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Agilent Technologies
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9698403
User Manual
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Agilent Technologies 9698402, 9698416, 9698406, 9698412, 9698418 User Manual

...
TPS-mobile
Manuale di istruzioni
Instruksjon manual
Bedienungshandbuch
Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi
Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones
Podrecznik instrukcji
Manual de istruções
Návod k použití
Bedrijfshandleiding
Návod na obsluhu
Istrukstionsbog
Priročnik za navodila
Bruksanvisning
User Manual
87-901-005-01 (F) 12/2018
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2016
No part of this manual may be reproduced in any form or by any means (including electronic storage and retrieval or translation into a foreign language) without prior agreement and written consent from Agilent Technologies, Inc. as governed by United States and international copyright laws.
Manual Part Number
Publication Number: 87-901-005-01 (F)
Edition
Edition 12/2018
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
Warranty
The material contained in this
document is provided “as is,” and is
subject to being changed, without notice, in future editions. Further, to the maximum extent permitted by applicable law, Agilent disclaims all warranties, either express or implied, with regard to this manual and any information contained herein, including but not limited to the implied warranties of merchantability and fitness for a particular purpose. Agilent shall not be liable for errors or for incidental or consequential damages in connection with the furnishing, use, or performance of this document or of any information contained herein. Should Agilent and the user have a separate written agreement with warranty terms covering the material in this document that conflict with these terms, the warranty terms in the separate agreement shall control.
Technology Licenses
The hardware and/or software described in this document are furnished under a license and may be used or copied only in accordance with the terms of such license.
Restricted Rights Legend
If software is for use in the performance of a U.S. Government prime contract or subcontract, Software is delivered and licensed as
“Commercial computer software” as
defined in DFAR 252.227-7014 (June
1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as “Restricted computer software” as defined in FAR 52.227-19 (June 1987) or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or disclosure of Software is subject to
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1987). U.S. Government users will receive no greater than Limited Rights as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2) (November 1995), as applicable in any technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S. registered trademarks of Microsoft Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard. It calls attention to an operating procedure, practice, or the like that, if not correctly performed or adhered to, could result in damage to the product or loss of important data. Do not proceed beyond a CAUTION notice until the indicated conditions are fully understood and met.
A WARNING notice denotes a hazard. It calls attention to an operating procedure, practice, or the like that, if not correctly performed or adhered to, could result in personal injury or death. Do not proceed beyond a WARNING notice until the indicated conditions are fully understood and met.
WARNING
CAUTION
TPS-mobile
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 3/400

TPS-mobile

TPS-mobile
4/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Contents
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 5/400

Contents

Istruzioni per l’uso 13
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Immagazzinamento 19 Preparazione per l’installazione 20 Installazione 22 Uso 24 Unità Speciali 31 Manutenzione 32 Smaltimento 33
Gebrauchsanleitung 35
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 36 Allgemeine Informationen 37 Lagerung 41 Vor der Installation 42 Installation 44 Gebrauch 46 Spezialeinheiten 53 Wartung 54
Contents
6/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Entsorgung 55
Mode d’emploi 57
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 58 Indications générales 59 Stockage 62 Préparation pour l'installation 63 Installation 65 Utilisation 67 Unités spéciales 74 Entretien 75 Mise au rebut 76
Manual de istrucciones 77
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 78 Información general 79 Almacenamiento 82 Preparación para la instalación 83 Instalación 85 Uso 87 Unidades especiales 94 Mantenimiento 95 Eliminación 96
Contents
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 7/400
Manual de Istruções 97
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 98 Informações gerais 99 Armazenagem 102 Preparação para a instalação 103 Instalação 105 Utilização 107 Unidade especial 114 Manutenção 115 Eliminação 116
Bedrijfshandleiding 117
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 118 Algemene informatie 119 Opslag 122 Uitpakken 123 Installatie 125 Gebruik 127 Speciale units 134 Onderhoud 135 Afvalverwerking 136
Istruktionsbog 137
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 138
Contents
8/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Generel Information 139 Opbevaring 142 Forberedelse før installation 143 Installation 145 Anvendelse 147 Specielle enheder 153 Vedligeholdelse 154 Bortskaffelse 155
Bruksanvisning 157
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 158 Allmän Information 159 Förvaring 162 Förberedelser för installationen 163 Installation 165 Använding 167 Speciella enheter 173 Underhåll 174 Bortskaffning 175
Instruksjon Manual 177
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 178 Generell informasjon 179 Lagring 182
Contents
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 9/400
Klargjøre til installasjon 183 Installasjon 185 Bruk 187 Spesialenheter 193 Vedlikehold 194 Kassering 195
Ohjekäsikirja 197
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 198 Yleisiä tietoja 199 Varastointi 202 Valmistelut asennusta varten203 Asennus 205 Käyttö 207 Erityisyksiköt 213 Huolto 214 Hävittäminen 215
Felhasználói Kézikönyv 217
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 218 Általános információ 219 Tárolás 222 Előkészítés telepítésre 223 Telepítés 225
Contents
10/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Használat 227 Speciális egység 234 Karbantartás 235 Megsemmisítés 236
Podrecznik Instrukcji 237
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 238 Ogólne informacje 239 Magazynowanie 242 Przygotowanie do instalacji 243 Instalacja 245 Użytkowanie 247 Jednostki specjalne 254 Konserwacja 255 Przetworstwo odpadow 256
Návod k Použití 257
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 258 Všeobecné informace 259 Uskladnění 262 Příprava k instalaci 263
Instalace 265 Použití 267 Speciální jednotky 273
Contents
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 11/400
Údržba 274 Likvidace 275
Návod na Obsluhu 277
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 278 Všeobecné informácie 279
Uchovávanie 282
Príprava na inštaláciu 283 Inštalácia 285 Použitie 287 Špeciálne jednotky 293 Údržba 294
Likvidácia 295
Priročnik za Navodila 297
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 298 Splošne informacije 299
Shranjevanje 302
Priprava za montažo 303 Montaža 305
Uporaba 307 Posebne enote 314 Vzdrževanje 315 Odlaganje opadkov 316
Contents
12/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Instructions for Use 317
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 318 General Information 319 Storage 322 Preparation for Installation 323 Installation 325 Use 327 Modified Standard 334 Maintenance 335 Disposal 336
Technical Information 337
Description of the TPS mobile 339 Technical Specification 347 TPS-Mobile Outline 358 Turbo Pumping System Connection 359 Electrical Connections 363 Letter Protocol Description 370 Pumping System Component Info 387 Accessories and Spare Parts 388 Appendix 1 389 Appendix 2 394
TPS-mobile User Manual
13/400
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Simboli usati 17 Immagazzinamento 19 Preparazione per l’installazione 20 Installazione 22 Uso 24 Accensione ed Uso del TPS-mobile 25 Arresto del TPS-mobile 30 Arresto di Emergenza 30 Unità Speciali 31 Manutenzione 32 Smaltimento 33
Traduzione delle istruzioni originali
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
14/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)

Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari

Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale!
Istruzioni per l’uso

Informazioni Generali

1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 15/400
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Il TPS-mobile è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical Information”.
1
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
16/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
ATTENZIONE!
Prima di accendere la pompa, controllare il livello dell’olio della Rotary Vane Pump.
ATTENZIONE!
Assicurare uno spazio libero intorno al sistema di minimo 20 cm al fine di permettere un’adeguata circolazione dell’aria.
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 17/400
AVVERTENZA!
Il Sistema deve essere installato in modo da permettere una facile interruzione dell’alimentazione.

Simboli usati

I seguenti simboli sono utilizzati in modo coerente in tutte le illustrazioni:
Pericolo “Riferirsi a installazione / funzionamento”
Conduttore di protezione
Superficie calda “Pericolo
di scottature se vengono toccate le parti calde”
ON - Avviamento (Alimentazione)
Pericolo, rischio di scossa elettrica
OFF - Arresto (Alimentazione)
1
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
18/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
AVVERTENZA!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi. La pompa è progettata per un elevato trasferimento di N2, Ar e gas leggeri. Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti di Ar, rivolgersi al supporto tecnico Agilent per informazioni.
Istruzioni per l’uso

Immagazzinamento

1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 19/400
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità dei sistemi di pompaggio Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni:
▪ durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali:
▪ temperatura: fare riferimento ai manuali dei singoli
componenti del TPS
▪ umidità relativa: fare riferimento ai manuali dei singoli
componenti del TPS
▪ il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
▪ il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 12 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre rinviare il sistema di pompaggio in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent.
1
Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
20/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)

Preparazione per l’installazione

Il TPS-mobile viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TPS-mobile e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 21/400
NOTA
Il TPS-mobile non può essere danneggiato rimanendo semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
I modelli indicati in questo manuale d’istruzioni sono basati sulla
piattaforma sistemi di pompaggio Agilent denominata TPS-mobile, le differenze introdotte dai vari numeri di modello sono relative alla pompa turbomolecolare ed alla pompa di foreline integrata nello specifico modello, oltre alla tensione applicabile al sistema.
Le differenze tra i diversi modelli del TPS-mobile riguardano solo le
prestazioni del sistema, mentre il funzionamento e le procedure d’uso
sono le medesime per tutti i TPS-mobile.
Le informazioni riportate sono applicabili all’intera piattaforma (tutti
i modelli) indipendentemente dalla specifica pompa turbomolecolare, pompa di foreline o alimentazione elettrica.
1
Istruzioni per l’uso
Installazione
22/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)

Installazione

AVVERTENZA!
Usare molta attenzione quando si sollevano parti pesanti. Si raccomanda di effettuare il sollevamento con 2 persone. Il mancato sollevamento da parte di due persone può provocare lesioni personali.
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del
collegamento della turbopompa al sistema.
Non installare e/o utilizzare il sistema di pompaggio in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali:
▪ pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica ▪ temperatura: fare riferimento ai manuali dei singoli componenti
del TPS
▪ umidità relativa: fare riferimento ai manuali dei singoli
componenti del TPS.
In presenza di campi elettromagnetici il sistema di pompaggio deve essere protetto tramite opportuni schermi.
Il TPS-mobile deve essere posizionato su una superficie piana.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere collegata alla controflangia per mezzo di morsetti. Per il numero di morsetti da utilizzare e per la coppia di seraggio fare riferimento al manuale della turbopompa da utilizzare.
Istruzioni per l’uso
Installazione
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 23/400
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Agilent. Per la coppia di seraggio delle viti fare riferimento al manuale della turbopompa da utilizzare. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information".
Se il TPS-mobile è equipaggiato con pompe turbomolecolari di taglia minore o uguale alla TwisTorr 304 FS, la pompa può essere accesa anche se intallata sul TPS-mobile. Nel caso in cui il TPS-mobile fosse equipaggiato con pompe di taglia superiore alla 304 FS, il TPS-mobile potrà essere utilizzato solo per la movimentazione della pompa (turbopompa spenta) che dovrà essere installata tramite la sua flangia di inlet nel sistema cliente, prima dell’avvio del TPS-mobile.
FLANGIA
TIPO DI MORSETTO
N.
COPPIA DI SERRAGGIO
ISO 63
Morsetto doppio con filettatura M10
4
22 Nm
ISO 100 K
Morsetto doppio con filettatura M10
4
22 Nm
ISO 160 K
Morsetto doppio con filettatura M10
4
22 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Agilent. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information".
NOTA
Il TPS-mobile non può essere fissato tramite la sua base.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information".
1
Istruzioni per l’uso
Uso
24/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Uso
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative.
Prima di usare il sistema verificare che tutti i collegamenti elettrici e pneumatici siano stati realizzati correttamente. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C con flangiatura ConFlat e a 80 °C con flangiatura ISO.
Non far funzionare mai il sistema di pompaggio se la flangia di ingresso non è collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone.
Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi e potrebbero verificarsi danni alle persone o alle cose.
Istruzioni per l’uso
Uso
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 25/400
ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente da polvere, particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica).
AVVERTENZA!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi.

Accensione ed Uso del TPS-mobile

▪ Dopo aver disimballato il TPS-mobile, assicurarsi che il sistema
non abbia tracce di danneggiamenti dovuti al trasporto (parti critiche sono: flangia della pompa, staffe di fissaggio della pompa di Foreline, pannello frontale e ruote del sistema) mediante un’ispezione visiva.
▪ Verificare la tensione d’ingresso riportata sull’etichetta Agilent
incollata alla chassis dell’unità elettronica del sistema.
1
Istruzioni per l’uso
Uso
26/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
▪ Se la tensione fornita dall’alimentazione elettrica è compatibile
con quella del sistema, si può procedere a collegare il cavo
d’alimentazione elettrica alla presa elettrica di tipo IEC320
presente sul pannello posteriore del sistema (vedi figura). La
presa è dotata di una molla di ritenzione posta al fine d’evitare disconnessioni accidentali del cavo d’alimentazione; usare la molla per agganciare il cavo d’alimentazione.
Numero di modello (PN)
Numero di serie (SN)
Dati elettrici
Istruzioni per l’uso
Uso
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 27/400
NOTA
Il modello 9698433 è fornito con un cavo d’alimentazione integrato, quindi non è necessario eseguire questa operazione.
▪ Fornire la tensione corretta al sistema mediante il cavo
d’alimentazione.
▪ Il sistema è equipaggiato con un interruttore principale
(interruttore termico) in grado di proteggere i componenti del
sistema contro sovraccarichi o corto circuiti. Porre l’interruttore in posizione “1” per cominciare ad operare con il TPS-mobile.
Cavo di alimentazione
Molla di ritenzione
1
Istruzioni per l’uso
Uso
28/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
▪ L’attivazione del sistema mediante l’Interruttore Principale
fornisce alimentazione al controller della pompa turbo ma sia la pompa turbo sia la pompa di foreline restano spente.
L’attivazione del sistema permette al controller d’iniziare la
lettura del dato di pressione attraverso il Full Range Gauge FRG-
700 opzionale, se quest’ultimo è collegato alla porta di
connessione gauge posta nella parte posteriore del sistema.
Interruttore principale
(con protezione termica)
Istruzioni per l’uso
Uso
1
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 29/400
▪ È possibile avviare il sistema mediante il selettore denominato
“Pumping”. Dopo aver portato il selettore “Pumping” nella posizione “1” la pompa turbo e la pompa di foreline si
avvieranno.
Porta gauge Porta seriale
Selettore „Pumping“
1
Istruzioni per l’uso
Uso
30/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
NOTA
I modelli 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432,
9698433 non sono equipaggiati con il selettore denominato “Pumping”; la stessa funzione è svolta dal pulsante “Start/Stop” posto sul controller.

Arresto del TPS-mobile

▪ È possibile spegnere il sistema mediante il selettore “Pumping”
(spostandolo in posizione “0”); il controller resterà acceso e se un
gauge è collegato al sistema sarà possibile continuare la lettura della pressione anche a pompe spente.
▪ Un modo alternativo di spegnere il sistema è quello d’usare
l’Interruttore Principale (spostandolo in posizione “0”). Il sistema
si spegnerà completamente e non saranno possibili né letture di pressione, né altre operazioni.

Arresto di Emergenza

Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS-mobile è possibile staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, ciò provocherà lo spegnimento della pompa e del controller.
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