TPS-mobile
Models: 9698400, 9698402, 9698404, 9698406, 9698412,
9698416, 9698418, 9698422, 9698424, 9698426, 9698428,
9698430, 9698432, 9698401, 9698403, 9698405, 9698411,
9698417, 9698419, 9698421, 9698423, 9698425, 9698427,
9698429, 9698431, 9698433
Manuale di istruzioni
Instruksjon manual
Bedienungshandbuch
Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi
Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones
Podrecznik instrukcji
Manual de istruções
Návod k použití
Bedrijfshandleiding
Návod na obsluhu
Istrukstionsbog
Priročnik za navodila
Bruksanvisning
User Manual
87-901-005-01 (F)
12/2018
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Notices
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Manual Part Number
Publication Number: 87-901-005-01 (F)
Edition
Edition 12/2018
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Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION
TPS-mobile
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 3/400
TPS-mobile
TPS-mobile
4/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Contents
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 5/400
Contents
Istruzioni per l’uso 13
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Immagazzinamento 19
Preparazione per l’installazione 20
Installazione 22
Uso 24
Unità Speciali 31
Manutenzione 32
Smaltimento 33
Gebrauchsanleitung 35
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 36
Allgemeine Informationen 37
Lagerung 41
Vor der Installation 42
Installation 44
Gebrauch 46
Spezialeinheiten 53
Wartung 54
Contents
6/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Entsorgung 55
Mode d’emploi 57
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 58
Indications générales 59
Stockage 62
Préparation pour l'installation 63
Installation 65
Utilisation 67
Unités spéciales 74
Entretien 75
Mise au rebut 76
Manual de istrucciones 77
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 78
Información general 79
Almacenamiento 82
Preparación para la instalación 83
Instalación 85
Uso 87
Unidades especiales 94
Mantenimiento 95
Eliminación 96
Contents
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 7/400
Manual de Istruções 97
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 98
Informações gerais 99
Armazenagem 102
Preparação para a instalação 103
Instalação 105
Utilização 107
Unidade especial 114
Manutenção 115
Eliminação 116
Bedrijfshandleiding 117
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 118
Algemene informatie 119
Opslag 122
Uitpakken 123
Installatie 125
Gebruik 127
Speciale units 134
Onderhoud 135
Afvalverwerking 136
Istruktionsbog 137
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 138
Contents
8/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Generel Information 139
Opbevaring 142
Forberedelse før installation 143
Installation 145
Anvendelse 147
Specielle enheder 153
Vedligeholdelse 154
Bortskaffelse 155
Bruksanvisning 157
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 158
Allmän Information 159
Förvaring 162
Förberedelser för installationen 163
Installation 165
Använding 167
Speciella enheter 173
Underhåll 174
Bortskaffning 175
Instruksjon Manual 177
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 178
Generell informasjon 179
Lagring 182
Contents
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 9/400
Klargjøre til installasjon 183
Installasjon 185
Bruk 187
Spesialenheter 193
Vedlikehold 194
Kassering 195
Ohjekäsikirja 197
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 198
Yleisiä tietoja 199
Varastointi 202
Valmistelut asennusta varten203
Asennus 205
Käyttö 207
Erityisyksiköt 213
Huolto 214
Hävittäminen 215
Felhasználói Kézikönyv 217
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 218
Általános információ 219
Tárolás 222
Előkészítés telepítésre 223
Telepítés 225
Contents
10/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Használat 227
Speciális egység 234
Karbantartás 235
Megsemmisítés 236
Podrecznik Instrukcji 237
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 238
Ogólne informacje 239
Magazynowanie 242
Przygotowanie do instalacji 243
Instalacja 245
Użytkowanie 247
Jednostki specjalne 254
Konserwacja 255
Przetworstwo odpadow 256
Návod k Použití 257
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 258
Všeobecné informace 259
Uskladnění 262
Příprava k instalaci 263
Instalace 265
Použití 267
Speciální jednotky 273
Contents
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 11/400
Údržba 274
Likvidace 275
Návod na Obsluhu 277
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 278
Všeobecné informácie 279
Uchovávanie 282
Príprava na inštaláciu 283
Inštalácia 285
Použitie 287
Špeciálne jednotky 293
Údržba 294
Likvidácia 295
Priročnik za Navodila 297
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 298
Splošne informacije 299
Shranjevanje 302
Priprava za montažo 303
Montaža 305
Uporaba 307
Posebne enote 314
Vzdrževanje 315
Odlaganje opadkov 316
Contents
12/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Instructions for Use 317
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 318
General Information 319
Storage 322
Preparation for Installation 323
Installation 325
Use 327
Modified Standard 334
Maintenance 335
Disposal 336
Technical Information 337
Description of the TPS mobile 339
Technical Specification 347
TPS-Mobile Outline 358
Turbo Pumping System Connection 359
Electrical Connections 363
Letter Protocol Description 370
Pumping System Component Info 387
Accessories and Spare Parts 388
Appendix 1 389
Appendix 2 394
TPS-mobile User Manual
13/400
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Simboli usati 17
Immagazzinamento 19
Preparazione per l’installazione 20
Installazione 22
Uso 24
Accensione ed Uso del TPS-mobile 25
Arresto del TPS-mobile 30
Arresto di Emergenza 30
Unità Speciali 31
Manutenzione 32
Smaltimento 33
Traduzione delle istruzioni originali
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
14/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 15/400
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Il TPS-mobile è un sistema integrato costituito da una pompa
turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto integrata
dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il sistema è capace di
pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è adatto
per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.
1
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
16/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
ATTENZIONE!
Prima di accendere la pompa, controllare il livello dell’olio della Rotary Vane
Pump.
ATTENZIONE!
Assicurare uno spazio libero intorno al sistema di minimo 20 cm al fine di
permettere un’adeguata circolazione dell’aria.
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 17/400
AVVERTENZA!
Il Sistema deve essere installato in modo da permettere una facile
interruzione dell’alimentazione.
Simboli usati
I seguenti simboli sono utilizzati in modo coerente in tutte le
illustrazioni:
Pericolo “Riferirsi a
installazione /
funzionamento”
Conduttore di
protezione
Superficie calda “Pericolo
di scottature se vengono
toccate le parti calde”
ON - Avviamento
(Alimentazione)
Pericolo, rischio di scossa
elettrica
OFF - Arresto
(Alimentazione)
1
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
18/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
AVVERTENZA!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili
o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non
usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi. La pompa è
progettata per un elevato trasferimento di N2, Ar e gas leggeri. Nel caso in
cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti di Ar, rivolgersi al
supporto tecnico Agilent per informazioni.
Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 19/400
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità dei
sistemi di pompaggio Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
▪ durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
▪ temperatura: fare riferimento ai manuali dei singoli
componenti del TPS
▪ umidità relativa: fare riferimento ai manuali dei singoli
componenti del TPS
▪ il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
▪ il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 12 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
rinviare il sistema di pompaggio in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di
contattare il locale rappresentante della Agilent.
1
Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
20/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Preparazione per l’installazione
Il TPS-mobile viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere il TPS-mobile e a non sottoporlo ad
urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente
riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela
dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra
protezione adeguata.
Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 21/400
NOTA
Il TPS-mobile non può essere danneggiato rimanendo semplicemente esposto
all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al
momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da
polvere.
I modelli indicati in questo manuale d’istruzioni sono basati sulla
piattaforma sistemi di pompaggio Agilent denominata TPS-mobile, le
differenze introdotte dai vari numeri di modello sono relative alla
pompa turbomolecolare ed alla pompa di foreline integrata nello
specifico modello, oltre alla tensione applicabile al sistema.
Le differenze tra i diversi modelli del TPS-mobile riguardano solo le
prestazioni del sistema, mentre il funzionamento e le procedure d’uso
sono le medesime per tutti i TPS-mobile.
Le informazioni riportate sono applicabili all’intera piattaforma (tutti
i modelli) indipendentemente dalla specifica pompa turbomolecolare,
pompa di foreline o alimentazione elettrica.
1
Istruzioni per l’uso
Installazione
22/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Installazione
AVVERTENZA!
Usare molta attenzione quando si sollevano parti pesanti. Si raccomanda di
effettuare il sollevamento con 2 persone. Il mancato sollevamento da parte di
due persone può provocare lesioni personali.
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del
collegamento della turbopompa al sistema.
Non installare e/o utilizzare il sistema di pompaggio in ambienti
esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas
aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
▪ pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
▪ temperatura: fare riferimento ai manuali dei singoli componenti
del TPS
▪ umidità relativa: fare riferimento ai manuali dei singoli
componenti del TPS.
In presenza di campi elettromagnetici il sistema di pompaggio deve
essere protetto tramite opportuni schermi.
Il TPS-mobile deve essere posizionato su una superficie piana.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere collegata alla
controflangia per mezzo di morsetti. Per il numero di morsetti da
utilizzare e per la coppia di seraggio fare riferimento al manuale della
turbopompa da utilizzare.
Istruzioni per l’uso
Installazione
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 23/400
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata
per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Agilent. Per la coppia di
seraggio delle viti fare riferimento al manuale della turbopompa da
utilizzare. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical
Information".
Se il TPS-mobile è equipaggiato con pompe turbomolecolari di taglia
minore o uguale alla TwisTorr 304 FS, la pompa può essere accesa
anche se intallata sul TPS-mobile. Nel caso in cui il TPS-mobile fosse
equipaggiato con pompe di taglia superiore alla 304 FS, il TPS-mobile
potrà essere utilizzato solo per la movimentazione della pompa
(turbopompa spenta) che dovrà essere installata tramite la sua
flangia di inlet nel sistema cliente, prima dell’avvio del TPS-mobile.
FLANGIA
TIPO DI MORSETTO
N.
COPPIA DI
SERRAGGIO
ISO 63
Morsetto doppio con filettatura M10
4
22 Nm
ISO 100 K
Morsetto doppio con filettatura M10
4
22 Nm
ISO 160 K
Morsetto doppio con filettatura M10
4
22 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica
Agilent. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical
Information".
NOTA
Il TPS-mobile non può essere fissato tramite la sua base.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
1
Istruzioni per l’uso
Uso
24/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Uso
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative.
Prima di usare il sistema verificare che tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici siano stati realizzati correttamente. Durante l'eventuale
riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di
ingresso non deve essere superiore a 120 °C con flangiatura ConFlat
e a 80 °C con flangiatura ISO.
Non far funzionare mai il sistema di pompaggio se la flangia di ingresso non è
collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni
di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone.
Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti
potrebbero danneggiarsi e potrebbero verificarsi danni alle persone o alle
cose.
Istruzioni per l’uso
Uso
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 25/400
ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente da polvere,
particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di ingresso attraverso l'apposita
porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica).
AVVERTENZA!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili
o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non
usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi.
Accensione ed Uso del TPS-mobile
▪ Dopo aver disimballato il TPS-mobile, assicurarsi che il sistema
non abbia tracce di danneggiamenti dovuti al trasporto (parti
critiche sono: flangia della pompa, staffe di fissaggio della pompa
di Foreline, pannello frontale e ruote del sistema) mediante
un’ispezione visiva.
▪ Verificare la tensione d’ingresso riportata sull’etichetta Agilent
incollata alla chassis dell’unità elettronica del sistema.
1
Istruzioni per l’uso
Uso
26/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
▪ Se la tensione fornita dall’alimentazione elettrica è compatibile
con quella del sistema, si può procedere a collegare il cavo
d’alimentazione elettrica alla presa elettrica di tipo IEC320
presente sul pannello posteriore del sistema (vedi figura). La
presa è dotata di una molla di ritenzione posta al fine d’evitare
disconnessioni accidentali del cavo d’alimentazione; usare la
molla per agganciare il cavo d’alimentazione.
Numero di modello (PN)
Numero di serie (SN)
Dati elettrici
Istruzioni per l’uso
Uso
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 27/400
NOTA
Il modello 9698433 è fornito con un cavo d’alimentazione integrato, quindi non è
necessario eseguire questa operazione.
▪ Fornire la tensione corretta al sistema mediante il cavo
d’alimentazione.
▪ Il sistema è equipaggiato con un interruttore principale
(interruttore termico) in grado di proteggere i componenti del
sistema contro sovraccarichi o corto circuiti. Porre l’interruttore
in posizione “1” per cominciare ad operare con il TPS-mobile.
Cavo di
alimentazione
Molla di
ritenzione
1
Istruzioni per l’uso
Uso
28/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
▪ L’attivazione del sistema mediante l’Interruttore Principale
fornisce alimentazione al controller della pompa turbo ma sia la
pompa turbo sia la pompa di foreline restano spente.
L’attivazione del sistema permette al controller d’iniziare la
lettura del dato di pressione attraverso il Full Range Gauge FRG-
700 opzionale, se quest’ultimo è collegato alla porta di
connessione gauge posta nella parte posteriore del sistema.
Interruttore principale
(con protezione termica)
Istruzioni per l’uso
Uso
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 29/400
▪ È possibile avviare il sistema mediante il selettore denominato
“Pumping”. Dopo aver portato il selettore “Pumping” nella
posizione “1” la pompa turbo e la pompa di foreline si
avvieranno.
Porta gauge
Porta seriale
Selettore „Pumping“
1
Istruzioni per l’uso
Uso
30/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
NOTA
I modelli 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432,
9698433 non sono equipaggiati con il selettore denominato “Pumping”; la
stessa funzione è svolta dal pulsante “Start/Stop” posto sul controller.
Arresto del TPS-mobile
▪ È possibile spegnere il sistema mediante il selettore “Pumping”
(spostandolo in posizione “0”); il controller resterà acceso e se un
gauge è collegato al sistema sarà possibile continuare la lettura
della pressione anche a pompe spente.
▪ Un modo alternativo di spegnere il sistema è quello d’usare
l’Interruttore Principale (spostandolo in posizione “0”). Il sistema
si spegnerà completamente e non saranno possibili né letture di
pressione, né altre operazioni.
Arresto di Emergenza
Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS-mobile è possibile
staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, ciò provocherà
lo spegnimento della pompa e del controller.
Istruzioni per l’uso
Unità Speciali
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 31/400
Unità Speciali
La piattaforma TPS-mobile può essere personalizzata in funzione
delle diverse esigenze, ottenendo specifici numeri di modello. Ad
eccezione di casi specifici forniti di specifica documentazione, questo
manuale è applicabile a tutte le unità speciali marcate con MXXXX
(ad esempio 9698416M2006).
1
Istruzioni per l’uso
Manutenzione
32/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Manutenzione
Il TPS-mobile non richiede alcuna manutenzione (ad eccezione della
sostituzione del Tip-seal, per le versioni equipaggiate con pompe
scroll o il rabbocco/cambio olio per le versioni con pompe Rotary
Vane). Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale
autorizzato.
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola,
attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura
superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione
Agilent.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni, è indispensabile
compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Request for Return"
allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita
nell'imballo del sistema prima della spedizione.
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla sua
eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.
Istruzioni per l’uso
Smaltimento
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 33/400
Smaltimento
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui
sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE
denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della
Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON
deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali,
ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata. Si
invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo,
sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di
raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e
condizioni contrattuali di vendita.
Per maggiori informazioni riferirsi a;
http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml
1
Istruzioni per l’uso
Smaltimento
34/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
TPS-mobile User Manual
35/400
Gebrauchsanleitung
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 36
Allgemeine Informationen 37
Verwendete Symbole 39
Lagerung 41
Vor der Installation 42
Installation 44
Gebrauch 46
Einschaltung und Gebrauch von
Modell TPS-mobile 47
Stoppen des TPS-mobile 52
Not-Aus 52
Spezialeinheiten 53
Wartung 54
Entsorgung 55
Übersetzung der Originalanleitungen
2
Gebrauchsanleitung
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen
36/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen
Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen
Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen
Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese
Rotationsenergie freigesetzt werden.
WARNUNG!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!
Gebrauchsanleitung
Allgemeine Informationen
2
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 37/400
Allgemeine Informationen
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor
dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch
teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht
autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen
einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei
Haftung.
Modell TPS-mobile ist ein integriertes System, das aus einer
Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen,
integriert mit einem entsprechenden Controller und der
Primärpumpe, besteht. Das System eignet sich für die Förderung
aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für
die Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln.
Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine erreicht, die
von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen
für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts
aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.
2
Gebrauchsanleitung
Allgemeine Informationen
38/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
WARNUNG!
Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen
Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter
Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.
VORSICHT!
Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
HINWEIS
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben
werden.
VORSICHT!
Bevor Sie die Pumpe einschalten, prüfen Sie den Ölstand der Rotary-VanePumpe.
VORSICHT!
Vergewissern Sie sich, dass um das System herum ein freier Raum von
mindestens 20 cm bleibt, damit die Luft frei zirkulieren kann.
Gebrauchsanleitung
Allgemeine Informationen
2
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 39/400
WARNUNG!
Das System muss so installiert werden, dass die Stromversorgung schnell
abgeschaltet werden kann.
Verwendete Symbole
Folgende Symbole wurden durchgängig in allen Illustrationen
verwendet:
Gefahr! Schlagen Sie im
Installations- und
Betriebshandbuch nach
Schutzleiter
Heiße Oberfläche –
Verbrennungsgefahr bei
Berührung
ON - Start
(Versorgung)
Gefahr von Stromschlägen
OFF - Stopp
(Versorgung)
2
Gebrauchsanleitung
Allgemeine Informationen
40/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
WARNUNG!
Wird die Pumpe zum Pumpen von giftigen, brennbaren oder radioaktiven
Gasen verwendet, die entsprechenden Verfahren für das jeweilige Gas
befolgen. Die Pumpe nicht bei Präsenz von explosiven Gasen verwenden. Die
Pumpe ist entworfen worden, um Stickstoff, Argon und leichtere Gase zu
pumpen. Sollte die Notwendigkeit bestehen, schwereres Gas als Argon
pumpen zu müssen, wenden Sie sich bitte für Informationen an den
Technischen Kundendienst der Agilent.
Gebrauchsanleitung
Lagerung
2
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 41/400
Lagerung
Zur Garantie der höchsten Funktionstüchtigkeit und Zuverlässigkeit
der Agilent – Pumpsysteme müssen die folgenden Vorschriften
eingehalten werden:
▪ Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung
der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten
werden:
▪ Temperatur: siehe Handbücher der einzelnen Komponenten
der TPS
▪ Relative Feuchtigkeit: siehe Handbücher der einzelnen
Komponenten der TPS
▪ Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang
bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start
ingangzusetzen.
▪ Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 12 Monate
ab dem Speditionsdatum.
VORSICHT!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist
überschreiten sollte, ist das Pumpensystem an das Werk zurückzusenden. Für
Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter.
2
Gebrauchsanleitung
Vor der Installation
42/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Vor der Installation
Modell TPS-mobile wird in einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen
örtlichen Verkaufsstelle zu melden.
Modell TPS-mobile ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem
Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85/399/EWG für
Umweltschutz.
VORSICHT!
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem Vakuum in
Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefaßt werden. Es sind
stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden.
Gebrauchsanleitung
Vor der Installation
2
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 43/400
HINWEIS
Modell TPS-mobile kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden.
Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um
Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
Die in dieser Gebrauchsanleitung angegebenen Modelle unterliegen
dem Angebot der Agilent-Pumpensymsteme TPS-mobile; die durch
die verschiedenen Modellnummern aufgeführten Unterschiede
beziehen sich auf die Turbomolekülpumpe und die Foreline-Pumpe,
die im spezifischen Modell integriert ist, sowie auf die im System
vorhandene Spannung.
Die Unterschiede zwischen den verschiedenen Modellen des TSPmobile beziehen sich nur auf die Leistungen des Systems, während
der Betrieb und das Anwendungsverfahren bei allen TPS-mobile
gleich sind.
Die aufgeführten Informationen sind im ganzen Angebot anwendbar
(alle Modelle), unabhängig von der spezifischen Turbomolekülpumpe,
Foreline-Pumpe oder mit Stromspeisung.
2
Gebrauchsanleitung
Installation
44/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Installation
WARNUNG!
Lassen Sie beim Anheben schwerer Teile äußerste Vorsicht walten. Es
empfiehlt sich, solche Arbeiten mit zwei Personen durchzuführen, andernfalls
kann es zu Unfällen mit Personenschaden kommen.
VORSICHT!
Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß der
Turbopumpe an das System abnehmen.
Das Pumpensystem darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor
Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind,
sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten
Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten
werden:
▪ Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
▪ Temperatur: siehe Handbücher der einzelnen Komponenten der
TPS
▪ Relative Luftfeuchtigkeit: siehe Handbücher der einzelnen
Komponenten der TPS.
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist das
Pumpensystemdie Pumpe entsprechend abzuschirmen.
Das System TPS-mobile in eine stabile Position stellen.
Die Turbopumpe mit ISO-Eingangsflansch muss mit Klemmen am
Gegenflansch befestigt werden. Für die Anzahl der Klemmen und das
Drehmoment zum Anziehen schauen Sie im Handbuch der
verwendeten Turbopumpe nach.
Gebrauchsanleitung
Installation
2
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 45/400
Die Turbopumpe mit ConFlat-Eingangsflansch muss mit dem dafür
vorgesehenen Zubehör von Agilent befestigt werden. Für das
Drehmoment zum Anziehen der Schrauben schauen Sie im Handbuch
der verwendeten Turbopumpe nach. Für weitere Details schauen Sie
im Anhang "Technical Information" nach.
Wenn das Modell TPS-mobile mit Turbomolekularpumpen
ausgestattet wird, die kleiner oder gleich groß sind wie die TwisTorr
304 FS, kann die Pumpe auch dann eingeschaltet werden, wenn sie
auf dem TPS-mobile installiert ist. Wenn das TPS-mobile mit Pumpen
ausgestattet wird, die größer sind als die 304 FS, kann es nur für die
Bewegung der Pumpe (ausgeschaltete Turbopumpe) verwendet
werden. Diese muss dann über einen Inlet-Flansch im System des
Kunden angeschlossen werden, bevor das TPS-mobile gestartet wird.
FLANSCH
KLEMMSCHELLE
ANZ.
ANZUGSMOMENT
ISO 63
Doppelschelle mit Gewinde M10
4
22 Nm
ISO 100 K
Doppelschelle mit Gewinde M10
4
22 Nm
ISO 160 K
Doppelschelle mit Gewinde M10
4
22 Nm
Turbopumpen mit ConFlat Eingangsflansch sind mit dem speziellen
Agilent Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen.
Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical
Information".
HINWEIS
Modell TPS-mobile kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
2
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
46/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Gebrauch
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert.
Bevor das System benützt wird, prüfen, ob alle Strom- und
Pneumatikanschlüsse korrekt ausgeführt wurden. Während der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am
Eingangsflansch bei einem ConFlat-Flansch nicht über 120°C und bei
einem ISO-Flansch nicht über 80 °C steigen.
WARNUNG!
Das Pumpensystem darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit
dem Verschlußflansch verschlossen ist.
WARNUNG!
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße
Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.
WARNUNG!
Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen oder ruckartigen
Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager könnten beschädigt werden und
Personen oder Gegenständen Schaden zugefügt werden.
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
2
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 47/400
VORSICHT!
Für die Belüftung der Pumpe staub- , partikel- und feuchtigkeitsfreies Inertgas
(z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter
2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen.
WARNUNG!
Wenn das Pumpensystem zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren
oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas
vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen.
Das Pumpensystem darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen
Gasen verwendet werden.
Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-mobile
▪ Nachdem das TPS-mobile ausgepackt wurde, mit dem Auge
prüfen, ob das System Beschädigungen aufgrund des Transports
aufweist (die kritischen Teile sind: Pumpenflansch,
Befestigungsbügel der Foreline-Pumpe, vorderes Abdeckung und
die Räder des Systems).
▪ Die Eingangsspannung auf der Etikette Agilent am Gehäuse der
Elektronik des Systems prüfen.
2
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
48/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
▪ Wenn die durch die Stromspeisung gelieferte Spannung mit der
Spannung des Systems kompatibel ist, kann man das Stromkabel
an die Steckdose IEC320 am hinteren Paneel des Systems
anschließen (siehe Abbildung). Die Steckdose ist mit einer
Rückhaltefeder ausgestattet, um plötzliche Trennung des
Speisekabels zu vermeiden; die Feder benützen, um das
Stromkabel zu befestigen.
Modellnummer (PN)
Seriennummer (SN)
Elektrische Daten
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
2
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 49/400
HINWEIS
Das gelieferte Modell 8988433 wird mit einem integrierten Speisekabel geliefert,
somit ist dieser Vorgang nicht notwendig.
▪ Dem System mittels Speisekabel die korrekte Spannung geben.
▪ Das System ist mit einem Hauptschalter (Thermoschalter)
ausgestattet, der die Bestandteile des Systems gegen
Überlastungen oder Kurzschlüsse schützt. Den Schalter auf die
Position „1“ stellen, um mit dem TPS-mobile arbeiten zu können.
Speisekabel
Rüchhaltefeder
2
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
50/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
▪ Die Aktivierung des Systems durch den Hauptschalter liefert dem
Controller der Turbopumpe Speisung, aber die Turbopumpe wie
die Forelnepumpe bleiben ausgeschaltet.
Die Aktivierung des Systems ermöglicht dem Controller, das
Lesen des Druckwerts über den zusätzlichen Full Range Gauge
FRG-700 zu beginnen; wenn dieser an dem Anschlusstor des
Gauge im hinteren Teil des Systems angeschlossen ist.
Hauptschalter
(mit Thermoschalter)
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
2
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 51/400
▪ Es ist möglich, das System über den Wahlschalter „Pumping“ zu
starten. Nachdem der Wahlschalter „Pumping“ auf die
Position „1“ gestellt wurde, starten die Turbopumpe und die
Forelinepumpe.
Gauge Halter
Serielles Tor
„Pumping Wahlschalter“
2
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
52/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
HINWEIS
Die Modelle 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432,
9698433 sind nicht mit dem Wahlschalter “Pumping” ausgestattet; dieselbe
Funktion wird durch den Druckknopf “Start/Stopp” am Controller ausgeführt.
Stoppen des TPS-mobile
▪ Es ist möglich, das System durch den Wahlschalter „Pumping“
abzuschalten (indem er auf „0“ gestellt wird); der Controller
bleibt eingeschaltet und wenn ein Gauge am System
angeschlossen ist, kann das Lesen des Drucks auch bei
abgeschalteter Pumpe fortgeführt werden.
▪ Eine alternative Methode zum Abschalten des Systems ist die
Anwendung des Hauptschalters (durch Verstellen auf „0“). Das
System schaltet sich vollständig ab und es sind keine
Druckablese- noch andere Vorgänge möglich.
Not-Aus
Um das TPS-mobile im Notfall abzuschalten, kann das Stromkabel
aus der Netzsteckdose gezogen werden; das ruft das Abschalten der
Pumpe und des Controllers hervor.
Gebrauchsanleitung
Spezialeinheiten
2
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 53/400
Spezialeinheiten
Das Angebot TPS-mobile kann je nach Wunsch und Bedarf individuell
gestaltet werden, wodurch spezifische Modellnummern erhalten
werden. Außer in den durch die spezifische Dokumentation
genannten Fällen ist dieses Handbuch für alle speziellen Einheiten
geeignet, die mit MXXXX gekennzeichnet sind (zum Beispiel
9698416M2006).
2
Gebrauchsanleitung
Wartung
54/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Wartung
TPS-mobile ist wartungsfrei (außer der Austausch des Tip-seal, bei
den Ausführungen mit Scroll-Pumpen oder Öl auffüllen/-Wechsel für
die Ausführungen mit Rotary Vane - Pumpen). Eventuelle Eingriffe
dürfen nur durch autorisiertes Fachpersonal ausgeführt werden.
WARNUNG!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über
Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor
vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C
abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Agilent Service.
HINWEIS
Bevor Fa. Agilent ein System zur Reparatur oder den Umtauschdienst eingesandt
wird, ist das Formular "Request for Return", das diesem Handbuch beiliegt,
ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung
des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlägigen
nationalen Vorschriften zu erfolgen.
Gebrauchsanleitung
Entsorgung
2
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 55/400
Entsorgung
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende
Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste
Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur
in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt
nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern
einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die
Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den
Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen
geprüft hat.
Für weitere Informationen:
http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml
2
Gebrauchsanleitung
Entsorgung
56/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
TPS-mobile User Manual
57/400
Mode d’emploi
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 58
Indications générales 59
Symboles utilisés 61
Stockage 62
Préparation pour l'installation 63
Installation 65
Utilisation 67
Mise en marche et utilisation du TPS-mobile 68
Arrêt du TPS-mobile 73
Arrêt d'urgence 73
Unités spéciales 74
Entretien 75
Mise au rebut 76
Traduction de la mode d’emploi originale
3
Mode d’emploi
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires
58/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires
Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel
d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la
grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs
rotors.
En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre
rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation
pourrait être libérée.
Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux
opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites
dans ce manuel!
Mode d’emploi
Indications générales
3
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 59/400
Indications générales
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle.
Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de
lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par
conséquent toute responsabilité en cas de non-respect total ou partiel
des instructions données, d'utilisation impropre par un personnel
non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire aux
réglementations nationales spécifiques.
Le TPS-mobile est un système intégré, constitué d'une pompe
turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé et
ultrapoussé et dotée d'un contrôleur et d'une pompe primaire. Le
système est à même de pomper tous les types de gaz et de composés
gazeux mais il n'est pas adapté au pompage de liquides ou de
particules solides.
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse
élevée, mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement.
Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation
de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans
l'appendice "Technical Information".
3
Mode d’emploi
Indications générales
60/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une
procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre,
risque de provoquer de graves lésions
ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le nonrespect pourrait endommager sérieusement l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte.
ATTENTION!
Avant de mettre la pompe en marche, contrôlez le niveau d’huile de la pompe
rotative à ailettes.
ATTENTION!
Laissez un espace libre autour du système de 20 cm minimum pour permettre
une bonne circulation de l’air.
Mode d’emploi
Indications générales
3
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 61/400
Le système doit être installé de manière à permettre une interruption facile
de l’alimentation.
Symboles utilisés
Les symboles suivants sont utilisés dans les différentes illustrations:
Danger “Consultez le
chapitre installation /
fonctionnement”
Conducteur de
protection
Surface chaude “Risque de
brûlure en cas de contact”
ON – Marche (Mise
sous tension)
Danger, risque
d’électrisation
OFF - Arrêt (Mise hors
tension)
Quand la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables
ou radioactifs, respectez les procédures spécifiques à chaque gaz. N'utilisez
pas la pompe en présence de gaz explosifs. La pompe est conçue pour
pomper de l'azote, de l'argon et des gaz plus légers. En cas de nécessité de
pomper des gaz plus lourds que l'argon, veuillez prendre contact avec
l'assistance technique de Agilent pour plus d'informations.
3
Mode d’emploi
Stockage
62/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Stockage
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des systèmes
de pompage Agilent, il est indispensable de respecter les instructions
suivantes:
▪ Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent
impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes
suivantes:
▪ température: consulter les manuels des composants du TPS
▪ humidité relative: consulter les manuels des composants du
TPS
▪ A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent
toujours être mises en marche en mode soft-Start
▪ Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 12
mois à compter de la date d'expédition.
ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, le système de pompage doit être
retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent
de zone.
Mode d’emploi
Préparation pour l'installation
3
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 63/400
Préparation pour l'installation
Le TPS-mobile est livré dans un emballage de protection spécial; en
cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant
le transport, contacter le bureau de vente local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout
particulièrement à ne pas laisser tomber le TPS-mobile et à ne lui
faire subir aucun choc et aucune vibration.
Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399 en
matière de protection de l'environnement.
ATTENTION!
Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à mains nues, les
éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre
protection appropriée.
3
Mode d’emploi
Préparation pour l'installation
64/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
NOTE
Le TPS-mobile ne peut s'endommager en restant simplement exposé à
l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est
conseillé de le garder dans son emballage clos jusqu'au moment de
l'installation.
Les modèles décrits dans ce manuel d'instructions sont basés sur la
plateforme des systèmes de pompage Agilent dénommée TPS-mobile,
les différences entre les différents modèles concernent la pompe
turbomoléculaire et la pompe primaire intégrée dans le modèle, ainsi
que la tension électrique du système.
Les différences entre les modèles de TPS-mobile concernent
uniquement les prestations du système, tandis que le fonctionnement
les procédures d’utilisation sont les mêmes pour tous les TPS-mobile.
Les informations données sont applicables à l’ensemble de la
plateforme (tous les modèles) indépendamment de la pompe
turbomoléculaire, de la pompe primaire ou de l’alimentation
électrique.
Mode d’emploi
Installation
3
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 65/400
Installation
Agir avec la plus grande prudence lors du levage de charges lourdes. Il est
conseillé d’effectuer le levage à deux. Le levage d’une charge lourde par une
seule personne comporte des risques de blessure.
ATTENTION!
Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de
brancher la turbopompe au système.
Ne pas installer et/ou utiliser le système de pompage dans des
milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la
poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à
fort risque d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
▪ pression max.: 2 bars au-delà de la pression atmosphérique
▪ température: consulter les manuels des composants du TPS
▪ humidité relative consulter les manuels des composants du TPS.
En présence de champs magnétiques, le système de pompage doit
être protégée à l'aide d'écrans appropriés.
Le TPS-mobile doit être installé sur une surface plane.
La turbopompe à bride d’entrée ISO doit être raccordée à la contre-
bride avec des étriers. Pour connaître le nombre d’étriers à utiliser et
le couple de serrage, consulter le manuel de la turbopompe à utiliser.
3
Mode d’emploi
Installation
66/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
La turbopompe à bride d’entrée ConFlat doit être raccordée à l’aide
des composants mécaniques Agilent prévus à cet effet. Pour
connaître le couple de serrage des vis, consulter le manuel de la
turbopompe à utiliser. Pour plus de précisions, consulter l’annexe
«Technical information».
Si le TPS-mobile est équipé d’une pompe turbo-moléculaire d’une
dimension inférieure ou égale à la TwisTorr 304 FS, la pompe peut
être mise en marche même si elle est installée sur le TPS-mobile. Si le
TPS-mobile est équipé d’une pompe de dimension supérieure à la 304
FS, le TPS-mobile ne peut être utilisé que pour le déplacement de la
pompe (turbopompe à l’arrêt) qui devra être installée à l’aide de sa
bride d’entrée dans le système du client, avant le démarrage du TPS-
mobile.
BRIDE
TYPE DE COLLIER
N.
COUPLE DE
SERRAGE
ISO 63
Collier double à filet M10
4
22 Nm
ISO 100 K
Collier double à filet M10
4
22 Nm
ISO 160 K
Collier double à filet M10
4
22 Nm
La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la chambre
à vide à l'aide des éléments mécaniques Agilent prévus à cet effet.
Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical
Information".
NOTE
Le TPS-mobile ne peut être fixé par sa base.
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Technical
Information".
Mode d’emploi
Utilisation
3
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 67/400
Utilisation
Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles.
Avant de sortir vérifiez que tous les raccordements électriques et
pneumatiques ont été correctement effectués. Pendant le chauffage
éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne
doit pas dépasser 120°C en cas de bridage ConFlat et 80°C en cas de
bridage ISO.
Ne jamais faire fonctionner le système de pompage si la bride d'entrée n'est
pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la bride de
fermeture.
Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant
les opérations de chauffage. La température élevée peut être à l'origine de
lésions graves.
Éviter tout choc ou déplacement de la turbopompe lorsqu'elle est en marche.
Cela pourrait endommager les paliers et provoquer de graves dommages aux
personnes et aux choses.
3
Mode d’emploi
Utilisation
68/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
ATTENTION!
Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte dépourvu de
poussière, particules ou humidité (Ex. azote). La pression d'entrée à travers la
porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bars (au-delà de la pression
atmosphérique).
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques,
inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz.
Ne pas utiliser le système de pompage en présence de gaz explosifs.
Mise en marche et utilisation du TPS-mobile
▪ Après avoir déballé le TPS-mobile, vérifiez visuellement que le
système n’a pas subi de dégâts pendant le transport (les parties
critiques sont : la bride de la pompe, les pattes de fixation de la
pompe primaire (foreline), façade avant et roues du système).
▪ Vérifiez la tension d’alimentation indiquée sur l’étiquette Agilent
collé sur le châssis de l’unité électronique du système.
Mode d’emploi
Utilisation
3
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 69/400
▪ Si la tension de l'alimentation électrique est compatible avec celle
du système, vous pouvez brancher le câble d'alimentation dans la
prise électrique de type IEC320 située à l’arrière du système (cf.
figure). La prise est dotée d’un ressort de maintien évitant les
débranchements accidentels du câble électrique; utiliser le
ressort pour accrocher le câble d'alimentation.
Numéro du modèle (PN)
Numéro de série (SN)
Caractéristiques électriques
3
Mode d’emploi
Utilisation
70/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
NOTE
Le modèle 9698433 étant doté d’un câble d’alimentation intégré, cette opération
n’est pas nécessaire.
▪ Alimenter la machine à la tension prescrite à l’aide du câble
d’alimentation.
▪ Le système est doté d’un interrupteur principal (à disjoncteur
thermique) destiné à protéger les composants électriques contre
les surcharges ou les court-circuit. Placez l’interrupteur en
position “1” pour commencer à utiliser le TPS-mobile.
Câble
d’alimentation
Ressort de
maintien
Mode d’emploi
Utilisation
3
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 71/400
▪ La mise en marche du système avec l’interrupteur principal
alimente également le contrôleur de la turbopompe mais la
pompe turbo et la pompe primaire restent à l’arrêt.
La mise en marche du système permet au contrôleur de
commencer à lire la valeur de pression du manomètre Full Range
Gauge FRG-700 optionnel si ce dernier est relié au port de
raccordement situé à l’arrière du système.
Interrupteur principal
(à protection thermique)
3
Mode d’emploi
Utilisation
72/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
▪ Il est alors possible de démarrer le système à l'aide du sélecteur
dénommé "Pumping" en position 1. La pompe turbo et la pompe
primaire démarrent.
Port manomètre
Port série
Sélecteur “Pumping”
Mode d’emploi
Utilisation
3
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 73/400
NOTE
Les modèles 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432,
9698433 ne sont pas dotés du sélecteur “Pumping”; cette fonction est assurée
par le bouton “Start/stop” situé sur le contrôleur.
Arrêt du TPS-mobile
▪ Pour arrêter le pompage, placez le sélecteur "Pumping” en
position “0”. Le contrôleur reste sous tension et si un manomètre
a été relié au système, il est possible de lire la valeur de pression
même lorsque les pompes sont à l’arrêt.
▪ Une autre manière d’arrêter le pompage consiste à placer
l’interrupteur principal sur la position “0”. Le système s’arrête
complètement et il n’est plus possible ni de lire la pression ni
d'effectuer une autre opération.
Arrêt d'urgence
Pour arrêter le TPS-mobile en cas d'urgence il est possible de
débrancher le câble d'alimentation de la prise électrique. Ceci
entraîne l'arrêt de la pompe et du contrôleur.
3
Mode d’emploi
Unités spéciales
74/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Unités spéciales
La plateforme TPS-mobile peut être personnalisée en fonction des
exigences en obtenant des numéros de modèle spécifiques. A
l’exception de cas particuliers accompagnés d’une documentation
spéciale, ce manuel s’applique à toutes les machines estampillées
MXXXX (exemple 9698416M2006).
Mode d’emploi
Entretien
3
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 75/400
Entretien
Le TPS-mobile n'exige aucun entretien particulier (à l’exception du
remplacement du Tip-seal pour les versions équipées de pompes
scroll ou le remplissage/vidange de l’huile pour les versions avec
pompe Rotary Vane) Toute intervention doit être effectuée par un
personnel agréé.
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la
pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt
complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe
soit inférieure à 50 °C.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service réparations
Agilent.
NOTE
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation, remplir et faire
parvenir au bureau Agilent de votre région la fiche “Request for Return” jointe
au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans
l'emballage de la pompe avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination
conformément aux réglementations nationales concernant la gestion
des déchets.
3
Mode d’emploi
Mise au rebut
76/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Mise au rebut
Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le
symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE
nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de
la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est
appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures ménagères
ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par un système de
collecte sélective. Après avoir vérifié les termes et conditions du
contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le
fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en
œuvre le processus de collecte et mise au rebut.
Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse:
http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml
TPS-mobile User Manual
77/400
Manual de istrucciones
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 78
Información general 79
Símbolos usados 81
Almacenamiento 82
Preparación para la instalación 83
Instalación 85
Uso 87
Encendido y Uso del TPS-mobile 88
Parada del TPS-mobile 93
Parada de Emergenica 93
Unidades especiales 94
Mantenimiento 95
Eliminación 96
Traducción de las instrucciones originales
4
Manual de istrucciones
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares
78/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de
instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido
a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica
de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre
el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación
podría ser liberada.
¡ADVERTENCIA!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el
presente manual!
Manual de istrucciones
Información general
4
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 79/400
Información general
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra
información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el
aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades
debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso
impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no
autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
El TPS-mobile es un sistema integrado compuesto por una bomba
turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada
por el respectivo controlador y la bomba primaria. El sistema puede
bombear cualquier tipo de gas o de composición gaseosa, pero no es
adecuado para bombear líquidos o partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta
velocidad movida por un motor eléctrico trifásico de alto
rendimiento.
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo
“Technical Information” se facilita información más detallada.
4
Manual de istrucciones
Información general
80/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
¡ADVERTENCIA!
Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un
procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse
correctamente, podría provocar graves lesiones personales.
¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no
cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
¡ATENCIÓN!
Antes de encender la bomba, controlar el nivel de aceite de la Bomba Rotary
Vane.
¡ATENCIÓN!
Asegurar un espacio libre alrededor del sistema de al menos 20 cm para permitir
una adecuada circulación de aire.
Manual de istrucciones
Información general
4
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 81/400
¡ADVERTENCIA!
Instalar el sistema de modo que se pueda interrumpir fácilmente la
alimentación.
Símbolos usados
Los siguientes símbolos se utilizan de modo coherente en todas las
ilustraciones:
Peligro “Referirse a
instalación /
funcionamiento”
Conductor de
protección
Superficie caliente “Peligro
de quemadura si se tocan
las partes calientes”
ON - Arranque
(Alimentación)
Peligro, riesgo de descarga
eléctrica
OFF - Parada
(Alimentación
¡ADVERTENCIA!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o
radiactivos, seguir los procedimientos adecuados, típicos para cada gas. No
usar la bomba en presencia de gases explosivos. La bomba está diseñada
para bombear Nitrógeno, Argón y gases más livianos. En caso de que surja
la necesidad de bombear gases más pesados que el Argón, se solicita
contactar con la Asistencia Técnica de Agilent para obtener información.
4
Manual de istrucciones
Almacenamiento
82/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Almacenamiento
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de los
sistemas de bombeo Agilent, deberán aplicarse las siguientes
instrucciones:
▪ durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las
bombas no deberán superarse las siguientes condiciones
ambientales:
▪ temperatura: consultar los manuales de cada componente del
TPS
▪ humedad relativa: consultar los manuales de cada
componente del TPS
▪ el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en
modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento
por primera vez;
▪ el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de 12 meses a contar de la fecha de envío al
cliente.
¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de
almacenamiento, será necesario devolver el sistema de bombeo al fabricante.
Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el
representante local de Agilent.
Manual de istrucciones
Preparación para la instalación
4
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 83/400
Preparación para la instalación
El TPS-mobile se suministra en un embalaje especial de protección; si
se observan daños, que podrían haberse producido durante el
transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se
caiga el TPS-mobile y de no someterlo a golpes o vibraciones.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la directiva
CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.
¡ATENCIÓN!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las manos desnudas los
componentes destinados a exponerse al vacío. Utilizar siempre guantes u otra
protección adecuada.
4
Manual de istrucciones
Preparación para la instalación
84/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
NOTA
El TPS-mobile no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a la
atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta el
momento de la instalación en el sistema para evitar su posible contaminación
por polvo.
Los modelos citados en este manual de instrucciones se basan en la
plataforma para sistemas de bombeo Agilent denominada TPS-móvil;
las diferencias aportadas por los distintos números de modelo
corresponden a la bomba turbomolecular y a la bomba de previo
integrada al modelo específico, como así también a la tensión
aplicable al sistema.
Las diferencias entre los distintos modelos del TPS-móvil respectan
sólo a las prestaciones del sistema, mientras que el funcionamiento y
los procedimientos de uso son los mismos para todos los TPS-móvil.
La presente información es aplicable a toda la plataforma (todos lo
modelos) independientemente de la bomba turbomolecular
específica, de la bomba de previo o de la alimentación eléctrica.
Manual de istrucciones
Instalación
4
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 85/400
Instalación
¡ADVERTENCIA!
Prestar suma atención cuando se levantan partes pesadas. Se recomienda
realizar el levantamiento con 2 personas. Si esto no es así, pueden
provocarse lesiones personales.
¡ATENCIÓN!
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento de
conectar la turbobomba al sistema.
No instalar ni/o utilizar el sistema de bombeo en lugares expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos,
ni en ambientes sujetos a riesgo de explosión o incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
▪ presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica
▪ temperatura: consultar los manuales de cada componente del TPS
▪ humedad relativa: consultar los manuales de cada componente
del TPS.
Cuando existan campos electromagnéticos, el sistema de bombeo ha
de protegerse mediante pantallas adecuadas.
El TPS-mobile puede ser instalado en cualquier posición.
El TPS-móvil se debe colocar sobre una superficie plana.
La turbobomba con brida de entrada ISO debe estar conectada a la
contrabrida por medio de abrazaderas. En cuanto al número de
abrazaderas por utilizar y el par de ajuste consultar el manual de la
turbobomba por utilizar.
4
Manual de istrucciones
Instalación
86/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
La turbobomba con brida de entrada ConFlat debe fijarse con piezas
mecánicas Agilent. En cuanto al par de ajuste de los tornillos
consultar el manual de la turbobomba por utilizar. Para ulteriores
detalles ver en el apéndice “Technical Information”.
Si el TPS-mobile está dotado de bombas turbomoleculares de tamaño
menor o igual a TwisTorr 304 FS, la bomba podrá ponerse en marcha
aun estando instalada en el TPS-mobile. Si el TPS-mobile estuviera
dotado de bombas de tamaño mayor al 304 FS, el TPS-mobile podrá
ser utilizado únicamente para el desplazamiento de la bomba
(turbobomba apagada) que deberá instalarse con la respectiva brida
de entrada en el sistema del cliente, antes de la puesta en marcha del
TPS-mobile.
BRIDA
TIPO DE MORDAZA
N.
PAR DE APRIETE
ISO 63
Mordaza doble con rosca M10
4
22 Nm
ISO 100 K
Mordaza doble con rosca M10
4
22 Nm
ISO 160 K
Mordaza doble con rosca M10
4
22 Nm
La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos específicos
Agilent. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”.
NOTA
El TPS-mobile no puede fijarse utilizando su base.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
Manual de istrucciones
Uso
4
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 87/400
Uso
En este apartado se citan los procedimientos operativos principales.
Antes de usar el sistema, controlar que todas las conexiones
eléctricas y neumáticas se hayan realizado correctamente. Durante el
posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la
brida de entrada no ha de ser superior a 120 °C con una fijación con
brida ConFlat y a 80 ºC con una fijación con brida ISO.
¡ADVERTENCIA!
No hacer funcionar nunca el sistema de bombeo si la brida de entrada no
está conectada a la cámara de vacío o no está cerrada con la brida de cierre.
¡ADVERTENCIA!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de
calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas.
¡ADVERTENCIA!
Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba cuando está
en marcha. Los rodamientos se podrían dañar y se podrían verificar daños a
las personas o a las cosas.
4
Manual de istrucciones
Uso
88/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
¡ATENCIÓN!
Para el "envío al aire" de la bomba utilizar gas inerte exento de polvo,
partículas y humedad (por ej.: nitrógeno). La presión de entrada a través de la
respectiva puerta debe ser inferior a 2 bares (por encima de la presión
atmosférica).
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o
radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas.
No usar el sistema de bombeo cuando haya gases explosivos.
Encendido y Uso del TPS-mobile
▪ Después de desembalar el TPS-móvil, asegurarse de que el
sistema no presente signos de daños debidos al transporte, (las
piezas críticas son: la brida de la bomba, los soportes de fijación
de la bomba de previo, el panel frontal y las ruedas del sistema),
realizando una inspección visual.
▪ Controlar la tensión de entrada presente en la etiqueta Agilent
fijada al chasis de la unidad electrónica del sistema.
Manual de istrucciones
Uso
4
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 89/400
▪ Si la tensión suministrada por la alimentación eléctrica es
compatible con la tensión del sistema, se puede conectar el cable
de alimentación eléctrica a la toma de corriente tipo IEC320
presente en el panel trasero del sistema (véase la figura). La toma
cuenta con un muelle de retención para evitar la desconexión
accidental del cable de alimentación; utilizar el muelle para
enganchar el cable de alimentación.
Número de modelo (PN)
Número de serie (SN)
Datos eléctricos
4
Manual de istrucciones
Uso
90/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
NOTA
El modelo suministrado 9698433 se provee con un cable de alimentación
integrado, por lo tanto, no es necesario realizar esta operación.
▪ Suministrar la tensión correcta al sistema mediante el cable de
alimentación.
▪ El sistema está equipado con un Interruptor Principal
(interruptor térmico) capaz de proteger los componentes del
sistema contra sobrecargas o cortocircuitos. Colocar el
interruptor en la posición “1” para comenzar a operar con el TPSmóvil.
Cable de
alimentación
Muelle de
retención
Manual de istrucciones
Uso
4
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 91/400
▪ La activación del sistema mediante el Interruptor Principal
suministra la alimentación al controlador de la turbobomba, pero
tanto ésta como la bomba de apoyo permanecen apagadas.
La activación del sistema permite al controlador comenzar con la
lectura del dato de presión mediante el Full Range Gauge FRG700 opcional, si este último está conectado a la tapa de conexión
del indicador ubicada en la parte trasera del sistema.
Interruptor principal
(con protección térmica)
4
Manual de istrucciones
Uso
92/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
▪ Se puede poner en marcha el sistema mediante el selector
denominado "Pumping". Después de colocar el selector
“Pumping” en la posición “1”, la bomba y la bomba de apoyo se
pondrán en marcha.
Puerto del gauge
Puerto serial
Selector “Pumping”
Manual de istrucciones
Uso
4
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 93/400
NOTA
Los modelos 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432 y
9698433 no están equipados con el selector denominado “Pumping”; la misma
función es llevada a cabo por el pulsador "Start/Stop" ubicado en el
controlador.
Parada del TPS-mobile
▪ Se puede apagar el sistema mediante el selector “Pumping”
(desplazándolo a la posición “0”); el controlador permanecerá
encendido y, si hay un indicador conectado al sistema, se podrá
continuar con la lectura de la presión incluso con el sistema
apagado.
▪ Una manera alternativa para apagar el sistema es utilizar el
Interruptor Principal (desplazándolo a la posición “0”). El
sistema se apagará completamente y no se podrá leer la presión
ni realizar otras operaciones.
Parada de Emergenica
Para parar el TPS-móvil en condiciones de emergencia se puede
desconectar el cable de alimentación de la toma de la red; esto
apagará la bomba y el controlador.
4
Manual de istrucciones
Unidades especiales
94/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Unidades especiales
La plataforma TPS-móvil se puede personalizar de acuerdo con las
distintas necesidades, obteniendo números de modelo específicos. A
excepción de casos especiales provistos de documentación específica,
este manual se puede aplicar a todas las unidades especiales con
marcado MXXXX (por ejemplo 9698416M2006).
Manual de istrucciones
Mantenimiento
4
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 95/400
Mantenimiento
El TPS-mobile no necesita ningún mantenimiento (a excepción de la
sustitución del Tip-seal, para las versiones equipadas con bombas
scroll o con llenado/cambio de aceite para las versiones con bombas
de paleta rotativa). Toda intervención deberá ser realizada por
personal autorizado.
Antes de realizar cualquier operación en el sistema, desconectarlo de la
alimentación, disponer la bomba en presión atmosférica abriendo la válvula
respectiva y esperar hasta que el rotor se pare completamente y que la
temperatura superficial de la bomba se reduzca a menos de 50ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Agilent.
NOTA
Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación, es imprescindible
cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Request for
Return” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se
deberá introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo.
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.
4
Manual de istrucciones
Eliminación
96/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Eliminación
Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El
símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de
la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para
los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el
producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto
con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y
que, por el contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de
recogida diferenciada. Por lo tanto, se invita al usuario final, a
ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es
la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida
y eliminación del producto, después de haber efectuado una
verificación de los términos y condiciones contractuales de venta.
Para mayor información, remitirse a:
http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml
TPS-mobile User Manual
97/400
Manual de Istruções
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 98
Informações gerais 99
Símbolos utilizados 101
Armazenagem 102
Preparação para a instalação 103
Instalação 105
Utilização 107
Acendimento e Utilização do TPS-mobile 108
Paragem do TPS-mobile 113
Paragem de Emergência 113
Unidade especial 114
Manutenção 115
Eliminação 116
Tradução das instruções originais
5
Manual de Istruções
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares
98/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares
As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de
Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta
velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores.
Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto
entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de
rotação pode ser liberada.
ATENÇAO!
Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é
necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste
manual!
Manual de Istruções
Informações gerais
5
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 99/400
Informações gerais
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler
atentamente o presente manual de instruções e todas as informações
adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A
Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das
instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais
específicas.
O TPS-mobile é um sistema integrado, constituído por uma bomba
turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, equipado
com os respectivos controller e bomba primária. O sistema é capaz de
bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso, mas não é
apropriado para bombear líquidos ou partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta
velocidade movida por um motor eléctrico trifásico de alto
rendimento.
Nos seguintes parágrafos estão descritas todas as informações
necessárias para garantir a segurança do operador durante o uso da
aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice
"Technical Information".
5
Manual de Istruções
Informações gerais
100/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Este manual utiliza as seguintes convenções:
ATENÇAO!
As mensagens de atençao chamam a atenção do operador para um
procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada
correctamente, pode provocar graves lesões pessoais.
CUIDADO!
As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não
efectuados correctamente, podem causar danos à aparelhagem.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
CUIDADO!
Antes de ligar a bomba, verificar o nível do óleo da Rotary Vane Pump.
CUIDADO!
Garantir um espaço livre em torno do sistema de no mínimo 20 cm, a fim de
permitir a circulação de ar adequada.
ATENÇAO!
O Sistema deve ser instalado, de modo a permitir uma fácil interrupção da
alimentação.
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