Asyst Technologies FALCON User Manual

Asyst Falcon™ 300mm Loadport

Technical Manual

with Installation Instructions

Tool Picture

Rev. Ax9 Date: 9/12/2008 P/N: 2000-6698-05

Disclaimers

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Manual Information

PCN: Unreleased Part Number: 2000-6698-05 Date: 9/12/2008 Release: Ax9

Asyst Technologies, Inc. 46897 Bayside Parkway Fremont, California 94538 Telephone: (510) 661-5000 FAX: (510) 661-5166 Technical Support: 1-800-342-SMIF

Falcon Technical Manual

Disclaimers

Trademarks

Asyst and the Asyst logo(s) are registered trademarks ® of Asyst Technologies, Inc. ADVAN-TAG and Falcon are trademarks

All other product and company names mentioned herein may be trademarks and/or service marks of their respective owners.

Equipment Modification

Any change, alteration, or modification to this equipment, as well as use of this equipment in a manner inconsistent with its intended use will void this equipment’s warranty and may render this equipment unsafe for use or unfit for its intended purposes.

Training and Languages

User training for equipment operation and maintenance is conducted in English. Translators are available on an as needed basis. English versions of the manuals and other technical materials are provided and reviewed during the training. Please contact the Asyst Training department or http://www.asyst.com for the training schedule and signup requirements.

Warranty

For warranty information, see Asyst’s Standard Terms and Conditions.

of Asyst Technologies, Inc.

Draft Ax9 2000-6698-05 Page iii

Falcon Technical Manual Reader Comments

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Page iv 2000-6698-05 Draf t Ax9

Acronym List

AGV Automated Guided Vehicle APHD Active Pod Hold Down ASCII American Standard Coding for Information Interchange CAN Control Area Network DSP Digital Signal Processor EMI Electromagnetic Interference EMO Emergency (Machine) Off ESD Electrostatic Discharge FIMS Front-opening Interface Mechanical Standard FOUP Front Opening Unified Pod K-Plate Kinematic Plate (also referred to as FOUP Advance Plate) MGV Manually Guided Vehicle OEM Original Equipment Manufacturer OHS Overhead Hoist Shuttle OHT Overhead Transport or Overhead Hoist Transport PCB Printed Circuit Board PN or P/N Part Number RFID Radio Frequency IDentification SEMI Semiconductor Equipment and Materials International SMIF Standard Mechanical Interface

Draft Ax9 2000-6698-05 Page v

Falcon Technical Manual Acronym List

Page vi 2000-6698-05 Draft Ax9

Revision History

This section gives an overview of the change history for the document.

Date Author Version Revision Information

11/15/2007 Catherine Day Ax1 Created using 2000-2414-05 Rev. C as a base. 1/10/2008 Catherine Day Ax2WIP WIP - Compiled for Mike F. Reference Only 3/21/2008 Catherine Day Ax2 Compiled for training class. Huge gaps in Installation,

Overview, Interfaces and Comm SW which we will attempt to

fill during training week 3/24-28. 3/28/2008 Catherine Day Ax3WIP WIP - Compiled for Tou Vang. Reference Only 04/08/2008 Catherine Day Ax3 Added redlines from Training class. Updated some images with

Beta images. Added verifications steps after Service procedures.

Added 100-240VAC Option. Added removal of FOUP Advance

under cover to affected Service procedures. Fleshed out

Overview Chapter. 04/18/2008 Catherine Day Ax4 Added redlines and new input from Tou Vang, Mike

Fahkrabadhi, Selby Sondergaard, Chi Yeh, Gary Durham, Grant

Imper, Pranav Desai. Updated more images. 04/24/2008 Catherine Day Ax5 Added redlines and new input from Tou Vang, Mike

Fahkrabadhi, Selby Sondergaard, Matt Hoang. Updated more

images. 5/30/2008 Catherine Day Ax6 Added Content from Tou Vang, Mike Fahkrabadhi and drawings 7/11/2008 Catherine Day Ax7 Expanded Software upgrade procedure and made it part of the

Service Chapter. Added input from John Green and Pranav

Desai. Made changes to all chapters and appendices.

Incorporated Beta 9 Software release notes, in many case

replacing existing content with info from the release notes.

Changed multiple illustrations. Updated all Assembly drawings

and PCB drawings.

Draft Ax9 2000-6698-05 Page vii

Falcon Technical Manual Revision History

Date Author Version Revision Information

9/3/2008 Catherine Day Ax8 Added input from John Greene, Duc Le, Bob Carlson, and

Pranav Desai. Made changes to all chapters and appendices.

Incorporated Beta 10 Software release notes. Updated all

Assembly drawings and PCB drawings. 9/22/2008 Catherine Day Ax9 FINAL DRAFT -Removed information duplicated in the

Software Communications Manual and just reference that

document.

Added Remove and Replace instructions for the E84 and AC

Power Options. Edited all service procedures to show new front

panel removal. Updated all Assembly drawings and PCB

drawings.

Added customer cable routing for the E84 and AC Option to the

Installation Appendix. Added Details about the Vertical Brake.

Added comments/corrections from Chris Lueders, John Greene,

Duc Le, Bob Carlson and Tou Vang. Added Specifications from

Engineering and Matt Hoang.

Page viii 2000-6698-05 Draft Ax9

Falcon Technical Manual

Table of Contents

Disclaimers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .iii

Manual Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .iii

Trademarks. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .iii

Equipment Modification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .iii

Training and Languages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .iii

Warranty . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .iii

Reader Comments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .iv

Acronym List. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .v

Revision History . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .vii

Preface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1

About this Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1

Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2

Chapter 1: Safety Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3

Chapter Summary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3

General Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4

General Safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4

Electrical Safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4

Responsibility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5

Safety Tags. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

Safety Requirements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

ESD / EMI Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

EMO & Electrical Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8

Lockout/Tagout . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8

Pinch Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9

During Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11

Seismic . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

Ergonomic . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

Wafer Mapper Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

100-240VAC Option. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

E84/PIO/ Interlock Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

Draft Ax9 2000-6698-05 Page ix

Falcon Technical Manual

Tilt and Go Wheels Option. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

Agency Compliance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

FCC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

Compliance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

CE Mark. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

Safety Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

DC Voltage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

AC Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

Pinch Hazard. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

Port Door . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

FOUP Advance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

Moving and Handling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16

Labeling. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18

Chapter 2: Product Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23

Product Description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24

Major Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

Power. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

FIMS Door. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29

Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30

Ball Joint with Clamping for Port Door Alignment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30

Simplified Twist and Pull Latch Key Drive . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30

Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

Ground Path to FOUP Door. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

Configurable Latch Key Over-Rotation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

Vertical-Horizontal Door Drive. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

Single Motor for Two Axes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

Upper Pulley/Brake/Encoder Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33

Fan Assembly. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33

FOUP Advance Subassembly. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34

Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35

Torque Tube with Cantilevered Supports. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35

Manual Load/Unload Push Button Switch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35

K-Plate Node PCB . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36

Cam Activated Pod Hold Down . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36

Page x 2000-6698-05 Draft Ax9

Falcon Technical Manual

Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36

BOLTS Frame. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

Main Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

Light Display Node PCB. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

Excessive Wafer Protrusion Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

Static Entry Node PCB. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39

Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40

Wafer Mapper Assembly Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40

100-240VAC Power Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41

E84/PIO/Interlock Option. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43

Components. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43

Tilt & Go Wheels Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44

Operation Sequence. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45

Chapter 3: Interfaces. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49

Chapter Summary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49

Communication Interfaces . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50

Status Indicator Lights. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51

Command for LED Configuration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51

Falcon Application Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52

Using the Falcon GUI . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53

Accessing the GUI. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53

Navigating Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55

System Icon Details. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55

Wafer Status Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56

Service Mode Commands Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56

Motor Control Commands Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60

E84 Status Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

LED Controls Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

System Info Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62

Setup Icon Details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62

Host Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63

Users and Passwords . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64

Axes Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65

E84 Configuration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

Wafer Mapper Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

DSP Firmware . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

LED Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

Draft Ax9 2000-6698-05 Page xi

Falcon Technical Manual

System Log Icon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69

Alarms Icon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70

Diagnostics Icon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70

Chapter 4: Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71

Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71

Safety Requirements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72

General Safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72

Electrical Safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72

Mechanical Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73

ESD Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73

Tool and Fixture Requirements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73

Remove and Replace Falcon 74

Corrective Service Procedures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81

CSP1: Replace Falcon K-Plate Node PCB . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82

CSP2: Replace Falcon Door Node . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89

CSP3: Replace Vertical/Horizontal Drive Motor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95

CSP4: Replace Pod Hold Down Motor Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106

CSP5: Replace Wafer Mapper Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112

CSP6: Replace Display Node PCB . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117

CSP7: Replace Static Entry Node . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121

CSP8: Replace Link Manager/CPU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127

CSP9: Replace Latch Key Motor Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131

CSP10: Replace V/H Drive Upper Pulley Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137

CSP11: Replace Vertical Drive Belt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 147

CSP12: Upgrade Falcon Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 155

CSP13: Vertical Drive Belt Tensioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 161

CSP14: Remove and Replace E84 Board . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 168

CSP15: Replace AC Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 173

Chapter 5: Troubleshooting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 179

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 179

Collecting Falcon Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 179

Emergency Removal of Pod . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 182

Application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 182

Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 182

Remove Host Tool’s End-Effector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 182

Removal Using Falcon Application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 182

Error Codes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 185

Page xii 2000-6698-05 Draft Ax9

Falcon Technical Manual

Falcon Alarm Codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 186

Auto Recovery. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 188

About Alarm Codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 189

Recovery Procedures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 189

About Alarm 1 “Position following error”. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 190

About Alarm 2 “Vertical drive is not home”. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 190

About Alarm 3 “Motion requested while already busy”. . . . . . . . . . . . . . 191

About Alarm 4 & 30 “Pod is missing” . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 191

About Alarm 5 “Aborted by user” . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 192

About alarm 14, 24, 82, 83, 84, 86 & 87. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 192

Abort/Failed Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 194

Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 195

Error Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 195

Factory Default Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 198

Appendix A: Installation Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 199

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 199

Installing Falcon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 200

Handling Cautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 200

Operating Caution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 201

Installation Summary. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 201

Verify Asyst Supplied Materials. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 201

Verify the OEM Supplied Materials. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 202

BOLTS Interface Mounting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 202

Power Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 202

Grounding Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203

Requirement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203

Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203

Communications Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203

Prepare for Mounting Falcon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 204

Mount Falcon to the Host Tool . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 212

Verify Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 213

Adjust and Level Falcon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 215

Open Falcon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 215

Initial Height Adjustment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 216

Perform Final Adjustments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 217

Falcon Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 220

Display Light Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 220

Draft Ax9 2000-6698-05 Page xiii

Falcon Technical Manual

Appendix B: Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 221

Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 221

Compact Flash Contents. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 222

Communication with VxWorks Operating System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 223

Communication with Falcon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 225

Ethernet. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 225

Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 225

Serial Communication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 226

Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 227

Description of Falcon.ini . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 229

Communication Protocol Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 229

System Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 229

Without Wafer Arm Assembled: . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 229

With Wafer Arm Assembled: . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 229

Not Using 5mm Protrusion Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 229

Use 5mm Protrusion Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 229

Set-up Hyperterminal for Ethernet Communication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 230

Set-up Hyperterminal for Serial Communication. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233

Appendix C: Material Safety Data Sheet Information . . . . . . . . . . . . 237

Appendix D: Wiring Diagrams. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239

3400-6653-01 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 240

Appendix E: PCB Assemblies. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 247

3200-4269-01 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 248

3200-4270-01 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 249

3200-4346-03 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 250

3200-4347-03 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 252

3200-4348-03 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 254

3200-4349-02 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 256

3200-4350-01 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 260

Appendix F: Bills of Material and Assembly Drawings . . . . . . . . . . . 261

Falcon Final Assembly, 9701-3995-01 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 262

BOM. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 262

9701-3995-01 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 264

Falcon Sub-Systems Assembly, 9701-4033-01 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 268

BOM. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 268

Page xiv 2000-6698-05 Draft Ax9

Falcon Technical Manual

9701-4033-01 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 271

FOUP Advance, 9701-3834-02. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 275

BOM. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 275

9701-3834-02 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 276

FIMS Door, 9701-3909-01 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 278

BOM. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 278

9701-3909-01 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 280

2000-6803-01 Falcon Outline Drawing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 284

Index. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 287

Draft Ax9 2000-6698-05 Page xv

Falcon Technical Manual

Page xvi 200 0-6698-05 Draft Ax9

Falcon Technical Manual

List of Figures

Figure 1 Falcon Ground Point. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

Figure 2 Pinch Hazards During Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9

Figure 3 Shipping Bracket Securing FIMS Door. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10

Figure 4 Areas of Pinch/Crush Hazard. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11

Figure 5 Seismic Attachment Points. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

Figure 6 Tool Side Corners. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17

Figure 7 Falcon Label Placement (Operator Side). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20

Figure 8 Falcon Label Placement (Host Tool Side) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21

Figure 9 Falcon with AC Option Only . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22

Figure 10 Falcon Loadport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23

Figure 11 Falcon Loadport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

Figure 12 Static Entry Node PCB Assembly with Link Manager/CPU . . . . . . . . . . 26

Figure 13 Falcon Basic Outline. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

Figure 14 FIMS Door, Front View. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29

Figure 15 FIMS Door, Rear View (without Cover) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29

Figure 16 Ball Joint Design. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30

Figure 17 Simplified Twist and Pull Latch Key Drive . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30

Figure 18 Vertical/Horizontal Door Drive Components. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

Figure 19 FOUP Advance Plate without Cover . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34

Figure 20 FOUP Advance Load/ Unload Push Button Switch . . . . . . . . . . . . . . . . 35

Figure 21 Light Display Node PCB. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

Figure 22 Static Entry Node PCB . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39

Figure 23 Wafer Mapper Uninstalled . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40

Figure 24 Components of the 100-240VAC Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41

Figure 25 Tool Side View . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41

Figure 26 Wiring for the AC Option. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42

Figure 27 E84 Board. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43

Figure 28 Falcon Tilt & Go Wheels. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44

Figure 29 Diagram of Falcon Communication Paths . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50

Figure 30 LED-IDs, Indicator Lights . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51

Figure 31 Falcon System Logon Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54

Figure 32 System Overview Screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55

Figure 33 Wafer Status Screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56

Figure 34 Service Mode Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56

Figure 35 Motor Drop-Down Menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57

Figure 36 Servo Control Drop-Down Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57

Figure 37 Calibration Axes Drop-Down Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57

Figure 38 Wafer Mapper Arm Drop-Down Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58

Figure 39 Laser Drop-Down Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58

Figure 40 FOUP Advance Drop-Down Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58

Figure 41 Vertical Door Drop-Down Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58

Figure 42 Latch Keys Drop-Down Menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59

Figure 43 Miscellaneous Drop-Down Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59

Figure 44 Button Report Drop-Down Menu (Not Active) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59

Figure 45 Motor Control Commands Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60

Figure 46 E84 Status Page (Currently Inactive) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

Draft Ax9 2000-6698-05 Page xvii

Falcon Technical Manual List of Figures

Figure 47 LED Controls Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

Figure 48 System Info Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62

Figure 49 Host Communications Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63

Figure 50 Users and Passwords Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64

Figure 51 Axes Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65

Figure 52 E84 Configuration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

Figure 53 Wafer Mapper Parameters Screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

Figure 54 DSP Firmware Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

Figure 55 LED Setup Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

Figure 56 Falcon System Log Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69

Figure 57 Falcon Alarms Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70

Figure 58 Falcon Front Cover. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74

Figure 59 Power and Communication Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75

Figure 60 AC Power Input (on Falcons with AC Option Only) . . . . . . . . . . . . . . . . 75

Figure 61 Shipping Bracket Securing FIMS Door. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76

Figure 62 Falcon Tilt and Go Wheels. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77

Figure 63 Falcon Mounting - Lower Pivot Mounting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78

Figure 64 Guide Posts for Falcon Front Cover. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80

Figure 65 Falcon K-Plate Node PCB . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82

Figure 66 FOUP Advance Underside Cover. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83

Figure 67 K-Plate Cover. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84

Figure 68 The Underside of the FOUP Advance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85

Figure 69 Screw Securing the K-Plate Node Board . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86

Figure 70 Falcon Door Node . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89

Figure 71 Falcon Door Cover and Cable Grommet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90

Figure 72 Falcon Door Node PCB . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90

Figure 73 Cable Connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91

Figure 74 Attachment Screws - Falcon Door Node . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92

Figure 75 Vertical/Horizontal Drive Motor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95

Figure 76 Shipping Bracket Securing FIMS Door. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96

Figure 77 AC Option Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97

Figure 78 E84 Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97

Figure 79 Vertical Belt Cover/Fan Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98

Figure 80 Drive Belt Tension Adjust and Drive Motor Axle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99

Figure 81 Jam Nut . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100

Figure 82 Belt Tension Adjust. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100

Figure 83 Motor Cable Connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101

Figure 84 Vertical Drive Motor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102

Figure 85 Drive Belt Teeth Engaged with the Gear Teeth. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103

Figure 86 Active FOUP Hold Down Motor Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106

Figure 87 APHD Motor - Viewed from Underside of FOUP Advance. . . . . . . . . . 107

Figure 88 Access Holes for Motor Assembly Screws. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108

Figure 89 Locator Guide Pins. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109

Figure 90 Motor Assembly Gear Wheel Engaged with Gear Rack. . . . . . . . . . . . 109

Figure 91 Wafer Mapper Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .112

Figure 92 Wafer Mapper and Screw Location . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113

Figure 93 Wafer Mapper Cable Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .114

Figure 94 Wafer Mapping Assembly Approaching Guide Pins. . . . . . . . . . . . . . . .114

Figure 95 Display Node PCB . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .117

Figure 96 Bezel Over the Panel Display Board . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .118

Page xviii 2000-6698-05 Draft Ax9

Falcon Technical Manual

List of Figures

Figure 97 Panel Display PCB. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .118

Figure 98 Hardware Stack for Securing Hardware. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .119

Figure 99 Static Entry Node . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121

Figure 100Belt Cover/Fan Assembly. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122

Figure 101Cable Connections and Link Manager/CPU Screws . . . . . . . . . . . . . . 123

Figure 102Screws and Standoff Locations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124

Figure 103Connections to Static Entry Node Board . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125

Figure 104Link Manager/CPU. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127

Figure 105Belt Cover/Fan Assembly and Link Manager/CPU Location . . . . . . . . 128

Figure 106Compact Flash Socket on the Link Manager/CPU. . . . . . . . . . . . . . . . 129

Figure 107Latch Key Motor Assembly. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131

Figure 108Latch Key Motor and Latch Key Drive Plate Assemblies . . . . . . . . . . . 132

Figure 109Cable Clamp and Cable Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133

Figure 110Placement of the Latch Key Motor Assembly. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134

Figure 111 Motor Encoder Cable Connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134

Figure 112Engaging the Lead Nut with the Lead Nut Retainer Pins. . . . . . . . . . . 135

Figure 113V/H Drive Upper Pulley/Brake/Encoder Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . 137

Figure 114AC Option Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 139

Figure 115E84 Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 139

Figure 116Vertical Belt Cover/Fan Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 140

Figure 117Encoder Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 141

Figure 118Upper Pulley Cable Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 141

Figure 119Encoder Cable Ground Wire on Upper Pulley Assembly . . . . . . . . . . . 142

Figure 120Drive Belt Tension Adjust . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142

Figure 121Jam Nut on Drive Belt Tension Adjust . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143

Figure 122Belt Tension Adjust. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143

Figure 123V/H Drive Upper Pulley Assembly Screws. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 144

Figure 124Vertical Drive Belt. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 147

Figure 125Vertical Belt Cover/Fan Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149

Figure 126Vertical/Horizontal Drive Upper Pulley Assembly Screws . . . . . . . . . . 150

Figure 127Drive Belt Tension Adjust Bolt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150

Figure 128Jam Nut on Drive Belt Tension Adjust . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 151

Figure 129Vertical/Horizontal Drive Motor Axle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 151

Figure 130Lock Plate Securing the Drive Belt. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152

Figure 131Copy Zip File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 155

Figure 132Paste Zip File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 156

Figure 133Extract Zip Contents to Compact Flash . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 156

Figure 134The Ensurehomesteps Value Below [VerticalDoor_1] . . . . . . . . . . . . . 158

Figure 135Compact Flash on the Link Manager/CPU. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 159

Figure 136Belt Tension Meter - Power Button. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 162

Figure 137Meter Screen Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 162

Figure 138Buttons on Meter Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163

Figure 139Sensor Positioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 164

Figure 140Vertical Drive Upper Pulley/Brake/Encoder Assembly Screws. . . . . . . 165

Figure 141Jam Nut . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166

Figure 142Belt Tension Adjust Nut . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166

Figure 143E84 PCB. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 168

Figure 144Belt Cover/Fan Assembly with E84 Board and AC Option. . . . . . . . . . 169

Figure 145Cable Connections and Screws. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 170

Figure 146AC Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 173

Draft Ax9 2000-6698-05 Page xix

Falcon Technical Manual List of Figures

Figure 147Cable Wiring Going to the AC Option Power Supply . . . . . . . . . . . . . . 174

Figure 148AC Option Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 174

Figure 149Power Supply Mounting Bracket . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 175

Figure 150AC Power Supply Mounting Hardware. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 175

Figure 151AC Power Input . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176

Figure 152Run Pop-up Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 179

Figure 153Command Window. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 180

Figure 154Logged On to Falcon FTP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 180

Figure 155Falcon.ini Opened in a Notepad Window. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 181

Figure 156Factory Default Settings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 198

Figure 157Falcon Handling Points. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 200

Figure 158Falcon Ground Point. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203

Figure 159Interface Mounting Kit Components. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 205

Figure 160BOLTS Interface Kit Components Mounted on Host Tool. . . . . . . . . . . 206

Figure 161Alignment Plates. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 206

Figure 162FIMS Door Shipping Bracket . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 207

Figure 163Foam for Securing Wafer Mapper Arms. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 208

Figure 164Ground Connection and Cable Pass-Thru. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 209

Figure 165Static Entry Node Connector Panel (selected connectors shown). . . . 210

Figure 166AC Power Input (on Falcons with AC Option Only) . . . . . . . . . . . . . . . .211

Figure 167Falcon Mounting - Alignment Ball and Cam Adjustments . . . . . . . . . . 212

Figure 168Hyperterminal with Connection Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 230

Figure 169Hyperterminal with Connect To. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 231

Figure 170ASCII Setup Pop-up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 232

Figure 171Hyperterminal Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 232

Figure 172Hyperterminal with Connection Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233

Figure 173Connect To Pop-up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 234

Figure 174Com1 Properties Pop-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 234

Figure 175ASCII Setup Pop-up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 235

Page xx 2000-6698-05 Draft Ax9

Falcon Technical Manual

List of Tables

Table 1 List of Falcon Labels. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18

Table 2 Falcon Product Specifications*. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

Table 3 Static Entry Node Connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39

Table 4 Vertical Door Taught Positions (mm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65

Table 5 Recommended Velocity and Acceleration Parameters for the Vertical

Door . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66

Table 6 FOUP Positions (mm). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66

Table 7 Latch Key Positions (mm). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66

Table 8 Special Tools. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73

Table 9 Corrective Service Procedures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81

Table 10 Falcon Error Codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 185

Table 11 Alarm Codes with Descriptions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 186

Table 12 Alarm Codes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 188

Table 13 Abort/Failed Messages. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 194

Table 14 General Problem Resolutions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 195

Table 15 Wafer Mapping Problem Resolution. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 196

Table 16 Falcon Wiring Diagrams. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239

Table 17 Falcon PCB Assembly Drawings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 247

Table 18 Assembly Drawings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 261

Draft Ax9 2000-6698-05 Page xxi

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Asyst Technologies FALCON User Manual

Specifications and Main Features

Frequently Asked Questions

User Manual