Baumer OHDM 16P5651 User Manual [en, de, fr]

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Canada
Baumer Inc. CA-Burlington, ON L7M 4B9 Phone +1 (1)905 335-8444
Baumer (China) Co., Ltd. CN-201612 Shanghai Phone +86 (0)21 6768 7095
Denmark
Baumer A/S DK-8210 Aarhus V Phone +45 (0)8931 7611
France
Baumer SAS FR-74250 Fillinges Phone +33 (0)450 392 466
Germany
Baumer GmbH DE-61169 Friedberg Phone +49 (0)6031 60 07 0
India
Baumer India Private Limited IN-411038 Pune Phone +91 20 2528 6833/34
Italy
Baumer Italia S.r.l. IT-20090 Assago, MI Phone +39 (0)2 45 70 60 65
Singapore
Baumer (Singapore) Pte. Ltd. SG-339412 Singapore Phone +65 6396 4131
Sweden
Baumer A/S SE-56133 Huskvarna Phone +46 (0)36 13 94 30
Switzerland
Baumer Electric AG CH-8501 Frauenfeld Phone +41 (0)52 728 1313
United Kingdom
Baumer Ltd.
GB-Watchfield, Swindon, SN6 8TZ
Phone +44 (0)1793 783 839
USA
Baumer Ltd. US-Southington, CT 06489 Phone +1 (1)860 621-2121
www.baumer.com/worldwide
Baumer Electric AG · CH-8501 Frauenfeld Phone +41 (0)52 728 1122 · Fax +41 (0)52 728 1144
Laserstrahl nie auf ein Auge richten. Es empfiehlt sich, den Strahl nicht ins Leere laufen zu lassen, sondern mit einem matten Blech oder Gegenstand zu stoppen.
Do not point the laser beam towards someone's eye. It is recommended to stop the beam by a mat object or mat metal sheet.
Ne dirigez jamais le faisceau vers un oeil. Il est conseillé de ne pas laisser le faisceau se propager librement mais de l'arrêter au moyen d'un objet de surface mate.
LASER RADIATION
DO NOT STARE INTO BEAM
Wavelength: 620...680nm
Max. av. Output: < 1mW
IEC 60825-1, Ed. 2, 2007
CLASS 2 LASER PRODUCT
Complies with 21 CFR 1040.10 and 1040.11 except for deviations
pursuant to laser notice No. 50, dated June 24, 2007
VORSICHT
CAUTION
ATTENTION
10159134
IND. CONT. EQ.
1DD2
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Technische Daten Technical data Données techniques
OHDM 16P5651
Tastweite Tw Sensing distance Tw Portée Tw
Abstand des Laserfokus Beam focal point Distance du foyer du laser
Betriebsspannungsbereich Vs (UL-Class 2) Voltage supply range Vs (UL-Class 2) Plage de tension Vs (UL-Class 2)
max. Stromverbrauch Mittelwert / Spitzenwert max. supply current average / peak Consommation moyenne max. / Valeure de pointe
max. Schaltstrom max. switching current Courant de sortie max.
Spannungsabfall Voltage drop Tension résiduelle
Steuereingang Laser ein Laser control input on Entrée test laser on
Steuereingang Laser aus Laser control input off Entrée test laser off
Ansprechzeit Response time Temps d'activation
Abfallzeit Release time Temps désactivation
Kurzschlussfest Short circuit protection Protégé contre courts-circuits
Verpolungsfest Reverse polarity protection Protégé contre inversion de polarité
Betriebstemperatur Temperature range Température de service
Schutzklasse Protection class Classe de protection
max. Anzugsdrehmoment max. tightening torque Couple max. de serrage
Laserstrahlverlauf Laser beam chart
50 mm 100 mm 133 mm0 mm
Diagramme du faisceau laser
laser axis
123 ... 143 mm
133 mm
10 ... 30 VDC
25 mA / 35 mA
200 mA
£1,8 VDC
VL £ 1,0 VDC
VL ³ VS - 4,0 VDC / open
typ 3,5 ms / max. 5 ms
typ 3 ms / max. 5 ms
ja / yes / oui
ja / yes / oui
-5 ... +50 °C
IP 67
-- Nm
typ. width of laser line
beam pointing accurracy
0 mm
typ. length of laser line 2 mm
beam pointing accurracy ± 1.3 mm ± 1.7 mm ± 2 mm
1.6 mm
± 1.3 mm ± 1.7 mm
50 mm
0.7 mm
100 mm 133 mm
8 mm
0.15 mm
± 2 mm
12 mm
laser axis
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Montage und Justage Mounting Montage
OHDM 16P5651
 Der Laser-Lichtt aster kann sowohl mit dem Befestigungs-
 Der Taster ist immer auf das Tastgut auszurichten. Bewegte
 Zur Reinigung der Frontscheibe genügt i.a. ein sauberer (!),
 Den Sensor exakt parallel zur Waferoberfläche montieren
 Den Sensor mit einer Distanz von 123 bis 143 mm zur
 Der Laserstrahl muss die Waferkante in einem Winkel von
Ausrichtung des Sensors Sensor alignment instruction Alignement du capteur
winkel Art.-Nr. 113917 oder direkt mit M4-Schrauben be­festigt werden.
Objekte sollten den Laserstrahl seitlich anfahren (siehe Pfeil** in Zeichnung "Abmessungen" auf Seite 1).
weicher und trockener Stofflappen. Bei starker Verschmutz­ung kann reiner Alkohol verwendet werden.
(Bild 1).
Waferkante montieren (Bild 2).
85° bis 87° treffen (Winkel in der Waferebene gemessen) (Bild 2).
Figure 1 Figure 2
 The diffuse laser sensor can be directly installed using the
3 through holes provided for M4 screws or with the mount bracket 113917.
 Sensor must always be aimed at target. Moving parts must
approach laser beam laterally (see arrow** in drawing "dimensions" on page 1).
 When cleaning the front window of the sensor use a
clean (!), soft and dry cloth. In case of severe soiling the use of pure alcohol is recommended.
 Mount the sensor exactly parallel to the wafer surface
(figure 1).
 Mount the sensor at a distance of 123...143 mm from the
wafer edge (figure 2).
 Mount the sensor in such a way that the laser beam hits
the wafer edge at an angle of 85° bis 87° (angle measured within the wafer surface plane) (figure 2).
 Le détecteur réflex laser peut être monté avec l'équerre
de fixation Art.-Nr. 113917 ou tout simplement avec des vis type M4.
 Alignez le faisceau laser sur les objets à détecter. Des
objets en mouvement devraient approcher le faisceau latéralement (voir flèche** dans le dessin "dimensions" à la page 1).
 Le nettoyage de la fenêtre front ale se fait en général
avec un chiffon propre (!), souple et sec. En cas d' encrassement tenace, on peut se servir d'alcool pur.
Montez le capteur précisément parallèle à la surface
des wafer (voir dessin 1).
 Montez le capteur à une distance de 123  143 mm
du bord des wafers (voir dessin 2).
 Montez le capteur dans une position afin que le
faisceau laser touche le bord des wafers dans un angle de 85° à 87°. Cet angle est mesuré dans le plan de la surface du wafer (voir dessin 2).
> 400 mm
Wafer
Wafer
3/3
OK
NOK
Sensor
Background
incidence poi nt
line at laser
Sensor
(173 ... 193 mm)
123 ... 143 mm
90°
86°
Wafer tangent
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