错加以检测。
(⇒ 第 92 页 )
6
90
6.3
使用接触检测功能
6.3.1 Low C 拒绝功能的设定
1. 按键。
主显示区的上部显示菜单内容，主显示区的下部显示详细设定。
（菜单的顺序请参照
2. 按 键，选择 “Lo C”。
（主显示区）
（Low C 拒绝功能的设定画面）
“菜单画面构成” (⇒ 第 13 页 )）
菜单内容
“on”或 “oFF”闪烁
( 次显示区显示“on”时 )
极限值点亮
3. 按键，选择Low C 拒绝功能的有效 / 无效。
每按一次 键，会在 “on”
、“oFF”间切换。
4. 按键，确定Low C 拒绝功能的有效 / 无效。
选择“oFF”时，会在主显示区显示“LEV.ChK” ( 检测电平监视功能的设
定画面 )。
选择 “on”时，次显示区中间的极限值左端闪烁。
5. 选择 “on”时
另外用数字键输入极限值。
（通过数字键输入数值时，数位会逐个向右移动）
可设定范围：0.000 ～ 10.000 (%)
移动数位.......
更改数值.......
6.3
使用接触检测功能
6. 按 键，确定极限值。
会在主显示区显示 “LEV.ChK”（检测电平监视功能的设定画面）。
如果不按 键，则不确定 Low C 拒绝功能的设定。
7. 按键。
返回显示菜单内容之前的测量模式。
判定结果的显示 在 BIN 分选判定结果显示区显示 Low C 拒绝出错 (ERR)。
91
点亮
判定结果的输出 • 取得测量值命令 :MEASure? 应答数据的 < 测量状态 > 输出 “5”。
参照 :“测量数据的查询” (⇒ 第 216 页 )
• 输出表示事件状态寄存器 ESR3 的 5 位。
参照 :“事件状态寄存器 3 的查询” (⇒ 第 208 页 )
• 从 EXT I/O 输出 Low C 接触出错。
参照 :“7.1 关于 EXT I/O 接口” (⇒ 第 115 页 )
6
92
6.3
使用接触检测功能
6.3.2 检测电平监视功能的设定
1. 按键。
主显示区的上部显示菜单内容，主显示区的下部显示详细设定。
（菜单的顺序请参照
“菜单画面构成” (⇒ 第 13 页 )）
2. 按 键，选择 “LEV.ChK”。
（主显示区）
“on”或 “oFF”闪烁
（检测电平监视功能的设定画面）
菜单内容
( 次显示区显示“on”时 )
极限值闪烁
3. 按 ，选择检测电平监视功能的有效 / 无效。
每按一次 键，会在 “on”
、“oFF”间切换。
4. 按 ，确定检测电平监视功能的有效 / 无效。
选择 “oFF”时，主显示区显示 “JudGE” ( 判定模式的设定画面 )。
选择 “on”时，次显示区中间的极限值左端闪烁。
5. 选择 “on”时。
另外用数字键输入极限值。
通过数字键输入数值时，数位会逐个向右移动。
可设定范围：0.01 ～ 100.00(%)
移动数位.......
更改数值.......
6.3
6. 按 键，确定极限值。
主显示区显示 “JudGE” ( 判定模式的设定画面 )。
如果不按 键，就不确定检测电平监视功能的设定。
7. 按键。
返回显示菜单内容之前的测量模式。
判定结果的显示 在主显示区显示 。
参照 :“主显示区的出错显示” (⇒ 第 14 页 )
判定结果的输出 • 按如下所示输出取得测量值命令 :MEASure? 的应答数据。
< 测量状态 >4、 <C 的测量值 >777777E+77、 <D (Q) 的测量值 >777777
参照 :“测量数据的查询” (⇒ 第 216 页 )
• 输出到事件状态寄存器 ESR1 的 BIT7 中。
参照 :“事件状态寄存器 1 的查询” (⇒ 第 207 页 )
• 从 EXT I/O 输出检测电平异常。
参照 :“7.1 关于 EXT I/O 接口” (⇒ 第 115 页 )
93
使用接触检测功能
6
即使在正常接触状态下，也可能会因外来噪声的影响而导致错误输出。( 可判定外
来噪声 )
94
6.4
使用检测电流电路监视功能
6.4 使用检测电流电路监视功能
针对被测物的量程设定较低时，以及被测物处于短路状态时，会发生允许
范围之外的电流波形。
可将其作为测量信号异常来检测。
• 可使用通信命令选择监视功能的有效 / 无效。
初始值被设定为 ON。
• 作为错误被检测时，主显示区会显示 。
参照 :“主显示区的出错显示” (⇒ 第 14 页 )
• 按如下所示输出取得测量值命令 :MEASure? 的应答数据。
< 测量状态 >8、 <C 的测量值 >555555E+55、 <D (Q) 的测量值 >555555
参照 :“测量数据的查询” (⇒ 第 216 页 )
• 输出到事件状态寄存器 ESR0 的 BIT5 中。
参照 :“事件状态寄存器 0 的查询” (⇒ 第 206 页 )
6.5 使用施加电压值监视功能
在将测量端子设为开路状态下，规定本仪器的测量信号电平。
在本仪器的输出阻抗的影响下，施加在被测元件上的电压会低于所设定的
信号电平。
基于该功能，在施加电压偏离所设定的极限值时，可作为出错来检测。
• 可使用通信命令选择监视功能的有效 / 无效以及极限值。初始值被设定为 ON、
25.0%。
例如，当前的测量信号电平设定为 1(V) 时，变量的容许范围为 0.75 （V）～
1.25(V)。
参照 :“施加电压值监视功能的设定与查询” (⇒ 第 232 页 )
• 作为错误被检测时，主显示区会显示 。
参照 :“主显示区的出错显示” (⇒ 第 14 页 )
• 按如下所示输出取得测量值命令 :MEASure? 的应答数据。
< 测量状态 >6、 <C 的测量值 >666666E+66、 <D (Q) 的测量值 >666666
参照 :“测量数据的查询” (⇒ 第 216 页 )
• 输出事件状态寄存器 ESR0 的 6 位。
参照 :“事件状态寄存器 0 的查询” (⇒ 第 206 页 )
• 从 EXT I/O 输出施加电压异常。
参照 :“7.1 关于 EXT I/O 接口” (⇒ 第 115 页 )
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